KR101604973B1 - Shaft Coating method and the shaft of teflon - Google Patents
Shaft Coating method and the shaft of teflon Download PDFInfo
- Publication number
- KR101604973B1 KR101604973B1 KR1020140103138A KR20140103138A KR101604973B1 KR 101604973 B1 KR101604973 B1 KR 101604973B1 KR 1020140103138 A KR1020140103138 A KR 1020140103138A KR 20140103138 A KR20140103138 A KR 20140103138A KR 101604973 B1 KR101604973 B1 KR 101604973B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- shaft
- coating
- base material
- teflon
- thickness
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Wood Science & Technology (AREA)
Abstract
본 발명은 유해물질을 제거하기 위한 드라이 펌프의 샤프트를 모재로 하고, 상기 모재인 샤프트에 테프론을 코팅하는 방법에 관한 것으로서, 구체적으로는 모재인 샤프트의 상태를 확인하는 검수단계; 코팅할 면의 불순물을 제거하는 탈지단계; 코팅한 면을 샌딩 처리하는 샌딩단계; 샌드 페이퍼를 이용하여 돌출부위를 제거한 후 에어 클리닝을 실시하는 표면처리단계; 표면에 테프론을 입히는 1차 코팅단계; 건조로를 이용하여 열처리하는 1차 소성단계; 표면에 균일한 두께가 되도록 테프론을 입히는 2차 코팅단계; 열처리를 위한 건조로 내에서 서서히 식히는 냉각단계; 및 코팅 상태와 두께 공차를 확인하는 검수단계;를 포함하여 이루어짐에 따라, 샤프트의 마모를 줄여 교체에 따른 비용을 절감할 수 있는 유해물질 제거용 드라이 펌프의 테프론 코팅방법과 그 제품을 제공한 매우 유용한 발명인 것이다.The present invention relates to a method of coating teflon with a shaft of a dry pump for removing harmful substances as a base material, and more particularly, to a method of checking the state of a shaft, which is a base material, A degreasing step of removing impurities on a surface to be coated; A sanding step of sanding the coated surface; A surface treatment step of performing air cleaning after removing protrusions using sand paper; A primary coating step of applying Teflon to the surface; A first firing step in which a heat treatment is performed using a drying furnace; A second coating step of coating the surface with a uniform thickness of Teflon; A cooling step of slowly cooling in a drying furnace for heat treatment; The present invention provides a Teflon coating method of a dry pump for removing toxic substances, which can reduce the wear and tear on the shaft by reducing wear of the shaft, It is a useful invention.
Description
본 발명은 반도체 공정에서 발생하는 유해물질을 제거하기 위한 드라이 펌프 중에서 샤프트의 마모를 막기 위해 표면에 테프론을 코팅하는 방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a method of coating Teflon on a surface of a dry pump for removing harmful substances generated in a semiconductor process to prevent abrasion of the shaft.
일반적으로 반도체 공정에서는 Ti Nitride, HT Nitride, BPSG, Ti_CI4와 같이 독성이 강한 유해물질이 발생하는데, 이러한 유해물질을 제거하기 위해서 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같은 드라이 펌프(dry pump)가 사용된다.Generally, in the semiconductor process, toxic substances such as TiNitride, HTNitride, BPSG and Ti_CI4 are generated. In order to remove such harmful substances, a dry pump as shown in FIGS. 1 and 2 is used do.
상기 드라이 펌프는 액체를 포함하지 않는 분말 형태의 유해물질을 흡입 및 배출하기 위한 것으로서, 나란한 한 쌍의 샤프트(10a)와 상기 샤프트에 결합되면서 서로 맞물려 회전하도록 형성된 한 쌍의 로우브(lobe: 10b)) 및 상기 로우브의 회전과 유해물질의 순환 공간을 제공하는 하우징(10c)으로 구성된다.The dry pump is for sucking and discharging harmful substances in the form of powder that do not contain liquid. The dry pump includes a pair of
이때, 상기 샤프트와 로우브는 고속으로 회전하면서 계속해서 상기 유해물질과 마찰되기 때문에 시간이 지남에 따라 미세하나마 마모가 발생하는데, 이와 같은 마모는 드라이 펌프의 진공 압력을 떨어뜨려 기능을 저하시키는 원인이 된다.At this time, since the shaft and the robe rub against the harmful material continuously while rotating at a high speed, minute wear is generated as time goes by. Such abrasion causes the vacuum pressure of the dry pump to be lowered, .
뿐만 아니라, 이와 같은 드라이 펌프는 고가의 장비이므로 샤프트의 교체를 위해서도 많은 비용이 발생할 수밖에 없는데, 상기 샤프트의 마모가 빠르게 진행될수록 그만큼 교체 비용이 증가하게 된다.
In addition, since such a dry pump is expensive, a large amount of cost is incurred for replacement of the shaft. The faster the wear of the shaft, the more the replacement cost increases.
본 발명은 유해물질을 제거하기 위한 드라이 펌프 중에서 샤프트의 마모를 막기 위한 테프론 코팅방법 및 테프론 샤프트를 제공하려는 것이다.The present invention provides a Teflon coating method and a Teflon shaft for preventing abrasion of a shaft among dry pumps for removing harmful substances.
본 발명은 드라이 펌프 중에서 샤프트의 표면에 유해물질이 부착되는 것을 막기위한 2차 코팅단계와 2차 소성단계를 2회 이상 반복 실시하는 테프론 코팅방법 및 테프론 샤프트를 제공하려는 것이다.
The present invention is to provide a Teflon coating method and a Teflon shaft in which a secondary coating step and a secondary firing step are repeated twice or more to prevent the harmful substances from adhering to the surface of the shaft in the dry pump.
본 발명의 유해물질 제거용 드라이 펌프의 샤프트 테프론 코팅방법은 유해물질을 제거하기 위한 드라이 펌프의 샤프트를 모재로 하고, 상기 모재에 테프론을 코팅하는 방법에 있어서, 상기 모재인 샤프트의 상태를 확인하는 1차 검수단계; 상기 모재인 샤프트의 코팅할 면에서 불순물을 제거하는 탈지단계; 상기 모재인 샤프트의 코팅한 면을 샌딩 처리하면서 균일하게 되었는지 확인하는 샌딩단계; 상기 모재인 샤프트의 표면에 돌출된 부위를 샌드 페이퍼로 제거한 후 에어 클리닝을 실시하는 표면처리단계; 상기 모재인 샤프트와 테프론과의 접착력을 강화하기 위해 스프레이를 이용하여 모재인 샤프트의 표면에 테프론을 입히는 1차 코팅단계; 건조로를 이용하여 상기 모재인 샤프트를 열처리하는 1차 소성단계; 내마모성과 내화학성을 증가시키기 위해 상기 모재인 샤프트의 표면에 균일한 두께가 되도록 테프론을 입히는 2차 코팅단계; 열처리를 위한 건조로 내에서 상기 모재인 샤프트를 서서히 식히는 냉각단계; 및 상기 모재인 샤프트의 코팅 상태와 두께 공차를 확인하는 2차 검수단계;를 포함하여 이루어진다.A method for coating Teflon with a shaft of a dry pump for removing toxic substances as a base material and coating the Teflon with a Teflon coating for removing toxic substances according to the present invention is characterized in that the state of the shaft First verification step; A degreasing step of removing impurities from the surface to be coated of the shaft as the base material; A sanding step of sanding the coated surface of the shaft, which is the base material, to check whether it is uniform; A surface treatment step of removing a portion protruding from the surface of the shaft, which is the base material, with a sandpaper and then performing air cleaning; A primary coating step of applying Teflon to the surface of the shaft, which is a base material, by spraying to enhance adhesion between the shaft, which is the base material, and Teflon; A first firing step of heat-treating the shaft as the base material by using a drying furnace; A second coating step of applying Teflon to the surface of the shaft as a base material so as to have a uniform thickness to increase abrasion resistance and chemical resistance; A cooling step of slowly cooling the shaft as the base material in a drying furnace for heat treatment; And a second inspection step of confirming the coating state and the thickness tolerance of the shaft as the base material.
상기 샌딩단계 후 모재인 샤프트의 표면에 남아있는 불순물을 세척제로 제거하는 단계;를 포함하여 이루어진다.And removing impurities remaining on the surface of the shaft, which is a base material, after the sanding step with a cleaning agent.
상기 모재로서 샤프트는 상기 모재검수 단계 후 코팅의 두께를 감안하여 코팅할 면을 선삭 가공하는 단계;를 포함하여 이루어진다.The shaft as the base material is formed by turning the surface to be coated in consideration of the thickness of the coating after the base material inspection step.
상기 모재로서 샤프트는 상기 2차 코팅단계에서 정전 도장기를 이용하여 테프론을 정전분사한다.The shaft as the base material electrostatically sprays Teflon using the electrostatic sprayer in the secondary coating step.
상기 모재로서 샤프트는 상기 2차 코팅단계 후 건조로를 이용하여 300~450℃로 열처리하는 2차 소성단계;를 포함하여 이루어진다.And a second firing step of subjecting the shaft as the base material to a heat treatment at 300 to 450 ° C using the drying furnace after the secondary coating step.
상기 모재로서 샤프트는 상기 2차 코팅단계와 2차 소성단계를 2회 이상 반복 실시한다.The shaft as the base material is repeatedly subjected to the secondary coating step and the secondary firing step two or more times.
상기 모재로서 샤프트는 상기 2차 코팅단계와 2차 소성단계를 2회 이상 반복 실시하여 테프론의 코팅 두께가 조립치수의 공차 이상이 된 경우 연마재를 이용하여 코팅 두께가 상기 조립치수의 공차에 맞도록 연마하는 단계;를 포함하여 이루어진다.
The shaft as the base material is subjected to the second coating step and the second firing step repeatedly twice or more so that when the coating thickness of Teflon becomes equal to or larger than the tolerance of the assembly dimension, the coating thickness is adjusted to the tolerance of the assembly dimension Polishing the substrate.
본 발명의 유해물질 제거용 드라이 펌프의 샤프트 테프론 코팅방법에 의하면 드라이 펌프 중에서 고속회전하면서 유해물질과 마찰되는 샤프트와 로우브(Lobe)의 표면에 테프론 코팅을 형성함으로써, 샤프트의 마모를 줄여 교체에 따른 비용을 절감하는 효과가 있다.According to the Teflon coating method of shaft of the dry pump for removing toxic substances of the present invention, Teflon coating is formed on the surfaces of shafts and lobes which rub against harmful substances at a high speed in a dry pump to reduce abrasion of the shaft, Thereby reducing the cost of the system.
반도체작업공정의 중단으로 인한 교체시간을 줄일 수 있어 생산성증가에 매우 뛰어난 효과가 있는 발명인 것이다.
It can reduce the replacement time due to the interruption of the semiconductor work process and is an excellent effect to increase the productivity.
도 1은 본 발명이 적용된 드라이 펌프를 도시한 분해도.
도 2는 본 발명이 적용된 드라이 펌프를 도시한 단면도.
도 3은 본 발명이 적용된 드라이 펌프 중 샤프트의 테프론 코팅방법을 도시한 플로우 차트.
도 4는 본 발명이 적용된 드라이 펌프 중 샤프트의 다른 코팅방법을 도시한 부분 플로우 차트.
도 5는 본 발명이 적용된 드라이 펌프 중 샤프트의 다른 코팅방법을 도시한 부분 플로우 차트.
도 6, 7은 본 발명이 적용된 드라이 펌프 중 샤프트의 테프론 코팅방법에 의해 전체 실시 코팅사진 및 부분 실시 코팅사진.1 is an exploded view showing a dry pump to which the present invention is applied;
2 is a sectional view showing a dry pump to which the present invention is applied;
3 is a flowchart showing a Teflon coating method of a shaft among the dry pumps to which the present invention is applied.
4 is a partial flow chart illustrating another method of coating a shaft of a dry pump to which the present invention is applied.
5 is a partial flow chart illustrating another method of coating a shaft of a dry pump to which the present invention is applied.
FIGS. 6 and 7 are photographs of the whole coating and the partial coating by the Teflon coating method of the shaft among the dry pumps to which the present invention is applied.
본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면에 의거하여 구체적으로 살펴본다.
Preferred embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명의 유해물질 제거용 드라이 펌프의 샤프트 테프론 코팅방법은 도 3 내지 5에 도시된 바와 같이 모재인 샤프트의 상태를 확인하는 검수단계(S100), 코팅할 면의 불순물을 제거하는 탈지단계(S300), 코팅한 면을 샌딩 처리하는 샌딩단계(S400), 샌드 페이퍼를 이용하여 돌출부위를 제거한 후 에어 클리닝을 실시하는 표면처리단계(S600), 표면에 테프론을 입히는 1차 코팅단계(S700), 건조로를 이용하여 열처리하는 1차 소성단계(S800), 표면에 균일한 두께가 되도록 테프론을 입히는 2차 코팅단계(S900), 열처리를 위한 건조로 내에서 서서히 식히는 냉각단계(S1100) 및 코팅 상태와 두께 공차를 확인하는 검수단계(S1200)를 포함하여 이루어진다.
As shown in FIGS. 3 to 5, the shaft Teflon coating method of a dry pump for removing toxic substances according to the present invention includes a test step S100 for checking the state of a shaft as a base material, a degreasing step S300 for removing impurities on a surface to be coated (S400) for sanding the coated surface, a surface treatment step (S600) for air cleaning after removing the protruding portion using the sand paper, a primary coating step (S700) for applying Teflon to the surface, (S800), a secondary coating step (S900) in which Teflon is applied to a uniform thickness on the surface, a cooling step (S1100) in which the coating is slowly cooled in a drying furnace for heat treatment, and a coating step And a verification step (S1200) of confirming the thickness tolerance.
상기 1차 검수단계(S100)는 상기 유해물질을 제거하기 위한 드라이 펌프의 샤프트로 이루어지는 모재의 상태를 확인하는 과정으로서, 테프론의 코팅을 위한 샤프트(10a)의 표면에 이상이 있는지 등을 확인한다.
The first inspection step (S100) is a step of checking the state of the base material including the shaft of the dry pump for removing the harmful substances, and it is checked whether the surface of the
상기 샤프트는 모재검수 단계 후 코팅할 테프론의 두께를 감안하여 코팅할 면을 선삭 가공하는 단계(S200)를 포함한다. 즉, 상기 테프론의 코팅 두께가 예를 들어 300㎛ 이상인 경우 선삭 가공을 통해 샤프트의 코팅할 면을 300㎛ 내외로 깎아내는 것이다.
The shaft includes a step (S200) of turning the surface to be coated in consideration of the thickness of the Teflon to be coated after the test of the base material. That is, when the coating thickness of the Teflon is, for example, 300 μm or more, the surface to be coated of the shaft is cut to 300 μm or less through turning.
상기 탈지단계(S300)는 상기 모재인 샤프트의 코팅할 면에서 불순물을 제거하는 과정으로서, 소부탈지 또는 세척제를 이용한 세척이 적용된다.The degreasing step (S300) is a process of removing impurities from a surface to be coated of the shaft, which is the base material, and is subjected to degreasing or cleaning using a cleaning agent.
상기 샌딩(sanding)단계(S400)는 상기 모재의 코팅한 면을 샌딩 처리하면서 균일하게 되었는지 확인하는 과정이다. 이때, 상기 코팅할 면의 균일성은 금강사를 이용하여 확인할 수 있다.
The sanding step (S400) is a process of confirming whether the coated surface of the base material is uniformly sanded. At this time, the uniformity of the surface to be coated can be confirmed by using a steel wire.
상기 샌딩단계(S400) 후에는 모재의 표면에 남아있는 불순물을 세척제로 제거하는 샌딩 후 탈지단계(S500)를 포함하여 이루어진다. 즉, 앞서 샌딩단계(S400)에서 모재의 표면에 탈지는 이루어졌으나, 아직 불순물질이나 오물 또는 오일 등이 남아있는 경우 이들을 세척제로 세척 또는 에어로 불어내는 것이다.
After the sanding step (S400), a post-sanding degreasing step (S500) of removing impurities remaining on the surface of the base material with a cleaning agent is performed. That is, in the preceding sanding step (S400), the surface of the base material is degreased, but if impurities, dirt or oil remain, the surface of the base material is washed or aero-blown with a cleaning agent.
표면처리단계(S600)는 상기 모재인 샤프트의 표면에 돌출된 부위를 샌드 페이퍼로 제거한 후 에어 클리닝을 실시한다.
In the surface treatment step (S600), a portion protruding from the surface of the shaft, which is the base material, is removed by sand paper, and air cleaning is performed.
상기 1차 코팅단계(S700)는 상기 모재인 샤프트와 테프론과의 접착력을 강화하기 위해 스프레이를 이용하여 모재의 표면에 얇게 테프론을 입히는 과정이다.
The primary coating step S700 is a step of applying thin Teflon to the surface of the base material by spraying to enhance adhesion between the shaft, which is the base material, and Teflon.
상기 1차 소성단계(S800)는 건조로를 이용하여 상기 1차 코팅된 모재인 샤프트를 열처리하는 과정이다.
The first firing step S800 is a process of heat-treating the shaft, which is the primary coated base material, by using a drying furnace.
상기 2차 코팅단계(S900)는 내마모성과 내화학성을 증가시키기 위해 상기 모재의 표면에 균일한 두께가 되도록 테프론을 입히는 과정이다.In the secondary coating step (S900), Teflon is coated on the surface of the base material so as to have a uniform thickness in order to increase abrasion resistance and chemical resistance.
이와 같은 2차 코팅단계(S900)는 실시 예로서 정전 도장기를 이용하여 테프론을 정전분사한다. 이때는 숙련자에 의해 모재의 표면에 균일한 두께로 테프론을 정전분사하는 것이 바람직하다.In this second coating step (S900), Teflon is electrostatically sprayed using an electrostatic coater as an embodiment. In this case, it is preferable to electrostatically spray Teflon to the surface of the base material with a uniform thickness by an expert.
이때, 상기 모재인 샤프트는 상기 2차 코팅단계(S900)를 2회 이상 반복 실시해야 하는데, 이 경우 3~4회를 반복하는 것이 가장 바람직하다.
At this time, the shaft, which is the base material, needs to be repeated two or more times in the secondary coating step (S900). In this case, it is most preferable that the shaft is repeated three to four times.
상기 모재로서 샤프트(10a)는 상기 2차 코팅단계(S900) 후 건조로를 이용하여 300~450℃로 열처리하는 2차 소성단계(S1000)를 포함하여 이루어진다.The
이때, 상기 모재로서 샤프트(10a)는 상기 2차 코팅단계(S900)와 2차 소성단계(S1000)를 2회 이상 반복 실시해야 하는데, 이 경우 4~5회를 반복하는 것이 가장 바람직하다.
At this time, the
상기 냉각단계(S1100)는 열처리를 위한 건조로 내에서 상기 모재를 서서히 식히는 과정이다.
The cooling step S1100 is a process of slowly cooling the base material in a drying furnace for heat treatment.
상기 2차 검수단계(S1300)는 상기 모재의 코팅 상태와 두께 공차를 확인하는 검수단계이다.
The second inspection step (S1300) is a checking step of checking the coating state and the thickness tolerance of the base material.
한편, 상기 모재로서 샤프트(10a)는 상기 2차 코팅단계(S900)와 2차 소성단계(S1000)를 2회 이상 반복 실시하여 테프론의 코팅 두께가 조립치수의 공차 이상이 된 경우 연마재를 이용하여 코팅 두께가 상기 조립치수의 공차에 맞도록 연마하는 단계(S1200)를 포함하여 이루어진다.
Meanwhile, the
이와 같은 구성의 본 발명에 의하면 드라이 펌프 중에서 고속회전하면서 유해물질과 마찰되는 샤프트의 표면에 테프론 코팅을 형성함으로써, 샤프트의 마모를 줄여 교체에 따른 비용을 절감할 수 있게 된다.According to the present invention having such a structure, the Teflon coating is formed on the surface of the shaft which rubs against harmful substances while rotating at a high speed in the dry pump, thereby reducing wear of the shaft, thereby reducing the cost of replacement.
도 6과 도 7은 본 발명의 실시예의 유해물질 제거용 드라이 펌프의 샤프트 테프론 코팅방법에 있어서, 모제인 샤프트의 테프론 코팅방법에 의해 전체면을 테프론 콘팅된 실시 코팅사진과 모제인 부분만을 테프론 코팅한 사진으로 나타낸 것으로 필요에 따라 부분만을 코팅할 수 있도록 하였다.6 and 7 are graphs showing the results of a Teflon coating method for a shaft of Teflon coated shaft of a dry pump for removing toxic substances according to an embodiment of the present invention, As shown in the photograph, it is possible to coat only the part as needed.
10: 드라이 펌프
10a: 샤프트
10c: 하우징10: Dry pump
10a: Shaft
10c: Housing
Claims (6)
상기 모재인 샤프트의 상태를 확인하는 1차 검수단계;
상기 모재인 샤프트의 코팅할 면에서 불순물을 제거하는 탈지단계;
상기 모재인 샤프트의 코팅한 면을 샌딩 처리하면서 균일하게 되었는지 확인하는 샌딩단계;
상기 모재인 샤프트의 표면에 돌출된 부위를 샌드 페이퍼로 제거한 후 에어 클리닝을 실시하는 표면처리단계;
상기 모재인 샤프트와 테프론과의 접착력을 강화하기 위해 스프레이를 이용하여 모재의 표면에 테프론을 입히는 1차 코팅단계;
건조로를 이용하여 상기 모재인 샤프트를 열처리하는 1차 소성단계;
내마모성과 내화학성을 증가시키기 위해 상기 모재인 샤프트의 표면에 균일한 두께가 되도록 테프론을 입히는 2차 코팅단계;
열처리를 위한 건조로 내에서 상기 모재인 샤프트를 서서히 식히는 냉각단계; 및
상기 모재인 샤프트의 코팅 상태와 두께 공차를 확인하는 2차 검수단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유해물질 제거용 드라이 펌프의 샤프트 테프론 코팅방법.A method of coating teflon with a shaft of a dry pump for removing toxic substances as a base material,
A first inspection step of confirming the state of the shaft which is the base material;
A degreasing step of removing impurities from the surface to be coated of the shaft as the base material;
A sanding step of sanding the coated surface of the shaft, which is the base material, to check whether it is uniform;
A surface treatment step of removing a portion protruding from the surface of the shaft, which is the base material, with a sandpaper and then performing air cleaning;
A primary coating step of applying Teflon to the surface of the base material by spraying to enhance adhesion between the shaft as the base material and Teflon;
A first firing step of heat-treating the shaft as the base material by using a drying furnace;
A second coating step of applying Teflon to the surface of the shaft as a base material so as to have a uniform thickness to increase abrasion resistance and chemical resistance;
A cooling step of slowly cooling the shaft as the base material in a drying furnace for heat treatment; And
And a second inspection step of confirming a coating state and a thickness tolerance of the shaft as the base material.
2차 코팅단계에서 정전 도장기를 이용하여 테프론을 정전분사하는 것을 특징으로 하는 유해물질 제거용 드라이 펌프의 샤프트 테프론 코팅방법.
[2] The method according to claim 1,
Wherein the Teflon is electrostatically sprayed using an electrostatic coater in a secondary coating step.
2차 코팅단계 후 건조로를 이용하여 300~450℃로 열처리하는 2차 소성단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유해물질 제거용 드라이 펌프의 테프론 샤프트 코팅방법.
[2] The method according to claim 1,
And a second firing step of performing a second firing step and a second firing step using a drying furnace at 300 to 450 ° C.
2차 코팅단계와 2차 소성단계를 2회 이상 반복 실시하는 것을 특징으로 하는 유해물질 제거용 드라이 펌프의 샤프트 테프론 코팅방법.
[2] The method according to claim 1,
Wherein the second coating step and the second firing step are repeated two or more times.
2차 코팅단계와 2차 소성단계를 2회 이상 반복 실시하여 테프론의 코팅 두께가 조립치수의 공차 이상이 된 경우 연마재를 이용하여 코팅 두께가 상기 조립치수의 공차에 맞도록 연마하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유해물질 제거용 드라이 펌프의 샤프트 테프론 코팅방법.[6] The method according to claim 5,
The second coating step and the second firing step are repeated two or more times to polish the coating thickness so that the thickness of the coating is equal to the tolerance of the assembly dimension when the coating thickness of the Teflon becomes equal to or larger than the tolerance of the assembly dimension Wherein the coating layer is formed on the surface of the shaft.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020140103138A KR101604973B1 (en) | 2014-08-11 | 2014-08-11 | Shaft Coating method and the shaft of teflon |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020140103138A KR101604973B1 (en) | 2014-08-11 | 2014-08-11 | Shaft Coating method and the shaft of teflon |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20160019142A KR20160019142A (en) | 2016-02-19 |
| KR101604973B1 true KR101604973B1 (en) | 2016-03-21 |
Family
ID=55448620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020140103138A KR101604973B1 (en) | 2014-08-11 | 2014-08-11 | Shaft Coating method and the shaft of teflon |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101604973B1 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102358561B1 (en) | 2017-06-08 | 2022-02-04 | 삼성전자주식회사 | Substrate processing apparatus and apparatus for manufacturing integrated circuit device |
| KR102112656B1 (en) * | 2019-03-26 | 2020-05-19 | 최동채 | Teflon coated ink removing means and ink removing device for printer and ink removing means manufacturing method |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100613890B1 (en) | 2005-04-08 | 2006-08-22 | 조철환 | A coating-method for fluorine resin |
| KR101066980B1 (en) | 2010-04-01 | 2011-09-22 | 주식회사 누리텍 | Method for rustproofing stainless steel pipe of coating with parylene |
-
2014
- 2014-08-11 KR KR1020140103138A patent/KR101604973B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100613890B1 (en) | 2005-04-08 | 2006-08-22 | 조철환 | A coating-method for fluorine resin |
| KR101066980B1 (en) | 2010-04-01 | 2011-09-22 | 주식회사 누리텍 | Method for rustproofing stainless steel pipe of coating with parylene |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20160019142A (en) | 2016-02-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101981766B1 (en) | Electrostatic chuck aln dielectric repair | |
| TWI525676B (en) | Substrate mounting stage and surface treatment method therefor | |
| TWI613714B (en) | Method and apparatus for refurbishing gas distribution plate surfaces | |
| US8568827B2 (en) | Textured coating on a component surface | |
| KR101301507B1 (en) | Semiconductor heater manufacturing method and heater thereusing | |
| KR101604973B1 (en) | Shaft Coating method and the shaft of teflon | |
| KR101604975B1 (en) | Lobe coating method and the lobe of teflon | |
| KR102101192B1 (en) | Roughened substrate support | |
| KR102447604B1 (en) | Teflon coating method | |
| US20080131604A1 (en) | Textured coating on a component surface | |
| KR20220049535A (en) | A method for repairing a paint film and an article comprising the restored paint film | |
| CN105646926A (en) | Surface treatment method for nylon material | |
| KR101680867B1 (en) | Manufacturing methods of metallic materials having a surface structure for crack prevention of ceramic coating layer | |
| US9694568B2 (en) | Method for coating components | |
| US10633735B2 (en) | Method for a defined surface treatment of a first carbon coating applied on a surface of a component | |
| MX2011005203A (en) | Cleaning method for coating systems. | |
| JP2021146245A (en) | Surface modification method for material to be treated | |
| KR101746058B1 (en) | Roll manufacturing method for transferring article | |
| KR101327313B1 (en) | Parylene coating method | |
| KR101150418B1 (en) | Protection plate for chamber inside wall of sputtering equipment and manufacturing method of it | |
| CN104801470A (en) | Paint spraying process of excavator bucket | |
| JP2008251904A (en) | Method of surface treatment of mounting table | |
| EP3802905A1 (en) | Piston ring and method for manufacturing a piston ring | |
| KR100665949B1 (en) | Slit nozzle for photo register coating and manufacturing method thereof | |
| JP4486630B2 (en) | Method for coating annular member and method for manufacturing bearing member for bearing |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20200107 Year of fee payment: 5 |