KR101568773B1 - piezo-electric vibrator - Google Patents
piezo-electric vibrator Download PDFInfo
- Publication number
- KR101568773B1 KR101568773B1 KR1020130143530A KR20130143530A KR101568773B1 KR 101568773 B1 KR101568773 B1 KR 101568773B1 KR 1020130143530 A KR1020130143530 A KR 1020130143530A KR 20130143530 A KR20130143530 A KR 20130143530A KR 101568773 B1 KR101568773 B1 KR 101568773B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- weight
- piezoelectric
- vibration generator
- spring member
- bending
- Prior art date
Links
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 23
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 14
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 14
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 14
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 abstract description 11
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N barium oxide Chemical compound [Ba]=O QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000035807 sensation Effects 0.000 description 1
- 230000004936 stimulating effect Effects 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/04—Constructional details
Landscapes
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
압전진동발생기가 개시된다. 본 발명에 따른 압전진동발생기는 중량체가 일정치 이상 낙하하는 것을 방지함으로써 압전소자에 과도한 응력이 발생하는 것을 방지할 수 있고, 압전소자가 충격에 의해 쉽게 파손되는 것을 예방하여 압전진동발생기의 신뢰성을 높일 수 있으며, 중량체 연결구조를 최적화하여 중량체의 체적 증가를 용이하게 함으로써 압전진동발생기의 진동 성능을 향상시킬 수 있다. 또한, 중량체의 설계 자유도를 높임으로써 효율적인 공간 활용과 함께 소형화 요구에 능동적으로 대처할 수 있다.A piezoelectric vibration generator is disclosed. The piezoelectric vibration generator according to the present invention can prevent excessive stress from being generated in the piezoelectric element by preventing the weight from falling more than a predetermined value and to prevent the piezoelectric element from being easily broken by the impact, And the vibrating performance of the piezoelectric vibration generator can be improved by making it easy to increase the volume of the weight by optimizing the weight connection structure. In addition, by increasing the design freedom of the weight, it is possible to actively cope with the demand for miniaturization with efficient space utilization.
Description
본 발명은 압전진동발생기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 중량체가 일정치 이상 낙하하는 것을 방지함으로써 압전소자에 과도한 응력이 발생하여 파손되는 것을 방지하고, 중량체와 스프링의 연결구조를 최적화하여 중량체의 체적 증가를 용이하게 하고 설계 자유도를 높일 수 있을 뿐만 아니라, 부품 단가를 감소시켜 가격경쟁력을 높일 수 있는 압전진동발생기에 관한 것이다.The present invention relates to a piezoelectric vibration generator, and more particularly, to a piezoelectric vibration generator that prevents an excessive stress from being generated and prevented from being broken by preventing a weight from dropping beyond a predetermined value, The present invention relates to a piezoelectric vibration generator capable of increasing the volume of a piezoelectric vibrator and increasing the degree of freedom of design,
압전(壓電, piezo-electric)소재는 전기적 에너지를 기계적 에너지로, 또는 그 반대로 외부에서 힘을 가하면 이를 전기적 에너지로 변환하는 특성이 있는 재료이다. 이러한 압전소재로 사용되는 압전 세라믹스는 전자부품분야의 기초재료로서 다양한 연구가 이루어져 왔으며, 레조네이터(resonator), LCD 백라이트용 트랜스포머, 초정밀 액츄에이터, 초음파 모터, 각종 정밀 센서와 측정·계측기기 등 가정용에서부터 첨단 기술 분야까지 광범위하게 사용되고 있다.Piezoelectric materials are materials that convert electrical energy into mechanical energy when it is externally applied, or vice versa. Piezoelectric ceramics used in these piezoelectric materials have been studied as a basic material for electronic components and have been widely used in various fields such as resonators, LCD backlight transformers, ultra-precision actuators, ultrasonic motors, various precision sensors, It is widely used in technical fields.
한편, 핸드폰, 디지털카메라, 뮤직플레이어와 같은 소형이면서 휴대 가능한 모바일기기가 우리 삶 속에 빠르게 침투하고 있다. 이러한 모바일 기기는 기존의 데스크톱 컴퓨터가 수행하던 기능을 뛰어넘어 인간의 오감을 자극하여 실감형 정보를 제공하기 위한 3차원 인터페이스와 멀티모달(Multimodal) 기반의 휴먼 인터페이스 기술인 촉감생성(햅틱) 기능을 구비함으로써 과거와는 비할 수 없는 사용자 친화적인 환경을 제공하게 되었다.On the other hand, compact and portable mobile devices such as mobile phones, digital cameras and music players are rapidly penetrating our lives. These mobile devices have a three-dimensional interface to provide sensible information by stimulating the human senses beyond the functions performed by existing desktop computers, and a touch-generating (haptic) function as a multimodal-based human interface technology This provides a user-friendly environment comparable to the past.
이미 모바일 기기들은 공공 에티켓을 지킬 수 있도록 진동 기능이 필수로 되었을 뿐 아니라 전화번호나 문자 입력을 위해 화면을 터치할 때 진동을 느낄 수 있고 게임을 할 때에 진동 기능을 가미하여 사용자에게 보다 생생하고 실감난 현장감과 몰입감을 제공하고 있다.Already mobile devices have become vital to protect public etiquette, as well as being able to feel vibrations when touching the screen for phone number or text input, adding vibration to the game, I have a sense of presence and immersion.
진동 기능을 구현하기 위하여 보통 진동을 발생하는 진동발생기가 구비되는데, 다양한 진동발생기 중에서 전압을 가하면 압전 물질 내에 압력 변화로 인한 부피나 길이의 증감이 발생하는 압전역효과를 이용한 압전진동발생기가 널리 사용되고 있다.In order to realize a vibration function, a vibration generator which usually generates vibration is provided, and a piezoelectric vibration generator using a piezoelectric adverse effect in which a volume or a length is increased or decreased due to a pressure change in a piezoelectric material when a voltage is applied among various vibration generators is widely used .
이러한 압전진동발생기는 까다로운 소비자의 요구를 만족시키면서도 점차 얇고 소형화되어 가는 모바일 기기에 진동 기능을 구현하여야 하기 때문에 압전진동발생기의 소형화, 장시간 사용할 수 있는 고내구성, 높은 신뢰성과 다양한 진동 형태(Mode) 구현 및 진동체감 성능의 향상 등에 대한 요구가 증대되고 있다.These piezoelectric vibration generators are required to implement vibrating functions in mobile devices that are becoming increasingly thin and miniaturized while satisfying demanding customers. Therefore, miniaturization of piezoelectric vibration generators, high durability that can be used for a long time, high reliability and various vibration modes And improvement of the vibration bodily sensation performance.
한편, 압전진동발생기의 진동력을 향상시키기 위하여 중량체가 연결되는데, 한정된 공간에서 중량체의 체적을 최대한 증가시키기 위해서는 중량체와 압전소재와의 연결구조를 최적화할 필요가 있다.In order to increase the volume of the weight in a limited space, it is necessary to optimize the connection structure between the weight and the piezoelectric material.
그리고 진동 중에 또는 외부충격으로 인해 중량체가 설정치 이상 낙하하는 경우 압전소자에 과도한 응력이 작용하여 파손될 수 있는데 이러한 문제를 예방하기 위해서 중량체의 자중으로 발생하는 처짐을 일정 위치에서 잡아줄 수 있는 구조가 필요하다.If the weight falls more than the set value due to vibration or external impact, excessive stress may be applied to the piezoelectric element, which may damage the structure. In order to prevent such a problem, a structure capable of holding deflection caused by the weight of the weight need.
따라서, 중량체의 연결구조를 최적화하여 중량체의 체적 증가를 용이하게 하고 설계 자유도를 높일 수 있을 뿐만 아니라, 중량체가 일정치 이상 낙하하는 것을 방지함으로써 압전소자에 과도한 응력이 발생하여 파손되는 것을 방지할 수 있는 압전진동발생기에 대한 필요성이 대두되고 있다.Accordingly, it is possible to optimize the connection structure of the weight to facilitate the volume increase of the weight and to increase the degree of freedom of design, and also to prevent the weight from falling over a predetermined value, There is a need for a piezoelectric vibration generator that can be used in a variety of applications.
본 발명의 실시 예들은 중량체가 일정치 이상 낙하하는 것을 방지함으로써 압전소자에 과도한 응력이 발생하는 것을 방지하고자 한다.Embodiments of the present invention are intended to prevent excessive stress from being generated in the piezoelectric element by preventing the weight from dropping beyond a predetermined value.
또한, 압전소자가 충격에 의해 쉽게 파손되는 것을 예방하여 압전진동발생기의 신뢰성을 높이고자 한다.Further, it is intended to prevent the piezoelectric element from being easily broken by the impact, thereby enhancing the reliability of the piezoelectric vibration generator.
또한, 중량체 연결구조를 최적화하여 중량체의 체적 증가를 용이하게 함으로써 압전진동발생기의 진동 성능을 향상시키고자 한다.Further, it is intended to improve the vibration performance of the piezoelectric vibration generator by optimizing the weight connection structure to facilitate the increase of the volume of the weight.
또한, 중량체의 설계 자유도를 높임으로써 효율적인 공간 활용과 함께 소형화 요구에 능동적으로 대처하고자 한다.In addition, by increasing the degree of freedom of design of the weight, we will actively cope with the demand for miniaturization with efficient space utilization.
본 발명의 일 측면에 따르면, 베이스와, 상기 베이스에 진동 가능하게 연결되는 스프링부재와, 상기 스프링부재와 결합되어 진동을 발생시키는 압전부재와, 상기 스프링부재와 연결되는 중량체 및, 상기 베이스와 결합하여 내측에 상기 스프링부재와 압전부재 및 중량체를 수용하는 케이스를 포함하며, 상기 케이스 측벽의 적어도 일부가 내측으로 구부러짐을 특징으로 하는 압전진동발생기가 제공될 수 있다.According to one aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric actuator comprising: a base; a spring member vibratably connected to the base; a piezoelectric member coupled to the spring member to generate vibration; a weight connected to the spring member; And a case accommodating the spring member, the piezoelectric member and the weight in a combined state, wherein at least a part of the case side wall is bent inward.
본 발명에 의한 압전진동발생기는 상기 스프링부재의 일측으로부터 연장되고 내측으로 구부러져 상기 중량체에 연결되는 연장연결부를 더 포함하여 이루어질 수 있다.The piezoelectric vibration generator according to the present invention may further include an extension connection portion extending from one side of the spring member and bent inward to be connected to the weight member.
상기 케이스 측벽이 내측으로 구부러지는 부분은 상기 연장연결부와 간섭하지 않는 부분에 형성될 수 있다.The portion of the case side wall bent inward may be formed at a portion that does not interfere with the extending connection portion.
본 발명에 의한 압전진동발생기는 상기 연장연결부가 연결되도록 상기 중량체의 일측에 형성되는 적어도 하나의 결합홈을 더 포함하여 이루어질 수 있다.The piezoelectric vibration generator according to the present invention may further include at least one coupling groove formed at one side of the weight to connect the extended connection portion.
상기 케이스 측벽이 내측으로 구부러지는 부분은 상기 결합홈이 걸려 중량체의 낙하를 방지하도록 형성될 수 있다.The portion where the case side wall is bent inward can be formed to prevent the weight from hanging by engaging with the engaging groove.
상기 케이스 측벽이 내측으로 구부러지는 부분은 일측벽에 상기 연장연결부를 중심으로 양측에 2 개가 형성될 수 있다.And two portions of the case side wall bent inward may be formed on both sides of the extended connection portion on one side wall.
상기 연장연결부는 구부림을 용이하게 하도록 중공부를 포함하여 이루어질 수 있다.The extended connection may include a hollow to facilitate bending.
상기 케이스 측벽이 내측으로 구부러지는 부분은 상기 중공부와 대응되는 부분에 형성될 수 있다.And a portion of the case side wall bent inward may be formed at a portion corresponding to the hollow portion.
상기 케이스 측벽이 내측으로 구부러지는 부분은 상기 케이스의 길이 방향 양측 단부에 추가적으로 더 형성될 수 있다.The portion in which the case side wall is bent inward may be additionally formed at both ends in the longitudinal direction of the case.
본 발명의 실시 예들은 중량체가 일정치 이상 낙하하는 것을 방지함으로써 압전소자에 과도한 응력이 발생하는 것을 방지할 수 있다.Embodiments of the present invention can prevent excessive stress from being generated in the piezoelectric element by preventing the weight from falling more than a predetermined value.
또한, 압전소자가 충격에 의해 쉽게 파손되는 것을 예방하여 압전진동발생기의 신뢰성을 높일 수 있다.In addition, it is possible to prevent the piezoelectric element from being easily broken by the impact, thereby improving the reliability of the piezoelectric vibration generator.
또한, 중량체 연결구조를 최적화하여 중량체의 체적 증가를 용이하게 함으로써 압전진동발생기의 진동 성능을 향상시킬 수 있다.In addition, it is possible to improve the vibration performance of the piezoelectric vibration generator by making it easy to increase the volume of the weight by optimizing the weight connection structure.
또한, 중량체의 설계 자유도를 높임으로써 효율적인 공간 활용과 함께 소형화 요구에 능동적으로 대처할 수 있다.In addition, by increasing the design freedom of the weight, it is possible to actively cope with the demand for miniaturization with efficient space utilization.
도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 압전진동발생기의 사시도
도 2는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 압전진동발생기의 분해사시도
도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 압전진동발생기 케이스의 절개사시도
도 4는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 압전진동발생기의 절개부분사시도
도 5는 도 1의 A-A'단면도 및 B-B'단면도
도 6은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 압전진동발생기 스프링부재의 밴딩과정을 나타낸 사시도
도 7은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 압전진동발생기의 중량체, 스프링부재, 압전부재의 결합구조를 도시한 부분정면도
도 8은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 압전진동발생기의 사시도
도 9는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 압전진동발생기의 분해사시도
도 10은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 압전진동발생기의 절개부분사시도
도 11은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 압전진동발생기의 사시도
도 12는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 압전진동발생기의 분해사시도1 is a perspective view of a piezoelectric vibration generator according to a first embodiment of the present invention;
2 is an exploded perspective view of a piezoelectric vibration generator according to a first embodiment of the present invention.
3 is an exploded perspective view of the piezoelectric vibration generator case according to the first embodiment of the present invention.
4 is a cutaway perspective view of a piezoelectric vibration generator according to a first embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view taken along the line A-A 'and a cross-sectional view taken along the line B-B'
6 is a perspective view illustrating a bending process of the piezoelectric vibration generator spring member according to the first embodiment of the present invention.
7 is a partial front view showing a coupling structure of a weight member, a spring member, and a piezoelectric member of the piezoelectric vibration generator according to the first embodiment of the present invention
8 is a perspective view of a piezoelectric vibration generator according to a second embodiment of the present invention.
9 is an exploded perspective view of a piezoelectric vibration generator according to a second embodiment of the present invention.
10 is a cutaway perspective view of a piezoelectric vibration generator according to a second embodiment of the present invention.
11 is a perspective view of a piezoelectric vibration generator according to a third embodiment of the present invention.
12 is an exploded perspective view of a piezoelectric vibration generator according to a third embodiment of the present invention.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되는 실시 예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록, 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in other forms. Rather, the embodiments disclosed herein are provided so that the disclosure can be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. Like reference numerals designate like elements throughout the specification.
도 1은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 압전진동발생기의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 압전진동발생기의 분해사시도이며, 도 3은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 압전진동발생기 케이스의 절개사시도이다. 도 4는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 압전진동발생기의 절개부분사시도이고, 도 5는 도 1의 A-A'단면도 및 B-B'단면도이며, 도 6은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 압전진동발생기 스프링부재의 밴딩과정을 나타낸 사시도이다. 도 7은 본 발명의 제1 실시 예에 따른 압전진동발생기의 중량체, 스프링부재, 압전부재의 결합구조를 도시한 부분정면도이다.FIG. 1 is a perspective view of a piezoelectric vibration generator according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view of a piezoelectric vibration generator according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross- Fig. 2 is an exploded perspective view of the piezoelectric vibration generator case according to the present invention. FIG. 4 is a perspective view of a cut-away portion of a piezoelectric vibration generator according to a first embodiment of the present invention, FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line A-A ' FIG. 3 is a perspective view showing a bending process of the piezoelectric vibration generator spring member according to the first embodiment of the present invention. 7 is a partial front view showing a coupling structure of a weight member, a spring member, and a piezoelectric member of the piezoelectric vibration generator according to the first embodiment of the present invention.
도 1 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 압전진동발생기(100)는 크게 베이스(103)와, 상기 베이스(103)에 진동 가능하게 연결되는 스프링부재(120)와, 상기 스프링부재(120)와 결합되며, 전원의 인가에 따라 신장 및 수축변형을 반복하여 진동을 발생시키는 압전부재(110)와, 상기 압전부재(110)의 진동력을 증가시키기 위하여 상기 스프링부재(120)와 연결되는 중량체(130) 및, 상기 베이스(103)와 결합하여 내측에 상기 스프링부재(120)와 압전부재(110) 및 중량체(130)를 수용하는 케이스(101)를 포함하여 이루어질 수 있다.1 to 7, a
상기 압전부재(110)는 압전 세라믹스(piezo-electric ceramics)로 이루어질 수 있는데, 여기서 압전 세라믹스는 금속산화물의 미세분말을 적당량 혼합하여 1,000~1,500℃ 에서 소결하고 직류 고전압에서 처리한 무기(無機) 압전체를 총칭하는 것이다. 대표적인 예로 압전 세라믹스 중 하나인 티탄산바륨(BaTiO3)은 산화바륨(BaO)과 티타니아(TiO2)의 미세분말체를 혼합하여 약 1,400℃에서 소결하고, 분극처리를 한 세라믹스이다.The
이러한 압전 세라믹스는 미세한 결정립으로 되어 있는데 특히 대칭 중심이 없는 결정 구조로 되어 있으며, 응력을 받으면 전기 쌍극자(電氣雙極子)가 된다. 이 현상을 자발분극(自發分極)이라 부르며 이 자발분극으로 생긴 전기 쌍극자를 일정 방향으로 정렬되도록 분극 처리함으로써 압전 효과를 얻게 된다.These piezoelectric ceramics are in the form of fine crystal grains, especially those with a crystal structure without a center of symmetry, and when subjected to stress, become electrical dipoles. This phenomenon is referred to as spontaneous polarization and the piezoelectric effect is obtained by polarizing the electric dipole generated by this spontaneous polarization so as to be aligned in a certain direction.
압전 세라믹스는 전기적 에너지를 가하면 기계적 진동이 발생(압전역효과)하고 압력을 가하면 전기적 에너지가 발생(압전효과)하게 된다. 압전역효과를 이용한 압전진동발생기는 에너지 손실이 적고, 응답 속도가 빠르며, 소요 면적이 작고, 저 전력에서 구동할 수 있다는 장점을 가지며 진동의 크기와 속도를 자유자재로 구현할 수 있다.Piezoelectric ceramics generates mechanical vibration when it is applied with electric energy (piezo-electric effect) and generates electric energy (piezo-electric effect) when pressure is applied. Piezoelectric vibration generators using piezoelectric adverse effects have advantages of low energy loss, high response speed, small area, and low power driving, and can freely implement vibration amplitude and speed.
압전 세라믹스를 사용하여 상기 압전부재(110)를 형성하는 구조는 여러 가지 형태가 있을 수 있으며, 가장 많이 활용되고 있는 방식은 크게 두 가지로 나눌 수 있는데 비압전층(non-piezoelectric layer) 상에 압전 세라믹스를 적층하는 유니몰프(unimorph) 방식과 전극을 사이에 두고 위, 아래에 압전 세라믹스를 적층하는 바이몰프(bimorph) 방식이다.There are various types of structures for forming the
바이몰프 방식의 압전부재(110)는 동일한 전압 하에서 유니몰프 방식에 비해 큰 변위와 힘을 갖는다. 바이몰프 방식의 압전부재(110)는 전압을 가하면 한 소자는 길이방향으로 수축하고 다른 한 소자는 늘어나려는 성질 때문에 가해지는 전압에 따라서 위쪽 또는 아래쪽 방향으로 휘게 되면서 진동을 발생시킨다.The bimorph type
바이몰프 방식은 저전압에서도 일정 크기 이상의 변위량을 얻을 수 있으나, 변위량에 따른 발생력은 작다. 이에 반해 유니몰프 방식은 고전압을 인가하여도 큰 변위량을 얻을 수 없으며, 변위량에 따른 발생력이 크다. 하지만, 발생력이 큰 유니몰프 방식을 사용할 경우 바이몰프 방식보다 몇 배 이상의 인가전압이 필요하다. 따라서, 바이몰프 방식 압전부재(110)는 저전력 햅틱 진동자로서도 사용이 가능하다. In the Bimorph method, the amount of displacement over a certain size can be obtained even at a low voltage, but the generating force according to the amount of displacement is small. On the other hand, the unimorph method can not obtain a large amount of displacement even when a high voltage is applied. However, when the unimorph method having a large generating force is used, several times more voltage is required than the Bimorph method. Accordingly, the Bimorph
본 발명은 압전진동발생기(100)가 설치되는 기기와 그 용도 및 특성에 따라 상기 어느 방식의 압전부재(110)든 적용 가능하며, 특정 방식에 한정되는 것은 아니다.The present invention can be applied to any type of
이와 같이 구성된 상기 압전부재(110)는 전원의 인가에 따라 신장 및 수축변형을 반복하여 진동을 발생시킨다. 구체적으로, 상기 압전부재(110)에 펄스 입력을 가하게 되면 압전부재(110)는 위·아래로 입력에 따라 진동하게 되며 이때, 펄스의 주파수는 압전부재(110)의 진동 주파수를 조정해 주고 펄스의 크기는 진동의 크기를 제어한다. 따라서, 진동의 주파수와 크기를 독립적으로 쉽고 빠르게 제어할 수 있어 다양한 진동력을 생성할 수 있다는 장점이 있다.The
한편, 상기 압전부재(110)는 스프링부재(120)와 결합하여 함께 진동하도록 구성된다. 본 실시 예에서 상기 압전부재(110)는 소정 길이를 갖는 판형으로 형성될 수 있으며, 상기 스프링부재(120)는 상기 압전부재(110)에 대응되도록 역시 소정 길이를 갖는 판형으로 형성될 수 있다. 물론 상기 압전부재(110)와 스프링부재(120)의 형상은 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 형태를 갖도록 실시될 수 있다.Meanwhile, the
구체적으로 본 실시 예에서 상기 스프링부재(120)의 하부면에는 상기 압전부재(110)가 부착되어 상기 압전부재(110)가 상하로 굴곡하여 진동함에 따라 상기 스프링부재(120) 또한 함께 상하로 굴곡하여 진동하게 된다. Specifically, in this embodiment, the
이때, 상기 압전부재(110)와 상기 스프링부재(120)의 결합은 접착, 용접, 기구적인 코킹(calking) 등 여러 가지 방법이 사용될 수 있는데, 압전부재(110)와 스프링부재(120)의 재질 형상 결합구조 등에 따라 적합한 방식을 선택하여 사용할 수 있으며, 본 실시 예에서는 접착 방식을 적용하였다.At this time, various methods such as bonding, welding, mechanical calking, or the like may be used for coupling the
상기 스프링부재(120)의 상부에는 중량체(130)가 연결 고정될 수 있다. 여기서 상기 중량체(130)는 예를 들어 텅스텐(tungsten) 소결체와 같이 고비중체로 이루어지며, 상기 스프링부재(120)가 상기 압전부재(110)와 함께 상하로 굴곡하여 진동함에 따라 함께 진동하면서 진동 크기를 증대시키는 역할을 수행한다.The
상기 스프링부재(120)와 중량체(130)의 연결을 위하여 상기 스프링부재(120)는 상기 스프링부재(120)의 일측으로부터 연장되고 내측으로 구부러져 상기 중량체(130)에 연결되는 연장연결부(122)를 구비할 수 있다.The
도 6에 도시된 바와 같이, 상기 연장연결부(122)는 상기 스프링부재(120) 폭 방향 양측에서 외측을 향해 소정 길이 연장되는 사각 형태로 2개가 형성될 수 있는데 그 형상은 필요에 따라 다양하게 변형 실시할 수 있다.As shown in FIG. 6, the
그리고 밴딩(bending) 공정을 통해 상기 연장연결부(122)를 스프링부재(120)의 본체 쪽을 향하도록 다시 구부려 평평한 면을 형성하고 이 부분을 중량체(130)에 접합하여 결합시킬 수 있다.Then, the
이때, 상기 연장연결부(122)는 구부림을 용이하게 하도록 중앙부위가 절개된 중공부(123)가 형성될 수 있다. 상기 중공부(123)는 연장연결부(122)의 형태와 대응되는 형태 즉, 상기 연장연결부(122)가 도 6에서와 같이 사각형태로 이루어지는 경우 중공부(123) 또한 사각형태로 이루어지는 것이 바람직하다.At this time, the
이와 같이 상기 연장연결부(122)에 중공부(123)를 형성함으로써 밴딩 공정 시 연장연결부(122)를 용이하게 구부릴 수 있고, 그에 따라 중량체(130)와의 결합을 위한 형상으로 손쉽게 성형할 수 있는 장점이 있다.Since the
상기 스프링부재(120)와 결합하는 상기 중량체(130)의 대향되는 면에는 상기 연장연결부(122)가 결합되도록 결합홈(132)이 형성될 수 있다. 구체적으로 상기 연장연결부(122)는 상기 스프링부재(120)의 중앙 양측에 형성되어 밴딩되고, 상기 결합홈(132)은 상기 연장연결부(122)에 대응되도록 상기 중량체(130)의 대향되는 일면 중앙에 형성될 수 있다.An engaging
이때, 상기 결합홈(132)은 소정 깊이로 파여진 오목한 형상으로 형성될 수 있으며, 상기 연장연결부(122)는 용접에 의해 상기 결합홈(132) 상에 고정될 수 있다. 물론 접착이나 열융착 등 다른 결합방식이 적용되는 것도 가능하다.At this time, the
이와 같이 상기 스프링부재(120)에 밴딩 형성된 연장연결부(122)와 상기 중량체(130) 하부면에 형성된 결합홈(132)은 상기 스프링부재(120)와 중량체(130)를 서로 연결하여 고정시키는 역할을 수행한다.The
본 실시 예에 따른 압전진동발생기(100)는 상기 중량체(130)와 스프링부재(120)의 결합을 위한 구성이 중량체(130) 하부에만 위치하고, 결합을 위하여 별도의 추가적인 부재가 추가되지 않으므로 중량체(130)의 체적을 증가시키기 용이하고, 중량체(130)의 설계 자유도를 높일 수 있는 장점이 있다. 또한, 상기 중량체(130)의 체적을 증가시킴으로써 공진주파수를 저주파수로 낮추어 궁극적으로 진동 체감을 높일 수 있는 효과가 있다.In the
한편, 상기 스프링부재(120)는 길이 방향 양측 단부에 형성된 베이스연결부(124)를 통해 베이스(103)와 연결될 수 있다. Meanwhile, the
구체적으로 상기 베이스연결부(124)는 도 6에 도시된 바와 같이 상기 스프링부재(120)의 길이 방향 양측 단부를 소정 형상으로 밴딩하여 형성할 수 있으며, 이를 접착이나, 용접 및 열융착 방식 등 여하한 결합방법을 적용하여 상기 베이스(103) 상에 고정시킬 수 있다. 그리고, 상기 압전부재(110)에는 단자부(105)가 결합되어 필요한 전력 및 제어신호를 전달받을 수 있다.6, the
전술한 압전부재(110), 스프링부재(120) 및 중량체(130)는 압전부재(110)의 굴곡 변형에 따라 발생하는 진동력에 의해 진동하게 되는 진동자를 이룬다. 그리고 이러한 진동자는 스프링부재(120)에 형성된 베이스연결부(124)를 통해 베이스(103)와 케이스(101) 등으로 이루어진 고정자에 연결되어 진동 가능하게 지지될 수 있다.The
본 실시 예에서는 압전부재(110)의 하부에 진동자가 진동 가능하게 지지되도록 연결되는 베이스(103)가 구비되며, 상기 중량체(130) 상부로부터 케이스(101)가 덮여져 조립됨으로써 하나의 모듈로 이루어진 압전진동발생기(100)를 이루게 된다.In this embodiment, a base 103 connected to the vibrator so as to be vibratably supported is provided below the
물론, 압전진동발생기(100)가 적용되는 제품이나, 설치 공간 등을 고려하여 필요에 따라 상기 베이스(103)와 케이스(101)는 생략되고 제품 내부에 직접 압전부재(110)와 스프링부재(120) 및 중량체(130)가 진동 가능하게 연결 설치되는 경우도 상정할 수 있다.The
한편, 본 발명에 따른 압전진동발생기(100)는 상기 케이스(101) 측벽의 적어도 일부가 내측으로 구부러져 상기 중량체(130)가 일정 거리 이상 낙하하는 것을 방지하도록 구성될 수 있다.In the meantime, the
압전진동발생기(100)를 사용함에 있어서 가장 문제가 되는 점은 충격에 의해 압전부재(110)가 파손되는 것이다. 상기 중량체(130)는 설정된 범위 내에서 진동하여 진동력을 증폭시키는데, 중량체(130)가 설정된 범위 이상으로 움직이면 중량체(130) 자중에 의해 압전부재(110)에 충격이 가해지고, 그에 따라 압전부재(110)가 파손될 수 있다.The most problematic point in using the
즉, 진동 중에 또는 외부충격으로 인해 중량체(130)가 설정치 이상 낙하하는 경우 압전부재(110)에 과도한 응력이 작용하여 파손될 수 있는데 본 발명에 따른 압전진동발생기(100)는 케이스(101) 측벽에 내측으로 구부러지는 부분(이하 '밴딩부'라 한다, L)을 형성함으로써 중량체(130)의 자중으로 발생하는 처짐을 일정 위치에서 잡아주게 된다.That is, when the
상기 밴딩부(L)는 측벽의 일부를 잘라 이를 케이스 내측으로 구부려 형성할 수 있다. 상기 밴딩부(L)가 구부러지는 위치는 상기 중량체(130)가 상하로 진동하는 폭보다 아랫부분에 위치하므로, 중량체(130)의 통상적인 진동범위에서는 전혀 영향을 주지 않지만, 상기 중량체(130)가 외부 충격이나 과진동으로 설정 범위 이상 진동하는 경우에는 상기 밴딩부(L)에 걸려 더 이상 낙하하지 않음으로써 상기 압전부재(110)에 과도한 응력이 가해지는 문제가 방지될 수 있다.The bending portion L may be formed by cutting a part of the side wall and bending it to the inside of the case. The bending portion L is bent at a position lower than a width at which the
상기 밴딩부(L)의 폭은 중량체(130)와 부딪힐 때 가해지는 충격량을 견딜 수 있도록 충분한 강성을 확보할 수 있는 정도로 형성하는 것이 바람직하며, 도 1 내지 도 4에 도시된 것보다 길이 방향으로 더 길게 잘라서 구부려 형성하는 것도 가능하다.It is preferable that the width of the bending portion L is formed to such a degree that a sufficient rigidity can be secured to withstand the amount of impact applied when the
이때, 상기 밴딩부(L)는 상기 연장연결부(122)와 간섭하지 않는 부분에 형성되는 것이 바람직하며, 본 실시 예에서는 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이 상기 밴딩부(L)가 일측벽에 상기 연장연결부(122)를 중심으로 양측에 2 개가 형성되는 예가 제시되었다. 따라서, 본 실시 예에서 상기 밴딩부(L)는 케이스(101) 일측벽에 2개, 타측벽의 대응되는 위치에 2개, 총 4개가 형성된다.In this embodiment, the bending portion L is formed at a portion that does not interfere with the
이와 같이 상기 밴딩부(L)가 연장연결부(122)을 기준으로 양측에 2개가 형성되는 경우, 상기 밴딩부(L)는 상기 결합홈(132) 부분이 걸려 중량체의 낙하를 방지하도록 구성될 수 있다.When two bending portions L are formed on both sides with respect to the
도 8은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 압전진동발생기의 사시도이고, 도 9는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 압전진동발생기의 분해사시도이며, 도 10은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 압전진동발생기의 절개부분사시도이다.FIG. 8 is a perspective view of a piezoelectric vibration generator according to a second embodiment of the present invention, FIG. 9 is an exploded perspective view of a piezoelectric vibration generator according to a second embodiment of the present invention, FIG. 10 is a cross- And Fig.
도 8 내지 도 10을 참조하면, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 압전진동발생기(100)는 다른 구조는 제1 실시 예와 동일하지만, 상기 밴딩부(L)가 상기 중공부(123)와 대응되는 부분에 형성되는 점에서 서로 상이하다.8 to 10, the
전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 압전진동발생기(100)는 상기 스프링부재(120)에 연장연결부(122)가 형성되며, 상기 연장연결부(122)는 구부림을 용이하게 할 수 있도록 중공부(123)가 형성된다.As described above, in the
본 실시 예에서 상기 밴딩부(L)는 상기 중공부(123)와 대응되는 위치에 형성됨으로써 상기 연장연결부(122)와 서로 간섭하거나 충돌하지 않고 상기 중량체(130)가 설정 범위 이상 낙하하는 것을 방지하도록 적용될 수 있다.In the present embodiment, the bending portion L is formed at a position corresponding to the
여기서 상기 밴딩부(L)의 폭은 상기 중공부(123)의 폭보다 작게 형성되는 것이 바람직하며, 이를 통해 상기 밴딩부(L)가 상기 연장연결부(122)의 프레임에 걸리거나 충돌하지 않으면서 상기 중량체(130)를 제동하는 역할을 수행할 수 있다.It is preferable that the width of the bending portion L is smaller than the width of the
본 실시 예에서 상기 밴딩부(L)는 케이스(101) 일측벽 중앙부에 1개, 타측벽의 대칭되는 위치에 1개, 총 2개가 형성될 수 있다. 본 실시 예의 경우 상기 밴딩부(L)가 중량체(130)와 압전부재(110)의 최대 변위 지점에 형성됨으로써 좀더 효율적으로 압전부재(110)의 파손을 방지할 수 있는 장점이 있다.In the present embodiment, the bending portion L may be formed in the center portion of one side wall of the
도 11은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 압전진동발생기의 사시도이고, 도 12는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 압전진동발생기의 분해사시도이다.FIG. 11 is a perspective view of a piezoelectric vibration generator according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 12 is an exploded perspective view of a piezoelectric vibration generator according to a third embodiment of the present invention.
도 11과 도 12를 참조하면, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 압전진동발생기(100)는 다른 구조는 제1 실시 예와 동일하지만, 상기 밴딩부(L)가 상기 케이스(101)의 길이 방향 양측 단부에 추가적으로 더 형성될 수 있다.11 and 12, the
즉, 제1 실시 예와 같이 상기 밴딩부(L)가 케이스(101) 일측벽에 상기 연장연결부(122)를 중심으로 양측에 2 개가 형성되고, 추가적으로 케이스(101) 양측 단부에 각각 밴딩부(L)가 형성될 수 있다.That is, as in the first embodiment, the bending portion L is formed on one side wall of the
압전진동발생기(100)가 정지된 상태에서 상기 케이스(101) 양측 단부에 형성되는 밴딩부(L)와 중량체(130) 사이의 이격된 거리(높이)는 상기 연장연결부(122) 쪽에 형성되는 밴딩부(L)와 중량체(130) 사이의 이격된 거리(높이)와 동일하게 형성되는 것이 바람직하다. The distances (heights) between the bending portion L and the
즉, 상기 중량체(130)가 설정 범위 이상 낙하하는 경우 중량체(130)가 모든 밴딩부(L)에 동시에 걸리면서 낙하가 중지될 수 있도록 모든 밴딩부(L)가 중량체(130)로부터 동일한 거리만큼 이격되어 형성되는 것이다.That is, when the
본 실시 예에서 상기 밴딩부(L)는 일측벽에 4개, 타측벽 대응되는 위치에 4개, 총 8개가 형성될 수 있다.In the present embodiment, four bending portions L may be formed on one side wall, and four bending portions L may be formed on the other side wall corresponding to eight bending portions L.
지금까지 설명한 본 발명의 실시 예들에 따른 압전진동발생기에 따르면, 중량체가 일정치 이상 낙하하는 것을 방지함으로써 압전소자에 과도한 응력이 발생하는 것을 방지할 수 있고, 압전소자가 충격에 의해 쉽게 파손되는 것을 예방하여 압전진동발생기의 신뢰성을 높일 수 있으며, 중량체 연결구조를 최적화하여 중량체의 체적 증가를 용이하게 함으로써 압전진동발생기의 진동 성능을 향상시킬 수 있다. 또한, 중량체의 설계 자유도를 높임으로써 효율적인 공간 활용과 함께 소형화 요구에 능동적으로 대처할 수 있다.According to the piezoelectric vibration generator according to the embodiments of the present invention described so far, it is possible to prevent excessive stress from being generated in the piezoelectric element by preventing the weight from falling more than a predetermined value, and it is possible to prevent the piezoelectric element from being easily damaged It is possible to improve the reliability of the piezoelectric vibration generator and to optimize the weight connection structure so as to easily increase the volume of the weight, thereby improving the vibration performance of the piezoelectric vibration generator. In addition, by increasing the design freedom of the weight, it is possible to actively cope with the demand for miniaturization with efficient space utilization.
상기에서는 본 발명의 일 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 당업자는 이하에서 서술하는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경 실시할 수 있을 것이다. 그러므로 변형된 실시가 기본적으로 본 발명의 특허청구범위의 구성요소를 포함한다면 모두 본 발명의 기술적 범주에 포함된다고 보아야 한다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention as defined in the appended claims. You can do it. It is therefore to be understood that the modified embodiments are included in the technical scope of the present invention if they basically include elements of the claims of the present invention.
100: 압전진동발생기 101: 케이스
103: 베이스 110: 압전부재
120: 스프링부재 122: 연장연결부
123: 중공부 124: 베이스연결부
130: 중량체 132: 결합홈100: piezoelectric vibration generator 101: case
103: Base 110: Piezoelectric member
120: spring member 122: extension connection
123: hollow part 124: base connection part
130: weight body 132: engaging groove
Claims (9)
상기 베이스에 진동 가능하게 연결되는 스프링부재;
상기 스프링부재와 결합되어 진동을 발생시키는 압전부재;
상기 스프링부재와 연결되는 중량체; 및
상기 베이스와 결합하여 내측에 상기 스프링부재와 압전부재 및 중량체를 수용하는 케이스;를 포함하며,
상기 케이스 측벽의 적어도 일부가 내측으로 구부러짐으로써 형성되며, 상기 중량체가 설정 범위 이상 진동하는 것을 방지하는 밴딩부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 압전진동발생기.Base;
A spring member vibratably connected to the base;
A piezoelectric member coupled to the spring member to generate vibration;
A weight connected to the spring member; And
And a case coupled to the base and accommodating the spring member, the piezoelectric member, and the weight inward,
And a bending portion formed by bending at least a part of the side wall of the case inward to prevent the weight from vibrating over a set range.
상기 스프링부재의 일측으로부터 연장되고 내측으로 구부러져 상기 중량체에 연결되는 연장연결부를 더 포함하는 압전진동발생기.The method according to claim 1,
Further comprising an elongate connection portion extending from one side of the spring member and bent inward to connect to the weight.
상기 밴딩부는 상기 연장연결부와 간섭하지 않는 부분에 형성되는 것을 특징으로 하는 압전진동발생기.3. The method of claim 2,
And the bending portion is formed at a portion that does not interfere with the extending connection portion.
상기 연장연결부가 연결되도록 상기 중량체의 일측에 형성되는 적어도 하나의 결합홈을 더 포함하는 압전진동발생기.3. The method of claim 2,
And at least one coupling groove formed on one side of the weight to connect the extended connection portion.
상기 밴딩부는 상기 결합홈이 걸려 중량체의 낙하를 방지하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 압전진동발생기.5. The method of claim 4,
Wherein the bending portion is formed to engage with the engaging groove to prevent the weight from dropping.
상기 밴딩부는 일측벽에 상기 연장연결부를 중심으로 양측에 2 개가 형성되는 것을 특징으로 하는 압전진동발생기.6. The method of claim 5,
And two bending portions are formed on one side wall of the piezoelectric vibrating portion at both sides of the extended connection portion.
상기 연장연결부는 구부림을 용이하게 하도록 중공부를 포함하는 압전진동발생기.3. The method of claim 2,
And the extended connection portion includes a hollow portion to facilitate bending.
상기 밴딩부는 상기 중공부와 대응되는 부분에 형성되는 것을 특징으로 하는 압전진동발생기.8. The method of claim 7,
And the bending portion is formed at a portion corresponding to the hollow portion.
상기 밴딩부는 상기 케이스의 길이 방향 양측 단부에 추가적으로 더 형성되는 것을 특징으로 하는 압전진동발생기.
9. The method according to claim 6 or 8,
And the bending portion is further formed at both longitudinal ends of the case.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020130143530A KR101568773B1 (en) | 2013-11-25 | 2013-11-25 | piezo-electric vibrator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020130143530A KR101568773B1 (en) | 2013-11-25 | 2013-11-25 | piezo-electric vibrator |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20150059886A KR20150059886A (en) | 2015-06-03 |
KR101568773B1 true KR101568773B1 (en) | 2015-11-12 |
Family
ID=53504642
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020130143530A KR101568773B1 (en) | 2013-11-25 | 2013-11-25 | piezo-electric vibrator |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101568773B1 (en) |
-
2013
- 2013-11-25 KR KR1020130143530A patent/KR101568773B1/en active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20150059886A (en) | 2015-06-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7701119B2 (en) | Piezoelectric actuator | |
JP5409925B2 (en) | Piezoelectric vibration device and portable terminal using the same | |
US9117999B2 (en) | Piezoelectric vibration module | |
JP2018019065A (en) | Piezoelectric vibration device and electronic apparatus including the same | |
JP2011091719A (en) | Flexural oscillating actuator | |
US9636709B2 (en) | Ultrasonic generation device | |
US9893655B2 (en) | Piezoelectric power generation apparatus | |
KR101354893B1 (en) | Piezo vibration module | |
KR20130030704A (en) | Transducer and transducer module | |
KR101454071B1 (en) | Piezo vibration module | |
KR20120078529A (en) | Piezoelectric actuator | |
JP2006333695A (en) | Piezoelectric vibrator and ultrasonic motor provided with same | |
JP2016051894A (en) | Piezoelectric element and piezoelectric vibration module | |
KR102138323B1 (en) | Vibarator | |
KR101409512B1 (en) | Piezo vibration module | |
KR20130125169A (en) | Piezo vibration module | |
KR101544834B1 (en) | piezo-electric vibrator | |
KR101568773B1 (en) | piezo-electric vibrator | |
KR101010738B1 (en) | Piezoelectric speaker | |
KR101588922B1 (en) | Vibrator including a piezo actuator | |
EP2555175A1 (en) | Transducer module | |
CN103444207A (en) | Oscillator and electronic device | |
US20130101145A1 (en) | Transducer module | |
KR20140073182A (en) | Piezoelectric vibration module | |
JP5947006B2 (en) | Piezoelectric actuator |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180918 Year of fee payment: 4 |