KR101689361B1 - Power supplying device for triode electron gun in medical electron accelerator - Google Patents

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Abstract

본 발명은 의료용 전자가속기의 전자총 전원공급장치에 관한 것으로, 캐소드와 연결되며, 상기 캐소드로 교류 전압을 전달하는 제1 전압공급부; 필라멘트와 연결되며, 상기 필라멘트로 교류 전압을 전달하는 제2 전압 공급부; 그리드부(grid)부와 연결되며, 상기 필라멘트로 펄스 형태의 직류 전압을 전달하는 제3 전압 공급부; 및 상기 제1 전압공급부, 상기 제2 전압공급부 및 상기 제3 전압공급부와 연결되며, 상기 캐소드, 상기 필라멘트, 상기 그리드부로 전달되는 전압을 제어하는 제어부부를 포함한다.The present invention relates to an electron gun power supply device for a medical electron accelerator, which comprises a first voltage supply unit connected to a cathode and transmitting an AC voltage to the cathode; A second voltage supply unit connected to the filament and transmitting the AC voltage to the filament; A third voltage supply unit connected to the grid unit and transmitting a DC voltage in a pulse form to the filament; And a control unit connected to the first voltage supply unit, the second voltage supply unit, and the third voltage supply unit, and controlling a voltage to be transmitted to the cathode, the filament, and the grid unit.

Figure R1020150086121
Figure R1020150086121

Description

의료용 전자가속기의 삼극관 전자총 전원공급장치{Power supplying device for triode electron gun in medical electron accelerator} [0001] The present invention relates to a power supply device for a triode electron gun,

본 발명은 의료용 전자가속기에 포함된 전자총의 전원을 공급하는 전자총 전원공급장치에 관한 것이다. The present invention relates to an electron gun power supply apparatus for supplying power to an electron gun included in a medical electron accelerator.

소형 전자가속기에서 사용되는 전자총은 주로 DC type, 펄스(pulse) 파형을 주로 사용한다. 특히 가속관에서 사용되는 RF 발생용 고전압 모듈레이터의 duty 성능에 맞추어, 전자총 전원공급장치 성능을 최적화시킨다. 고전압에서 발생되는 전기장은 전자총의 캐소드(cathode)에서 방출되는 전자를 가속시켜, 다량의 전자 입자를 고출력-고주파 발생장치를 이용하여 고에너지로 가속시키게 된다. Electron guns used in small electron accelerators mainly use DC type and pulse waveforms. Especially, it optimizes the performance of the electron gun power supply according to the duty performance of the high voltage modulator for RF generation used in the acceleration tube. The electric field generated at a high voltage accelerates electrons emitted from the cathode of the electron gun and accelerates a large amount of electron particles to high energy by using a high output-high frequency generator.

전자총의 캐소드 특성상 인출되는 전자빔은 전자총의 제작오차, 캐소드의 표면개질, 고체표면 등 다양한 요인에 의해 성능이 결정된다. 전자빔 인출 안정도는 전자빔 전류, 빔 크기에 영향을 미치기 때문에, 가속관의 가속효율에 결정적인 영향을 미친다.   The performance of the electron beam extracted by the characteristics of the cathode of the electron gun depends on various factors such as the manufacturing error of the electron gun, the surface modification of the cathode, and the solid surface. The stability of electron beam extraction affects electron beam current and beam size, and thus has a decisive influence on the acceleration efficiency of the acceleration tube.

의료용 전자가속기의 전자총에 주로 이용되는 dispenser cathode는 다공성 텅스텐과 BaO, CaO, Al2O3를 합성하여 사용하기 때문에 소결, 제작에 따라 인출 전류밀도가 상이하다. 따라서 같은 제조 방법을 사용하더라도 초기 인출 전류가 매번 다르며, 사용 기간이 증가할수록 전류의 불확실성은 더욱 증가제작의 어려움으로 인출전류의 증가는 한계가 존재한다. The dispenser cathode, which is mainly used in the electron gun of medical electron accelerator, is composed of porous tungsten and BaO, CaO, and Al 2 O 3. Therefore, the drawn current density differs depending on sintering and fabrication. Therefore, even if the same manufacturing method is used, the initial draw current is different every time, and the uncertainty of the current is further increased as the use period is increased.

특히 의료용 전자가속기의 전자가속기에서는 전자총 구조의 협소성으로 고 전압 인가시 발생하는 breakdown을 예방하기 위해 낮은 전압만 인가할 수밖에 없다. 따라서, 전자총 실제 구동에 따라 발생하는 빔 전류의 손실을 최소한으로 줄여야만 한다.
Especially, in the electron accelerator of the medical electron accelerator, it is inevitable to apply only the low voltage in order to prevent the breakdown which occurs when the high voltage is applied due to the narrowness of the electron gun structure. Therefore, the loss of the beam current caused by the actual driving of the electron gun must be minimized.

한국특허공개공보 1020020085142 (2002.11.16 공개), ＣＤＴ전자총용 전원공급장치Korean Patent Laid-Open Publication No. 1020020085142 (published on November 16, 2002), a power supply for a CDT electron gun

본 발명은 의료용 전자가속기의 전차총에서 출력되는빔 전류의 손실을 최소화하여 인출되는 전자빔의 손실을 최소화 하는 데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to minimize the loss of an electron beam drawn out by minimizing loss of a beam current output from a tramp of a medical electron accelerator.

본 발명은 가속기용 전자총에서 전류 과다발생으로 인한 최종 에너지 감소를 최소화하여 의료용 X-ray 발생을 안정적으로 하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to stabilize generation of medical X-rays by minimizing a final energy reduction due to over current generation in an electron gun for an accelerator.

본 발명은 전자총의 과출력 전류에 의한 캐소드 수명 감소를 최소화 하는 데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to minimize a reduction in lifetime of a cathode due to an overcurrent of an electron gun.

본 발명은 의료용 전자총의 과출력 전류에 의한 가속관 멀티팩팅 현상을 막는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to prevent an acceleration tube multifacting phenomenon due to an overcurrent of a medical electron gun.

본 발명의 일 실시예에 따른 의료용 전자가속기의 전자총 전원공급장치는 캐소드와 연결되며, 상기 캐소드로 펄스 형태의 교류 전압을 전달하는 제1 전압공급부; 필라멘트와 연결되며, 상기 필라멘트로 교류 전압을 전달하는 제2 전압 공급부; 상기 제1 전압공급부 및 상기 제2 전압공급부와 연결되며, 상기 캐소드 및 상기 필라멘트로 전달되는 전압을 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.The power supply of the electron gun of the medical electronic accelerator according to an embodiment of the present invention includes a first voltage supply unit connected to the cathode and transmitting a pulse-like AC voltage to the cathode; A second voltage supply unit connected to the filament and transmitting the AC voltage to the filament; And a control unit connected to the first voltage supply unit and the second voltage supply unit and configured to control voltage delivered to the cathode and the filament.

또한, 상기 제1 전압공급부는 소정 크기의 대역폭과, 소정 주기를 갖는 펄스 형태의 제1 직류 전압을 생성하여 출력하는 직류 펄스 전압 공급부;소정 피크 전압과 소정 주파수를 갖는 제1 교류 전압을 생성하여 출력하는 교류 전압 공급부; 상기 직류 펄스 전압 공급부로부터 출력된 제1 직류 전압과 상기 교류 전압 공급부로부터 출력된 제1 교류 전압을 전달받아, 상기 제1 직류 전압과 상기 제1 교류 전압이 합성된 제1 모듈레이션 전압을 생성하여 캐소드로 전달하는 모듈레이션부를 포함할 수 있다.The first voltage supply unit may include a DC pulse voltage supply unit for generating and outputting a pulse-shaped first DC voltage having a predetermined width and a predetermined period, a first AC voltage having a predetermined peak voltage and a predetermined frequency, An AC voltage supply unit for outputting the AC voltage; A first DC voltage output from the DC pulse voltage supply unit and a first AC voltage output from the AC voltage supply unit to generate a first modulation voltage in which the first DC voltage and the first AC voltage are synthesized, To the modulation unit.

또한, 상기 제1 모듈레이션 전압은 펄스 형태의 교류 전압일 수 있다.Also, the first modulation voltage may be an AC voltage in a pulse form.

또한, 상기 제1 직류 전압은 소정 대역폭, 소정 주기, 소정 전압을 갖는 펄스 형태의 직류 전압일 수 있다.In addition, the first DC voltage may be a DC voltage in a pulse form having a predetermined bandwidth, a predetermined period, and a predetermined voltage.

또한, 상기 제1 직류 전압의 대역폭, 주기 및 크기 중 적어도 하나는 가변적일 수 있다.Also, at least one of the bandwidth, period, and size of the first DC voltage may be variable.

또한, 상기 제1 직류 전압은 대역폭이 0 초과 10s이하 이고, 주기는 1/300 내지 1/10s 이며, 전압의 크기가 0 초과 25kV인 펄스 형태의 직류 전압일 수 있다.The first DC voltage may be a DC voltage having a pulse width of more than 0 and less than 10s, a period of 1/300 to 1/10 s, and a voltage of more than 0 and 25 kV.

또한, 상기 제1 교류 전압의 주파수, 피크 전압값은 가변적일 수 있다.In addition, the frequency and peak voltage value of the first AC voltage may be variable.

또한, 상기 제1 교류 전압은 0 초과 0.1kV 이하의 피크 전압값과 0 초과 1MHz 이하의 주파수를 갖는 교류 전압일 수 있다.Also, the first AC voltage may be an AC voltage having a peak voltage value of more than 0 and 0.1 kV or less and a frequency of more than 0 and 1 MHz or less.

또한, 상기 제1 모듈레이션 전압은 펄스 형태의 교류 전압으로, 상기 펄스의 주기 및 대역폭은 상기 제1 직류 전압과 동일하며, 상기 교류 전압의 주파수는 상기 제1 교류 전압과 동일할 수 있다. Also, the first modulation voltage may be an AC voltage in the form of a pulse, the period and bandwidth of the pulse may be the same as the first DC voltage, and the frequency of the AC voltage may be the same as the first AC voltage.

또한, 상기 제1 모듈레이션 전압의 주기, 대역폭, 주파수는 가변적일 수 있다.In addition, the period, bandwidth, and frequency of the first modulation voltage may be variable.

또한, 상기 제1 모듈레이션 전압은 상기 펄스의 대역폭이 0 초과 10s이하 이고, 상기 주기는 1/300 내지 1/10s일 수 있다. Also, the first modulation voltage may have a bandwidth of the pulse exceeding 0 and 10s or less, and the period may be 1/300 to 1/10 s.

또한, 상기 제1 모듈레이션 전압은 상기 피크 전압값은 상기 제1 직류 전압의 피크 전압값과 0 초과 0.1kV 이하의 차이가 나고, 상기 주파수는 0 초과 1MHz 이하일 수 있다.The peak voltage value of the first modulation voltage may differ from the peak voltage value of the first DC voltage by more than 0 and 0.1 kV or less, and the frequency may be more than 0 and less than 1 MHz.

본 발명의 다른 실시예에 따른 의료용 전자가속기의 전자총 전원공급장치는 캐소드와 연결되며, 상기 캐소드로 교류 전압을 전달하는 제1 전압공급부; 필라멘트와 연결되며, 상기 필라멘트로 교류 전압을 전달하는 제2 전압 공급부; 그리드부(grid)부와 연결되며, 상기 필라멘트로 펄스 형태의 직류 전압을 전달하는 제3 전압 공급부; 상기 제1 전압공급부, 상기 제2 전압공급부 및 상기 제3 전압공급부와 연결되며, 상기 캐소드, 상기 필라멘트, 상기 그리드부로 전달되는 전압을 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided an electron gun power supply device for a medical electron accelerator, comprising: a first voltage supply unit connected to a cathode and transmitting an AC voltage to the cathode; A second voltage supply unit connected to the filament and transmitting the AC voltage to the filament; A third voltage supply unit connected to the grid unit and transmitting a DC voltage in a pulse form to the filament; And a control unit connected to the first voltage supply unit, the second voltage supply unit, and the third voltage supply unit, and controlling a voltage to be transmitted to the cathode, the filament, and the grid unit.

또한, 상기 제1 전압공급부는 소정 크기를 갖는 직류 전압인 제2 직류 전압을 생성하여 출력하는 직류 전압 공급부; 소정 피크 전압과 소정 주파수를 갖는 제2 교류 전압을 생성하여 출력하는 교류 전압 공급부; 상기 제2 직류 전압과 상기 제2 교류 전압을 전달받아, 상기 제2 직류 전압과 상기 제2 교류 전압이 합성된 제2 모듈레이션 전압을 생성하여 상기 캐소드로 전달하는 모듈레이션부를 포함할 수 있다.The first voltage supply unit may include a DC voltage supply unit for generating and outputting a second DC voltage, which is a DC voltage having a predetermined magnitude; An AC voltage supplier for generating and outputting a second AC voltage having a predetermined peak voltage and a predetermined frequency; And a modulation unit that receives the second DC voltage and the second AC voltage, generates a second modulation voltage in which the second DC voltage and the second AC voltage are synthesized, and transmits the second modulation voltage to the cathode.

또한, 상기 제2 모듈레이션 전압의 피크 전압값 또는 주파수는 가변적일 수 있다.In addition, the peak voltage value or frequency of the second modulation voltage may be variable.

또한, 상기 제2 직류 전압의 크기는 가변적일 수 있다.In addition, the magnitude of the second DC voltage may be variable.

또한, 상기 제2 직류 전압은 0 초과 25kV 이하의 일정한 크기의 전압값을 갖는 직류 전압일 수 있다.Also, the second DC voltage may be a DC voltage having a voltage value of a predetermined magnitude of 0 to 25 kV or less.

또한, 상기 제2 교류 전압의 주파수, 피크 전압값은 가변적일 수 있다.In addition, the frequency and the peak voltage value of the second AC voltage may be variable.

또한,상기 제2 교류 전압은 0 초과 0.1kV 이하의 피크 전압값과 0 초과 1MHz 이하의 주파수를 갖는 교류 전압일 수 있다.The second alternating voltage may be an alternating voltage having a peak voltage value of more than 0 and 0.1 kV or less and a frequency of more than 0 and 1 MHz or less.

또한, 상기 제2 모듈레이션 전압은 상기 제2 직류 전압과 상기 제2 교류 전압의 피크 전압값을 합한 피크 전압값을 갖고, 상기 주파수는 상기 제2 교류 전압과 동일할 수 있다. Also, the second modulation voltage may have a peak voltage value that is a sum of the second DC voltage and the peak voltage value of the second AC voltage, and the frequency may be the same as the second AC voltage.

또한,상기 제2 모듈레이션 전압의 피크 전압값은 -0.1kV 초과 25.1kV 이하의 값이며, 상기 제2 모듈레이션 전압의 주파수는 0 초과 1 MHz 이하일 수 있다.The peak voltage value of the second modulation voltage may be greater than -0.1 kV and less than or equal to 25.1 kV, and the frequency of the second modulation voltage may be greater than 0 and less than or equal to 1 MHz.

또한, 상기 제3 전압공급부는 제3 전압을 생성하여 상기 그리드부로 출력하되,Also, the third voltage supply unit may generate a third voltage and output the third voltage to the grid unit,

상기 제3 전압은 펄스 형태의 직류 전압일 수 있다.The third voltage may be a DC voltage in the form of a pulse.

또한, 상기 제3 전압의 대역폭, 주파수, 크기는 가변적일 수 있다.In addition, the bandwidth, frequency, and size of the third voltage may be variable.

또한,상기 제3 전압은 0 초과 1s의 대역폭을 가지면서, 1/300 내지 1/10s의 주기를 갖고, 상기 직류 공급부에서 제공된 제2 직류 전압과 -150V 내지 +150V만큼 차이가 나는 펄스 형태의 직류 전압일 수 있다.The third voltage may have a bandwidth of more than 0 s and a period of 1/300 to 1/10 s and may have a pulse shape of a difference of -150 V to +150 V with the second direct voltage provided by the direct current supply DC voltage.

본 발명에 의하면, 캐소드에 교류 전압을 인가하여, 전자빔 인출 성능을 향상시키는 효과가 있다. According to the present invention, an AC voltage is applied to the cathode to improve the electron beam drawing performance.

본 발명은 전자가속기의 전자총에서 전류 과다발생으로 인한 최종 에너지 감소를 최소화하여 의료용 X-ray 발생을 안정적으로 하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to minimize generation of final energy due to excessive current generation in an electron gun of an electron accelerator, thereby stably generating a medical X-ray.

본 발명은 전자총의 과출력 전류에 의한 캐소드 수명 감소를 최소화 하는 데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to minimize a reduction in lifetime of a cathode due to an overcurrent of an electron gun.

본 발명은 의료용 전자총의 과출력 전류에 의한 가속관 멀티팩팅 현상을 막는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to prevent an acceleration tube multifacting phenomenon due to an overcurrent of a medical electron gun.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 의료용 전자가속기의 이극관 전자총의 단면도이다
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 의료용 전자가속기의 전자총 전원공급장치의 블록도이다
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 전압공급부의 블록도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 직류 전압의 실시예이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 교류 전압의 실시예이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 모듈레이션 전압의 실시예이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 의료용 전자가속기의 삼극관 전자총의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 의료용 전자가속기의 전자총 전원공급장의 블록도이다
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제1 전압공급부의 블록도이다
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제2 직류 전압의 실시예이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제2 교류 전압의 실시예이다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제2 모듈레이션 전압의 실시예이다. 1 is a cross-sectional view of a bipolar electron gun of a medical electron accelerator according to an embodiment of the present invention
2 is a block diagram of an electron gun power supply of a medical electron accelerator according to an embodiment of the present invention
3 is a block diagram of a first voltage supply according to an embodiment of the present invention.
4 is an embodiment of a first DC voltage according to an embodiment of the present invention.
5 is an embodiment of a first AC voltage according to an embodiment of the present invention.
Figure 6 is an embodiment of a first modulation voltage according to one embodiment of the present invention.
7 is a cross-sectional view of a triode electron gun of a medical electron accelerator according to another embodiment of the present invention.
8 is a block diagram of an electron gun power supply of a medical electronic accelerator according to another embodiment of the present invention
9 is a block diagram of a first voltage supply unit according to another embodiment of the present invention
10 is an embodiment of a second direct current voltage according to another embodiment of the present invention.
11 is an embodiment of a second alternating voltage according to another embodiment of the present invention.
12 is an embodiment of a second modulation voltage according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 실시 예에 따른 의료용 전자가속기의 전자총 전원공급장치(200)에 대하여, 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고 이하의 실시예의 설명에서 각각의 구성요소의 명칭은 당업계에서 다른 명칭으로 호칭될 수 있다. 그러나 이들의 기능적 유사성 및 동일성이 있다면 변형된 실시예를 채용하더라도 균등한 구성으로 볼 수 있다. 또한 각각의 구성요소에 부가된 부호는 설명의 편의를 위하여 기재된다. 그러나 이들 부호가 기재된 도면상의 도시 내용이 각각의 구성요소를 도면내의 범위로 한정하지 않는다. 마찬가지로 도면상의 구성을 일부 변형한 실시예가 채용되더라도 기능적 유사성 및 동일성이 있다면 균등한 구성으로 볼 수 있다. 또한 당해 기술분야의 일반적인 기술자 수준에 비추어 보아, 당연히 포함되어야 할 구성요소로 인정되는 경우, 이에 대하여는 설명을 생략한다.Hereinafter, an electron gun power supply apparatus 200 of a medical electron accelerator according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description of the embodiments, the names of the respective components may be referred to as other names in the art. However, if there is a functional similarity and an equivalence thereof, the modified structure can be regarded as an equivalent structure. In addition, reference numerals added to respective components are described for convenience of explanation. However, the contents of the drawings in the drawings in which these symbols are described do not limit the respective components to the ranges within the drawings. Likewise, even if the embodiment in which the structure on the drawing is partially modified is employed, it can be regarded as an equivalent structure if there is functional similarity and uniformity. Further, in view of the level of ordinary skill in the art, if it is recognized as a component to be included, a description thereof will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 의료용 전자가속기의 이극관 전자총(100)의 단면도이다. 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 전자총(100)은 캐소드(110), 필라멘트(120), 플랜지(140), 인슐레이션(130)을 포함하여 구성될 수 있다.1 is a cross-sectional view of a dipole tube electron gun 100 of a medical electron accelerator according to an embodiment of the present invention. The electron gun 100 according to the present invention may include a cathode 110, a filament 120, a flange 140, and an insulation 130 as shown in FIG.

플랜지(140)는 전자총(100)의 일측에 구비되어 전술한 가속관(200)과 결합할 수 있도록 구성되며 전체적인 외형은 회전대칭으로 구성될 수 있다. The flange 140 may be provided on one side of the electron gun 100 and may be coupled to the acceleration tube 200. The overall shape of the flange 140 may be rotationally symmetric.

캐소드(110)는 회전중심 부분에 위치한 캐소드(110)는 고전압이 인가되며, 도면의 우측방향으로 열전자가 방출된다. 소형 전자총(100)의 경우 디스펜서 타입(dispenser type)의 캐소드(110)를 이용하며 수십 mA 내지 수백 mA의 인출 전류를 갖는다. 열전자 방출에 의한 전자빔은 캐소드(110) 표면에서 수 eV의 낮은 에너지를 갖게되며, 초기에 낮은 에너지의 열전자들은 캐소드(110) 표면을 따라 다양한 각도로 방출되며, 전자총(100)에 인가되는 전기장 방향에 의해 직진성을 가질 수 있게 된다. 이 직진성은 가속관(200)에 입사되어 높은 에너지로 가속되면서 공간전하효과와 함께 점차 전차 번치(bunch)의 크기를 증가시키는 요인이 된다. 따라서 초기 에너지 전자빔의 발산을 최소로 하는 것이 전자가속기에서 매우 중요하며 이는 전자장의 세기와 자기장의 세기에 매우 민감하다.In the cathode 110, a high voltage is applied to the cathode 110 located at the rotation center portion, and the hot electrons are emitted in the right direction in the figure. In the case of the small electron gun 100, a cathode 110 of a dispenser type is used and has an extraction current of several tens of mA to several hundreds mA. The electron beam generated by the thermionic emission has a low energy of several eV at the surface of the cathode 110. Initially, the low-energy thermoelectrons are emitted at various angles along the surface of the cathode 110, So that it is possible to have the straightness. This linearity is incident on the accelerating tube 200, accelerates to a high energy, and becomes a factor increasing the size of the bunch bunch together with the space charge effect. Therefore, minimizing the divergence of the initial energy electron beam is very important in the electron accelerator, which is very sensitive to the intensity of the electromagnetic field and the magnetic field.

필라멘트(120)는 전자총(100)의 일측에 구비되며, 캐소드(110)를 가열할 수 있도록 구성된다. 필라멘트(120)를 이용하여 캐소드(110)를 약 1000℃ 이상으로 가열할 수 있도록 구성된다. 이때 필라멘트(120)의 소재는 용융점이 2000℃ 이상의 소재를 채택될 수 있다. The filament 120 is provided on one side of the electron gun 100 and is configured to heat the cathode 110. The filament 120 is used to heat the cathode 110 to about 1000 ° C or more. At this time, the material of the filament 120 may be a material having a melting point of 2000 ° C or more.

인슐레이션(130)은 고온의 캐소드(110)의 온도를 유지시키기 위해 구비되며, 복수의 단으로 구비될 수 있다. The insulation 130 is provided to maintain the temperature of the cathode 110 at a high temperature and may be provided in a plurality of stages.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 의료용 전자가속기의 전자총 전원공급장치(200)를 도시한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 의료용 전자가속기의 전자총 전원공급장치(200)는 제어부(210), 제1 전압공급부(220), 제2 전압공급부(230)를 포함할 수 있다. FIG. 2 illustrates an electron gun power supply 200 of a medical electron accelerator according to an embodiment of the present invention. The electron gun power supply 200 of the medical electronic accelerator according to an embodiment of the present invention may include a controller 210, a first voltage supplier 220, and a second voltage supplier 230.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제어부(210)는 제1 전압공급부(220) 및 제2 전압공급부(230)와 연결되며, 전자총(100)으로 공급되는 전압을 제어할 수 있다. 2, the controller 210 according to an exemplary embodiment of the present invention is connected to the first voltage supply unit 220 and the second voltage supply unit 230 and controls the voltage supplied to the electron gun 100 have.

본 발명의 일 실시예에 따른 제2 전압공급부(230)는 제어부(210)로부터 제어신호를 전달받아 소정 전압을 필라멘트(120)로 전압을 전달할 수 있다. 바람직하게 필라멘트(120)로 전달되는 전압은 220V의 피크 전압을 갖는 교류전압일 수 있다. The second voltage supplier 230 according to an exemplary embodiment of the present invention may receive a control signal from the controller 210 and transfer a predetermined voltage to the filament 120. Preferably, the voltage delivered to the filament 120 may be an AC voltage having a peak voltage of 220V.

본 발명의 일 실시예에 따른 제1 전압공급부(220)는 제어부(210)로부터 제어신호를 전달받아 캐소드(110)로 전압을 전달할 수 있다. The first voltage supplier 220 according to an embodiment of the present invention may receive the control signal from the controller 210 and may transmit the voltage to the cathode 110. [

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 전압공급부(220)를 도시한 것이다. 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 전압공급부(220)는 직류 펄스 전압공급부(221), 교류 전압공급부(222), 모듈레이션부(223)를 포함할 수 있다. 3 illustrates a first voltage supply 220 according to an embodiment of the present invention. 3, the first voltage supply unit 220 may include a DC pulse voltage supply unit 221, an AC voltage supply unit 222, and a modulation unit 223.

본 발명의 일 실시예에 따른 직류 펄스 전압공급부(221)는 펄스 형태의 직류 전압인 제1 직류 전압을 생성하여 모듈레이션부(223)로 출력할 수 있다. The DC pulse voltage supply unit 221 according to an embodiment of the present invention may generate a first DC voltage, which is a pulse DC voltage, and output the first DC voltage to the modulation unit 223.

도 4는 직류 펄스 전압공급부(221)에서 모듈레이션부(223)로 출력된 제1 직류 전압의 실시예이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 직류 전압은 대역폭이 0 초과 10μs이하 이고, 주기는 1/300 내지 1/10s 이며, 전압의 크기가 0 초과 25kV인 펄스 형태의 직류전압일 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 직류 전압의 대역폭, 주기, 전압의 크기는 전자총(100)의 종류, 크기, 용도 등에 따라 가변적이다. 4 is an embodiment of a first DC voltage output from the DC pulse voltage supply unit 221 to the modulation unit 223. [ The first direct current voltage according to an exemplary embodiment of the present invention may be a direct current voltage in a pulse form having a bandwidth of more than 0 and less than 10 mu s, a period of 1/300 to 1/10 s, and a voltage of more than 0 and 25 kV. The magnitude of the bandwidth, period, and voltage of the first DC voltage according to an exemplary embodiment of the present invention may vary depending on the type, size, and application of the electron gun 100.

본 발명의 일 실시예에 따른 교류 전압공급부(222)는 소정 피크 전압과 소정 주파수를 갖는 제1 교류 전압을 생성하여 모듈레이션부(223)로 출력할 수 있다. 본 발명의 제1 교류 전압은 0 초과 0.1kV 이하의 크기를 갖는 피크 전압값과, 0 초과 1MHz 이하의 주파수를 가질 수 있다. 제1 교류 전압의 피크 전압, 주파수는 전자총(100)의 종류, 크기에 따라 가변적이다. The AC voltage supply unit 222 may generate a first AC voltage having a predetermined peak voltage and a predetermined frequency and output the first AC voltage to the modulation unit 223. The first AC voltage of the present invention may have a peak voltage value having a magnitude of 0 to 0.1 kV or less and a frequency of 0 to 1 MHz or less. The peak voltage and frequency of the first AC voltage are variable depending on the type and size of the electron gun 100.

도 5는 본 발명의 교류 전압공급부(222)에서 모듈레이션부(223)로 제공된 제1 교류 전압의 실시예를 도시한 것이다. 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 제1 교류 전압은 0 초과 0.1kV 이하의 피크 전압값과 0 초과 1MHz 이하의 주파수를 갖는 교류 전압일 수 있다. 다만, 이는 하나의 실시예에 불과하며, 본 발명의 권리범위를 제한하는 것은 아니다. 5 illustrates an embodiment of a first alternating voltage provided from the alternating voltage supply 222 of the present invention to the modulating unit 223. Referring to FIG. 5, the first AC voltage according to the embodiment of the present invention may be an AC voltage having a peak voltage value of 0 to 0.1 kV or less and a frequency of 0 to 1 MHz or less. However, this is only an example and does not limit the scope of the present invention.

본 발명의 모듈레이션부(223)는 직류 펄스 전압공급부(221)로부터 전달받은 제1 직류 전압과 교류 전압공급부(222)로부터 전달받은 제1 교류 전압이 합성된 제1 모듈레이션 전압을 생성하여, 캐소드(110)로 전달할 수 있다. 제1 모듈레이션 전압은 1 직류 전압과 동일한 대역폭, 주기를 갖는 펄스 전압에, 제1 교류 전압과 동일한 주파수를 갖는 교류 전압이 합성된 것으로, 피크 전압은 제1 직류 전압에 제1 교류 전압의 피크 전압값을 더한 값을 갖는 펄스 형태의 교류 전압이다. The modulation unit 223 of the present invention generates a first modulation voltage obtained by combining the first DC voltage received from the DC pulse voltage supply unit 221 and the first AC voltage received from the AC voltage supply unit 222, 110). The first modulation voltage is obtained by synthesizing an AC voltage having the same frequency as the first AC voltage with a pulse voltage having the same bandwidth and period as one DC voltage. The peak voltage is a peak voltage of the first AC voltage And a pulse-shaped AC voltage having a value obtained by adding the value of the AC voltage.

본 발명의 제1 모듈레이션 전압은 펄스 형태의 교류 전압으로, 펄스 주기, 대역폭은 제1 직류 전압과 동일(예컨대, 대역폭이 0 초과 10μs이하 이고, 주기는 1/300 내지 1/10s 임)하며, 피크 전압값은 제1 직류 전압의 피크 전압과 0 초과 0.1kV 이하의 차이가 나며, 교류 전압의 주파수는 0 초과 1MHz 이하일 수 있다. The first modulation voltage of the present invention is an AC voltage in the form of a pulse, and the pulse period and the bandwidth are equal to the first DC voltage (for example, the bandwidth is more than 0 and 10 μs or less and the period is 1/300 to 1/10 s) The peak voltage value differs from the peak voltage of the first DC voltage by more than 0 and 0.1 kV or less, and the frequency of the AC voltage may be more than 0 and less than 1 MHz.

도 6은 본 발명의 제1 모듈레이션 전압의 일 실시예를 도시한 것이다. 도 6을 참조하면, 제1 모듈레이션 전압은 펄스의 주기가 1/300s이고, 펄스의 대역폭이 10μs이며, 피크 전압이 -25.1kV이며, 교류 전압의 주파수가 1MHz일 수 있다. Figure 6 illustrates one embodiment of a first modulation voltage of the present invention. Referring to FIG. 6, the first modulation voltage may have a period of a pulse of 1/300 s, a pulse width of 10 μs, a peak voltage of -25.1 kV, and a frequency of an AC voltage of 1 MHz.

본 발명의 일 실시예와 같이, 캐소드(110)에 전달되는 전압을 펄스식으로 전달하는 경우에, 캐소드(110)의 에이징이 가능하다. 또한, 본 발명의 일 실시예와 같이, 교류 전압을 캐소드(110)에 전달하는 경우에, 캐소드(110) 표면에 머무르는 전하의 움직임이 직류 전압을 인가하는 경우보다 더욱 크게 요동치므로, 캐스드 표면에서 더 많은 전자를 인출할 수 있어, 빔 전류의 손실이 줄어들며 그 결과, 전자총(100)에서 출력되는 전자빔 손실이 최소화되는 장점이 있다. As in the embodiment of the present invention, when the voltage delivered to the cathode 110 is transmitted in a pulsed manner, the cathode 110 can be aged. Also, as in the embodiment of the present invention, when the AC voltage is transmitted to the cathode 110, the movement of the charge staying on the surface of the cathode 110 oscillates more than the case where the DC voltage is applied, More electrons can be drawn from the surface, and the loss of the beam current is reduced. As a result, the electron beam loss output from the electron gun 100 is minimized.

또한, 빔 전류 손실이 줄어듦에 따라 전자총에서 전류가 과다하게 발생하는 것을 억제하여 안정적으로 X-ray 발생이 이루어지는 장점이 있으며, 전자총에서 전류가 과다하게 발생하는 것을 억제하므로, 캐소드의 수명 감소를 최소화할 수 있는 장점도 있다. In addition, as the beam current loss is reduced, it is advantageous that X-rays are generated stably by suppressing the excessive generation of current in the electron gun, and the excessive generation of current in the electron gun is suppressed, There is also an advantage to be able to do.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 의료용 전자가속기의 삼극관 전자총(100)의 단면도를 도시한 것이다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 삼극관 전자총(100)은 애노드와 캐소드(110) 사이에 구비되는 그리드(grid)부를 더 포함하여 구성될 수 있다. 그리드(grid)부는 캐소드(110)로부터 전자를 방출시키는 방향에 구비된다. 그리드부(150)는 중심부에 홀이 형성되어 전자가 통과할 수 있도록 구성되며, 회전대칭으로 구성될 수 있다.FIG. 7 is a cross-sectional view of a triode electron gun 100 of a medical electron accelerator according to another embodiment of the present invention. The triode electron gun 100 according to another embodiment of the present invention may further include a grid portion provided between the anode and the cathode 110. [ A grid portion is provided in a direction to emit electrons from the cathode 110. The grid portion 150 may be formed to have a hole in the central portion thereof to allow electrons to pass therethrough and to be rotationally symmetrical.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 의료용 전자가속기의 전자총 전원공급장치(200)를 도시한 것이다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 의료용 전자가속기의 전자총 전원공급장치(200)는 제어부(210), 제1 전압공급부(220), 제2 전압공급부(230), 제3 전압공급부(240)를 포함할 수 있다. FIG. 8 shows an electron gun power supply 200 of a medical electron accelerator according to another embodiment of the present invention. The electron gun power supply device 200 of the medical electronic accelerator according to another embodiment of the present invention includes a control unit 210, a first voltage supply unit 220, a second voltage supply unit 230, and a third voltage supply unit 240 can do.

본 발명의 다른 실시예에 따른 제어부(210)는 제1 전압공급부(220), 제2 전압공급부(230), 제3 전압공급부(240)와 연결되며, 전자총(100)으로 공급되는 전압을 제어할 수 있다. The control unit 210 according to another embodiment of the present invention is connected to the first voltage supply unit 220, the second voltage supply unit 230 and the third voltage supply unit 240 and controls the voltage supplied to the electron gun 100 can do.

본 발명의 다른 실시예에 따른 제2 전압공급부(230)는 제어부(210)로부터 제어신호를 전달받아 필라멘트(120)로 제2 전압을 전달할 수 있다. 바람직하게 필라멘트(120)로 전달되는 제2 전압은 220V의 크기를 갖는 교류 전압일 수 있다. The second voltage supply unit 230 may receive the control signal from the controller 210 and may transfer the second voltage to the filament 120 according to another embodiment of the present invention. Preferably, the second voltage delivered to the filament 120 may be an AC voltage having a magnitude of 220V.

본 발명의 다른 실시예에 따른 제1 전압공급부(220)는 제어부(210)로부터 제어신호를 전달받아 캐소드(110)로 제1 전압(후술할 제2 모듈레이션 전압)을 전달할 수 있다. The first voltage supplier 220 according to another embodiment of the present invention may receive a control signal from the controller 210 and may transmit a first voltage (a second modulation voltage to be described later) to the cathode 110.

도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제1 전압공급부(220)를 도시한 것이다. 도 9를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 제1 전압공급부(220)는 직류 전압공급부(224), 교류 전압공급부(225), 모듈레이션부(226)를 포함할 수 있다. 9 illustrates a first voltage supply 220 according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 9, the first voltage supply unit 220 according to another embodiment of the present invention may include a DC voltage supply unit 224, an AC voltage supply unit 225, and a modulation unit 226.

본 발명의 다른 실시예에 따른 직류 전압공급부(224)는 소정 크기의 전압값을 갖는 제2 직류 전압을 생성하여 모듈레이션부(226)로 제공할 수 있다. 직류 전압공급부(224)에서 모듈레이션부(226)로 제공하는 제2 직류 전압은 0 초과 25kV 이하의 일정한 크기의 전압값을 갖는 직류 전압으로, 직류 전압의 크기는 전자총(100)의 종류, 크기, 용도에 따라 가변적이다. The DC voltage supply unit 224 according to another embodiment of the present invention may generate a second DC voltage having a predetermined voltage value and provide the second DC voltage to the modulation unit 226. The second DC voltage supplied from the DC voltage supply unit 224 to the modulation unit 226 is a DC voltage having a voltage value of a constant magnitude of 0 to 25 kV or less. The magnitude of the DC voltage is determined by the type, It is variable depending on the application.

도 10은 직류 전압공급부(224)에서 모듈레이션부(226)로 제공되는 제2 직류전압을 도시한 것으로, 도 10을 참조하면, 제2 직류전압은 -25kV의 일정한 값을 갖는 직류 전압일 수 있다.10 shows a second DC voltage supplied from the DC voltage supply unit 224 to the modulation unit 226. Referring to FIG. 10, the second DC voltage may be a DC voltage having a constant value of -25 kV .

본 발명의 일 실시예에 따른 교류 전압공급부(225)는 소정 주파수와 소정 피크 전압값을 갖는 제2 교류 전압을 생성하여 모듈레이션부(226)로 전달할 수 있다. The AC voltage supply unit 225 may generate a second AC voltage having a predetermined frequency and a predetermined peak voltage value and transmit the generated second AC voltage to the modulation unit 226. [

도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 교류 전압을 도시한 것이다. 도 11을 참조하면, 교류 전압공급부(225)에서 모듈레이션부(226)로 제공하는 제2 교류 전압은 0초과 1MHZ 이하의 주파수를 가지며, 피크 전압값으로 0 초과 0.1kV를 가질 수 있다. 제2 교류 전압의 피크 전압값은 전자총(100)의 종류, 크기, 용도에 따라 가변적이다. 11 illustrates a second alternating voltage according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 11, the second AC voltage provided from the AC voltage supply unit 225 to the modulation unit 226 has a frequency of more than 0 and 1 MHz, and may have a peak voltage value of more than 0 and 0.1 kV. The peak voltage value of the second AC voltage varies depending on the type, size, and application of the electron gun 100.

본 발명의 다른 실시예에 따른 모듈레이션부(226)는 직류 전압공급부(224)로부터 제공된 제2 직류 전압과 교류 전압공급부(225)로부터 제공된 제2 교류 전압을 합성시켜 제2 모듈레이션 전압을 생성하여, 캐소드(110)로 제공할 수 있다. 캐소드(110)로 제공되는 제2 모듈레이션 전압은 직류 전압공급부(224)에서 제공된 제2 직류 전압값과 교류 전압공급부(225)에서 제공된 제2 교류 전압을 합성한 교류 전압으로, 제2 모듈레이션 전압의 피크 전압은 제2 직류 전압과 제2 교류 전압의 피크 전압값을 합한 값이며, 제2 모듈레이션 전압의 주파수는 제2 교류 전압과 동일하다.The modulation unit 226 according to another embodiment of the present invention generates the second modulation voltage by synthesizing the second DC voltage supplied from the DC voltage supply unit 224 and the second AC voltage supplied from the AC voltage supply unit 225, May be provided to the cathode 110. The second modulation voltage provided to the cathode 110 is an AC voltage obtained by combining the second DC voltage value provided from the DC voltage supply unit 224 and the second AC voltage supplied from the AC voltage supply unit 225, The peak voltage is a sum of the peak voltage values of the second DC voltage and the second AC voltage, and the frequency of the second modulation voltage is the same as the second AC voltage.

본 발명의 제2 모듈레이션 전압은 제2 교류 전압과 동일한 주파수를 가지며, 제2 직류 전압과 제2 교류 전압의 피크 전압값을 더한 전압값을 피크 전압값으로 갖는다. 예를들어, 제2 모듈레이션 전압의 피크 전압값은 -0.1kV 초과 25.1kV 이하의 값이며, 제2 모듈레이션 전압의 주파수는 0 초과 1 MHz 이하일 수 있다. 제2 모듈레이션 전압의 주파수, 피크 전압값은 전자총(100)의 종류, 크기, 용도에 따라 가변적이다.The second modulation voltage of the present invention has the same frequency as the second AC voltage, and has a peak voltage value that is the sum of the second DC voltage and the peak voltage value of the second AC voltage. For example, the peak voltage value of the second modulation voltage may be greater than -0.1 kV and less than or equal to 25.1 kV, and the frequency of the second modulation voltage may be greater than 0 and less than or equal to 1 MHz. The frequency of the second modulation voltage and the peak voltage value are variable depending on the type, size, and use of the electron gun 100.

도 12는 본 발명의 제2 모듈레이션 전압을 도시한 것이다. 도 12를 참조하면, 예컨대, 직류 전압공급부(224)에서 제공된 전압이 -25kV의 일정한 크기를 갖는 직류 전압이고, 교류 전압공급부(225)에서 제공된 전압이 피크 전압으로 0.1kV 크기와, 1MHz의 주파수를 갖는 교류 전압인 경우에, 제2 모듈레이션 전압은 -25.1kV 와 -24.9kV의 피크 전압값을 갖지며, 1MHz의 주파수를 갖는 교류 전압일 수 있다. 12 shows the second modulation voltage of the present invention. 12, for example, it is assumed that the voltage provided by the DC voltage supply unit 224 is a DC voltage having a constant magnitude of -25 kV, the voltage provided by the AC voltage supply unit 225 is 0.1 kV magnitude with a peak voltage, , The second modulation voltage has an peak voltage value of -25.1 kV and -24.9 kV and may be an alternating voltage having a frequency of 1 MHz.

본 발명의 제3 전압공급부(240)는 제어부(210)로부터 제어신호 전달받아 제 3 전압을 생성하여, 그리드부(150)로 제공할 수 있다. 여기서 제3 전압은 소정 크기의 전압값을 갖는 펄스 형태의 직류 전압이다. The third voltage supply unit 240 of the present invention receives the control signal from the control unit 210 to generate a third voltage and provides the third voltage to the grid unit 150. Here, the third voltage is a pulse-like DC voltage having a voltage value of a predetermined magnitude.

본 발명의 제3 전압은 0 초과 1μs 이하의 대역폭을 가지면서, 1/300 내지 1/10s의 주기를 갖고, 직류 전압공급부(224)에서 제공된 제2 직류 전압과 -150V 내지 +150V만큼 차이가 나는 펄스 형태의 직류 전압일 수 있다. 제3 전압의 대역폭, 주파수, 크기는 전자총(100)의 크기, 용도 등에 따라 가변적이다. The third voltage of the present invention has a period of 1/300 to 1/10 s and a difference of -150 V to + 150 V with the second DC voltage provided by the DC voltage supply 224, I can be a pulsed DC voltage. The bandwidth, frequency, and size of the third voltage may vary depending on the size, purpose, and the like of the electron gun 100.

도 13은 본 발명의 제3 전압의 실시예를 도시한 것이다. 도 13을 참조하면, 본 발명의 제3 전압은 모듈레이션부(226)에 제공된 제2 직류 전압이 -23.5kV인 경우에, 피크 전압을 -24.85kV, -25.15kV로 가질 수 있다. Figure 13 shows an embodiment of the third voltage of the present invention. Referring to FIG. 13, the third voltage of the present invention may have a peak voltage of -24.85 kV, -25.15 kV when the second direct voltage supplied to the modulation section 226 is -23.5 kV.

본 발명의 다른 실시예와 같이, 캐소드(110)에 교류 전압을 인가하는 경우에, 캐소드 표면에 머무르는 전하의 움직임이 직류 전압을 인가하는 경우보다 더욱 크게 요동치므로, 캐스드 표면에서 더 많은 전자를 인출할 수 있어, 빔 전류의 손실이 줄어들며 그 결과, 전자총(100)에서 출력되는 전자빔 손실이 최소화되는 장점이 있다.As in the other embodiment of the present invention, when the AC voltage is applied to the cathode 110, the movement of the charge staying on the cathode surface oscillates more than when the DC voltage is applied, The loss of the beam current is reduced, and as a result, the electron beam loss output from the electron gun 100 is minimized.

또한, 빔 전류 손실이 줄어듦에 따라 전자총에서 전류가 과다하게 발생하는 것을 억제하여 안정적으로 X-ray 발생이 이루어지는 장점이 있으며, 전자총에서 전류가 과다하게 발생하는 것을 억제하므로, 캐소드의 수명 감소를 최소화할 수 있는 장점도 있다. In addition, as the beam current loss is reduced, it is advantageous that X-rays are generated stably by suppressing the excessive generation of current in the electron gun, and the excessive generation of current in the electron gun is suppressed, There is also an advantage to be able to do.

Claims (4)

캐소드와 연결되며, 상기 캐소드로 교류 전압을 전달하는 제1 전압공급부; 필라멘트와 연결되며, 상기 필라멘트로 교류 전압을 전달하는 제2 전압 공급부; 그리드(grid)부와 연결되며, 펄스 형태의 직류 전압인 제3 전압을 생성하여 상기 그리드부로 출력하는 제3 전압 공급부; 및 상기 제1 전압공급부, 상기 제2 전압공급부 및 상기 제3 전압공급부와 연결되며, 상기 캐소드, 상기 필라멘트, 상기 그리드부로 전달되는 전압을 제어하는 제어부를 포함하고,
상기 제1 전압공급부는
소정 크기를 갖는 직류 전압인 제2 직류 전압을 생성하여 출력하는 직류 전압 공급부; 소정 피크 전압과 소정 주파수를 갖는 제2 교류 전압을 생성하여 출력하는 교류 전압 공급부; 및 상기 제2 직류 전압과 상기 제2 교류 전압을 전달받아, 상기 제2 직류 전압과 상기 제2 교류 전압이 합성된 제2 모듈레이션 전압을 생성하여 상기 캐소드로 전달하는 모듈레이션부를 포함하는 의료용 전자가속기의 전자총 전원공급장치.
A first voltage supply unit connected to the cathode and configured to transfer the AC voltage to the cathode; A second voltage supply unit connected to the filament and transmitting the AC voltage to the filament; A third voltage supply unit connected to the grid unit and generating a third voltage which is a DC voltage in a pulse form and outputting the generated third voltage to the grid unit; And a control unit connected to the first voltage supply unit, the second voltage supply unit, and the third voltage supply unit and configured to control a voltage to be transmitted to the cathode, the filament, and the grid unit,
The first voltage supply unit
A DC voltage supply unit for generating and outputting a second DC voltage having a predetermined magnitude; An AC voltage supplier for generating and outputting a second AC voltage having a predetermined peak voltage and a predetermined frequency; And a modulation unit that receives the second DC voltage and the second AC voltage, generates a second modulation voltage in which the second DC voltage and the second AC voltage are synthesized, and transmits the second modulation voltage to the cathode, Electron gun power supply.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제3 전압의 대역폭, 주파수, 크기는 가변적인 의료용 전자가속기의 전자총 전원공급장치.
The method according to claim 1,
Wherein the bandwidth, frequency, and size of the third voltage are variable.
제1항 또는 제3항에 있어서,
상기 제3 전압은 0 초과 1μs의 대역폭을 가지면서, 1/300 내지 1/10s의 주기를 갖고, 상기 직류 전압 공급부에서 제공된 제2 직류 전압과 -150V 내지 +150V만큼 차이가 나는 펄스 형태의 직류 전압인 의료용 전자가속기의 전자총 전원공급장치.
The method according to claim 1 or 3,
Wherein the third voltage has a bandwidth of more than 0 and 1 μs and has a period of 1/300 to 1/10 s and a pulse-like direct current (DC) voltage having a difference of -150 V to +150 V with the second direct- Power supply for the electron gun of the medical electronic accelerator.
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