KR101614307B1 - Surface treatment system and its control method - Google Patents

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Abstract

본 발명은 피도물의 표면 처리 시스템 및 그 제어방법에 관한 것으로, 그 목적은 피도물의 표면 처리에 사용된 처리용액의 오염도를 자동으로 검사 및 관리하여 피도물의 표면 처리 수준을 일정 수준으로 유지할 수 있도록 한 피도물의 표면 처리 시스템 및 그 제어방법을 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 피도물의 표면 처리를 위한 처리용액이 저장되는 용액탱크와, 상기 용액탱크에 저장된 처리용액이 피도물에 분사되도록 처리용액을 이송하는 펌프를 포함하는 피도물의 표면처리 시스템에 있어서, 상기 피도물의 표면 처리에 사용된 처리용액을 촬영하여 처리용액의 화상 정보를 획득하는 카메라; 및 상기 카메라에서 획득된 화상 정보를 분석하여 처리용액의 오염도를 검사하는 컨트롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 피도물의 표면처리 시스템 및 이러한 피도물 표면처리 시스템의 제어방법을 제공한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface treatment system of a substrate and a control method thereof, and an object of the present invention is to provide a surface treatment system for a surface treatment of a substrate, A surface treatment system of a substrate and a control method thereof. To this end, the present invention provides a surface treatment system for a substrate, comprising: a solution tank for storing a treatment solution for surface treatment of the substrate; and a pump for conveying the treatment solution so that the treatment solution stored in the solution tank is sprayed onto the substrate, A camera for photographing the treatment solution used in the surface treatment of the substrate to acquire image information of the treatment solution; And a controller for analyzing the image information obtained by the camera to check the degree of contamination of the treatment solution. The present invention also provides a surface treatment system for a substrate and a control method for the surface treatment system.

Description

피도물의 표면 처리 시스템 및 그 제어방법{Surface treatment system and its control method}[0001] Surface treatment system and its control method [0002]

본 발명의 피도물의 표면 처리 시스템 및 그 제어방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 피도물의 표면 처리에 사용되는 처리용액의 오염도를 자동으로 검사 및 관리하여 피도물의 표면 처리 수준을 일정 수준으로 유지할 수 있도록 한 피도물의 표면 처리 시스템 및 그 제어방법에 관한 것이다.The present invention relates to a surface treatment system and a control method thereof, and more particularly, to a surface treatment system for a surface treatment of an object, To a surface treatment system for a substrate and a control method thereof.

일반적으로 금속 부품의 부식을 방지를 위하여 금속 부품의 표면에 도막을 형성하는 도장작업을 실시하게 되며, 이러한 도장작업에 앞서 도장제가 금속 부품의 표면에 잘 흡착되도록 하여 도장품질을 높이는 전처리 작업을 진행하게 된다.In general, to prevent corrosion of metal parts, coating process is performed to form a coating on the surface of metal parts. Pre-treatment to improve coating quality is carried out so that the paint is adsorbed well on the surface of metal parts prior to such painting .

이처럼 도장전 이루어지는 전처리 작업은 피도물인 금속 부품의 표면에 존재하는 기름 및 오염물질의 제거를 위한 세척을 실시하는 수세 공정과, 금속 부품의 표면에 활성점을 만들어 화성피막시 입자가 작고 세밀하게 나올 수 있도록 표면조정액을 이용하여 금속 부품의 표면을 처리하는 표면조정 공정과, 금속 부품의 표면에 인산염 피막을 형성시켜 내식성 및 밀착성을 향상시키는 인산아연 전처리 공정과, 인산아연 전처리 공정을 거친 금속 부품을 세척하는 수세 공정과, 전기적으로 중성인 순수를 사용하여 금속 부품을 씻어줌으로써 각종 이온 활동에 의한 도장불량을 예방하는 순수세 공정으로 이루어진다.The pretreatment before coating is a washing process for cleaning the surface of the metal parts of the substrate to remove oil and contaminants present on the surface of the metal parts, A pretreatment step of zinc phosphate pretreatment which improves the corrosion resistance and adhesion by forming a phosphate film on the surface of the metal part and a step of pretreating the metal part after the zinc phosphate pretreatment step And a pure water washing step of washing the metal parts by using electrically neutral pure water to prevent coating defects due to various ion activities.

한편, 상기 표면조정 공정은, 표면조정액과 순수가 혼합된 처리용액을 금속 부품에 분사하는 방식으로 이루어지며, 금속 부품의 표면 처리에 사용된 처리용액은 탱크로 반환되어 재사용된다.On the other hand, the surface adjustment process is performed by spraying a treatment solution mixed with a surface conditioning solution and pure water onto a metal part, and the treatment solution used for surface treatment of the metal part is returned to the tank and reused.

상술한 바와 같이 금속 부품의 표면처리를 위한 처리용액을 재사용함에 있어서, 처리용액의 농도와 오염도를 관리하는 것은 도장품질을 결정하는데 있어서 매우 중요하다. 예컨대 처리용액이 오염되면 표면 처리가 원활히 되지 않고, 이로 인하여 금속 부품의 표면에 인산염 피막이 안정적으로 형성되지 못하여 도장 품질의 저하 및 부식이 발생하게 된다.As described above, in reusing the processing solution for surface treatment of metal parts, managing the concentration and the degree of contamination of the processing solution is very important in determining the quality of the coating. For example, when the treatment solution is contaminated, the surface treatment is not smoothly performed. As a result, the phosphate coating is not stably formed on the surface of the metal part, resulting in deterioration of coating quality and corrosion.

이처럼 금속 부품의 표면처리에 있어서, 처리용액의 농도와 오염도의 관리가 도장품질에 막대한 영향을 미치는 것에도 불구하고, 종래에는 처리용액의 농도와 오염도를 관리하기 위한 적절한 장치가 마련되어 있지 못한 문제점이 있었다.Although the control of the concentration of the treating solution and the degree of contamination has a great influence on the coating quality in the surface treatment of metal parts as described above, there is a problem in that conventionally there is no proper apparatus for managing the concentration and the degree of contamination of the treating solution there was.

공개특허공보 제10-2014-0019236호 (2014.02.14. 공개)Published Japanese Patent Application No. 10-2014-0019236 (published on April 14, 2014)

본 발명은 상기와 같은 문제점을 고려하여 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 피도물의 표면 처리에 사용된 처리용액의 오염도를 자동으로 검사 및 관리하여 피도물의 표면 처리 수준을 일정 수준으로 유지할 수 있도록 한 피도물의 표면 처리 시스템 및 그 제어방법을 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide an image forming apparatus, an image forming method, and an image processing method, which can automatically check and manage the contamination degree of a treatment solution used for surface treatment of a substrate, And a control method thereof.

상기한 바와 같은 목적을 달성하고 종래의 결점을 제거하기 위한 과제를 수행하는 본 발명은 피도물의 표면 처리를 위한 처리용액이 저장되는 용액탱크와, 상기 용액탱크에 저장된 처리용액이 피도물에 분사되도록 처리용액을 이송하는 펌프를 포함하는 피도물의 표면처리 시스템에 있어서, 상기 피도물의 표면 처리에 사용된 처리용액을 촬영하여 처리용액의 화상 정보를 획득하는 카메라; 상기 카메라에서 획득된 화상 정보를 분석하여 처리용액의 오염도를 검사하는 컨트롤러; 상기 용액탱크로 유입된 처리용액의 양을 측정하도록 용액탱크에 설치된 유량계; 상기 용액탱크로 표면조정액의 투입이 이루어지도록 용액탱크에 연결된 조정액 투입배관; 상기 용액탱크로 순수의 투입이 이루어지도록 용액탱크에 연결된 순수 투입배관; 상기 용액탱크에 저장된 처리용액을 외부로 배출하도록 용액탱크로부터 연장된 배출배관; 상기 조정액 투입배관으로부터 분기되어 용액탱크로 연결된 조정액 보충배관; 상기 순수 투입배관으로부터 분기되어 용액탱크로 연결된 순수 보충배관; 상기 배출배관에 설치되어 배출배관의 유로를 단속하는 배출밸브; 상기 조정액 투입배관에 설치되며, 상기 컨트롤러의 제어에 의해 조정액 투입배관의 유로를 단속하는 제1 밸브; 상기 순수 투입배관에 설치되며, 상기 컨트롤러의 제어에 의해 순수 투입배관의 유로를 단속하는 제2 밸브; 상기 조정액 보충배관에 설치되며, 상기 컨트롤러의 제어에 의해 조정액 보충배관의 유로를 단속하는 제3 밸브; 상기 순수 보충배관에 설치되며, 상기 컨트롤러의 제어에 의해 순수 보충배관의 유로를 단속하는 제4 밸브; 상기 조정액 보충배관에 설치되어 조정액 보충배관을 통해 용액탱크로 유입되는 표면조정액의 양을 제어하는 제1 노즐; 및 상기 순수 보충배관에 설치되어 순수 보충배관을 통해 용액탱크로 유입되는 순수의 양을 제어하는 제2 노즐;을 포함하는 것을 특징으로 하는 피도물의 표면처리 시스템을 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for treating a surface of a substrate, comprising: a solution tank for storing a treatment solution for surface treatment of the substrate; 1. A surface treatment system of a workpiece comprising a pump for transferring a solution, comprising: a camera for photographing a treatment solution used for surface treatment of the workpiece to acquire image information of the treatment solution; A controller for analyzing the image information acquired by the camera to check the degree of contamination of the treatment solution; A flow meter installed in the solution tank to measure the amount of the treatment solution introduced into the solution tank; An adjustment liquid inlet pipe connected to the solution tank so that the surface adjustment solution is introduced into the solution tank; A pure water supply pipe connected to the solution tank so that the pure water is introduced into the solution tank; A discharge pipe extending from the solution tank to discharge the treatment solution stored in the solution tank to the outside; An adjustment liquid replenishing piping branched from the adjustment liquid input piping and connected to the solution tank; A pure water supplement pipe which branches from the pure water inlet pipe and is connected to the solution tank; A discharge valve installed in the discharge pipe for controlling the flow path of the discharge pipe; A first valve installed in the adjusting liquid inlet pipe for controlling the flow path of the adjusting liquid inlet pipe under the control of the controller; A second valve installed in the pure water inlet pipe for controlling the flow path of the pure water inlet pipe under the control of the controller; A third valve installed in the adjusting liquid replenishing line for controlling the flow path of the adjusting liquid replenishing line under the control of the controller; A fourth valve installed in the pure water supplement pipe for controlling the flow path of the pure supplement pipe under the control of the controller; A first nozzle disposed in the adjustment liquid replenishing line for controlling an amount of a surface adjustment liquid that flows into the solution tank through the adjustment liquid replenishing line; And a second nozzle installed in the pure water supplement pipe and controlling the amount of pure water flowing into the solution tank through the pure water supplement pipe.

한편 피도물의 표면처리 시스템에 있어서, 상기 카메라는, 피도물의 표면 처리가 이루어지는 처리실과 용액탱크를 연결하는 반환배관의 이웃한 위치에 설치되어 반환배관을 통하여 용액탱크로 유동하는 처리용액의 영상을 촬영하도록 구성될 수 있다.On the other hand, in the surface treatment system of the object, the camera is installed at a position adjacent to the return pipe connecting the treatment tank in which the surface treatment of the object is performed and the solution tank, and captures an image of the treatment solution flowing into the solution tank through the return pipe .

한편 피도물의 표면처리 시스템에 있어서, 상기 반환배관은 카메라에 의한 처리용액의 영상 촬영을 위하여 전체 또는 일부분이 투명한 관으로 구성되거나, 투시창이 형성된 것으로 구성될 수 있다.On the other hand, in the surface treatment system of the object, the return pipe may be constituted by a tube which is wholly or partially transparent for photographing the treatment solution by the camera, or may be formed with a see-through window.

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또한 본 발명은 처리용액이 저장되는 용액탱크와, 상기 용액탱크에 저장된 처리용액이 피도물에 분사되도록 처리용액을 이송하는 펌프를 포함하는 것으로 구성된 피도물의 표면처리 시스템을 이용하여 피도물의 표면처리를 실시함에 있어서, 피도물의 표면 처리에 사용된 처리용액을 카메라로 촬영하여 처리용액의 화상 정보를 획득하는 단계(S110); 상기 카메라에 의해 획득된 화상 정보를 컨트롤러가 분석하여 처리용액의 오염도를 검사 및 판정하는 단계(S120); 상기 S120 단계에서 처리용액이 오염된 것으로 판정되면, 펌프의 작동을 정지시키고, 용액탱크의 처리용액 모두를 외부로 배출한 뒤, 용액탱크로 새로운 순수와 표면조정액을 유입시키는 단계(S130); 상기 S120 단계에서 처리용액이 오염되지 않은 것으로 판정되거나, 상기 S130 단계와 완료되면, 용액탱크에 마련된 유량계를 이용하여 처리용액의 양을 검출하고, 검출된 처리용액의 양이 미리 설정된 최소 유지량에 미달되는 경우, 순수와 표면조정액을 보충하는 단계(S140);로 이루어지되, 상기 S120 단계는, 카메라에 의해 획득된 화상 정보에 포함된 각 화소의 RGB(Red Green Blue) 정보를 획득하는 단계(S121); 상기 S121 단계에서 획득된 각 화소의 RGB 정보를 HSL(Hue Saturation Luminance) 정보로 전환하는 단계(S122); 상기 S122 단계를 통해 얻어진 화상 정보를 미리 설정된 채도 구간으로 필터링 하는 단계(S123); 상기 S123 단계를 통해 얻어진 화상 정보로부터 오염도의 증가여부를 판단하는 단계(S124); 상기 S124 단계에서 오염도가 증가된 것으로 판단되면, 상기 S121 단계에서 얻어진 화상 정보를 미리 설정된 색상 구간으로 필터링 하는 단계(S125); 상기 S125 단계를 통해 얻어진 화상 정보로부터 오염도를 판정하는 단계(S126);로 이루어진 것을 특징으로 하는 피도물의 표면처리 시스템 제어방법을 제공한다.The present invention also provides a surface treatment system for a substrate, which comprises a solution tank for storing a treatment solution and a pump for conveying the treatment solution so that the treatment solution stored in the solution tank is sprayed onto the substrate (S110) of acquiring image information of the treatment solution by photographing the treatment solution used for the surface treatment of the substrate with a camera; (S120) the controller analyzes the image information acquired by the camera to check and determine the degree of contamination of the treatment solution; If it is determined in step S120 that the treatment solution is contaminated, the operation of the pump is stopped, all of the treatment solution in the solution tank is discharged to the outside, and the new pure water and the surface adjustment solution are introduced into the solution tank (S130); When it is determined in step S120 that the treatment solution is not contaminated or when the process is completed in step S130, the amount of the treatment solution is detected using a flow meter provided in the solution tank, and the amount of the detected treatment solution is adjusted to a predetermined minimum maintenance amount (S140) of complementing the pure water and the surface adjustment liquid, if the amount of the image data is less than the predetermined value, in step S120, wherein the step S120 is a step of obtaining RGB (Red Green Blue) information of each pixel included in the image information obtained by the camera S121); Converting the RGB information of each pixel obtained in step S121 into HL (Hue Saturation Luminance) information (S122); (S123) filtering the image information obtained in step S122 into a predetermined saturation section; Determining whether the degree of contamination is increased from the image information obtained in step S123 (S124); If it is determined in step S124 that the degree of contamination is increased, filtering (step S125) the image information obtained in step S121 with a preset color interval; And determining (S126) the degree of contamination from the image information obtained in step S125.

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한편 상기 피도물의 표면처리 시스템 제어방법에 있어서, 상기 S123 단계는 채도 25-50 구간으로 필터링 하도록 구성될 수 있다.Meanwhile, in the method of controlling the surface treatment system of the object, the step S123 may be configured to perform filtering with a chroma range of 25-50.

한편 상기 피도물의 표면처리 시스템 제어방법에 있어서, 상기 S125 단계는 색상 0-25 구간으로 필터링 하도록 구성될 수 있다.Meanwhile, in the method of controlling a surface processing system of the object, the step S 125 may be configured to filter by a color 0-25 interval.

상기와 같은 특징을 갖는 본 발명에 의하면, 금속 부품의 표면처리에 사용되는 처리용액의 오염도를 자동으로 관리하여 표면 처리 수준을 일정한 수준으로 유지할 수 있게 되므로, 결과적으로 도장품질을 높일 수 있는 효과가 있다.According to the present invention having such characteristics as described above, it is possible to automatically maintain the degree of contamination of the processing solution used in the surface treatment of the metal parts and to maintain the surface treatment level at a constant level. As a result, have.

도 1 은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 표면처리 시스템의 구조도,
도 2 는 본 발명에 따른 표면처리 시스템의 제어연결도,
도 3 은 본 발명에 따른 표면처리 시스템의 제어방법에 대한 순서도,
도 4 는 처리용액의 오염도를 검사를 위한 순서도,
도 5 는 카메라에 의해 촬영된 처리용액의 사용 일자별 화상,
도 6 은 처리용액의 사용 일자별 화상의 HSL 분포 그래프,
도 7 은 사용 일자별 화상을 채도 25-50 구간으로 필터링 한 화상,
도 8 은 사용 일자별 화상을 색상 구간으로 필터링한 화상.1 is a structural view of a surface treatment system according to a preferred embodiment of the present invention;
2 is a control diagram of a surface treatment system according to the present invention,
3 is a flowchart of a method of controlling a surface treatment system according to the present invention,
4 is a flow chart for checking the degree of contamination of the treatment solution,
Fig. 5 is a schematic diagram showing an image for each day of use of a treatment solution taken by a camera,
FIG. 6 is a graph showing the HSL distribution of images of the use days of the treatment solution,
FIG. 7 shows an image obtained by filtering an image for each use day with a chroma 25-50 section,
8 is an image obtained by filtering an image for each day of use with a color section.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면과 연계하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 표면처리 시스템의 구조도를, 도 2는 본 발명에 따른 표면처리 시스템의 제어연결도를 도시하고 있다.Fig. 1 shows a structural diagram of a surface treatment system according to a preferred embodiment of the present invention, and Fig. 2 shows a control connection diagram of a surface treatment system according to the present invention.

본 발명에 따른 피도물의 표면처리 시스템은 용액탱크(110), 펌프(120), 카메라(130), 컨트롤러(140)를 포함하는 것으로 구성되며, 용액탱크(110)에 저장된 처리용액이 펌프(120)에 의해 처리실(100)로 이송되어 피도물에 분사됨으로써 피도물의 표면처리가 이루어지고, 피도물의 표면처리에 사용된 처리용액은 반환배관(150)을 통하여 용액탱크(110)로 반환되며, 이처럼 피도물의 표면처리에 사용된 처리용액을 카메라(130)로 촬영하여 처리용액에 대한 화상 정보를 획득하고, 회득된 화상 정보를 컨트롤러(140)에서 분석하여 처리용액의 오염도를 검사하며, 처리용액이 오염된 것으로 확인되면 처리용액을 자동으로 새것으로 교환하여 일정 수준 이상의 표면 처리 수준을 유지할 수 있도록 구성된다.The surface treatment system of the present invention includes a solution tank 110, a pump 120, a camera 130 and a controller 140. The treatment solution stored in the solution tank 110 is supplied to the pump 120 The surface treatment of the object is performed and the treatment solution used for surface treatment of the object is returned to the solution tank 110 through the return pipe 150. Thus, The image data of the processing solution is obtained by photographing the processing solution used for the surface treatment of the processing solution by the camera 130 and the controller 140 analyzes the obtained image data to check the degree of contamination of the processing solution, The treatment solution is automatically replaced with a new one to maintain a level of surface treatment above a certain level.

이하 각각의 구성요소에 대하여 구체적으로 설명하도록 한다.Hereinafter, each component will be described in detail.

상기 용액탱크(110)는 순수와 표면조정액이 혼합되어 형성되는 처리용액을 저장하는 밀폐된 용기이다.The solution tank 110 is a closed container for storing a treatment solution formed by mixing pure water and a surface conditioning solution.

이러한 용액탱크(110)에는 처리용액의 양을 측정하기 위한 유량계(111)가 구비되고, 상기 유량계(111)에서 검출되는 처리용액의 유량값은 컨트롤러(140)로 전달된다.The solution tank 110 is provided with a flow meter 111 for measuring the amount of the treatment solution and the flow rate value of the treatment solution detected by the flow meter 111 is transmitted to the controller 140.

한편, 상기 용액탱크(110)에는 표면조정액의 투입이 이루어지는 조정액 투입배관(161)이 연결되고, 순수의 투입이 이루어지는 순수 투입배관(162)이 연결되며, 상기 조정액 투입배관(161)으로부터 분기된 조정액 보충배관(163)이 용액탱크(110)에 추가적으로 연결되고, 상기 순수 투입배관(162)으로부터 분기된 순수 보충배관(164)이 용액탱크(110)에 추가적으로 연결된 구조를 갖는다. 결국 표면조정액은 조정액 투입배관(161)과 조정액 보충배관(163)을 통하여 용액탱크(110)로 유입되고, 순수는 순수 투입배관(162)와 순수 보충배관(164)를 통하여 용액탱크(110)로 유입되는 구조를 갖게 된다.Meanwhile, the solution tank 110 is connected to a regulating liquid inlet pipe 161 through which the surface regulating liquid is injected, a pure water inlet pipe 162 through which pure water is injected, and is branched from the regulating liquid inlet pipe 161 The adjustment liquid supplement pipe 163 is additionally connected to the solution tank 110 and the pure supplement pipe 164 branched from the pure supply pipe 162 is additionally connected to the solution tank 110. [ The surface adjustment liquid flows into the solution tank 110 through the adjustment liquid inlet pipe 161 and the adjustment liquid supplement pipe 163 and the pure water flows into the solution tank 110 through the pure water supply pipe 162 and the pure water supplement pipe 164, As shown in FIG.

또한, 상기 용액탱크(110)에는 오염된 처리용액의 외부 배출을 위한 배출배관(165)의 저면부에 형성되고, 이러한 배출배관(165)에는 컨트롤러(140)의 제어신호에 따라 배출배관(165)의 유로를 단속하는 배출밸브(175)가 설치된다.The solution tank 110 is formed in the bottom portion of the discharge pipe 165 for discharging the contaminated treatment solution to the discharge pipe 165. The discharge pipe 165 is connected to the discharge pipe 165 And a discharge valve 175 for interrupting the flow path of the exhaust gas.

또한, 상기 조정액 투입배관(161)에는 컨트롤러(140)의 제어신호에 따라 조정액 투입배관(161)의 유로를 단속하는 제1 밸브(171)가 설치되고, 상기 순수 투입배관(162)에는 컨트롤러(140)의 제어신호에 따라 순수 투입배관(162)의 유로를 단속하는 제2 밸브(172)가 설치되며, 상기 조정액 보충배관(163)에는 컨트롤러(140)의 제어신호에 따라 조정액 보충배관(163)의 유로를 단속하는 제3 밸브(173)가 설치되고, 상기 순수 보충배관(164)에는 컨트롤러(140)의 제어신호에 따라 순수 보충배관(164)의 유로를 단속하는 제4 밸브(174)가 설치된다.A first valve 171 for interrupting the flow path of the regulating liquid inlet pipe 161 is provided in the regulating liquid inlet pipe 161 in accordance with a control signal from the controller 140. The pure water inlet pipe 162 is connected to a controller A second valve 172 is provided for interrupting the flow path of the pure water supply pipe 162 in accordance with the control signal of the controller 140. The adjustment liquid replenishment pipe 163 is connected to the adjustment liquid replenishment pipe 163 A fourth valve 174 for interrupting the flow path of the pure water supplement pipe 164 in accordance with the control signal of the controller 140 is provided in the pure water supplement pipe 164, Respectively.

한편, 상기 조정액 보충배관(163)과 순수 보충배관(164)은 피도물의 표면처리 과정에서 피도물에 잔류하여 피도물과 함께 빠져나가는 등의 이유로 인하여 처리용액이 감소하는 경우, 순수와 표면조정액을 용액탱크(110)로 보충하는 것으로, 순수와 표면조정액의 보충시, 미리 설정된 비율로 소량의 순수와 표면조정액의 보충이 이루어질 수 있도록 조정액 보충배관(163)에는 조정액 보충배관(163)을 통해 용액탱크(110)로 유입되는 표면조정액의 양을 제어하도록 유로의 면적을 감소시키는 제1 노즐(176)이 더 설치되고, 상기 순수 보충배관(164)에는 순수 보충배관(164)을 통해 용액탱크(110)로 유입되는 순수의 양을 제어하도록 유로의 면적을 감소시키는 제2 노즐(177)이 더 설치된다.When the treatment solution is decreased due to reasons such as remaining on the workpiece during the surface treatment of the workpiece and escaping with the workpiece, the pure water and the surface adjusting solution are supplied to the solution tank The control liquid replenishment piping 163 is supplied with the purified liquid and the surface control liquid through the liquid replenishment pipe 163 so that a small amount of pure water and the surface control liquid can be replenished at a predetermined ratio at the time of replenishing the pure water and the surface- A first nozzle 176 is provided to reduce the area of the flow path so as to control the amount of the surface adjustment liquid flowing into the solution tank 110 through the pure water replenishing piping 164, A second nozzle 177 is provided to reduce the area of the flow path so as to control the amount of pure water flowing into the nozzle.

상기 펌프(120)는 용액탱크(110)에 저장된 처리용액을 처리실(100)로 이송하도록 설치되며, 펌프(120)에 의하여 처리실(100)로 이송되는 처리용액은 처리실(100)에 마련된 분사공(미도시됨)을 통하여 분사되며, 이처럼 분사되는 처리용액은 처리실(100)로 유입되는 피도물에 분사됨으로써 피도물의 표면처리가 이루어지게 된다.The pump 120 is installed to transfer the treatment solution stored in the solution tank 110 to the treatment chamber 100. The treatment solution delivered to the treatment chamber 100 by the pump 120 is supplied to the treatment chamber 100 through the spray hole (Not shown), and the sprayed processing solution is sprayed onto the workpiece flowing into the processing chamber 100, so that the surface treatment of the workpiece is performed.

한편, 피도물은 컨베이어와 같은 통상의 운반수단에 의해 처리실(100)로 운반될 수 있다.On the other hand, the object can be conveyed to the processing chamber 100 by a conventional conveying means such as a conveyor.

상기 카메라(130)는 피도물의 표면처리에 사용된 처리용액을 촬영하여 처리용액에 대한 화상 정보를 획득하는 것이다.The camera 130 photographs the treatment solution used in the surface treatment of the object to obtain image information about the treatment solution.

한편, 상기 카메라(130)는 RGB(Red Green Blue) 정보를 포함하는 칼라 화상 정보를 획득할 수 있는 카메라로 구성된다.The camera 130 includes a camera capable of obtaining color image information including RGB (Red Green Blue) information.

이와 같은 카메라(130)는 처리실(100)의 내부에 설치되어 피도물의 표면처리에 사용된 처리용액의 영상을 촬영하도록 설치될 수도 있으나, 처리실(100)과 용액탱크(110)를 연결하여 처리용액의 반환이 이루어지는 반환배관(150)의 이웃한 곳에 위치하도록 설치되어 반환배관(150)을 통해 유동하는 처리용액의 영상을 촬영하도록 구성된다.The camera 130 may be installed inside the process chamber 100 to capture an image of the process solution used for the surface treatment of the substrate. The camera 130 may be connected to the solution tank 110, The return pipe 150 is provided at a position adjacent to the return pipe 150 where the return of the treatment solution is performed.

이처럼 반환배관(150)의 이웃한 곳에 위치하도록 설치된 카메라(130)가 처리용액의 영상을 용이하게 촬영할 수 있도록 하기 위하여 상기 반환배관(150)은 전체적으로 투명한 관으로 구성되거나, 또는 카메라(130)에 의한 촬영이 요구되는 일부분이 투명한 관으로 구성되거나, 또는 카메라(130)에 의한 촬영이 요구되는 부분에 투시창이 형성된 것으로 구성될 수 있다.The return pipe 150 may be formed as a transparent pipe as a whole so that the camera 130 installed adjacent to the return pipe 150 can easily image the image of the treatment solution, A part of which is required to be photographed by a camera 130 may be constituted by a transparent tube, or a sight window may be formed in a part where photographing by the camera 130 is required.

상기 컨트롤러(140)는 카메라(130)에서 획득된 화상 정보를 분석하여 처리용액의 오염도를 검사하고, 그 결과에 따라 펌프(120), 배출밸브(175), 제1 밸브(171), 제2 밸브(172), 제3 밸브(173), 제4 밸브(174)를 제어하여 오염된 처리용액에 대해서는 적절한 조치가 이루어질 수 있도록 하는 것이다.The controller 140 analyzes the image information obtained by the camera 130 to check the contamination degree of the processing solution and controls the pump 120, the discharge valve 175, the first valve 171, The valve 172, the third valve 173 and the fourth valve 174 so that appropriate measures can be taken for the contaminated treatment solution.

보다 구체적으로, 상기 컨트롤러(140)는 유량계(111)에서 측정되는 처리용액에 대한 유량정보를 유량 데이터 인터페이스를 통해 전달받고, 카메라(130)에서 획득되는 화상 정보를 화상 데이터 인터페이스를 통해 전달받으며, 전달되는 유량정보와 화상정보에 기초하여 펌프(120), 배출밸브(175), 제1 밸브(171), 제2 밸브(172), 제3 밸브(173), 제4 밸브(174)를 제어하게 된다.
More specifically, the controller 140 receives the flow rate information of the processing solution measured by the flow meter 111 through the flow rate data interface, receives the image information obtained by the camera 130 through the image data interface, And controls the pump 120, the discharge valve 175, the first valve 171, the second valve 172, the third valve 173 and the fourth valve 174 based on the flow rate information and image information to be delivered .

도 3은 본 발명에 따른 표면처리 시스템의 제어방법에 대한 순서도를, 도 4는 처리용액의 오염도를 검사를 위한 순서도를, 도 5는 카메라에 의해 촬영된 처리용액의 사용 일자별 화상을, 도 6은 처리용액의 사용 일자별 화상의 HSL 분포 그래프를, 도 7은 사용 일자별 화상을 채도 25-50 구간으로 필터링 한 화상을, 도 8은 사용 일자별 화상을 0-25 색상 구간으로 필터링한 화상을 도시하고 있다.Fig. 3 is a flow chart for the control method of the surface treatment system according to the present invention, Fig. 4 is a flow chart for checking the contamination degree of the treatment solution, Fig. 5 is an image for use day of the treatment solution taken by the camera, FIG. 7 shows an image obtained by filtering an image for each day of use with a chroma 25-50 section, FIG. 8 shows an image obtained by filtering an image for each day of use with a color range of 0-25, have.

본 발명에 따른 피도물의 표면처리 시스템의 제어방법은 앞서 설명된 표면처리 시스템을 제어하는 방법으로, 처리용액을 피도물에 분사하여 피도물의 표면을 처리하는 과정에서 피도물의 표면 처리에 사용된 처리용액을 카메라(130)로 촬영하여 처리용액의 화상 정보를 획득하는 단계(S110); 상기 카메라(130)에 의해 획득된 화상 정보를 컨트롤러(140)가 분석하여 처리용액의 오염도를 검사 및 판정하는 단계(S120); 상기 S120 단계에서 처리용액이 오염된 것으로 판정되면, 펌프(120)의 작동을 정지시키고, 용액탱크(110)의 처리용액 모두를 외부로 배출한 뒤, 용액탱크(110)로 새로운 순수와 표면조정액을 유입시키는 단계(S130); 상기 S120 단계에서 처리용액이 오염되지 않은 것으로 판정되면, 용액탱크(110)에 마련된 유량계(111)를 이용하여 처리용액의 양을 검출하고, 검출된 처리용액의 양이 미리 설정된 최소 유지량에 미달되는 경우, 순수와 표면조정액을 보충하는 단계(S140);로 이루어진다.A control method of a surface treatment system of a substrate according to the present invention is a method of controlling the surface treatment system described above, wherein a treatment solution used for surface treatment of a substrate in the process of treating the surface of the substrate by spraying the treatment solution onto the substrate Capturing the image information with the camera 130 to obtain image information of the treatment solution (S110); (S120) the controller 140 analyzes the image information obtained by the camera 130 to check and determine the degree of contamination of the processing solution; If it is determined in step S120 that the treatment solution is contaminated, the operation of the pump 120 is stopped, all of the treatment solution in the solution tank 110 is discharged to the outside, and the new pure water and the surface adjustment solution (S130); If it is determined in step S120 that the treatment solution is not contaminated, the amount of the treatment solution is detected by using the flow meter 111 provided in the solution tank 110, and if the detected amount of the treatment solution is less than the preset minimum maintenance amount (S140) of replenishing the pure water and the surface adjustment liquid.

상기 S110 단계는 피도물에 분사되어 표면처리에 사용된 후, 반환배관(150)을 통하여 용액탱크(110)로 유동하는 처리용액의 영상을 카메라(130)로 촬영하는 것으로 이루어지게 된다.In step S110, the camera 130 captures an image of the treatment solution flowing into the solution tank 110 through the return pipe 150 after being sprayed on the substrate and used for the surface treatment.

한편, 도 5에는 1일차 처리용액에 대한 화상과 3일차 처리용액에 대한 화상 및 5일차 처리용액에 대한 화상이 도시되어 있다.On the other hand, Fig. 5 shows images for the first-order processing solution, images for the third-order processing solution, and images for the fifth-order processing solution.

상기 S120 단계는 획득된 화상 정보를 컨트롤러(140)가 분석하여 처리용액의 오염도를 검사 및 판정하는 단계로써, 카메라(130)에 의해 획득된 화상 정보에 포함된 각 화소의 RGB(Red Green Blue) 정보를 획득하는 단계(S121); 상기 S121 단계에서 획득된 각 화소의 RGB 정보를 HSL(Hue Saturation Luminance) 정보로 전환하는 단계(S122); 상기 S122 단계를 통해 얻어진 화상 정보를 미리 설정된 채도 구간으로 필터링 하는 단계(S123); 상기 S123 단계를 통해 얻어진 화상 정보로부터 오염도의 증가여부를 판단하는 단계(S124); 상기 S124 단계에서 오염도가 증가된 것으로 판단되면, 미리 설정된 색상 구간으로 필터링 하는 단계(S125); 및 상기 S125 단계를 통해 얻어진 화상 정보로부터 오염도를 판정하는 단계(S126);로 이루어진다.In step S120, the controller 140 analyzes the acquired image information to check and determine the degree of contamination of the processing solution. The controller 140 determines RGB (Red Green Blue) of each pixel included in the image information acquired by the camera 130, Acquiring information (S121); Converting the RGB information of each pixel obtained in step S121 into HL (Hue Saturation Luminance) information (S122); (S123) filtering the image information obtained in step S122 into a predetermined saturation section; Determining whether the degree of contamination is increased from the image information obtained in step S123 (S124); If it is determined in step S124 that the degree of contamination is increased, filtering (step S125) by a preset color section; And determining (S126) the degree of contamination from the image information obtained in step S125.

상기 S121 단계는 S110 단계에서 획득된 화상 정보에 포함된 각 화소의 RGB(Red Green Blue) 정보를 컨트롤러(140)가 획득하는 단계이고, 상기 S122 단계는 컨트롤러(140)가 각 화소의 RGB 정보를 HSL 정보로 전환하는 단계이다.In step S121, the controller 140 acquires RGB (Red Green Blue) information of each pixel included in the image information obtained in step S110. In step S122, the controller 140 determines RGB information HSL information.

참고로, RGB 정보는 다음과 같은 수식을 통하여 HSL 정보로 표현이 가능하며, RGB 정보를 HSL 정보로 변환하는 방법은 주지 관용된 기술이므로 보다 구체적인 설명은 생략하도록 한다.For reference, the RGB information can be represented as HSL information through the following equation, and the method of converting the RGB information into the HSL information is a well-known technique, so a more detailed description will be omitted.

Figure 112014076992417-pat00001
Figure 112014076992417-pat00001

상기 S123 단계는 HSL 정보를 포함하는 화상 정보를 미리 설정된 채도 구간으로 필터링하는 단계이고, S124는 S123 단계를 통해 얻어진 화상 정보로부터 처리용액의 오염도의 증가여부를 판단하는 단계이다.The step S123 is a step of filtering the image information including the HSL information into a predetermined saturation section, and the step S124 is a step of determining whether the degree of contamination of the processing solution is increased from the image information obtained in the step S123.

도 6에는 1일차, 3일차, 5일차 처리용액의 화상 정보에 포함된 RGB 정보를 HSL 정보로 전환하여 색상(Hue)과 채도(Saturation) 및 명암(Luminance)의 분포를 그래프로 나타낸 것으로, 도 6을 참조하면, 1일차 및 3일차 화상의 색상정보는 200-250 구간에 분포되어 있으며, 5일차 화상의 색상정보는 0-25 구간에 분포되어 있는 것을 볼 수 있다. 이는 처음 맑았던 처리용액이 사용 기간의 경과에 따라 혼탁해 지다가 어느 정도 기간이 지나면 오염되어 변색되면서 색상정보가 바뀌었기 때문이다.FIG. 6 is a graph showing the distribution of hues, saturations, and luminances by converting RGB information included in image information of the 1st, 3rd, and 5th treatment solutions to HSL information. 6, the color information of the 1st and 3rd day images is distributed in the 200-250 interval, and the color information of the 5th day image is distributed in the 0-25 interval. This is because the first clear solution became cloudy with the passage of time, and after a certain period of time, the color information changed due to contamination and discoloration.

또한, 채도정보는 최초 0-25 구간에 분포하였다가 사용 기간이 경과됨에 따라 조금씩 우측으로 이동한 경향을 보이며, 처리용액이 오염된 5일차의 경우, 채도 25-50 구간에 채도정보가 분포되어 있음을 볼 수 있다.In addition, the saturation information was distributed in the first 0-25 interval, and it tended to move to the right as the use period elapsed. In the case of the fifth day when the treatment solution was contaminated, the saturation information was distributed in the range of 25-50 saturation .

따라서, 채도 25-50 구간으로 화상 정보를 필터링하게 되면, 처리용액의 오염도 증가여부를 손쉽게 확인할 수 있으며, 도 7에는 채도 25-50 구간으로 필터링된 사용 일자별 화상이 도시되어 있다.Accordingly, if the image information is filtered by the saturation 25-50, it is possible to easily check whether the contamination degree of the treatment solution is increased. FIG. 7 shows images filtered by the use date range of the saturation 25-50.

결국, 컨트롤러(140)는 채도 25-50 구간으로 화상 정보를 필터링한 뒤, 화상의 중앙부 영역(가상의 가운데 원)내에 존재하며, 채도 25-50의 값을 갖는 화소의 수변화를 분석하되, 채도 25-50 구간 범위의 값을 갖는 화소의 수가 미리 설정된 기준치를 초과하는 경우 처리용액의 오염도가 증가된 것을 판단하고, 나머지 경우는 정상상태로 판단하게 된다.As a result, the controller 140 filters the image information with a chroma range of 25-50, analyzes the change in the number of pixels existing in the central region (virtual center circle) of the image and having a chroma 25-50, When the number of pixels having a chroma range of 25-50 exceeds a preset reference value, it is determined that the contamination degree of the treatment solution is increased, and in the remaining cases, it is determined as a normal state.

상기 S125 단계는 S124 단계에서 처리용액의 오염도가 증가된 것으로 판단된 경우, 처리용액의 오염여부를 정확하게 판단하기 위하여 미리 설정된 색상 구간으로 화상 정보를 필터링 하는 단계이다.If it is determined in step S125 that the degree of contamination of the treatment solution is increased, it is a step of filtering image information in a predetermined color section to accurately determine whether the treatment solution is contaminated.

보다 구체적으로, 상기 S125 단계는 S121 단계에서 얻어진 화상 정보를 색상 0~25 구간으로 필터링하게 된다.More specifically, in operation S125, the image information obtained in operation S121 is filtered to color 0 to 25 sections.

참고로, 화상은 색상(Hue)의 정보를 0~255로 표현되며, 상기 S125 단계와 같이 색상 0~25 구간으로 필터링하여 색상값이 0~25값을 가지지 않는 나머지 화소를 흑색으로 표시하면, 도 8과 같은 화상을 얻을 수 있게 된다.For reference, the image is represented by information of hue from 0 to 255. If the remaining pixels having no color values of 0 to 25 are displayed in black by filtering in the range of 0 to 25 as in step S125, An image as shown in Fig. 8 can be obtained.

상기 S126 단계는 S125 단계를 통해 얻어진 화상 정보를 분석하여 처리용액의 오염도를 판정하는 단계로써, 화상의 중앙부 영역에 존재하며, 색상 0-25의 값을 갖는 화소의 수가 미리 설정된 기준값을 초과하는 경우, 처리용액이 오염된 것으로 판정하게 된다.The step S126 is a step of analyzing the image information obtained in step S125 to determine the degree of contamination of the processing solution. When the number of pixels having a color of 0-25 exceeds the predetermined reference value , It is determined that the treatment solution is contaminated.

상기 S130 단계는 S120 단계에서 처리용액이 오염된 것으로 판정된 경우 컨트롤러(140)에 의해 실시되는 단계로써, 용액탱크(110)의 처리용액 모두를 외부로 배출하여 버리고, 새로운 처리용액을 용액탱크(110)에 충전하는 것으로 이루어지게 된다.In step S130, if it is determined in step S120 that the treatment solution is contaminated, the controller 140 discharges all of the treatment solution in the solution tank 110 to the outside and discards the new treatment solution in the solution tank 110).

보다 구체적으로 상기 S130 단계는, 먼저 펌프(120)의 작동을 정지시키고, 조정액 투입배관(161), 순수 투입배관(162), 조정액 보충배관(163), 순수 보충배관(164)의 유로가 모두 차단되도록 제1,2,3,4 밸브(171,172,173,174)를 닫는다.More specifically, in step S130, first, the operation of the pump 120 is stopped and the flow of the regulating liquid inlet pipe 161, the pure water inlet pipe 162, the regulating liquid replenishing pipe 163, and the pure water replenishing pipe 164 The first, second, third, and fourth valves 171, 172, 173, and 174 are closed.

이후, 배출배관(165)에 설치된 배출밸브(175)를 개방하여 용액탱크(110) 내의 오염된 처리용액을 외부로 배출시킨다.Thereafter, the discharge valve 175 provided in the discharge pipe 165 is opened to discharge the polluted treatment solution in the solution tank 110 to the outside.

한편, 유량계(111)를 통하여 처리용액의 배출이 완료되었음이 확인되면, 배출밸브(175)를 닫아 배출배관(165)의 유로를 차단하고, 제2 밸브(172)를 개방하여 순수 투입배관(162)을 통하여 용액탱크(110)의 내부로 순수가 유입되도록 한다.On the other hand, when it is confirmed that the discharge of the process solution is completed through the flow meter 111, the discharge valve 175 is closed to shut off the flow path of the discharge pipe 165, and the second valve 172 is opened to remove pure water 162 to the inside of the solution tank 110.

이러한 순수의 충전과정에서 용액탱크(110)로 유입된 순수의 유량을 유량계(111)로 확인하고, 용액탱크(110)로 유입된 순수의 유량이 미리 설정된 기준 유량에 도달하게 되면, 제2 밸브(172)를 닫아 순수 투입배관(162)을 차단하게 된다.When the flow rate of the pure water flowing into the solution tank 110 is confirmed by the flow meter 111 and the flow rate of the pure water flowing into the solution tank 110 reaches the predetermined reference flow rate, (172) is closed to block the pure water supply pipe (162).

이후, 조정액 투입배관(161)을 통한 표면조정액의 충전을 위하여 제1 밸브(171)를 개방시킨다.Thereafter, the first valve 171 is opened to fill the surface adjustment liquid through the adjustment liquid inlet pipe 161.

이러한 표면조정액의 충전과정에서 용액탱크(110)로 유입된 순수의 유량을 유량계(111)로 확인하고, 용액탱크(110)로 유입된 표면조정액의 유량이 미리 설정된 기준 유량에 도달하게 되면, 제1 밸브(171)를 닫아 조정액 투입배관(161)을 차단하게 된다.When the flow rate of the pure water flowing into the solution tank 110 in the filling process of the surface adjusting solution is confirmed by the flow meter 111 and the flow rate of the surface adjusting solution flowing into the solution tank 110 reaches a preset reference flow rate, 1 valve 171 is closed to shut off the regulating liquid inlet pipe 161.

위와 같은 일련의 과정을 통하여 새로운 처리용액의 충전이 완료되면, 펌프(120)를 다시 작동하여 처리용액을 처리실(100)로 이송함으로써 피도물의 표면처리가 이루어지게 된다.When the filling of the new treatment solution is completed through the above-described series of processes, the pump 120 is operated again to transfer the treatment solution to the treatment chamber 100, so that the surface treatment of the substrate is performed.

상기 S140 단계는 처리용액이 오염되지 않을 것으로 판정되거나, S130 단계가 완료된 경우 실시되는 단계로써, 유량계(111)로부터 현재 용액탱크(110)내 처리용액의 양의 확인하고, 처리용액의 양이 미리 설정된 최소 유지량에 미달되는 경우, 제3 밸브(173)와 제4 밸브(174)를 개방하며, 이러한 제3 밸브(173)와 제4 밸브(174)의 개방에 의하여 조정액 보충배관(163)과 수순 보충배관을 통하여 표면조정액과 순수의 보충이 이루어지게 된다.
In step S140, it is determined that the treatment solution is not contaminated, or step S130 is completed. In step S140, the amount of the treatment solution in the present solution tank 110 is checked from the flow meter 111, The third valve 173 and the fourth valve 174 are opened and the adjustment liquid replenishment pipe 163 is opened by opening the third valve 173 and the fourth valve 174, And the replenishment of the surface conditioning liquid and the pure water through the replenishment piping.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 피도물의 표면처리에 사용된 처리용액에 대한 영상분석을 통하여 처리용액의 오염도를 확인하고, 처리용액이 오염된 것으로 확인된 경우, 처리용액을 자동으로 새로운 것으로 교체하여 줌으로써, 표면 처리 품질을 일정하게 유지시킬 수 있고, 이를 통해 도장품질의 향상을 도모할 수 있는 이점이 있다.
As described above, according to the present invention, the degree of contamination of the treatment solution is checked through image analysis of the treatment solution used in the surface treatment of the substrate, and when the treatment solution is determined to be contaminated, the treatment solution is automatically replaced with a new one It is possible to maintain the surface treatment quality constantly, thereby improving the quality of the coating.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims and their equivalents. Of course, such modifications are within the scope of the claims.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
110: 용액탱크 111: 유량계
120: 펌프 130: 카메라
140: 컨트롤러 150: 반환배관
161: 조정액 투입배관 162: 순수 투입배관
163: 조정액 보충배관 164: 순수 보충배관
165: 배출배관 171: 제1 밸브
172: 제2 밸브 173: 제3 밸브
174: 제5 밸브 175: 배출밸브
176: 제1 노즐 177: 제2 노즐Description of the Related Art
110: solution tank 111: flow meter
120: pump 130: camera
140: Controller 150: return piping
161: Adjustment liquid input piping 162: Pure pure input piping
163: Adjustment amount supplementary piping 164: Pure supplementary piping
165: discharge pipe 171: first valve
172: second valve 173: third valve
174: fifth valve 175: discharge valve
176: first nozzle 177: second nozzle

Claims (8)

피도물의 표면 처리를 위한 처리용액이 저장되는 용액탱크(110)와, 상기 용액탱크(110)에 저장된 처리용액이 피도물에 분사되도록 처리용액을 이송하는 펌프(120)를 포함하는 피도물의 표면처리 시스템에 있어서,
상기 피도물의 표면 처리에 사용된 처리용액을 촬영하여 처리용액의 화상 정보를 획득하는 카메라(130);
상기 카메라(130)에서 획득된 화상 정보를 분석하여 처리용액의 오염도를 검사하는 컨트롤러(140);
상기 용액탱크(110)로 유입된 처리용액의 양을 측정하도록 용액탱크(110)에 설치된 유량계(111);
상기 용액탱크(110)로 표면조정액의 투입이 이루어지도록 용액탱크(110)에 연결된 조정액 투입배관(161);
상기 용액탱크(110)로 순수의 투입이 이루어지도록 용액탱크(110)에 연결된 순수 투입배관(162);
상기 용액탱크(110)에 저장된 처리용액을 외부로 배출하도록 용액탱크(110)로부터 연장된 배출배관(165);
상기 조정액 투입배관(161)으로부터 분기되어 용액탱크(110)로 연결된 조정액 보충배관(163);
상기 순수 투입배관(162)으로부터 분기되어 용액탱크(110)로 연결된 순수 보충배관(164);
상기 배출배관(165)에 설치되어 배출배관(165)의 유로를 단속하는 배출밸브(175);
상기 조정액 투입배관(161)에 설치되며, 상기 컨트롤러(140)의 제어에 의해 조정액 투입배관(161)의 유로를 단속하는 제1 밸브(171);
상기 순수 투입배관(162)에 설치되며, 상기 컨트롤러(140)의 제어에 의해 순수 투입배관(162)의 유로를 단속하는 제2 밸브(172);
상기 조정액 보충배관(163)에 설치되며, 상기 컨트롤러(140)의 제어에 의해 조정액 보충배관(163)의 유로를 단속하는 제3 밸브(173);
상기 순수 보충배관(164)에 설치되며, 상기 컨트롤러(140)의 제어에 의해 순수 보충배관(164)의 유로를 단속하는 제4 밸브(174);
상기 조정액 보충배관(163)에 설치되어 조정액 보충배관(163)을 통해 용액탱크(110)로 유입되는 표면조정액의 양을 제어하는 제1 노즐(176); 및
상기 순수 보충배관(164)에 설치되어 순수 보충배관(164)을 통해 용액탱크(110)로 유입되는 순수의 양을 제어하는 제2 노즐(177);을 포함하는 것을 특징으로 하는 피도물의 표면처리 시스템.And a pump 120 for transferring the treatment solution so that the treatment solution stored in the solution tank 110 is sprayed onto the substrate. The surface treatment system of the surface treatment system of the present invention comprises a solution tank 110 in which a treatment solution for surface treatment of a substrate is stored, In this case,
A camera (130) for photographing a treatment solution used for surface treatment of the object to acquire image information of the treatment solution;
A controller 140 for analyzing the image information obtained by the camera 130 and checking the degree of contamination of the processing solution;
A flow meter 111 installed in the solution tank 110 to measure the amount of the treatment solution introduced into the solution tank 110;
An adjusting liquid inlet pipe 161 connected to the solution tank 110 so that the surface adjusting solution is introduced into the solution tank 110;
A pure water supply pipe 162 connected to the solution tank 110 so that pure water is introduced into the solution tank 110;
A discharge pipe 165 extending from the solution tank 110 to discharge the treatment solution stored in the solution tank 110 to the outside;
An adjusting liquid replenishing piping 163 branching from the adjusting liquid input piping 161 and connected to the solution tank 110;
A pure water supplement pipe 164 branched from the pure water supply pipe 162 and connected to the solution tank 110;
A discharge valve 175 installed in the discharge pipe 165 for controlling the flow path of the discharge pipe 165;
A first valve (171) installed in the adjusting liquid input pipe (161) for controlling the flow path of the adjusting liquid input pipe (161) under the control of the controller (140);
A second valve 172 installed in the pure water inlet pipe 162 for controlling the flow passage of the pure water inlet pipe 162 under the control of the controller 140;
A third valve 173 installed in the adjusting liquid replenishing piping 163 for controlling the flow path of the adjusting liquid replenishing piping 163 under the control of the controller 140;
A fourth valve (174) installed in the pure water supplement pipe (164) for controlling the flow path of the pure water supplement pipe (164) under the control of the controller (140);
A first nozzle 176 installed in the adjusting liquid replenishing line 163 for controlling the amount of the surface adjusting liquid which flows into the solution tank 110 through the adjusting liquid replenishing line 163; And
And a second nozzle (177) provided in the pure water supplement pipe (164) for controlling the amount of pure water flowing into the solution tank (110) through the pure water supplement pipe (164) system. 청구항 1에 있어서,
상기 카메라(130)는, 피도물의 표면 처리가 이루어지는 처리실(100)과 용액탱크(110)를 연결하는 반환배관(150)의 이웃한 위치에 설치되어 반환배관(150)을 통하여 용액탱크(110)로 유동하는 처리용액의 영상을 촬영하는 것을 특징으로 하는 피도물의 표면처리 시스템.The method according to claim 1,
The camera 130 is disposed at a position adjacent to the return pipe 150 connecting the process chamber 100 where the surface treatment of the substrate is performed and the solution tank 110 and is connected to the solution tank 110 through the return pipe 150, And the image of the processing solution flowing into the processing chamber is photographed. 청구항 2에 있어서,
상기 반환배관(150)은 카메라(130)에 의한 처리용액의 영상 촬영을 위하여 전체 또는 일부분이 투명한 관으로 구성되거나, 투시창이 형성된 것을 특징으로 하는 피도물의 표면처리 시스템.The method of claim 2,
Wherein the return pipe (150) is formed of a transparent or partially transparent tube for imaging the treatment solution by the camera (130), or a transparent window is formed. 삭제delete 처리용액이 저장되는 용액탱크(110)와, 상기 용액탱크(110)에 저장된 처리용액이 피도물에 분사되도록 처리용액을 이송하는 펌프(120)를 포함하는 것으로 구성된 피도물의 표면처리 시스템을 이용하여 피도물의 표면처리를 실시함에 있어서,
피도물의 표면 처리에 사용된 처리용액을 카메라(130)로 촬영하여 처리용액의 화상 정보를 획득하는 단계(S110);
상기 카메라(130)에 의해 획득된 화상 정보를 컨트롤러(140)가 분석하여 처리용액의 오염도를 검사 및 판정하는 단계(S120);
상기 S120 단계에서 처리용액이 오염된 것으로 판정되면, 펌프(120)의 작동을 정지시키고, 용액탱크(110)의 처리용액 모두를 외부로 배출한 뒤, 용액탱크(110)로 새로운 순수와 표면조정액을 유입시키는 단계(S130);
상기 S120 단계에서 처리용액이 오염되지 않은 것으로 판정되거나, 상기 S130 단계와 완료되면, 용액탱크(110)에 마련된 유량계(111)를 이용하여 처리용액의 양을 검출하고, 검출된 처리용액의 양이 미리 설정된 최소 유지량에 미달되는 경우, 순수와 표면조정액을 보충하는 단계(S140);로 이루어지되,
상기 S120 단계는,
카메라(130)에 의해 획득된 화상 정보에 포함된 각 화소의 RGB(Red Green Blue) 정보를 획득하는 단계(S121);
상기 S121 단계에서 획득된 각 화소의 RGB 정보를 HSL(Hue Saturation Luminance) 정보로 전환하는 단계(S122);
상기 S122 단계를 통해 얻어진 화상 정보를 미리 설정된 채도 구간으로 필터링 하는 단계(S123);
상기 S123 단계를 통해 얻어진 화상 정보로부터 오염도의 증가여부를 판단하는 단계(S124);
상기 S124 단계에서 오염도가 증가된 것으로 판단되면, 상기 S121 단계에서 얻어진 화상 정보를 미리 설정된 색상 구간으로 필터링 하는 단계(S125);
상기 S125 단계를 통해 얻어진 화상 정보로부터 오염도를 판정하는 단계(S126);로 이루어진 것을 특징으로 하는 피도물의 표면처리 시스템 제어방법.And a pump 120 for transferring the treatment solution so that the treatment solution stored in the solution tank 110 is sprayed onto the substrate. The surface treatment system of the substrate, In the surface treatment of the substrate,
Capturing the treatment solution used in the surface treatment of the substrate with the camera 130 to obtain image information of the treatment solution (S110);
(S120) the controller 140 analyzes the image information obtained by the camera 130 to check and determine the degree of contamination of the processing solution;
If it is determined in step S120 that the treatment solution is contaminated, the operation of the pump 120 is stopped, all of the treatment solution in the solution tank 110 is discharged to the outside, and the new pure water and the surface adjustment solution (S130);
If it is determined in step S120 that the treatment solution is not contaminated or the step S130 is completed, the amount of the treatment solution is detected using the flow meter 111 provided in the solution tank 110, (S140) of supplementing the pure water and the surface adjustment liquid when the preset minimum maintenance amount is not satisfied,
In operation S120,
Acquiring RGB (Red Green Blue) information of each pixel included in the image information obtained by the camera 130 (S121);
Converting the RGB information of each pixel obtained in step S121 into HL (Hue Saturation Luminance) information (S122);
(S123) filtering the image information obtained in step S122 into a predetermined saturation section;
Determining whether the degree of contamination is increased from the image information obtained in step S123 (S124);
If it is determined in step S124 that the degree of contamination is increased, filtering (step S125) the image information obtained in step S121 with a preset color interval;
And determining (S126) the degree of contamination from the image information obtained in step S125. 삭제delete 청구항 5에 있어서,
상기 S123 단계는 채도 25-50 구간으로 필터링 하는 것을 특징으로 하는 피도물의 표면처리 시스템 제어방법.The method of claim 5,
Wherein the step S123 is performed with a chroma 25-50. 청구항 5에 있어서,
상기 S125 단계는 색상 0-25 구간으로 필터링 하는 것을 특징으로 하는 피도물의 표면처리 시스템 제어방법.The method of claim 5,
Wherein the step S125 is performed in a color 0-25 interval.
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