KR101541124B1

KR101541124B1 - 진공창 제조 설비의 봉구 장치

Info

Publication number: KR101541124B1
Application number: KR1020130102019A
Authority: KR
Inventors: 최재성; 신동열
Original assignee: 주식회사 좋은기술
Priority date: 2013-08-27
Filing date: 2013-08-27
Publication date: 2015-08-06
Also published as: KR20150024731A

Abstract

진공창 제조 설비용 봉구 장치에 관해 기술된다. 봉구 장치:는 진공창이 위치하는 진공 영역에 연결되는 진공 하우징; 상기 진공 하우징 내에 위치하는 것으로 상기 진공창으로 공급되는 다수의 덮개를 수용하는 카트리지; 상기 카트리지로부터 공급된 덮개를 상기 진공창의 배기공으로 이송하는 덮개 이송 장치; 그리고 자력에 의해 상기 카트리지로부터 덮개를 픽업하여 상기 덮개 이송 장치에 안착시키는 덮개 픽업 장치; 를 구비한다.

Description

진공창 제조 설비의 봉구 장치{Sealing apparatus of manufacturing equipment for vacuum window}

본 발명은 진공창 제조 설비의 봉구 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공창용 유리판에 형성된 배기공을 덮개로 덮는 진공창 제조 설비의 봉구 장치에 관한 것이다.

일반적으로 진공창(Vacuum window)이란, 두 매의 유리판(상판과 하판) 사이에 진공 갭이 형성되어 있는 구조의 유리창을 지칭한다. 이러한 진공 갭은 외부로부터 전달되는 소음과 진동을 차단하는 것은 물론, 외부로부터 전달되는 열 에너지를 차단함으로써 단열성을 증대시킨다.

종래의 진공창은, 상기 진공 갭을 형성하는 두 매의 유리판의 가장자리가 플리트 글래스(frit glass) 등으로 된 실링재에 의해 마감되어 그 내부에 밀폐된 공간을 갖추게 된다.

두 매의 유리판 중의 하나인 하판에는 상기 공간으로 연결되는 배기공(排氣孔)이 형성되고, 배기공에는 배기를 위한 진공 호스가 연결되는 짧은 관상(管狀) 팁(tip)이 설치된다. 팁을 통해 진공 호스에 의한 배기가 완료된 후에는 열적 용융 및 절단에 의해 상기 팁을 짧게 잘라서 봉지(封止)함으로써 상기 공간이 진공 상태를 유지하도록 밀봉한다.

상기와 같은 종래 진공창에서, 진공 배기에 사용된 팁의 잔류 부분이 하판의 표면으로부터 돌출된 상태로 존재하여 외관상 보기 좋지 않을 뿐 아니라 돌출된 잔류 팁이 다른 물체와의 간섭 또는 충돌에 의해 손상됨으로써 진공창의 내부 진공 상태가 깨어질 수 있다.

또한, 상기 팁과 진공 호스를 이용한 진공 배기는 배기 관로 상에서의 손실 등에 의해 진공도를 일정 수준이상으로 높이는데 한계가 있다.

그리고, 진공창을 제조함에 있어서, 고온과 고진공의 환경 내에서도 거대한 유리판을 안전하게 운반할 수 있는 이송 구조물, 예를 들어 유리판 이송용 파레트(pallet)가 없는 관계로 공정의 자동화 및 라인화가 불가능하였다. 결과적으로 종래에는 진공창의 진공화를 위한 상기한 바와 같은 일련의 과정들이 수작업에 의존할 수 밖에 없었어 생산성이 매우 낮았다.

KR

10-1198343

B1

본 발명은 진공창에 대한 진공화 공정을 자동화할 수 있는 진공창 제조 설비의 봉구 장치를 제공한다.

또한 본 발명은 진공창에 대한 진공화 공정이 자동 라인화가 가능하도록 함으로써 진공창 제조 생산성을 크게 향상할 수 있는 진공창 제조 설비의 봉구장치를 제공한다.

본 발명에 따른 봉구 장치:는

진공창이 위치하는 진공 영역에 연결되는 진공 하우징;

상기 진공 하우징 내에 위치하는 것으로 상기 진공창으로 공급되는 덮개를 수용하는 카트리지;

상기 카트리지로부터 공급된 덮개를 상기 진공창의 배기공으로 이송하는 덮개 이송 장치; 그리고

자력에 의해 상기 카트리지로부터 덮개를 픽업하여 상기 덮개 공급장치에 안착시키는 덮개 픽업 장치; 를 구비한다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 덮개 픽업 장치: 는 상기 카트리지로 부터 덮개를 자력에 의해 픽업하는 픽업 헤드; 와 상기 픽업 헤드를 상기 덮개 이송 장치로 이송하는 헤드 이송부; 를 구비한다.

본 발명의 구체적인 실시 예에 따르면, 상기 픽업 헤드:는 상기 덮개를 자력에 의해 홀딩하는 덮개 홀더; 덮개 홀더 내에서 왕복 이송하여 자력에 의해 상기 덮개를 상기 홀더에 고정하거나 분리시키는 마그네틱 헤드; 상기 마그네틱 헤드를 작동시키는 액튜에이터;를 포함한다.

본 발명의 구체적인 실시 예에 따르면, 상기 액튜에이터는 상기 마그네틱 헤드에 연결되는 솔레노이드이다.

본 발명의 헤드 이송부:는 상기 카트리지와 헤드 이송부 사이를 이송하는 것으로 싱기 픽업 헤드가 장착되는 레일 장치를 구비한다.

본 발명의 다른 실시 예에 따르면, 상기 덮개 이송 장치:는 상기 픽업 헤드로부터 이송되는 덮개를 수용하는 덮개 안착 헤드; 와 상기 덮개 안착 헤드를 상기 배기공으로 이송하는 엘리베이터;를 구비한다.

본 발명에 따른 진공창 제조 설비의 봉구 장치는, 진공창용 유리판에 형성된 배기공을 덮개로 덮어 밀봉시켜서 공정을 자동화할 수 있고, 생산성을 크게 향상시킬 수 있으며, 장치의 정밀도를 높일 수 있게 하는 효과를 낳는다.

도1은 본 발명에 따른 봉구 장치에 의해 봉구 또는 봉지가 이루어지는 진공창의 단면 구조를 예시한다.
도2는 진공창의 배기공을 덮개로 밀봉하는 방법을 설명하는 도면이다.
도3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 봉구 장치의 부분 분해 사시도이다.
도4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 봉구 장치에 있어서, 진공 하우징 및 그 주변 요소의 사시도이다.
도5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 봉구 장치의 정면도이다.
도6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 봉구 장치의 일 측면도이다.
도7은 도3의 "B" 부분의 확대도이다.
도8은 도3의 "C" 부분의 확대도이다.
도9는 본 발명에 따른 봉구 장치에 적용되는 덮개 안착 헤드의 발췌 사시도이다.
도10은 본 발명에 따른 봉구 장치에 적용되는 덮개 픽업 장치의 개략적 발췌 사시도이다.
도11은 도10에 도시된 덮개 픽업 장치의 개략적 측면도이다.
도12와 도13은 도10에 도시된 덮개 픽업 장치의 세부 요소와 동작을 설명하는 개략적 부분 측단면도이다

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 여러 실시 예들을 상세히 설명하기로 한다.

본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시 예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시 예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.

명세서 전체에 걸쳐서, 막, 영역 또는 기판 등과 같은 하나의 구성요소가 다른 구성요소 "상에", "연결되어", "적층되어" 또는 "커플링되어" 위치한다고 언급할 때는, 상기 하나의 구성요소가 직접적으로 다른 구성요소 "상에", "연결되어", "적층되어" 또는 "커플링되어" 접촉하거나, 그 사이에 개재되는 또 다른 구성요소들이 존재할 수 있다고 해석될 수 있다. 반면에, 하나의 구성요소가 다른 구성요소 "직접적으로 상에", "직접 연결되어", 또는 "직접 커플링되어" 위치한다고 언급할 때는, 그 사이에 개재되는 다른 구성요소들이 존재하지 않는다고 해석된다. 동일한 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 용어 "및/또는"은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.

본 명세서에서 "상의" 또는 "위의" 및 "하의" 또는 "아래의"와 같은 상대적인 용어들은 도면들에서 도해되는 것처럼 다른 요소들에 대한 어떤 요소들의 관계를 기술하기 위해 여기에서 사용될 수 있다. 상대적 용어들은 도면들에서 묘사되는 방향에 추가하여 소자의 다른 방향들을 포함하는 것을 의도한다고 이해될 수 있다. 예를 들어, 도면들에서 소자가 뒤집어 진다면(turned over), 다른 요소들의 상부의 면 상에 존재하는 것으로 묘사되는 요소들은 상기 다른 요소들의 하부의 면 상에 방향을 가지게 된다. 그러므로, 예로써 든 "상의"라는 용어는, 도면의 특정한 방향에 의존하여 "하의" 및 "상의" 방향 모두를 포함할 수 있다. 소자가 다른 방향으로 향한다면(다른 방향에 대하여 90도 회전), 본 명세서에 사용되는 상대적인 설명들은 이에 따라 해석될 수 있다.

본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시 예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다" 및/또는 "포함하는"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.

이하, 본 발명에 따른 실시 예들은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 예시적 실시 예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 실시 예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.

도1은 본 발명에 따른 봉구 장치에 의해 봉구 또는 봉지가 이루어지는 진공창(1)의 단면 구조를 예시한다.

도1에 도시된 바와 같이, 진공창(1)은 두 매의 유리판(1a, 1b)과 이들 사이의 공간 또는 갭(1f)을 유지하기 위한 스페이서로의 역할을 하는 필러(1c), 그리고 이들 사이의 둘레를 밀봉하는 플릿실 등에 의한 실링부(1d)를 구비한다. 상기 진공창(1)에는 배기공(1e)이 형성되어 있으며, 이 것은 덮개(5)에 의해 봉지 또는 봉구된다. 덮개(5) 는 메탈 베이스(5a)와 그 상면의 접착층(5b)를 포함한다. 접착층(5b)은 플릿실이라 불리우는 플릿 글래스 등의 실링재 등에 의해 형성될 수 있다.

도2는 상기 덮개(5)로 진공창(1)의 하부측 유리판(1b, 이하 편의상 하판)에 형성된 배기공(1e)를 밀봉하는 상태를 보인다. 덮개(5)는 봉구 장치(100)에 의해 공급되며, 구체적으로 봉구 장치(100)의 한 요소인 헤드 엘리베이터(60)에 의해 승하강하는 안착 헤드(50)에 의해 하판(1b)에 공급되며, 이에 대해서는 후에 상세히 설명된다.

상기 덮개(5)와 안착 헤드(50)는, 상기 진공창(1)과 마찬가지로, 진공 상태를 유지하는 봉구 장치(100)의 진공 하우징(10) 내에 위치하며, 상기 엘리베이터(60)의 구동원은 진공 하우징(10)의 외부에 설치되며, 이에 대해서 후에 상세히 설명된다.

도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 진공창 제조 설비의 봉구 장치(100)의 전체 시스템의 부분 분해 사시도이며, 도 4는 조립된 상태의 진공 하우징(10)을 확대 사시도이며, 도5는 그 정면도 그리고 도 6은 일 측면도(도면에서는 우측면도)이다.

먼저, 도 3 내지 도7을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예들에 따른 진공창 제조 설비의 봉구 장치(100)는, 덮개(5)의 이송이 진행되는 진공 챔버(A)를 가지는 진공 하우징(10)과, 진공 하우징(10) 내로 덮개(5)를 공급하는 카트리지(20), 카트리지(20)로부터 공급된 덮개(5)를 이송하는 덮개 이송 장치(40), 상기 덮개(5)를 가 안착되는 안착 헤드(50)를 구비한다. 상기 진공 하우징(10)의 상부에는 진공창(1)이 위치하는 진공 경로로 연결되는 덮개 공급 덕트(15)가 마련되어 있고 상기 안착 헤드(50)의 이의 직하부에 마련되어 승하강한다. 또한, 상기 봉구 장치(100)는 진공 하우징(10)의 바깥에 위치하여 상기 카트리지(20)를 승하강시키는 카트리지 엘리베이터(30), 상기 안착 헤드(50)를 상기 덕트(15)를 통해 승하강 시켜 상기 진공창(1)의 하판(1b)으로 덮개(5)를 공급하는 헤드 엘리베이터(60)를 포함한다.

상기 진공 하우징(10)의 일 측에 개폐문(11)이 설치되어 부품의 보충 및 교체를 가능하게 할 수 있고, 상기 개폐문(11)과 상기 진공 하우징(10)의 측면에는 진공 챔버(A) 내부를 확인할 수 있는 하나 또는 복수의 확인창(12, 13)이 설치될 수 있다. 이러한 확인창(12, 13)은 진공 챔버(A) 내부의 상황을 육안으로 확인하기 위한 것으로서 설치 위치 및 설치 개수에 제한되지 않는다.

또한, 상기 카트리지(20)는, 상기 진공 하우징(10) 내부, 즉 진공 챔버(A)에 설치되는 것으로서, 복수개의 덮개(5)들을 적층 상태로 수용하고, 상기 진공 하우징(10)의 외부에 설치된 상기 카트리지 엘리베이터(30)에 의해 점진적으로 또는 단계적으로 승하강할 수 있는 구조물일 수 있다.

상기와 같은 카트리지 엘리베이터(30)는, 카트리지(20)의 승하강을 위한 동력을 제공하는 회전 모터(33) 및 이에 의해 회전하는 이송 스크류(32), 이송 스크류(32)에 결합되어 승하강하는 가동대(35), 가동대(35)의 운동을 안내하는 가이드 부재(34) 그리고 상기 모터(33)와 이송 스크류(32) 등 전체 구조물을 지탱하는 고정 프레임(31)을 포함한다. 상기 이송 스크류(32)는 회전 운동을 직선 왕복운동으로 변환하는 요소로서 일반적인 기계장치에 흔히 사용되는 부품이다. 상기 고정 프레임(31)은 진공 하우징(10)의 외부에 고정되며, 상기 고정 프레임(31)에는 설치되는 가이드부재(34)에는 상기 이송 스크류(32)의 회전에 의한 가동대(35)의 승하강을 안내한다. 한편, 상기 가동대(35)에는 상기 카트리지(20)까지 연장되는 연장막대(36)가 설치된다. 상기 연장막대(36)는 진공 챔버(A)의 내부로 연장되며, 가동대(35)와 상기 진공 하우징(10) 사이에는 연장막대(36)를 에워싸서 외부로부터 상기 진공 챔버(A)를 격리하는 진공 기밀유지용 벨로우즈관(37)이 설치될 수 있다.

상기 카트리지 엘리베이터(30)의 작동 과정을 살펴 보면 다음과 같다. 먼저, 상기 회전 모터(33)가 일정한 각도씩 단계적으로 회전하면, 이송 스크류(32)에 나사 결합되어 있는 상기 가동대(35)가 상기 이송 스크류(32)가 회전한 각도에 상응하는 거리 또는 높이만큼 상기 가이드부재(34)를 따라 상승한다. 이에 따라 상기 카트리지(20)에 적층된 덮개(5)가 상승하게 된다. 이때에 최상층의 덮개(5)의 위치는 후술하는 덮개 픽업 장치(44)에 의한 취출 위치를 항상 유지하게 되는데, 최상층에 위치해 있는 하나의 덮개(5)가 상기 덮개 픽업 장치(44)에 의해 취출되면, 상기 회전 모터(33)가 한 단계 회전하여 그 직하부의 덮개(5)가 상승하여 최상층에 위치하게 되며, 이렇게 최상층으로 상승된 덮개(5)는 취출 가능한 상태로 대기하게 된다.

한편, 도7에 도시된 바와 같이, 상기 카트리지 엘리베이터(30)는, 상기 고정 프레임(31)에 설치되어서 상기 가동대(35)에 설치된 감지돌기(35a)를 감지하는 리미트 광센서(38)를 더 포함할 수 있다. 이러한 리미트 광센서(38)를 이용하여 상기 카트리지(20)의 상승 높이를 감지하거나 최상 위치나 최하 위치 등을 감지함으로써, 작업자가 정상적인 작업 상태를 확인할 수 있거나 상기 덮개(5)를 보충해야 할 시기를 작업자에게 알려주는 것이 가능하게 된다.

도 1 내지 도 6로 돌아가서, 상기 진공 하우징(10)의 내부, 즉 진공 챔버(A)에 설치되는 덮개 이송 장치(40)는, 상기 카트리지(20)로부터 덮개(5)를 낱개씩 덮개 안착 헤드(50)로 이송하는 장치이다. 이러한 덮개 이송 장치(40)는 후술하는 마그네틱 그립퍼 또는 덮개 픽업 장치(44)와 이를 일방향으로 왕복 이송하는 레일 장치를 포함할 수 있다. 레일 장치는 덮개 픽업 장치(44)를 지지하는 이동대(47), 그리고 이동대(47)의 운동을 지지하는 이송 레일(46), 그리고 이동대(47)를 작동하는 액튜에이터(45)를 포함한다. 이 액튜에이터(45)에는 공압 또는 유압 실린더 등이 포함될 수 있으며, 그러나 이들 외에 왕복 운동이 가능한 여타의 다른 장치의 적용도 가능하다.

상기 덮개 이송 장치(40)에서 상기 덮개 픽업 장치(44)는, 도5에 도시된 바와 같이, 상기 카트리지(20)로부터 하나의 덮개(5)를 취출하여 홀딩 또는 파지하고, 이에 이어 상기 액튜에이터(45)의 작동에 의해 덮개 안착 헤드(50)로 이동되며, 이 상태에서 상기 덮개 픽업 장치(44)는 홀딩하고 있는 덮개(5)를 덮개 안착 헤드(50)에 올려 놓게 된다.

이상과 같은 구조에 따르면, 상기 진공 하우징(10) 내부에는 실린더나 모터 등의 구동 기구가 설치되지 않고, 진공 하우징(10)의 외부에 설치되므로 외부 이물질로부터 상기 덮개(5)를 청정하게 보호할 수 있고, 또한 상기 진공 하우징(10)의 내부 진공 챔버(A)를 고진공 상태로 유지시킬 수 있다.

도 9은 전술한 덮개 안착 헤드(50)를 보이는 사시도이다. 상기 덮개 안착 헤드(50)는, 상기 덮개 이송 장치(40)로부터 덮개(5)를 인계 받는 것으로서, 헤드 몸체(51)와, 상기 헤드 몸체(51)에 설치되고, 상기 덮개(5)를 가열하는 히터(52) 및 상기 헤드 몸체(51)에 설치되는 탄성 스프링(53)과 연결되어 외력에 의해 상기 덮개(5) 하방으로 탄성 후진될 수 있고, 상기 덮개(5)를 안내하는 안내홈(54a)이 설치되는 탄성 가이드(54)를 포함할 수 있다.

따라서, 상기 덮개(5)는 상기 탄성 가이드(54)의 안내홈(54a)에 의해 안내되어 정렬될 수 있고, 이어서, 상기 히터(52)에 의해 상기 덮개 안착 헤드(50)에 안착된 덮개(5)는 고온으로 미리 예열될 수 있으며, 상기 덮개 안착 헤드(50)가 상기 덮개(5)를 안착한 상태에서 상기 헤드 엘리베이터(60)에 의해 상기 하판(1b) 방향으로 상승하면, 먼저 상기 탄성 가이드(54)가 상기 유리판(1)과 충돌하면서 탄성 후진되면서 상기 덮개(5)가 정렬된 상태에서 정확한 배기공(1e)의 위치에 정밀하게 부착 고정될 수 있다.

한편, 도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 헤드 엘리베이터(60)는, 상기 덮개 안착 헤드(50)를 상기 유리판(1)의 배기공(H)까지 승강시키는 장치로서, 상기 진공실(10)에 고정되는 고정 프레임(61)과, 상기 고정 프레임(61)에 설치되는 나사봉(62)과, 상기 나사봉(62)을 회전시키는 회전 모터(63)와, 상기 고정 프레임(61)에 설치되는 가이드부재(64)와, 상기 나사봉(62)에 나사 관통되고, 상기 가이드부재(64)를 따라 승하강되는 가동대(65)와, 상기 가동대(65)에 설치되고, 상기 가동대(65)에서 상기 덮개 안착 헤드(50)까지 연장되는 연장되어 설치되는 연장막대(66) 및 상기 연장막대(66)를 둘러싸고, 가동대(65)와 상기 진공실(10) 사이에 설치되는 벨로우즈관(67)을 포함할 수 있다.

따라서, 본 발명에서 진공창(1)에 덮개(5)를 공급하는 본 발명에 따른 덮개 이송 장치는 상기 덮개 안착 헤드(50)와 이를 이송하는 헤드 엘리베이터(60)를 포함한다.

덮개 이송 장치의 한 요소인 헤드 엘리베이터(60)의 작동 과정을 설명하면, 다음과 같다. 먼저, 상기 회전 모터(63)가 회전되면 상기 이송 스크류(62)가 회전되면서 상기 가동대(65)가 상기 가이드부재(64)를 따라 상승하여 상기 덮개(5)가 안착된 상기 덮개 안착 헤드(50)를 상기 진공창(1)의 하판(1b) 방향으로 상승시킬 수 있다. 이어서, 상기 덮개(5)가 상기 하판(1b)의 배기공(1e)에 접촉되면 다시 상기 회전 모터(63)를 역회전시켜서 상기 가동대(65)를 하강시킴으로써 다음 덮개(5)를 위해 대기할 수 있다.

한편, 본 발명에 따른 봉구 장치(100)는, 도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같은 위치 조절 장치(70)를 포함할 수 있다. 위치 조절 장치(70)는 상기 연장막대(66)와 상기 덮개 안착 헤드(50) 사이에 설치되고, 상기 덮개 안착 헤드(50)를 덮개 안착 헤드(50)의 왕복 운동방향에 직교하는 평면에서의 X축 방향 및 X축에 직교하는 Y축 방향으로 이동시킨다.

상기 위치 조절 장치(70)는, 상기 고정 프레임(61)에 설치되는 Y축 레일(71)을 따라 캠(C)을 회전시키는 Y축 이송 모터(72)에 의해 Y축 방향으로 이동되는 Y축 가동대(73) 및 상기 Y축 가동대(73)에 설치되는 X축 레일(74)을 따라 X축 이송 모터(75)에 의해 X축 방향으로 이동되고, 상기 연장막대(66)와 연결되는 X축 가동대(76)를 포함할 수 있다.

따라서, 상기 X축 이송 모터(75) 및 상기 Y축 이송 모터(72)를 적절하게 회전시켜서 상기 연장막대(66)와 연결된 덮개 안착 헤드(50)를 X축 방향 및 Y축 방향으로 정밀하게 이동시켜서 상기 하판(1b)의 배기공(1e) 위치와 정확하게 일치시킬 수 있다. 이러한 위치 조절 장치(70)는, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 Y축 가동대(73)에 설치되어 있는 감지돌기(77)의 복수 위치를 감지하는 포토인터럽터의 일종인 감지리미트 광센서(78)를 복 수개 포함할 수 있다. 이러한 리미트 광센서(78)는 상기 고정 프레임(61)에 설치되며, 포토인터럽터 외에 마그네틱 인터럽터 등의 다양한 위치 검출용 센서가 적용될 수 있다. 이러한 위치 겸출용 센서, 예를 들어 상기 리미트 광센서(78)을 이용하여 상기 연장막대(66)와 연결된 덮개 안착 헤드(50)의 위치를 감지함으로써 작업자가 상기 덮개 안착 헤드(50)의 정밀한 조정이 가능하다.

이하에서는 도10를 참조하면서 전술한 덮개 픽업 장치(44)에 대해 살펴 본다.

도10은 덥개 픽업 장치(44)의 개략적 외관 사시도이며, 도11은 그 측면도이며, 도12는 부분 측단면도이다. 도10 내지 도12를 참조하면, 솔레노이드(441)는 메인 브라켓(444)에 의해 지지되며, 이 메인 브라켓(444)은 전술한 이동대(47)에 결합되어 카트리지(20)와 안착 헤드(50)의 사이를 왕복 이송한다.

한편, 상기 솔레노이드(441)는 상기 메인 브라켓(444)에 대해 상하 슬라이딩이 가능하게 설치되며, 구체적으로 솔레노이드(441)의 몸체 중간으로부터 선단부(도면에서 하부)까지 슬리이브(445)가 씌워져 있으며, 이 슬리이브(445)는 메인 브라켓(444)에 설치된 원통형 미끄럼 부싱(Bs) 내에서 슬라이딩 운동할 수 있다.

상기 솔레노이드(441)의 후단(도면에서 상단)에는 서브 브라켓(442)이 결합되어 있으며, 서브 브라켓(442)의 일단에는 상기 메인 브라켓(444)에 형성되는 슬라이딩 홀(444a)에 상기 솔레노이드의 슬라이딩 운동방향에 나란한 방향으로 왕복 운동이 가능하게 설치되는 회전 방지핀(443)이 결합되어 있다. 따라서, 상기 솔레노이드(441)는 상기 슬리이브(445)와 서브 브라켓(442)와 함께 상기 메인 브라켓(444)에 대해 회전이 없이 승하강이 가능하도록 결합된다.

상기 슬리이브(445)의 선단(도면에서 하단)에는 원통형 개구부(445a)가 형성되어 있으며, 이 개구부(445a)에는 상기 솔레노이드(441)의 작동자 또는 코어(449)에 의해 상기 슬리이브(445)의 하부 개구부(445a)내를 승하강하는 마그네틱 헤드(446)가 노출되어 있다.

구체적으로 상기 마그네틱 헤드(446)는 상기 코어(449)의 하단부에 결합된 마그네틱 헤드 아답터(449a)의 일단(도면에서 하단)에 결합된다. 이때에 상기 마그네틱 헤드(446)의 안쪽에는 자력을 제공하는 영구자석(446a)이 위치한다.

한편, 상기 마그네틱 헤드 아답터(449a)는 대구경의 플렌지(449b)를 구비하며, 솔레노이드(441)의 일단면(도면에서 하단면)과 상기 플렌지(449b)의 사이에 압축 스프링이 마련되어 있다. 따라서, 상기 마그네틱 헤드 아답터(449a)는 상기 압축 스프링(Sp)에 의해 슬리이브(445)의 하부 개구부(445a)의 하방으로 돌출되어 있게 되며, 상기 솔레노이드(441)에 전원이 인가되면 내부 코어(449)가 상승하고 따라서 상기 마그네틱 헤드 아답터(449a)는 상기 압축 스프링(Sp)의 탄발력을 극복하고 상승하고, 이에 따라서 상기 마그네틱 헤드(446)는 슬리이브(445)의 개구부(445a) 안쪽으로 상승하게 된다. 위의 구조에서 솔레노이드(441), 마그네틱 헤드(446) 및 이들의 사이의 전술한 코어(449), 스프링(Sp), 아답터(449a) 등과 같은 요소들은 상기 덮개(5)를 픽업하기 위한 기본적인 픽업 헤드의 구성 요소이다. 이러한 픽업 헤드는 전술한 레일 장치와 같은 헤드 이송부에 의해 카트리지(20)에서 덮개 안착 헤드(50)의 사이를 왕복 운동하게 된다.

이와 같은 구조에 따르면, 상기 마그네틱 헤드(446)가 슬리이브(445)의 개구부(445a)의 외측(도면에서 하방)으로 상시 노출되어 있다. 따라서, 도5에 실선으로 도시된 바와 같이 덮개 픽업 장치(44)가 카트리지(20)의 상방에 위치한 상태에서 솔레노이드(441)에 대해 하방으로의 외력이 가해지게 되면 상기 마그네틱 헤드(446)가 노출된 상태에서 카트리지(20)로 하강하고 따라서 카트리지(20)의 최상층에 위치하는 덮개(5)는 상기 마그네틱 헤드(446)에 접촉한 후 자력에 의해 부착된다.

이 상태에서 솔레노이드(441)에 대한 외력이 제거되면 마그네틱 헤드(446)에 상기 덮개(5)가 부착된 상태에서 솔레노이드(441) 전체가 상승하며, 이에 이어 도12에서 점선으로 나타내 보인 바와 같이 덮개 픽업 장치(44)를 덮개 안착 헤드(50) 측으로 이송한다. 이 상태에서 도13에 도시된 바와 같이 솔레노이드(441)에 전원을 인가하면 코어(449)가 작동(도면에서 상승)하고, 따라서 마그네틱 헤드(446)가 슬리이브(445)의 개구부(445a)의 안쪽으로 사라지게 된다. 결과적으로 마그네틱 헤드(446)에 부착되어 있는 덮개(5)는 슬리이브(445)의 개구부(445a)의 가장자리에 걸리게 되어 분리되게 된다. 이렇게 분리되는 덮개(5)는 그 하부에 위치하는 덮개 안착 헤드(50)에 얹히게 된다. 이렇게 덮개 안착 헤드(50)로 ?겨진 덮개(5)는 진공창(1)의 봉구에 사용할 수 있다.

이상에서 다양한 실시 예를 통해 설명된 본 발명은 상술한 실시 예에 한정되지 않으며, 본 발명의 사상을 해치지 않는 범위 내에서 당업자에 의한 변형이 가능함은 물론이다. 따라서, 본 발명에서 권리를 청구하는 범위는 상세한 설명의 범위 내로 정해지는 것이 아니라 후술되는 청구범위와 이의 기술적 사상에 의해 한정될 것이다.

1: 진공창
1a: 유리판(상판)
1b: 유리판 (하판)
1e: 배기공
2: 덮개 100: 봉구 장치
A: 진공 챔버 10: 진공 하우징
20: 카트리지 30: 엘리베이터
40: 덮개 이송 장치 44: 덮개 픽업 장치
50: 덮개 안착 헤드 60: 헤드 엘리베이터

Claims

진공창이 위치하는 진공 영역에 연결되는 진공 하우징;
상기 진공 하우징 내에 위치하는 것으로 상기 진공창으로 공급되는 다수의 덮개를 수용하는 카트리지;
상기 카트리지로부터 공급된 덮개를 상기 진공창의 배기공으로 이송하는 덮개 이송 장치; 그리고
자력에 의해 상기 카트리지로부터 덮개를 픽업하여 상기 덮개 이송 장치에 안착시키는 덮개 픽업 장치; 를 구비하는 진공창 제조 설비의 봉구 장치.
제1항에 있어서,
상기 덮개 픽업 장치: 는 상기 카트리지로부터 덮개를 자력에 의해 픽업하는 픽업 헤드; 와 상기 픽업 헤드를 상기 덮개 이송 장치로 이송하는 헤드 이송부; 를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공창 제조 설비의 봉구 장치.
제2항에 있어서,
상기 픽업 헤드: 는 상기 카트리지로부터 덮개를 자력에 의해 픽업하는 마그네틱 헤드; 그리고 상기 마그네틱 헤드를 작동하는 액튜에이터; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공창 제조 설비의 봉구 장치.
제3항에 있어서,
상기 액튜에이터는 솔레노이드인 것을 특징으로 하는 진공창 제조 설비의 봉구 장치.
제2항 내지 제4 항 중의 어느 한 항에 있어서,
상기 헤드 이송부는 상기 픽업 헤드를 이송하는 레일 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공창 제조 설비의 봉구 장치.
제5항에 있어서,
상기 덮개 이송 장치는 덮개 안착 헤드를 포함하며, 상기 덮개 안착 헤드는 상기 진공 하우징 외부에 설치되는 엘리베이터에 의해 상기 덮개를 진공창으로 이송하는 것을 특징으로 진공창 제조 설비의 봉구 장치.
제1항 내지 제4 항 중의 어느 한 항에 있어서,
상기 덮개 이송 장치는 덮개 안착 헤드를 포함하며, 상기 덮개 안착 헤드는 상기 진공 하우징 외부에 설치되는 엘리베이터에 의해 상기 덮개를 진공창으로 이송하는 것을 특징으로 진공창 제조 설비의 봉구 장치.
제6항에 있어서,
상기 덮개 안착 헤드의 이송 방향에 직교하는 평면에서의 상기 덮개 안착 헤드의 위치를 조절하는 위치 조절 장치를 더 구비하는 진공창 제조 설비의 봉구 장치.
제3항 에 있어서,
상기 픽업 헤드:는 메인 브라켓; 메인 브라켓에 일방향에 고정되는 솔레노이드; 상기 솔레노이드에 의해 작동하는 마그네틱 헤드; 그리고 상기 솔레노이드와 마그네틱 헤드를 감싸는 것으로 상기 솔레노이드의 작동에 따라 상기 마그네틱 헤드가 출입하는 개구부를 가지는 슬리이브;를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공창 제조 설비의 봉구 장치.
제5항 에 있어서,
상기 픽업 헤드:는 메인 브라켓; 메인 브라켓에 일방향에 고정되는 솔레노이드; 상기 솔레노이드에 의해 작동하는 마그네틱 헤드; 그리고 상기 솔레노이드와 마그네틱 헤드를 감싸는 것으로 상기 솔레노이드의 작동에 따라 상기 마그네틱 헤드가 출입하는 개구부를 가지는 슬리이브;를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공창 제조 설비의 봉구 장치.