KR101518545B1 - Apparatus for Coating Graphene Film Using Cold Spray - Google Patents

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Abstract

본 발명은 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치에 관한 것으로, 화학기상증착법과 같은 진공 공정 및 별도의 에칭과 전사 과정 등의 복잡한 제조 공정을 거치지 않고, 그래핀 입자와 휘발성 액체를 혼합한 혼합 용액을 초음속 분사 노즐을 통해 분사하는 단순 스프레이 방식을 통해 그래핀 입자를 기판에 용이하게 증착 코팅시킬 수 있고, 상대적으로 저온 상태에서 그래핀 입자를 증착 코팅시킬 수 있도록 함으로써, 고온의 열에 취약한 유연 기판 등의 표면에도 그래핀 입자의 증착 코팅을 용이하게 수행할 수 있으며 더욱 다양한 용도로 활용할 수 있는 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치를 제공한다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a low-temperature spray-type graphene deposition apparatus, and more particularly, to a low-temperature spray-type graphene deposition apparatus, which does not require a complicated manufacturing process such as a vacuum process such as chemical vapor deposition process and a separate etching and transfer process, The graphene particles can be easily deposited on the substrate through a simple spraying method in which the particles are sprayed through the spray nozzle and the graphene particles can be deposited and coated at a relatively low temperature so that the surface of the flexible substrate, The present invention provides a low temperature spray type graphene deposition apparatus which can easily perform deposition coating of graphene grains and can be utilized for various applications.

Description

저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치{Apparatus for Coating Graphene Film Using Cold Spray}[0001] Apparatus for Coating Graphene Film Using Cold Spray [0002]

본 발명은 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 화학기상증착법과 같은 진공 공정 및 별도의 에칭과 전사 과정 등의 복잡한 제조 공정을 거치지 않고, 그래핀 입자와 휘발성 액체를 혼합한 혼합 용액을 초음속 분사 노즐을 통해 분사하는 단순 스프레이 방식을 통해 그래핀 입자를 기판에 용이하게 증착 코팅시킬 수 있고, 상대적으로 저온 상태에서 그래핀 입자를 증착 코팅시킬 수 있도록 함으로써, 고온의 열에 취약한 유연 기판 등의 표면에도 그래핀 입자의 증착 코팅을 용이하게 수행할 수 있으며 더욱 다양한 용도로 활용할 수 있는 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a low temperature spray-type graphene deposition apparatus. More specifically, a simple spray method in which a mixed solution of a graphene particle and a volatile liquid is injected through a supersonic injection nozzle without passing through a complicated manufacturing process such as a chemical vapor deposition process or a separate etching and transfer process The graphene particles can be easily vapor-deposited on the substrate, and the graphene particles can be deposited and coated at a relatively low temperature, thereby facilitating the deposition and coating of the graphene particles on the surface of a flexible substrate susceptible to high temperature heat Temperature spray-type graphene deposition apparatus that can be used for various applications.

그래핀(Graphene)은 탄소가 육각형의 형태로 서로 연결되어 벌집 모양의 2차원 평면 구조를 이루는 물질로서, 그 특징은 두께가 매우 얇고 투명하고 우수한 전기 전도성을 가지는 차세대 물질로 알려져 있다. 이러한 그래핀의 특수성을 이용하여 최근 투명 디스플레이 또는 플렉서블(Flexible) 디스플레이 등의 전자 장비에 적용하려는 다양한 연구와 노력이 이루어지고 있다.Graphene is a material in which carbon is hexagonally connected to form a honeycomb two-dimensional planar structure. It is known as a next-generation material having a very thin thickness, transparency and excellent electrical conductivity. Recently, various researches and efforts have been made to apply such graphene to electronic equipment such as a transparent display or a flexible display.

일반적으로 그래핀은 금속 촉매를 이용한 화학기상증착법(CVD : Chemical vapor deposition)에 의해 금속 촉매 상부에 형성하게 된다. 그 후 금속 촉매를 에칭 과정(etching process)을 통해 제거한 뒤 유연 기판(flexible substrate)과 유리 기판 등의 다양한 기판에 전사(tranfer)시켜 그래핀 박막을 얻게 된다.Generally, the graphene is formed on the metal catalyst by chemical vapor deposition (CVD) using a metal catalyst. Thereafter, the metal catalyst is removed through an etching process, and then transferred to various substrates such as a flexible substrate and a glass substrate to obtain a graphene thin film.

그러나 이러한 에칭과 전사 과정은 화학적 안정성의 문제와 비용과 시간이 상대적으로 많이 소요되는 문제가 있었다. 따라서, 그래핀을 이용하여 기판에 그래핀 박막을 형성하는 작업이 쉽지 않았으며, 그 이용 범위가 크게 제한되고 있다는 문제가 있었다.However, such etching and transfer processes have a problem of chemical stability and a relatively high cost and time. Therefore, it is not easy to form a graphene thin film on a substrate by using graphene, and there is a problem that its use range is greatly limited.

선행기술로는 국내공개특허 제10-2012-0007998호 등이 있다.
Prior art is disclosed in Korean Patent Laid-Open No. 10-2012-0007998.

본 발명은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 발명한 것으로서, 본 발명의 목적은 화학기상증착법과 같은 진공 공정 및 별도의 에칭과 전사 과정 등의 복잡한 제조 공정을 거치지 않고, 그래핀 입자와 휘발성 액체를 혼합한 혼합 용액을 초음속 분사 노즐을 통해 분사하는 단순 스프레이 방식을 통해 그래핀 입자를 기판에 용이하게 증착 코팅시킬 수 있는 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention was made to solve the problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide a method and apparatus for forming graphene grains and volatile liquids without passing through a complicated manufacturing process such as a vacuum process such as a chemical vapor deposition process and a separate etching and transfer process And to provide a low-temperature spray-type graphene deposition apparatus capable of easily depositing and coating graphene particles on a substrate through a simple spraying method in which a mixed solution is injected through a supersonic injection nozzle.

본 발명의 다른 목적은 상대적으로 저온 상태에서 그래핀 입자를 증착 코팅시킬 수 있도록 함으로써, 고온의 열에 취약한 유연 기판 등의 표면에도 그래핀 입자의 증착 코팅을 용이하게 수행할 수 있으며 더욱 다양한 용도로 활용할 수 있는 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치를 제공하는 것이다.
It is another object of the present invention to provide a method for depositing and coating graphene particles on a surface of a flexible substrate susceptible to heat at a relatively low temperature, And to provide a low-temperature spray-type graphene deposition apparatus.

본 발명은, 기판을 향해 작동 가스를 초음속 상태로 분사하는 초음속 분사 노즐; 상기 초음속 분사 노즐에 공급되는 작동 가스를 가열하는 히팅부; 및 그래핀 입자와 휘발성 액체가 혼합된 상태의 혼합 용액이 저장되고, 상기 혼합 용액이 상기 초음속 분사 노즐을 통해 상기 작동 가스와 함께 분사되도록 상기 초음속 분사 노즐에 연결되는 용액 공급부를 포함하고, 상기 혼합 용액은 상기 그래핀 입자가 함유된 미립자 액적 상태로 상기 초음속 분사 노즐을 통해 분사되고, 분사되는 과정에서 상기 휘발성 액체가 증발되어 상기 그래핀 입자가 상기 기판에 증착 코팅되는 것을 특징으로 하는 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치를 제공한다.The present invention relates to a supersonic injection nozzle for injecting an operating gas into a supersonic state toward a substrate; A heating unit for heating an operating gas supplied to the supersonic jet nozzle; And a solution supply part for storing a mixed solution in which graphene particles and a volatile liquid are mixed and connected to the supersonic jet nozzle so that the mixed solution is injected together with the working gas through the supersonic jet nozzle, Wherein the solution is sprayed through the supersonic spray nozzle in a fine particle droplet state containing the graphene particles and the graphene particles are evaporated and coated on the substrate in the process of spraying, Thereby providing a graphene deposition apparatus.

이때, 상기 초음속 분사 노즐은 상기 작동 가스가 유동하도록 내부 공간에 가스 유로가 형성되는 노즐 하우징; 및 상기 노즐 하우징에 형성된 가스 유로의 중단부에 직각 방향으로 연통되도록 상기 노즐 하우징에 형성되는 용액 주입구를 포함하고, 상기 용액 공급부는 상기 가스 유로 내부로 상기 혼합 용액이 공급되도록 상기 용액 주입구에 연통되게 결합될 수 있다.At this time, the supersonic injection nozzle includes a nozzle housing in which a gas flow path is formed in an inner space so that the working gas flows; And a solution injection port formed in the nozzle housing so as to communicate with the nozzle housing in a direction perpendicular to the center of the gas flow path formed in the nozzle housing, wherein the solution supply part is communicated with the solution injection port to supply the mixed solution into the gas flow path Can be combined.

또한, 상기 가스 유로에 연통되는 상기 용액 주입구의 단면 형상은 상기 작동 가스의 유동 방향에 대한 직각 방향으로 길게 형성될 수 있다.In addition, the cross-sectional shape of the solution injection port communicating with the gas flow path may be formed long in a direction perpendicular to the flow direction of the working gas.

또한, 상기 가스 유로는 양단에 유입구 및 배출구가 형성되고, 중단부에는 유동 단면적이 감소하는 교축부가 형성되며, 상기 교축부로부터 상기 배출구로 향하는 구간에는 상기 배출구로 갈수록 유동 단면적이 증가하는 방향으로 경사지도록 경사면이 형성될 수 있다.The gas flow path has an inlet port and an outlet port formed at both ends of the gas flow path, and an intermediate portion is formed at an intermediate portion of the gas flow path to reduce the cross-sectional area of the flow path. An inclined surface may be formed so as to be inclined.

또한, 상기 용액 주입구는 상기 경사면에 형성될 수 있다.In addition, the solution injection port may be formed on the inclined surface.

또한, 상기 용액 주입구는 상기 경사면에 상기 작동 가스의 유동 방향에 대한 직각 방향으로 길게 형성될 수 있다.In addition, the solution injection port may be elongated in the direction perpendicular to the flow direction of the working gas on the inclined surface.

또한, 상기 초음속 분사 노즐은 스틸, 스테인리스 스틸 및 텅스텐 카바이드 중 어느 하나의 재질로 형성될 수 있다.The supersonic jet nozzle may be formed of any one material selected from the group consisting of steel, stainless steel, and tungsten carbide.

또한, 상기 그래핀 입자가 상기 기판에 증착 형성되는 과정에서 상기 기판을 가열할 수 있도록 별도의 가열판이 구비될 수 있다.In addition, a separate heating plate may be provided to heat the substrate during deposition of the graphene particles on the substrate.

또한, 상기 가열판은 일면에 상기 기판이 안착될 수 있도록 형성되어 열전도 방식으로 상기 기판을 가열하도록 구성될 수 있다.In addition, the heating plate may be configured to mount the substrate on one surface thereof, and may be configured to heat the substrate by a thermal conduction method.

또한, 상기 기판에 증착 코팅된 그래핀층에 레이저빔을 조사할 수 있도록 레이저 조사기가 구비될 수 있다.
Further, a laser beam may be provided to irradiate the graphene layer deposited and coated on the substrate with a laser beam.

본 발명에 의하면, 화학기상증착법과 같은 진공 공정 및 별도의 에칭과 전사 과정 등의 복잡한 제조 공정을 거치지 않고, 그래핀 입자와 휘발성 액체를 혼합한 혼합 용액을 초음속 분사 노즐을 통해 분사하는 단순 스프레이 방식을 통해 그래핀 입자를 기판에 용이하게 증착 코팅시킬 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, a simple spray method in which a mixed solution obtained by mixing a graphene particle and a volatile liquid is injected through a supersonic injection nozzle without passing through a complicated manufacturing process such as a vacuum process such as a chemical vapor deposition process and a separate etching and transfer process The graphene particles can be easily deposited and coated on the substrate.

또한, 상대적으로 저온 상태에서 그래핀 입자를 증착 코팅시킬 수 있도록 함으로써, 고온의 열에 취약한 유연 기판 등의 표면에도 그래핀 입자의 증착 코팅을 용이하게 수행할 수 있으며 더욱 다양한 용도로 활용할 수 있는 효과가 있다.In addition, by allowing the graphene particles to be deposited and coated at a relatively low temperature, deposition and coating of the graphene particles can be easily performed on a surface of a flexible substrate susceptible to heat at high temperature, and the effect have.

또한, 초음속 분사 노즐을 통해 분사되는 작동 가스를 히팅부를 통해 가열하고, 이를 통해 미립자 액적을 가열함으로써, 휘발성 액체의 증발을 가속시키고, 이에 따라 불순물이 제거된 상태로 투과도 및 표면 저항 특성이 우수한 그래핀 증착 코팅이 가능하다는 효과가 있다.Further, the working gas injected through the supersonic injection nozzle is heated through the heating unit, and the fine droplet droplet is heated thereby to accelerate the evaporation of the volatile liquid. Thus, the impurity is removed, There is an effect that pin deposition coating is possible.

또한, 그래핀 입자가 함유된 혼합 용액을 초음속 분사 노즐로 공급하는 용액 주입구의 형상을 가스 유동 방향의 직각 방향으로 길게 형성함으로써, 혼합 용액의 미립화를 더욱 활성화하고 그래핀 입자의 증착 영역을 더욱 넓은 영역으로 확장시킬 수 있는 효과가 있다.Further, since the shape of the solution injection port for supplying the mixed solution containing the graphene particles to the supersonic injection nozzle is formed to be long in the direction perpendicular to the gas flow direction, the atomization of the mixed solution is further activated, It is possible to expand it to the area.

또한, 기판의 일면에 별도의 전도성 가열판을 장착함으로써, 그래핀 필름에 형성될 수 있는 휘발성 액체의 액막을 제거할 수 있고, 이에 따라 더욱 고품질의 코팅층을 얻을 수 있는 효과가 있다.
In addition, by mounting a separate conductive heating plate on one surface of the substrate, it is possible to remove the liquid film of the volatile liquid that can be formed on the graphene film, thereby obtaining a higher quality coating layer.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치의 구성을 개념적으로 도시한 개념도,
도 2는 도 1에 도시된 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치에 가열판 및 레이저 조사기가 더 구비된 구성을 개념적으로 도시한 개념도,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치를 통해 형성된 그래핀층을 현미경으로 관찰한 사진,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치를 통해 형성된 그래핀층에 대한 X선 회전분석기 분석 결과 그래프,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치를 통해 형성된 그래핀 필름에 대한 가시광 투과도를 실험적으로 테스트한 결과를 나타내는 그래프,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음속 분사 노즐의 구성을 개략적으로 도시한 분해 사시도,
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음속 분사 노즐의 내부 구조를 개략적으로 도시한 단면도,
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음속 분사 노즐의 용액 주입구 형상을 예시적으로 도시한 도면이다.FIG. 1 is a conceptual diagram conceptually showing a configuration of a low-temperature spray type graphene deposition apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 2 is a conceptual view conceptually showing a configuration in which a low temperature spray type graphene deposition apparatus shown in FIG. 1 is further provided with a heating plate and a laser irradiator.
FIG. 3 is a photograph of a graphene layer formed through a low-temperature spray type graphene deposition apparatus according to an embodiment of the present invention,
FIG. 4 is a graph showing an X-ray analysis result of a graphene layer formed through a low-temperature spray type graphene deposition apparatus according to an embodiment of the present invention,
FIG. 5 is a graph showing the experimental results of visible light transmittance of a graphene film formed through a low-temperature spray type graphene deposition apparatus according to an embodiment of the present invention,
6 is an exploded perspective view schematically showing a configuration of a supersonic injection nozzle according to an embodiment of the present invention,
FIG. 7 is a cross-sectional view schematically showing an internal structure of a supersonic injection nozzle according to an embodiment of the present invention. FIG.
8 is a view illustrating an exemplary shape of a solution injection port of a supersonic injection nozzle according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals are used to designate the same or similar components throughout the drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치의 구성을 개념적으로 도시한 개념도이고, 도 2는 도 1에 도시된 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치에 가열판 및 레이저 조사기가 더 구비된 구성을 개념적으로 도시한 개념도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치를 통해 형성된 그래핀층을 현미경으로 관찰한 사진이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치를 통해 형성된 그래핀층에 대한 X선 회전분석기 분석 결과 그래프이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치를 통해 형성된 그래핀 필름에 대한 가시광 투과도를 실험적으로 테스트한 결과를 나타내는 그래프이다.FIG. 1 is a conceptual view conceptually showing the construction of a low-temperature spray type graphene deposition apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic view of a low temperature spray type graphene deposition apparatus shown in FIG. 1, FIG. 3 is a microscopic photograph of a graphene layer formed through a low-temperature spray type graphene deposition apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 4 is a cross- FIG. 5 is a graph showing the X-ray analysis results of the graphene layer formed through the low-temperature spray-type graphene deposition apparatus according to the embodiment of the present invention. Which is a graph showing experimental results of visible light transmittance of the light-emitting layer.

본 발명의 일 실시예에 따른 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치는 그래핀 입자를 비진공 공정인 저온 스프레이 방식을 통해 기판 표면에 증착 코팅할 수 있는 장치로서, 초음속 분사 노즐(100)과, 히팅부(200)와, 용액 공급부(300)를 포함하여 구성된다.A low-temperature spray type graphene deposition apparatus according to an embodiment of the present invention is an apparatus capable of vapor-depositing and coating graphene particles on a surface of a substrate through a low-temperature spray process which is a non-vacuum process. The apparatus includes a supersonic injection nozzle 100, (200), and a solution supply unit (300).

초음속 분사 노즐(100)은 기판(S)을 향해 작동 가스를 초음속 상태로 분사하는 장치로서, 작동 가스의 초음속 분사 과정에서 용액 공급부(300)로부터 혼합 용액을 공급받아 작동 가스와 함께 혼합 용액을 미립자 액적(P) 상태로 분사하도록 구성된다. 이때, 사용되는 작동 가스는 혼합 용액과의 화학 반응이 억제될 수 있도록 공기, 수소, 질소, 헬륨 등 화학적으로 안정한 물질을 사용하는 것이 바람직하다.The supersonic injection nozzle 100 is a device for injecting an operating gas into a supersonic state toward the substrate S, and supplies the mixed solution from the solution supply part 300 in the supersonic injection process of the working gas, (P) state. At this time, it is preferable to use a chemically stable material such as air, hydrogen, nitrogen, helium or the like so that the chemical reaction with the mixed solution can be suppressed.

이러한 초음속 분사 노즐(100)의 재질은 스틸, 스테인리스 스틸 또는 텅스텐 카바이드 등으로 형성될 수 있으며, 텅스텐 카바이드로 제작하게 되면, 재질 자체의 내마모성과 내열성이 우수하여 가열된 작동 가스와 대기 혹은 외부와의 열전달이 최소화되고, 이에 따라 작동 가스의 초음속 유동 속도를 극대화할 수 있다.The material of the supersonic jet nozzle 100 may be formed of steel, stainless steel, tungsten carbide or the like. When the material is made of tungsten carbide, the material itself is excellent in abrasion resistance and heat resistance, Heat transfer is minimized, thereby maximizing the supersonic flow rate of the working gas.

히팅부(200)는 초음속 분사 노즐(100)에 공급되는 작동 가스를 가열하는 장치로서, 초음속 분사 노즐(100)의 유입부 전방에 장착되어 작동 가스가 초음속 분사 노즐(100)에 유입되는 과정에서 가열되도록 구성될 수도 있고, 작동 가스의 저장조를 직접 가열하도록 장착되는 방식으로 구성될 수도 있는 등 다양하게 변경 가능하다. 히팅부(200)에 의한 작동 가스의 가열 온도는 350℃ 정도로 설정될 수 있다. 이와 같이 히팅부(200)를 통해 작동 가스를 가열함으로써, 이후 용액 공급부(300)의 혼합 용액을 작동 가스와 함께 분사하는 과정에서 혼합 용액을 미립자 액적(P) 상태로 용이하게 유도할 수 있고, 미립자 액적(P) 상태에서 휘발성 액체(P2)의 증발을 더욱 가속화시킬 수 있다.The heating unit 200 is a device for heating the working gas supplied to the supersonic jet nozzle 100. The heating unit 200 is mounted in front of the inlet of the supersonic jet nozzle 100 and flows into the supersonic jet nozzle 100 It may be configured to be heated, or it may be configured in such a manner that it is mounted to directly heat the reservoir of working gas, and so on. The heating temperature of the operating gas by the heating unit 200 may be set to about 350 ° C. By heating the working gas through the heating unit 200 as described above, the mixed solution in the solution supplying unit 300 can be easily guided into the particulate droplet (P) state in the process of spraying the mixed solution with the operating gas, It is possible to further accelerate the evaporation of the volatile liquid P2 in the state of the particulate droplet (P).

용액 공급부(300)는 그래핀 입자(P1)와 휘발성 액체(P2)가 혼합된 상태의 혼합 용액이 저장되도록 형성되고, 저장된 혼합 용액이 초음속 분사 노즐(100)을 통해 작동 가스와 함께 분사되도록 초음속 분사 노즐(100)에 연결된다. 이때, 휘발성 액체(P2)는 에탄올과 같이 상온에서도 쉽게 휘발할 수 있는 액체가 적용되는 것이 바람직하다.The solution supply part 300 is formed to store a mixed solution in a state where the graphene particles P1 and the volatile liquid P2 are mixed and the supersonic injection nozzle 100 is provided with a supersonic injection nozzle 100, And is connected to the injection nozzle 100. At this time, it is preferable that the volatile liquid P2 is a liquid such as ethanol which can easily volatilize even at room temperature.

이러한 용액 공급부(300)는 시린지 펌프와 같이 일정양의 혼합 용액을 초음속 분사 노즐(100)에 공급하는 방식으로 구성될 수도 있으며, 이와 달리 단순히 혼합 용액을 저장하는 형태로 구성되고 초음속 분사 노즐(100)의 작동 가스 분사시 발생하는 압력 강하 현상에 의해 혼합 용액이 초음속 분사 노즐(100)로 유입되어 함께 분사되도록 하는 방식으로 구성될 수도 있다. 이때, 혼합 용액이 초음속 분사 노즐(100)로 공급되는 유량은 수십μl/mim ~ 수백μl/mim 로 설정될 수 있으며, 그 공급 유량은 사용자의 필요에 따라 다양하게 조절할 수 있고, 이에 따라 그래핀 필름의 다양한 적용 분야에 사용할 수 있다.The solution supply unit 300 may be configured to supply a certain amount of mixed solution to the supersonic jet nozzle 100, such as a syringe pump, or alternatively may be configured to merely store the mixed solution, and the supersonic jet nozzle 100 The supersonic jet nozzle 100 may be configured to inject the mixed solution into the supersonic jet nozzle 100 by a pressure drop phenomenon occurring when the working gas is injected. At this time, the flow rate of the mixed solution supplied to the supersonic injection nozzle 100 can be set to several tens of μl / mim to several hundred μl / mim, and the supply flow rate thereof can be variously adjusted according to the needs of the user, It can be used in various applications of film.

이와 같은 구조에 따라 초음속 분사 노즐(100)을 통해 작동 가스를 분사하면, 용액 공급부(300)로부터 혼합 용액이 초음속 분사 노즐(100)로 유입되어 작동 가스와 함께 초음속 상태로 분사된다. 이때, 혼합 용액은 작동 가스의 온도에 의해 가열됨과 동시에 초음속 상태로 가속되기 때문에, 초음속 분사 노즐(100)을 통해 분사되는 과정에서 미립자 액적(P) 상태로 분사된다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이 그래핀 입자(P1)를 핵으로 하여 외부 공간에 휘발성 액체(P2)가 응결된 형태의 미립자 액적(P) 상태로 초음속 분사 노즐(100)을 통해 분사된다. According to this structure, when the working gas is injected through the supersonic injection nozzle 100, the mixed solution flows into the supersonic injection nozzle 100 from the solution supply part 300 and is injected at supersonic speed together with the working gas. At this time, since the mixed solution is heated by the temperature of the working gas and accelerated to the supersonic state, the mixed solution is injected into the particulate droplet P state in the process of being injected through the supersonic injection nozzle 100. That is, as shown in FIG. 1, the graphene particles P1 are injected through the supersonic injection nozzle 100 into a particulate droplet P state in which a volatile liquid P2 is condensed in an outer space.

이러한 미립자 액적(P)은 분사되는 과정에서 초음속 분사 노즐(100)의 출구에서부터 기판(S)의 표면에 도달하는 동안 휘발성 액체(P2)가 증발하게 되고, 따라서, 기판(S)의 표면에는 휘발성 액체(P2)가 증발한 상태로 그래핀 입자(P1)가 증착 코팅된다. 특히, 작동 가스가 히팅부(200)에 의해 가열된 상태로 분사되므로, 미립자 액적(P)이 분사되는 동안에도 작동 가스의 온도에 의해 미립자 액적(P)이 가열되므로 휘발성 액체(P2)의 증발이 더욱 활발하게 일어나고, 이에 따라 기판(S)의 표면에는 더욱 순수한 상태의 그래핀 입자(P1)가 증착 코팅될 수 있다.The volatile liquid P2 is evaporated while the particulate droplet P reaches the surface of the substrate S from the outlet of the supersonic jet nozzle 100 in the process of ejecting the droplet P. Therefore, The graphene particles P1 are deposited and coated with the liquid P2 evaporated. Particularly, since the working gas is injected while being heated by the heating unit 200, the particulate droplets P are heated by the temperature of the working gas even while the particulate droplets P are being injected, so that the evaporation of the volatile liquid P2 The graphene particles P1 in a more pure state can be deposited on the surface of the substrate S by vapor deposition.

즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치는 작동 가스를 가열하여 초음속 분사 노즐(100)을 통해 분사하고, 그래핀 입자(P1)가 함유된 혼합 용액을 초음속 분사 노즐(100)을 통해 미립자 액적(P) 상태로 작동 가스와 함께 분사함으로써, 분사하는 과정에서 휘발성 액체(P2)가 증발하고 그래핀 입자(P1)만 기판(S)의 표면에 증착 코팅되도록 하는 방식으로 구성된다.That is, in the low temperature spray type graphene deposition apparatus according to an embodiment of the present invention, the working gas is heated and injected through the supersonic jet nozzle 100, and the mixed solution containing the graphene particles P1 is injected into the supersonic jet nozzle The volatile liquid P2 evaporates in the course of spraying and only the graphene particles P1 are deposited and coated on the surface of the substrate S by spraying the working gas with the working gas in the state of fine particles .

따라서, 종래 기술과 달리 진공 공정인 화학기상증착법을 이용하지 않아도 되고, 별도의 에칭과 전사 과정 등의 복잡한 제조 공정을 거치지 않아도 단순히 스프레이 방식을 통해 그래핀 입자(P1)를 기판(S)의 표면에 증착 코팅시킬 수 있다. 또한, 상대적으로 저온 상태에서 그래핀 입자(P1)를 증착 코팅시킬 수 있기 때문에, 고온의 열에 취약한 유연 기판 등의 표면에도 그래핀 입자(P1)의 증착 코팅을 용이하게 수행할 수 있고, 더욱 다양한 용도로 활용할 수 있다.Therefore, unlike the prior art, it is not necessary to use the chemical vapor deposition method, which is a vacuum process, and the graphene particles P1 may be simply sprayed onto the surface of the substrate S through a spray method without any complicated manufacturing process such as etching and transfer process For example. Further, since the graphene particles P1 can be deposited and coated at a relatively low temperature, deposition and coating of the graphene particles P1 can be easily performed even on the surface of a flexible substrate susceptible to heat at high temperature, It can be used as a purpose.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치는 도 2에 도시된 바와 같이 초음속 분사 노즐(100)의 분사를 통해 그래핀 입자(P1)가 기판(S)의 표면에 증착 형성되는 과정에서 기판(S)을 가열할 수 있도록 별도의 가열판(400)이 구비될 수 있다. 이러한 가열판(400)은 일면에 기판(S)이 안착될 수 있도록 형성되어 열전도 방식으로 기판(S)을 가열할 수 있도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 가열판(400)은 기판(S)이 안착될 수 있는 스테이지 형태로 내부에는 히팅 코일(미도시)이 내장된 형태로 구성될 수 있다.2, the low-temperature spray type graphene deposition apparatus according to an embodiment of the present invention includes a supersonic injection nozzle 100, and the graphene particles P1 are deposited on the surface of the substrate S A separate heating plate 400 may be provided to heat the substrate S in the process of being formed. The heating plate 400 may be configured to allow the substrate S to be mounted on one surface thereof and to heat the substrate S by a thermal conduction method. For example, the heating plate 400 may be a stage in which the substrate S can be placed, and a heating coil (not shown) may be embedded therein.

이와 같이 가열판(400)에 의해 기판(S)을 가열함으로써, 기판(S)의 표면에 증착될 수 있는 휘발성 액체(P2)의 액막을 증발 제거할 수 있다. 즉, 초음속 분사 노즐(100)로부터 분사되는 미립자 액적(P)은 전술한 바와 같이 기판(S)의 표면에 도달하는 과정에서 휘발성 액체(P2)가 증발하게 되지만, 미립자 액적(P)이 서로 결합되어 액적의 크기가 증가하게 되는 경우 또는 혼합 용액을 과잉 공급하는 경우 등과 같이 특정 상황에서는 미립자 액적(P)의 휘발성 액체(P2)가 완전히 증발하지 않고 기판(S)의 표면에 도달할 수 있고, 이 경우 기판(S)의 표면에는 휘발성 액체(P2)로 인한 액막이 생성될 수 있다. 이렇게 생성된 액막은 주변의 그래핀 입자(P1)들을 밀어내게 되고 그래핀 입자(P1)들을 서로 뭉치게 하는 등 증착 코팅의 품질을 저하시키는 원인이 될 수 있다. 따라서, 기판(S)의 표면에 생성될 수 있는 액막을 제거할 수 있도록 기판(S)의 일면에 접촉하여 열전도 방식으로 기판(S)을 가열할 수 있는 가열판(400)을 장착하고, 이를 통해 기판(S)을 가열하여 액막을 증발 제거할 수 있다.By heating the substrate S by the heating plate 400 in this manner, the liquid film of the volatile liquid P2 that can be deposited on the surface of the substrate S can be evaporated and removed. That is, the volatile liquid P2 is evaporated in the process of reaching the surface of the substrate S as described above, but the droplets P are not combined with each other The volatile liquid P2 of the fine particle droplets P can reach the surface of the substrate S without completely evaporating under certain circumstances such as when the size of the droplet is increased or when the mixed solution is supplied in an excess amount, In this case, a liquid film due to the volatile liquid P2 may be generated on the surface of the substrate S. The resulting liquid film pushes around graphene particles P1 and may cause degradation of the quality of the deposition coating, such as aggregating graphene particles P1 together. Therefore, a heating plate 400 capable of heating the substrate S in a thermal conduction manner is provided so as to be in contact with one surface of the substrate S so as to remove a liquid film that can be formed on the surface of the substrate S, The substrate S can be heated to vaporize and remove the liquid film.

또한, 도 2에 도시된 바와 같이 기판(S)에 증착 코팅된 그래핀 층에 레이저 빔을 조사할 수 있도록 레이저 조사기(500)가 구비될 수 있으며, 이를 통해 그래핀 층의 균일성을 향상시킬 수 있다.Further, as shown in FIG. 2, a laser irradiator 500 may be provided to irradiate a laser beam onto the graphene layer deposited on the substrate S, thereby improving the uniformity of the graphene layer .

즉, 전술한 스프레이 공정을 통해 그래핀 입자(P1)는 초음속 유동 내에서 불규칙한 형태로 기판(S)에 증착하게 되고 그래핀 입자가 구겨지는 형태로 존재할 수 있는데, 이러한 그래핀 입자의 불규칙한 형태와 구겨진 형상을 개선하기 위해 레이저빔과 같은 높은 에너지를 공급할 수 있다. 그래핀은 열에너지를 받게 되면 팝콘과 같이 부피가 팽창하게 되는데, 이러한 그래핀의 특징을 이용하여 레이저빔과 같은 높은 에너지를 그래핀 입자에 공급하여 평평하고 넓은 면적을 갖는 그래핀층을 형성시킬 수 있다.That is, through the above-described spraying process, the graphene particles P1 are deposited on the substrate S in an irregular form in the supersonic flow, and the graphene particles may exist in a crumpled form. It can supply high energy such as a laser beam to improve the crumpled shape. When graphene receives thermal energy, its volume expands like popcorn. By using the characteristics of graphene, high energy such as laser beam can be supplied to graphene grains to form a graphene layer having a flat and wide area .

도 3에는 이와 같이 형성된 그래핀 필름의 코팅 상태를 확인하기 위해 현미경으로 확대 촬영한 사진을 도시하였고, 도 4에는 X선 회절분석기를 이용하여 그래핀층을 분석한 테스트 결과를 도시하였으며, 도 5에는 그래핀 필름의 가시광 투과도 및 표면 저항에 대한 테스트 결과를 도시하였다. 도 3 내지 도 5를 통해 알 수 있듯이, 본 발명의 일 실시예에 따라 저온 스프레이 방식을 통해 증착 코팅된 그래핀 필름은 그 투과도 및 표면 저항 등 그 특성이 매우 우수하여 다양한 분야에 적용될 수 있을 것이다.
FIG. 3 shows a magnified photograph taken by a microscope to confirm the coated state of the formed graphene film. FIG. 4 shows a test result of analyzing the graphene layer using an X-ray diffractometer, and FIG. Test results for visible light transmittance and surface resistance of the graphene film are shown. As can be seen from FIGS. 3 to 5, according to one embodiment of the present invention, the graphene film deposited through the low-temperature spraying method has excellent properties such as transmittance and surface resistance, and can be applied to various fields .

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음속 분사 노즐의 구성을 개략적으로 도시한 분해 사시도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음속 분사 노즐의 내부 구조를 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음속 분사 노즐의 용액 주입구 형상을 예시적으로 도시한 도면이다.FIG. 6 is an exploded perspective view schematically showing a configuration of a supersonic jet nozzle according to an embodiment of the present invention, FIG. 7 is a cross-sectional view schematically showing an internal structure of a supersonic jet nozzle according to an embodiment of the present invention, 8 is a view illustrating an exemplary shape of a solution injection port of a supersonic injection nozzle according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 초음속 분사 노즐(100)은 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 작동 가스가 유동하도록 내부 공간에 가스 유로(120)가 형성되는 노즐 하우징(110)과, 노즐 하우징(110)에 형성된 가스 유로(120)의 중단부에 직각 방향으로 연통되도록 노즐 하우징(110)에 형성되는 용액 주입구(130)를 포함하여 구성된다. 노즐 하우징(110)은 도 6에 도시된 바와 같이 상부 하우징(111)과 하부 하우징(112)으로 분리 형성되고, 상호 결합하여 내부에 하나의 가스 유로(120)를 형성하도록 구성될 수 있다. 이때, 용액 공급부(300)는 노즐 하우징(110)의 가스 유로(120) 내부로 혼합 용액이 공급되도록 용액 주입구(130)에 연통되게 결합된다.6 and 7, the supersonic injection nozzle 100 according to an embodiment of the present invention includes a nozzle housing 110 in which a gas flow path 120 is formed in an inner space to flow an operation gas, And a solution injection port 130 formed in the nozzle housing 110 so as to communicate with the center of the gas flow path 120 formed in the nozzle 110 at a right angle. The nozzle housing 110 may be divided into an upper housing 111 and a lower housing 112 as shown in FIG. 6, and may be coupled to each other to form one gas passage 120 therein. At this time, the solution supply part 300 is connected to the solution injection port 130 so as to supply the mixed solution into the gas flow path 120 of the nozzle housing 110.

가스 유로(120)는 양단에 유입구(121-1) 및 배출구(123-1)가 형성되고, 중단부에는 유동 단면적이 감소하는 교축부(122)가 형성된다. 유입구(121-1)로부터 교축부(122)까지는 유동 단면적이 감소하는 형태로 유입부(121)가 형성되고, 교축부(122)로부터 배출구(123-1)까지는 유동 단면적이 증가하는 형태로 배출부(123)가 형성된다. 이때, 유입부(121) 내주면이 곡면을 이루도록 형성되며, 유동 단면적 자체는 교축부(122)로 갈수록 감소하되 그 폭은 증가하는 형태로 형성될 수 있다.An inlet 121-1 and an outlet 123-1 are formed at both ends of the gas flow path 120 and a throttling portion 122 is formed at the intermediate portion of the gas flow path 120 to reduce the flow cross sectional area. The inlet 121 is formed in such a manner that the flow cross-sectional area decreases from the inlet 121-1 to the throttling portion 122 and the flow cross-sectional area from the throttling portion 122 to the outlet 123-1 increases, A portion 123 is formed. At this time, the inner circumferential surface of the inflow portion 121 is formed to have a curved surface, and the flow cross-sectional area itself may be reduced toward the throttling portion 122 and increased in width.

교축부(122)로부터 배출구(123-1)로 향하는 배출부(123) 구간에는 배출구(123-1)로 갈수록 유동 단면적이 증가하는 방향으로 경사지도록 경사면(123-2)이 형성된다. 따라서, 배출부(123) 구간에서는 경사면(123-2) 형태에 의해 상대적으로 가스 유로(120)의 폭이 상대적으로 넓게 형성될 수 있다.The inclined surface 123-2 is formed in the section of the discharge section 123 which is directed from the throttling section 122 to the discharge port 123-1 so as to be inclined in the direction of increasing the flow cross sectional area toward the discharge port 123-1. Therefore, the width of the gas passage 120 can be relatively increased by the shape of the inclined surface 123-2 in the discharge section 123.

용액 주입구(130)는 이러한 경사면(123-2)에 형성되어 가스 유로(120)에 연통되도록 형성될 수 있다. 따라서, 가스 유로(120)를 통해 초음속 속도로 작동 가스가 분사되면, 가스 유로(120) 내부에서 압력 강하 현상이 발생하고, 이에 따라 용액 주입구(130)를 통해 혼합 용액이 가스 유로(120) 내부로 유입되고, 유입된 상태에서 작동 가스와 함께 배출구(123-1)를 통해 미립자 액적 상태로 분사된다.The solution injection port 130 may be formed on the inclined surface 123-2 so as to communicate with the gas flow path 120. Therefore, when the working gas is injected at the supersonic speed through the gas passage 120, a pressure drop phenomenon occurs in the gas passage 120, and thus the mixed solution flows through the solution inlet 130 into the gas passage 120 And is injected into the particulate droplet state through the outlet 123-1 together with the working gas in the inflow state.

이때, 용액 주입구(130)는 도 8의 (a)에 도시된 바와 같이 원형 유로를 갖는 형태로 형성될 수도 있으나, 이 경우 미립자 액적(P)의 확산 범위가 상대적으로 좁고 따라서 특정 영역에만 집중적으로 그래핀 증착 코팅될 수 있다. 이와 달리 도 8의 (b)에 도시된 바와 같이 용액 주입구(130)가 작동 가스의 유동 방향에 대한 직각 방향으로 길게 타원 형태로 경사면(123-2)에 형성되면, 미립자 액적(P)의 확산 범위가 상대적으로 넓어지게 되고, 이에 따라 더욱 넓은 영역으로 미립자 액적(P)이 분사될 수 있으므로, 더 넓은 영역에 그래핀 입자를 증착 코팅시킬 수 있다.
In this case, the solution injection port 130 may be formed in a shape having a circular flow path as shown in FIG. 8 (a), but in this case, the diffusion range of the fine particle droplet P is relatively narrow, Graphene can be deposited and coated. Alternatively, as shown in FIG. 8 (b), when the solution injection port 130 is formed in the oblique surface 123-2 in a long oval shape in the direction perpendicular to the flow direction of the working gas, the diffusion of the fine particle droplets P The range becomes relatively wider, and accordingly, the fine particle droplets P can be injected into a wider area, so that the graphene particles can be vapor-deposited on a wider area.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
The foregoing description is merely illustrative of the technical idea of the present invention and various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are intended to illustrate rather than limit the scope of the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be construed according to the following claims, and all technical ideas within the scope of equivalents should be construed as falling within the scope of the present invention.

100: 초음속 분사 노즐 110: 하우징
120: 가스 유로 130: 용액 주입구
200: 히팅부 300: 용액 공급부
400: 가열판 500: 레이저 조사기
P: 미립자 액적 P1: 그래핀 입자
P2: 휘발성 액체 S: 기판100: supersonic jet nozzle 110: housing
120: gas channel 130: solution inlet
200: heating part 300: solution supplying part
400: heating plate 500: laser irradiation machine
P: fine particle droplet P1: graphene particle
P2: volatile liquid S: substrate

Claims (10)

기판을 향해 작동 가스를 초음속 상태로 분사하는 초음속 분사 노즐; 상기 초음속 분사 노즐에 공급되는 작동 가스를 가열하는 히팅부; 및 그래핀 입자와 휘발성 액체가 혼합된 상태의 혼합 용액이 저장되고, 상기 혼합 용액이 상기 초음속 분사 노즐을 통해 상기 작동 가스와 함께 분사되도록 상기 초음속 분사 노즐에 연결되는 용액 공급부를 포함하고, 상기 혼합 용액은 상기 그래핀 입자가 함유된 미립자 액적 상태로 상기 초음속 분사 노즐을 통해 분사되고, 분사되는 과정에서 상기 휘발성 액체가 증발되어 상기 그래핀 입자가 상기 기판에 증착 코팅되고,
상기 초음속 분사 노즐은, 상기 작동 가스가 유동하도록 내부 공간에 가스 유로가 형성되는 노즐 하우징; 및 상기 노즐 하우징에 형성된 가스 유로의 중단부에 직각 방향으로 연통되도록 상기 노즐 하우징에 형성되는 용액 주입구를 포함하고, 상기 용액 공급부는 상기 가스 유로 내부로 상기 혼합 용액이 공급되도록 상기 용액 주입구에 연통되게 결합되고,
상기 가스 유로는 양단에 유입구 및 배출구가 형성되고, 중단부에는 유동 단면적이 감소하는 교축부가 형성되며, 상기 교축부로부터 상기 배출구로 향하는 구간에는 상기 배출구로 갈수록 유동 단면적이 증가하는 방향으로 경사지도록 경사면이 형성되고,
상기 용액 주입구는 상기 경사면에 형성되고,
상기 용액 주입구는 상기 경사면에 상기 작동 가스의 유동 방향에 대한 직각 방향으로 길게 형성되고,
상기 히팅부가 상기 작동 가스를 가열시켜 상기 혼합 용액을 미립자 액적 상태로 유도하고 상기 휘발성 액체의 증발을 가속화시키고,
상기 그래핀 입자가 상기 기판에 증착 형성되는 과정에서 상기 기판이 안착되어 상기 기판을 가열하는 가열판이 구비되는 것을 특징으로 하는 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치.
A supersonic jet nozzle for jetting the working gas in a supersonic state toward the substrate; A heating unit for heating an operating gas supplied to the supersonic jet nozzle; And a solution supply part for storing a mixed solution in which graphene particles and a volatile liquid are mixed and connected to the supersonic jet nozzle so that the mixed solution is injected together with the working gas through the supersonic jet nozzle, The solution is sprayed through the supersonic jet nozzle in a fine particle droplet state containing the graphene particles, and the volatile liquid is evaporated in the process of spraying to deposit and coat the graphene particles on the substrate,
Wherein the supersonic jet nozzle comprises: a nozzle housing having a gas passage formed in an inner space thereof to allow the working gas to flow; And a solution injection port formed in the nozzle housing so as to communicate with the nozzle housing in a direction perpendicular to the center of the gas flow path formed in the nozzle housing, wherein the solution supply part is communicated with the solution injection port to supply the mixed solution into the gas flow path Coupled,
Wherein the gas flow path has an inlet port and an outlet port formed at both ends thereof and an intermediate portion where a flow cross-sectional area of the intermediate portion is reduced is formed in the gas flow path so that the flow cross-sectional area of the gas flow path is inclined toward the outlet port An inclined surface is formed,
The solution injection port is formed on the inclined surface,
Wherein the solution injection port is elongated in the direction perpendicular to the flow direction of the working gas on the inclined surface,
The heating portion heats the operating gas to induce the mixed solution into a particulate droplet state, accelerates the evaporation of the volatile liquid,
And a heating plate on which the substrate is placed to heat the substrate during deposition of the graphene particles on the substrate.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 가스 유로에 연통되는 상기 용액 주입구의 단면 형상은 상기 작동 가스의 유동 방향에 대한 직각 방향으로 길게 형성되는 것을 특징으로 하는 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the cross-sectional shape of the solution injection port communicating with the gas flow path is elongated in a direction perpendicular to the flow direction of the working gas.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1 항 또는 제 3항에 있어서,
상기 초음속 분사 노즐은 스틸, 스테인리스 스틸 및 텅스텐 카바이드 중 어느 하나의 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치.
The method according to claim 1 or 3,
Wherein the supersonic spray nozzle is formed of one material selected from the group consisting of steel, stainless steel, and tungsten carbide.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 가열판은 일면에 상기 기판이 안착될 수 있도록 형성되어 열전도 방식으로 상기 기판을 가열하는 것을 특징으로 하는 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the heating plate is formed on one surface of the substrate so that the substrate can be seated, and the substrate is heated by a thermal conduction method.
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 기판에 증착 코팅된 그래핀층에 레이저빔을 조사할 수 있도록 레이저 조사기가 구비되는 것을 특징으로 하는 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치.

The method according to claim 1 or 3,
And a laser irradiator for irradiating a laser beam onto the graphene layer deposited on the substrate.

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