KR101809702B1 - On-line Contamination Monitoring System and Method using it - Google Patents

Abstract

An online contamination monitoring system according to the present invention comprises: a sampling unit (100) for introducing a chemical and generating a sample to be sent (transmission sample hereafter) through a line connected to a point where the chemical is used, stored, or supplied; and a main system (200) for receiving the transmission sample from the sampling unit (100) and analyzing the transmission sample via an analyzer, wherein the main system is radially connected to a plurality of sampling units arranged in a dispersed manner via a transmission line (300), and the transmission sample within the transmission line is provided with non-reactive gas at the front and the back so that the transmission sample is transmitted in an encapsulated state.

Description

온라인 오염 모니터링 시스템 및 방법{On-line Contamination Monitoring System and Method using it}[0001] The present invention relates to an on-line contamination monitoring system and method,

본 발명은 온라인 오염 모니터링 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 구체적으로는 반도체 제조 공정 등에서 사용중인 케미컬의 오염을 실시간에 준하여 온라인(On-line)으로 모니터링하는 시스템 및 방법에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to an online pollution monitoring system and method, and more particularly, to a system and method for on-line monitoring of contamination of a chemical in use in a semiconductor manufacturing process in real time.

현재 반도체 제조 공정 등 첨단 제조 산업에 있어 극미량의 오염은 수율과 생산성의 가장 중요한 요인이 되고 있다. 이에 따라 생산 공정 중 실시간에 준하여 극미량인 오염원의 분석을 실시할 수 있다면, 오염에 의해 대량의 불량이 발생되는 것을 방지함으로써 수율 향상 및 생산성 증대를 꾀할 수 있다.Currently, trace amounts of contamination are the most important factors in yield and productivity in advanced manufacturing industries such as semiconductor manufacturing processes. Accordingly, if it is possible to analyze a very small amount of contaminants in real time in the production process, it is possible to prevent the occurrence of a large amount of defects due to contamination, thereby improving yield and productivity.

그런데, 반도체 등 제조업체의 생산 장비는 대규모 생산라인에 분산 배치되고, 케미컬 제조 업체 또한 탱크 간 이격 거리가 멀어서, 케미컬에 대해 모니터링이 필요한 포인트는 넓은 영역에 산재해 있다. 케미컬의 모니터링을 위해서는 이와 같이 산재되어 있는 각 모니터링 포인트마다 분석기를 설치할 수 있으나, 이는 상당한 고가인 분석기에 대한 막대한 투자를 수반하게 되는 문제가 있다.However, production equipment from semiconductor manufacturers is dispersed in large-scale production lines, and chemical manufacturers are also far from the tank, so that there are many points that need to be monitored for chemicals. For chemical monitoring, it is possible to install an analyzer for each of these scattered monitoring points, but this involves a considerable investment in expensive analyzers.

이러한 문제에 대한 해결책으로서, 하나의 분석기를 대략 모니터링 포인트들의 중간 거리에 설치 후 각 포인트들에서 시료를 채취한 후 분석기로 전달하는 샘플링 유닛을 설치하면 고가의 분석기를 공유하는 시스템을 구성할 수 있다. 그런데, 이와 같이 채취된 시료를 분석기까지 전달하여 분석하는 시스템의 신뢰성 또는 효율성이 떨어진다면, 이러한 토폴로지를 적용할 수 없는 문제가 있다.As a solution to this problem, it is possible to construct a system sharing an expensive analyzer by installing a sampling unit for sampling one analyzer at approximately the midpoint of the monitoring points and then transferring the sample to each analyzer at each point . However, if the reliability or efficiency of a system for analyzing and delivering the sampled samples to the analyzer drops, there is a problem that such a topology can not be applied.

이상 종래 기술의 문제점 및 과제에 대하여 설명하였으나, 이러한 문제점 및 과제에 대한 인식은 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것은 아니다.While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments.

본 발명의 목적은 복수의 모니터링 포인트로부터 분석기까지 시료를 전달하여 분석하되, 신뢰성과 효율성을 담보할 수 있는 온라인 오염 모니터링 시스템 및 방법을 제공하기 위한 것이다.It is an object of the present invention to provide an online pollution monitoring system and method capable of delivering and analyzing samples from a plurality of monitoring points to an analyzer, while assuring reliability and efficiency.

본 발명의 일 양상에 따른 온라인 오염 모니터링 시스템은, 케미컬이 사용, 저장 또는 공급되는 포인트에 연결된 라인을 통하여 상기 케미컬을 도입하고 전송할 샘플(이하 '전송 샘플'이라 한다)을 생성하는 샘플링 유닛; 상기 샘플링 유닛으로부터 상기 전송 샘플을 수신하여 분석기로써 분석하는 메인 시스템;을 포함하되, 상기 메인 시스템은 분산 배치된 복수의 상기 샘플링 유닛과 전송 라인을 통해 방사상으로 연결되며, 상기 전송 라인 내에서 상기 전송 샘플은 비반응성 가스가 전·후로 위치하여 캡슐화된 상태로 전송되는 것을 특징으로 한다.An on-line contamination monitoring system according to one aspect of the present invention includes: a sampling unit for generating a sample (hereinafter referred to as a "transfer sample") for introducing and transmitting the chemical through a line connected to a point at which the chemical is used, stored or supplied; And a main system for receiving the transmission samples from the sampling unit and analyzing the transmission samples with an analyzer, wherein the main system is radially connected to a plurality of the distributed sampling units via a transmission line, The sample is characterized in that the non-reactive gas is located before and after the non-reactive gas and is transmitted in an encapsulated state.

상기 온라인 오염 모니터링 시스템에 있어서, 상기 샘플링 유닛은, 상기 도입되는 케미컬을 초순수로써 희석함으로써 점도를 낮춘 상기 전송 샘플을 생성할 수 있다.In the on-line contamination monitoring system, the sampling unit may generate the transfer sample with reduced viscosity by diluting the introduced chemical with ultrapure water.

상기 온라인 오염 모니터링 시스템에 있어서, 상기 메인 시스템은, 상기 전송 샘플을 전처리 베슬에 수용한 상태에서 상기 전송 샘플의 액체를 증발시켜 오염물을 남기고 남은 오염물을 회수 용액으로써 회수한 샘플(이하 '회수 샘플'이라 한다)을 생성하는 전처리부;를 포함한다.In the on-line contamination monitoring system, the main system includes a sample (hereinafter referred to as a "recovered sample") obtained by evaporating the liquid of the transfer sample in the state where the transfer sample is accommodated in the pretreatment vessel, And a preprocessing unit for generating the preprocessing unit.

상기 온라인 오염 모니터링 시스템에 있어서, 상기 샘플링 유닛으로 검증 용액을 공급하는 검증 용액 공급부;를 더 포함하며, 상기 전송 샘플을 상기 분석기로써 분석한 결과 오염이 검출되면, 상기 샘플링 유닛은 상기 검증 용액을 상기 전송 라인을 통해 전송하여 상기 분석기로써 검증토록 한다.Wherein the sampling unit is operable to detect the contamination of the transmission sample by the analyzing unit, wherein the sampling unit detects the contamination of the transmission sample by the sampling unit, And transmitted via a transmission line to be verified by the analyzer.

본 발명의 일 양상에 따른 온라인 오염 모니터링 방법은, 케미컬이 사용, 저장 또는 공급되는 지점에 연결된 라인을 통하여 상기 케미컬을 도입하고 전송할 샘플(이하 '전송 샘플'이라 한다)을 생성하는 샘플링 유닛; 상기 샘플링 유닛으로부터 상기 전송 샘플을 수신하여 분석기로써 분석하는 메인 시스템;을 포함하되, 상기 메인 시스템은 분산 배치된 복수의 상기 샘플링 유닛과 전송 라인을 통해 방사상으로 연결되며, 상기 전송 라인 내에서 상기 전송 샘플은 비반응성 가스가 전·후로 위치하여 캡슐화된 상태로 전송되는 온라인 오염 모니터링 시스템에서 수행되는 온라인 오염 모니터링 방법으로서, 상기 메인 시스템이 상기 전송 샘플을 수신하여 분석하는 제 1 단계; 상기 제 1 단계에서의 분석 결과 오염이 검출되면, 상기 샘플링 유닛은 검증 용액을 상기 전송 라인을 통해 전송하고 상기 메인 시스템이 분석하는 제 2 단계; 상기 제 2 단계에서의 분석 결과가 상기 검증 용액에 대한 예상과 상이하면 상기 오염 모니터링 시스템의 이상으로 판단하는 제 3-1 단계;를 포함한다.An on-line contamination monitoring method according to an aspect of the present invention includes: a sampling unit for generating a sample (hereinafter, referred to as a 'transfer sample') for introducing and transferring the chemical through a line connected to a point where the chemical is used, stored or supplied; And a main system for receiving the transmission samples from the sampling unit and analyzing the transmission samples with an analyzer, wherein the main system is radially connected to a plurality of the distributed sampling units via a transmission line, An on-line contamination monitoring method performed in an on-line contamination monitoring system in which a sample is placed in front of and behind a non-reactive gas and transferred in an encapsulated state, the method comprising: a first step of the main system receiving and analyzing the transmission sample; A second step of, when the contamination is detected as a result of the analysis in the first step, the sampling unit transmitting the verification solution through the transmission line and analyzing by the main system; And a third step of determining that the pollution monitoring system is abnormal if the result of the analysis in the second step is different from the prediction of the verification solution.

본 발명의 일 양상에 따른 온라인 오염 모니터링 시스템 및 방법은 복수의 모니터링 포인트로부터 분석기까지 시료를 전달하여 분석하되, 신뢰성과 효율성을 담보할 수 있는 효과가 있다.An on-line pollution monitoring system and method according to one aspect of the present invention has an effect of transferring and analyzing samples from a plurality of monitoring points to an analyzer, thereby ensuring reliability and efficiency.

본 발명의 일 양상에 따르면, 도입되는 케미컬을 캡슐화 방법으로 전송할 때 초순수로써 희석함으로써 점도를 낮춘 전송 샘플을 생성하여 전송하며, 이에 따라 보다 원활하고 효율적이며 신뢰성 있게 샘플을 전송할 수 있는 효과가 있다.According to one aspect of the present invention, when an introduced chemical is transferred by an encapsulation method, it is diluted with ultrapure water to generate a transfer sample having a reduced viscosity, thereby transferring the sample smoothly, efficiently, and reliably.

본 발명의 일 양상에 따르면, 전처리 베슬을 적외선 투과성 재질로 하고 전처리 베슬을 가열하는 히터를 램프 타입으로 함으로써, 전처리 베슬의 온도를 크게 증가시키지 않아서 신속한 냉각이 가능하며, 이에 따라 샘플의 신속한 오염 분석이 가능하게 되는 효과가 있다.According to one aspect of the present invention, the pretreatment vessel is made of an infrared ray permeable material and the heater for heating the pretreatment vessel is made into a lamp type, so that the temperature of the pretreatment vessel is not greatly increased and rapid cooling is possible. This is effective.

본 발명의 일 양상에 따르면, 샘플의 용액에 대한 증발과 회수 용액을 이용한 회수를 수행하여 매트릭스의 성분 및 밀도 등을 동일하게 하며, 나아가 이러한 과정을 오픈된 상태가 아닌 밀폐된 상태로 자동 수행함으로써, 분석의 정확도를 기하는 동시에 안전성을 도모할 수 있는 효과가 있다. According to one aspect of the present invention, evaporation of a solution of a sample and recovery using a recovery solution are performed to make the components and density of the matrix the same, and furthermore, this process is automatically performed in a closed state , There is an effect that the accuracy of analysis and safety can be improved.

본 발명의 일 양상에 따르면, 샘플링 유닛으로 검증 용액을 공급하는 검증 용액 공급부를 구비하고, 전송 샘플을 분석기로써 분석한 결과 오염이 검출되면, 샘플링 유닛이 검증 용액을 동일한 전송 라인을 통해 전송하여 분석기로써 검증토록 함으로써, 잘못된 오염 경보에 따른 생산 중단을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.According to one aspect of the present invention, there is provided an analyzing apparatus including a verification solution supply unit for supplying a verification solution to a sampling unit, and when a contamination is detected as a result of analyzing a transmission sample by an analyzer, the sampling unit transmits the verification solution through the same transmission line, It is possible to prevent the production interruption due to the false pollution warning in advance.

도 1은 본 발명의 온라인 오염 모니터링 시스템의 전체 토폴로지를 예를 들어 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 전송 라인(300)과 전송 라인(300)을 통하여 전송되고 있는 전송 샘플(A)을 도시한 예시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 샘플링 유닛(100)의 구성도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 메인 시스템(200)의 구성을 도시한 블럭도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 전처리부(220)의 구성을 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 도입부(230)의 구성을 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 검증용액 공급부(260)의 구성을 도시한 도면이다.1 is a diagram illustrating an overall topology of an online pollution monitoring system according to the present invention.
2 is an exemplary diagram showing a transmission sample A being transmitted through a transmission line 300 and a transmission line 300 according to an embodiment of the present invention.
3 is a configuration diagram of a sampling unit 100 according to an embodiment of the present invention.
4 is a block diagram showing a configuration of a main system 200 according to an embodiment of the present invention.
5 is a diagram illustrating the configuration of the preprocessing unit 220 according to an embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a view showing a configuration of an introduction part 230 according to an embodiment of the present invention.
7 is a view showing a configuration of a verification solution supply unit 260 according to an embodiment of the present invention.

첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 명칭 및 도면 부호를 사용한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The above and other features and advantages of the present invention will become more apparent by describing in detail exemplary embodiments thereof with reference to the attached drawings in which: FIG. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. In order to clearly illustrate the present invention in the drawings, parts not related to the description are omitted, and similar names and reference numerals are used for similar parts throughout the specification.

도 1은 본 발명의 온라인 오염 모니터링 시스템의 전체 토폴로지를 예를 들어 도시한 도면이다.1 is a diagram illustrating an overall topology of an online pollution monitoring system according to the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 온라인 오염 모니터링 시스템은, 분산 배치되어 있는 복수의 샘플링 유닛(100)과, 분산 배치된 복수의 샘플링 유닛(100)들과 전송 라인(300)을 통해 방사상으로 연결되어 있는 메인 시스템(200)과, 샘플링 유닛(100)과 메인 시스템(200)의 사이를 연결하는 전송 라인(300)을 포함하여 구성된다.An online pollution monitoring system according to an embodiment of the present invention includes a plurality of sampling units 100 dispersed and arranged and a plurality of sampling units 100 dispersed and arranged in a radial connection with a transmission line 300 And a transmission line 300 connecting between the sampling unit 100 and the main system 200. The main system 200 includes a transmission line 300,

샘플링 유닛(100)은 케미컬(주로 액체 상태이다)이 사용, 저장 또는 공급되는 포인트, 즉 모니터링 포인트에 연결된 도입 라인(미도시)을 통하여 케미컬을 도입하며, 전송 라인(300)을 통해 전송할 샘플(이하 '전송 샘플'이라 한다)을 생성한다.The sampling unit 100 introduces a chemical through a point of use, storage or supply of a chemical (mainly liquid), i. E. An introduction line (not shown) connected to the monitoring point, Hereinafter referred to as a " transmission sample ").

모니터링 포인트는 예를 들면, 반도체 제조 공장의 FAB Area, Service Area 또는 Chemical Supply Area에 있는 Wet Porcess 장비, Chemical 공급 장치, 배관, 탱크(Tank) 등일 수 있으며, 케미컬 제조 공장의 공정 설비, 배관, 탱크(Tank) 등일 수 있다.The monitoring point can be, for example, a wet process equipment, a chemical supply device, a pipe, a tank, etc. in a FAB area, a service area or a chemical supply area of a semiconductor manufacturing factory, (Tank) or the like.

샘플링 유닛(100)은 모니터링 포인트의 근방에 위치하여 사용, 저장 또는 공급되고 있는 케미컬의 샘플을 자동 채취하고 빠른 시간에 샘플을 분석기가 있는 메인시스템으로 전달한다. 샘플링 유닛(100)의 구체적인 구성에 대해서는 도 3과 그 설명 부분에서 후술한다.The sampling unit 100 is located near the monitoring point and automatically samples the used, stored, or supplied chemical and delivers the sample to the main system with the analyzer in a short period of time. The specific configuration of the sampling unit 100 will be described later with reference to FIG. 3 and the description thereof.

메인 시스템(200)은 샘플링 유닛(100)으로부터 전송 라인(300)을 통하여 전송 샘플을 수신하여 분석기로써 분석한다. 메인 시스템(200)은 다수의 샘플링 유닛(100)에서 샘플을 전달받아 분석이 진행되며, 분석 결과 오염의 여부, 오염물의 종류 또는 오염물의 농도/함량 중 하나 이상을 보고하며, 사용자에게 경보할 수 있다.The main system 200 receives the transmission samples from the sampling unit 100 through the transmission line 300 and analyzes them as an analyzer. The main system 200 receives samples from the plurality of sampling units 100 and analyzes the result. As a result of the analysis, the main system 200 reports one or more of contamination, type of contaminants or concentration / content of contaminants, have.

모니터링 포인트로부터 메인시스템에 이르는 이송 과정과 메인 시스템내의 이송 과정은 모두 close system 이며, on-line delivery 구조로 진행된다.The transfer process from the monitoring point to the main system and the transfer process in the main system are both close systems and proceed with the on-line delivery structure.

한편, 온라인 오염 모미터링 시스템의 효율성을 높이기 위해서는 하나의 메인 시스템(200)에 보다 많은 샘플링 유닛(100)이 연결될 필요가 있으며, 이에 따라 샘플링 유닛(100)으로부터 메인 시스템(200)에 이르는 거리가 100 미터 내지 300 미터까지 이를 수 있다.Meanwhile, in order to increase the efficiency of the online pollution modeling system, more sampling units 100 need to be connected to one main system 200, so that the distance from the sampling unit 100 to the main system 200 It can range from 100 meters to 300 meters.

종래 액체 상태인 케미컬의 샘플을 장거리 전송하는 방법은 크게 2가지 정도가 알려져 있다.Conventionally, there are two known methods for long-distance transmission of a chemical sample in a liquid state.

첫번째 방법은 단거리 전송에서처럼 전송 라인을 모두 채우면서 이송하는 방식이다. 그런데 이와 같은 방식의 신뢰성은 높지만 채취해야 할 샘플의 양이 전송 거리에 비례하여 엄청나게 커지는 문제가 있어서 비효율적인 문제가 있다.The first method is to transfer and fill the transmission line as in short-distance transmission. However, although the reliability of such a method is high, there is a problem in that the amount of samples to be sampled becomes enormous in proportion to the transmission distance, which is inefficient.

두번째 방법은 액체 상태인 케미컬을 기화하고 기화된 샘플을 전송하는 방식으로서, 이와 같은 방식은 효율성을 높일 수 있는 장점은 있으나 케미컬에 포함된 오염물(주로 금속 성분이다)이 전송 과정중 전송 라인에 흡착되는 문제가 있다. The second method is to vaporize the liquid chemical and transfer the vaporized sample. This method has the advantage of improving the efficiency but the contaminant (mainly metal) contained in the chemical is adsorbed to the transmission line during the transfer process There is a problem.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 전송 라인(300)과 전송 라인(300)을 통하여 전송되고 있는 전송 샘플(A)을 도시한 예시도이다.2 is an exemplary diagram showing a transmission sample A being transmitted through a transmission line 300 and a transmission line 300 according to an embodiment of the present invention.

본 발명에 따르면, 샘플을 전송 라인으로 보내되 전송 라인(300) 내에서 액체 상태의 전송 샘플(A)은 고압의 비반응성 가스(G)가 전·후로 위치하여 캡슐화된 상태로 전송된다. 비반응성 가스는 N₂ 또는 Ar 등일 수 있다. 전송 샘플은 양쪽에 위치하는 고압의 비반응성 가스에 의해 가압되며, 전송 라인(300)의 내에서 전송 샘플은 캡슐화된 상태를 유지하게 되고 단속적으로 전송된다.According to the present invention, the sample is sent to the transmission line, and the sample (A) in the liquid state in the transmission line 300 is transferred in an encapsulated state in which the high-pressure non-reactive gas (G) is positioned before and after. The non-reactive gas may be N ₂ or Ar or the like. The transmission sample is pressurized by the high pressure non-reactive gas located on both sides, and the transmission sample in the transmission line 300 is maintained in the encapsulated state and is intermittently transmitted.

전송 라인의 내경(d)은 0.5 mm ~ 1.6 mm 로서, 내경이 너무 큰 경우에는 캡슐화된 전송 샘플이 깨지는 문제가 있으며, 내경이 너무 작은 경우에는 전송량이 작아서 전송 효율이 떨어지는 문제가 있다. The inner diameter d of the transmission line is 0.5 mm to 1.6 mm. If the inner diameter is too large, the encapsulated transmission sample is broken. If the inner diameter is too small, the transmission amount is small and the transmission efficiency is low.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 샘플링 유닛(100)의 구성도이다.3 is a configuration diagram of a sampling unit 100 according to an embodiment of the present invention.

샘플링 유닛(100)은 DI 베슬(Vessel)(110), 샘플 베슬(Vessel)(120), 인젝션 밸브(130), 센서(S11, S12, S13) 및 게이트 밸브(V11~V18)를 포함하여 구성된다. The sampling unit 100 includes a DI vessel 110, a sample vessel 120, an injection valve 130, sensors S11, S12, and S13, and gate valves V11 through V18. do.

샘플링 유닛은 모니터링 포인트에 연결된 라인을 통해 온라인으로 케미컬을 도입하며, 도입되는 케미컬을 그대로 또는 초순수로써 희석함으로써 점도를 낮추어서 전송 샘플을 생성하고, 생성된 전송 샘플을 전송 라인(300)을 통하여 전송하는 기능을 수행한다. 또한, 샘플링 유닛은 샘플링 유닛의 근방 또는 메인 시스템(200)에 위치하는 검증 용액 공급부(260; 도 4 및 도 7 참조)로부터 검증 용액을 공급받아서 역시 전송 라인(300)을 통해서 전송하는 기능을 수행한다.The sampling unit introduces the chemical on-line through the line connected to the monitoring point, creates a transmission sample by lowering the viscosity by diluting the introduced chemical as it is or ultrapure water, and transmits the generated transmission sample through the transmission line 300 Function. The sampling unit also functions to receive the verification solution from the verification solution supply unit 260 (see FIGS. 4 and 7) located in the vicinity of the sampling unit or the main system 200 and to transmit the verification solution through the transmission line 300 do.

DI 베슬(110)은 게이트 밸브(V15)를 통하여 초순수를 공급받고 초순수의 정량를 일시 저장할 수 있으며, 또는 N₂ 등의 비반응성 가스는 게이트밸브(V16)를 통하여 DI 베슬(110)에 일시 저장된 초순수를 밀수 있다. 샘플 베슬(120) 및 DI 베슬(110)은 coil 또는 container 등의 형상일 수 있으며 정량적인 체적(volume)을 가질 수 있다.DI vessel 110 can receive supply of ultrapure water through a gate valve (V15) to store jeongryangreul date and time of the ultra-pure water, or ultrapure water temporarily stored in the DI vessel 110 is a non-reactive gas such as N _2, through the gate valve (V16) Can smuggle. The sample vessel 120 and the DI vessel 110 may be in the form of a coil or a container and may have a quantitative volume.

바람직하게 DI 베슬 및 샘플 베슬은 코일 모양의 베슬이며, 특히 샘플 베슬을 코일 모양으로 함으로써, 일시 저장되었던 케미컬을 DI 베슬을 통해 공급되는 초순수로 세정할 때 신속하게 세정을 수행할 수 있다. Preferably, the DI and sample vessels are coil shaped vessels, and in particular, by having the sample vessels in the shape of a coil, cleaning can be performed quickly when the temporarily stored chemical is cleaned with ultra pure water supplied through the DI-bar.

샘플 베슬(120)은 게이트 밸브(V17)를 통해 모니터링 포인트로부터 도입되는 케미컬의 정량을 일시 저장할 수 있다.The sample vessel 120 may temporarily store a quantity of the chemical introduced from the monitoring point via the gate valve V17.

센서(S11,S12,S13)는 광센서 또는 근접센서로서, 적어도 초순수, 케미컬 또는 검증용액 등의 액체와 N₂ 등의 비반응성 가스를 서로 구분하여 감지할 수 있다. The sensors S11, S12, and S13 are optical sensors or proximity sensors, and can detect at least liquids such as ultrapure water, chemical, or verification solution and nonreactive gases such as N ₂ separately.

인젝션 밸브(130)는 예를 들면 6 포트를 가지고 2 개의 포트에는 딜리버리 루프(Delivery Loop)(140)의 양단이 연결되며, N₂ 등의 가압된 비반성성 가스를 공급받는 포트, 드레인(Drain)과 연결되는 포트, 전송 라인(300)과 연결되는 포트, 게이트 밸브(V18)를 통하여 샘플 루프(120)와 연결되는 포트를 가진다.The injection valve 130 has six ports, for example, two ports are connected to both ends of a delivery loop 140, and a port for receiving a pressurized non-flammable gas such as N ₂ , a drain, A port connected to the transmission line 300, and a port connected to the sample loop 120 through a gate valve V18.

인젝션 밸브(130)는 메인 시스템(200)에 있는 제어부(250) 등의 제어에 따라 로드 포지션(Load Position)과 딜리버리 포지션(Delivery Position)의 2개 포지션을 스위칭한다. 딜리버리 루프(140)의 부피는 샘플 베슬(120)의 부피 또는 샘플 베슬(120)과 DI 베슬(110)을 합한 부피보다 큰 것이 바람직하다.The injection valve 130 switches two positions of a load position and a delivery position according to the control of the controller 250 and the like in the main system 200. [ The volume of the delivery loop 140 is preferably greater than the volume of the sample vessel 120 or the combined volume of the sample vessel 120 and DI vessel 110.

DI 베슬(110), 샘플 베슬(120) 및 딜리버리 루프(140)는 하나 이상의 게이트 밸브와 인젝션 밸브(인젝션 밸브가 로드 포지션일 때)를 개재하여 직렬로 연결되되, DI 베슬, 샘플 베슬 및 딜리버리 루프의 순서로 연결되어 있다. 이에 따라 DI 베슬(110)에 일시 저장된 초순수와 샘플 베슬(120)에 일시 저장된 케미컬을 딜리버리 루프(140)로 보내서 채울 때, 초순수가 샘플 베슬(120)의 케미컬을 세정하면서 케미컬을 남기지 않으면서 모두 딜리버리 루프(140)로 보낼 수 있게 된다. 샘플 베슬(120)에 케미컬을 일시 저장할 때 정해진 양이 저장되는 바, 중간에 손실(Loss)이 있다면 바람직하지 않을 수 있으나 상기한 구조에 따르면 남김 없이 모두 딜리버리 루프(140)로 보낼 수 있게 된다.The DI vessel 110, the sample vessel 120 and the delivery loop 140 are connected in series via one or more gate valves and an injection valve (when the injection valve is at the load position), and the DI vessel, the sample vessel and the delivery loop . Accordingly, when ultrapure water temporarily stored in the DI vessel 110 and chemical temporarily stored in the sample vessel 120 are sent to the delivery loop 140, ultrapure water can be supplied to the sample vessel 120 without cleaning the chemical of the sample vessel 120 To the delivery loop 140. When a chemical is temporarily stored in the sample vessel 120, a predetermined amount is stored. If there is a loss in the middle, it may be undesirable. However, according to the structure described above, all of the chemicals can be sent to the delivery loop 140.

이하, 샘플링 유닛(100)의 동작에 관하여 살펴본다.Hereinafter, the operation of the sampling unit 100 will be described.

먼저, 모니터링 포인트로부터 게이트 밸브(V17)을 통하여 케미컬을 도입하되, 게이트 밸브(V11, V14, V17)을 오픈한다. 케미컬의 도입은 케미컬 자체에 부여된 양압에 의해, 또는 Drain에 설치되는 펌프(미도시) 등의 사용에 의해 실행될 수 있다. 도입의 초기 단계에서 도입된 케미컬은 샘플 베슬(120)을 지나서 게이트 밸브(V14) 및 게이트 밸브(V 11)을 통과하여 Drain으로 배출될 수 있으며, 일정량을 버린후 게이트 밸브를 닫아서 샘플 베슬(120)의 체적에 해당하는 양을 채우게 된다(정확히는 인접하는 게이트 밸브 사이에 있는 공간에 해당하는 양이 될 것이나, 실제 구현에서는 샘플 베슬과 이웃하는 게이트 밸브 사이의 거리가 매우 가깝게 설계된다). 케미컬이 정상적으로 도입되는 상황은 센서(S12)를 통해 확인할 수 있다.First, the chemical is introduced from the monitoring point via the gate valve V17, and the gate valves V11, V14 and V17 are opened. The introduction of the chemical can be carried out by the positive pressure given to the chemical itself or by the use of a pump (not shown) installed in the drain. The chemical introduced in the initial stage of introduction may be discharged to the drain through the gate valve V14 and the gate valve V11 after passing through the sample vessel 120. After the predetermined amount is discarded, the gate valve is closed and the sample vessel 120 ) (Which is exactly equivalent to the space between adjacent gate valves, but in actual implementation the distance between the sample vessel and the adjacent gate valve is designed to be very close). A situation in which the chemical is normally introduced can be confirmed through the sensor S12.

그리고 케미컬을 샘플 베슬(120)에 채우기 전, 게이트 밸브(V16, V12, V14, V18)를 열고 인젝션 밸브(130)을 로드 포지션으로 한 상태에서, N₂와 같은 비반응성 가스를 이용해 DI 베슬(110) 및 샘플 베슬(120)을 비울 수 있다.And before filling the chemical in the sample vessel 120, open the gate valves (V16, V12, V14, V18) in a state of the injection valve 130 to the loaded position, DI vessel using a non-reactive gas such as N ₂ ( 110 and the sample vessel 120 may be emptied.

희석이 필요한 경우에는 초순수(DI)를 DI 베슬(110)에 채워서 이용한다. 게이트 밸브(V15,V12,V11)를 열어서 초기에는 초순수가 DI 베슬(110)을 통해서 Drain으로 흐르게 하며 일정량을 버린 후 게이트 밸브를 닫아서 초순수를 DI 베슬(110)에 채운다.When dilution is required, DI water (DI) is filled in the DI vessel (110). The gate valve (V15, V12, V11) is opened so that ultrapure water flows to the drain through the DI bezel 110. After the predetermined amount is removed, the gate valve is closed to fill the DI bezel 110 with ultrapure water.

희석비는 샘플 베슬과 DI 베슬의 부피비를 통해 설정될 수 있으며, 채워진 케미컬과 초순수는 하단의 인젝션 밸브(130)에 연결된 딜리버리 루프(140)에 이동되어 채워지게 된다. 채우는 방식은 그림과 같이 N₂ 등 가스 가압 또는 펌프 등을 사용할 수 있으며, 인젝션 밸브(130)의 위치는 로드 포지션(load position)이어야 하고, 샘플이 딜리버리 루프(140)에 채워지는 상황은 센서(S13)에 의해 감지될 수 있다. 이와 같이 인젝션 밸브(130)의 로드 포지션에서 샘플 베슬(120)에 일시 저장된 케미컬과 DI 베슬(110)에 일시 저장된 초순수를 딜리버리 루프(140)로 이동시키고 채워서 전송 샘플이 되게 한다.The dilution ratio can be set through the volume ratio of the sample vessel and the DI vessel, and the filled chemical and ultrapure water are moved to and filled in the delivery loop 140 connected to the injection valve 130 at the lower stage. Filling method is the situation filled with the N _2, gas pressure, or may be used to pump or the like, the position of the injection valve 130 is a load position (load position) should be, and the sample delivery loop 140 as shown in the figure are sensors ( S13). In this way, the temporarily stored chemical in the sample vessel 120 and the ultrapure water temporarily stored in the DI vessel 110 are moved to the delivery loop 140 and filled in the load position of the injection valve 130 to be a transfer sample.

본 발명의 일 특징은 선택적으로 케미컬의 샘플을 희석하여 전송하는 점이다. 샘플링 유닛(100)은 도입되는 케미컬을 선택적으로 초순수로써 희석함으로써 점도를 낮춘 전송 샘플을 생성하여 전송한다. 황산, 인산 등과 같은 케미컬은 점도가 높으며 이를 그냥 본 발명의 캡슐화 방법으로 전송하면 잘 밀리지 않아서 전송에 많은 시간이 걸리고 전송중 로스(Loss)가 생길 수 있는 문제가 있다. 본 발명의 일 특징에 따르면 캡슐화 방법으로 전송할 때 황산, 인산 등과 같은 케미컬의 샘플을 희석하여 전송하면, 보다 원활하고 효율적이며 신뢰성 있게 샘플을 전송할 수 있는 효과가 있다. One feature of the present invention is the selective transmission of a sample of the chemical by dilution. The sampling unit 100 generates and transmits a low-viscosity transmission sample by selectively diluting the introduced chemical with ultra-pure water. Sulfuric acid, phosphoric acid, and the like have a high viscosity, and if they are simply transferred by the encapsulation method of the present invention, there is a problem that a long time is required for transmission and a loss may occur during transmission. According to one aspect of the present invention, when a sample of a chemical such as sulfuric acid, phosphoric acid, or the like is diluted and transmitted when it is transmitted by the encapsulation method, the sample can be transmitted smoothly, efficiently, and reliably.

그리고, 디리버리 루프(140)에 채워진 전송 샘플은 전송 라인(300)을 통해 대부분 장거리를 빠르게 전송되어 메인시스템(200)으로 전달된다. 이를 위해 먼저 인젝션 밸브(130)는 딜리버리 포지션(Delivery Position)으로 스위칭되며, 딜리버리 포지션의 상태에서 도면 하측에 도시된 바와 같이, N₂ 또는 Ar 등의 비반응성 가스를 고압으로 가압하면 딜리버리 루프에 있는 전송 샘플이 전송 라인(300)을 통해 전송된다. 인젝션 밸브(130)의 딜리버리 포지션에서 딜리버리 루프(140)에 채워진 전송 샘플을 비반응성 가스로 밀어서 전송 라인(300)을 통해 전송된다. 그리고 이때 전송라인(300) 내에서 전송샘플(A)의 상황은 도 2를 통해서 설명한 바와 같다.The transmission samples filled in the divergence loop 140 are transmitted through the transmission line 300 to the main system 200 for a long distance. To this end, the injection valve 130 is first switched to a delivery position. When the non-reactive gas such as N ₂ or Ar is pressurized to a high pressure in the delivery position as shown in the lower side of the drawing, A transmission sample is transmitted over transmission line 300. And is transmitted through the transmission line 300 by pushing the transmission sample filled in the delivery loop 140 to the non-reactive gas at the delivery position of the injection valve 130. The situation of the transmission sample A in the transmission line 300 at this time is as described with reference to FIG.

한편, 검증을 위하여 샘플링 유닛(100)은 근처에 있거나 메인 시스템(200)에 있는 검증 용액 공급부(260)으로부터 게이트 밸브(V13)을 통하여 검증 용액을 딜리버리 루프(140)에 채울 수 있으며, 이때에는 게이트 밸브(V13, V14, V18)를 열고 인젝션 밸브(130)를 로드 포지션으로 한 상태에서 검증 용액을 딜리버리 루프(140)에 채울 수 있다. 검증 용액은 예를 들어 특정한 케미컬에 오염물이 들어가 있는 것으로서 오염물의 종류 및 농도를 미리 알고 있는 표준용액이다.Meanwhile, the sampling unit 100 may fill the delivery loop 140 with the verification solution through the gate valve V13 from the verification solution supply unit 260 in the vicinity of the main system 200, The verification solution can be filled into the delivery loop 140 with the gate valves V13, V14 and V18 opened and the injection valve 130 at the load position. The verification solution is, for example, a standard solution containing contaminants in a specific chemical and knowing the kind and concentration of the contaminant in advance.

그리고 전송 샘플을 전송한 이후, 샘플링 유닛(100)의 내부 유로는 초순수 또는 케미컬을 통해 세정될 수 있다. 예를 들면 게이트 밸브(V16, V12, V14, V18)를 열고 인젝션 밸브(130)를 로드 포지션으로 한 상태에서 초순수(DI)를 Drain으로 흘려서 세정할 수 있다.After transferring the transfer sample, the internal flow path of the sampling unit 100 may be cleaned through ultrapure water or chemical. For example, the gate valve V16, V12, V14, and V18 are opened and the injection valve 130 is set to the load position, and the ultra-pure water DI is drained to the drain.

전송 샘플의 전송 이후, 전송 라인(300)은 초순수 또는 케미컬을 이용해 세정할 수 있다. 예를 들면, 초순수를 딜리버리 루프(140)에 로딩한 후 전송하는 과정을 수회 반복하는 방법을 수행할 수 있다. 그리고 하나의 샘플링 유닛(100)은 복수의 모니터링 포인트로부터 샘플을 취하여 전송할 수 있도록, 도 3에 도시된 구성을 복수개 구비할 수 있다.After transmission of the transmission sample, the transmission line 300 may be cleaned using ultra pure water or chemical. For example, it is possible to perform a method of repeating a process of loading ultrapure water into the delivery loop 140 and then transmitting the ultrapure water several times. And one sampling unit 100 may include a plurality of configurations shown in FIG. 3 so that samples can be taken from a plurality of monitoring points and transmitted.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 메인 시스템(200)의 구성을 도시한 블럭도이다.4 is a block diagram showing a configuration of a main system 200 according to an embodiment of the present invention.

메인 시스템(200)은 샘플 수신부(210), 전처리부(220), 도입부(230), 분석기(240), 제어부(250) 및 검증용액 공급부(260)를 포함하여 구성된다.The main system 200 includes a sample receiving unit 210, a preprocessing unit 220, an introduction unit 230, an analyzer 240, a control unit 250, and a verification solution supply unit 260.

샘플 수신부(210)는 전송 라인(300)을 통해 연결되는 복수의 샘플링 유닛(100)으로부터 전송 샘플을 수신한다. 예를 들면, 샘플 수신부(210)는 전송 라인(300)의 일단 또는 이로부터 연장하는 라인이 내부로 드리워진 실린더형의 베슬(이하 미도시)과 베슬로부터 후술할 전처리부(220)로 수신된 전송 샘플을 이송할 라인등을 포함할 수 있으며, 전송라인의 갯수에 대응하거나 전송라인의 그룹별로 대응하는 갯수의 베슬이 구비될 수 있다.The sample receiving unit 210 receives transmission samples from a plurality of sampling units 100 connected through a transmission line 300. For example, the sample receiving unit 210 receives a signal from a cylinder (not shown in the drawing) and a line extending from one end of the transmission line 300 or extending therefrom into a pre-processing unit 220 A line to which the transmission samples are to be transferred, and the like, and may correspond to the number of the transmission lines or may correspond to a corresponding number of the transmission lines.

전처리부(220)는 샘플 수신부(210)에 연결되며, 샘플 수신부(210)로부터 이송받은 전송 샘플을 전처리 베슬에 수용한 상태에서 전송 샘플의 액체를 증발시켜 오염물을 남기고 남은 오염물을 회수 용액으로써 회수한 샘플(이하 '회수 샘플'이라 한다)을 생성한다.The preprocessing unit 220 is connected to the sample receiving unit 210 and evaporates the liquid of the transfer sample in a state in which the transfer sample received from the sample receiving unit 210 is accommodated in the pretreatment vessel, And generates one sample (hereinafter referred to as a "number of samples").

도입부(230)는 전처리부(220)의 후단에 위치하고 회수 샘플의 정량을 분석기(240)로 도입하며, 기타 분석기(240)의 캘리브레이션을 위한 표준 용액의 공급과 선택적으로 초순수로써 회수 샘플을 희석하는 기능을 수행한다.The inlet 230 is located at the downstream end of the preprocessor 220 and introduces a quantitation of the recovered sample into the analyzer 240 and the supply of the standard solution for calibration of the other analyzer 240 and optionally the dilution of the recovered sample with ultra- Function.

분석기(240)는 샘플내에 존재하는 물질을 분석하는 공지의 장비로서, 오염 여부, 오염물의 종류, 오염물의 농도 또는 함량 등을 분석할 수 있으며 HPIC, ICP-MS, ICP-AES, AAS, HPLC, CE, UV-vis, Fluorescence 등일 수 있으며, ICP-MS가 선호될 수 있다. The analyzer 240 is a known device for analyzing the substances present in the sample. The analyzer 240 can analyze the contamination, the type of the contaminant, the concentration or the content of the contaminant, and the HPIC, ICP-MS, ICP- CE, UV-vis, Fluorescence, etc., and ICP-MS may be preferred.

제어부(250)는 메인 시스템(200)의 각 부분과 샘플링 유닛(100)을 제어하되, 예를 들면, 각종 센서로부터의 센싱 신호를 수신하고 분석기와 인터페이스하며, 게이트 밸브 및 인젝션 밸브 등을 제어한다. 검증 용액 공급부(260)는 검증을 위하여 샘플링 유닛(100)으로 검증 용액(표준 용액)을 공급하는 기능을 수행한다.The control unit 250 controls each part of the main system 200 and the sampling unit 100, for example, receives a sensing signal from various sensors, interfaces with the analyzer, and controls the gate valve and the injection valve . The verification solution supply unit 260 performs a function of supplying a verification solution (standard solution) to the sampling unit 100 for verification.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 전처리부(220)의 구성을 도시한 도면이다.5 is a diagram illustrating the configuration of the preprocessing unit 220 according to an embodiment of the present invention.

전처리부(220)는 전송 샘플을 전처리 베슬(221)에 수용한 상태에서 전송 샘플의 액체를 증발시켜 오염물을 남기고 남은 오염물을 회수 용액으로써 회수한 샘플('회수 샘플')을 생성한다. 전처리부(220)는 케미컬의 샘플을 가열함으로써, 액체를 증발시켜 제거하고 금속 성분인 오염물만 남기게 되며 이를 회수하여 분석되도록 한다.The pretreatment unit 220 evaporates the liquid of the transfer sample in the state where the transfer sample is accommodated in the pretreatment vessel 221 to generate a sample ('recovered sample'), which is recovered as a recovered solution while remaining contaminants. The pretreatment unit 220 heats the sample of the chemical by evaporating the liquid, leaving only contaminants, which are metal, and recovering the analyzed contaminants.

전처리부(220)는 전처리 베슬(221), 아우터 베슬(Outer Vessel)(222), 히터(Heater)(223), 쿨러(Cooler)(224), 제 1 인젝션 밸브(225), 제 2 인젝션 밸브(226)와 다수의 게이트 밸브(V21, V22, V23 등)을 포함하여 구성되며, 가열 및 냉각 기능, 회수용액 정량 공급 기능, 샘플 정량 도입 기능 및 전처리된 샘플의 이송 및 세정 기능을 가진다.The pretreatment unit 220 includes a pretreatment vessel 221, an outer vessel 222, a heater 223, a cooler 224, a first injection valve 225, (22) and a plurality of gate valves (V21, V22, V23, etc.) and has a heating and cooling function, a function of supplying a recovered solution quantitatively, a function of sample quantitation and a function of transferring and cleaning the pretreated sample.

전처리 베슬(221)의 재질은 쿼츠, PTFE, PFA 또는 PEEK로서 적외선 투과성이어서 적어도 히터(223)로부터의 적외선이 투과되며, 내화학성 및 내열성 재질이 선호된다. 그리고 전처리 베슬(221)의 하부는 U자형 또는 V자형으로서 하여, 소량의 회수 샘플을 분석기로 도입하기 용이하도록 한다.The material of the pretreatment vessel 221 is quartz, PTFE, PFA or PEEK, and is infrared-transparent, so that at least the infrared rays from the heater 223 are transmitted, and chemical resistance and heat resistance are preferred. The lower portion of the pretreatment vessel 221 is U-shaped or V-shaped so that a small amount of recovered sample can be easily introduced into the analyzer.

전처리 베슬(221)의 외부는 아우터 베슬(222)이 둘러싸고 전처리 베슬(221)로부터된 오버플로우된 액체를 수용한다.The exterior of the pretreatment vessel 221 surrounds the outer vessel 222 and receives the overflowed liquid from the pretreatment vessel 221.

히터(223)는 전처리 베슬(222)에 수용되는 샘플의 액체를 증발시켜 농축시키고 바람직하게는 액체를 전부 증발시키고 금속과 같은 오염물만을 남기게 한다.The heater 223 evaporates and concentrates the liquid of the sample contained in the pretreatment vessel 222 and preferably evaporates all of the liquid and leaves only contaminants such as metal.

히터(223)는 IR 또는 Halogen 등의 램프 타입인 히터를 이용한다. 내화학성 플라스틱 재질의 경우 대체로 250도 ~ 300도 정도에서 변형이 생길 수 있는 데, 램프 타입의 히터가 복사열을 가하면 내화학성이 우수한 플라스틱으로 된 전처리 베슬(221)의 온도는 크게 증가하지 않는 반면, 전처리 베슬(221)의 내부에 있는 샘플만 가열할 수 있다. 또한 전처리 베슬의 온도가 높아지면 냉각시켜야 하는데 보통 냉각 시간이 승온보다 오래 걸리므로 온라인(On-line) 샘플 처리에 적합하지 않을 수 있는데 이러한 문제도 해결할 수 있다.The heater 223 uses a heater of a lamp type such as IR or Halogen. In the case of the chemical resistant plastic material, deformation may occur at about 250 to 300 degrees. When the lamp type heater receives radiant heat, the temperature of the pretreatment vessel 221 made of a plastic having excellent chemical resistance is not greatly increased, Only the sample inside the pretreatment vessel 221 can be heated. Also, if the temperature of the pretreatment vessel is increased, it is necessary to cool it. Since the cooling time is longer than the temperature rise, it may not be suitable for on-line sample processing.

본 발명의 일 특징에 따르면 전처리 베슬을 적외선 투과성 재질로 하고 전처리 베슬을 가열하는 히터를 램프 타입으로 함으로써, 전처리 베슬의 온도를 크게 증가시키지 않아서 신속한 냉각이 가능하며, 이에 따라 샘플의 신속한 오염 분석이 가능하게 되는 효과가 있다.According to one aspect of the present invention, since the pretreatment vessel is made of an infrared transparent material and the heater for heating the pretreatment vessel is a lamp type, rapid cooling can be performed because the temperature of the pretreatment vessel is not greatly increased, There is an effect that is possible.

그리고, 히터(223)는 램프 타입 외에도 일반 전열 heater, 카본 heater, Peltier, microwave, hot N2 등이 사용 가능하다.In addition to the lamp type, the heater 223 may be a general heating heater, a carbon heater, a Peltier, a microwave, or a hot N2.

제 1 인젝션 밸브(225)는 샘플(전송 샘플)을 전처리 베슬(221)로 도입하기 위한 것이며, 제 2 인젝션 밸브(225)는 회수 용액을 전처리 베슬(221)로 도입하기 위한 것이다.The first injection valve 225 is for introducing the sample (transfer sample) into the pretreatment vessel 221 and the second injection valve 225 is for introducing the recovered solution into the pretreatment vessel 221.

회수 용액은 건조된 샘플(오염물)을 녹여 내기 위한 것으로서, 정해진 부피의 회수 용액이 전처리 베슬(221)로 공급된다. 회수 용액은 금속 오염물인 경우, 질산이거나 불산+과산화수소 등 산 계열을 이용할 수 있다.The recovered solution is for dissolving the dried sample (contaminant), and a predetermined volume of recovered solution is supplied to the pretreatment vessel 221. When the recovered solution is a metallic contaminant, it may be nitric acid or an acid series such as hydrofluoric acid + hydrogen peroxide.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 전처리부(220)의 동작에 대하여 살펴본다. Hereinafter, the operation of the preprocessing unit 220 according to an embodiment of the present invention will be described.

먼저, 샘플 수신부(210)의 베슬로부터 전송 샘플을 전처리 베슬(221)로 이송하는 데, 이때 샘플의 정량 도입을 위해 도시된 제 1 인젝션 밸브(injection valve)(225) 또는 정량펌프 시스템 등을 사용할 수 있다. 예를 들면, 제 1 인젝션 밸브(225)의 로드 포지션에서 인젝션 밸브의 샘플 루프로 샘플을 로딩하고 나서, 인젝션 포지션에서 비반응성 가스로써 가압하는 구성(227) 등에 의해서 로딩된 샘플을 전처리 베슬(221)로 이송할 수 있다.First, the transfer sample from the vessel of the sample receiver 210 is transferred to the pretreatment vessel 221. At this time, a first injection valve 225 or a metering pump system or the like shown in FIG. . For example, the sample loaded by loading the sample from the load position of the first injection valve 225 into the sample loop of the injection valve and then pressurizing it with the non-reactive gas at the injection position 227, ). ≪ / RTI >

그리고, 히터(223)의 에너지를 이용하여 전처리 베슬(221)의 샘플을 가열하여 액체는 증발시키고 분석하고자 하는 오염물만 남긴다. 샘플의 액체가 증발되면 샘플 속의 오염물만 전처리 베슬(221)의 바닥에 남으며, 전송 샘플의 양보다 적은 회수용액으로 남은 오염물을 회수하면 농축 효과를 얻을 수 있다. 예를 들어 증발되는 액체(케미컬)는 황산, 인산, 불산, 암모니아수, IPA 등일 수 있다.By using the energy of the heater 223, the sample of the pretreatment vessel 221 is heated to evaporate the liquid, leaving only contaminants to be analyzed. When the liquid of the sample evaporates, only contaminants in the sample remain on the bottom of the pretreatment vessel 221, and when the remaining contaminants are recovered with the recovered solution smaller than the amount of the transfer sample, a concentration effect can be obtained. For example, the liquid (chemical) to be evaporated can be sulfuric acid, phosphoric acid, hydrofluoric acid, ammonia water, IPA, and the like.

그리고 쿨러(224)를 이용하여 전처리 베슬(221)을 냉각하는 데, 샘플의 건조를 위해 가열된 전처리 베슬(221)은 회수의 정확성을 기하기 위해 냉각되어야 한다. 전술한 것과 같이, 램프 방식은 냉각이 용이하며 N₂ 등 가스의 퍼지에 의해서도 쉽게 냉각시킬 수 있다. 기타의 냉각 방식으로는 냉각수를 이용하는 방식 또는 Peltier 소자를 이용하는 방식 등이 가능하다.The cooler 224 is used to cool the pretreatment vessel 221, and the heated pretreatment vessel 221 for drying of the sample should be cooled to ensure accuracy of recovery. As described above, the ramp method is easy to cool and can be easily cooled by purge of N ₂ gas. Other cooling methods include cooling water or Peltier devices.

그리고, 전처리 베슬(221)에 잔류하는 오염물을 분석하기 위해 회수용액으로 회수한다. 회수 용액의 공급 전, 전처리 베슬(221)은 상온으로 냉각되어야 하며, 회수 용액의 정량 도입을 위해 도시된 제 2 인젝션 밸브(226)나 정량 펌프 시스템 등을 사용할 수 있다. 예를 들면, 제 2 인젝션 밸브(226)의 로드 포지션에서 인젝션 밸브의 샘플 루프로 회수 용액을 로딩하고 나서, 인젝션 포지션에서 비반응성 가스로써 가압하는 구성(228) 등에 의해서 로딩된 회수 용액을 전처리 베슬(221)로 이송할 수 있다. 정해진 부피의 회수 용액을 전처리 베슬에 공급하여 건조된 샘플을 녹여내며, 회수 용액은 질산 또는 불산+과산화수소 등일 수 있다.Then, the contaminants remaining in the pretreatment vessel 221 are recovered as recovered solutions for analysis. Before the recovery solution is supplied, the pretreatment vessel 221 should be cooled to room temperature, and a second injection valve 226 or a metering pump system may be used for quantitatively introducing the recovered solution. For example, the recovered solution loaded by the system 228, which loads the recovered solution from the load position of the second injection valve 226 into the sample loop of the injection valve and then pressurizes with the non-reactive gas at the injection position, To the transfer unit 221. A predetermined volume of recovered solution is supplied to the pretreatment vessel to dissolve the dried sample, and the recovered solution may be nitric acid or hydrofluoric acid + hydrogen peroxide.

그리고, 회수된 샘플(회수 샘플)은 도입부를 거쳐 분석기로 이송하여 분석한다. 게이트 밸브(V23)을 오픈한 상태에서 전처리 베슬(221)의 회수 샘플은 후술할 도입부(230; 도 6 참조)의 인젝션 밸브(231)에 결합된 샘플 루프에 로딩된 후 분석기(240)로 이송된다. 샘플 루프로의 로딩은 가스 가압 또는 펌프 등을 사용해 수행될 수 있다.Then, the recovered sample (recovered sample) is transferred to the analyzer through the introduction part and analyzed. With the gate valve V23 open, the recovered sample of the pretreatment vessel 221 is loaded into the sample loop coupled to the injection valve 231 of the inlet 230 (see FIG. 6) to be described later, do. Loading into the sample loop may be performed using gas pressurization, pumps, or the like.

샘플의 전처리와 이송후, 이동 경로와 전처리 베슬은 세정하여 초기화될 수 있다. 세정 효율을 증대시키기 위하여 over flow type의 구조로 베슬이 구성되는 바, 전처리 베슬(221)을 둘러싸도록 아우터 베슬(222)이 구비된다. 히터(223)는 아우터 베슬(224)의 외부 또는 내부에 구성될 수 있으며, 외부에 구성되는 경우 아우터 베슬(224)도 적외선 투과성의 재질로 구성될 수 있다. 전처리 베슬은 초순수 또는 세정액을 이용해 세정이 가능하여 clean 상태를 유지한다.After preprocessing and transferring the sample, the travel path and the pretreatment vessel can be cleaned and initialized. In order to increase the cleaning efficiency, the outer vessel 222 is provided so as to surround the pretreatment vessel 221 with the structure of the overflow type. The heater 223 may be formed on the outer or inner side of the outer vessel 224. When the outer vessel 224 is formed on the outer side, the outer vessel 224 may be formed of an infrared transmitting material. The pretreatment vessel can be cleaned using ultrapure water or a cleaning liquid to maintain a clean state.

본 발명의 일 특징에 따르면, 샘플에 대한 전처리 기능을 추가한다. 케미컬 샘플의 성분은 유기성, 산성, 염기성 등 다양한 성상으로 존재한다. 동일한 농도의 오염물이 각기 다른 성상에 존재할 때 분석 결과가 동일하지 않을 수 있다. 이는 케미컬의 주성분인 매트릭스가 달라 샘플 도입 과정에서의 차이, 분석시 간섭 영향의 차이 등을 발생시키기 때문이다. 그리고 동일한 성상이더라도 밀도 및 성분 차이에 의해 상기와 같은 영향이 발생할 수 있다. 또한, 때로는 샘플 내 오염물의 농도가 너무 낮아서 분석기를 이용한 분석이 용이하지 않은 경우도 있다.According to one aspect of the invention, a preprocessing function is added to the sample. The components of the chemical sample are present in various forms such as organic, acidic, and basic. The analysis results may not be the same when contaminants of the same concentration are present in different constellations. This is because the matrix, which is the main component of the chemical, is different, which causes difference in the introduction process of the sample and difference in influence of interference in the analysis. Even if they have the same property, the above effects can be caused by density and component difference. Also, sometimes the concentration of contaminants in the sample is too low to be easily analyzed by the analyzer.

본 발명의 일 특징에 따라 샘플의 용액에 대한 증발과 회수 용액을 이용한 회수를 수행함으로써, 매트릭스의 성분 및 밀도 등을 동일하게 하며, 나아가 이러한 과정을 오픈된 상태가 아닌 밀폐된 상태로 자동 수행함으로써, 분석의 정확도를 기하는 동시에 안전성을 도모할 수 있는 효과가 있다. According to an aspect of the present invention, by evaporating the solution of the sample and collecting it using the recovery solution, the components and the density of the matrix are made the same, and the process is automatically performed in a closed state , There is an effect that the accuracy of analysis and safety can be improved.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 도입부(230)의 구성을 도시한 도면이다.FIG. 6 is a view showing a configuration of an introduction part 230 according to an embodiment of the present invention.

도입부(230)는 전처리부(220)의 후단에 위치하고 회수 샘플의 정량을 분석기(240)로 도입하며, 기타 분석기(240)의 캘리브레이션을 위한 표준 용액의 공급과 선택적으로 초순수로써 회수 샘플을 희석하는 기능을 수행한다.The inlet 230 is located at the downstream end of the preprocessor 220 and introduces a quantitation of the recovered sample into the analyzer 240 and the supply of the standard solution for calibration of the other analyzer 240 and optionally the dilution of the recovered sample with ultra- Function.

제 1 인젝션 밸브(231)의 로드 포지션에서 전처리부(220)의 전처리 베슬로부터 회수 샘플을 샘플 루프에 로딩되며, 인젝션 포지션에서 정량펌프(P22)로써 초순수를 밀어서 샘플 루프에 로딩된 회수 샘플을 분석기(240)쪽으로 이송한다. The recovered sample is loaded into the sample loop from the pretreatment vessel of the preprocessor 220 at the load position of the first injection valve 231 and the recovered sample loaded into the sample loop is pumped by the analyzer (240).

분석기로 도입하는 경로에는 T자관(233)이 구비되며, 회수 샘플을 분석기(240)로 도입할 때, 선택적으로 정량 펌프(P21)을 이용하여 초순수를 T자관(233)으로 도입하여 회수 샘플을 희석하며, 희석 비율은 각 정량펌프가 밀어주는 초순수의 양(유량)에 의해서 결정될 수 있다.A T-shaped tube 233 is provided in the path introduced to the analyzer. When the recovered sample is introduced into the analyzer 240, ultrapure water is selectively introduced into the T-shaped tube 233 using the metering pump P21, And the dilution rate can be determined by the amount (flow rate) of ultrapure water that each metering pump pushes.

제 2 인젝션 밸브(232)의 로드 포지션에서 제 2 인젝션 밸브(232)의 샘플 루프에는 표준용액이 로딩되고, 인젝션 포지션에서 정량 펌프에 의해서 초순수로써 로딩된 표준용액을 밀어서 분석기(240)로 공급하여 분석기(240)를 캘리브레이션한다.The standard solution is loaded into the sample loop of the second injection valve 232 at the load position of the second injection valve 232 and the standard solution loaded as the ultra pure water by the metering pump at the injection position is pushed and supplied to the analyzer 240 And calibrates the analyzer 240.

센서(S21,S22)는 샘플루프에 근접 설치되며, 샘플루프에 샘플이나 표준용액이 채워지는 것을 감지한다.The sensors S21 and S22 are installed close to the sample loop and sense that the sample loop or the standard solution is filled in the sample loop.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 검증용액 공급부(260)의 구성을 도시한 도면이다.7 is a view showing a configuration of a verification solution supply unit 260 according to an embodiment of the present invention.

검증용액 공급부(260)는 샘플링 유닛(100)으로 검증 용액을 공급하는 장치로서, 전송 샘플을 분석기로써 분석한 결과 오염이 검출되면, 샘플링 유닛(100)은 검증 용액을 전송 라인(300)을 통해 다시 전송하여 분석기로써 검증토록 할 수 있다.When the contamination is detected as a result of analysis of the transfer sample by the analyzer, the sampling unit 100 supplies the verification solution to the sampling unit 100 through the transmission line 300 It can be transmitted again and verified by the analyzer.

일 실시 형태로서, 검증 용액 공급부(260)는 메인 시스템(200)에 포함되어 구성되며, 검증 용액 공급부(260)로부터 각 샘플링 유닛(100)까지 공급 라인(310)을 통해 검증 용액이 공급됨으로써, 시스템이 보다 효율적으로 구성될 수 있다.The verification solution supply unit 260 is included in the main system 200 and the verification solution is supplied from the verification solution supply unit 260 to each sampling unit 100 through the supply line 310, The system can be configured more efficiently.

검증 용액(표준 용액)은 게이트 밸브(V24, V27)을 열고 도시된 펌프(P)에 의해서 또는 가압 또는 감압을 이용하여 검증 용액 컨테이너(261)에 채우며, 검증 용액이 채워지는 상황은 센서(광센서, 근접센서 등)(S23)를 통해 확인한다.The verification solution (standard solution) opens the gate valves V24 and V27 and fills the verification solution container 261 with the pump P shown in the figure or by using a pressure or a depressurization. Sensor, proximity sensor, etc.) (S23).

그리고 검증 용액 컨테이너(261)에 채워진 검증 용액은 샘플링 유닛(100)으로 공급하기 위해서, 게이트 밸브(V26, V29)를 열고 N₂와 같은 비반응성 가스의 가압을 통해 전송라인(310)을 통해 전송한다. 전송된 검증 용액은 밸브를 통해 최종적으로 샘플링 유닛(100)의 딜리버리 루프(delivery loop)에 저장된 후 다시 전송 라인(300)을 통해 메인 시스템으로 전송되고 분석된다. 메인 시스템에 전송된 검증 용액은 일반적인 분석절차에 의해 분석 및 결과 판단이 이루어진다.And verification solution verification solution filled in the container 261 is transferred via the transmission line 310 through the pressure of the non-reactive gas such as N _2, to open the gate valve (V26, V29) for supplying the sampling unit 100 do. The transmitted verification solution is finally stored in the delivery loop of the sampling unit 100 through the valve and then transmitted to the main system via the transmission line 300 and analyzed again. The verification solution transferred to the main system is analyzed and the result is judged by general analysis procedure.

검증 과정을 둘러싼 주요 동작 과정을 설명하면 다음과 같으며, 주요 과정의 제어는 메인 시스템(200)의 제어부(250)에 의해 수행될 수 있다.A main operation process surrounding the verification process will be described below, and control of the main process can be performed by the control unit 250 of the main system 200. [

통상적으로는 각 샘플링 유닛(100)이 메인 시스템(200)으로 샘플을 전송하면 메인 시스템(200)은 전송 샘플을 수신하여 분석한다.Typically, when each sampling unit 100 sends a sample to the main system 200, the main system 200 receives and analyzes the transmission sample.

그런데, 이러한 분석의 결과에 따라 오염이 검출되면, 메인 시스템(200)의 제어부(250)는 1차로 사용자에게 경보하며, 메인 시스템(100) 등에 있는 검증 용액 공급부(260)로 하여금 검증 용액(표준 용액)을 해당 샘플링 유닛(100)에 공급하며, 샘플링 유닛(100)은 검증을 위하여 검증 용액을 동일한 전송 라인(300)을 통해 전송하고 메인 시스템(200)은 수신한 검증 용액을 분석한다. 즉, 종류 및 농도를 알고 있는 오염물을 포함하는 표준용액을 샘플링 유닛으로부터 메인 시스템까지 동일 패스를 통해 전송하고 이전의 분석과 동일한 방법으로 분석을 진행한다.When the contamination is detected according to the result of the analysis, the control unit 250 of the main system 200 first alerts the user and causes the verification solution supply unit 260 in the main system 100 or the like to supply the verification solution Solution to the corresponding sampling unit 100 and the sampling unit 100 transmits the verification solution through the same transmission line 300 for verification and the main system 200 analyzes the received verification solution. That is, a standard solution containing contaminants of known type and concentration is transferred from the sampling unit to the main system through the same path, and the analysis is performed in the same manner as the previous analysis.

전송된 검증 용액의 분석 결과가 검증 용액에 대한 예상과 상이하면 오염 모니터링 시스템의 이상으로 판단하며, 분석 결과가 검증 용액에 대한 예상과 동일하면 오염 모니터링 시스템의 정상으로 판단한다. 예를 들면, 검증 용액에 포함되어 있는 오염물과는 다른 종류의 오염물이 검출되거나, 오염물의 종류는 동일하지만 검증 용액에 포함된 오염물의 농도보다 일정 범위 이상의 차이를 보이는 경우에는 오염 모니터링 시스템의 이상으로 판단할 수 있다.If the analysis result of the transferred verification solution is different from the expected value for the verification solution, it is judged that the contamination monitoring system is abnormal. If the analysis result is the same as that of the verification solution, it is judged that the pollution monitoring system is normal. For example, if a type of contaminant other than the contaminant contained in the verification solution is detected or the type of the contaminant is the same, but the concentration of the contaminant contained in the verification solution is more than a certain range, It can be judged.

오염 모니터링 시스템의 정상으로 판단하면, 케미컬의 샘플을 재분석하고, 분석결과 다시 오염이 확인되면 2차 경고를 발생시키고 생산을 중단하도록 한다. 그리고 오염 모니터링 시스템의 이상으로 판단하면, 오염 모니터링 시스템의 이상을 사용자에게 경보한다. If the contamination monitoring system is determined to be normal, the chemical sample is reanalyzed, and if the contamination is confirmed again, a second warning is issued and production is stopped. If it is judged that the pollution monitoring system is abnormal, the user is alerted to the abnormality of the pollution monitoring system.

생산 라인에서 오염 이슈는 수율 및 생산성과 밀접한 관련이 있어 매우 중요하게 다루어져야 한다. 만약, 오염이 검출되면 생산 공정을 중단시켜 대량의 불량이 발생되는 것을 막아야 한다. 그런데, 오염 분석 결과에 신뢰성이 없다면 오히려 잘못된 분석 결과에 따른 생산 중단에 의한 손실도 막대하게 된다.Pollution issues in the production line are closely related to yield and productivity and should be considered very important. If contamination is detected, the production process should be stopped to prevent the occurrence of massive defects. However, if the pollution analysis result is not reliable, the loss due to the production interruption due to the wrong analysis result becomes enormous.

본 발명의 일 특징에 따르면 샘플링 유닛으로 검증 용액을 공급하는 검증 용액 공급부를 구비하고, 전송 샘플을 분석기로써 분석한 결과 오염이 검출되면, 샘플링 유닛이 검증 용액을 동일한 전송 라인을 통해 전송하여 분석기로써 검증토록 함으로써, 잘못된 오염 경보에 따른 생산 중단을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.According to one aspect of the present invention, there is provided a verification solution supply unit for supplying a verification solution to a sampling unit. When a contamination is detected as a result of analyzing a transmission sample with an analyzer, the sampling unit transmits the verification solution through the same transmission line as an analyzer By making the verification, it is possible to prevent the production interruption due to the false pollution warning in advance.

100 : 샘플링 유닛 200 : 메인 시스템
210 : 샘플 수신부 220 : 전처리부
230 : 도입부 240 : 분석기
250 : 제어부 260 : 검증 용액 공급부
300 : 전송 라인100: sampling unit 200: main system
210: sample receiving section 220: preprocessing section
230: introduction part 240: analyzer
250: control unit 260: verification solution supply unit
300: transmission line

Claims (17)

케미컬이 사용, 저장 또는 공급되는 포인트에 연결된 라인을 통하여 상기 케미컬을 도입하고 전송할 샘플(이하 '전송 샘플'이라 한다)을 생성하는 샘플링 유닛;
상기 샘플링 유닛으로부터 상기 전송 샘플을 수신하여 분석기로써 분석하는 메인 시스템;을 포함하되,
상기 메인 시스템은 분산 배치된 복수의 상기 샘플링 유닛과 전송 라인을 통해 방사상으로 연결되며,
상기 전송 라인 내에서 상기 전송 샘플은 비반응성 가스가 전·후로 위치하여 캡슐화된 상태로 전송되며,
상기 샘플링 유닛은, 상기 도입되는 케미컬을 초순수로써 희석함으로써 점도를 낮춘 상기 전송 샘플을 생성할 수 있으며,
상기 도입되는 케미컬의 정량을 일시 저장할 수 있는 샘플 베슬; 상기 초순수의 정량를 일시 저장할 수 있는 DI 베슬; 딜리버리 루프의 양단이 2 개의 포트에 연결되는 인젝션 밸브;를 포함하며,
상기 DI 베슬, 상기 샘플 베슬 및 상기 딜리버리 루프는 하나 이상의 밸브를 개재하여 직렬로 연결되되, 상기 DI 베슬, 상기 샘플 베슬 및 상기 딜리버리 루프의 순서로 연결되는 것을 특징으로 하는,
온라인 오염 모니터링 시스템.A sampling unit for introducing the chemical through a line connected to a point at which the chemical is used, stored, or supplied and generating a sample to be transferred (hereinafter referred to as a "transfer sample");
And a main system for receiving the transmission samples from the sampling unit and analyzing them by an analyzer,
Wherein the main system is radially connected through a plurality of the distributed sampling units and transmission lines,
Within the transmission line, the transmission samples are transmitted in an encapsulated state with non-
The sampling unit can generate the transfer sample with reduced viscosity by diluting the introduced chemical with ultra pure water,
A sample vessel capable of temporarily storing a quantity of the introduced chemical; A DI vessel capable of temporarily storing the amount of the ultrapure water; An injection valve in which both ends of the delivery loop are connected to two ports,
Wherein the DI vessel, the sample vessel, and the delivery loop are connected in series via one or more valves, and the DI vessel, the sample vessel, and the delivery loop are connected in this order.
Online pollution monitoring system. 청구항 1에 있어서,
상기 전송 라인의 내경은 0.5 mm ~ 1.6 mm 이며 상기 전송 샘플은 상기 비반응성 가스에 의해 가압된 상태로 전송되는,
온라인 오염 모니터링 시스템.The method according to claim 1,
Wherein the inner diameter of the transmission line is 0.5 mm to 1.6 mm and the transmission sample is transmitted in a state of being pressurized by the non-
Online pollution monitoring system. 삭제delete 삭제delete 청구항 1에 있어서,
i) 상기 인젝션 밸브의 로드 포지션에서 상기 샘플 베슬에 일시 저장된 케미컬과 상기 DI 베슬에 일시 저장된 초순수를 상기 딜리버리 루프로 이동시키고 채워서 상기 전송 샘플이 되게 하며,
ii) 상기 인젝션 밸브의 딜리버리 포지션에서 상기 딜리버리 루프에 채워진 상기 전송 샘플을 상기 비반응성 가스로 밀어서 상기 전송 라인을 통해 전송하는,
온라인 오염 모니터링 시스템.The method according to claim 1,
i) moving the chemical temporarily stored in the sample vessel at the load position of the injection valve and ultrapure water temporarily stored in the DI vessel to the delivery loop to fill the transfer sample,
ii) pushing the transmission sample filled in the delivery loop in the delivery position of the injection valve with the non-reactive gas and transmitting through the transmission line;
Online pollution monitoring system. 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 DI 베슬 및 상기 샘플 베슬은 코일 모양의 베슬인,
온라인 오염 모니터링 시스템.The method according to claim 1,
Wherein the DI and the sample vessels are coil shaped,
Online pollution monitoring system. 케미컬이 사용, 저장 또는 공급되는 포인트에 연결된 라인을 통하여 상기 케미컬을 도입하고 전송할 샘플(이하 '전송 샘플'이라 한다)을 생성하는 샘플링 유닛;
상기 샘플링 유닛으로부터 상기 전송 샘플을 수신하여 분석기로써 분석하는 메인 시스템;을 포함하되,
상기 메인 시스템은 분산 배치된 복수의 상기 샘플링 유닛과 전송 라인을 통해 방사상으로 연결되며,
상기 전송 라인 내에서 상기 전송 샘플은 비반응성 가스가 전·후로 위치하여 캡슐화된 상태로 전송되며,
상기 메인 시스템은,
상기 전송 샘플을 전처리 베슬에 수용한 상태에서 상기 전송 샘플의 액체를 증발시켜 오염물을 남기고 남은 오염물을 회수 용액으로써 회수한 샘플(이하 '회수 샘플'이라 한다)을 생성하는 전처리부;를 포함하는,
온라인 오염 모니터링 시스템.A sampling unit for introducing the chemical through a line connected to a point at which the chemical is used, stored, or supplied and generating a sample to be transferred (hereinafter referred to as a "transfer sample");
And a main system for receiving the transmission samples from the sampling unit and analyzing them by an analyzer,
Wherein the main system is radially connected through a plurality of the distributed sampling units and transmission lines,
Within the transmission line, the transmission samples are transmitted in an encapsulated state with non-
The main system includes:
And a pretreatment unit that evaporates the liquid of the transfer sample while the transfer sample is accommodated in the pretreatment vessel to generate a sample recovered as a recovered solution (hereinafter, referred to as a "recovered sample"),
Online pollution monitoring system. 청구항 8에 있어서,
상기 전처리부는,
램프 타입의 히터를 포함하며,
상기 전처리 베슬은 적외선 투과성이어서 적어도 상기 히터로부터의 적외선이 투과되는,
온라인 오염 모니터링 시스템.The method of claim 8,
The pre-
A heater of a lamp type,
Wherein the pretreatment vessel is infra-red transmissive so that at least the infrared radiation from the heater is transmitted,
Online pollution monitoring system. 청구항 9에 있어서,
상기 전처리 베슬의 재질은 쿼츠, PTFE, PFA 또는 PEEK 인,
온라인 오염 모니터링 시스템.The method of claim 9,
The material of the pretreatment vessel may be quartz, PTFE, PFA or PEEK,
Online pollution monitoring system. 청구항 8에 있어서,
상기 전처리 베슬의 하부는 U자형 또는 V자형인,
온라인 오염 모니터링 시스템.The method of claim 8,
The lower portion of the pretreatment vessel is U-shaped or V-
Online pollution monitoring system. 청구항 8에 있어서,
상기 메인 시스템은,
상기 전처리부의 후단에 위치하고 상기 회수 샘플의 정량을 상기 분석기로 도입하는 도입부;를 포함하되,
상기 분석기로 도입하는 경로에는 선택적으로 초순수를 도입하여 상기 회수 샘플을 희석하기 위한 T자관이 구비되는,
온라인 오염 모니터링 시스템.The method of claim 8,
The main system includes:
And an introducing unit located at a rear end of the preprocessing unit and introducing a predetermined amount of the recovered sample into the analyzer,
And a T-tube for diluting the recovered sample by selectively introducing ultrapure water into the path introduced into the analyzer,
Online pollution monitoring system. 청구항 8에 있어서,
상기 메인 시스템은,
상기 메인 시스템의 각 부분과 상기 복수의 샘플링 유닛을 제어하는 제어부;를 더 포함하는,
온라인 오염 모니터링 시스템.The method of claim 8,
The main system includes:
Further comprising: a control unit for controlling each part of the main system and the plurality of sampling units,
Online pollution monitoring system. 청구항 8에 있어서,
상기 샘플링 유닛으로 검증 용액을 공급하는 검증 용액 공급부;를 더 포함하며,
상기 전송 샘플을 상기 분석기로써 분석한 결과 오염이 검출되면, 상기 샘플링 유닛은 상기 검증 용액을 상기 전송 라인을 통해 전송하여 상기 분석기로써 검증토록 하는,
온라인 오염 모니터링 시스템.The method of claim 8,
And a verification solution supply unit for supplying the verification solution to the sampling unit,
Wherein the sampling unit is operable to transmit the verification solution through the transmission line to be verified by the analyzer when contamination is detected as a result of analyzing the transmission sample with the analyzer,
Online pollution monitoring system. 청구항 14에 있어서,
상기 검증 용액 공급부는 상기 메인 시스템에 포함되어 구성되며,
상기 검증 용액 공급부로부터 각 샘플링 유닛까지 공급 라인을 통해 상기 검증 용액이 공급되는,
온라인 오염 모니터링 시스템.15. The method of claim 14,
Wherein the verification solution supply unit is included in the main system,
Wherein the verification solution is supplied from the verification solution supply unit to each sampling unit via a supply line,
Online pollution monitoring system. 케미컬이 사용, 저장 또는 공급되는 지점에 연결된 라인을 통하여 상기 케미컬을 도입하고 전송할 샘플(이하 '전송 샘플'이라 한다)을 생성하는 샘플링 유닛; 상기 샘플링 유닛으로부터 상기 전송 샘플을 수신하여 분석기로써 분석하는 메인 시스템;을 포함하되, 상기 메인 시스템은 분산 배치된 복수의 상기 샘플링 유닛과 전송 라인을 통해 방사상으로 연결되며, 상기 전송 라인 내에서 상기 전송 샘플은 비반응성 가스가 전·후로 위치하여 캡슐화된 상태로 전송되는 온라인 오염 모니터링 시스템에서 수행되는 온라인 오염 모니터링 방법으로서,
상기 메인 시스템이 상기 전송 샘플을 수신하여 분석하는 제 1 단계;
상기 제 1 단계에서의 분석 결과 오염이 검출되면, 상기 샘플링 유닛은 검증 용액을 상기 전송 라인을 통해 전송하고 상기 메인 시스템이 분석하는 제 2 단계;
상기 제 2 단계에서의 분석 결과가 상기 검증 용액에 대한 예상과 상이하면 상기 오염 모니터링 시스템의 이상으로 판단하는 제 3-1 단계;를 포함하는,
온라인 오염 모니터링 방법.A sampling unit for introducing the chemical through a line connected to a point at which the chemical is used, stored, or supplied and for generating a sample to be transferred (hereinafter referred to as a "transfer sample"); And a main system for receiving the transmission samples from the sampling unit and analyzing the transmission samples with an analyzer, wherein the main system is radially connected to a plurality of the distributed sampling units via a transmission line, An on-line contamination monitoring method performed in an on-line contamination monitoring system in which a non-reactive gas is placed before and after the sample and is transmitted in an encapsulated state,
A first step of the main system receiving and analyzing the transmission samples;
A second step of, when the contamination is detected as a result of the analysis in the first step, the sampling unit transmitting the verification solution through the transmission line and analyzing by the main system;
And (3-1) determining that the pollution monitoring system is abnormal if the result of the analysis in the second step is different from the prediction for the verification solution.
How to monitor online pollution. 청구항 16에 있어서,
상기 제 2 단계에서의 분석 결과가 상기 검증 용액에 대한 예상과 동일하면 상기 오염 모니터링 시스템의 정상으로 판단하는 제 3-2 단계;를 더 포함하는,
온라인 오염 모니터링 방법.
18. The method of claim 16,
And (3-2) determining that the pollution monitoring system is normal if the result of the analysis in the second step is the same as the prediction for the verification solution.
How to monitor online pollution.

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