KR101614366B1 - Probe lens having super-hydrophobic surface and ultrasound probe comprising the same and Method for manufacturing thereof - Google Patents

Abstract

초음파 송수신 소자, 초음파 송수신 소자의 전방에 배치된 평판부 및 평판부의 상부면에 걸쳐 배치되는 복수의 제1 돌출부; 를 포함하며, 제1 돌출부의 피치(pitch)가 초음파 송수신 소자로부터 송신되는 초음파 신호의 파장보다 작은 프로브 렌즈가 제공된다.A plurality of first protrusions arranged on an upper surface of the flat plate portion and a flat plate portion disposed in front of the ultrasonic transmitting / receiving element; And the pitch of the first projecting portion is smaller than the wavelength of the ultrasonic signal transmitted from the ultrasonic transmitting / receiving element.

Description

초소수성 표면을 구비한 프로브 렌즈 및 이를 포함한 초음파 프로브와 그 제조 방법{Probe lens having super-hydrophobic surface and ultrasound probe comprising the same and Method for manufacturing thereof}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a probe lens having an ultra-hydrophobic surface, an ultrasonic probe including the probe lens, and a method of manufacturing the probe lens.

본 개시는 초소수성 표면을 구비한 프로브 렌즈 및 이를 포함한 초음파 프로브와 그 제조 방법에 관한 것이다.The present disclosure relates to a probe lens having a super-hydrophobic surface, an ultrasonic probe including the probe lens, and a manufacturing method thereof.

의료용으로 사용되는 초음파 장비 중 가장 대표적인 것으로는, 인체 내부의 장기와 태아 등을 조영 하기 위하여 주로 사용되는 초음파 영상진단기를 들 수 있다. 이러한 초음파 진단 장치는 초음파를 송수신하는 초음파 프로브와 수신된 초음파를 신호 처리하는 신호 처리 장치 및 초음파 영상을 표시하는 디스플레이 장치로 구분될 수 있다. Among the ultrasound equipment used for medical use, ultrasound imaging apparatuses mainly used for imaging organs and fetuses inside the human body are the most representative ones. Such an ultrasonic diagnostic apparatus may be classified into an ultrasonic probe for transmitting and receiving an ultrasonic wave, a signal processing apparatus for processing a received ultrasonic signal, and a display apparatus for displaying an ultrasonic image.

초음파 프로브를 이용하여 피검체를 진단하는 경우, 의사 등 사용자는 손으로 직접 초음파 프로브를 잡고 환자의 몸 등 피검체에 초음파 프로브를 접촉시켜 피검체에 초음파를 송신하고 초음파의 에코 신호를 수신할 수 있다. 그러나 초음파 프로브의 탐촉부와 피검체의 접촉부 사이에 공기가 배치되거나 매질이 존재하지 않는다면, 노이즈가 발생하거나 초음파가 송수신되지 못할 수 있으며, 이로 인해 피검체의 이미지가 판독될 수 없다. When a subject is diagnosed by using an ultrasonic probe, a doctor or the like can directly receive an echo signal of the ultrasonic wave by holding the ultrasonic probe by hand and bringing the ultrasonic probe into contact with the subject such as the patient's body to transmit the ultrasonic wave to the subject. have. However, if air is not disposed between the probe of the ultrasonic probe and the contact portion of the subject, or there is no medium, noise may be generated or ultrasonic waves may not be transmitted or received, and the image of the subject can not be read.

피검체의 선명한 진단화상을 얻기 위해 초음파 프로브의 탐촉부와 피검체의 접촉부 사이에 접촉 매질로서 겔(gel)이 사용될 수 있다. 겔이란, 콜로이드 입자 또는 중합체 용질의 상호작용에 기인하여 독립적인 분자 이동성을 상실한 비유동성의 반고형 반액상 물질을 의미한다. 수분을 포함하는 하이드로겔(hydrogel)이, 초음파 진단장치의 탐촉부와 피검체의 접촉부 사이에서 초음파를 전달하기 위한 분산매질로서 주로 사용되고 있다.In order to obtain a clear diagnostic image of the subject, a gel may be used as a contact medium between the probe of the ultrasonic probe and the contact portion of the subject. Gel refers to a non-flowable, semi-solid, semi-liquid material that has lost its independent molecular mobility due to the interaction of colloidal particles or polymer solutes. A hydrogel containing water is mainly used as a dispersion medium for transmitting ultrasonic waves between the probe of the ultrasonic diagnostic apparatus and the contact portion of the subject.

종래에는, 초음파 진단장치의 탐촉부와 피검체의 접촉부 사이에 남은 잔여 겔을 제거하기 위하여 프로브 렌즈 표면을 소독제로 세척하였다. 그러나 프로브 렌즈의 세척용 소독제, 예를 들어, IPA, Cidex OPA, sporox 등은 프로브 렌즈에 손상을 입힐 수 있다.Conventionally, the surface of the probe lens was cleaned with a disinfectant to remove residual gel remaining between the probe of the ultrasonic diagnostic apparatus and the contact portion of the test object. However, disinfectants for cleaning probe lenses, such as IPA, Cidex OPA, and sporox, can damage the probe lens.

본 개시의 일 실시예에서는, 프로브 렌즈에 남아있는 겔을 간단한 물리적 세척만으로도 제거할 수 있는 프로브 렌즈, 보다 구체적으로 초소수성 표면을 구비한 프로브 렌즈와 이를 포함한 초음파 프로브 및 그 제조 방법을 제공한다.In one embodiment of the present disclosure, there is provided a probe lens capable of removing a gel remaining on a probe lens by a simple physical cleaning, more specifically, a probe lens having a superhydrophobic surface, and an ultrasonic probe including the probe lens, and a method of manufacturing the probe lens.

본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 프로브는, 초음파 송수신 소자;상기 초음파 송수신 소자의 전방에 배치된 평판부 및 상기 평판부의 상부면에 걸쳐 배치되며 초소수성인 복수의 제1 돌출부가 구비되는 프로브 렌즈;를 포함할 수 있다.The ultrasonic probe according to an embodiment of the present invention includes an ultrasonic transmitting / receiving element, a flat plate disposed in front of the ultrasonic transmitting / receiving element, and a probe lens disposed on an upper surface of the flat plate and having a plurality of first protrusions, ; ≪ / RTI >

본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 프로브에서, 상기 제1 돌출부의 피치(pitch)는 상기 초음파 송수신 소자로부터 송신된 초음파 신호의 파장의 1/4 이하일 수 있다.In the ultrasonic probe according to an embodiment of the present invention, the pitch of the first protrusions may be less than 1/4 of the wavelength of the ultrasonic signal transmitted from the ultrasonic transmitting / receiving element.

본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 프로브에서, 상기 복수의 제1 돌출부는 원통형, 다각 기둥 또는 삼각뿔 중 하나의 이상의 형상을 구비할 수 있다.In the ultrasonic probe according to an embodiment of the present invention, the plurality of first projections may have one or more shapes of a cylindrical shape, a polygonal column, or a triangular shape.

본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 프로브는, 상기 제1 돌출부의 표면에 걸쳐 도포되는 초소수성 코팅 물질을 더 포함할 수 있다.The ultrasonic probe according to an embodiment of the present invention may further include a super hydrophobic coating material applied over the surface of the first protrusion.

본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 프로브에서, 상기 프로브 렌즈는 가소성 수지 또는 경화성 수지로 마련될 수 있다.In the ultrasonic probe according to an embodiment of the present invention, the probe lens may be formed of a plastic resin or a curable resin.

본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 렌즈의 제조 방법은. 가소성 폴리머를 가열하는 단계; 초소수성 패턴이 형성된 스탬프를 이용하여 상기 가소성 폴리머에 압력을 가하는 단계; 초소수성 패턴이 형성된 가소성 폴리머를 냉각시키는 단계; 상기 초소수성 패턴이 형성된 가소성 폴리머와 상기 스탬프를 분리시키는 단계;를 포함할 수 있다.A method of manufacturing a probe lens according to an embodiment of the present invention includes: Heating the plastic polymer; Applying pressure to the plastic polymer using a stamp having an ultra-hydrophobic pattern formed thereon; Cooling the plastic polymer in which the superhydrophobic pattern is formed; And separating the stamp from the plastic polymer having the superhydrophobic pattern formed thereon.

본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 렌즈의 제조 방법은. 화학 기상 증착 장치의 챔버 내에 상기 초소수성 패턴이 형성된 가소성 폴리머를 배치시키는 단계; 상기 챔버 내에 기체 상태의 초소수성 코팅 물질을 투입하는 단계; 상기 챔버 내에 투입된 상기 초소수성 코팅 물질을 플라즈마 상태로 변환시키는 단계; 상기 초소수성 코팅 물질을 상기 초소수성 패턴이 형성된 가소성 폴리머의 표면에 증착시키는 단계;를 더 포함할 수 있다.A method of manufacturing a probe lens according to an embodiment of the present invention includes: Disposing a plastic polymer having the super-hydrophobic pattern formed therein in a chamber of a chemical vapor deposition apparatus; Injecting a gaseous superhydrophobic coating material into the chamber; Converting the superhydrophobic coating material injected into the chamber into a plasma state; And depositing the super-hydrophobic coating material on the surface of the plastic polymer having the super-hydrophobic pattern formed thereon.

본 발명의 일 측면에 따르면, 프로브 렌즈의 표면은 고도의 수분 반발 성질을 보이는 초소수성 계면(super-hydrophobic interface) 을 구비할 수 있다. 이에 따라, 프로브 렌즈를 세척하는 경우, 수분에 반발하는 초소수성 계면의 성질을 이용하여 물리적 세척만으로도 프로브 렌즈를 용이하게 세척할 수 있다.According to an aspect of the present invention, the surface of the probe lens may have a super-hydrophobic interface exhibiting a high moisture repellency. Accordingly, when the probe lens is washed, the probe lens can be easily cleaned only by physical cleaning using the property of the super hydrophobic interface that repels moisture.

도 1은, 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 프로브를 이용하여 피검체를 진단하는 사시도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 프로브의 부분 단면도이다.
도 2b 및 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 렌즈의 단면도 및 사시도이다.
도 3a 내지 도 3d는, 제1 돌출부가 형성된 초음파 프로브에서 초음파 신호가 진행되는 과정을 도시한 일 실시예이다.
도 4a 내지 도 4e는, 본 발명의 일 실시예에 따라 다양한 형상을 갖는 제1 돌출부가 형성된 프로브 렌즈에 대한 단면도이다.
도 5는, 본 발명의 일 실시예에 따라 제1 돌출부와 제2 돌출부가 형성된 프로브 렌즈에 대한 단면도이다.
도 6a 내지 도 6c는 본 발명의 일 실시예에 따라 제1 돌출부 또는 제2 돌출부상에 초소수성 코팅 물질이 도포된 프로브 렌즈에 대한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따라 프로브 렌즈를 제조하는 방법에 대한 순서도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따라 초소수성 물질로 프로브 렌즈를 코팅하는 방법에 대한 순서도이다. 1 is a perspective view for diagnosing a subject using an ultrasonic probe according to an embodiment of the present invention.
2A is a partial cross-sectional view of an ultrasonic probe according to an embodiment of the present invention.
2B and 2C are a cross-sectional view and a perspective view of a probe lens according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 3A to 3D are views illustrating a process in which an ultrasonic signal propagates in an ultrasonic probe having a first protrusion. FIG.
4A to 4E are cross-sectional views of a probe lens having a first protrusion having various shapes according to an embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view of a probe lens having a first projection and a second projection formed according to an embodiment of the present invention.
6A to 6C are cross-sectional views of a probe lens coated with a super-hydrophobic coating material on a first projection or a second projection according to an embodiment of the present invention.
7 is a flowchart of a method of manufacturing a probe lens according to an embodiment of the present invention.
8 is a flowchart illustrating a method of coating a probe lens with an ultra-hydrophobic material according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Referring to the accompanying drawings, the same or corresponding components are denoted by the same reference numerals, .

본 명세서에서 "피검체"는 사람 또는 동물, 또는 사람 또는 동물의 일부를 포함할 수 있다. 예를 들어, 피검체는 간, 심장, 자궁, 뇌, 유방, 복부 등의 장기, 또는 혈관을 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 "사용자"는 의료 전문가로서 의사, 간호사, 임상 병리사, 의료 영상 전문가 등이 될 수 있으며, 의료 장치를 수리하는 기술자가 될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. As used herein, the term "subject" may include a person or an animal, or a part of a person or an animal. For example, the subject may include an organ such as liver, heart, uterus, brain, breast, abdomen, or blood vessels. In this specification, the term "user" may be a doctor, a nurse, a clinical pathologist, a medical imaging expert or the like as a medical professional and may be a technician repairing a medical device, but is not limited thereto.

도 1은 피검체(20)를 진단하기 위해 초음파 프로브(10)가 피검체(20)의 표면에 밀착된 상태를 나타낸다.1 shows a state in which the ultrasonic probe 10 is in close contact with the surface of the inspected object 20 in order to diagnose the inspected object 20. As shown in Fig.

도 1을 참조하면, 초음파 프로브(10)는, 피검체(20)의 표면에 전면을 밀착시킨 상태에서 피검체를 진단할 수 있다. 예를 들어 초음파 프로브(10)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 피검체(20)의 표면에 프로브 렌즈(100)를 밀착시킨 상태에서 피검체(20)의 표면을 따라 이동하면서 초음파 송수신소자(250; 도 2a참조)를 통해 피검체(20)에 초음파 신호를 송신하고 그로부터 반사되는 초음파 에코신호를 수신하여 피검체(20)의 내부를 진단할 수 있다. Referring to FIG. 1, the ultrasonic probe 10 can diagnose a subject in a state in which the front surface of the subject 20 is in close contact with the surface. For example, the ultrasonic probe 10 is configured to move along the surface of the inspected object 20 while the probe lens 100 is in close contact with the surface of the inspected object 20, It is possible to diagnose the inside of the subject 20 by transmitting an ultrasonic signal to the subject 20 through the ultrasonic sensor 250 (see FIG. 2A) and receiving an ultrasonic echo signal reflected therefrom.

초음파 송수신소자(250)는 피검체(20)의 내부로 초음파를 송신하고, 피검체 내의 각 조직에서 반사되어 되돌아오는 응답 신호를 수신하는 장치로서, 압전 효과 또는 자왜(磁歪) 효과를 이용하여 음향 신호를 전기적 신호로 변환하고, 이를, 제어부(미도시)로 전달한다. 초음파 송수신소자(250)로서는 예를 들어, 압전형 미세가공 초음파 변환기(piezoelectric micromachined ultrasonic transducer, pMUT), 정전 용량형 미세가공 초음파 변환기(capacitive micromachined ultrasonic transducer, cMUT), 자기형 미세가공 초음파 변환기(magnetic micromachined ultrasonic transducer, mMUT) 등이 채용될 수 있다.The ultrasonic transmitting / receiving element 250 is an apparatus for transmitting an ultrasonic wave to the inside of the inspected object 20 and receiving a response signal reflected by each tissue in the inspected object. The ultrasonic transmitting / Converts the signal into an electrical signal, and transmits it to a control unit (not shown). As the ultrasonic transmitting / receiving device 250, for example, a piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (pMUT), a capacitive micromachined ultrasonic transducer (cMUT), a magnetic type microfabricated ultrasonic transducer micromachined ultrasonic transducer, mMUT) or the like may be employed.

초음파 신호가 초음파 송수신소자(250)에 의해 피검체(20)로 송수신되는 경우, 초음파 신호의 감쇄현상을 방지하기 위해 초음파 프로브(10)와 피검체(20)의 표면은 밀착되어야 한다. 예를 들어, 사용자는, 초음파 프로브(10)의 전면부 즉, 프로브 렌즈(100)를 피검체(20)의 피부에 밀착시킴으로써 초음파 신호를 송수신하여 피검체(20)를 진단할 수 있다. 그러나, 초음파 프로브(10)와 피검체(20)의 형상 차이 또는 사용자의 조작 실수 등으로 인하여 초음파 프로브(10)와 피검체(20)의 표면이 밀착되지 않을 수 있으며, 이로 인해 초음파 프로브(10)와 피검체(20)의 표면 사이에 공기가 개재됨으로써 초음파 신호가 현저하게 감쇄될 수 있다. When the ultrasonic signal is transmitted / received to / from the inspected object 20 by the ultrasonic transmitting / receiving element 250, the surface of the inspected object 20 and the ultrasonic probe 10 must be in close contact with each other to prevent the deterioration of the ultrasonic signal. For example, the user can diagnose the subject 20 by transmitting and receiving an ultrasonic signal by bringing the front surface of the ultrasonic probe 10, that is, the probe lens 100, close to the skin of the subject 20. However, the ultrasonic probe 10 may not be in close contact with the surface of the inspected object 20 due to a shape difference between the ultrasonic probe 10 and the inspected object 20, ) And the surface of the inspected object 20, the ultrasonic signal can be remarkably attenuated.

초음파 신호의 감쇄현상을 방지하기 위해, 사용자는, 피검체(20)의 표면과 프로브 렌즈(100) 사이에 초음파 매개체로서 겔(200)을 개재시킬 수 있으며, 이에 따라 초음파 신호의 송수신이 정확하게 이루어질 수 있다. 초음파 프로브(10)는 다른 피검체(20)를 진단하기 위해 재사용될 수 있으며, 프로브 렌즈(100)에 겔(200)이 남아있는 경우 다른 피검체(20)로 피부질환 등이 전염될 수 있으므로, 진단이 완료된 경우, 프로브 렌즈(100)에 남아있는 겔(200)은 세척되어야 한다.In order to prevent the attenuation of the ultrasonic signal, the user can interpose the gel 200 as an ultrasonic medium between the surface of the body 20 and the probe lens 100, . The ultrasonic probe 10 can be reused to diagnose another subject 20 and if the gel 200 remains in the probe lens 100, a skin disease or the like may be transmitted to the other subject 20 , And when the diagnosis is completed, the gel 200 remaining on the probe lens 100 should be cleaned.

겔(200)은 반고형 반액상의 비유동성 물질이므로 물리적 세척만으로는 완벽하게 세척될 수 없다. 예를 들어 사용자가 거즈등으로 프로브 렌즈(100)를 닦아 세척하더라도 겔(200)은 프로브 렌즈(100)상에 남아있을 수 있다. 잔여 겔(200)을 제거하기 위해 화학적 세정제를 사용할 수 있으나, 상술한 바와 같이 세정제로서 이용되는 화학적 물질은 프로브 렌즈(100)를 손상시킬 수 있으므로 화학적 세정제를 사용하여 잔여 겔(200)을 제거하는 방식은 바람직하지 않다. 본원 발명의 일 실시예에 따르면, 분자나 고체 표면의 물 분자와 결합하기 어려운 성질인 초소수성(super-hydrophobicity)을 이용하여 가벼운 물리적 세척만으로도 프로브 렌즈(100)의 겔(200)을 세척할 수 있는 장치가 제공된다. 이와 관련된 구체적인 방안에 대해서는 이후 도 2 내지 도 8을 참조하여 보다 구체적으로 설명하도록 한다.Since the gel 200 is a semi-solid semi-liquid non-flowable material, it can not be completely cleaned by physical cleaning alone. For example, even if the user wipes the probe lens 100 with gauze or the like, the gel 200 may remain on the probe lens 100. A chemical cleaning agent may be used to remove the residual gel 200. However, as described above, the chemical material used as a cleaning agent may damage the probe lens 100, so that the residual gel 200 is removed using a chemical cleaning agent Method is not preferable. According to one embodiment of the present invention, the gel 200 of the probe lens 100 can be cleaned by light physical cleaning using super-hydrophobicity, which is difficult to be combined with water molecules on a molecule or a solid surface. Is provided. Concrete measures related to this will be described in more detail with reference to Figs. 2 to 8 below.

도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 프로브(10)의 단면도를 나타낸다. 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 렌즈(100)를 나타내며, 도 2c는 프로브 렌즈(100)의 상부면에 겔(200)이 배치되어 있는 상태의 일 실시예를 나타낸다.2A is a cross-sectional view of an ultrasonic probe 10 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2B shows a probe lens 100 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2C shows an embodiment in which the gel 200 is disposed on the upper surface of the probe lens 100. FIG.

도 2a를 참조하면, 초음파 프로브(10)는 상술한 바와 같은 초음파 송수신소자(250)와 초음파 송수신소자(250)의 전방에 위치한 프로브 렌즈(100)로 구성된다. 프로브 렌즈(100)에는 평판부(150) 및 평판부의 일면에 걸쳐 초소수성 패턴을 갖는 표면부(180)가 마련될 수 있다. 평판부(150)는, 초음파 프로브(10)의 선단부에 배치되어 초음파 신호를 통과시킬 수 있는 부재로서, 제조 방식에 따라 경화성 수지 또는 가소성 수지로 마련될 수 있다. 평판부(150)의 전체 구조는, 도 2b에 도시된 바와 같이, 선형(linear) 구조일 수 있으나 초음파 프로브(10)의 사용목적에 따라 곡면(arc) 구조 또는 환상(circular) 구조로도 마련될 수 있다. 2A, the ultrasonic probe 10 includes the ultrasonic transmitting / receiving element 250 as described above and the probe lens 100 positioned in front of the ultrasonic transmitting / receiving element 250. The probe lens 100 may be provided with a flat plate portion 150 and a surface portion 180 having a super hydrophobic pattern over one surface of the flat plate portion. The flat plate portion 150 is a member that is disposed at the tip portion of the ultrasonic probe 10 and is capable of passing an ultrasonic signal, and may be provided with a curable resin or a plastic resin according to a manufacturing method. The entire structure of the flat plate part 150 may be a linear structure as shown in FIG. 2B, but may be an arc structure or a circular structure depending on the purpose of use of the ultrasonic probe 10 .

경화성 수지 또는 가소성 수지등의 친수성 재질로 형성된 평판부(150)에는 물을 포함하는 겔(200)이 달라붙을 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 평판부(150)에는, 그 상부면에 복수의 제1 돌출부(185)가 형성된다. 즉, 복수의 제1 돌출부(185)가 평판부(150)상에 형성되는 경우, 서로 인접하는 제1 돌출부(185) 사이에 공기막이 안정적으로 위치됨으로써, 프로브 렌즈(100)의 표면은 물을 포함하는 겔(200)과 매우 적은 면적에서만 접촉할 수 있다. 이에 따라, 프로브 렌즈(100)의 표면은 초소수성을 띄게 된다. The gel 200 containing water may stick to the flat plate portion 150 formed of a hydrophilic material such as a curable resin or a plastic resin. In the flat plate portion 150 according to an embodiment of the present invention, a plurality of first projections 185 are formed on the upper surface thereof. That is, when a plurality of first protrusions 185 are formed on the flat plate portion 150, the air film is stably positioned between the adjacent first protrusions 185 so that the surface of the probe lens 100 is water Can contact only a very small area of the gel 200 contained therein. As a result, the surface of the probe lens 100 becomes super-hydrophobic.

제1 돌출부(185)는, 복수개의 제1 돌출부(185)의 폭 및 길이는 초소수성의 특징을 구비할 수 있도록 수 μm 내지 수백μm 범위 내에서 구비될 수 있다. The width and length of the first protrusions 185 may be in the range of several micrometers to several hundreds of micrometers so that the first protrusions 185 may have a super-hydrophobic characteristic.

도 2c를 참조하면, 프로브 렌즈(100)에 배치된 겔(200)은 친수성을 갖는 제1 돌출부(185)의 상부면(188)에서만 접촉할 수 있으므로, 프로브 렌즈(100)가 단순 평면인 경우와 비교하여 더 좁은 면적에서 겔(200)과 접촉할 수 있다. 이에 따라, 수분을 포함하는 겔(200)의 표면장력이 증가함으로써 표면부(180)와 겔(200)의 접촉각이 90^o이상으로 유지되며, 진단을 마친 이후 프로브 렌즈(100)에 남아있는 겔(200)이 프로브 렌즈(100)에 부착되지 못한 채 프로브 렌즈(100)상에 남아있게 된다. 프로브 렌즈(100)에 남아있는 겔(200)이 프로브 렌즈(100)로 부착되지 못함에 따라, 사용자는 가벼운 물리적 세척만으로도 프로브 렌즈(100)에서 잔여 겔(200)을 세척할 수 있다. 예를 들어 사용자는, 거즈등을 이용하여 프로브 렌즈(100)를 가볍게 닦아줌으로써 프로브 렌즈(100)에 남아있는 잔여 겔(200)을 제거할 수 있다. 이와 같이 초소수성에 의한 방수(water resistance) 특성을 이용하여 프로브 렌즈(100)를 세척함으로써 프로브 렌즈(100)를 손상시키는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 화학적 세정제를 사용하지 않고서도 프로브 렌즈(100)를 세척할 수 있다. Referring to FIG. 2C, the gel 200 disposed on the probe lens 100 can contact only the upper surface 188 of the hydrophilic first protrusion 185, so that when the probe lens 100 is a simple plane To contact the gel 200 in a narrower area. As a result, the surface tension of the gel 200 including moisture is increased, so that the contact angle between the surface portion 180 and the gel 200 is maintained at 90 ^° or more. After the diagnosis, the gel remaining on the probe lens 100 The probe 200 is not attached to the probe lens 100 and remains on the probe lens 100. Since the gel 200 remaining on the probe lens 100 can not be attached to the probe lens 100, the user can clean the residual gel 200 from the probe lens 100 with only light physical cleaning. For example, the user can remove the residual gel 200 remaining on the probe lens 100 by gently wiping the probe lens 100 using a gauze or the like. The probe lens 100 can be prevented from being damaged by washing the probe lens 100 by using the water resistance characteristic due to the superhydrophobicity and the probe lens 100 can be prevented from being damaged without using a chemical cleaning agent, Lt; / RTI >

도 3a 내지 도 3d는 초음파 신호의 파장(λ)과 제1 돌출부(185)의 상부면의 폭(D1) 및 복수의 제1 돌출부 상호간의 간격(D3)에 대한 상관관계를 나타낸다. 본 명세서에서는, 제1 돌출부(185)의 상부면의 폭(D1) 및 인접한 제1 돌출부 사이 간격(D3)을 합산한 거리를 피치(Pitch; P)로 정의한다.3A to 3D show the correlation between the wavelength λ of the ultrasonic signal and the width D1 of the upper surface of the first protrusion 185 and the interval D3 between the first protrusions. In this specification, a distance obtained by summing the width D1 of the upper surface of the first projection 185 and the interval D3 between adjacent first projections is defined as a pitch (P).

초음파 송수신소자(250)로부터 피검체(20)로 송신되고 피검체(20)로부터 초음파 송수신소자(250)로 에코신호가 수신되기 위해 초음파 신호는 프로브 렌즈(100)를 통과해야 한다. 이 때, 프로브 렌즈(100)의 일 표면상에 복수의 제1 돌출부(185)가 배치된다면 초음파 신호가 통과하는 과정에서 산란현상이 발생될 수 있으며, 이로 인해 정확한 진단이 어려워질 수 있다. 따라서, 초음파 신호를 산란시키지 않을 수 있는 제1 돌출부(185)의 크기가 결정되어야 한다.The ultrasonic signal must be transmitted through the probe lens 100 in order to transmit the ultrasonic signal to the inspected object 20 from the ultrasonic transmitting / receiving element 250 and receive the echo signal from the inspected object 20 to the ultrasonic transmitting / receiving element 250. At this time, if a plurality of first protrusions 185 are disposed on one surface of the probe lens 100, a scattering phenomenon may occur during the passage of ultrasonic signals, which may make accurate diagnosis difficult. Therefore, the size of the first protrusion 185, which may not scatter the ultrasonic signal, must be determined.

도 3a를 참조하면, 프로브 렌즈(100)에 제1 돌출부(185)가 배치되지 않은 경우, 제1 초음파 신호(600)는 프로브 렌즈(100)의 면을 따라 동일한 위상을 지닌 채 진행된다. 이 때, 제1 초음파 신호(600)가 진행됨에 따라 제1 초음파 신호(600)의 주변부에는 노이즈 패턴(650)이 나타나지 않는다.3A, when the first projection 185 is not disposed on the probe lens 100, the first ultrasonic signal 600 proceeds along the surface of the probe lens 100 with the same phase. At this time, as the first ultrasonic signal 600 advances, the noise pattern 650 does not appear on the periphery of the first ultrasonic signal 600.

도 3b를 참조하면, 프로브 렌즈(100)에 제1 초음파 신호(600)의 파장(λ)과 동일한 크기의 피치(P1)를 갖는 제1 돌출부(185)가 배치된 경우, 제2 초음파 신호(601)는 제1 돌출부(185)에 의해 산란되어 사인파 형태로 진행된다. 제2 초음파 신호(601)가 진행됨에 따라 제2 초음파 신호(601)의 주변부에는 노이즈 패턴(650)이 나타난다. 3B, when the probe lens 100 is provided with the first protrusion 185 having the pitch P1 equal to the wavelength λ of the first ultrasonic signal 600, the second ultrasonic signal 601 are scattered by the first projection 185 and proceed in the form of a sinusoidal wave. As the second ultrasonic signal 601 advances, a noise pattern 650 appears on the periphery of the second ultrasonic signal 601.

도 3c를 참조하면, 프로브 렌즈(100)에 제1 초음파 신호(600)의 파장(λ)의 절반 크기의 피치(P2)를 갖는 제1 돌출부(185)가 배치된 경우, 제3 초음파 신호(602)는 제1 돌출부(185)에 의해 일부 산란되지만, 특정 거리에 이르러 프로브 렌즈(100)의 면을 따라 동일한 위상을 지닌 채 진행된다. 다만, 제3 초음파 신호(602)가 진행됨에 따라 제3 초음파 신호(602)의 주변부에는 노이즈 패턴(650)이 나타난다. 3C, when the probe lens 100 is provided with the first protrusion 185 having a pitch P2 of half the wavelength λ of the first ultrasonic signal 600, the third ultrasonic signal 602 are partially scattered by the first protrusions 185, but proceed to a certain distance and have the same phase along the surface of the probe lens 100. [ However, as the third ultrasonic signal 602 advances, a noise pattern 650 appears on the periphery of the third ultrasonic signal 602.

도 3d를 참조하면, 프로브 렌즈(100)에 제1 초음파 신호(600)의 파장(λ)의 1/4 크기의 피치(P3)를 갖는 제1 돌출부(185)가 배치된 경우, 제4 초음파 신호(603)는 제1 돌출부(185)에 의해 거의 산란되지 않은 채, 프로브 렌즈(100)의 면을 따라 동일한 위상을 지닌 채 진행된다. 이 때, 제4 초음파 신호(603)가 진행됨에 따라 제4 초음파 신호(603)의 주변부에는 노이즈 패턴(650)이 나타나지 않는다. Referring to FIG. 3D, when the probe lens 100 is provided with the first protrusion 185 having a pitch P3 of 1/4 of the wavelength λ of the first ultrasonic signal 600, The signal 603 proceeds with the same phase along the surface of the probe lens 100 without being scattered by the first projection 185. At this time, as the fourth ultrasonic signal 603 advances, the noise pattern 650 does not appear on the periphery of the fourth ultrasonic signal 603.

따라서, 프로브 렌즈(100)에 제1 돌출부(185)를 배치시키는 경우, 초음파 신호(600)의 산란에 의한 노이즈 현상을 방지하기 위해 초음파 신호(600)의 파장(λ)보다 작은 피치(P)를 갖도록 제1 돌출부(185)를 형성할 수 있다. 보다 바람직하게는, 초음파 신호(600)의 파장(λ)의 1/4 이하의 피치(P)를 갖도록 제1 돌출부(185)를 형성할 수 있다.Therefore, when the first projection 185 is disposed on the probe lens 100, a pitch P smaller than the wavelength? Of the ultrasonic signal 600 is used to prevent the noise phenomenon due to the scattering of the ultrasonic signal 600. [ The first protrusion 185 may be formed to have the first protrusion 185. More preferably, the first protrusion 185 may be formed to have a pitch P of 1/4 or less of the wavelength? Of the ultrasonic signal 600.

도 4a 내지 도 4c는 일부 실시예에 따라 다양한 형상으로 마련된 복수의 제1 돌출부(185)를 포함하는 프로브 렌즈(100)의 단면도이다. 제1 돌출부(185)는, 도 2에 도시된 원통형상 외에, 다양한 형상으로 마련될 수 있다. 예를 들어 도 4a 내지 도 4c에 도시된 바와 같이, 사각기둥, 반구, 삼각뿔 형상으로 마련될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며 구, 원뿔 섬모(cilium) 또는 파이버(fiber)등의 형상으로 마련될 수 있다. 또한, 제1 돌출부(185)는 서로 다른 높이를 지닌 다수의 돌출부로 마련될 수 있다. 예를 들어, 도 4d에 도시된 바와 같이 제1 높이(h1)를 구비한 제1 돌출부(1851)와 제2 높이(h2)를 구비한 제1 돌출부(1852)가 평판부(150)의 일면에 걸쳐 반복적으로 배치될 수 있다. 4A through 4C are cross-sectional views of a probe lens 100 including a plurality of first protrusions 185 provided in various shapes according to some embodiments. The first projection 185 may be provided in various shapes other than the cylindrical shape shown in Fig. For example, as shown in FIGs. 4A to 4C, it may be formed in a square pillar, a hemisphere, and a triangular pyramid, but is not limited thereto and may be formed in the shape of a sphere, a conical cilium, . Also, the first protrusions 185 may be provided with a plurality of protrusions having different heights. For example, as shown in FIG. 4D, a first protrusion 1851 having a first height h1 and a first protrusion 1852 having a second height h2 are disposed on one surface of the flat plate 150 Lt; / RTI >

더불어, 복수의 제1 돌출부(185)는 하나의 형상만이 아니라 복수의 형상의 조합으로 마련될 수 있다. 예를 들어 도 4e에 도시된 바와 같이, 삼각뿔 형상의 제1 돌출부(1853)와 사각기둥 형상의 제1 돌출부(1854)가 하나의 평판부(150)상에 마련될 수 있다. In addition, the plurality of first protrusions 185 may be provided not only in one shape but also in a combination of a plurality of shapes. For example, as shown in FIG. 4E, a first protrusion 1853 having a triangular pyramid shape and a first protrusion 1854 having a rectangular columnar shape may be provided on one flat plate portion 150.

도 5는 복수의 제1 돌출부(185)와 복수의 제2 돌출부(187)를 포함하는 일 실시예를 나타낸다.FIG. 5 shows an embodiment including a plurality of first projections 185 and a plurality of second projections 187. FIG.

초음파 프로브 렌즈(100)는 평판부(150)상에 제1 돌출부(185)뿐만 아니라 또 다른 제2 돌출부(187)를 더 포함할 수 있다. 제2 돌출부(187)는, 제1 돌출부(185)의 상부면(188)에 배치될 수 있으며, 제1 돌출부(185)와 제2 돌출부(187)는 서로 다른 형상 및 폭, 높이를 구비하도록 마련될 수 있다. The ultrasonic probe lens 100 may further include a second protrusion 187 as well as a first protrusion 185 on the flat plate portion 150. The second projection 187 may be disposed on the upper surface 188 of the first projection 185 and the first projection 185 and the second projection 187 may have different shapes, .

제1 돌출부(185)와 제2 돌출부(187)가 평판부(150)상에 위치되는 경우, 겔(200)은 제2 돌출부(187)상에 배치될 수 있다. 예를 들어, 제2 돌출부(187)가, 도 5에 도시된 바와 같이 제1 돌출부(185)의 상부면(188)에 위치되는 경우, 겔(200)은 제2 돌출부의 상부면(189)에 배치된다. 겔(200)과 프로브 렌즈(100)의 접촉면적이 제2 돌출부의 상부면(189)으로 한정됨에 따라, 겔(200)과 접촉하는 프로브 렌즈(100)의 접촉 면적이 작아질 수 있다. 접촉 면적이 감소하는 경우, 겔(200)의 표면장력이 증가할 수 있으며, 이에 따라 겔(200)과 프로브 렌즈(100)사이의 접촉각이 증가함으로써 프로브 렌즈(100)는 초소수성의 특성을 가질 수 있다. The gel 200 may be disposed on the second projection 187 when the first projection 185 and the second projection 187 are located on the flat plate portion 150. [ For example, when the second protrusion 187 is located on the top surface 188 of the first protrusion 185 as shown in FIG. 5, the gel 200 is positioned on the top surface 189 of the second protrusion, . The contact area between the gel 200 and the probe lens 100 is limited to the upper surface 189 of the second protrusion so that the contact area of the probe lens 100 in contact with the gel 200 can be reduced. When the contact area decreases, the surface tension of the gel 200 may increase, and thus the contact angle between the gel 200 and the probe lens 100 increases, so that the probe lens 100 has a property of super- .

제2 돌출부(187)는, 도 5에 도시된 바와 같이 원통형으로 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 제2 돌출부(187)는, 도 5에 도시된 원통형외에 다각기둥, 구, 반구, 삼각뿔, 원뿔 섬모(cilium) 또는 파이버(fiber) 형상으로 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. The second protrusion 187 may be formed in a cylindrical shape as shown in FIG. 5, but is not limited thereto. The second protrusion 187 may be formed in a polygonal, spherical, hemispherical, triangular, conical cilium or fiber shape in addition to the cylindrical shape shown in FIG. 5, but is not limited thereto.

도 6은, 본원 발명의 일 실시예에 따라 초소수성 물질로 도포된 프로브 렌즈(100)를 나타낸다. FIG. 6 shows a probe lens 100 coated with an ultra-hydrophobic material according to an embodiment of the present invention.

도 6a를 참조하면, 프로브 렌즈(100)의 초소수성을 증가시키기 위해, 프로브 렌즈(100)에는 초소수성 코팅 물질(280)이 도포될 수 있다. 초소수성 코팅 물질(280)은, 초소수성 물질이 박막 형태로 얇게 펼쳐진 것이다. 초소수성 코팅 물질(280)이 프로브 렌즈(100)에 도포됨에 따라, 겔(200)은 프로브 렌즈(100)로 침투하지 못한 채 프로브 렌즈(100)의 전면부에서 부유하게 된다. 예를 들어 초소수성 코팅 물질(280)이, 도 6a에 도시된 바와 같이 평판부(150)상에 도포되는 경우, 겔(200)은, 프로브 렌즈(100)로 침투하지 못한 채 초소수성 코팅 물질(280)상에 잔존하게 된다.Referring to FIG. 6A, in order to increase the super-hydrophobicity of the probe lens 100, the probe lens 100 may be coated with a super-hydrophobic coating material 280. The superhydrophobic coating material 280 is one in which the super-hydrophobic material is spread thinly in the form of a thin film. As the super hydrophobic coating material 280 is applied to the probe lens 100, the gel 200 floats on the front surface of the probe lens 100 without penetrating the probe lens 100. 6A, the gel 200 may be immersed into the probe lens 100 while the ultrafine hydrophobic coating material 280 is immersed in the probe lens 100. For example, when the ultrafine hydrophobic coating material 280 is applied on the flat plate 150 as shown in FIG. 6A, Gt; 280 < / RTI >

초소수성 코팅 물질(280)은 물분자와 친화성이 있는 기를 갖지 않는 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어 초소수성 코팅 물질(280)은, 도 6a에 도시된 바와 같이 수산기, 아미노기, 카르복실기 등과 같은 물분자와 친화성이 있는 기를 갖지 않는 폴리테트라플루오르에틸 (polytetrafluoroethylene, PTFE)또는 알킬케톤다이머(alkyl keton dimer, AKD)로 구성될 수 있다.The superhydrophobic coating material 280 may be made of a material that does not have a group that is compatible with water molecules. For example, the ultrafine hydrophobic coating material 280 may be a polytetrafluoroethylene (PTFE) or an alkyl ketone dimer (not shown) having no group having affinity for water molecules such as a hydroxyl group, an amino group, a carboxyl group and the like alkyl keton dimer, AKD).

상술한 바와 같이, 프로브 렌즈(100)는 평판부(150)와 평판부(150)상에 배치된 표면부(180)를 포함할 수 있으며, 초소수성 코팅 물질(280)은 표면부(180)에 도포될 수 있다. 표면부(180)는, 도 6b에 도시된 바와 같이 복수의 제1 돌출부(185)를 구비할 수 있으며, 복수의 제1 돌출부(185)상에 초소수성 코팅 물질(280)이 도포됨에 따라 프로브 렌즈(100)는 초소수성으로 마련될 수 있다. The probe lens 100 may include a planar portion 150 and a surface portion 180 disposed on the planar portion 150. The super hydrophobic coating material 280 may include a surface portion 180, . ≪ / RTI > The surface portion 180 may include a plurality of first protrusions 185 as shown in FIG. 6B, and the first protrusions 185 may be formed on the first protrusions 185, The lens 100 may be provided with a super-hydrophobic property.

또한, 표면부(180)는, 도 6c에 도시된 바와 같이 복수의 제1 돌출부(185)와 복수의 제2 돌출부(187)를 구비할 수 있다. 초소수성 코팅 물질(280)이, 복수의 제1 돌출부(185)와 복수의 제2 돌출부(187)상에 도포됨에 따라 프로브 렌즈(100)는 초소수성으로 마련될 수 있다. 프로브 렌즈(100)가 초소수성인 경우, 겔(200)은, 프로브 렌즈(100)로 침투하지 못한 채 초소수성 코팅 물질(280)상에 잔존하게 된다.The surface portion 180 may have a plurality of first projections 185 and a plurality of second projections 187 as shown in FIG. 6C. As the super hydrophobic coating material 280 is applied on the plurality of first protrusions 185 and the plurality of second protrusions 187, the probe lens 100 may be provided with a super-hydrophobic property. When the probe lens 100 is ultra-small, the gel 200 remains on the ultra-hydrophobic coating material 280 without penetrating the probe lens 100.

도 7은, 임프린팅 공정을 이용하여 초소수성 표면을 지닌 프로브 렌즈(100)를 제조할 수 있는 방법을 나타낸 도면이다. 일 실시예는, 프로브 렌즈(100)가 가소성 재료로 형성된 경우의 제조 공정을 나타낸 것이지만, 이에 제한되는 것은 아니다. 7 is a view showing a method of manufacturing a probe lens 100 having a super-hydrophobic surface by using an imprinting process. One embodiment shows a manufacturing process in the case where the probe lens 100 is formed of a plastic material, but the present invention is not limited thereto.

초소수성 표면을 지닌 프로브 렌즈(100)를 제조하기 위해, 가소성 폴리머(300)가 준비된다. 예를 들어, 가소성 폴리머(300)로는 RET(reactive ethylene terpolymer), ABS(acrylonitrile butadiene-styrene copolymer), PMMA(polymethyl methacrylate), MPP(methyl pentene polymer), PI(polymide), PVDF(polyvinylidene fluoride), PVDC(polyvinylidene chloride), PC(polycarbonate), PS(polystyrene), PA(nylon(polyamide)), PETP(polyethylene telephtalate), PPO(polyphenylene oxide) 또는 PVC(poly vinyl chloride) 등이 사용할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.To prepare the probe lens 100 having a superhydrophobic surface, a plastic polymer 300 is prepared. For example, as the plastic polymer 300, there can be used a reactive ethylene terpolymer (RET), an acrylonitrile butadiene-styrene copolymer (ABS), a polymethyl methacrylate (PMMA), a methyl pentene polymer (MPP), a polymide (PI), a polyvinylidene fluoride Polyvinylidene chloride (PVDC), polycarbonate (PC), polystyrene (PS), nylon (polyamide), polyethylene telephtalate (PETP), polyphenylene oxide (PPO) It is not.

단계(S11)에 도시된 바와 같이 가소성 폴리머(300)가 준비될 수 있다. 준비된 가소성 폴리머(300)에 대해 열을 가하며, 이 때 가열 온도는 가소성 폴리머(300)의 녹는점과 유사한 온도일 수 있다. 가열 공정은, 예를 들어 가소성 폴리머(300)를 핫 플레이트(hot plate) 상에 위치시켜 열을 가해줌으로써 이루어질 수 있다. 가소성 폴리머(300)가 충분히 가열 됨에 따라, 가소성 폴리머(300)는 인가된 열에 의해 용융될 수 있는 상태가 된다. The plastic polymer 300 may be prepared as shown in step S11. Heat is applied to the prepared plastic polymer 300, wherein the heating temperature may be a temperature similar to the melting point of the plastic polymer 300. The heating process can be performed, for example, by placing the plastic polymer 300 on a hot plate and applying heat. As the plastic polymer 300 is sufficiently heated, the plastic polymer 300 becomes melted by the applied heat.

단계(S12)를 참조하면, 스탬프(310), 예를 들어 Ni 스탬프(Ni stamp) 를 이용하여 가소성 폴리머(300) 표면에 압력을 가해준다. 이 때, 스탬프(310)의 표면에는 초소수성 패턴(300a), 예를 들어 제1 돌출부(185) 또는 제2 돌출부(187)와 반대되는 형상을 지닌 패턴이 형성된다. 가소성 폴리머(300)의 표면에 충분한 압력을 인가하게 되면 스탬프(310) 표면의 패턴 형상에 따라 가소성 폴리머(300) 표면에도 초소수성 패턴(300a)이 형성될 수 있다. 초소수성 패턴(300a)의 형상, 높이, 직경 등은 스탬프(310)의 표면 패턴 형상을 제어하여 용이하게 조절할 수 있다. Referring to step S12, a pressure is applied to the surface of the plastic polymer 300 using a stamp 310, for example, a Ni stamp. At this time, a pattern having a shape opposite to that of the super-hydrophobic pattern 300a, for example, the first projection 185 or the second projection 187, is formed on the surface of the stamp 310. When a sufficient pressure is applied to the surface of the plastic polymer 300, the hydrophobic pattern 300a may be formed on the surface of the plastic polymer 300 according to the pattern shape of the surface of the stamp 310. The shape, height, diameter, etc. of the super-hydrophobic pattern 300a can be easily controlled by controlling the surface pattern shape of the stamp 310. [

단계(S14)를 참조하면, 초소수성 패턴(300a)이 형성된 가소성 폴리머(300)를 스탬프(310)와 분리시킨다. 이 때, 가소성 폴리머(300)와 스탬프(310)를 분리하는 경우 초소수성 패턴(300a)의 변형이 발생할 수 있다. 단계(S13)를 참조하면, 초소수성 패턴(300a)의 변형을 최소화하기 위하여, 가소성 폴리머(300)와 스탬프(310)를 분리하기 전에 충분히 냉각을 시킬 수 있다. Referring to step S14, the plastic polymer 300 on which the super-hydrophobic pattern 300a is formed is separated from the stamp 310. [ At this time, when the plastic 310 and the plastic 310 are separated from each other, deformation of the hydrophobic pattern 300a may occur. Referring to step S13, sufficient cooling may be performed before separating the plastic 310 and the plastic 310 so as to minimize deformation of the super-hydrophobic pattern 300a.

초소수성 표면 이미지는 스탬프(300)의 표면 형상에 따라 조절할 수 있다. 초소수성 표면 이미지를 변형시킴으로써 다양한 형상이 복합적으로 마련된 초소수성 표면을 지닌 나노 복합체를 얻을 수 있다. The superhydrophobic surface image can be adjusted according to the surface shape of the stamp 300. By deforming the superhydrophobic surface image, a nanocomposite having a super-hydrophobic surface in which various shapes are combined can be obtained.

도 8을 참조하면, 초소수성 박막 코팅단계가 진행된다. 단계(S11)을 참조하면, 화학 기상 증착 장비의 챔버, 예를 들어 RF- CVD 장비의 챔버 내에 초소수성 표면부(180)를 갖는 프로브 렌즈(100)가 배치된다. 단계(S12)를 참조하면, RF- CVD 장비의 챔버 내에 기체 상태의 초소수성 코팅 물질(280)을 투입한다. 단계(S13)를 참조하면, RF- CVD 장비의 챔버 내에 투입된 초소수성 코팅 물질(280)을 RF-power에 의해 플라즈마 상태로 변환된다. 단계(S14)를 참조하면, 초소수성 코팅 물질(280)이 제1 돌출부(185) 또는 제2 돌출부(187)의 표면에 증착될 수 있다. 이에 따라, 프로브 렌즈(100)의 표면에는 표면 에너지가 낮은 초소수성 박막 물질이 코팅될 수 있다.Referring to FIG. 8, a super-hydrophobic thin film coating step is performed. Referring to step S11, a probe lens 100 having a super-hydrophobic surface portion 180 is disposed in a chamber of a chemical vapor deposition apparatus, for example, a chamber of an RF-CVD apparatus. Referring to step S12, the gaseous superhydrophobic coating material 280 is introduced into the chamber of the RF-CVD equipment. Referring to step S13, the ultra-hydrophobic coating material 280 injected into the chamber of the RF-CVD equipment is converted to a plasma state by RF-power. Referring to step S14, the super-hydrophobic coating material 280 may be deposited on the surface of the first protrusion 185 or the second protrusion 187. Accordingly, the surface of the probe lens 100 can be coated with a super-hydrophobic thin film material having a low surface energy.

이상, 초소수성 프로브 렌즈와 이를 구비한 초음파 프로브 및 그 제조 방법에 대한 실시예들을 설명하였으나, 상기한 실시예들은 예시적인 것에 불과한 것으로, 당해 기술분야의 통상을 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 하기의 특허청구범위에 기재된 발명의 기술적 사상에 의해 정해져야만 할 것이다.While the present invention has been fully described in connection with the preferred embodiments thereof with reference to the accompanying drawings, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, And other equivalent embodiments are possible. Accordingly, the true scope of protection of the present invention should be determined by the technical idea of the invention described in the following claims.

10: 초음파 프로브
100: 프로브 렌즈
150: 평판부
180: 표면부
185: 제1 돌출부
187: 제2 돌출부
200: 겔
250: 초음파 송수신 소자
280: 초소수성 코팅 물질10: Ultrasonic probe
100: probe lens
150:
180: surface portion
185: first protrusion
187: second protrusion
200: Gel
250: Ultrasonic transceiver
280: superhydrophobic coating material

Claims (9)

초음파 송수신 소자;
상기 초음파 송수신 소자의 전방에 배치된 평판부 및 상기 평판부의 상부면에 걸쳐 배치되며 초소수성 복수의 제1 돌출부가 구비되는 프로브 렌즈;를 포함하며,
상기 제1 돌출부의 피치(pitch)가 상기 초음파 송수신 소자로부터 송신된 초음파 신호의 파장의 1/4 이하인,
초음파 프로브.An ultrasonic transmitting / receiving element;
And a probe lens disposed on the front surface of the ultrasonic transmitting / receiving element and having a plurality of first protrusions disposed on the upper surface of the flat plate and having a super hydrophobic property,
Wherein a pitch of the first projections is equal to or smaller than 1/4 of a wavelength of an ultrasonic signal transmitted from the ultrasonic transmitting /
Ultrasonic probe. 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 복수의 제1 돌출부는 원통형, 다각 기둥 또는 삼각뿔 중 하나의 이상의 형상을 구비하는,
초음파 프로브.The method according to claim 1,
Wherein the plurality of first protrusions have one or more shapes of a cylindrical shape, a polygonal column or a triangular shape,
Ultrasonic probe. 제1 항에 있어서,
상기 제1 돌출부의 표면에 걸쳐 도포되는 초소수성 코팅 물질을 더 포함하는,
초음파 프로브.The method according to claim 1,
Further comprising a super-hydrophobic coating material applied over a surface of the first projection,
Ultrasonic probe. 제1 항에 있어서,
상기 프로브 렌즈는 가소성 수지 또는 경화성 수지로 마련되는,
초음파 프로브.The method according to claim 1,
Wherein the probe lens is made of a plastic resin or a curable resin,
Ultrasonic probe. 제1 항에 있어서,
상기 복수의 제1 돌출부의 높이가 서로 상이하게 마련되는,
초음파 프로브.The method according to claim 1,
Wherein the plurality of first protrusions are different in height from each other,
Ultrasonic probe. 제1 항에 있어서,
상기 복수의 제1 돌출부 상에 배치되는 복수의 제2 돌출부를 더 포함하는,
초음파 프로브.The method according to claim 1,
Further comprising a plurality of second protrusions disposed on the plurality of first protrusions,
Ultrasonic probe. 가소성 폴리머를 가열하는 단계;
초소수성 패턴이 형성된 스탬프를 이용하여 상기 가소성 폴리머에 압력을 가하는 단계;
초소수성 패턴이 형성된 가소성 폴리머를 냉각시키는 단계;
상기 초소수성 패턴이 형성된 가소성 폴리머와 상기 스탬프를 분리시키는 단계;를 포함하는,
프로브 렌즈의 제조 방법.Heating the plastic polymer;
Applying pressure to the plastic polymer using a stamp having an ultra-hydrophobic pattern formed thereon;
Cooling the plastic polymer in which the superhydrophobic pattern is formed;
And separating the stamp from the plastic polymer having the superhydrophobic pattern formed thereon.
A method of manufacturing a probe lens. 제8 항에 있어서,
화학 기상 증착 장치의 챔버 내에 상기 초소수성 패턴이 형성된 가소성 폴리머를 배치시키는 단계;
상기 챔버 내에 기체 상태의 초소수성 코팅 물질을 투입하는 단계;
상기 챔버 내에 투입된 상기 초소수성 코팅 물질을 플라즈마 상태로 변환시키는 단계;
상기 초소수성 코팅 물질을 상기 초소수성 패턴이 형성된 가소성 폴리머의 표면에 증착시키는 단계;를 더 포함하는,
프로브 렌즈의 제조 방법.9. The method of claim 8,
Disposing a plastic polymer having the super-hydrophobic pattern formed therein in a chamber of a chemical vapor deposition apparatus;
Injecting a gaseous superhydrophobic coating material into the chamber;
Converting the superhydrophobic coating material injected into the chamber into a plasma state;
And depositing the superhydrophobic coating material on the surface of the plastic polymer having the superhydrophobic pattern formed thereon.
A method of manufacturing a probe lens.

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