KR101519843B1 - Printing apparatus and method being available to measure and compensate synchronization error using motor feedback signal - Google Patents

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Abstract

본 발명은 구동 피드백 신호를 이용한 동기화 오차를 계측 및 보정하는 인쇄 장치 및 방법에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 전자 인쇄에 있어서 롤의 인압에 의한 변형 등에 따라 발생되는 롤과 기판 지지부 간의 동기화 오차를 구동 피드백 신호를 이용하여 보정할 수 있도록 하는, 구동 피드백 신호를 이용한 동기화 오차를 계측 및 보정하는 인쇄 장치 및 방법을 제공함에 있다.The present invention relates to a printing apparatus and method for measuring and correcting a synchronization error using a driving feedback signal, and an object of the present invention is to provide a printing apparatus and a printing method for controlling a synchronization error between a roll and a substrate support caused by, The present invention also provides a printing apparatus and method for measuring and correcting a synchronization error using a drive feedback signal so as to be corrected using a drive feedback signal.

Description

구동 피드백 신호를 이용한 동기화 오차를 계측 및 보정하는 인쇄 장치 및 방법 {Printing apparatus and method being available to measure and compensate synchronization error using motor feedback signal}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a printing apparatus and a method for measuring and correcting a synchronization error using a driving feedback signal,

본 발명은 구동 피드백 신호를 이용한 동기화 오차를 계측 및 보정하는 인쇄 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a printing apparatus and method for measuring and correcting a synchronization error using a drive feedback signal.

기존의 전자 소자 제작 기술에서는 리소그래피(lithography) 기술이 널리 사용되어 왔다. 그런데 리소그래피 기술을 사용하여 실제 공정을 구성하자면, 진공 증착, 노광, 현상, 도금 또는 에칭 등 다양하고 복잡한 세부 공정들이 필요하여, 공정 설계 및 장치 구성이 복잡해지는 등의 문제가 있었다. 더불어 다양한 분야에서의 미세 기술의 발전으로 인하여, 굳이 포토 리소그래피가 아니고서도 다른 방식으로 집적 회로를 만들 수 있는 방법이 모색되어 왔다.Lithography techniques have been widely used in conventional electronic device fabrication techniques. However, in order to constitute an actual process using the lithography technique, various complicated processes such as vacuum deposition, exposure, development, plating or etching are required, and the process design and device configuration are complicated. In addition, due to the development of micro-technologies in various fields, a method has been sought for making an integrated circuit differently from photolithography.

전자 인쇄는 간단히 인쇄(printing) 공정을 수행함으로써 전자 소자를 제작하는 방식의 기술이다. 전자 인쇄는 앞서 설명한 포토 리소그래피 공정을 대체함으로써 포토 리소그래피 공정에 내재되어 있는 공정 복잡성을 근본적으로 제거해 줄 수 있기 때문에, 최근 다양한 분야로 적용 범위가 확대되는 등 그에 대한 연구가 활발히 이루어지고 있다. 최근 활용되고 있는 인쇄 기술로, 비접촉식 인쇄 기술로는 잉크젯, 스프레이, 슬롯다이 코팅 등이 있으며, 접촉식 인쇄 기술로는 그라비아, 그라비아 옵셋, 리버스 옵셋, 스크린 인쇄를 대표적으로 들 수 있다.Electronic printing is a technique of manufacturing an electronic device by simply performing a printing process. Since electronic printing can fundamentally eliminate the process complexity inherent in the photolithography process by replacing the photolithography process described above, researches have been actively conducted in recent years, such that the application range is expanded to various fields. Non-contact printing technologies include inkjet, spray, and slot die coating. Contact-type printing technologies include gravure, gravure offset, reverse offset, and screen printing.

한편, 최근 반도체 제작 기술에 있어서 단단한 재질의 기판이 아닌 유연한 재질의 필름 형태의 기판이 사용되는 경우가 증가하고 있다. 이러한 필름 형태의 기판을 사용할 경우 공정 속도가 증대되어 대량 양산이 가능해지는 장점이 있다. 이 때 여기에 상술한 바와 같은 전자 인쇄 기술이 결합되면 더욱 생산 효율이 증가할 수 있다는 점에서, 이러한 롤투롤(roll-to-roll) 생산 방식과 전자 인쇄 기술의 결합에 대한 연구가 매우 활발히 이루어지고 있다.On the other hand, in recent semiconductor manufacturing technology, a flexible substrate made of film rather than a rigid substrate has been used. When such a film type substrate is used, the process speed is increased and mass production is possible. The combination of the roll-to-roll production method and the electronic printing technology is very active in that the production efficiency can be further increased by combining the electronic printing technology as described above ought.

비접촉식 인쇄 기법의 경우 넓은 면적을 고르게 코팅하는 식의 인쇄를 수행하기에 적합한 반면, 미세한 패턴을 형성하기 위해서는 그라비아, 리버스 옵셋 등과 같은 접촉식 인쇄 기법이 주로 사용된다. 이러한 접촉식 인쇄 기법에서는 연속적 공정을 위해 일반적으로 롤이 많이 사용된다. 즉 롤 상에 인쇄할 패턴이 형성되고, 이 롤 상의 패턴이 기판으로 전사되어 인쇄가 이루어지도록 하는 것이다. 이러한 접촉식 인쇄 기법은 단단한 재질의 기판 또는 유연한 재질의 기판 모두에 적용할 수 있는데, 단단한 재질의 기판의 경우 롤과 스테이지 상에 놓인 기판이 접촉하게 되며, 유연한 재질의 기판의 경우 롤과 다른 롤 또는 다른 평판형 지지부에 의해 지지되는 유연 기판이 접촉하게 된다. 기판을 제외하면 전자의 경우에는 롤과 스테이지가 접촉하는 셈이 되며, 후자의 경우에는 롤과 롤 또는 롤과 평판형 지지부가 접촉하는 셈이 된다.
In the non-contact type printing method, it is suitable to perform printing in which a large area is uniformly coated, whereas in the case of forming a fine pattern, contact type printing techniques such as gravure and reverse offset are mainly used. In this contact printing technique, rolls are generally used for continuous processing. That is, a pattern to be printed is formed on the roll, and the pattern on the roll is transferred to the substrate to perform printing. Such a contact printing technique can be applied to both rigid substrates and flexible substrates. In the case of a rigid substrate, the roll and the substrate placed on the stage come in contact. In the case of a flexible substrate, Or a flexible substrate supported by another plate-like support is brought into contact. In the former case, the roll and the stage contact each other. In the latter case, the roll, the roll or the roll and the plate-like support come into contact.

이러한 롤을 이용한 접촉식 전자 인쇄에 있어서, 롤이 회전하는 속도와 기판을 지지하는 기판 지지부가 이동하는 속도가 잘 동기화되어야 함은 당연하다. 이 동기화가 제대로 이루어지지 않을 경우 롤이 미끄러지는 등의 문제가 발생하여 기판 상에 패턴이 올바르게 인쇄되지 못하는 것이다.In the contact type electronic printing using such a roll, it is natural that the speed at which the roll is rotated and the speed at which the substrate support for supporting the substrate moves must be well synchronized. If the synchronization is not properly performed, the rolls may slip and the pattern may not be printed correctly on the substrate.

롤의 회전 속도와 기판 지지부의 이동 속도를 동기화하기 위해서는 롤의 반경 및 롤의 회전 각속도의 곱과 기판 지지부의 선형 이동 속도가 동일하게 만들어 주기만 하면 된다. 그런데, 실제로는 롤의 표면이 고무 등과 같은 유연한 재질로 되어 있으며, 롤이 기판 상에 인압되면서 인쇄 작업이 수행되기 때문에 즉 인쇄 위치에서 롤이 눌려져서 반경이 변화하게 된다. 이에 따라 단순히 변형이 일어나지 않은상태의 롤의 반경 및 롤의 회전 각속도의 곱과 기판 지지부의 선형 이동 속도를 동일하게 맞추어 준다고 해도, 실제 인쇄 작업 시에는 롤 반경의 변화로 인하여 롤과 기판 간 동기화 오차가 발생하게 된다.In order to synchronize the rotation speed of the roll with the movement speed of the substrate supporting portion, the product of the radius of the roll and the rotational angular speed of the roll and the linear movement speed of the substrate supporting portion need only be made equal. However, in reality, the surface of the roll is made of a flexible material such as rubber or the like, and the printing operation is carried out while the roll is pressurized on the substrate, that is, the roll is pressed at the printing position to change the radius. Even if the product of the radius of the roll and the rotational angular velocity of the roll are not equal to each other and the linear movement speed of the substrate support is made equal to each other, .

종래에 접촉식 인쇄에 있어서의 오차 보정을 위한 여러 기술이 개시된 바 있다. 한국특허등록 제0981278호("롤과 기판의 정렬오차 보정이 가능한 유연 전자소자의 인쇄 장치 및 그 인쇄 방법", 2010.09.03) 등에서는 인쇄 위치의 정렬을 위한 다양한 오차의 보정 기술이 개시되는데, 이들은 원천적으로 상술한 바와 같은 롤과 기판 지지부 간의 동기화 오차를 전혀 보정할 수 없다. 일본특허공개 제2004-058536호("동기 보상 장치", 2004.02.26)에는 롤과 기판 간의 미끄러짐에 의해 발생되는 오차를 보정하기 위한 기술이 개시되기는 하나, 이는 단지 윤전 인쇄기에서 주행지가 올바르게 이송되고 있는지를 선단 검출기로 검출하여 홀더 등의 회전을 제어하는 것으로서, 롤의 반경이 변화하는 경우에 대한 전제가 전혀 없어 상술한 바와 같은 롤과 기판 지지부 간의 동기화 오차 문제에 대한 해결 방안이 전혀 없다.Conventionally, various techniques for error correction in contact printing have been disclosed. Korean Patent Registration No. 0981278 ("Flexible electronic element printing apparatus and its printing method capable of correcting misalignment between rolls and substrates", Sep. 3, 2010) discloses a technique of correcting various errors for aligning printing positions. They can not at all compensate for the synchronization error between the roll and the substrate support essentially as described above. Japanese Patent Laid-Open No. 2004-058536 ("Synchronous Compensating Device ", Feb. 26, 2004) discloses a technique for correcting an error caused by slippage between a roll and a substrate. However, And the rotation of the holder or the like is detected by detecting with the tip detector, there is no assumption that the radius of the roll changes, and there is no solution to the problem of the synchronization error between the roll and the substrate support as described above.

이처럼 종래에는, 전자 인쇄에 있어서 롤의 인압에 의한 변형 등에 따라 발생되는 롤과 기판 지지부 간의 동기화 오차를 보정할 수 있는 방안이 전혀 없어, 인쇄 정밀도 향상에 큰 제한이 발생하는 문제가 있었다.
Thus, conventionally, there is no method for correcting the synchronization error between the roll and the substrate supporting portion, which is caused by the deformation of the roll due to the pressure of the roll in the electronic printing, and there is a problem that the printing precision is greatly improved.

1. 한국특허등록 제0981278호("롤과 기판의 정렬오차 보정이 가능한 유연 전자소자의 인쇄 장치 및 그 인쇄 방법", 2010.09.03)1. Korean Patent No. 0981278 ("Flexible electronic device printing apparatus and its printing method capable of correcting misalignment between rolls and substrates ", 2010.09.03) 2. 일본특허공개 제2004-058536호("동기 보상 장치", 2004.02.26)2. Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-058536 ("Synchronous Compensating Device ", Feb. 26, 2004)

따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 전자 인쇄에 있어서 롤의 인압에 의한 변형 등에 따라 발생되는 롤과 기판 지지부 간의 동기화 오차를 구동 피드백 신호를 이용하여 계측 및 보정할 수 있도록 하는, 구동 피드백 신호를 이용한 동기화 오차를 계측 및 보정하는 인쇄 장치 및 방법을 제공함에 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide a method and apparatus for controlling the synchronization error between a roll and a substrate support caused by deformation of the roll by pressure of the roll, The present invention also provides a printing apparatus and method for measuring and correcting a synchronization error using a drive feedback signal, which enables measurement and correction using a signal.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구동 피드백 신호를 이용한 동기화 오차를 계측 및 보정하는 인쇄 장치는, 표면이 유연 재질로 형성되는 롤(111)과, 상기 롤(111)을 회전시키는 회전 구동력(FR)을 발생시키는 모터(112)를 포함하여 이루어지는 회전부(110); 상부에 기판(500)이 배치되어 상기 기판(500)을 지지하는 스테이지(121)와, 상기 스테이지(121)를 상기 롤(111)의 접선 방향과 나란한 방향으로 상대 이동시키는 이동 구동력(FL)을 발생시키는 액추에이터(122)를 포함하여 이루어지는 지지부(120); 상기 회전부(110) 및 상기 지지부(120) 간의 간격을 변화시켜 상기 롤(111)을 상기 기판(500)에 밀착 및 인압 가능하도록 형성되는 인압부(130); 상기 모터(112)의 회전 구동력(FR) 발생을 위한 회전 구동 인가 전력 및 상기 액추에이터(122)의 이동 구동력(FL) 발생을 위한 이동 구동 인가 전력을 각각 독립적으로 인가하되, 상기 롤(111) 회전 시 발생되는 회전 저항력(FdR) 및 상기 액추에이터(122) 이동 시 발생되는 이동 저항력(FdL)에 의해 각각 발생된 오차를 피드백 제어하여 회전 구동 인가 전력 및 이동 구동 인가 전력 각각을 조절하여 인가하는 제어부(140); 를 포함하여 이루어지되, 상기 제어부(140)는, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 접촉 시에, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)의 비접촉 상태에 상응하는 상태가 유지되도록 인가 전력을 조절하여, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)의 접촉 시 발생되는 마찰력(Fsyn)에 의한 동기화 오차를 계측 및 보정하도록 제어하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a printing apparatus for measuring and correcting a synchronization error using a driving feedback signal, the printing apparatus comprising: a roll having a surface formed of a flexible material; A rotation part 110 including a motor 112 for generating a driving force F R ; And a moving driving force F L for relatively moving the stage 121 in a direction parallel to the tangential direction of the roll 111. The driving force F L , A support portion 120 including an actuator 122 for generating an electric field; A pressing unit 130 configured to change the interval between the rotation unit 110 and the support unit 120 so that the roll 111 can be pressed against the substrate 500; The rotational driving power for generating the rotational driving force F R of the motor 112 and the moving driving applying power for generating the moving driving force F L of the actuator 122 are independently applied, (F dR ) generated when the actuator 122 rotates and the movement resistance force F dL generated when the actuator 122 moves, respectively, to adjust the rotation drive application power and the movement drive application power A control unit 140 for applying the control signal; Wherein the control unit 140 controls the roll 111 and the substrate 500 so that the state corresponding to the contactless state of the roll 111 and the substrate 500 is maintained when the roll 111 and the substrate 500 are in contact with each other. And controlling the applied electric power to measure and correct a synchronization error due to the friction force F syn generated when the roll 111 and the substrate 500 are contacted.

이 때 상기 제어부(140)는, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 비접촉한 상태에서의 회전 구동력(FR) 및 이동 구동력(FL)을 각각 기준 회전 구동력(FrefR) 및 기준 이동 구동력(FrefL)으로 하여, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 접촉한 상태에서, 상기 마찰력(Fsyn)에 의하여 발생되는 이동 구동력(FL) 및 기준 이동 구동력(FrefL)의 차이 값이 0이 될 때까지, 이동 구동력(FL) 및 기준 이동 구동력(FrefL)의 차이 값을 회전 구동력(FR) 발생을 위한 회전 구동 인가 전력에 피드포워드함으로써 회전 구동력(FR)을 보정하여 제어할 수 있다.The controller 140 controls the rotational driving force F R and the moving driving force F L in a state in which the roll 111 and the substrate 500 are not in contact with the reference rotational driving force F refR , movement driving force to the (F refL), the roll (111) and in a state where the contact with the substrate 500, the friction force moving the drive force generated by the (F syn) (F L) and the reference movement the driving force (F refL) The difference value between the movement drive force F L and the reference movement drive force F refL is fed forward to the rotation drive application power for generating the rotation drive force F R until the difference value of the rotation drive force F R ) Can be corrected and controlled.

또는 상기 제어부(140)는, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 비접촉한 상태에서의 회전 구동력(FR) 및 이동 구동력(FL)을 각각 기준 회전 구동력(FrefR) 및 기준 이동 구동력(FrefL)으로 하여, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 접촉한 상태에서, 상기 마찰력(Fsyn)에 의하여 발생되는 회전 구동력(FR) 및 기준 회전 구동력(FrefR)의 차이 값이 0이 될 때까지, 회전 구동력(FR) 및 기준 회전 구동력(FrefR)의 차이 값을 이동 구동력(FL) 발생을 위한 이동 구동 인가 전력에 피드포워드함으로써 이동 구동력(FL)을 보정하여 제어할 수 있다.Or the control unit 140 controls the rotational driving force F R and the moving driving force F L in a state in which the roll 111 and the substrate 500 are not in contact with the reference rotational driving force F refR , Due to the driving force (F refL), of the roll 111 and the substrate 500 in a state of contact, rotational driving force (F R) and the rotation driving force generated by the frictional force (F syn) (F refR) until the difference value is zero, the rotational driving force (F R) and the rotation driving force (F refR) moves the driving force by the forward movement drive is feed to the power for the movement drive force (F L) generating a difference value of (F L) Can be corrected.

또한 상기 모터(112)는, 직접 구동식 회전 모터(Direct Drive Rotary motor, DDR motor)로 이루어질 수 있다. 또한 상기 액추에이터(122)는, 선형 모터(linear motor) 또는 직접 구동식 회전 모터(Direct Drive Rotary motor, DDR motor)로 이루어질 수 있다.
Also, the motor 112 may be a direct drive rotary motor (DDR motor). The actuator 122 may be a linear motor or a direct drive rotary motor (DDR motor).

또한, 본 발명의 구동 피드백 신호를 이용한 동기화 오차를 계측 및 보정하는 인쇄 방법은, 롤(111) 및 모터(112)를 포함하여 이루어지는 회전부(110); 스테이지(121) 및 액추에이터(122)를 포함하여 이루어지는 지지부(120); 상기 회전부(110) 및 상기 지지부(120) 간의 간격을 변화시키는 인압부(130); 상기 모터(112)의 회전 구동력(FR) 발생을 위한 회전 구동 인가 전력 및 상기 액추에이터(122)의 이동 구동력(FL) 발생을 위한 이동 구동 인가 전력을 각각 독립적으로 인가하되, 상기 롤(111) 회전 시 발생되는 회전 저항력(FdR) 및 상기 액추에이터(122) 이동 시 발생되는 이동 저항력(FdL)에 의해 각각 발생된 오차를 피드백 제어하여 회전 구동 인가 전력 및 이동 구동 인가 전력 각각을 조절하여 인가하는 제어부(140); 를 포함하여 이루어지는 인쇄 장치(100)를 이용한 동기화 오차를 보정하는 인쇄 방법으로서, 상기 제어부(140)는, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 접촉 시에, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)의 비접촉 상태에 상응하는 상태가 유지되도록 인가 전력을 조절하여, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)의 접촉 시 발생되는 마찰력(Fsyn)에 의한 동기화 오차를 계측 및 보정하도록 제어하는 것을 특징으로 한다.A printing method for measuring and correcting a synchronization error using the driving feedback signal according to the present invention includes a rotation unit 110 including a roll 111 and a motor 112; A support 120 comprising a stage 121 and an actuator 122; A pressing unit 130 for changing the interval between the rotation unit 110 and the support unit 120; The rotational driving power for generating the rotational driving force F R of the motor 112 and the moving driving applying power for generating the moving driving force F L of the actuator 122 are independently applied, (F dR ) generated when the actuator 122 rotates and the movement resistance force F dL generated when the actuator 122 moves, respectively, to adjust the rotation drive application power and the movement drive application power A control unit 140 for applying the control signal; Wherein the controller (140) controls the roll (111) and the substrate (500) when the roll (111) and the substrate (500) are in contact with each other, The applied electric power is adjusted so that the state corresponding to the non-contact state of the substrate 500 is maintained to measure and correct a synchronization error due to the friction force F syn generated when the roll 111 and the substrate 500 are contacted And a control unit.

이 때 상기 인쇄 방법은, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 비접촉한 상태에서, 상기 제어부(140)에서 인가하는 회전 구동 인가 전력이 상기 롤(111) 회전 시 발생되는 회전 저항력(FdR)을 사용하여 피드백 제어되고, 상기 제어부(140)에서 인가하는 이동 구동 인가 전력이 상기 스테이지(121) 이동 시 발생되는 이동 저항력(FdL)을 사용하여 피드백 제어되는 비접촉 피드백 제어 단계(S1); 상기 비접촉 피드백 제어 단계(S1)에서, 피드백 제어에 의하여 회전 저항력(FdR)이 보정된 회전 구동력(FR)이 기준 회전 구동력(FrefR) 값으로 상기 제어부(140)에 데이터베이스화되어 저장되고, 피드백 제어에 의하여 이동 저항력(FdL)이 보정된 이동 구동력(FL)이 기준 이동 구동력(FrefL) 값으로 상기 제어부(140)에 데이터베이스화되어 저장되는 기준값 생성 단계(S2); 상기 인압부(130)에 의하여 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 접촉하는 롤-기판 접촉 단계(S3); 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 접촉한 상태에서, 상기 제어부(140)가 상기 마찰력(Fsyn)에 의하여 발생되는 이동 구동력(FL) 및 기준 이동 구동력(FrefL)의 차이 값 또는 회전 구동력(FR) 및 기준 회전 구동력(FrefR)의 차이 값 중 선택되는 적어도 어느 하나가 0이 되도록 회전 구동력(FR) 또는 이동 구동력(FL) 중 선택되는 적어도 어느 하나를 보정하여 제어하는 접촉 피드백 제어 단계(S4); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.At this time, in the printing method, when the roll 111 and the substrate 500 are not in contact with each other, the rotational driving force applied by the controller 140 is lower than the rotational resistance F dR) to be a feedback control by using the mobile driving electric power applied to the non-contact feedback control step of feedback control using a movement resistance (F dL) generated during movement of the stage 121 to be applied from the controller (140) (S1) ; In the non-contact feedback control step S1, the rotational driving force F R , whose rotational resistance F dR is corrected by the feedback control, is stored in the controller 140 as a reference rotational driving force F refR , A reference value generating step S2 in which the moving force F L corrected by the feedback control F dL is stored in the controller 140 as a reference moving force F refL value; A roll-substrate contacting step (S3) in which the roll (111) and the substrate (500) are in contact with each other by the pressure applying unit (130); The control unit 140 determines the difference value F L between the movement driving force F L and the reference movement driving force F refL generated by the frictional force F syn in the state that the roll 111 and the substrate 500 are in contact with each other, Or at least one of the rotational driving force F R or the moving driving force F L is corrected so that at least one of the difference between the rotational driving force F R and the reference rotational driving force F refR becomes zero A contact feedback control step (S4) for controlling the contact; And a control unit.

이 때 상기 접촉 피드백 제어 단계(S4)는, 상기 제어부(140)가 상기 마찰력(Fsyn)에 의하여 발생되는 이동 구동력(FL) 및 기준 이동 구동력(FrefL)을 비교하는 단계; 상기 제어부(140)가 이동 구동력(FL) 및 기준 이동 구동력(FrefL)의 차이 값이 0이 될 때까지, 이동 구동력(FL) 및 기준 이동 구동력(FrefL)의 차이 값을 회전 구동력(FR) 발생을 위한 회전 구동 인가 전력에 피드포워드하는 단계; 를 포함하여 이루어질 수 있다.In this case, the contact feedback control step S4 may include comparing the moving driving force F L and the reference moving driving force F refL generated by the frictional force F syn by the controller 140; The control unit 140 sets the difference value between the movement driving force F L and the reference movement driving force F refL to the rotational driving force F L until the difference between the movement driving force F L and the reference movement driving force F refL becomes zero. Feeding forward to the rotational drive applied power for generation of the rotational force F R ; . ≪ / RTI >

또는 상기 접촉 피드백 제어 단계(S4)는, 상기 제어부(140)가 상기 마찰력(Fsyn)에 의하여 발생되는 회전 구동력(FR) 및 기준 회전 구동력(FrefR)을 비교하는 단계; 상기 제어부(140)가 회전 구동력(FR) 및 기준 회전 구동력(FrefR)의 차이 값이 0이 될 때까지, 회전 구동력(FR) 및 기준 회전 구동력(FrefR)의 차이 값을 이동 구동력(FL) 발생을 위한 이동 구동 인가 전력에 피드포워드하는 단계; 를 포함하여 이루어질 수 있다.
Alternatively, the contact feedback control step S4 may include: comparing the rotational driving force F R and the reference rotational driving force F refR generated by the frictional force F syn by the controller 140; The controller 140 controls the rotational driving force (F R) and the rotation driving force until the difference value (F refR) reaches zero, the rotational driving force (F R) and the rotation driving force to move the difference value (F refR) driving force (F L ); . ≪ / RTI >

본 발명에 의하면, 전자 인쇄에 있어서 롤의 인압에 의한 변형 등에 따라 발생되는 롤과 기판 지지부 간의 동기화 오차를 계측 및 보정할 수 있도록 하는 큰 효과가 있다. 보다 구체적으로 설명하자면, 전자 인쇄에 사용되는 롤은 표면이 고무 등과 같이 유연하고 탄성을 가지는 재질로 이루어지며, 롤 상에 전자 인쇄용 잉크로 형성되어 있는 패턴을 기판 상에 인압하여 전사함으로써 기판 상에 패턴의 인쇄가 이루어지게 되는데, 이 과정에서 롤의 반경이 변화하게 됨으로써 변형 이전의 원래 롤 반경 및 회전 각속도로 계산한 인쇄 위치에서의 접선 속도와 기판 지지부의 선형 이동 속도 간에 동기화가 이루어지지 못하여 동기화 오차가 발생하게 된다. 종래에는 이러한 동기화 오차를 보정할 수 있는 방법이 전혀 없었으며 따라서 인쇄 정밀도의 향상에 큰 제한이 있었다.According to the present invention, there is a great effect of measuring and correcting a synchronization error between a roll and a substrate supporting part, which is caused by deformation due to pressure of the roll in electronic printing. More specifically, the roll used for electronic printing is made of a flexible and elastic material such as rubber or the like, and a pattern formed by an ink for electronic printing on a roll is transferred onto a substrate by pressure, In this process, since the radius of the roll changes, the synchronization between the tangential velocity at the printing position calculated by the original roll radius and the rotational angular velocity before the deformation and the linear moving velocity of the substrate supporting unit can not be synchronized An error will occur. Conventionally, there has been no method for correcting such a synchronization error, and therefore, there has been a great limitation in improving the printing precision.

본 발명에 의하면, 롤과 기판이 비접촉할 때의 구동 피드백 입력 신호를 기준으로 하여, 롤과 기판이 접촉할 때 비접촉시의 구동 피드백 입력 신호와 동일한 크기의 구동 피드백 입력 신호가 나오도록 롤 회전 속도 또는 스테이지 이동 속도를 조절해 줌으로써 비접촉 시와 동일한 상태 조건을 만들어서, 인쇄 시 롤과 기판이 접촉할 때 동기화 오차에 의하여 발생되는 마찰력을 상쇄하여, 궁극적으로는 전자 인쇄 장비에서의 동기화 오차를 계측 및 보정해 줄 수 있다는 큰 효과가 있다. 물론 이처럼 동기화 오차를 계측 및 보정해 줌으로써 전자 인쇄에서의 인쇄 정밀도를 비약적으로 향상시킬 수 있는 효과도 있다.According to the present invention, when the roll and the substrate are brought into contact with each other, the drive feedback input signal when the roll and the substrate are not in contact with each other is used as a reference, Or the stage moving speed is controlled to make the same state conditions as in the non-contact mode, thereby canceling the frictional force generated by the synchronization error when the roll and the substrate come into contact during printing, and ultimately, There is a big effect that can be corrected. Of course, by measuring and correcting the synchronization error as described above, the printing precision in electronic printing can be dramatically improved.

특히 본 발명에 의하면, 종래에 사용되던 전자 인쇄 장비에 별도의 장치를 더 부가할 필요가 없이, 전자 인쇄 장비에 기본적으로 장착되어 있는 제어부의 제어 로직을 개선해 주는 것만으로 동기화 오차의 계측 및 보정이 가능하기 때문에, 장비를 교체하거나 하지 않고 기존에 설비되어 있던 전자 인쇄 장비를 거의 그대로 활용할 수 있어, 인쇄 정밀도를 크게 향상할 수 있으면서도 장비 교체 비용 등이 거의 발생하지 않는 큰 경제적 효과 또한 얻을 수 있다.
In particular, according to the present invention, it is not necessary to add a separate device to the electronic printing equipment used in the past, and only the control logic of the control unit installed in the electronic printing equipment is improved to measure and correct the synchronization error Therefore, it is possible to utilize the existing electronic printing equipment as it is without replacing the equipment, so that it is possible to greatly improve the printing precision, and it is also possible to obtain a great economic effect in which the equipment replacement cost hardly occurs.

도 1은 종래의 일반적인 롤을 사용하는 접촉식 인쇄 장비의 구조.
도 2는 롤의 회전 및 기판의 상대 이동 및 동기화 오차 발생 원리.
도 3은 본 발명의 인쇄 장치.
도 4는 이동부 구성 예시.
도 5는 종래의 인쇄 장치 제어 원리.
도 6, 7은 본 발명의 인쇄 장치 제어 및 동기화 오차 계측 및 보정 원리.
도 8은 본 발명의 동기화 오차 계측 및 보정 방법의 흐름도.FIG. 1 shows the structure of a conventional contact type printing apparatus using a roll.
2 shows the principle of rotation of the roll and relative movement of the substrate and generation of synchronization errors.
3 is a printing apparatus according to the present invention.
4 is an example of the configuration of the moving part.
Fig. 5 shows a conventional printing apparatus control principle.
Figures 6 and 7 illustrate the printing device control and synchronization error measurement and correction principles of the present invention.
8 is a flow chart of a synchronization error measurement and correction method of the present invention.

이하, 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 구동 피드백 신호를 이용한 동기화 오차를 계측 및 보정하는 인쇄 장치 및 방법을 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.
Hereinafter, a printing apparatus and method for measuring and correcting a synchronization error using the driving feedback signal according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 전자 인쇄에서 발생되는 동기화 오차에 대하여 보다 구체적으로 상세히 설명한다.First, synchronization errors generated in electronic printing will be described in more detail.

도 1은 종래의 일반적인 롤을 사용하는 접촉식 인쇄 장비의 구조를 도시하고 있다. 도시된 바와 같이, 일반적으로 롤을 사용하는 접촉식 인쇄 장비는, 롤(111') 및 모터(112')로 이루어지는 회전부(110'), 기판(500')을 지지하는 지지부(120'), 상기 회전부(110')를 상하 이동 가능하도록 이루어져 상기 지지부(120') 상에 배치된 상기 기판(500')상에 상기 롤(111')을 인압시키는 인압부(130')를 포함하여 이루어진다. 도면 상에서는 상기 지지부(120')가 스테이지 형태로 되어 있는 예시를 도시하고 있으며 이러한 경우에는 상기 기판(500')이 단단한 재질로 되는데, 물론 상기 기판(500')이 유연한 재질로 되는 경우라면 상기 지지부(120')는 롤 형태로 될 수 있는 등 상기 지지부(120')의 형태가 반드시 스테이지 형태인 것으로 한정되지는 않는다. 간략하게 인쇄 원리를 설명하자면, 상기 롤(111') 상에 전자 인쇄용 잉크로 패턴이 형성되어 있는 상태에서, 상기 롤(111')이 상기 인압부(130')의 하강에 의해 상기 기판(500')을 누르게 된다. 이 상태로 상기 롤(111')이 회전하고, 또한 이와 동기화된 속도로 상기 지지부(120')가 상대 이동함으로써, 상기 롤(111') 상의 패턴이 상기 기판(500') 상으로 전사됨으로써 상기 기판(500') 상에 패턴 인쇄가 이루어지게 된다. 이 때, 도 1 상의 예시에 나타난 바와 같이 상기 롤(111')이 회전함과 동시에 선형 이동을 함으로써 상기 회전부(110') 및 상기 지지부(120') 간 상대 이동이 이루어질 수도 있으나 물론 이에 한정되는 것은 아니고, 또는 상기 회전부(110')는 상기 롤(111')을 회전시키기만 하고 상기 지지부(120')가 직접 이동을 함으로써 상기 회전부(110') 및 상기 지지부(120') 간 상대 이동이 이루어질 수도 있는 등, 상기 회전부(110') 및 상기 지지부(120') 간 상대 이동이 이루어지기만 한다면 어느 쪽이 이동하도록 형성되든 무방하다.FIG. 1 shows the structure of a conventional contact type printing apparatus using a roll. As shown in the figure, a contact type printing apparatus using a roll generally includes a rotation unit 110 'comprising a roll 111' and a motor 112 ', a support 120' supporting the substrate 500 ' And a pressing part 130 'which is movable up and down by the rotation part 110' and presses the roll 111 'on the substrate 500' disposed on the supporting part 120 '. In the figure, the supporting part 120 'is in the form of a stage. In this case, the substrate 500' is made of a rigid material. Of course, if the substrate 500 'is made of a flexible material, The support 120 'may be in the form of a roll, and the shape of the support 120' is not necessarily limited to a stage. A description will be briefly made of a printing principle in which the roll 111 'is rotated by the descent of the pressure applying portion 130' while the pattern of the electronic printing ink is formed on the roll 111 ' '). The pattern on the roll 111 'is transferred onto the substrate 500' by the rotation of the roll 111 'in this state and the supporting portion 120' Pattern printing is performed on the substrate 500 '. In this case, as shown in the example of FIG. 1, the relative movement between the rotation unit 110 'and the support unit 120' may be performed by linearly moving the roll 111 ' Or the relative rotation between the rotation part 110 'and the support part 120' is performed by rotating the roll 111 'while the support part 120' Or may be formed so as to move either of the rotation unit 110 'and the support unit 120' as long as the relative movement is performed between the rotation unit 110 'and the support unit 120'.

도 2는 동기화 오차 발생 원리를 도시한 것이다. 도 2(A')는 이상적인 경우를 도시하고 있다. 상기 롤(111')이 강체로서 반경이 R로 고정되어 변화하지 않고, 또한 상기 모터(112')가 상기 롤(111')를 회전시키는 회전 속도가 ω로 일정하게 유지되고, 상기 지지부(120')의 상기 롤(111')과의 상대 이동 속도가 V로 일정하게 유지된다고 할 경우, Rω = V가 되도록 해 주기만 하면 이상적으로 동기화가 이루어지게 된다.Figure 2 shows the principle of synchronization error generation. 2 (A ') shows an ideal case. The rotation speed at which the roll 111 'is rotated by the motor 112' is kept constant at?, And the support portion 120 ' ') Is maintained at a constant V with respect to the roll 111', ideally synchronization will be achieved only if Rω = V is satisfied.

그런데 실제로는, 앞서 설명하고 도 2(B')에 도시되어 있는 바와도 같이, 상기 롤(111')은 표면이 고무 등과 같은 유연한 재질로 되어 있으며, 상기 인압부(130')가 상기 회전부(110')를 상기 기판(500') 상에 눌러 주는 과정에서 인쇄 위치에서 상기 롤(111')의 형상에 변형이 일어나게 된다. 즉 상기 롤(111')의 반경은 R + ΔR이 되며, 상기 모터(112')의 회전이나 상기 지지부(120') 이동 역시 실제로는 항상 이상적으로 일정하게 유지되지 못하므로, 회전 속도도 ω + Δω가 되고, 이동 속도도 V + ΔV가 된다. 이에 따라 (R + ΔR)(ω + Δω) - (V + ΔV) 만큼의 동기화 오차가 필연적으로 발생하게 되는 것이다.2 (B '), the surface of the roll 111' is made of a flexible material such as rubber, and the pressure-receiving portion 130 ' 110 'is pressed onto the substrate 500', the shape of the roll 111 'is deformed at the printing position. That is, the radius of the roll 111 'is R + ΔR, and the rotation of the motor 112' and the movement of the support 120 'are also not always ideally kept constant, Δω, and the moving speed becomes V + ΔV. Accordingly, a synchronization error of (R +? R) (? + ??) - (V +? V) necessarily occurs.

이 중에서도 특히 상기 롤(111') 반경의 변화는 동기화에 치명적인 오차를 발생시킨다. 종래에도 인쇄 품질 향상을 위해 다양한 관점에서의 연구가 이루어져 왔으나, 이러한 회전부(110')와 지지부(120') 간 상대 운동의 차이로 발생되는 동기화 오차의 해결에 대한 연구는 현재 전무한 실정이다. 그러나 이러한 동기화 오차가 인쇄 품질에 끼치는 영향은 무시할 수 없을 정도로 크다. 실제로 일반적으로 사용되는 전자 인쇄 장비에서, 롤이 눌려진 상태에서 롤이 눌리지 않았다고 가정하고 제어할 경우 오차가 얼마나 나오는지를 시뮬레이션하였을 때 10㎛ 정도의 오차가 나올 수 있다는 점이 밝혀졌는데, 미세 패턴 인쇄 공정에서 이 정도의 오차는 패턴 인쇄가 불가능할 정도의 큰 오차이다. 예를 들어 1㎛ 짜리 선폭의 패턴을 인쇄하려고 하는 경우, 인쇄 장비에서 발생되는 오차가 아무리 크다 해도 1㎛보다는 작아야만 함이 당연한데, 이처럼 10㎛ 정도의 오차가 나올 수 있는 인쇄 장비로 인쇄를 한다면 원하는 품질의 인쇄를 수행하는 것이 거의 불가능하게 된다. 바로 이러한 문제 때문에, 전자 인쇄에서의 인쇄 정밀도에 큰 한계가 발생하는 문제가 종래에 꾸준히 있어 왔던 것이다.
In particular, a change in the radius of the roll 111 'causes a fatal error in synchronization. Conventionally, various studies have been made to improve print quality. However, there is no research on resolving the synchronization error caused by the difference in relative motion between the rotation unit 110 'and the support unit 120'. However, the effect of this synchronization error on the print quality is negligible. In practice, it has been found that an error of about 10 mu m can be generated when simulating the error in the case where the roll is not pressed in the state where the roll is not pressed in the generally used electronic printing equipment. In the fine pattern printing process This error is a large error that the pattern printing is impossible. For example, in the case of printing a pattern having a line width of 1 탆, it is natural that the error generated in the printing apparatus should be smaller than 1 탆. However, if printing is performed with a printing apparatus having an error of about 10 탆 It becomes almost impossible to perform printing with a desired quality. Due to such a problem, there has been a problem that the printing precision in electronic printing is greatly limited.

본 발명에서는 바로 이러한 동기화 오차 문제를 해소하기 위하여, 다음과 같은 동기화 오차를 보정하는 인쇄 장치 및 방법을 제시한다.In order to solve the synchronization error problem, the present invention proposes a printing apparatus and method for correcting the following synchronization errors.

도 3은 본 발명의 동기화 오차를 보정하는 인쇄 장치를 도시한 것이다. 본 발명의 동기화 오차를 보정하는 인쇄 장치(100)는, 회전부(110), 지지부(120), 인압부(130), 제어부(140)를 포함하여 이루어진다. 부연하자면, 상기 회전부(110), 상기 지지부(120), 상기 인압부(130)는 실질적으로 종래의 전자 인쇄 장비에서의 각부와 기본적으로는 동일한 것이며, 상기 제어부(140) 역시 종래의 전자 인쇄 장비에 구비되는 것이지만, 본 발명에서는 이러한 종래의 전자 인쇄 장비를 그대로 활용하되 상기 제어부(140)에서 이루어지는 제어 로직을 개선함으로써, 앞서 설명한 바와 같은 동기화 오차를 보정할 수 있다. 즉 본 발명은 별도의 장치를 더 부가할 필요가 없이, 상기 제어부(140)의 개선만으로 동기화 오차의 보정이 가능하기 때문에, 장비를 교체하거나 할 필요 없이 기존에 설비되어 있던 전자 인쇄 장비를 거의 그대로 활용하면서도 인쇄 정밀도를 크게 향상시킬 수 있는 큰 경제적 효과를 얻을 수 있는 것이다. 이하 각부에 대하여 설명한다.
Fig. 3 shows a printing apparatus for correcting the synchronization error of the present invention. The printing apparatus 100 for correcting the synchronization error of the present invention includes a rotation unit 110, a support unit 120, a pressure application unit 130, and a control unit 140. The rotation unit 110, the support unit 120 and the pressure application unit 130 are basically the same as those of the conventional electronic printing equipment. However, in the present invention, the synchronization error as described above can be corrected by using the conventional electronic printing apparatus as it is and by improving the control logic of the control unit 140. [ That is, according to the present invention, it is not necessary to add a separate device, and the synchronization error can be corrected only by the improvement of the control unit 140, so that the existing electronic printing equipment can be almost It is possible to obtain a great economical effect that can greatly improve the printing precision while utilizing the printing apparatus. Hereinafter, each part will be described.

상기 회전부(110)는, 표면이 유연 재질로 형성되는 롤(111)과, 상기 롤(111)을 회전시키는 회전 구동력(FR)을 발생시키는 모터(112)를 포함하여 이루어진다. 앞서 설명한 바와 같이, 전자 인쇄에서 접촉식 인쇄 기법을 사용하는 경우, 상기 롤(111) 표면에 전자 인쇄용 잉크로 패턴이 형성된 후, 이를 상기 기판(500) 상에 꾹 눌러 찍어 줌으로써 인쇄가 이루어지게 된다. 따라서 상기 롤(111)은 그 표면이 일반적으로 고무, PDMS 등과 같은 유연 재질로 이루어진다는 점이 잘 알려져 있다.The rotation unit 110 includes a roll 111 having a surface formed of a flexible material and a motor 112 for generating a rotational driving force F R for rotating the roll 111. As described above, in the case of using the contact printing technique in electronic printing, a pattern is formed on the surface of the roll 111 with an electronic printing ink, and then the printing is performed by pressing it on the substrate 500 . Therefore, it is well known that the surface of the roll 111 is generally made of a flexible material such as rubber, PDMS, or the like.

상기 지지부(120)는, 상부에 기판(500)이 배치되어 상기 기판(500)을 지지하는 스테이지(121)와, 상기 스테이지(121)를 상기 롤(111)의 접선 방향과 나란한 방향으로 상대 이동시키는 이동 구동력(FL)을 발생시키는 액추에이터(122)를 포함하여 이루어진다. 상기 액추에이터(122)가 이와 같이 상기 스테이지(121)를 상기 롤(111)의 접선 방향과 나란한 방향으로 상대 이동시킴으로써, 상기 롤(111)의 회전과 함께 상기 기판(500)이 상대 이동되어 상기 롤(111) 상의 패턴이 상기 기판(500) 상에 원활하게 전사되어 인쇄될 수 있게 된다. 여기에서 상기 액추에이터(122)는 상기 스테이지(121) 자체를 이동시킬 수도 있고, 또는 반대로 상기 회전부(110)를 이동시킬 수도 있다. 도 3에는 상기 기판(500) 및 상기 스테이지(121)는 고정된 상태로 둔 채 상기 액추에이터(122)가 상기 회전부(110)를 이동시키는 형태로 되어 있으며, 도 4(A)는 이러한 형태의 상기 액추에이터(122)의 간략한 측면 구성을 도시하고 있다. 그런데 상기 액추에이터(122)가 반드시 상기 회전부(110)를 이동시켜야 하는 것은 아니며, 상기 회전부(110)는 고정시켜 둔 채로 상기 기판(500), 즉 상기 스테이지(121)를 이동시키도록 이루어질 수도 있다. 도 4(B)는 상기 회전부(110)는 고정된 채 상기 액추에이더(122)가 상기 스테이지(121)를 이동시키는 형태를 도시하고 있는데, 예를 들어 이러한 형태는 상기 기판(500)이 컨베이어 벨트를 타고 이동하는 형태로 되어 있는 등과 같은 실시 형태로 확장시킬 수 있다. 어떠한 경우이든, 상기 액추에이터(122)가 상기 회전부(110)를 상기 롤(111)의 접선 방향과 나란한 방향으로 상대 이동시킨다는 점에서는 도 4(A)와 도 4(B)가 동일하다. 이처럼, 상기 액추에이터(122)의 형태는 도 3, 도 4 등에 나타난 형태로 한정되는 것이 전혀 아니며, 상술한 바와 같이 상기 회전부(110) 및 상기 지지부(120)를 상대 이동시킬 수 있는 형태라면 어떠한 형태로 이루어져도 무방하다.The supporting unit 120 includes a stage 121 on which a substrate 500 is disposed to support the substrate 500 and a stage 121 on which the stage 121 is moved relative to the roll 111 in a direction parallel to the tangential direction of the roll 111. [ And an actuator 122 for generating a movement driving force F L to be applied. The actuator 122 relatively moves the stage 121 in a direction parallel to the tangential direction of the roll 111 so that the substrate 500 is relatively moved with the rotation of the roll 111, The pattern on the substrate 111 can be smoothly transferred onto the substrate 500 and printed. Here, the actuator 122 may move the stage 121 itself, or conversely, the rotating unit 110 may be moved. 3, the actuator 122 moves the rotation unit 110 while the substrate 500 and the stage 121 are kept stationary. FIG. 4 (A) And shows a simplified side configuration of the actuator 122. As shown in Fig. However, the actuator 122 does not necessarily move the rotation unit 110, and the rotation unit 110 may be fixed while moving the substrate 500, that is, the stage 121. 4 (B) shows a state in which the actuator 121 moves the stage 121 while the rotation unit 110 is fixed. For example, this configuration is a mode in which the substrate 500 is moved by the conveyor The belt may be moved in the form of moving, and the like. In any case, FIGS. 4A and 4B are the same in that the actuator 122 relatively moves the rotation part 110 in a direction parallel to the tangential direction of the roll 111. [ 3 and 4, the actuator 122 is not limited to the shape shown in FIGS. 3 and 4. The actuator 122 may have any shape as long as it can relatively move the rotation unit 110 and the support unit 120 as described above. .

상기 액추에이터(122)의 형태에 대해 좀더 설명하자면 다음과 같다. 상술한 바와 같이 도 3 또는 도 4(A)에서는, 상기 스테이지(121)는 단단한 재질의 평판형 기판에의 인쇄가 가능하도록 평판형 스테이지 형태로 되어 있으며, 상기 스테이지(121)가 고정되어 있고 상기 회전부(110)가 상기 스테이지(121) 상에서 이동 가능하게 형성되는 예시가 도시되어 있으며, 도 4(B)에는 상기 회전부(110)는 고정되어 있되 상기 스테이지(121)에 별도의 이동 구조가 구비됨으로써 상기 기판(500)을 이동시키도록 형성되는 예시가 도시되어 있다. 또는 상기 회전부(110)와 상기 지지부(120) 둘 다 이동 가능하게 형성될 수도 있다. 또한, 도 3 또는 도 4에서는 상기 지지부(120)가 평판형 스테이지 형태인 예시가 도시되어 있으나, 유연 기판에 인쇄를 수행하고자 하는 경우 상기 지지부(120)가 롤 형태로 되어 있을 수도 있고, 또는 유연 기판을 지지하되 유연 기판의 인쇄 위치 양측에 롤이 구비되도록 하고 인쇄 위치 부분에서는 유연 기판을 평판형 스테이지로 지지하는 형태로 형성되어도 되는 등, 적용 가능한 기판 지지 구조 중 어떤 것을 상기 지지부(120)로서 채용하여도 무방하다.The shape of the actuator 122 will be described in more detail as follows. 3 or 4A, the stage 121 is in the form of a flat plate so that it can be printed on a flat substrate of a rigid material, and the stage 121 is fixed, 4B illustrates an example in which the rotation unit 110 is movable on the stage 121. The rotation unit 110 is fixed to the stage 121 and a separate moving structure is provided on the stage 121 There is shown an example in which the substrate 500 is formed to move. Or both of the rotation unit 110 and the support unit 120 may be movable. 3 or FIG. 4, the supporting part 120 is in the form of a flat-plate type stage. However, when printing is to be performed on the flexible substrate, the supporting part 120 may be in the form of a roll, The support may be formed in such a manner that the roll is provided on both sides of the printing position of the flexible substrate while the flexible substrate is supported by the flat plate stage in the printing position portion. It may be adopted.

상기 인압부(130)는, 상기 회전부(110) 및 상기 지지부(120) 간의 간격을 변화시켜 상기 롤(111)을 상기 기판(500)에 밀착 및 인압 가능하도록 형성된다. 즉 상기 인압부(130)가 상기 롤(111)을 하강시켜 상기 기판(500) 상에 눌러 주고, 이 상태에서 상기 롤(111)이 회전함으로써 상기 기판(500) 상에 인쇄가 이루어지게 되는 것이다. 상기 인압부(130)는 또한, 인쇄 작업이 이루어지지 않을 때, 예를 들어 상기 지지부(120) 상에 인쇄 작업이 이루어질 빈 기판(500)이 놓여지는 시점 등의 경우에는 상기 롤(111)을 상승시켜 충분한 작업 공간이 확보되도록 한다.The pressing portion 130 is formed to change the distance between the rotating portion 110 and the supporting portion 120 so that the roll 111 can be pressed against the substrate 500. That is, the pressing unit 130 moves down the roll 111 to press on the substrate 500, and in this state, the roll 111 is rotated and printing is performed on the substrate 500 . The pressure applying unit 130 may also be configured to apply pressure to the roll 111 when the printing operation is not being performed, for example, when the empty substrate 500 on which the printing operation is to be performed is placed, So that sufficient working space can be secured.

상기 제어부(140)는 상기 모터(112) 및 상기 액추에이터(122)의 구동을 제어하는 역할을 한다. 보다 구체적으로는, 상기 제어부(140)에 의해 상기 모터(112)의 회전 구동력(FR) 발생을 위한 회전 구동 인가 전력 및 상기 액추에이터(122)의 이동 구동력(FL) 발생을 위한 이동 구동 인가 전력이 각각 독립적으로 인가되게 된다. 이상적으로는 인가되는 전력 대비 출력되는 회전 속도(또는 회전 구동력) / 이동 속도(또는 이동 구동력)는 상기 제어부(140)에서 인가되는 회전 구동 인가 전력 / 이동 구동 인가 전력에 미리 알고 있는 전력-구동력 관계식에 의하여 미리 결정된 값으로 결정될 것이다. 그러나 실제로는 구동 장치 부품들 간의 마찰력 등과 같은 여러 요인 때문에 약간의 오차가 피할 수 없이 발생한다.The control unit 140 controls the driving of the motor 112 and the actuator 122. More specifically, the control unit 140 determines whether or not the rotational driving applied power for generating the rotational driving force F R of the motor 112 and the moving driving force for generating the moving driving force F L of the actuator 122 Power is independently applied. Ideally, the rotational speed (or the rotational driving force) / the moving speed (or the moving driving force) to be outputted with respect to the applied power is determined by the power-driving force relationship Lt; / RTI > In practice, however, some errors are inevitable due to various factors such as frictional forces between drive components.

보다 상세히 설명하자면 다음과 같다. 예를 들어, 상기 롤(111)을 미리 결정된 얼마의 회전 속도(ω)로 회전시키고자 한다. 상기 롤(111)의 질량, 형상, 각부 반경 등과 같은 여러 물리량들은 미리 알려져 있으므로, 이만큼의 회전 속도(ω)를 내기 위해서는 얼마의 회전 구동력(FR)이 필요한지 쉽게 계산될 수 있다. 또한 구동 장치의 각부 부품 사양들 역시 미리 알려져 있으므로, 이만큼의 회전 구동력(FR)을 발생시키기 위해서는 얼마의 회전 구동 인가 전력이 필요한지 쉽게 계산될 수 있다. 즉 상기 제어부(140)는, 미리 알려진 물리량 및 사양 값들을 사용하여 원하는 회전 속도(ω)에 상응하는 회전 구동 인가 전력을 상기 모터(112)에 인가하게 된다.More specifically, it is as follows. For example, it is desired to rotate the roll 111 at a predetermined rotational speed [omega]. Since various physical quantities such as the mass, shape and radius of each of the rolls 111 are previously known, it is easy to calculate how much rotational driving force F R is required to obtain the rotational speed? Further, since the parts of each part of the drive system are known in advance, it is easy to calculate how much rotational drive power is required to generate the rotational drive force F R. That is, the controller 140 applies the rotational driving applied power corresponding to the desired rotational speed? To the motor 112 using previously known physical quantities and specification values.

그런데, 상술한 바와 같이 이상적인 경우라면 이 회전 구동 인가 전력에 의하여 원하는 회전 속도(ω)가 나오겠지만, 실제로는 상기 롤(111) 회전 구조에 구비되는 베어링 등에 의하여 발생되는 마찰력 등과 같은 외란(disturbance) 요소가 반드시 존재하게 된다. 즉 실제로는 상기 제어부(140)에서 어떤 회전 구동력(FR)이 발생될 것을 예상하고 그에 상응하는 회전 구동 인가 전력을 상기 모터(112)에 인가하더라도, 실제로는 (상술한 바와 같은 외란 요소에 의한) 회전 저항력(FdR)의 영향으로 계산 상 나와야 되는 회전 구동력(FR)보다 작은 값의 회전 구동력(FR)이 발생되며, 즉 실제로 발생되는 회전 속도(ω) 역시 그만큼 작아지게 되는 것이다.In the ideal case as described above, a desired rotational speed (ω) will be generated by the rotational drive applied electric power. In reality, however, disturbance such as frictional force generated by a bearing provided in the rotational structure of the roll 111, Element must exist. In other words, actually, even if a certain rotational driving force F R is expected to be generated by the control unit 140 and a corresponding rotational driving applied electric power is applied to the motor 112, actually, ) rotation resistance (F dR) rotational driving force (F R), this is the generation of a value less than the rotational driving force (F R) that come out the calculations under the influence of, that is, the rotational speed (ω) which is actually generated is also to be be much smaller.

이와 같은 현상은 스테이지(121) 및 액추에이터(122)에서도 마찬가지로 발생한다. 즉 스테이지(121)가 움직이는 레일 등에 의해 발생하는 이동 저항력(FdL) 때문에, 상기 제어부(140)에서 인가한 이동 구동 인가 전력에 대하여 예상값보다 작은 값의 이동 구동력(FL), 나아가 예상값보다 작은 값의 이동 속도(V)가 발생되게 되는 것이다.Such a phenomenon also occurs in the stage 121 and the actuator 122 as well. (F dL ) generated by a rail or the like on which the stage 121 moves, a moving driving force F L of a value smaller than an expected value with respect to the applied driving power applied by the controller 140, A moving velocity V of a smaller value is generated.

기존의 인쇄 장비에서도, 이러한 오차를 없애기 위한 상기 제어부(140)의 보정 제어가 원래 이루어졌다. 도 5(B), (C)는 이러한 베어링, 레일 등 때문에 생기는 회전 저항력(FdR) 및 이동 저항력(FdL)에 의해 발생되는 오차를 상쇄하기 위한 상기 제어부(140)에서 이루어지는 피드백 제어를 도시하고 있다. 먼저 도 5(B)에 도시된 바와 같이 기존의 인쇄 장비에서 상기 제어부(140)는, 상기 롤(111) 회전 시 발생되는 회전 저항력(FdR)에 의해 오차를 피드백 제어하여 회전 구동 인가 전력을 조절하여 인가함으로써 이러한 오차를 보정하였다. 또한 도 5(C)에 도시된 바와 같이 기존의 인쇄 장비에서 상기 제어부(140)는, 상기 액추에이터(122) 이동 시 발생되는 이동 저항력(FdL)에 의해 발생된 오차를 피드백 제어하여 이동 구동 인가 전력을 조절하여 인가함으로써 이러한 오차를 보정하였다.
In the conventional printing equipment, correction control of the control unit 140 for eliminating such an error has been originally made. 5B and 5C show the feedback control performed by the control unit 140 for canceling the errors caused by the rotational resistance F dR and the movement resistance F dL caused by the bearings, . 5 (B), the control unit 140 of the conventional printing apparatus feedback-controls the error by the rotational resistance force F dR generated when the roll 111 rotates, And these errors were corrected by applying the adjusted values. 5C, in the conventional printing apparatus, the control unit 140 feedback-controls the error generated by the movement resistance force F dL generated when the actuator 122 moves, This error was corrected by adjusting the power.

본 발명은 바로, 상술한 바와 같은 상기 제어부(140)의 기존 제어 동작을 개선함으로써, 동기화 오차까지 보정할 수 있도록 하는 기술을 제시한다. 즉 종래에는 상기 제어부(140)가 구동 장치 부품들의 관성, 강성(stiffness), 마찰력 등에 의해 발생되는 외란만을 보정할 뿐이었으나, 본 발명에서는 여기에 더하여 동기화 오차에 의해 발생되는 외란까지 보정할 수 있도록 상기 제어부(140)의 제어 동작을 개선하는 것이다. 즉 본 발명의 기술을 도입할 경우 상기 제어부(140)의 제어 동작만을 개선하면 되므로 실질적으로 기존의 인쇄 장치에 추가 구성되어야 할 부품은 없게 된다. 이하 도 5 및 도 6, 7을 통해 본 발명의 인쇄 장치의 동기화 오차 보정 원리에 대하여 설명한다.The present invention proposes a technique for correcting a synchronization error by improving the control operation of the control unit 140 as described above. In other words, in the related art, the control unit 140 only corrects disturbance caused by inertia, stiffness, frictional force, and the like of the drive device components. However, in the present invention, the disturbance generated by the synchronization error is corrected And the control operation of the control unit 140 is improved. In other words, when the technique of the present invention is introduced, only the control operation of the control unit 140 is improved, so that there is no component to be added to the existing printing apparatus. Hereinafter, the principle of synchronization error correction of the printing apparatus of the present invention will be described with reference to FIG. 5, FIG. 6, and FIG.

앞서 설명한 바와 같이, 도 5에 도시된 종래의 인쇄 장치에서는 상기 롤(111)의 구동 제어와 상기 스테이지(121)의 구동 제어를 각각 독립적으로 수행하였다. 즉, 도 5(A)에 도시되어 있는 바와 같이 상기 롤(111)과 상기 기판(500)이 비접촉하고 있는 상태에서, 상기 제어부(140)는 상기 회전부(110) 및 상기 이동부(120)를 각각 독립적으로 피드백 제어하였던 것이다. 즉 상기 회전부(110) 쪽에서는 상기 롤(111) 회전 시 베어링 등에서 발생되는 마찰력 등에 의해 발생되는 회전 저항력(FdR)을 피드백하여 상기 제어부(140)에서 인가하는 회전 구동 인가 전력을 보정함으로써 보정된 회전 구동력(FR)을 얻고, 상기 이동부(120) 쪽에서는 상기 스테이지(121) 이동 시 레일 등에서 발생되는 마찰력 등에 의해 발생되는 이동 저항력(FdL)을 피드백하여 상기 제어부(140)에서 인가하는 이동 구동 인가 전력을 보정함으로써 보정된 이동 구동력(FL)을 얻는 것이다.As described above, in the conventional printing apparatus shown in FIG. 5, the drive control of the roll 111 and the drive control of the stage 121 are independently performed. 5 (A), the control unit 140 controls the rotation unit 110 and the moving unit 120 in a state in which the roll 111 and the substrate 500 are not in contact with each other, Respectively. That is, the rotational force F dR generated by the frictional force generated in the bearing or the like during the rotation of the roll 111 is fed back from the rotation unit 110 to thereby correct the rotational driving application power applied by the controller 140, to obtain a rotational driving force (F R), the moving unit 120 side, to be applied from the controller 140 to feed back the movement resistance (F dL) generated by a frictional force that is generated in the rails during movement of the stage 121 And obtains the corrected moving driving force F L by correcting the moving driving applied power.

여기에서 알 수 있는 것은, 종래에는 상기 롤(111) 및 상기 기판(500) 간의 접촉 시 더 발생될 수 있는 외란의 영향을 고려하지 않은 제어를 수행하였다는 것이다. 다시 말해, 종래의 상기 액추에이터(122)의 이동 제어는 상기 롤(111)의 존재를 고려하지 않고(즉 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 비접촉 상태인 것으로 보고) 이루어지는 것이다. 그런데 도 2(B)를 통해 설명한 바와 같이, 롤 표면이 유연한 재질로 됨으로써 접촉 시 형상 변형이 발생되는 것에 따라 동기화 오차가 발생되고, 이에 따라 추가적인 롤-기판 간에 추가적인 마찰력이 발생하게 되는 문제가 있었는데, 종래의 제어 방식으로는 이러한 동기화 오차를 보정할 수 없었다.
It should be noted that conventionally, control is performed without considering the influence of disturbance which may be generated when the roll 111 and the substrate 500 are contacted. In other words, the conventional movement control of the actuator 122 is performed without regard to the presence of the roll 111 (i.e., the roll 111 and the substrate 500 are reported to be in a non-contact state). However, as described with reference to FIG. 2 (B), since the roll surface is made of a flexible material, a shape error upon contact causes a synchronization error, which causes an additional frictional force between additional rolls and substrates , And this synchronization error can not be corrected by the conventional control method.

도 6 및 도 7은 바로 이러한 점을 보완한, 본 발명의 인쇄 장치의 동기화 오차 보정 원리를 나타내고 있다. (도 6 및 도 7은 실시예들로서, 먼저 도 6의 실시예를 설명한다.) 도 5를 통해 설명한 바와 같이, 종래에는 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 비접촉 상태인 것으로 보고 상기 액추에이터(122)의 이동 제어가 이루어졌다. 그러나 본 발명에서는, 상기 제어부(140)가 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 접촉한 상태일 때 추가적으로 더 발생되는 마찰력에 의한 외란을 보정하도록 한다.Figs. 6 and 7 show the principle of correcting the synchronization error of the printing apparatus of the present invention, which is a complement to this point. (FIG. 6 and FIG. 7 illustrate the embodiment of FIG. 6 as an example.) As described with reference to FIG. 5, conventionally, when the roll 111 and the substrate 500 are in a non- The movement of the actuator 122 is controlled. However, in the present invention, the control unit 140 corrects the disturbance due to frictional force, which is further generated when the roll 111 and the substrate 500 are in contact with each other.

도 5를 통해 설명한 바와 같이, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 비접촉 상태일 때에도 상기 제어부(140)는 상기 롤(111) 베어링 / 상기 스테이지(121) 레일 등에서 발생하는 회전 저항력(FdR) / 이동 저항력(FdL)을 사용하여 피드백 제어를 수행하였다. 이 때, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 접촉하게 되면, 도 2(B)의 설명에서와 같이 롤 표면의 유연함에 의하여 형상 변형이 발생되는 등의 문제로 인하여 동기화 오차가 발생되고, 이에 따라 상기 롤(111)의 접선 방향과 나란한 방향으로 추가적인 마찰력(Fsyn)이 더 발생되게 된다.5, when the roll 111 and the substrate 500 are in a non-contact state, the controller 140 controls the rotation resistance F (F) generated in the roll 111, the stage 121, dR ) / movement resistance (F dL ). In this case, when the roll 111 and the substrate 500 are brought into contact with each other, a synchronization error occurs due to a problem such as deforming due to the flexibility of the roll surface as in the description of FIG. 2B So that an additional frictional force F syn is generated in a direction parallel to the tangential direction of the roll 111. [

이 때, 본 발명에서는 상기 제어부(140)가, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 접촉 시에, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)의 비접촉 상태에 상응하는 상태가 유지되도록 인가 전력을 조절하여 동기화 오차를 보정하도록 제어하도록 한다. 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)의 비접촉 상태라는 것은, 즉 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 접촉함으로써 발생하는 마찰력의 영향이 없는 상태라는 것이다. 앞서 도 2(B)를 통해 상세히 설명한 바와 같이, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500) 간 동기화 오차가 발생하지 않으면 마찰력(Fsyn)도 발생하지 않으며, 즉 마찰력(Fsyn)이 발생하지 않는다면 동기화 오차도 보정되어 사라졌다고 확정할 수 있음을 알 수 있다. 따라서 접촉 시에도 인가 전력을 조절하여 인위적으로 비접촉 상태에 상응하는 상태를 만들어 주게 되면, 결과적으로 상기 롤(111) 및 상기 기판(500) 간 마찰력이 발생하지 않는 상태가 이루어지게 되고, 이는 동기화 오차가 보정되었음을 뜻하게 되는 것이다.At this time, in the present invention, the controller 140 controls the roll 111 and the substrate 500 so that the state corresponding to the contactless state of the roll 111 and the substrate 500 is maintained when the roll 111 and the substrate 500 are in contact with each other. And controls the applied power so as to correct the synchronization error. The non-contact state of the roll 111 and the substrate 500 means that there is no influence of the frictional force generated by the contact between the roll 111 and the substrate 500. As described above in detail with reference to FIG. 2B, if there is no synchronization error between the roll 111 and the substrate 500, the friction force F syn does not occur, that is, the friction force F syn does not occur It can be confirmed that the synchronization error has also been corrected and disappeared. Therefore, when the contact force is adjusted to adjust the applied electric power so as to artificially correspond to the non-contact state, a state in which no friction occurs between the roll 111 and the substrate 500 is generated, Is corrected.

도 6(A)는 상기 롤(111)과 상기 기판(500)이 접촉하고 있는 상태를 도시하고 있으며, 도 6(B)는 접촉 상태에서 상기 제어부(140)에서의 구동 제어의 한 실시예의 흐름도를 도시하고 있다. 도 5(B), (C)와 도 6(B)를 비교하여 보면, 도 6(B)에서는 상기 롤(111) 및 상기 기판(500) 간 접촉 시 동기화 오차에 의해 발생되는 마찰력을 Fsyn으로 표시하였으며, 피드백 제어에서 이 Fsyn을 더 고려하고 있음을 알 수 있다. 도 6의 실시예에서 상기 제어부(140)의 제어에 의해 동기화 오차가 보정되는 원리를 보다 구체적으로 설명하자면, 상기 제어부(140)는, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 비접촉한 상태에서의 회전 구동력(FR) 및 이동 구동력(FL)을 각각 기준 회전 구동력(FrefR) 및 기준 이동 구동력(FrefL)으로 하여, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 접촉한 상태에서, 상기 마찰력(Fsyn)에 의하여 발생되는 이동 구동력(FL) 및 기준 이동 구동력(FrefL)의 차이 값이 0이 될 때까지, 이동 구동력(FL) 및 기준 이동 구동력(FrefL)의 차이 값을 회전 구동력(FR) 발생을 위한 회전 구동 인가 전력에 피드포워드함으로써 회전 구동력(FR)을 보정하여 제어한다.6A shows a state in which the roll 111 and the substrate 500 are in contact with each other. FIG. 6B shows a flow chart of an embodiment of drive control in the control unit 140 in a contact state. Respectively. 6 (B), the frictional force generated by the synchronization error in the contact between the roll 111 and the substrate 500 is denoted by F syn , And it can be seen that F syn is further considered in the feedback control. 6, the control unit 140 controls the roll 111 and the substrate 500 in a state in which the rollers 111 and the substrate 500 are in a non-contact state rotational driving force (F R) and the mobile drive force (F L), each based on the rotational driving force (F refR) and a reference to the moving force (F refL), while the roll 111 and the substrate 500 is in contact at the in, moving the driving force (F L) and the reference moving force until the difference value of the friction force moving the drive force generated by the (F syn) (F L) and the reference movement the driving force (F refL) will be a 0 (F refL) by the application of the feed-forward rotation drive power for the rotational driving force (F R) generating a difference value and controls to correct the rotational driving force (F R).

이를 좀더 풀어서 설명하면 다음과 같다. 앞서 설명한 바와 같이 롤-기판이 비접촉 상태일 때(즉 도 5와 같은 상태일 때) 발생되는 구동 피드백 신호, 즉 회전 구동력(FR) 및 이동 구동력(FL) 값이 각각 기준 회전 구동력(FrefR) 및 기준 이동 구동력(FrefL)으로 정해진다. 이 때 롤-기판 접촉 후 입력되는 이동력(F) 값이 기준값에서 달라지면, 상기 제어부(140)에서는 그 달라진 만큼으로 동기화 오차의 발생 정도를 계측할 수 있다. 즉 마찰력(Fsyn)이 없을 때(비접촉 상태일 때)의 기준 회전 구동력(FrefR) 및 기준 이동 구동력(FrefL)을 기준값으로 삼아, 나머지 다른 조건이 모두 동일하고 마찰력(Fsyn)이 있을 때(접촉 상태일 때) 측정되는 회전 구동력(FR) 및 이동 구동력(FL)이 기준값과 얼마나 달라졌는지를 이용하여 동기화 오차를 계측할 수 있는 것이다.This is explained in more detail below. The values of the driving feedback signal F R and the driving force F L that are generated when the roll-substrate is in a non-contact state (that is, when the roll-substrate is in a state as shown in FIG. 5) refR ) and the reference movement driving force F refL . At this time, if the value of the movement force F input after the contact with the roll-substrate is different from the reference value, the control unit 140 can measure the occurrence of the synchronization error by the changed value. I.e., frictional force (F syn) in the absence of the rotation driving force of the (when the non-contact state) (F refR) and the reference Sanya movement driving force (F refL) as a reference value, all the same the other conditions, and there is a frictional force (F syn) The synchronization error can be measured by using how the rotational driving force F R and the moving driving force F L measured from the contact state are different from the reference value.

또한 이처럼 계측된 동기화 오차를 보정하기 위해서, 도 6의 실시예에서는 상기 마찰력(Fsyn)에 의하여 발생되는 이동 구동력(FL) 및 기준 이동 구동력(FrefL)의 차이 값을, 도 6(B)에 도시된 바와 같이 회전 구동력(FR) 발생을 위한 회전 구동 인가 전력에 피드포워드한다. 상기 회전부(110) 및 상기 이동부(120)에서의 제어 흐름도는 비록 각각 따로 도시되어 있지만, 실제로 롤-기판 접촉 시 발생되는 마찰력(Fsyn)은 각각의 제어 흐름도에서 방향만 다르고 동일한 크기를 가진다. 따라서 이동 구동력(FL) 및 기준 이동 구동력(FrefL)의 차이 값으로 회전 구동력(FR) 발생을 위한 회전 구동 인가 전력을 피드포워드 제어하면 발생되는 회전 구동력(FR)이 점점 변화하게 되고, 이에 따라 결국 마찰력(Fsyn)이 점점 줄어들게 된다. 물론 이처럼 마찰력(Fsyn)이 점점 줄어들면 이동 구동력(FL) 및 기준 이동 구동력(FrefL)의 차이 값 역시 점점 줄어들게 된다. 최종적으로 이동 구동력(FL) 및 기준 이동 구동력(FrefL)의 차이 값이 0이 되면, 실제로는 롤-기판이 접촉 상태임에도 불구하고 마치 롤-기판이 비접촉 상태인 것처럼(즉 마찰력(Fsyn)이 0인 것처럼) 작동하게 되어, 궁극적으로 마찰력(Fsyn)에 의해 발생되는 동기화 오차가 보정되게 되는 것이다.6, the difference between the movement driving force F L and the reference movement driving force F refL , which is generated by the friction force F syn , To the rotational drive applied electric power for generation of the rotational drive force F R as shown in Fig. Although the control flow charts in the rotating unit 110 and the moving unit 120 are shown separately, the frictional force F syn actually generated in the roll-substrate contact is different in direction from each control flow chart and has the same size . Therefore, the rotational driving force F R generated when the rotational driving force for generating the rotational driving force F R is fed-forward controlled by the difference between the movement driving force F L and the reference movement driving force F refL gradually changes , And consequently the frictional force (F syn ) is gradually reduced. Of course, if the frictional force F syn is gradually reduced, the difference value between the movement driving force F L and the reference movement driving force F refL gradually decreases. When the difference value between the movement driving force F L and the reference movement driving force F refL becomes 0 finally , it is as if the roll-substrate is actually in a non-contact state (i.e., the friction force F syn ) Is 0), so that the synchronization error caused by the frictional force F syn is ultimately corrected.

도 7의 실시예는 도 6의 실시예와 마찬가지로 구동 피드백 신호를 이용하여 동기화 오차를 계측 및 보정하되, 도 6의 실시예에서 이동부측 구동 피드백 신호를 사용하여 회전부의 구동을 제어한 것과는 반대로, 도 7의 실시예에서는 회전부측 구동 피드백 신호를 사용하여 이동부의 구동을 제어한다. 즉 도 7의 실시예에서도 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 비접촉한 상태에서의 회전 구동력(FR) 및 이동 구동력(FL)을 각각 기준 회전 구동력(FrefR) 및 기준 이동 구동력(FrefL)으로 하되, 이번에는 상기 제어부(140)는, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 접촉한 상태에서, 상기 마찰력(Fsyn)에 의하여 발생되는 회전 구동력(FR) 및 기준 회전 구동력(FrefR)의 차이 값이 0이 될 때까지, 회전 구동력(FR) 및 기준 회전 구동력(FrefR)의 차이 값을 이동 구동력(FL) 발생을 위한 이동 구동 인가 전력에 피드포워드함으로써 이동 구동력(FL)을 보정하여 제어한다.
The embodiment of FIG. 7 measures and corrects the synchronization error using the drive feedback signal as in the embodiment of FIG. 6, but controls the drive of the rotation unit using the drive-side drive feedback signal in the embodiment of FIG. In the embodiment of Fig. 7, the driving of the moving part is controlled by using the driving part side driving feedback signal. 7, the rotational driving force F R and the moving driving force F L in a state in which the roll 111 and the substrate 500 are not in contact with each other are referred to as a reference rotational driving force F refR and a reference moving driving force but with (F refL), this time, the control unit 140, the roll 111 and in a state where the substrate 500 is in contact, the friction force (F syn) rotational driving force (F R) is generated by and The difference value between the rotational driving force F R and the reference rotational driving force F refR is fed to the moving driving applied electric power for generating the moving driving force F L until the difference value of the reference rotational driving force F refR becomes zero Thereby correcting and controlling the movement driving force F L.

이와 같은 본 발명의 동기화 오차를 보정하는 인쇄 장치(100)에서, 상술한 바와 같이 원래 장치 자체가 가지고 있는 외란 요소(관성, 강성, 마찰력 등)에 의해 발생되는 힘 값 수준이 롤-기판 마찰력 값 수준보다 지나치게 클 경우, 롤-기판 마찰력에 의한 변화량이 유효하게 인식되지 못할 수 있다. 이러한 문제를 피하기 위해 본 발명의 인쇄 장치(100)는 장치 자체의 외란 요소가 가능한 한 최소화되는 형태로 구현되는 것이 바람직하다.In the printing apparatus 100 for correcting the synchronization error according to the present invention as described above, the force value level generated by disturbance elements (inertia, rigidity, frictional force, etc.) Level, the amount of change due to the roll-substrate friction force may not be recognized effectively. In order to avoid such a problem, the printing apparatus 100 of the present invention is preferably implemented in such a form that disturbance elements of the apparatus itself are minimized as much as possible.

보다 구체적으로는, 기어 박스, 볼 스크류 등과 같은 부가 메커니즘이 많을수록 이러한 외란 요소의 영향이 커지므로, 이러한 부가 메커니즘을 최소화할 수 있도록 각 구동 장치들이 구현되는 것이 바람직하다. 즉 상기 모터(112)는 직접 구동식 회전 모터(Direct Drive Rotary motor, DDR motor)로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한 상기 액추에이터(122)는, 상기 액추에이터(122)가 평판 스테이지 형태일 경우 선형 모터(linear motor)로 이루어지고, 상기 액추에이터(122)가 롤 형태인 경우 직접 구동식 회전 모터(Direct Drive Rotary motor, DDR motor)로 이루어지는 것이 바람직하다.
More specifically, as the number of additional mechanisms such as a gear box, a ball screw, and the like increases, the influence of such a disturbance element becomes greater. Therefore, it is desirable that each of the driving devices is implemented so as to minimize such an additional mechanism. That is, the motor 112 is preferably a direct drive rotary motor (DDR motor). The actuator 122 may be a linear motor when the actuator 122 is a flat stage type and a direct drive rotary motor when the actuator 122 is a roll type. DDR motor).

도 8은 상술한 바와 같은 본 발명의 구동 피드백 신호를 이용한 동기화 오차를 보정하는 인쇄 방법의 흐름도를 간략히 도시하고 있다.8 schematically shows a flowchart of a printing method for correcting a synchronization error using the drive feedback signal of the present invention as described above.

도 8에 도시된 바와 같이, 먼저 비접촉 피드백 제어 단계(S1)에서는, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 비접촉한 상태에서, 상기 제어부(140)에서 인가하는 회전 구동 인가 전력이 상기 롤(111) 회전 시 발생되는 회전 저항력(FdR)을 사용하여 피드백 제어되고, 상기 제어부(140)에서 인가하는 이동 구동 인가 전력이 상기 스테이지(121) 이동 시 발생되는 이동 저항력(FdL)을 사용하여 피드백 제어된다.8, in the non-contact feedback control step S1, when the roll 111 and the substrate 500 are not in contact with each other, (F dR ) generated when the stage 121 is rotated, and the movement force applied by the controller 140 is used as the movement resistance F dL generated when the stage 121 is moved Feedback control is performed.

기준값 생성 단계(S2)에서는, 상기 비접촉 피드백 제어 단계(S1)에서 보정되어 발생된 회전 구동력(FR) 및 이동 구동력(FL) 값이 기준값으로서 저장된다. 좀더 풀어서 설명하자면, 앞서 설명한 바와 같이 롤-기판 비접촉 상태에서 이루어지는 피드백 제어는 베어링, 레일 등에서의 마찰력 등으로 발생되는 회전 저항력(FdR) 또는 이동 저항력(FdL)을 보정한다. 즉 기준값 생성 단계(S2)에서는, 피드백 제어에 의하여 회전 저항력(FdR)이 보정된 회전 구동력(FR)이 기준 회전 구동력(FrefR) 값으로 상기 제어부(140)에 데이터베이스화되어 저장되고, 피드백 제어에 의하여 이동 저항력(FdL)이 보정된 이동 구동력(FL)이 기준 이동 구동력(FrefL) 값으로 상기 제어부(140)에 데이터베이스화되어 저장됨으로써, 롤-기판 비접촉 상태일 때의 구동 피드백 신호가 기준값으로 정해지게 해 두는 것이다.In the reference value generating step S2, the values of the rotational driving force F R and the moving driving force F L generated in the non-contact feedback controlling step S1 are stored as reference values. More specifically, as described above, the feedback control performed in the non-contact state of the roll-substrate corrects the rotational resistance force F dR or the moving resistance force F dL generated by the frictional force in the bearing, the rail, or the like. In other words, in the reference value generating step (S2), the rotation resistance (F dR), the corrected rotational driving force (F R) by the feedback control is stored in a database in the control unit 140 based on the rotational driving force (F refR) value, The moving driving force F L whose movement resistance F dL is corrected by the feedback control is databaseized and stored as the reference moving driving force F refL value in the controller 140, So that the feedback signal is set as the reference value.

이와 같은 단계들을 통해 비접촉 상태의 기준값이 결정되면, 이제 실질적인 인쇄 및 보정을 수행할 수 있다. 즉 상기 두 단계는 말하자면 준비 단계에 해당하는 것으로, 최초 한 번만 수행하면 이후부터는 하기의 단계들만 수행해도 무방하다.When the reference value of the non-contact state is determined through these steps, substantial printing and correction can now be performed. That is, the two steps correspond to the preparation stage, and if the first step is performed only once, the following steps may be performed.

위와 같은 준비 단계가 완료되면, 상기 인압부(130)에 의하여 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 접촉하는 롤-기판 접촉 단계(S3)가 이루어진다. 이후, 앞서 설명한 바와 같이, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 접촉한 상태에서, 상기 제어부(140)가 상기 마찰력(Fsyn)에 의하여 발생되는 이동 구동력(FL) 및 기준 이동 구동력(FrefL)의 차이 값 또는 회전 구동력(FR) 및 기준 회전 구동력(FrefR)의 차이 값 중 선택되는 적어도 어느 하나가 0이 되도록 회전 구동력(FR) 또는 이동 구동력(FL) 중 선택되는 적어도 어느 하나를 보정하여 제어하는 접촉 피드백 제어 단계(S4)가 이루어짐으로써, 동기화 오차가 계측 및 보정되면서 인쇄가 수행될 수 있게 된다. 이 때 도 6 및 도 7의 실시예들로 보이는 바와 같이, 상기 접촉 피드백 제어 단계(S4)는 세부적으로는 다음과 같이 다양하게 구현될 수 있다.When the preparation step is completed, the roll-substrate contacting step S3 in which the roll 111 and the substrate 500 are in contact with each other is performed by the pressure- Then, as described above, in a state where the roll 111 and the substrate 500 are in contact with each other, the controller 140 controls the driving force F L generated by the frictional force F syn , differential value or the rotation drive force of (F refL) (F R) and a reference selection of the rotational drive force (F refR) rotational driving force to at least either one of zero is selected from the difference value of (F R), or move the drive force (F L) (S4) is performed to correct and control at least one of the synchronization error and the synchronization error, so that printing can be performed while the synchronization error is measured and corrected. Here, as shown in the embodiments of FIGS. 6 and 7, the contact feedback control step S4 may be variously implemented as follows.

먼저 도 6의 실시예에서와 같은 제어 흐름도를 따를 경우, 상기 접촉 피드백 제어 단계(S4)는, 상기 제어부(140)가 상기 마찰력(Fsyn)에 의하여 발생되는 이동 구동력(FL) 및 기준 이동 구동력(FrefL)을 비교하는 단계; 상기 제어부(140)가 이동 구동력(FL) 및 기준 이동 구동력(FrefL)의 차이 값이 0이 될 때까지, 이동 구동력(FL) 및 기준 이동 구동력(FrefL)의 차이 값을 회전 구동력(FR) 발생을 위한 회전 구동 인가 전력에 피드포워드하는 단계; 를 포함하여 이루어질 수 있다.6, the contact feedback control step S4 may be performed such that the control unit 140 determines whether or not the movement driving force F L generated by the friction force F syn , Comparing the driving force F refL ; The control unit 140 sets the difference value between the movement driving force F L and the reference movement driving force F refL to the rotational driving force F L until the difference between the movement driving force F L and the reference movement driving force F refL becomes zero. Feeding forward to the rotational drive applied power for generation of the rotational force F R ; . ≪ / RTI >

또한 도 7의 실시예에서와 같은 제어 흐름도를 따를 경우, 상기 접촉 피드백 제어 단계(S4)는, 상기 제어부(140)가 상기 마찰력(Fsyn)에 의하여 발생되는 회전 구동력(FR) 및 기준 회전 구동력(FrefR)을 비교하는 단계; 상기 제어부(140)가 회전 구동력(FR) 및 기준 회전 구동력(FrefR)의 차이 값이 0이 될 때까지, 회전 구동력(FR) 및 기준 회전 구동력(FrefR)의 차이 값을 이동 구동력(FL) 발생을 위한 이동 구동 인가 전력에 피드포워드하는 단계; 를 포함하여 이루어질 수 있다.
7, the contact feedback control step S4 may be performed such that the control unit 140 determines whether or not the rotational driving force F R generated by the frictional force F syn , Comparing the driving force F refR ; The controller 140 controls the rotational driving force (F R) and the rotation driving force until the difference value (F refR) reaches zero, the rotational driving force (F R) and the rotation driving force to move the difference value (F refR) driving force (F L ); . ≪ / RTI >

본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.
It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It goes without saying that various modifications can be made.

100: (본 발명의) 인쇄 장치
110: 회전부
111: 롤 112: 모터
120: 지지부
121: 스테이지 122: 액추에이터
130: 인압부 140: 제어부
500: 기판100: Printing device (of the present invention)
110:
111: roll 112: motor
120: Support
121: stage 122: actuator
130: pressurizing unit 140:
500: substrate

Claims (9)

표면이 유연 재질로 형성되는 롤(111)과, 상기 롤(111)을 회전시키는 회전 구동력(FR)을 발생시키는 모터(112)를 포함하여 이루어지는 회전부(110);
상부에 기판(500)이 배치되어 상기 기판(500)을 지지하는 스테이지(121)와, 상기 스테이지(121)를 상기 롤(111)의 접선 방향과 나란한 방향으로 상대 이동시키는 이동 구동력(FL)을 발생시키는 액추에이터(122)를 포함하여 이루어지는 지지부(120);
상기 회전부(110) 및 상기 지지부(120) 간의 간격을 변화시켜 상기 롤(111)을 상기 기판(500)에 밀착 및 인압 가능하도록 형성되는 인압부(130);
상기 모터(112)의 회전 구동력(FR) 발생을 위한 회전 구동 인가 전력 및 상기 액추에이터(122)의 이동 구동력(FL) 발생을 위한 이동 구동 인가 전력을 각각 독립적으로 인가하되, 상기 롤(111) 회전 시 발생되는 회전 저항력(FdR) 및 상기 액추에이터(122) 이동 시 발생되는 이동 저항력(FdL)에 의해 각각 발생된 오차를 피드백 제어하여 회전 구동 인가 전력 및 이동 구동 인가 전력 각각을 조절하여 인가하는 제어부(140);
를 포함하여 이루어지되,
상기 제어부(140)는, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 접촉 시에, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)의 비접촉 상태에 상응하는 상태가 유지되도록 인가 전력을 조절하여, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)의 접촉 시 발생되는 마찰력(Fsyn)에 의한 동기화 오차를 계측 및 보정하도록 제어하되,
상기 제어부(140)는
상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 비접촉한 상태에서의 회전 구동력(FR) 및 이동 구동력(FL)을 각각 기준 회전 구동력(FrefR) 및 기준 이동 구동력(FrefL)으로 하여,
상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 접촉한 상태에서, 상기 마찰력(Fsyn)에 의하여 발생되는 이동 구동력(FL) 및 기준 이동 구동력(FrefL)의 차이 값이 0이 될 때까지, 이동 구동력(FL) 및 기준 이동 구동력(FrefL)의 차이 값을 회전 구동력(FR) 발생을 위한 회전 구동 인가 전력에 피드포워드함으로써 회전 구동력(FR)을 보정하여 제어하거나, 또는
상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 접촉한 상태에서, 상기 마찰력(Fsyn)에 의하여 발생되는 회전 구동력(FR) 및 기준 회전 구동력(FrefR)의 차이 값이 0이 될 때까지, 회전 구동력(FR) 및 기준 회전 구동력(FrefR)의 차이 값을 이동 구동력(FL) 발생을 위한 이동 구동 인가 전력에 피드포워드함으로써 이동 구동력(FL)을 보정하여 제어하는 것을 특징으로 하는 구동 피드백 신호를 이용한 동기화 오차를 계측 및 보정하는 인쇄 장치.
A rotating part 110 comprising a roll 111 whose surface is formed of a flexible material and a motor 112 for generating a rotational driving force F R for rotating the roll 111;
And a moving driving force F L for relatively moving the stage 121 in a direction parallel to the tangential direction of the roll 111. The driving force F L , A support portion 120 including an actuator 122 for generating an electric field;
A pressing unit 130 configured to change the interval between the rotation unit 110 and the support unit 120 so that the roll 111 can be pressed against the substrate 500;
The rotational driving power for generating the rotational driving force F R of the motor 112 and the moving driving applying power for generating the moving driving force F L of the actuator 122 are independently applied, (F dR ) generated when the actuator 122 rotates and the movement resistance force F dL generated when the actuator 122 moves, respectively, to adjust the rotation drive application power and the movement drive application power A control unit 140 for applying the control signal;
, ≪ / RTI >
The control unit 140 adjusts the applied power so that the state corresponding to the contactless state of the roll 111 and the substrate 500 is maintained when the roll 111 and the substrate 500 are in contact with each other, And controlling the synchronization error due to the friction force (F syn ) generated when the roll (111) and the substrate (500) are in contact with each other,
The control unit 140
The rotational driving force F R and the moving driving force F L in the state where the roll 111 and the substrate 500 are not in contact with each other are set as the reference rotational driving force F refR and the reference moving driving force F refL ,
Until the difference value of the movement driving force F L and the reference movement driving force F refL generated by the frictional force F syn becomes 0 in a state where the roll 111 and the substrate 500 are in contact with each other , moving the driving force (F L) and the reference driving force moving the drive force rotates a difference value (F refL) (F R) by a feed forward rotation drive power applied for generating the correction by controlling the rotational driving force (F R), or
Until the difference value between the rotational driving force F R generated by the frictional force F syn and the reference rotational driving force F refR becomes 0 in a state where the roll 111 and the substrate 500 are in contact with each other , rotational driving force (F R) and the rotation driving force (F refR) characterized in that the correction by controlling the difference to move the driving force (F L) by forward movement drive is feed to a power for generating movement driving force (F L) of the And a synchronization error using the drive feedback signal.
삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서, 상기 모터(112)는
직접 구동식 회전 모터(Direct Drive Rotary motor, DDR motor)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 구동 피드백 신호를 이용한 동기화 오차를 계측 및 보정하는 인쇄 장치.
The motor control apparatus according to claim 1, wherein the motor (112)
And a direct drive rotary motor (DDR motor). 2. The printing apparatus according to claim 1,
제 1항에 있어서, 상기 액추에이터(122)는
선형 모터(linear motor) 또는 직접 구동식 회전 모터(Direct Drive Rotary motor, DDR motor)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 구동 피드백 신호를 이용한 동기화 오차를 계측 및 보정하는 인쇄 장치.
2. The apparatus of claim 1, wherein the actuator (122)
A linear motor or a direct drive rotary motor (DDR motor) for measuring and correcting a synchronization error using a drive feedback signal.
롤(111) 및 모터(112)를 포함하여 이루어지는 회전부(110); 스테이지(121) 및 액추에이터(122)를 포함하여 이루어지는 지지부(120); 상기 회전부(110) 및 상기 지지부(120) 간의 간격을 변화시키는 인압부(130); 상기 모터(112)의 회전 구동력(FR) 발생을 위한 회전 구동 인가 전력 및 상기 액추에이터(122)의 이동 구동력(FL) 발생을 위한 이동 구동 인가 전력을 각각 독립적으로 인가하되, 상기 롤(111) 회전 시 발생되는 회전 저항력(FdR) 및 상기 액추에이터(122) 이동 시 발생되는 이동 저항력(FdL)에 의해 각각 발생된 오차를 피드백 제어하여 회전 구동 인가 전력 및 이동 구동 인가 전력 각각을 조절하여 인가하는 제어부(140); 를 포함하여 이루어지는 인쇄 장치(100)를 이용한 동기화 오차를 보정하는 인쇄 방법으로서,
상기 제어부(140)는, 상기 롤(111) 및 기판(500)이 접촉 시에, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)의 비접촉 상태에 상응하는 상태가 유지되도록 인가 전력을 조절하여, 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)의 접촉 시 발생되는 마찰력(Fsyn)에 의한 동기화 오차를 계측 및 보정하도록 제어하되,
상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 비접촉한 상태에서,
상기 제어부(140)에서 인가하는 회전 구동 인가 전력이 상기 롤(111) 회전 시 발생되는 회전 저항력(FdR)을 사용하여 피드백 제어되고,
상기 제어부(140)에서 인가하는 이동 구동 인가 전력이 상기 스테이지(121) 이동 시 발생되는 이동 저항력(FdL)을 사용하여 피드백 제어되는 비접촉 피드백 제어 단계(S1);
상기 비접촉 피드백 제어 단계(S1)에서,
피드백 제어에 의하여 회전 저항력(FdR)이 보정된 회전 구동력(FR)이 기준 회전 구동력(FrefR) 값으로 상기 제어부(140)에 데이터베이스화되어 저장되고,
피드백 제어에 의하여 이동 저항력(FdL)이 보정된 이동 구동력(FL)이 기준 이동 구동력(FrefL) 값으로 상기 제어부(140)에 데이터베이스화되어 저장되는 기준값 생성 단계(S2);
상기 인압부(130)에 의하여 상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 접촉하는 롤-기판 접촉 단계(S3);
상기 롤(111) 및 상기 기판(500)이 접촉한 상태에서,
상기 제어부(140)가 상기 마찰력(Fsyn)에 의하여 발생되는 이동 구동력(FL) 및 기준 이동 구동력(FrefL)의 차이 값 또는 회전 구동력(FR) 및 기준 회전 구동력(FrefR)의 차이 값 중 선택되는 적어도 어느 하나가 0이 되도록 회전 구동력(FR) 또는 이동 구동력(FL) 중 선택되는 적어도 어느 하나를 보정하여 제어하는 접촉 피드백 제어 단계(S4);
를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 구동 피드백 신호를 이용한 동기화 오차를 계측 및 보정하는 인쇄 방법.
A rotating part 110 comprising a roll 111 and a motor 112; A support 120 comprising a stage 121 and an actuator 122; A pressing unit 130 for changing the interval between the rotation unit 110 and the support unit 120; The rotational driving power for generating the rotational driving force F R of the motor 112 and the moving driving applying power for generating the moving driving force F L of the actuator 122 are independently applied, (F dR ) generated when the actuator 122 rotates and the movement resistance force F dL generated when the actuator 122 moves, respectively, to adjust the rotation drive application power and the movement drive application power A control unit 140 for applying the control signal; A printing method for correcting a synchronization error using a printing apparatus (100)
The control unit 140 adjusts the applied power so that the state corresponding to the contactless state of the roll 111 and the substrate 500 is maintained when the roll 111 and the substrate 500 are in contact with each other, A synchronization error due to the friction force F syn generated when the roll 111 and the substrate 500 are in contact with each other is measured and corrected,
In a state in which the roll 111 and the substrate 500 are not in contact with each other,
The rotational drive applied power applied from the controller 140 is feedback-controlled using the rotational resistance force F dR generated when the roll 111 rotates,
A contactless feedback control step (S1) in which feedback control is performed using a movement resistance force (F dL ) generated when the movement driving applied power applied from the controller (140) is moved in the stage (121);
In the non-contact feedback control step (S1)
The rotational driving force F R whose rotational resistance F dR is corrected by the feedback control is stored in the control unit 140 as a database as a reference rotational driving force F refR value,
A reference value generating step S2 in which the moving force F L corrected by the feedback control F dL is stored in the controller 140 as a reference moving force F refL value;
A roll-substrate contacting step (S3) in which the roll (111) and the substrate (500) are in contact with each other by the pressure applying unit (130);
In a state in which the roll 111 and the substrate 500 are in contact with each other,
The control unit 140 determines whether the difference between the movement driving force F L and the reference movement driving force F refL generated by the frictional force F syn or the difference between the rotation driving force F R and the reference rotation driving force F refR A feedback control step (S4) of correcting and controlling at least one selected from among a rotational driving force (F R ) or a moving driving force (F L ) so that at least one of the selected values is zero;
Wherein the synchronization error is measured and corrected using the drive feedback signal.
삭제delete 제 6항에 있어서, 상기 접촉 피드백 제어 단계(S4)는
상기 제어부(140)가 상기 마찰력(Fsyn)에 의하여 발생되는 이동 구동력(FL) 및 기준 이동 구동력(FrefL)을 비교하는 단계;
상기 제어부(140)가 이동 구동력(FL) 및 기준 이동 구동력(FrefL)의 차이 값이 0이 될 때까지, 이동 구동력(FL) 및 기준 이동 구동력(FrefL)의 차이 값을 회전 구동력(FR) 발생을 위한 회전 구동 인가 전력에 피드포워드하는 단계;
를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 구동 피드백 신호를 이용한 동기화 오차를 계측 및 보정하는 인쇄 방법.
7. The method according to claim 6, wherein the contact feedback control step (S4)
Comparing the movement driving force F L and the reference movement driving force F refL generated by the frictional force F syn with the control unit 140;
The control unit 140 sets the difference value between the movement driving force F L and the reference movement driving force F refL to the rotational driving force F L until the difference between the movement driving force F L and the reference movement driving force F refL becomes zero. Feeding forward to the rotational drive applied power for generation of the rotational force F R ;
Wherein the synchronization error is measured and corrected using the drive feedback signal.
제 6항에 있어서, 상기 접촉 피드백 제어 단계(S4)는
상기 제어부(140)가 상기 마찰력(Fsyn)에 의하여 발생되는 회전 구동력(FR) 및 기준 회전 구동력(FrefR)을 비교하는 단계;
상기 제어부(140)가 회전 구동력(FR) 및 기준 회전 구동력(FrefR)의 차이 값이 0이 될 때까지, 회전 구동력(FR) 및 기준 회전 구동력(FrefR)의 차이 값을 이동 구동력(FL) 발생을 위한 이동 구동 인가 전력에 피드포워드하는 단계;
를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 구동 피드백 신호를 이용한 동기화 오차를 계측 및 보정하는 인쇄 방법.7. The method according to claim 6, wherein the contact feedback control step (S4)
Comparing the rotational driving force F R generated by the frictional force F syn and the reference rotational driving force F refR by the controller 140;
The controller 140 controls the rotational driving force (F R) and the rotation driving force until the difference value (F refR) reaches zero, the rotational driving force (F R) and the rotation driving force to move the difference value (F refR) driving force (F L );
Wherein the synchronization error is measured and corrected using the drive feedback signal.
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