KR101621654B1 - 플라즈마 발생 장치 - Google Patents
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Abstract
플라즈마 발생 장치가 제공된다. 상기 플라즈마 발생 장치는, 제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 갖는 플렉시블 필름, 상기 플렉시블 필름의 상기 제1 면 상의 광 촉매층, 상기 광 촉매층 상의 접착 베리어 패턴, 및 상기 접착 베리어 패턴 상에 배치되고, 외부로부터 전력을 공급받아, 상기 광 촉매층과 직접적으로 접촉되는 플라즈마를 생성하는 전극 패턴을 포함한다.
Description
본 발명은 플라즈마 발생 장치에 관련된 것으로, 보다 상세하게는, 광 촉매층과 직접적으로 접촉되는 플라즈마를 발생하는 장치에 관련된 것이다.
일반적으로 물질은 고체, 액체, 기체의 여러 가지 상태가 있으며 그들 상태의 기본적인 구성요소는 원자 혹은 원자가 여러 개 모인 분자 또는 화합물이다. 플라즈마는 원자, 분자, 또는 화합물을 구성하는 전자가 핵의 구속력에서 벗어나 자유롭게 움직이며 돌아다니는 상태이다.
보통의 상온 및 상압에서, 고체 상태의 물질에 에너지를 주어 고온으로 만들면 용해되어 액체 상태가 된다. 액체 상태의 물질에 에너지를 더 주어 고온으로 만들면 증발하여 기체 상태가 되고, 기체 상태의 물질에 에너지를 더 주게 되면 제 4 의 상태 (the fourth state of matter)라 불리는 플라즈마 상태가 된다.
플라즈마는 반도체 증착 공정, Gas Laser, Display, 의료 기기 등 다양한 분야에 광범위하게 활용되고 있다. 예를 들어, 대한민국 특허 공개 공보 10-2014-0128479(출원번호 10-2013-0046076, 출원인 피에스케이 주식회사)에는 챔버 내에서 발생되는 플라즈마의 균일도를 조절하여, 기판 처리 공정의 수율을 개선할 수 있는 플라즈마 발생 장치가 개시되어 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 고신뢰성의 플라즈마 발생 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 기술적 과제는 살균 효과가 향상된 플라즈마 발생 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 기술적 과제는 플렉시블한 플라즈마 발생 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 기술적 과제는 수명 특성이 향상된 플라즈마 발생 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 상술된 것에 제한되지 않는다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 플라즈마 발생 장치를 제공한다.
일 실시 예에 따르면, 상기 플라즈마 발생 장치는, 제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 갖는 플렉시블 필름, 상기 플렉시블 필름의 상기 제1 면 상의 광 촉매층, 상기 광 촉매층 상의 접착 베리어 패턴, 및 상기 접착 베리어 패턴 상에 배치되고, 외부로부터 전력을 공급받아, 상기 광 촉매층과 직접적으로 접촉되는 플라즈마를 생성하는 전극 패턴을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 접착 베리어 패턴은, 상기 전극 패턴을 상기 광 촉매층에 접착시키고, 상기 플렉시블 필름 및 상기 광 촉매층에 함유된 산소, 또는 수분이 상기 전극 패턴으로 확산되는 것을 방지하는 것을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 접착 베리어 패턴은, 상기 광 촉매층 상에 서로 이격되어 배치된 제1 및 제2 접착 베리어 패턴들을 포함하고, 상기 전극 패턴은, 상기 제1 및 제2 접착 베리어 패턴들 상에 각각 배치된 제1 및 제2 전극 패턴들을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 제1 및 제2 전극 패턴들 사이에 상기 플라즈마가 생성될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 플라즈마 발생 장치는, 상기 플렉시블 필름의 상기 제2 면 상의 추가 접착 베리어 패턴, 및 상기 추가 접착 베리어 패턴 상의 추가 전극 패턴을 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 플라즈마 발생 장치는, 제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 갖는 플렉시블 필름, 상기 플렉시블 필름의 상기 제1 면 상의 광 촉매층, 상기 광 촉매층 상에 배치되고, 대상물과 접착되는 접착 패턴, 및 상기 제2 면 상에 배치되고, 외부로부터 공급된 전력을 이용하여, 상기 광 촉매층과 직접적으로 접촉하는 플라즈마를, 상기 광 촉매층과 상기 대상물 사이에 발생시키는 전극층을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 플라즈마 발생 장치는, 상기 전극층과 상기 대상물에 전력을 공급하여, 상기 전극층 및 상기 대상물 사이에 전기장을 형성하는 전원부를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 대상물은 생명체의 피부 조직을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 전극층은, 상기 플렉시블 필름의 상기 제2 면 상에 서로 이격되어 배치된 제1 전극 패턴 및 제2 전극 패턴을 포함하고, 상기 플라즈마 발생 장치는, 상기 제1 전극 패턴 및 상기 제2 전극 패턴에 전력을 공급하는 전원부를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 플라즈마 발생 장치는, 상기 전극층 및 상기 플렉시블 필름 사이의 접착 베리어층을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 플라즈마 발생 장치는, 플렉시블 필름 상의 광 촉매층, 상기 광 촉매층 상의 접착 베리어 패턴, 및 상기 접착 베리어 패턴 상에 배치되어 상기 광 촉매층과 직접적으로 접촉하는 플라즈마를 생성하는 전극 패턴을 포함한다. 상기 플라즈마가 상기 광 촉매층과 직접적으로 접촉되어, 살균 효과가 향상된 플라즈마 발생 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 접착 베리어 패턴에 의해 상기 전극 패턴이 상기 플렉시블 필름에 용이하게 부착되어, 플렉시블한 플라즈마 발생 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 광 촉매층 및 상기 플렉시블 필름에서 상기 전극 패턴으로 수분 및/또는 산소가 확산되는 것이 방지되고, 상기 광 촉매층에 의해 상기 플렉시블 필름이 상기 플라즈마와 접촉되지 않아 상기 플렉시블 필름의 손상이 방지되어, 고신뢰성 및 장수명의 플라즈마 발생 장치가 제공될 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시 예의 변형 예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 3 내지 도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 플라즈마 발생 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시 예의 변형 예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시 예의 변형 예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 3 내지 도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 플라즈마 발생 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시 예의 변형 예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명할 것이다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 여기서 설명되는 실시 예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화 될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
또한, 본 명세서의 다양한 실시 예 들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서, 어느 한 실시 예에 제 1 구성요소로 언급된 것이 다른 실시 예에서는 제 2 구성요소로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시 예는 그것의 상보적인 실시 예도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다.
명세서에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 또한, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하는 것으로 이해되어서는 안 된다.
또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 플라즈마 발생 장치는, 플렉시블 필름(flexible film,110), 광 촉매층(120), 접착 베리어 패턴(adhesion barrier pattern, 131, 132), 전극 패턴(141, 142), 및 전원부(150)를 포함할 수 있다.
상기 플렉시블 필름(110)은 제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 포함할 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 상기 플렉시블 필름(110)은 플라스틱 기판(폴리머 기판)일 수 있다. 예를 들어, 상기 플렉시블 필름(110)은 PET(polyethyleneterephthalate), PI(Polyimide), PC(Polycarbonate), PEN(Polyethylene naphthalate) 중에서 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 상기 플렉시블 필름(110)의 두께는 12~50μm일 수 있다.
상기 광 촉매층(120)이 상기 플렉시블 필름(110)의 상기 제1 면 상에 배치될 수 있다. 상기 광 촉매층(120)은, 후술되는 바와 같이, 플라즈마(160)에 의해, 산화 환원 반응을 일으키고, 이로 인해, OH-기를 생성하여, 대상물(170)의 용이하게 살균할 수 있다. 상기 광 촉매층(120)은 접착력을 가질 수 있고, 수분 투과를 방지할 수 있다. 또한, 상기 광 촉매층(120)은, 상기 접착 베리어 패턴(131, 132) 및 상기 전극 패턴(141, 142)과 식각 선택비를 갖는 물질로 형성될 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 상기 광 촉매층(120)은 탄소를 포함하지 않는 비탄소막으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 광 촉매층(120)은 TiO2, ZnO, Nb2O5, WO3, SnO2, ZnO2, SrTiO3, KTaO3, CdS, ZnS, CdSe, GaP, CdTe, MoSe2, 또는 WSe2 중에서 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
상기 접착 베리어 패턴(131, 132)이 상기 광 촉매층(120) 상에 배치될 수 있다. 다시 말하면, 상기 접착 베리어 패턴(131, 132) 및 상기 플렉시블 필름(110) 사이에 상기 광 촉매층(120)이 배치될 수 있다. 상술된 바와 같이, 상기 광 촉매층(120)은 접착력을 가질 수 있다. 이로 인해, 상기 접착 베리어 패턴(131, 132)이 상기 광 촉매층(120)에 용이하게 부착될 수 있다.
상기 접착 베리어 패턴(131, 132)은, 상기 광 촉매층(120) 및 상기 플렉시블 필름(110)에 포함된 수분 및 산소가 상기 전극층(141, 142)으로 확산되는 것을 방지할 수 있다. 상술된 바와 같이, 상기 접착 베리어 패턴(131, 132)은 상기 광 촉매층(120)과 식각 선택비를 갖는 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 접착 베리어 패턴(131, 132)은 NiCr, Cr, 또는 NiCu 등으로 형성될 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 상기 접착 베리어 패턴(131, 132)의 두께는 8~20nm 일 수 있다.
상기 접착 베리어 패턴(131, 132)은, 상기 광 촉매층(120) 상에, 서로 이격되어 배치된 제1 접착 베리어 패턴(131) 및 제2 접착 베리어 패턴(132)을 포함할 수 있다.
상기 전극 패턴(141, 142)이 상기 접착 베리어 패턴(131, 132) 상에 배치될 수 있다. 다시 말하면, 상기 접착 베리어 패턴(131, 132)이 상기 전극 패턴(141, 142) 및 상기 광 촉매층(120) 사이에 배치될 수 있다.
상기 전극 패턴(141, 142)은 상기 전원부(150)와 연결되어, 상기 플라즈마(160)를 발생시킬 수 있다. 상술된 바와 같이, 상기 전극 패턴(141, 142)은 상기 광 촉매층(120)과 식각 선택비를 갖는 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 전극 패턴(141, 142)은 금속(예를 들어, 구리, 알루미늄), 또는 전도성 금속 산화물(예를 들어, 투명 전도성 금속 산화물) 등으로 형성될 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 상기 전극 패턴(141, 142)의 두께는 2~12μm일 수 있다.
상기 접착 베리어 패턴(131, 132)은, 상기 전극 패턴(141, 142)을 상기 광 촉매층(120)에 접착시킬 수 있다. 이로 인해, 굴곡이 있는 대상물에 용이하게 부착이 가능한, 플렉시블한 플라즈마 발생 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상술된 바와 같이, 상기 접착 베리어 패턴(131, 132)은 상기 플렉시블 필름(110) 및 상기 광 촉매층(120)에 함유된 산소 또는 수분이 상기 전극 패턴(141, 142)으로 확산되는 것을 방지할 수 있다. 이로 인해, 상기 플렉시블 필름(110) 및 상기 광 촉매층(120)으로부터 상기 전극 패턴(141, 142)으로 수분 및 산소가 확산되는 것이 최소화되어, 플라즈마 발생 장치의 신뢰성 및 수명 특성이 향상될 수 있다.
상기 전극 패턴(141, 142)은 상기 제1 접착 베리어 패턴(131) 및 상기 제2 접착 베리어 패턴(132) 상에 각각 배치된 제1 전극 패턴(141) 및 제2 전극 패턴(142)을 포함할 수 있다. 상기 전극 패턴(141, 142) 및 상기 접착 베리어 패턴(131, 132)은 서로 동일한 공정에서 제공될 수 있다. 예를 들어, 상기 전극 패턴(141, 142) 및 상기 접착 베리어 패턴(131, 132)은 동일한 식각 공정에서 형성될 수 있다. 이로 인해, 상기 제1 접착 베리어 패턴(131) 및 상기 제1 전극 패턴(141)의 폭(width)은 서로 동일하고, 상기 제2 접착 베리어 패턴(132) 및 상기 제2 전극 패턴(142)의 폭은 서로 동일할 수 있다. 다시 말하면, 상기 제1 접착 베리어 패턴(131) 및 상기 제1 전극 패턴(141)의 측벽(sidewall)들이 서로 공면(coplanar)을 이루고, 상기 제2 접착 베리어 패턴(132) 및 상기 제2 전극 패턴(142)의 측벽들이 서로 공면을 이룰 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 플라즈마 발생 장치는 상기 대상물(170)에 부착되어, 상기 대상물(170)과 접촉하는 상기 플라즈마(160)를 발생시킬 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 상기 대상물(190)은 생명체의 피부 조직일 수 있다. 상기 플라즈마(160)는 상기 제1 전극 패턴(141) 및 상기 제2 전극 패턴(142) 사이에서 생성되고, 상기 광 촉매층(120)과 직접적으로 접촉(directly contact)될 수 있다. 이로 인해, 상기 광 촉매층(120)은, 상기 플라즈마(160)의 UV광 등에 의해, OH-기를 용이하게 생성할 수 있다. 이에 따라, 상기 대상물(170)이 상기 플라즈마(160) 및 상기 광 촉매층(120)에서 생성된 OH-기에 의해 용이하게 살균될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 플렉시블 필름(110)은, 상기 광 촉매층(120)에 의해 상기 플라즈마(160)로부터 이격되어, 상기 플라즈마(160)와 접촉되지 않을 수 있다. 이로 인해, 상기 플렉시블 필름(110)의 손상이 방지될 수 있다.
만약, 상술된 본 발명의 실시 예와 달리, 상기 플렉시블 필름(110)이 상기 플라즈마(160)와 직접적으로 접촉되는 경우, 유기물로 형성된 상기 플렉시블 필름(110)은 상기 플라즈마(160)에 의해 식각되어 파티클(particle)이 생성되 수명 특성이 저하될 수 있다.
하지만, 상술된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 플렉시블 필름(110) 및 상기 플라즈마(160) 사이에 비탄소막으로 형성된 상기 광 촉매층(120)에 배치되어, 상기 플렉시블 필름(110)이 상기 플라즈마(160)에 의해 식각되는 것이 방지되어, 고신뢰성 및 장수명의 플라즈마 발생 장치가 제공될 수 있다.
상술된 본 발명의 제1 실시 예와 달리, 제1 실시 예의 변형 예에 따르면, 상기 플렉시블 필름(110)의 상기 제2 면 상에 추가 접착 베리어 패턴 및 추가 전극 패턴이 더 배치될 수 있다. 이하, 본 발명의 제1 실시 예의 변형 예에 따른 플라즈마 발생 장치가 도 2를 참조하여 설명된다.
도 2는 본 발명의 제1 실시 예의 변형 예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 제1 실시 예의 변형 예에 따른 플라즈마 발생 장치는, 도 1을 참조하여 설명된 플렉시블 필름(110), 광 촉매층(120), 접착 베리어 패턴(131, 132), 전극 패턴(141, 142), 및 전원부(150) 외에, 추가 접착 베리어 패턴(additional adhesion barrier pattern, 180) 및 추가 전극 패턴(additional electrode pattern, 190)을 더 포함할 수 있다.
상기 추가 접착 베리어 패턴(180)은 상기 플렉시블 필름(110)의 제2 면 상에 배치될 수 있다. 상기 플렉시블 필름(110)의 상기 제2 면은, 상기 접착 베리어 패턴(131, 132) 및 상기 전극 패턴(141, 142)이 배치되고, 대상물(170)에 인접한 상기 플렉시블 필름(110)의 제1 면에 대향할 수 있다.
상기 추가 접착 베리어 패턴(180)은 상기 접착 베리어 패턴(131, 132)과 동일한 물질로 형성될 수 있다. 또한, 상기 추가 접착 베리어 패턴(180)은 상기 접착 베리어 패턴(131, 132)과 동일한 두께로 형성될 수 있다.
상기 추가 접착 베리어 패턴(180) 상에 추가 전극 패턴(190)이 배치될 수 있다. 상기 추가 전극 패턴(190)은 상기 전극 패턴(141, 142)과 동일한 물질로 형성될 수 있다. 또한, 상기 추가 전극 패턴(190)은 상기 전극 패턴(141, 142)과 동일한 두께로 형성될 수 있다. 상기 전극 패턴(141, 142) 및 상기 추가 전극 패턴(190)은, 상기 전원부(150)로부터 전력을 공급받아 플라즈마(160)를 발생시킬 수 있다.
도 1을 참조하여 설명된 것과 같이, 상기 추가 접착 베리어 패턴(180)은, 상기 전극 패턴(190)을 상기 플렉시블 필름(180) 상에 부착시키고, 상기 광 촉매층(120) 및 상기 플렉시블 필름(180) 내의 수분 및 산소가 상기 추가 전극 패턴(190)으로 확산되는 것을 방지할 수 있다.
이하, 상술된 본 발명의 제1 실시 예에 따른 플라즈마 발생 장치의 제조 방법이 도 3 내지 도 5를 참조하여 설명된다.
도 3 내지 도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 플라즈마 발생 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 3을 참조하면, 플렉시블 필름(110)이 준비된다. 상기 플렉시블 필름(110)은 도 1을 참조하여 설명된 것과 같이, PET(polyethyleneterephthalate), PI(Polyimide), PC(Polycarbonate), PEN(Polyethylene naphthalate) 중에서 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다.
상기 플렉시블 필름(110)이 전처리(pretreatment, 115)될 수 있다. 상기 플렉시블 필름(110)을 전처리하는 단계는, 상기 플렉시블 필름(110)을 플라즈마 처리 및/또는 이온빔 처리하는 것을 포함할 수 있다. 상기 플렉시블 필름(110)은 전처리되어, 상기 플렉시블 필름(110)의 접착력이 향상될 수 있다. 이로 인해, 상기 플렉시블 필름(110) 상에 도 1을 참조하여 설명된 광 흡수층(120)이 용이하게 부착되어, 플렉시블한 플라즈마 발생 장치가 제공될 수 있다.
도 4를 참조하면, 상기 전처리(115) 공정이 수행된 상기 플렉시블 필름(110) 상에 광 촉매층(120), 접착 베리어층(130), 및 전극층(140)이 차례로 형성될 수 있다. 상기 광 촉매층(120)은 스퍼터(spuuter), 플라즈마 화학기상 증착법(PECVD), 졸-겔(sol-gel)법 등으로 형성될 수 있다. 상기 광 촉매층(120)은 상기 접착 베리어층(130) 및 상기 전극층(140)과 식각 선택비를 갖는 물질로 형성될 수 있다.
도 5를 참조하면, 상기 전극층(140) 및 상기 접착 베리어층(130)이 차례로 패터닝되어, 상기 광 촉매층(120) 상에 접착 베리어 패턴(131, 132), 및 전극 패턴(141, 142)이 형성될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 전극층(140) 및 상기 접착 베리어층(130)은 습식 식각 공정으로 패터닝될 수 있다. 상술된 바와 같이, 상기 광 촉매층(120)은 상기 접착 베리어층(130) 및 상기 전극층(140)과 식각 선택비를 갖는 물질로 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 전극층(140) 및 상기 접착 베리어층(130)이 식각되는 동안, 상기 광 촉매층(120)은 식각되지 않을 수 있다. 또한, 상기 전극층(140)이 패터닝되는 동안, 상기 접착 베리어층(130)의 접착력에 의해, 상기 전극층(140)이 상기 플렉시블 필름(110)으로부터 분리되지 않을 수 있다.
이후, 도 1을 참조하여 설명된 것과 같이, 전극 패턴(141, 142)에 전원부(150)가 연결되어, 상기 광 촉매층(120)과 직접적으로 접촉하는 플라즈마(160)를 생성하는 플라즈마 발생 장치가 제공될 수 잇다.
또한, 도 2를 참조하여 설명된 본 발명의 제1 실시 예의 제1 변형 예에 따른 플라즈마 발생 장치는, 상기 플렉시블 필름(110)의 제1 면 및 제2 면에 도 3을 참조하여 설명된 전처리를 수행한 후, 상기 플렉시블 필름(110)의 상기 제1 면 상에 도 3 내지 도 5를 참조하여 설명된 공정을 수행하고, 상기 플렉시블 필름(110)의 상기 제2 면 상에 추가 베리어 패턴(170) 및 추가 전극 패턴(180)을 형성하는 방법으로 제조될 수 있다.
이하, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 플라즈마 발생 장치가 설명된다.
도 6은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 플라즈마 발생 장치는, 플렉시블 필름(210), 광 촉매층(220), 지지 패턴(support pattern, 231, 232), 접착 패턴(241, 242), 접착 베리어층(250), 전극층(260), 및 전원부(270)를 포함할 수 있다.
상기 플렉시블 필름(210)은 제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 포함할 수 있다. 상기 플렉시블 필름(210)은 도 1을 참조하여 설명된 플렉시블 필름(110)과 동일한 물질로 형성될 수 있다.
상기 플레시블 필름(210)의 상기 제1 면 상에 광 촉매층(220)이 배치될 수 있다. 상기 광 촉매층(220)은 도 1을 참조하여 설명된 광 촉매층(120)과 동일한 물질로 형성되고, 상기 광 촉매층(120)과 동일한 기능을 수행할 수 있다.
상기 광 촉매층(220) 상에 상기 지지 패턴(231, 232)이 배치될 수 있다. 상기 지지 패턴(232, 232)은 플라즈마(280)가 상기 광 촉매층(220) 및 대상물(290) 사이에 생성될 수 있도록, 상기 플라즈마(280)의 생성 공간을 확보하기 위한 것일 수 있다.
상기 지지 패턴(232, 232)은, 상기 광 촉매층(220) 상에 서로 이격된 제1 지지 패턴(231) 및 제2 지지 패턴(232)을 포함할 수 있다.
상기 지지 패턴(231, 232) 상에 접착 패턴(241, 242)이 배치될 수 있다. 상기 접착 패턴(241, 242)은 상기 대상물(290)과 직접적으로 접촉하여, 상기 플라즈마 발생 장치를 상기 대상물(290)에 부착시킬 수 있다. 상기 접착 패턴(241, 242)은 상기 제1 지지 패턴(231) 및 상기 제2 지지 패턴(232) 상에 각각 배치된 제1 접착 패턴(241) 및 제2 접착 패턴(242)을 포함할 수 있다.
상기 플렉시블 필름(210)의 상기 제2 면 상에 접착 베리어층(250) 및 상기 전극층(260)이 차례로 배치될 수 있다. 상기 접착 베리어층(250)은 도 2를 참조하여 설명된 접착 베리어 패턴(180)과 서로 동일한 물질로 형성되고, 동일한 기능을 수행할 수 있다.
상기 전원부(270)는 상기 전극층(260) 및 상기 대상물(290)에 전력을 공급할 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 상기 대상물(290)은 생명체의 피부 조직일 수 있다.
상기 전원부(270)에서 공급된 전력에 의해, 상기 전극층(260) 및 상기 대상물(290) 사이에 전기장이 형성되고, 이로 인해, 상기 광 촉매층(220) 및 상기 대상물(280) 사이에 상기 플라즈마(280)가 생성될 수 있다. 상기 플라즈마(280)는 상기 광 촉매층(220)과 직접적으로 접촉될 수 있다.
상술된 본 발명의 제2 실시 예와 달리, 본 발명의 제2 실시 예의 변형 예에 따르면, 상기 플렉시블 필름(210)의 상기 제2 면 상에 전극 패턴들이 배치될 수 있다. 이하, 도 7을 참조하여 본 발명의 제2 실시 예의 변형 예에 따른 플라즈마 발생 장치가 설명된다.
도 7은 본 발명의 제2 실시 예의 변형 예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 제2 실시 예의 변형 예에 따른 플라즈마 발생 장치는, 도 6을 참조하여 설명된 플렉시블 필름(210), 광 촉매층(220), 지지 패턴(231, 232), 접착 패턴(241, 242), 및 전원부(270) 외에, 접착 베리어 패턴(251, 252), 및 전극 패턴(261, 262)을 포함할 수 있다.
상기 접착 베리어 패턴(251, 252)는 상기 플렉시블 필름(210)의 제2 면 상에 배치될 수 있다. 상기 플렉시블 필름(210)의 상기 제2 면은, 상기 지지 패턴(232, 232), 및 상기 접착 패턴(241, 242)이 배치되는 상기 플렉시블 필름(210)의 제1 면에 대향할 수 있다.
상기 접착 베리어 패턴(251, 252)은, 상기 플렉시블 필름(210)의 상기 제2 면 상에 서로 이격되어 배치된 제1 접착 베리어 패턴(251) 및 제2 접착 베리어 패턴(252)을 포함할 수 있다. 상기 접착 베리어 패턴(251, 252)은, 도 6을 참조하어 설명된 접착 베리어층(250)과 동일한 물질로 형성되고 동일한 기능을 수행할 수 있다.
상기 전극 패턴(261, 262)은, 상기 제1 접착 베리어 패턴(251) 및 상기 제2 접착 베리어 패턴(252) 상에 각각 배치된, 제1 전극 패턴(261) 및 제2 전극 패턴(262)을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 제1 전극 패턴(261) 및 상기 제2 전극 패턴(262)은 상기 전원부(270)로부터 전력을 공급받아, 상기 광 촉매층(220) 및 대상물(290) 사이에 플라즈마(280)를 생성할 수 있다.
또는, 다른 실시 예에 따르면, 상기 전원부(270)는 상기 제1 전극 패턴(261), 상기 제2 전극 패턴(262), 및 상기 대상물(290)에 전력을 공급하여, 상기 광 촉매층(220) 및 대상물(290) 사이에 플라즈마(280)를 생성할 수 있다.
본 발명의 제2 실시 예 및 그 변형 예에 따른 플라즈마 발생 장치는, 도 3을 참조하여 설명된 것과 같이, 상기 플라즈마 필름(210)의 제1 면 및 제2 면을 전처리한 후, 제조될 수 있다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시 예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.
110, 210: 플렉시블 필름
120, 220: 광 촉매층
131, 132: 접착 베리어 패턴
141, 142: 전극 패턴
150, 270: 전원부
160, 280: 플라즈마
170, 290: 대상물
180: 추가 접착 베리어 패턴
190: 추가 전극 패턴
120, 220: 광 촉매층
131, 132: 접착 베리어 패턴
141, 142: 전극 패턴
150, 270: 전원부
160, 280: 플라즈마
170, 290: 대상물
180: 추가 접착 베리어 패턴
190: 추가 전극 패턴
Claims (10)
- 삭제
- 삭제
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- 제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 갖는 플렉시블 필름;
상기 플렉시블 필름의 상기 제1 면 상의 광 촉매층;
상기 광 촉매층 상에 배치되고, 대상물과 접착되는 접착 패턴;
상기 제2 면 상에 배치되고, 외부로부터 공급된 전력을 이용하여, 상기 광 촉매층과 직접적으로 접촉하는 플라즈마를, 상기 광 촉매층과 상기 대상물 사이에 발생시키는 전극층; 및
상기 전극층 및 상기 플렉시블 필름 사이의 제공되는 접착 베리어층을 포함하는 플라즈마 발생 장치.
- 제6 항에 있어서,
상기 전극층과 상기 대상물에 전력을 공급하여, 상기 전극층 및 상기 대상물 사이에 전기장을 형성하는 전원부를 더 포함하는 플라즈마 발생 장치.
- 제7 항에 있어서,
상기 대상물은 생명체의 피부 조직을 포함하는 플라즈마 발생 장치.
- 제6 항에 있어서,
상기 전극층은, 상기 플렉시블 필름의 상기 제2 면 상에 서로 이격되어 배치된 제1 전극 패턴 및 제2 전극 패턴을 포함하고,
상기 제1 전극 패턴 및 상기 제2 전극 패턴에 전력을 공급하는 전원부를 더 포함하는 플라즈마 발생 장치.
- 삭제
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2015
- 2015-03-25 KR KR1020150041446A patent/KR101621654B1/ko active IP Right Grant
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