KR101579071B1

KR101579071B1 - 소켓연결 및 클램핑 구조형 면저항 측정용 프로브

Info

Publication number: KR101579071B1
Application number: KR1020140108159A
Authority: KR
Inventors: 홍신의
Original assignee: (주)다솔이엔지
Priority date: 2014-08-20
Filing date: 2014-08-20
Publication date: 2015-12-22

Abstract

본 발명은 소켓연결 및 클램핑 구조형 면저항 측정용 프로브에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 면저항 측정용 프로브에 있어서, 측정대상과 접촉되는 탐침이 프로브의 내부에서 전선과 소켓형태로 상호간 전기적 연결되는 구조를 가지도록 하고, 탐침에 전기적으로 연결된 전선 케이블이 외력에 의해 손상 및 단선, 이탈되는 것을 방지하기 위해, 상기 프로브의 단부에서 전선 케이블을 절곡시켜 위치를 고정시키는 구조를 가지도록 한 소켓연결 및 클램핑 구조형 면저항 측정용 프로브에 관한 것이다.

Description

소켓연결 및 클램핑 구조형 면저항 측정용 프로브{PROBE FOR MEASURING SHEET RESISTANCE USING CLAMPING STRUCTURE AND CONNECTED BY SOCKET}

본 발명은 내부의 탐침과 소켓 전선부가 소켓형 구조를 체결되도록 하면서, 전선 케이블의 단선 및 이탈을 방지하는 클램핑 구조를 가지는 면저항 측정용 프로브에 관한 것이다.

표면저항은 보통 단위 ohm/sq로 표시된다. 표면저항값은 웨이퍼(Wafer), LCD, 태양전지, 연료전지, OLED 등 박막증착 후 박막의 전도성을 검사하기 위하여 사용된다. 일반적인 선저항은 두개의 프로브(probe)로 임의의 거리에 대한 저항을 측정하지만, 표면저항의 경우에는 동일한 간격의 4개 탐침으로 측정한다. 이 때 사용되는 프로브가 4 포인트 프로브(point probe)이고, 보통 탐침은 1mm 간격으로 일렬 구성된 프로브를 사용하며, 4개의탐침으로 전류와 전압을 통해 저항을 검출한 후, 표면저항 단위인 ohm/sq로 계산하기 위해 보정계수(C.F)를 적용한다.

표면저항값을 계산하기 위해서는 저항값(ohm)에 보정계수를 적용하여야 한다. 보정계수는 샘플 사이즈(Sample size)와 박막의 두께 그리고 측정시 온도까지 3가지 계수를 이용하여 산출될 수 있다. 샘플 사이즈(Sample size)계수는 40mm이상의 직경의 샘플일 경우 4.532이고, 박막두께계수는 박막두께가 약400um이하일 때 1이며, 온도는 Sample의 온도계수에 따라 약간의 변화가 있지만 약23°C일 때 1에 수렴한다.

4 포인트 프로브(Four point probe)는 4-point probe, 4 probe head, 4PP, FPP, 4탐침 등으로 여러가지 이름으로 불리우고 있다. 탐침이 4개가 달린 표면저항 측정용으로 사용하는 프로브를 일컫는 말이다. 보통은 1mm간격이며 일렬(Linear type)로 탐침을 정렬시킨 것을 이용한다. 이외에는 탐침을 정방형으로 나열시킨 스퀘어 타입(Squre type)의 홀 프로브(Hall probe)와 고온까지 견딜 수 있도록 특수제작된 고온용 프로브가 있다.

4 포인트 프로브(Four point probe)는 물질의 표면에 존재하는 표면저항을 가장 정확하게 측정하기 위해 사용하는 도구이다. 도 7에 도시된 바와 같이 제1 탐침(1), 제2 탐침(2), 제3 탐침(3), 및 제4 탐침(4)의 4개의 탐침으로 구성될 수 있다.제1 탐침(1), 제2 탐침(2), 제3 탐침(3), 및 제4 탐침(4)은 표면저항을 측정하고자 하는 물질(100)에 접촉될 수 있다. 제1 탐침(1) 및 제4 탐침(4)에 전류를 인가하고 제2 탐침(2) 및 제3 탐침(3)을 통해 전압을 측정한 후, 상기 측정한 전압 값에 보정계수(C.F)를 대입하여 표면저항을 측정할 수 있다.

반도체 웨이퍼 등 미세하게 형성된 패턴의 특정 지점에 대한 표면저항을 측정하기 위해서는 4 탐침의 핀간 거리가 아주 작을수록 미세한 부분의 표면저항을 측정할 수 있다. 4 탐침의 단순한 배열 접촉만으로는 정확한 측정값을 얻을 수 없기에, 4 탐침의 거리를 최소화하기 위한 노력이 지속되고 있다.

정확한 표면저항 값을 측정하기 위해서는 4 탐침이 각각 개별적으로 동작하면서 병행하여 개별적으로 텐션(tension)을 유지하는 구조이어야만, 전류를 인가하고 전압을 검출하는데 외부적인 접촉저항을 최소화시켜 오차가 없는 실제의 값을 측정할 수 있다. 즉, 4 포인트 프로브에 있어 중요한 점은, 4 탐침의 전류와 전압을 최대한 접촉 저항 없이 검출할 수 있도록 하고, 4 탐침이 물체의 표면과 접촉할 때 4개의 탐침이 동일한 힘으로 접촉되도록 하며, 4 탐침 간격을 최소화하는 것이다.

종래기술에 따른 일반적인 4 탐침의 재질은 텅스텐카바이드로 이 소재의 특징은 납땜이 되지 않는다는 것이다.

따라서, 탐침과 전류 전압단을 직접적으로 남땜하여 탐침에 전류를 인가하여 전압을 측정할 수 없다. 종래기술에 따르면 도 8에 도시된 바와 같이, 탐침(210)의 상단에 압입 납땜용 링(211)을 강제 압입하고, 압입 납땜용 링(211)에 납땜을 하여 압입 납땜용 링(211)과 전선(213)을 연결하고 있다.

종래기술에서는 이러한 링의 강제 압입 방법을 통해 와이어 텐션 스프링(wire tension spring)(220)의 동작에 따라 물체(200)에 접촉된 탐침(210)에 전류를 인가하여 물체(200)의 표면저항을 측정하는 방법을 사용하고

있다. 이와 같이 종래기술에 따르면 탐침(210)과 전선(213)을 압입 납땜용 링(211)을 통해 서로 납땜을 하여 연결함으로써, 별도의 매개체가 삽입되는 구성으로 인하여 정확한 표면저항의 측정이 불가하고 제조공정의 낭비를 초래하고 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 면저항 측정에 사용되는 프로브에 있어서, 내부에서 탐침과 전선을 상호간 소켓형태로 체결되는 용이하고 손쉬운 구조를 가지도록 하면서, 이러한 탐침과 연결되는 전선 케이블이 외력 등에 의해 단선 및 이탈되는 것을 사전방지할 수 있도록, 프로브의 단부에서 전선 케이블이 자동 클램핑되도록 한 소켓연결 및 클램핑 구조형 면저항 측정용 프로브를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기에 설명될 것이며, 본 발명의 실시예에 의해 알게 될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허청구범위에 나타낸 수단 및 조합에 의해 실현될 수 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 수단으로서, 면저항 측정용 프로브에 있어서, 4개의 탐침(14)이 관통되어 양단으로 돌출되며, 탐침(14)의 돌출된 일단은 측정대상에 접촉되면서 내부로 삽입되되, 삽입된 탐침(14)은 내설된 제 1탄성부재(16)에 의해 원상복귀가능토록 하는 탐침 소켓부(10); 상기 탐침(14)의 돌출된 타단이 내설되며 끼움결합되도록, 일단에 소켓봉(21)이 형성된 다수의 소켓 전선부(20); 상기 소켓 전선부(20)를 내설하며 탐침 소켓부(10)가 일측에 고정설치되는 고정소켓(30); 상기 고정소켓(30)의 외주연에 길이방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되어, 탐침(14)의 돌출된 일단이 외부로 개방되는 유무를 선택할 수 있도록 하는 조절소켓(40); 상기 고정소켓(30)의 타측 내주연에 설치되어, 소켓 전선부(20)와 연결되는 전선 케이블(60)의 위치를 고정시켜 단선 및 이탈을 방지하는 클램핑부(50); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 프로브 내에서 탐침과 전선이 상호간 소켓형태로 체결되는 손쉽고 용이한 구조를 가지는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 탐침과 전기적으로 연결되는 전선 케이블이 잦은사용, 외력 등에 의해 단선되거나, 프로브에서 이탈되지 않도록 확실히 고정시키는 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 따른 소켓연결 및 클램핑 구조형 면저항 측정용 프로브를 나타낸 일실시예의 사시도.
도 2는 도 1의 A-A선도.
도 3은 본 발명에 따른 소켓연결 및 클램핑 구조형 면저항 측정용 프로브의 작동도.
도 4는 본 발명에 따른 소켓연결 및 클램핑 구조형 면저항 측정용 프로브의 소켓 전선부와 전선 케이블의 소켓체결구조를 나타낸 정면 단면도.
도 5는 본 발명에 따른 소켓연결 및 클램핑 구조형 면저항 측정용 프로브의 클램핑부를 나타낸 예시도.
도 6은 도 1의 분해 사시도.
도 7은 종래의 일반적인 4 포인트 프로브의 4개 탐침과 물체의 접촉에 따른 표면저항 측정의 원리를 도시한 도면
도 8은 종래의 탐침과 전선의 연결구조를 도시한 도면.

본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기 전에, 다음의 상세한 설명에 기재되거나 도면에 도시된 구성요소들의 구성 및 배열들의 상세로 그 응용이 제한되는 것이 아니라는 것을 알 수 있을 것이다. 본 발명은 다른 실시예들로 구현되고 실시될 수 있고 다양한 방법으로 수행될 수 있다. 또, 장치 또는 요소 방향(예를 들어 "전(front)", "후(back)", "위(up)", "아래(down)", "상(top)", "하(bottom)", "좌(left)", "우(right)", "횡(lateral)")등과 같은 용어들에 관하여 본원에 사용된 표현 및 술어는 단지 본 발명의 설명을 단순화하기 위해 사용되고, 관련된 장치 또는 요소가 단순히 특정 방향을 가져야 함을 나타내거나 의미하지 않는다는 것을 알 수 있을 것이다. 또한, "제 1(first)", "제 2(second)"와 같은 용어는 설명을 위해 본원 및 첨부 청구항들에 사용되고 상대적인 중요성 또는 취지를 나타내거나 의미하는 것으로 의도되지 않는다.

본 발명은 상기의 목적을 달성하기 위해 아래의 특징을 갖는다.

이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하도록 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

이를 위한 본 발명의 일실시예를 살펴보면, 면저항 측정용 프로브에 있어서, 4개의 탐침(14)이 관통되어 양단으로 돌출되며, 탐침(14)의 돌출된 일단은 측정대상에 접촉되면서 내부로 삽입되되, 삽입된 탐침(14)은 내설된 제 1탄성부재(16)에 의해 원상복귀가능토록 하는 탐침 소켓부(10); 상기 탐침(14)의 돌출된 타단이 내설되며 끼움결합되도록, 일단에 소켓봉(21)이 형성된 다수의 소켓 전선부(20); 상기 소켓 전선부(20)를 내설하며 탐침 소켓부(10)가 일측에 고정설치되는 고정소켓(30); 상기 고정소켓(30)의 외주연에 길이방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되어, 탐침(14)의 돌출된 일단이 외부로 개방되는 유무를 선택할 수 있도록 하는 조절소켓(40); 상기 고정소켓(30)의 타측 내주연에 설치되어, 소켓 전선부(20)와 연결되는 전선 케이블(60)의 위치를 고정시켜 단선 및 이탈을 방지하는 클램핑부(50); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 클램핑부(50)는 일면에 제 1장홈(52)을 형성하고, 상기 제 1장홈(52)의 일부분과 연통되도록 타면에 제 1공(53)을 천공형성하는 제 1클램프(51); 상기 제 1클램프(51)의 일면에 대응배치되되, 상기 제 1장홈(52)과 대응되는 제 2장홈(55)을 형성하고, 상기 제 1공(53)과 연통되지 않는 제 1장홈(52)의 나머지 부분에 연통되는 제 2공(56)을 천공형성하는 제 2클램프(54); 로 이루어져, 전선 케이블(60)이 제 1, 2클램프(51, 54)의 제 2공(56), 제 1장홈(52), 제 1공(53)을 절곡되며 연속통과되도록 하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 클램핑부(50)는 일측에 형성된 평면부(57)에 제 1공(53)이 함몰형성된 제 1클램프(51); 상기 제 1클램프(51)의 일측에 대응체결되어, 제 1클램프(51)와 함께 원형을 이루되, 고정수단을 통해 제 1클램프(51)와 체결되어, 제 1공(53)에 끼워지는 전선 케이블(60)을 압입하여 고정하는 제 2클램프(54); 로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

이하, 도 1 내지 도 8를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 소켓연결 및 클램핑 구조형 면저항 측정용 프로브를 상세히 설명하도록 한다.

본 발명의 소켓연결 및 클램핑 구조형 면저항 측정용 프로브는 탐침 소켓부(10), 소켓 전선부(20), 고정소켓(30), 조절소켓(40), 클램핑부(50)를 포함한다.

상기 탐침 소켓부(10)는 면저항 측정대상물과 일단이 접촉되는 탐침(14)이 설치되어 있는 것으로, 상기 탐침(14) 4개가 상호간 등간격으로 이격되며 탐침 소켓부(10) 내부를 관통하되, 양단이 탐침 소켓부(10)의 양측에 각각 소정길이 돌출되는 형태를 가진다.

이를 더욱 자세히 살펴보면,

상기 탐침 소켓부(10)는 내부가 비어있으며 양단이 개구된 원통형의 메인부(11)와, 상기 메인부(11)의 양단에 결합되어 탐침(14)의 양단부가 각각 대응되며 관통 돌출되는 가이드부(12a, 12b)와, 상기 메인부(11) 내에서 복수개의 가이드부(12a, 12b) 상호간을 연결고정하는 고정바(13), 중단부에 걸림돌기(15)가 돌출형성되는 다수의 탐침(14)과, 상기 걸림돌기(15)와 복수개의 가이드부(12a, 12b) 중 하나의 가이드부(12b)와의 사이에서 탐침(14) 외주연에 권취되는 제 1탄성부재(16)(ex: 스프링)로 이루어진다.

이에, 돌출된 탐침(14)의 일단이 면저항 측정대상물과 접촉시, 상기 탐침(14)은 눌려 탐침 소켓부(10) 내부로 삽입되는 형태가 되고, 이에 제 1탄성부재(16)는 압축된다. 이후, 측정을 위해 탐침(14)을 면저항 측정대상물에 눌렀던 힘을 제거하면, 제 1탄성부재(16)의 원상복귀력에 의해 탐침(14)은 일단이 다시 탐침 소켓부(10) 일측으로 돌출되어 원위치되는 구조를 가진다.

상기 소켓 전선부(20)는 본 발명의 소켓연결 및 클램핑 구조형 면저항 측정용 프로브 내에 위치되는(더욱 자세히는 후술될 고정소켓(30) 일단에서 고정소켓(30)의 내부에 위치되는 탐침(14)의 돌출된 타단과 전기적으로 연결되는 것이다.

이러한, 소켓 전선부(20)는 일반적인 전선이되, 탐침(14)과 연결될 수 있도록 일단에 내부가 비어있는 통전재질의 소켓봉(21)을 구비한다. 이에, 상기 다수 탐침(14)의 돌출된 타단이 각각 다수의 소켓 전선부(20)의 소켓봉(21)에 대응되며 삽입되어 끼워지는 소켓구조를 가지도록 한 것이다. 물론, 이에 탐침(14), 소켓봉(21), 소켓 전선부(20) 상호간은 모두 전기적으로 통전되는 것이다. 또한, 상기 탐침(14)이 4개이므로, 이러한 각 탐침(14)의 각 타단이 끼워지는 소켓봉(21)을 가진 소켓 전선부(20) 또한 4개가 구비되어야 함은 당연하다.

상기 고정소켓(30)은 내부가 길이방향으로 비어있는 원통관체이되, 길이방향으로 두번의 단차를 이루며 직경이 2번에 걸쳐 감소되는 형태를 가진다.

또한 고정소켓(30)의 중단부 외주연에는 슬라이딩 홈(32)에 길이방향으로 함몰 형성되어 있도록 하고, 슬라이딩 홈(32)의 양단부는 슬라이딩 홈(32)부터 상대적으로 더 깊게 파여지는 고정홈(33)이 더 형성되어 있도록 한다.

이러한, 고정소켓(30)은 전술된 탐침 소켓부(10)를 고정하는 것으로, 직경이 감소된 개구된 일측에 탐침 소켓부(10)가 대응되어 체결되는데, 상기 고정소켓(30)의 일측 내부에 삽입되어 있는 고정체(34)가 고정소켓(30)의 일측에 대응되며 접촉되어 있는 탐침 소켓부(10)의 메인부(11)와 고정수단(볼트, 핀 등, 이하 후술될 고정수단에도 동일하게 적용된다.) 등에 의해 고정되고, 이렇게 탐침 소켓부(10)와 고정된 고정체(34)가 고정소켓(30)의 일측 내부에 또 다른 고정수단에 의해 위치고정되는 것이다. 이로써, 상기 탐침 소켓부(10)는 고정소켓(30)의 일측에 접촉되며 고정되어 있고, 탐침(14)의 일단은 외부로 돌출되어 있고, 탐침(14)의 타단은 고정소켓(30)의 일측 내부(더욱 자세히는 고정체(34) 내부)에 위치하게 되는 것이다.

상기 조절소켓(40)은 고정소켓(30)의 외주연에 결합되는 것으로, 고정소켓(30)에 형성된 2개의 단턱(31) 중, 직경이 큰 타측쪽 단턱(31)까지 조절소켓(40)이 고정소켓(30)에 끼워지는 형태를 가진다.

이에, 탐침 소켓부(10)가 고정되어 있는 고정소켓(30)이 일측부터 고정소켓(30)에 삽입되는 구조이며, 상기 조절소켓(40)은 이러한 고정소켓(30)의 길이방향으로 슬라이딩 이동이 가능하게 결합된다.

이를 위한 조절소켓(40)은 전술된 고정소켓(30)보다 상대적으로 큰 직경을 가지며, 내부가 비어있고 양단이 개구된 원통관 형태를 가지며, 내주연에는 내부를 향해 돌출되는 걸림턱(43)을 형성하여, 상기 걸림턱(43)과 고정소켓(30)의 단턱(31) 사이에 제 2탄성부재(42)(ex: 스프링 등)가 위치되도록 한다. 또한, 조절소켓(40)의 타측 외주연에는 내부를 향해 상, 하로 위치조절가능한 조절핀(41)이 구비되어 있도록 한다.

이에, 상기 조절소켓(40)이 고정소켓(30)의 외주연에서 길이방향으로 슬라이딩 이동 시, 상기 조절핀(41)이 슬라이딩 홈(32)에 내입된 상태로 이동함으로써, 조절소켓(40)과 고정소켓(30) 상호간이 탈거되지 않으면서 조절소켓(40)의 이동이 가능해지는 것이고, 조절소켓(40)이 고정소켓(30)을 슬라이딩 홈(32) 일측 끝부분까지 완전내입한 경우(탐침(14)을 사용하고자 하는 경우) 또는 슬라이딩 홈(32) 타측 끝부분에 위치되어 조절소켓(40)이 고정소켓(30) 일측으로 돌출되는 경우(탐침(14)을 사용하지 않아, 숨기고자 하는 경우), 전술된 고정홈(33)에 조절핀(41)이 끼워지며 위치가 고정될 수 있는 것이다.

다시말해, 조절소켓(40)을 고정소켓(30)의 길이방향으로 밀어 조절핀(41)으로 고정하게 되면(고정소켓(30)의 외주연 중 직경이 큰 타측쪽 단턱(31)까지 밀어 고정), 조절소켓(40)의 일단에 고정되어 있는 탐침 소켓부(10) 중 일부가 조절소켓(40)과 고정소켓(30)의 일측으로 돌출되어져, 면저항 측정이 가능한 형태가 된다. 물론 이때 제 2탄성부재(42)는 압축된 형태를 가진다.

이후, 면저항 측정을 위해, 탐침(14)을 면저항 측정 대상체에 접촉시키며 누르게 되면, 탐침 소켓부(10) 내 제 1탄성부재(16)가 압축되면서, 탐침(14) 또한 소정길이 내입된다.

면저항 측정 완료후, 면저항 측정 대상체에서 탐침(14)을 떼어내면(탐침(14)을 누르던 힘이 제거(해제)되면), 제 1탄성부재(16)의 원상복귀력에 의해 다수의 탐침(14)은 돌출되며 원상복귀하게 되고, 더이상 면저항 측정 및 탐침(14)을 사용하지 않고자 할 경우, 조절핀(41)을 슬라이딩 홈(32)까지 위치되도록 고정홈(33)에서 빼내면, 압축되었던 제 2탄성부재(42)가 원상복귀되면서 조절소켓(40)을 고정소켓(30)의 일측으로 밀어내어, 고정소켓(30)이 돌출되어 있는 탐침(14)을 가리게 되는 것이다.

상기 클램핑부(50)는 전술된 바와 같이, 소켓봉(21)을 통해 일단이 탐침(14)과 연결된 소켓 전선부(20)는, 고정소켓(30) 내에서 외부 측정장치와 전기적으로 연결된 별도의 전선 케이블(60)과 연결되는데, 이러한 전선 케이블(60)이 단선 및 이탈되지 않도록 고정하기 위한 구성이다.

이러한 클램핑부(50)는 전술된 고정소켓(30)의 타측 내주연(고정소켓(30)의 직경이 가장 큰 부분) 내에 대응삽입되어 고정된 구조를 가지는 것으로, 이를 위한 클램핑부(50)는 다양한 구조의 실시예를 가진다.

실시예는 상기 클램핑부(50)가 제 1, 2클램프(51, 54)로 이루어져 상호간 대응되며 면접촉되도록 한 것으로, 제 1클램프(51)는 일면에 제 1장홈(52)을 형성하되, 제 1장홈(52)의 일부와 연통되는 제 1공(53)을 천공형성하도록 하고, 이러한 제 1클램프(51)의 일면(제 1장홈(52)이 형성된 면)에 밀착되는 제 2클램프(54)에는 제 1장홈(52)와 대응되어 빈공간을 형성하는 제 2장홈(55)을 일면에 형성함과 동시에, 제 1공(53)과 연통되지 않는 제 1장홈(52)의 나머지 부분과 연통되는 제 2공(56)을 천공형성하도록 하는 것이다. 즉, 제 1, 2클램프(51, 54)의 제 1, 2장홈(52, 55)을 상호간 대응되도록 밀착시키면, 제 1, 2장홈(52, 55) 상호간은 마주보면 빈공간을 형성하되, 제 1, 2장홈(52, 55)은 상호간 곧바로 연통되지 못하는 형태가 되는 것이다. 이에, 전선 케이블(60)은 외부에서 제 2클램프(54)의 제 2공(56)을 관통한 후, 절곡되면서 제 1클램프(51)와 제 2클램프(54)의 제 1, 2장홈(52, 55)이 형성하는 빈공간을 이동한 후, 제 1, 2장홈(52, 55)의 타단에서 다시 절곡되어 제 1공(53)을 통해 고정소켓(30) 내부에 위치됨으로써, 2번의 절곡을 통해 전선 케이블(60)은 확실하게 위치가 고정되는 것이다.

또 다른 실시예는 상호간 반원의 형태를 가지는 형태의 제 1, 2클램프(51, 54) 상호간을 면접합시켜, 하나의 원형단면 클램프를 형성토록 하는 것이다. 이를 위해, 상기 제 1클램프(51)는 반원형태로, 일측에 평면부(57)를 형성하면서 제 1공(53)이 천공형성되어 있도록 하고, 상기 제 2클램프(54)는 제 1클램프(51)와 마찬가지로 반원형태로 이루며 제 1클램프(51)의 일측에 대응체결됨으로써, 제 1, 2클램프(51, 54)가 함께 원형을 이루도록 한 것이다. 이때, 상기 제 2클램프(54)의 외부에서 제 1클램프(51) 내부까지 삽입되는 별도의 고정수단(ex: 볼트, 핀 등)을 통해 상호간 고정되어지며, 이렇게 제 2클램프(54)가 제 1클램프(51)에 대응되며 접촉될 시, 제 1공(53)에 억지로 끼워진 전선 케이블(60)이 제 1공(53) 내로 압입되면서 고정되는 것이다.

물론, 사용자의 다양한 실시에에 따라, 도 5와 같이, 단하나의 제 1클램프(51)의 일단에 개구부(58)를 형성하여 전선 케이블(60)을 삽입한 후, 개구부를 고정수단으로 조임으로써, 전선 케이블(60)을 고정하는 구조 등, 전선 케이블(60)을 고정하기 위한 목적이라면, 이러한 클램핑부(50)는 다양하게 변경이 가능할 것이다.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변경이 가능함은 물론이다.

10: 탐침 소켓부 11: 메인부
12a, 12b: 가이드부 13: 고정바
14: 탐침 15: 걸림돌기
16: 제 1탄성부재 20: 소켓 전선부
21: 소켓봉 30: 고정소켓
31: 단턱 32: 슬라이딩 홈
33: 고정홈 34: 고정체
40: 조절소켓 41: 조절핀
42: 제 2탄성부재 43: 걸림턱
50: 클램핑부 51: 제 1클램프
52: 제 1장홈 53: 제 1공
54: 제 2클램프 55: 제 2장홈
56: 제 2공 57: 평면부
58: 개구부 60: 전선 케이블

Claims

면저항 측정용 프로브에 있어서,
4개의 탐침(14)이 관통되어 양단으로 돌출되며, 탐침(14)의 돌출된 일단은 측정대상에 접촉되면서 내부로 삽입되되, 삽입된 탐침(14)은 내설된 제 1탄성부재(16)에 의해 원상복귀가능토록 하는 탐침 소켓부(10);
상기 탐침(14)의 돌출된 타단이 내설되며 끼움결합되도록, 일단에 소켓봉(21)이 형성된 다수의 소켓 전선부(20);
상기 소켓 전선부(20)를 내설하며 탐침 소켓부(10)가 일측에 고정설치되는 고정소켓(30);
상기 고정소켓(30)의 외주연에 길이방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되어, 탐침(14)의 돌출된 일단이 외부로 개방되는 유무를 선택할 수 있도록 하는 조절소켓(40);
상기 고정소켓(30)의 타측 내주연에 설치되어, 소켓 전선부(20)와 연결되는 전선 케이블(60)의 위치를 고정시켜 단선 및 이탈을 방지하는 클램핑부(50);를 포함하여 이루어지며,
상기 클램핑부(50)는 일면에 제 1장홈(52)을 형성하고, 상기 제 1장홈(52)의 일부분과 연통되도록 타면에 제 1공(53)을 천공형성하는 제 1클램프(51)와, 상기 제 1클램프(51)의 일면에 대응배치되되, 상기 제 1장홈(52)과 대응되는 제 2장홈(55)을 형성하고, 상기 제 1공(53)과 연통되지 않는 제 1장홈(52)의 나머지 부분에 연통되는 제 2공(56)을 천공형성하는 제 2클램프(54)로 이루어져, 전선 케이블(60)이 제 1, 2클램프(51, 54)의 제 2공(56), 제 1장홈(52), 제 1공(53)을 절곡되며 연속통과되도록 하는 것을 특징으로 하는 소켓연결 및 클램핑 구조형 면저항 측정용 프로브.
면저항 측정용 프로브에 있어서,
4개의 탐침(14)이 관통되어 양단으로 돌출되며, 탐침(14)의 돌출된 일단은 측정대상에 접촉되면서 내부로 삽입되되, 삽입된 탐침(14)은 내설된 제 1탄성부재(16)에 의해 원상복귀가능토록 하는 탐침 소켓부(10);
상기 탐침(14)의 돌출된 타단이 내설되며 끼움결합되도록, 일단에 소켓봉(21)이 형성된 다수의 소켓 전선부(20);
상기 소켓 전선부(20)를 내설하며 탐침 소켓부(10)가 일측에 고정설치되는 고정소켓(30);
상기 고정소켓(30)의 외주연에 길이방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되어, 탐침(14)의 돌출된 일단이 외부로 개방되는 유무를 선택할 수 있도록 하는 조절소켓(40);
상기 고정소켓(30)의 타측 내주연에 설치되어, 소켓 전선부(20)와 연결되는 전선 케이블(60)의 위치를 고정시켜 단선 및 이탈을 방지하는 클램핑부(50);를 포함하여 이루어지며,
상기 클램핑부(50)는 일측에 형성된 평면부(57)에 제 1공(53)이 함몰형성된 제 1클램프(51)와, 상기 제 1클램프(51)의 일측에 대응체결되어, 제 1클램프(51)와 함께 원형을 이루되, 고정수단을 통해 제 1클램프(51)와 체결되어, 제 1공(53)에 끼워지는 전선 케이블(60)을 압입하여 고정하는 제 2클램프(54)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 소켓연결 및 클램핑 구조형 면저항 측정용 프로브.
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