KR101704962B1 - 광소결 장치 - Google Patents

Abstract

광소결 장치가 제공된다. 광소결 장치는, 제1 길이 방향으로 연장하는 제1-1 발광부가 마련되는 위치의 좌상측 및 우상측에 배치되고 상향으로 볼록한 형상으로 이루어져 상기 제1-1 발광부에서 출사된 광을 피처리물이 형성된 기판 방향으로 반사하는 제1-1 주만곡부 및 제1-2 주만곡부를 포함하는 제1 반사갓, 제1 길이 방향으로 평행 또는 교차하는 방향으로 연장하는 제2-1 발광부가 마련되는 위치의 좌상측 및 우상측에 배치되고 상향으로 볼록한 형상으로 이루어져 제2-1 발광부에서 출사된 광을 상기 피처리물이 형성된 기판 방향으로 반사하는 제2-1 주만곡부 및 제2-2 주만곡부를 포함하며, 제1 반사갓에 인접하여 마련되는 제2 반사갓 및 제1 반사갓 및 제2 반사갓 사이에 마련되고, 상광하협(上廣下狹)의 형상을 가지는 격벽을 포함할 수 있다.

Description

광소결 장치{APPARATUS FOR INTENSE PULSED LIGHT SINTERING}

본 발명은 광소결 장치에 관련된 것으로서, 보다 구체적으로는 기판의 일 변이 발광부의 길이보다 긴 대면적 기판의 광소결 처리가 가능한 광소결 장치에 관련된 것이다.

최근 전자기술과 정보통신기술이 발전함에 따라 스마트기기, OLED, 태양전지 등 다양한 전자기기들이 개발되고 있다. 이러한 전자기기들에 사용되는 전자소자를 제조하기 위해서 인쇄전자기술이 활용된다.

인쇄전자기술은 전도성, 절연성, 반도체성 등을 지닌 기능성 잉크를 산업용 프린팅 공정기법을 통하여 플라스틱, 필름, 종이, 유리, 기판에 인쇄하여 원하는 기능의 전자소자를 제조하는 기술이다. 이러한 인쇄전자기술은 다양한 소재에 프린팅하는 방식으로 응용이 가능하고, 기존 전자산업과 다른 제조공정을 통한 대량 생산, 대면적화 및 공정단순화를 가능케 한다.

인쇄전자기술의 공정은 인쇄, 건조, 소결 등의 세가지 단계로 이루어진다. 이때, 제품의 성능에 크게 영향을 미치는 단계가 소결 공정이다. 소결은 나노입자를 용화시켜 고체 형태의 기능성 박막을 만드는 것으로, 차세대 기술 분야에서 상당한 가치를 가지는 공정이다. 일반적인 소결 공정은 열 소결법, 마이크로웨이브 소결법, 레이저 소결법 등에 이루어진다. 기존 열 소결법은 고온의 진공챔버 환경에서 소결 공정이 진행되므로, 열에 취약한 유연기판에 적용이 곤란하고, 다른 소결 방법들 공정 시간이 길고, 복잡한 단계를 거쳐야 하므로, 생산성이 저하되고 제조원가가 상승하는 문제가 있다.

이러한 문제를 해결하기 위해서, 하기 선행기술문헌의 특허문헌에 개시된 바와 같이, 광소결 기술이 개발되었다. 광소결 기술은 제논램프에서 발생한 백색광을 전파하여 나노입자를 융화시킴으로써, 기존의 열 등을 사용하는 방법에 비해 기능성 박막을 훨씬 빠르고 대량으로 생산할 수 있다.

다만, 종래 광소결 장비는 국부적 소결만이 가능하여, 소결의 균일성이 떨어지고, 대면적 기판에 적용이 곤란하다.

따라서, 현재 종래 광소결 장비의 문제점을 해결하기 위한 방안이 절실히 요구되고 있는 상황이다.

한국특허공개공보 2014-0094789

본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는, 광 균일도가 향상된 광소결 장치를 제공하는 데 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 다른 기술적 과제는 대면적에도 광소결 효율이 향상된 광소결 장치를 제공하는 데 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 상술된 것에 제한되지 않는다.

상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 광소결 장치를 제공한다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 광소결 장치는, 제1 길이 방향으로 연장하는 제1-1 발광부가 마련되는 위치의 좌상측 및 우상측에 배치되고 상향으로 볼록한 형상으로 이루어져 상기 제1-1 발광부에서 출사된 광을 피처리물이 형성된 기판 방향으로 반사하는 제1-1 주만곡부 및 제1-2 주만곡부를 포함하는 제1 반사갓, 상기 제1 길이 방향으로 평행 또는 교차하는 방향으로 연장하는 제2-1 발광부가 마련되는 위치의 좌상측 및 우상측에 배치되고 상향으로 볼록한 형상으로 이루어져 상기 제2-1 발광부에서 출사된 광을 상기 피처리물이 형성된 기판 방향으로 반사하는 제2-1 주만곡부 및 제2-2 주만곡부를 포함하며, 상기 제1 반사갓에 인접하여 마련되는 제2 반사갓 및 상기 제1 반사갓 및 상기 제2 반사갓 사이에 마련되고, 상광하협(上廣下狹)의 형상을 가지는 격벽을 포함할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 제1-1 발광부 및 상기 제2-1 발광부는 각각의 길이 방향 일단에 어댑터(adaptor)를 더 포함하며, 상기 제1 반사갓의 제1-1 발광부와 상기 제2 반사갓의 제2-1 발광부는 서로 직교할 수 있다.

일 실시 예에 따른 상기 격벽은 상기 제1-1 발광부와 인접하여 위치하는 제1 경사면과 및 상기 제2-1 발광부와 인접하여 위치하는 제2 경사면을 포함하며, 상기 제1 및 제2 경사면에 의하여 상기 격벽은 상광하협의 형상을 가질 수 있다.

일 실시 예에 따른 상기 제1 경사면의 경사시작부는 상기 제2 경사면의 경사시작부보다 상단에 위치할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 제1 경사면의 경사시작부와 상기 제2 경사면의 경사시작부는 동일선상에 위치할 수 있다.

일 실시 예에 따른 상기 격벽은 역 삼각형 형상일 수 있다.

일 실시 예에 따른 상기 격벽의 단부는 상변이 넓고 하변이 좁은 역 사다리꼴 형상일 수 있다.

일 실시 예에 따른 상기 제1-1 주만곡부와 상기 제1-2 주만곡부 각각의 현과 상기 제2-1 주만곡부와 상기 제2-2 주만곡부 각각의 현은 동일 선 상에 위치할 수 있다.

일 실시 예에 따른 상기 제1 반사갓은, 상기 제1-1 주만곡부의 좌측 단부에서 연장하며 상향으로 볼록한 제1-1 보조만곡부 및 제1-2 주만곡부의 우측 단부에서 연장하며, 상향으로 볼록한 제1-2 보조만곡부를 더 포함하고, 상기 제2 반사갓은, 상기 제2-1 주만곡부의 좌측 단부에서 연장하며 상향으로 볼록한 제2-1 보조만곡부 및 제2-2 주만곡부의 우측 단부에서 연장하며, 상향으로 볼록한 제2-2 보조만곡부를 더 포함할 수 있다.

일 실시 예에 따른 상기 제1-1 발광부는 상기 제1-1 주만곡부의 우측 단부와 상기 제1-2 주만곡부의 좌측 단부가 형성하는 접점 아래에 위치하며, 상기 제2-1 발광부는 상기 제2-1 주만곡부의 우측 단부와 상기 제2-2 주만곡부의 좌측 단부가 형성하는 접점 아래에 위치하며, 제1-1 보조만곡부 및 상기 제1-2 보조만곡부 하측에 위치하는 제1-2 발광부를 더 포함하며 제2-1 보조만곡부 및 상기 제2-2 보조만곡부 하측에 위치하는 제2-2 발광부를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 광소결 장치는 제1 길이 방향으로 연장하는 제1 발광부가 마련되는 위치의 좌상측 및 우상측에 배치되고 상향으로 볼록한 형상으로 이루어져 상기 제1-1 발광부에서 출사된 광을 피처리물이 형성된 기판 방향으로 반사하는 제1-1 주만곡부 및 제1-2 주만곡부를 포함하는 제1 반사갓, 상기 제1 길이 방향으로 평행 또는 교차하는 방향으로 연장하는 제2-1 발광부가 마련되는 위치의 좌상측 및 우상측에 배치되고 상향으로 볼록한 형상으로 이루어져 상기 제2-1 발광부에서 출사된 광을 상기 피처리물이 형성된 기판 방향으로 반사하는 제2-1 주만곡부 및 제2-2 주만곡부를 포함하며, 상기 제1 반사갓에 인접하여 마련되는 제2 반사갓 및 상기 제1 반사갓 및 상기 제2 반사갓 사이에 마련되고, 상광하협(上廣下狹)의 형상을 가지는 격벽을 포함할 수 있다.

제1 반사갓과 제1 반사갓에 인접하는 제2 반사갓 사이에 격벽이 위치함으로써, 제1 반사갓, 제2 반사갓 하부의 기판에 가해지는 광의 세기가 동일하게 격벽 하부의 기판에도 제공될 수 있다. 따라서, 대면적 기판도 한번의 공정으로 광소결이 가능하게 된다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 광소결 장치의 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 대면적 광소결을 위한 평면도를 도시한다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 격벽을 설명하기 위한 것으로서, 도 2의 A-A'라인에 따른 단면도이다.
도 4는 도 3을 참조하여 설명한 격벽 적용 시에 기판에 도달하는 발광부 광원의 세기를 나타낸 그래프이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 격벽을 설명하기 위한 것으로서, 도 2의 A-A'라인에 대응되는 단면도이다.
도 6은 도 5를 참조하여 설명한 격벽 적용 시에 기판에 도달하는 발광부 광원의 세기를 나타낸 그래프이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 대면적 광소결을 위한 평면도를 도시한다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 격벽을 설명하기 위한 것으로서, 도 7의 B-B'라인에 따른 단면도이다.
도 9는 본 발명의 실시 예들에 따른 광소결 장치를 이용한 도전막 형성 방법을 설명하기 위한 도면이다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명할 것이다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 여기서 설명되는 실시 예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화 될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.

본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 형상 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.

또한, 본 명세서의 다양한 실시 예 들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서, 어느 한 실시 예에 제 1 구성요소로 언급된 것이 다른 실시 예에서는 제 2 구성요소로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시 예는 그것의 상보적인 실시 예도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다.

명세서에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 또한, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하는 것으로 이해되어서는 안 된다. 또한, 본 명세서에서 "연결"은 복수의 구성 요소를 간접적으로 연결하는 것, 및 직접적으로 연결하는 것을 모두 포함하는 의미로 사용된다.

또한, 본 명세서에서 동일, 수직, 대칭이라는 표현은, 완전히 동일, 수직, 대칭되는 경우 뿐 아니라 실질적으로 동일, 수직, 대칭되는 경우를 포함하는 개념이다. 또한, 본 명세서에서 동일, 수직, 대칭이라는 표현은 설계치가 동일, 수직, 대칭하는 경우 뿐 아니라, 제품 상에서의 동일, 수직, 대칭하는 경우를 포함하는 개념이다.

또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 광소결 장치의 분해 사시도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 광소결 장치는, 제1 발광부(10a, 20a)에서 출사된 광을 피처리물(1) 상면 방향으로 반사하는 제1 반사갓(30a) 및 제1 반사벽(40a)을 포함할 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 광소결 장치는, 제2 발광부(10b, 20b)에서 출사된 광을 피처리물(1) 상면 방향으로 반사하는 제2 반사갓(30b) 및 제2 반사벽(40b)을 포함할 수 있다.

나아가, 본 발명의 일 실시 예에 따른 광소결 장치는 상기 제1 반사갓(30a) 및 제1 반사벽(40a)과 상기 제2 반사갓(30b) 및 제2 반사벽(40b) 외측에 위치하는 하우징(70)을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 피처리물(1)은 플라스틱, 필름, 종이, 유리, 기판(S) 등에 패터닝된 미세금속입자 및 전구체 등으로서, 광소결되는 대상 물질을 의미할 수 있다. 예를 들어, 피처리물(1)은 구리, 철, 몰리브데넘, 니켈, 알루미늄, 금, 백금 등의 금속뿐만 아니라, 티타늄옥사이드, 리튬코발트산화물, 실리콘산화물 등의 세라믹을 포함할 수 있다. 피처리물(1)은 나노 또는 마이크로 크기일 수 있는데, 이 경우에 입자의 표면적 비가 커지게 되어, 높은 광흡수도를 제공할 수 있다. 또한, 예를 들어, 피처리물(1)은 기판(S) 상에 인쇄된 금속 나노 잉크로서, 건조 및 소결 단계를 거쳐서 태양전지, 반도체, 디스플레이 등과 같은 전자기기의 전극으로 형성될 수 있다. 다만, 피처리물(1)이 반드시 전극을 형성하는 금속 나노 잉크에 한정되는 것은 아니다.

이 때, 본 발명의 일 실시 예에 따른 광소결 장치는 피처리물(1)이 인쇄된 기판(S)을 고정하는 고정부(50)를 더 포함할 수 있다. 여기서, 고정부(50)는 피처리물(1)을 고정 배치시키되, 제1 반사벽(40a) 및 제2 반사벽(40b)의 말단, 즉 반사벽(40a, 40b)의 최하단으로부터 소정의 간격만큼 하향으로 이격하도록 피처리물(1)을 배치시킬 수 있다. 일 예를 들어, 상기 고정부(50)는 상기 피처리물(1)이 소결의 과정을 거치는 동안, 고정되어 있을 수도 있고, 상기 피처리물(1)이 롤투롤(roll to roll) 방식으로 이동하면서 소결되도록 이동식 고정부로서 기능할 수 있다.

상기 제1 발광부(10a, 20a)는 피처리물(1)의 상단 및 상기 제1 반사갓(30a) 하단에 위치하여 피처리물(1)이 형성된 기판의 상면을 향하여 광을 방사하는 기능을 수행하며, 상기 제2 발광부(10b, 20b)는 피처리물(1)의 상단 및 상기 제2 반사갓(30b) 하단에 위치하여 피처리물(1)이 형성된 기판의 상면을 향하여 광을 방사하는 기능을 수행할 수 있다.

상기 제1 발광부(10a, 20a) 및 상기 제2 발광부(10b, 20b)는 제논램프, 적외선램프, 자외선램프 중 일 수 있다. 제논램프는 제논가스 속에서 일어나는 방전에 의해 발광하는 램프로서, 60nm 내지 2.5mm 사이의 넓은 파장대역의 광스펙트럼을 갖는 극단파 백색광을 발생시켜 상기 피처리물(1)을 소결시킬 수 있다. 적외선램프는 피처리물이 금속 나노 잉크인 경우에, 자외선광이 잉크 내에 함유된 고분자를 연결하는 연결고리를 끊기 때문에 소결의 효율을 향상시킬 수 있다. 또한 적외선램프는 피처리물을 건조시키는 기능을 수행할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 제1 발광부(10a, 20a)는 제1-1 발광부(10a)와 제1-2 발광부(20a)를 포함하며, 상기 제1-2 발광부(20a)는 상기 제1-1 발광부(10a) 양측으로 한 쌍이 마련될 수 있다. 또한, 상기 제2 발광부(10b, 20b)는 제2-1 발광부(10b)와 제2-2 발광부(20b)를 포함하며, 상기 제2-2 발광부(20b)는 상기 제2-1 발광부(10b) 양측으로 한 쌍이 마련될 수 있다.

이 때, 상기 제1-1 발광부(10a), 제1-2 발광부(20a), 제2-1 발광부(10b) 및 제2-2 발광부(20b)의 광원은 다양한 방식으로 조합될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1-1 발광부(10a) 및 제2-1 발광부(20a)는 제논램프로 구성되고, 상기 제1-2 발광부(20a) 및 제2-2 발광부(20b)는 적외선램프 또는 자외선램프로 구성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여, 상기 제1-1 발광부(10a) 및 제2-1 발광부(20a)는 제논램프로 구성되고, 상기 제1-2 발광부(20a) 및 제2-2 발광부(20b)는 적외선램프로 구성된 것을 상정하기로 한다.

상기 제1 반사벽(40a)은 상기 제1 발광부(10a, 20a)에서 출사된 광을 상기 피처리물(1) 상면 방향으로 반사하기 위한 구성으로서 상기 제1 반사갓(30a)의 일 측에 마련될 수 있다. 상기 제2 반사벽(40b)는 상기 제2 발광부(10b, 20b)에서 출사된 광을 상기 피처리물(1) 상면 방향으로 반사하기 위한 구성으로서 상기 제2 반사갓(30b)의 일 측에 마련될 수 있다.

상기 하우징(70)은 제1 및 제2 반사갓(30a, 30b) 및 제1 및 제2 반사벽(40a, 40b) 중 적어도 하나를 커버할 수 있다. 상기 하우징(70)은 상기 제1 및 제2 반사갓(30a, 30b)의 상부면 및 상기 제1 및 제2 반사벽(40a, 40b)의 외면을 둘러싸서, 외부의 충격으로부터 보호할 수 있다.

본 발명의 제1 실시 예에 따른 광소결 장치는 피처리물(1)로 향하는 광을 제어하는 광필터(60)를 더 포함할 수 있다. 상기 광필터(60)는 상기 제1 및 제2 발광부(10a, 20a, 10b, 20b) 하부와 피처리물(1) 상부 사이에 마련될 수 있다.

이때, 상기 광필터(60a)는 반사벽(40a, 40b)에 의해 고정될 수 있는데, 예를 들어, 한 쌍의 제1 반사벽(40a)과 제2 반사벽(40b) 각각의 내면에 광필터(60a)가 슬라이딩되도록 슬라이딩홈이 형성되어, 탈착가능하게 부착될 수 있다. 다만, 광필터(60)가 반드시 반사벽(40a, 40b)에 고정되거나, 또는 슬라이딩되어 탈부착되어야 하는 것은 아니다.

이상 본 발명의 일 실시 예에 따른 광소결 장치를 개략적으로 설명하였다. 이하 도 2를 참조하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 대면적 광소결 장치를 상술하기로 한다.

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 대면적 광소결을 위한 평면도를 도시한다. 보다 구체적으로 도 2는 도 1의 xz 평면에서 광소결 장치를 바라본 것으로 발광부를 중심으로 도시한 것이다.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 광소결 장치는 대면적 기판(S)의 광소결을 위하여, 반사갓이 x 축 및 z 축 적어도 하나의 방향으로 복수 개 마련되는 형상으로 제공될 수 있다. 이 때 개별 반사갓의 발광부가 모두 단일 방향으로 연장하도록 배열될 수 있다. 예를 들어, 각각의 반사갓의 발광부 모두가 z 축 방향으로 연장하도록 배열될 수 있다. 즉, 제1 반사갓(30a)을 이루는 제1-1 발광부(10a) 및 제1-2 발광부(20a)와 제2 반사갓(30b)을 이루는 제2-1 발광부(10b) 및 제2-2 발광부(20b) 모두 z 축 방향으로 연장하도록 배열될 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 일 반사갓과 이에 인접하는 반사갓 사이 영역에는 격벽(80)이 형성될 수 있다.

예를 들어, 상기 격벽(80)은 제1 반사갓에 포함되어 길이 방향으로 연장하는 일 발광부와 이에 인접하는 제2 반사갓에 포함되어 길이 방향으로 연장하는 타 발광부 사이 영역에 마련될 수 있다. 이 경우 상기 격벽(80)은 발광부의 길이 방향과 평행한 z 축 방향으로 연장할 수 있다.

또한, 상기 격벽(80)은 제1 반사갓에 포함되어 길이 방향으로 연장하는 일 발광부와 상기 일 발광부의 길이 방향으로 인접하며 동일한 방향으로 연장하는 타 발광부 사이 영역에 마련될 수 있다. 이 경우 상기 격벽(80)은 발광부의 길이 방향과 직교하는 x 축 방향으로 연장할 수 있다. 특히, 발광부의 길이 방향 일 단에는 발광부에 전력을 공급하는 어댑터(adaptor; 12a, 22a, 12b, 22b)가 위치할 수 있다.

도 2를 참조하여 설명한 실시 예에 있어서 대면적 기판(S)의 표면에 전체에 걸쳐서 높은 광균일도를 제공하기 위해서는 반사갓의 구조와 격벽의 설계가 중요하다. 이하 도 3을 참조하여, 반사갓의 구조와 격벽에 대하여 상술하기로 한다.

도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 격벽을 설명하기 위한 것으로서, 도 2의 A-A'라인에 따른 단면도이다.

도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 광소결 장치는 제1 반사갓(30a) 및 이에 인접하는 제2 반사갓(30b)을 포함하며, 상기 제1 반사갓(30a)와 상기 제2 반사갓(30b) 사이에는 격벽(80)이 마련될 수 있다. 제2 반사갓(30b)은 상기 제1 반사갓(30a)에 대칭하는 구조이므로 제1 반사갓(30a)을 중심으로 설명하기로 한다.

상기 제1 반사갓(30a) 및 제1 반사벽(40a)은 상술한 제1 발광부(10a, 20a)에서 출사된 광이 기판(S) 상면에 균일하게 반사되도록 반사면을 제공할 수 있다.

이를 위하여, 제1 반사갓(30a)은 제1-1 주만곡부(33a) 및 제1-2 주만곡부(34a)를 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 제1-1 주만곡부(33a)는 피처리물(1a)이 형성된 기판(S)으로 광을 발광하는 제1-1 발광부(10a)가 마련되는 위치의 좌상측에 배치되고 상향으로 볼록한 형상(+y 방향)으로 이루어져 상기 제1-1 발광부(10a)에서 출사된 광을 상기 기판(S) 상면 방향으로 반사할 수 있다. 또한, 상기 제1-1 주만곡부(33a)는 상기 제1-1 주만곡부(33a)의 x 축 방향 길이 중심을 y 축으로 교차하는 중심을 기준으로 대칭을 이룰 수 있다.

상기 제1-2 주만곡부(34a)는 피처리물(1a)이 형성된 기판(S)으로 광을 발광하는 제1-1 발광부(10a)가 마련되는 위치의 우상측에 배치되고 상향으로 볼록한 형상(+y 방향)으로 이루어져 상기 제1-1 발광부(10a)에서 출사된 광을 상기 기판(S) 상면 방향으로 반사할 수 있다. 또한, 상기 제1-2 주만곡부(34a)는 상기 제1-2 만곡부(34a)의 x 축 방향 길이 중심을 y 축으로 교차하는 중심을 기준으로 대칭을 이룰 수 있다.

이 때, 상기 제1-1 주만곡부(33a)의 현(a1)과 상기 제1-2 주만곡부(34)의 현(b1)은 동일 선 상에 위치할 수 있다.

또한, 상기 제1-1 주만곡부(33a)의 우측 단부와 상기 제1-2 주만곡부(34a)의 좌측 단부는 접점을 형성하며, 상기 접점에서 상기 제1-1 발광부(10a)의 길이방향 단면 중심을 연장하는 선(line, c: 이하 중심선으로 칭함)은 상기 피처리물이 형성된 기판에 대하여 수직을 이룰 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 제1-1 발광부(10a)는 제1-1 주만곡부(33a)의 우측 단부와 상기 제1-2 주만곡부(34a)의 좌측 단부가 이루는 접점에 소정 거리 하측으로 이격하여 배치될 수 있다. 이하에서는 상기 제1-1 발광부(10a)는 제논램프로 구성된 것을 상정하기로 한다.

이로써, 상기 제1-1 만곡부(33a) 및 상기 제1-2 만곡부(33b)를 포함하는 제1 반사갓(30a)은 상기 제1-1 발광부(10a)에서 출사된 광이 상기 피처리물(1a)이 형성된 기판(S) 표면에 균일한 강도로 도달하도록 반사면을 제공할 수 있다.

만약, 본 발명의 일 실시 예에 따른 반사갓과 달리, 단일 원호 형상을 가진 반사갓 아래에 발광부가 배치되는 경우, 발광부에서 직접 피처리물의 표면으로 출사되는 광과, 발광부에서 반사갓에 반사되어 피처리물의 표면으로 출사되는 광이 중첩되게 된다. 이에 따라 종래 기술에서는 피처리물의 중심부에서의 광의 세기가 피처리물 주변부보다 높게 나타나는 문제가 있었다.

그러나, 본 발명의 실시 예와 같이, 제1-1 발광부(10a)가 제1-1 만곡부(33a)와 제1-2 만곡부(34a)가 접하는 접점 아래에 위치함으로써, 제1-1 발광부(10a)에서 반사갓에 의하여 반사되어 피처리물(1)의 표면으로 조사되는 광의 세기를 줄일 수 있다. 이에 따라 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 피처리물의 중심부에서의 광의 세기와 피처리물 주변부에서의 광의 세기가 균일해지는 효과를 제공할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 제1 반사갓(30a)은 피처리물로 향하는 광의 균일도를 향상시키기 위하여 제1-1 보조만곡부(35a) 및 제1-2 보조만곡부(36a)를 더 포함할 수 있다.

상기 보조만곡부(35a, 36a)는 상기 주만곡부(33a, 34a)와 같이, 제1 반사갓(30a)의 하부면에서부터 상향으로 오목하게 함몰되어, 만곡된 형태로 형성되는데, 그 일단은 각각 제1 주만곡부(33a, 34a)의 타단에 접할 수 있다. 보다 구체적으로 상기 제1-1 보조만곡부(35a)는 상기 제1-1 주만곡부(33a)의 좌측 단부에서 상향으로 볼록하도록 연장하며, 상기 제1-2 보조만곡부(36a)는 상기 제1-2 주만곡부(34a)의 우측 단부에서 상향으로 볼록하도록 연장할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 제1-1 주만곡부(33a)와 상기 제1-1 보조만곡부(35a)는 상기 중심선(c)을 기준으로 상기 제1-2 주만곡부(34a)와 상기 제1-2 보조만곡부(36a)와 대칭을 이룰 수 있다.

상기 제1-1 보조만곡부(35a) 및 제1-2 보조만곡부(36a) 하측에는 제1-2 발광부(20a)가 위치할 수 있다. 이 때, 상기 제1-1 보조만곡부(35a) 및 상기 제1-2 보조만곡부(36a)는 상기 제1-2 발광부(20a)의 적어도 일부를 둘러싸도록 위치할 수 있다.

상기 제1-1 보조만곡부(35a) 및 제1-2 보조만곡부(36a) 하측에 각각 위치하는 제1-2 발광부(20a)는 상기 중심선(c)을 기준으로 대칭을 이룰 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 제1-2 발광부(20a)는 상기 제1-1 발광부(10a) 보다 상단 +y 방향에 위치할 수 있다.

상기 제1 반사갓(30a)은 금, 은, 알루미늄, 철 등 다양한 금속, 및 세라믹, 알루미나 등 비금속 재료 중 어느 하나 또는 2가지 이상이 혼합되어 제조될 수 있다. 이때 반드시 상기 제1 반사갓(30a) 그 자체가 이러한 재료로 제조되어야 하는 것은 아니고, 이러한 재료 중 어느 하나 또는 2가지 이상을 혼합한 혼합물이 제1 반사갓(30a)의 하부면에 코팅되어 제조될 수 있다.

한편, 본 발명의 일 실시 예에 따른 광소결 장치는, 상기 제1-1 발광부(10a) 및 상기 제1-2 발광부(20a)에서 방사된 광을 상기 기판(S) 표면으로 반사하는 제1 반사벽(40a)을 더 포함할 수 있다.

상기 제1 반사벽(40a)도 금, 은, 알루미늄, 철 등 다양한 금속, 및 세라믹, 알루미나 등 비금속 재료 중 어느 하나 또는 2가지 이상이 혼합되어 제조될 수 있다. 이때 반드시 제1 반사벽(40a) 그 자체가 이러한 재료로 제조되어야 하는 것은 아니고, 이러한 재료 중 어느 하나 또는 2가지 이상을 혼합한 혼합물이 제1 반사벽(40a)의 하부면에 코팅되어 제조될 수 있다.

상기 제1 반사갓(30a)과 기판(S) 사이에는 광필터(60, 미도시)가 마련될 수 있다. 상기 광필터(60)는 특정 스펙트럼을 선택적으로 투과시키는 필터 또는 쿼츠로 이루어질 수 있다.

이상 제1 반사갓(30a), 제1 발광부(10a, 20a), 제1 반사벽(40a)에 대하여 설명하였다. 앞서 설명한 바와 같이, 제2 반사갓(30b), 제2 발광부(10b, 20b), 제2 반사벽(40b)는 형상과 구조 기능이 각각 제1 반사갓(30a), 제1 발광부(10a, 20a), 제1 반사벽(40a)에 대응되므로 구체적인 설명을 생략하기로 한다.

이하에서는 제1 반사갓(30a)과 제2 반사갓(30b) 사이에 마련되는 격벽(80)에 대하여 상술하기로 한다.

상기 격벽(80)은 상기 격벽(80) 하측에 위치하는 기판에도 제1 반사갓(30a) 하부 및/또는 제2 반사갓(30b) 하부 기판과 동일한 크기의 광이 조사되도록 형성될 수 있다.

이를 위하여, 상기 격벽(80)은 상단은 넓고 하단은 좁은 상광하협 (上廣下狹)의 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 격벽(80)은 역 삼각형의 형상을 가질 수 있다. 이 경우, 제1 반사갓(30a) 하부의 제1 발광부(10a, 20a)에서 방사되는 광과 제2 반사갓(30b) 하부의 제2 발광부(10b, 20b)에서 방사되는 광이 상기 격벽(80) 하부로 제공되게 되며, 이 때 제1 및 제2 반사갓(30a, 30b) 각각의 하부와 동일한 정도의 광 균일도가 제공될 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 역 삼각형 형상의 격벽(80)은 두께(d) 0mm 초과 80mm 이하, 격벽의 경사면 각도(θ) 0도 초과 90도 미만, 제1-1 주만곡부(33a)와 제1-2 주만곡부(34a) 사이의 접점 높이에서 격벽 하단부 높이까지의 y 축 방향 거리(L) 0mm 초과 100mm 미만으로 설계될 수 있다.

상기 격벽(80)도 금, 은, 알루미늄, 철 등 다양한 금속, 및 세라믹, 알루미나 등 비금속 재료 중 어느 하나 또는 2가지 이상이 혼합되어 제조될 수 있다. 이때 반드시 상기 격벽(80) 그 자체가 이러한 재료로 제조되어야 하는 것은 아니고, 이러한 재료 중 어느 하나 또는 2가지 이상을 혼합한 혼합물이 격벽(80)의 하부면에 코팅되어 제조될 수 있다.

도 4는 도 3을 참조하여 설명한 반사갓 및 격벽 적용 시에 기판에 도달하는 발광부 광원의 세기를 나타낸 그래프이다. 보다 구체적으로 도 2의 좌측 상단 및 우측 상단의 구조(1x2)를 통하여 실험한 그래프이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광부에서 방사된 광원의 세기가 기판 표면 특히 격벽 아래에서도 균일하게 분포됨을 알 수 있다. 참고로, 도 4의 (a)는 발광부에서 방사된 광원의 세기를 3차원 그래프로 나타낸 것이고, 도 4의 (b)는 y축 방향으로 바라본 2차원 데이터로서, 전 면적에 걸친 광원의 세기가 균일한 것으로 확인되었다.

이상 도 3을 중심으로 본 발명의 일 실시 예에 따른 대면적 광소결을 위한 광 반사 구조 및 격벽 구조를 함께 설명하였다. 이하에서는 도 5를 참조하여 본 발명의 다른 실시 예에 다른 대면적 광소결을 위한 격벽 구조를 설명하기로 한다.

도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 격벽을 설명하기 위한 것으로서, 도 2의 A-A'라인에 대응되는 단면도이다.

도 5를 참조하여 설명할 광소결 장치도 제1 반사갓(30a), 제1 발광부(10a, 20a), 제1 반사벽(40a), 제2 반사갓(30b), 제1 발광부(10b, 20b) 및 제2 반사벽(40b)을 포함하며 이들 구성은 앞서 도 3을 참조하여 설명한 바와 동일하므로 상세한 설명을 생략하기로 한다. 이하에서는 대별되는 구성인 격벽을 중심으로 설명하기로 한다.

도 5를 참조하여 설명하는 실시 예에 따른 격벽(80)은 제1 반사갓(30a)과 제2 반사갓(30b) 사이에 마련될 수 있다. 상기 격벽(80)은 상기 격벽(80) 하측에 위치하는 기판에도 제1 반사갓(30a) 하부 및/또는 제2 반사갓(30b) 하부 기판과 동일한 크기의 광이 조사되도록 형성될 수 있다.

이를 위하여, 상기 격벽(80)은 상단은 넓고 하단은 좁은 상광하협 (上廣下狹)의 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 격벽(80)의 단부는 상변이 넓고 하변이 좁은 역 사다리꼴 형상을 가질 수 있다. 이 경우, 제1 반사갓(30a) 하부의 제1 발광부(10a, 20a)에서 방사되는 광과 제2 반사갓(30b) 하부의 제2 발광부(10b, 20b)에서 방사되는 광이 상기 격벽(80) 하부로 제공되게 되며, 이 때 제1 및 제2 반사갓(30a, 30b) 각각의 하부와 동일한 정도의 광 균일도가 제공될 수 있다.

일 실시 예에 따르면 상기 역 사다리꼴 형상의 격벽(80)은 두께(d) 0mm 초과 200mm 이하, 격벽의 경사면 각도(θ) 0도 초과 90도 미만, 제1-1 주만곡부(33a)와 제1-2 주만곡부(34a) 사이의 접점 높이에서 역 사다리꼴 하단부 높이까지의 y 축 방향 거리(L1) 0mm 초과 300mm 이하, 제1-1 주만곡부(33a)와 제1-2 주만곡부(34a) 사이의 접점 높이에서 역 사다리꼴 상단부 높이까지의 y 축 방향 거리(L2) 0mm 초과 300mm 이하로 구성될 수 있다. 이 때, L2는 L1 보다 짧게 형성된다.

도 6은 도 5를 참조하여 설명한 반사갓 및 격벽 적용 시에 기판에 도달하는 발광부 광원의 세기를 나타낸 그래프이다. 보다 구체적으로 도 2의 좌측 상단 및 우측 상단의 구조(1x2)를 통하여 실험한 그래프이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 발광부에서 방사된 광원의 세기가 기판 표면 특히 격벽 아래에서도 균일하게 분포됨을 알 수 있다. 참고로, 도 6의 (a)는 발광부에서 방사된 광원의 세기를 3차원 그래프로 나타낸 것이고, 도 6의 (b)는 y축 방향으로 바라본 2차원 데이터로서, 전 면적에 걸친 광원의 세기가 균일한 것으로 확인되었다.

이상 도 5를 중심으로 본 발명의 다른 실시 예에 따른 격벽에 대하여 설명하였다. 본 발명의 실시 예들에 따른 격벽의 길이 방향 단면은 상변이 넓고 하변이 좁은 상광하협의 형상으로 구성된다.

만약, 본 발명과 달리 격벽의 길이 방향 단면이 직사각형 형상을 가지는 경우, 제1 반사갓과 격벽 경계와 제2 반사갓과 격벽 경계에서 광 세기가 현저히 차이나는 문제가 발생하게 된다. 광 균일도가 떨어지게 되면 광소결의 신뢰성을 확보할 수 없게 된다.

그러나, 본 발명의 실시 예들과 같이, 격벽이 상광하협의 형상을 가지는 경우, 제1 반사갓과 격벽 경계와 제2 반사갓과 격벽 경계 사이에서도 광 균일성이 우수한 것으로 나타났다. 이에 본 발명의 실시 예들에 따르면, 개별 반사갓을 x 축 및 y 축으로 복수 개 배치하고 개별 반사갓 사이에는 격벽을 형성함으로써, 고신뢰도의 광소결 장치를 제공할 수 있다.

도 7은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 대면적 광소결을 위한 평면도를 도시한다. 보다 구체적으로 도 7은 도 1의 xz 평면에서 광소결 장치를 바라본 것이다. 도 7을 참조하여 설명한 실시 예에서는 도 1 내지 도 6을 참조하여 설명한 실시 예와 중복되는 부분은 생략하고 대별되는 구성을 중심으로 설명하기로 한다.

도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 광소결 장치는 대면적 기판(S)의 광소결을 위하여, 반사갓이 x 축 및 z 축 적어도 하나의 방향으로 복수 개 마련되는 형상으로 제공될 수 있다. 이 때 일 반사갓의 발광부와 이에 인접하는 반사갓의 발광부는 교차하는 방향으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 일 반사갓의 발광부가 z 축 방향으로 연장하는 경우, 이에 x 축 방향으로 인접하는 반사갓의 발광부는 직교할 수 있고, 또한 이에 z 축 방향으로 인접하는 반사갓의 발광부도 직교할 수 있다.

만약, 일 반사갓에 포함된 발광부와 상기 일 반사갓에 인접하는 타 반사갓에 포함된 발광부가 평행하도록 배치되는 경우, 발광부 일 단에 마련되는 어댑터들이 연속적으로 위치하므로 어댑터들의 두께에 의하여 격벽의 두께가 두꺼워지게 된다.

그러나, 본 실시 예와 같이, 일 반사갓에 포함된 발광부와 상기 일 반사갓에 인접(x 축 또는 z 축)하는 타 반사갓에 포함된 발광부가 직교하도록 배치되는 경우, 일 발광부 일 단에 마련되는 어댑터와 타 발광부 일 단에 마련되는 어댑터가 비 연속적으로 배치되므로 격벽의 두께를 얇게 할 수 있다. 이 경우, 격벽의 두께가 얇아지므로 광균일도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

일 실시 예에 따르면, 일 반사갓과 이에 인접하는 반사갓 사이 영역에는 격벽(80)이 형성될 수 있다. 이하 도 8을 참조하여 도 7에 도시된 실시 예에 따른 격벽 구조에 대하여 상술하기로 한다.

도 8은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 격벽을 설명하기 위한 것으로서, 도 7의 B-B'라인에 따른 단면도이다.

도 8을 참조하여 설명할 광소결 장치도 제1 반사갓(30a), 제1 발광부(10a, 20a), 제1 반사벽(40a), 제2 반사갓(30b), 제1 발광부(10b, 20b) 및 제2 반사벽(40b)을 포함한다. 이들 구성은 앞서 도 3을 참조하여 설명한 바와 동일하므로 상세한 설명을 생략하기로 한다. 다만, 제1 반사갓(30a), 제1 발광부(10a, 20a), 제1 반사벽(40a)과 제2 반사갓(30b), 제2 발광부(10b, 20b), 제1 반사벽(40b)은 연장 방향에 있어 상이할 수 있다. 이하에서는 대별되는 구성인 격벽을 중심으로 설명하기로 한다.

도 8을 참조하여 설명하는 실시 예에 따른 격벽(80)은 제1 반사갓(30a)과 제2 반사갓(30b) 사이에 마련될 수 있다. 상기 격벽(80)은 상기 격벽(80) 하측에 위치하는 기판에도 제1 반사갓(30a) 하부 및/또는 제2 반사갓(30b) 하부 기판과 동일한 크기의 광이 조사되도록 형성될 수 있다.

이를 위하여, 상기 격벽(80)은 상단은 넓고 하단은 좁은 상광하협 (上廣下狹)의 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 격벽(80)의 단부는 상변이 넓고 하변이 좁은 형상을 가질 수 있다. 특히, 제1 반사갓(30a)와 제2 반사갓(30b) 각각의 발광부의 방향이 다르기 때문에 격벽(80) 하부 영역으로 방사하는 광의 양도 차이가 나게 된다. 따라서, 상기 격벽(80)은 상기 격벽(80)의 연장 방향(z축 방향)과 동일한 방향(z축 방향)으로 연장하는 발광부에 인접하여 위치하는 제1 경사면과 상기 격벽(80)의 연장 방향(z축 방향)과 직교하는 방향(x축 방향)으로 연장하는 발광부에 인접하여 위치하는 제2 경사면을 포함하되, 광 양을 조절하도록 상기 제1 경사면은 상기 제2 경사면 보다 경사시작점이 상단에 위치할 수 있다.

일 실시 예에 따르면, 상기 격벽(80)은 두께(d) 0mm 초과 200mm 이하, 제1-1 주만곡부(33a)와 제1-2 주만곡부(34a) 사이의 접점 높이에서 격벽 하단부 높이까지의 y 축 방향 거리(L1) 0mm 초과 300mm 이하, 제1-1 주만곡부(33a)와 제1-2 주만곡부(34a) 사이의 접점 높이에서 제1 경사시작점 높이까지의 y 축 방향 거리(L2) 0mm 초과 300mm 이하, 제1-1 주만곡부(33a)와 제1-2 주만곡부(34a) 사이의 접점 높이에서 제2 경사시작점 높이까지의 y 축 방향 거리(L3) 0mm 초과 180mm 이하, 제1 경사면의 각도(θ1) 0도 초과 180도 미만, 제2 경사면의 각도(θ2) 0도 초과 180도 미만으로 구성될 수 있다. 이 때, L1>L2>L3의 관계를 가질 수 있다.

한편 일 실시 예에 따르면, 상기 제1 경사면은 상기 제2 경사면보다 경사시작점이 하단에 위치할 수도 있으며, 동일한 높이에 위치할 수도 있다.

이상 도 7 및 도 8을 참조하여, 발광부들의 방향을 직교시킴으로써, 어댑터 차지 공간에 따른 격벽의 두께를 최소화하는 대면적 광소결 장치 및 발광부들의 방향이 직교함에 따른 격벽의 설계 구조를 설명하였다. 이하에서도 도 1 내지 도 8을 참조하여 설명한 광소결 장치를 이용한 도전막 형성 방법에 대하여 설명하기로 한다.

도 9는 본 발명의 실시 예들에 따른 광소결 장치를 이용한 도전막 형성 방법을 설명하기 위한 도면이다. 이하 도 9를 참조하여 설명할 광소결 장치를 이용한 도전막 형성 방법은, 도 1 내지 도 8을 참조하여 설명한 광소결 장치 모두에 적용될 수 있다.

도 9를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 도전막 형성 방법은, 피처리물인 금속 나노 잉크를 인쇄하는 단계(S100) 및 금속 나노 잉크를 건조하는 단계(S200), 및 금속 나노 잉크를 소결하는 단계(S300)를 포함하여 이루어질 수 있다.

보다 구체적으로 금속 나노 잉크를 인쇄하는 단계(S100)에서 금속 나노 잉크는 기판에 인쇄되어 패터닝될 수 있다. 예를 들어, 기판은 플라스틱, 필름, 종이, 유리 등이 될 수 있다. 금속 나노 잉크가 인쇄되면, 금속 나노 잉크를 건조하는 단계가 수행될 수 있다(S200). 이 경우, 적외선을 방사하여 기판(S) 상의 피처리물(1)을 가열함으로써, 피처리물(1)을 건조시킬 수 있다. 금속 나노 잉크 건조 단계(S200)와 동시에 또는 금속 나노 잉크 건조 단계(S200) 후에 금속 나노 잉크 소결 단계(S300)가 수행될 수 있다. 제논램프에서 출사되는 백색광의 조사를 통한 소결은 펄스 하나를 조사하는 단펄스 소결, 백색광의 에너지를 여러 펄스로 나누어 조사하는 다중펄스 소결, 또는 다중펄스를 통해 예열한 후에 단펄스를 통해 소결하는 2스텝(2step) 소결로 이루어질 수 있다.

예를 들어, 도 1 내지 도 8을 참조하여 설명한 광소결 장치를 이용하는 경우, 피처리물이 기판에 인쇄된 이후에, 제1-2 발광부(20a) 및 제2-2 발광부(20b)를 통하여 적외선램프 광을 피처리물이 형성된 기판에 조사하여 피처리물을 건조시킬 수 있다. 이후 제1-1 발광부(10a) 및 제2-1 발광부(10b)를 통하여 제논램프 광을 피처리물이 형성된 기판에 조사하여 피처리물을 소결시킬 수 있다. 이 때 앞서 설명한 바와 같이 본 발명의 실시 예들이 제공하는 격벽 구조에 따라 격벽 하부에서도 균일한 크기의 광이 조사될 수 있다.

한편 본 발명의 실시 예에 따른 광소결 장치를 이용한 도전막 형성 방법은 롤투롤 공정에도 적용될 수 있다. 예를 들어, 피처리물이 인쇄된 기판이 좌측 반사벽에서 우측 반사벽으로 이동하는 경우(+x 축 방향으로 이동)에도 적외선램프를 통하여 피처리물을 건조시키고 제논램프를 통하여 피처리물을 소결시킬 수 있다.

이상, 본 발명을 바람직한 실시 예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.

1: 피처리물 10a: 제1-1 발광부
20a: 제1-2 발광부 30a: 제1 반사갓
33a: 제1-1 주만곡부 34a: 제1-2 주만곡부
35a: 제1-1 보조만곡부 36a:제1-2보조만곡부
40a: 제1 반사벽 60: 광필터
S: 기판 C: 중심선
10b: 제2-1 발광부 20b: 제2-2 발광부
30b: 제2 반사갓 33b: 제2-1 주만곡부
34b: 제2-2 주만곡부 35b: 제2-1 보조만곡부
36b: 제2-2 보조만곡부 40b: 제2 반사벽

Claims (10)

1. 제1 길이 방향으로 연장하는 제1-1 발광부가 마련되는 위치의 좌상측 및 우상측에 배치되고 상향으로 볼록한 형상으로 이루어져 상기 제1-1 발광부에서 출사된 광을 피처리물이 형성된 기판 방향으로 반사하는 제1-1 주만곡부 및 제1-2 주만곡부를 포함하는 제1 반사갓;
   상기 제1 길이 방향으로 평행 또는 교차하는 방향으로 연장하는 제2-1 발광부가 마련되는 위치의 좌상측 및 우상측에 배치되고 상향으로 볼록한 형상으로 이루어져 상기 제2-1 발광부에서 출사된 광을 상기 피처리물이 형성된 기판 방향으로 반사하는 제2-1 주만곡부 및 제2-2 주만곡부를 포함하며, 상기 제1 반사갓에 인접하여 마련되는 제2 반사갓; 및
   상기 제1 반사갓 및 상기 제2 반사갓 사이에 마련되고, 상광하협(上廣下狹)의 형상을 가지는 격벽을 포함하는 광소결 장치.
2. 제1 항에 있어서,
   상기 제1-1 발광부 및 상기 제2-1 발광부는 각각의 길이 방향 일단에 어댑터(adaptor)를 더 포함하며, 상기 제1 반사갓의 제1-1 발광부와 상기 제2 반사갓의 제2-1 발광부는 서로 직교하는 광소결 장치.
3. 제2 항에 있어서,
   상기 격벽은, 상기 제1 길이 방향으로 연장하며, 상기 제1-1 발광부와 인접하여 위치하는 제1 경사면과 및 상기 제2-1 발광부와 인접하여 위치하는 제2 경사면을 포함하며, 상기 제1 및 제2 경사면에 의하여 상기 격벽은 상광하협의 형상을 가지는 광소결 장치.
4. 제3 항에 있어서,
   상기 제1 경사면의 경사시작부는 상기 제2 경사면의 경사시작부보다 상단에 위치하는 광소결 장치.
5. 제3 항에 있어서,
   상기 제1 경사면의 경사시작부와 상기 제2 경사면의 경사시작부는 동일선상에 위치한 광소결 장치.
6. 제1 항에 있어서,
   상기 격벽은 역 삼각형 형상인 광소결 장치.
7. 제1 항에 있어서,
   상기 격벽의 단부는 상변이 넓고 하변이 좁은 역 사다리꼴 형상인 광소결 장치.
8. 제1 항에 있어서,
   상기 제1-1 주만곡부와 상기 제1-2 주만곡부 각각의 현과 상기 제2-1 주만곡부와 상기 제2-2 주만곡부 각각의 현은 동일 선 상에 위치하는 광소결 장치.
9. 제1 항에 있어서,
   상기 제1 반사갓은, 상기 제1-1 주만곡부의 좌측 단부에서 연장하며 상향으로 볼록한 제1-1 보조만곡부 및 제1-2 주만곡부의 우측 단부에서 연장하며, 상향으로 볼록한 제1-2 보조만곡부를 더 포함하고,
   상기 제2 반사갓은, 상기 제2-1 주만곡부의 좌측 단부에서 연장하며 상향으로 볼록한 제2-1 보조만곡부 및 제2-2 주만곡부의 우측 단부에서 연장하며, 상향으로 볼록한 제2-2 보조만곡부를 더 포함하는 광소결 장치.
10. 제9 항에 있어서,
    상기 제1-1 발광부는 상기 제1-1 주만곡부의 우측 단부와 상기 제1-2 주만곡부의 좌측 단부가 형성하는 접점 아래에 위치하며, 상기 제2-1 발광부는 상기 제2-1 주만곡부의 우측 단부와 상기 제2-2 주만곡부의 좌측 단부가 형성하는 접점 아래에 위치하며,
    제1-1 보조만곡부 및 상기 제1-2 보조만곡부 하측에 위치하는 제1-2 발광부를 더 포함하며
    제2-1 보조만곡부 및 상기 제2-2 보조만곡부 하측에 위치하는 제2-2 발광부를 더 포함하는 광소결 장치.
    

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