KR101687325B1

KR101687325B1 - 60리터 내측 리저버 복합 용기 및 약액 배출 튜브

Info

Publication number: KR101687325B1
Application number: KR1020110029578A
Authority: KR
Inventors: 쯔토무 야마구치; 마사시 오노; 시게루 나카야마
Original assignee: 세키스이 세이케이 코교 가부시키가이샤; 가부시키가이샤 재팬 페일
Priority date: 2010-08-10
Filing date: 2011-03-31
Publication date: 2016-12-16
Also published as: KR20120022529A; TW201221125A; CN102372106A; JP5478413B2; TWI478707B; JP2012035884A; CN102372106B

Abstract

[과제] 번잡 작업의 저감을 도모할 수 있는 60리터 내측 리저버 복합 용기를 제공하고, 및 이 60리터 내측 리저버 복합 용기용 약액 배출 튜브를 제공한다.
[해결수단] 수지제이고 고청정도가 요구되는 약액을 60리터 수용하며 액 출입구부(112)를 형성한 내장 용기(110)와, 강제이고 몸통체(121)에 하부 커버판(122)을 시밍해서 형성한 수납부(120a)의 내면을 따라 상기 내장 용기를 수납하고 또한 상부 커버판(123)을 상기 몸통체에 시밍해서 성형되는 외장 용기(120)를 구비했다.

Description

60리터 내측 리저버 복합 용기 및 약액 배출 튜브{COMPOSITE CONTAINER WITH AN INNER RESERVOIR OF 60 LITERS AND CHEMICAL DISCHARGING TUBE}

본 발명은 강제의 외측 용기 내에 수지제의 내측 용기를 설치한 용량 60리터의 내측 리저버 복합 용기, 및 이 60리터 내측 리저버 복합 용기용 약액 배출 튜브에 관한 것이다.

예컨대 식품이나 약액을 수납하기 위한 강제 용기에서는 상기 식품이나 약액이 직접적으로 강제 용기 내면에 접촉하는 것에 의한 부식 등의 발생을 방지하기 위해서 상기 식품이나 약액을 수납하는 수지제의 내측 용기를 강제의 외측 용기 내에 수납한 도 11에 나타내는 바와 같은 내측 리저버 복합 용기(10)의 형태가 채용된다.

상기 내측 리저버 복합 용기(10)에서는, 내측 용기(1)는 본체부(1a)가 폴리에틸렌제이며 자루 형상으로 형성되고, 그 상부에는 충전물을 출입시키기 위한 출입구(1b)가 용기 본체부와 일체적으로 형성되어 있다. 또한, 출입구(1b)의 외주면은 수나사 형상으로 성형되어 있다.

한편, 내측 리저버 복합 용기(10)의 외측 용기(2)는 원통 형상의 강판으로 이루어지는 몸통체(2a)와 강판으로 이루어지는 하부 커버판(2b)이 시밍(seaming)되어 수납부가 형성된다.

그리고, 상기 수납부 내에 상기 내측 용기(1)를 장전한 후, 강판제의 상부 커버판(2c)에 형성한 개구로부터 상기 출입구(1b)를 돌출시킨 상태에서 몸통체(2a)와 상부 커버판(2c)이 시밍되고, 강제의 외측 용기(2) 내에 수지제의 내측 용기(1)를 수납한 내측 리저버 복합 용기(10)가 제작된다. 이러한 내측 리저버 복합 용기(10)에 대해서 충전물을 주입한 후, 상부 커버판(2c)으로부터 돌출된 출입구(1b)에는 캡(3)이 나사 결합되어 충전물의 밀폐가 도모된다.

상기 약액의 예로서, 예컨대 반도체 분야에서는 예컨대 CMP 슬러리, 포토레지스트, 현상액, 에칭액, 세정액 등이며, 액정 분야에서는 포토레지스트, 컬러 레지스트, 컬러 필터 재료 등이다. 또한, 이들 약액 중에는 차광을 요하는 것도 있고, 강제로 이루어지는 외측 용기(2)는 차광성을 가지므로 내측 리저버 복합 용기(10)의 사용은 이 점에서도 유리하다.

반도체 분야 등에 있어서의 약액을 취급할 경우에는, 내측 용기(1)는 물론, 내측 리저버 복합 용기(10)에는 높은 청정도가 요구된다. 또한 약액의 배출에 있어서도 높은 청정성이 요구되어 배출 방법으로서 상기 캡(3)을 분리하여 부착되며 배출용 튜브를 갖는 디스펜서를 이용해서 배출하는 방법이 채용된다. 이것에는 약액을 펌프로 빨아올리는 펌프 업 방식, 또는, 드럼 내에 질소 가스 등을 주입해서 가압함으로써 약액을 압출하는 가압 방식이 있다.

일본 특허 공개 제 2007-45429 호 공보

상술한 바와 같은 반도체 분야 등에서 사용되는 약액용 내측 리저버 복합 용기로서는 그 내용량이 20리터인 소위 페일 드럼(pail drum)을 이용한 것이 널리 사용되고 있다. 한편, 상술한 바와 같이, 약액의 배출에는 디스펜서를 이용한 방법이 채용되므로 대개 20리터의 약액을 배출할 때마다 용기에 대해서 상기 디스펜서의 착탈을 행할 필요가 있어 매우 번잡한 작업이 강하게 요구되고 있다.

또한, 반도체 분야 등에서 사용되는 약액은 매우 고가이고, 비용면에서 내측 리저버 복합 용기 내에 있어서의 잔액량을 가능한 한 저감하고 싶다는 유저측의 요망도 있다.

본 발명은 이러한 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 번잡 작업의 저감을 도모할 수 있는 60리터 내측 리저버 복합 용기를 제공하는 것, 및 이 60리터 내측 리저버 복합 용기용 약액 배출 튜브를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해서 본 발명은 이하와 같이 구성한다.

즉, 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서의 60리터 내측 리저버 복합 용기는 수지제이고, 취급에 고청정도가 요구되는 약액을 수용하며, 그 수용량이 60리터이고, 상면에 액 출입구부를 형성한 내장 용기와,

강제이고, 통형상의 몸통체에 하부 커버판이 시밍되어 성형된 수납부의 내면을 따라 상기 내장 용기를 수납하며, 또한 상기 액 출입구부가 돌출 가능한 구부용(口部用) 개구를 형성한 상부 커버판을 상기 몸통체에 시밍해서 성형되는 외장 용기를 구비한 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 내장 용기의 상기 액 출입구부는 이 액 출입구부의 외주면에 상기 액 출입구부의 축방향을 따라 유지용 나사와 캡용 나사를 동심원상으로 2단으로 갖고, 상기 유지용 나사는 상기 상면에 근접해서 성형되고 상기 외장 용기의 상기 구부용 개구를 통과하는 직경을 가지며 상기 액 출입구부를 상기 상부 커버판에 유지하는 행거를 나사 결합하기 위한 나사이고, 상기 캡용 나사는 상기 상면으로부터 이간되어 성형되고 상기 유지용 나사보다 작은 지름이며 상기 액 출입구부의 구부를 폐지하는 캡을 나사 결합하기 위한 나사로 구성해도 좋다.

또한, 상기 상부 커버판은 상기 구부용 개구의 주위에 있어서 상기 구부용 개구로부터 상기 상부 커버판의 중앙을 초과하는 영역까지 함몰부를 형성해도 좋다.

또한, 상기 외장 용기는 도장을 생략할 수 있는 전기 아연 도금 강판으로 성형되고, 상기 약액은 반도체 분야 및 액정 분야 중 적어도 한쪽에서 사용되는 약액이며, 상기 내장 용기는 약액용 사양에 의한 고밀도 폴리에틸렌 수지제이며 고품질 관리하에서 블로우 성형해서 구성해도 좋다.

또한, 본 발명의 제 2 실시형태에 있어서의 약액 배출 튜브는 상기 제 1 실시형태에 있어서의 60리터 내측 리저버 복합 용기에 구비되는 내장 용기에 있어서의 액 출입구부에 장착 가능하고, 상기 내장 용기에 수용한 약액을 용기 외부로 배출하는 상기 60리터 내측 리저버 복합 용기용 약액 배출 튜브로서,

가요성이고 내약액성의 수지제이며, 흡액구 근방의 선단 부분에 약액 배출용 용기 내 가압에 따라 상기 60리터 내측 리저버 복합 용기의 하부 커버판에 생기는 변형 부분에 상기 흡액구를 배향시키는 추를 갖는 것을 특징으로 한다.

<발명의 효과>

본 발명의 제 1 실시형태에 있어서의 60리터 내측 리저버 복합 용기에 의하면, 그 수용량은 60리터이므로 종래의 20리터에 대해서 수용량이 증가되고, 약액 배출에 관한 번잡 작업의 저감을 도모할 수 있다.

또한, 상술한 바와 같은 60리터 내측 리저버 복합 용기에 있어서 내장 용기의 액 출입구부에 유지용 나사 및 캡용 나사를 형성했다. 따라서, 상부 커버판의 구부용 개구로부터 돌출되는 내장 용기의 액 출입구부는 유지용 나사에 나사 결합시킨 행거에 의해 돌출된 상태로 상부 커버판에 유지될 수 있다. 따라서, 캡용 나사에 나사 결합하는 캡의 착탈을 용이하게 행할 수 있고, 약액 배출 작업에 관한 작업성을 향상시킬 수 있다.

또한, 상부 커버판에는 구부용 개구의 주위에 함몰부를 형성했다. 따라서, 약액 배출을 위해서 용기 내를 가압하는 경우에도 상부 커버판의 부풀어오름을 방지 또는 억제할 수 있다. 한편, 하부 커버판에는 내가압용의 연구는 시행되고 있지 않다. 따라서, 상기 함몰부와의 상승 효과에 의해 하부 커버판 특히 하부 커버판 중앙부는 상기 가압에 의해 용기 외측으로 부풀어 오를 수 있다. 이 결과, 약액 배출 종료 직전에는 상기 부풀어 오른 변형 부분에 잔액을 모을 수 있어 효율적인 약액 배출이 가능하게 되고, 또한 잔액량의 저감을 도모하는 것도 가능하게 된다.

또한, 내장 용기를 고밀도 폴리에틸렌 수지로 성형함으로써 내약액성 및 높은 크린도를 가질 수 있다. 또한, 약액이 반도체 분야 및 액정 분야 중 적어도 한쪽에서 사용되는 약액이며, 그것에 적합한 품질 관리하에서 블로우 성형된다. 따라서, 내장 용기는 고청정도를 갖고, 반도체 분야 및 액정 분야 중 적어도 한쪽에서 사용되는 약액의 취급에 적합하다. 또한, 외장 용기에 대해서도 전기 아연 도금 강판으로 성형함으로써 외면 도장을 생략할 수 있다. 따라서, 용기 내로의 이물 혼입 등의 가능성을 저감시키고, 내장 용기뿐만 아니라 용기 전체에 있어서 고청정도를 달성하는 것이 가능하다.

또한, 본 발명의 제 2 실시형태에 있어서의 약액 배출 튜브에 의하면 상기 제 1 실시형태의 60리터 내측 리저버 복합 용기에 장착 가능하고, 상기 약액 배출 튜브의 선단 부분에 추를 갖는다. 따라서, 약액 배출 튜브의 흡액구를 외장 용기의 하부 커버판에 있어서의 변형 부분에 배향시키는 것이 가능하게 되고, 상술한 상부 커버판의 함몰부 형성과 더불어, 더욱 효율적인 약액 배출이 가능하게 되고, 또한 잔액량의 저감을 도모하는 것도 가능하게 된다.

도 1은 본 발명의 일실시형태에 있어서의 60리터 내측 리저버 복합 용기의 구조를 나타내는 일부 단면을 포함하는 도면이다.
도 2는 도 1에 나타내는 60리터 내측 리저버 복합 용기의 평면도이다.
도 3은 도 1에 나타내는 60리터 내측 리저버 복합 용기의 사시도이다.
도 4는 도 1에 나타내는 60리터 내측 리저버 복합 용기의 내장 용기의 액 출입구부에 관한 단면도이다.
도 5는 도 1에 나타내는 60리터 내측 리저버 복합 용기를 거꾸로 해서 약액을 배출했을 때의 잔액 상태를 나타내는 도면이다.
도 6은 도 1에 나타내는 60리터 내측 리저버 복합 용기에 구비되는 내장 용기의 변형예의 일례를 나타내는 도면이고, 도 6(A)는 평면도, 도 6(B)는 화살표 B에 따른 측면도, 도 6(C)는 화살표 C에 따른 측면도이다.
도 7은 도 1에 나타내는 60리터 내측 리저버 복합 용기에 구비되는 내장 용기의 다른 변형예를 나타내는 도면이고, 도 7(A)는 평면도, 도 7(B)는 측면도이다.
도 8은 도 1에 나타내는 60리터 내측 리저버 복합 용기에 구비되는 내장 용기의 다른 변형예를 나타내는 도면이고, 도 8(A)는 평면도, 도 8(B)는 측면도이다.
도 9는 도 1에 나타내는 60리터 내측 리저버 복합 용기에 장착 가능한 약액 배출 튜브 및 디스펜서 기구를 나타내는 도면이다.
도 10은 도 1에 나타내는 60리터 내측 리저버 복합 용기에 적용 가능한 경사대를 나타내는 사시도이다.
도 11은 종래의 20리터 내측 리저버 복합 용기의 구조를 나타내는 도면이다.

본 발명의 실시형태인 60리터 내측 리저버 복합 용기에 대해서 도면을 참조하면서 이하에 설명한다. 또한, 각 도면에 있어서 동일하거나 또는 같은 구성 부분에 대해서는 동일한 부호를 붙이고 있다.

도 1~도 4에는 본 실시형태에 있어서의 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)의 구성이 나타내어져 있다. 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)에 있어서도, 종래의 20리터 내측 리저버 복합 용기와 마찬가지로, 수지제의 내장 용기(110)와 이 내장 용기(110)를 수납하는 강제의 외장 용기(120)를 구비한다.

내장 용기(110)는 본체부(111)가 고밀도 폴리에틸렌 수지제이며 자루 형상으로 블로우 성형되고 그 용량이 60리터이며, 본체부(111)의 상면(111a)에는 약액을 출입시키기 위한 액 출입구부(112)가 본체부(111)와 일체적으로 형성되어 있다. 액 출입구부(112)는 본체부(111)의 블로 성형시에 동시에 성형되어도 좋고, 별도 성형되어 본체부(111)에 융착 등에 의해 부착되어도 좋다. 또한, 액 출입구부(112)의 외주면에는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 상기 액 출입구부(112)의 축방향(112a)을 따라 유지용 나사(1121)와 캡용 나사(1122)가 동심원상으로 2단으로 수나사 형상으로 성형되어 있다.

유지용 나사(1121)는 상면(111a)에 근접해서 성형되는 수나사이며, 외장 용기(120)의 상부 커버판(123)에 형성된 구부용 개구(123a)를 통과하는 직경을 갖고, 액 출입구부(112)를 외장 용기(120)의 상부 커버판(123)에 유지하는 행거(113)를 나사 결합하기 위한 나사이다.

캡용 나사(1122)는 상술한 유지용 나사(1121)보다 작은 지름의 수나사이며, 상기 축방향(112a)에 있어서 유지용 나사(1121)보다 상측에 위치하고, 액 출입구부(112)의 구부(112b)를 폐지하는 캡(115)을 나사 결합하기 위한 나사이다.

내장 용기(110)에 수용되는 약액은 수용시도 포함해서 취급에 고청정도가 요구되는 약액이며, 예컨대, 반도체 분야 및 액정 분야 중 적어도 한쪽에서 사용되는 약액이 상당한다. 상술한 바와 같이, 반도체 분야에서의 약액으로서는 예컨대 CMP 슬러리, 포토레지스트, 현상액, 에칭액, 세정액 등이며, 액정 분야에서는 포토레지스트, 컬러 레지스트, 컬러 필터 재료 등이다.

이러한 약액을 수용하는 것이므로 내장 용기(110)에는 높은 청정성이 요구되고, 그 때문에 상술한 바와 같이, 내장 용기(110)는 약액용 사양에 의한 고밀도 폴리에틸렌 수지제이며 고품질 관리하에서 제작된다. 제작후, 즉시, 액 출입구부(112)의 구부(112b)에는 내측 마개(114)가 실시되어 내부가 밀폐되고, 또한, 캡용 나사(1122)에 캡(115)이 나사 결합되어 내측 마개(114)를 밀봉한다.

또한, 후술하는 바와 같이, 수용하고 있는 약액을 배출할 때에는 캡(115) 및 내측 마개(114)가 떼어내지고, 도 9에 나타내는 바와 같이, 디스펜서 기구(200)를 구성하는 플러그 본체(201)가 캡용 나사(1122)에 나사 결합된다.

60리터 내측 리저버 복합 용기(100)의 외장 용기(120)는 원통 형상의 강판으로 이루어지는 몸통체(121)와 강판으로 이루어지는 하부 커버판(122) 및 상부 커버판(123)을 갖는다. 상술한 바와 같이, 상기 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)의 수용물은 취급에 고청정도가 요구되는 약액이므로 외장 용기(120)에 대해서도 범용품에 비해서 높은 청정도에 의한 제조가 요구된다. 따라서, 외장 용기(120)의 몸통체(121), 하부 커버판(122), 및 상부 커버판(123)은 전기 아연 도금 강판을 사용하여 외면 도장을 생략할 수 있게 하고 있다. 이에 따라, 용기 내로의 이물 혼입 등의 가능성을 저감시키고, 내장 용기(110)뿐만 아니라 60리터 내측 리저버 복합 용기(100) 전체에 있어서 고청정도를 달성하고 있다.

몸통체(121)는 그 양단의 직경이 동일하다. 이러한 몸통체(121)와 하부 커버판(122)을 시밍함으로써 수납부(120a)가 형성되고, 수납부(120a) 내에는 상술한 내장 용기(110)가 장전된다. 또한, 수납부(120a)의 크기는 60리터의 수용량을 갖는 내장 용기(110)에 적합한 사이즈이며, 내장 용기(110)는 수납부(120a)의 내면을 따라 또한 접촉해서 수납된다. 수납후, 내장 용기(110)의 상기 액 출입구부(112)의 유지용 나사(1121)가 통과 가능한 크기로 이루어지는 구부용 개구(123a)를 형성한 상부 커버판(123)이 몸통체(121)에 시밍된다. 이 때, 상기 액 출입구부(112)는 상부 커버판(123)의 구부용 개구(123a)로부터 용기 외부로 돌출되고, 상기 행거(113)를 상기 유지용 나사(1121)에 나사 결합함으로써 액 출입구부(112)를 행거(113)에 의해 상부 커버판(123)에 유지시킨다.

행거(113)는 수지 또는 금속제이며 예컨대 판형상의 부재이고, 액 출입구부(112)의 유지용 나사(1121)와 맞물리는 암나사(113a)를 내주면에 형성한 관통 구멍이 형성되고, 상부 커버판(123)의 구부용 개구(123a)를 초과하는 크기의 외주부(113b)를 갖는다. 따라서, 상부 커버판(123)의 구부용 개구(123a)로부터 용기 외측으로 돌출되어 있는 유지용 나사(1121)에 대해서 용기 외측으로부터 행거(113)의 암나사(113a)를 나사 결합시킴으로써 행거(113)의 외주부(113b)가 상부 커버판(123)에 접촉되어 행거(113)는 내장 용기(110)의 액 출입구부(112)를 외장 용기(120)의 상부 커버판(123)에 유지한다. 또한, 행거(113)의 형상은 도면에 나타내는 형상에 한정되는 것은 아니다.

또한, 상부 커버판(123)에는, 도 2 및 도 3에 보다 명확하게 도시되는 바와 같이, 상기 구부용 개구(123a)의 주위에 있어서 상부 커버판(123)을 용기 외측으로부터 내측으로 일률적으로 오목하게 한 함몰부(123b)가 형성되어 있다. 또한, 함몰부(123b)와 상부 커버판(123)은 사면(123d)에 의해 접속하고 있지만 이것에 한정하는 것은 아니고, 예컨대 원호 형상 등이여도 좋다. 이러한 함몰부(123b)는 구부용 개구(123a) 근방으로부터 상부 커버판(123)의 중앙을 초과한 영역(123c)까지 형성된다. 이것은, 이하에 설명하는 용기 내 가압에 의해 상부 커버판(123)에서는 중앙 부분이 가장 변형되기 쉽기 때문이다. 또한, 본 실시형태에서는 함몰부(123b)는, 도면에 나타내는 바와 같이, 상기 액 출입구부(112) 부분에 비해서 상기 영역(123c) 부분이 좁은 거의 난형(卵形) 형상이지만 이 형상에 한정되는 것은 아니고, 예컨대, 영역(123c) 부분에 있어서도 액 출입구부(112) 부분과 동등한 크기를 갖는 타원 형상 등이여도 좋다.

종래의 내측 리저버 복합 용기와 마찬가지로, 본 실시형태에 있어서의 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)에 있어서도 수용물인 상기 약액의 배출은 용기(100) 내로의 불활성 가스의 주입에 의한 가압에 의해 행할 수 있다. 상기 함몰부(123b)는 상기 가압시에 있어서의 상부 커버판(123)의 부풀어오름 변형을 방지 또는 억제하기 위한 것이고, 또한, 이하에 기재하는 바와 같이, 하부 커버판(122)에 변형 부분(129)이 생기게 하는 것이기도 하다.

한편, 도 1에 나타내는 바와 같이, 하부 커버판(122)에는 함몰부(123b)와 같은 변형 방지용 연구는 실시되고 있지 않고 평판인 채이다. 또한, 하부 커버판(122) 및 상부 커버판(123)은 동일한 재료로 동일한 판 두께의 강판을 사용한다. 따라서, 상기 가압시에는 상기 함몰부(123b)에 의한 상부 커버판(123)의 변형 곤란에 의해 상기 함몰부(123b)를 형성하지 않은 경우에 비해서 하부 커버판(122) 전체 특히 하부 커버판(122)의 중앙부는 용기 외측으로 보다 부풀어 오를 수 있다. 이와 같이 부풀어 오른 부분을 설명상 변형 부분(129)(도 9)이라고 한다. 이 결과, 약액 배출 종료 직전에는 하부 커버판(122)에 있어서의 변형 부분(129)에 잔액을 모을 수 있다. 따라서, 효율적인 약액 배출이 가능하게 되고, 또한 잔액량의 저감을 도모하는 것도 가능하게 된다. 이 관점으로부터, 함몰부(123b)는 하부 커버판(122)에 변형 부분(129)을 형성시키는 위한 것, 또한 잔액량 저감을 도모하기 위한 것이라고도 말할 수 있다.

또한, 본 실시형태에서는 상술한 바와 같이 함몰부(123b)를 형성함으로써 상부 커버판(123)의 변형 방지 및 하부 커버판(122)의 변형 촉진을 도모했지만, 이들 목적 달성을 위해서는 함몰부(123b)에 한정되는 일은 없고, 예컨대 상부 커버판(123)에 리브를 설치하는 등의 수단을 실시해도 좋다.

또한, 도 1 및 도 3에 명확하게 나타내어지는 바와 같이, 상기 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)의 상단(101)에 대해서 상부 커버판(123)은 1단 낮게 위치하고, 또한 함몰부(123b)에 의해 행거(113)의 설치 위치는 더욱 1단 낮게 되어 있다. 따라서, 함몰부(123b)를 형성함으로써, 도 1에 명확하게 나타내어지는 바와 같이, 액 출입구부(112)의 캡용 나사(1122)에 캡(115)을 나사 삽입한 상태에서는 캡(115)의 상면을 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)의 상단(101) 이하에 위치시킬 수 있다. 이에 따라, 예컨대 상기 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)를 겹쳐 쌓은 경우에 있어서도 캡(115)의 손상 등을 방지할 수 있다는 효과가 있다.

또한, 상부 커버판(123)의 외면에는, 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 용기 취급용 손잡이(124)가 2개 이상 부착되어 있다. 도 2에서는 손잡이(124)를 2개소에 설치했을 경우, 도 3에서는 3개소에 설치했을 경우를 도시하고 있다.

또한, 도 1에 나타내는 바와 같이, 몸통체(121)의 표면에도 상부 커버판측과 하부 커버판측 2개소에 몸통체(121)의 강성을 높여 몸통체(121)의 변형을 방지, 억제하기 위한 원형 띠(121a)를 몸통체(121)의 둘레 방향을 따라 형성하고 있다.

이와 같이 해서, 강제의 외장 용기(120) 내에 수지제의 내장 용기(110)를 수납한 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)가 제작된다.

이러한 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)에 대해서 상부 커버판(123)으로부터 돌출된 상기 액 출입구부(112)를 통해서 내장 용기(110) 내로 상기 약액이 주입된다. 주입후, 액 출입구부(112)의 구부(112b)에 내측 마개(114)가 실시되고, 또한 캡(115)이 캡용 나사(1122)에 나사 결합되어 약액의 밀폐가 도모된다.

이와 같이 구성된 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)를 사용함으로써 종래의 20리터에 대한 수용량의 증가에 의해 약액 배출 작업 빈도는 줄어들어 번잡 작업의 저감을 도모할 수 있다.

60리터 내측 리저버 복합 용기(100)에 수용된 상기 약액의 배출은 중량 및 작업성의 관점으로부터, 통상, 용기 내를 가압함으로써 행해지지만, 약액 잔량이 극소량이 되었을 경우 등, 상기 액 출입구부(112)를 아래로 용기(100)를 반전시켜서 행하는 것도 고려된다. 그러나, 이러한 경우이여도 액 출입구부(112) 근방의 내장 용기(110) 어깨부에는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 약액(108)이 잔류되기 쉽다.

이와 같은 약액 잔류를 최대한 없애기 위해서 내장 용기는 이하의 구성을 채용해도 좋다. 즉, 도 6에 나타내는 내장 용기(110-1)와 같이, 액 출입구부(112) 근방의 내장 용기(110-1) 어깨부에는 내장 용기(110-1)의 외측으로부터 내측으로 오목한 오목부(130)를 형성했다. 또한, 도 6에 있어서 도 6(A)는 내장 용기(110-1)의 평면도, 도 6(B)는 도 6(A)에 있어서의 화살표 B 방향으로부터 바라본 측면도, 도 6(C)는 도 6(A)에 있어서의 화살표 C 방향으로부터 바라본 측면도이다. 또한, 내장 용기(110-1)의 상면(111a)에 형성되는 사면에 131,132의 도면번호를 붙인다.

오목부(130)는 상면(111a)의 어깨부이며, 또한 상면(111a)의 중심과 액 출입구부(112)의 중심을 지나는 선분의 양측에 형성되어 있다. 이러한 오목부(130)는 내장 용기(110-1)를 성형할 때의 블로 성형에 의해 용이하게 형성 가능하다.

이러한 오목부(130)를 형성함으로써 용기를 기울여서 약액을 배출할 경우, 약액이 체류하고 있었던 부분에 오목부(130)가 형성되어 있으므로 약액은 체류하지 않고 액 출입구부(112)로부터 배출되어 잔액량을 삭감하는 것이 가능하게 된다.

상면(111a)과 오목부(130)를 접속하는 사면(132)의 각도는 약 45도이다. 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)의 낙하시 또는 용기 내의 액압에 의해 상면(111a)과 오목부(130)의 접속부는 강도적으로 약해지지만 이 부분을 사면(132)으로 함으로써 충격을 완화할 수 있다. 사면(132)의 상단과 하단 각각을 원호상으로 형성하는 것이 바람직하다. 이 원호 형상의 형성에 의해 상면(111a)과 오목부(130)의 접속부 강도가 향상되어 내장 용기(110)의 손상을 방지, 저감할 수 있다.

평면 형상에 있어서 오목부(130)의 코너부(130a,130b,130c)도 원호상으로 형성하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성함으로써 상면(111a)과 오목부(130)의 접속부 강도가 한층 향상된다.

도면에는 나타내지 않지만, 외장 용기(120)와 내장 용기(110-1)에 있어서의 오목부(130)의 간극 부분에는 스페이서가 설치되는 것이 바람직하다. 스페이서로서, 예컨대 폴리스티렌 발포체가 사용 가능하다. 오목부(130)를 형성하면 내장 용기(110-1)의 강도 저하가 우려되지만 상기 간극 부분에 스페이서를 개재시킴으로써 보강된다.

또한, 오목부(130)의 변형예로서 도 7에 나타내는 오목부(135)를 구성할 수도 있다. 또한, 도 7(A)는 내장 용기(110-2)의 평면도, 도 7(B)는 측면도이다. 오목부(135)는 액 출입구부(112) 근방의 내장 용기(110-2) 어깨부(점선 부분)를 모따기하여 사면 형상으로 형성해서 이루어진다. 오목부(135)에 의해서도 잔액량을 삭감시킬 수 있다. 또한 사면에 한정되지 않고 어깨부분에 있어서의 원호부를 종래보다 크게 함으로써도 상당한 효과를 발휘한다.

또한 오목부(130)의 변형예로서 도 8에 나타내는 구성을 채용할 수도 있다. 또한, 도 8(A)는 내장 용기(110-3)의 평면도, 도 8(B)는 측면도이다. 내장 용기(110-3)에서는 액 출입구부(112)를 내장 용기(110-3)의 측벽측에 근접시키고, 상면(111a)의 중심과 액 출입구부(112)의 중심을 지나는 선분의 연장선상의 어깨부분을 종래의 어깨부분(점선)의 원호(R)보다 크게 하고, 상기 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)를 기울여서 약액을 배출할 때에 약액이 어깨부분에 체류하지 않도록 구성한다. 이와 같은 구성에 있어서도 잔액량을 삭감할 수 있다. 또한, 원호(R)를 크게 하는 대신에 이 부분을 사면으로 해도 좋다. 또한, 이 예의 경우, 액 출입구부(112)가 내장 용기(110-3)의 측벽측에 근접되어 있으므로 외장 용기(120)의 형상은 그에 따라 바꿀 필요가 있다.

이어서, 상술한 바와 같이 구성되는 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)의 액 출입구부(112)에 장착 가능하고, 내장 용기(110) 내에 수용되어 있는 약액을 용기 밖으로 배출하는 약액 배출 튜브에 대해서 도 9를 참조해서 이하에 설명한다.

약액 배출 튜브(150)는 가요성이고 내약액성의 수지제이며, 예컨대 테플론(등록상표)으로 성형되고, 예컨대 직경 8㎜ 정도이고, 액 출입구부(112)로부터의 용기 내에서의 길이에 대해서 하부 커버판(122)에 접하는 내장 용기(110)의 저부(111b)에 선단에 위치하는 흡액구(151)가 접하고, 또한 흡액구(151)가 상기 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)에 있어서의 하부 커버판(122)의 중앙부까지 위치할 정도의 길이를 갖는다. 또한, 흡액구(151)는, 본 실시형태에서는 도면에 나타내는 바와 같이, 약액 배출 튜브(150)의 축방향에 대해서 약액 배출 튜브(150)의 직경 방향 전부에 걸쳐서 비스듬히 교차한 단면으로 이루어진다. 또한, 흡액구(151)는 약액 배출 튜브(150)의 상기 직경 방향의 일부분만이 또는 복수의 개소가 경사지게 커팅된 단면으로 형성되어도 좋다.

또한 약액 배출 튜브(150)는 흡액구(151) 근방의 선단 부분(152)에 약액 배출용 용기 내 가압에 따라 용기 외측으로 하부 커버판(122)이 부풀어 올라진 하부 커버판(122)의 변형 부분(129)으로 중력 작용에 의해 흡액구(151)를 배향시키는 추(153)를 갖는다. 추(153)는 용기 내에 수용되는 약액과 화학적으로 반응하지 않는 금속 재료제이며, 예컨대 사각 형상 또는 원형상의 판재에 의해 그 중앙부에 약액 배출 튜브(150)를 감합시킬 수 있는 관통 구멍이 형성된 부재, 또는 원통 형상의 부재로 형성되어 있고, 약액 배출 튜브(150)의 탄력에 의해 상기 선단 부분(152)에 유지된다. 또한, 추(153)의 형상 및 부착 위치는 추(153)를 부착함으로써 추(153)의 두께만큼 흡액구(151)가 내장 용기(110)의 저부(111b)로부터 이간되는 결과가 되지 않도록 적절하게 선택된다. 일례로서 본 실시형태에서는, 추(153)는 원통 형상이며, 내경 부분에 약액 배출 튜브(150)를 삽입 통과시켜 흡액구(151)의 근방에 부착하고 있다. 또한, 추(153)의 무게는 바람직하게는 55∼65g정도이고, 본 실시형태에서는 60g이다.

상기 선단 부분(152)은, 반대측의 약액 배출 튜브(150)의 타단은 예컨대 도 9에 나타내는 바와 같은 디스펜서 기구(200)에 접속된다. 디스펜서 기구(200)는 내장 용기(110) 내에 수용되어 있는 약액을 용기 밖으로 배출하는 기구이고, 도 9에서는 60리터 내측 리저버 복합 용기(100) 내에 질소 가스 등의 불활성 가스를 주입해서 가압함으로써 약액을 압출하는 가압 방식의 구성을 나타내고 있다. 약액을 펌프 등의 흡인 장치로 빨아올리는 펌프 업 방식을 채용할 수도 있다.

가압 방식의 디스펜서 기구(200)는 크게 나누어서 원통 형상의 플러그 본체(201)와, 가압한 불활성 가스를 내장 용기(110) 내에 공급하는 가스 공급 장치(202)와, 상술한 약액 배출 튜브(150)를 갖는다.

플러그 본체(201)는 상술한 캡(115)을 떼어낸 후에 액 출입구부(112)에 부착되는 예컨대 수지제의 플러그이며, 커플링 링(201r)과 플러그 쉘(201s)과 밀봉 링(2012)으로 구성된다. 커플링 링(201r)은 원통 형상의 부재이며, 일단이 원형으로 개구되어 있고, 이 개구의 내주면에는 액 출입구부(112)에 형성된 캡용 나사(1122)에 맞물리는 암나사(2011)를 형성하고 있다. 따라서, 플러그 본체(201)의 커플링 링(201r)은 액 출입구부(112)의 캡용 나사(1122)에 나사 결합할 수 있고, 또한, 커플링 링(201r)의 외주에는 주름 널링 부분이 형성되어 있고, 플러그 본체(201)를 액 출입구부(112)에 확실하게 나사 결합할 수 있다.

또한, 커플링 링(201r)의 타단도 원형으로 개구되어 있고, 이 개구에는 커플링 링(201r)에 대해서 회전 가능하게 플러그 쉘(201s)이 감입된다. 즉, 플러그 쉘(201s)은 플랜지를 형성한 원판 형상의 부재이고, 커플링 링(201r)의 일단측의 개구로부터 삽입되어 상기 플랜지가 커플링 링(201r)에 접촉해서 커플링 링(201r)의 상기 타단의 개구에 감입된다. 또한, 커플링 링(201r)에 밀봉 링(2012)을 장착해서 상술한 바와 같이 커플링 링(201r)을 액 출입구부(112)의 캡용 나사(1122)에 나사 결합함으로써 밀봉 링(2012)은 액 출입구부(112)의 구부(112b)를 밀봉하고, 또한, 플러그 쉘(201s)의 상기 플랜지는 밀봉 링(2012)과 커플링 링(201r) 사이에 끼워진다. 이에 따라, 밀봉 링(2012)은 커플링 링(201r)과 플러그 쉘(201s)의 경계의 통기도 밀봉한다.

상기 플러그 쉘(201s)에는 약액 배출 튜브(150)의 타단을 착탈 가능하게 고정하는 합성수지제의 제 1 조인트(203)와, 가스 공급 장치(202)를 접속하기 위한 제 2 조인트(204)가 나사 삽입된다.

제 1 조인트(203)는 시판의 스트레이트 타입의 홀더를 이용할 수 있고, 플러그 본체(201)에 대해서 약액 배출 튜브(150)를 그 축방향을 따라 슬라이딩 가능하게 유지하고, 또한 너트를 단단히 조임으로써 고정할 수 있다. 따라서, 제 1 조인트(203)를 이용해서 약액 배출 튜브(150)의 흡액구(151)가 상술한 바와 같이 하부 커버판(122)의 중앙부까지 위치하도록 길이 및 위치 조정이 가능하다.

제 2 조인트(204)는 플러그 본체(201)의 커플링 링(201r)에 있어서의 개구(2013)에 접속하는 L자형(엘보형)의 합성수지제의 조인트이고, 시판의 엘보형 퀵 조인트(quick joint)를 사용할 수 있다.

가스 공급 장치(202)에 접속한 호스를 제 2 조인트(204)에 접속함으로써 가스 공급 장치(202)는 내장 용기(110)의 내부로 가압한 불활성 가스를 공급할 수 있다.

이상과 같이 구성되는 디스펜서 기구(200)를 사용함으로써 가스 공급 장치(202)에 의해 내장 용기(110)의 내부가 예컨대 약 100Kpa ~ 약 150Kpa 정도까지의 범위로 가압되고, 내장 용기(110)에 수용되어 있는 약액을 약액 배출 튜브(150)를 통해서 용기 외부로 압출해서 배출하는 것이 가능하게 된다.

또한 디스펜서 기구(200)를 사용해서 약액을 용기 외부로 배출할 때, 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)를 적재해서 경사지게 하는 이하에 설명하는 바와 같은 경사대를 이용할 수도 있다.

즉, 도 10에 나타내는 경사대(250)는 본체(251)와 1쌍의 전도 방지 폴(252)을 구비한다. 본체(251)는 스테인레스판 등의 금속판으로 형성되고, 수평면이 되는 바닥면에 대해서 10~15도 정도로 경사진 사면(251a)을 형성하고 있다. 사면(251a)에는 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)의 액 출입구부(112)를 사면(251a)의 낮은 쪽으로 배향하도록 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)가 적재된다. 여기서, 경사 각도가 15도를 초과하면 액 넘침이 발생될 가능성이 높아져 바람직하지 못하다.

또한, 1쌍의 전도 방지 폴(252)은 스테인레스 등의 금속제 환봉으로 이루어지고, 사면(251a)의 낮은 쪽에 세워 설치하고 있다.

상술한 바와 같은 경사대(250)를 이용해서 액 출입구부(112)를 낮은 쪽으로 배향해서 60리터 내측 리저버 복합 용기(100)를 경사지게 함으로써 약액 배출시에 내장 용기(110) 내의 약액을 액 출입구부(112)측에 모을 수 있고, 상술한 추(153)를 설치한 약액 배출 튜브(150)와의 상호 작용에 의해 잔액량의 저감을 도모할 수 있다.

본 발명은 강제의 외측 용기 내에 수지제의 내측 용기를 설치한 용량 60리터의 내측 리저버 복합 용기, 및 이 60리터 내측 리저버 복합 용기용 약액 배출 튜브에 적용 가능하다.

100 … 60리터 내측 리저버 복합 용기
110 … 내장 용기 111a … 상면
112 … 액 출입구부 112b … 구부
113 … 행거 115 … 캡
120 … 외장 용기 120a … 수납부
121 … 몸통체 122 … 하부 커버판
123 … 상부 커버판 123a … 구부용 개구
123b … 함몰부 150 … 약액 배출 튜브
151 … 흡액구 153 … 추
1121 … 유지용 나사 1122 … 캡용 나사

Claims

수지제이고, 취급에 고청정도가 요구되는 약액을 수용하며, 그 수용량이 60리터이고, 상면(111a)에 액 출입구부(112)를 형성한 내장 용기(110); 및
강제이고, 통형상의 몸통체(121)에 하부 커버판(122)이 시밍되어 성형된 수납부(120a)의 내면을 따라 상기 내장 용기를 수납하고, 또한 상기 액 출입구부가 돌출 가능한 구부용 개구(123a)를 형성한 상부 커버판(123)을 상기 몸통체에 시밍해서 성형되는 외장 용기(120)를 구비하고,
상기 상부 커버판은 상기 구부용 개구의 주위에 있어서 상기 구부용 개구로부터 상기 상부 커버판의 중앙을 초과한 영역(123c)까지 함몰부(123b)가 형성된 것을 특징으로 하는 60리터 내측 리저버 복합 용기.
제 1 항에 있어서,
상기 내장 용기의 상기 액 출입구부는 이 액 출입구부의 외주면에 상기 액 출입구부의 축방향(112a)을 따라 유지용 나사(1121)와 캡용 나사(1122)를 동심원상으로 2단으로 갖고, 상기 유지용 나사는 상기 상면에 근접해서 성형되고 상기 외장 용기의 상기 구부용 개구를 통과하는 직경을 가지며 상기 액 출입구부를 상기 상부 커버판에 유지하는 행거(113)를 나사 결합하기 위한 나사이고, 상기 캡용 나사는 상기 상면으로부터 이간되어 성형되고 상기 유지용 나사보다 작은 지름이며 상기 액 출입구부의 구부(112b)를 폐지하는 캡(115)을 나사 결합하기 위한 나사인 것을 특징으로 하는 60리터 내측 리저버 복합 용기.
삭제
제 1 항에 있어서,
상기 외장 용기는 도장을 생략할 수 있는 전기 아연 도금 강판으로 성형되고, 상기 약액은 반도체 분야 및 액정 분야 중 적어도 한쪽에서 사용되는 약액이며, 상기 내장 용기는 약액용 사양에 의한 고밀도 폴리에틸렌 수지제이며 고품질 관리하에서 블로우 성형되는 것을 특징으로 하는 60리터 내측 리저버 복합 용기.
제 1 항에 기재된 60리터 내측 리저버 복합 용기에 구비되는 내장 용기(110)에 있어서의 액 출입구부(112)에 장착 가능하고, 상기 내장 용기에 수용한 약액(108)을 용기 외부로 배출하는 상기 60리터 내측 리저버 복합 용기용 약액 배출 튜브(150)로서:
가요성이고 내약액성의 수지제이며, 흡액구(151) 근방의 선단 부분(152)에 약액 배출용 용기 내 가압에 따라 상기 60리터 내측 리저버 복합 용기의 하부 커버판(122)에 생기는 변형 부분(129)으로 상기 흡액구를 배향시키는 추(153)를 갖는 것을 특징으로 하는 약액 배출 튜브.