KR101497037B1 - Poly-urethane resin, preparation method of the same, poly-urethane resin composition comprising the same, and poly-urethane mounting pad - Google Patents

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Abstract

본 발명은 탄소수 2 내지 10의 폴리카르복실산의 잔기, 에틸렌 글리콜의 잔기, 및 1,4-부탄디올의 잔기를 1:0.3 내지 0.7: 0.3 내지 0.7의 몰비로 포함하는 폴리에스테르 폴리올; 사슬 연장제; 및 폴리이소시아네이트 화합물 간의 반응물을 포함하는 폴리우레탄 수지, 이러한 폴리우레탄 수지의 제조 방법, 상기 폴리우레탄 수지를 포함하는 폴리우레탄 수지 조성물 및 상기 상기 폴리우레탄 수지를 이용하여 제조되는 폴리우레탄 지지 패드에 관한 것이다. The present invention relates to a polyester polyol comprising a polycarboxylic acid residue having 2 to 10 carbon atoms, a residue of ethylene glycol and a residue of 1,4-butanediol in a molar ratio of 1: 0.3 to 0.7: 0.3 to 0.7; Chain extenders; And a polyisocyanate compound, a process for producing such a polyurethane resin, a polyurethane resin composition comprising the polyurethane resin, and a polyurethane support pad made using the polyurethane resin .

Description

폴리우레탄 수지, 폴리우레탄 수지의 제조 방법, 폴리우레탄 수지를 포함하는 폴리우레탄 수지 조성물 및 폴리우레탄 지지 패드{POLY-URETHANE RESIN, PREPARATION METHOD OF THE SAME, POLY-URETHANE RESIN COMPOSITION COMPRISING THE SAME, AND POLY-URETHANE MOUNTING PAD}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a polyurethane resin composition, a polyurethane resin composition, a method of producing a polyurethane resin, a polyurethane resin composition including the polyurethane resin, and a polyurethane support pad. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] URETHANE MOUNTING PAD}

본 발명은 폴리우레탄 수지, 이의 제조 방법, 이를 포함하는 폴리우레탄 수지 조성물 및 상기 수지 조성물을 포함하는 폴리우레탄 지지 패드에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 내부에 길고 큰 기공을 균일하게 형성하여 낮은 경도, 우수한 압축율 및 높은 압출 탄성율을 갖는 지지 패드를 제공할 수 있는 폴리우레탄 수지, 상기 폴리우레탄 수지의 제조 방법, 상기 폴리우레탄 수지를 포함하는 폴리우레탄 수지 조성물 및 상기 수지 조성물로부터 얻어지는 폴리우레탄 지지 패드에 관한 것이다. The present invention relates to a polyurethane resin, a method for producing the same, a polyurethane resin composition containing the same, and a polyurethane support pad comprising the resin composition. More particularly, the present invention relates to a polyurethane resin pad, A polyurethane resin capable of providing a support pad having an excellent compression ratio and a high extrusion elastic modulus, a process for producing the polyurethane resin, a polyurethane resin composition containing the polyurethane resin, and a polyurethane support pad obtained from the resin composition will be.

고집적도를 요구하는 반도체 장치 또는 디스플레이 장치에 사용 되는 기판은 미세하고 정밀한 표면이 요구되기 때문에 다양한 평탄화 방법이 적용되고 있다. 특히, 반도체 소자 또는 디스플레이 장치의 고집적화 및 고성능화 추세에 따라, 연마 패드와 피연마체 사이에 연마 입자 및 다양한 화학 성분을 포함하는 슬러리 조성물을 공급하면서, 연마 패드와 피연마체를 상대적으로 이동시켜 연마하는 방법이 일반적을 사용되고 있다. 이러한 연마 방법에서는 보다 정밀한 연마를 위해서 연마 또는 가공 과정에서 일정한 위치와 자세를 유지할 수 있도록 상기 피연마체를 지지 패드 상에 고정시키고 있다. Since a substrate used for a semiconductor device or a display device requiring high integration requires a fine and precise surface, various planarization methods have been applied. Particularly, in accordance with the trend of high integration and high performance of semiconductor devices or display devices, a method of relatively moving and polishing a polishing pad and an object to be polished while supplying a slurry composition containing abrasive particles and various chemical components between the polishing pad and the object to be polished This is being commonly used. In this polishing method, the object to be polished is fixed on the supporting pad so as to maintain a predetermined position and posture in polishing or processing for more precise polishing.

한편, 일본특허공개 2006-334745에는 폴리올류, 폴리이소시아네이트류, 발포제, 촉매 및 발수성 부여제를 반응 및 경화시켜 얻어지는 폴리우레탄 발포체 및 이를 이용하여 얻어지는 연마용 지지 패드에 관하여 나타나 있다. 그러나, 상기 폴리우레탄 발포체는 물, 메틸렌 클로로아드 또는 탄산 가스 등의 발포제를 사용하여 얻어지는 것으로서, 이러한 발포체는 상대적으로 높은 경도를 갖거나, 내부에 길고 큰 기공을 균일하게 형성시키기가 어렵고, 낮은 경도 영역에서 높은 압출율 및 압출 탄성율을 확보하는 것은 용이하지 않았다. On the other hand, Japanese Patent Laid-Open No. 2006-334745 discloses a polyurethane foam obtained by reacting and curing polyols, polyisocyanates, a blowing agent, a catalyst and a water repellency-imparting agent, and a polishing support pad obtained using the same. However, the polyurethane foam is obtained by using a foaming agent such as water, methylene chloride or carbonic acid gas. Such a foam has a relatively high hardness, or it is difficult to uniformly form long and large pores therein, It was not easy to secure a high extrusion rate and an extrusion elastic modulus in the region.

그리고, 이전의 지지 패드는 내부에 기공이 서로 다른 크기를 가지며 불규칙적으로 분포하여 피연마체에 대한 쿠션 성능과 흡착력이 좋지 않았으며, 또한 연마 과정에서 피연마체가 지지 패드상에 견고히 고정되지 못하여 정밀한 연마가 이루어질 수 없는 문제가 있었다. 또한, 이전의 지지 패드는 내부에 형성된 기포가 불균일한 크기 및 분포를 나타내어 압출율 및 압출 탄성율 등의 물성도 좋지 않았을 뿐만 아니라, 발수 기능도 충분하지 못하여 피연마체가 연마 또는 가공 과정에서 쉽게 이탈하는 문제점을 가지고 있었다. Previously, the support pads have different sizes and irregularly distributed pores in the interior, and the cushioning performance and adsorption force of the support pads are not good. Also, since the polished body is not firmly fixed on the support pads during the polishing process, There is a problem that can not be achieved. In addition, since the former support pad exhibits uneven size and distribution of the bubbles formed therein, not only the physical properties such as the extrusion rate and the extrusion elastic modulus are not good, but also the water repellent function is not sufficient and the abrasive article is easily released during polishing or processing I had a problem.

이에 따라, 반도체 장치 또는 디스플레이 장치에 사용되는 기판을 보다 정밀하고 효율적인 연마를 가능하게 하는 새로운 지지 패드의 개발이 필요한 실정이다. Accordingly, it is necessary to develop a new support pad that enables more precise and efficient polishing of a substrate used in a semiconductor device or a display device.

본 발명은 내부에 길고 큰 기공을 균일하게 형성하여 낮은 경도, 우수한 압출율 및 높은 압출 탄성율을 갖는 지지패드를 제공할 수 있는 폴리우레탄 수지를 제공하기 위한 것이다.The present invention is to provide a polyurethane resin which can uniformly form long and large pores therein to provide a support pad having low hardness, excellent extrusion rate and high extrusion elastic modulus.

또한, 본 발명은 상기 폴리우레탄 수지의 제조 방법을 제공하기 위한 것이다. The present invention also provides a process for producing the polyurethane resin.

본 발명은, 또한 상기 폴리우레탄 수지를 포함하는 폴리우레탄 수지 조성물을 제공하기 위한 것이다. The present invention also provides a polyurethane resin composition comprising the polyurethane resin.

그리고, 본 발명은 상기 폴리우레탄 수지 조성물로부터 얻어지는 폴리우레탄 지지 패드를 제공하기 위한 것이다.The present invention also provides a polyurethane support pad obtained from the polyurethane resin composition.

본 발명은 탄소수 2 내지 10의 폴리카르복실산의 잔기, 에틸렌 글리콜의 잔기, 및 1,4-부탄디올의 잔기를 1:0.3 내지 0.7: 0.3 내지 0.7의 몰비로 포함하는 폴리에스테르 폴리올; 사슬 연장제; 및 폴리이소시아네이트 화합물 간의 반응물을 포함하는 폴리우레탄 수지를 제공한다. The present invention relates to a polyester polyol comprising a polycarboxylic acid residue having 2 to 10 carbon atoms, a residue of ethylene glycol and a residue of 1,4-butanediol in a molar ratio of 1: 0.3 to 0.7: 0.3 to 0.7; Chain extenders; And a reaction product between the polyisocyanate compound and the polyisocyanate compound.

또한, 본 발명은 탄소수 2 내지 10의 폴리카르복실산, 에틸렌 글리콜 및 1,4-부탄디올을 1:0.3 내지 0.7: 0.3 내지 0.7의 몰비로 반응시켜 폴리에스테르 폴리올을 합성하는 단계; 및 상기 폴리에스테르 폴리올을 사슬 연장제 및 폴리이소시아네이트계 화합물과 반응시키는 단계를 포함하는 폴리우레탄 수지의 제조 방법을 제공한다.The present invention also relates to a process for producing a polyester polyol, which comprises reacting a polycarboxylic acid having 2 to 10 carbon atoms, ethylene glycol and 1,4-butanediol in a molar ratio of 1: 0.3 to 0.7: 0.3 to 0.7; And reacting the polyester polyol with a chain extender and a polyisocyanate-based compound.

또한, 본 발명은 상기 폴리우레탄 수지; 디메틸포름아미드(DMF) 및 메틸에틸케톤(MEK)으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 유기 용매; 및 계면 활성제를 포함하는 폴리우레탄 수지 조성물을 제공한다.The present invention also relates to the above polyurethane resin; An organic solvent containing at least one selected from the group consisting of dimethylformamide (DMF) and methyl ethyl ketone (MEK); And a polyurethane resin composition comprising a surfactant.

또한, 본 발명은 상기 폴리우레탄 수지 조성물의 응고물을 포함하는 폴리우레탄 지지 패드를 제공한다.The present invention also provides a polyurethane support pad comprising a solidified product of the polyurethane resin composition.

이하 발명의 구체적인 구현 예에 따른 폴리우레탄 수지, 이의 제조 방법, 이를 포함하는 폴리우레탄 수지 조성물 및 상기 수지 조성물을 포함하는 폴리우레탄 지지 패드에 관하여 상세히 설명하기로 한다.
Hereinafter, a polyurethane resin according to a specific embodiment of the present invention, a method for producing the same, a polyurethane resin composition containing the same, and a polyurethane support pad comprising the resin composition will be described in detail.

발명의 일 구현예에 따르면, 탄소수 2 내지 10의 폴리카르복실산의 잔기, 에틸렌 글리콜의 잔기, 및 1,4-부탄디올의 잔기를 1:0.3 내지 0.7: 0.3 내지 0.7의 몰비로 포함하는 폴리에스테르 폴리올; 사슬 연장제; 및 폴리이소시아네이트 화합물 간의 반응물을 포함하는 폴리우레탄 수지가 제공될 수 있다. According to one embodiment of the invention, a polyester comprising a residue of a polycarboxylic acid having 2 to 10 carbon atoms, a residue of ethylene glycol, and a residue of 1,4-butanediol in a molar ratio of 1: 0.3 to 0.7: 0.3 to 0.7 Polyols; Chain extenders; And a polyisocyanate compound can be provided.

본 발명자들은, 후술하는 제조 방법에 나타난 바와 같이 폴리카르복실산, 에틸렌 글리콜 및 1,4-부탄 디올을 특정한 몰비로 반응시켜 얻어진 폴리에스테르 폴리올을 사슬 연장제 및 폴리이소시아네이트와 반응시켜 폴리우레탄 수지를 합성하였으며, 이러한 폴리우레탄 수지를 DMF용액 등과 혼합하여 응고시키면, 내부에 길고 큰 기공을 균일하게 형성하여 낮은 경도, 우수한 압출율 및 높은 압출 탄성율을 갖는 지지패드를 제조할 수 있다는 점을 실험을 통하여 확인하고 발명을 완성하였다. The present inventors have found that by reacting a polyester polyol obtained by reacting polycarboxylic acid, ethylene glycol and 1,4-butanediol at a specific molar ratio with a chain extender and a polyisocyanate as shown in the production method described later, And it was found that when the polyurethane resin was solidified by mixing with DMF solution or the like, it was possible to produce a support pad having a low hardness, an excellent extrusion rate and a high extrusion elastic modulus by uniformly forming long and large pores therein And confirmed the invention.

특히, 상기 특정한 화학적 구성을 갖는 폴리에스테르 폴리올을 사용함에 따라서, 상기 폴리우레탄 수지 및 이를 이용하여 얻어지는 지지 패드가 균일한 모듈러스 특성을 가질 수 있으며, 제조되는 최종 제품의 물성이 경시적으로 거의 변화가 없게 되고, 중합 공정의 재현성도 높일 수 있다. Particularly, by using the polyester polyol having the specific chemical structure, the polyurethane resin and the support pad obtained using the polyurethane resin can have a uniform modulus characteristic, and the physical properties of the final product to be produced are hardly changed over time And the reproducibility of the polymerization process can be increased.

상기 폴리우레탄 수지는 50,000 g/mol 내지 500,000g/mol, 바람직하게는 100,000 g/mol 내지 400,000 g/mol의 중량평균분자량를 가질 수 있다. 또한, 상기 폴리우레탄 수지는 100,000cps 내지 500,000cps의 점도를 가질 수 있다. 이러한 폴리우레탄 수지의 중량평균분자량 및 점도는 30%의 고형분 수준을 기준으로 한 것일 수 있다. 폴리우레탄 지지 패드의 제조 과정에서, 폴리우레탄 수지와 혼합된 디메틸포름아미드가 물에 용해되어 빠져나가면서 기공이 형성될 수 있는데, 상기 범위의 분자량 또는 점도를 갖는 폴리우레탄 수지를 사용하면 다수의 기공이 균일한 크기와 균일한 분포로 형성될 수 있다. The polyurethane resin may have a weight average molecular weight of 50,000 g / mol to 500,000 g / mol, preferably 100,000 g / mol to 400,000 g / mol. In addition, the polyurethane resin may have a viscosity of 100,000 cps to 500,000 cps. The weight average molecular weight and viscosity of such a polyurethane resin may be based on a solids level of 30%. In the process of producing the polyurethane support pad, dimethylformamide mixed with the polyurethane resin may dissolve in water to form pores while escaping. When a polyurethane resin having the molecular weight or viscosity within the above range is used, Can be formed with a uniform size and a uniform distribution.

본 명세서에서, '잔기'는 특정한 화합물이 화학 반응에 참여하였을 때, 그 화학 반응의 결과물에 포함되고 상기 특정 화합물로부터 유래한 일정한 부분 또는 단위를 의미한다. 예를 들어, 폴리카르복실산의 잔기, 에틸렌 글리콜의 잔기 및 부탄디올의 잔기 각각은 상기 폴리에스테르 폴리올에서 폴리카르복실산, 에틸렌 글리콜 및 부탄디올으로부터 유래한 부분 각각을 의미한다. As used herein, the term " residue " refers to a certain moiety or unit derived from the specific compound that is included in the result of the chemical reaction when the particular compound participates in the chemical reaction. For example, each of the residue of the polycarboxylic acid, the residue of the ethylene glycol, and the residue of the butanediol means each of the moieties derived from the polycarboxylic acid, ethylene glycol and butanediol in the polyester polyol.

상기 폴리에스테르 폴리올은 20 내지 100 mgKOH/g의 평균 수산기 값 또는 500 g/mol 내지 5,000 g/mol 의 중량평균분자량을 가질 수 있다. 상기 폴리에스테르 폴리올의 평균 수산기 값 또는 중량평균분자량이 너무 작으면 합성되는 폴리우레탄 수지의 강도나 경도가 크게 낮아질 수 있으며, 상기 폴리에스테르 폴리올의 평균 수산기 값 또는 중량평균분자량이 너무 크면 폴리우레탄 수지의 강도가 경도가 크게 높아질 수 있으며 상기 폴리우레탄 수지를 이용하여 제조되는 지지 패드의 압축율 또는 압축 탄성율이 크게 저하될 수 있다. The polyester polyol may have an average hydroxyl value of 20 to 100 mg KOH / g or a weight average molecular weight of 500 g / mol to 5,000 g / mol. If the average hydroxyl value or the weight average molecular weight of the polyester polyol is too small, the strength and hardness of the polyurethane resin to be synthesized may be significantly lowered. If the average hydroxyl value or the weight average molecular weight of the polyester polyol is too large, The hardness can be greatly increased and the compressibility or compressive modulus of the support pad produced using the polyurethane resin can be significantly lowered.

상기 폴리에스테르 폴리올에 포함되는 탄소수 2 내지 10의 폴리카르복실산의 잔기는 탄소수 4 내지 8의 디카르복실산으로부터 유래한 잔기일 수 있으며, 바람직하게는 아디프산(adipic acid)으로부터 유래한 잔기일 수 있다. The residue of the polycarboxylic acid having 2 to 10 carbon atoms contained in the polyester polyol may be a residue derived from a dicarboxylic acid having 4 to 8 carbon atoms and preferably a residue derived from an adipic acid .

상기 폴리에스테르 폴리올에서, 탄소수 2 내지 10의 폴리카르복실산의 잔기의 몰수와 에틸렌 글리콜의 잔기 및 1,4-부탄디올의 잔기의 합산 몰수의 비는 1:1일 수 있다. In the polyester polyol, the ratio of the number of moles of the residue of the polycarboxylic acid having 2 to 10 carbon atoms to the sum of the residues of ethylene glycol and the residue of 1,4-butanediol may be 1: 1.

한편, 상기 발명의 일 구현예의 폴리우레탄 수지는, 상술한 폴리에스테르 폴리올과, 사슬연장제와, 폴리이소시아네이트 화합물 간의 반응물을 포함할 수 있다. On the other hand, the polyurethane resin of one embodiment of the present invention may contain a reactant between the above-mentioned polyester polyol, a chain extender, and a polyisocyanate compound.

상기 폴리에스테르 폴리올 및 사슬연장제에 포함된 수산화기(-OH)의 몰수 및 폴리이소시아네이트 화합물의 이소시아네이트기(Isocyanate)의 몰수의 비는 1:0.99 내지 1:1.2, 바람직하게는 1:1 내지 1:1.1일 수 있다. The ratio of the number of moles of the hydroxyl group (-OH) contained in the polyester polyol and the chain extender and the number of moles of the isocyanate group of the polyisocyanate compound is 1: 0.99 to 1: 1.2, preferably 1: 1 to 1: 1.1.

상기 폴리이소시아네이트 화합물의 몰수가 상기 폴리에스테르 폴리올 및 사슬연장제에 포함된 수산화기(-OH)의 몰수의 합에 비하여 작으면, 제조되는 폴리우레탄 수지가 적정한 밀도, 점도, 중량 평균 분자량을 갖기 어려울 뿐만 아니라, 이러한 폴리우레탄 수지를 이용하여 제조되는 지지 패드의 두께를 높이기 어렵고 압축율, 압축 탄성율 및 경도 등의 물성 또한 크게 저하될 수 있다. 상기 폴리이소시아네이트 화합물의 몰수가 사슬 연장제의 몰수에 비하여 너무 크면, 제조되는 폴리우레탄 수지의 경도, 점도 또는 분자량이 과도하게 커질 수 있으며, 이러한 폴리우레탄 수지를 이용하여 제조되는 지지 패드가 적정한 압축율, 압축 탄성율 및 경도 등의 물성을 확보하기 어려울 수 있다. When the number of moles of the polyisocyanate compound is smaller than the sum of the number of moles of the hydroxyl group (-OH) contained in the polyester polyol and the chain extender, it is difficult for the produced polyurethane resin to have an appropriate density, viscosity and weight average molecular weight However, it is difficult to increase the thickness of the support pad produced using such a polyurethane resin, and physical properties such as compression ratio, compressive elastic modulus and hardness may be significantly lowered. If the number of moles of the polyisocyanate compound is too large as compared with the number of moles of the chain extender, the hardness, viscosity or molecular weight of the polyurethane resin to be produced may become excessively large, and the support pad produced using such a polyurethane resin may have a proper compression ratio, It may be difficult to ensure physical properties such as compression modulus and hardness.

상기 폴리이소시아네이트계 화합물은 이소시아네이트기(isocyanate)기를 복수로 가지는 화합물을 의미한다. 이러한 폴리이소시아네이트계 화합물은 지방족, 지환족, 아르지방족, 방향족 및 헤테로고리형 작용기를 포함하는 폴리이소시아네이트일 수 있으며, 화학식 Q(NCO)n으로 나타내어질 수 있다. 이때, 상기 n은 2 내지 4의 정수이고, Q는 C 원자를 2 내지 18개, 바람직하게는 6 내지 10개 함유하는 지방족, 지환족, 방향족 또는 아르지방족 탄화수소 작용기일 수 있다. 이러한 폴리이소시아네이트계 화합물의 구체적인 예로는, 에틸렌 디이소시아네이트, 1,4-테트라메틸렌 디이소시아네이트, 1,6-헥사메틸렌 디이소시아네이트(HDI), 1,12-도데칸 디이소시아네이트, 시클로부탄-1,3-디이소시아네이트, 시클로헥산-1,3- 디이소시아네이트, 시클로헥산-1,4-디이소시아네이트, 1-이소시아네이토-3,3,5-트리메틸-5-이소시아네이토메틸-시클로헥산, 2,4- 헥사히드로톨루엔 디이소시아네이트, 2,6-헥사히드로톨루엔 디이소시아네이트, 헥사히드로-1,3- 페닐렌 디이소시아네이트, 헥사히드로-1,4-페닐렌 디이소시아네이트, 퍼히드로-2,4'- 디페닐메탄 디이소시아네이트, 퍼히드로-4,4'-디페닐메탄 디이소시아네이트, 1,3- 페닐렌 디이소시아네이트, 1,4-페닐렌 디이소시아네이트, 1,4-두롤 디이소시아네이트(DDI), 4,4'-스틸벤 디이소시아네이트, 3,3'-디메틸-4,4'-비페닐렌 디이소시아네이트(TODI), 톨루엔 2,4-디이소시아네이트, 톨루엔 2,6-디이소시아네이트(TDI), 디페닐메탄-2,4'- 디이소시아네이트(MDI), 2,2'-디페닐메탄 디이소시아네이트(MDI), 디페닐메탄-4,4'-디이소시아네이트(MDI), 나프틸렌-1,5-이소시아네이트(NDI) 또는 이들의 2이상의 혼합물 등이 있다.The polyisocyanate compound means a compound having a plurality of isocyanate groups. Such a polyisocyanate compound may be a polyisocyanate containing an aliphatic, alicyclic, araliphatic, aromatic and heterocyclic functional group, and may be represented by the formula Q (NCO) n. Wherein n is an integer from 2 to 4 and Q can be an aliphatic, alicyclic, aromatic or araliphatic hydrocarbon functional group containing 2 to 18, preferably 6 to 10, C atoms. Specific examples of the polyisocyanate compound include ethylene diisocyanate, 1,4-tetramethylene diisocyanate, 1,6-hexamethylene diisocyanate (HDI), 1,12-dodecane diisocyanate, cyclobutane-1,3 Diisocyanate, cyclohexane-1,3-diisocyanate, cyclohexane-1,4-diisocyanate, 1-isocyanato-3,3,5-trimethyl-5-isocyanatomethylcyclohexane, 2,4-hexahydrotoluene diisocyanate, 2,6-hexahydrotoluene diisocyanate, hexahydro-1,3-phenylene diisocyanate, hexahydro-1,4-phenylene diisocyanate, perhydro- Diphenylmethane diisocyanate, 1,3-phenylene diisocyanate, 1,4-phenylene diisocyanate, 1,4-dorol diisocyanate (DDI) , 4,4'-stilbene diisocyanate, 3,3'- Methylene-4,4'-biphenylene diisocyanate (TODI), toluene 2,4-diisocyanate, toluene 2,6-diisocyanate (TDI), diphenylmethane-2,4'-diisocyanate (MDI) Diphenylmethane diisocyanate (MDI), diphenylmethane-4,4'-diisocyanate (MDI), naphthylene-1,5-isocyanate (NDI) or a mixture of two or more thereof.

상기 사슬 연장제는 에틸렌 글리콜 및 1,4-부탄디올을 포함할 수 있으며, 바람직하게는 에틸렌 글리콜 및 1,4-부탄디올을 1:9 내지 9:1의 몰 비율, 보다 바람직하게는 5:5 내지 9:1의 몰비로 포함할 수 있다. 상기 에틸렌 글리콜 및 1,4-부탄디올을 사슬 연장제로 사용함에 따라, 특히 상기 몰 비율로 사용함에 따라서, 상기 폴리우레탄 수지 및 이를 이용한 지지 패드가 적정한 밀도 또는 경도를 가질 수 있고 일정 두께 이상으로 제조할 수 있으며, 최종 제품에서 요구되는 압축율, 탄성율 그리고 밀도 및 경도 등을 확보할 수 있다. The chain extender may include ethylene glycol and 1,4-butanediol, preferably ethylene glycol and 1,4-butanediol in a molar ratio of 1: 9 to 9: 1, more preferably 5: 9: 1. ≪ / RTI > When ethylene glycol and 1,4-butanediol are used as a chain extender, the polyurethane resin and the support pad using the polyurethane resin can have an appropriate density or hardness, And the compressibility, elastic modulus, density and hardness required in the final product can be secured.

한편, 상기 폴리우레탄 수지는 상기 폴리에스테르 폴리올, 사슬 연장제 및 폴리이소시아네이트계 화합물 간의 반응에서 일정한 촉매를 선택적으로 사용함에 따라, 아민계 촉매, 유기 티탄 화합물, 유기 주석 화합물계 촉매 또는 이들의 혼합물을 더 포함할 수 있다. 이러한 촉매의 양은 폴리우레탄 수지 전체 중 0.01wt% 내지 5wt%일 수 있다. 상기 촉매의 바람직한 예로는 유기 주석 화합물계 촉매를 들 수 있으며, 구체적으로 주석(II) 아세테이트, 주석(II) 옥토에이트, 주석(II) 에틸헥소에이트 또는 주석(II) 라우레이트 등의 카르복실산의 주석(II)염과, 디부틸틴 옥사이드, 디부틸틴 디클로라이드, 디부틸틴 디아세테이트, 디부틸틴 디라우레이트, 디부틸틴 말레이트 또는 디옥틸틴 디아세테이트 등의 주석(IV) 화합물을 들 수 있다. On the other hand, the polyurethane resin selectively uses a certain catalyst in the reaction between the polyester polyol, the chain extender and the polyisocyanate-based compound, and thus the amine-based catalyst, the organic titanium compound, the organotin compound- . The amount of such a catalyst may be 0.01 wt% to 5 wt% of the total polyurethane resin. Preferable examples of the catalyst include organotin compound catalysts and specifically include carboxylic acids such as tin (II) acetate, tin (II) octoate, tin (II) ethylhexoate or tin (II) (IV) compounds such as dibutyltin oxide, dibutyltin diacylide, dibutyltin diacetate, dibutyltin dilaurate, dibutyltin maleate or dioctyltin diacetate, and the tin (II) salt of .

또한, 상기 폴리우레탄 수지는 물성의 향상 및 보호를 위하여 기타의 첨가제를 더 포함할 수 있다. 이러한 첨가제의 구체적인 예로는 수지 안정제, 산화 안정제 또는 이들의 2이상의 혼합물을 들 수 있다.
In addition, the polyurethane resin may further include other additives for improving the physical properties and protecting the polyurethane resin. Specific examples of such additives include resin stabilizers, oxidative stabilizers, and mixtures of two or more thereof.

발명의 다른 구현예에 따르면, 탄소수 2 내지 10의 폴리카르복실산, 에틸렌 글리콜 및 1,4-부탄디올을 1:0.3 내지 0.7: 0.3 내지 0.7의 몰비로 반응시켜 폴리에스테르 폴리올을 합성하는 단계; 및 상기 폴리에스테르 폴리올을 사슬 연장제 및 폴리이소시아네이트계 화합물과 반응시키는 단계를 포함하는 폴리우레탄 수지의 제조 방법이 제공될 수 있다. According to another embodiment of the present invention, there is provided a process for producing a polyester polyol comprising reacting a polycarboxylic acid having 2 to 10 carbon atoms, ethylene glycol and 1,4-butanediol in a molar ratio of 1: 0.3 to 0.7: 0.3 to 0.7; And a step of reacting the polyester polyol with a chain extender and a polyisocyanate-based compound.

상술한 바와 같이, 폴리카르복실산, 에틸렌 글리콜 및 1,4-부탄 디올을 특정한 몰비로 반응시켜 얻어진 폴리에스테르 폴리올을 사슬 연장제 및 폴리이소시아네이트계 화합물과 반응시켜 합성되는 폴리우레탄 수지는, DMF용액 등과 혼합하여 일정 농도의 DMF가 용해 되어 있는 수용액에 일정시간 침지하면서 응고 과정을 거치면, 내부에 길고 큰 기공을 균일하게 형성하여 낮은 경도, 우수한 압출율 및 높은 압출 탄성율을 갖는 지지패드를 제공할 수 있다. As described above, a polyurethane resin synthesized by reacting a polyester polyol obtained by reacting polycarboxylic acid, ethylene glycol and 1,4-butanediol at a specific molar ratio with a chain extender and a polyisocyanate compound is preferably a DMF solution It is possible to provide a support pad having a low hardness, an excellent extrusion rate, and a high extrusion elasticity by uniformly forming long and large pores in the inner surface by immersing it in an aqueous solution having a predetermined concentration of DMF dissolved therein for a predetermined time have.

특히, 상기 특정의 폴리에스테르 폴리올을 사용함에 따라서, 상기 폴리우레탄 수지 및 이를 이용하여 얻어지는 지지 패드가 균일한 100% 모듈러스 특성을 가질 수 있으며, 제조되는 최종 제품의 물성이 경시적으로 거의 변화가 없게 되고, 중합 공정의 재현성도 높일 수 있다. Particularly, by using the specific polyester polyol, the polyurethane resin and the support pad obtained using the polyurethane resin can have a uniform 100% modulus characteristic, and the physical properties of the final product to be produced are hardly changed over time And the reproducibility of the polymerization process can be enhanced.

상기 탄소수 2 내지 10의 폴리카르복실산, 에틸렌 글리콜, 1,4-부탄디올, 상기 폴리에스테르 폴리올, 사슬 연장제 및 폴리이소시아네이트계 화합물에 관한 구체적인 내용은 상술한 바와 같다. Specific details regarding the polycarboxylic acid having 2 to 10 carbon atoms, ethylene glycol, 1,4-butanediol, the polyester polyol, the chain extender and the polyisocyanate compound are as described above.

상기 폴리에스테르 폴리올을 합성하는 단계에서, 상기 폴리에스테르 폴리올 및 사슬연장제에 포함된 수산화기(-OH)의 몰수 및 폴리이소시아네이트 화합물의 이소시아네이트기(Isocyanate)의 몰수의 비는 1:0.99 내지 1:1.2, 바람직하게는 1:1 내지 1:1.1일 수 있다. In the step of synthesizing the polyester polyol, the ratio of the number of moles of the hydroxyl group (-OH) and the number of moles of the isocyanate group of the polyisocyanate compound contained in the polyester polyol and the chain extender is 1: 0.99 to 1: 1.2 , Preferably from 1: 1 to 1: 1.1.

상기 폴리이소시아네이트 화합물의 몰수가 상기 폴리에스테르 폴리올 및 사슬연장제에 포함된 수산화기(-OH)의 몰수의 합에 비하여 작으면, 제조되는 폴리우레탄 수지가 적정한 밀도, 점도, 중량 평균 분자량을 갖기 어려울 뿐만 아니라, 이러한 폴리우레탄 수지를 이용하여 제조되는 지지 패드의 두께를 높이기 어렵고 압축율, 압축 탄성율 및 경도 등의 물성 또한 크게 저하될 수 있다. 상기 폴리이소시아네이트 화합물의 몰수가 사슬 연장제의 몰수에 비하여 너무 크면, 제조되는 폴리우레탄 수지의 경도, 점도 또는 분자량이 과도하게 커질 수 있으며, 이러한 폴리우레탄 수지를 이용하여 제조되는 지지 패드가 적정한 압축율, 압축 탄성율 및 경도 등의 물성을 확보하기 어려울 수 있다. When the number of moles of the polyisocyanate compound is smaller than the sum of the number of moles of the hydroxyl group (-OH) contained in the polyester polyol and the chain extender, it is difficult for the produced polyurethane resin to have an appropriate density, viscosity and weight average molecular weight However, it is difficult to increase the thickness of the support pad produced using such a polyurethane resin, and physical properties such as compression ratio, compressive elastic modulus and hardness may be significantly lowered. If the number of moles of the polyisocyanate compound is too large as compared with the number of moles of the chain extender, the hardness, viscosity or molecular weight of the polyurethane resin to be produced may become excessively large, and the support pad produced using such a polyurethane resin may have a proper compression ratio, It may be difficult to ensure physical properties such as compression modulus and hardness.

상기 사슬 연장제는 에틸렌 글리콜 및 1,4-부탄디올을 포함할 수 있으며, 바람직하게는 에틸렌 글리콜 및 1,4-부탄디올을 1:9 내지 9:1의 몰 비율, 보다 바람직하게는 5:5 내지 9:1의 몰비로 포함할 수 있다.The chain extender may include ethylene glycol and 1,4-butanediol, preferably ethylene glycol and 1,4-butanediol in a molar ratio of 1: 9 to 9: 1, more preferably 5: 9: 1. ≪ / RTI >

상기 폴리에스테르 폴리올을 합성하는 단계에서는 통상적으로 알려진 폴리에스테르 또는 폴리에스테르 폴리올의 합성 방법을 사용할 수 있다. 예를 들어, 폴리에스테르 폴리올의 합성 과정에서는, 촉매를 사용하지 않거나 에스테르화 촉매를 사용할 수 있으며, 질소, 일산화탄소, 헬륨 또는 아르곤과 같은 불활성 기체의 대기 조건 또는 진공 조건을 적용할 수 있고, 150 내지 300℃의 반응 온도에서 1mmHg 내지 760mmHg의 감압 조건에서 아디프산, 에틸렌 글리콜 및 1,4-부탄디올을 반응시킬 수 있다. In the step of synthesizing the polyester polyol, conventionally known synthesis methods of polyester or polyester polyol may be used. For example, in the process of synthesizing a polyester polyol, a catalyst may be used or an esterification catalyst may be used, and an atmospheric condition or a vacuum condition of an inert gas such as nitrogen, carbon monoxide, helium or argon may be applied, Adipic acid, ethylene glycol and 1,4-butanediol can be reacted under a reduced pressure of 1 mmHg to 760 mmHg at a reaction temperature of 300 ° C.

상기 폴리에스테르 폴리올을 사슬 연장제 및 폴리이소시아네이트계 화합물과 반응시키는 단계는 50℃ 내지 90℃의 반응 온도 및 상압 조건에서 이루어질 수 있다. The step of reacting the polyester polyol with the chain extender and the polyisocyanate compound may be carried out at a reaction temperature of 50 ° C to 90 ° C and at normal pressure.

상기 폴리에스테르 폴리올을 사슬 연장제 및 폴리이소시아네이트계 화합물과 반응시키는 단계는 선택적으로, 아민계 촉매, 유기 티탄 화합물 및 유기 주석 화합물계 촉매로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 촉매 화합물의 존재 하에 이루어질 수도 있다. 상기 촉매로는 폴리우레탄 수지의 합성에 사용될 수 있는 것으로 알려진 아민계 촉매 또는 유기 주석 화합물계 촉매를 사용할 수 있으며, 바람직하게는 유기 주석 화합물계 촉매를 사용할 수 있다. 이러한 유기 주석 주석 화합물계 촉매의 구체적인 예에 관해서는 상술한 바와 같다. The step of reacting the polyester polyol with a chain extender and a polyisocyanate compound may optionally be carried out in the presence of at least one catalyst compound selected from the group consisting of an amine-based catalyst, an organic titanium compound and an organotin compound-based catalyst . As the catalyst, an amine-based catalyst or an organotin compound-based catalyst known to be usable for the synthesis of a polyurethane resin can be used, and an organotin compound-based catalyst can be preferably used. Specific examples of such an organotin tin compound-based catalyst are as described above.

또한, 상기 혼합물은 제조되는 폴리우레탄 수지는 물성의 향상 및 보호를 위하여 기타의 첨가제를 더 포함할 수 있다. 이러한 첨가제의 구체적인 예로는 수지 안정제, 산화 안정제 또는 이들의 2이상의 혼합물을 들 수 있다.
In addition, the polyurethane resin to be prepared may further contain other additives in order to improve and protect the physical properties. Specific examples of such additives include resin stabilizers, oxidative stabilizers, and mixtures of two or more thereof.

한편, 발명의 또 다른 구현 예에 따르면, 상기 폴리우레탄 수지; 디메틸포름아미드(DMF) 및 메틸에틸케톤(MEK)으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 유기 용매; 및 계면 활성제를 포함하는 폴리우레탄 수지 조성물이 제공될 수 있다. According to another embodiment of the present invention, the polyurethane resin; An organic solvent containing at least one selected from the group consisting of dimethylformamide (DMF) and methyl ethyl ketone (MEK); And a polyurethane resin composition containing a surfactant can be provided.

상술한 제조 방법에서 얻어진 폴리우레탄 수지를 사용하면, 내부에 길고 큰 기공을 균일하게 형성되어서 낮은 경도, 우수한 압출율 및 높은 압출 탄성율을 갖는 지지 패드가 제공될 수 있다. By using the polyurethane resin obtained by the above-described production method, it is possible to provide a support pad having long and large pores uniformly formed therein and having low hardness, excellent extrusion rate, and high extrusion elastic modulus.

특히, 상기 폴리우레탄 수지 조성물로부터 제조된 지지 패드는 길고 큰 기공이 균일하게 형성되어 있어서, 연마 대상막와의 사이에 생성된 공기를 용이하게 내부로 전달받을 수 있고 전 영역으로 균일하게 분산시킬 수 있기 때문에, 연마시 발생할 수 있는 불량을 최소화시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 폴리우레탄 수지 조성물을 사용하면 우수한 품질 및 성능를 갖는 연마 장치의 지지 패드를 제조할 수 있다.Particularly, since the supporting pads made of the polyurethane resin composition have long and large pores formed uniformly, air generated between the support pad and the polishing target film can be easily transferred to the inside and uniformly dispersed in the entire area Therefore, defects that may occur during polishing can be minimized. Accordingly, when the polyurethane resin composition is used, a support pad of a polishing apparatus having excellent quality and performance can be produced.

상기 수지 조성물을 사용하여 지지 패드를 제조하는 과정에서는 끓은 점이 높은 용매를 사용하는 것이 바람직하며, 구체적으로 상기 폴리우레탄 수지 조성물은 디메틸포름아미드(DMF), 메틸에틸케톤(MEK), 또는 이들의 혼합물을 포함하는 유기 용매를 포함할 수 있으며, 바람직하게는 디메틸포름아미드를 포함할 수 있다. 이와 같이, 디메틸포름아미드(DMF), 메틸에틸케톤(MEK), 또는 이들의 혼합물을 포함하는 유기 용매는 상대적으로 끓은점이 높아서 폴리우레탄 수지 고형분의 물성을 그대로 유지할 수 있다. 또한, 상기 유기 용매는 높은 친수성을 가져서, 패드 제조 과정의 응고 과정에서 수용액과 용이하게 치환할 수 있고, 이에 따라 지지 패드 내부에 길고 큰 기공을 균일하게 형성될 수 있게 한다. It is preferable to use a solvent having a high boiling point in the process of preparing the support pad using the resin composition. Specifically, the polyurethane resin composition may be prepared by mixing dimethylformamide (DMF), methyl ethyl ketone (MEK) , And may include an organic solvent, preferably dimethylformamide. As described above, the organic solvent containing dimethylformamide (DMF), methyl ethyl ketone (MEK), or a mixture thereof has a relatively high boiling point, so that the physical properties of the solid polyurethane resin can be maintained. In addition, the organic solvent has high hydrophilicity and can be easily replaced with an aqueous solution during the solidification process of the pad manufacturing process, so that long and large pores can be uniformly formed inside the support pad.

이러한 유기 용매는 상기 폴리우레탄 수지 100중량부에 대하여 100 내지 600중량부로 포함될 수 있다. Such an organic solvent may be included in an amount of 100 to 600 parts by weight based on 100 parts by weight of the polyurethane resin.

상기 폴리우레탄 수지 조성물은 응고 과정을 통하여 내부에 기공이 형성된 폴리우레탄 지지 패드를 형성할 수 있는데, 이러한 기공 형성은 폴리우레탄 수지, 물 및 유기 용매의 상분리 현상에 의한다. 구체적으로, 상기 디메틸포름아미드(DMF), 메틸에틸케톤(MEK), 또는 이들의 혼합물을 포함하는 유기 용매에 용해된 폴리우레탄 수지가 일정한 수용액이 채워진 응고조에 침지되면, 상기 폴리우레탄 수지와 상기 유기 용매가 상분리되며, 상분리 상태의 유기 용매는 수용액 또는 물과 교체되면서 기공을 형성하게 된다. 이와 같이 기공이 형성된 이후에 수세 과정 및 건조 과정으로 통하여 잔류하는 유기 용매 등을 제거함으로서, 연마 장치의 지지 패드 제조에 사용될 수 있는 폴리우레탄 수지 패드가 제조될 수 있다. The polyurethane resin composition can form a polyurethane support pad having pores formed therein through solidification process. Such pore formation is caused by phase separation of polyurethane resin, water, and organic solvent. Specifically, when the polyurethane resin dissolved in an organic solvent containing dimethylformamide (DMF), methyl ethyl ketone (MEK), or a mixture thereof is immersed in a coagulation tank filled with a constant aqueous solution, the polyurethane resin and the organic The solvent is phase-separated, and the phase-separated organic solvent is replaced with an aqueous solution or water to form pores. After the pores are formed, the polyurethane resin pads that can be used for manufacturing the support pad of the polishing apparatus can be manufactured by removing the residual organic solvent through the washing process and the drying process.

한편, 상기 폴리우레탄 수지 조성물은 계면활성제를 포함할 수 있는데, 상기 계면활성제는 폴리우레탄 수지에 사용될 수 있는 것으로 알려진 비이온성 계면활성제, 음이온성 계면활성제 또는 이들의 혼합물을 포함한다. On the other hand, the polyurethane resin composition may include a surfactant, which includes a nonionic surfactant, an anionic surfactant, or a mixture thereof, which is known to be usable in a polyurethane resin.

상기 음이온성 계면활성제는 응고되는 조성물의 전 영역에 걸쳐 물이 균일하게 침투할 수 있게 하며, 폴리우레탄 수지, 물 및 유기 용매의 상분리가 일정 부분에 집중되지 않게 할 수 있어서, 지지 패드 내부에 기공이 매우 균일하게 형성될 수 있게 한다. 이러한 음이온성 계면활성제는 상기 폴리우레탄 수지 100중량부에 대하여 0.1 내지 10 중량부, 바람직하게는 0.5 내지 5중량부로 포함할 수 있다. 상기 음이온성 계면활성제의 함량이 너무 작으면 기공이 너무 작게 형성되거나 기공의 형태가 길어지지 않을 수 있으며, 상기 함량이 너무 크면 기공이 너무 크게 형성되거나 기공의 분포가 균일하지 못 할 수 있다. The anionic surfactant can uniformly penetrate the water over the entire area of the composition to be coagulated and prevent the phase separation of the polyurethane resin, water, and organic solvent from concentrating on a certain portion, Can be formed very uniformly. The anionic surfactant may be added in an amount of 0.1 to 10 parts by weight, preferably 0.5 to 5 parts by weight, based on 100 parts by weight of the polyurethane resin. If the content of the anionic surfactant is too small, the pores may be too small or the pores may not be long. If the content is too large, the pores may be too large or the pores may not be uniformly distributed.

또한, 상기 비이온성 계면활성제는 상기 폴리우레탄 수지 조성물의 응고 속도를 높이거나 기공 형상을 균일하게 할 수 있다. 이러한 비온성 계면활성제는 상기 폴리우레탄 수지 100중량부에 대하여 0.1 내지 10, 바람직하게는 0.5 내지 5중량부 로 포함될 수 있다. 상기 비이온성 계면활성제의 함량이 높으면 기공 형상이 불균일해 질 수 있으며, 너무 낮으면 응고 속도가 너무 작을 수 있다. In addition, the nonionic surfactant can increase the solidification rate of the polyurethane resin composition or make the pore shape uniform. Such an amphoteric surfactant may be contained in an amount of 0.1 to 10, preferably 0.5 to 5 parts by weight based on 100 parts by weight of the polyurethane resin. If the content of the nonionic surfactant is high, the pore shape may be uneven. If the content of the nonionic surfactant is too low, the solidification rate may be too small.

상기 폴리우레탄 수지 조성물은 지지 패드의 흡착력을 높이거나 패드의 표면을 평탄하게 만들기 위해서 실리콘계 고분자를 더 포함할 수 있다. 상기 폴리우레탄 수지 조성물은 발수제, 충진제, 발수제, 기공 크기 조절제 및 안료로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 첨가제를 더 포함할 수 있다.
The polyurethane resin composition may further include a silicone-based polymer in order to increase the adsorption force of the support pad or flatten the surface of the pad. The polyurethane resin composition may further include at least one additive selected from the group consisting of a water repellent agent, a filler, a water repellent agent, a pore size regulator, and a pigment.

한편, 발명의 다른 일 구현예에 따르면, 상기 폴리우레탄 수지 조성물의 응고물을 포함하는 폴리우레탄 지지 패드가 제공될 수 있다. On the other hand, according to another embodiment of the invention, there can be provided a polyurethane support pad comprising a solidified product of the polyurethane resin composition.

상기 폴리우레탄 수지 조성물로부터 제조되는 폴리우레탄 지지 패드는 내부에 길고 큰 기공을 균일하게 형성되어서 낮은 경도, 우수한 압출율 및 높은 압출 탄성율을 가질 수 있다. 또한, 상기 폴리우레탄 지지 패드는 내부에 길고 큰 기공이 균일하게 형성되어 있어서, 연마 대상막와의 사이에 생성된 공기를 용이하게 내부로 전달받을 수 있고 전 영역으로 균일하게 분산시킬 수 있기 때문에, 연마시 발생할 수 있는 불량을 최소화시킬 수 있다.The polyurethane support pad produced from the polyurethane resin composition has long and large pores uniformly formed therein, so that it can have a low hardness, an excellent extrusion rate and a high extrusion elastic modulus. In addition, since the polyurethane support pad has long and large pores uniformly formed therein, air generated between the support pad and the polishing target film can be easily transferred to the inside and uniformly dispersed in the entire area. Therefore, It is possible to minimize the defects that may occur.

상기 폴리우레탄 지지 패드는 상기 폴리우레탄 수지 조성물이 응고되어 형성될 수 있다. 구체적으로, 상기 폴리우레탄 지지 패드는 상기 폴리우레탄 수지 조성물을 형성하는 단계; 상기 폴리우레판 수지 조성물을 일정한 기재나 틀에 도포 또는 투입하여 코팅층을 형성하는 단계; 상기 코팅층을 응고하는 단계; 및 상기 조성물의 응고물을 수세, 탈수 및 건조하는 단계를 통하여 제조될 수 있다. The polyurethane support pad may be formed by solidifying the polyurethane resin composition. Specifically, the polyurethane support pad comprises the steps of: forming the polyurethane resin composition; Coating or injecting the polyurethane resin composition into a predetermined substrate or frame to form a coating layer; Solidifying the coating layer; And a step of washing, dehydrating and drying the coagulated product of the composition.

상기 코팅층을 응고하는 단계에서는 상기 코팅층이 형성된 기재나 틀을 디메틸포름아미드(DMF) 수용액이 채워져 있는 응고조, 예를 들어 1 내지 20%의 DMF수용액이 채워져 있는 응고조에 투입하여 이루어질 수 있다. 상기 응고 과정에서는 폴리우레탄 수지 내부의 디메틸포름아미드가 물과 교체되면서 폴리우레탄 수지가 서서히 응고되고 이에 따라 다수의 기공이 형성될 수 있다. 상기 응고조 내의 DMF수용액의 농도를 조절함으로서 응고 시간이나 제조되는 지지 패드 내의 기공 크기를 조절할 수 있다. In the step of solidifying the coating layer, the substrate or the frame on which the coating layer is formed may be put into a coagulation tank filled with an aqueous solution of dimethylformamide (DMF), for example, a coagulation tank filled with a DMF aqueous solution of 1 to 20%. In the solidification process, the dimethylformamide in the polyurethane resin is replaced with water, and the polyurethane resin gradually coagulates and thus a large number of pores can be formed. By adjusting the concentration of the DMF aqueous solution in the coagulation bath, the coagulation time and the pore size in the support pad can be controlled.

상기 폴리우레탄 지지 패드는 0.5 내지 3mm, 바람직하게는 1 내지 2.5mm의 두께를 가질 수 있으며, 0.10 내지 0.50g/㎤, 바람직하게는 0.15 내지 0.30 g/㎤의 밀도를 가질 수 있다. The polyurethane support pad may have a thickness of 0.5 to 3 mm, preferably 1 to 2.5 mm, and may have a density of 0.10 to 0.50 g / cm 3, preferably 0.15 to 0.30 g / cm 3.

또한, 상기 폴리우레탄 지지 패드는 상술한 특정의 폴리우레탄 수지 조성물을 사용하여 제조됨에 따라서, 20 내지 25의 Asker C 경도, 바람직하게는 21 내지 23의 Asker C 경도를 가질 수 있다. In addition, the polyurethane support pad may have Asker C hardness of 20 to 25, and Asker C hardness of 21 to 23, as prepared using the particular polyurethane resin composition described above.

상기 폴리우레탄 지지 패드는 35% 내지 50%의 압축율 및 93%이상의 압축 탄성율을 가질 수 있다. The polyurethane support pad may have a compressibility of 35% to 50% and a compressive modulus of 93% or more.

상기 폴리우레탄 지지 패드는 100㎛ 내지 500㎛의 최장 직경을 갖는 기공을 포함하고, 상기 기공들 중 서로 이웃하는 기공의 근접한 최외각부의 거리가 10㎛ 내지 50㎛ 일 수 있다. 상기 폴리우레탄 수지 조성물의 응고물을 포함하는 폴리우레탄 수지 내에는 긴 타원형 유사한 형태의 기공들이 균일하게 분포할 수 있다. The polyurethane support pad may include pores having a maximum diameter of 100 μm to 500 μm, and a distance between adjacent outermost pores of adjacent pores of the pores may be 10 μm to 50 μm. In the polyurethane resin containing the solidified product of the polyurethane resin composition, long oval-like pores can be uniformly distributed.

본 발명에 따르면, 내부에 길고 큰 기공을 균일하게 형성하여 낮은 경도, 우수한 압출율 및 높은 압출 탄성율을 갖는 지지패드를 제공할 수 있는 폴리우레탄 수지, 이의 제조 방법, 이를 포함하는 폴리우레탄 수지 조성물 및 상기 수지 조성물을 포함하는 폴리우레탄 지지 패드가 제공된다. According to the present invention, there is provided a polyurethane resin capable of providing long and large pores uniformly in the interior thereof and having a low hardness, an excellent extrusion rate and a high extrusion elastic modulus, a method for producing the same, a polyurethane resin composition containing the same, A polyurethane support pad comprising the resin composition is provided.

도1은 실시예1의 지지 패드의 단면SEM사진을 나타낸 것이다.
도2은 실시예1의 지지 패드의 단면 SEM사진을 나타낸 것이다.
도3은 실시예1의 지지 패드의 단면 SEM사진을 나타낸 것이다.
도4은 비교예1의 지지 패드의 단면 SEM사진을 나타낸 것이다.
도5은 비교예2의 지지 패드의 단면 SEM사진을 나타낸 것이다. 1 is a cross-sectional SEM photograph of the support pad of Example 1. Fig.
2 is a cross-sectional SEM photograph of the support pad of Example 1. Fig.
3 is a cross-sectional SEM photograph of the support pad of Example 1. Fig.
4 is a cross-sectional SEM photograph of the support pad of Comparative Example 1. Fig.
5 is a cross-sectional SEM photograph of the support pad of Comparative Example 2. Fig.

발명을 하기의 실시예에서 보다 상세하게 설명한다. 단, 하기의 실시예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐, 본 발명의 내용이 하기의 실시예에 의하여 한정되는 것은 아니다.
The invention will be described in more detail in the following examples. However, the following examples are illustrative of the present invention, and the present invention is not limited by the following examples.

<< 실시예Example 및  And 비교예Comparative Example : 폴리우레탄 수지 및 지지 패드의 제조>: Preparation of polyurethane resin and supporting pad>

[[ 실시예1Example 1 ]]

(1) 폴리우레탄 수지 제조(1) Production of polyurethane resin

아디프산, 에틸렌 글리콜 및 1,4-부탄디올을 1:0.5:0.5의 몰비로 200℃의 온도, 500 내지 760mmHg의 감압 조건 및 진공 대기 조건에서 반응시켜 폴리에스테르 폴리올을 합성하였다.Adipic acid, ethylene glycol and 1,4-butanediol were reacted at a molar ratio of 1: 0.5: 0.5 at a temperature of 200 캜, a reduced pressure of 500 to 760 mmHg and a vacuum atmosphere to synthesize a polyester polyol.

그리고, 디부틸틴 디라우레이트의 존재 하에, 상기 합성된 폴리에스테르 폴리올, 사슬 연장제(에틸렌 글리콜 및 1,4-부탄디올의 몰비: 7:1) 및 DMF를 반응기에 넣고 60℃까지 승온하였다. 그리고, Then, in the presence of dibutyltin dilaurate, the synthesized polyester polyol, chain extender (molar ratio of ethylene glycol and 1,4-butanediol: 7: 1) and DMF were charged into the reactor and the temperature was raised to 60 ° C. And,

상기 폴리에스테르 폴리올 및 사슬연장제에 포함된 수산화기의 몰수의 합과 폴리이소시아네이트 화합물의 이소시아네이트기(Isocyanate)의 몰수의 비가 1:1이 되도록 상기 반응기에 폴리이소시아네이트 화합물을 첨가하고 80℃까지 승온한 이후, 미량의 폴리이소시아네이트 화합물을 추가로 첨가하고 중합을 진행하였다. The polyisocyanate compound was added to the reactor so that the ratio of the sum of the number of moles of hydroxyl groups contained in the polyester polyol and the chain extender to the number of moles of the isocyanate group of the polyisocyanate compound was 1: , A small amount of a polyisocyanate compound was further added and polymerization was carried out.

그리고, 목표로 하는 점도 및 분자량의 폴리우레탄이 중합되는 시점에서 MeOH첨가하여 이소시아네이트기와 반응시킴으로 중합 반응을 종결시켰다.
Then, the polymerization reaction was terminated by adding MeOH at the point of time when the polyurethane having the target viscosity and molecular weight was polymerized to react with the isocyanate group.

(2) 지지 패드의 제조(2) Production of Support Pads

상기 얻어진 폴리우레탄 수지(30wt% DMF solution) 100g, N,N'-디메틸포름아미드 45g, 비이온성 계면활성제(SD-7, 펜타켐) 5.0g, 착색제(KW BLACK 0013, 카본블랙 수지, 펜타켐) 15g, 충진제(FAT-17, 펜타켐) 2.0g 및 발수제(불소계 수지, FPU-60, 펜타켐) 0.5g을 넣고, 페인트 쉐이커로 10분간 고속 교반한 후, 3000rpm에서 10분간 원심분리하여 슬러리(slurry)상인 폴리우레탄 수지 조성물을 얻었다. 100 g of the obtained polyurethane resin (30 wt% DMF solution), 45 g of N, N'-dimethylformamide, 5.0 g of a nonionic surfactant (SD-7, Pentachem), 5.0 g of a coloring agent (KW BLACK 0013, 2.0 g of a filler (FAT-17, Pentachem) and 0.5 g of a water repellent agent (fluorine resin, FPU-60, Pentachem) were charged and stirred at a high speed for 10 minutes with a paint shaker at 10,000 rpm for 10 minutes. to obtain a polyurethane resin composition as a slurry phase.

상기 얻어진 폴리우레탄 수지 조성물을 PET필름 상에 2.00mm의 두께로 코팅한 후, 2~15%의 DMF 수용액이 채워져 있는 응고조에서 응고 과정을 진행하였다. 이후, 얻어진 응고물을 수세, 탈수, 건조하여 폴리우레탄 지지 패드를 제조하였다. 제조된 폴리우레탄 지지 패드의 단면 SEM사진을 도1에 나타내었다.
The obtained polyurethane resin composition was coated on a PET film to a thickness of 2.00 mm and then solidified in a coagulation bath filled with 2 to 15% aqueous DMF solution. Thereafter, the resulting coagulum was washed with water, dehydrated and dried to prepare a polyurethane support pad. A sectional SEM photograph of the prepared polyurethane support pad is shown in FIG.

[[ 실시예2Example 2 ]]

아디프산, 에틸렌 글리콜 및 1,4-부탄디올을 1:0.4:0.6의 몰비로 사용한 점을 제외하고, 실시예1과 동일한 방법으로 폴리우레탄 수지, 폴리우레탄 수지 조성물 및 폴리우레탄 지지 패드를 제조하였다. 제조된 폴리우레탄 지지 패드의 단면 SEM사진을 도2에 나타내었다.
A polyurethane resin, a polyurethane resin composition and a polyurethane support pad were prepared in the same manner as in Example 1 except that adipic acid, ethylene glycol and 1,4-butanediol were used in a molar ratio of 1: 0.4: 0.6 . A sectional SEM photograph of the prepared polyurethane support pad is shown in Fig.

[[ 실시예3Example 3 ]]

아디프산, 에틸렌 글리콜 및 1,4-부탄디올을 1:0.6:0.4의 몰비로 사용한 점을 제외하고, 실시예1과 동일한 방법으로 폴리우레탄 수지, 폴리우레탄 수지 조성물 및 폴리우레탄 지지 패드를 제조하였다. 제조된 폴리우레탄 지지 패드의 단면 SEM사진을 도3에 나타내었다.
A polyurethane resin, a polyurethane resin composition and a polyurethane support pad were prepared in the same manner as in Example 1 except that adipic acid, ethylene glycol and 1,4-butanediol were used in a molar ratio of 1: 0.6: 0.4 . A sectional SEM photograph of the prepared polyurethane support pad is shown in FIG.

[[ 비교예1Comparative Example 1 ]]

아디프산, 에틸렌 글리콜 및 1,4-부탄디올을 1:0.2:0.8의 몰비로 사용한 점을 제외하고, 실시예1과 동일한 방법으로 폴리우레탄 수지, 폴리우레탄 수지 조성물 및 폴리우레탄 지지 패드를 제조하였다. 제조된 폴리우레탄 지지 패드의 단면 SEM사진을 도4에 나타내었다.
A polyurethane resin, a polyurethane resin composition and a polyurethane support pad were prepared in the same manner as in Example 1 except that adipic acid, ethylene glycol and 1,4-butanediol were used in a molar ratio of 1: 0.2: 0.8 . A cross-sectional SEM photograph of the prepared polyurethane support pad is shown in FIG.

[[ 비교예2Comparative Example 2 ]]

아디프산, 에틸렌 글리콜 및 1,4-부탄디올을 1:0.8:0.2의 몰비로 사용한 점을 제외하고, 실시예1과 동일한 방법으로 폴리우레탄 수지, 폴리우레탄 수지 조성물 및 폴리우레탄 지지 패드를 제조하였다. 제조된 폴리우레탄 지지 패드의 단면 SEM사진을 도5에 나타내었다.
A polyurethane resin, a polyurethane resin composition and a polyurethane support pad were prepared in the same manner as in Example 1 except that adipic acid, ethylene glycol and 1,4-butanediol were used in a molar ratio of 1: 0.8: 0.2 . A cross-sectional SEM photograph of the prepared polyurethane support pad is shown in Fig.

<< 실험예Experimental Example >>

실험예1Experimental Example 1 : 지지 패드의 밀도 측정: Density measurement of supporting pads

상기 실시예 및 비교예에서 얻어진 폴리우레탄 지지 패드를 25mm*30mm의 크기로 준비하여 두께를 측정한 후, 이들 시편의 무게를 측정하여 밀도를 계산하였다. 그리고, 상기 시편의 무게를 5회 반복하여 측정하고 각각의 밀도값을 구하고, 이들의 평균값으로부터 지지 패드의 밀도를 산출하였다.
The polyurethane support pads obtained in the above Examples and Comparative Examples were prepared in the size of 25 mm * 30 mm, and the thicknesses were measured. Then, the weights of these specimens were measured to calculate the density. Then, the weight of the specimen was measured five times repeatedly, the density values of the respective specimens were obtained, and the density of the support pads was calculated from the average values thereof.

실험예2Experimental Example 2 : 지지 패드의 경도 측정: Hardness measurement of supporting pad

상기 실시예 및 비교예에서 얻어진 폴리우레탄 지지 패드를 25mm*30mm의 크기로 준비하고 Asker 경도계를 사용하여 경도를 측정하였다.
The polyurethane support pads obtained in the above Examples and Comparative Examples were prepared in a size of 25 mm * 30 mm and hardness was measured using a Asker hardness meter.

실험예3Experimental Example 3 : 지지 패드의 : Of support pads 압축율Compression ratio 및  And 압축회복율Compression recovery rate 측정 Measure

상기 실시예 및 비교예에서 얻어진 폴리우레탄 지지 패드의 압축율 및 압축회복율을 JIS L1021-16에 따라 측정하였다. The compressibility and the compression recovery rate of the polyurethane support pad obtained in the above Examples and Comparative Examples were measured according to JIS L1021-16.

구체적으로, 상기 실시예 및 비교예에서 얻어진 폴리우레탄 지지 패드를 잘라서 25mm*30mm의 크기 시편을 준비하였다. 이러한 시편에 초기 하중 100g/㎠ 을 30초간 가한 후 초기 두께를 다이얼 게이지를 사용하여 측정하고(T0), 상기 시편에 하중 1120g/㎠ 을 5분간 가한후 가압 상태에서 두께를 측정하였다(T1). 그리고, 모든 하중을 제거하고 5분간 방치 후, 다시 초기 하중 100 g/㎠을 30초간 가하고 나서 두께를 측정하였다(T0'). 측정된 각각의 두께를 하기 계산식을 적용하여 압축율 및 압축회복율을 산출하였다. Specifically, the polyurethane support pads obtained in the above Examples and Comparative Examples were cut to prepare specimens having a size of 25 mm * 30 mm. The initial thickness was measured using a dial gauge (T0) after the initial load of 100 g / cm2 was applied to the specimen for 30 seconds. The specimen was subjected to a load of 1120 g / cm2 for 5 minutes and then the thickness was measured under pressure (T1). After removing all the loads and leaving for 5 minutes, the thickness was measured after applying an initial load of 100 g / cm 2 for 30 seconds (T0 '). The compression ratio and the compression recovery rate were calculated by applying the following equations to each of the measured thicknesses.

[계산식][formula]

압축율(%)= (T0 - T1)*100 / T0Compression ratio (%) = (T0 - T1) * 100 / T0

압축회복율(%)= (T0' T1) * 100 / (T0 - T1)
Compression recovery rate (%) = (T0 'T1) * 100 / (T0 - T1)

상기 실험예 1 내지 3의 결과를 하기 표1에 기재하였다.The results of Experimental Examples 1 to 3 are shown in Table 1 below.

Asker C 경도Asker C hardness 밀도(g/㎤)Density (g / cm3) 압축율(%)Compressibility (%) 압축탄성율(%)Compressive modulus (%) 실시예1Example 1 2121 0.230.23 4545 9898 실시예2Example 2 2121 0.220.22 4242 9797 실시예3Example 3 2222 0.280.28 4343 9595 비교예1Comparative Example 1 3232 0.320.32 2525 9090 비교예2Comparative Example 2 1818 0.200.20 4545 9090

상기 표1에 나타나 바와 같이, 아디프산, 에틸렌 글리콜 및 1,4-부탄디올을 1:0.3 내지 0.7: 0.3 내지 0.7의 몰비 범위로 사용한 실시예의 경우 상대적으로 낮은 밀도를 가지면서도 40%이상의 우수한 압축율 및 95%이상의 높은 압축 탄성율을 나타내며, 지지 패드로서 적절한 21 내지 22 정도의 Asker C 경도를 갖는다는 점이 확인되었다. As shown in Table 1, in the case of using the adipic acid, ethylene glycol and 1,4-butanediol in a molar ratio range of 1: 0.3 to 0.7: 0.3 to 0.7, the compression ratio And a high modulus of elasticity of 95% or more, and has an Asker C hardness of about 21 to 22 suitable as a support pad.

이에 반하여, 비교예1의 지지 패드는 경도가 상대적으로 높게 나타나고 압축율 및 압축 탄성율도 실시예의 지지 패드에 비하여 떨어지는 점이 확인되었다. 그리고, 비교예2의 지지 패드가 갖는 밀도 및 경도는 너무 작게 나타났으며, 압축 탄성율도 실시예에 비하여 떨어진다는 점이 확인되었다. On the contrary, it was confirmed that the hardness of the support pad of Comparative Example 1 was relatively high, and the compressibility and the compressive elastic modulus were also lower than those of the support pads of the Examples. The density and hardness of the support pad of Comparative Example 2 were too small and the compressive modulus of elasticity was also lower than that of Examples.

또한, 하기 도1 내지 3에 나타난 바와 같이, 실시예1 내지2의 지지 패드 내부에는 길고 큰 기포가 균일하게 형성되어 있으며, 이러한 기포의 최대 직경이 100um 내지 500um 의 범위라는 점이 확인되었다. Also, as shown in Figs. 1 to 3, long and large bubbles were uniformly formed inside the support pads of Examples 1 and 2, and it was confirmed that the maximum diameter of the bubbles was in the range of 100 袖 m to 500 袖 m.

이에 반하여, 비교예1의 지지 패드에서는 기공이 상대적으로 짧고 크기도 작으며 그 분포 또한 불균일하다는 점이 확인되었으며, 비교예2의 지지 패드에서는 형성되는 기공의 형상이 일정하지 않으며 폭 방향으로 넓은 형태를 띄고 있어서 실시예의 지지 패드에 비하여 떨어지는 품질을 나타내는 것으로 확인되었다. On the other hand, it was confirmed that the support pads of Comparative Example 1 had a relatively small pore size, a small size and a nonuniform distribution. In the support pad of Comparative Example 2, the pores formed were not uniform, So that it was confirmed that the quality was lower than that of the support pads of the examples.

따라서, 실시예의 지지 패드에 의하면, 피연마체에 대한 쿳션성과 흡착력을 향상시킬 수 있으며, 피연마체의 연마 가공시 패드상에서 피연마체를 견고히 고정하여 연마 품질이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
Therefore, according to the support pad of the embodiment, it is possible to improve the cushion property and the attracting force of the object to be polished, and it is possible to securely fix the object on the pad when polishing the object, thereby preventing the polishing quality from being lowered.

Claims (19)

탄소수 2 내지 10의 폴리카르복실산의 잔기, 에틸렌 글리콜의 잔기, 및 1,4-부탄디올의 잔기를 1:0.3 내지 0.7: 0.3 내지 0.7의 몰비로 포함하는 폴리에스테르 폴리올, 사슬 연장제, 및 폴리이소시아네이트 화합물 간의 반응물을 포함하는 폴리우레탄 수지;
디메틸포름아미드(DMF) 및 메틸에틸케톤(MEK)으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 유기 용매; 및
계면 활성제를 포함하고,
상기 사슬 연장제는 에틸렌 글리콜 및 1,4-부탄디올을 5:5 내지 9:1의 몰비로 포함하며,
35% 내지 50%의 압축율, 93%이상의 압축 탄성율, 20 내지 25의 Asker C 경도 및 0.15 g/㎤ 내지 0.30g/㎤의 밀도를 갖는 지지 패드의 제조를 위한 폴리우레탄 수지 조성물.
A polyester polyol containing a residue of a polycarboxylic acid having 2 to 10 carbon atoms, a residue of ethylene glycol, and a residue of 1,4-butanediol in a molar ratio of 1: 0.3 to 0.7: 0.3 to 0.7, A polyurethane resin comprising a reactant between isocyanate compounds;
An organic solvent containing at least one selected from the group consisting of dimethylformamide (DMF) and methyl ethyl ketone (MEK); And
A surfactant,
Wherein the chain extender comprises ethylene glycol and 1,4-butanediol in a molar ratio of 5: 5 to 9: 1,
A polyurethane resin composition for the production of a support pad having a compressibility of 35% to 50%, a compressive modulus of 93% or more, Asker C hardness of 20 to 25 and a density of 0.15 g / cm3 to 0.30 g / cm3.
제1항에 있어서,
상기 폴리우레탄 수지는 50,000 g/mol 내지 500,000 g/mol 의 중량평균분자량 또는 100,00cps 내지 500,000cps의 점도를 갖는 폴리우레탄 수지 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the polyurethane resin has a weight average molecular weight of 50,000 g / mol to 500,000 g / mol or a viscosity of 100,00 cps to 500,000 cps.
제1항에 있어서,
상기 폴리에스테르 폴리올은 20 내지 100 mgKOH/g의 평균 수산기 값 또는 500 내지 5,000의 중량평균분자량을 갖는 폴리우레탄 수지 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the polyester polyol has an average hydroxyl value of 20 to 100 mgKOH / g or a weight average molecular weight of 500 to 5,000.
제1항에 있어서,
상기 탄소수 2 내지 10의 폴리카르복실산은 탄소수 4 내지 8의 디카르복실산을 포함하는 폴리우레탄 수지 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the polycarboxylic acid having 2 to 10 carbon atoms comprises a dicarboxylic acid having 4 to 8 carbon atoms.
제1항에 있어서,
상기 폴리에스테르 폴리올 및 사슬연장제에 포함된 수산화기(-OH)의 몰수 및 폴리이소시아네이트 화합물의 이소시아네이트기(Isocyanate)의 몰수의 비가 1:1 내지 1:1.1인 폴리우레탄 수지 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the ratio of the number of moles of hydroxyl group (-OH) contained in the polyester polyol and the chain extender to the number of moles of the isocyanate group of the polyisocyanate compound is from 1: 1 to 1: 1.1 Polyurethane resin composition.
제1항에 있어서,
상기 폴리이소시아네이트 화합물은 디이소시아네이트, 1,4-테트라메틸렌 디이소시아네이트, 1,6-헥사메틸렌 디이소시아네이트(HDI), 1,12-도데칸 디이소시아네이트, 시클로부탄-1,3-디이소시아네이트, 시클로헥산-1,3- 디이소시아네이트, 시클로헥산-1,4-디이소시아네이트, 1-이소시아네이토-3,3,5-트리메틸-5-이소시아네이토메틸-시클로헥산, 2,4- 헥사히드로톨루엔 디이소시아네이트, 2,6-헥사히드로톨루엔 디이소시아네이트, 헥사히드로-1,3- 페닐렌 디이소시아네이트, 헥사히드로-1,4-페닐렌 디이소시아네이트, 퍼히드로-2,4'- 디페닐메탄 디이소시아네이트, 퍼히드로-4,4'-디페닐메탄 디이소시아네이트, 1,3- 페닐렌 디이소시아네이트, 1,4-페닐렌 디이소시아네이트, 1,4-두롤 디이소시아네이트(DDI), 4,4'-스틸벤 디이소시아네이트, 3,3'-디메틸-4,4'-비페닐렌 디이소시아네이트(TODI), 톨루엔 2,4-디이소시아네이트, 톨루엔 2,6-디이소시아네이트(TDI), 디페닐메탄-2,4'- 디이소시아네이트(MDI), 2,2'-디페닐메탄 디이소시아네이트(MDI), 디페닐메탄-4,4'-디이소시아네이트(MDI) 및 나프틸렌-1,5-이소시아네이트(NDI)으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 폴리우레탄 수지 조성물.
The method according to claim 1,
The polyisocyanate compound may be at least one selected from the group consisting of diisocyanate, 1,4-tetramethylene diisocyanate, 1,6-hexamethylene diisocyanate (HDI), 1,12-dodecane diisocyanate, cyclobutane-1,3-diisocyanate, 1,3-diisocyanate, cyclohexane-1,4-diisocyanate, 1-isocyanato-3,3,5-trimethyl-5-isocyanatomethyl-cyclohexane, 2,4- Toluene diisocyanate, 2,6-hexahydrotoluene diisocyanate, hexahydro-1,3-phenylene diisocyanate, hexahydro-1,4-phenylene diisocyanate, perhydro-2,4'- 1,3-phenylene diisocyanate, 1,4-phenylene diisocyanate, 1,4-dorol diisocyanate (DDI), 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, Stilbene diisocyanate, 3,3'-dimethyl-4,4'-biphenylene diisocyanate Toluene diisocyanate (TDI), diphenylmethane-2,4'-diisocyanate (MDI), 2,2'-diphenylmethane diisocyanate ( MDI), diphenylmethane-4,4'-diisocyanate (MDI), and naphthylene-1,5-isocyanate (NDI).
삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 폴리우레탄 수지는 수지 안정제 및 산화 안정제로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 첨가제를 더 포함하는 폴리우레탄 수지 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the polyurethane resin further comprises at least one additive selected from the group consisting of a resin stabilizer and an oxidation stabilizer.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
충진제, 발수제, 기공 크기 조절제 및 안료로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 첨가제를 더 포함하는 폴리우레탄 수지 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the polyurethane resin composition further comprises at least one additive selected from the group consisting of a filler, a water repellent agent, a pore size regulator, and a pigment.
삭제delete 제1항의 폴리우레탄 수지 조성물의 응고물을 포함하는 폴리우레탄 지지 패드.
A polyurethane support pad comprising a solid of the polyurethane resin composition of claim 1.
제16항에 있어서,
35% 내지 50%의 압축율 및 93%이상의 압축 탄성율을 갖는 폴리우레탄 지지 패드.
17. The method of claim 16,
A polyurethane support pad having a compressibility of 35% to 50% and a compressive modulus of 93% or more.
제16항에 있어서,
20 내지 25의 Asker C 경도 및 0.15 g/㎤ 내지 0.30g/㎤의 밀도는 갖는 폴리우레탄 지지 패드.
17. The method of claim 16,
Asker C hardness of 20 to 25 And a density of 0.15 g / cm &lt; 3 &gt; to 0.30 g / cm &lt; 3 &gt;.
제16항에 있어서,
100㎛ 내지 500㎛의 최장 직경을 갖는 기공을 포함하고,
상기 기공들 중 서로 이웃하는 기공의 근접한 최외각부의 거리가 10㎛ 내지 50㎛인 폴리우레탄 지지 패드.
17. The method of claim 16,
And a pore having a longest diameter of 100 mu m to 500 mu m,
Wherein a distance between adjacent outermost pores of adjacent ones of the pores is 10 占 퐉 to 50 占 퐉.
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