KR101806954B1 - An X-ray Tube Having a Collimator Structure of Adjusting a Focus - Google Patents

Abstract

The present invention relates to an X-ray tube having a focus-adjustment collimator structure and, more specifically, relates to an X-ray tube having a focus-adjustment collimator structure in which a collimator for focus adjustment is placed in front of a positive rod emitting X-rays. The X-ray tube includes: a tube body (111) generating X-rays; a positive rod (113) placed in front of the tube body (111) to emit X-rays to a set focus spot; and a focus control unit (15) including a hole penetrated by the X-rays emitted from the positive rod (113).

Description

초점 조절 콜리메이터 구조의 엑스레이 검사 튜브{An X-ray Tube Having a Collimator Structure of Adjusting a Focus}An X-ray Tube Having a Collimator Structure of Adjusting a Focus of a Focusing Collimator Structure [

본 발명은 초점 조절 콜리메이터 구조의 엑스레이 검사 튜브에 관한 것이고, 구체적으로 엑스레이가 조사되는 양극 로드의 앞쪽에 초점 조절을 위한 콜리메이터가 배치된 초점 조절 콜리메이터 구조의 엑스레이 검사 튜브에 관한 것이다. The present invention relates to an x-ray inspection tube of a focus adjustment collimator structure, and more particularly to a focus adjustment collimator structure x-ray inspection tube in which a collimator for focus adjustment is disposed in front of an anode rod to which an x-ray is irradiated.

엑스레이 검사는 다양한 산업 분야에 적용되고 있고 각각의 적용 분야에서 제품 유형에 따른 다양한 형태의 검사 장치가 공지되어 있다. 예를 들어 인쇄회로기판의 결함 검사, 전자기기의 결함 검사, 식품 용기의 결함 검사 또는 음식물 속 이물질 검출을 위하여 엑스레이 검사 장치가 적용될 수 있다. 일반적으로 엑스레이 검사 장치에서 피검사 대상은 컨베이어와 같은 이송 수단에 의하여 연속적으로 공급이 될 수 있다. 그리고 차폐가 된 검사실에서 엑스레이 튜브 및 디텍터에 의하여 엑스레이 투과 이미지가 형성되고, 얻어진 이미지로부터 제품의 결합 여부가 판단될 수 있다. 검사 과정에서 엑스레이의 차폐가 이루어져야 하는 한편 검사 과정에서 피검사 대상이 적절한 형태로 정렬이 될 필요가 있다. 피검사 대상의 이송 구조, 엑스레이의 차폐 방법 및 피검사 대상의 정렬은 엑스레이 검사의 효율을 위하여 고려되어야 할 주요한 인자가 된다.X-ray inspection is applied to various industrial fields, and various types of inspection apparatuses according to product types are known in each application field. For example, an x-ray inspection apparatus may be applied to defect inspection of a printed circuit board, defect inspection of an electronic apparatus, defect inspection of a food container, or foreign matter in food. Generally, an object to be inspected in the X-ray inspection apparatus can be continuously supplied by a conveying means such as a conveyor. Then, in the shielded test room, an X-ray transmission image is formed by the X-ray tube and the detector, and it is judged whether or not the product is coupled from the obtained image. While the X-rays must be shielded during the inspection process, the object to be inspected needs to be aligned in a proper manner during the inspection process. The transport structure of the object to be inspected, the shielding method of the X-ray and the alignment of the object to be inspected are the main factors to be considered for the efficiency of the X-ray inspection.

엑스레이 검사와 관련된 선행기술로 특허등록번호 제0978054호 ‘배터리 엑스레이 검사장치’가 있다. 상기 선행기술은 피검사 대상이 XYZ-축을 비롯하여 회전이 되어 다양한 각도에서 검사가 가능한 엑스레이 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이러한 목적을 위하여 상기 선행기술은 케이스 전면 부분에 슬라이딩 도어가 형성되고, 상기 슬라이딩 도어의 측면에 센서가 설치되고, 상기 엑스레이 튜브와 디텍터 사이에 모터에 의하여 회전 가능하도록 가이드를 가진 고정 테이블과, 하부에 상기 고정 테이블의 가이드를 따라 y축 수평 이동 가능하도록 결합구가 배치되고, 상부에 모터에 의하여 회전 가능하도록 가이드를 가진 Y축 이동 테이블이 배치되고, 상부에 모터에 의하여 회전 가능하도록 가이드가 구성되는 X축 이동 테이블과, 상기 X-축 이동 테이블을 따라 Y축 수평 이동 가능하도록 결합구가 배치되고, 상부의 양측 부분에 안착 유닛이 형성되어 상기 안착 유닛 사이에 피검사 대상이 위치되는 안착 프레임을 가진 트레이가 배치된 테이블을 가진 엑스레이 검사 장치에 대하여 개시한다.Prior art relating to x-ray inspection is Patent No. 0978054, 'Battery x-ray inspection device'. The prior art aims to provide an X-ray inspection apparatus capable of rotating an object to be inspected, including an XYZ-axis, at various angles. For this purpose, the prior art includes a fixed table having a sliding door formed on a front surface of the case, a sensor provided on a side surface of the sliding door, a guide between the x-ray tube and the detector to be rotatable by a motor, A Y-axis moving table having a guide rotatable by a motor is disposed at an upper portion thereof, a guide is provided at an upper portion of the Y-axis moving table so as to be rotatable by a motor, An X-axis moving table for moving the X-axis moving table in the Y-axis direction, a coupling opening for moving the Y-axis horizontally along the X-axis moving table, a seating unit formed on both sides of the upper portion, Ray inspection apparatus having a table on which a tray having a plurality of trays is disposed.

엑스레이 검사와 관련된 다른 선행기술로 특허등록번호 제0956797호 ‘판상패드용 엑스레이검사장치’가 있다. 상기 선행기술은 본체 내부에 롤 타입의 판상 패드를 한쪽에서 다른 쪽으로 이송하는 컨베이어와, 상기 컨베이어의 상부에서 엑스레이를 조사하는 엑스레이 튜브와, 상기 컨베이어의 하부에 구성되는 디텍터와, 상기 컨베이어의 입구 측과 출구 측에 각각 구성되는 가이드 롤러와, 상기 컨베이어의 상기 가이드 롤러의 안쪽으로 하부에 구성되는 회전 롤러와 상기 회전 롤러와 맞물려 상부에서 각각 판상 패드를 안정적으로 파지하여 이송할 수 있도록 구동 장치 또는 스프링에 의하여 수직으로 롤러가 유동되도록 형성되는 파지 롤러와, 상기 컨베이어의 입구 측의 바깥쪽에 컨베이어에서 이송되어 배출되는 롤 타입의 판상 패드를 모터에 의하여 일정한 속도로 감아서 적재하도록 구성된 적재 롤러가 구비된 판상 패드용 엑스레이 검사 장치에 대하여 개시한다.Another prior art related to x-ray inspection is Patent Registration No. 0956797, 'X-ray Inspection Device for Plate Pads'. The prior art includes a conveyor for transferring roll-type sheet-like pads from one side to the other inside the main body, an x-ray tube for irradiating x-rays at the top of the conveyor, a detector formed at the lower part of the conveyor, And a driving device or a spring for engaging with the rotating roller and holding the plate-shaped pad stably and transporting the plate-shaped pad stably at the upper part, respectively, And a loading roller configured to roll and take up a roll-type plate-shaped pad, which is conveyed and discharged from the conveyor at the outside of the entrance side of the conveyor, at a constant speed by a motor About X-ray Inspection System for Plate Pads The deadline.

배터리 또는 전자 기판에 형성된 납땜 상태 또는 배선의 검사 과정에서 엑스레이는 검사 대상의 주위로 확산될 수 있고, 주위 부분이 장시간 엑스레이에 노출이 되는 경우 부품의 손상이 방지될 수 있다. 그러므로 이와 같은 부품의 손상을 방지할 수 있는 검사 장치가 개발될 필요가 있다. 상기 선행기술은 이와 같은 방법 또는 기술에 대하여 개시하지 않는다.In the process of inspecting the soldering condition or the wiring formed on the battery or the electronic substrate, the X-ray can be diffused around the object to be inspected, and the damage of the part can be prevented when the peripheral portion is exposed to the X-ray for a long time. Therefore, it is necessary to develop an inspection apparatus which can prevent such parts from being damaged. The prior art does not disclose such a method or technique.

본 발명은 선행기술이 가진 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다.The present invention has been made to solve the problems of the prior art and has the following purpose.

선행기술1: 특허등록번호 제0978054호((주)자비스, 2010년08월25일 공고) 배터리 엑스레이검사장치Prior Art 1: Patent Registration No. 0978054 (Jarvis Corporation, Aug. 25, 2010) Battery x-ray inspection device 선행기술2: 특허등록번호 제0956797호((주)자비스, 2010년05월07일 공고) 판상패드용 엑스레이검사장치Prior Art 2: Patent Registration No. 0956797 (Jarvis Corporation, May 07, 2010 publication) X-ray inspection device for a flat pad

본 발명의 목적은 검사 과정에서 검사 대상의 주위 부분의 소자 또는 부품의 손상을 방지하기 위하여 초점 조절이 가능하도록 하는 초점 조절 콜리메이터 구조의 엑스레이 검사 튜브를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide an x-ray inspection tube of a focus adjusting collimator structure which enables focus adjustment to prevent damage of a device or part of a peripheral portion of an inspection object during an inspection process.

본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 초점 조절 콜리메이터 구조의 엑스레이 검사 튜브는 엑스레이를 발생시키는 튜브 몸체; 튜브 몸체의 앞쪽에 배치되어 엑스레이를 정해진 초점 위치로 조사하는 양극 로드 및 양극 로드로부터 조사되는 엑스레이가 투과되는 홀이 형성된 초점 조절 유닛을 포함한다.According to a preferred embodiment of the invention, the x-ray inspection tube of the focus collimator structure comprises a tube body for generating x-rays; And a focus adjusting unit disposed at a front side of the tube body to form a hole through which the x-ray irradiated from the anode rod is transmitted, the anode rod for irradiating the x-ray to a predetermined focal position.

본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 초점 조절 유닛은 콜리메이터 브래킷에 결합되는 것을 특징으로 한다.According to another preferred embodiment of the present invention, the focusing unit is coupled to the collimator bracket.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 초점 조절 유닛은 양극 로드의 앞쪽 면에 일체로 만들어지거나, 상기 앞쪽 면에 대한 거리 조절이 가능하도록 배치되는 것을 특징으로 한다.According to another preferred embodiment of the present invention, the focus adjusting unit is integrally formed on the front surface of the anode rod, or is arranged so that the distance to the front surface can be adjusted.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 콜리메이터 브래킷은 튜브 몸체에 결합되는 1, 2 체결 부재; 1, 2 체결 부재로부터 양극 로드를 향하여 연장되는 연장 플레이트 및 연장 플레이트의 끝 부분에 형성된 고정 탭으로 이루어진 것을 특징으로 한다.According to another preferred embodiment of the present invention, the collimator bracket comprises a first and a second fastening member coupled to the tube body; An extension plate extending from the first and second fastening members toward the anode rod, and a fixing tab formed at an end of the extension plate.

본 발명에 따른 검사 튜브는 튜브로부터 조사되는 엑스레이가 검사 대상의 제한된 영역만을 투과하도록 한다. 이로 인하여 예를 들어 전자 기판에 밀집하게 배치된 전자 부품 또는 전자 소자의 검사 과정에서 검사 대상의 주위에 위치하는 부품 또는 소자가 장시간 엑스레이에 노출되어 손상되는 것이 방지되도록 한다.The inspection tube according to the present invention permits the X-ray irradiated from the tube to transmit only a limited area of the object to be inspected. This prevents the parts or elements located around the inspection object from being exposed to the X-ray for a long period of time in the inspection process of electronic components or electronic devices arranged closely on the electronic substrate, for example.

도 1은 본 발명에 따른 엑스레이 튜브의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 엑스레이 튜브에 결합되는 콜리메이터의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 엑스레이 튜브에 결합되는 콜리메이터의 초점 조절 유닛의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 엑스레이 튜브가 적용되는 실시 예를 도시한 것이다.1 shows an embodiment of an X-ray tube according to the present invention.
Figure 2 illustrates an embodiment of a collimator coupled to an x-ray tube in accordance with the present invention.
FIG. 3 shows an embodiment of a focusing unit of a collimator coupled to an X-ray tube according to the present invention.
FIG. 4 illustrates an embodiment in which an X-ray tube according to the present invention is applied.

아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the embodiments shown in the accompanying drawings, but the present invention is not limited thereto. In the following description, components having the same reference numerals in different drawings have similar functions, so that they will not be described repeatedly unless necessary for an understanding of the invention, and the known components will be briefly described or omitted. However, It should not be understood as being excluded from the embodiment of Fig.

도 1은 본 발명에 따른 엑스레이 튜브(10)의 실시 예를 도시한 것이다.1 shows an embodiment of an x-ray tube 10 according to the present invention.

도 1을 참조하면, 엑스레이 튜브(10)는 엑스레이를 발생시키는 튜브 몸체(111); 튜브 몸체(111)의 앞쪽에 배치되어 엑스레이를 정해진 초점 위치로 조사하는 양극 로드(113); 및 양극 로드(113)로부터 조사되는 엑스레이가 투과되는 홀이 형성된 초점 조절 유닛(15)을 포함한다.1, the x-ray tube 10 includes a tube body 111 for generating x-rays; A cathode rod 113 disposed in front of the tube body 111 to irradiate the x-ray to a predetermined focal position; And a focus adjustment unit 15 in which holes through which the X-rays irradiated from the anode rod 113 are transmitted are formed.

본 발명에 따른 엑스레이 튜브(10)는 다양한 제품의 결함 검출에 적용될 수 있고, 예를 들어 전자제품, 약품, 식품 또는 배터리, 회로기판, 기계 부품 또는 제품 용기와 산업 제품의 결함 제품에 적용될 수 있고, 바람직하게 회로기판에 연속적으로 밀집하게 배치된 부품 또는 소자의 결함 검출에 적용될 수 있다. 엑스레이 튜브(10)는 밀폐 구조를 가지는 검사실의 내부에 배치될 수 있고, 제품의 결함 검출을 위하여 검사 영역에 위치하는 제품의 정해진 영역으로 엑스레이를 조사할 수 있다. 본 발명에 따른 엑스레이 튜브(10)는 다양한 형태의 산업용 또는 생활용 제품의 검사에 적용될 수 있다.The X-ray tube 10 according to the present invention can be applied to defect detection of various products and can be applied to, for example, electronic products, pharmaceuticals, foods or batteries, circuit boards, machine parts or defective products of industrial containers and product containers , Preferably to the defect detection of a component or an element which is arranged continuously and densely in a circuit board. The X-ray tube 10 may be disposed inside a test chamber having a closed structure and may irradiate an X-ray to a predetermined region of the product positioned in the inspection region for defect detection of the product. The x-ray tube 10 according to the present invention can be applied to the inspection of various types of industrial or living products.

튜브 몸체(111)는 다양한 구조로 만들어질 수 있고, 튜브 몸체(111)의 내부에서 발생된 엑스레이는 내부에 형성된 유도 경로를 통하여 유도되어 양극 로드(113)에서 외부로 방출될 수 있다. 양극 로드(113)는 튜브 몸체(111)의 앞쪽 끝에 배치되어 검사 대상에 향하여 방출되는 엑스레이가 정해진 위치에서 초점이 형성되도록 한다. 양극 로드(113)를 통하여 제품을 향하여 방출된 엑스레이는 검사 대상을 투과하여 탐지 유닛(detector)에 의하여 탐지되어 투과 이미지가 만들어지도록 한다. 검사 과정에서 엑스레이는 검사 대상에 초점이 형성된 상태로 조사가 되지만 엑스레이의 이동 경로에 검사 대상이 아닌 부분이 위치하여 엑스레이에 노출될 수 있다. 높은 해상도를 가진 엑스레이 튜브(10)의 경우 양극 로드(113)가 제품에 인접하여 위치하고 이로 인하여 엑스레이에 대한 노출 부분이 커질 수 있다. 엑스레이는 양극 로드(113) 또는 덮개(cover)를 벗어나게 되면서 분산 경로를 형성하게 되므로 양극 로드(113)의 끝 부분이 제품에 인접하게 되는 것이 유리하다. 그러나 엑스레이 튜브(10)의 전체 구조로 인하여 양극 로드(113)가 제품에 인접하는 범위는 제한이 될 수 있다.The tube body 111 may have a variety of structures, and the X-rays generated inside the tube body 111 may be guided through an induction path formed therein to be discharged from the anode rod 113 to the outside. The anode rod 113 is disposed at the front end of the tube body 111 so that the X-ray emitted toward the object to be inspected is focused at a predetermined position. The X-rays emitted toward the product through the anode rod 113 pass through the object to be inspected and are detected by a detector to produce a transmitted image. During the inspection process, the x-ray is irradiated with the focus on the object to be examined, but the non-object to be inspected may be exposed to the x-ray. In the case of the x-ray tube 10 having a high resolution, the anode rod 113 is located adjacent to the product, and thus the exposed portion to the x-ray can be large. It is advantageous that the end portion of the anode rod 113 is adjacent to the product since the X-ray will form a dispersion path as it goes out of the anode rod 113 or the cover. However, due to the entire structure of the x-ray tube 10, the range in which the anode rod 113 is adjacent to the product may be limited.

본 발명에 따르면 양극 로드(113)의 앞쪽에 콜리메이터가 설치되어 엑스레이 분산 경로에서 분산 범위가 작아지도록 할 수 있다. 구체적으로 양극 로드(113)의 앞쪽에 투과 홀이 형성된 초점 조절 유닛(15)이 배치될 수 있고, 양극 로드(113)로부터 방출된 엑스레이는 초점 조절 유닛(15)의 투과 홀을 경유하여 외부로 방출될 수 있다. 엑스레이는 투과 홀의 내부에서 분산 경로를 형성하지 않으며 투과 홀의 외부로 방출되면서 분산 경로를 형성하게 된다. 이로 인하여 탐지 유닛에서 도달하는 엑스레이의 분산 경로의 단면의 직경이 작아질 수 있다.According to the present invention, a collimator is provided in front of the anode rod 113 so that the dispersion range in the x-ray dispersion path can be reduced. Specifically, a focus adjustment unit 15 having a transmission hole formed in front of the anode rod 113 may be disposed, and the X-ray emitted from the anode rod 113 may be directed to the outside via the transmission hole of the focus adjustment unit 15 Can be released. The X-ray does not form a dispersion path inside the transmission hole but is released to the outside of the transmission hole to form a dispersion path. The diameter of the cross section of the dispersion path of the x-ray arriving at the detection unit can be reduced.

초점 조절 유닛(15)은 양극 로드(113)의 앞쪽에 배치되거나, 콜리메이터 브래킷(13)에 결합되어 양극 로드(113)의 앞쪽에 위치할 수 있다. 초점 조절 유닛(15)은 콜리메이터의 기능을 가질 수 있고, 양극 로드(113)의 앞쪽 면 또는 덮개에 결합되어 검사 대상 또는 주변 구조물이 엑스레이에 대한 노출 시간이 작아지도록 한다. 이와 동시에 검사 대상에서 형성되는 초점의 직경이 작아지도록 한다.The focus adjustment unit 15 may be disposed on the front side of the anode rod 113 or on the front side of the anode rod 113 coupled to the collimator bracket 13. The focus adjustment unit 15 may have the function of a collimator and is coupled to the front surface or the cover of the anode rod 113 so that the inspection object or peripheral structure has a reduced exposure time to the x-ray. At the same time, the diameter of the focus formed on the inspection object is made small.

초점 조절 유닛(15)은 다양한 구조로 만들어질 수 있고, 예를 들어 스트립 형상으로 만들어질 수 있다. 초점 조절 유닛(15)은 판 형상 또는 스트립 형상으로 만들어져 덮개에 결합되거나, 양극 로드(113)의 덮개를 초점 조절 유닛(15)이 형성된 덮개로 교체하거나 또는 콜리메이터 브래킷(13)에 설치될 수 있다.The focus adjusting unit 15 can be made in various structures, for example, in a strip shape. The focus adjustment unit 15 may be formed in a plate or strip shape to be coupled to the cover or to replace the cover of the anode rod 113 with a cover on which the focus adjustment unit 15 is formed or to the collimator bracket 13 .

아래에서 이와 같은 구조를 가지는 초점 조절 유닛(15)에 대하여 설명된다.The focus adjustment unit 15 having such a structure will be described below.

도 2는 본 발명에 따른 엑스레이 튜브에 결합되는 콜리메이터의 실시 예를 도시한 것이다.Figure 2 illustrates an embodiment of a collimator coupled to an x-ray tube in accordance with the present invention.

도 2를 참조하면, 초점 조절 유닛(15)은 콜리메이터 브래킷(13)에 의하여 양극 로드(113)에 배치될 수 있다. 구체적으로 양극 로드(113)의 앞쪽에 엑스레이가 외부로 방출되는 방출 덮개(115)가 형성될 수 있고, 콜리메이터 기능을 가지는 초점 조절 유닛(15)은 방출 덮개(115)의 앞쪽에 위치할 수 있다. Referring to Fig. 2, the focus adjusting unit 15 may be disposed on the anode rod 113 by a collimator bracket 13. Fig. Specifically, a discharge lid 115 may be formed in front of the anode rod 113 to discharge the x-rays to the outside, and a focus adjusting unit 15 having a collimator function may be disposed in front of the discharge lid 115 .

콜리메이터 브래킷(13)은 튜브 몸체(111)에 결합되는 1, 2 체결 부재(131, 132); 1, 2 체결 부재(131, 132)로부터 양극 로드(113)를 향하여 연장되는 연장 플레이트(133); 및 연장 플레이트(133)의 끝 부분에 형성된 고정 탭(134)으로 이루어질 수 있다.The collimator bracket 13 includes first and second fastening members 131 and 132 coupled to the tube body 111; An extension plate 133 extending from the first and second fastening members 131 and 132 toward the anode rod 113; And a fixing tab 134 formed at an end portion of the extension plate 133. [

1, 2 체결 부재(131, 132)는 튜브 몸체(111)에 고정될 수 있는 다양한 구조로 만들어질 수 있고, 예를 들어 1, 2 체결 부재(131, 132)는 튜브 몸체(111)에 고정되는 체결 테두리를 형성할 수 있다. 콜리메이터 브래킷(13)은 엑스레이 튜브와 독립적으로 만들어질 수 있고, 1, 2 체결 부재(131, 132)는 튜브 몸체(111)에 결합되는 다양한 구조로 만들어질 수 있다. 1 체결 부재(131) 또는 2 체결 부재(132)에 양극 로드(113)를 향하여 연장되는 서로 마주보는 한 쌍의 연장 플레이트(133)가 형성될 수 있고, 한 쌍의 연장 플레이트(133)는 튜브 몸체(111)의 벽면을 따라 아래쪽으로 연장될 수 있다. 연장 플레이트(133)는 튜브 몸체(111)의 끝 부분에 이르도록 연장될 수 있고, 연장 플레이트(133)의 끝 부분은 양극 로드(113)를 사이에 두고 서로 마주보도록 위치할 수 있다. 초점 조절 유닛(15)은 판 형상의 스트립 형상으로 만들어질 수 있고, 양쪽 끝이 연장 플레이트(133)의 끝 부분에 고정될 수 있다. 구체적으로 초점 조절 유닛(15)은 중앙 부분에 원형으로 형성된 경로 형성 부분(151) 및 경로 형성 부분의 양쪽으로 연장되는 고정 스트립(152)으로 이루어질 수 있다. 경로 형성 부분(151)에 엑스레이가 투과할 수 있는 투과 홀이 형성될 수 있고, 투과 홀은 방출 덮개(115)에 형성된 방출 홀로부터 방출된 엑스레이가 유도되는 위치 및 구조로 형성될 수 있다. 그리고 고정 스트립(152)의 양쪽 끝은 연장 플레이트(133)의 양쪽 끝에 고정될 수 있다. 초점 조절 유닛(15)은 엑스레이의 차폐가 가능한 다양한 소재로 만들어질 수 있고, 예를 들어 아연, 구리, 납 또는 이와 유사한 소재로 만들어질 수 있다. The first and second fastening members 131 and 132 may be made of various structures that can be fixed to the tube body 111. For example, the fastening members 131 and 132 may be fixed to the tube body 111 So that a fastening edge can be formed. The collimator bracket 13 can be made independently of the x-ray tube and the first and second fastening members 131 and 132 can be made in various structures that are coupled to the tube body 111. A pair of extension plates 133 facing each other and extending toward the anode rod 113 can be formed on the fastening member 131 or the two fastening members 132, And may extend downward along the wall surface of the body 111. The extension plate 133 can extend to reach the end of the tube body 111 and the end of the extension plate 133 can be positioned to face each other with the anode rod 113 interposed therebetween. The focus adjusting unit 15 can be formed in a plate-like strip shape and both ends can be fixed to the end portion of the extension plate 133. [ Specifically, the focus adjusting unit 15 may include a path forming portion 151 formed in a circular shape at the center portion and a fixing strip 152 extending to both sides of the path forming portion. The passage hole can be formed in the path forming portion 151 and the through hole can be formed in a position and structure where the X-ray emitted from the discharge hole formed in the discharge cover 115 is guided. And both ends of the fixing strip 152 may be fixed to both ends of the extension plate 133. [ The focus adjustment unit 15 may be made of various materials capable of shielding the X-rays, and may be made of, for example, zinc, copper, lead or the like.

1, 2 체결 부재(131, 132)는 분리 가능하도록 결합되거나 또는 상대적인 위치가 가능하도록 결합될 수 있다. 구체적으로 1, 2 체결 부재(131, 132)는 사각 판 형상으로 만들어질 수 있고, 1 체결 부재(131)의 끝 부분에 선형의 체결 홀(131a)이 형성되고, 2 체결 부재(132)의 끝 부분에 체결 홀(131a)에 대응되는 결합 홀(132a)이 형성될 수 있다. 결합 홀(132a)은 체결 홀(131a)의 서로 다른 위치에 결합될 수 있고, 적절한 고정 수단이 체결 홀(131a) 및 결합 홀(132a)에 결합되는 것에 의하여 1, 2 체결 부재(131, 132)가 상대적인 위치 조절이 가능하도록 결합될 수 있다. 연장 플레이트(133)의 끝 부분에 고정 탭(134)이 결합될 수 있고, 고정 탭(134)에 의하여 고정 스트립(152)의 양쪽 끝이 고정될 수 있다. 연장 플레이트(133)의 끝 부분에 고정 돌기(135a)가 형성되고, 고정 탭(134)의 중앙 부분에 고정 돌기(135a)가 수용되는 수용 홈(135b)이 형성될 수 있다. 고정 탭(134)의 양쪽 끝에 안정 돌기(136)가 형성될 수 있고, 안정 돌기(136)는 신축성 또는 탄성을 가진 소재로 만들어질 수 있다. 고정 돌기(135a)와 수용 홈(135b)에 의하여 고정 스트립(152)의 양쪽 끝이 안정적으로 고정될 수 있다. 그리고 안정 돌기(136)에 의하여 초점 조절 유닛(15)이 안정적으로 정해진 위치에 고정되면서 엑스레이가 초점 조절 유닛(15)에 형성된 투과 홀을 통하여 안정적으로 유도되도록 한다. 고정 탭(134)은 다양한 고정 수단(FB)에 의하여 연장 플레이트(133)에 분리 가능하도록 결합될 수 있다.The first and second fastening members 131 and 132 may be detachably coupled or may be coupled so as to be capable of relative positioning. More specifically, the first and second fastening members 131 and 132 may be formed in a rectangular plate shape, and a linear fastening hole 131a may be formed at the end of the fastening member 131, And a coupling hole 132a corresponding to the coupling hole 131a may be formed at the end portion. The engaging holes 132a can be engaged with the engaging holes 131a at different positions and the engaging holes 132a can be engaged with the engaging holes 132a by suitable fastening means. Can be combined to enable relative position adjustment. A fixing tab 134 can be coupled to the end of the extension plate 133 and both ends of the fixing strip 152 can be fixed by the fixing tab 134. A fixing protrusion 135a may be formed at the end of the extension plate 133 and a receiving groove 135b may be formed at the center of the fixing tab 134 to receive the fixing protrusion 135a. Stabilization protrusions 136 may be formed at both ends of the fixing tabs 134, and the stabilizing protrusions 136 may be made of a material having elasticity or elasticity. Both ends of the fixing strip 152 can be stably fixed by the fixing protrusion 135a and the receiving groove 135b. The focus adjusting unit 15 is stably fixed at the predetermined position by the stabilizing projection 136 so that the x-ray is stably guided through the through hole formed in the focus adjusting unit 15. [ The securing tab 134 may be releasably coupled to the extension plate 133 by various fastening means FB.

초점 조절 유닛(15)은 다양한 방식으로 콜리메이터 브래킷(13)에 결합될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.The focus adjustment unit 15 can be coupled to the collimator bracket 13 in a variety of ways and the invention is not limited to the embodiments shown.

도 3은 본 발명에 따른 엑스레이 튜브에 결합되는 콜리메이터의 초점 조절 유닛의 실시 예를 도시한 것이다.FIG. 3 shows an embodiment of a focusing unit of a collimator coupled to an X-ray tube according to the present invention.

도 3을 참조하면, 양극 로드의 앞쪽에 방출 덮개(115)가 결합될 수 있고, 방출 덮개(115)는 다수 개의 결합 홀(311)에 의하여 양극 로드에 분리 가능하도록 결합될 수 있다. 방출 덮개(115)에 방출 부분(32)이 형성될 수 있고, 방출 부분(32)의 중앙 부분에 엑스레이가 방출되는 방출 홀(33)이 형성될 수 있다. 초점 조절 유닛(15)은 중앙 부분에 형성된 경로 형성 부분(151); 경로 형성 부분(151)의 양쪽으로 연장되는 고정 스트립(152); 및 경로 형성 부분(151)을 관통하도록 형성되어 방출 홀(33)로부터 방출되는 엑스레이를 유도하는 유도 홀(153)이 형성될 수 있다.Referring to FIG. 3, a discharge lid 115 may be coupled to a front end of the anode rod, and a discharge lid 115 may be detachably coupled to the anode rod by a plurality of coupling holes 311. The emitting portion 32 may be formed in the emitting cover 115 and the emitting hole 33 may be formed in the central portion of the emitting portion 32 to emit the X-ray. The focus adjusting unit 15 includes a path forming portion 151 formed at a central portion thereof; A fixing strip 152 extending to both sides of the path forming portion 151; And an induction hole 153 formed to pass through the path forming part 151 and to guide the X-ray emitted from the emitting hole 33. [

본 발명에 따르면, 초점 조절 유닛(15)은 방출 덮개(115)에 직접 결합될 수 있다. 구체적으로 방출 덮개(115)에 다수 개의 스트립 고정 홀(321)이 형성될 수 있고, 초점 조절 유닛(15)의 고정 스트립(152)의 끝 부분에 대응 홀(154)이 형성될 수 있다. 그리고 스트립 고정 홀(321)과 대응 홀(154)이 고정 수단에 의하여 체결되는 것에 의하여 초점 조절 유닛(15)이 방출 덮개(115)에 직접 결합될 수 있다. 스트립 고정 홀(321)은 원형을 따라 형성될 수 있고, 이에 의하여 초점 조절 유닛(15)은 다양한 방향으로 방출 덮개(115)에 고정될 수 있다. 본 발명에 따른 엑스레이 튜브는 이와 같이 다수 개의 스트립 고정 홀(321)이 형성된 구조를 포함한다.According to the present invention, the focusing unit 15 can be directly coupled to the discharge cover 115. A plurality of strip fixing holes 321 may be formed in the discharge cover 115 and a corresponding hole 154 may be formed at the end of the fixing strip 152 of the focusing unit 15. And the focus adjusting unit 15 can be directly coupled to the discharge cover 115 by fastening the strip fixing hole 321 and the corresponding hole 154 by the fixing means. The strip fixing holes 321 may be formed along the circular shape so that the focusing unit 15 can be fixed to the discharge cover 115 in various directions. The X-ray tube according to the present invention includes a structure in which a plurality of strip fixing holes 321 are formed.

본 발명에 따르면, 경로 형성 부분(151)은 고정 스트립(152)에 비하여 상대적으로 두껍게 만들어질 수 있고, 유도 홀(153)은 연장 방향을 따라 반지름의 크기가 서로 다른 형태로 만들어질 수 있다. 구체적으로 유도 홀(153)의 시작 부분으로부터 끝 부분으로 갈수록 반지름이 커지는 형태로 만들어질 수 있다. 위에서 설명된 것처럼, 초점 조절 유닛(15)은 엑스레이의 차폐가 가능한 소재로 만들어질 수 있고, 유도 홀(153)은 엑스레이의 투과가 가능한 소재로 만들어질 수 있다. 예를 들어 유리, 세라믹 또는 투명 합성수지 소재의 실린더 형상이 경로 형성 부분(151)에 삽입 및 고정되는 것에 의하여 유도 홀(153)이 만들어질 수 있다. 대안으로 유도 홀(153)은 엑스레이가 통과하는 속이 빈 홀 형상으로 만들어질 수 있다. 방출 덮개(115) 및 초점 조절 유닛(15)은 다양한 구조로 만들어질 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.According to the present invention, the path forming portion 151 can be made relatively thick compared to the fixing strip 152, and the induction hole 153 can be formed in a shape in which the radius is different in size along the extending direction. Specifically, the radius of curvature increases from the beginning of the induction hole 153 to the end thereof. As described above, the focus adjustment unit 15 may be made of a material capable of shielding the X-rays, and the induction hole 153 may be made of a material capable of transmitting X-rays. The guide hole 153 can be made by inserting and fixing the cylindrical shape of glass, ceramic or transparent synthetic resin into the path forming portion 151, for example. Alternatively, the guide hole 153 can be made into a hollow hole shape through which the x-ray passes. The discharge cover 115 and the focusing unit 15 can be made in various structures, and the present invention is not limited to the embodiments shown.

도 4는 본 발명에 따른 엑스레이 튜브가 적용되는 실시 예를 도시한 것이다. FIG. 4 illustrates an embodiment in which an X-ray tube according to the present invention is applied.

도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 엑스레이 튜브(10)는 전자기판(P)에 형성된 다수 개의 칩(C1, C11, C12)의 불량 검사에 적용될 수 있다. 다수 개의 칩(C1, C11, C12)은 이차원 행렬 구조로 배치될 수 있고, 엑스레이 튜브(10)에 의하여 각각의 칩(C1, C11, C12)이 연속적으로 검사될 수 있다. 검사 과정에서 엑스레이 튜브(10)로부터 방출된 엑스레이는 전자기판(P)을 투과하여 디텍터(40)에 의하여 탐지된다. 엑스레이 튜브(10)에 튜브로부터 방출되는 엑스레이는 다양한 방사선을 포함할 수 있고, 검사 대상 칩(C1)의 검사 과정에서 주변 칩(C11, C12)이 엑스레이에 노출될 수 있다. 그리고 주변 칩(C11, C12)이 장시간 동안 소프트 엑스레이와 같은 엑스레이에 노출되는 경우 주변 칩(C11, C12)은 손상될 수 있다.Referring to FIG. 4, the X-ray tube 10 according to the present invention can be applied to a defect inspection of a plurality of chips (C1, C11, C12) formed on an electronic substrate (P). The plurality of chips C1, C11 and C12 can be arranged in a two-dimensional matrix structure and each of the chips C1, C11 and C12 can be continuously inspected by the X-ray tube 10. The X-ray emitted from the X-ray tube 10 in the inspection process is transmitted through the electronic substrate P and is detected by the detector 40. The X-rays emitted from the tube in the X-ray tube 10 may include various kinds of radiation and the peripheral chips C11 and C12 may be exposed to the X-rays during the inspection of the chip C1 to be inspected. When the peripheral chips C11 and C12 are exposed to an X-ray such as a soft X-ray for a long time, the peripheral chips C11 and C12 may be damaged.

본 발명에 따르면 엑스레이 튜브(10)의 앞쪽에 초점 조절 유닛이 배치될 수 있고, 초점 조절 유닛이 배치되는 경우 검사 대상 칩(C1)에 형성되는 초점(F1)의 반지름이 작아질 수 있다. 구체적으로 도 4의 오른쪽에 도시된 것처럼, 초점 조절 유닛이 설치되는 경우 검사 대상 칩(C1)에 조절 초점(F)이 형성되어 주변 칩(C11, C12)이 엑스레이에 노출되지 않는다. 이에 비하여 초점 조절 유닛이 배치되지 않고 이로 인하여 일반 초점(F1)이 형성되면 주변 칩(C11, C12)이 엑스레이에 노출될 수 있다. 이와 같이 본 발명에 따른 엑스레이 튜브(10)는 검사 과정에서 엑스레이에 노출되는 주변 부위의 크기를 감소시켜 검사 대상의 손상이 방지되도록 한다.According to the present invention, the focus adjustment unit can be disposed in front of the x-ray tube 10, and the radius of the focus F1 formed on the chip C1 to be inspected can be reduced when the focus adjustment unit is disposed. Specifically, as shown in the right side of FIG. 4, when the focus adjustment unit is provided, the adjustment focus F is formed on the chip C1 to be inspected so that the peripheral chips C11 and C12 are not exposed to the X-rays. On the other hand, when the focus adjustment unit is not disposed and the general focus F1 is formed, the peripheral chips C11 and C12 may be exposed to the X-rays. As described above, the X-ray tube 10 according to the present invention reduces the size of the surrounding area exposed to the X-rays in the inspection process, thereby preventing damage to the inspection object.

본 발명에 따른 검사 튜브는 튜브로부터 조사되는 엑스레이가 검사 대상의 제한된 영역만을 투과하도록 한다. 이로 인하여 예를 들어 전자 기판에 밀집하게 배치된 전자 부품 또는 전자 소자의 검사 과정에서 검사 대상의 주위에 위치하는 부품 또는 소자가 장시간 엑스레이에 노출되어 손상되는 것이 방지되도록 한다.The inspection tube according to the present invention permits the X-ray irradiated from the tube to transmit only a limited area of the object to be inspected. This prevents the parts or elements located around the inspection object from being exposed to the X-ray for a long period of time in the inspection process of electronic components or electronic devices arranged closely on the electronic substrate, for example.

위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention . The invention is not limited by these variations and modifications, but is limited only by the claims appended hereto.

10: 엑스레이 튜브 13: 콜리메이터 브래킷
15: 초점 조절 유닛 32: 방출 부분
33: 방출 홀 40: 디텍터
111: 튜브 몸체 113: 양극 로드
115: 방출 덮개 131, 132: 1, 2 체결 부재
131a: 체결 홀 132a: 결합 홀
133: 연장 플레이트 134: 고정 탭
135a: 고정 돌기 135b: 수용 홈
136: 안정 돌기 151: 경로 형성 부분
152: 고정 스트립 153: 유도 홀
154: 대응 홀 311: 결합 홀
321: 스트립 고정 홀 C1: 대상 칩
C11, C12: 주변 칩 F: 조절 초점
F1: 초점 FB: 고정 수단
P: 전자기판10: x-ray tube 13: collimator bracket
15: focus adjustment unit 32:
33: Emissive hole 40: Detector
111: tube body 113: anode rod
115: discharge cover 131, 132: 1, 2 fastening member
131a: fastening hole 132a: fastening hole
133: Extension plate 134: Fixing tab
135a: fixing protrusion 135b: receiving groove
136: stabilizing protrusion 151: path forming portion
152: fixing strip 153: induction hole
154: Corresponding hole 311: Coupling hole
321: Strip fixing hole C1: Target chip
C11, C12: peripheral chip F: adjustable focus
F1: Focus FB: Fixing means
P: Electronic substrate

Claims (4)

엑스레이를 발생시키는 튜브 몸체(111);
튜브 몸체(111)의 앞쪽에 배치되어 엑스레이를 정해진 초점 위치로 조사하는 양극 로드(113);
양극 로드(113)로부터 조사되는 엑스레이가 투과되는 홀이 형성된 초점 조절 유닛(15) 및
초점 조절 유닛(15)이 결합되는 콜레메이터 브래킷(13)을 포함하고,
상기 콜리메이터 브래킷(13)은 튜브 몸체(111)에 결합되는 1, 2 체결 부재(131, 132); 1, 2 체결 부재(131, 132)로부터 양극 로드(113)를 향하여 연장되는 연장 플레이트(133); 및 연장 플레이트(133)의 끝 부분에 형성된 고정 탭(134)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 초점 조절 콜리메이터 구조의 엑스레이 튜브. A tube body 111 for generating x-rays;
A cathode rod 113 disposed in front of the tube body 111 to irradiate the x-ray to a predetermined focal position;
A focusing unit 15 having holes through which the X-rays irradiated from the anode rod 113 are transmitted,
And a collimator bracket 13 to which the focus adjusting unit 15 is coupled,
The collimator bracket 13 includes first and second fastening members 131 and 132 coupled to the tube body 111; An extension plate 133 extending from the first and second fastening members 131 and 132 toward the anode rod 113; And a fixing tab (134) formed at an end of the extension plate (133). 삭제delete 청구항 1에 있어서, 초점 조절 유닛(15)은 양극 로드(113)의 앞쪽 면에 일체로 만들어지거나, 상기 앞쪽 면에 대한 거리 조절이 가능하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 초점 조절 콜리메이터 구조의 엑스레이 튜브. The x-ray tube of claim 1, wherein the focus adjusting unit (15) is integrally formed on the front surface of the anode rod (113) or arranged so that the distance to the front surface can be adjusted. 삭제delete

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