KR101707187B1 - Mirror of a ring laser gyroscope - Google Patents

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김영민
한정엽
김종섭
이영우
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Abstract

The present invention relates to a mirror for a ring laser gyroscope and, more specifically, to a mirror for a ring laser gyroscope which prevents damage to a mirror surface by plasma and ultraviolet radiation by optical coating. The mirror for a ring laser gyroscope comprises: a first reflection film (200) formed on one surface of a substrate (100) by alternately and sequentially depositing a tantalum oxide layer (210) and a silica layer (220) which are formed in an optical thickness of one fourth of a wavelength () of incident light of a gyroscope and have different refractive indices; and a second reflection film (300) deposited on an outermost surface of the first reflection film (200) and made of a material durable against plasma active ions to block ultraviolet radiation to protect a surface. The first reflection film (200) is designed to reflect a wavelength of a band of 600-800 nm, and the second reflection film (300) is designed to reflect a wavelength of a band of 200-350 nm. The second reflection film (300) consists of an alternate layer wherein a zirconium oxide (ZrO2) layer and an aluminum oxide (Al2O3) layer are alternately formed. The zirconium oxide (ZrO2) layer and the aluminum oxide (Al2O3) layer are formed in an optical thickness of (0.4 ~ 0.43)/4 of the wavelength () of incident light. An aluminum oxide (Al2O3) layer with an optical thickness of (0.8 ~ 0.86)/4 is formed on an outermost portion of the second reflection film (300) to have an optical thickness which is two times thicker than each layer making up the second reflection film.

Description

링 레이저 자이로스코프용 미러{Mirror of a ring laser gyroscope}Mirror of a ring laser gyroscope < RTI ID = 0.0 >

본 발명은 링 레이저 자이로스코프용 미러에 관한 것으로, 광학코팅을 통해 플라즈마 활성이온 및 자외선에 의한 미러 표면의 손상을 방지하도록 한 링 레이저 자이로스코프용 미러에 관한 것이다.The present invention relates to a mirror for a ring laser gyroscope, and relates to a mirror for a ring laser gyroscope that prevents damage to the mirror surface due to plasma active ions and ultraviolet rays through an optical coating.

잘 알려진 바와 같이, 링 레이저 자이로스코프(ring laser gyroscope)는 회전각을 검출하는 센서로서 광학식이 가지는 정밀함과 견고성으로 관성 항법을 비롯한 운동 제어를 필요로 하는 여러 분야에서 기존의 기계식 자이로스코프를 대체해 오고 있다. 그러나 지금까지의 기술 개발은 주로 고 정밀도를 요구하는 고가의 센서에 대한 수요를 목표로 진행되어 왔으나, 최근에 소형화된 링 레이저에 대한 관심이 높아지고 있다.As well known, a ring laser gyroscope is a sensor that detects the rotation angle. The precision and robustness of the optics makes it possible to replace conventional mechanical gyroscopes in various fields requiring inertial navigation and motion control. It is coming. However, until now, the development of the technology has been mainly aimed at the demand for high-priced sensors requiring high precision, but recently, interest in miniaturized ring lasers is increasing.

링 레이저 자이로스코프는 3개 또는 그 이상의 반사경으로 이루어진 고리형 공진기를 구성하고, He-Ne 가스를 봉입하여 방전시킴으로써 서로 반대방향(시계방향 및 반시계방향)으로 진행하는 레이저빔이 동시에 발진시키면, 사낙(Sagnac) 효과에 의해 공진기의 회전각에 비례하여 두 레이저의 주파수 차이가 발생하는 원리를 이용한다.Ring laser gyroscopes constitute an annular resonator composed of three or more reflectors. When a laser beam advancing in opposite directions (clockwise and counterclockwise) oscillates simultaneously by discharging the He-Ne gas and sealing it, The Sagnac effect makes use of the principle that the frequency difference between two lasers is proportional to the rotation angle of the resonator.

도 1은 종래의 링 레이저 자이로스코프의 기본 원리를 나타내고 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 레이저 블록(11)은 링 레이저 자이로스코프(10)내에 장착되 며, 링 레이저의 경로는 블록(11)의 각 모서리상에 모서리 미러(12, 14, 16 및 18)를 장착함으로써 형성된다. 링 레이저 도관은 미러(12∼18)사이의 블록(11)내에 형성된 채널(20, 22, 24 및 26)로 구성된다. 링 레이저 도관은 가스의 레이저 주파수 및 광학 공동(cavity)의 공정 주파수에 의해 결정된 주파수의 역-전달 레이저 빔을 발생시키기에 적합한, 헬륨-네온과 같은 레이저 이득 매질을 포함한다. 도관은 채널(20, 22, 24 및 26)내의 전자기(electromagnet) 에너지의 역-전달 레이저 빔을 유지하기 위한 크기로 된다. 1 shows the basic principle of a conventional ring laser gyroscope. 1, the laser block 11 is mounted in a ring laser gyroscope 10 and the path of the ring laser is provided with corner mirrors 12, 14, 16 and 18 on each corner of the block 11, . The ring laser conduit consists of channels 20, 22, 24 and 26 formed in block 11 between mirrors 12-18. Ring laser conduits include a laser gain medium, such as helium-neon, suitable for generating a reverse-transfer laser beam of a frequency determined by the laser frequency of the gas and the process frequency of the optical cavity. The conduit is sized to hold the back-propagating laser beam of electromagnet energy in the channels 20,22, 24,

링 레이저는 도관의 이득영역에서 전기적 방전에 의해 여기된다. 이러한 전기적 방전은 링 레이저 도관으로 개방되는 캐소드(30)와, 이 링 레이저 도관으로 개방되고 캐소드(30)에 대하여 도관 주위에 대칭적으로 배치된 2개의 애노드(32, 34)사이에서 발생된다. 캐소드(30)는 보조채널(36)을 통하여 채널(20)에 연결되며, 애노드(32 및 34)는 각각 보조채널(38 및 40)를 통하여 링 레이저 채널(22 및 26)에 각각 결합된 도전성 전극으로 구성된다.The ring laser is excited by electrical discharge in the gain region of the conduit. This electrical discharge is generated between the cathode 30, which is open to the ring laser conduit, and the two anodes 32, 34, which are open to the ring laser conduit and are arranged symmetrically about the conduit with respect to the cathode 30. The cathode 30 is connected to the channel 20 via an auxiliary channel 36 and the anodes 32 and 34 are connected to the ring laser channels 22 and 26 via auxiliary channels 38 and 40, Electrode.

상기와 같은 링 레이저 자이로스코프는 광학소자의 손실증대에 의해 출력이 점차 감소되면서 수명을 다하게 되는데, 이러한 광학소자의 손실증대로써 레이저 발진에 따라 생성되는 플라즈마 활성이온이 광학소자인 미러의 표면에 물리변화 및 화학변화를 일으키게 되고, 이로 인해 광감소를 가져오게 되는 것이다.In such a ring laser gyroscope, the output is gradually reduced due to the increase in the loss of the optical element, and the lifetime of the ring laser gyroscope is shortened. The loss of the optical element causes the plasma active ions generated by the laser oscillation to propagate to the surface of the mirror Physical changes and chemical changes, resulting in light reduction.

이러한 플라즈마 활성이온에 의한 미러의 표면 손상을 방지하기 위한 목적으로, 플라즈마 활성이온이나 자외선에 노출되었을 때 물리변화나 화학변화에 내구성이 강한 유전체 재료로 된 보호층을 코팅하여 사용중에 있다.For the purpose of preventing surface damage of the mirror due to plasma active ions, a protective layer made of a dielectric material having high durability against physical change or chemical change when exposed to plasma active ions or ultraviolet rays is coated and used.

미러의 표면에 보호층을 형성한 종래기술로서, 일본 특허 평9-2627864호가 개시되어 있다.As a conventional technique in which a protective layer is formed on the surface of a mirror, JP-A-9-2627864 is disclosed.

상기 기술은 기판 표면에 λ/4의 두께로 이산화티탄(TiO2)과 실리카(SiO2)를 교대로 코팅하여 제1유전체층과 제2유전체층을 형성하고, 그 유전체층의 최외곽 유전체층에는 물리변화나 화학변화에 강한 산화하프늄(HfO2)과 산화알루미늄(Al2O3)를 교대로 코팅하여 제3유전체층과 제4유전체층을 형성한 기술이다.The above technique is a method of forming a first dielectric layer and a second dielectric layer by alternately coating titanium dioxide (TiO2) and silica (SiO2) with a thickness of lambda / 4 on the surface of a substrate, and the outermost dielectric layer of the dielectric layer is subjected to physical change or chemical change (HfO2) and aluminum oxide (Al2O3) are alternately coated on the third dielectric layer and the fourth dielectric layer to form a third dielectric layer and a fourth dielectric layer.

즉, 상기 기술은 광 반사를 높이기 위한 제1유전체층 및 제2유전체이 형성되고, 그 외부에 단순히 제3유전체층과 제4유전체층을 교호적으로 설치하여 물리변화나 화학변화에 대한 내구성을 높이도록 한 것이다.That is, the above-described technology has a first dielectric layer and a second dielectric for improving light reflection and alternatively has a third dielectric layer and a fourth dielectric layer alternately installed on the outside thereof to enhance durability against physical change or chemical change .

그러나 레이저 발진시에 생성되는 플라즈마 활성이온이나 자외선은 레이저빔의 파장 대역과 상이한 대역을 갖는 것임에 따라, 단순히 플라즈마 활성이온에 강한 재료로 코팅하여 레이저빔의 반사목적으로만 설계된 상기의 미러 구조로서는 자외선을 효과적으로 반사시키지 못함으로써 미러 표면에 데미지가 쌓이게 되고, 결국 미러의 손상을 일으켜 레이저빔을 효과적으로 반사시키지는 못하였다.However, since the plasma active ion or ultraviolet ray generated at the time of laser emission has a band different from the wavelength band of the laser beam, the mirror structure designed only for the purpose of reflecting the laser beam by coating the plasma active ion with a strong material, The damage to the mirror surface is accumulated, and as a result, the mirror is damaged, and the laser beam is not effectively reflected.

공개특허공보 제10-2004-0108237호(2004.12.23)Published Japanese Patent Application No. 10-2004-0108237 (December 23, 2004) 일본 특허등록 제2627864호(1997.4.18)Japanese Patent No. 2627864 (Apr. 18, 1997)

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 진공상태의 내부공간으로 입사된 광을 반사하면서도 플라즈마 활성이온에 대한 내구성 강화 및 자외선을 반사시키도록 하여 플라즈마 활성이온이나 자외선에 의해 미러 표면이 손상되는 것을 방지 또는 최소화하도록 한 링 레이저 자이로스코프용 미러를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a plasma display panel capable of enhancing durability against plasma active ions and reflecting ultraviolet rays while reflecting light incident into an internal space in a vacuum state, And a mirror for a ring laser gyroscope is provided which prevents or minimizes damage to the mirror surface.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은, 기판(100)의 일면에는 자이로스코프 입사광 파장(λ)의 1/4의 광학두께로 형성되고 서로 다른 굴절률을 갖는 산화탄탈륨 층(210) 및 실리카 층(220)을 교대로 순차적으로 증착하여 제1반사막(200)을 형성하고, 상기 제1반사막(200)의 최외면에는 플라즈마 활성이온에 대한 내구성이 높은 소재로 자외선을 차단하여 표면을 보호하도록 제2반사막(300)을 증착하여 형성한 링 레이저 자이로스코프용 미러에 있어서, 상기 제1반사막(200)은 600~800nm 대역의 파장을 반사하도록 설계되고, 상기 제2반사막(300)은 200~350nm 대역의 파장을 반사하도록 설계되며, 상기 제2반사막(300)은 산화지르코늄(ZrO2)층과 산화알루미늄(Al2O3)층이 교호적으로 구성된 교호층으로 이루어지고, 상기 산화지르코늄(ZrO2)층과 산화알루미늄(Al2O3)층은 입사광 파장(λ)의 (0.4 ~ 0.43)/4의 광학두께로 형성되며, 상기 제2반사막(300)의 최외곽은 제2반사막을 이루는 각 층보다 2배의 광학두께를 갖도록 (0.8 ~ 0.86)/4의 광학두께로 산화알루미늄(Al2O3)층이 형성된 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention is characterized in that a tantalum oxide layer 210 formed on one surface of a substrate 100 with an optical thickness of 1/4 of a wavelength of incident light (?) Of a gyroscope and having different refractive indices, Layer 220 is sequentially deposited to form a first reflective layer 200. The outermost surface of the first reflective layer 200 is protected with ultraviolet rays by a material having high durability against plasma active ions to protect the surface In the ring laser gyroscope mirror formed by depositing a second reflective film 300, the first reflective film 200 is designed to reflect a wavelength of 600 to 800 nm, and the second reflective film 300 is designed to reflect a wavelength of 200 to 800 nm. (ZrO 2) layer and an aluminum oxide (Al 2 O 3) layer alternately, and the second reflective layer (300) is designed to reflect a wavelength of the ZrO 2 layer The aluminum oxide (Al2O3) (0.4 to 0.43) / 4 of the optical wavelength λ, and the outermost portion of the second reflective layer 300 is formed to have an optical thickness twice as much as that of each layer constituting the second reflective layer (0.8 to 0.86 ) / 4 in the optical thickness of the aluminum oxide (Al2O3) layer.

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상기의 구성으로 이루어진 링 레이저 자이로스코프용 미러에 따르면, 입사된 광의 반사와 함께 플라즈마 활성이온에 대한 내구성 강화 및 자외선을 반사시키도록 하여 미러표면의 물리변화 및 화학변화 등을 방지 또는 최소화할 수 있는 효과가 있다.According to the ring laser gyroscope mirror constructed as described above, it is possible to enhance the durability of the plasma active ions as well as the reflection of the incident light, and to prevent or minimize the physical and chemical changes of the mirror surface It is effective.

도 1은 종래의 링 레이저 자이로스코프용 미러의 적층구조도,
도 2는 본 발명에 따른 링 레이저 자이로스코프용 미러의 박막 증착 구조도,
도 3a 내지 도 3c는 본 발명에 따른 링 레이저 자이로스코프용 미러의 반사대역 그래프.1 is a laminated structure of a conventional mirror for a ring laser gyroscope,
2 is a thin film deposition structure of a mirror for a ring laser gyroscope according to the present invention,
3A to 3C are reflection band graphs of a mirror for a ring laser gyroscope according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 링 레이저 자이로스코프용 미러를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, a mirror for a ring laser gyroscope according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2 내지 도 3c에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 링 레이저 자이로스코프용 미러는 기판(100)의 일면에 제1반사막(200)과 제2반사막(300)을 증착 형성하여 입사광을 반사하도록 한 것으로, 상기 제1반사막(200)은 서로 다른 굴절률을 갖는 산화탄탈륨(Ta2O5) 층(210)과 실리카 층(220)을 각각 교대로 순차적으로 적층되게 증착하여 형성한 막이고, 각각의 산화탄탈륨 층(210)과 실리카 층(220)은 자이로스코프로 입사되는 파장(λ)의 1/4의 광학두께로 형성된다.2 to 3C, a mirror for a ring laser gyroscope according to the present invention includes a first reflective layer 200 and a second reflective layer 300 deposited on one surface of a substrate 100 to reflect incident light The first reflective layer 200 is a film formed by sequentially depositing a tantalum oxide (Ta2O5) layer 210 and a silica layer 220 having different refractive indices and sequentially stacking them. Each tantalum oxide The layer 210 and the silica layer 220 are formed with an optical thickness of 1/4 of the wavelength? Incident on the gyroscope.

이때, 상기 제1반사막(200)은 입사광을 반사하기 위해 구비된 막임에 따라 입사광의 파장대역인 600~800nm 대역의 파장을 반사하도록 설계된다. 이에 따라, 상기 미러로 입사되는 광은 제2반사막(300)을 통과하게 되나 제1반사막(200)에 부딪혀 반사되는 것이다.At this time, the first reflective layer 200 is designed to reflect a wavelength of 600 to 800 nm, which is a wavelength band of incident light, in order to reflect incident light. Accordingly, the light incident on the mirror passes through the second reflective layer 300, but is reflected on the first reflective layer 200.

상기 제2반사막(300)은 제1반사막(200)의 최외면에 증착 형성되는 막으로서, 플라즈마 활성이온과 자외선을 차단하여 미러 표면을 보호하기 위한 기능을 한다.The second reflective layer 300 is formed on the outermost surface of the first reflective layer 200. The second reflective layer 300 functions to protect the mirror surface by blocking plasma active ions and ultraviolet rays.

이때, 상기 제2반사막(300)은 상기 플라즈마 활성이온과 자외선을 차단하기 위해, 자외선의 반사대역인 200~350nm 대역의 파장을 반사하도록 설계된다.At this time, the second reflective layer 300 is designed to reflect a wavelength of 200 to 350 nm, which is a reflection band of ultraviolet rays, in order to shield the plasma active ions and ultraviolet rays.

따라서, 상기 미러로 입사되는 광은 제1반사막(200)에 의해 반사되는 것이고, 플라즈마 활성이온과 자외선은 제2반사막(300)에 의해 반사되어 짐으로써 플라즈마 활성이온과 자외선에 의한 미러 표면의 손상을 방지하거나 최소화할 수 있는 것이다.Accordingly, the light incident on the mirror is reflected by the first reflection film 200, and plasma active ions and ultraviolet rays are reflected by the second reflection film 300, thereby causing damage to the mirror surface due to plasma active ions and ultraviolet rays It can be prevented or minimized.

여기서, 상기 제2반사막(300)은 산화하프늄(HfO2)층과 산화알루미늄(Al2O3)층이 교호적으로 구성된 교호층, 산화알루미늄(Al2O3)층과 실리카(SiO2)층이 교호적으로 구성된 교호층, 산화지르코늄(ZrO2)층과 산화알루미늄(Al2O3)층이 교호적으로 구성된 교호층 중 어느 하나로 이루어질 수 있으나, 바람직하게는 산화지르코늄(ZrO2)층과 산화알루미늄(Al2O3)층이 교호적적으로 구성된 교호층으로 이루어진다.The second reflective layer 300 may include an alternating layer in which a hafnium oxide (HfO2) layer and an aluminum oxide (Al2O3) layer are alternately formed, an alternating layer in which an aluminum oxide (Al2O3) layer and a silica (ZrO2) layer and an aluminum oxide (Al2O3) layer alternately, but it is preferable that the alternating layer composed of a zirconium oxide (ZrO2) layer and an aluminum oxide (Al2O3) layer alternately Layer.

상기 산화하프늄(HfO2)층, 산화알루미늄(Al2O3)층, 실리카(SiO2)층, 산화지르코늄(ZrO2)층은 플라즈마 활성이온이나 자외선에 강한 재료로서, 반사하고자 하는 파장대역의 조절을 통해 제2반사막을 형성하게 되는 것이고, 파장대역 조절은 제2반사막을 이루는 각 층의 두께로 조절할 수 있다.The hafnium oxide (HfO2) layer, the aluminum oxide (Al2O3) layer, the silica (SiO2) layer and the zirconium oxide (ZrO2) layer are resistant to plasma active ions or ultraviolet rays. And the wavelength band adjustment can be controlled by the thickness of each layer constituting the second reflective film.

즉, 자외선의 효과적인 반사를 위해, 상기 산화하프늄(HfO2)층, 산화알루미늄(Al2O3)층, 실리카(SiO2)층, 산화지르코늄(ZrO2)층은 입사광 파장의 (0.4 ~ 0.43)/4의 두께로 형성되는 것이며, 이를 통해 200~350nm 대역의 자외선 파장의 반사율을 높일 수 있는 것이다.That is, in order to effectively reflect ultraviolet rays, the hafnium oxide (HfO2) layer, the aluminum oxide (Al2O3) layer, the silica (SiO2) layer and the zirconium oxide (ZrO2) layer have a thickness of 0.4 to 0.43 / Whereby the reflectance of the ultraviolet wavelength in the band of 200 to 350 nm can be increased.

이때, 상기 제2반사막(300)의 최외곽은 제2반사막을 이루는 각 층보다 2배의 광학두께를 갖도록 (0.8 ~ 0.86)/4의 두께로 산화알루미늄(Al2O3)층이 형성된 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the outermost portion of the second reflective layer 300 is formed with an aluminum oxide (Al 2 O 3) layer having a thickness of 0.8 to 0.86 / 4 so as to have an optical thickness twice that of each layer constituting the second reflective layer.

이렇게 하는 이유는, 상기 제2반사막(300)의 반사대역의 효율을 유지시키면서 플라즈마에 대한 최외각층 표면의 내구성을 높여 미러 표면 파손을 방지하기 위함이다.The reason for this is to improve the durability of the surface of the outermost layer with respect to the plasma while maintaining the efficiency of the reflection band of the second reflective film 300 and to prevent breakage of the mirror surface.

도 3a는 상기 제2반사막(300)을 산화하프늄(HfO2)층과 산화알루미늄(Al2O3)층의 교호층으로 형성한 미러의 반사대역을 보여주는 그래프이고, 도 3b는 상기 제2반사막(300)을 산화알루미늄(Al2O3)층과 실리카(SiO2)층의 교호층으로 형성한 미러의 반사대역을 보여주는 그래프이며, 도 3c는 상기 제2반사막(300)을 산화지르코늄(ZrO2)층과 산화알루미늄(Al2O3)층의 교호층으로 형성한 미러의 반사대역을 보여주는 그래프이다.3A is a graph showing a reflection band of a mirror formed by alternating layers of a hafnium oxide (HfO2) layer and an aluminum oxide (Al2O3) layer, and FIG. 3B is a graph showing a reflection band of the second reflective layer 300 FIG. 3C is a graph showing the reflection band of a mirror made of a zirconium oxide (ZrO.sub.2) layer and aluminum oxide (Al.sub.2O.sub.3). FIG. 3C is a graph showing a reflection band of a mirror formed by alternating layers of an aluminum oxide (Al.sub.2O.sub.3) layer and a silica Layer reflection layer of the mirror formed by the alternate layer of the layer.

상기 도 3a 내지 도 3c와 같이, 본 발명의 미러(실선 표시)는 종래의 미러(점선 표시)에 비해 UV 파장대역에서의 반사율이 4~5배 증대되어 미러의 표면 손상을 대폭 감소시키며, 자이로스코프의 수명을 효과적으로 늘릴 수 있는 것이다.As shown in FIGS. 3A to 3C, the mirror (solid line) of the present invention increases the reflectance in the UV wavelength band by 4 to 5 times as compared with the conventional mirror (dotted line), greatly reducing the surface damage of the mirror, It is possible to effectively increase the life of the scope.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따르면, 종래의 기능인 입사광의 반사는 물론, 플라즈마 활성이온에 대한 내구성이 높은 소재를 사용하여 자외선을 최대한 반사시킴으로써 미러 표면 손상을 최소화 또는 방지할 수 있는 매우 유용한 발명이다.According to the present invention configured as described above, ultraviolet rays are reflected as much as possible using a material having high durability against plasma active ions as well as reflection of incident light, which is a conventional function, thereby minimizing or preventing damage to the mirror surface.

100: 기판 200: 제1반사막
210: 산화탄탈륨(Ta2O5)층 220: 실리카(SiO2)층
300: 제2반사막100: substrate 200: first reflective film
210: tantalum oxide (Ta2O5) layer 220: silica (SiO2) layer
300: second reflection film

Claims (3)

기판(100)의 일면에는 자이로스코프 입사광 파장(λ)의 1/4의 광학두께로 형성되고 서로 다른 굴절률을 갖는 산화탄탈륨 층(210) 및 실리카 층(220)을 교대로 순차적으로 증착하여 제1반사막(200)을 형성하고, 상기 제1반사막(200)의 최외면에는 플라즈마 활성이온에 대한 내구성이 높은 소재로 자외선을 차단하여 표면을 보호하도록 제2반사막(300)을 증착하여 형성한 링 레이저 자이로스코프용 미러에 있어서,
상기 제1반사막(200)은 600~800nm 대역의 파장을 반사하도록 설계되고, 상기 제2반사막(300)은 200~350nm 대역의 파장을 반사하도록 설계되며,
상기 제2반사막(300)은 산화지르코늄(ZrO2)층과 산화알루미늄(Al2O3)층이 교호적으로 구성된 교호층으로 이루어지고, 상기 산화지르코늄(ZrO2)층과 산화알루미늄(Al2O3)층은 입사광 파장(λ)의 (0.4 ~ 0.43)/4의 광학두께로 형성되며,
상기 제2반사막(300)의 최외곽은 제2반사막을 이루는 각 층보다 2배의 광학두께를 갖도록 (0.8 ~ 0.86)/4의 광학두께로 산화알루미늄(Al2O3)층이 형성된 것을 특징으로 하는 링 레이저 자이로스코프용 미러.A tantalum oxide layer 210 and a silica layer 220, each having an optical thickness of 1/4 of the incident light wavelength? Of the gyroscope and having different refractive indexes, and a silica layer 220 are alternately and sequentially deposited on one surface of the substrate 100, And a second reflective film 300 formed on the outermost surface of the first reflective film 200 by evaporating the ultraviolet rays to protect the surface of the second reflective film 300 with high durability against plasma active ions. In a mirror for a gyroscope,
The first reflective layer 200 is designed to reflect a wavelength of 600 to 800 nm, the second reflective layer 300 is designed to reflect a wavelength of 200 to 350 nm,
The second reflective layer 300 includes an alternating layer composed of a zirconium oxide (ZrO 2) layer and an aluminum oxide (Al 2 O 3) layer alternately. The zirconium oxide (ZrO 2) layer and the aluminum oxide (Al 2 O 3) (0.4 to 0.43) / 4 of an optical thickness of?
(Al 2 O 3) layer is formed with an optical thickness of (0.8 to 0.86) / 4 such that the outermost portion of the second reflective film (300) has an optical thickness twice that of each layer constituting the second reflective film. Mirror for laser gyroscope. 삭제delete 삭제delete
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