KR101471772B1 - Bonded flange o-ring for vacuum tubing connections - Google Patents

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Abstract

Disclosed is a flange O-ring used to a flange for vacuum tube connection to connect pipes of vacuum equipment and seal the gap between the pipes. The flange O-ring comprises a seal ring part which is made of fluorinated rubber or perfluorinated rubber and is elastically deformed by the pipes connected to each other inside the flange; and inner and outer holding ring parts which are made of fluorinated resins and are bonded to the seal ring part in a body when the seal ring part is formed, wherein a pair of holding ring parts hold the seal ring part therebetween inside the flange.

Description

진공 배관 접속용 본디드 플랜지 오링{BONDED FLANGE O-RING FOR VACUUM TUBING CONNECTIONS}{BONDED FLANGE O-RING FOR VACUUM TUBING CONNECTIONS FOR VACUUM PIPE CONNECTION}

본 발명은 진공 배관 접속용 플랜지 오링에 관한 것으로서, 더 상세하게는, 반도체 장비 또는 LCD 장비 등과 같은 진공 장비의 배관 접속 NW(Norminal Width) 플랜지에 이용되는 플랜지 오링에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flange o-ring for connecting a vacuum pipe, and more particularly, to a flange o-ring used in a pipe connecting NW (normal width) flange of a vacuum equipment such as semiconductor equipment or LCD equipment.

다양한 종류의 진공 장비가 반도체 또는 LCD 등의 제조에 이용되고 있다. 또한 이러한 진공 장비는 진공 조건에서의 배관 접속을 위해 NW 플랜지, 즉 ISO-NW 진공 플랜지를 이용하고 있다. 이와 같은 NW 플랜지는 사이즈에 따라 NW 16, NW25, NW 40, NW 50, NW63, NW67, NW80, NW100, NW125, NW160, NW200, NW250 등 다양한 규격을 갖는다.Various types of vacuum equipment are used in the manufacture of semiconductors or LCDs. These vacuum equipment also use NW flanges, ie ISO-NW vacuum flanges, for piping connections under vacuum conditions. The NW flange has various specifications such as NW 16, NW 25, NW 40, NW 50, NW 63, NW 67, NW 80, NW 100, NW 125, NW 160, NW 200 and NW 250 depending on the size.

NW 플랜지는 배관 접속시 씰링을 확보하기 위한 오링 조립체를 포함한다. 도 1은 종래 배관 접속용 NW 플랜지 오링 조립체를 도시한 평면도이고, 도 2는 도 1의 A-A를 따라 취해진 단면도이다.The NW flange includes an O-ring assembly to ensure sealing when piping is connected. FIG. 1 is a plan view showing a conventional NW flange O-ring assembly for connecting pipes, and FIG. 2 is a sectional view taken along line A-A of FIG.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 통상적인 NW 플랜지용 오링 조립체는 탄성 중합체 씨일 링(S)과 상기 탄성 중합체 씨일 링(S)을 유지하도록 디자인된 홀딩 링, 즉 센터 링(C)을 포함한다. 센터 링(C)은 알루미늄 또는 스테인리스 스틸로 제작되고 씨일 링(S)은 불소 고무 등과 같은 탄성 중합체로 이루어진다. 씨일 링(S)은 원형 단면을 가지며, 센터 링(C)은 씨일 링(S)의 원 형상에 대응하는 원호형 안착홈을 외주면에 구비하고, 씨일 링(S)은 그 안착홈에 끼워져 센터 링(C)에 유지된다. 이와 같은 센터 링(C)은 플랜지의 평탄한 면에 대하여 씨일 링(S)을 유지시켜 배관 내부의 가스 압력이 배관 외부의 가스 압력보다 작을 때 씨일 링(S)이 안쪽으로 움직이는 것을 억제한다.As shown in Figures 1 and 2, a typical O-ring assembly for a NW flange includes a retaining ring designed to hold the elastomeric seal S and the elastomeric seal S, . The center ring C is made of aluminum or stainless steel and the seal S is made of an elastomer such as fluorine rubber. The seal ring S has a circular cross section and the center ring C has an arc-shaped mounting groove corresponding to the circular shape of the seal ring S on its outer circumferential surface. The seal ring S is inserted into the mounting groove, And is retained in the ring C. Such a center ring C keeps the seal ring S against the flat surface of the flange so as to prevent the seal ring S from moving inward when the gas pressure inside the pipe is smaller than the gas pressure outside the pipe.

위와 같은 종래의 기술은 씨일 링(S)과 센터 링(C) 사이의 원치 않는 이탈, 분리가 우려되고, 씨일 링(S)과 센터 링(C)의 조립 과정이 번거로운 단점이 있다. 또한, 불소 또는 과불소 고무로 이루어진 씨일 링(S)만으로 씰링 성능을 구현해야 하므로 성능을 높이는데 문제가 있다. 또한 알루미늄 또는 스테인리스 스틸로 이루어진 센터 링(C)에 씨일 링(S)을 조립하는 과정에서 씨일 링(S)에 흠 또는 대미지를 입힐 수 있으며, 이는 진공 또는 초진공의 극한 조건에서 배관 접속용 진공 플랜지의 씰링 성능을 크게 떨어뜨릴 수 있다.The conventional technique described above has a disadvantage in that the process of assembling the seal ring S and the center ring C is troublesome because the undesired separation and separation of the seal ring S and the center ring C is a concern. In addition, since sealing performance is required to be achieved only by the seal (S) made of fluorine or perfluorocarbon rubber, there is a problem in improving the performance. In addition, the seal ring S may be damaged or damaged during the process of assembling the seal ring S to the center ring C made of aluminum or stainless steel. In this case, in the extreme conditions of vacuum or ultra vacuum, The sealing performance of the flange can be greatly reduced.

특허등록 제10-1155427호 (2012. 06. 05.)Patent Registration No. 10-1155427 (2012. 06. 05.)

본 발명은 기존의 금속 홀딩 링(또는, 센터 링) 대신에 불소계 수지로 형성된 홀딩 링부를 이용하고, 씰링 기능을 주로 하는 씨일 링부를 홀딩 링부에 일체화하여, 진공 배관 접속 플랜지에서 씰링 성능을 높임과 동시에 센터 링과 씨일 링(또는, 탄성 중합체 오링)의 조립에 따른 번거로움 및 조립 불량에 따른 문제점을 없앤 홀딩 링부 일체형의 진공 배관 접속용 본디드 플랜지 오링을 제공하는 것이다. A holding ring portion made of a fluorine resin is used in place of a conventional metal holding ring (or a center ring), and a sealing portion mainly made of a sealing function is integrated with a holding ring portion to improve sealing performance in a vacuum pipe connecting flange And to provide a bonded ring flange o-ring for connecting a vacuum ring with a holding ring part eliminating the troubles associated with assembly of the center ring and the sealing ring (or the elastomeric O-ring) and the problem of poor assembly.

본 발명의 일 측면에 따라 진공 장비의 배관과 배관 사이를 접속 및 밀봉하도록, 진공 배관 접속 플랜지에 이용되는 플랜지 오링이 제공되며, 상기 플랜지 오링은, 불소 고무 또는 과불소 고무를 원료로 하여 형성되며, 상기 플랜지 내에서 서로 접속되는 배관들에 눌려 탄성 변형되는 씨일 링부와; 불소계 수지를 원료로 하여 미리 형성된 채 상기 씨일 링부가 형성되는 과정에서 상기 씨일 링부와 일체로 접합되며, 상기 플랜지 내에서 상기 씨일 링부를 유지하는 센터 링부를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a flange o-ring for use in a vacuum piping connection flange for connecting and sealing between piping and piping of a vacuum equipment, wherein the flange o-ring is formed from fluorine rubber or perfluorocarbon rubber A sealing portion that is elastically deformed by being pressed on pipes connected to each other in the flange; And a center ring part integrally joined with the sealing part in the process of forming the sealing part beforehand formed using a fluororesin as a raw material and holding the sealing part in the flange.

일 실시예에 따라, 상기 씨일 링부와 상기 센터 링부 사이에는 불소계 가류 접착제가 개재된다.According to one embodiment, a fluorine-based vulcanizing adhesive is interposed between the sealing portion and the center ring portion.

일 실시예에 따라, 상기 씨일 링부와 접합되는 상기 센터 링부의 표면에는 러프니스가 형성된다.According to one embodiment, a roughness is formed on the surface of the center ring portion joined to the sealing portion.

일 실시예에 따라, 상기 센터 링부는 반지름 방향으로 두께가 점진적으로 감소되어 형성된 계단 구조를 외주면 측에 포함하고, 상기 계단 구조의 최 외곽단 중앙에는 상기 씨일 링부에 대한 접합 면적을 증가시키는 돌출부가 형성되며, 상기 씨일 링부는 상기 센터 링부와 접합되는 내주면 측에 상기 돌출부에 상응하는 오목부를 포함한다.
According to one embodiment, the center ring portion includes a stepped structure formed by gradually decreasing the thickness in the radial direction on the outer circumferential surface side, and a protrusion for increasing a joining area to the sealing portion is formed at the outermost end center of the stepped structure And the sealing portion includes a concave portion corresponding to the protruding portion on the inner circumferential surface side joined to the center ring portion.

본 발명의 다른 측면에 따른 플랜지 오링은, 불소 고무 또는 과불소 고무를 원료로 하여 형성되며, 상기 플랜지 내에서 서로 접속되는 배관들에 눌려 탄성 변형되는 씨일 링부와; 불소계 수지를 원료로 하여 미리 형성된 채 상기 씨일 링부가 형성되는 과정에서 상기 씨일 링부와 일체로 접합되는 이너 홀딩 링부 및 아웃터 홀딩 링부를 포함하고, 상기 플랜지 내에서 상기 이너 홀딩 링부와 상기 아웃터 홀딩 링부 사이에 상기 씨일 링부를 유지하는 한 쌍의 홀딩 링부를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a flange o-ring comprising: a sealing portion formed of a fluorine rubber or a perfluorocarbon rubber as a raw material, the sealing portion being pressed and elastically deformed by piping connected to each other in the flange; An inner holding ring portion and an outer holding ring portion which are integrally joined to the sealing portion in a process of forming the sealing portion in advance with the fluorine resin being used as a raw material, and wherein the inner holding ring portion and the outer holding ring portion, And a pair of holding ring portions for holding the sealing portion.

일 실시예에 따라, 상기 씨일 링부와 상기 한 쌍의 홀딩 링부 사이에는 불소계 가류 접착제가 개재된다.According to one embodiment, a fluorine-based vulcanizing adhesive is interposed between the sealing portion and the pair of holding ring portions.

일 실시예에 따라, 상기 씨일 링부와 접합되는 상기 한 쌍의 홀딩 링부의 표면에는 러프니스가 형성된다.According to one embodiment, a roughness is formed on the surfaces of the pair of holding ring portions joined to the sealing portion.

일 실시예에 따라, 상기 이너 홀딩 링부와 상기 아웃터 홀딩 링부 사이에는 가장 폭이 좁은 중앙 갭과, 상기 중앙 갭의 단부로부터 2 단 이상의 계단형 확장 구조로 형성된 상하 한 쌍의 외곽 갭이 존재하며, 상기 씨일 링부는 상기 중앙 갭 내에서 상기 이너 홀딩 링부 및 상기 아웃터 홀딩 링부와 전체적으로 접해 있는 연결부와 상기 한 쌍의 외곽 갭 내에서 상기 이너 홀딩 링부 및 상기 아웃터 홀딩 링부와 부분적으로 접해 있는 상하 한 쌍의 접촉 밀봉부를 포함하며, 상기 한 쌍의 접촉 밀봉부는, 상기 배관의 단부에 눌려 압축되는 접촉면으로서 볼록한 곡면을 포함한다.According to an embodiment of the present invention, there is a gap between the inner holding ring portion and the outer holding ring portion, and a pair of upper and lower outer gaps formed by two or more stepped extending structures from the end of the middle gap. Wherein the sealing portion includes a connecting portion entirely in contact with the inner holding ring portion and the outer holding ring portion in the center gap and a pair of upper and lower pairs of the inner holding ring portion and the outer holding ring portion, Wherein the pair of contact seals includes a convex curved surface as a contact surface which is pressed against the end of the pipe.

본 발명에 따른 진공 배관 접속용 본디드 플랜지 오링은, 기존의 금속 홀딩 링(또는, 센터 링) 대신에 불소계 수지로 형성된 홀딩 링부를 이용하고, 씰링 기능을 주로 하는 씨일 링부를 홀딩 링부에 일체화하여, 진공 배관 접속 플랜지에서 씰링 성능을 높임과 동시에 기존 센터 링과 씨일 링(또는, 탄성 중합체 오링)의 조립에 따른 번거로움 및 조립 불량에 따른 문제점을 없앨 수 있다는 장점을 갖는다. The bonded flange o-ring for vacuum piping according to the present invention is characterized in that a holding ring portion formed of a fluorine resin is used in place of a conventional metal holding ring (or a center ring), and a sealing portion mainly composed of a sealing function is integrated with the holding ring portion , It has an advantage that the sealing performance can be improved in the vacuum pipe connection flange, and troubles due to the assembling of the existing center ring and the sealing (or the elastomeric O-ring) can be eliminated.

도 1은 종래 배관 접속용 NW 플랜지 오링 조립체를 도시한 평면도이다.
도 2는 도 1의 A-A를 따라 취해진 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 배관 접속용 본디드 플랜지 오링을 도시한 평면도이다.
도 4는 도 3의 B-B를 따라 취해진 단면도이다.
도 5는 도 3 및 도 4에 도시된 진공 배관 접속용 본디드 플랜지 오링을 제조하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 배관 접속용 본디드 플랜지 오링을 도시한 평면도이다.
도 7는 도 6의 C-C를 따라 취해진 확대 단면도이다.
도 8은 도 6 및 도 7에 도시된 본디드 플랜지 오링이 적용된 플랜지를 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 도 6 내지 도 8에 도시된 진공 배관 접속용 본디드 플랜지 오링을 제조하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다.1 is a plan view showing a conventional NW flange O-ring assembly for piping connection.
2 is a cross-sectional view taken along line AA in Fig.
3 is a plan view showing a bonded flange O-ring for connecting a vacuum pipe according to an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view taken along line BB in Fig.
5 is a flowchart for explaining a method of manufacturing the bonded flange O-ring for connection to the vacuum piping shown in FIG. 3 and FIG.
6 is a plan view showing a bonded flange O-ring for connecting a vacuum pipe according to another embodiment of the present invention.
Figure 7 is an enlarged cross-sectional view taken along CC of Figure 6;
FIG. 8 is a view for explaining a flange to which the bonded flange O-ring shown in FIGS. 6 and 7 is applied.
FIG. 9 is a flowchart for explaining a method of manufacturing the bonded flange O-ring for connecting a vacuum pipe shown in FIGS. 6 to 8. FIG.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위한 예로서 제공되는 것이다. 따라서 본 발명은 이하 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고 도면에 있어서, 구성요소의 폭, 길이, 두께 등은 편의를 위해 과장되어 표현될 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The following embodiments are provided as examples for allowing a person skilled in the art to sufficiently convey the idea of the present invention. Therefore, the present invention is not limited to the embodiments described below, but may be embodied in other forms. In the drawings, the width, length, thickness, and the like of the components may be exaggerated for convenience.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 배관 접속용 본디드 플랜지 오링을 도시한 평면도이고, 도 4는 도 3의 B-B를 따라 취해진 단면도이다.FIG. 3 is a plan view showing a bonded flange O-ring for connecting a vacuum pipe according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along B-B of FIG.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 진공 배관 접속용 본디드 플랜지 오링(1)은, 예컨대 NW(Norminal Width) 플랜지와 같이 진공 배관 접속 플랜지에서 연결되는 배관들 사이의 씰링을 위해 제공되는 것으로서, 종래기술의 센터 링을 대체하는 홀딩 링부로서의 원환형 센터 링부(10)와 종래기술의 씨일 링(또는, 탄성 중합체 오링;)을 대체하는 원환형의 씨일 링부(20)를 일체로 포함한다. 본 실시예에 따른 본디드 플랜지 오링(1)은 NW 16, NW25, NW 40, NW 50, NW63, NW67, NW80, NW100, NW125, NW160, NW200, NW250 등 다양한 규격을 갖는 NW 플랜지에 씰링 요소로 적용될 수 있다.3 and 4, the bonded flange O-ring 1 for connecting a vacuum pipe according to the present embodiment has a sealing ring (not shown) between pipes connected at a vacuum pipe connection flange such as a NW (Normally Width) An annular centering ring 10 as a holding ring part replacing the center ring of the prior art and an annular ringing part 20 replacing the prior art seal (or elastomeric O-ring) . The bonded flange O-ring 1 according to the present embodiment is a sealing element for NW flanges having various specifications such as NW 16, NW 25, NW 40, NW 50, NW 63, NW 67, NW 80, NW 100, NW 125, NW 160, NW 200, Can be applied.

상기 센터 링부(10)는, 불소계 수지로 형성되어 충분한 강도를 갖는 것으로서, 반지름 방향으로 두께가 점진적으로 감소되어 형성된 계단 구조를 외주면 측에 포함하고, 계단 구조의 최 외곽단 중앙에는 씨일 링부(20)와 접합 면적을 증가시키는 돌출부(12)가 형성되어 있다. 상기 씨일 링부(20)는, 불소 고무(FKM) 또는 과불소 고무(FFKM)와 같은 탄성 중합체로 형성되는 것으로, 상기 센터 링부(10)와 접합되어 상기 센터 링부(10)와 일체화된다. 이때, 상기 씨일 링부(20)는 상기 돌출부(12)에 상응하는 오목부(22)를 내주면 측에 포함하며, 상기 씨일 링부(20)와 상기 센터 링부(10)는 상기 돌출부(12)와 상기 오목부(22)의 전체면 그리고 상기 돌출부(12)의 기저면과 상기 오목부(12)의 주변면에서 접합되어 있다. 상기 씨일 링부(20)와 상기 센터 링부(10) 사이의 접합면에는 이들 사이의 접합력을 증가시키기 위해 불소계 가류 접착제(102)가 개재된다. 또한 도시하지는 않았지만, 상기 센터 링부(10)의 표면에 접합 면적을 증가시키기 위한 러프니스(roughness)가 형성될 수 있으며, 상기 러프니스는 예컨대 샌드 블라스트 가공에 의해 형성될 수 있다. 상기 씨일 링부(20)는 불소 고무 또는 과불소 고무 원료를 성형 및 가류하여 형성된 것으로 성형 및 가류 과정에서 상기 센터 링부(10)와 일체로 접합된다. 상기 돌출부(12)가 갖는 에지로 인해 상기 씨일 링부(20)가 손상되는 것을 막도록, 상기 돌출부(12)는 에지 없는 곡면으로 형성되는 것이 바람직하다.The center ring portion 10 is formed of a fluorine resin and has a sufficient strength. The center ring portion 10 includes a stepped structure formed by gradually decreasing the thickness in the radial direction. The center ring portion 10 includes a sealing portion 20 And a protruding portion 12 for increasing a joining area. The sealing portion 20 is formed of an elastic polymer such as fluorine rubber (FKM) or perfluorocarbon rubber (FFKM), and is bonded to the centering ring 10 to be integrated with the centering ring 10. The sealing portion 20 and the center ring portion 10 are formed on the inner circumferential surface of the protruding portion 12 and the protruding portion 12, The entire surface of the concave portion 22 and the base surface of the protruding portion 12 and the peripheral surface of the concave portion 12. [ A fluorine-based vulcanizing adhesive 102 is interposed between the sealing portion 20 and the center ring portion 10 to increase the bonding force therebetween. Although not shown, a roughness may be formed on the surface of the center ring portion 10 to increase a bonding area, and the roughness may be formed by, for example, sandblasting. The sealing part 20 is formed by molding and vulcanizing a fluororubber or a perfluoro rubber raw material, and is integrally joined to the center ring part 10 during molding and vulcanization. Preferably, the protruding portion 12 is formed as a curved surface without an edge to prevent the sealing portion 20 from being damaged due to an edge of the protruding portion 12. [

도 5는 도 3 및 도 4에 도시된 진공 배관 접속용 본디드 플랜지 오링을 제조하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다.5 is a flowchart for explaining a method of manufacturing the bonded flange O-ring for connection to the vacuum piping shown in FIG. 3 and FIG.

도 5를 참조하면, 상기 본디드 플랜지 오링 제조방법은, 불소계 수지 분말로 센터 링부(10)를 성형하는 단계(S101)와, 상기 센터 링부(10)를 소결하는 단계(S102)와, 상기 센터 링부(10)를 몰드(또는 금형) 내에 인서트하는 단계(S301)와, 상기 몰드 내로 불소 또는 과불소 고무 원료를 주입, 성형, 가류하여 상기 센터 링부(10)와 일체로 접합된 씨일 링부(20)를 형성하는 단계(S302)와, 상기 씨일 링부(20)를 후가류하는 단계(S400)와, 상기 후가류 후, 상기 씨일 링부(20)와 상기 센터 링부(10)가 일체로 접합되어 있는 본디드 플랜지 오링(1)의 표면을 매끈하게 가공 처리하는 단계(S500)와, 가공 처리된 본디드 플랜지 오링 제품을 검수하는 단계(S600)을 포함한다.Referring to FIG. 5, the bonded flange O-ring manufacturing method includes a step S101 of forming a centering portion 10 with a fluorine resin powder, a step S102 of sintering the centering portion 10, (S301) of inserting the ring portion 10 into a mold (or a mold); injecting, molding and vulcanizing a fluorine or perfluorocarbon rubber raw material into the mold to form a sealing portion 20 A step S302 of rearwardly flowing the sealing portion 20 and a step S400 of rearwardly flowing the sealing portion 20; and a step of, after the rearward flow, the sealing portion 20 and the center ring portion 10 are integrally joined (S500) of smoothly processing the surface of the bonded flange O-ring (1) that has been processed, and step (S600) of inspecting the processed bonded flange O-ring product.

부가적으로, 상기 플랜지 오링 제조방법은, 상기 센터 링부(10)를 상기 몰드 내에 인서트 하기 전에 상기 센터 링부(10)의 상기 씨일 링부(20)와 접합되는 면에 러프니스(roughness)를 형성하는 단계(S201)와, 상기 러프니스를 형성하는 단계(S201) 이후에, 상기 러프니스를 덮도록 불소계 가류 접착제를 바르는 단계(S202)를 포함할 수 있다.In addition, the flange o-ring manufacturing method may include forming a roughness on a surface of the centering ring portion 10 to be joined to the sealing portion 20 before the centering ring portion 10 is inserted into the mold (S202) of applying a fluorine-based vulcanizing adhesive to cover the roughness after the step (S201) and forming the roughness (S201).

단계 S101 및 S102는 일정 강도를 갖는 센터 링부를 제작하기 위한 단계들로서, 단계 S101 및 S102에 이용되는 불소계 수지 분말로는 PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌) 수지 분말, PFA(테트라플루오로에틸렌-퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체) 수지 분말, ETFE(테트라플루오로에틸렌-에틸렌 공중합체) 수지 분말, PVDF(폴리비닐리덴 플루오라이드) 수지 분말, PCTFE(폴리클로로트리플루오로에틸렌) 수지 분말, ECTFE( 클로로트리플루오로에틸렌-에틸렌 공중합체) 수지 분말 및/또는 PVF(폴리비닐 플루오라이드) 수지 분말이 이용될 수 있다.Steps S101 and S102 are steps for fabricating a center ring portion having a constant strength. As the fluororesin powder used in Steps S101 and S102, a PTFE (polytetrafluoroethylene) resin powder, PFA (tetrafluoroethylene- perfluoro (Tetrafluoroethylene-ethylene copolymer) resin powder, PVDF (polyvinylidene fluoride) resin powder, PCTFE (polychlorotrifluoroethylene) resin powder, ECTFE (chloroform resin) (Trifluoroethylene-ethylene copolymer) resin powder and / or PVF (polyvinyl fluoride) resin powder may be used.

단계 S101에서는 상기 불소계 수지 분말을 일정 압력으로 압축 성형하여 일정 형태의 단면을 포함하는 센터 링부 성형체를 성형한다. 단계 S102에서는 상기 성형체를 해당 불소계 수지 원료의 소결 온도로 가열하여 센터 링부(10)의 제작을 완료한다. In step S101, the fluorine-based resin powder is compression-molded under a predetermined pressure to mold a centering ring formed article having a certain cross section. In step S102, the molded body is heated to the sintering temperature of the fluororesin raw material to complete the production of the centering ring 10.

센터 링부(10)의 제작이 완료된 후, 단계 S201에서는 이하 자세히 설명되는 씨일 링부(20) 접합되는 면에 러프니스(roughness)를 형성할 수 있으며, 러프니스 형성을 위해 샌드 블라스트 공정이 이용될 수 있다. 러프니스는 씨일 링부(20)와 접합 면적을 크게 증가시켜, 접합 성능을 향상시켜준다. 단계 S202에서는 씨일 링부(20)와 접합될 면, 바람직하게는, 러프니스가 형성된 면에 불소계 가류 접착제를 바른다. 불소 고무 또는 과불소 고무 원료에 의해 씨일 링부(20)가 성형되는 과정에서 불소계 가류 접착제는 이종 재질인 씨일 링부(20)와 센터 링부(10)를 더욱 강하게 접합시킨다.After the center ring 10 is manufactured, a roughness may be formed on the surface to which the sealing portion 20 is bonded, which will be described in detail later, in step S201, and a sandblast process may be used to form the roughness have. The roughness greatly increases the bonding area with the sealing portion 20 and improves the bonding performance. In step S202, fluorine-based vulcanizing adhesive is applied to the surface to be bonded to the sealing portion 20, preferably, the surface on which the roughness is formed. In the process of forming the sealing portion 20 by the fluororubber or the perfluorocarbon rubber raw material, the fluoric vulcanizing adhesive bonds the sealing portion 20, which is a different material, to the center ring portion 10 more strongly.

단계 S301에서는 전술한 단계들(S101, S102, S201, S202)을 거친 후 준비된 상기 센터 링부(10)를 몰드 내에 인서트한다. 상기 몰드의 내부는 상기 센터 링부(10)가 인서트 된 상태에서 상기 씨일 링부(20)가 성형되는 공간을 한정한다. 즉, 상기 몰드의 내부 형상은 상기 씨일 링부(20)의 형상에 대응되는 형상을 포함하고 있다. 단계 S302에서는, 센터 링부(10)가 인서트되어 있는 몰드 내로 불소 고무(FKM) 또는 과불소 고무(FFKM) 원료를 주입하여 상기 센터 링부(10)와 접합된 씨일 링부(20)를 성형한다. 상기 씨일 링부(20)가 성형되는 과정에서, 상기 불소 또는 과불소 고무 원료의 가류가 이루어진다. 가류 온도는 고무 원료의 종류에 따라 달라질 수 있으며, 대략 150~300℃인 것이 바람직하다.In step S301, the center ring 10 prepared after the above-described steps S101, S102, S201, and S202 is inserted into the mold. The inside of the mold defines a space in which the sealing portion 20 is molded in a state in which the centering ring portion 10 is inserted. That is, the inner shape of the mold includes a shape corresponding to the shape of the sealing portion 20. In step S302, the fluorine rubber (FKM) or the fluorine rubber (FFKM) raw material is injected into the mold into which the centering ring 10 is inserted to mold the sealing ring 20 joined to the centering ring 10. During the molding of the sealing portion 20, the fluorine or perfluoro rubber raw material is vulcanized. The vulcanization temperature may vary depending on the kind of the rubber raw material, and it is preferably about 150 to 300 ° C.

단계 S400에서는 전술한 단계 S302 후에 씨일 링부(20)와 센터 링부(10)가 일체로 접합되어 있는 본디드 플랜지 오링을 몰드로부터 빼낸 후 일정 온도의 드라이 오븐 내에 넣고 상기 오링의 씨일 링부(20)를 후가류 한다. 다음으로, 전술한 것과 같이 제작된 센터 링부 일체형의 본디드 플랜지 오링의 표면을 단계 S400에서 매끄럽게 가공한다. 최종적으로는 단계 S500에서 본디드 플랜지 오링을 검수한다. In step S400, after the above-described step S302, the bonded flange O-ring in which the sealing portion 20 and the center ring portion 10 are integrally joined is taken out from the mold, and then placed in the dry oven at a constant temperature and the sealing portion 20 of the O- Afterwards. Next, the surface of the bonded flange O-ring integrally formed with the centering ring part fabricated as described above is smoothly processed in step S400. Finally, in step S500, the bonded flange O-ring is inspected.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 배관 접속용 본디드 플랜지 오링을 도시한 평면도이고, 도 7는 도 6의 C-C를 따라 취해진 확대 단면도이며, 도 8은 도 6 및 도 7에 도시된 본디드 플랜지 오링이 적용된 플랜지를 설명하기 위한 도면이다.6 is a plan view showing a bonded flange O ring for connecting a vacuum pipe according to another embodiment of the present invention, FIG. 7 is an enlarged sectional view taken along CC of FIG. 6, and FIG. 8 is a cross- Fig. 8 is a view for explaining a flange to which a bonded flange O-ring is applied.

도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 진공 배관 접속용 본디드 플랜지 오링(1000)은, 서로 평행하게 이격된 이너 홀딩 링부(100a) 및 아웃터 홀딩 링부(100b)와, 상기 이너 홀딩 링부(100a)와 상기 아웃터 홀딩 링부(100b) 사이에 개재된 씨일 링부(200)를 일체로 포함한다. 6 to 8, the bonded flange O-ring 1000 for vacuum pipe connection according to the present embodiment includes an inner holding ring portion 100a and an outer holding ring portion 100b spaced apart from each other in parallel to each other, And a sealing portion 200 interposed between the inner holding ring portion 100a and the outer holding ring portion 100b.

상기 이너 홀딩 링부(100a) 및 상기 아웃터 홀딩 링부(100b)는, 불소계 수지로 형성되어 충분한 강도를 가지며, 상기 홀딩 링부들(100a, 100b) 사이에는 가장 폭이 좁은 직선형 중앙 갭과, 상기 중앙 갭의 단부로부터 2 단 이상의 계단형 확장 구조로 형성된 상하 한 쌍의 외곽 갭이 존재한다. 상기 씨일 링부(200)는, 상기 중앙 갭 및 상기 한 쌍의 외곽 갭 내에 형성된 채 상기 홀딩 링부들(100a, 100b)과 일체로 접합된다. 특히, 상기 씨일 링부(200)는 상기 중앙 갭 내에서 상기 홀딩 링부들(100a, 100b)과 전체적으로 접해 있는 연결부(210)와 상기 계단형 외곽 갭 내에서 상기 홀딩 링부들(100a, 100b)과 부분적으로 접해 있는 상하 한 쌍의 접촉 밀봉부(220, 220)으로 이루어진다. 상기 연결부(210)에 의해 상기 한 쌍의 접촉 밀봉부(220, 220)가 연결되어 있다. 상기 한 쌍의 접촉 밀봉부(220, 220)는, 배관들을 연결하는 플랜지에 적용되어 배관들 각각의 단부에 눌려 압축되며, 접촉면으로서 볼록한 곡면을 포함하고 있다. 이때, 한 쌍의 외곽 갭은 전술한 것과 같이 확장형 계단 구조로 이루어짐으로써 씨일 링부(200)와 홀딩 링부들(100a, 100b)간의 접합 면적을 크게 증가시킨다. 상기 씨일 링부(200)는, 불소 고무(FKM) 또는 과불소 고무(FFKM)와 같은 탄성 중합체로 형성되는 것으로, 상기 홀딩 링부들(100a, 100b)과 접합되어 상기 홀딩 링부들(100a, 100b)과 일체화된다. The inner holding ring portion 100a and the outer holding ring portion 100b are made of a fluorine resin and have sufficient strength. A linear central gap having a narrowest width is formed between the holding ring portions 100a and 100b, There are a pair of upper and lower outer gaps formed by two or more stepped expansion structures. The sealing portion 200 is integrally joined to the holding ring portions 100a and 100b while being formed in the center gap and the pair of outer gaps. Particularly, the sealing portion 200 has a connecting portion 210 which is entirely in contact with the holding ring portions 100a and 100b in the central gap, and a connecting portion 210 which partially contacts the holding ring portions 100a and 100b in the step- And a pair of upper and lower contact-sealing parts 220 and 220 that are in contact with each other. And the pair of contact sealing parts 220 and 220 are connected by the connection part 210. The pair of contact seals 220 and 220 is applied to a flange connecting the pipes to be compressed on the end of each of the pipes and includes a convex surface as a contact surface. At this time, the pair of outer gaps are formed in the extended step structure as described above, thereby greatly increasing the bonding area between the sealing portion 200 and the holding ring portions 100a and 100b. The sealing part 200 is formed of an elastic polymer such as fluorocarbon rubber (FKM) or perfluorocarbon rubber (FFKM). The sealing ring part 200 is bonded to the holding ring parts 100a and 100b to form the holding ring parts 100a and 100b. .

상기 씨일 링부(200)와 상기 홀딩 링부들(100a, 100b) 사이의 접합면에는 이들 사이의 접합력을 증가시키기 위해 불소계 가류 접착제(102)가 개재된다. 또한 도시하지는 않았지만, 상기 홀딩 링부(100a, 100b)의 표면에 접합 면적을 증가시키기 위한 러프니스(roughness)가 형성될 수 있으며, 상기 러프니스는 예컨대 샌드 블라스트 가공에 의해 형성될 수 있다. 상기 씨일 링부(200)는 불소 고무 또는 과불소 고무 원료를 성형 및 가류하여 형성된 것으로 성형 및 가류 과정에서 상기 홀딩 링부(100)들과 일체로 접합된다. A fluorine-based vulcanizing adhesive 102 is interposed between the sealing portion 200 and the holding ring portions 100a and 100b to increase a bonding force therebetween. Although not shown, a roughness for increasing the bonding area may be formed on the surfaces of the holding ring portions 100a and 100b, and the roughness may be formed by, for example, sand blasting. The sealing portion 200 is formed by molding and vulcanizing a fluororubber or a perfluoro rubber raw material and is integrally joined with the holding ring portions 100 during molding and vulcanization.

도 8을 참조하면 6 및 도 7에 도시된 본디드 플랜지 오링(1000)이 적용된 진공 배관 접속용 플랜지(F)를 볼 수 있으며, 상기 플랜지(F)는 한 쌍의 죠(jaw)로 이루어진 금속 클램프(2000)를 포함하며, 그 금속 클램프(2000)는 배관들(3000, 3000)을 클램핑하여 밀봉과 동시에 접속시키도록 구성되어 있다. 상기 죠를 이동시켜 클램프(2000)의 클램핑 압력을 조절하도록 회전 조절부(2002)가 설치된다. 그리고, 상기 금속 클램프(2000)의 내측에 형성된 오링 리테이너에 상기 본디드 플랜지 오링(1000)이 설치된다. 본디드 플랜지 오링(1000)은 씨일 링부(200)가 상기 플랜지(F) 내에서 상기 배관(300, 300)들의 단부에 눌려 탄성적으로 압축된다. 이때, 씨일 링부(200)와 일체화된 홀딩 링부(100a, 100b)가 상기 씨일 링부(200)를 견고하게 지지한다. Referring to FIG. 8, a flange F for vacuum pipe connection to which the bonded flange O-ring 1000 shown in FIG. 6 and FIG. 7 is applied can be seen. The flange F is made of a metal consisting of a pair of jaws And a clamp 2000, which is configured to clamp and simultaneously connect piping 3000, 3000 with the seal. A rotation regulating portion 2002 is provided to move the jaws so as to adjust the clamping pressure of the clamp 2000. The bonded flange O-ring 1000 is installed in an O-ring retainer formed inside the metal clamp 2000. In the bonded flange O-ring 1000, the sealing portion 200 is pressed against the ends of the pipes 300 and 300 in the flange F to be elastically compressed. At this time, the holding ring portions 100a and 100b integrated with the sealing portion 200 firmly support the sealing portion 200. [

도 9는 6 내지 도 8에 도시된 진공 배관 접속용 본디드 플랜지 오링을 제조하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다.9 is a flow chart for explaining a method of manufacturing the bonded flange O-ring for connecting a vacuum pipe shown in Figs. 6 to 8. Fig.

도 9를 참조하면, 상기 본디드 플랜지 오링 제조방법은, 불소계 수지 분말로 한 쌍의 홀딩 링부들, 즉 이너 홀딩 링부(100a) 및 아웃터 홀딩 링부(100b)를 성형하는 단계(s101)와, 상기 홀딩 링부들(100a, 100b)을 소결하는 단계(s102)와, 상기 홀딩 링부들(100a, 100b)을 몰드(또는 금형) 내에 서로 평행하게 인서트하는 단계(s301)와, 상기 몰드 내로 불소 또는 과불소 고무 원료를 주입, 성형, 가류하여 상기 홀딩 링부들(100a, 100b) 사이에서 이들과 일체로 접합된 씨일 링부(200)를 형성하는 단계(s302)와, 상기 씨일 링부(200)를 후가류하는 단계(s400)와, 상기 후가류 후, 상기 씨일 링부(200)와 상기 홀딩 링부들(100a, 100b)가 일체로 접합되어 있는 본디드 플랜지 오링(1000)의 표면을 매끈하게 가공 처리하는 단계(s500)와, 가공 처리된 본디드 플랜지 오링 제품을 검수하는 단계(s600)을 포함한다.9, the bonded flange O-ring manufacturing method includes a step s101 of molding a pair of holding ring portions, that is, an inner holding ring portion 100a and an outer holding ring portion 100b, with a fluororesin powder, A step s102 of sintering the holding ring portions 100a and 100b and a step s301 of inserting the holding ring portions 100a and 100b in parallel with each other in a mold or a mold, A step (s302) of injecting, molding and vulcanizing a raw rubber material to form a sealing part 200 integrally joined with the holding ring parts 100a and 100b and squeezing the sealing part 200, The surface of the bonded flange O-ring 1000 in which the sealing portion 200 and the holding ring portions 100a and 100b are integrally joined together is subjected to smooth processing (Step S400) (S500) of inspecting the processed bonded flanged O-ring product, and step (s600) of inspecting the processed bonded flanged O-ring product .

부가적으로, 상기 플랜지 오링 제조방법은, 상기 홀딩 링부들(100a, 100b)을 상기 몰드 내에 인서트 하기 전에 상기 홀딩 링부들(100a, 100b)의 상기 씨일 링부(200)와 접합되는 면에 러프니스(roughness)를 형성하는 단계(s201)와, 상기 러프니스를 형성하는 단계(s201) 이후에, 상기 러프니스를 덮도록 불소계 가류 접착제를 바르는 단계(s202)를 포함할 수 있다.In addition, the method for manufacturing the flange o-ring may further include a step of forming a roughness surface on the surface of the holding ring portions 100a and 100b before the holding ring portions 100a and 100b are inserted into the mold, (s202) of applying a fluorine-based vulcanizing adhesive so as to cover the roughness after forming the roughness (s201) and after forming the roughness (s201).

단계 s101 및 s102는 일정 강도를 갖는 홀딩 링부들을 제작하기 위한 단계들로서, 단계 s101 및 s102에 이용되는 불소계 수지 분말로는 PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌) 수지 분말, PFA(테트라플루오로에틸렌-퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체) 수지 분말, ETFE(테트라플루오로에틸렌-에틸렌 공중합체) 수지 분말, PVDF(폴리비닐리덴 플루오라이드) 수지 분말, PCTFE(폴리클로로트리플루오로에틸렌) 수지 분말, ECTFE( 클로로트리플루오로에틸렌-에틸렌 공중합체) 수지 분말 및/또는 PVF(폴리비닐 플루오라이드) 수지 분말이 있을 수 있다.Steps s101 and s102 are the steps for fabricating holding rings having a constant strength. The fluororesin powder used in steps s101 and s102 may be PTFE (polytetrafluoroethylene) resin powder, PFA (tetrafluoroethylene-purple (Tetrafluoroethylene-ethylene copolymer) resin powder, PVDF (polyvinylidene fluoride) resin powder, PCTFE (polychlorotrifluoroethylene) resin powder, ECTFE (polyvinylidene fluoride) resin powder, Chlorotrifluoroethylene-ethylene copolymer) resin powder and / or PVF (polyvinyl fluoride) resin powder.

단계 s101에서는 상기 불소계 수지 분말을 일정 압력으로 압축 성형하여 일정 형태의 단면을 포함하는 홀딩 링부 성형체들을 성형한다. 단계 s102에서는 상기 성형체 해당 불소계 수지 원료의 소결 온도로 가열하여 홀딩 링부들(100a, 100b)의 제작을 완료한다.In step s101, the fluororesin powder is compression-molded at a predetermined pressure to mold the holding ring portion formed bodies having a predetermined cross section. In step s102, the holding ring portions 100a and 100b are completed by heating the raw material to a sintering temperature of the fluororesin material.

홀딩 링부들(100a, 100b)의 제작이 완료된 후, 단계 s201에서는 씨일 링부(200) 접합될 면에 러프니스(roughness)를 형성할 수 있으며, 러프니스 형성을 위해 샌드 블라스트 공정이 이용될 수 있다. 러프니스는 씨일 링부(200)와 접합 면적을 크게 증가시켜, 접합 성능을 향상시켜준다. 단계 s202에서는 씨일 링부(200)와 접합될 면, 바람직하게는, 러프니스가 형성된 면에 불소계 가류 접착제를 바른다. 불소 고무 또는 과불소 고무 원료에 의해 씨일 링부(s200)가 성형되는 과정에서 불소계 가류 접착제는 이종 재질인 씨일 링부(200)와 홀딩 링부들(100a, 100b)을 더욱 강하게 접합시킨다.After the manufacturing of the holding ring portions 100a and 100b is completed, a roughness may be formed on the surface to which the sealing portion 200 is to be joined in Step s201, and a sandblast process may be used to form the roughness . The roughness greatly increases the bonding area with the sealing portion 200 and improves the bonding performance. In step s202, fluorine-based vulcanization adhesive is applied to the surface to be bonded to the sealing part 200, preferably, the surface on which the roughness is formed. In the process of forming the sealing portion s200 by the fluororubber or the perfluorocarbon rubber raw material, the fluoric vulcanizing adhesive bonds the sealing portion 200 and the holding ring portions 100a and 100b of different materials more strongly.

단계 s301에서는 전술한 단계들(s101, s102, s201, s202)을 거친 후 준비된 상기 홀딩 링부들(100a, 100b)을 몰드 내에 인서트한다. 상기 몰드의 내부는 상기 홀딩 링부들(100a, 100b)이 인서트 된 상태에서 상기 씨일 링부(200)가 성형되는 공간을 한정한다. 즉, 상기 몰드의 내부 형상은 상기 씨일 링부(200)의 형상에 대응되는 형상을 포함하고 있다. 단계 s302에서는, 홀딩링부들(100a, 100b)이 인서트되어 있는 몰드 내로 불소 고무(FKM) 또는 과불소 고무(FFKM) 원료를 주입하여 상기 홀딩 링부들(100a, 100b)과 접합된 씨일 링부(200)를 성형한다. 상기 씨일 링부(200)가 성형되는 과정에서, 상기 불소 또는 과불소 고무 원료의 가류가 이루어진다. 가류 온도는 고무 원료의 종류에 따라 달라질 수 있으며, 대략 150~300℃인 것이 바람직하다.In step s301, the holding ring parts 100a and 100b prepared after the steps s101, s102, s201 and s202 described above are inserted into the mold. The inside of the mold defines a space in which the sealing portion 200 is molded in a state where the holding ring portions 100a and 100b are inserted. That is, the inner shape of the mold includes a shape corresponding to the shape of the sealing portion 200. In step s302, the fluorine rubber (FKM) or the fluorine rubber (FFKM) raw material is injected into the mold into which the holding ring portions 100a and 100b are inserted, and the sealing ring portions 200a and 100b bonded to the holding ring portions 100a and 100b ). During the molding of the sealing part 200, the fluorine or perfluoro rubber material is vulcanized. The vulcanization temperature may vary depending on the kind of the rubber raw material, and it is preferably about 150 to 300 ° C.

단계 s400에서는 전술한 단계 s302 후에 씨일 링부(200)와 홀딩 링부들(100a, 100b)가 일체로 접합되어 있는 본디드 플랜지 오링을 몰드로부터 빼낸 후 일정 온도의 드라이 오븐 내에 넣고 상기 오링의 씨일 링부(200)를 후가류 한다. 다음으로, 전술한 것과 같이 제작된 센터 링부 일체형의 본디드 플랜지 오링의 표면을 단계 s400에서 매끄럽게 가공한다. 최종적으로는 단계 s500에서 본디드 플랜지 오링을 검수한다. In step s400, the bonded flange O-ring integrally joined with the sealing part 200 and the holding ring parts 100a and 100b is removed from the mold after step s302 described above, and then placed in a dry oven at a constant temperature. 200). Next, the surface of the bonded flange O-ring integrally formed with the centering ring part fabricated as described above is smoothly processed in step s400. Finally, in step s500, the bonded flange O-ring is inspected.

10: 센터 링부 20, 200: 씨일 링부
100a, 100b: 홀딩 링부 10: center ring portion 20, 200: sealing portion
100a, 100b: Holding ring part

Claims (8)

진공 장비의 배관과 배관 사이를 접속 및 밀봉하도록, 진공 배관 접속 플랜지에 이용되는 플랜지 오링에 있어서,
불소 고무 또는 과불소 고무를 원료로 하여 형성되며, 상기 플랜지 내에서 서로 접속되는 배관들에 눌려 탄성 변형되는 씨일 링부; 및
불소계 수지를 원료로 하여 미리 형성된 채 상기 씨일 링부가 형성되는 과정에서 상기 씨일 링부와 일체로 접합되며, 상기 플랜지 내에서 상기 씨일 링부를 유지하는 센터 링부를 포함하며,
상기 센터 링부는 반지름 방향으로 두께가 점진적으로 감소되어 형성된 3단 이상의 계단 구조를 외주면 측에 포함하고, 상기 계단 구조의 최 외곽단 중앙에는 상기 씨일 링부에 대한 접합 면적을 증가시키는 돌출부가 형성되며, 상기 씨일 링부는 상기 센터 링부와 접합되는 내주면 측에 상기 돌출부에 상응하는 오목부를 포함하며, 상기 돌출부는 에지 없는 곡면으로 형성된 것을 특징으로 하는 진공 배관 접속용 본디드 플랜지 오링.A flange o-ring used in a vacuum piping connection flange for connecting and sealing between piping and piping of a vacuum equipment,
A sealing part formed of fluororubber or perfluorocarbon rubber as raw materials and being elastically deformed by being pressed on pipes connected to each other in the flange; And
And a center ring portion integrally joined with the sealing portion in the process of forming the sealing portion beforehand formed of a fluororesin as a raw material and holding the sealing portion in the flange,
Wherein the centering portion includes a stepped structure having three or more stages formed by gradually decreasing the thickness in the radial direction on the outer circumferential surface side and a protrusion for increasing a joining area to the sealing portion is formed at the center of the outermost end of the stepped structure, Wherein the sealing portion includes a concave portion corresponding to the protruding portion on an inner circumferential surface side joined to the center ring portion, and the protruding portion is formed as a curved surface without an edge. 청구항 1에 있어서, 상기 씨일 링부와 상기 센터 링부 사이에는 불소계 가류 접착제가 개재된 것을 특징으로 하는 진공 배관 접속용 본디드 플랜지 오링. The bonded flange O-ring according to claim 1, wherein a fluorine-based vulcanization adhesive is interposed between the sealing portion and the center ring portion. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 씨일 링부와 접합되는 상기 센터 링부의 표면에는 러프니스가 형성된 것을 특징으로 하는 진공 배관 접속용 본디드 플랜지 오링. The bonded flange O-ring according to claim 1 or 2, wherein a roughness is formed on a surface of the center ring portion joined to the sealing portion. 삭제delete 진공 장비의 배관과 배관 사이를 접속 및 밀봉하도록, 진공 배관 접속 플랜지에 이용되는 플랜지 오링에 있어서,
불소 고무 또는 과불소 고무를 원료로 하여 형성되며, 상기 플랜지 내에서 서로 접속되는 배관들에 눌려 탄성 변형되는 씨일 링부; 및
불소계 수지를 원료로 하여 미리 형성된 채 상기 씨일 링부가 형성되는 과정에서 상기 씨일 링부와 일체로 접합되는 이너 홀딩 링부 및 아웃터 홀딩 링부를 포함하고, 상기 플랜지 내에서 상기 이너 홀딩 링부와 상기 아웃터 홀딩 링부 사이에 상기 씨일 링부를 유지하는 한 쌍의 홀딩 링부를 포함하며,
상기 이너 홀딩 링부와 상기 아웃터 홀딩 링부 사이에는 가장 폭이 좁은 직선형 단면의 중앙 갭과, 상기 중앙 갭의 단부로부터 2 단 이상의 계단형 확장 구조로 형성된 상하 한 쌍의 외곽 갭이 존재하며, 상기 외곽 갭은 상기 계단형 확장 구조에 의해 상기 중앙 갭과 인접하는 안쪽의 제1 공간과 상기 제1 공간보다 큰 크기로 확장된 외곽의 제2 공간을 포함하며, 상기 씨일 링부는, 상기 중앙 갭 및 상기 한 쌍의 외곽 갭 내에 형성된 채 상기 이너 홀딩 링부 및 상기 아웃터 홀딩 링부와 일체로 접합되되, 상기 중앙 갭 내에서 표면 전체가 상기 이너 홀딩 링부 및 상기 아웃터 홀딩 링부와 접합되어 있는 연결부와, 상기 외곽 갭의 제1 공간에서 상기 이너 홀딩 링부 및 상기 아웃터 홀딩 링부와 접합되어 있고 상기 외곽 갭의 제2 공간에서 상기 이너 홀딩 링부 및 상기 아웃터 홀딩 링부와 접합되어 있지 않은 한 쌍의 접촉 밀봉부를 포함하며, 상기 연결부에 의해 상기 한 쌍의 접촉 밀봉부가 연결되어 있고, 상기 한 쌍의 접촉 밀봉부는, 배관들을 연결하는 플랜지에 적용되어, 배관들 각각의 단부에 눌려 압축되는 볼록한 곡면을 포함하되, 상기 볼록한 곡면은, 상기 배관들 각각의 단부에 눌려 압축되기 전에, 상기 이너 홀딩 링부 및 상기 아웃터 홀딩 링부의 외곽을 지나 상기 제2 공간 밖으로 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 배관 접속용 본디드 플랜지 오링. A flange o-ring used in a vacuum piping connection flange for connecting and sealing between piping and piping of a vacuum equipment,
A sealing part formed of fluororubber or perfluorocarbon rubber as raw materials and being elastically deformed by being pressed on pipes connected to each other in the flange; And
An inner holding ring portion and an outer holding ring portion which are integrally joined to the sealing portion in a process of forming the sealing portion in advance with the fluorine resin being used as a raw material, and wherein the inner holding ring portion and the outer holding ring portion, And a pair of holding ring portions for holding the sealing portion,
Wherein a gap between the inner holding ring portion and the outer holding ring portion has a central gap of a narrowest straight section and a pair of upper and lower outer gaps formed by two or more stepped extending structures from an end of the central gap, Includes a first inner space adjacent to the center gap by the stepped expansion structure and a second outer space expanded to a size larger than the first space by the stepped expansion structure, A connecting portion formed integrally with the inner holding ring portion and the outer holding ring portion and formed integrally with the inner holding ring portion and the outer holding ring portion within the outer gap gap of the pair, Wherein the inner holding ring portion and the outer holding ring portion are joined to each other in the first space, And a pair of contact sealing portions not joined to the outer holding ring portion, wherein the pair of contact sealing portions are connected by the connecting portion, and the pair of contact sealing portions are applied to a flange connecting the pipes And a convex curved surface which is pressed and compressed at the end of each of the pipes, wherein the convex curved surface passes through an outer periphery of the inner holding ring portion and the outer holding ring portion before being compressed by the end of each of the pipes, And the protruded portion of the flanged O-ring is connected to the outside of the flange. 청구항 5에 있어서, 상기 씨일 링부와 상기 한 쌍의 홀딩 링부 사이에는 불소계 가류 접착제가 개재된 것을 특징으로 하는 진공 배관 접속용 본디드 플랜지 오링.[6] The bonded flange O-ring according to claim 5, wherein a fluorine-based vulcanization adhesive is interposed between the sealing portion and the pair of holding ring portions. 청구항 6에 있어서, 상기 씨일 링부와 접합되는 상기 한 쌍의 홀딩 링부의 표면에는 러프니스가 형성된 것을 특징으로 하는 진공 배관 접속용 본디드 플랜지 오링. 7. The bonded flange o-ring according to claim 6, wherein a roughness is formed on a surface of the pair of holding ring portions joined to the sealing portion. 삭제delete
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