KR101698292B1 - Semiconductor module - Google Patents
Semiconductor module Download PDFInfo
- Publication number
- KR101698292B1 KR101698292B1 KR1020160000906A KR20160000906A KR101698292B1 KR 101698292 B1 KR101698292 B1 KR 101698292B1 KR 1020160000906 A KR1020160000906 A KR 1020160000906A KR 20160000906 A KR20160000906 A KR 20160000906A KR 101698292 B1 KR101698292 B1 KR 101698292B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- semiconductor devices
- semiconductor
- substrate
- external wiring
- molding part
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
- H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
- H01L25/065—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L25/0655—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the devices being arranged next to each other
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
- H01L23/3107—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
- H01L23/3114—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed the device being a chip scale package, e.g. CSP
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
- H01L23/3107—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
- H01L23/3121—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed a substrate forming part of the encapsulation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/495—Lead-frames or other flat leads
- H01L23/49517—Additional leads
- H01L23/4952—Additional leads the additional leads being a bump or a wire
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/58—Structural electrical arrangements for semiconductor devices not otherwise provided for, e.g. in combination with batteries
- H01L23/60—Protection against electrostatic charges or discharges, e.g. Faraday shields
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32135—Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
- H01L2224/32145—Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73253—Bump and layer connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/19—Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/191—Disposition
- H01L2924/19101—Disposition of discrete passive components
- H01L2924/19105—Disposition of discrete passive components in a side-by-side arrangement on a common die mounting substrate
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 반도체 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor module.
각종 전자기기에는 다양한 구조로 제조된 다수 개의 반도체 패키지뿐만 아니라, 각종 신호 교환용 전자소자들이 집적화되어 설치되어 있기 때문에, 반도체 소자와 전자소자들은 전기적인 작동 중에 전자파를 발산시키는 것으로 알려져 있다.BACKGROUND ART [0002] Various electronic devices are known to radiate electromagnetic waves during electrical operation because a plurality of semiconductor packages manufactured in various structures, as well as various signal exchange electronic devices are integrated and installed.
일반적으로, 전자파는 전계(electric field)와 자계(magnetic field)의 합성파로 정의 되며, 도체에 흐르는 전류에 의해서 형성되는 전계와 자계에 의해서 전자파가 발생될 수 있다.Generally, an electromagnetic wave is defined as a composite wave of an electric field and a magnetic field, and an electromagnetic wave can be generated by an electric field and a magnetic field formed by a current flowing in a conductor.
이러한 전자파들은 각종 전자기기의 마더보드에 좁은 간격으로 실장된 반도체 디바이스 및 전자 소자들로부터 발산될 수 있으며, 그 주변에 인접하여 실장된 반도체 디바이스까지 직간접으로 영향을 미치게 되어 손상을 입힐 수 있다.These electromagnetic waves can be emitted from the semiconductor devices and the electronic devices mounted at narrow intervals on the mother board of various electronic devices and can directly or indirectly affect the semiconductor devices mounted adjacent to the periphery of the electronic devices.
본 발명은 상술한 종래의 문제점을 극복하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 복수의 반도체 디바이스들의 전기적 연결을 위해 별도의 마더 보드를 대신하여, 연결 부재를 통해 연결할 수 있으므로 전체적인 구성을 간소화 및 소형화할 수 있는 반도체 모듈을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to overcome the above-mentioned problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide a semiconductor device which can be connected to a plurality of semiconductor devices via a connection member instead of a separate motherboard for electrical connection, And a semiconductor module.
또한, 본 발명의 다른 목적은 반도체 모듈을 하나의 패키지로 구성하는 것이 아니라, 각 기능별 반도체 디바이스를 개별적으로 몰딩부를 통해 패키지하고, 몰딩부를 덮도록 개별적으로 전자파 쉴드막을 형성할 수 있으므로, 각 반도체 디바이스 사이의 전자기적 간섭현상을 최소화할 수 있는 반도체 모듈을 제공하는데 있다.It is another object of the present invention to provide a semiconductor device in which each semiconductor device is individually packaged through a molding part and the electromagnetic shielding film can be individually formed so as to cover the molding part, The present invention provides a semiconductor module that can minimize the electromagnetic interference between a semiconductor chip and a semiconductor module.
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 의한 반도체 모듈은 다수의 배선패턴이 구비된 기판과, 상기 기판과 전기적으로 접속된 반도체 다이와, 상기 반도체 다이를 몰딩하는 몰딩부 및, 상기 몰딩부를 덮도록 형성된 전자파 쉴드막을 포함하며, 상기 기판의 다수의 배선 패턴 중 적어도 하나의 외부 배선 패턴이 상기 몰딩부의 외부로 노출된 복수의 반도체 디바이스들 및, 상기 복수의 반도체 디바이스들 중, 하나의 반도체 디바이스의 상기 외부 배선 패턴과, 상기 하나의 반도체 디바이스와 인접한 다른 반도체 디바이스의 외부 배선 패턴 사이를 전기적으로 연결하는 연결 부재를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a semiconductor module comprising: a substrate having a plurality of wiring patterns; a semiconductor die electrically connected to the substrate; a molding part molding the semiconductor die; A plurality of semiconductor devices including an electromagnetic wave shielding film and at least one external wiring pattern of a plurality of wiring patterns of the substrate exposed to the outside of the molding part; And a connecting member for electrically connecting a wiring pattern and an external wiring pattern of another semiconductor device adjacent to the one semiconductor device.
상기 복수의 반도체 디바이스들은 상기 외부 배선 패턴이 상기 기판의 상면에 구비될 수 있다.The plurality of semiconductor devices may include the external wiring pattern on an upper surface of the substrate.
상기 연결 부재는 도전성 와이어 또는 도전성 클립일 수 있다.The connecting member may be a conductive wire or a conductive clip.
상기 복수의 반도체 디바이스들은 각각 상기 반도체 다이가 상기 기판의 상면에 접속되며, 상기 몰딩부가 상기 반도체 다이를 덮도록 형성되어 상기 기판으로부터 상부 방향으로 돌출되고, 상기 전자파 쉴드막이 상부로 돌출된 상기 몰딩부를 덮도록 형성되며, 상기 연결 부재는 상기 복수의 반도체 디바이스들의 상기 전자파 쉴드막과 이격되도록 상기 기판의 상면으로 노출된 상기 외부 배선 패턴사이를 각각 전기적으로 연결하도록 복수개 구비될 수 있다.Wherein the plurality of semiconductor devices each have the semiconductor die connected to the upper surface of the substrate and the molding part is formed so as to cover the semiconductor die and protrudes upward from the substrate and the molding part having the electromagnetic shielding film protruded upward And the connection member may be provided to electrically connect between the external wiring patterns exposed on the upper surface of the substrate so as to be spaced apart from the electromagnetic shielding film of the plurality of semiconductor devices.
상기 복수의 반도체 디바이스들에서 인접한 두 개의 반도체 디바이스들의 하면에 접착된 고정 수단을 더 포함할 수 있다.And may further include fixing means attached to a lower surface of two adjacent semiconductor devices in the plurality of semiconductor devices.
상기 연결 부재는 복수의 연결 패턴을 구비한 테이프 회로 또는 연성 회로 기판일 수 있다. The connecting member may be a tape circuit or a flexible circuit board having a plurality of connection patterns.
상기 연결 부재는 바 형태로, 상기 복수의 반도체 디바이스들 중에서 측방향으로 이격된 인접한 두 개의 반도체 디바이스들의 기판에 접착되어, 상기 인접한 두 개의 반도체 디바이스들에 각각 구비된 다수의 외부 배선 패턴 사이를 상기 복수의 연결 패턴을 통해 각각 전기적으로 연결할 수 있다.Wherein the connecting member is adhered to a substrate of two adjoining semiconductor devices spaced laterally out of the plurality of semiconductor devices in a bar shape so as to form a plurality of external wiring patterns And can be electrically connected to each other through a plurality of connection patterns.
상기 연결 부재는 복수개 구비되어, 상기 복수의 반도체 디바이스들 중에서 인접한 두 개의 반도체 디바이스들을 각각 전기적으로 연결할 수 있다. The plurality of semiconductor devices may be electrically connected to the two semiconductor devices adjacent to each other.
상기 복수의 반도체 디바이스들의 각각의 상기 몰딩부는 상기 반도체 다이가 상기 기판의 상면에 접속되며, 상기 몰딩부가 상기 반도체 다이를 덮도록 형성되어 상기 기판으로부터 상부 방향으로 돌출되고, 상기 전자파 쉴드막이 상부로 돌출된 상기 몰딩부를 덮도록 형성될 수 있다.Wherein the molding portion of each of the plurality of semiconductor devices is formed such that the semiconductor die is connected to an upper surface of the substrate, the molding portion is formed so as to cover the semiconductor die and protrudes upward from the substrate, The molding part may be formed to cover the molding part.
상기 연결 부재는 복수의 홀을 구비하고, 상기 복수의 반도체 디바이스들의 상부로 돌출된 상기 몰딩부와 상기 전자파 쉴드막이 상기 복수의 홀을 통해 상기 연결 부재를 관통하여 상부로 돌출될 수 있다.The connection member may have a plurality of holes, and the molding part protruded to the upper portion of the plurality of semiconductor devices and the electromagnetic shielding film may protrude upward through the connecting member through the plurality of holes.
상기 연결 부재는 상기 복수의 반도체 디바이스들의 상기 기판의 상면을 모두 덮는 일체형일 수 있다. The connecting member may be integrally formed to cover the entire upper surface of the substrate of the plurality of semiconductor devices.
상기 연결 부재는 상기 복수의 반도체 디바이스들의 복수의 외부 배선 패턴 사이를 상기 복수의 연결 패턴을 통해 각각 전기적으로 연결할 수 있다.The connection member may electrically connect a plurality of external wiring patterns of the plurality of semiconductor devices through the plurality of connection patterns.
상기 복수의 반도체 디바이스들은 상기 기판에 접속된 수동 소자를 더 포함하며, 상기 수동 소자는 상기 몰딩부에 의해서 감싸여질 수 있다.The plurality of semiconductor devices may further include a passive element connected to the substrate, and the passive element may be surrounded by the molding portion.
상기 복수의 반도체 디바이스들은 측방향으로 서로 이격되도록 일렬로 배치될 수 있다.The plurality of semiconductor devices may be arranged in a line so as to be laterally spaced from each other.
상기 복수의 반도체 디바이스들은 서로 수직한 두 개의 측방향으로 서로 이격되도록 배치되어, 매트릭스 형태로 배치될 수 있다.The plurality of semiconductor devices may be arranged in a matrix in such a manner that they are spaced apart from each other in two lateral directions perpendicular to each other.
본 발명에 의한 반도체 모듈은 복수의 반도체 디바이스들의 전기적 연결을 위해 별도의 마더 보드를 대신하여, 연결 부재를 통해 연결할 수 있으므로 전체적인 구성을 간소화 및 소형화할 수 있게 된다.The semiconductor module according to the present invention can be connected to a plurality of semiconductor devices through a connection member instead of a separate mother board for electrical connection, thereby making it possible to simplify and miniaturize the overall structure.
또한 본 발명에 의한 반도체 모듈은 반도체 모듈을 하나의 패키지로 구성하는 것이 아니라, 각 기능별 반도체 디바이스를 개별적으로 몰딩부를 통해 패키지하고, 몰딩부를 덮도록 개별적으로 전자파 쉴드막을 형성할 수 있으므로, 각 반도체 디바이스 사이의 전자기적 간섭현상을 최소화할 수 있게 된다.In addition, the semiconductor module according to the present invention can package the semiconductor devices of the respective functions individually through the molding part and form the electromagnetic wave shielding films individually so as to cover the molding parts, instead of constituting the semiconductor modules as one package. It is possible to minimize the electromagnetic interference phenomenon.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 모듈을 도시한 단면도이다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 모듈의 사시도, 분해사시도 및 일부단면도이다.
도 3a 내지 도 3b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 모듈의 사시도 및 분해사시도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a semiconductor module according to an embodiment of the present invention.
2A to 2C are a perspective view, an exploded perspective view, and a partial cross-sectional view of a semiconductor module according to another embodiment of the present invention.
3A and 3B are a perspective view and an exploded perspective view of a semiconductor module according to another embodiment of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시예는 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments of the present invention are described in order to more fully explain the present invention to those skilled in the art, and the following embodiments may be modified into various other forms, The present invention is not limited to the embodiment. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be more faithful and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art.
또한, 이하의 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이며, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 용어 "및/또는"은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다. 또한, 본 명세서에서 "연결된다"라는 의미는 A 부재와 B 부재가 직접 연결되는 경우뿐만 아니라, A 부재와 B 부재의 사이에 C 부재가 개재되어 A 부재와 B 부재가 간접 연결되는 경우도 의미한다.In the following drawings, thickness and size of each layer are exaggerated for convenience and clarity of description, and the same reference numerals denote the same elements in the drawings. As used herein, the term "and / or" includes any and all combinations of one or more of the listed items. In the present specification, the term " connected "means not only the case where the A member and the B member are directly connected but also the case where the C member is interposed between the A member and the B member and the A member and the B member are indirectly connected do.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및 /또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. As used herein, the singular forms "a," "an," and "the" include singular forms unless the context clearly dictates otherwise. Also, " comprise "and / or" comprising "when used herein should be interpreted as specifying the presence of stated shapes, numbers, steps, operations, elements, elements, and / And does not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, operations, elements, elements, and / or groups.
본 명세서에서 제1, 제2 등의 용어가 다양한 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들을 설명하기 위하여 사용되지만, 이들 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들은 이들 용어에 의해 한정되어서는 안 됨은 자명하다. 이들 용어는 하나의 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 다른 영역, 층 또는 부분과 구별하기 위하여만 사용된다. 따라서 이하 상술할 제1부재, 부품, 영역, 층 또는 부분은 본 발명의 가르침으로부터 벗어나지 않고서도 제2부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 지칭할 수 있다.Although the terms first, second, etc. are used herein to describe various elements, components, regions, layers and / or portions, these members, components, regions, layers and / It is obvious that no. These terms are only used to distinguish one member, component, region, layer or section from another region, layer or section. Thus, a first member, component, region, layer or section described below may refer to a second member, component, region, layer or section without departing from the teachings of the present invention.
"하부(beneath)", "아래(below)", "낮은(lower)", "상부(above)", "위(upper)"와 같은 공간에 관련된 용어가 도면에 도시된 한 요소 또는 특징과 다른 요소 또는 특징의 용이한 이해를 위해 이용된다. 이러한 공간에 관련된 용어는 반도체 디바이스의 다양한 공정 상태 또는 사용 상태에 따라 본 발명의 용이한 이해를 위한 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 예를 들어, 도면의 반도체 디바이스가 뒤집어지면, "하부" 또는 "아래"로 설명된 요소는 "상부" 또는 "위에"로 된다. 따라서 "아래"는 "상부" 또는 "아래"를 포괄한다.It is to be understood that the terms related to space such as "beneath," "below," "lower," "above, But is used for an easy understanding of other elements or features. The term related to such a space is for easy understanding of the present invention depending on various process states or usage states of semiconductor devices, and is not intended to limit the present invention. For example, if the semiconductor device in the figures is inverted, the elements described as "lower" or "lower" will be "upper" or "above." "Lower" therefore covers "upper" or "lower".
도 1을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 모듈을 도시한 단면도가 도시되어 있다. 도 1에 도시된 바와 같이 반도체 모듈(10)은 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b)과, 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b) 사이를 전기적으로 연결하는 연결 부재(200)를 포함한다.Referring to FIG. 1, a cross-sectional view illustrating a semiconductor module according to an embodiment of the present invention is shown. As shown in FIG. 1, the
상기 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b)은 각각 기판(110)과, 상기 기판(110)과 전기적으로 접속된 반도체 다이(120)와 상기 기판(110)과 전기적으로 접속된 수동소자(130)와, 상기 반도체 다이(120)와 수동소자(130)를 덮는 몰딩부(140) 및, 상기 몰딩부(140)를 덮도록 형성된 전자파 쉴드막(150)으로 이루어질 수 있다. 이와 같은 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b)는 각각 기판(110), 반도체 다이(120)와, 수동소자(130), 몰딩부(140) 및 전자파 쉴드막(150)을 포함하는 것은 동일할 수 있다. 다만 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b)은 기능 및 특성에 따라, 각각에 구비된 반도체 다이(120)의 종류 및 개수와, 수동소자(130)의 종류 및 개수가 상이할 수 있으며, 반도체 다이(120)와 수동소자(130) 및 기판(110) 사이의 전기적 연결 구조를 변경 가능 할 수 있다. 따라서 도 1에서는 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b)의 구조를 동일하게 도시하였으나, 각각의 반도체 디바이스(100a, 100b) 내에 포함된 반도체 다이(120)와, 수동소자(130) 및 기판(110)의 연결 관계와, 반도체 다이(120)와 수동소자(130)의 개수는 각각의 반도체 디바이스들(100a, 100b)의 기능 및 특성에 따라 변경 가능하다. 상기 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b)은 각각 로직 디바이스, RF(Radio Frequence) 디바이스, 메모리 디바이스, 메모리 디바이스(PMIC) 및 이와 같은 소자일 수 있으나, 본 발명에서 이를 한정하는 것은 아니다. Each of the plurality of
이하에서는 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b)에서, 일예로 하나의 반도체 디바이스(100a)의 구조를 설명하고자 한다. Hereinafter, the structure of one
상기 기판(110)은 판 형상으로 상면(110a)과 상면(110a)의 반대면인 하면(110b)을 갖는다. 상기 기판(110)은 평평한 절연체(111)를 중심으로, 그 내부 및/또는 표면에 형성된 다수의 배선패턴(112)을 포함한다. 이러한 기판(110)은 반도체 다이(120) 및 수동소자(130)를 안정적으로 지지하는 역할을 하는 동시에, 반도체 다이(120) 및 수동소자(130)와 외부 장치 사이의 전기적 신호 경로를 제공한다. The
상기 기판(110)은 경성인쇄기판, 연성인쇄기판, 세라믹기판, 인터포저 및 그 등가물 중에서 선택된 어느 하나일 수 있다. 경성인쇄기판은 주로 페놀 수지 또는 에폭시 수지를 기본 재료로 하여, 그 표면 및/또는 내측에 다수의 배선 패턴이 형성된 형태를 할 수 있다. 연성인쇄기판은 폴리이미드 수지를 기본 재료로 하여, 그 표면 및/또는 내측에 다수의 배선 패턴이 형성된 형태를 할 수 있다. 세라믹기판은 주로 세라믹을 기본 재료로 하여, 그 표면 및/또는 내측에 다수의 배선 패턴이 형성된 형태를 할 수 있다. 인터포저는 실리콘 기반 인터포저이거나 또는 유전체 기반 인터포저일 수 있다. 이밖에도 본 발명에서는 다양한 종류의 기판(110)이 이용될 수 있으며, 본 발명에서 기판(110)의 종류가 한정되지 않는다.The
상기 반도체 다이(120)는 기판(110)의 배선 패턴(112)에 전기적으로 접속된다. 반도체 다이(120)는, 예를 들면, 도전성 범프(121)를 통하여 기판(110)의 배선 패턴(112)에 전기적으로 접속되거나, 도전성 와이어(122)를 통하여 기판(110)의 배선 패턴(112)에 전기적으로 접속될 수 있다. 이와 같은 반도체 다이(120)는 기판(110)의 상면(110a) 또는 하면(110b)에 구비된 배선 패턴(112)과 접촉 및 접속될 수 있다. 물론, 반도체 다이(120)는 다수개가 수평 방향 및/또는 수직 방향으로 다수개 구비될 수 있으며, 반도체 디바이스(100a)의 기능에 따라 다양하게 변경 가능하고 본 발명에서 이를 한정하는 것은 아니다. The semiconductor die 120 is electrically connected to the
더욱이, 각각의 반도체 다이(120)는 각각 반도체 웨이퍼로부터 분리된 집적 회로 칩을 포함할 수 있다. 또한, 각각의 반도체 다이(120)는, 예를 들면, 중앙처리장치(CPUs), 디지털 신호 프로세서(DSPs), 네트워크프로세서, 파워 매니지먼트 유닛, 오디오 프로세서, RF 회로, 와이어리스 베이스밴드 시스템 온 칩(SoC) 프로세서, 센서 및 주문형 집적 회로들과 같은 전기적 회로를 포함할 수 있다. 여기서, 반도체 다이(120)의 도전성 범프(121)는 솔더볼과 같은 도전성 볼, 카파 필라와 같은 도전성 필라, 및/또는 카파 필라 위에 솔더 캡이 형성된 도전성 포스트를 포함하는 개념이다.Moreover, each semiconductor die 120 may comprise an integrated circuit chip separate from the semiconductor wafer. Each semiconductor die 120 may also include a central processing unit (CPUs), a digital signal processor (DSPs), a network processor, a power management unit, an audio processor, an RF circuit, a wireless baseband system- ) Processors, sensors, and electrical circuits such as application specific integrated circuits. Here, the
상기 수동소자(130)는 각 전극(131)이 기판(110)의 배선 패턴(112)과 전기적으로 접속된다. 수동소자(130)는 기판(110)의 상면(110a) 및/또는 하면(110b)으로 노출된 다수의 배선 패턴(112)과 접속되거나, 기판(110) 내측에 구비된 배선 패턴(112)과 접속되어 기판(110) 내부에 매립될 수 도 있다. 상기 수동소자(130)는 각각 저항, 커패시터, 인덕터 및 커넥터와 같은 소자일 수 있으나, 본 발명에서 이를 한정하는 것은 아니다. 이와 같은 수동소자(130)는 기판(110)의 상면(110a), 하면(110b) 및 내부에 다수개 구비될 수 있으며, 반도체 디바이스(100a)의 기능에 따라 다양하게 변경 가능하고 본 발명에서 이를 한정하는 것은 아니다.Each of the
상기 몰딩부(140)는 기판(110)의 상면(110a) 및/또는 하면(110b)에 안착된 반도체 다이(120)와, 수동소자(130)를 감쌈으로써, 외부의 기계적/전기적/화학적 오염이나 충격으로부터 반도체 다이(120)와 수동소자(130)를 보호한다. 이때, 기판(110)의 배선 패턴(112) 중 적어도 하나의 배선 패턴(112a)은 몰딩부(140)의 외부로 노출될 수 있다. 이와 같이 몰딩부(140)의 외부로 노출된 외부 배선 패턴(112a)은 연결 부재(200)와 접촉 및 전기적으로 접속될 수 있다. 도 1에서 외부 배선 패턴(112a)은 기판(110)의 상면(110a)에 구비된 구성을 도시하였으나, 하면(110b)에 구비된 배선 패턴(112)이 몰딩부(140)의 외부로 노출될 수도 있으며 본 발명에서 이를 한정하는 것은 아니다. The
상기 몰딩부(140)는 기판(110)의 상면(110a)에 안착된 반도체 다이(120)와, 수동소자(130)를 감싸는 몰딩부와, 기판(110)의 하면(110b)에 안착된 반도체 다이(120)와, 수동소자(130)를 감싸는 몰딩부를 포함할 수 있다. 이때, 기판(110)의 상면(110a)을 덮도록 형성된 몰딩부(140)는 상기 외부 배선 패턴(112a)이 구비된 기판(110)의 상면(110a)으로부터 상부 방향으로 돌출될 수 있다. The
이러한 몰딩부(140)는, 예를 들면, 에폭시 몰딩 컴파운드, 에폭시 레진 몰딩 컴파운드와 같은 인캡슐란트에 의해 형성될 수 있으며, 대표적으로 트랜스퍼 몰딩, 컴프레션 몰딩 또는 인젝션 몰딩에 의해 형성될 수 있다. 그러나 본 발명에서 이러한 몰딩부(140)의 재료 및 형성 방법을 한정하는 것은 아니다.The
상기 전자파 쉴드막(150)은 기판(110)의 상면(110a)에 형성된 몰딩부(140)를 덮거나 감싸도록 형성될 수 있다. 이러한 전자파 쉴드막(150)은 반도체 디바이스(100a)와 인접한 다른 반도체 디바이스(100b)와 사이에 발생될 수 있는 전자기적 간섭현상을 최소화하기 위해서 구비된다. 또한 전자파 쉴드막(150)은 외부 배선 패턴(112a)과는 이격되어, 전기적으로 분리될 수 있다. 이러한 전자파 쉴드막(150)과 외부 배선 패턴(112a)은 기판(110)의 동일면에 위치할 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 외부 배선 패턴(112a)이 기판(110)의 상면(110a)에 구비될 경우, 전자파 쉴드막(150)이 기판(110)의 상면(110a)에 형성된 몰딩부(140)를 덮도록 형성된다. 이러한 전자파 쉴드막(150)은 각각의 반도체 디바이스(100a, 100b)의 외부 배선 패턴(112a) 사이를 연결하는 연결 부재(200)에서 발생될 수 있는 전자파의 유입도 방지할 수 있다. 또한 추가적으로 전자파 쉴드막(150)은 기판(110)의 하면(110b)에 형성된 몰딩부(140)도 덮거나 감싸도록 형성될 수도 있다. 상기 전자파 쉴드막(150)은 기판(110)에 형성된 배선 패턴(112) 중 그라운드용 배선 패턴에 전기적으로 접속될 수도 있다. 상기 전자기파 쉴드층(150)은 은(Ag), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 팔라듐(Pd), 크롬(Cr) 및 그 등가물 중에서 선택된 어느 하나로 형성될 수 있으나, 본 발명에서 그 재질을 한정하는 것은 아니다. The electromagnetic
상기 연결 부재(200)는 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b)의 외부 배선 패턴(112a) 사이를 전기적으로 연결한다. 즉, 연결 부재(200)는 반도체 디바이스(100a)의 외부 배선 패턴(112a)과, 인접한 다른 반도체 디바이스(100b)의 외부 배선 패턴(112a) 사이를 전기적으로 연결한다. 상기 연결 부재(200)는 도전성 와이어 또는 도전성 클립으로 이루어질 수 있다. 상기 연결 부재(200)는 금(Au), 알루미늄(Al) 및 구리(Cu)와 같은 도전성 금속 물질 중 어느 하나 또는 그 합금을 이용하게 되는데, 본 발명에서 이를 한정하는 것은 아니다. 또한 반도체 디바이스(100a)의 외부 배선 패턴(112)이 다수개이고, 인접한 다른 반도체 디바이스(100b)의 외부 배선 패턴(112a)도 다수개일 경우, 연결 부재(200)도 다수개 구비될 수 있다. 이때 다수의 연결 부재(200)는 반도체 디바이스(100a)의 다수의 외부 배선 패턴(112)과 인접한 다른 반도체 디바이스(100b)의 다수의 외부 배선 패턴(112a) 사이를 각각 전기적으로 연결할 수 있다. The
또한 연결 부재(200)가 반도체 디바이스(100a)의 기판(110)의 상면(110a)에 구비된 외부 배선 패턴(112a)과, 인접한 다른 반도체 디바이스(100b)의 기판(110)의 상면(110a)에 구비된 외부 배선 패턴(112)사이를 전기적으로 연결한 경우, 반도체 디바이스(100a)의 하면과, 인접한 다른 반도체 디바이스(100b)의 하면 사이는 고정 수단(201)에 의해서 추가적으로 고정될 수 있다. 이와 같은 고정 수단(201)은 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b)에서 기판(110)의 하면(110b)을 덮도록 형성된 몰딩부(140)에 접착될 수 있으나, 본 발명에서 이를 한정하는 것은 아니다. 예를 들어 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b)에서 기판(110)의 하면(110b)에 몰딩부(140)가 형성되지 않을 경우, 고정 수단(201)은 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b)의 기판(110)의 하면(110b)사이를 접착 및 고정할 수 있다.The connecting
이와 같은 반도체 모듈(10)는 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b)의 전기적 연결을 위해 별도의 마더 보드를 대신하여, 도전성 와이어 또는 도전성 클립인 연결 부재(200)를 통해 연결할 수 있으므로 전체적인 반도체 모듈(10)의 구성을 간소화 및 소형화 할 수 있다. 또한 반도체 모듈(10)는 하나의 패키지로 구성하는 것이 아니라, 각 기능별 반도체 디바이스(100a, 100b)를 개별적으로 몰딩부(140)를 통해 패키지하고, 몰딩부(140)를 덮도록 개별적으로 전자파 쉴드막(150)을 형성할 수 있으므로, 각 반도체 디바이스(100a, 100b) 사이의 전자기적 간섭현상을 최소화할 수 있다. Since the
도 2a를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 모듈의 사시도가 도시되어 있고, 도 2b를 참조하면 도 2a의 반도체 모듈의 분해 사시도가 도시되어 있으며, 도 2c를 참조하면 도 2a의 2c-2c선을 절단한 부분단면도가 도시되어 있다. Referring to FIG. 2A, a perspective view of a semiconductor module according to another embodiment of the present invention is shown. FIG. 2B is an exploded perspective view of the semiconductor module of FIG. 2A. Referring to FIG. 2C, Sectional view of a portion cut along line II-c.
도 2a 내지 도 2c에 도시된 바와 같이 반도체 모듈(20)은 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c)과 복수의 연결 부재(300a, 300b)을 포함한다. 2A to 2C, the
상기 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c)은 도 1에 도시된 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b)과 같이 각각 기판(110)과, 상기 기판(110)과 전기적으로 접속된 반도체 다이(120)와, 상기 기판(110)과 전기적으로 접속된 수동소자(130)와, 상기 반도체 다이(120)와 수동소자(130)를 덮는 몰딩부(140) 및, 상기 몰딩부(140)를 덮도록 형성된 전자파 쉴드막(150)으로 이루어질 수 있다. 즉, 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c)는 각각 기판(110), 반도체 다이(120)와, 수동소자(130), 몰딩부(140) 및 전자파 쉴드막(150)을 포함하는 것은 도 1에 도시된 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b)과 동일할 수 있다. 다만 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c)은 기능 및 특성에 따라, 각각에 구비된 반도체 다이(120)의 종류 및 개수와, 수동소자(130)의 종류 및 개수가 상이할 수 있으며, 반도체 다이(120)와 수동소자(130) 및 기판(110) 사이의 전기적 연결 구조를 변경 가능 할 수 있다. The plurality of
이와 같은 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c)은 일 측방향으로 서로 이격 되도록 일렬로 배치된 후, 복수의 연결 부재(300a, 300b)에 의해서 인접한 반도체 디바이스들 사이가 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c)은 각각 외부 배선 패턴(112a)이 기판(110)의 상면(110a)의 외주연에 서로 이격되도록 다수개 구비될 수 있다. 또한 상기 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c)는 도 2a 내지 도 2b에서 3개로 도시하였으나, 그 개수를 한정하는 것은 아니다. 또한 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c)은 일측 방향으로 서로 이격되도록 배치된 구성을 도시하였으나, 서로 수직한 두 개의 측방향으로 서로 이격되어 매트릭스(matrix) 형태로 배치될 수도 있다. The plurality of
이러한 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c)의 각각의 다수의 외부 배선 패턴(112a)은 인접한 다른 반도체 디바이스의 외부 배선 패턴(112a)과 연결 부재(300a, 300b)를 통해 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 제1반도체 디바이스(100a)의 외부 배선 패턴(112a)은 제1연결부재(300a)를 통해, 인접한 반도체 디바이스인 제2반도체 디바이스(100b)의 외부 배선 패턴(112a)과 전기적으로 접속될 수 있다. 또한 제2반도체 디바이스(100b)의 외부 배선 패턴(112a)은 제1반도체 디바이스(100a)의 외부 배선 패턴(112a)과 제1연결부재(300a)를 통해 전기적으로 접속되고, 제3반도체 디바이스(100c)의 외부 배선 패턴(112a)과 제2연결부재(300b)를 통해 전기적으로 접속될 수 있다. Each of the plurality of
이때 제1연결 부재(300a)는 제1반도체 디바이스(100a)의 기판(110)의 상면(110a)과 제2반도체 디바이스(100b)의 기판(110)의 상면(100a)사이에 접착될 수 있다. 또한 제2연결 부재(300b)는 제2반도체 디바이스(100b)의 기판(110)의 상면(110a)과 제3반도체 디바이스(100c)의 기판(110)의 상면(100a)사이에 접착될 수 있다. 즉, 복수의 연결 부재들(300a, 300b)은 각각 인접한 두개의 반도체 디바이스 사이에 접착되어, 인접한 두 개의 반도체 디바이스 사이를 전기적으로 연결할 수 있다. The
상기 복수의 연결 부재(300a, 300b)는, 인접한 반도체 디바이스들의 외부 배선 패턴(112a)사이를 전기적으로 각각 연결하기 위한 복수의 연결 패턴(301)을 구비하는 바 형태(bar type)일 수 있다. 또한 복수의 연결 부재(300a, 300b)는 각각 복수의 연결 패턴(301)이 하면으로 노출될 수 있으며, 그 이외의 면은 절연 부재(302)에 의해서 감싸진 형태를 가질 수 있다. The plurality of
상기 복수의 연결 부재(300a, 300b)은 각각 복수의 연결 패턴(301)을 구비한 테이프 회로(tape circuit) 또는 연성 회로 기판일 수 있다. 이러한 복수의 연결 부재들(300a, 300b)은 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c)사이에 접착되면서, 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c)의 외부 배선 패턴(112a) 사이를 전기적으로 연결할 수 있다. 상기 복수의 연결 부재들(300a, 300b)의 각각에 포함된 복수의 연결 패턴(301)은 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c)의 외부 배선 패턴(112a)이 형성된 위치와, 동일한 위치에 구비될 수 있다. 상기 복수의 연결 부재(300a, 300b)는 하면으로 노출된 복수의 연결 패턴(301)이 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c)의 외부 배선 패턴(112a)과 접촉 및 전기적으로 접속될 수 있다. The plurality of
상기 복수의 연결 부재들(300a, 300b) 각각에 포함된 연결 패턴(301)은 금(Au), 알루미늄(Al) 및 구리(Cu)와 같은 도전성 금속 물질 중 어느 하나 또는 그 합금으로 이루어질 수 있으나, 본 발명에서 이를 한정하는 것은 아니다.The
이와 같은 반도체 모듈(20)는 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c)의 전기적 연결을 위해 별도의 마더 보드를 대신하여, 바 형태의 연결 부재(300a, 300b)를 통해 연결할 수 있으므로 전체적인 반도체 모듈(20)의 구성을 간소화 및 소형화 할 수 있다. 또한 반도체 모듈(20)는 하나의 패키지로 구성하는 것이 아니라, 각 기능별 반도체 디바이스(100a, 100b, 100c)를 개별적으로 몰딩부(140)를 통해 패키지하고, 몰딩부(140)를 덮도록 개별적으로 전자파 쉴드막(150)을 형성할 수 있으므로, 각 반도체 디바이스(100a, 100b, 100c) 사이의 전자기적 간섭현상을 최소화할 수 있다. Since the
도 3a를 참조하면 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 모듈의 사시도가 도시되어 있으며, 도 3b를 참조하면 도 3a에 도시된 반도체 모듈(30)의 분해사시도가 도시되어 있다. 3A is a perspective view of a semiconductor module according to another embodiment of the present invention, and FIG. 3B is an exploded perspective view of the
도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이 반도체 모듈(30)은 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c, 100d, 100e, 100f)와 연결 부재(400)를 포함한다. As shown in FIGS. 3A and 3B, the
상기 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c, 100d, 100e, 100f)는 도 1에 도시된 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b)과 같이 각각 기판(110)과, 상기 기판(110)과 전기적으로 접속된 반도체 다이(120)와, 상기 기판(110)과 전기적으로 접속된 수동소자(130)와, 상기 반도체 다이(120)와 수동소자(130)를 덮는 몰딩부(140) 및, 상기 몰딩부(140)를 덮도록 형성된 전자파 쉴드막(150)으로 이루어질 수 있다. 즉, 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c, 100d, 100e, 100f)는 각각 기판(110), 반도체 다이(120)와, 수동소자(130), 몰딩부(140) 및 전자파 쉴드막(150)을 포함하는 것은 도 1에 도시된 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b)와 동일할 수 있다. 다만 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c, 100d, 100e, 100f)는 기능 및 특성에 따라, 각각에 구비된 반도체 다이(120)의 종류 및 개수와, 수동소자(130)의 종류 및 개수가 상이할 수 있으며, 반도체 다이(120)와 수동소자(130) 및 기판(110) 사이의 전기적 연결 구조를 변경 가능 할 수 있다. The plurality of
이와 같은 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c, 100d, 100e, 100f)는 서로 수직한 두 개의 측방향으로 서로 이격되도록 매트릭스(matrix) 형태로 배치된 후, 연결 부재(400)에 의해서 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c, 100d, 100e, 100f)은 각각 외부 배선 패턴(112a)이 기판(110)의 상면(110a)의 외주연에 서로 이격되도록 다수개 구비될 수 있다. 상기 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c, 100d, 100e, 100f)는 도 3a 및 도 3b에서 6개로 도시하였으나, 그 개수를 한정하는 것은 아니다. The plurality of
상기 연결 부재(400)은 도 2c에 도시된 복수의 연결 부재(300a, 300b)와 같이 복수의 연결 패턴을 구비한 테이프 회로(tape circuit) 또는 연성 회로 기판일 수 있다. 상기 연결 부재(400)는 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c, 100d, 100e, 100f)의 외부 배선 패턴(112a)을 모두 덮도록 일체형으로 이루어질 수 있다. 여기서, 상기 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c, 100d, 100e, 100f) 각각은 기판(110)의 상면(110a)에 접속된 반도체 다이(120) 및 수동소자(130)를 덮도록 몰딩부(140)가 구비되며, 상기 몰딩부(140)는 기판(110)의 상면(110a)으로부터 상부 방향으로 돌출 될 수 있다. 또한 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c, 100d, 100e, 100f) 각각의 전자파 쉴드막(150)은 기판(110)의 상면(110a)으로부터 상부로 돌출된 몰딩부(140)를 덮도록 구비된다.The
또한 연결 부재(400)는 각각의 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c, 100d, 100e, 100f)의 몰딩부(140)를 덮도록 형성된 전자파 쉴드막(150)과 대응되는 크기의 다수의 홀(401a, 401b, 401c, 401d, 401e, 401f)을 구비할 수 있다. 즉, 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c, 100d, 100e, 100f)의 전자파 쉴드막(150)은 연결 부재(400)의 다수의 홀(401a, 401b, 401c, 401d, 401e, 401f)을 각각 관통하여 상부로 돌출될 수 있다. 상기 연결 부재(400)는 도 2c에 도시된 연결부재(300b)와 같이 복수의 연결 패턴을 구비할 수 있으며, 이는 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c, 100d, 100e, 100f)사이를 전기적으로 연결할 수 있다. 상기 연결 부재(400)는 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c, 100d, 100e, 100f)의 기판(110)의 상면(110a)에 모두 덮도록 접착 또는 고정될 수 있으며, 복수의 연결 패턴을 통해 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c, 100d, 100e, 100f)의 외부 배선 패턴(112a)사이들을 전기적으로 연결한다.The connecting
이와 같은 반도체 모듈(30)는 복수의 반도체 디바이스들(100a, 100b, 100c, 100d, 100e, 100f)의 전기적 연결을 위해 별도의 마더 보드를 대신하여, 다수의 홀이 구비된 연결 부재(400)를 통해 연결할 수 있으므로 전체적인 반도체 모듈(30)의 구성을 경량화 및 소형화 할 수 있다. 또한 반도체 모듈(30)는 하나의 패키지로 구성하는 것이 아니라, 각 기능별 반도체 디바이스(100a, 100b, 100c, 100d, 100e, 100f)를 개별적으로 몰딩부(140)를 통해 패키지하고, 몰딩부(140)를 덮도록 개별적으로 전자파 쉴드막(150)을 형성할 수 있으므로, 각 반도체 디바이스(100a, 100b, 100c, 100d, 100e, 100f) 사이의 전자기적 간섭현상을 최소화할 수 있다. The
이상에서 설명한 것은 본 발명에 의한 반도체 모듈을 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.It is to be understood that the present invention is not limited to the above-described embodiment, but may be modified in various ways within the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims It will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention.
10, 20, 30; 반도체 모듈
100a, 100b, 100c, 100d, 100e, 100f; 반도체 디바이스
200, 300a, 300b, 400; 연결 부재10, 20, 30; Semiconductor module
100a, 100b, 100c, 100d, 100e, 100f; Semiconductor device
200, 300a, 300b, 400; Connecting member
Claims (15)
상기 복수의 반도체 디바이스들 중, 하나의 반도체 디바이스의 상기 외부 배선 패턴과, 상기 하나의 반도체 디바이스와 인접한 다른 반도체 디바이스의 외부 배선 패턴 사이를 전기적으로 연결하는 연결 부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 모듈.1. A semiconductor device, comprising: a substrate having a plurality of wiring patterns; a semiconductor die electrically connected to the substrate; a molding part molding the semiconductor die; and an electromagnetic wave shielding film formed to cover the molding part, A plurality of semiconductor devices in which at least one external wiring pattern is exposed outside the molding portion; And
And a connecting member for electrically connecting the external wiring pattern of one semiconductor device among the plurality of semiconductor devices and an external wiring pattern of another semiconductor device adjacent to the one semiconductor device. module.
상기 복수의 반도체 디바이스들은 상기 외부 배선 패턴이 상기 기판의 상면에 구비된 것을 특징으로 하는 반도체 모듈.The method according to claim 1,
Wherein the plurality of semiconductor devices are provided on the upper surface of the substrate with the external wiring pattern.
상기 연결 부재는 도전성 와이어 또는 도전성 클립인 것을 특징으로 하는 반도체 모듈.The method of claim 2,
Wherein the connecting member is a conductive wire or a conductive clip.
상기 복수의 반도체 디바이스들은 각각 상기 반도체 다이가 상기 기판의 상면에 접속되며, 상기 몰딩부가 상기 반도체 다이를 덮도록 형성되어 상기 기판으로부터 상부 방향으로 돌출되고, 상기 전자파 쉴드막이 상부로 돌출된 상기 몰딩부를 덮도록 형성되며,
상기 연결 부재는 상기 복수의 반도체 디바이스들의 상기 전자파 쉴드막과 이격되도록 상기 기판의 상면으로 노출된 상기 외부 배선 패턴사이를 각각 전기적으로 연결하도록 복수개 구비된 것을 특징으로 하는 반도체 모듈.The method of claim 3,
Wherein the plurality of semiconductor devices each have the semiconductor die connected to the upper surface of the substrate and the molding part is formed so as to cover the semiconductor die and protrudes upward from the substrate and the molding part having the electromagnetic shielding film protruded upward Respectively,
Wherein the connection member is electrically connected to the external wiring pattern exposed on the upper surface of the substrate so as to be spaced apart from the electromagnetic shielding film of the plurality of semiconductor devices.
상기 복수의 반도체 디바이스들에서 인접한 두 개의 반도체 디바이스들의 하면에 접착된 고정 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 모듈.The method of claim 4,
Further comprising fixing means bonded to a bottom surface of two adjacent semiconductor devices in the plurality of semiconductor devices.
상기 연결 부재는 복수의 연결 패턴을 구비한 테이프 회로 또는 연성 회로 기판인 것을 특징으로 하는 반도체 모듈.The method according to claim 1,
Wherein the connecting member is a tape circuit or a flexible circuit board having a plurality of connection patterns.
상기 연결 부재는 바 형태로, 상기 복수의 반도체 디바이스들 중에서 측방향으로 이격된 인접한 두 개의 반도체 디바이스들의 기판에 접착되어, 상기 인접한 두 개의 반도체 디바이스들에 각각 구비된 다수의 외부 배선 패턴 사이를 상기 복수의 연결 패턴을 통해 각각 전기적으로 연결하는 것을 특징으로 하는 반도체 모듈.The method of claim 6,
Wherein the connecting member is adhered to a substrate of two adjoining semiconductor devices spaced laterally out of the plurality of semiconductor devices in a bar shape so as to form a plurality of external wiring patterns And electrically connected to each other through a plurality of connection patterns.
상기 연결 부재는 복수개 구비되어, 상기 복수의 반도체 디바이스들 중에서 인접한 두 개의 반도체 디바이스들을 각각 전기적으로 연결하는 것을 특징으로 하는 반도체 모듈.The method of claim 7,
Wherein a plurality of connecting members are provided to electrically connect two adjacent semiconductor devices of the plurality of semiconductor devices, respectively.
상기 복수의 반도체 디바이스들의 각각의 상기 몰딩부는 상기 반도체 다이가 상기 기판의 상면에 접속되며, 상기 몰딩부가 상기 반도체 다이를 덮도록 형성되어 상기 기판으로부터 상부 방향으로 돌출되고, 상기 전자파 쉴드막이 상부로 돌출된 상기 몰딩부를 덮도록 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 모듈.The method of claim 6,
Wherein the molding portion of each of the plurality of semiconductor devices is formed such that the semiconductor die is connected to an upper surface of the substrate, the molding portion is formed so as to cover the semiconductor die and protrudes upward from the substrate, Wherein the molding part is formed to cover the molding part.
상기 연결 부재는 복수의 홀을 구비하고, 상기 복수의 반도체 디바이스들의 상부로 돌출된 상기 몰딩부와 상기 전자파 쉴드막이 상기 복수의 홀을 통해 상기 연결 부재를 관통하여 상부로 돌출된 것을 특징으로 하는 반도체 모듈.The method of claim 9,
Wherein the connection member has a plurality of holes and the molding part protruding to the upper portion of the plurality of semiconductor devices and the electromagnetic shielding film protrude upward through the connecting member through the plurality of holes. module.
상기 연결 부재는 상기 복수의 반도체 디바이스들의 상기 기판의 상면을 모두 덮는 일체형인 것을 특징으로 하는 반도체 모듈.The method of claim 10,
Wherein the connecting member is integrally formed to cover all the upper surfaces of the substrate of the plurality of semiconductor devices.
상기 연결 부재는 상기 복수의 반도체 디바이스들의 복수의 외부 배선 패턴 사이를 상기 복수의 연결 패턴을 통해 각각 전기적으로 연결하는 것을 특징으로 하는 반도체 모듈.The method of claim 10,
Wherein the connecting member electrically connects a plurality of external wiring patterns of the plurality of semiconductor devices with each other through the plurality of connection patterns.
상기 복수의 반도체 디바이스들은 상기 기판에 접속된 수동 소자를 더 포함하며, 상기 수동 소자는 상기 몰딩부에 의해서 감싸여진 것을 특징으로 하는 반도체 모듈.The method according to claim 1,
Wherein the plurality of semiconductor devices further comprises a passive element connected to the substrate, the passive element being surrounded by the molding part.
상기 복수의 반도체 디바이스들은 측방향으로 서로 이격되도록 일렬로 배치된 것을 특징으로 하는 반도체 모듈.The method according to claim 1,
Wherein the plurality of semiconductor devices are arranged in a line so as to be laterally spaced from each other.
상기 복수의 반도체 디바이스들은 서로 수직한 두 개의 측방향으로 서로 이격되도록 배치되어, 매트릭스 형태로 배치된 것을 특징으로 하는 반도체 모듈.The method according to claim 1,
Wherein the plurality of semiconductor devices are arranged to be spaced from each other in two lateral directions perpendicular to each other and arranged in a matrix form.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020160000906A KR101698292B1 (en) | 2016-01-05 | 2016-01-05 | Semiconductor module |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020160000906A KR101698292B1 (en) | 2016-01-05 | 2016-01-05 | Semiconductor module |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR101698292B1 true KR101698292B1 (en) | 2017-01-19 |
Family
ID=57990794
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020160000906A KR101698292B1 (en) | 2016-01-05 | 2016-01-05 | Semiconductor module |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101698292B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180101131A (en) * | 2017-03-02 | 2018-09-12 | 앰코 테크놀로지 인코포레이티드 | Semiconductor package and fabricating method thereof |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100645755B1 (en) * | 2000-11-07 | 2006-11-13 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | Semiconductor package and method for manufacturing the same |
KR20090121011A (en) * | 2008-05-21 | 2009-11-25 | 삼성전자주식회사 | Stacked semiconductor package having film substrate and fabrication method thereof |
KR101573283B1 (en) * | 2014-02-05 | 2015-12-02 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | Semiconductor package having electromagnetic waves shielding means, and method for manufacturing the same |
-
2016
- 2016-01-05 KR KR1020160000906A patent/KR101698292B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100645755B1 (en) * | 2000-11-07 | 2006-11-13 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | Semiconductor package and method for manufacturing the same |
KR20090121011A (en) * | 2008-05-21 | 2009-11-25 | 삼성전자주식회사 | Stacked semiconductor package having film substrate and fabrication method thereof |
KR101573283B1 (en) * | 2014-02-05 | 2015-12-02 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | Semiconductor package having electromagnetic waves shielding means, and method for manufacturing the same |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180101131A (en) * | 2017-03-02 | 2018-09-12 | 앰코 테크놀로지 인코포레이티드 | Semiconductor package and fabricating method thereof |
KR102490537B1 (en) * | 2017-03-02 | 2023-01-19 | 앰코 테크놀로지 인코포레이티드 | Semiconductor package and fabricating method thereof |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10424556B2 (en) | Shielded electronic component package | |
US9076789B2 (en) | Semiconductor device having a high frequency external connection electrode positioned within a via hole | |
US6770955B1 (en) | Shielded antenna in a semiconductor package | |
KR100782774B1 (en) | System in package module | |
KR100703090B1 (en) | A Back Side Ground Type Flip Chip Semiconductor Package | |
US6534879B2 (en) | Semiconductor chip and semiconductor device having the chip | |
US8058714B2 (en) | Overmolded semiconductor package with an integrated antenna | |
KR101564070B1 (en) | Printed circuit board and semiconductor package using the same | |
US20130078915A1 (en) | Interposer Package Structure for Wireless Communication Element, Thermal Enhancement, and EMI Shielding | |
US8841759B2 (en) | Semiconductor package and manufacturing method thereof | |
KR20090060132A (en) | Integrated circuit package system for electromagnetic isolation | |
US11670607B2 (en) | Electronic package | |
US11165143B2 (en) | Antenna module and electronic system including the same | |
CN111244067B (en) | Semiconductor package, semiconductor package with compartment-in-package shielding and method of making the same | |
US20120273946A1 (en) | Semiconductor device | |
KR20090071443A (en) | Electronic apparatus and method of manufacturing the same, and wiring substrate and method of manufacturing the same | |
US9780047B1 (en) | Semiconductor package | |
CN108074826A (en) | Electronic package and manufacturing method thereof | |
CN113555348A (en) | Semiconductor device with a plurality of semiconductor chips | |
US9412703B1 (en) | Chip package structure having a shielded molding compound | |
CN107887698B (en) | Electronic package structure and method for fabricating the same | |
JP7001445B2 (en) | Semiconductor devices and their manufacturing methods | |
KR101698292B1 (en) | Semiconductor module | |
KR101286571B1 (en) | Manufacturing Method of Semiconductor Package and Semiconductor Package Using the Same | |
KR101787882B1 (en) | Semiconductor package and manufacturing method thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20200113 Year of fee payment: 4 |