KR101531112B1

KR101531112B1 - Chuck and processing apparatus

Info

Publication number: KR101531112B1
Application number: KR1020130157817A
Authority: KR
Inventors: 노리히로 오타
Original assignee: 니혼덴산리드가부시키가이샤
Priority date: 2012-12-28
Filing date: 2013-12-18
Publication date: 2015-06-23
Also published as: TWI509372B; JP2014130972A; JP6168384B2; TW201426204A; KR20140088010A

Abstract

본 발명에 의하면, 처리 대상물의 고정 및 해제를 간단하게 행할 수 있는 척을 제공한다.
척(23)은 가늘고 긴 형상의 부재를 처리 대상물(10)로 하고, 당해 처리 대상물(10)을 파지하여 고정한다. 또한, 척(23)은 스프링(55)을 갖고, 스프링(55)에 힘을 가하여 변형시킴으로써, 탄성력에 의해 처리 대상물(10)을 고정 가능한 상태(도 5의 (a))로부터, 처리 대상물(10)에 탄성력이 가해지지 않는 상태(도 5의 (b))로 전환 가능하다. 또한, 이 척(23)은 예를 들어 처리 대상물에 광을 조사하는 노광 장치에 채용할 수 있다.According to the present invention, there is provided a chuck capable of easily fixing and releasing an object to be treated.
The chuck 23 is made of an elongated member as the object to be processed 10, and grasps and fixes the object 10 to be processed. The chuck 23 has a spring 55 and deforms by applying a force to the spring 55 so that the object to be processed 10 can be fixed from the state in which the object 10 can be fixed by elastic force 10 (Fig. 5 (b)) in which no elastic force is applied. Further, the chuck 23 can be employed in, for example, an exposure apparatus for irradiating light to an object to be processed.

Description

척 및 처리 장치{CHUCK AND PROCESSING APPARATUS}[0001] CHUCK AND PROCESSING APPARATUS [0002]

본 발명은 주요하게는, 가늘고 긴 형상의 처리 대상물을 파지하여 고정하는 척에 관한 것이다.The present invention mainly relates to a chuck for grasping and fixing an elongated object to be processed.

종래부터, 집적 회로나 회로 기판이 갖는 회로 패턴이 설계대로 완성되었는지를 검사하는 일이 행해진다. 이 검사는, 통전 검사용 접촉자를, 집적 회로 등의 표면을 따라 이동시키거나, 표면에 설정되는 복수의 검사점에 각각 대응하는 복수의 접촉자를 도통 접촉시키거나 함으로써 행해진다.Conventionally, it is checked whether a circuit pattern of an integrated circuit or a circuit board is completed as designed. This inspection is carried out by moving the contact for energization inspection along the surface of an integrated circuit or the like, or making a plurality of contacts corresponding to a plurality of inspection points set on the surface in conductive contact with each other.

이 통전 검사용 접촉자는, 높은 탄성 특성을 발휘할 수 있도록, 스프링 구조를 갖는 것이 바람직하다. 특허문헌 1은 스프링 구조를 갖는 통전 검사용 접촉자를 제조하는 방법을 개시한다.It is preferable that the contact for energization inspection has a spring structure so as to exhibit high elasticity characteristics. Patent Document 1 discloses a method of manufacturing a contact for energizing inspection having a spring structure.

특허문헌 1에서는, 극세의 코어 부재의 외주에, 금 도금층, Ni 전기 주조층 및 레지스트층을 형성한다. 이어서, 이 레지스트층에 나선 형상으로 레이저를 조사하여, 조사 부분의 레지스트층을 제거한다. 이어서, 에칭을 행하여, 레지스트층이 제거된 부분의 Ni 전기 주조층을 제거하고, 그 후에 코어 부재를 제거한다. 이것에 의해, Ni 전기 주조층으로 구성되고, 금 도금층이 내면에 형성된 스프링 부재를 제조할 수 있다.In Patent Document 1, a gold plating layer, a Ni electroforming layer, and a resist layer are formed on the outer periphery of a very fine core member. Then, the resist layer is irradiated with a laser in a spiral shape to remove the resist layer of the irradiated portion. Subsequently, etching is performed to remove the Ni electroforming layer where the resist layer is removed, and then the core member is removed. This makes it possible to manufacture a spring member composed of a Ni electroforming layer and having a gold plating layer formed on the inner surface thereof.

일본 특허 제4572303호 공보Japanese Patent No. 4572303

그런데, 특허문헌 1에서는, 처리 대상물을 회전시키면서 레이저 장치를 상하로 이동시킴으로써 나선 형상의 홈부를 형성하는 방법이 기재되어 있다. 그러나, 특허문헌 1에서는, 레이저를 조사하는 동안, 처리 대상물을 어떻게 고정할지까지는 기재되어 있지 않다.Patent Document 1 discloses a method of forming a spiral groove portion by moving a laser device vertically while rotating an object to be processed. However, Patent Document 1 does not describe how to fix an object to be treated while irradiating a laser.

또한, 처리 대상물에의 레이저의 조사는, 통상 1개마다 행할 필요가 있다. 따라서, 처리 대상물을 고정하는 처리 및 레이저의 조사 후에 고정을 해제하는 처리는, 빈번히 행할 필요가 있다. 따라서, 작업 효율을 향상시키기 위하여, 이들 처리를 간단하게 행할 수 있는 노광 장치가 요망되고 있었다.In addition, irradiation of laser to the object to be treated is usually required to be performed once. Therefore, it is necessary to frequently perform the process of fixing the object to be processed and the process of releasing the fixation after irradiation of the laser. Therefore, in order to improve the working efficiency, there has been a demand for an exposure apparatus which can easily perform these processes.

또한, 이들 과제는, 노광 장치에 한정되지 않으며, 가늘고 긴 형상의 처리 대상물을 취급하는 처리 장치 전반에 공통되는 것이다.These problems are not limited to the exposure apparatus, but are common to all the processing apparatuses handling thin and long shaped objects to be processed.

본 발명은 이상의 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 그 주요한 목적은, 처리 대상물의 고정 및 해제를 간단하게 행할 수 있는 척 및 처리 장치를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and its main object is to provide a chuck and a processing apparatus that can easily fix and release a processing object.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상과 같으며, 이하에 이 문제를 해결하기 위한 수단과 그 효과를 설명한다.The problems to be solved by the present invention are as described above, and the means for solving the problem and the effect thereof will be described below.

본 발명의 제1 관점에 의하면, 가늘고 긴 형상의 부재를 처리 대상물로 하고, 당해 처리 대상물을 파지하여 고정하는 척에 있어서, 이하의 구성이 제공된다. 즉, 척은, 탄성체를 갖고, 상기 탄성체에 힘을 가하여 변형시킴으로써, 탄성력에 의해 상기 처리 대상물을 고정하는 상태로부터, 상기 처리 대상물에 탄성력이 가해지지 않는 상태로 전환 가능하다.According to a first aspect of the present invention, there is provided a chuck having an elongated member as a processing object and grasping and fixing the object to be processed, the following configuration is provided. That is, the chuck has an elastic body and can be changed from a state in which the object to be processed is fixed by the elastic force to a state in which the object is not subjected to the elastic force by applying a force to the elastic body.

이것에 의해, 탄성체를 변형시키는 것만으로 처리 대상물의 고정을 해제하여 처리 대상물을 제거할 수 있는 척을 실현할 수 있다. 그로 인해, 이 척이 설치된 처리 장치를 사용함으로써 작업자의 수고를 저감시켜, 작업 효율을 향상시킬 수 있다.Thus, it is possible to realize a chuck capable of removing the object to be treated by releasing the object to be treated only by deforming the elastic body. Therefore, by using the processing apparatus provided with this chuck, the labor of the operator can be reduced and the working efficiency can be improved.

상기 척에 있어서는, 이하의 구성으로 하는 것이 바람직하다. 즉, 상기 척은, 제1 부재와, 제2 부재를 구비한다. 상기 제1 부재는, 단면이 대략 U자 형상이다. 상기 제2 부재는, 상기 제1 부재 사이에 배치된다. 상기 탄성체의 탄성력에 의해, 상기 제1 부재와 상기 제2 부재 사이에 상기 처리 대상물을 고정한다.It is preferable that the chuck has the following configuration. That is, the chuck has a first member and a second member. The first member has a substantially U-shaped cross section. The second member is disposed between the first members. And the object to be treated is fixed between the first member and the second member by the elastic force of the elastic body.

이것에 의해, 제1 부재를 압박하는 것만으로 처리 대상물의 고정을 해제하여 처리 대상물을 제거할 수 있다. 즉, 간단하고도 재빠른 동작으로 작업을 행할 수 있으므로, 작업 효율을 한층 더 향상시킬 수 있다.Thus, the object to be treated can be removed by releasing the fixation of the object to be treated only by pressing the first member. That is, since the work can be performed with a simple and quick operation, the working efficiency can be further improved.

본 발명의 제2 관점에 의하면, 이하의 처리 장치가 제공된다. 즉, 이 처리 장치는, 베이스부와, 척 설치부와, 상기 척을 구비한다. 상기 척 설치부는, 상기 베이스부에 설치된다. 또한, 상기 척 설치부와 상기 척이 자력에 의해 고정된다.According to a second aspect of the present invention, the following processing apparatus is provided. That is, this processing apparatus includes a base portion, a chuck mounting portion, and the chuck. The chuck mounting portion is provided on the base portion. Further, the chuck mounting portion and the chuck are fixed by a magnetic force.

이것에 의해, 공구를 사용하지 않고 척을 교환할 수 있다. 따라서, 작업자의 수고를 저감시켜, 작업 효율을 한층 향상시킬 수 있다.Thereby, the chuck can be exchanged without using a tool. Therefore, the labor of the operator can be reduced, and the working efficiency can be further improved.

상기 처리 장치에 있어서는, 상기 척 설치부와 상기 척 중 한쪽이 자석을 구비하고, 다른 쪽이 자성을 갖는 고정구를 구비하는 것이 바람직하다.In the treatment apparatus, it is preferable that one of the chuck mounting portion and the chuck has a magnet and the other has a magnet.

이것에 의해, 고정구에, 부재를 고정하는 기능뿐만 아니라, 척을 설치하는 기능을 갖게 할 수 있으므로, 부품 개수를 삭감할 수 있다.As a result, not only the function of fixing the member to the fixture but also the function of installing the chuck can be provided, so that the number of parts can be reduced.

상기 처리 장치에 있어서는, 이하의 구성으로 하는 것이 바람직하다. 즉, 상기 처리 대상물의 표면에는 레지스트층이 형성되어 있다. 처리 장치는, 상기 척에 고정된 상기 처리 대상물에 광을 조사하는 노광부를 구비한다.In the above treatment apparatus, it is preferable to have the following configuration. That is, a resist layer is formed on the surface of the object to be treated. The processing apparatus has an exposure section for irradiating light to the object to be processed fixed to the chuck.

이것에 의해, 척에 고정된 처리 대상물을 노광시켜, 처리 대상물이 원하는 형상으로 되도록 할 수 있다.Thus, the object to be treated fixed to the chuck can be exposed to a desired shape.

상기 처리 장치에 있어서는, 이하의 구성으로 하는 것이 바람직하다. 즉, 상기 척은, 상기 처리 대상물의 길이 방향을 회전축 방향으로 하여 회전 가능하다. 상기 척 또는 상기 노광부는, 상기 처리 대상물의 길이 방향으로 이동 가능하다.In the above treatment apparatus, it is preferable to have the following configuration. That is, the chuck is rotatable about the longitudinal axis of the object in the direction of the axis of rotation. The chuck or the exposure unit is movable in the longitudinal direction of the object to be processed.

이것에 의해, 처리 대상물을 회전시키면서, 또한, 척 또는 노광부를 이동시키면서 광을 조사함으로써, 나선 형상의 홈을 형성할 수 있다.Thereby, a spiral groove can be formed by irradiating light while rotating the object to be processed and moving the chuck or the exposure unit.

상기 처리 장치에 있어서는, 상기 처리 대상물은, 스프링 구조를 갖는 통전 검사용 접촉자를 작성하기 위한 부재인 것이 바람직하다.In the above-described processing apparatus, it is preferable that the object to be processed is a member for creating a contact for energization inspection having a spring structure.

이것에 의해, 작업 효율이 높은 방법으로, 통전 검사용 접촉자를 작성할 수 있다.As a result, a contact for energizing inspection can be produced by a method having a high working efficiency.

상기 처리 장치에 있어서는, 상기 척은, 상기 처리 대상물의 양단부에 배치되어 있는 것이 바람직하다.In the treatment apparatus, it is preferable that the chuck is disposed at both ends of the object to be treated.

이와 같이 처리 대상물의 양단부를 고정하는 경우, 처리 대상물을 고정하는 작업을 보다 많이 행할 필요가 있다. 이 점에 관하여, 본원의 구성은 처리 대상물을 간단하게 고정할 수 있으므로, 본원의 효과를 한층 더 유효하게 발휘시킬 수 있다.In the case where both ends of the object to be treated are fixed in this manner, it is necessary to perform more work to fix the object to be treated. In this respect, the constitution of the present invention can easily fix the object to be treated, so that the effect of the present invention can be more effectively exerted.

도 1은, 통전 검사용 접촉자를 제조하는 공정의 전반부를 도시하는 도면.
도 2는, 통전 검사용 접촉자를 제조하는 공정의 후반부를 도시하는 도면.
도 3은, 노광 장치의 구성을 모식적으로 설명하는 사시도.
도 4는, 척의 평면도 및 정면도.
도 5는, 처리 대상물을 고정할 때의 척의 모습을 도시하는 도면.1 is a diagram showing a first half of a process of manufacturing a contact for energization inspection;
2 is a diagram showing a second half of a process of manufacturing a contact for energization inspection;
3 is a perspective view schematically illustrating a configuration of an exposure apparatus;
4 is a plan view and a front view of the chuck.
Fig. 5 is a view showing a state of the chuck when the object to be treated is fixed; Fig.

이어서, 도면을 참조하여 본 발명의 실시 형태를 설명한다. 우선, 도 1 및 도 2를 참조하여, 통전 검사용 접촉자를 제조하는 공정에 대하여 간단하게 설명한다. 도 1 및 도 2는 통전 검사용 접촉자를 제조하는 공정을 도시하는 도면이다. 또한, 이하에서는, 각 공정을 행하는 대상을 「처리 대상물(10)」이라고 총칭한다. 또한, 본원의 도면에서는, 시인성을 향상시키기 위하여 처리 대상물(10)을 실제보다도 굵게 그리고 있다.Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. First, with reference to Fig. 1 and Fig. 2, a process of manufacturing a contact for electrification inspection will be briefly described. Figs. 1 and 2 are diagrams showing a step of manufacturing a contact for electrification inspection. In the following, the object to be subjected to each step is collectively referred to as " object 10 to be treated ". In the drawings of the present application, the object to be treated 10 is thicker than actual in order to improve the visibility.

본 처리에서는, 코어 부재(11)를 기초로 하여 처리를 행한다. 코어 부재(11)는 5㎛ 이상의 극세 금속선이나 수지선을 사용할 수 있다. 금속선으로서는 스테인리스 또는 알루미늄 등을 사용할 수 있고, 수지선으로서는 나일론 수지 또는 폴리에틸렌 수지 등을 사용할 수 있다.In this process, the process is performed based on the core member 11. The core member 11 may be made of a superfine metal wire or a resin wire of 5 탆 or more. As the metal wire, stainless steel, aluminum or the like can be used, and as the resin wire, nylon resin or polyethylene resin can be used.

우선, 일반적인 도금 처리에 의해, 코어 부재(11)에 금 도금층(12)을 형성한다(도 1 참조, 금 도금층 형성 처리). 금 도금층은, 0.2㎛ 내지 1㎛ 정도의 두께인 것이 바람직하다.First, a gold plating layer 12 is formed on the core member 11 by a common plating process (see FIG. 1, gold plating layer forming process). It is preferable that the gold plating layer has a thickness of about 0.2 탆 to 1 탆.

이어서, 소정의 세정 처리를 행한 후에 전기 주조 처리를 행함으로써, 금 도금층(12)을 덮도록 Ni 전기 주조층(13)을 형성한다(Ni 전기 주조층 형성 처리). Ni 전기 주조층(13)은 5㎛ 내지 35㎛의 두께인 것이 바람직하다.Then, the electroforming process is performed after the predetermined cleaning process is performed to form the Ni electroforming layer 13 (Ni electroforming layer forming process) so as to cover the gold plating layer 12. Next, The Ni electroforming layer 13 preferably has a thickness of 5 mu m to 35 mu m.

이어서, Ni 전기 주조층(13)을 형성한 처리 대상물(10)을 포토레지스트액에 소정 시간만큼 침지시킴으로써, 레지스트층(14)을 형성한다(레지스트층 형성 처리). 금회의 설명에서는 포지티브형의 포토레지스트액을 사용하지만, 네가티브형의 포토레지스트액을 사용해도 된다.Subsequently, the resist layer 14 is formed by immersing the object 10 having the Ni electroforming layer 13 formed thereon in the photoresist liquid for a predetermined period of time (resist layer forming process). Although a positive type photoresist solution is used in this description, a negative type photoresist solution may be used.

이어서, 처리 대상물(10)에 나선 형상으로 레이저를 조사한다. 구체적으로는, 처리 대상물(10)을 회전시킨 상태에서, 노광 장치(또는 처리 대상물(10))를 처리 대상물(10)의 길이 방향을 따라 이동시킴으로써, 나선 형상으로 레이저가 조사된다. 또한, 노광 장치의 상세한 것은 후술한다.Subsequently, the object 10 is irradiated with a laser in a spiral shape. Specifically, the laser is irradiated in a spiral shape by moving the exposure apparatus (or the object to be treated 10) along the longitudinal direction of the object to be treated 10 while the object 10 is rotated. The details of the exposure apparatus will be described later.

그리고, 처리 대상물(10)을 현상액에 침지시킴으로써 노광 부분(나선 형상의 부분)의 레지스트층(14)을 제거한다(레이저 조사 처리). 또한, 포지티브형이 아니라 네가티브형의 포토레지스트액을 사용했을 경우, 나선 형상 이외의 부분을 노광시키면 된다.Then, the resist layer 14 of the exposed portion (spiral portion) is removed by immersing the object to be treated 10 in a developing solution (laser irradiation processing). When a negative photoresist solution is used instead of a positive solution, portions other than the spiral shape may be exposed.

이어서, 처리 대상물(10)에 에칭 처리를 행함으로써, 레지스트층(14)에 덮여 있지 않은 부분의 Ni 전기 주조층(13)을 제거하여 금 도금층(12)을 노출시킨다(도 2 참조).Subsequently, the object to be treated 10 is etched to remove the Ni electroforming layer 13 that is not covered with the resist layer 14 to expose the gold plating layer 12 (see FIG. 2).

이어서, 처리 대상물(10)을 세정한 후에, 처리 대상물(10)을 소정의 레지스트층 제거액에 침지시킴으로써, 레지스트층(14)을 제거한다(레지스트층 제거 처리). 그 후, 예를 들어 초음파 세정 등을 행함으로써, 나선 형상의 홈부분에 있어서의 금 도금층(12)을 제거한다(금 도금층 제거 처리).Subsequently, after the object to be treated 10 is cleaned, the object to be treated 10 is immersed in a predetermined resist layer removing liquid to remove the resist layer 14 (resist layer removing processing). Thereafter, the gold plating layer 12 in the spiral groove portion is removed by, for example, ultrasonic cleaning or the like (gold plating layer removing process).

이어서, Ni 전기 주조층(13)의 내측에 위치하고 있는 금 도금층(12)을 남긴 채 코어 부재(11)만을 제거한다(코어 부재 제거 처리). 코어 부재(11)의 제거는, 예를 들어 코어 부재(11)를 변형시킨 후에 빼내는 방법이나, 소정의 용액에 코어 부재(11)를 침지시킴으로써, 코어 부재(11)를 용해시키는 방법 등을 채용할 수 있다. 이것에 의해, 스프링 구조를 갖는 부재(스프링 부재(15))를 제조할 수 있다.Subsequently, only the core member 11 is removed while leaving the gold plating layer 12 located inside the Ni electroforming layer 13 (core member removing process). The removal of the core member 11 may be performed by, for example, a method of removing the core member 11 after the core member 11 is deformed or a method of dissolving the core member 11 by immersing the core member 11 in a predetermined solution can do. As a result, a member (spring member 15) having a spring structure can be manufactured.

이어서, 스프링 부재(15)의 내부에 도전성의 접촉 핀(플런저)(16)을 삽입하고 용접 등에 의해 고정함으로써, 스프링 구조를 갖는 통전 검사용 접촉자(17)가 완성된다(핀 설치 처리). 또한, 집적 회로 등에는, 이 접촉 핀(16)의 선단의 뾰족한 부분을 접촉시킨다.Subsequently, a conductive contact pin (plunger) 16 is inserted into the spring member 15 and fixed by welding or the like, thereby completing the energization inspection contact 17 having a spring structure (pin mounting process). Further, a sharp portion of the tip of the contact pin 16 is brought into contact with the integrated circuit or the like.

이어서, 처리 대상물(10)에 레이저를 조사하는 노광 장치(처리 장치)(20)에 대하여 설명한다. 우선, 도 3을 참조하여, 노광 장치(20)의 개요에 대하여 설명한다. 도 3은 노광 장치(20)의 구성을 모식적으로 설명하는 사시도이다.Next, an exposure apparatus (processing apparatus) 20 for irradiating a laser beam onto the object 10 will be described. First, the outline of the exposure apparatus 20 will be described with reference to FIG. Fig. 3 is a perspective view schematically illustrating the configuration of the exposure apparatus 20. Fig.

도 3에 도시한 바와 같이, 노광 장치(20)는 베이스부(21)와, 척 설치부(22)와, 척(23)과, 노광부(24)를 구비한다. 또한, 본 실시 형태에서는 처리 대상물의 양단부를 고정하기 위하여, 베이스부(21), 척 설치부(22) 및 척(23)을 상하 1조씩 구비한다.3, the exposure apparatus 20 includes a base portion 21, a chuck mounting portion 22, a chuck 23, and an exposure portion 24. In this embodiment, a base portion 21, a chuck mounting portion 22, and a chuck 23 are provided one above the other in order to fix both ends of the object to be processed.

베이스부(21)는 노광 장치(20)의 상단부 및 하단부에 배치된다. 각각의 베이스부(21)에는, 척 설치부(22)가 설치되어 있다. 구체적으로는, 상단부에 배치되는 베이스부(21)에는, 하면에 척 설치부(22)가 설치되어 있고, 하단부에 배치되는 베이스부(21)에는, 상면에 척 설치부(22)가 설치되어 있다.The base portion 21 is disposed at an upper end portion and a lower end portion of the exposure apparatus 20. Each of the base portions 21 is provided with a chuck mounting portion 22. Concretely, a chucking portion 22 is provided on the lower surface of the base portion 21 disposed at the upper end portion, and a chucking portion 22 is provided on the upper surface of the base portion 21 disposed at the lower end portion have.

척 설치부(22)는 척(23)을 설치하기 위한 부재이다. 척 설치부(22)는 설치한 척(23)을 연직 방향(처리 대상물(10)의 길이 방향)을 회전축으로 하여 회전시킬 수 있다.The chuck mounting portion 22 is a member for mounting the chuck 23. The chuck mounting portion 22 can rotate the chuck 23 provided thereon as a rotation axis in the vertical direction (the longitudinal direction of the object to be treated 10).

척(23)은 척 설치부(22)에 착탈 가능하게 설치되어 있다. 척(23)은 처리 대상물(10)을 보유 지지 가능하게 구성되어 있다. 또한, 척(23)의 상세한 형상에 대해서는 후술한다.The chuck 23 is detachably attached to the chuck mounting part 22. [ The chuck 23 is configured to be capable of holding the object 10 to be treated. The detailed shape of the chuck 23 will be described later.

이상의 구성에 의해, 척 설치부(22)가 척(23)을 회전시킴으로써, 처리 대상물(10)을 연직 방향을 회전축 방향으로 하여, 회전시킬 수 있다.With the above arrangement, the chuck 23 is rotated by the chuck mounting portion 22, so that the object to be processed 10 can be rotated in the direction of the rotational axis.

노광부(24)는 레이저(광)를 발생시켜 처리 대상물(10)에 조사할 수 있다. 처리 대상물(10)의 레지스트층을 노광시킬 수 있으면 레이저의 종류는 임의이며, 예를 들어 반도체 레이저나 엑시머 레이저를 사용할 수 있다.The exposure section 24 can generate a laser (light) and irradiate the object 10 with the laser light. If the resist layer of the object to be treated 10 can be exposed, the kind of the laser is arbitrary. For example, a semiconductor laser or an excimer laser can be used.

또한, 노광부(24)는 제1 하우징(24a)과, 제1 지지부(24b)와, 제2 하우징(24c)과, 제2 지지부(24d)를 구비하고 있다.The exposure section 24 is provided with a first housing 24a, a first support section 24b, a second housing 24c and a second support section 24d.

제1 하우징(24a)은 레이저를 발생시켜 조사할 수 있다. 또한, 제1 하우징(24a)은 제1 지지부(24b)에 지지되어 있고, 도시 생략된 제어부의 제어에 의해, 연직 방향(처리 대상물(10)의 길이 방향)으로 이동할 수 있다.The first housing 24a can irradiate by generating a laser. The first housing 24a is supported by the first support portion 24b and can move in the vertical direction (longitudinal direction of the object to be treated 10) under the control of a control unit (not shown).

제2 하우징(24c)은 제1 하우징(24a)이 조사한 레이저를 받아들인다. 또한, 제2 하우징(24c)은 제2 지지부(24d)에 지지되어 있고, 제어부의 제어에 의해, 제1 하우징(24a)과 일체적으로 연직 방향으로 이동할 수 있다.The second housing 24c receives the laser irradiated by the first housing 24a. The second housing 24c is supported by the second support portion 24d and can move in the vertical direction integrally with the first housing 24a under the control of the control portion.

이상의 구성에 의해, 척 설치부(22)가 척(23)을 회전시켜 처리 대상물(10)을 회전시킨 상태에서, 제1 하우징(24a) 및 제1 지지부(24b)가 연직 방향으로 이동하면서 레이저를 조사함으로써, 처리 대상물(10)에 나선 형상의 홈부를 형성할 수 있다. 또한, 포지티브형이 아니라 네가티브형의 포토레지스트액을 사용했을 경우, 마찬가지로 하여, 나선 형상의 홈부 이외의 부분을 노광시키면 된다.With the above arrangement, the first housing 24a and the first support portion 24b move in the vertical direction while the chuck 23 rotates the object to be processed 10 by rotating the chuck 23, A spiral groove portion can be formed on the object 10 to be treated. When a negative type photoresist solution is used instead of a positive type, a portion other than the spiral groove portion may be similarly exposed.

이어서, 척(23)의 상세한 형상에 대하여 도 4 및 도 5을 참조하여 설명한다. 도 4는 척(23)의 평면도 및 정면도이다. 도 5는 처리 대상물(10)을 고정할 때의 척(23)의 모습을 도시하는 도면이다. 또한, 이하의 설명에서는, 척(23) 중 척 설치부(22)측을 기단부측이라고 칭하고, 그 반대측을 선단부측이라고 칭한다.Next, the detailed shape of the chuck 23 will be described with reference to Figs. 4 and 5. Fig. 4 is a plan view and a front view of the chuck 23. 5 is a view showing the state of the chuck 23 when the object to be treated 10 is fixed. In the following description, the side of the chuck 23 on the chuck mounting portion 22 is referred to as the proximal end side, and the opposite side thereof is referred to as the distal end side.

도 4에 도시한 바와 같이, 척(23)은 기단부(40)와, 선단부(50)로 구성되어 있다. 기단부(40)는 기단부측에 위치하는 부분이다. 기단부(40)는 통 형상 부재(41)와, 고정구(42)를 구비하고 있다.As shown in Fig. 4, the chuck 23 is composed of a proximal end portion 40 and a distal end portion 50. As shown in Fig. The proximal portion 40 is a portion located on the proximal end side. The proximal portion 40 includes a tubular member 41 and a fastener 42.

통 형상 부재(41)는 원통 형상의 부재이다. 고정구(42)는 통 형상 부재(41)에 삽입되어 고정된다. 또한, 고정구(42)의 적어도 헤드부는 자성을 갖고 있다.The tubular member 41 is a cylindrical member. The fixing member 42 is inserted and fixed to the tubular member 41. At least the head portion of the fixture 42 has magnetism.

척(23)은 이 고정구(42)의 헤드부를 사용하여 척 설치부(22)에 설치된다. 구체적으로는, 척 설치부(22)는 기단부(40)를 삽입 가능하게 구성되어 있고, 고정구(42)의 헤드부와 접촉하는 위치에 자석(22a)를 구비하고 있다. 이 구성에 의해, 척 설치부(22)는 자력에 의해 척(23)을 보유 지지할 수 있다.The chuck 23 is installed in the chuck mounting portion 22 by using the head portion of the fixture 42. More specifically, the chuck mounting portion 22 is configured to be insertable into the proximal portion 40, and has a magnet 22a at a position in contact with the head portion of the fixture. With this configuration, the chuck mounting portion 22 can hold the chuck 23 by the magnetic force.

또한, 본 실시 형태에서는, 척 설치부(22)측이 자석을 구비하는 구성이지만, 척(23)측이 자석을 구비하고 있어도 되고, 양쪽이 자석을 구비하고 있어도 된다. 또한, 척(23)은 자석(22a)과 접촉하는 위치에, 자성을 갖는 부재가 배치되어 있으면 되므로, 고정구(42) 이외의 부재에 의해 척 설치부(22)에 설치되는 구성이어도 된다.In the present embodiment, the chuck mounting portion 22 side is provided with a magnet, but the chuck 23 may be provided with a magnet or both may be provided with magnets. The chuck 23 may be provided on the chuck mounting portion 22 by a member other than the fixture 42 as long as a member having magnetism is disposed at a position where the chuck 23 is in contact with the magnet 22a.

이와 같이, 자석을 사용하여 척(23)을 설치하는 본 실시 형태의 구성은, 나사 홈 등을 이용하여 척을 돌려 고정하는 구성과 비교하여, 빠르고도 간단하게 척(23)을 제거할 수 있다. 따라서, 척(23)을 교환할 때 드는 시간 및 수고를 대폭 저감시킬 수 있다.As described above, the configuration of this embodiment in which the chuck 23 is provided using a magnet can remove the chuck 23 quickly and easily compared to a configuration in which the chuck is turned and fixed using a screw groove or the like . Therefore, the time and effort required for exchanging the chuck 23 can be greatly reduced.

선단부(50)는 기단부(40)보다도 선단부측에 위치하고, 척 설치부(22)에 설치했을 때 당해 척 설치부(22)의 외부에 노출되는 부분이다. 선단부(50)는 삽입 구멍(51)과, 모세관(52)과, 소경부(제2 부재)(53)와, U자 부재(제1 부재)(54)와, 스프링(탄성체)(55)을 구비한다.The distal end portion 50 is located closer to the distal end than the proximal end portion 40 and is a portion exposed to the outside of the chucking portion 22 when the chucking portion 22 is provided. The distal end portion 50 includes an insertion hole 51, a capillary tube 52, a small diameter portion (second member) 53, a U-shaped member (first member) 54, a spring (elastic member) Respectively.

삽입 구멍(51)은 선단부(50)의 선단부측으로부터 기단부측을 향하여 형성된 구멍이다. 이 삽입 구멍(51)에는, 모세관(52)이 삽입되어 있다. 모세관(52)은 예를 들어 세라믹제의 통 형상의 부재이며, 처리 대상물(10)을 삽입 가능하게 구성되어 있다. 모세관(52)은 예를 들어 처리 대상물(10)의 직경에 따라 교환 가능하다.The insertion hole 51 is a hole formed from the distal end side of the distal end portion 50 toward the proximal end side. A capillary tube 52 is inserted into the insertion hole 51. The capillary tube 52 is, for example, a tubular member made of ceramics, and is configured to be insertable with the object 10 to be treated. The capillary 52 is exchangeable, for example, depending on the diameter of the object 10 to be treated.

소경부(53)는 선단부(50)의 중앙보다 기단부측의 부분이며, 도 5의 단면도에 도시한 바와 같이, 단면이 직사각형이다. 소경부(53)는 선단부(50)의 다른 부분보다도 단면적이 작으며, 도 4의 (b)에 있어서의 상측의 면(접촉면(53a))을 척(23)의 중심축이 통하도록 되어 있다. 소경부(53)에는, 소경부(53)를 덮도록 U자 부재(54)가 설치되어 있다(도 5의 단면도 참조).The small diameter portion 53 is a portion closer to the proximal end side than the center of the distal end portion 50 and has a rectangular section as shown in the sectional view of FIG. The small-diameter portion 53 is smaller in cross-sectional area than the other portions of the distal end portion 50 so that the upper surface (contact surface 53a) in FIG. 4B is communicated with the central axis of the chuck 23 . A U-shaped member 54 is provided on the small diameter portion 53 so as to cover the small diameter portion 53 (see the sectional view of FIG. 5).

U자 부재(54)는 단면이 U자 형상인 부재이다. 바꾸어 말하면, U자 부재(54)는 대향하도록 배치된 2개의 부분과, 이들 부분의 단부끼리를 연결하는 부분으로 구성된다. U자 부재(54)는 이 대향하도록 배치된 2개의 부분에서 소경부(53)를 사이에 두도록 배치되어 있다.The U-shaped member 54 is a U-shaped member in cross section. In other words, the U-shaped member 54 is composed of two portions arranged to face each other and a portion connecting the end portions of these portions. The U-shaped member 54 is disposed so as to sandwich the small diameter portion 53 between the two portions arranged to face each other.

스프링(55)은 소경부(53)와 U자 부재(54)를 접속하도록 설치되어 있다. 구체적으로 스프링(55)은 U자 부재(54)가 소경부(53)의 접촉면(53a)에 접촉하도록, U자 부재(54)를 가압한다. 따라서, 외력이 가해지고 있지 않은 경우, U자 부재(54)는 접촉면(53a)과 접촉한다(도 5의 (a) 참조). 이 상태로부터 도 5의 (a)의 화살표 방향으로 힘을 가함으로써, 스프링(55)이 줄어들어, 접촉면(53a)의 반대측의 면과 U자 부재(54)가 접촉한다(도 5의 (b) 참조). 또한, 외력 및 스프링의 탄성력에 의해 위치를 바꾸는 것은 U자 부재(54)만이며, 소경부(53)의 위치는 변함없다.The spring 55 is provided so as to connect the small-diameter portion 53 and the U-shaped member 54 to each other. Specifically, the spring 55 presses the U-shaped member 54 such that the U-shaped member 54 contacts the contact surface 53a of the small diameter portion 53. Therefore, when no external force is applied, the U-shaped member 54 comes into contact with the contact surface 53a (see Fig. 5 (a)). 5 (a), the spring 55 is reduced, and the surface on the opposite side of the contact surface 53a contacts the U-shaped member 54 (Fig. 5 (b) Reference). In addition, only the U-shaped member 54 changes the position by the external force and the elastic force of the spring, and the position of the small diameter portion 53 remains unchanged.

이어서, 척(23)에 처리 대상물(10)을 고정하는 방법 및 고정을 해제하는 방법을 설명한다.Next, a method of fixing the object 10 to the chuck 23 and a method of releasing the object to be fixed will be described.

처음에, 작업자는, U자 부재(54)에 힘을 가함으로써, 접촉면(53a)으로부터 U자 부재(54)를 이격한다. 그리고, 삽입 구멍(51)(모세관(52))에 처리 대상물(10)을 삽입한다. 그 후, 작업자는, U자 부재(54)로부터 손을 뗀다. 이것에 의해, 접촉면(53a)과 U자 부재(54)로 처리 대상물(10)을 고정할 수 있다.Initially, the worker separates the U-shaped member 54 from the contact surface 53a by applying a force to the U- Then, the object to be treated 10 is inserted into the insertion hole 51 (capillary tube 52). Thereafter, the operator releases his / her hand from the U-shaped member 54. As a result, the object to be treated 10 can be fixed by the contact surface 53a and the U-shaped member 54.

또한, 본 실시 형태에서는, 처리 대상물(10)의 양단부를 고정하는 구성이므로, 처리 대상물(10)의 양단부에 대하여 상기 처리를 행한다. 또한, 처리 대상물(10)의 양단부를 고정하는 구성은 필수는 아니며, 처리 대상물(10)의 크기 등에 따라 한쪽 척을 생략할 수 있다.In the present embodiment, since both end portions of the object to be treated 10 are fixed, the above-described processing is performed on both ends of the object to be treated 10. It is not necessary to fix the both ends of the object to be treated 10, and one chuck may be omitted depending on the size of the object 10 to be treated.

한편, 작업자는, 처리 대상물(10)의 고정을 해제하는 경우, U자 부재(54)에 힘을 가함으로써, 접촉면(53a)으로부터 U자 부재(54)를 이격한다. 그 후, 작업자는, 처리 대상물(10)을 뽑아 낸 후에, U자 부재(54)로부터 손을 뗀다.On the other hand, when releasing the object to be treated 10, the worker separates the U-shaped member 54 from the contact surface 53a by applying a force to the U-shaped member 54. [ Thereafter, the worker pulls out the object to be treated 10, and then releases his / her hand from the U-shaped member 54.

이와 같이, 본 실시 형태에서는, 작업자가 한손으로 U자 부재(54)에 힘을 가하는 것만으로 처리 대상물(10)의 고정 및 해제를 행할 수 있다. 특히, U자 부재(54)는 척(23)의 표면에 배치되어 있으므로, 작업성도 양호하다.As described above, in the present embodiment, the workpiece 10 can be fixed and released only by applying a force to the U-shaped member 54 with one hand. In particular, since the U-shaped member 54 is disposed on the surface of the chuck 23, the workability is also good.

이상에서 설명한 바와 같이 본 실시 형태에서는, 척(23)은 가늘고 긴 형상의 부재를 처리 대상물(10)으로 하고, 당해 처리 대상물(10)을 파지하여 고정한다. 또한, 척(23)은 스프링(55)을 갖고, 스프링(55)에 힘을 가하여 변형시킴으로써, 탄성력에 의해 처리 대상물(10)을 고정 가능한 상태(도 5의 (a))로부터, 처리 대상물(10)에 탄성력이 가해지지 않는 상태(도 5의 (b))로 전환 가능하다.As described above, in the present embodiment, the chuck 23 is made of an elongated member as the object to be processed 10, and grasps and fixes the object 10 to be processed. The chuck 23 has a spring 55 and deforms by applying a force to the spring 55 so that the object to be processed 10 can be fixed from the state in which the object 10 can be fixed by elastic force 10 (Fig. 5 (b)) in which no elastic force is applied.

이것에 의해, 스프링(55)을 변형시키는 것만으로 처리 대상물(10)의 고정을 해제하여 처리 대상물을 제거할 수 있는 노광 장치(20)을 실현할 수 있다. 그로 인해, 작업자의 수고를 저감시켜, 작업 효율을 향상시킬 수 있다.Thereby, it is possible to realize the exposure apparatus 20 capable of removing the object to be treated by releasing the fixation of the object to be processed 10 only by deforming the spring 55. Therefore, the labor of the operator can be reduced and the working efficiency can be improved.

또한, 본 실시 형태의 척(23)은 U자 부재(54)와, 소경부(53)를 구비한다. U자 부재(54)는 단면이 대략 U자 형상이다. 소경부(53)는 U자 부재(54)가 대향하는 2개의 부재 사이에 배치된다. 스프링(55)의 탄성력에 의해 U자 부재(54)와 소경부(53) 사이에 처리 대상물(10)을 고정한다.The chuck 23 of the present embodiment includes a U-shaped member 54 and a small diameter portion 53. The U- The U-shaped member 54 has a substantially U-shaped cross section. The small diameter portion 53 is disposed between the two opposing members of the U-shaped member. The object to be treated 10 is fixed between the U-shaped member 54 and the small diameter portion 53 by the elastic force of the spring 55.

이것에 의해, U자 부재(54)를 압박하는 것만으로 처리 대상물(10)의 고정을 해제하여 처리 대상물(10)을 제거할 수 있다. 즉, 간단하고도 재빠른 동작으로 작업을 행할 수 있으므로, 작업 효율을 한층 더 향상시킬 수 있다.As a result, the object to be treated 10 can be removed by releasing the fixation of the object 10 only by pressing the U-shaped member 54. That is, since the work can be performed with a simple and quick operation, the working efficiency can be further improved.

또한, 본 실시 형태의 노광 장치(20)에 있어서는, 척 설치부(22)와 척(23)이 자력에 의해 고정된다.Further, in the exposure apparatus 20 of the present embodiment, the chuck mounting portion 22 and the chuck 23 are fixed by the magnetic force.

이것에 의해, 공구를 사용하지 않고 척(23)을 교환할 수 있다. 따라서, 작업자의 수고를 저감시켜, 작업 효율을 한층 향상시킬 수 있다.Thereby, the chuck 23 can be exchanged without using a tool. Therefore, the labor of the operator can be reduced, and the working efficiency can be further improved.

또한, 본 실시 형태의 노광 장치(20)에 있어서는, 척 설치부(22)와 척(23) 중 한쪽(척 설치부(22))이 자석을 구비하고, 다른 쪽(척(23))이 자성을 갖는 고정구(42)를 구비한다.In the exposure apparatus 20 of the present embodiment, one of the chuck mounting portion 22 and the chuck 23 (chuck mounting portion 22) has a magnet and the other (chuck 23) And a fixture 42 having magnetism.

이것에 의해, 고정구(42)에, 부재를 고정하는 기능뿐만 아니라, 척(23)을 설치하는 기능을 갖게 할 수 있으므로, 부품 개수를 삭감할 수 있다.This makes it possible to provide the fixture 42 with the function of not only fixing the member but also installing the chuck 23, so that the number of parts can be reduced.

이상으로 본 발명의 적합한 실시 형태를 설명했지만, 상기 구성은 예를 들어 이하와 같이 변경할 수 있다.While the preferred embodiments of the present invention have been described above, the above configuration can be changed, for example, as follows.

상기 실시 형태에서 설명한 노광 장치(20)은 예시이며, 부재의 형상 등을 적절히 변경할 수 있다. 예를 들어, 스프링(55)을 탄성 변형시킴으로써 처리 대상물(10)을 고정할 수 있는 구성이면, U자 이외의 부재를 사용할 수 있다. 또한, 스프링(55)의 위치를, 접촉면(53a)과 U자 부재(54) 사이에 배치할 수도 있다.The exposure apparatus 20 described in the above embodiment is an example, and the shape and the like of the member can be appropriately changed. For example, a member other than a U-shaped member can be used as long as the treatment object 10 can be fixed by elastically deforming the spring 55. Further, the position of the spring 55 may be disposed between the contact surface 53a and the U-shaped member 54.

상기 실시 형태에서는, 탄성체로서 스프링을 이용한 구성을 설명했지만, 탄성력에 의해 처리 대상물(10)을 고정할 수 있으면 스프링에 한정되지 않으며, 예를 들어 고무를 사용할 수 있다.In the above embodiment, a configuration using a spring as an elastic body has been described. However, if the object to be treated 10 can be fixed by elastic force, it is not limited to a spring. For example, rubber can be used.

상기 실시 형태에서는, 통전 검사용 접촉자를 처리 대상물(10)로 했지만, 가늘고 긴 형상의 부재이면, 다른 처리 대상물에도 본 발명을 적용할 수 있다.In the above embodiment, the contact for energization inspection is the object to be treated 10, but if the object is an elongated shape, the present invention can be applied to other objects to be treated.

상기 실시 형태에서는, 스프링 부재(15)의 양단부를 척(23)에 의해 고정하는 구성이지만, 스프링 부재(15)의 한쪽(예를 들어 연직 방향 상측)만을 척(23)에 의해 고정할 수도 있다.In the above embodiment, the both ends of the spring member 15 are fixed by the chuck 23, but only one of the spring members 15 (for example, the upper side in the vertical direction) can be fixed by the chuck 23 .

상기 실시 형태에서는, 척(23)을 구비하는 처리 장치로서, 노광 장치(20)를 예로 들어 설명했지만, 노광 장치(20) 이외에도 본원의 척(23)을 적용할 수 있다. 예를 들어, 도 1 및 도 2에서 나타내는 각 처리(예를 들어 에칭 처리)에 있어서, 처리 대상물(10)을 파지하여 이동시키는 장치에 척(23)을 채용할 수 있다.Although the exposure apparatus 20 has been described as an example of the processing apparatus having the chuck 23 in the above embodiment, the chuck 23 of the present invention can be applied in addition to the exposure apparatus 20. For example, a chuck 23 may be employed in an apparatus for gripping and moving the object 10 to be processed in each processing (for example, etching processing) shown in Figs. 1 and 2.

10: 처리 대상물
20: 노광 장치(처리 장치)
21: 베이스부
22: 척 설치부
23: 척
24: 노광부
41: 통 형상 부재
42: 고정구
51: 삽입 구멍
52: 모세관
53: 소경부(제2 부재)
54: U자 부재(제1 부재)
55: 스프링(탄성체)10: object to be treated
20: Exposure device (processing device)
21: Base portion
22: Chuck mounting part
23: Chuck
24:
41: cylindrical member
42: Fixture
51: Insertion hole
52: capillary tube
53: small-diameter portion (second member)
54: U-shaped member (first member)
55: spring (elastic body)

Claims

삭제delete

가늘고 긴 형상의 부재를 처리 대상물로 하고, 당해 처리 대상물을 파지하여 고정하는 척으로서,
탄성체를 갖고, 상기 탄성체에 힘을 가하여 변형시킴으로써, 탄성력에 의해 상기 처리 대상물을 고정하는 상태로부터, 상기 처리 대상물에 탄성력이 가해지지 않는 상태로 전환 가능하고,
대향하도록 배치된 2개의 부분을 갖는 제1 부재와,
상기 제1 부재의 대향하도록 배치된 2개의 부분 사이에 배치되는 제2 부재를 구비하고,
상기 탄성체의 탄성력에 의해, 상기 제1 부재와 상기 제2 부재 사이에 상기 처리 대상물을 고정하는 것을 특징으로 하는 척.1. A chuck for gripping and fixing an object to be treated as an object to be treated,
The elastic member is deformed by exerting a force on the elastic member so that the elastic member is capable of being switched from a state in which the object to be processed is fixed by an elastic force to a state in which elastic force is not applied to the object,
A first member having two parts arranged to face each other,
And a second member disposed between two portions of the first member arranged to face each other,
And the object to be treated is fixed between the first member and the second member by the elastic force of the elastic body.

베이스부와,
상기 베이스부에 설치되는 척 설치부와,
상기 척 설치부에 설치되는 제2항에 기재된 척
을 구비하는 처리 장치로서,
상기 척 설치부와 상기 척이 자력에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 처리 장치.A base portion,
A chuck mounting part provided on the base part,
The chuck according to claim 2,
The processing apparatus comprising:
Wherein the chuck mounting portion and the chuck are fixed by a magnetic force.

제3항에 있어서,
상기 척 설치부와 상기 척 중 한쪽이 자석을 구비하고, 다른 쪽이 자성을 갖는 고정구를 구비하는 것을 특징으로 하는 처리 장치.The method of claim 3,
Wherein one of the chuck mounting portion and the chuck has a magnet and the other has a magnet.

제3항에 있어서,
상기 처리 대상물의 표면에는 레지스트층이 형성되어 있고,
상기 척에 고정된 상기 처리 대상물에 광을 조사하는 노광부를 구비하는 것을 특징으로 하는 처리 장치.The method of claim 3,
A resist layer is formed on the surface of the object to be treated,
And an exposure unit for irradiating light to the object to be processed fixed to the chuck.

제5항에 있어서,
상기 척은 상기 처리 대상물의 길이 방향을 회전축 방향으로 하여 회전 가능하고,
상기 척 또는 상기 노광부는 상기 처리 대상물의 길이 방향으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 처리 장치.6. The method of claim 5,
Wherein the chuck is rotatable about the longitudinal axis of the object in the direction of the axis of rotation,
Wherein the chuck or the exposure unit is movable in the longitudinal direction of the object to be processed.

제3항에 있어서,
상기 처리 대상물은, 스프링 구조를 갖는 통전 검사용 접촉자를 작성하기 위한 부재인 것을 특징으로 하는 처리 장치.The method of claim 3,
Wherein the object to be treated is a member for creating a contact for energization inspection having a spring structure.

제3항에 있어서,
상기 척은 상기 처리 대상물의 양단부에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 처리 장치.The method of claim 3,
Wherein the chuck is disposed at both ends of the object to be processed.

제2항에 있어서,
상기 제1 부재의 단면이 U자 형상인 것을 특징으로 하는 척.3. The method of claim 2,
Wherein a cross section of the first member is U-shaped.