KR101776868B1 - 불소화합물계 가스 처리 장치 - Google Patents

불소화합물계 가스 처리 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 불소화합물계 가스 처리 장치는 반도체 및 LCD공정에서 배출되는 불소화합물계 가스를 저온촉매 분해방식으로 처리하는 장치 및 분해하여 발생되는 불산가스를 처리하는 장치에 관한 것으로, 불소화합물계 가스를 저온촉매를 사용하여 분해과정에서 발생되는 불산가스에 물을 분사하여 처리하는 촉매/습식방식과 고온흡착제를 사용하여 처리하는 촉매/흡착방식인 불소화합물계 가스 처리 장치에 관한 것이다.

Description

불소화합물계 가스 처리 장치{Apparatus for Treating PFC's Gas}
본 발명은 불소화합물계(PFC's, Per Fluoro Compounds) 가스 처리 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 및 LCD(Liquid Crystal Display)공정에서 배출되는 불소화합물계 가스를 저온촉매 분해방식으로 처리하는 장치 및 분해하여 발생되는 불산가스를 처리하는 장치에 관한 것으로, 불소화합물계 가스를 저온촉매를 사용하여 분해과정에서 발생되는 불산가스에 물을 분사하여 처리하는 촉매/습식방식과 고온흡착제를 사용하여 처리하는 촉매/흡착방식인 불소화합물계 가스 처리 장치에 관한 것이다.
일반적으로 PFC계 가스는 매우 안정한 화합물로서 CF4, C2F6, C3F8, C4F10, SF6, NF3의 6종을 칭하며, 인체에 해롭지 않으나 지구의 복사열을 막아 지구온난화를 가속시키는 물질로 알려져있다.
지구온난화 물질은 이산화탄소가 대표적이며 총량 배출규모에서도 PFC계 가스보다 월등하게 많이 발생하나 발생 장소나 지역이 다양하여 사실상 제어가 불가능한 실정이다. 그러나 PFC계 가스의 경우 반도체 산업, LCD 산업 및 변압기 산업 등으로 사용 범위는 넓지 않으므로 사용 및 발생제어가 가능하지만 이미 발생된 PFC계 가스는 분해온도가 높거나 분해가 잘 이루어지지 않는 문제점이 있다. 따라서 PFC계 가스의 처리기술도 다양한 방식이 개발되어 산업현장에서 적용되고 있다.
PFC계 가스의 처리기술은 대부분 분해방식, 약제처리방식, 흡착처리방식 및 저온냉동방식 등이 있으나 경제성과 안전성을 고려하여 일반적으로 분해방식이 적용된다.
분해방식 경우 플루오르화수소 또는 플루오린화수소(HF, Hydrogen Fluoride), 일명 불산가스가 발생하므로 이를 별도로 처리하여야 한다. 불산가스는 불소와 수소화합물로 무색의 자극적인 향을 가지며, 물과 반응성을 가지는 유독성 물질로써 재질 부식성이 매우 강하며, 인체와 접촉될 경우 피부점막을 파괴하여 물집을 일으키고 눈에 접촉될 경우 각막손상을 일으킨다. 또한, 인체에 흡입될 경우 혈액에 녹아 들어가 쇼크를 일으킬 정도의 위험한 물질이므로 매우 신중하게 사용 및 관리되어야 한다.
PFC계 가스의 분해처리방식으로는 직접연소방식인 LNG, LPG 또는 수소를 사용한 연소방식, 프라즈마 방식 등이 있으며, 간접연소방식인 전기히터에 의한 고온가열방식과 고온촉매방식 등이 있다. 직/간접 연소방식으로 분해하는 경우 발생되는 불산 가스는 대부분 물에 용해시켜 처리한다.
종래의 직/간접 분해 방식은 가스분해온도가 600∼1600℃ 범위인 고온에서 분해되어 고온으로 유지하기 위하여 필요한 에너지가 과다 소비되며, 고온운전으로 인한 장치의 유지비용이 증가되고, 화재/폭발 위험성이 증대되는 문제점이 있었다.
대한민국 등록특허공보 제10-1178918호(2012.08.27.) 대한민국 공개특허공보 10-2013-0085025호(2013.07.26.)
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 촉매/습식방식은 저온촉매를 사용하고, 실온상태의 인입 가스와 분해 후 배출되는 가스 사이에 열교환이 이루어지는 구조를 채택하여 가스 분해에 필요한 에너지가 절감되며, 저온으로 가스 분해가 이루어져 화재 폭발의 위험성이 감소되는 불소화합물계 가스 처리 장치를 제공한다.
그러나 촉매/습식방식의 경우 촉매층을 통과한 분해가스 처리를 위해 물을 사용하므로 폐수가 발생하는 단점이 있으며, 물 이송이나 배출하는 펌프를 사용하므로 추가 전력이 필요하게 된다. 이를 보완하기 위하여 촉매층을 통과한 분해가스를 물로 분사 대신 고온 흡착제를 사용하여 흡착처리하게 되어 폐수 발생이나 추가 전력이 불필요하는 촉매/흡착방식을 채택하여 불소화학물계 가스 처리 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 불소화합물계 가스 처리 장치의 촉매/습식방식은 상부 일측에 배출관이 구비되며 하향 개구된 중공의 외통부와;
상향 개구된 중공체이며, 상기 외통부의 하부에 구비되어 상기 외통부의 개구부와 연통된 물 수용부와;
상기 외통부 내에 구비되며, 상부 일측에 유입관이 구비되며, 하단이 상기 외통부 하단으로부터 상향 이격되며, 양단이 개구된 중공의 내통부와;
상기 내통부 내에 구비되며, 하단이 상기 내통부의 하단으로부터 상향 이격된 중공의 가열부와;
상기 가열부 내에 구비된 중공의 촉매부와;
상기 촉매부 내에 구비되며, 양단이 개구된 중공체이며, 하단이 물 수용부로부터 상향 이격되고, 상단이 상기 가열부의 상단으로부터 하향 이격된 내부배출부와;
외측은 내통부 하단에 연결되고 내측은 내부배출부 하단에 연결되어 내통부와 내부배출부 사이에 공간을 형성하며, 상기 물 수용부로부터 상향 이격된 내통바닥부와; 상기 내통부의 상향 개구된 부분을 폐쇄하는 커버로 이루어지며;
상기 가열부의 상단은 상기 촉매부보다 돌출되어 상기 커버에 접하고, 내부배출부의 상단은 커버로부터 이격되며; 상기 외통부와 내통부 사이에 상하 방향으로 제2 유동로가 형성되며, 상기 내통부와 가열부 사이에 상하 방향으로 제1 유동로가 형성되며;
상기 외통부의 하부와 물 수용부의 상부 사이에는 공간이 형성되며, 물 수용부에는 급수관과 배수관이 서로 이격 구비되며, 상기 배수관으로부터 상향 이격된 공급관이 구비되며;
상기 공급관은 상하 방향으로 연장되어 일단이 물 수용부에 연통되어 외통부와 연결되고, 타단에는 관체인 분사부가 구비되어 일단이 상기 공급관에 연결되고 타단이 제2 유동로에 위치되며;
상기 분사부에는 노즐인 분사부재가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 불소화합물계 가스 처리 장치를 제공한다.
상기에서, 분사부의 타단은 상기 배출관으로부터 하향 이격되어 상기 내통부의 둘레를 따라 연장 형성되며, 상기 분사부는 복수로 구비되어 상하 방향으로 서로 이격 구비되며;
상기 분사부재는 상기 분사부의 연장 방향을 따라 이격 구비되는 것을 특징으로 한다.
상기에서, 수용부에는 pH센서가 더 구비되며;
상기 pH센서에 의해 상기 수용부에 수용되는 물의 pH가 측정되며, 상기 수용부에 수용된 물의 pH는 1∼3 범위로 조절되는 것을 특징으로 한다.
상기에서, 불소화합물계 가스 처리 장치로 유입되는 가스는 상기 유입관을 통해 제1 유동로로 유입되며;
상기 제1 유동로를 지나 상기 촉매부의 하부로 유입되어 상향 이동하여 상기 커버와 내부배출부 사이에 형성된 공간에 모여 상기 내부배출부로 유입되며;
상기 내부배출부를 통과하여 상기 내통바닥부와 물 수용부 사이를 지나 상기 제2 유동로를 통해 배출관으로 배출되며;
상기 제2 유동로에는 상기 분사부재를 통해 냉각수가 분사되는 것을 특징으로 한다.
상기에서, 제1 유동로와 제2 유동로는 서로 열교환 되며, 상기 가열부의 가열온도는 300∼600℃ 범위인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 불소화합물계 가스 처리 장치의 촉매/흡착방식은 중공의 열교환관과; 상기 열교환관의 일측에 구비된 중공의 가열부와; 상기 가열부 내에 구비된 촉매부와; 상기 촉매부 내에 구비되며, 상단이 개구된 중공체이며, 상단이 상기 가열부의 상단으로부터 하향 이격된 내부배출부와; 외측은 가열부 하단에 연결되고 내측은 내부배출부 하단에 연결되어 상기 가열부의 하향 개구된 부분을 폐쇄하는 촉매바닥부와; 상기 가열부의 일측에 구비된 흡착관과;
상기 열교환관의 하부 일측을 관통하여 상향 연장되며 상부 일측을 관통하며, 일단이 상기 촉매바닥부에 연결된 제1 이동관과; 일단이 상기 내부배출부의 하부에 연결되고, 타단이 상기 열교환관의 상부에 연결된 제2 이동관과; 일단이 상기 열교환관의 하부에 연결되고, 타단이 상기 흡착관의 하부에 연결된 제3 이동관과; 일단이 상기 흡착관의 상부에 연결되고, 타측이 외부와 연통된 제4 이동관으로 이루어진 것을 특징으로 하는 불소화합물계 가스 처리 장치를 제공한다.
상기에서, 흡착관의 일측에 구비되며, 상부에 냉각수 급수관이 형성되고, 하부에 냉각수 배수관이 형성된 중공의 냉각부가 더 포함되며;
상기 제4 이동관은 일단이 상기 흡착관의 상부에 연결되고, 타측이 상기 냉각부의 하부로부터 상향 연장되어 냉각부를 관통하여 상기 냉각부의 상부로 돌출된 제4 이동관으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
상기에서, 상기 불소화합물계 가스 처리 장치로 유입되는 가스는 제1 이동관을 지나 촉매부로 유입되며;
상기 촉매부를 지나 상기 가열부의 상부와 내부배출부 사이의 공간에 모여 상기 내부배출부를 통과하여 제2 이동관으로 유입되며;
상기 제2 이동관을 지나 상기 열교환관을 통과하여 제3 이동관으로 유입되며;
상기 제3 이동관을 지나 상기 흡착관으로 유입되며;
상기 흡착관을 지나 상기 제4 이동관을 통해 배출되는 것을 특징으로 한다.
상기에서, 상기 열교환관과 제2 이동관은 서로 열교환되며, 상기 제4 이동관과 냉각부는 서로 열교환되며; 상기 가열부의 가열 온도는 300∼600℃ 범위인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 불소화합물계 가스 처리 장치의 촉매/습식방식은 촉매를 사용하고, 실온에서 장치로 인입되는 가스와 촉매부에서 분해 후 배출되는 가스 사이에 열교환이 가능한 구조로 이루어져 가스 분해를 위해 필요한 에너지가 절감되는 효과가 있다. 또한, 저온 운전으로 인해 화재 폭발의 위험성이 감소되는 효과가 있으며, 장치 재질의 부식문제를 감소시켜 장치 내구성을 증대시키는 효과가 있다.촉매/흡착 방식의 경우, 분해가스를 고온흡착제로 흡착하여 처리하므로 폐수 발생이 없는 효과가 있으며, 물을 이송하는 펌프를 사용하지 않으므로 전력을 절감할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 불소화합물계 가스 처리 장치의 촉매/습식방식의 단면을 도시한 단면도이며,
도 2는 도 1의 불소화합물계 가스 처리 장치의 작동 과정을 도시한 순서도이고,
도 3은 본 발명에 따른 불소화합물계 가스 처리 장치의 촉매/흡착방식의 단면을 도시한 단면도이며,
도 4는 도 3의 불소화합물계 가스 처리 장치의 작동 과정을 도시한 순서도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 불소화합물계 가스 처리 장치에 대하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 불소화합물계 가스 처리 장치의 촉매/습식방식의 단면을 도시한 단면도이며, 도 2는 도 1의 불소화합물계 가스 처리 장치의 작동 과정을 도시한 순서도이고, 도 3은 본 발명에 따른 불소화합물계 가스 처리 장치의 촉매/흡착방식의 단면을 도시한 단면도이며, 도 4는 도 3의 불소화합물계 가스 처리 장치의 작동 과정을 도시한 순서도이다.
도 1에서 가로 방향을 "반경 방향"으로 하고, 세로 방향을 "상하 방향"으로 하여 기재한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 촉매/습식방식의 불소화합물계 가스 처리 장치(100)는 외통부(110)와, 내통부(120)와, 가열부(130)와, 촉매부(140)와, 내부배출부(150)와, 물 수용부(160)로 이루어진다. 상기 불소화합물계 가스 처리 장치(100)는 상기 외통부(110) 내에 내통부(120), 가열부(130), 촉매부(140) 및 내부배출부(150)가 구비되고, 상기 외통부(110)의 하부에 물 수용부(160)와 연통되며 일체형으로 구비된다.
상기 외통부(110)는 원통형이며, 양단이 개구된 중공체로 구비된다. 상기 외통부(110)의 상부 일측에는 배출관(111)이 구비된다.
상기 내통부(120)는 원통형이며, 양단이 개구된 중공체로 구비된다. 상기 내통부(120)의 상단은 커버(120b)가 구비되어 개구부가 폐쇄된다. 상기 커버(120b)는 원형의 판상으로 구비되다.
상기 내통부(120)는 상기 외통부(110) 내에 구비된다. 상기 내통부(120)는 상기 외통부(110)의 측면으로부터 반경 방향 내측으로 이격되어 구비된다. 상기 내통부(120)의 상부는 상기 외통부(110)의 상부를 관통하여 상향 돌출 구비된다.
상기 내통부(120)가 돌출 구비되며, 상기 외통부(110)의 외통부 커버(도시하지 않음)는 외측은 상기 외통부(110)의 상단에 연결되고 내측은 상기 내통부(120)에 연결된다. 상기 외통부(110)와 내통부(120)의 사이가 외통부 커버에 의해 상기 외통부(110)와 내통부(120) 사이에는 상하 방향으로 제2 유동로(110-1)가 형성된다. 상기 제2 유동로(110-1)는 원통형 형상으로 형성된다.
상기 내통부(120)의 상부 일측에는 불소화합물계 가스가 유입되는 유입관(121)이 구비된다. 상기 유입관(121)은 상기 외통부 커버로부터 상향 이격된 위치에 구비된다. 상기 유입관(121)이 상기 외통부 커버로부터 하향 이격된 위치에 구비된다면, 상기 유입관(121)은 상기 외통부(110)의 상부 측면을 관통하여 외부와 연통되도록 구비될 수 있다. 상기 내통부(120)의 하단은 상기 외통부(110)의 하단 및 물 수용부(160)로부터 상향 이격되어 구비된다.
상기 가열부(130)는 원통형의 중공체로 구비된다. 상기 가열부(130)는 히터 등으로 이루어진다. 상기 가열부(130)는 상기 내통부(120) 내에 구비된다. 상기 가열부(130)는 상기 내통부(120)의 측면으로부터 반경 방향 내향 이격되어 구비된다. 상기 가열부(130)의 상단은 상기 커버(120b)에 접하여 구비된다. 상기 가열부(130)의 하단은 상기 내통부(120)의 하단으로부터 상향 이격되어 구비된다.
상기 가열부(130)는 300∼600℃ 범위의 온도로 가열된다. 상기 가열부(130)에는 가열부(130)의 온도를 측정할 수 있는 온도 센서가 구비될 수도 있다.
상기 가열부(130)의 외측면에는 단열재(131)가 더 구비된다. 상기 단열재(131)는 원통형으로 구비된다. 상기 단열재(131)는 상기 내통부(120)의 측면으로부터 반경 방향 내향 이격되어 구비된다. 상기 단열재(131)의 상단은 상기 커버(120b)에 접하여 구비된다. 상기 단열재(131)의 하단은 상기 가열재(130)의 하단과 일치되며, 상기 내통부(120)의 하단으로부터 상향 이격되어 구비된다.
상기 단열재(131)가 구비됨으로써 상기 가열부(130)에서 발생하는 열은 가열부(130)의 내측으로 모아져 가열부(130)의 내에 구비된 촉매부(140)의 가열이 효율적으로 이루어지게 된다.
상기 가열부(130) 내에는 원통형의 촉매부(140)와 내부배출부(150)가 구비된다. 상기 내부배출부(150)는 상기 촉매부(140) 내에 구비되며, 상기 촉매부(140)는 상기 가열부(130)와 내부배출부(150) 사이에 구비된다.
상기 촉매부(140)는 상기 가열부(130) 내에 구비된다. 상기 촉매부(140)는 원통형의 중공체로 구비된다. 상기 촉매부(140)는 상하 방향으로 개구된 원통형의 중공체로 구비된다. 상기 촉매부(140)의 외측은 상기 가열부(130)에 접하며, 내측은 상기 내부배출부(150)에 접하여 구비된다. 상기 촉매부(140)의 상단은 상기 가열부(130)의 상부 및 커버(120b)로부터 하향 이격되어 구비된다. 상기 촉매부(140)의 상단이 상기 커버(120b)로부터 하향 이격되어 위치되며, 상기 커버(120b)와 촉매부(140)의 상단 사이에는 내부공간(S)이 형성된다.
상기 촉매부(140)의 상부 및 하부에는 망체(도시하지 않음)가 구비될 수 있다. 상기 망체는 판상의 환형으로 구비된다.
상기 촉매부(140)에는 불소화합물의 활성화 에너지를 낮추기 위한 저온촉매가 구비된다. 저온촉매는 알루미나 담체에 전이금속을 산에 용해시켜 코팅한 촉매를 사용한다.
상기 촉매부(140)는 상기 가열부(130)로부터 충분히 가열되며 불소화합물의 활성화 에너지가 낮아져 기존보다 낮은 온도에서도 불소화합물의 분해가 원활하게 이루어진다. 저온촉매를 이용함으로써, 가스 분해를 위한 가열 온도가 낮아지며 가열하기 위해 필요한 에너지가 절감되는 효과가 있다. 또한, 저온 운전으로 인해 화재 및 폭발의 위험성이 감소된다.
상기 불소화합물계 가스는 상기 촉매부(140)를 지나며 불소화합물이 분해되어 불산가스 등이 생성된다.
상기 내부배출부(150)는 상기 촉매부(140) 내에 구비된다. 상기 내부배출부(150)는 양단이 개구된 원통형의 중공체로 구비된다. 상기 내부배출부(150)의 상단은 상기 커버(120b)로부터 하향 이격되어 구비된다. 상기 내부배출부(150)의 상단은 상기 가열부(130)의 상단으로부터 하향 이격되어 구비된다. 상기 내부배출부(150)의 상단과 상기 커버(120b) 사이에는 내부공간(S)이 형성된다.
상기 내부배출부(150)의 하단은 상기 외통부(110)의 하단 및 물 수용부(160)로부터 상향 이격되어 구비된다. 상기 내부배출부(150)의 하단은 상기 가열부(130) 및 촉매부(140)의 하단으로부터 하향 돌출된다. 상기 내부배출부(150)의 하단은 상기 내통부(120)의 하단과 같은 높이로 형성된다. 상기 내부배출부(150)의 하단과 내통부(120)의 하단은 내통바닥부(120a)로 연결된다.
상기 내통바닥부(120a)는 환형의 판상으로 구비된다. 상기 내통바닥부(120a)는 외측은 내통부(120) 하단에 연결되고 내측은 내부배출부(150) 하단에 연결된다. 상기 내통바닥부(120a)는 내통부(120)의 바닥부이며, 상기 내통부(120)와 내부배출부(150)의 사이에 공간이 형성되어 분해가스가 이동하는 통로가 된다. 상기 내통바닥부(120a)는 상기 외통부(110)의 하단 및 물 수용부(160)로부터 상향 이격되어 구비된다.
상기 내통부(120)와 가열부(130) 사이에는 상하 방향으로 제1 유동로(120-1)가 형성된다. 상기 제1 유동로(120-1)는 원통형 형상으로 형성된다.
상기 물 수용부(160)는 상기 외통부(110)의 하부에 구비된다. 상기 물 수용부(160)는 수용부본체(164)와, 급수관(161)과, 배수관(162)과, 공급관(163)으로 이루어진다.
상기 수용부본체(164)는 상향 개구된 원통형의 중공체로 구비된다. 상기 구용부본체(164)의 개구부는 상기 외통부(110)의 하향 개구된 개구부와 연통되도록 구비된다. 상기 수용부본체(164)에는 물이 수용된다. 상기 내통바닥부(120a)와 물 수용부(160) 사이에는 공간(S2)이 형성된다. 상기 공간(S2)은 상기 내부배출부(150)로부터 이동되는 분해가스가 제2 유동로(110-1) 또는 배출관(111)으로 이동하면서 상기 공급관(163)에 구비된 분사부재(163-3)로부터 수용부본체(164) 내로 낙하되는 공간이다. 상기 물 수용부(160)는 외통부(110)와 분리되어 구비될 수도 있다.
상기 급수관(161)은 상기 수용부본체(164)의 일측에 구비된다. 상기 급수관(161)을 통해 상기 수용부본체(164) 내로 시수가 유입된다. 이때, 수용부본체(164) 내로 유입된 시수의 수면은 상기 급수관(161)으로부터 하향 이격되어 위치된다. 따라서, 상기 시수의 수면과 내통바닥부(120a) 사이에는 공간(S2)이 형성된다.
상기 배수관(162)은 상기 수용부본체(164)의 일측에 구비된다. 상기 배수관(162)은 상기 급수관(161)과 서로 이격되어 구비된다. 상기 배수관(162)을 통해 상기 수용부본체(164) 내로 수집된 오염수가 배출된다. 상기 배수관(162)은 상기 급수관(161)보다 하향 이격된 위치에 구비되는 것이 바람직하다. 상기 배수관(162)에는 제2 펌프(162-1)가 구비되어 오염수 배출 시 작동된다.
상기 공급관(163)은 상기 배수관(162)으로부터 상향 이격되어 구비된다. 상기 공급관(163)은 상기 외통부(110)의 외측에 구비되어 상하 방향으로 연장 형성된다. 상기 공급관(163)의 일단은 상기 물 수용부(160)에 연통되어 연결되고, 타단에는 관체인 분사부(163a)가 구비된다. 상기 분사부(163a)는 상기 물 수용부(160)로부터 상향 이격되어 상기 외통부(110)의 측면을 관통하여 구비된다. 상기 분사부(163a)의 타단은 상기 제2 유동로(110-1)에 위치된다.
상기 분사부(163a)의 타단은 상기 배출관(111)으로부터 하향 이격되어 구비된다. 상기 분사부(163a)의 타단은 상기 제2 유동로(110-1)에서 상기 내통부(120)의 둘레를 따라 연장 형성될 수도 있다.
상기 공급관(163)에는 복수의 분사부(163a)가 구비될 수 있다. 상기 복수의 분사부(163a)는 상하 방향으로 서로 이격 구비된다. 상기 제2 유동로(110-1)에 위치된 분사부(163a)에는 분사부재(163-3)가 더 구비된다. 상기 분사부재(163-3)는 상기 분사부(163a)에 구비되어 상기 외통부(110)의 제2 유동로(110-1) 내부에서 단을 이루며 설치된다. 상기 분사부재(163-3)는 상기 분사부(163a)의 연장 방향을 따라 서로 이격 구비된다. 상기 분사부재(163-3)는 원주 방향으로 이격되어 수개 또는 수십개가 구비될 수 있다.
상기 공급관(163)에는 제1 펌프(163-1)가 구비된다. 상기 제 펌프(163-1)는 상기 수용부본체(160)로부터 물을 끌어올려 상하 방향으로 이격된 상기 분사부재(163-3)에서 원주 방향으로 물이 균일하게 분사되도록 작동된다.
상기 물 수용부(160)에는 pH센서 및 온도센서가 더 구비될 수 있다. 상기 pH센서에 의해 상기 수용부에 수용되는 물의 pH가 측정되어, 상기 수용부에 수용된 물의 pH를 1∼3 범위로 조절한다. 또한 온도센서에 의해 상기 물 수용부(160)에 수용되는 물의 온도가 측정되어 상온의 일정한 온도로 물의 온도를 조절한다.
상기 불소화합물계 가스 처리 장치(100)로 유입되는 불소화합물계 가스는 도 2에 도시된 바와 같은 순서로 유입되고 배출된다.
불소화합물계 가스는 상기 유입관(121)을 통해 본 발명에 따른 불소화합물계 가스 처리 장치(100)로 인입된다. 가스 인입 전, 수용부본체(164) 내로 시수를 공급하고, 가스가 유입관(121)에 유입되기 직전에 물을 분사하여 촉매 환원제로 사용하며, 가열부(130)를 설정 온도로 가열시킨다. 상기 가열부(130)는 300∼600℃ 범위로 가열되며 촉매부(230)도 함께 가열된다.
불소화합물계 가스는 유입관(121)을 통해 인입되어 제1 유동로(120-1)로를 지나 상기 촉매부(140)의 하부로 이동된다.
상기 불소화합물계 가스는 제1 유동로(120-1)를 지나 촉매부(140)를 통과하며 가스는 가열되고 분해된다. 분해가스는 상기 제2 유동로(110-1)로 이동되어 상기 제1 유동로(120-1)를 지나는 가스와 열교환이 이루어진다.
따라서, 상기 불소화합물계 가스는 상기와 같이 제1 유동로(120-1)에서 제2 유동로(110-1)와 열교환이 이루어지며 150∼300℃의 온도로 가열되어 상기 촉매부(140)로 유입되고, 상기 촉매부(140)를 통과한 가스는 상기 물 수용부(160)와 내통바닥부(120a)의 사이 공간(S2)을 통과하면서 150∼300℃의 온도로 냉각되어 상기 제1 유동로(120-1)를 통과하여 분사부재(163-3)에 의해 물과 접촉되어 40℃ 이하로 냉각되어 상기 배출관(111)으로 배출된다.
상기와 같이 열교환이 이루어짐으로써, 한 번 가열되고 상기 촉매부(140)로 이동되는 불소화합물계 가스의 가열을 위해 필요한 에너지는 실온인 불소화합물계 가스의 가열을 위해 필요한 에너지보다 적게 사용됨으로써 에너지가 절감되는 효과가 있다. 또한, 상기 촉매부(140)를 통과한 분해가스는 실온의 불소화합물계 가스와 열 교환을 통해 냉각을 위해 필요한 에너지보다 적게 사용하므로 에너지가 절감되는 효과가 있다.
상기 촉매부(140)로 유입된 불소화합물계 가스는 300∼600℃ 범위로 가열되며 가스분해가 일어난다. 상기 촉매부(140)로 유입된 불소화합물계 가스는 가열된 촉매부(140)를 통과하며 불산가스(HF), 질소화합물(NOx), 황산화물(SOx), 이산화탄소(CO2), 산소(O2) 및 수소(H2) 등으로 분해된 분해가스가 생성된다.
상기 촉매부(140)를 통과하며 생성된 분해가스는 내부공간(S)을 통해 내부배출부(150)로 유입되고, 상기 내부배출부(150)를 지나고 상기 내통바닥부(120a)와 물 수용부(160) 사이를 지나 상기 제2 유동로(110-1)로 유입된다. 이때, 내부배출부(150)를 통과하는 분해가스의 온도는 300∼600℃ 범위이다.
상기 제2 유동로(110-1)로 유입된 분해가스는 상기 제1 유동로(120-1)와 마주하여 상기 제1 유동로(120-1)로 유입되는 실온인 불소화합물계 가스와 열교환이 이루어진다. 이때, 분해가스는 상기 제1 유동로(120-1)의 불소화합물계 가스와 열교환되며 150∼300℃의 온도로 낮아진다.
상기 제2 유동로(110-1)로 유입된 분해가스는 상기 분사부재(163-3)로부터 분사되는 냉각수에 의해 냉각되어 상기 배출관(111)을 통해 외부로 배출된다. 상기 분사부재(163-3)로부터 분사되는 냉각수의 분사량은 배출될 가스의 온도가 40℃ 이하의 온도로 유지되도록 분사된다.
배출되는 가스의 온도가 40℃를 초과된 온도로 배출되는 경우 이송배관 등에서 화상 등의 안전문제가 발생될 수 있으며, 배출가스를 후처리하는 설비의 효율을 저하시키는 문제가 발생할 수도 있다.
상기 분해가스는 상기 제2 유동로(110-1)로 분사되는 냉각수에 의해 분해가스 중 불산가스가 물에 용해되며 배출될 가스에서 제거되고, 불산가스가 제거된 가스는 배출관(111)을 통해 배출된다.
상기 불산가스는 다음과 같은 화학식으로 물에 용해되며 제거된다.
HF(g)+H2O→HF(aq)
상기 불산가스가 용해된 오염수는 상기 수용부본체(164)로 수집되며, 상기 수용부본체(164)로 수집된 오염수는 pH가 1∼3 범위로 조절되어 배수관(162)을 통해 폐수처리장으로 배출된다. 오염수의 pH를 조절하기 위해 급수관(161)을 통한 시수 공급과 배수관(162)을 통한 오염수 배출이 반복적으로 이루어진다.
상기 촉매/습식방식인 불소화합물계 가스 처리 장치(100)는 상기 저온촉매를 사용하여 불소화합물계 가스 종류에 따라 분해온도 300∼600℃ 범위에서 분해할 수 있으며, 상기 저온촉매를 사용하여 분해된 가스인 불산가스는 배출되기 전에 인입가스와 열교환하고 물이 분사되며 냉각과 동시에 물에 용해되어 폐수로 배출된다. 불산가스가 제거된 배기가스는 상기 배출관(111)을 통해 별도의 후처리 설비로 이송된다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 촉매/흡착방식의 불소화합물계 가스 처리 장치(200)는 열교환관(210)과, 가열부(220)와, 촉매부(230)와, 내부배출부(240)와, 흡착관(250)과, 냉각부(260)와, 복수의 이동관으로 이루어진다.
이하에서, 도 3에서 세로 방향을 "상하 방향"으로 하고, 가열부(220)의 가로 방향을 "반경 방향"으로 하여 기재한다.
상기 열교환관(210)은 원통형의 중공체로 구비된다.
상기 가열부(220)는 상기 열교환관(210)의 일측에 구비된다. 상기 가열부(220)는 원통형의 중공체로 구비된다. 상기 가열부(220)는 상하 방향으로 개구되어 구비된다. 상기 가열부(220)는 300∼600℃ 범위의 온도로 가열된다. 상기 가열부(220)에는 가열부(220)의 온도를 측정할 수 있는 온도 센서가 구비될 수도 있다.
상기 가열부(220)의 상부에는 커버(220b)가 구비된다. 상기 커버(220b)는 원형의 판상으로 구비된다. 상기 가열부(220)의 상부는 상기 커버(220b)에 접하여 구비된다.
상기 가열부(220)의 외측에는 상기 가열부(220)를 감싸도록 단열재가 더 구비될 수 있다. 상기 단열재가 구비됨으로써 상기 가열부(220)로부터 발생되는 열이 외부로 방출되지 않아 촉매부(230)의 가열이 효율적으로 이루어질 수 있다. 상기 단열재가 구비된 경우, 상기 커버(220b)는 상기 단열재의 상부에 접하도록 구비되며, 상기 가열부(220)의 상단은 상기 커버(220b)로부터 하향 이격되어 구비될 수도 있다.
상기 가열부(220) 내에는 원통형의 촉매부(230)와 내부배출부(240)가 구비된다. 상기 내부배출부(240)는 상기 촉매부(230) 내에 구비되며, 상기 촉매부(230)는 상기 가열부(220)와 내부배출부(240) 사이에 구비된다.
상기 내부배출부(240)는 상기 촉매부(230) 내에 구비된다. 상기 내부배출부(240)는 상단이 개구된 원통형의 중공체로 구비된다. 상기 내부배출부(240)의 상단은 상기 커버(220b)로부터 하향 이격되어 구비된다. 상기 내부배출부(240)의 상단은 상기 가열부(220)의 상단으로부터 하향 이격되어 구비된다. 상기 내부배출부(240)의 상단과 상기 커버(220b) 사이에는 내부공간(S)이 형성된다.
상기 촉매부(230)는 상기 가열부(220)와 내부배출부(240) 사이에 구비된다. 상기 촉매부(230)는 상하 방향으로 개구된 원통형의 중공체로 구비된다. 상기 촉매부(230)의 외측은 상기 가열부(220)에 접하며, 내측은 상기 내부배출부(240)에 접하도록 구비된다. 상기 촉매부(230)의 상단은 상기 가열부(220) 및 커버(220b)로부터 하향 이격되어 구비된다. 상기 촉매부(230)의 상단이 상기 커버(220b)로부터 하향 이격되어 위치되면, 상기 커버(220b)와 촉매부(230)의 상단 사이에는 내부공간(S)이 형성된다.
상기 촉매부(230)의 상부 및 하부에는 망체(도시하지 않음)가 구비될 수 있다. 상기 망체는 판상의 환형으로 구비된다.
상기 촉매부(230)의 하부에는 촉매바닥부(230a)가 구비된다. 상기 촉매바닥부(230a)는 상기 가열부(220)의 하부와 내부배출부(240)의 하부 사이에 구비된다. 상기 촉매바닥부(230a)는 상기 가열부(220)의 하향 개구된 부분을 폐쇄하도록 구비된다. 상기 촉매바닥부(230a)는 판상의 환형으로 형성된다. 상기 촉매바닥부(230a)의 외측은 가열부(220) 하단에 연결되고, 내측은 내부배출부(240) 하단에 연결된다.
상기 촉매부(230)에는 불소화합물의 활성화 에너지를 낮추기 위한 저온촉매가 구비된다. 저온촉매는 알루미나 담체에 전이금속을 산에 용해시켜 코팅한 촉매를 사용한다.
상기 촉매부(230)는 상기 가열부(220)로부터 충분히 가열되며 불소화합물의 활성화 에너지가 낮아져 기존보다 낮은 온도에서도 불소화합물의 분해가 원활하게 이루어진다. 촉매를 이용함으로써, 가스 분해를 위한 가열 온도가 낮아지며 가열하기 위해 필요한 에너지가 절감되는 효과가 있다. 또한, 저온 운전으로 인해 화재 및 폭발의 위험성이 감소된다.
불소화합물계 가스는 상기 촉매부(230)를 지나며 불소화합물이 분해되며 불산가스 등이 생성된다.
상기 흡착관(250)은 상기 가열부(220)의 일측에 구비된다. 상기 흡착관(250)은 중공체로 구비된다. 상기 흡착관(250) 내부에는 불산가스를 흡착 제거하기 위한 흡착제가 구비된다. 상기 흡착제로는 분해가스인 불산가스를 선택적으로 흡착처리하는 고온흡착제 등이 사용된다. 상기 흡착관(250)에서는 상기 촉매부(230)에서 분해된 불산가스가 흡착된다.
상기 냉각부(260)는 상기 흡착관(250)의 일측에 구비된다. 상기 냉각부(260)는 중공체로 구비된다. 상기 냉각부(260)는 상부 일측에 냉각수 급수관(261)이 구비되고, 하부 일측에 냉각수 배수관(263)이 구비된다. 상기 냉각부(260)에서는 냉각수 급수관(261)으로부터 냉각수가 유입되어 냉각수 배수관(263)으로 배출된다.
상기 열교환관(210), 촉매부(230), 내부배출부(240), 흡착관(250) 및 냉각부(260)는 복수의 이동관으로 연결된다. 상기 이동관으로는 제1 이동관(213)과, 제2 이동관(241)과, 제3 이동관(215)과, 제4 이동관(251)이 있다.
상기 제1 이동관(213)은 상기 열교환관(210)의 하부 일측을 관통하여 상기 열교환관(210) 내에서 상향 연장되며 상부 일측을 관통하며, 일단이 상기 촉매바닥부(230a)에 연결된다.
상기 제2 이동관(241)은 일단이 상기 내부배출부(240)의 하부에 연결되고, 타단이 상기 열교환관(210)의 상부에 연결된다.
상기 제3 이동관(215)은 일단이 상기 열교환관(210)의 하부에 연결되고, 타단이 상기 흡착관(250)의 하부에 연결된다.
상기 제4 이동관(251)은 일단이 상기 흡착관(250)의 상부에 연결되고, 타측은 상기 냉각부(260)를 관통하여 외부로 돌출 구비된다. 상기 제4 이동관(251)은 상기 냉각부(260)의 하부로부터 상향 연장되어 냉각부(260)를 관통하여 구비된다. 상기 제4 이동관(251)의 타측은 외부와 연통된다.
상기 불소화합물계 가스 처리 장치(200)로 유입되는 불소화합물계 가스는 도 4에 도시된 바와 같은 순서로 유입되고 배출된다.
불소화합물계 가스는 제1 이동관(213)을 통해 본 발명에 따른 불소화합물계 가스 처리 장치(200)로 인입된다. 가스 인입 전, 상기 촉매부(230)에 물을 분사하여 촉매를 환원시키고, 가열부(220)를 설정 온도로 가열시킨다. 상기 가열부(220)는 300∼600℃ 범위로 가열되며 촉매부(230)도 함께 가열된다.
촉매 환원 후, 불소화합물계 가스는 제1 이동관(213)을 지나 촉매부(230)로 이동된다. 상기 불소화합물계 가스는 제1 이동관(213)을 지나며, 상기 가열부(220)에 의해 가열된 공기가 열교환관(210)으로 이동되어, 상기 제1 이동관(213)을 지나는 가스와 열교환관(210) 내의 가열된 공기 사이에 열교환이 이루어진다.
상기 불소화합물계 가스는 상기와 같이 열교환관(210)에서 열교환이 이루어지며 150∼300℃의 온도로 가열되어 상기 촉매부(230)로 유입된다.
상기와 같이 열교환이 이루어짐으로써, 한 번 가열되고 상기 촉매부(230)로 이동되는 불소화합물계 가스의 가열을 위해 필요한 에너지는 실온인 불소화합물계 가스의 가열을 위해 필요한 에너지보다 적게 사용됨으로써 에너지가 절감되는 효과가 있다.
상기 촉매부(230)로 유입된 불소화합물계 가스는 300∼600℃ 범위로 가열되며 가스분해가 일어난다. 상기 촉매부(230)로 유입된 불소화합물계 가스는 가열된 촉매부(230)를 통과하며 불산가스(HF), 질소화합물(NOx), 황산화물(SOx), 이산화탄소(CO2), 산소(O2) 및 수소(H2) 등으로 분해된 분해가스가 생성된다.
상기 촉매부(230)를 통과하며 생성된 분해가스는 내부공간(S)을 통해 내부배출부(240)로 유입되고, 상기 내부배출부(240)를 거쳐 상기 제2 이동관(241)을 통해 열교환관(210)으로 유입된다. 이때, 내부배출부(240)와 제2 이동관(241)을 통과하는 분해가스의 온도는 300∼600℃ 범위이다.
상기 열교환관(210)으로 유입된 분해가스는 상기 열교환관(210)을 통과하며 상기 제1 이동관(213)으로 유입되는 실온인 불소화합물계 가스와 열교환이 이루어진다. 이때, 분해가스는 상기 제1 이동관(213)의 불소화합물계 가스와 열교환되며 150∼300℃의 온도로 낮아진다.
상기 열교환관(210)을 통과한 분해가스는 제3 이동관(215)을 거쳐 흡착관(250)으로 유입된다. 상기 분해가스는 상기 흡착관(250)을 통과하며 상기 분해가스 중 불산가스(HF)가 흡착제에 흡착제거 된다.
상기 흡착관(250)을 통과한 불산가스가 제거된 분해가스는 상기 제4 이동관(251)을 통해 냉각부(260)를 지나며 냉각되어 별도의 후처리 설비로 이송된다.
상기 냉각부(260)에서는 불산가스가 제거된 분해가스와 냉각부(260)에 채워진 냉각수가 서로 열교환되며 불산가스가 제거된 분해가스가 냉각된다. 이때, 불산가스가 제거된 분해가스는 상기 냉각수와 열교환 후, 40℃ 이하로 냉각되어 배출된다.
배출되는 가스의 온도가 40℃를 초과된 온도로 배출되는 경우 이송배관에서 화상 등의 안전문제가 발생될 수 있으며, 배출가스를 후처리하는 설비의 효율을 저하시키는 문제가 발생할 수도 있다.
촉매/흡착방식인 불소화합물계 가스 처리 장치(200)는 상기 저온촉매를 사용하여 불소화합물계 가스종류에 따라 분해온도 300∼600℃ 범위에서 분해할 수 있으며, 상기 저온촉매를 사용하여 분해가스인 불산가스를 고온흡착제를 사용하여 흡착제거한다. 불산가스가 제거된 배기가스는 별도의 후처리 설비로 이송된다.
지금까지 본 발명에 따른 불소화합물계 가스 처리 장치는 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당업자라면 누구든지 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
100,200 : 불소화합물계 가스 처리 장치
110 : 외통부 111 : 배출관
120 : 내통부 121 : 유입관
130 : 가열부 140 : 촉매부
150 : 내부배출부 160 : 물 수용부
161 : 급수관 162 : 배수관
163 : 공급관 164 : 수용부본체
210 : 열교환관 213 : 제1 이동관
215 : 제3 이동관 220 : 가열부
230 : 촉매부 240 : 내부배출부
241 : 제2 이동관 250 : 흡착관
251 : 제4 이동관 260 : 냉각부
261 : 냉각수 급수관 263 : 냉각수 배수관

Claims (8)

  1. 상부 일측에 배출관(111)이 구비되며 하향 개구된 중공의 외통부(110)와;
    상향 개구된 중공체이며, 상기 외통부(110)의 하부에 구비되어 상기 외통부(110)의 개구부와 연통된 물 수용부(160)와;
    상기 외통부(110) 내에 구비되며, 상부 일측에 유입관(121)이 구비되며, 하단이 상기 외통부(110) 하단으로부터 상향 이격되며, 양단이 개구된 중공의 내통부(120)와;
    상기 내통부(120) 내에 구비되며, 하단이 상기 내통부(120)의 하단으로부터 상향 이격된 중공의 가열부(130)와;
    상기 가열부(130) 내에 구비된 중공의 촉매부(140)와;
    상기 촉매부(140) 내에 구비되며, 양단이 개구된 중공체이며, 하단이 물 수용부(160)로부터 상향 이격되고, 상단이 상기 가열부(130)의 상단으로부터 하향 이격된 내부배출부(150)와;
    외측은 내통부(120) 하단에 연결되고 내측은 내부배출부(150) 하단에 연결되어 내통부(120)와 내부배출부(150) 사이에 공간을 형성하며, 상기 물 수용부(160)로부터 상향 이격된 내통바닥부(120a)와; 상기 내통부(120)의 상향 개구된 부분을 폐쇄하는 커버(120b)로 이루어지며;
    상기 가열부(130)의 상단은 상기 촉매부(140)보다 돌출되어 상기 커버(120b)에 접하고, 내부배출부(150)의 상단은 커버(120b)로부터 이격되며; 상기 외통부(110)와 내통부(120) 사이에 상하 방향으로 제2 유동로(110-1)가 형성되며, 상기 내통부(120)와 가열부(130) 사이에 상하 방향으로 제1 유동로(120-1)가 형성되며;
    상기 외통부(110)의 하부와 물 수용부(160)의 상부 사이에는 공간(S2)이 형성되며, 물 수용부(160)에는 급수관(161)과 배수관(162)이 서로 이격 구비되며, 상기 배수관(162)으로부터 상향 이격된 공급관(163)이 구비되며;
    상기 공급관(163)은 상하 방향으로 연장되어 일단이 물 수용부(160)에 연통되어 외통부(110)와 연결되고, 타단에는 관체인 분사부(163a)가 구비되어 일단이 상기 공급관(163)에 연결되고 타단이 제2 유동로(110-1)에 위치되며;
    상기 분사부(163a)에는 노즐인 분사부재(163-3)가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 불소화합물계 가스 처리 장치.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 분사부(163a)의 타단은 상기 배출관(111)으로부터 하향 이격되어 상기 내통부(120)의 둘레를 따라 연장 형성되며, 상기 분사부(163a)는 복수로 구비되어 상하 방향으로 서로 이격 구비되며;
    상기 분사부재(163-3)는 복수로 구비되어 상기 분사부(163a)의 연장 방향을 따라 이격 구비되는 것을 특징으로 하는 불소화합물계 가스 처리 장치.
  3. 제1 항에 있어서, 상기 불소화합물계 가스 처리 장치로 유입되는 가스는 상기 유입관(121)을 통해 제1 유동로(120-1)로 유입되며;
    상기 제1 유동로(120-1)를 지나 상기 촉매부(140)의 하부로 유입되어 상향 이동하여 상기 커버(120b)와 내부배출부(150) 사이에 형성된 공간(S)에 모여 상기 내부배출부(150)로 유입되며;
    상기 내부배출부(150)를 통과하여 상기 내통바닥부(120a)와 물 수용부(160) 사이를 지나 상기 제2 유동로(110-1)를 통해 배출관(111)으로 배출되며;
    상기 제2 유동로(110-1)에는 상기 분사부재(163-3)를 통해 냉각수가 분사되는 것을 특징으로 하는 불소화합물계 가스 처리 장치.
  4. 제3 항에 있어서, 상기 제1 유동로(120-1)와 제2 유동로(110-1)는 서로 열교환 되며, 상기 가열부(130)의 가열온도는 300∼600℃ 범위인 것을 특징으로 하는 불소화합물계 가스 처리 장치.
  5. 중공의 열교환관(210)과; 상기 열교환관(210)의 일측에 구비된 중공의 가열부(220)와; 상기 가열부(220) 내에 구비된 촉매부(230)와; 상기 촉매부(230) 내에 구비되며, 상단이 개구된 중공체이며, 상단이 상기 가열부(220)의 상단으로부터 하향 이격된 내부배출부(240)와; 외측은 가열부(220) 하단에 연결되고 내측은 내부배출부(240) 하단에 연결되어 상기 가열부(220)의 하향 개구된 부분을 폐쇄하는 촉매바닥부(230a)와; 상기 가열부(220)의 일측에 구비된 흡착관(250)과;
    상기 열교환관(210)의 하부 일측을 관통하여 상향 연장되며 상부 일측을 관통하며, 일단이 상기 촉매바닥부(230a)에 연결된 제1 이동관(213)과; 일단이 상기 내부배출부(240)의 하부에 연결되고, 타단이 상기 열교환관(210)의 상부에 연결된 제2 이동관(241)과; 일단이 상기 열교환관(210)의 하부에 연결되고, 타단이 상기 흡착관(250)의 하부에 연결된 제3 이동관(215)과; 일단이 상기 흡착관(250)의 상부에 연결되고, 타측이 외부와 연통된 제4 이동관(251)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 불소화합물계 가스 처리 장치.
  6. 제5 항에 있어서, 상기 흡착관(250)의 일측에 구비되며, 상부에 냉각수 급수관(261)이 형성되고, 하부에 냉각수 배수관(263)이 형성된 중공의 냉각부(260)가 더 포함되며;
    상기 제4 이동관(251)은 일단이 상기 흡착관(250)의 상부에 연결되고, 타측이 상기 냉각부(260)의 하부로부터 상향 연장되어 냉각부(260)를 관통하여 상기 냉각부(260)의 상부로 돌출된 제4 이동관(251)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 불소화합물계 가스 처리 장치.
  7. 제5 항 또는 제6 항에 있어서, 상기 불소화합물계 가스 처리 장치로 유입되는 가스는 제1 이동관(213)을 지나 촉매부(230)로 유입되며;
    상기 촉매부(230)를 지나 상기 가열부(220)의 상부와 내부배출부(240) 사이의 공간(S)에 모여 상기 내부배출부(240)를 통과하여 제2 이동관(241)으로 유입되며;
    상기 제2 이동관(241)을 지나 상기 열교환관(210)을 통과하여 제3 이동관(215)으로 유입되며;
    상기 제3 이동관(215)을 지나 상기 흡착관(250)으로 유입되며;
    상기 흡착관(250)을 지나 상기 제4 이동관(251)을 통해 배출되는 것을 특징으로 하는 불소화합물계 가스 처리 장치.
  8. 제7 항에 있어서, 상기 열교환관(210)과 제2 이동관(213)은 서로 열교환되며, 상기 제4 이동관(251)과 냉각부(260)는 서로 열교환되며; 상기 가열부(220)의 가열 온도는 300∼600℃ 범위인 것을 특징으로 하는 불소화합물계 가스 처리 장치.
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