KR101494307B1 - Vacuum gate valve - Google Patents

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vacuum gate
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홍혁진
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주식회사 바스텍
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Abstract

The present invention relates to a vacuum gate valve. A body (4) has a sliding space which is vertically formed therein. A sealing plate (6), which slides in a straight line direction, is provided inside the body (4). A disk (8), which opens and closes a fluid passage (36) through an operation of the sealing plate (6), is provided on one side of the outer surface of the body (4). An operation unit (10), which operates the sealing plate (6) linearly to open/close the fluid passage (36) is provided to one side of the outer surface of the body (4). A connection part (38), which is connected to the body (4) by a bolt connection to be connected to a vacuum apparatus, is provided on both sides of the body (38). The replaceable connection part (38) can be connected to a vacuum gate valve (2) to connect a vacuum camber and a vacuum pump, or the vacuum chamber and an external machine, so that only by replacing the connection part (38), the vacuum gate valve can be applied to various types of vacuum apparatuses, and the vacuum gate valve (2) can be miniaturized. An open and close rate of the disk (8) is increased due to the single link operation and the rapid rotation force by a cylinder (12), so that the fluid passage (36) can be immediately opened/closed in an emergency situation, thereby preventing the damage to the vacuum chamber and the vacuum pump.

Description

다양한 형태의 진공장치에 설치가 가능한 진공 게이트밸브{VACUUM GATE VALVE}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum gate valve,

본 발명은 진공 게이트밸브에 관한 것으로, 특히 진공챔버와 진공펌프사이에 설치되어 진공챔버의 진공도를 유지시키는 진공 게이트밸브에 관한 것이다.
The present invention relates to a vacuum gate valve, and more particularly, to a vacuum gate valve installed between a vacuum chamber and a vacuum pump to maintain the degree of vacuum of the vacuum chamber.

일반적으로 LCD기판이나 반도체 웨이퍼의 에칭 공정, 증착 공정, 스퍼터링 공정이나 패럴린 코팅과 같이 진공 상태를 필요로 하는 특수한 코팅 공정과 같은 작업을 할 때에는 작업이 이루어지는 챔버 내부의 공기를 제거하여 진공환경을 형성한다. 이 경우 적절한 진공도를 설정 및 유지하는 것이 중요한데, 이때 필요한 것이 진공 게이트밸브이다.Generally, when working such as LCD substrate or semiconductor wafer etching process, deposition process, sputtering process or special coating process requiring a vacuum condition such as spiral process or paralyn coating, it is necessary to remove the air inside the chamber in which the process is performed, . In this case, it is important to set and maintain an appropriate degree of vacuum, and what is needed is a vacuum gate valve.

진공 게이트밸브는 진공 챔버와 펌프를 연결하는 통로에 위치하여 통로를 개폐함으로써 진공상태를 유지 또는 해체하는 역할을 한다. 이러한 진공 게이트밸브는 통상 하나의 구동판과 하나의 기밀판의 작동에 의해 챔버쪽으로 연결되는 통로를 밀폐시킴으로써 챔버의 기밀성을 유지하게 된다.The vacuum gate valve is located in the passage connecting the vacuum chamber and the pump, and serves to maintain or break the vacuum state by opening and closing the passage. Such a vacuum gate valve normally keeps the airtightness of the chamber by sealing the passage connected to the chamber by the operation of one driving plate and one airtight plate.

따라서 반도체 제조공정의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 줌에 따라 반도체 소자의 집적공정이 이루어지는 챔버와 챔버 내의 공기를 흡입하는 진공펌프와의 사이에 설치되어 진공펌프의 흡입력이 챔버로 전달되는 것을 개폐하는 진공 게이트밸브가 중요한 역할을 담당하게 되었다.Therefore, the sealing technique between the vacuum working area and the atmosphere in the semiconductor manufacturing process greatly affects the quality of the semiconductor product, so that it is installed between the chamber in which the semiconductor device is integrated and the vacuum pump sucking the air in the chamber, A vacuum gate valve for opening and closing the suction force of the pump to the chamber has played an important role.

종래의 진공 게이트밸브로서, 국내등록특허 10-539691호, '진공 게이트밸브'가 게시되어 있다. 하지만 종래의 진공 게이트밸브는 유체통로를 개폐하기 위한 디스크의 동작이 몸체 상부의 엑추에이터에 의한 다중링크 동작으로 개폐됨에 따라 개폐속도가 느리고, 몸체 외부로 엑추에이터가 돌출되어 있으며, 몸체와 결합부의 용접구조로 인해 다양한 형태의 진공장치에 적용하기 어려운 문제가 있었다.
As a conventional vacuum gate valve, Korean Patent Registration No. 10-539691 entitled " Vacuum Gate Valve " is published. However, in the conventional vacuum gate valve, since the operation of the disk for opening and closing the fluid passage is opened and closed by the multi-link operation by the actuator on the body, the opening and closing speed is slow and the actuator is protruded from the body. Which is difficult to apply to various types of vacuum apparatuses.

국내등록특허 10-539691호, '진공 게이트밸브'Korean Patent No. 10-539691, 'Vacuum Gate Valve'

따라서 본 발명의 목적은 진공장치에 있어서 유체가 유입, 유출되는 통로의 개폐속도를 높이면서도 크기를 소형화하고 다양한 기종의 진공장치에 적용할 수 있는 진공 게이트밸브를 제공하는데에 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide a vacuum gate valve which can be miniaturized in size and can be applied to various types of vacuum apparatuses while increasing the opening / closing speed of a passage through which a fluid flows in and out of the vacuum apparatus.

상기의 목적에 따른 본 발명의 진공 게이트밸브는, 내측에 수직방향으로 슬라이딩 공간이 형성된 몸체(4)와, 몸체(4)의 내측에는 직선방향으로 슬라이딩 작동하는 실링플레이트(6)를 구성하고, 실링플레이트(6)의 일측에는 실링플레이트(6)의 작동에 의해 유체통로(36)를 개폐하는 디스크(8)를 설치하며, 몸체(4) 외면의 일측에는 실링플레이트(6)를 직선방향으로 작동시켜 유체통로(36)를 개폐시키는 작동부(10)를 구성하며, 몸체(4)의 양측에는 볼트체결에 의해 몸체(4)와 결합되어 진공장치와 체결되는 결합부(38)를 구성하여서, 볼트체결된 결합부(38)를 교체하여 이종의 진공장치에 진공 게이트밸브(2)를 설치하도록 구성함을 특징으로 한다.
The vacuum gate valve according to the present invention includes a body 4 having a sliding space formed in a vertical direction inside thereof and a sealing plate 6 slidingly acting in a linear direction inside the body 4, A disk 8 for opening and closing the fluid passage 36 is provided at one side of the sealing plate 6 by the operation of the sealing plate 6 and a sealing plate 6 is provided at one side of the outer surface of the body 4 in a linear direction And the fluid passage 36 is opened and closed to constitute an actuating part 10. Both sides of the body 4 constitute a coupling part 38 which is connected to the body 4 by bolts and is engaged with the vacuum device, , And the vacuum gate valve (2) is installed in a different type of vacuum device by replacing the bolted coupling portion (38).

본 발명은 진공 게이트밸브의 크기를 소형화할 수 있고, 실린더에 의한 단일링크 작동과 빠른 회전력으로 디스크의 개폐속도가 증가하여 응급상황시 유체통로를 보다 신속하게 개폐하는 것이 가능하며, 진공 게이트밸브에 교체가능한 결합부를 볼트체결하여 진공챔버와 진공펌프, 진공챔버간 또는 외기 사이에 결합할 수 있어 결합부의 교체만으로 다양한 진공장치 기종에 적용이 가능한 효과가 있다.
The present invention can miniaturize the size of the vacuum gate valve and increase the opening and closing speed of the disk by the single link operation by the cylinder and the fast turning force, and it is possible to open and close the fluid passage more quickly in the emergency situation, The replaceable coupling portion can be coupled between the vacuum chamber and the vacuum pump, between the vacuum chamber and the outside air, so that the vacuum chamber can be applied to various types of vacuum apparatuses only by replacing the coupling portions.

도 1a 내지 도 1b는 본 발명의 실시 예에 따른 진공 게이트밸브의 사시도,
도 2는 본 발명의 진공 게이트밸브의 분해도,
도 3a 내지 도 5b는 본 발명의 실시 예에 따른 진공 게이트밸브의 작동도,
도 6은 본 발명의 몸체와 결합부의 실링부재 상세도,
도 7은 본 발명의 실링플레이트의 작동에 의해 몸체와 디스크가 밀착되는 구성을 보여주는 작동도.1A and 1B are perspective views of a vacuum gate valve according to an embodiment of the present invention,
2 is an exploded view of the vacuum gate valve of the present invention,
FIGS. 3A through 5B illustrate operation of a vacuum gate valve according to an embodiment of the present invention;
6 is a detailed view of the sealing member of the body and the engaging portion of the present invention,
7 is an operational view showing a structure in which a body and a disk are closely contacted by the operation of the sealing plate of the present invention.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 진공 게이트밸브(2)는 진공챔버와 진공펌프, 진공챔버간 또는 외기 사이에 설치되어 진공챔버의 진공상태를 유지하도록하는 것이다.The vacuum gate valve (2) of the present invention is provided between a vacuum chamber and a vacuum pump, between a vacuum chamber or outside air to maintain the vacuum chamber in a vacuum state.

본 발명의 설명에 앞서, 진공 게이트밸브(2)의 구성 중 일반적으로 통용되는 기술 사상에 관해서는 설명을 생략하기로 한다.Prior to the description of the present invention, the description of the technical concept generally used in the construction of the vacuum gate valve 2 will be omitted.

도 1a 내지 도 1b는 본 발명의 실시 예에 따른 진공 게이트밸브(2)의 사시도이고, 도 2는 이의 분해도이다.1A and 1B are perspective views of a vacuum gate valve 2 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an exploded view thereof.

본 발명의 진공 게이트밸브(2)는 몸체(4)와, 몸체(4) 내측에 설치되는 실링플레이트(6)와, 상기 실링플레이트(6)를 작동시키는 작동부(10)와, 상기 실링플레이트(6)와 결합되어 유체통로(36)를 밀폐시키는 디스크(8)와, 몸체(4) 양측에 구비되어 진공챔버와 진공펌프를 체결하는 결합부(38)로 구성할 수 있다.A vacuum gate valve (2) of the present invention comprises a body (4), a sealing plate (6) provided inside the body (4), an operating part (10) for operating the sealing plate (6) A disk 8 that is coupled to the body 6 to seal the fluid passage 36 and a coupling portion 38 that is provided on both sides of the body 4 and that connects the vacuum chamber and the vacuum pump.

일반적인 진공 게이트밸브(2)는 진공챔버와 진공펌프, 진공챔버간 또는 외기 사이에 진공 게이트밸브(2)를 설치하기 위해 진공 게이트밸브(2)와 플랜지를 용접하여 고정하는 것이 일반적이나, 본 발명에서는 진공 게이트밸브(2)의 결합부(38)를 용접이 아닌 볼트체결에 의한 탈부착이 가능하게 고정함에 따라 결합부(38)의 교체만으로 다양한 기종의 진공장치에 진공 게이트밸브(2)를 적용하여 설치할 수 있다.In general, the vacuum gate valve 2 is generally fixed by welding the vacuum gate valve 2 and the flange to install the vacuum gate valve 2 between the vacuum chamber and the vacuum pump, between the vacuum chamber and the outside air, The vacuum gate valve 2 is applied to vacuum apparatuses of various types only by replacing the coupling unit 38 by fixing the coupling unit 38 of the vacuum gate valve 2 so as to be detachable and attachable by bolting rather than welding .

즉, 진공 게이트밸브(2)를 설치하기 위해 진공장치의 타입(예를 들면, 공기가 유입, 유출되는 통로의 직경)에 맞는 결합부(38)를 구비하여 진공 게이트밸브(2)의 양측에서 볼트체결함으로써 다양한 종류의 진공장치를 하나의 진공 게이트밸브(2)로 적용하는 것이 가능하게 된다.That is, the vacuum gate valve 2 is provided with a coupling portion 38 that matches the type of the vacuum device (for example, the diameter of the passage through which the air flows in and out) It becomes possible to apply various types of vacuum devices as one vacuum gate valve 2 by bolting.

또한, 종래의 진공 게이트밸브(2)는 용접으로 제작함에 따라 용접이 용이한 스테인레스(Stainless) 소재를 사용하는 것이었으나, 본 발명의 진공 게이트밸브(2)는 상기에서 설명한 바와 같이 용접으로 제작하는 것이 아님에 따라 알루미늄 소재를 사용하여 진공 게이트밸브(2)의 무게를 줄일 수 있다.Although the conventional vacuum gate valve 2 is made of stainless steel which is easily welded by welding, the vacuum gate valve 2 of the present invention is manufactured by welding as described above It is possible to reduce the weight of the vacuum gate valve 2 by using an aluminum material.

본 발명은 진공 게이트밸브(2)는 몸체(4) 양측의 결합부(38)를 각각 볼트체결하여 결합함에 따라 결합면에 실링부재(40)를 구비하여 밀폐시키는 것도 가능하다.In the present invention, the vacuum gate valve 2 can be sealed by providing a sealing member 40 on the coupling surface by bolt-fastening the coupling portions 38 on both sides of the body 4, respectively.

도 6을 참조하면, 결합면의 몸체(4) 측은 '

Figure 112014094493918-pat00001
' 형태로 홈을 형성하고 결합부(38)에는 '
Figure 112014094493918-pat00002
' 형태의 돌출부를 형성하여 상기 홈과 돌출부의 맞춤위치에 '
Figure 112014094493918-pat00003
' 실링부재(40)를 구비하여서 유체가 외부로 누설되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.Referring to Fig. 6, the side of the body 4 of the coupling surface is referred to as "
Figure 112014094493918-pat00001
', And the engaging portion 38 is formed with a groove'
Figure 112014094493918-pat00002
Quot; shaped < / RTI > to form a "
Figure 112014094493918-pat00003
'The sealing member 40 is provided to effectively prevent the fluid from leaking to the outside.

본 발명의 몸체(4) 내측에는 실링플레이트(6)가 슬라이딩 작동할 수 있는 공간을 형성하고, 몸체(4)의 하측에는 유체가 유입, 유출되는 유체통로(36)를 형성하며, 상기 유체통로(36)를 개폐하여 진공챔버의 진공도를 유지할 수 있는 실링플레이트(6)가 몸체(4) 내측에 설치된다.A sealing plate 6 is formed on the inside of the body 4 according to the present invention and a fluid passage 36 is formed on the lower side of the body 4 to allow the fluid to flow in and out. A sealing plate 6 is provided inside the body 4 to open and close the vacuum chamber 36 to maintain the degree of vacuum of the vacuum chamber.

상기 실링플레이트(6)는 공기를 배출시키는 통로를 직선운동으로 가로질러 개폐시키며, 실링플레이트(6)의 직선운동으로 통로를 폐쇄하여 유체통로(36)로의 공기흐름을 차단함으로써 진공챔버의 진공도를 유지한다. 좀 더 상세히는 실링플레이트(6)의 직선운동으로 인해 디스크(8)가 함께 작동하면서 디스크(8)상의 실링부재가 몸체(4) 내면에 밀착되어 통로를 차단하는 것이다.The sealing plate 6 opens and closes a passage for discharging air across a linear motion and blocks the air flow to the fluid passage 36 by closing the passage by linear movement of the sealing plate 6, . More specifically, the linear movement of the sealing plate 6 causes the disc 8 to cooperate with one another, so that the sealing member on the disc 8 is in close contact with the inner surface of the body 4 to block the passage.

본 발명에서는 실링플레이트(6)를 직선운동시켜 통로를 개폐하기 위한 작동부(10)를 구비할 수 있다.In the present invention, it is possible to provide an actuating part 10 for linearly moving the sealing plate 6 to open and close the passage.

본 발명의 실시 예로서 작동부(10)를 몸체(4) 후면 상단에 배치할 수 있으며, 필요에 따라 작동부(10)의 설치위치는 변경될 수 있다.The operation portion 10 may be disposed at the upper rear surface of the body 4 as an embodiment of the present invention, and the installation position of the operation portion 10 may be changed if necessary.

상기 작동부(10)는 실린더(12)와, 실린더(12)에 설치된 실린더축(14)의 왕복직선운동을 회전운동으로 변환하는 작동기어부(18)와, 상기 작동기어부(18)의 회전운동으로 회전하는 회전축(24)으로 구성할 수 있다.The operation unit 10 includes a cylinder 12, an actuator unit 18 that converts the reciprocating linear motion of the cylinder shaft 14 provided in the cylinder 12 into rotational motion, As shown in Fig.

본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 실린더(12)는 몸체(4) 후면에 설치됨에 따라 몸체(4)의 크기 범위를 벗어나도록 돌출되게 설치되지 않아 진공 게이트벨브의 전체 크기가 축소될 수 있어 설치가 용이해진다.Since the cylinder 12 according to the preferred embodiment of the present invention is installed on the rear surface of the body 4 so as not to protrude beyond the size range of the body 4, the overall size of the vacuum gate valve can be reduced, It becomes easy.

직선방향으로 왕복운동하는 실런더축에는 실린더(12)의 왕복직선운동에 의해 회전운동하는 작동기어부(18)가 설치될 수 있다.An actuator unit 18 that rotates due to the reciprocating linear motion of the cylinder 12 may be installed in the cylinder rod that reciprocates in a linear direction.

상기 작동기어부(18)는 실린더축(14)과 함께 직선운동하는 레크기어(20)와, 레크기어(20)의 직선운동에 의해 회전하는 피니언기어(22)로 구성할 수 있으며, 피니언기어(22)의 일측에는 피니언기어(22)와 함께 회전하는 회전축(24)을 설치할 수 있다.The actuator unit 18 may be constituted by a recoil gear 20 which linearly moves together with the cylinder shaft 14 and a pinion gear 22 which is rotated by rectilinear motion of the recoil gear 20, 22 may be provided at one side thereof with a rotating shaft 24 rotating together with the pinion gear 22.

회전축(24)의 일측은 피니언기어(22)에 고정설치되며, 타측은 후술하는 스윙작동바(26)가 고정설치된다.One side of the rotary shaft 24 is fixed to the pinion gear 22 and the other side is fixedly provided with a swing operation bar 26 to be described later.

본 발명에서는 작동부(10)에 의해 실링플레이트(6)를 작동시켜 유체가 이동하는 통로를 개폐하는 것이며, 상세하게는 실링플레이트(6)에 설치되어 실링플레이트(6)와 함께 작동하는 디스크(8)에 의해 유체의 흐름을 개폐한다.In the present invention, the sealing plate 6 is operated by the operating part 10 to open and close the passage through which the fluid moves. More specifically, the sealing plate 6 is provided with a disk 8 to open or close the flow of the fluid.

상기 디스크(8)는 실링플레이트(6)의 일면에 설치되어 실링플레이트(6)의 작동에 의해 유체가 흐르는 통로를 개폐하게 된다.The disk 8 is installed on one side of the sealing plate 6 and opens and closes the passage through which the fluid flows by the operation of the sealing plate 6.

본 발명에서는 실린더(12)에 의해 작동기어부(18)를 단일링크 동작으로 작동시켜 실링플레이트(6)를 이송하여 유체통로(36)를 개폐함에 따라 통상의 다중링크 연결에 의해 작동하는 것에 비해 개폐속도가 빠르며, 이는 진공챔버나 진공펌프의 이상시 진공챔버와 진공펌프를 빠르게 격리시킬 수 있어 급속한 외부 공기유입에 의한 진공챔버와 진공펌프의 파손을 방지할 수 있다.
In the present invention, as the actuating member 18 is operated by the cylinder 12 in the single link operation and the sealing plate 6 is transported by the cylinder 12 to open and close the fluid passage 36, The speed of the vacuum chamber and the vacuum pump can be quickly detached from the vacuum chamber or the vacuum pump in the event of an abnormality of the vacuum chamber or the vacuum pump, thereby preventing damage to the vacuum chamber and the vacuum pump due to the rapid external air inflow.

이하에서는 도 3a 내지 도 5b를 참조하여 작동부(10)에 의해 실링플레이트(6)를 작동시켜 유체통로(36)를 개폐하는 작동과정을 설명한다.Hereinafter, the operation of opening and closing the fluid passage 36 by operating the sealing plate 6 by the operating portion 10 will be described with reference to FIGS. 3A to 5B.

도 3a 내지 도 5b는 본 발명이 진공 게이트밸브(2)에 의해 유체통로(36)를 차단하도록 디스크(8)를 작동시킨 후 몸체(4) 내측에 밀착시키는 작동과정을 보여주는 것이다.Figs. 3A to 5B show an operation process in which the present invention operates the disk 8 to block the fluid passage 36 by the vacuum gate valve 2, and then the disk 8 is brought into close contact with the inside of the body 4. Fig.

도 3a 내지 도 3b는 본 발명의 진공 게이트밸브(2)에 의해 유체통로(36)를 차단하지 않은상태를 나타낸다.3A and 3B show a state in which the fluid passage 36 is not blocked by the vacuum gate valve 2 of the present invention.

유체통로(36)가 개방된 상태에서는 디스크(8)가 설치된 실링플레이트(6)에 의해 유체통로(36)를 차단하지 않아 자유로운 공기의 흐름이 발생한다.When the fluid passage 36 is opened, the fluid passage 36 is not blocked by the sealing plate 6 provided with the disk 8, so that a free air flow is generated.

도 4a 내지 4b는 실린더(12)에 의해 작동기어부(18)를 작동시켜 회전축(24)이 회전함에 따라 스윙작동바(26)가 회전하여 실링플레이트(6)를 이동시켜 실링플레이트(6)에 설치된 디스크(8)가 유체통로(36)를 폐쇄하는 위치에 놓이도록 함으로써 유체의 흐름을 차단하는 작동구성을 나타낸다.4A and 4B show a state in which the actuating unit 18 is operated by the cylinder 12 so that the swing operation bar 26 rotates as the rotation shaft 24 rotates to move the sealing plate 6 to the sealing plate 6 Shows an operating configuration in which the installed disk 8 is placed in a position to close the fluid passage 36 to shut off the flow of the fluid.

이를 좀더 상세히 설명하면, 실린더축(14)이 직선운동함에 따라 체결부재(16)로 고정된 레크기어(20)가 함께 직선운동하며, 레크기어(20)와 맞물린 피니언기어(22)는 레크기어(20)의 직선운동을 회전운동으로 변환한다. 회전운동하는 피니언기어(22)의 일측에는 회전축(24)이 고정설치되어 있어 피니언기어(22)와 함께 회전축(24)이 회전하게 되며, 이때 회전축(24)에 고정된 스윙작동바(26)가 회전축(24)과 함께 회전한다. As the cylinder shaft 14 linearly moves, the recoil gear 20 fixed by the engaging member 16 linearly moves together with the pinion gear 22 engaged with the recoil gear 20, (20) into a rotational motion. A rotary shaft 24 is fixed to one side of the rotary pinion gear 22 so that the rotary shaft 24 rotates together with the pinion gear 22. A swing operation bar 26 fixed to the rotary shaft 24 at this time, Rotates together with the rotation shaft 24.

스윙작동바(26)의 타단은 실링플레이트(6)에 형성된 작동공간부(28) 상에서 이동하는 이송부(34)가 설치되어 있어 스윙작동바(26)가 회전함에 따라 상기 이송부(34)가 작동공간부(28) 상에서 슬라이딩 이동하면서 실링플레이트(6)를 밀어내어 통로를 폐쇄하게 된다.The other end of the swinging operation bar 26 is provided with a transferring part 34 which moves on the operating space part 28 formed in the sealing plate 6 so that the transferring part 34 is operated as the swinging operation bar 26 rotates The sealing plate 6 is pushed out while sliding on the space portion 28 to close the passageway.

이때, 실링플레이트(6)의 일측에는 디스크(8)가 구비되며, 상기 디스크(8)가 유체통로(36)를 폐쇄하는 위치에 놓이게 된다. 즉, 실링플레이트(6)의 작동에 의해 실제 유체통로(36)의 유체흐름을 차단하는 것은 디스크(8)가 될 수 있다.At this time, a disk 8 is provided at one side of the sealing plate 6, and the disk 8 is placed at a position where the fluid passage 36 is closed. That is, it is possible to block the fluid flow of the actual fluid passage 36 by the operation of the sealing plate 6, which may be the disk 8.

상기 이송부(34)는 베어링일 수 있다.The transfer unit 34 may be a bearing.

스윙작동바(26)에 의해 작동하는 실링플레이트(6)는 몸체(4) 내측에서 직선방향으로 이동할 수 있도록 다수의 실링플레이트 가이드부(30)가 설치될 수 있다.The sealing plate 6 operated by the swing operation bar 26 may be provided with a plurality of sealing plate guide portions 30 so as to move in a linear direction inside the body 4. [

본 발명의 실시 예에서는 실링플레이트 가이드부(30)를 실링플레이트(6)의 진행방향을 기준으로 상하좌우로의 움직임을 안내할 수 있도록 설치하는 것이 바람직하며, 더 바람직하게는 실링플레이트(6)의 각 모서리에 설치방향이 직교하도록 2개의 실링플레이트 가이드부(30)를 설치하여 실링플레이트(6)의 작동을 안내한다.
In the embodiment of the present invention, it is preferable that the sealing plate guide portion 30 is installed so as to guide upward, downward, leftward, and rightward movement based on the advancing direction of the sealing plate 6, Two sealing plate guide portions 30 are provided to guide the operation of the sealing plate 6 so that the mounting direction is orthogonal to each corner.

도 5a 내지 도 5b는 실링플레이트(6)에 의해 유체통로(36)의 공기 흐름을 완전히 차단한 상태를 보여주는 것이다.Figs. 5A and 5B show a state in which the air flow of the fluid passage 36 is completely blocked by the sealing plate 6. Fig.

본 발명의 진공 게이트밸브(2)는 도 4a 내지 도 4b에서와 같이 실링플레이트(6)의 디스크(8)에 의해 유체통로(36)로의 유체흐름을 차단한 후, 진공챔버의 진공도유지를 위해 실링플레이트(6)를 몸체(4) 내측면에 밀착시킨다.The vacuum gate valve 2 of the present invention is designed to block the flow of fluid to the fluid passageway 36 by the disc 8 of the sealing plate 6 as in Figures 4a to 4b and then to maintain the vacuum of the vacuum chamber The sealing plate 6 is brought into close contact with the inner surface of the body 4.

이를 설명하면, 본 발명의 실링플레이트(6) 하부에는 몸체(4) 내측과의 밀착을 위한 실링지지부(32)가 설치되어 있으며, 작동부(10)에 의해 스윙작동바(26)를 회전시켜 실링플레이트(6)를 작동방향으로 가압하여 몸체(4) 내측면과 완전히 맞닿도록 밀착시켜 유체통로(36)를 완전히 밀폐시키게 된다.A sealing support portion 32 for closely contacting the inside of the body 4 is provided under the sealing plate 6 of the present invention and the swing operation bar 26 is rotated by the operating portion 10 The sealing plate 6 is pressed in the operating direction and brought into close contact with the inner side surface of the body 4 to completely seal the fluid passage 36. [

실링플레이트(6)의 밀착상태에서 디스크(8)는 실링플레이트(6)와 함께 이동하지 않고 유체통로(36)를 폐쇄시킨 상태를 유지하며, 실링지지부(32)가 몸체(4) 내측에 맞닿아 있는 상태에서 작동부(10)에 의해 실링플레이트(6)를 더 작동시켜 몸체(4) 내측과 실링플레이트(6)가 완전히 밀착되게 한다.The disk 8 does not move together with the sealing plate 6 and keeps the fluid passage 36 closed while the sealing support portion 32 is in contact with the inside of the body 4 The sealing plate 6 is further actuated by the operation part 10 so that the inside of the body 4 and the sealing plate 6 are brought into tight contact with each other.

실링플레이트(6)의 밀착에 의해 디스크(8)를 밀어내게 되며, 그에 따라 몸체(4)와 디스크(8)가 밀착되면서 유체의 흐름을 차단하도록 실링하여 유체통로(36)를 완전히 밀폐시켜 진공챔버의 진공상태를 유지할 수 있다.The disk 8 is pushed by the sealing plate 6 so that the body 4 and the disk 8 come into close contact with each other to seal the flow of the fluid so as to seal the fluid passage 36 completely, The vacuum state of the chamber can be maintained.

도 7을 참조하여 디스크(8)에 의한 유체통로(36)를 밀폐하는 작동 구성을 설명하면, 실링플레이트(6)와 디스크(8) 사이에는 홈을 형성하여 이격부재(42)가 위치하게 된다. 7, a description will be made of an operating structure for sealing the fluid passage 36 by the disk 8. A groove is formed between the sealing plate 6 and the disk 8 to position the spacing member 42 .

실링플레이트(6)가 몸체(4) 내측에 닿으면 디스크(8)는 이동하지 않은 상태에서 도 7의 (a)와 같이 홈에 위치하는 이격부재(42)가 실링플레이트(6)의 이동에 의해 도 7의 (b)와 같이 홈을 벗어나면서 실링플레이트(6)와 디스크(8) 사이의 간격이 발생하여 디스크(8)를 밀어내게 되며, 밀려난 디스크(8)는 몸체(4) 내부와 밀착되어 실링상태를 유지하게 된다.7 (a), when the sealing plate 6 contacts the inside of the body 4, the separating member 42 located in the groove as shown in Fig. 7 (a) is moved to the movement of the sealing plate 6 The gap between the sealing plate 6 and the disc 8 is generated and the disc 8 is pushed out as shown in FIG. 7 (b) So that the sealing state can be maintained.

본 발명의 실시 예에서는 실링플레이트(6)와 디스크(8)를 이격시켜 디스크(8)를 몸체(4)에 밀착되게 하는 볼 형태의 이격부재(42)를 도시하였으나, 이격부재(42)의 형태를 이에 한정하는 것은 아니며 통상의 기술자에 의해 몸체(4)를 디스크(8)에 밀착하기 위한 다양한 실시 예가 적용될 수 있을 것이다.Although the spacer member 42 in the form of a ball for separating the sealing plate 6 and the disk 8 and making the disk 8 come into close contact with the body 4 is shown in the embodiment of the present invention, The present invention is not limited thereto, and various embodiments for bringing the body 4 into close contact with the disk 8 by a person skilled in the art may be applied.

상기 몸체(4)와 디스크(8)의 결합면에는 고무링과 같은 실링부재(미도시)를 구비할 수 있으며, 실링플레이트(6)의 밀착에 의해 디스크(8)가 몸체(4)와 압착되어 실링부재를 통해 밀폐시키는 구성이다.A sealing member (not shown) such as a rubber ring may be provided on the coupling surface between the body 4 and the disk 8 and the disk 8 may be compressed And is sealed through a sealing member.

상기 실링지지부(32)는 실링플레이트(6)에 의해 디스크(8)를 이동시켜 유체통로(36)을 차단하기 위해 디스크(8)를 유체통로(36)상에 위치하도록 하기 위한 스토퍼역할을 하게 되며, 실링지지부(32)가 몸체(4)와 맞닿은 후 실린더(12)에 의해 실링플레이트(6)를 더 작동시켜 내측에 설치된 판 스프링에 의해 디스크(8)를 몸체(4) 내부와 밀착시키게 된다.The sealing support portion 32 serves as a stopper for positioning the disc 8 on the fluid passage 36 to move the disc 8 by the sealing plate 6 to block the fluid passage 36 After the sealing support portion 32 abuts against the body 4, the sealing plate 6 is further actuated by the cylinder 12 so that the disk 8 is brought into close contact with the inside of the body 4 by the leaf spring provided inside do.

본 발명에서는 실링플레이트(6)의 작동에 의해 유체통로(36)를 차단하는 것을 단계적으로 설명하였으나, 이는 본 발명의 실시 예를 설명하기 위한 것이며 유체통로(36)를 개폐하는 작동구성은 일련의 과정으로 이루어짐을 이해하여야 할 것이다. 또한, 상기의 설명의 역순으로 작동하면 유체통로(36)를 개방하는 작동을 하게 됨은 당연하다.Although the sealing of the fluid passage 36 by the actuation of the sealing plate 6 has been described step by step in the present invention, this is for the purpose of describing the embodiment of the present invention, and the operating configuration for opening and closing the fluid passage 36 is a series of It should be understood that the process consists of. In addition, it is natural that operation in the reverse order of the above description is performed to open the fluid passage 36.

상기에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 진공 게이트밸브(2)의 크기를 소형화할 수 있고, 실린더(12)에 의한 단일링크 작동과 빠른 회전력으로 디스크(8)의 개폐속도가 증가하여 응급상황시 유체통로(36)를 즉시 개폐하는 것이 가능하며, 진공 게이트밸브(2)에 교체가능한 결합부(38)를 볼트체결하여 진공챔버와 진공펌프, 진공챔버간 또는 외기 사이에 결합할 수 있어 결합부(38)의 교체만으로 다양한 진공장치 기종에 적용이 가능한 효과가 있다.
As described above, the present invention can miniaturize the size of the vacuum gate valve 2, increase the opening and closing speed of the disk 8 by a single link operation by the cylinder 12 and a fast turning force, It is possible to immediately open and close the passage 36 and to engage with the vacuum chamber and the vacuum pump or between the vacuum chamber or the outside air by bolting the replaceable engaging portion 38 to the vacuum gate valve 2, 38) can be applied to various types of vacuum apparatus.

상술한 본 발명의 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 여러 가지 변형이 본 발명의 범위에서 벗어나지 않고 실시할 수 있다. 따라서 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위 및 그 특허청구범위와 균등한 것에 의해 정해져야 한다.
While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments. Therefore, the scope of the present invention should not be limited by the described embodiments but should be determined by the equivalents of the claims and the claims.

(2)-- 진공 게이트밸브 (4)-- 몸체
(6)-- 실링플레이트 (8)-- 디스크
(10)-- 작동부 (12)-- 실린더
(14)-- 실린더축 (16)-- 체결부재
(18)-- 작동기어부 (20)-- 레크기어
(22)-- 피니언기어 (24)-- 회전축
(26)-- 스윙작동바 (28)-- 작동공간부
(30)-- 실링플레이트 가이드부 (32)-- 실링지지부
(34)-- 이송부 (36)-- 유체통로
(38)-- 결합부 (40)-- 실링부재
(42)-- 이격부재(2) - Vacuum gate valve (4) - Body
(6) - Sealing plate (8) - Disc
(10) - actuating part (12) - cylinder
(14) - cylinder shaft (16) - fastening member
(18) - Actuator (20) - Leak gear
(22) - pinion gear (24) - rotating shaft
(26) - swing operation bar (28) - operating space portion
(30) -shielding plate guide portion (32) -shaping support portion
(34) -Transporting section (36) -Fluid passage
(38) - engaging portion (40) - sealing member
(42) - spacing member

Claims (9)

진공 게이트밸브에 있어서,
내측에 수직방향으로 슬라이딩 공간이 형성된 몸체(4)와, 몸체(4)의 내측에는 직선방향으로 슬라이딩 작동하는 실링플레이트(6)를 구성하고, 실링플레이트(6)의 일측에는 실링플레이트(6)의 작동에 의해 유체통로(36)를 개폐하는 디스크(8)를 설치하며, 몸체(4) 외면의 일측에는 실링플레이트(6)를 직선방향으로 작동시켜 유체통로(36)를 개폐시키는 작동부(10)를 구성하되, 상기 작동부(10)는 왕복직선운동하는 실린더(12)와, 실린더(12)의 직선운동을 정역 회전운동으로 변환하여 실링플레이트(6)를 작동시키는 작동기어부(18)와, 실린더(12)의 직선운동을 작동기어부(18)에 전달하기 위해 고정하는 체결부재(16)와, 작동기어부(18)와 함께 회전하는 회전축(24)에 의해 정역회전하면서 단일링크 동작으로 실링플레이트(6)를 작동시키는 스윙작동바(26)로 구성하며, 몸체(4)의 양측에는 볼트체결에 의해 몸체(4)와 결합되어 진공장치와 체결되는 결합부(38)를 구성하여서, 볼트체결된 결합부(38)를 교체하여 이종의 진공장치에 진공 게이트밸브(2)를 설치하도록 구성함을 특징으로 하는 다양한 형태의 진공장치에 설치가 가능한 진공 게이트밸브.
In the vacuum gate valve,
And a sealing plate 6 sliding in a linear direction is formed inside the body 4. A sealing plate 6 is formed on one side of the sealing plate 6, An operation part for opening and closing the fluid passage 36 is provided at one side of the outer surface of the body 4 by operating the sealing plate 6 in a linear direction so as to open and close the fluid passage 36 And an actuator unit 18 for converting the linear motion of the cylinder 12 into a normal and rotational motion and operating the sealing plate 6. The actuator 12 includes a cylinder 12, A fastening member 16 for fastening the linear movement of the cylinder 12 to transmit the linear movement of the cylinder 12 to the actuator unit 18 and a rotary shaft 24 rotating together with the actuator unit 18, And a swing operation bar (26) for operating the sealing plate (6). The body 4 are coupled to the body 4 by bolts to constitute an engaging portion 38 to be fastened to the vacuum device so as to replace the bolted engaging portion 38 and to connect the vacuum gate valve 2). The vacuum gate valve according to any one of claims 1 to 3,
삭제delete 제1항에 있어서,
작동기어부(18)는 레크,피니언기어(20)(22)인 것을 특징으로 하는 다양한 형태의 진공장치에 설치가 가능한 진공 게이트밸브.
The method according to claim 1,
Characterized in that the actuating member (18) is a recoil, pinion gear (20) (22).
제1항에 있어서,
실링플레이트(6) 외측에는 몸체(4) 내에서 슬라이딩 작동하는 실링플레이트(6)의 이송을 안내하는 하나 이상의 실링플레이트 가이드부(30)를 구비함을 특징으로 하는 다양한 형태의 진공장치에 설치가 가능한 진공 게이트밸브.
The method according to claim 1,
Characterized in that at least one sealing plate guide part (30) is provided outside the sealing plate (6) for guiding the transfer of the sealing plate (6) sliding in the body (4) Possible vacuum gate valve.
진공 게이트밸브에 있어서,
내측에 수직방향으로 슬라이딩 공간이 형성된 몸체(4)와, 몸체(4)의 내측에는 직선방향으로 슬라이딩 작동하는 실링플레이트(6)를 구성하되, 상기 실링플레이트(6) 하부에는 디스크(8)가 유체통로(36) 상에 위치하도록 스토퍼 역할을 하는 실링지지부(32)를 구비하고, 실링플레이트(6)의 일측에는 실링플레이트(6)의 작동에 의해 유체통로(36)를 개폐하는 디스크(8)를 설치하며, 몸체(4) 외면의 일측에는 실링플레이트(6)를 직선방향으로 작동시켜 유체통로(36)를 개폐시키는 작동부(10)를 구성하며, 몸체(4)의 양측에는 볼트체결에 의해 몸체(4)와 결합되어 진공장치와 체결되는 결합부(38)를 구성하여서, 볼트체결된 결합부(38)를 교체하여 이종의 진공장치에 진공 게이트밸브(2)를 설치하도록 구성함을 특징으로 하는 다양한 형태의 진공장치에 설치가 가능한 진공 게이트밸브.
In the vacuum gate valve,
A body 4 formed with a sliding space in a vertical direction inside the body 4 and a sealing plate 6 slidably acting in a linear direction inside the body 4. A disk 8 is provided below the sealing plate 6 And a seal supporting portion 32 serving as a stopper for positioning on the fluid passage 36. A disk 8 for opening and closing the fluid passage 36 by the operation of the sealing plate 6 is provided at one side of the sealing plate 6, And an actuating part 10 for opening and closing the fluid passage 36 by operating the sealing plate 6 in a linear direction is formed at one side of the outer surface of the body 4. Bolts are fastened to both sides of the body 4, The vacuum gate valve 2 is configured to be installed in a different type of vacuum apparatus by replacing the bolted coupling unit 38 by forming a coupling unit 38 which is coupled to the body 4 by the vacuum pump Which can be installed in various types of vacuum apparatuses Sites valve.
진공 게이트밸브에 있어서,
내측에 수직방향으로 슬라이딩 공간이 형성된 몸체(4)와, 몸체(4)의 내측에는 직선방향으로 슬라이딩 작동하는 실링플레이트(6)를 구성하되, 상기 실링플레이트(6)에는 정역회전하는 스윙작동바(26)에 설치된 이송부(34)가 슬라이딩 이동하는 작동공간부(28)를 형성하고, 실링플레이트(6)의 일측에는 실링플레이트(6)의 작동에 의해 유체통로(36)를 개폐하는 디스크(8)를 설치하며, 몸체(4) 외면의 일측에는 실링플레이트(6)를 직선방향으로 작동시켜 유체통로(36)를 개폐시키는 작동부(10)를 구성하며, 몸체(4)의 양측에는 볼트체결에 의해 몸체(4)와 결합되어 진공장치와 체결되는 결합부(38)를 구성하여서, 볼트체결된 결합부(38)를 교체하여 이종의 진공장치에 진공 게이트밸브(2)를 설치하도록 구성함을 특징으로 하는 다양한 형태의 진공장치에 설치가 가능한 진공 게이트밸브.
In the vacuum gate valve,
And a sealing plate 6 slidably acting in a linear direction on the inside of the body 4. The sealing plate 6 is provided with a swing operation bar And a seal plate 6 is provided at one side of the seal plate 6 to open and close the fluid passage 36 The body 4 is provided at one side thereof with an operating portion 10 for actuating the sealing plate 6 in a linear direction to open and close the fluid passage 36. On both sides of the body 4, A coupling portion 38 to be coupled with the vacuum device by being coupled with the body 4 is formed by fastening so that the vacuum gate valve 2 is installed in a different type of vacuum device by replacing the bolted coupling portion 38 Which can be installed in various types of vacuum devices, Ball gate valve.
제1항, 제3항, 제4항, 제5항, 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
몸체(4)와 결합부(38) 사이에는 실링부재(40)가 구비되는 것을 특징으로 하는 다양한 형태의 진공장치에 설치가 가능한 진공 게이트밸브.
The method according to any one of claims 1, 3, 4, 5, and 6,
Characterized in that a sealing member (40) is provided between the body (4) and the engaging portion (38).
제7항에 있어서,
실링부재(40)는 '
Figure 112014094493918-pat00004
'형태인 것을 특징으로 하는 다양한 형태의 진공장치에 설치가 가능한 진공 게이트밸브.
8. The method of claim 7,
The sealing member 40 is a "
Figure 112014094493918-pat00004
≪ RTI ID = 0.0 > a < / RTI > vacuum device.
제1항, 제3항, 제4항, 제5항, 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
몸체(4)는 알루미늄 소재인 것을 특징으로 하는 다양한 형태의 진공장치에 설치가 가능한 진공 게이트밸브.
The method according to any one of claims 1, 3, 4, 5, and 6,
Characterized in that the body (4) is made of aluminum material.
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