KR101738219B1

KR101738219B1 - 웨이퍼 수납용기

Info

Publication number: KR101738219B1
Application number: KR1020147011829A
Authority: KR
Inventors: 다카하루 오야마; 치아키 마츠토리; 츠요시 나가시마; 슈이치 이노우에; 히로유키 시다; 히로키 야마기시; 가즈마사 오누키
Original assignee: 미라이얼 가부시키가이샤; 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
Priority date: 2011-11-08
Filing date: 2011-11-08
Publication date: 2017-05-19
Also published as: KR20140074975A; JP6018075B2; WO2013069088A1; US20140367307A1; JPWO2013069088A1; TW201332039A; TWI544563B; US8960442B2

Abstract

용기본체(1) 내의 좌우 양측에 배치된 웨이퍼 지지선반(10, 10)에 각각, 반도체 웨이퍼(W)의 외연부가 국부적으로 재치되는 웨이퍼 지지 볼록부(A, B1, B2)가, 반도체 웨이퍼(W)의 중심위치로부터 안쪽에 1개소와 앞쪽에 2개소씩 마련되어 있다. 그에 의해서, 웨이퍼 출입개구(2)에 덮개체(3)가 장착되지 않은 상태에서, 웨이퍼 지지선반(10, 10)의 복수 개소의 지지 볼록부(A, B1, B2)상에 재치된 반도체 웨이퍼(W)의 휨량을, 최소한의 지지 볼록부 수로, 로봇 암에 의한 취출 등에 지장이 발생하지 않도록 억제할 수 있다.

Description

웨이퍼 수납용기 {WAFER STORAGE CONTAINER}

본 발명은 반도체 웨이퍼를 보관, 수송 등을 할 때에 수납하기 위한 웨이퍼 수납용기에 관한 것이다.

웨이퍼 수납용기에는, 일반적으로, 복수의 반도체 웨이퍼를 병렬로 늘어놓은 상태에서 수납하기 위한 용기본체가 마련되어 있다. 그러한 웨이퍼 수납용기의 용기본체에는 반도체 웨이퍼를 출입하기 위한 웨이퍼 출입개구가 앞쪽에 형성되어 있다. 그리고 웨이퍼 출입개구를 폐색하기 위한 덮개체가 웨이퍼 출입개구에 착탈 가능하게 전방(前方)으로부터 장착되도록 마련되어 있다.

용기본체 내에서 반도체 웨이퍼를 덜컹거리지 않는 상태로 유지하기 위해서, 용기본체 내의 웨이퍼 출입개구로부터 보아 안쪽의 영역에는 안쪽 리테이너(retainer)가 배치되고, 덮개체의 내벽부에는 덮개 측 리테이너가 마련되어 있다. 반도체 웨이퍼는 안쪽 리테이너와 덮개 측 리테이너에 의해, 전후 양단부 부근의 외연부(外緣部)가 탄력적으로 유지된다.

단, 덮개체 리터에너는, 덮개체가 용기본체의 웨이퍼 출입개구에 장착되지 않으면 반도체 웨이퍼를 유지하는 상태가 되지 않는다. 안쪽 리테이너만으로는 용기본체 내에서 반도체 웨이퍼의 후단부 측밖에 유지할 수 없다.

그래서, 용기본체에 덮개체가 장착될 때까지의 동안, 각 반도체 웨이퍼를 수평으로 지지하도록 각 반도체 웨이퍼의 측연부(側緣部)를 용기본체 내에서 보조적으로 재치(載置)하기 위한 웨이퍼 지지선반이 용기본체 내의 웨이퍼 출입개구 측으로부터 보아 좌우 양측의 위치에 마련되어 있다. 반도체 웨이퍼는 안쪽 리테이너와 덮개 측 리테이너로 유지된 상태가 되면, 웨이퍼 지지선반으로부터 떠올라 떨어진 상태가 된다(예를 들면, 특허문헌 1).

반도체 웨이퍼는 웨이퍼 지지선반에 의해 지지될 때에 웨이퍼 지지선반의 전체 면에 재치되어서는 안 된다. 원호 모양을 이루는 웨이퍼 지지선반의 전체 범위에 반도체 웨이퍼의 외연부가 재치되면, 웨이퍼 지지선반의 미소한 요철(凹凸)과 반도체 웨이퍼와의 마찰에 의해 파티클(깎여진 입자)이 발생하기 쉬워지고, 또, 선반의 면정밀도(평면도)에 의해 각 반도체 웨이퍼의 자세에 편차가 발생하는 경우가 있기 때문이다.

그래서, 반도체 웨이퍼와 웨이퍼 지지선반이 점접촉 또는 선접촉하도록 한 것이나(예를 들면, 특허문헌 2), 좌우의 웨이퍼 지지선반에 각각, 수평으로 지지를 받는 반도체 웨이퍼의 외연부가 국부적으로 재치되는 미소한 웨이퍼 지지 볼록부가 웨이퍼 출입개구 측으로부터 보아 반도체 웨이퍼의 중심위치로부터 안쪽과 앞쪽에 좌우 1개소씩 마련되어, 반도체 웨이퍼가 합계 4개소에서 웨이퍼 지지선반상에 지지되도록 한 것 등이 있다(예를 들면, 특허문헌 3).

특허문헌 1 : 일본국 특개2004-214269 특허문헌 2 : 일본국 특개평9-64162 특허문헌 3 : 미국특허 제5788082(일본국 특개평10-70185)

도 9는 상술과 같은 종래의 웨이퍼 수납용기의 용기본체(1) 내에서, 반도체 웨이퍼(W)가 웨이퍼 지지선반(10, 10)에 4개소에서 지지된 상태의 일례를 나타내고 있다. DO는 반도체 웨이퍼(W)의 중심위치를 지나 웨이퍼 출입개구(2)와 평행을 이루는 기준 중심선(반도체 웨이퍼(W)의 면상에서의 가로방향의 중심선)이다. BP는 기준 중심선(DO)에 대해서 직각을 이루는 반도체 웨이퍼(W)의 면상에서의 전후방향중심선이다.

도 10에 대략 나타내는 바와 같이, 반도체 웨이퍼(W)의 중심위치로부터 안쪽에 마련된 안쪽 웨이퍼 지지 볼록부(A)는 기준 중심선(DO)에 대해서 예를 들면 45°를 이루는 방향으로 마련되고, 반도체 웨이퍼(W)의 중심위치로부터 앞쪽에 마련된 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부(B)는 기준 중심선(DO)에 대해서 예를 들면 20°를 이룰 방향으로 마련되어 있다.

도 11은 그와 같은 웨이퍼 지지선반(10, 10)에 직경이 450㎜인 반도체 웨이퍼(W)가 지지된 경우의, 반도체 웨이퍼(W)의 각 위치에서의 휨량의 계측 데이터(실측값)를 나타내고 있다. 종래부터 널리 이용되고 있는 직경이 300㎜인 반도체 웨이퍼(W)의 경우와 비교하여, 휨량이 매우 크게 되어 있다. 직경이 300㎜인 반도체 웨이퍼(W)의 경우에도, 그 두께가 표준보다 얇게 형성된 것에서는 휨량이 크게 된다.

그리고, 지지된 상태에서의 반도체 웨이퍼(W)의 휨량이 크게 되면, 용기본체 내로부터 반도체 웨이퍼(W)를 1매씩 취출하기 위한 로봇 암을, 서로 인접하는 반도체 웨이퍼(W) 사이의 틈새에 잘 찔러넣을 수 없게 되어 버리는 등이 문제점이 생긴다. 그러는 한편으로는, 반도체 웨이퍼(W)가 휘지 않도록 웨이퍼 지지선반(10)의 전체 면에 반도체 웨이퍼(W)의 외주부를 재치한 것으로는, 상술과 같은 문제점이 생긴다.

본 발명의 목적은, 용기본체의 웨이퍼 출입개구에 덮개체가 장착되지 않은 상태에 있어서, 웨이퍼 지지선반의 복수 개소의 지지 볼록부상에 재치된 반도체 웨이퍼의 휨량을, 최소한의 지지 볼록부 수로, 로봇 암에 의한 취출 등에 지장이 발생하지 않도록 억제할 수 있는 웨이퍼 수납용기를 제공하는 것에 있다.

상기의 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 웨이퍼 수납용기는, 반도체 웨이퍼를 복수 병렬로 늘어놓은 상태에서 수납하기 위한 용기본체와, 용기본체에 반도체 웨이퍼를 출입하기 위해서 용기본체의 전면(前面)에 형성된 웨이퍼 출입개구와, 웨이퍼 출입개구를 폐색하기 위해서 웨이퍼 출입개구에 착탈 가능하게 전방으로부터 장착되는 덮개체와, 덮개체가 웨이퍼 출입개구에 장착되지 않은 상태일 때에 반도체 웨이퍼를 수평으로 지지하도록 용기본체 내의 웨이퍼 출입개구 측으로부터 보아 좌우 양측의 위치에서 복수의 반도체 웨이퍼의 외연부가 개별적으로 재치되는 웨이퍼 지지선반을 구비한 웨이퍼 수납용기에 있어서, 웨이퍼 출입개구로부터 보아 좌우 양측에 배치된 웨이퍼 지지선반에 각각, 반도체 웨이퍼의 외연부가 국부적으로 재치되는 웨이퍼 지지 볼록부가, 웨이퍼 출입개구 측으로부터 보아 반도체 웨이퍼의 중심위치로부터 안쪽에 1개소와 앞쪽에 2개소씩 마련되어 있는 것이다.

또한, 좌우에 2개곳씩 마련된 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부 중, 반도체 웨이퍼의 중심위치를 지나 웨이퍼 출입개구와 평행을 이루는 기준 중심선으로부터 먼 쪽의 제2 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부가, 기준 중심선에 대해서 45°±15°를 이루는 범위의 방향으로 마련되어 있어도 된다.

그리고, 반도체 웨이퍼의 중심위치로부터 앞쪽의 좌우에 2개소씩 마련된 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부 중 기준 중심선에 가까운 쪽의 제1 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부가, 기준 중심선에 대해서 20°±5°를 이루는 범위의 방향으로 마련되며, 제1과 제2 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부의 상대적 위치관계가 반도체 웨이퍼의 중심위치 둘레에서 10° ~ 30°의 범위에서 상이(相異)하여도 된다.

그 경우에, 웨이퍼 지지선반에 반도체 웨이퍼가 지지된 상태에서, 반도체 웨이퍼가 제1과 제2 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부에 동시에 접촉, 재치된 상태가 되어도 되고, 제2 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부가 제1 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부보다 0.2㎜ 이내의 범위에서 낮은 위치에 마련되어 있어도 된다. 또, 좌우에 1개소씩 마련된 안쪽 웨이퍼 지지 볼록부가 좌우에 2개소씩 마련된 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부의 어떤 것보다도 낮은 위치에 마련되어 있어도 된다.

본 발명에 의하면, 웨이퍼 출입개구로부터 보아 좌우 양측에 배치된 웨이퍼 지지선반에 각각, 반도체 웨이퍼의 외연부가 국부적으로 재치되는 웨이퍼 지지 볼록부가 웨이퍼 출입개구 측으로부터 보아 반도체 웨이퍼의 중심위치로부터 안쪽에 1개소와 앞쪽에 2개소씩 마련되어 있는 것에 의해, 용기본체의 웨이퍼 출입개구에 덮개체가 장착되지 않은 상태에 있어서, 웨이퍼 지지선반의 복수 개소의 지지 볼록부상에 재치된 반도체 웨이퍼의 휨량을, 최소한의 지지 볼록부 수로, 로봇 암에 의한 취출 등에 지장이 발생하지 않도록 억제할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 관한 웨이퍼 수납용기에 덮개체가 장착되지 않은 상태의 평면 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 관한 웨이퍼 수납용기의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 관한 웨이퍼 수납용기에 덮개체가 장착되지 않고, 웨이퍼 지지선반에 반도체 웨이퍼가 재치된 상태에서의, 반도체 웨이퍼의 재치부와 휨량의 계측점을 나타내는 약시도(略示圖)이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 관한 웨이퍼 수납용기의 웨이퍼 지지선반에 형성된 웨이퍼 지지 볼록부를 부분적으로 확대하여 나타내는 부분 확대 사시도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 관한 웨이퍼 수납용기에 덮개체가 장착되지 않고, 웨이퍼 지지선반에 반도체 웨이퍼가 재치되었을 때의, 반도체 웨이퍼의 각 위치에서의 휨량의 계측 데이터(실측값)를 나타내는 도표이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 관한 웨이퍼 수납용기에 덮개체가 장착되지 않은 상태의 평면 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 관한 웨이퍼 수납용기에 덮개체가 장착되지 않고, 웨이퍼 지지선반에 반도체 웨이퍼가 재치된 상태에서의, 반도체 웨이퍼의 재치부와 휨량의 계측점을 나타내는 약시도이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 관한 웨이퍼 수납용기에 덮개체가 장착되지 않고, 웨이퍼 지지선반에 반도체 웨이퍼가 재치되었을 때의, 반도체 웨이퍼의 각 위치에서의 휨량의 계측 데이터(실측값)를 나타내는 도표이다.
도 9는 종래의 웨이퍼 수납용기에 덮개체가 장착되지 않은 상태의 평면 단면도이다.
도 10은 종래의 웨이퍼 수납용기 내에, 반도체 웨이퍼가 지지된 상태에서의, 반도체 웨이퍼의 재치부와 휨량의 계측점을 나타내는 약시도이다.
도 11은 종래의 웨이퍼 지지선반에 반도체 웨이퍼가 지지된 경우의, 반도체 웨이퍼의 각 위치에서의 휨량의 계측 데이터(실측값)를 나타내는 도표이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 관한 웨이퍼 수납용기의 사시도. 도 1은 그 웨이퍼 수납용기에 덮개체가 장착되지 않은 상태를 위로부터 보았을 때의 평면 단면도이다.

1은 얇은 원반 모양으로 형성되어 있는 복수의 반도체 웨이퍼(W)를 병렬로 늘어놓은 상태에서 수납하기 위한 용기본체이다. 용기본체(1)는, 예를 들면 폴리부틸렌 테레프탈레이트(polybutylene terephthalat)(PBT) 또는 폴리카보네이트(polycarbonate)(PC) 등과 같은 플라스틱재로 형성되어 있다.

용기본체(1)에 반도체 웨이퍼(W)가 출입될 때에는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 용기본체(1)는 각 반도체 웨이퍼(W)가 수평의 방향으로 수납되는 상태로 배치된다. 반도체 웨이퍼(W)는, 예를 들면, 직경이 450㎜인 것이다.

용기본체(1) 내에는 다수(예를 들면 25매)의 반도체 웨이퍼(W)가 서로의 사이에 틈새를 두고 면과 면이 마주보는 상태로 등간격으로 격납된다. 단 도 2에는 용기본체(1) 내의 최하단 위치에 반도체 웨이퍼(W)가 1매만 수납된 상태가 도시되어 있다.

용기본체(1)의 전면(前面)에는 반도체 웨이퍼(W)를 출입하기 위한 웨이퍼 출입개구(2)가 형성되어 있다. 이와 같이, 본건에서는, 용기본체(1)의 각 면 중 웨이퍼 출입개구(2)가 형성되어 있는 면을 「전면」이라고 칭한다.

그리고, 그 웨이퍼 출입개구(2)를 폐색하기 위한 덮개체(3)가 웨이퍼 출입개구(2)에 대해서 전방으로부터 착탈할 수 있도록 마련되어 있다. 덮개체(3)는 도 1에는 도시되어 있지 않다.

도 2에 나타나는 4는 웨이퍼 출입개구(2)와 덮개체(3)의 외연부와의 사이를 밀봉하기 위해서 덮개체(3)에 장착된 탄력성이 있는 씰부재이다. 또한, 덮개체(3)에는 덮개체(3)가 웨이퍼 출입개구(2)에 장착된 상태를 로크(lock)하기 위한 공지의 로크기구 등이 마련되어 있지만, 그들에 대한 설명은 생략한다.

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 용기본체(1) 내의 웨이퍼 출입개구(2)로부터 보아 안쪽의 영역에는 복수의 반도체 웨이퍼(W)의 외연부를 개개로 용기본체(1) 내에 위치결정 유지하기 위한 안쪽 리테이너(5)가 배치되어 있다. 안쪽 리테이너(5)는 공지의 것으로 되며, 예를 들면, 각 반도체 웨이퍼(W)를 유지하는 부분이 수평인 'V'홈 모양으로 형성되어 있다.

한편, 덮개체(3)의 내벽부에는, 도 2에 대략 나타내는 바와 같이, 복수의 반도체 웨이퍼(W)의 외연부를 웨이퍼 출입개구(2) 측으로부터 안쪽 리테이너(5) 측으로 개개로 탄력적으로 밀어붙여 위치결정 유지하기 위한 공지의 덮개 측 리테이너(6)가 마련되어 있다.

덮개 측 리테이너(6)는, 예를 들면, 덮개체(3)가 용기본체(1)의 웨이퍼 출입개구(2)에 장착되었을 때에 각 반도체 웨이퍼(W)의 외주부에 맞닿는 'V'홈 모양의 부분이 스프링성이 있어 탄성변형하기 쉬운 지지부재로 지지된 구성을 구비하고 있지만, 공지의 것이므로, 그 상세한 도시는 생략한다.

용기본체(1) 내의 웨이퍼 출입개구(2)로부터 보아 좌우 양측의 위치에는 덮개체(3)가 웨이퍼 출입개구(2)에 장착되지 않은 상태일 때에, 수평인 상태의 복수의 반도체 웨이퍼(W)의 외연부를 개개로 지지하기 위한 웨이퍼 지지선반(10, 10)이 마련되어 있다. 웨이퍼 지지선반(10, 10)은 용기본체(1) 내에 수용되는 반도체 웨이퍼(W)의 수에 맞추어, 좌우로 예를 들면 25단씩 등간격으로 마련되어 있다.

각 반도체 웨이퍼(W)는 덮개체(3)가 웨이퍼 출입개구(2)에 장착되지 않은 상태에서는, 용기본체(1) 내의 좌우 양측부에서 웨이퍼 지지선반(10, 10)에 지지된 상태가 되는 것에 의해, 대략 수평인 상태를 유지한다.

또한, 웨이퍼 지지선반(10, 10)과 안쪽 리테이너(5)란, 이 실시예에서는 모두 용기본체와 일체 성형으로 형성되어 있지만, 그 한쪽 또는 양쪽을, 용기본체와는 별부품으로 형성하여 용기본체에 장착한 구성으로 해도 지장없다. 또, 웨이퍼 지지선반(10, 10)의 가장 안쪽의 부분에 안쪽 리테이너(5)를 형성해도 지장없다.

웨이퍼 출입개구(2)로부터 보아 좌우 양측에 배치된 웨이퍼 지지선반(10, 10)에는 각각, 도 3에 반도체 웨이퍼(W)와의 위치관계가 대략 나타내는 바와 같이, 덮개체(3)가 웨이퍼 출입개구(2)에 장착되지 않은 상태에서, 반도체 웨이퍼(W)의 외연부가 국부적으로 재치되는 웨이퍼 지지 볼록부(A, B1, B2)가 웨이퍼 출입개구(2) 측으로부터 보아 반도체 웨이퍼의 중심위치보다 안쪽에 1개소와 앞쪽에 2개소씩 마련되어 있다.

각 웨이퍼 지지 볼록부(A, B1, B2)는 그 웨이퍼 지지 볼록부(A, B1, B2)가 형성되어 있는 웨이퍼 지지선반(10, 10)의 다른 영역보다 약간 높은 위치에 형성된 작은 면이다.

웨이퍼 지지 볼록부(A, B1, B2)는 각각, 완전한 점일수록 좁은 면적인 것이 아니지만, 도 4에 안쪽 웨이퍼 지지 볼록부(A)의 일례가 확대 도시되고 있는 바와 같이, 웨이퍼 지지선반(10, 10)의 총면적에 비하면 매우 작은 면적에 지나지 않는 것이다.

도시되어 있지 않은 로봇 암 등을 이용하여 웨이퍼 출입개구(2)로부터 용기본체 내에 삽입된 반도체 웨이퍼(W)는, 웨이퍼 지지선반(10, 10)을 따라서 용기본체(1) 내로 진입하고, 로봇 암이 퇴피하게 되면, 반도체 웨이퍼(W)가 6개소의 웨이퍼 지지 볼록부(A, B1, B2)상에 재치된 상태로 지지된다. 그와 같이 하여 웨이퍼 지지선반(10, 10)에 지지된 반도체 웨이퍼(W)는 웨이퍼 지지 볼록부(A, B1, B2)만이 웨이퍼 지지선반(10, 10)과 접촉한다.

도 3에 대략 나타내는 바와 같이, 반도체 웨이퍼(W)의 중심위치로부터 안쪽의 좌우에 1개소씩 마련된 안쪽 웨이퍼 지지 볼록부(A)는 반도체 웨이퍼(W)의 중심위치를 지나 웨이퍼 출입개구(2)와 평행을 이루는 기준 중심선(DO)에 대해서 45°(±5°정도)를 이루는 범위의 방향으로 마련되어 있다.

반도체 웨이퍼(W)의 중심위치로부터 앞쪽의 좌우에 2개소씩 마련된 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부(B1, B2) 중 기준 중심선(DO)에 가까운 쪽의 제1 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부(B1)는 기준 중심선(DO)에 대해서 20°(±5°정도)를 이루는 범위의 방향으로 마련되어 있다.

그리고, 좌우에 2개소씩 마련된 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부(B1, B2) 중 기준 중심선(DO)으로부터 먼 쪽의 제2 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부(B2)는 기준 중심선(DO)에 대해서 45°(±15°정도)를 이루는 범위의 방향으로 마련되어 있다.

도 5는, 상술한 바와 같이 구성된 제1 실시예에 관한 웨이퍼 수납용기(1)의 웨이퍼 지지선반(10, 10)에 반도체 웨이퍼(W)가 재치된 경우의, 반도체 웨이퍼(W)의 각 위치에서의 휨량의 계측 데이터(실측값)를 나타내는 도표이다. 도 11에 나타낸 종래의 웨이퍼 수납용기와 비교하여, 반도체 웨이퍼(W)의 외연부뿐만이 아니라, 전후방향 중심선(BP)상에서도 반도체 웨이퍼(W)의 휨량이 큰 폭으로 감소하고 있다.

그 결과, 웨이퍼 출입개구(2)에 덮개체(3)가 장착되지 않은 상태에서, 직경이 450㎜인 반도체 웨이퍼(W)라도, 지장 없이 로봇 암 등으로 취출할 수 있고, 본 발명에 의해, 지지 볼록부(A, B1, B2)를 필요 최소한의 수로 제한하여, 파티클의 발생이나 반도체 웨이퍼(W)의 자세에 편차의 발생 등을 방지하면서, 반도체 웨이퍼(W)의 휨량을 억제할 수 있다.

도 6은 본 발명의 제2 실시예에 관한 웨이퍼 수납용기의 평면 단면도이고, 제2 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부(B2)가, 도 7에 대략 나타내는 바와 같이, 기준 중심선(DO)에 대해서 30°를 이루는 범위의 방향으로 마련되어 있다. 그 이외는 제1 실시예와 동일하다. 이와 같이 구성하여도, 도 8에 나타내는 바와 같이, 제1 실시예정도는 아닌 것이지만, 웨이퍼 출입개구(2)에 덮개체(3)가 장착되지 않은 상태에서의 반도체 웨이퍼(W)의 휨량을 종래보다도 경감할 수 있다.

또한, 제2 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부(B2)의 위치를 제1 실시예보다도 기준 중심선(DO)에 대하여 큰 각도방향으로 마련할 수도 있다. 그러나, 그 위치가 용기본체(1)의 측벽으로부터 점차 멀리 떨어지게 되기(즉, 웨이퍼 지지선반(10)의 깊이가 깊어지게 되기)때문에, 제조상 제2 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부(B2)의 위치 정밀도가 저하함과 아울러, 로봇 암을 찔러 넣기 위한 공간의 폭이 확보되기 어려워지므로, 최대한 60°정도가 한계이다.

이와 같이, 제1과 제2 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부(B1, B2)의 상대적 위치관계가 반도체 웨이퍼(W)의 중심위치 둘레에서 10° ~ 30°의 범위에서 상이한 방향으로 마련되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 웨이퍼 지지선반(10, 10)에 반도체 웨이퍼(W)가 지지된 상태에서, 반도체 웨이퍼(W)가 제1과 제2 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부(B1, B2)에 동시에 접촉, 재치된 상태가 되는 것이 바람직하고, 이를 위해서는, 제2 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부(B2)가 제1 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부(B1)보다 높이 방향에서 0.2㎜ 이내의 범위에서 낮은 위치에 마련되어 있으면 된다.

또, 좌우에 1개소씩 마련된 안쪽 웨이퍼 지지 볼록부(A)가 좌우에 2개소씩 마련된 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부(B1, B2)의 어떤 것보다도 낮은 위치에 마련되어 있으면(즉, 안쪽이 조금 내려가 있으면), 반도체 웨이퍼(W)를 유지하는데 있어서 좋은 밸런스가 얻어지는 경우가 적지 않다.

또한, 본 발명은 실시예에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면, 용기본체(1) 내에 수납되는 반도체 웨이퍼(W)의 직경은 450㎜ 이외의 것이라도 지장없다.

1 용기본체 2 웨이퍼 출입개구
3 덮개체 5 안쪽 리테이너
6 덮개 측 리테이너 10 웨이퍼 지지선반
A 안쪽 웨이퍼 지지 볼록부 B1, B2 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부
W 반도체 웨이퍼

Claims

반도체 웨이퍼를 복수 병렬로 늘어놓은 상태에서 수납하기 위한 용기본체와, 상기 용기본체에 상기 반도체 웨이퍼를 출입하기 위해서 상기 용기본체의 전면(前面)에 형성된 웨이퍼 출입개구와, 상기 웨이퍼 출입개구를 폐색하기 위해서 상기 웨이퍼 출입개구에 착탈 가능하게 전방으로부터 장착되는 덮개체와, 상기 덮개체가 상기 웨이퍼 출입개구에 장착되지 않은 상태일 때에 상기 반도체 웨이퍼를 수평으로 지지하도록 상기 용기본체 내의 상기 웨이퍼 출입개구 측으로부터 보아 좌우 양측의 위치에서 상기 복수의 반도체 웨이퍼의 외연부(外緣部)가 개별적으로 재치(載置)되는 웨이퍼 지지선반을 구비한 웨이퍼 수납용기에 있어서,
상기 웨이퍼 출입개구로부터 보아 좌우 양측에 배치된 상기 웨이퍼 지지선반에 각각, 상기 반도체 웨이퍼의 외연부가 국부적으로 재치되는 웨이퍼 지지 볼록부가, 상기 웨이퍼 출입개구 측으로부터 보아 상기 반도체 웨이퍼의 중심위치로부터 안쪽에 안쪽 웨이퍼 지지 볼록부로서 1개소와 앞쪽에 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부로서 2개소씩 마련되고,
좌우에 2개소씩 마련된 상기 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부 중, 상기 반도체 웨이퍼의 중심위치를 지나 상기 웨이퍼 출입개구와 평행을 이루는 기준 중심선으로부터 먼 쪽의 제2 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부가, 상기 기준 중심선에 대해서 45°±15°를 이루는 범위의 방향으로 마련되며,
상기 반도체 웨이퍼의 중심위치로부터 앞쪽의 좌우에 2개소씩 마련된 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부 중 상기 기준 중심선에 가까운 쪽의 제1 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부가, 상기 기준 중심선에 대해서 20°±5°를 이루는 범위의 방향으로 마련되고, 상기 제1과 제2 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부의 상대적 위치관계가 상기 반도체 웨이퍼의 중심위치 회전에서 10° ~ 30°의 범위에서 상이한 웨이퍼 수납용기.
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청구항 1에 있어서,
상기 웨이퍼 지지선반에 상기 반도체 웨이퍼가 지지된 상태에서, 상기 반도체 웨이퍼가, 상기 제1과 제2 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부에 동시에 접촉, 재치된 상태가 되는 웨이퍼 수납용기.
청구항 4에 있어서,
상기 제2 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부가, 상기 제1 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부보다 0.2㎜ 이내의 범위에서 낮은 위치에 마련되어 있는 웨이퍼 수납용기.
청구항 1에 있어서,
좌우에 1개소씩 마련된 상기 안쪽 웨이퍼 지지 볼록부가, 좌우에 2개소씩 마련된 상기 앞쪽 웨이퍼 지지 볼록부의 어떤 것보다 낮은 위치에 마련되어 있는 웨이퍼 수납용기.