KR101621654B1 - 플라즈마 발생 장치 - Google Patents

플라즈마 발생 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101621654B1
KR101621654B1 KR1020150041446A KR20150041446A KR101621654B1 KR 101621654 B1 KR101621654 B1 KR 101621654B1 KR 1020150041446 A KR1020150041446 A KR 1020150041446A KR 20150041446 A KR20150041446 A KR 20150041446A KR 101621654 B1 KR101621654 B1 KR 101621654B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
flexible film
layer
electrode
plasma
pattern
Prior art date
Application number
KR1020150041446A
Other languages
English (en)
Inventor
김상유
정규선
Original Assignee
한양대학교 산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한양대학교 산학협력단 filed Critical 한양대학교 산학협력단
Priority to KR1020150041446A priority Critical patent/KR101621654B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101621654B1 publication Critical patent/KR101621654B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/26—Plasma torches
    • H05H1/32—Plasma torches using an arc
    • H05H1/34—Details, e.g. electrodes, nozzles
    • H05H2001/2406—

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Catalysts (AREA)

Abstract

플라즈마 발생 장치가 제공된다. 상기 플라즈마 발생 장치는, 제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 갖는 플렉시블 필름, 상기 플렉시블 필름의 상기 제1 면 상의 광 촉매층, 상기 광 촉매층 상의 접착 베리어 패턴, 및 상기 접착 베리어 패턴 상에 배치되고, 외부로부터 전력을 공급받아, 상기 광 촉매층과 직접적으로 접촉되는 플라즈마를 생성하는 전극 패턴을 포함한다.

Description

플라즈마 발생 장치{Apparatus generating plasma}
본 발명은 플라즈마 발생 장치에 관련된 것으로, 보다 상세하게는, 광 촉매층과 직접적으로 접촉되는 플라즈마를 발생하는 장치에 관련된 것이다.
일반적으로 물질은 고체, 액체, 기체의 여러 가지 상태가 있으며 그들 상태의 기본적인 구성요소는 원자 혹은 원자가 여러 개 모인 분자 또는 화합물이다. 플라즈마는 원자, 분자, 또는 화합물을 구성하는 전자가 핵의 구속력에서 벗어나 자유롭게 움직이며 돌아다니는 상태이다.
보통의 상온 및 상압에서, 고체 상태의 물질에 에너지를 주어 고온으로 만들면 용해되어 액체 상태가 된다. 액체 상태의 물질에 에너지를 더 주어 고온으로 만들면 증발하여 기체 상태가 되고, 기체 상태의 물질에 에너지를 더 주게 되면 제 4 의 상태 (the fourth state of matter)라 불리는 플라즈마 상태가 된다.
플라즈마는 반도체 증착 공정, Gas Laser, Display, 의료 기기 등 다양한 분야에 광범위하게 활용되고 있다. 예를 들어, 대한민국 특허 공개 공보 10-2014-0128479(출원번호 10-2013-0046076, 출원인 피에스케이 주식회사)에는 챔버 내에서 발생되는 플라즈마의 균일도를 조절하여, 기판 처리 공정의 수율을 개선할 수 있는 플라즈마 발생 장치가 개시되어 있다.
대한민국 특허 공개 공보 10-2014-0128479
본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 고신뢰성의 플라즈마 발생 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 기술적 과제는 살균 효과가 향상된 플라즈마 발생 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 기술적 과제는 플렉시블한 플라즈마 발생 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 기술적 과제는 수명 특성이 향상된 플라즈마 발생 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 상술된 것에 제한되지 않는다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 플라즈마 발생 장치를 제공한다.
일 실시 예에 따르면, 상기 플라즈마 발생 장치는, 제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 갖는 플렉시블 필름, 상기 플렉시블 필름의 상기 제1 면 상의 광 촉매층, 상기 광 촉매층 상의 접착 베리어 패턴, 및 상기 접착 베리어 패턴 상에 배치되고, 외부로부터 전력을 공급받아, 상기 광 촉매층과 직접적으로 접촉되는 플라즈마를 생성하는 전극 패턴을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 접착 베리어 패턴은, 상기 전극 패턴을 상기 광 촉매층에 접착시키고, 상기 플렉시블 필름 및 상기 광 촉매층에 함유된 산소, 또는 수분이 상기 전극 패턴으로 확산되는 것을 방지하는 것을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 접착 베리어 패턴은, 상기 광 촉매층 상에 서로 이격되어 배치된 제1 및 제2 접착 베리어 패턴들을 포함하고, 상기 전극 패턴은, 상기 제1 및 제2 접착 베리어 패턴들 상에 각각 배치된 제1 및 제2 전극 패턴들을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 제1 및 제2 전극 패턴들 사이에 상기 플라즈마가 생성될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 플라즈마 발생 장치는, 상기 플렉시블 필름의 상기 제2 면 상의 추가 접착 베리어 패턴, 및 상기 추가 접착 베리어 패턴 상의 추가 전극 패턴을 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 플라즈마 발생 장치는, 제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 갖는 플렉시블 필름, 상기 플렉시블 필름의 상기 제1 면 상의 광 촉매층, 상기 광 촉매층 상에 배치되고, 대상물과 접착되는 접착 패턴, 및 상기 제2 면 상에 배치되고, 외부로부터 공급된 전력을 이용하여, 상기 광 촉매층과 직접적으로 접촉하는 플라즈마를, 상기 광 촉매층과 상기 대상물 사이에 발생시키는 전극층을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 플라즈마 발생 장치는, 상기 전극층과 상기 대상물에 전력을 공급하여, 상기 전극층 및 상기 대상물 사이에 전기장을 형성하는 전원부를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 대상물은 생명체의 피부 조직을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 전극층은, 상기 플렉시블 필름의 상기 제2 면 상에 서로 이격되어 배치된 제1 전극 패턴 및 제2 전극 패턴을 포함하고, 상기 플라즈마 발생 장치는, 상기 제1 전극 패턴 및 상기 제2 전극 패턴에 전력을 공급하는 전원부를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 플라즈마 발생 장치는, 상기 전극층 및 상기 플렉시블 필름 사이의 접착 베리어층을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 플라즈마 발생 장치는, 플렉시블 필름 상의 광 촉매층, 상기 광 촉매층 상의 접착 베리어 패턴, 및 상기 접착 베리어 패턴 상에 배치되어 상기 광 촉매층과 직접적으로 접촉하는 플라즈마를 생성하는 전극 패턴을 포함한다. 상기 플라즈마가 상기 광 촉매층과 직접적으로 접촉되어, 살균 효과가 향상된 플라즈마 발생 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 접착 베리어 패턴에 의해 상기 전극 패턴이 상기 플렉시블 필름에 용이하게 부착되어, 플렉시블한 플라즈마 발생 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 광 촉매층 및 상기 플렉시블 필름에서 상기 전극 패턴으로 수분 및/또는 산소가 확산되는 것이 방지되고, 상기 광 촉매층에 의해 상기 플렉시블 필름이 상기 플라즈마와 접촉되지 않아 상기 플렉시블 필름의 손상이 방지되어, 고신뢰성 및 장수명의 플라즈마 발생 장치가 제공될 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시 예의 변형 예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 3 내지 도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 플라즈마 발생 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시 예의 변형 예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명할 것이다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 여기서 설명되는 실시 예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화 될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
또한, 본 명세서의 다양한 실시 예 들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 따라서, 어느 한 실시 예에 제 1 구성요소로 언급된 것이 다른 실시 예에서는 제 2 구성요소로 언급될 수도 있다. 여기에 설명되고 예시되는 각 실시 예는 그것의 상보적인 실시 예도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다.
명세서에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다. 또한, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 배제하는 것으로 이해되어서는 안 된다.
또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 플라즈마 발생 장치는, 플렉시블 필름(flexible film,110), 광 촉매층(120), 접착 베리어 패턴(adhesion barrier pattern, 131, 132), 전극 패턴(141, 142), 및 전원부(150)를 포함할 수 있다.
상기 플렉시블 필름(110)은 제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 포함할 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 상기 플렉시블 필름(110)은 플라스틱 기판(폴리머 기판)일 수 있다. 예를 들어, 상기 플렉시블 필름(110)은 PET(polyethyleneterephthalate), PI(Polyimide), PC(Polycarbonate), PEN(Polyethylene naphthalate) 중에서 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 상기 플렉시블 필름(110)의 두께는 12~50μm일 수 있다.
상기 광 촉매층(120)이 상기 플렉시블 필름(110)의 상기 제1 면 상에 배치될 수 있다. 상기 광 촉매층(120)은, 후술되는 바와 같이, 플라즈마(160)에 의해, 산화 환원 반응을 일으키고, 이로 인해, OH-기를 생성하여, 대상물(170)의 용이하게 살균할 수 있다. 상기 광 촉매층(120)은 접착력을 가질 수 있고, 수분 투과를 방지할 수 있다. 또한, 상기 광 촉매층(120)은, 상기 접착 베리어 패턴(131, 132) 및 상기 전극 패턴(141, 142)과 식각 선택비를 갖는 물질로 형성될 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 상기 광 촉매층(120)은 탄소를 포함하지 않는 비탄소막으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 광 촉매층(120)은 TiO2, ZnO, Nb2O5, WO3, SnO2, ZnO2, SrTiO3, KTaO3, CdS, ZnS, CdSe, GaP, CdTe, MoSe2, 또는 WSe2 중에서 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
상기 접착 베리어 패턴(131, 132)이 상기 광 촉매층(120) 상에 배치될 수 있다. 다시 말하면, 상기 접착 베리어 패턴(131, 132) 및 상기 플렉시블 필름(110) 사이에 상기 광 촉매층(120)이 배치될 수 있다. 상술된 바와 같이, 상기 광 촉매층(120)은 접착력을 가질 수 있다. 이로 인해, 상기 접착 베리어 패턴(131, 132)이 상기 광 촉매층(120)에 용이하게 부착될 수 있다.
상기 접착 베리어 패턴(131, 132)은, 상기 광 촉매층(120) 및 상기 플렉시블 필름(110)에 포함된 수분 및 산소가 상기 전극층(141, 142)으로 확산되는 것을 방지할 수 있다. 상술된 바와 같이, 상기 접착 베리어 패턴(131, 132)은 상기 광 촉매층(120)과 식각 선택비를 갖는 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 접착 베리어 패턴(131, 132)은 NiCr, Cr, 또는 NiCu 등으로 형성될 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 상기 접착 베리어 패턴(131, 132)의 두께는 8~20nm 일 수 있다.
상기 접착 베리어 패턴(131, 132)은, 상기 광 촉매층(120) 상에, 서로 이격되어 배치된 제1 접착 베리어 패턴(131) 및 제2 접착 베리어 패턴(132)을 포함할 수 있다.
상기 전극 패턴(141, 142)이 상기 접착 베리어 패턴(131, 132) 상에 배치될 수 있다. 다시 말하면, 상기 접착 베리어 패턴(131, 132)이 상기 전극 패턴(141, 142) 및 상기 광 촉매층(120) 사이에 배치될 수 있다.
상기 전극 패턴(141, 142)은 상기 전원부(150)와 연결되어, 상기 플라즈마(160)를 발생시킬 수 있다. 상술된 바와 같이, 상기 전극 패턴(141, 142)은 상기 광 촉매층(120)과 식각 선택비를 갖는 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 전극 패턴(141, 142)은 금속(예를 들어, 구리, 알루미늄), 또는 전도성 금속 산화물(예를 들어, 투명 전도성 금속 산화물) 등으로 형성될 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 상기 전극 패턴(141, 142)의 두께는 2~12μm일 수 있다.
상기 접착 베리어 패턴(131, 132)은, 상기 전극 패턴(141, 142)을 상기 광 촉매층(120)에 접착시킬 수 있다. 이로 인해, 굴곡이 있는 대상물에 용이하게 부착이 가능한, 플렉시블한 플라즈마 발생 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상술된 바와 같이, 상기 접착 베리어 패턴(131, 132)은 상기 플렉시블 필름(110) 및 상기 광 촉매층(120)에 함유된 산소 또는 수분이 상기 전극 패턴(141, 142)으로 확산되는 것을 방지할 수 있다. 이로 인해, 상기 플렉시블 필름(110) 및 상기 광 촉매층(120)으로부터 상기 전극 패턴(141, 142)으로 수분 및 산소가 확산되는 것이 최소화되어, 플라즈마 발생 장치의 신뢰성 및 수명 특성이 향상될 수 있다.
상기 전극 패턴(141, 142)은 상기 제1 접착 베리어 패턴(131) 및 상기 제2 접착 베리어 패턴(132) 상에 각각 배치된 제1 전극 패턴(141) 및 제2 전극 패턴(142)을 포함할 수 있다. 상기 전극 패턴(141, 142) 및 상기 접착 베리어 패턴(131, 132)은 서로 동일한 공정에서 제공될 수 있다. 예를 들어, 상기 전극 패턴(141, 142) 및 상기 접착 베리어 패턴(131, 132)은 동일한 식각 공정에서 형성될 수 있다. 이로 인해, 상기 제1 접착 베리어 패턴(131) 및 상기 제1 전극 패턴(141)의 폭(width)은 서로 동일하고, 상기 제2 접착 베리어 패턴(132) 및 상기 제2 전극 패턴(142)의 폭은 서로 동일할 수 있다. 다시 말하면, 상기 제1 접착 베리어 패턴(131) 및 상기 제1 전극 패턴(141)의 측벽(sidewall)들이 서로 공면(coplanar)을 이루고, 상기 제2 접착 베리어 패턴(132) 및 상기 제2 전극 패턴(142)의 측벽들이 서로 공면을 이룰 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 플라즈마 발생 장치는 상기 대상물(170)에 부착되어, 상기 대상물(170)과 접촉하는 상기 플라즈마(160)를 발생시킬 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 상기 대상물(190)은 생명체의 피부 조직일 수 있다. 상기 플라즈마(160)는 상기 제1 전극 패턴(141) 및 상기 제2 전극 패턴(142) 사이에서 생성되고, 상기 광 촉매층(120)과 직접적으로 접촉(directly contact)될 수 있다. 이로 인해, 상기 광 촉매층(120)은, 상기 플라즈마(160)의 UV광 등에 의해, OH-기를 용이하게 생성할 수 있다. 이에 따라, 상기 대상물(170)이 상기 플라즈마(160) 및 상기 광 촉매층(120)에서 생성된 OH-기에 의해 용이하게 살균될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 플렉시블 필름(110)은, 상기 광 촉매층(120)에 의해 상기 플라즈마(160)로부터 이격되어, 상기 플라즈마(160)와 접촉되지 않을 수 있다. 이로 인해, 상기 플렉시블 필름(110)의 손상이 방지될 수 있다.
만약, 상술된 본 발명의 실시 예와 달리, 상기 플렉시블 필름(110)이 상기 플라즈마(160)와 직접적으로 접촉되는 경우, 유기물로 형성된 상기 플렉시블 필름(110)은 상기 플라즈마(160)에 의해 식각되어 파티클(particle)이 생성되 수명 특성이 저하될 수 있다.
하지만, 상술된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 플렉시블 필름(110) 및 상기 플라즈마(160) 사이에 비탄소막으로 형성된 상기 광 촉매층(120)에 배치되어, 상기 플렉시블 필름(110)이 상기 플라즈마(160)에 의해 식각되는 것이 방지되어, 고신뢰성 및 장수명의 플라즈마 발생 장치가 제공될 수 있다.
상술된 본 발명의 제1 실시 예와 달리, 제1 실시 예의 변형 예에 따르면, 상기 플렉시블 필름(110)의 상기 제2 면 상에 추가 접착 베리어 패턴 및 추가 전극 패턴이 더 배치될 수 있다. 이하, 본 발명의 제1 실시 예의 변형 예에 따른 플라즈마 발생 장치가 도 2를 참조하여 설명된다.
도 2는 본 발명의 제1 실시 예의 변형 예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 제1 실시 예의 변형 예에 따른 플라즈마 발생 장치는, 도 1을 참조하여 설명된 플렉시블 필름(110), 광 촉매층(120), 접착 베리어 패턴(131, 132), 전극 패턴(141, 142), 및 전원부(150) 외에, 추가 접착 베리어 패턴(additional adhesion barrier pattern, 180) 및 추가 전극 패턴(additional electrode pattern, 190)을 더 포함할 수 있다.
상기 추가 접착 베리어 패턴(180)은 상기 플렉시블 필름(110)의 제2 면 상에 배치될 수 있다. 상기 플렉시블 필름(110)의 상기 제2 면은, 상기 접착 베리어 패턴(131, 132) 및 상기 전극 패턴(141, 142)이 배치되고, 대상물(170)에 인접한 상기 플렉시블 필름(110)의 제1 면에 대향할 수 있다.
상기 추가 접착 베리어 패턴(180)은 상기 접착 베리어 패턴(131, 132)과 동일한 물질로 형성될 수 있다. 또한, 상기 추가 접착 베리어 패턴(180)은 상기 접착 베리어 패턴(131, 132)과 동일한 두께로 형성될 수 있다.
상기 추가 접착 베리어 패턴(180) 상에 추가 전극 패턴(190)이 배치될 수 있다. 상기 추가 전극 패턴(190)은 상기 전극 패턴(141, 142)과 동일한 물질로 형성될 수 있다. 또한, 상기 추가 전극 패턴(190)은 상기 전극 패턴(141, 142)과 동일한 두께로 형성될 수 있다. 상기 전극 패턴(141, 142) 및 상기 추가 전극 패턴(190)은, 상기 전원부(150)로부터 전력을 공급받아 플라즈마(160)를 발생시킬 수 있다.
도 1을 참조하여 설명된 것과 같이, 상기 추가 접착 베리어 패턴(180)은, 상기 전극 패턴(190)을 상기 플렉시블 필름(180) 상에 부착시키고, 상기 광 촉매층(120) 및 상기 플렉시블 필름(180) 내의 수분 및 산소가 상기 추가 전극 패턴(190)으로 확산되는 것을 방지할 수 있다.
이하, 상술된 본 발명의 제1 실시 예에 따른 플라즈마 발생 장치의 제조 방법이 도 3 내지 도 5를 참조하여 설명된다.
도 3 내지 도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 플라즈마 발생 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 3을 참조하면, 플렉시블 필름(110)이 준비된다. 상기 플렉시블 필름(110)은 도 1을 참조하여 설명된 것과 같이, PET(polyethyleneterephthalate), PI(Polyimide), PC(Polycarbonate), PEN(Polyethylene naphthalate) 중에서 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다.
상기 플렉시블 필름(110)이 전처리(pretreatment, 115)될 수 있다. 상기 플렉시블 필름(110)을 전처리하는 단계는, 상기 플렉시블 필름(110)을 플라즈마 처리 및/또는 이온빔 처리하는 것을 포함할 수 있다. 상기 플렉시블 필름(110)은 전처리되어, 상기 플렉시블 필름(110)의 접착력이 향상될 수 있다. 이로 인해, 상기 플렉시블 필름(110) 상에 도 1을 참조하여 설명된 광 흡수층(120)이 용이하게 부착되어, 플렉시블한 플라즈마 발생 장치가 제공될 수 있다.
도 4를 참조하면, 상기 전처리(115) 공정이 수행된 상기 플렉시블 필름(110) 상에 광 촉매층(120), 접착 베리어층(130), 및 전극층(140)이 차례로 형성될 수 있다. 상기 광 촉매층(120)은 스퍼터(spuuter), 플라즈마 화학기상 증착법(PECVD), 졸-겔(sol-gel)법 등으로 형성될 수 있다. 상기 광 촉매층(120)은 상기 접착 베리어층(130) 및 상기 전극층(140)과 식각 선택비를 갖는 물질로 형성될 수 있다.
도 5를 참조하면, 상기 전극층(140) 및 상기 접착 베리어층(130)이 차례로 패터닝되어, 상기 광 촉매층(120) 상에 접착 베리어 패턴(131, 132), 및 전극 패턴(141, 142)이 형성될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 전극층(140) 및 상기 접착 베리어층(130)은 습식 식각 공정으로 패터닝될 수 있다. 상술된 바와 같이, 상기 광 촉매층(120)은 상기 접착 베리어층(130) 및 상기 전극층(140)과 식각 선택비를 갖는 물질로 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 전극층(140) 및 상기 접착 베리어층(130)이 식각되는 동안, 상기 광 촉매층(120)은 식각되지 않을 수 있다. 또한, 상기 전극층(140)이 패터닝되는 동안, 상기 접착 베리어층(130)의 접착력에 의해, 상기 전극층(140)이 상기 플렉시블 필름(110)으로부터 분리되지 않을 수 있다.
이후, 도 1을 참조하여 설명된 것과 같이, 전극 패턴(141, 142)에 전원부(150)가 연결되어, 상기 광 촉매층(120)과 직접적으로 접촉하는 플라즈마(160)를 생성하는 플라즈마 발생 장치가 제공될 수 잇다.
또한, 도 2를 참조하여 설명된 본 발명의 제1 실시 예의 제1 변형 예에 따른 플라즈마 발생 장치는, 상기 플렉시블 필름(110)의 제1 면 및 제2 면에 도 3을 참조하여 설명된 전처리를 수행한 후, 상기 플렉시블 필름(110)의 상기 제1 면 상에 도 3 내지 도 5를 참조하여 설명된 공정을 수행하고, 상기 플렉시블 필름(110)의 상기 제2 면 상에 추가 베리어 패턴(170) 및 추가 전극 패턴(180)을 형성하는 방법으로 제조될 수 있다.
이하, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 플라즈마 발생 장치가 설명된다.
도 6은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 플라즈마 발생 장치는, 플렉시블 필름(210), 광 촉매층(220), 지지 패턴(support pattern, 231, 232), 접착 패턴(241, 242), 접착 베리어층(250), 전극층(260), 및 전원부(270)를 포함할 수 있다.
상기 플렉시블 필름(210)은 제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 포함할 수 있다. 상기 플렉시블 필름(210)은 도 1을 참조하여 설명된 플렉시블 필름(110)과 동일한 물질로 형성될 수 있다.
상기 플레시블 필름(210)의 상기 제1 면 상에 광 촉매층(220)이 배치될 수 있다. 상기 광 촉매층(220)은 도 1을 참조하여 설명된 광 촉매층(120)과 동일한 물질로 형성되고, 상기 광 촉매층(120)과 동일한 기능을 수행할 수 있다.
상기 광 촉매층(220) 상에 상기 지지 패턴(231, 232)이 배치될 수 있다. 상기 지지 패턴(232, 232)은 플라즈마(280)가 상기 광 촉매층(220) 및 대상물(290) 사이에 생성될 수 있도록, 상기 플라즈마(280)의 생성 공간을 확보하기 위한 것일 수 있다.
상기 지지 패턴(232, 232)은, 상기 광 촉매층(220) 상에 서로 이격된 제1 지지 패턴(231) 및 제2 지지 패턴(232)을 포함할 수 있다.
상기 지지 패턴(231, 232) 상에 접착 패턴(241, 242)이 배치될 수 있다. 상기 접착 패턴(241, 242)은 상기 대상물(290)과 직접적으로 접촉하여, 상기 플라즈마 발생 장치를 상기 대상물(290)에 부착시킬 수 있다. 상기 접착 패턴(241, 242)은 상기 제1 지지 패턴(231) 및 상기 제2 지지 패턴(232) 상에 각각 배치된 제1 접착 패턴(241) 및 제2 접착 패턴(242)을 포함할 수 있다.
상기 플렉시블 필름(210)의 상기 제2 면 상에 접착 베리어층(250) 및 상기 전극층(260)이 차례로 배치될 수 있다. 상기 접착 베리어층(250)은 도 2를 참조하여 설명된 접착 베리어 패턴(180)과 서로 동일한 물질로 형성되고, 동일한 기능을 수행할 수 있다.
상기 전원부(270)는 상기 전극층(260) 및 상기 대상물(290)에 전력을 공급할 수 있다. 일 실시 예에 따르면, 상기 대상물(290)은 생명체의 피부 조직일 수 있다.
상기 전원부(270)에서 공급된 전력에 의해, 상기 전극층(260) 및 상기 대상물(290) 사이에 전기장이 형성되고, 이로 인해, 상기 광 촉매층(220) 및 상기 대상물(280) 사이에 상기 플라즈마(280)가 생성될 수 있다. 상기 플라즈마(280)는 상기 광 촉매층(220)과 직접적으로 접촉될 수 있다.
상술된 본 발명의 제2 실시 예와 달리, 본 발명의 제2 실시 예의 변형 예에 따르면, 상기 플렉시블 필름(210)의 상기 제2 면 상에 전극 패턴들이 배치될 수 있다. 이하, 도 7을 참조하여 본 발명의 제2 실시 예의 변형 예에 따른 플라즈마 발생 장치가 설명된다.
도 7은 본 발명의 제2 실시 예의 변형 예에 따른 플라즈마 발생 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 제2 실시 예의 변형 예에 따른 플라즈마 발생 장치는, 도 6을 참조하여 설명된 플렉시블 필름(210), 광 촉매층(220), 지지 패턴(231, 232), 접착 패턴(241, 242), 및 전원부(270) 외에, 접착 베리어 패턴(251, 252), 및 전극 패턴(261, 262)을 포함할 수 있다.
상기 접착 베리어 패턴(251, 252)는 상기 플렉시블 필름(210)의 제2 면 상에 배치될 수 있다. 상기 플렉시블 필름(210)의 상기 제2 면은, 상기 지지 패턴(232, 232), 및 상기 접착 패턴(241, 242)이 배치되는 상기 플렉시블 필름(210)의 제1 면에 대향할 수 있다.
상기 접착 베리어 패턴(251, 252)은, 상기 플렉시블 필름(210)의 상기 제2 면 상에 서로 이격되어 배치된 제1 접착 베리어 패턴(251) 및 제2 접착 베리어 패턴(252)을 포함할 수 있다. 상기 접착 베리어 패턴(251, 252)은, 도 6을 참조하어 설명된 접착 베리어층(250)과 동일한 물질로 형성되고 동일한 기능을 수행할 수 있다.
상기 전극 패턴(261, 262)은, 상기 제1 접착 베리어 패턴(251) 및 상기 제2 접착 베리어 패턴(252) 상에 각각 배치된, 제1 전극 패턴(261) 및 제2 전극 패턴(262)을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 제1 전극 패턴(261) 및 상기 제2 전극 패턴(262)은 상기 전원부(270)로부터 전력을 공급받아, 상기 광 촉매층(220) 및 대상물(290) 사이에 플라즈마(280)를 생성할 수 있다.
또는, 다른 실시 예에 따르면, 상기 전원부(270)는 상기 제1 전극 패턴(261), 상기 제2 전극 패턴(262), 및 상기 대상물(290)에 전력을 공급하여, 상기 광 촉매층(220) 및 대상물(290) 사이에 플라즈마(280)를 생성할 수 있다.
본 발명의 제2 실시 예 및 그 변형 예에 따른 플라즈마 발생 장치는, 도 3을 참조하여 설명된 것과 같이, 상기 플라즈마 필름(210)의 제1 면 및 제2 면을 전처리한 후, 제조될 수 있다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시 예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.
110, 210: 플렉시블 필름
120, 220: 광 촉매층
131, 132: 접착 베리어 패턴
141, 142: 전극 패턴
150, 270: 전원부
160, 280: 플라즈마
170, 290: 대상물
180: 추가 접착 베리어 패턴
190: 추가 전극 패턴

Claims (10)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 갖는 플렉시블 필름;
    상기 플렉시블 필름의 상기 제1 면 상의 광 촉매층;
    상기 광 촉매층 상에 배치되고, 대상물과 접착되는 접착 패턴;
    상기 제2 면 상에 배치되고, 외부로부터 공급된 전력을 이용하여, 상기 광 촉매층과 직접적으로 접촉하는 플라즈마를, 상기 광 촉매층과 상기 대상물 사이에 발생시키는 전극층; 및
    상기 전극층 및 상기 플렉시블 필름 사이의 제공되는 접착 베리어층을 포함하는 플라즈마 발생 장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 전극층과 상기 대상물에 전력을 공급하여, 상기 전극층 및 상기 대상물 사이에 전기장을 형성하는 전원부를 더 포함하는 플라즈마 발생 장치.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 대상물은 생명체의 피부 조직을 포함하는 플라즈마 발생 장치.
  9. 제6 항에 있어서,
    상기 전극층은, 상기 플렉시블 필름의 상기 제2 면 상에 서로 이격되어 배치된 제1 전극 패턴 및 제2 전극 패턴을 포함하고,
    상기 제1 전극 패턴 및 상기 제2 전극 패턴에 전력을 공급하는 전원부를 더 포함하는 플라즈마 발생 장치.
  10. 삭제
KR1020150041446A 2015-03-25 2015-03-25 플라즈마 발생 장치 KR101621654B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150041446A KR101621654B1 (ko) 2015-03-25 2015-03-25 플라즈마 발생 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150041446A KR101621654B1 (ko) 2015-03-25 2015-03-25 플라즈마 발생 장치

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160039115A Division KR101621681B1 (ko) 2016-03-31 2016-03-31 플라즈마 발생 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101621654B1 true KR101621654B1 (ko) 2016-05-16

Family

ID=56109283

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150041446A KR101621654B1 (ko) 2015-03-25 2015-03-25 플라즈마 발생 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101621654B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107493648A (zh) * 2017-01-12 2017-12-19 中金瑞峰资本管理有限公司 一种用于消毒的放电电极及其制作方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005137781A (ja) 2003-11-10 2005-06-02 Marcom:Kk プラズマ発生装置
JP2010532253A (ja) * 2007-07-06 2010-10-07 エコール ポリテクニック 表面プラズマガス処理
WO2012106735A2 (en) * 2011-02-01 2012-08-09 Moe Medical Devices Llc Plasma-assisted skin treatment

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005137781A (ja) 2003-11-10 2005-06-02 Marcom:Kk プラズマ発生装置
JP2010532253A (ja) * 2007-07-06 2010-10-07 エコール ポリテクニック 表面プラズマガス処理
WO2012106735A2 (en) * 2011-02-01 2012-08-09 Moe Medical Devices Llc Plasma-assisted skin treatment

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107493648A (zh) * 2017-01-12 2017-12-19 中金瑞峰资本管理有限公司 一种用于消毒的放电电极及其制作方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10605760B2 (en) Thin film-laminated film
US9861974B2 (en) Film system
CN108976873A (zh) 一种增光自清洁膜***及其形成方法
EP2660652B1 (en) Monochromatic display device with a porous electrode sheet
JP5372240B2 (ja) 透明導電性フィルムおよびその製造方法並びに透明導電性フィルムを用いた電子デバイス
KR20120091121A (ko) 적층 필름의 제조 방법
JP2020513578A (ja) 表示パネルマザーボード及び表示パネルの製造方法
EP3185249B1 (en) Transparent electrode, method for producing transparent electrode and electronic device
CN101930808A (zh) 透明导电性膜和用于制造透明导电性膜的方法
JP2013501307A (ja) 電気輸送部品とその製造方法、並びに電気光学装置および光電気装置
Shekargoftar et al. Enhancement of electrical properties of flexible ITO/PET by atmospheric pressure roll-to-roll plasma
KR101621654B1 (ko) 플라즈마 발생 장치
KR101621681B1 (ko) 플라즈마 발생 장치
JPWO2019176078A1 (ja) 透明電極の製造方法および製造装置
CN112585525A (zh) 调光片及调光片的制造方法
JP2007136800A (ja) ガスバリア性積層フィルム、およびそれを用いた画像表示素子
EP2333863A1 (en) Electro-optical device, electrode therefore, and method and apparatus of manufacturing an electrode and the electro-optical device provided therewith
KR101579709B1 (ko) 압력 센서, 그 제조 방법, 및 이를 이용한 관리 시스템
KR101823358B1 (ko) 투광성 기판의 제조방법 및 이를 통해 제조된 투광성 기판
JP2017504191A (ja) 埋め込まれたパターンニングされた金属構造物を有する伝送部材を提供するための方法とシステム
JP2009169335A (ja) 光学フィルム及びその製造方法
WO2020050112A1 (ja) 成膜方法
KR101862760B1 (ko) 투광성 기판의 제조방법 및 이를 통해 제조된 투광성 기판
KR102456122B1 (ko) 플렉서블 장치의 제조방법
TW201426857A (zh) 配線圖案的形成方法及配線圖案形成物

Legal Events

Date Code Title Description
A107 Divisional application of patent
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190321

Year of fee payment: 4