KR101499561B1 - Multi-stage screw structure for vacuum-pump - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진공펌프의 케이싱(1) 내부에서 서로 맞물리게 장착되어 진공을 발생시키는 다단식 스크류에 관련되며, 그 구성의 특징으로서 샤프트(10)의 외주면에 일체로 성형되고, 적어도 두 가지 타입의 피치(23)(27)를 가진 제1ㆍ2리드(21)(25)를 구비하되, 상기 제1리드(21)는 리드간격을 길게 구비한 2피치(23)로, 제2리드(25)는 리드간격을 짧게 구비한 3피치(27)로 각각 형성되는 한 쌍의 스크류(20); 및 상기 스크류(20)의 제1ㆍ2리드(21)(25) 사이에 일체로 성형되어 진공도와 원활한 유체 흐름을 유도하는 회전판(30);을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이에 따라 본 발명은, 샤프트 상에서 회전판을 기준하여 제1리드와 제2리드 사이에 원활한 유체 흐름과 연속 압축을 유도하여 진공도 및 효율을 향상함과 함께 기밀을 유지하면서 압축열을 저하시키는 등 전반적인 진공펌프의 효율을 극대화시킬 수 있는 효과가 있다.The present invention relates to a multistage screw which is meshed inside a casing (1) of a vacuum pump to generate vacuum, characterized in that it is integrally formed on the outer circumferential surface of the shaft (10) and has at least two types of pitches The first lead 21 has two pitches 23 each having a long lead interval and the second lead 25 has a first lead 21 and a second lead 23, A pair of screws (20) formed at three pitches (27) each having a short lead interval; And a rotary plate 30 integrally molded between the first and second leads 21 and 25 of the screw 20 to induce a smooth flow of fluid with the vacuum degree.
Accordingly, it is an object of the present invention to improve smoothness and efficiency by inducing smooth fluid flow and continuous compression between a first lead and a second lead on the basis of a rotating plate on a shaft, The efficiency of the pump can be maximized.

Description

진공펌프의 다단식 스크류 구조{Multi-stage screw structure for vacuum-pump}[0001] The present invention relates to a multi-stage screw structure for a vacuum pump,

본 발명은 진공펌프의 다단식 스크류에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 샤프트 상에서 회전판을 기준하여 제1리드와 제2리드 사이에 원활한 유체 흐름과 연속 압축을 유도하여 진공도 및 효율을 향상함과 함께 기밀을 유지하면서 압축열을 저하시키는 등 전반적인 진공펌프의 효율을 극대화시킬 수 있는 진공펌프의 다단식 스크류 구조에 관한 것이다.The present invention relates to a multistage screw of a vacuum pump, and more particularly to a multistage screw of a vacuum pump, which is capable of inducing smooth fluid flow and continuous compression between a first lead and a second lead on the basis of a rotating plate on a shaft, thereby improving the degree of vacuum and efficiency, And the efficiency of the overall vacuum pump can be maximized by lowering the heat of compression while maintaining the pressure of the vacuum pump.

진공펌프는 기계, 화학, 식품, 반도체를 비롯한 산업 각 분야에서 성형, 포장, 착유, 리프팅 등의 용도로 활용도가 높다. 최근 들어 에너지 효율이 획기적으로 개선된 스크류형 건식진공펌프의 개발이 활발히 진행되고 있다. 스크류형 건식진공펌프는 동일한 형태의 한 쌍의 스크류가 맞물려 있는 구조로 하나의 모터에 의해 발생되는 구동력이 기어를 통하여 양 스크류에 전달되고 하우징 내면과 스크류-스크류 사이에 형성된 공간(Trapped volume)이 흡입구에서 배기측으로 이동하게 된다. 따라서 스크류 양 끝단으로 이동된 배기가스는 펌프하우징에 연결된 배기파이프를 통하여 외부로 배출되게 된다. 진공펌프의 스크류에 관련되는 선행문헌으로서 한국 등록특허공보 제10-0747225호, 일본 특개소 63-36086호 등이 알려져 있다.Vacuum pumps are used for molding, packing, milking, lifting, etc. in various fields of industry including machine, chemical, food, and semiconductor. In recent years, the development of a screw type dry vacuum pump with remarkably improved energy efficiency is actively under way. A screw type dry vacuum pump is a structure in which a pair of screws of the same type are engaged, a driving force generated by a single motor is transmitted to both screws through a gear, and a trapped volume formed between the inner surface of the housing and the screw- And is moved from the suction port to the exhaust side. Therefore, the exhaust gas moved to both ends of the screw is discharged to the outside through the exhaust pipe connected to the pump housing. Korean Patent Publication No. 10-0747225, Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-36086, etc. are known as prior arts related to the screw of a vacuum pump.

일예로, 한국 등록특허공보 제10-0747225호의 "계단형 압축식 이종 무단 리이드 진공펌프용 스크류"에 의하면, 샤프트부(1)와 스크류부(2)가 일체로 성형되며, 안정적 용량을 확보하기 위하여 적용되는 첫 번째 무단리이드구간(A, B)과; 다섯 개의 리이드로 구성된 두 번째 무단 리이드구간(D~H)과; 상기 첫 번째 무단리이드구간(A, B)과 두 번째 무단 리이드구간(D~H)의 사이에 형성되며 두 가지의 서로 다른 이종(異種)의 무단 리이드인 두 리이드를 원활히 연결시켜주는 중간공간구간(C)을 포함하여서 구성된다. 이에 따라 일본 특개소 63-36086(88.02.16)에 공지된 것과 같이, 하나의 축상에서 스크류 리이드(Lead)의 변화를 줌과 동시에 축상에서 2단 스크류 구성을 통해 내부압축을 도입하는 방법을 제안하고 있다. For example, according to Korean Patent Registration No. 10-0747225, "a screw for a step-like compression type heterogeneous vacuum pump", the shaft portion 1 and the screw portion 2 are integrally formed, (A, B) to be applied to the first endless lead section; A second stepless section (D ~ H) consisting of five leads; An intermediate space section which is formed between the first endless segments A and B and the second endless segments D to H and smoothly connects the two segments of the two different types of endless segments, (C). Accordingly, as disclosed in Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 63-36086 (Oct. 18, 1992), a method of introducing internal compression through a two-stage screw configuration on the shaft while simultaneously changing a screw lead on one axis is proposed .

그러나, 상기의 선행문헌은 소비전력 저감과 함께 작은 사이즈에서도 배기 용량을 극대화 할 수 있는 효과를 동시에 얻을 수 있는 장점을 있는 반면에, 스크류를 성형하게 되면 중간공간구간이 형성하게 되므로 두 개의 스크류의 압축력 및 진공도를 유지하기 위해 중간공간구간을 밀폐시켜야 되는 문제가 있다. 즉 중간공간구간과 맞물리는 하우징 내에 격벽을 설치해야 되므로 하우징의 구조가 복잡해지고 마찰면적이 증가되어 동력손실의 증가는 물론, 내부온도를 상승시켜 결국 진공도의 효율을 저하시키는 단점이 있다.However, the above-mentioned prior art document has an advantage that it is possible to obtain the effect of maximizing exhaust capacity even in a small size together with the reduction of power consumption. However, since an intermediate space section is formed when a screw is formed, There is a problem that the intermediate space section must be sealed to maintain the compressive force and the vacuum degree. That is, since the partition wall must be installed in the housing which is meshed with the intermediate space section, the structure of the housing is complicated and the friction area is increased, thereby increasing the power loss as well as raising the internal temperature and ultimately lowering the efficiency of the vacuum degree.

한국 등록특허공보 제10-0747225호 "계단형 압축식 이종 무단 리이드 진공펌프용 스크류"(등록일자: 2007. 08. 01.)Korean Registered Patent No. 10-0747225 entitled "Screw for stepped compression type heterogeneous vacuum pump" (Registration date: 2007. 08. 01.)

이에 따라 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 근본적으로 해결하기 위한 것으로서, 샤프트 상에서 회전판을 기준하여 제1리드와 제2리드 사이에 원활한 유체 흐름과 연속 압축을 유도하여 진공도 및 효율을 향상함과 함께 기밀을 유지하면서 압축열을 저하시키는 등 전반적인 진공펌프의 효율을 극대화시킬 수 있는 진공펌프의 다단식 스크류 구조를 제공하려는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to improve smoothness and efficiency by inducing smooth fluid flow and continuous compression between a first lead and a second lead on a shaft, The present invention aims at providing a multi-stage screw structure of a vacuum pump capable of maximizing the efficiency of an overall vacuum pump, such as reducing the heat of compression while maintaining airtightness.

이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 진공펌프의 케이싱 내부에서 서로 맞물리게 장착되어 진공을 발생시키는 다단식 스크류에 있어서: 샤프트의 외주면에 일체로 성형되고, 적어도 두 가지 타입의 피치를 가진 제1ㆍ2리드를 구비하되, 상기 제1리드는 리드간격을 길게 구비한 2피치로, 제2리드는 리드간격을 짧게 구비한 3피치로 각각 형성되는 한 쌍의 스크류; 및 상기 스크류의 제1ㆍ2리드 사이에 일체로 성형되어 진공도와 원활한 유체 흐름을 유도하는 회전판;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a multistage screw for generating a vacuum by being meshed with each other in a casing of a vacuum pump, the multistage screw being formed integrally with an outer circumferential surface of a shaft and having at least two types of pitches, Wherein the first lead has a pitch of two pitches with a long lead interval and the second lead has a pitch of three pitches with a short lead pitch, And a rotary plate integrally formed between the first and second leads of the screw to guide the fluid flow smoothly with the degree of vacuum.

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한편, 이에 앞서 본 명세서 및 특허청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.It should be understood, however, that the terminology or words of the present specification and claims should not be construed in an ordinary sense or in a dictionary, and that the inventors shall not be limited to the concept of a term It should be construed in accordance with the meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle that it can be properly defined. Therefore, the embodiments described in the present specification and the configurations shown in the drawings are merely the most preferred embodiments of the present invention, and not all of the technical ideas of the present invention are described. Therefore, It is to be understood that equivalents and modifications are possible.

이상의 구성 및 작용에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 샤프트 상에서 회전판을 기준하여 제1리드와 제2리드 사이에 원활한 유체 흐름과 연속 압축을 유도하여 진공도 및 효율을 향상함과 함께 기밀을 유지하면서 압축열을 저하시키는 등 전반적인 진공펌프의 효율을 극대화시킬 수 있는 효과를 제공한다.As described above, according to the present invention, smooth fluid flow and continuous compression between a first lead and a second lead are induced based on a rotating plate on a shaft, thereby improving the degree of vacuum and efficiency, Thereby reducing the heat and maximizing the efficiency of the overall vacuum pump.

도 1은 본 발명에 따른 스크류가 케이싱에 장착된 상태를 나타내는 구성도.
도 2는 본 발명에 따른 스크류를 나타내는 구성도.
도 3은 본 발명에 따른 스크류의 진공과정을 나타내는 작동상태도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a configuration diagram showing a state in which a screw according to the present invention is mounted on a casing. Fig.
2 is a schematic view showing a screw according to the present invention;
3 is an operational state view showing a vacuum process of a screw according to the present invention;

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 진공펌프의 케이싱(1) 내부에서 서로 맞물리게 장착되어 진공을 발생시키는 스크류에 관련된다. 본 발명의 스크류(20)는 도 1처럼 건식형 진공펌프에 적용되며 하나의 스크류에서 두 가지 타입의 피치를 지닌 리이드(Lead)의 변화를 줌과 동시에 샤프트 상에서 2단 또는 3단 스크류 구성을 통해 내부압축을 도입하는 Multi-stage screw pump 방법에 한정한다.The present invention relates to a screw which is meshed with each other inside a casing (1) of a vacuum pump to generate a vacuum. The screw 20 of the present invention is applied to a dry type vacuum pump as shown in FIG. 1, and is provided with a two-stage or three-stage screw configuration on the shaft at the same time as changing a lead having two types of pitch in one screw It is limited to the multi-stage screw pump method which introduces internal compression.

본 발명에 따르면 샤프트(10)의 외주면에 일체로 성형되는 한 쌍의 스크류(20)가 적어도 두 가지 타입의 피치(23)(27)를 가진 제1ㆍ2리드(21)(25)를 구비한다. 스크류(20)는 도 1에 도시된 것처럼 샤프트(10)의 외주면에 일체로 성형되는데, 스크류(20)는 서로 맞물려 회전하도록 한 쌍으로 이루어진다. 이러한 스크류(20)는 적어도 두 가지 타입의 피치(23)(27)를 가진 제1ㆍ2리드(21)(25)를 구비한다. 이러한 제1ㆍ2리드(21)(25)의 사이에는 후술하는 회전판(30)이 구비된다.According to the present invention, a pair of screws 20 integrally formed on the outer peripheral surface of the shaft 10 is provided with first and second leads 21 and 25 having at least two types of pitches 23 and 27 do. The screw 20 is integrally formed on the outer circumferential surface of the shaft 10 as shown in FIG. 1, and the screws 20 are made to pivot so as to rotate with each other. This screw 20 has first and second leads 21 and 25 having at least two types of pitches 23 and 27. Between the first and second leads 21 and 25, a rotating plate 30 to be described later is provided.

한편, 제1리드(21)와 제2리드(25)는 상호 연동하여 케이스(1)의 외부로부터 유체를 흡입 및 토출하여 진공을 형성하는 역할을 수행한다. 이러한 제1리드(21)와 제2리드(25)는 도 2처럼 샤프트(10)의 외주면에 소정의 간격으로 일정하게 감겨진 피치(23)(27)를 가지는데, 이에 따른 상세한 설명은 후술하도록 한다.The first and second leads 21 and 25 interlock with each other to suck and discharge fluid from the outside of the case 1 to form a vacuum. As shown in FIG. 2, the first and second leads 21 and 25 have pitches 23 and 27 that are uniformly wound on the outer circumferential surface of the shaft 10 at predetermined intervals. .

즉, 스크류(20)는 외부의 동력으로부터 전달된 동력이 샤프트(10)에 전해지면 스크류(20)의 제1ㆍ2리드(21)(25)의 피치(23)(27)에 감겨진 방향을 토대로 유체가 케이싱(1)의 내부에서 이송(흡입 및 토출)된다. 여기서 스크류(20)에 의해 유체의 흐름에 관련한 작용에 있어서 단순히 유체를 흡입 및 토출만 하는 것이 아니라, 케이싱(1)의 내부에서 이송된 유체에 의해 동력을 절감하면서 토출하는 작용을 수행한다.That is, when the power transmitted from the external power is transmitted to the shaft 10, the screw 20 is wound on the pitch 23 (27) of the first and second leads 21 and 25 of the screw 20 The fluid is conveyed (sucked and discharged) from the inside of the casing 1. [ Here, the action of the screw 20 in relation to the flow of the fluid is performed not by simply sucking and discharging the fluid but by discharging the fluid by the fluid transferred from the inside of the casing 1.

이때, 본 발명의 세부구성에 의하면, 상기 스크류(20)는 제1리드(21)를 2피치(23)로, 제2리드(25)를 3피치(27)로 각각 형성된다. 스크류(20)는 도 2처럼 외주면에 제1리드(21)와 제2리드(25)를 구비하는데, 제1리드(21)는 최초 유체를 흡입 및 토출하여 후술하는 회전판(30)과 함께 상호 작용하여 1차적으로 압축하여 진공을 발생시키는 것으로, 비교적 저압축비를 지니도록 리드간격을 길게 형성하면서 2피치(23)로 형성된다. According to the detailed configuration of the present invention, the screw 20 is formed with the first lead 21 at two pitches 23 and the second lead 25 at three pitches 27, respectively. The screw 20 has a first lead 21 and a second lead 25 on the outer circumferential surface as shown in Figure 2. The first lead 21 sucks and discharges the first fluid, And is primarily compressed to generate a vacuum, and is formed at a two pitch 23 while forming a lead interval so as to have a relatively low compression ratio.

그리고 제2리드(25)는 제1리드(21) 및 회전판(30)에 의해 1차 압착된 유체를 재차 흡입 및 토출하여 2차적으로 압착하여 진공을 발생시키는 것으로, 제1리드(21)에 비해 고압축비를 지니도록 리드간격을 짧게 형성하면서 3피치(27)로 형성된다. 이러한 제1리드(21)와 제2리드(25)는 서로 다른 리드간격을 지니지만 각각의 제1ㆍ2리드(21)(25)의 간격은 변함없이 일정한 간격을 지니도록 형성한다. 물론, 경우에 따라 각각의 제1ㆍ2리드(21)(25)의 간격을 가변시켜 형성할 수도 있다할 것이다.The second lead 25 sucks and discharges again the fluid firstly squeezed by the first lead 21 and the rotary plate 30 to generate secondary pressure to generate a vacuum. Pitch 27 is formed with a shorter lead interval so as to have a higher compression ratio. Although the first lead 21 and the second lead 25 have different lead spacings, the first and second leads 21 and 25 are spaced apart from each other with a constant interval. Of course, the spacing between the first and second leads 21 and 25 may be varied according to circumstances.

또, 본 발명에 따르면 상기 스크류(20)의 제1ㆍ2리드(21)(25) 사이에 일체로 성형되는 회전판(30)이 진공도와 원활한 유체 흐름을 유도한다. 회전판(30)은 도 2에 도시된 것처럼 샤프트(10)의 외주면에 일체로 성형되는데, 즉 스크류(20)의 제1ㆍ2리드(21)(25) 사이에 성형된다. 이러한 회전판(30)은 스크류(20)의 직경보다는 작게 직경을 지닌 원형의 판으로 이루어지는데, 이는 도 3처럼 제1리드(21)와 제2리드(25)의 사이에 직경이 작은 회전판(30)으로 인하여 틈새가 생겨 제1리드(21)와 함께 상호 작동하여 유체를 1차적으로 압축함과 함께 진공도 향상 및 원활한 유체 흐름을 유지시켜 준다.According to the present invention, the rotary plate 30 integrally formed between the first and second leads 21 and 25 of the screw 20 induces smooth fluid flow with the degree of vacuum. 2, the rotating plate 30 is integrally formed on the outer circumferential surface of the shaft 10, that is, it is formed between the first and second leads 21 and 25 of the screw 20. The rotating plate 30 is formed of a circular plate having a diameter smaller than the diameter of the screw 20. This rotates the rotating plate 30 having a small diameter between the first and second leads 21 and 25, The first lead 21 and the first lead 21 cooperate with each other to primarily compress the fluid and improve the degree of vacuum and maintain smooth fluid flow.

한편, 도면을 통해 도시하지 않았지만, 종래에는 케이싱(1)의 내주면에 제1ㆍ2리드부(21)(25)를 밀폐시키는 격벽을 설치하여 진공도를 유지시켜 왔지만, 케이싱(1) 내주면에 격벽을 형성하기 위해서는 고난이도의 기술이 요구되므로 불량율이 높을 뿐만 아니라, 샤프트(10)와 함께 제1ㆍ2리드부(21)(25)와의 마찰로 인해 소음을 동반하고 동력손실이 매우 심각한 수준이었다. Although not shown in the drawings, conventionally, a vacuum degree is maintained by providing a partition wall for sealing the first and second lead portions 21 and 25 on the inner peripheral surface of the casing 1. However, It is not only high in defect rate but also accompanied by noise due to friction with the first and second lead portions 21 and 25 together with the shaft 10 and the power loss is very serious.

특히, 마찰면의 증가로 내부온도의 상승을 유발하므로 별도의 냉각장치가 없는 건식형 진공펌프에서는 고장율의 증가는 물론이고 수명을 현저히 단축시키는 원인을 제공해 왔다. 결국, 이러한 문제들로 인해 진공도의 효율이 급격하게 저하되는 문제가 있었다. 따라서 기존에 케이싱(1) 내주면에 격벽을 설치하는 것 대신에 스크류(20)의 제1ㆍ2리드(21)(25) 사이에 회전판(30)을 일체로 성형하여 소음과 동력절감 및 내부온도를 낮춰 진공도와 원활한 유체 흐름을 유도한다.Particularly, since the increase of the friction surface causes an increase in the internal temperature, the dry type vacuum pump having no separate cooling device has provided a cause of shortening the service life as well as the failure rate. As a result, there has been a problem that the efficiency of the vacuum degree is drastically deteriorated due to such problems. Therefore, instead of providing the partition wall on the inner peripheral surface of the casing 1, the rotary plate 30 is integrally formed between the first and second leads 21 and 25 of the screw 20 to reduce noise and power, To induce vacuum flow and smooth fluid flow.

도 3을 통하여 작동에 있어서, 먼저, 샤프트(10)와 일체로 형성된 한 쌍의 스크류(20)가 서로 맞물려 있는 상태로 진공펌프(P)의 케이싱(1)에 장착된다. 여기서 일측에 위치한 샤프트(10)는 모터와 직접 연결되어 일방향으로 회전하고 타측 에 위치한 샤프트(10)는 기어와 연결되어 타방향으로 회전하게 된다. 즉, 한 쌍의 스크류(20)는 서로 인접되는 방향으로 회전하게 된다. 3, first, a pair of screws 20 integrally formed with the shaft 10 are fitted to the casing 1 of the vacuum pump P in a state where they are meshed with each other. Here, the shaft 10 located at one side is directly connected to the motor to rotate in one direction, and the shaft 10 at the other side is connected to the gear and rotated in the other direction. That is, the pair of screws 20 are rotated in directions adjacent to each other.

이에, 모터에 의해 한 쌍의 스크류(20)가 회전하게 되면, 외부 유체가 케이싱(1)의 내부로 흡입된다. 이렇게 흡입된 유체는 제1리드(21)를 따라 회전판(30)으로 이동됨과 함께 이동된 유체는 제1리드(21)와 회전판(30)의 사이에 있는 A구간에서 흡입 및 토출되어 1차적으로 압축하여 진공이 발생된다. 이어서, 제1리드(21)로부터 1차 압축된 유체를 제2리드(25)를 따라 B구간에서 흡입 및 토출되어 재차 2차적으로 압축되어 진공이 발생된다.Thus, when the pair of screws 20 are rotated by the motor, the external fluid is sucked into the casing 1. The fluid thus sucked is moved to the rotary plate 30 along the first lead 21 and the fluid thus moved is sucked and discharged in a section A between the first lead 21 and the rotary plate 30, Vacuum is generated by compression. Subsequently, the fluid primarily compressed from the first lead 21 is sucked and discharged along the second lead 25 in the section B, and is secondarily compressed again to generate a vacuum.

따라서 두 가지 타입의 피치(23)(27)를 지닌 제1ㆍ2리드(21)(25)에 의해 두 번의 연속 압축으로 흡입 및 토출이 원활해지고, back flow 현상도 줄면서 회전판(30)이 격벽의 역할을 함으로 기밀의 효과도 발생함에 따라 진공도 향상과 함께 원활한 유체 흐름을 유지할 수 있다. 더군다나, 한 번에 대향으로 연속 압축할시에도 압축열 또한 현저히 줄어들어 전반적인 진공펌프의 효율이 극대화된다. 또한 회전판(30)에 의해 전반적인 진공도의 효율이 증가되는 이유에 대해서는 특정한 공식에 결부된 것은 아니지만 동력과 마찰면적의 감소와 함께 내부온도를 낮출 수 있는 것에 대한 시너지(synergy)효과에 비롯된 것임을 알 수 있다.Therefore, the first and second leads 21 and 25 having two types of pitches 23 and 27 smoothly suck and discharge by two successive compressions, and the back flow phenomenon is reduced, By acting as a bulkhead, the effect of airtightness can also be obtained, so that a smooth fluid flow can be maintained while improving the degree of vacuum. Furthermore, the compression heat is also significantly reduced when continuously compressing in opposition at one time, thus maximizing the efficiency of the overall vacuum pump. The reason why the efficiency of the overall degree of vacuum is increased by the rotary plate 30 is that it is not due to a specific formula but is due to a synergistic effect of reducing the internal temperature together with reduction of the power and friction area have.

한편, 앞에서 전술한 것처럼 스크류(20)상에서 두 가지 타입의 피치(23)(27)를 지닌 제1ㆍ2리드(21)(25)를 통하여 내부 압축 기술을 적용할 수 있어 진공펌프(P)의 진공용량 및 에너지 대비 진공도의 효율을 향상할 수 있다.The internal compression technique can be applied to the vacuum pump P through the first and second leads 21 and 25 having two types of pitches 23 and 27 on the screw 20 as described above. The efficiency of vacuum capacity and energy versus vacuum degree can be improved.

이와 같이, 본 발명은 샤프트 상에서 회전판을 기준하여 제1리드와 제2리드 사이에 원활한 유체 흐름과 연속 압축을 유도하여 진공도 및 효율을 향상함과 함께 기밀을 유지하면서 압축열을 저하시키는 등 전반적인 진공펌프의 효율을 극대화시킬 수 있다.As described above, the present invention improves the vacuum degree and efficiency by inducing smooth fluid flow and continuous compression between the first lead and the second lead on the basis of the rotating plate on the shaft, reduces the compression heat while maintaining airtightness, The efficiency of the pump can be maximized.

본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 변형예 또는 수정예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 해야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It is therefore intended that such variations and modifications fall within the scope of the appended claims.

1: 케이싱 10: 샤프트
20: 스크류 21,25: 제1ㆍ2리드
23,27: 피치 30: 회전판
P: 진공펌프1: casing 10: shaft
20: screw 21, 25: first and second leads
23, 27: pitch 30:
P: Vacuum pump

Claims (2)

진공펌프의 케이싱(1) 내부에서 서로 맞물리게 장착되어 진공을 발생시키는 다단식 스크류에 있어서:
샤프트(10)의 외주면에 일체로 성형되고, 적어도 두 가지 타입의 피치(23)(27)를 가진 제1ㆍ2리드(21)(25)를 구비하되, 상기 제1리드(21)는 리드간격을 길게 구비한 2피치(23)로, 제2리드(25)는 리드간격을 짧게 구비한 3피치(27)로 각각 형성되는 한 쌍의 스크류(20); 및
상기 스크류(20)의 제1ㆍ2리드(21)(25) 사이에 일체로 성형되어 진공도와 원활한 유체 흐름을 유도하는 회전판(30);을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공펌프의 다단식 스크류 구조.A multistage screw for generating vacuum by being meshed with each other in a casing (1) of a vacuum pump, the multistage screw comprising:
(21) (25) integrally formed on the outer peripheral surface of the shaft (10) and having at least two types of pitches (23) (27), wherein the first lead (21) A pair of screws 20 each having two pitches 23 with a long interval and the second leads 25 each having three pitches 27 with a short lead interval; And
And a rotary plate (30) integrally molded between the first and second leads (21) and (25) of the screw (20) and guiding the fluid flow smoothly with the degree of vacuum. . 삭제delete
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