KR101475337B1

KR101475337B1 - 토크 센서부를 포함하는 밸브 액추에이터 장치

Info

Publication number: KR101475337B1
Application number: KR1020140047566A
Authority: KR
Inventors: 강두화; 이영준
Original assignee: (주)에너토크
Priority date: 2014-04-21
Filing date: 2014-04-21
Publication date: 2014-12-22
Also published as: KR20140061338A

Abstract

본 발명의 밸브 액추에이터 장치는 구동력을 발생하며 모터 축을 구비하는 모터, 밸브에 연결되는 종동 축, 상기 모터 축과 상기 종동 축을 연결하는 중간 축에 설치되며, 상기 중간 축에 작용하는 스러스트 하중을 측정하는 토크 센서부를 포함할 수 있다.

Description

토크 센서부를 포함하는 밸브 액추에이터 장치{VALVE ACTUATOR DEVICE INCLUDING TORQUE SENSOR UNIT}

본 발명은 밸브를 동작시키는 밸브 액추에이터에 관한 것으로서, 구체적으로 토크 센서부를 포함하는 밸브 액추에이터에 관한 것이다.

밸브 액추에이터는 정상 운전시 모터나 유압에 의하여 동작되고 비상 운전시 사람의 힘으로도 동작시킬 수 있는 것으로서, 밸브에 구동력을 제공하여 밸브를 개폐하는 장치이다.

종래의 밸브 액추에이터는 모터 축 또는 중간 축에 작용하는 부하를 측정하는 토크 센서부가 장착되지 않아서, 밸브 액추에이터에 작용하는 부하를 피드백받아 능동적으로 밸브 액추에이터의 구동을 제어하기 힘든 문제점이 있었다.

토크 센서부가 장착되지 않은 경우, 밸브 액추에이터의 동작을 자동화하거나 원격 통신에 의하여 스마트 제어되는 밸브 액추에이터를 제공할 수 없다.

한국공개특허공보 제10-2013-0018162호에는 밸브 액추에이터에 대한 기술이 개시되고 있다.

한국공개특허공보 제10-2013-0018162호

본 발명은 토크 센서부가 장착되는 밸브 액추에이터를 제공한다. 따라서, 종동 축에서 밸브 액추에이터의 내부로 유입되는 외부 부하를 측정할 수 있고, 밸브 액추에이터에 과부하가 작용되는지 여부를 모니터링할 수 있으며, 밸브가 상사점 또는 하사점에 도달하였는지 여부를 모터 축 또는 중간 축에 작용되는 가해지는 토크를 측정함으로써 판단할 수 있다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

일 실시예로서, 본 발명의 밸브 액추에이터 장치는, 구동력을 발생하며, 모터 축을 구비하는 모터; 밸브에 연결되는 종동 축; 상기 모터 축과 상기 종동 축을 연결하는 중간 축에 설치되며, 상기 중간 축에 작용하는 스러스트 하중을 측정하는 토크 센서부; 를 포함한다.

일 실시예로서, 상기 토크 센서부는, 축 방향으로 가해지는 상기 스러스트 하중을 압력으로 변환하는 압력 변환 수단과, 상기 압력을 측정하는 센서를 포함한다.

일 실시예로서, 상기 압력 변환 수단은 상기 센서가 장착되는 압축 부재와, 상기 압축 부재 및 상기 센서를 가압하는 탄성 부재를 포함하며, 상기 센서는 상기 압축 부재와 상기 탄성 부재 사이에 개재되고, 상기 탄성 부재는 상기 압축 부재 및 상기 하우징 사이에 개재된다.

일 실시예로서, 상기 토크 센서부는, 상기 중간 축에 정방향 하중 또는 역방향 하중으로 작용하는 스러스트 하중을 압력으로 변환하는 압력 변환 수단과 상기 압력을 측정하는 센서를 포함하고, 상기 센서는 상기 정방향 하중을 측정하는 제1 센서와 상기 역방향 하중을 측정하는 제2 센서를 포함하며, 상기 압력 변환 수단은 압축 부재 및 탄성 부재를 포함하고, 상기 압축 부재는 상기 제1 센서가 장착되는 제1 압축 부재와 상기 제2 센서가 장착되는 제2 압축 부재를 포함하며, 상기 탄성 부재는 상기 제1 압축 부재 및 상기 제1 센서를 가압하는 제1 탄성 부재와 상기 제2 압축 부재 및 상기 제2 센서를 가압하는 제2 탄성 부재를 포함한다.

일 실시예로서, 상기 제1 센서의 프레임 기능을 하는 상기 제1 센서의 배면은 상기 제1 압축 부재에 형성된 센서 홀에 밀착되고, 상기 제1 센서의 작동면에 해당하는 상기 제1 센서의 전면은 상기 제1 탄성 부재에 밀착되며, 상기 제1 탄성 부재의 일측은 하우징 또는 센서 하우징에 연결되고, 상기 제1 탄성 부재의 타측은 상기 제1 압축 부재 및 상기 제1 센서를 가압한다.

일 실시예로서, 상기 중간 축의 스러스트 하중은 센서 베어링을 통하여 제1 압축 부재에 전달되며, 상기 스러스트 하중에 의하여 상기 제1 압축 부재가 가압되고, 상기 제1 압축 부재에 설치되는 제1 센서는 면적비에 의하여 감쇄된 상기 스러스트 하중을 측정한다.

일 실시예로서, 상기 토크 센서부는 상기 모터의 스테이터 또는 로터에 대면된다.

일 실시예로서, 상기 중간 축의 끝단에 상기 토크 센서부가 설치된다.

일 실시예로서, 상기 중간 축과 상기 모터 축을 축 방향으로는 절연시키고 원주 방향으로는 연결시키는 차단 수단이 마련된다.

종동 축에서 밸브 액추에이터의 내부로 유입되는 외부 부하를 측정할 수 있고, 밸브 액추에이터에 과부하가 작용되는지 여부를 모니터링할 수 있으며, 밸브가 상사점 또는 하사점에 도달하였는지 여부를 모터 축 또는 중간 축에 가해지는 토크를 측정함으로써 판단할 수 있다.

도 1은 본 발명의 토크 센서부를 포함하는 밸브 액추에이터 장치의 외관을 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 토크 센서부를 포함하는 밸브 액추에이터 장치의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 토크 센서부의 일 실시예를 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 토크 센서부의 다른 실시예를 도시한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 토크 센서부의 동작을 모식적으로 도시한 개략 사시도이다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다.

도 1은 본 발명의 토크 센서부(300)를 포함하는 밸브 액추에이터 장치(100)의 외관을 도시한 사시도이다. 도 2는 본 발명의 토크 센서부(300)를 포함하는 밸브 액추에이터 장치(100)의 단면도이다. 도 3은 본 발명의 토크 센서부(300)의 일 실시예를 도시한 단면도이다. 도 4는 본 발명의 토크 센서부(300)의 다른 실시예를 도시한 단면도이다. 도 5는 본 발명의 토크 센서부(300)의 동작을 모식적으로 도시한 개략 사시도이다.

도 1 내지 도 5를 함께 참조하며 본 발명의 토크 센서부(300) 및 이를 장착한 밸브 액추에이터 장치(100)에 대하여 구체적으로 설명한다.

도 1을 참조하면, 밸브 액추에이터는 모터(120)에 의하여 구동력을 제공받고 종동 축(5)을 승강시켜 유체 파이프(3) 내부에서 밸브(10)가 승강되게 할 수 있다. 도시된 예시에 한정되지 않고 종동 축(5)이 회전됨으로써 버터 플라이 형태의 밸브(10)가 회동되는 실시예도 가능하다.

도 2에 도시된 밸브 축(180)은 도 1의 종동 축(5)에 연결되어 밸브 액추에이터에서 제공된 작동력을 종동 축(5)에 전달한다. 도 2에 도시된 밸브 축(180)은 웜 기어(140)에 연결되어 회전하며, 밸브 축(180)의 회전에 따라 종동 축(5)은 회전 또는 승강될 수 있다.

도 2의 모터(120)는 하우징(110) 내부에 설치되며, 하우징(110)에 고정되는 스테이터(128)와 모터 축(122)에 고정되는 로터(127)를 포함한다. 스테이터(128) 및 로터(127) 사이에 작용하는 전자기력에 의하여 모터 축(122)은 구동력을 발생한다.

모터 축(122)은 모터 축 베어링(121)에 의하여 회전 가능하게 하우징(110)에 고정된다. 중간 축(150)은 중간 축 베어링(155)에 의하여 회전 가능하게 하우징(110)에 고정된다. 중간 축(150)에는 웜(130)이 마련되고, 웜(130)은 밸브 축(180)에 마련된 웜 기어(140)에 결합된다. 중간 축(150)은 높은 감속비로 감속되며 밸브 축(180)에 모터(120)의 구동 회전력을 전달한다. 모터(120)가 정지된 경우 핸들(170)의 수동 회전에 의하여 밸브 축(180)이 회전되게 할 수 있다.

한편, 토크 센서부(300)가 장착되는 중간 축(150)과 모터(120)가 설치되는 모터 축(122)을 기구적으로 절연시키는 차단 수단이 마련될 수 있다. 차단 수단은 중간 축(150)과 모터 축(122)을 축 방향으로는 분리시키고 원주 방향으로는 연결한다. 따라서, 모터(120)에서 발생한 회전력은 원주 방향을 따라 중간 축(150)에 손실없이 전달되지만, 중간 축(150)에 작용하는 스러스트 하중은 축방향을 따라 모터 축(122)으로 전달되지 않는다. 이러한 기능은 차단 수단에 의하여 구현된다.

차단 수단은 중간 축(150)에 작용하는 부하로 인하여 중간 축(150)이 스러스트 하중(thrust force)을 받을 때 중간 축(150)에 가해지는 스러스트 하중이 모터 축(122)에 작용하지 않게 절연시킨다.

한편, 외부 부하에 의한 스러스트 하중이 중간 축(150)에 가해지고, 스러스트 하중에 의하여 중간 축(150)이 중간 축 베어링(155) 유격 범위 내에서 미시적으로 거동되며, 미시적 거동과 동일한 양만큼 제1 탄성 부재(331) 또는 제2 탄성 부재(332)가 탄성 변형된다. 토크 센서부(300)에서 측정되는 '토크'는 밸브 축(180)의 부하 토크를 말한다. 밸브 축(180)의 부하 토크는 웜 기어(140) 및 웜(130)에 의하여 중간 축(150)의 스러스트 하중에 대응되는 성분이다.

토크 센서부(300)는 밸브 축(180)의 부하 토크 또는 중간 축(150)의 스러스트 하중을 정확하게 측정할 수 있어야 한다. 정확한 측정이 되려면, 스러스트 하중이 손실되지 않고 100% 만큼 중간 축(150)에 전달되어야 하며, 스러스트 하중에 정확하게 대응되도록 제1 탄성 부재(331) 또는 제2 탄성 부재(332)가 탄성 변형되어야 한다.

중간 축(150)에 가해지는 스러스트 하중이 제1 탄성 부재(331) 또는 제2 탄성 부재(332)로 모두 전달되게 하는 한편 모터(120)에서 발생한 회전력이 손실없이 중간 축(150)으로 전달되게 하려면, 중간 축(150)과 모터 축(122)은 축 방향으로는 절연되고 원주 방향으로는 연결되는 것이 바람직하다. 이를 위하여 차단 수단이 마련될 수 있다.

일 실시예로서, 차단 수단은 모터 축(122) 또는 중간 축(150)에 형성되는 장공(125)과, 장공(125) 사이에 끼워지는 고정 키(160)를 포함한다.

일 실시예로서, 모터 축(122)의 단부(123)에 모터 축 구멍(124)이 형성되고, 모터 축 구멍(124)에 중간 축(150)의 단부(153)가 삽입된다. 중간 축(150)의 단부(153)에 슬리브(sleeve) 결합된 모터 축 구멍(124)에는 축 방향으로 따라 연장되는 장공(125)이 형성되며, 장공(125) 및 중간 축(150)의 단부(153)는 고정 키(160)에 의하여 결합된다. 중간 축(150)은 장공(125)을 따라 축 방향으로는 이동 가능하며, 원주 방향으로는 모터 축(122)에 구속된다.

유체 파이프(3) 내부를 흐르는 유체의 속도가 증가하거나 유체 파이프(3)가 막히면 밸브(10) 및 종동 축(5)에 가해지는 부하가 커지고 밸브 액추에이터에 과부하가 가해지면 밸브 액추에이터의 내부 부품이 파손될 수 있다. 또한, 모터(120) 제어의 정확도를 향상시키기 위하여 밸브(10) 또는 종동 축(5)에 가해지는 외부 부하나, 중간 축(150)에서 밸브(10) 쪽으로 가하는 구동 부하를 정확하게 측정할 필요가 있다.

결국 중간 축(150)에 가해지는 스러스트 하중을 정확하게 측정하여야 한다. 그런데 본 발명과 같이 산업용으로 사용되는 밸브 액추에이터의 경우 스러스트 하중이 너무 크다. 민감도가 높지만 쉽게 파손되고 큰 하중을 측정하기 곤란한 피에조(piezo) 센서를 토크 센서부(300)에 채용하면 피에조 센서가 파손되거나 측정 가능한 값의 제한이 있을 수 있다.

일 실시예로서, 토크 센서부(300)는 밸브 액추에이터 내부에 축 방향으로 가해지는 스러스트 하중을 압력으로 변환하는 압력 변환 수단과, 압력을 측정하는 센서를 포함한다.

압력 변환 수단은 센서가 장착되는 압축 부재와, 압축 부재 및 센서를 가압하는 탄성 부재를 포함한다. 센서는 압축 부재와 탄성 부재 사이에 개재된다. 탄성 부재는 압축 부재 및 하우징(110) 사이에 개재된다.

스러스트 하중은 축 방향을 따라 정방향 하중 또는 역방향 하중으로 작용할 수 있다. 반면에 센서가 피에조 타입인 경우 압축력만 측정할 수 있다.

일 실시예로서, 센서는 정방향 하중을 측정하는 제1 센서(311)와 역방향 하중을 측정하는 제2 센서(312)를 포함한다. 압축 부재는 제1 센서(311)가 장착되는 제1 압축 부재(321)와 제2 센서(312)가 장착되는 제2 압축 부재(322)를 포함할 수 있다. 탄성 부재는 제1 압축 부재(321) 및 제1 센서(311)를 가압하는 제1 탄성 부재(331)와 제2 압축 부재(322) 및 제2 센서(312)를 가압하는 제2 탄성 부재(332)를 포함할 수 있다.

도 5를 참조하면, 제1 센서(311)의 프레임 기능을 하는 제1 센서(311)의 배면은 제1 압축 부재(321)에 형성된 센서 홀(340)에 밀착된다. 제1 센서(311)의 작동면에 해당하는 제1 센서(311)의 전면은 제1 탄성 부재(331)에 밀착된다. 제1 탄성 부재(331)의 일측은 하우징(110) 또는 센서 하우징(350)에 연결되고, 제1 탄성 부재(331)의 타측은 제1 압축 부재(321) 및 제1 센서(311)를 가압한다.

스러스트 하중이 정방향 하중으로 작용할 때, F1을 제1 압축 부재(321) 또는 제1 탄성 부재(331)의 면적 A에 의하여 나눈 면압 F1/A가 제1 압축 부재(321) 또는 제1 탄성 부재(331)의 단위 면적에 작용한다. 제1 센서(311)의 면적 a와 상기 면압 F1/A를 곱한 분력 (F1/A)*a가 제1 센서(311)에서 측정되는 측정력 f1 이다. 제1 압축 부재(321) 또는 제1 탄성 부재(331)의 면적 A보다 제1 센서(311)의 면적 a가 작으므로, 측정력 f1은 정방향 하중 F1보다 작다. 따라서, 스러스트 하중으로서 큰 힘이 작용하더라도, 제1 센서(311)에 작용하는 힘은 스러스트 하중의 분력이 작용하며, 스러스트 하중에 대한 제1 센서(311) 측정력의 감쇄 비율은 제1 센서(311)의 면적에 대한 제1 압축 부재(321) 또는 제1 탄성 부재(331)의 면적 비율에 대응된다.

마찬가지로, 제2 센서(312)의 프레임 기능을 하는 제2 센서(312)의 배면은 제2 압축 부재(322)에 형성된 센서 홀(340)에 밀착된다. 제2 센서(312)의 작동면에 해당하는 제2 센서(312)의 전면은 제2 탄성 부재(332)에 밀착된다. 제2 탄성 부재(332)의 일측은 하우징(110) 또는 센서 하우징(350)에 연결되고, 제2 탄성 부재(332)의 타측은 제2 압축 부재(322) 및 제2 센서(312)를 가압한다.

스러스트 하중이 역방향 하중으로 작용할 때, F2을 제2 압축 부재(322) 또는 제2 탄성 부재(332)의 면적 A에 의하여 나눈 면압 F1/A가 제2 압축 부재(322) 또는 제2 탄성 부재(332)의 단위 면적에 작용한다. 제2 센서(312)의 면적 a와 상기 면압 F2/A를 곱한 분력 (F2/A)*a가 제2 센서(312)에서 측정되는 측정력 f2 이다. 제2 압축 부재(322) 또는 제2 탄성 부재(332)의 면적 A보다 제2 센서(312)의 면적 a가 작으므로, 측정력 f2는 역방향 하중 F2보다 작다. 따라서, 스러스트 하중으로서 큰 힘이 작용하더라도, 제2 센서(312)에 작용하는 힘은 스러스트 하중의 일부만 작용하며, 스러스트 하중에 대한 제2 센서(312) 측정력의 감쇄 비율은 제2 센서(312)의 면적에 대한 제2 압축 부재(322) 또는 제2 탄성 부재(332)의 면적 비율에 대응된다.

따라서, 중간 축(150)에 가해지는 스러스트 하중은 감쇄되어 토크 센서부(300)에 전달된다.

도 3을 참조하면, 토크 센서부(300)의 일 실시예가 도시된다. 중간 축(150)의 스러스트 하중은 센서 베어링(315)을 통하여 제1 압축 부재(321) 또는 제2 압축 부재(322)에 전달된다. 스러스트 하중이 정방향 하중인 경우 제1 압축 부재(321) 및 제1 탄성 부재(331)가 가압되고 제1 센서(311)는 면적비에 의하여 감쇄된 스러스트 하중을 측정한다. 스러스트 하중이 역방향 하중인 경우 제2 압축 부재(322) 및 제2 탄성 부재(332)가 가압되고 제2 센서(312)는 면적비에 의하여 감쇄된 스러스트 하중을 측정한다.

일 실시예로서, 센서 베어링 고정 부재(318)는 센서 베어링 내륜(316)을 중간 축(150)에 연결한다. 센서 베어링 외륜(317)은 제1 압축 부재(321) 또는 제2 압축 부재(322)에 연결된다. 중간 축(150)은 중간 축 베어링(155) 또는 센서 베어링(315)의 유격 범위내에서만 미시적으로 축방향 이동이 허용된다. 스러스트 하중의 작용시 제1 탄성 부재(331) 및 제2 탄성 부재(332)의 탄성 변형량이 중간 축 베어링(155)의 유격 범위 또는 센서 베어링(315)의 유격 범위보다 작도록, 제1 탄성 부재(331) 또는 제2 탄성 부재(332)는 하우징(110)과 제1 압축 부재(321) 사이 또는 하우징(110)과 제2 압축 부재(322) 사이에 설치된다. 중간 축 베어링(155) 또는 센서 베어링(315)의 유격 범위는 '0'에 가까운 극소값이 되며, 중간 축(150)의 축 방향 변위도 '0'에 가까운 극소값이 되고, 토크 센서부(300)는 중간 축(150)의 축방향 변위가 '0'에 가까운 상태에서 충분한 민감도로 스러스트 하중을 측정할 수 있다.

이와 같이 제1 탄성 부재(331) 및 제2 탄성 부재(332)의 탄성 변형량이 중간 축 베어링(155)의 유격 범위 또는 센서 베어링(315)의 유격 범위보다 작도록, 토크 센서부(300)는 모터 축(122)에 연결된 중간 축(150)에 직결되는 것이 바람직하다.

일 실시예로서, 도 3을 참조하면 토크 센서부(300)는 모터(120)의 스테이터(128) 또는 로터(127)에 대면되는 모터(120)의 인접 위치에 설치된다. 토크 센서부(300)는 모터(120)로부터 센서 하우징(350), 제2 탄성 부재(332), 제2 압축 부재(322), 제1 압축 부재(321), 제1 탄성 부재(331), 하우징(110)의 순서로 결합된 토크 센서부(300)가 도시된다. 모터(120)에 인접하여 토크 센서부(300)가 설치되는 경우 토크 센서부(300)의 일측을 하우징(110)에 연결하기 위하여 센서 하우징(350)이 모터(120) 및 토크 센서부(300) 사이에 배치될 수 있다.

한편, 하우징(110)에 대한 밀착성을 향상시키기 위하여 와셔(190)가 하우징(110) 및 제1 탄성 부재(331) 사이에 개재될 수 있다. 제2 탄성 부재(332)는 센서 하우징(350)에 의하여 하우징(110)에 연결될 수 있다.

일 실시예로서, 도 4를 참조하면, 중간 축(150)의 끝단에 토크 센서부(300)가 설치된다. 이에 의하면 중간 축 베어링(155), 제2 탄성 부재(332), 제2 압축 부재(322), 제1 압축 부재(321), 제1 탄성 부재(331), 센서 하우징(350)의 순서로 결합된 토크 센서부(300)가 도시된다. 센서 하우징(350)은 센서 하우징 고정 부재(352)에 의하여 하우징(110)에 착탈된다.

이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.

3...유체 파이프 5...종동 축
10...밸브
A...상사점 B...하사점
100... 밸브 액추에이터 장치 110...하우징
120...모터 121...모터 축 베어링
122...모터 축
123...모터 축의 단부 124...모터 축 구멍
125...장공 127...로터(rotor)
128...스테이터(stator) 130...웜(worm)
140...웜 기어 150...중간 축
153...중간 축의 단부 155...중간 축 베어링
160...고정 키 170...핸들
180...밸브 축 190...와셔
300...토크 센서부 311...제1 센서
312...제2 센서 315...센서 베어링
316...센서 베어링 내륜 317...센서 베어링 외륜
318...센서 베어링 고정 부재 321...제1 압축 부재
322...제2 압축 부재 331...제1 탄성 부재
332...제2 탄성 부재 340...센서 홀
350...센서 하우징 352...센서 하우징 고정 부재
F1...정방향 하중 F2...역방향 하중

Claims

구동력을 발생하며, 모터 축을 구비하는 모터;
밸브에 연결되는 종동 축;
상기 모터 축과 상기 종동 축을 연결하는 중간 축에 설치되며, 상기 중간 축에 작용하는 스러스트 하중을 측정하는 토크 센서부; 를 포함하고,
상기 토크 센서부는, 상기 중간 축에 정방향 하중 또는 역방향 하중으로 작용하는 스러스트 하중을 압력으로 변환하는 압력 변환 수단과 상기 압력을 측정하는 센서를 포함하고,
상기 센서는 상기 정방향 하중을 측정하는 제1 센서와 상기 역방향 하중을 측정하는 제2 센서를 포함하며,
상기 압력 변환 수단은 압축 부재 및 탄성 부재를 포함하고,
상기 압축 부재는 상기 제1 센서가 장착되는 제1 압축 부재와 상기 제2 센서가 장착되는 제2 압축 부재를 포함하며,
상기 탄성 부재는 상기 제1 압축 부재 및 상기 제1 센서를 가압하는 제1 탄성 부재와 상기 제2 압축 부재 및 상기 제2 센서를 가압하는 제2 탄성 부재를 포함하는 밸브 액추에이터 장치.
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제1항에 있어서,
상기 제1 센서의 프레임 기능을 하는 상기 제1 센서의 배면은 상기 제1 압축 부재에 형성된 센서 홀에 밀착되고, 상기 제1 센서의 작동면에 해당하는 상기 제1 센서의 전면은 상기 제1 탄성 부재에 밀착되는 밸브 액추에이터 장치.
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제1항에 있어서,
상기 토크 센서부는 상기 모터의 스테이터 또는 로터에 대면되는 밸브 액추에이터 장치.
제1항에 있어서,
상기 중간 축의 끝단에 상기 토크 센서부가 설치되는 밸브 액추에이터 장치.
제1항에 있어서,
상기 중간 축과 상기 모터 축을 축 방향으로는 절연시키고 원주 방향으로는 연결시키는 차단 수단을 포함하는 밸브 액추에이터 장치.
제9항에 있어서,
상기 차단 수단은 상기 모터 축 또는 상기 중간 축에 형성되는 장공과, 상기 장공 사이에 끼워지는 고정 키를 포함하는 밸브 액추에이터 장치.