KR101595055B1 - Abnomal state detecting apparatus for AC fan unit of a clean room - Google Patents

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Abstract

본 발명은 클린룸의 AC 타입 팬 유닛 이상 감지 장치에 관한 것으로, 복수의 자석을 이용해 AC 타입 팬 유닛의 AC 팬 모터 이상을 간편하게 감지할 수 있도록 구현하여 클린룸의 AC 타입 팬 유닛 이상에 의한 클린룸 기압 변화를 방지할 수 있어, 클린룸 기압 변화에 따른 제품 수율 저하를 최소화할 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to an AC type fan unit abnormality detection apparatus for a clean room, and is capable of easily detecting an AC fan motor abnormality of an AC type fan unit by using a plurality of magnets, It is possible to prevent a change in room pressure, thereby minimizing a decrease in product yield due to a change in the pressure of the clean room.

Description

클린룸의 ＡＣ 타입 팬 유닛 이상 감지 장치{Abnomal state detecting apparatus for AC fan unit of a clean room}[0001] The present invention relates to an AC type fan unit for a clean room,

본 발명은 AC 모터 이상 감지 기술에 관련한 것으로, 특히 클린룸의 AC 타입 팬 유닛 이상 감지 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an AC motor abnormality detection technique, and more particularly, to an AC type fan unit abnormality detection device in a clean room.

반도체, LCD 제조용 클린룸(Clean Room)에 적용되는 EFU(Equipment Fan Unit) 또는 FFU(Fan Filter Unit) 등의 팬 유닛에 이용되는 팬 모터는 주로 단상 AC 타입과 BLDC 타입으로 나누어진다.Fan motors used in fan units such as EFU (Equipment Fan Unit) or FFU (Fan Filter Unit) applied to clean room for semiconductor and LCD manufacturing are mainly divided into single-phase AC type and BLDC type.

BLDC의 경우는 모터 내부에 모터의 회전속도와 방향 등을 감지할 수 있는 홀 센서가 내장되어 있어 현재 모터의 상태를 확인 할 수 있다. 그러나, AC 모터의 경우에는 구조의 단순화 및 모터 공급가격 등을 고려하여 회전속도 및 방향 등을 감지할 수 있는 물리적인 감지장치가 내장되어 있지 않다.In the case of BLDC, Hall sensor is built in the motor to detect the rotation speed and direction of the motor, so the status of the current motor can be checked. However, in the case of an AC motor, there is no built-in physical sensing device capable of detecting rotation speed and direction in consideration of simplification of the structure and motor supply price.

클린룸 환경상 팬 모터가 365일 24시간 상시 운전 형태이므로, 일정 운전 시간이 지나면 모터 내부의 베어링 소손 및 기동 콘덴서의 특성 저하 등으로 기계적인 소모부품의 수명이 다해 모터가 정지하게 되는 경우가 발생한다.Since the fan motor operates normally 24 hours a day for 365 days in a clean room environment, after a certain period of operation, the life of the mechanical consumable parts may be shortened due to the bearing damage inside the motor and the degradation of the starting capacitor, .

이 경우 클린룸 내의 기류와 기압을 유지시켜 주며, 클린룸 내에 파티클(Particle)이 유입되지 않도록 청정 환경을 유지해야 하는 EFU(Equipment Fan Unit) 또는 FFU(Fan Filter Unit) 본연의 역할을 수행하지 못하여 실제 반도체 및 LCD 생산 수율을 저하시키는 요인이 된다. In this case, EFU (Equipment Fan Unit) or FFU (Fan Filter Unit), which maintain air flow and air pressure in the clean room and maintain a clean environment to prevent particles from entering the clean room, This is a factor that actually reduces the yield of semiconductor and LCD production.

현재 클린룸(Clean Room)에 적용되는 AC 타입의 EFU(Equipment Fan Unit) 또는 FFU(Fan Filter Unit) 등의 팬 유닛에 이용되는 제어기는 미리 정해놓은 모드별로 AC 팬 모터가 회전할 수 있도록 전류량을 정해놓고 공급하는 형태의 단순 제어기이다. 즉, AC 팬 모터에게 피드백 받는 정보가 없으므로 정해놓은 모드별로 전류를 공급하는 단순한 형태의 제어기이다.Currently, the controller used in fan units such as AC type EFU (Equipment Fan Unit) or FFU (Fan Filter Unit) applied to the clean room is designed so that the AC fan motor can rotate by the predetermined mode It is a simple controller in the form to supply with fixed. That is, since there is no information to be fed back to the AC fan motor, it is a simple type controller that supplies current to each mode.

현재 AC 타입의 EFU 및 FFU를 동작시키는 제어기는 크게 두가지 알람 상태에 대한 확인이 가능하다. 첫째는 AC 팬 모터 내부에 내장되는 열감지 센서가 모터 내부 코일온도가 정해진 온도 이상이 되면 단순히 하이(High) 또는 로우(Low) 신호를 출력하고, 제어기는 이 신호를 받아 과열 여부를 판단하여 알람을 발생시키고 모터에 공급되는 전류를 차단하는 것이다. 통상 AC 팬 모터 내부의 온도를 감지하는 열감지 센서가 동작하는 온도는 120도 이상으로 설정된다.Currently, the controller that operates the AC type EFU and FFU can check two alarm states. First, when the temperature sensor inside the AC fan motor is above the specified temperature, the controller simply outputs a high or low signal, and the controller receives the signal to determine whether it is overheated, And interrupts the current supplied to the motor. Usually, the temperature at which the thermal sensor for sensing the temperature inside the AC fan motor operates is set to 120 degrees or more.

둘째는 AC 팬 모터에 흐르는 운전 전류가 저전류(100mA) 이하가 될 경우 제어기가 모터가 회전하지 않거나 모터 케이블이 정상적으로 연결되지 않았다 판단하여 결상(Phase Loss) 알람을 발생시키고 AC 팬 모터에 공급되는 전류를 차단하는 것이다. Second, if the running current flowing through the AC fan motor is below the low current (100mA), the controller judges that the motor does not rotate or the motor cable is not normally connected, generates a phase loss alarm, The current is cut off.

그런데, AC 팬 모터가 정지해 있는 상태에서 제어기는 정상으로 표시되어 있고, 그에 따른 모니터링도 정상으로 표시 되어 있는 상황이 발생할 수 있다. 그 원인은 AC 팬 모터 내부의 베어링이 소모됨으로 인해 AC 팬 모터가 회전하지 못하는 등의 경우이다.However, in a state in which the AC fan motor is stopped, the controller is displayed as normal, and accordingly monitoring may also be displayed as normal. The reason is that the AC fan motor can not rotate due to the exhaustion of bearings inside the AC fan motor.

이 경우, AC 팬 모터 내부 온도가 열감지 센서가 동작하는 온도 이하이므로 내부 온도감지 센서가 동작하지 않고, 전류도 저전류(100mA) 상태 이상이므로 제어기가 정상상태로 판단하여 AC 팬 모터가 정지된 상태임을 감지하지 못하게 된다.In this case, since the internal temperature of the AC fan motor is below the operating temperature of the thermal sensor, the internal temperature sensor does not operate and the current is too low (100mA). It will not be able to detect the state.

통상적으로 AC 타입의 EFU 또는 FFU 등의 팬 유닛은 두 개 이상의 AC 팬 모터를 구비하고 있으므로, 한 개의 AC 팬 모터가 정지되더라도 나머지 AC 팬 모터가 회전하면서 정지된 AC 팬 모터의 온도를 식혀줌으로 인해 AC 팬 모터 내부 온도가 올라가기가 어렵다.Generally, a fan unit such as an AC type EFU or FFU includes two or more AC fan motors, so that even if one AC fan motor is stopped, the remaining AC fan motor rotates to cool the stopped AC fan motor It is difficult to increase the internal temperature of the AC fan motor.

또한, 다수의 AC 팬 모터가 설치되어 있는 팬 유닛의 경우, AC 팬 모터에 각각 연결되어 있는 기동 콘덴서의 수명 저하 문제로 인해 한 개의 AC 팬 모터가 정지되어 있는 경우에도 제어기에서는 저전류 이상으로 전류가 흐르게 되고, 과열 알람도 발생하지 않아 한 개의 AC 팬 모터가 정지되어 있음에도 불구하고 제어기는 정상 운전 상태로 인지하게 된다.  Further, in the case of a fan unit in which a plurality of AC fan motors are installed, even if one AC fan motor is stopped due to the life degradation problem of the starting capacitors respectively connected to the AC fan motor, And an overheat alarm is not generated, so that the controller is recognized as a normal operation state even though one AC fan motor is stopped.

기존에 설치되어 있는 AC 타입 팬 유닛을 BLDC 타입 팬 유닛으로 교체하는 것은 비용적인 면에서 현실적으로 어려우며, 기존 AC 타입 팬 유닛의 최소한의 수정으로 AC 팬 모터의 이상을 감지할 수 있는 방안이 모색되어야 한다.Replacing an existing AC type fan unit with a BLDC type fan unit is not practical in terms of cost, and a method of detecting an AC fan motor abnormality by minimizing the correction of an AC type fan unit should be sought .

모터 이상 감지 기술로는 대한민국 공개특허 제10-1998-0015274호(1998. 05. 25)에서 제시한 모터에 흐르는 전류 및 모터에 인가되는 전압을 측정하고, 모터의 동작상태를 검지하며, 측정된 전압 및 검지된 동작상태에 기초하여 모터에 흐르는 전류를 추정한 후, 측정된 전류와 상기 추정된 전류에 기초하여 모터의 이상상태를 감지하는 기술 등이 있다.As a motor abnormality detection technology, a current flowing in a motor and a voltage applied to the motor are measured, an operation state of the motor is detected, And a technique of estimating a current flowing in the motor based on the detected voltage and the detected operating state, and then detecting an abnormal state of the motor based on the measured current and the estimated current.

대한민국 공개특허 제10-1998-0015274호(1998. 05. 25)Korean Patent Publication No. 10-1998-0015274 (May 25, 1998)

본 발명은 상기한 취지하에 발명된 것으로, 클린룸(Clean Room)의 AC 타입 팬 유닛(Fan Unit)의 AC 팬 모터의 베어링 마모, 기동 콘덴서 특성 저하 등으로 인한 AC 팬 모터 정지시, 이를 제어기에서 감지하지 못하는 문제를 개선하기 위한 클린룸의 AC 타입 팬 유닛 이상 감지 장치를 제공함을 그 목적으로 한다.Disclosure of the Invention The present invention was invented under the above-mentioned circumstances, and it is an object of the present invention to provide a clean room AC fan motor in which, when an AC fan motor is stopped due to bearing wear of an AC fan motor of a clean room, And an object of the present invention is to provide an AC type fan unit abnormality detection apparatus for a clean room for improving a problem that can not be detected.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 양상에 따르면, 클린룸의 AC 타입 팬 유닛 이상 감지 장치가 클린룸(Clean Room)의 AC 타입 팬 유닛(Fan Unit)에 포함되는 적어도 하나의 AC 팬 모터(Fan Motor)의 회전자(Rotor)에 설치되어 회전하는 복수의 자석과; AC 타입 팬 유닛의 그릴망에 설치되어 상기 복수의 자석의 회전에 의해 발생하는 자기장 변화에 따라 전기 신호를 출력하는 홀 센서와; 상기 홀 센서의 출력 신호로부터 AC 팬 모터 이상을 감지하는 제어부를; 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, an AC type fan unit abnormality detection unit in a clean room includes at least one AC fan motor included in an AC type fan unit of a clean room, A plurality of magnets installed on and rotating on a rotor of a fan motor; A Hall sensor installed in a grill net of the AC type fan unit and outputting an electric signal according to a change in magnetic field generated by rotation of the plurality of magnets; A controller for detecting an AC fan motor abnormality from an output signal of the Hall sensor; And the like.

본 발명의 부가적인 양상에 따르면, 상기 홀 센서에 의해 출력되는 전기 신호가 회전자의 정역 회전 방향에 따라 출력 펄스 듀티(Pulse Duty)가 상이한 펄스 신호인 것을 특징으로 한다.According to a further aspect of the present invention, the electric signal output by the hall sensor is a pulse signal having an output pulse duty different according to a normal / rotational direction of the rotor.

본 발명의 부가적인 양상에 따르면, 상기 홀 센서에 의해 출력되는 전기 신호가 회전자의 정역 회전 방향에 따라 신호 레벨이 상이한 접점 신호인 것을 특징으로 한다.According to a further aspect of the present invention, the electric signal output by the hall sensor is a contact signal having a different signal level in accordance with the normal / reverse rotation direction of the rotor.

본 발명의 부가적인 양상에 따르면, 상기 제어부가 중앙 관제 장비로 AC 팬 모터 이상 유무를 보고하는 것을 특징으로 한다.According to a further aspect of the present invention, the controller reports the presence or absence of an AC fan motor abnormality with the central control device.

본 발명의 부가적인 양상에 따르면, 상기 복수의 자석이 AC 팬 모터의 정역 회전 구분이 가능하도록 회전자의 회전축과 수직한 방향으로, 회전자의 회전축을 중심으로 비대칭하게 설치되는 것을 특징으로 한다.According to a further aspect of the present invention, the plurality of magnets are installed asymmetrically with respect to the rotation axis of the rotor in a direction perpendicular to the rotation axis of the rotor so that the normal rotation of the AC fan motor can be distinguished.

본 발명의 부가적인 양상에 따르면, 상기 복수의 자석이 하나는 N극이 외부로 노출되도록, 다른 하나는 S극이 외부로 노출되도록 설치되는 것을 특징으로 한다.According to a further aspect of the present invention, the plurality of magnets are installed such that one pole is exposed to the outside and the other pole is exposed to the outside.

본 발명의 부가적인 양상에 따르면, 상기 복수의 자석이 회전자의 회전축과 수직한 외곽면에 설치되는 것을 특징으로 한다.According to a further aspect of the present invention, the plurality of magnets are provided on an outer surface perpendicular to the rotation axis of the rotor.

본 발명은 클린룸(Clean Room)의 AC 타입 팬 유닛(Fan Unit)의 AC 팬 모터의 베어링 마모, 기동 콘덴서 특성 저하 등으로 인한 AC 팬 모터 정지시, 이를 제어기에서 감지하지 못하는 문제를 간단하게 해결할 수 있어 클린룸의 AC 타입 팬 유닛 이상에 의한 클린룸 기압 변화를 방지할 수 있고, 클린룸 기압 변화에 따른 제품 수율 저하를 최소화할 수 있는 효과가 있다.The present invention can easily solve the problem that the controller can not detect when the AC fan motor is stopped due to bearing wear of the AC fan motor of an AC type fan unit of a clean room, It is possible to prevent the change of the clean room pressure due to the AC type fan unit abnormality in the clean room and to minimize the decrease in the product yield due to the change of the clean room air pressure.

도 1 은 본 발명에 따른 클린룸의 AC 타입 팬 유닛 이상 감지 장치의 일 실시예의 구성을 도시한 블럭도이다.
도 2 는 본 발명에 따른 클린룸의 AC 타입 팬 유닛 이상 감지 장치를 설치한 일 예를 도시한 도면이다.
도 3 은 본 발명에 따른 클린룸의 AC 타입 팬 유닛 이상 감지 장치의 홀 센서에 의해 출력되는 전기 신호의 일 예를 도시한 도면이다.
도 4 는 본 발명에 따른 클린룸의 AC 타입 팬 유닛 이상 감지 장치의 홀 센서에 의해 출력되는 전기 신호의 또 다른 예를 도시한 도면이다.FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an embodiment of an AC type fan unit abnormality detecting apparatus in a clean room according to the present invention.
FIG. 2 is a view showing an example of installing an AC type fan unit abnormality detection device in a clean room according to the present invention.
3 is a diagram illustrating an example of an electrical signal output by the Hall sensor of the AC type fan unit abnormality sensing apparatus in a clean room according to the present invention.
4 is a view showing another example of an electric signal output by the hall sensor of the AC type fan unit abnormality sensing apparatus in a clean room according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 기술되는 바람직한 실시예를 통하여 본 발명을 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 기술하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Reference will now be made in detail to embodiments of the present invention, examples of which are illustrated in the accompanying drawings, wherein like reference numerals refer to the like elements throughout.

본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명 실시예들의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다.In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

본 발명 명세서 전반에 걸쳐 사용되는 용어들은 본 발명 실시예에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서, 사용자 또는 운용자의 의도, 관례 등에 따라 충분히 변형될 수 있는 사항이므로, 이 용어들의 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.The terms used throughout the specification of the present invention have been defined in consideration of the functions of the embodiments of the present invention and can be sufficiently modified according to the intentions and customs of the user or operator. It should be based on the contents of.

도 1 은 본 발명에 따른 클린룸의 AC 타입 팬 유닛 이상 감지 장치의 일 실시예의 구성을 도시한 블럭도, 도 2 는 본 발명에 따른 클린룸의 AC 타입 팬 유닛 이상 감지 장치를 설치한 일 예를 도시한 도면이다. FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an embodiment of an AC type fan unit abnormality detecting apparatus in a clean room according to the present invention, FIG. 2 is a view showing an example of installing an AC type fan unit abnormality detecting apparatus in a clean room according to the present invention Fig.

도 1 및 도 2 에 도시한 바와 같이, 이 실시예에 따른 클린룸의 AC 타입 팬 유닛 이상 감지 장치(100)는 복수의 자석(110a)(110b)과, 홀 센서(120)와, 제어부(130)를 포함하여 이루어진다.1 and 2, an AC type fan unit abnormality sensing apparatus 100 of a clean room according to this embodiment includes a plurality of magnets 110a and 110b, a hall sensor 120, 130).

상기 복수의 자석(110a)(110b)은 클린룸(Clean Room)의 AC 타입 팬 유닛(Fan Unit)(200)에 포함되는 적어도 하나의 AC 팬 모터(Fan Motor)(210)의 회전자(Rotor)(210a)에 설치되어 회전한다. 예컨대, 상기 복수의 자석(110a)(110b)이 회전자(210a)의 회전축(210b)과 수직한 외곽면에 설치될 수 있다. 도 2 에서 미설명 부호 210c은 팬(Fan)이다.The plurality of magnets 110a and 110b are connected to at least one AC fan motor 210 included in an AC type fan unit 200 of a clean room, ) 210a and rotates. For example, the plurality of magnets 110a and 110b may be installed on an outer surface perpendicular to the rotation axis 210b of the rotor 210a. In FIG. 2, reference numeral 210c denotes a fan.

이 때, 상기 복수의 자석(110a)(110b)이 AC 팬 모터(210)의 정역 회전 구분이 가능하도록 회전자(210a)의 회전축(210b)과 수직한 방향으로, 회전자의 회전축을 중심으로 비대칭하게 설치되도록 구현될 수 있다. 한편, 상기 복수의 자석(110a)(110b)이 하나는 N극이 외부로 노출되도록, 다른 하나는 S극이 외부로 노출되도록 설치될 수 있다.The plurality of magnets 110a and 110b are arranged in a direction perpendicular to the rotation axis 210b of the rotor 210a such that the magnets 110a and 110b can divide the normal rotation of the AC fan motor 210, Asymmetrically installed. Meanwhile, one of the plurality of magnets 110a and 110b may be installed such that the N pole is exposed to the outside and the other one is exposed to the outside.

복수의 자석(110a)(110b)이 회전자의 회전축을 중심으로 비대칭하게 설치되고, 하나는 N극이 외부로 노출되도록, 다른 하나는 S극이 외부로 노출되도록 설치됨으로써 AC 팬 모터(210)의 정 회전시와 역 회전시의 N극 및 S극 검출 간격이 상이해지므로, N극 및 S극 검출 간격을 이용해 AC 팬 모터(210)가 정 회전하는지 또는 역 회전하는지 구분 가능해진다.The plurality of magnets 110a and 110b are installed asymmetrically about the rotational axis of the rotor. One of the magnets 110a and 110b is exposed to the outside and the other is exposed to the outside. The detection interval of the N-pole and the S-pole at the time of the forward rotation and the reverse rotation at the time of the forward rotation and the reverse rotation of the AC fan motor 210 are different from each other.

상기 홀 센서(120)는 AC 타입 팬 유닛(200)의 그릴망(220)에 설치되어 상기 복수의 자석(110a)(110b)의 회전에 의해 발생하는 자기장 변화에 따라 전기 신호를 출력한다.The Hall sensor 120 is installed in the grill net 220 of the AC type fan unit 200 and outputs an electric signal according to a change in magnetic field generated by rotation of the plurality of magnets 110a and 110b.

이 때, 홀 센서(120)는 AC 팬 모터(210)의 정 회전시와 역 회전시의 N극 및 S극 검출 간격을 검출하여 AC 팬 모터(210)가 정 회전하는지 또는 역 회전하는지 구분하여 전기 신호를 출력한다. At this time, the Hall sensor 120 detects the N-pole and S-pole detection intervals during normal rotation and reverse rotation of the AC fan motor 210 to distinguish whether the AC fan motor 210 is rotating forward or reverse And outputs an electric signal.

상기 제어부(130)는 상기 홀 센서(120)의 출력 신호로부터 AC 팬 모터(210) 이상을 감지한다. 이 때, 상기 제어부(130)는 홀 센서(120) 출력 신호의 파형으로부터 AC 팬 모터(210)가 정 회전 상태라 감지되면 AC 타입 팬 유닛이 정상이라 판단하고, AC 팬 모터(210)가 역 회전 또는 정지 상태라 감지되면 AC 타입 팬 유닛에 이상이 발생했다 판단한다.The controller 130 senses an abnormality of the AC fan motor 210 from the output signal of the Hall sensor 120. [ When the AC fan motor 210 is detected as being in the normal rotation state, the controller 130 determines that the AC fan unit is normal. If the AC fan motor 210 detects that the AC fan motor 210 is in the normal state, If it is detected that the AC type fan unit is in the rotated or stopped state, it is determined that an abnormality has occurred in the AC type fan unit.

이에 따라, 본 발명은 AC 타입 팬 유닛(Fan Unit)의 AC 팬 모터의 베어링 마모, 기동 콘덴서 특성 저하 등으로 인한 AC 팬 모터 정지나, AC 팬 모터의 역 회전에 의한 AC 타입 팬 유닛 이상을 간단하게 감지할 수 있다.Accordingly, the present invention can simplify AC type fan unit abnormality caused by AC fan motor stop due to bearing wear of AC fan motor of AC type fan unit (fan unit), degradation of starting capacitor, and reverse rotation of AC fan motor .

한편, 발명의 부가적인 양상에 따르면, 도 3 에 도시한 바와 같이 상기 홀 센서(120)에 의해 출력되는 전기 신호가 회전자의 정역 회전 방향에 따라 출력 펄스 듀티(Pulse Duty)가 상이한 펄스 신호일 수 있다. 도 3 은 본 발명에 따른 클린룸의 AC 타입 팬 유닛 이상 감지 장치의 홀 센서에 의해 출력되는 전기 신호의 일 예를 도시한 도면이다.According to a further aspect of the present invention, as shown in FIG. 3, an electric signal output by the Hall sensor 120 may be a pulse signal having an output pulse duty different according to a normal / have. 3 is a diagram illustrating an example of an electrical signal output by the Hall sensor of the AC type fan unit abnormality sensing apparatus in the clean room according to the present invention.

도 2 에서 AC 팬 모터(210)가 시계 방향으로 회전할 경우를 정 회전, 반시계 방향으로 회전할 경우를 역 회전이라하고, 홀 센서(120)가 S극 검출시 펄스를 상승(Rise)시키고, N극 검출시 펄스를 하강(Fall)시켜 출력하도록 구현하였다 가정한다.Referring to FIG. 2, when the AC fan motor 210 rotates clockwise, the counterclockwise rotation is referred to as reverse rotation, and when the hall sensor 120 rotates counterclockwise, , And when the N pole is detected, the pulse falls and is output.

그러면, AC 팬 모터(210)의 정 회전시의 홀 센서(120) 출력 신호의 파형은 도 3 의 (a)와 같고, AC 팬 모터(210)의 역 회전시의 홀 센서(120) 출력 신호의 파형은 도 3 의 (b)와 같고, AC 팬 모터(210)가 정지한 경우의 홀 센서(120) 출력 신호의 파형은 도 3 의 (c)와 같다. 3A, the waveform of the output signal of the hall sensor 120 during forward rotation of the AC fan motor 210 is the same as the waveform of the output signal of the Hall sensor 120 during the reverse rotation of the AC fan motor 210, The waveform of the output signal of the Hall sensor 120 when the AC fan motor 210 is stopped is shown in FIG. 3 (c).

따라서, 도 3 에 도시한 홀 센서(120) 출력 신호의 3가지 파형을 제어부(130)가 수신하여 AC 팬 모터(210)가 정 회전 상태인지 또는 역 회전 상태인지 또는 정지 상태인지 감지할 수 있고, AC 팬 모터(210)가 정 회전 상태라면 AC 타입 팬 유닛이 정상이라 판단하고, AC 팬 모터(210)가 역 회전 또는 정지 상태라면 AC 타입 팬 유닛에 이상이 발생했다 판단할 수 있게 된다.Therefore, the controller 130 receives the three waveforms of the output signal of the Hall sensor 120 shown in FIG. 3 and can sense whether the AC fan motor 210 is in the forward rotation state, the reverse rotation state, or the stop state If the AC fan motor 210 is in the forward rotation state, it is determined that the AC fan unit is normal. If the AC fan motor 210 is in the reverse rotation or stop state, it is determined that the AC fan unit is abnormal.

한편, 발명의 부가적인 양상에 따르면, 도 4 에 도시한 바와 같이 상기 홀 센서(120)에 의해 출력되는 전기 신호가 회전자의 정역 회전 방향에 따라 신호 레벨이 상이한 접점 신호일 수도 있다. 도 4 는 본 발명에 따른 클린룸의 AC 타입 팬 유닛 이상 감지 장치의 홀 센서에 의해 출력되는 전기 신호의 또 다른 예를 도시한 도면이다.According to a further aspect of the present invention, as shown in FIG. 4, the electrical signal output by the hall sensor 120 may be a contact signal having a different signal level according to the normal and rotational directions of the rotor. 4 is a view showing another example of an electric signal output by the hall sensor of the AC type fan unit abnormality sensing apparatus in a clean room according to the present invention.

도 2 에서 AC 팬 모터(210)가 시계 방향으로 회전할 경우를 정 회전, 반시계 방향으로 회전할 경우를 역 회전이라하고, 홀 센서(120)가 S극 검출 후 N극 검출되는 간격은 짧고, N극 검출 후 S극 검출되는 간격이 길면 하이(High) 레벨 신호를 출력하고, N극 검출 후 S극 검출되는 간격은 짧고, S극 검출 후 N극 검출되는 간격이 길거나, N극 및 S극 검출이 반복되지 않는다면 로우(Low) 레벨 신호를 출력하도록 구현하였다 가정한다.2, the case where the AC fan motor 210 rotates in the clockwise direction is referred to as a forward rotation and the case where the AC fan motor 210 is rotated in the counterclockwise direction is referred to as a reverse rotation, and the interval at which the N pole is detected after the S pole detection of the hall sensor 120 is short , A high level signal is output if the interval between S poles detected after N pole detection is long, the interval between S poles detected after N pole detection is short, the interval between N poles detected after S pole detection is long, If the pole detection is not repeated, it is assumed that a low level signal is output.

그러면, AC 팬 모터(210)의 정 회전시와 역 회전 및 정지시의 홀 센서(120) 출력 신호의 파형은 도 4 와 같이 하이 레벨 신호와 로우 레벨 신호로 이루어진 접점 신호 형태가 된다. Then, the waveform of the output signal of the hall sensor 120 at the time of forward rotation of the AC fan motor 210 and during the reverse rotation and at the time of stopping becomes a contact signal form of a high level signal and a low level signal as shown in FIG.

따라서, 홀 센서(120) 출력 신호를 제어부(130)가 수신하여 하이 레벨인지 또는 로우 레벨인지에 따라 AC 팬 모터(210)가 정 회전 상태인지 또는 역 회전 상태 및 정지 상태인지 감지할 수 있고, AC 팬 모터(210)가 정 회전 상태라면 AC 타입 팬 유닛이 정상이라 판단하고, AC 팬 모터(210)가 역 회전 및 정지 상태라면 AC 타입 팬 유닛에 이상이 발생했다 판단할 수 있게 된다.Therefore, the controller 130 can sense whether the AC fan motor 210 is in the forward rotation state, the reverse rotation state, or the stop state according to whether the output signal of the hall sensor 120 is received by the controller 130 and is high level or low level, If the AC fan motor 210 is in the normal rotation state, it is determined that the AC fan unit is normal. If the AC fan motor 210 is in the reverse rotation and stopped state, it is determined that the AC fan unit is abnormal.

한편, 발명의 부가적인 양상에 따르면, 상기 제어부(130)가 중앙 관제 장비(300)로 AC 팬 모터(210) 이상 유무를 보고하도록 구현될 수도 있다. 그러면, 이를 수신한 중앙 관제 장비(300)는 AC 팬 모터(210) 이상시 경고하여 알 수 있도록 함으로써 AC 팬 모터(210) 이상에 대한 조치가 이루어질 수 있다. According to a further aspect of the present invention, the control unit 130 may be configured to report the presence or absence of an AC fan motor 210 to the central control unit 300. Then, the central control equipment 300 receiving the warning signal can warn the AC fan motor 210 when the AC fan motor 210 is abnormal, so that the AC fan motor 210 abnormality can be corrected.

이상에서 설명한 바와같이, 본 발명은 클린룸(Clean Room)의 AC 타입 팬 유닛(Fan Unit)의 AC 팬 모터의 베어링 마모, 기동 콘덴서 특성 저하 등으로 인한 AC 팬 모터 정지시, 이를 제어기에서 감지하지 못하는 문제를 간단하게 해결할 수 있어 클린룸의 AC 타입 팬 유닛 이상에 의한 클린룸 기압 변화를 방지할 수 있고, 클린룸 기압 변화에 따른 제품 수율 저하를 최소화할 수 있으므로, 상기에서 제시한 목적을 달성할 수 있다.As described above, according to the present invention, when the AC fan motor is stopped due to bearing wear of an AC fan motor of an AC type fan unit of a clean room and deterioration of a starting capacitor characteristic, It is possible to solve the problem that can not be solved easily, so that it is possible to prevent the clean room pressure change due to the AC type fan unit abnormality in the clean room and to minimize the product yield due to the change of the clean room pressure, can do.

본 발명은 첨부된 도면에 의해 참조되는 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만, 이러한 기재로부터 후술하는 특허청구범위에 의해 포괄되는 범위내에서 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 다양한 변형이 가능하다는 것은 명백하다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. .

본 발명은 AC 모터 이상 감지 기술 분야 및 이의 응용 기술분야에서 산업상으로 이용 가능하다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is industrially applicable in the field of AC motor abnormality sensing technology and its application technology.

100 : 팬 유닛 이상 감지 장치
110a, 110b : 자석
120 : 홀 센서
130 : 제어부
200 : 팬 유닛
210 : 팬 모터
210a : 회전자
210b : 회전축
210c : 팬
220 : 그릴망
300 : 중앙 관제 장비100: Fan unit abnormal detection device
110a, 110b: magnets
120: Hall sensor
130:
200: Fan unit
210: Fan motor
210a: rotor
210b:
210c: Fan
220: Grill net
300: Central control equipment

Claims (7)

클린룸(Clean Room)의 AC 타입 팬 유닛(Fan Unit)에 포함되는 적어도 하나의 AC 팬 모터(Fan Motor)의 회전자(Rotor)에 설치되어 회전하되, AC 팬 모터의 정역 회전 구분이 가능하도록 회전자의 회전축과 수직한 외곽면에 회전자의 회전축을 중심으로 비대칭하게 설치되는 복수의 자석과;
AC 타입 팬 유닛의 그릴망에 설치되어 상기 복수의 자석의 회전에 의해 발생하는 자기장 변화에 따라 전기 신호를 출력하는 홀 센서와;
상기 홀 센서의 출력 신호로부터 AC 팬 모터 이상을 감지하는 제어부를;
포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 클린룸의 AC 타입 팬 유닛 이상 감지 장치. It is installed on the rotor of at least one AC fan motor (Fan Motor) included in the AC type fan unit of the clean room, A plurality of magnets provided asymmetrically around an axis of rotation of the rotor on an outer surface perpendicular to a rotation axis of the rotor;
A Hall sensor installed in a grill net of the AC type fan unit and outputting an electric signal according to a change in magnetic field generated by rotation of the plurality of magnets;
A controller for detecting an AC fan motor abnormality from an output signal of the Hall sensor;
And an AC type fan unit abnormality detecting unit for detecting an abnormality of the AC type fan unit in the clean room. 제 1 항에 있어서,
상기 홀 센서에 의해 출력되는 전기 신호가:
회전자의 정역 회전 방향에 따라 출력 펄스 듀티(Pulse Duty)가 상이한 펄스 신호인 것을 특징으로 하는 클린룸의 AC 타입 팬 유닛 이상 감지 장치.The method according to claim 1,
Wherein the electric signal output by the hall sensor is:
Wherein the pulse signal is a pulse signal having an output pulse duty different according to the direction of rotation of the rotor. 제 1 항에 있어서,
상기 홀 센서에 의해 출력되는 전기 신호가:
회전자의 정역 회전 방향에 따라 신호 레벨이 상이한 접점 신호인 것을 특징으로 하는 클린룸의 AC 타입 팬 유닛 이상 감지 장치.The method according to claim 1,
Wherein the electric signal output by the hall sensor is:
Wherein the contact point signal is a contact signal having a different signal level according to a normal / rotational direction of the rotor. 제 1 항에 있어서,
상기 제어부가:
중앙 관제 장비로 AC 팬 모터 이상 유무를 보고하는 것을 특징으로 하는 클린룸의 AC 타입 팬 유닛 이상 감지 장치.The method according to claim 1,
Wherein the control unit comprises:
AC type fan unit abnormality detection device in a clean room which is characterized in that the AC fan motor abnormality is reported by the central control device. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 복수의 자석이:
하나는 N극이 외부로 노출되도록, 다른 하나는 S극이 외부로 노출되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 AC 타입 팬 유닛 이상 감지 장치.The method according to claim 1,
Wherein the plurality of magnets comprise:
One of which is provided so that the N pole is exposed to the outside, and the other is provided such that the S pole is exposed to the outside. 삭제delete
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