KR101584622B1 - A showerhead with align plate - Google Patents

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KR101584622B1 KR1020140059054A KR20140059054A KR101584622B1 KR 101584622 B1 KR101584622 B1 KR 101584622B1 KR 1020140059054 A KR1020140059054 A KR 1020140059054A KR 20140059054 A KR20140059054 A KR 20140059054A KR 101584622 B1 KR101584622 B1 KR 101584622B1
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변철수
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한국생산기술연구원
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Abstract

본 발명은 샤워헤드에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 복수 개의 모듈 사이에 분사튜브가 끼워지는 정렬판을 배치하여 모듈의 재조립시 용이하게 분사튜브 및 해당모듈을 조립할 수 있는 정렬판을 구비한 샤워헤드에 관한 것이다.
본 발명은 적어도 두 개의 모듈이 상하 방향으로 배치되는 샤워헤드에 있어서, 기체가 유입되는 제1유입구를 구비한 제1몸체, 상기 유입된 기체를 상기 제1몸체의 외부로 배출할 수 있도록 상기 제1몸체의 일측에 형성된 분사공 및 상기 분사공에 연결된 제1분사튜브를 구비한 제1모듈; 상기 제1분사튜브가 관통하는 제1안내관을 구비하여 상기 제1모듈의 하부측에 배치되는 제2모듈; 및 상기 제1분사튜브가 끼워지는 통과공을 구비하고, 상기 제1모듈 및 제2모듈 사이에 배치되는 정렬판;을 포함하고, 상기 제1분사튜브는 길이 중간 부분이 상기 통과공에 의해 지지되는 정렬판을 구비한 샤워헤드를 제공한다.The present invention relates to a shower head, and more particularly, to a shower head having an alignment plate on which an injection tube is inserted between a plurality of modules, a shower having an alignment plate for assembling the injection tube and the module, Head.
The present invention relates to a shower head in which at least two modules are arranged in a vertical direction, the shower head comprising: a first body having a first inlet through which gas is introduced; A first module having a spray hole formed at one side of the body and a first spray tube connected to the spray hole; A second module disposed on a lower side of the first module with a first guide tube through which the first injection tube passes; And an alignment plate disposed between the first module and the second module, the first injection tube having an intermediate portion in the length thereof supported by the passage hole, The shower head is provided with an aligning plate.

Description

정렬판을 구비한 샤워헤드{A showerhead with align plate}[0001] The present invention relates to a showerhead with an align plate,

본 발명은 샤워헤드에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 복수 개의 모듈 사이에 분사튜브가 끼워지는 정렬판을 배치하여 모듈의 재조립시 용이하게 분사튜브 및 해당모듈을 조립할 수 있는 정렬판을 구비한 샤워헤드에 관한 것이다.The present invention relates to a shower head, and more particularly, to a shower head having an alignment plate on which an injection tube is inserted between a plurality of modules, a shower having an alignment plate for assembling the injection tube and the module, Head.

오늘날 반도체 소자는 소자의 고집적화가 진행되고 있다. 이에 따라, 제조과정시 보다 정밀한 공정 조건 및 환경을 확보할 필요성이 커지고 있다. 특히, 기판의 대구경화가 계속되면서 기판과 기판 사이의 공정 균일성 확보와 함께 기판 내 공정 균일성을 확보하기 위한 노력이 계속되고 있다.Background Art [0002] Today, semiconductor devices are being highly integrated with devices. Accordingly, there is a growing need to ensure more precise processing conditions and environments during the manufacturing process. Particularly, efforts have been made to secure process uniformity between the substrate and the substrate while ensuring uniformity of the process in the substrate, as the substrate continues to be largely cured.

샤워헤드는 화학기상증착이나 에칭을 위한 과정에서 공정 기체를 공급해 줌으로써 공정의 균일성을 향상시키기 위한 장치이다.The showerhead is a device for improving process uniformity by supplying a process gas during chemical vapor deposition or etching.

통상적으로, 이러한 샤워헤드(1)는 도 1에 도시된 바와 같이 복수 개의 모듈(10,20,30,40)이 수직한 방향으로 배치되어 서로 적층되는 구성을 취하고 있으며, 일정길이를 갖는 분사튜브(50)를 통하여 상부 모듈로부터 공정 기체가 이동하여 최하부에 배치되는 모듈(40)의 바닥에 뚫린 구멍을 통해 기체를 균등하게 분사된다.1, the shower head 1 is constructed such that a plurality of modules 10, 20, 30, 40 are arranged in a vertical direction and stacked on each other. In the shower head 1, The process gas is moved from the upper module through the opening 50 and the gas is uniformly injected through the hole at the bottom of the module 40 disposed at the lowermost position.

이러한 분사튜브(50)는 유연한 재질로 이루어져 있으며 수백에서 수천개가 배치되어 있다. 이에 따라, 복수 개의 모듈(10,20,30,40)을 서로 조립 또는 재조립하고자 하는 경우 전체적인 개수가 많을 뿐만 아니라 분사튜브(50)의 전체적인 길이가 길어 수직방향에서 어긋나기 때문에 조립이 매우 어렵고 번거로운 문제점이 있었다.The injection tube 50 is made of a flexible material and has a number of hundreds to thousands. Accordingly, when assembling or reassembling the plurality of modules 10, 20, 30, and 40 to each other, the overall number is large and the overall length of the injection tube 50 is long and deviates in the vertical direction, There was a troublesome problem.

KRKR 10-092345310-0923453 B1B1

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 각각의 모듈 사이에 통과공을 갖는 정렬판을 배치하여 분사튜브가 상기 통과공에 끼워진 상태로 정렬되도록 함으로써 분사튜브 및 해당모듈을 용이하게 조립할 수 있는 정렬판을 구비한 샤워헤드를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide an injection molding machine in which an aligning plate having a through hole is arranged between respective modules to align the injection tube with the through- And a shower plate provided with an alignment plate having an opening.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 적어도 두 개의 모듈이 상하 방향으로 배치되는 샤워헤드에 있어서, 기체가 유입되는 제1유입구를 구비한 제1몸체, 상기 유입된 기체를 상기 제1몸체의 외부로 배출할 수 있도록 상기 제1몸체의 일측에 형성된 분사공 및 상기 분사공에 연결된 제1분사튜브를 구비한 제1모듈; 상기 제1분사튜브가 관통하는 제1안내관을 구비하여 상기 제1모듈의 하부측에 배치되는 제2모듈; 및 상기 제1분사튜브가 끼워지는 통과공을 구비하고, 상기 제1모듈 및 제2모듈 사이에 배치되는 정렬판;을 포함하고, 상기 제1분사튜브는 길이 중간 부분이 상기 통과공에 의해 지지되는 정렬판을 구비한 샤워헤드를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a showerhead having at least two modules arranged in a vertical direction, the shower head having a first body having a first inlet through which gas flows, A first module having a spray hole formed at one side of the first body and a first spray tube connected to the spray hole so as to be discharged to the outside; A second module disposed on a lower side of the first module with a first guide tube through which the first injection tube passes; And an alignment plate disposed between the first module and the second module, wherein the first injection tube has an intermediate portion of the length thereof supported by the passage hole, The shower head is provided with an aligning plate.

상기 정렬판은 일정 두께를 갖는 판상의 부재로 이루어질 수 있다.The alignment plate may be a plate-shaped member having a predetermined thickness.

상기 통과공은 상부에서 하부로 갈수록 단면적이 서서히 좁아지도록 구비될 수 있다.The through-hole may be formed so that the cross-sectional area gradually decreases from the upper portion to the lower portion.

상기 정렬판은 두께가 0.01~0.2mm 범위의 시트(sheet) 형태로 구비될 수 있다.The alignment plate may be provided in the form of a sheet having a thickness ranging from 0.01 to 0.2 mm.

상기 제2모듈의 하부측에는 상기 제1분사튜브가 관통하는 제2안내관을 구비한 제3모듈이 구비되고, 상기 제2모듈 및 제3모듈 사이에 상기 제1분사튜브가 통과하는 통과공을 갖는 정렬판이 배치될 수 있다.And a third module having a second guide tube through which the first injection tube passes is provided on a lower side of the second module, and a through hole through which the first injection tube passes between the second module and the third module Can be disposed.

상기 제3모듈은 냉각모듈일 수 있다.The third module may be a cooling module.

상기 제2모듈은 기체가 유입되는 제2유입구를 구비한 제2몸체, 상기 유입된 기체를 상기 제2몸체의 외부로 배출할 수 있도록 상기 제2몸체의 일측에 형성된 제2분사공 및 상기 제2분사공에 연결된 제2분사튜브를 포함할 수 있다.The second module may include a second body having a second inlet through which gas is introduced, a second injection hole formed on one side of the second body so as to discharge the introduced gas to the outside of the second body, And a second injection tube connected to a two minute borehole.

상기 제3모듈은 상기 제2분사튜브가 관통하는 제3안내관을 포함할 수 있다.The third module may include a third guide tube through which the second injection tube passes.

상기 제1모듈 및 제2모듈의 외측에는 일정높이를 갖는 가이드바가 배치되고, 상기 제1모듈 및 제2모듈은 일측이 상기 가이드바를 따라 상,하 방향으로 이동하는 일측에 의해 서로 밀착되거나 이격될 수 있다.A guide bar having a predetermined height is disposed outside the first module and the second module, and the first module and the second module are closely contacted or spaced from each other by one side of the first and second modules moving upward and downward along the guide bar .

상기 제1모듈은 일측에 외측으로 일정길이 연장되는 제1체결판이 구비되고, 상기 제2모듈은 상기 제1체결판과 대응되는 일측에 외측으로 일정길이 연장되는 제2체결판이 구비되며, 상기 제1체결판 및 제2체결판은 상기 가이드바를 통해 서로 연결될 수 있다.Wherein the first module includes a first fastening plate having a predetermined length extending outward at one side thereof and a second fastening plate having a predetermined length extending outward at a side of the second module corresponding to the first fastening plate, The first fastening plate and the second fastening plate may be connected to each other through the guide bar.

상기 가이드바는 외주면에 나사산이 형성된 스크류바일 수 있다.The guide bar may be a screw bar having threads formed on an outer circumferential surface thereof.

상기 제2체결판의 상부면과 하부면에는 상기 스크류바와 나사결합되는 너트부재가 각각 구비될 수 있다.And a nut member screwed to the screw bar may be provided on an upper surface and a lower surface of the second fastening plate, respectively.

상기 너트부재는 상기 스크류바를 따라 나사이동되어 상기 제1모듈 및 제2모듈을 서로 밀착시킬 수 있다.The nut member may be screwed along the screw bar to closely contact the first module and the second module.

상기 정렬판에는 상기 제1체결판 및 제2체결판과 대응되는 위치에 상기 스크류바가 통과하는 관통공이 구비되고, 상기 관통공의 상,하부측에는 상기 스크류바와 나사결합하는 너트부재가 구비될 수 있다.The alignment plate may have a through hole through which the screw bar passes at a position corresponding to the first and second fastening plates. A nut member may be provided on the upper and lower sides of the through hole so as to be screwed into the screw bar .

본 발명에 의하면, 각각의 모듈 사이에 통과공을 갖는 정렬판을 배치하여 분사튜브가 상기 통과공에 끼워진 상태로 정렬되도록 하여 분사튜브 및 해당모듈을 용이하게 조립할 수 있음으로써 유지보수가 용이하고 작업편의성을 높일 수 있는 장점이 있다.According to the present invention, an alignment plate having a through-hole is disposed between each module so that the injection tube is aligned with the through-hole so that the injection tube and the module can be assembled easily, There is an advantage that convenience can be improved.

도 1은 종래의 일반적인 샤워헤드를 나타낸 개략 단면도.
도 2는 본 발명에 따른 정렬판을 구비한 샤워헤드를 나타낸 전체단면도.
도 3은 도 2의 분리도.
도 4는 본 발명에 따른 정렬판을 구비한 샤워헤드에 적용되는 정렬판을 나타낸 단면도로서, a)는 일정 두께를 갖는 판상의 형태이고, b)는 두께 0.01~0.2mm의 시트(sheet) 형태이다.
도 5는 본 발명에 따른 정렬판을 구비한 샤워헤드에서 정렬판을 사용하여 모듈을 조립 또는 재조립하는 과정을 나타낸 사용상태도.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 정렬판을 구비한 샤워헤드를 나타낸 전체단면도.1 is a schematic cross-sectional view of a conventional conventional showerhead.
2 is an overall sectional view showing a shower head having an alignment plate according to the present invention.
3 is a view of the separation of Fig.
4 is a cross-sectional view of an alignment plate applied to a showerhead having an alignment plate according to the present invention, wherein a) is a plate-like shape having a predetermined thickness, and b) is a sheet having a thickness of 0.01 to 0.2 mm to be.
5 is a view illustrating a process of assembling or reassembling a module using an alignment plate in a showerhead having an alignment plate according to the present invention.
6 is an overall sectional view showing a shower head having an alignment plate according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

이하에서, 발명의 이해를 돕기 위해 도면부호를 부가함에 있어 동일한 구성요소에 대해서는 비록 다른 도면에 표시되었다 하더라도 동일한 도면부호를 사용하기로 한다.In order to facilitate understanding of the present invention, the same reference numerals will be used to denote the same constituent elements even if they are shown in different drawings.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 정렬판을 구비한 샤워헤드(100,100')는 서로 수직한 방향으로 배치되는 복수 개의 모듈 사이에 분사튜브가 끼워지는 정렬판(140,140')이 배치됨으로써 조립 또는 재조립시 상기 분사튜브를 용이하게 안내관 측으로 끼울 수 있도록 한다.The showerhead 100, 100 'having the alignment plate according to the preferred embodiment of the present invention is configured such that the alignment plates 140, 140', in which the injection tubes are fitted, are disposed between a plurality of modules arranged in directions perpendicular to each other, The injection tube can be easily inserted into the guide tube.

이와 같은 본 발명에 따른 정렬판을 구비한 샤워헤드(100,100')는 도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이 제1모듈(110), 제2모듈(120) 및 정렬판(140,140')을 포함한다.The showerhead 100, 100 'having the alignment plate according to the present invention includes the first module 110, the second module 120, and the alignment plates 140, 140' as shown in FIGS. do.

상기 제1모듈(110)은 일측에 공정 기체가 유입되는 제1유입구(111)를 갖는 제1몸체(112)와, 상기 제1유입구(111)를 통해 유입된 공정 기체를 상기 제1몸체(112)의 외부로 배출할 수 있도록 상기 제1몸체(112)의 일측에 형성된 복수 개의 제1분사공(113) 및 상기 복수 개의 제1분사공(113)에 각각 연결된 제1분사튜브(114)로 구성된다.The first module 110 includes a first body 112 having a first inlet 111 through which a process gas flows into the first module 110 and a second body 112 through which the process gas introduced through the first inlet 111 flows into the first body A plurality of first injection holes 113 formed at one side of the first body 112 and a first injection tube 114 connected to the plurality of first injection holes 113 so as to be discharged to the outside of the first body 112, .

여기서, 상기 제1분사튜브(114)는 단단하고 열에 강한 금속재질로 이루어지며 상기 공정 기체가 이송되는 통로역할을 수행한다.Here, the first injection tube 114 is made of a hard, heat-resistant metal material and serves as a path through which the process gas is transferred.

상기 제1모듈(110)은 최상부측에 배치되며, 상기 제1유입구(111)가 기체 공급포트(미도시)와 연결되어 상기 기체 공급포트로부터 공정 기체를 공급받게 된다.The first module 110 is disposed on the uppermost side, and the first inlet 111 is connected to a gas supply port (not shown) to receive the process gas from the gas supply port.

이러한 제1모듈(110)은 상기 공정 기체가 일정량 저장될 수 있도록 내부공간을 갖는다. 이에 따라 상기 제1유입구(111)를 통해 유입된 공정 기체는 상기 내부공간에서 균일하게 확산된 후 상기 제1분사공(113) - 더욱 자세하게는, 상기 제1분사공(113)에 연결된 제1분사튜브(114)를 통하여 하부측으로 이동한 후 스테이지(미도시)에 안착된 기판(미도시) 측으로 분사된다.The first module 110 has an internal space for storing a predetermined amount of the process gas. Accordingly, the process gas introduced through the first inlet 111 is uniformly diffused in the inner space, and then is uniformly diffused in the first spray hole 113, more specifically, the first spray hole 113 connected to the first spray hole 113 Is moved downward through the injection tube 114 and is then injected toward the substrate (not shown) that is seated in the stage (not shown).

여기서, 상기 제1분사공(113)은 상기 제1모듈(110)의 하부측에 배치되는 제2모듈(120)에 형성되는 제1안내관(126)과 서로 대응될 수 있도록 제1몸체(112)의 바닥면에 형성되는 것이 바람직하다.The first injection hole 113 is formed in the first module 110 so as to correspond to the first guide pipe 126 formed in the second module 120 disposed on the lower side of the first module 110. [ 112).

상기 제2모듈(120)은 상기 제1모듈(110)의 하부측에 배치되며, 상기 제1분사공(113)으로부터 연장되는 제1분사튜브(114)가 통과할 수 있도록 높이방향을 따라 관통형성되는 복수 개의 제1안내관(126)이 구비된다. The second module 120 is disposed on the lower side of the first module 110 and is configured to pass through the first injection tube 114 extending from the first injection hole 113, A plurality of first guide pipes 126 are formed.

이러한 제2모듈(120)은 상기 제1모듈(110)과 마찬가지로 일측에 공정 기체가 유입되는 제2유입구(121)를 갖는 제2몸체(122)와, 상기 제2유입구(121)를 통해 유입된 공정 기체를 상기 제2몸체(122)의 외부로 배출할 수 있도록 상기 제2몸체(122)의 일측에 형성된 복수 개의 제2분사공(123)과 상기 복수 개의 제2분사공(123)에 연결되는 제2분사튜브(124) 및 상기 제2몸체(122)의 높이방향을 따라 관통형성되는 제1안내관(126)이 구비된다.The second module 120 includes a second body 122 having a second inlet 121 through which the process gas flows into the first module 110 and a second body 122 through which the inlet A plurality of second injection holes 123 formed at one side of the second body 122 and a plurality of second injection holes 123 formed at one side of the second body 122 to discharge the processed process gas to the outside of the second body 122, A second injection tube 124 connected to the second body 122, and a first guide tube 126 passing through the second body 122 in the height direction.

여기서, 상기 제1안내관(126)은 상기 제1분사공(113)과 서로 대응되는 영역에 각각 형성된다. 이에 따라, 상기 제1몸체(112)의 제1분사공(113)에 단부가 연결된 제1분사튜브(114)는 상기 제2몸체(122)의 제1안내관(126)을 통과하도록 삽입됨으로써 하부방향으로 수직하게 배치된다.Here, the first guide pipe 126 is formed in a region corresponding to the first injection hole 113, respectively. The first injection tube 114 connected to the first injection hole 113 of the first body 112 is inserted to pass through the first guide tube 126 of the second body 122 And is arranged vertically downward.

그리고, 상기 제2유입구(121)는 상기 기체 공급포트와 연결되어 공정 기체가 유입되고, 상기 제2몸체(122)의 내부공간에서 확산된 후 상기 제2분사공(123)과 연결된 제2분사튜브(124)를 통해 스테이지(미도시)에 안착된 기판(미도시) 측으로 균일하게 분사된다.The second inlet 121 is connected to the gas supply port so that the process gas is introduced into the second body 122 and is diffused in the inner space of the second body 122, (Not shown) placed on the stage (not shown) through the tube 124. [

이때, 서로 수직한 방향으로 배치되는 제1모듈(110) 및 제2모듈(120)의 사이에는 상기 정렬판(140,140')이 배치된다.At this time, the alignment plates 140 and 140 'are disposed between the first module 110 and the second module 120, which are arranged in directions perpendicular to each other.

이러한, 정렬판(140,140')은 일정면적을 갖는 판상의 부재로 이루어지며, 상기 제1분사공(113)과 대응되는 영역에 복수 개의 통과공(142)이 관통형성된다. 그리고, 상기 제1분사공(113)으로부터 연장되는 복수 개의 제1분사튜브(114)는 상기 통과공(142)을 통과한 후 제1안내관(126) 측으로 삽입된다.The alignment plates 140 and 140 'are formed of a plate-shaped member having a predetermined area, and a plurality of through holes 142 are formed in the regions corresponding to the first injection holes 113. A plurality of first injection tubes 114 extending from the first injection hole 113 are inserted into the first guide tube 126 after passing through the through holes 142.

이에 따라, 청소작업이나 교체를 위해 상기 제1모듈(110)로부터 제2모듈(120)을 분리한 후 다시 조립하고자 하는 경우 상기 제1모듈(110)의 하부에 배치된 정렬판(140,140')을 제1모듈(110)로부터 하부측으로 이동시킨다. 이때, 상기 정렬판(140,140')은 상기 제1분사튜브(114)의 하부측 일부가 상기 통과공(142)에 끼워진 상태를 유지하여 상기 통과공(142)을 통과하여 하방으로 돌출된 길이가 최대한 짧아지도록 한다. Accordingly, when the second module 120 is detached from the first module 110 and then reassembled for cleaning or replacement, the alignment plates 140 and 140 'disposed at the lower portion of the first module 110, From the first module 110 to the lower side. At this time, the alignment plates 140 and 140 'are formed such that a part of the lower part of the first injection tube 114 is held in the through hole 142 and passes through the through hole 142 and protrudes downward Make it as short as possible.

이로 인해, 상기 제1분사튜브(114)는 상기 통과공(142)을 통과하여 하방으로 돌출된 길이가 상대적으로 짧아지고 상기 통과공(142)에 의해 길이중간이 지지되어 수직한 상태를 유지할 수 있게 됨으로써 상기 제1분사튜브(114)의 하부단을 별도로 정렬할 필요없이 상기 제2모듈(120)의 제1안내관(126) 측으로 용이하게 삽입할 수 있게 된다.As a result, the length of the first injection tube 114 protruding downward through the through hole 142 is relatively short, and the middle of the length is supported by the through hole 142 to maintain a vertical state The lower end of the first injection tube 114 can be easily inserted into the first guide tube 126 of the second module 120 without having to align the lower end of the first injection tube 114 separately.

이러한 정렬판(140,140')은 도 4a에 도시된 바와 같이 일정두께를 갖는 판상의 부재로 이루어질 수 있으며, 도 4b에 도시된 바와 같이 두께가 0.01mm~0.2mm범위의 시트(sheet) 형태로 구비될 수도 있다. 더불어, 상기 정렬판(140,140')이 일정두께를 갖는 판상의 부재로 이루어지는 경우 유연한 재질로 이루어진 분사튜브의 하부단이 상기 통과공(142)에 용이하게 삽입될 수 있도록 상기 통과공(142)은 상부로부터 하부로 갈수록 단면적이 서서히 좁아지도록 구비될 수 있다.As shown in FIG. 4A, the alignment plates 140 and 140 'may be formed of a sheet-like member having a predetermined thickness. The alignment plates 140 and 140' may be formed in the form of a sheet having a thickness ranging from 0.01 mm to 0.2 mm . In addition, when the alignment plates 140 and 140 'are formed of a plate-like member having a predetermined thickness, the through holes 142 may be formed to be easily inserted into the through holes 142, So that the cross-sectional area gradually decreases from the upper portion to the lower portion.

한편, 본 발명에 따른 정렬판을 구비한 샤워헤드(100,100')는 해당모듈의 조립시 작업을 용이하게 하기 위하여 별도의 가이드바(150)가 배치될 수 있다.Meanwhile, the shower head 100, 100 'having the alignment plate according to the present invention may be provided with a separate guide bar 150 to facilitate the assembling operation of the module.

이러한 가이드바(150)는 상기 제1모듈(110) 및 제2모듈(120)의 전체높이를 커버할 수 있도록 일정높이를 갖도록 구비된다.The guide bar 150 may have a predetermined height to cover the entire height of the first module 110 and the second module 120.

그리고, 상기 제1모듈(110) 및 제2모듈(120)은 일측이 상기 가이드바(150)를 따라 상,하 방향으로 이동가능하게 결합된다.One side of the first module 110 and the second module 120 are movably coupled along the guide bar 150 in the upward and downward directions.

이를 위해, 상기 제1몸체(112)의 일측에는 외측으로 일정길이 연장되는 제1체결판(115)이 구비되고, 상기 제2몸체(122)는 상기 제1체결판(115)과 대응되는 위치에 외측으로 일정길이 연장되는 제2체결판(125)이 구비되며, 상기 가이드바(150)는 상기 제1체결판(115) 및 제2체결판(125)을 관통하도록 설치된다.A first fastening plate 115 extending to a predetermined length is provided at one side of the first body 112 and a second fastening plate 115 extending from the second fastening plate 115 at a position corresponding to the first fastening plate 115 And the guide bar 150 is installed to penetrate the first fastening plate 115 and the second fastening plate 125. As shown in FIG.

이로 인해, 상기 제2모듈(120)의 상,하 이동시 상기 제2모듈(120)이 상기 가이드바(150)에 의해 이동방향이 안내됨으로써 조립작업을 용이하게 할 수 있다.As a result, when the second module 120 is moved up and down, the second module 120 is guided in the moving direction by the guide bar 150, thereby facilitating the assembly operation.

이때, 상기 정렬판(140,140')에도 상기 가이드바(150)가 통과할 수 있는 관통공(144)이 구비됨으로써 정렬판(140,140')의 상,하 이동시 이동방향을 안내할 수도 있다.At this time, the alignment plates 140 and 140 'are provided with through holes 144 through which the guide bars 150 can pass, thereby guiding the moving direction of the alignment plates 140 and 140' when the alignment plates 140 and 140 'are moved upward and downward.

한편, 상기 가이드바(150)는 조립 또는 재조립 과정을 더욱 용이하게 하고, 서로 인접하는 각 모듈 및 정렬판을 밀착시킬 수 있도록 외주면에 나사산이 형성된 스크류바로 구비될 수 있다.Meanwhile, the guide bar 150 may be provided with a screw bar having threads on the outer circumferential surface to facilitate the assembly or reassembly process and to closely contact adjacent modules and the alignment plate.

즉, 상기 가이드바(150)가 스크류바로 구비되는 경우 상기 제1체결판(115)과 정렬판(140) 사이, 상기 정렬판(140)과 제2체결판(125)의 사이 및 상기 제2체결판(125)의 하부측에는 상기 스크류바와 나사결합되는 제1너트부재(151), 제2너트부재(152) 및 제3너트부재(153)가 각각 구비된다.That is, when the guide bar 150 is provided with the screw bar, the gap between the alignment plate 140 and the second fastening plate 125 and between the alignment plate 140 and the second fastening plate 125, A first nut member 151, a second nut member 152, and a third nut member 153 are screwed on the lower side of the fastening plate 125, respectively.

이에 따라, 상기 제1모듈(110) 및 제2모듈(120) 사이에 배치되는 정렬판(140,140')에 형성되는 관통공(144)의 상,하부측에는 상기 스크류바와 나사결합되는 제1너트부재(151) 및 제2너트부재(152)가 각각 배치되고, 상기 제2체결판(125)의 상,하부측에는 상기 제2너트부재(152) 및 제3너트부재(153)가 각각 배치된다.The first and second modules 110 and 120 are formed with through holes 144 formed in the alignment plates 140 and 140 ' The second nut member 152 and the third nut member 153 are disposed on the upper and lower sides of the second fastening plate 125 respectively.

이로 인해, 상기 제1모듈(110), 정렬판(140) 및 제2모듈(120)을 조립하는 경우에는 상기 제2너트부재(152)를 스크류바를 따라 상방으로 나사이동시켜 제1모듈(110) 및 정렬판(140,140')이 서로 긴밀하게 밀착되도록 하고, 상기 제3너트부재(153)를 스크류바를 따라 상방으로 나사이동시켜 상기 정렬판(140) 및 제2모듈(120)이 서로 긴밀하게 밀착될 수 있도록 한다.Accordingly, when the first module 110, the alignment plate 140, and the second module 120 are assembled, the second nut member 152 is screwed upward along the screw bar so that the first module 110 And the alignment plates 140 and 140 'are closely contacted with each other and the third nut member 153 is screwed upwardly along the screw bar so that the alignment plate 140 and the second module 120 are closely contacted with each other So that they can be brought into close contact with each other.

반대로, 상기 제1모듈(110)로부터 상기 제2모듈(120) 또는 정렬판(140,140')을 분리하고자 하는 경우에는 상기 제2모듈(120) 및 정렬판(140,140')을 각각 지지하고 있는 제2너트부재(152) 및 제3너트부재(153)를 하방으로 나사이동시킨 후 상기 제1너트부재(151)를 하방으로 나사이동시켜 정렬판(140,140')의 상부측을 가압함으로써 정렬판(140,140') 및 제2모듈(120)을 제1모듈(110)로부터 하방으로 간편하게 이격시킬 수 있게 된다.Conversely, when separating the second module 120 or the alignment plates 140 and 140 'from the first module 110, the second module 120 and the alignment plates 140 and 140' The nut member 152 and the third nut member 153 are screwed down and then the first nut member 151 is screwed down to press the upper side of the alignment plates 140 and 140 ' 140 and 140 'and the second module 120 can be easily separated from the first module 110 downward.

더불어, 본 발명에 따른 정렬판을 구비한 샤워헤드(100')는 도 6에 도시된 바와 같이 제1모듈(110) 및 제2모듈(120)은 상기 가이드바(150)와 제1체결판(115) 및 제2체결판(125)을 매개로 연결되고, 상기 정렬판(140,140')은 상기 가이드바(150)와 연결되지 않고 상기 제1모듈(110) 및 제2모듈(120)의 사이에 단순히 배치되도록 구비될 수도 있다. 이와 같은 경우 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 제2체결판(125)의 상,하부 측에 상기 제1너트부재(151) 및 제2너트부재(152)가 각각 상기 스크류바와 나사결합된다.6, the first module 110 and the second module 120 are installed in the shower head 100 'having the alignment plate according to the present invention in such a manner that the guide bar 150 and the first fastening plate 150' The first module 110 and the second module 120 are connected to each other through the first fixing plate 115 and the second fixing plate 125. The alignment plates 140 and 140 ' As shown in FIG. In this case, as shown in FIG. 6, the first nut member 151 and the second nut member 152 are screwed to the screw bar on the upper and lower sides of the second fastening plate 125, respectively.

한편, 상기 제2모듈(120)의 하부측에는 상기 제1분사튜브(114)가 관통하는 제2안내관(133)을 갖는 제3모듈(130)이 구비될 수 있다. 즉, 상기 제3모듈(130)은 유체가 유입되는 제3유입구(131)를 갖는 제3몸체(132)와, 상기 제3몸체(132)의 높이방향을 따라 관통형성되는 제2안내관(133)을 갖는다.Meanwhile, a third module 130 having a second guide tube 133 through which the first injection tube 114 passes may be provided on the lower side of the second module 120. That is, the third module 130 includes a third body 132 having a third inlet 131 through which the fluid flows, a second guide pipe (not shown) formed through the third body 132, 133).

이러한 제3모듈(130)은 상기 제3유입구(131)를 통해 냉각재가 유입되어 샤워헤드의 온도를 일정하게 유지하는 냉각모듈일 수 있다. 여기서, 상기 제3모듈(130)이 냉각모듈인 경우 상기 제3몸체(132)의 일측에는 냉각재가 외부로 배출되는 별도의 배출구(136)가 구비된다.The third module 130 may be a cooling module that keeps the temperature of the showerhead constant by allowing the coolant to flow through the third inlet 131. Here, when the third module 130 is a cooling module, a separate outlet 136 for discharging the coolant to the outside is provided at one side of the third body 132.

더불어, 상기 제3모듈(130)은 상기 제2모듈(120)의 제2분사공(123)으로부터 연장되는 제2분사튜브(124)가 통과할 수 있도록 높이방향을 따라 관통형성되는 제3안내관(134)을 포함할 수 있다.In addition, the third module 130 may include a third guide member 123 formed to pass through the second injection tube 124 extending from the second injection hole 123 of the second module 120, A tube 134 may be included.

이와 같이, 상기 제2모듈(120)의 하부측에 제3모듈(130)이 배치되는 경우 상기 제2모듈(120) 및 제3모듈(130)의 사이에도 상기 정렬판(140,140')이 배치됨으로써 제3모듈(130)의 조립 및 재조립시 상기 제1,2분사튜브(114,124)가 제2안내관(133) 및 제3안내관(134) 측으로 용이하게 삽입될 수 있도록 한다.When the third module 130 is disposed on the lower side of the second module 120, the alignment plates 140 and 140 'are disposed between the second module 120 and the third module 130 The first and second injection tubes 114 and 124 can be easily inserted into the second guide pipe 133 and the third guide pipe 134 when the third module 130 is assembled and reassembled.

또한, 상기 제3모듈(130) 역시 제3몸체(132)의 일측에는 상기 제1,2체결판(115,125)과 대응되는 위치에 외측으로 일정길이 연장되는 제3체결판(135)이 구비되어 상기 가이드바(150)에 연결될 수 있다.The third module 130 also includes a third fastening plate 135 extending from the third body 132 at a position corresponding to the first fastening plate 115 and the second fastening plate 125, And may be connected to the guide bar 150.

이와 같이 상기 제2모듈(120)의 하부측에 상기 정렬판(140,140') 및 제3모듈(130)이 배치되는 경우, 상기 제2모듈(120) 및 제3모듈(130) 사이에 배치되는 정렬판(140,140')에 형성되는 관통공의 상,하부측에는 상기 제3너트부재(153) 및 제4너트부재(154)가 각각 배치되고, 상기 제3체결판(135)의 상, 하부측에는 상기 가이드바(150)와 나사결합되는 제6너트부재(156) 및 제7너트부재(157)가 각각 구비되어 상기 제3너트부재(153), 제4너트부재(154) 및 제6너트부재(156)의 나사이동을 통해 상기 제3모듈(130)을 상,하 방향으로 이동시킬 수도 있다.When the alignment plates 140 and 140 'and the third module 130 are disposed on the lower side of the second module 120 as described above, they are disposed between the second module 120 and the third module 130 The third nut member 153 and the fourth nut member 154 are disposed on the upper and lower sides of the through holes formed in the alignment plates 140 and 140 'respectively, and on the upper and lower sides of the third fastening plate 135, A sixth nut member 156 and a seventh nut member 157 threadedly engaged with the guide bar 150 are respectively provided to the third nut member 153, the fourth nut member 154, The third module 130 may be moved upward and downward through a screw movement of the first module 156.

여기서, 상기 제3모듈(130)이 상기 제2모듈(120)의 하부에 직접 배치되는 경우 도면상에서 상기 제6너트부재(156)는 상기 제4너트부재(154)로 대체될 수 있다.Here, when the third module 130 is disposed directly below the second module 120, the sixth nut member 156 may be replaced with the fourth nut member 154.

한편, 상기 제1모듈(110), 제2모듈(120) 및 제3모듈(130)이 순차적으로 적층되는 것으로 설명하였지만 이에 한정하는 것은 아니며, 상기 제3모듈(130)이 냉각모듈인 경우 상기 제3모듈(130)은 제1모듈(110)의 하부측에 정렬판(140,140')이 배치된 상태에서 상기 정렬판(140,140')의 하부측에 직접 배치될 수도 있음을 밝혀둔다.The first module 110, the second module 120, and the third module 130 are sequentially stacked. However, the present invention is not limited thereto. When the third module 130 is a cooling module, The third module 130 may be disposed directly below the alignment plates 140 and 140 'with the alignment plates 140 and 140' disposed on the lower side of the first module 110. [

더불어, 본 발명에 따른 정렬판을 구비한 샤워헤드(100,100')는 최상부측에 배치되는 모듈과 최하부측에 배치되는 모듈 사이에 2개 이상의 모듈이 추가적으로 구비될 수 있다. 이러한 경우 서로 인접하는 모듈 사이에는 상기 정렬판이 각각 구비될 수 있다.In addition, the showerhead 100, 100 'having the alignment plate according to the present invention may additionally include two or more modules between a module disposed on the uppermost side and a module disposed on the lowermost side. In this case, the alignment plates may be provided between adjacent modules.

또한, 복수 개의 모듈 사이에 복수 개의 정렬판이 배치되는 경우 상기 복수 개의 정렬판은 두께 0.01mm~0.2mm의 시트(sheet) 형태와 일정 두께를 갖는 판상의 형태가 서로 혼합되어 배치될 수도 있으며, 같은 종류의 정렬판만이 사용될 수도 있음을 밝혀둔다.
When a plurality of alignment plates are disposed between a plurality of modules, the plurality of alignment plates may be arranged in a form of a sheet having a thickness of 0.01 mm to 0.2 mm and a plate having a certain thickness mixed with each other, It should be noted that only a sort of alignment plate may be used.

상기와 같은 본 발명에 의하면, 샤워헤드를 구성하는 복수 개의 모듈 중 일부를 분리한 후 재조립해야할 필요가 있는 경우 반응챔버(미도시) 내에서 샤워헤드 전체를 분리할 필요없이 해당되는 모듈만을 선택적으로 분리한 후 교체 또는 해당 작업을 수행할 수 있음으로써 재조립 과정이 매우 간편해지는 장점이 있다.
According to the present invention, when it is necessary to reassemble a part of a plurality of modules constituting the showerhead, it is not necessary to separate the entire showerhead from the reaction chamber (not shown) It is possible to perform the replacement or the corresponding operation, so that the reassembling process becomes very simple.

상기에서 본 발명의 특정 실시예와 관련하여 도면을 참조하여 상세히 설명하였지만, 본 발명을 이와 같은 특정 구조에 한정하는 것은 아니다. 당 업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 기술적 사상을 벗어나지 않고서도 용이하게 수정 또는 변경할 수 있을 것이다. 그러나, 단순한 설계변형 또는 수정을 통한 등가물, 변형물 및 교체물은 모두 명백하게 본 발명의 권리범위 내에 속함을 미리 밝혀둔다.While the foregoing is directed in detail to a particular embodiment of the invention with reference to the drawings, it is not intended to limit the invention to this specific construction. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It is to be expressly understood, however, that equivalents, modifications and substitutions through simple design variations or modifications, all of which are expressly within the scope of the present invention.

100,100' : 정렬판을 구비한 샤워헤드
110 : 제1모듈 111 : 제1유입구
112 : 제1몸체 113 : 제1분사공
114 : 제1분사튜브 115 : 제1체결판
120 : 제2모듈 121 : 제2유입구
122 : 제2몸체 123 : 제2분사공
124 : 제2분사튜브 125 : 제2체결판
126 : 제1안내관 130 : 제3모듈
131 : 제3유입구 132 : 제3몸체
133 : 제2안내관 134 : 제3안내관
135 : 제3체결판 136 : 배출구
140,140' : 정렬판 142 : 통과공
144 : 관통공 150 : 가이드바
151 : 제1너트부재 152 : 제2너트부재
153 : 제3너트부재 154 : 제4너트부재100, 100 ': shower head having an alignment plate
110: first module 111: first inlet
112: first body 113: first minute hole
114: first injection tube 115: first fastening plate
120: second module 121: second inlet
122: second body 123: second minute hole
124: second injection tube 125: second fastening plate
126: first guide tube 130: third module
131: third inlet 132: third body
133: second guide pipe 134: third guide pipe
135: third fastening plate 136: outlet
140,140 ': Alignment plate 142: Through hole
144: Through hole 150: Guide bar
151: first nut member 152: second nut member
153: third nut member 154: fourth nut member

Claims (14)

적어도 두 개의 모듈이 상하 방향으로 배치되는 샤워헤드에 있어서,
기체가 유입되는 제1유입구를 구비한 제1몸체, 상기 유입된 기체를 상기 제1몸체의 외부로 배출할 수 있도록 상기 제1몸체의 일측에 형성된 분사공 및 상기 분사공에 연결된 제1분사튜브를 구비한 제1모듈;
상기 제1분사튜브가 관통하는 제1안내관을 구비하여 상기 제1모듈의 하부측에 배치되는 제2모듈; 및
상기 제1분사튜브가 끼워지는 통과공을 구비하고, 상기 제1모듈 및 제2모듈 사이에 배치되는 정렬판;을 포함하고,
상기 제1분사튜브는 길이 중간 부분이 상기 통과공에 의해 지지되는 정렬판을 구비한 샤워헤드. In a showerhead in which at least two modules are arranged in a vertical direction,
A first body having a first inlet through which gas flows, a spray hole formed in one side of the first body so as to discharge the introduced gas to the outside of the first body, and a first spray tube connected to the spray hole A first module comprising:
A second module disposed on a lower side of the first module with a first guide tube through which the first injection tube passes; And
And an alignment plate disposed between the first module and the second module, the alignment plate having a through hole into which the first injection tube is inserted,
Wherein the first injection tube has an alignment plate whose middle portion is supported by the passage hole. 제 1항에 있어서,
상기 정렬판은 일정 두께를 갖는 판상의 부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.The method according to claim 1,
Wherein the alignment plate is made of a plate-like member having a predetermined thickness. 제 2항에 있어서,
상기 통과공은 상부에서 하부로 갈수록 단면적이 좁아지도록 구비되는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.3. The method of claim 2,
Wherein the through hole is formed to have a smaller cross sectional area from the upper portion to the lower portion. 제 1항에 있어서,
상기 정렬판은 두께가 0.01~0.2mm 범위의 시트(sheet) 형태로 구비되는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.The method according to claim 1,
Wherein the alignment plate is provided in the form of a sheet having a thickness ranging from 0.01 to 0.2 mm. 제 1항에 있어서,
상기 제2모듈의 하부측에는 상기 제1분사튜브가 관통하는 제2안내관을 구비한 제3모듈이 구비되고, 상기 제2모듈 및 제3모듈 사이에 상기 제1분사튜브가 끼워지는 통과공을 갖는 정렬판이 배치되는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.The method according to claim 1,
And a third module having a second guide tube through which the first injection tube passes is provided on a lower side of the second module, and a through hole through which the first injection tube is inserted between the second module and the third module Wherein the alignment plate is disposed on the side opposite to the alignment plate. 제 5항에 있어서,
상기 제3모듈은 냉각모듈인 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.6. The method of claim 5,
And the third module is a cooling module. 제 5항에 있어서,
상기 제2모듈은 기체가 유입되는 제2유입구를 구비한 제2몸체, 상기 유입된 기체를 상기 제2몸체의 외부로 배출할 수 있도록 상기 제2몸체의 일측에 형성된 제2분사공 및 상기 제2분사공에 연결된 제2분사튜브를 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.6. The method of claim 5,
The second module may include a second body having a second inlet through which gas is introduced, a second injection hole formed on one side of the second body so as to discharge the introduced gas to the outside of the second body, And a second injection tube connected to the two-minute hole. 제 7항에 있어서,
상기 제3모듈은 상기 제2분사튜브가 관통하는 제3안내관을 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.8. The method of claim 7,
Wherein the third module includes a third guide tube through which the second injection tube passes. 제 1항에 있어서,
상기 제1모듈 및 제2모듈의 외측에는 일정높이를 갖는 가이드바가 배치되고, 상기 제1모듈 및 제2모듈은 일측이 상기 가이드바를 따라 상,하 방향으로 이동하는 일측에 의해 서로 밀착되거나 이격되는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.The method according to claim 1,
A guide bar having a predetermined height is disposed outside the first module and the second module, and the first module and the second module are closely contacted or separated from each other by one side of the first and second modules moving upward and downward along the guide bar Wherein the shower head is provided with an alignment plate. 제 9항에 있어서,
상기 제1모듈은 일측에 외측으로 일정길이 연장되는 제1체결판이 구비되고, 상기 제2모듈은 상기 제1체결판과 대응되는 일측에 외측으로 일정길이 연장되는 제2체결판이 구비되며, 상기 제1체결판 및 제2체결판은 상기 가이드바를 통해 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.10. The method of claim 9,
Wherein the first module includes a first fastening plate having a predetermined length extending outward at one side thereof and a second fastening plate having a predetermined length extending outward at a side of the second module corresponding to the first fastening plate, And the first fastening plate and the second fastening plate are connected to each other through the guide bar. 제 10항에 있어서,
상기 가이드바는 외주면에 나사산이 형성된 스크류바인 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.11. The method of claim 10,
Wherein the guide bar is a screw bar having a screw thread formed on an outer circumferential surface thereof. 제 11항에 있어서,
상기 제2체결판의 상부면과 하부면에는 상기 스크류바와 나사결합되는 너트부재가 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.12. The method of claim 11,
And a nut member screwed to the screw bar is provided on an upper surface and a lower surface of the second fastening plate, respectively. 제 12항에 있어서,
상기 너트부재는 상기 스크류바를 따라 나사이동되어 상기 제1모듈 및 제2모듈을 서로 밀착시키는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.13. The method of claim 12,
Wherein the nut member is screwed along the screw bar to closely contact the first module and the second module. 제 11항에 있어서,
상기 정렬판에는 상기 제1체결판 및 제2체결판과 대응되는 위치에 상기 스크류바가 통과하는 관통공이 구비되고, 상기 관통공의 상,하부측에는 상기 스크류바와 나사결합하는 너트부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드.12. The method of claim 11,
Wherein the alignment plate includes a through hole through which the screw bar passes at a position corresponding to the first fastening plate and the second fastening plate, and a nut member screwed to the screw bar at upper and lower sides of the through- The shower plate having an alignment plate.
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