KR101498954B1

KR101498954B1 - 진공챔버 가공용 고정지그

Info

Publication number: KR101498954B1
Application number: KR20140152680A
Authority: KR
Inventors: 이종량
Original assignee: 이종량
Priority date: 2014-11-05
Filing date: 2014-11-05
Publication date: 2015-03-04

Abstract

본 발명은 진공챔버 가공용 고정지그에 관한 것이다.
이에 본 발명의 기술적 요지는 진공챔버 가공시 소재의 떨림, 흔들림 등을 방지하기 위해 사용되는 고정지그로서, 종전의 클램핑 공정에 따른 설치 해제 반복을 최소화함은 물론 오면 가공기의 절삭공정(황삭, 중삭, 정삭 등)시 제품 손상 없이 가공이 이루어지도록 함으로써, 제품의 품질을 크게 향상시키는 반면 세팅시간을 획기적으로 단축시키며, 이에 따른 가공지연 및 작업자의 피로도를 해소함은 물론 절삭유 사용량 절감을 도모하도록 하는 특징이 있다.

Description

진공챔버 가공용 고정지그{Pin block type jig for vaccum chamber}

본 발명은 진공챔버 가공시 소재의 떨림, 흔들림 등을 방지하기 위해 사용되는 고정지그로서, 종전의 클램핑 공정에 따른 설치 해제 반복을 최소화함은 물론 오면 가공기의 절삭공정(황삭, 중삭, 정삭 등)시 제품 손상 없이 가공이 이루어지도록 함으로써, 제품의 품질을 크게 향상시키는 반면 세팅시간을 획기적으로 단축시키며, 이에 따른 가공지연 및 작업자의 피로도를 해소함은 물론 절삭유 사용량 절감을 도모하도록 하는 것을 특징으로 하는 진공챔버 가공용 고정지그에 관한 것이다.

일반적으로 반도체, 평판 디스플레이, 태양전지 등을 제조하는 과정에서는, 반도체 기판이나 글라스 기판 등을 대상으로 증착과 같은 박막공정, 에칭 등의 식각공정, 포토리소그래피와 같은 패터닝 공정, 공정 후에 잔류하는 잔류물을 제거하기 위한 세정공정 등이 수행될 수 있다.

이러한 공정들은 진공상태, 비활성 가스 또는 특정 가스의 분위기 내에서 수행될 수 있으며, 반도체 기판이나 글라스 기판과 같은 가공 대상물을 수용하는 내부공간을 제공하고, 진공상태나 특정 가스의 분위기를 유지하고 외부환경으로부터 오염되지 않고 외부와의 격리된 환경을 제공하기 위한 진공 챔버가 적용될 수 있다.

예컨데, 평판 디스플레이 패널을 제조함에 있어서 기판이 대면적 또는 대형화됨에 따라, 상기 기판을 처리하는 진공 챔버도 초대형으로 제작될 필요성이 있다.

그런데 상기 진공 챔버를 일체형 구조로 제작하기에는 원자재 생산과 제작상의 문제점으로 인하여 어려움이 있다.

따라서, 상기 진공 챔버는 유지 보수의 용이성을 확보하기 위하여 분리된 구조물을 결합하여 완성되는 것이 일반적이다.

이러한 종래의 상기 진공 챔버는 다수의 금속 모재를 서로 용접하여 형성될 수 있는데, 모재들 사이의 틈새를 통하여 이물질이 침입할 경우, 클린 공정이 요구되는 진공 챔버 내부가 오염될 수 있으며, 진공 챔버의 가동 중에 이물질이 외부로 새어나오게 되어, 진공 챔버를 변색시키고, 진공 챔버의 외관 품격을 떨어뜨리게 된다.

또한, 진공 챔버가 위치되는 클린룸을 오염시키게 되어 제품의 불량을 유발시킬 수 있다.

이에 최근에는 상술한 문제를 해결하고자 진공 챔버 가공시 오면 가공기를 통해 정밀 절삭가공으로 하여금 정밀도와 불량율을 최소화하고 있는 실정이다.

그러나, 종래의 오면 가공기에 의한 절삭 가공시에는 도 7 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 소재의 떨림, 흔들림 등을 방지하기 위해 지그 위에 올려놓고 고정하는 클램핑 공정이 요구되는데, 이러한 클램핑 공정은 지그와 소재를 물어 고정한 핸들 또는 체결구 부분이 돌출되어 절삭날과 간섭되는 바, 이를 해제하고 다시 물리는 등의 클램핑 공정만 무려 9회 반복되면서 재세팅 시간이 오래걸리고, 이에 따른 가공지연과 작업자의 피로도가 상승함은 물론 절삭유 사용량이 증가되어 전체적인 생산성과 경제성이 저하되는 문제가 계속되고 있는 실정이다.

1. 등록특허공보 제10-1424127호(2014.07.22. 등록) 2. 등록특허공보 제10-0710599호(2007.04.17. 등록)

상술한 문제를 해결하기 위해 본 발명은 진공챔버 가공시 소재의 떨림, 흔들림 등을 방지하기 위해 사용되는 고정지그로서, 종전의 클램핑 공정에 따른 설치 해제 반복을 최소화함은 물론 오면 가공기의 절삭공정(황삭, 중삭, 정삭 등)시 제품 손상 없이 가공이 이루어지도록 함으로써, 제품의 품질을 크게 향상시키는 반면 세팅시간을 획기적으로 단축시키며, 이에 따른 가공지연 및 작업자의 피로도를 해소함은 물론 절삭유 사용량 절감을 도모하도록 하는 것을 특징으로 하는 진공챔버 가공용 고정지그를 제공함에 그 목적이 있다.

이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 세로로 기립한 다수개의 지지리브(110)를 기준으로 상단부와 하단부에 각각 지지플레이트(120)가 결합되도록 하되, 상기 지지플레이트(120)의 면상에는 다수개의 체결공(121)과 조립용 천공홈(122)이 형성되는 하부 베이스(100)와; 상기 하부 베이스의 상단부측 지지플레이트(120)에 대응되어 결합되도록 하되, 면상 각 모서리측에는 체결공(121)과 대응되도록 조립공(210)이 형성되고, 면상 일측에는 결합공(221)을 갖는 기준 안착홈(220)이 요홈 형태로 형성되도록 하는 상부 고정판(200)과; 상기 상부 고정판의 기준 안착홈(220)에 저면이 끼워져 고정되도록 하되, 내부 중앙에는 결합공(221)과 대응되어 결합용 볼트(B)가 내입되도록 삽입공(310)이 형성되는 지그 핀(300)이; 구성되어 이루어진다.

이에, 상기 지그 핀(300)은 상단부에 사다리꼴 형태의 기울기면(320)이 형성되어 진공챔버(10)의 개구부 모서리(11)가 삽입시 슬라이딩 결합되도록 구성된다.

이때, 상기 지그 핀(300)은 재질이 알루미늄으로 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 지그 핀(300)은 외주면 일측에 가조립 돌기(330)가 형성되어 상부 고정판의 기준 안착홈(220)에 형성된 가조립 홈(222)과 대응되어 용이한 조립성과 견고한 체결성을 확보하도록 구성된다.

이에, 상기 지그 핀의 기울기 면은 곡선으로 형성되도록 하는 것이 바람직하다.

이에, 상기 고정지그는 진공 챔버의 개구된 모서리(11) 위치에 따라 지그 레일(21) 상에서 가변적으로 포지셔닝할 수 있도록 형성되거나, 상부 고정판(200)의 기준 안착홈(220)을 상부 고정판(200) 면상에서 가변 가공하여 대응되도록 구성된다.

이와 같이, 본 발명은 종전의 클램핑 공정에 따른 설치 해제 반복을 최소화함은 물론 오면 가공기의 절삭공정(황삭, 중삭, 정삭 등)시 제품 손상 없이 가공이 이루어지도록 함으로써, 제품의 품질을 크게 향상시키는 반면 세팅시간을 획기적으로 단축시키며, 이에 따른 가공지연 및 작업자의 피로도를 해소함은 물론 절삭유 사용량 절감을 도모하도록 하는 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 따른 고정지그의 일 예시 분해사시도,
도 2는 도 1의 요부 결합상태 단면도,
도 3 내지 도 5는 본 발명에 따른 고정지그의 사용상태도,
도 6은 본 발명과 종래기술의 대비 상태도,
도 7 내지 도 10은 종래의 클램핑 방법을 나타낸 예시도,
도 11은 본 발명의 체결 상태를 나타낸 예시도이다.

다음은 첨부된 도면을 참조하며 본 발명을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도 1 내지 도 5 및 도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명은 크게 하부 베이스와 상부 고정판 및 지그 핀으로 구성된다.

이에, 상기 하부 베이스(100)는 세로로 기립한 다수개의 지지리브(110)를 기준으로 상단부와 하단부에 각각 지지플레이트(120)가 결합되도록 하되, 상기 지지플레이트(120)의 면상에는 다수개의 체결공(121)과 조립용 천공홈(122)이 형성되어 이루어진다.

이때, 상기 하부 베이스는 주물로 형성된 것으로, 강성이 큰 철골 형태로 이루어진 것이 바람직하다.

이러한 하부 베이스의 지지플레이트 측에는 샌딩가공된 거친 표면이 형성되어 오면가공기의 지그 레일 면상과 마찰력이 큰 형태로 접촉되어 미끄러짐을 방지하도록 하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 하부 베이스는 지지다리(110) 사이 공간에 형성된 천공홈(122)을 통해 지그 레일홈(21-1)으로부터 분기된 고정볼트가 삽입되면 체결너트로 하여금 조임 고정이 이루어지도록 하는 것으로, 상기 하부 베이스는 지그 레일의 길이방향 연장부를 통해 슬라이딩 되면서 목적하는 세팅 포인트에서 신속하고 용이한 결합이 이루어지도록 형성된다.

이때, 상기 체결너트의 직경은 천공홈보다 크고, 고정볼트의 머리는 지그 레일의 슬라이딩 홈보다 크며, 고정볼트의 나사축은 지그 레일홈을 관통할 정도로 형성되면서 천공홈으로 돌출되도록 형성된다.

이에, 상기 상부 고정판(200)은 상기 하부 베이스의 상단부측 지지플레이트(120)에 대응되어 결합되도록 하되, 면상 각 모서리측에는 체결공(121)과 대응되도록 조립공(210)이 형성되고, 면상 일측에는 결합공(221)을 갖는 기준 안착홈(220)이 요홈 형태로 형성되도록 이루어진다.

이에, 상기 지그 핀(300)은 상기 상부 고정판의 기준 안착홈(220)에 저면이 끼워져 고정되도록 하되, 내부 중앙에는 결합공(221)과 대응되어 결합용 볼트(B)가 내입되도록 삽입공(310)이 형성되어 이루어진다.

이는 지그 하향 이송되며 자리를 잡는 과정에서 모서리와의 미세 공차에 따른 정밀 삽입(상하향 다운 공정)을 유도하기 위함이다.

이에, 상기 지그 핀의 기울기 면은 곡선으로 형성되도록 하는 것이 바람직하다. 즉, 곡선으로 형성된 만곡면을 통해 지그의 표면에 상처가 발생되지 않도록 하기 위함이다.

이때, 상기 지그 핀(300)은 재질이 알루미늄으로 형성되는 것이 바람직하다. 이는 알루미늄의 무른 성질로 인해 탈부착시 지그의 표면에 스크래치 등의 상처가 발생되는 것을 미연에 방지하기 위함이다.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.

100 ... 하부 베이스 110 ... 지지리브
120 ... 지지플레이트 121 ... 체결공
122 ... 천공홈 200 ... 상부 고정판
210 ... 조립공 220 ... 기준 안착홈
221 ... 결합공 300 ... 지그 핀
310 ... 삽입공

Claims

세로로 기립한 다수개의 지지리브(110)를 기준으로 상단부와 하단부에 각각 지지플레이트(120)가 결합되도록 하되, 상기 지지플레이트(120)의 면상에는 다수개의 체결공(121)과 조립용 천공홈(122)이 형성되는 하부 베이스(100)와; 상기 하부 베이스의 상단부측 지지플레이트(120)에 대응되어 결합되도록 하되, 면상 각 모서리측에는 체결공(121)과 대응되도록 조립공(210)이 형성되고, 면상 일측에는 결합공(221)을 갖는 기준 안착홈(220)이 요홈 형태로 형성되도록 하는 상부 고정판(200)과; 상기 상부 고정판의 기준 안착홈(220)에 저면이 끼워져 고정되도록 하되, 내부 중앙에는 결합공(221)과 대응되어 결합용 볼트(B)가 내입되도록 삽입공(310)이 형성되는 지그 핀(300)이; 구성되어 이루어진 진공챔버 가공용 고정지그에 있어서,
상기 지그 핀(300)은 알루미늄 재질로서, 상단부에 사다리꼴 형태의 기울기면(320)이 형성되어 진공챔버(10)의 개구부 모서리(11)가 삽입시 슬라이딩 결합되도록 하되, 상기 지그 핀(300)은 외주면 일측에 가조립 돌기(330)가 형성되어 상부 고정판의 기준 안착홈(220)에 형성된 가조립 홈(222)과 대응되어 결합되도록 하는 것을 특징으로 하는 진공챔버 가공용 고정지그.
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제 1항에 있어서, 상기 지그 핀(300)의 기울기 면(320)은 곡선으로 형성되도록 하는 것을 특징으로 하는 진공챔버 가공용 고정지그.