KR101471054B1

KR101471054B1 - 전기습윤 기반의 디지털 미세유동

Info

Publication number: KR101471054B1
Application number: KR1020097027004A
Authority: KR
Inventors: 추안용 우
Original assignee: 디지털 바이오시스템즈
Priority date: 2007-05-24
Filing date: 2008-05-27
Publication date: 2014-12-09
Also published as: CN101679078A; WO2008147568A8; EP2148838A1; EP2148838A4; KR20100035691A; US8409417B2; CN101679078B; ZA200907985B; WO2008147568A1; US20100307922A1; EP2148838B1

Abstract

정전기적 전기장의 힘을 사용하는 액체 조작을 위한 장치 및 방법을 제공한다. 장치는 액적이 조작되는 제1 표면 상에 모든 도전성 요소가 임베디드된 단측(single-sided) 전극 설계이다. 조작될 액적을 함유하기 위하여 추가의 제2 표면이 제공될 수 있다. 제1 표면에 임베디드된 상이한 전극에 상이한 전기적 전위값을 제어되는 방식으로 인가하는 전기습윤 기반 기술을 수행함으로써, 장치는 개별적으로 제어가능한 액적을 흐름으로부터 형성하여 연속 액체 흐름을 샘플링하는 것, 액적을 이동시키는 것, 두 개 이상의 액적을 함께 병합하여 혼합하는 것, 하나의 액적을 두 개 이상의 액적으로 분리하는 것, 목적하는 혼합 비율을 얻기 위한 액적의 반복적인 이성분(binary) 혼합, 및 액적 내의 액체 혼합을 향상시키는 것을 포함하는 많은 액적 조작 처리를 가능하게 한다.

액적, 조작, 미세유동, 전기습윤, 샘플링, 이동, 병합, 혼합, 분리

Description

전기습윤 기반의 디지털 미세유동 {Electrowetting based digital microfluidics}

관련 출원의 상호 참조

본 출원은 2007년 5월 24일자 미국 특허 가출원 제60/940,020호의 이익을 요구하며, 본 명세서에서 전체가 참조로서 포함된다.

본 발명은 액적 조작(manipulation), 예를 들어, 미세유동(microfluidic) 규모 상에서의 액적(droplet) 기반 시료 준비, 혼합 및 희석 분야에 관한 것이다. 더욱 구체적으로, 본 발명은 전기 습윤에 기반한 것이다.

지난 약 10년 간, 종종 랩온어칩(Lab-on-a-chip, LOC) 또는 마이크로 토탈 분석 시스템(Micro Total Analysis Systems, μTAS)이라고 일컬어지며, 최소 시약의 사용, 짧은 측정 소요 시간, 저렴한 실험 비용, 및 높은 데이터 품질 등을 목표로 하는 미세유동 기반 장치의 개발에 커다란 관심이 모아졌다. 미세유동은 인쇄, 연료 전지, 디지털 표시장치, 및 생명 과학 등에서 응용될 수 있음이 발견되었다. 본 발명을 생명 과학 관련 분야에 응용하는 것을 주된 관심으로 하여, 즉시 응용할 수 있는 것은 약물 스크리닝, 의료 진단, 환경 모니터링 및 전염병 예방 등을 포함한다.

미세유동은 예를 들어, 레인댄스 테크놀로지스 사(Raindance Technologies, inc.)와 같은 조직으로부터의 미세유동-채널-내-액적 시스템(droplets-in-microfluidic-channel system)을 포함하는 채널 기반 연속 흐름(channel-based contiuous-flow), 및 액적 기반 디지털화된 흐름(droplet-based digitized-flow) 구조로 대체로 분류될 수 있다. 채널 기반 시스템은 본질적으로 몇가지 불리한점을 수반한다. 첫째로, 영구적으로 식각된 구조물은 물리적으로 액체를 가두고, 유체 이송을 가이드할 필요가 있다. 이는 칩 설계 응용을 특정시킨다. 즉, 범용 칩 형태은 구현이 불가능하다. 둘째로, 채널 기반 시스템의 이송 메카니즘은 통상적으로 외부 펌프 또는 원심 장비에 의한 압력-구동이거나, 고전압 전력 공급 등에 의한 동전기적-구동(electrokinetic-driven)이다. 이는 일반적으로 이러한 구조에 기반한 저전력의 자가 완비형 시스템을 설계하는 것을 어렵게 한다.

채널 기반 시스템의 단점을 극복하기 위하여, 사람들은 액적 기반 구조(과거 19세기의 전기습윤 구동 기술)로 돌아섰다. 하나의 대표적 설계는, 동일 층으로부터 형성된 각각의 전극에 전기적으로 연결된 단일 전극층에 2차원의 개별적으로 전기적으로 제어될 수 있는 팻취를 갖는 것이다(파뮬라(Pamula) 등의 미국특허 제6,911,132호 참조). 구동 전극을 어떤 순서(sequence)로 프로그래밍하여 액적 조작 기능, 예를 들어, 분배, 분리, 병합, 및 이송을 구현할 수 있다. 본 발명은 시스템이 더 많은 구동 전극을 요구하는 경우에 즉시 한계가 발견된다. 첫째로, 단일 층 내에서 모든 제어 신호를 라우팅하는 것은 상당히 복잡한 시스템에게는 풀어야 할 과제이며, 또한 다층 설계를 사용하여 제어 신호를 라우팅하는 경우에는 층 수가 증가함에 따라 비용도 증가한다. 둘째로, 필요한 제어 신호의 개수는 제어가능한 전극의 개수와 동일한데, 이는 열(column) 및/또는 행(row)이 증가함에 따라 매우 급격하게 증가된다. 예를 들어, 100×100 (100개 행 및 100개 열) 어레이에 필요한 제어 전극의 수는 10000개이다. 이는 이러한 제어 스킴의 구현을 스케일 업시키는 것을 어렵게 한다. 다른 설계 예는 작은 간극(gap)에 의하여 분리된 두 개의 단일-전극층 칩을 갖는 것으로서, 두 개의 칩 상에 전극이 직교 배치된다(팬(Fan) 등의 IEEE Conf. MEMS, 교토, 일본, 2003년 1월 참조). 유감스럽게도, 이러한 스킴에서 전기 습윤 효과를 하나 또는 소수의 표적 액적으로 집중하는 것은 커다란 과제이다. 예를 들어, 복수의 액적이 동일한 열 또는 행에 존재할 때, 일부 액적을 이동시키고자 하는 경우에 다른 액적이 의도하지 않은 또는 예상할 수 없는 이동을 겪게 된다. 또한, 기판 및 커버 플레이트 모두가 제어 전극을 포함한다는 사실은 칩에 대한 전기적 인터페이스 및 패키징을 더욱 복잡하게 한다.

본 명세서에서 제공되는 것은 전기습윤 기반의 액적 조작에서의 전진이라고 여겨진다. M+N(M 더하기 N) 개의 전극을 제어함으로써(여기에서, M은 행의 개수이고, N은 열의 개수이다), N×M(M 곱하기 N)의 크기를 갖는 어레이 상에서 액적 분배, 이송, 병합, 혼합 및 분리 등을 포함하는 조작으로 액적을 조작할 수 있다.

본 발명은 전기습윤 기반 기술을 이용하는 액적 기반 액체 핸들링 및 조작 장치, 및 방법을 제공한다. 전극에 대한 전압을 제어하여, 서브-피코리터 내지 수 밀리미터의 크기를 갖는 액적을 조작할 수 있다. 이론에 구애됨이 없이, 액적의 액츄에이션 메카니즘은 분극화될수 있는 매체 상의 비균일 전기장에 의하여 미치는 정전기력의 발현, 즉 전압 유도 전기습윤 효과이다. 본 발명의 메카니즘은 액적이 이송되도록 하면서, 또한 칩 상의 어느 곳에서든지 수행되는 혼합을 위한 가상의 챔버로서 역할동작하는 것을 가능하게 한다. 칩은 목적하는 업무를 수행하는 실행시간 동안 재구성될 수 있는 제어 전극의 어레이를 포함한다. 본 발명은 독립적으로 제어가능한 액적 시료, 시약, 희석제(diluent) 등 상에서 몇가지 상이한 형태의 핸들링 및 조작 업무가 수행될 수 있게 한다. 이들 업무는 통상적으로 연속 액체 흐름 상에서 수행된다. 이들 업무는 액츄에이션 또는 이동, 모니터링, 검출, 조사(irradiation), 인큐베이션, 반응, 희석, 혼합, 투석, 분석 등을 포함한다. 더욱이, 본 발명의 방법은 연속 흐름 액체 소스(source)로부터, 예를 들어, 미세유동 칩에서 제공되는 연속 입력으로부터 액적을 형성하는데 사용될 수 있다. 따라서, 본 발명은 연속 흐름을 목적하는 개수의 균일한 크기의 독립적으로 제어가능한 액적 단위로 이산화(discretizing) 또는 분리화(fragmenting)하여 연속 샘플링하는 방법을 제공한다.

현미경적 조작을 위하여, 액체를 분리되고, 독립적으로 제어되는 패킷 또는 액적으로 파티셔닝하는 것은 연속 흐름 시스템에 대하여 몇가지 중요한 이점을 제공한다. 예를 들어, 유체 조작 또는 유동을 기초적인 반복가능한 조작(예를 들어, 하나의 단위 단계에서 하나의 액체 단위를 이동)의 집합으로 감소시키는 것은 디지털 전자공학과 유사한 계층적 셀 기반 설계의 접근을 가능하게 한다.

상기 확인된 잇점에 더하여, 본 발명은 다음과 같은 잇점 때문에 액적 조작을 위한 메카니즘으로서 전기습윤을 이용한다.

(a) 제어 전극 수를 감소시켜 액적 위치의 제어를 개선

(b) 컴팩트 전극 어레이 레이아웃을 갖는 높은 병행 능력

(c) 재구성가능성

(d) 프로그래밍 동작을 사용하는 혼합 비율 제어, 향상된 제어능력 생산 및 혼합 비율의 높은 정확성

(e) 높은 처리 능력, 향상된 병행 능력 제공

(f) 측정, 예를 들어, 비동기적 제어능력 및 정확성의 더 많은 향상을 제공하는 광학 검출과의 통합 가능.

특히, 본 발명은 액적 기반 시료의 준비 및 분석을 가능하게 하는 샘플링 방법을 제공한다. 본 발명은 전기습윤 현상을 유도하고 제어하여, 연속 액체 흐름을 미세유동 칩 또는 다른 적합한 구조물 상에서 또는 그 안에서 균일한 크기를 갖는 일련의 액적으로 분리하거나, 이산시킨다(discretize). 액체는 이후 구조물을 통해서 또는 가로질러서 일련의 액적으로서 이동하여, 결국 출력에서 연속 흐름으로 재결합하여, 취합 리저버에서 놓이거나, 분석을 위하여 흐름 채널로부터 벗어난다. 대안으로서, 분석을 위하여 연속 흐름을 따라 특정 위치로부터 연속 흐름액적을 제거하거나 샘플링하면서, 연속 흐름 스트림은 완전히 구조물을 가로지를 수 있다.

일단 주된 흐름으로부터 제거되면, 각각의 액적의 움직임을 독립적으로 제어하기 위한 설비가 존재한다. 화학적 분석 목적으로, 시료 액적은 칩 또는 다른 구조물 상에서 또는 그에 인접하여 시약 레저버로부터 형성된 특정 화학 시약을 포함하는 액적과 결합되거나 혼합될 수 있다. 어떤 기능, 예를 들어, 액적의 혼합, 반응 또는 인큐베이션 기능이 부여된 칩의 일부의 몇가지 경우에 다중 스텝 반응 또는 희석이 필요할 수 있다. 일단 시료가 준비되면, 전기습윤에 의하여 분석 대상물의 검출 또는 측정을 위한 칩의 다른 부분으로 이송될 수 있다. 검출은 예를 들어, 효소 시스템 또는 다른 생분자 인식 약제를 사용하여 특정 분석 대상물(analyte)에 특이적일 수 있거나, 광학 시스템, 예를 들어, 형광, 인광, 흡광률, 라만(Raman) 스캐터링 등을 사용할 수 있다. 연속 흐름 소스로부터 칩의 분석 부분으로 액적이 흐르는 것은 연속 흐름으로부터 독립적으로 제어되어, 분석을 수행하는데 많은 유연성을 줄 수 있다.

본 발명의 방법은 연속 흐름으로부터 액적을 형성하고, 독립적으로 액적의 이송, 병합, 혼합, 및 다른 조작을 위한 수단을 사용한다. 바람직한 실시예는 이러한 조작을 이루기 위하여 전기습윤을 사용한다. 하나의 실시예에서, 액체는 두 개의 평행한 플레이트 사이의 공간 내에 함유된다. 하나의 플레이트는 두 층의 구동 전극을 포함하며, 다른 플레이트는 접지되거나 기준 전압으로 설정된 하나의 단일 연속 전극(또는 다중 전극)을 포함한다. 소수성 절연체가 전극을 덮고, 전기장이 마주보는 플레이트 상의 전극 사이에서 발생한다. 이러한 전기장은 액적이 모양을 변화시켜, 목적하는 방향으로 목적하는 전극으로 이동하게 하는 표면 장력 구배(gradient)를 생성한다. 전극의 적절한 배열 및 제어를 통하여, 인접한 전극 사이에서 연속적으로 액적을 전달함으로써 액적이 이송될 수 있다. 전극이 커버하는 임의의 위치로 액적을 이송할 수 있도록, 패턴화된 전극이 배열될 수 있다. 액적을 둘러싼 공간은 가스, 예를 들어, 공기 또는 질소, 또는 혼합불가능한 유체 예를 들어, 실리콘 오일(silicone oil)로 충전될 수 있다.

액적을 동시에 동일한 위치로 이송함으로써 액적이 함께 결합될 수 있다. 이후, 액적은 수동적으로 또는 능동적으로 혼합된다. 액적은 확산에 의하여 수동적으로 혼합된다. 액적은 전기습윤 현상을 이용하여 결합된 액적을 이동시키거나 "진탕"하여 능동적으로 혼합한다.

액적은 다음 방법으로 더 큰 액적으로부터 분리될 수 있다: 액적 바로 아래의 전극과 함께 액적의 가장자리에 인접한 2개 이상의 평행 전극에 전기를 가하고, 액적이 전기가 가해진 전극의 범위까지 퍼지도록 이동한다. 이후, 매개 전극은 전원이 끊겨서, 두 개의 유효한 친수성 영역 사이에 소수성 영역을 형성하고, 이에 의하여 두 개의 새로운 액적을 형성한다.

액적은 다음과 같은 방법으로 연속된 액체로부터 형성될 수 있다: 적어도 액체 바로 아래 부분의 전극에 전기를 가하고, 액체는 전기가 가해진 전극의 범위를 넘어서 퍼지도록 이동한다. 이후, 액체의 새로이 연장된 단편의 바로 아래 부분의 적어도 하나의 수직 전극에 전기를 가하며, 이는 액체가 이동하여 이와 같이 새로이 전기가 가해진 전극의 어떤 부분을 가로질러 퍼지게 한다. 첫 번째로 전기가 인가된 전극 상에서 전압을 제거하고, 소정 시간 지연된 후에, 두 번째로 전기가 인가된 전극 상에서 전압을 제거하면, 하나 이상의 새로운 액적이 형성될 것이다.

도 1A 및 1B는 본 발명에 따라 양측 전극 구성을 갖는 전기습윤 마이크로액츄에이터 메카니즘의 서로에 대하여 90도인 두 개의 단면도이다.

도 2A 및 2B는 본 발명에 따라 단측 전극 구성을 갖는 전기습윤 마이크로액츄에이터 메카니즘의 서로에 대하여 90도인 두 개의 단면도이다.

도 3은 기판 표면에 임베디드된 전극의 평면도이다.

도 4A-4D는 본 발명의 전기습윤 기술에 의하여 레저버로부터 분배되는 액적의 연속 개략도이다.

도 5A-5E는 본 발명의 전기습윤 기술에 의하여 이동되는 액적의 연속 개략도이다.

도 6A-6E는 본 발명의 전기습윤 기술에 의하여 도 5A-5E에서의 액적 운동 방향에 대하여 수직 방향을 따라 이동하는 액적의 연속 개략도이다.

도 7A-7D는 본 발명의 전기습윤 기술을 사용하여 병합 액적으로 결합하는 두 개의 액적을 나타내는 연속 개략도이다.

도 8A-8d는 본 발명의 전기습윤 기술을 사용하여 두 개의 액적으로 분리되는 액적을 도시한 연속 개략도이다.

도 9A-9F는 본 발명의 전기습윤 기술에 의하여 이동되는 액적의 연속 개략도로서, 대상 액적이 존재하는 전극 중 하나에 다른 액적이 존재한다.

도 10은 본 발명의 가능한 사용 예의 개념도이다. 액적은 연속 흐름 소스로부터 분배되고, 칩 상의 상이한 위치로 이송되고, 혼합되고, 다른 액적과 반응한다. 측정, 예를 들어, 형광 측정이 또한 여기에서 수행될 수 있다.

본 발명의 개시를 목적으로, 반드시 그러한 것은 아니지만 전형적으로 평면 또는 실질적인 평면이며, 전형적으로 다른 구조 상에 적층되거나, 형성되거나, 코팅되거나, 또는 다르게 배치되는 구조체를 표시하기 위하여 용어 "층" 및 "막"이 상호 교환되어 사용된다.

본 발명의 개시를 목적으로, 두 개 이상의 성분 또는 요소 사이의 구조적, 기능적, 기계적, 전기적, 광학적 또는 유동 관계, 또는 이들의 임의의 결합을 나타내기 위하여, 용어 "연결한다(communicate)"(예를 들어, 제1성분이 제2성분"과 연결되"거나 제2성분"과 연결되어 있다")가 본 명세서에 사용된다. 이와 같이, 하나의 성분이 제2성분과 연결된다고 언급된다는 사실은, 제1성분 및 제2성분 사이에 또는 이들 성분과 동작적으로 관련있거나 관여하는 추가 성분이 존재할 수 있다는 가능성을 배제하기 위한 것이 아니다.

본 발명의 개시를 목적으로, 주어진 성분 예를 들어, 층, 영역 또는 기판이 다른 성분"에서", 다른 성분 "내에서" 또는 다른 성분 "상에서" 배치되거나 형성되는 것으로 본 명세서에서 언급되는 경우, 주어진 성분은 다른 성분 상에 직접 존재하거나, 또는 대안으로서 매개 성분(예를 들어, 하나 이상의 버퍼 층, 중간 층(interlayer), 전극 또는 컨택)이 존재할 수 있음은 물론이다. 또한, 주어진 성분이 다른 성분과 관련하여 위치되거나 놓여지는 방식을 기술하기 위하여, 용어 "~ 상에 배치된다(diposed on)" 또는 "~ 상에 형성된다"가 상호 교환되어 사용될 수 있음은 물론이다. 따라서, 용어 "~ 상에 배치된다" 또는 "~ 상에 형성된다"는 것은, 물질 이송, 적층, 또는 제작의 특정 방법과 관련된 다른 제한을 도입하기 위한 것은 아니다.

본 발명의 개시를 목적으로, 임의의 형태(예를 들어, 이동중이거나 정지된 액적 또는 연속체)의 액체가 전극, 어레이, 매트릭스 또는 표면 "에", "상에", 또는 "위에" 있는 것으로 기술되는 경우, 이러한 액체는 전극/어레이/매트릭스/표면과 직접 접촉할 수 있거나, 또는 상기 액체 및 전극/어레이/매트릭스/표면 사이에 삽입된 하나 이상의 층 또는 막과 접촉할 수 있음은 물론이다.

본 명세서에서 사용되는 바와 같이, 용어 "시약"은 시료 물질과 반응시키거나, 시료 물질을 희석하거나, 용매화하거나, 현탁시키거나, 유화시키거나, 캡슐화하거나, 시료 물질과 상호작용시키거나, 시료 물질에 첨가하는데 유용한 임의의 물질을 기술한다.

본 명세서에서 사용되는 바와 같이, 용어 "전자 선택기(electronic selector)"는, 전자 장치를 매개하거나 매개하지 아니하면서 출력 신호를 상이한 전압 또는 전류 레벨로 설정하거나 변경시킬 수 있는 임의의 전자 장치를 기술한다. 비제한적 예로서, 몇가지 구동 칩이 있는 마이크로프로세서가 상이한 전극을 상이한 시간에 상이한 전압 포텐셜로 설정하기 위하여 사용될 수 있다.

본 명세서에서 사용되는 바와 같이, "접지 전극" 또는 "접지 전압"의 문맥에서 용어 "접지"는, 전극(들)에 대응하는 전압이 0 또는 실질적으로 0에 가깝게 설정됨을 나타낸다. 다른 모든 전압값은, 전형적으로 전압 크기(amplitude)가 300 볼트 미만이지만, 실질적으로 전기습윤 효과가 관찰될 수 있도록 충분히 높아야 한다. 이러한 전압은 교류 또는 직류 전압이다. 교류 전압을 사용하는 경우, 주파수는 전형적으로 100KHz 미만이다. 당업자는 인가된 교류 전압(따라서, 인가된 전기장)의 주파수 증가는 유전영동 효과가 더욱 뚜렷해지도록 함을 알 수 있다. 액적을 조작할 때 습윤 효과 또는 유전영동 효과의 기여를 정량하는 것은 본 발명의 목적이 아니므로, 본 명세서를 통한 전기습윤의 사용은 인가된 전압으로부터 유래된 전기기계 효과를 나타내고, 특히 인가 전압이 더 높은 주파수인 경우에는 유전영동 효과가 포함된다.

덮개 유전층이 배치되는 경우에, 동일한 층에서 이웃한 전극 사이의 공간은 일반적으로 유전 물질로 채워지다는 점이 지적되어야 한다. 또한, 이 공간은 빈 공간으로 남겨질 수도 있고, 가스 예를 들어, 공기 또는 질소로 채워질 수도 있다. 동일한 층에서의 전극 뿐만 아니라, 상이한 전극층에서의 전극 모두는 바람직하게는 전기적으로 절연된다.

필요에 따라 첨부된 도 1A-9F를 참조하여 본 발명에 의하여 제공되는 액적 기반 방법 및 장치를 더욱 상세히 설명한다.

전기습윤에 의한 액적 기반 액츄에이션

도 1A, 1B, 2A 및 2B를 참조하면, 일반적으로 100 및 200으로 표시된 전기습윤 마이크로액츄에이터 메카니즘 각각을, 펌프, 밸브, 또는 고정된 채널을 필요로 하지 아니하면서 액적(D) 상에서의 전기습윤 기반 조작을 달성하기 위한 두 개의 바람직한 실시예로서 나타내었다. 액적(D)은 전해질이거나, 분극화될 수 있거나, 아니면 전류를 흐르게 할 수 있거나, 전기적으로 충전될 수 있다. 하나의 실시예에서, 도 1A 및 1B에 도시되어 있는 바와 같이, 액적(D)은 일반적으로 102로 표시된 하부 플레이트 및 일반적으로 104로 표시된 상부 플레이트 사이에 삽입될 수 있다. 본 명세서에서 용어 "상부(upper)" 및 "하부(lower)"는 단지 상기 두 개의 평면(102 및 104)을 구별하기 위하여 사용되는 것이며, 수평 위치에 대하여 평면(102 및 104)의 방향을 제한하는 것은 아니다. 다른 실시예에서, 도 2A 및 2B에 도시되어 있는 바와 같이, 액적(D)는 일반적으로 102로 표시되는 하나의 플레이트 상에 존재한다. 양 실시예에서, 플레이트(102)는 제어 전극의 서로 수직인 두 개의 긴(elongated) 어레이를 포함한다. 실시예를 통하여, 5개 제어 전극 E(구체적으로 E1, E2, E3, E4, E5, E6, E7, E8, E9, E10)가 도 1A 및 1B에 도시된다. 본 발명(예를 들어, 미세유동 칩)의 장점을 제공하는 장치의 구성에서 제어 전극(E1 내지 E10)은 전형적으로 집합적으로 2차원 전극 어레이 또는 그리드를 형성하는 다수의 제어 전극의 일부분일 것임은 물론이다.

전극이 배치되는 표면이 전기적으로 비전도성인 한(또는 비전도성으로 제작되는 한), 기판 또는 커버 플레이트를 제작하기 위한 재료는 중요하지 아니하다. 재료는 기판 및/또는 커버 플레이트가 일단 만들어진 그들의 원래 모양을 실질적으로 유지할 수 있을 정도로 충분히 강성(rigid)이어야 한다. 기판 및/또는 커버 플레이트는 수정, 유리, 또는 중합체, 예를 들어, 폴리카보네이트(PC) 및 사이클릭 올레핀 코폴리머(COC)로 만들어질 수 있으나, 이것으로 제한되는 것은 아니다. 전극이 배치되는 표면에는 액적 입구 및 액적 출구가 연결된다.

전극의 수는 2 내지 100,000개의 범위일 수 있으며, 바람직하게는 2 내지 10,000개, 더욱 바람직하게는 2 내지 200개의 범위일 수 있다. 각 전극의 폭 또는 동일한 층에서의 이웃한 전극 사이의 공간은 약 0.005mm 내지 약 10mm 범위일 수 있고, 바람직하게는 약 0.05mm 내지 약 2mm 범위일 수 있다. 기판 플레이트 및 상부 플레이트 사이의 전형적인 거리는 약 0.005mm 내지 약 1mm 사이이다.

전극은 임의의 전기적으로 전도성인 재료, 예를 들어, 구리, 크롬, 및 산화인듐주석(ITO) 등으로 만들어질 수 있다. 도면에 도시된 전극의 모양은 편의상 연장된 직사각형으로 표시되었으나, 전극은 실질적으로 유사한 전기습윤 효과를 갖기 위하여 많은 다른 모양을 취할 수 있다. 전극의 각 가장자리는 (도면에 도시되어 있는 바와 같은) 직선, 곡선, 또는 뾰족한 형상(jagged) 등일 수 있다. 각 전극의 정확한 모양은 중요하지 아니하나, 동일한 층에서의 전극은 모양이 실질적으로 유사하여야 하고, 서로 실질적으로 평행하여야 한다. 유전층(103A, 103B, 107)의 재료는 테플론(Teflon), 파릴렌 C(parylene C), 및 이산화규소 등일 수 있다(그러나, 이것으로 한정되는 것은 아니다). 바람직하게는, 층(103B, 107)의 표면은 소수성이다. 이는 층(103B, 107)을 테플론 또는 다른 소수성 재료의 박층으로 코팅하여 달성할 수 있다(그러나, 이것으로 한정되는 것은 아니다). 층(103B, 107)은 또한 표면 형상(surface morphology) 기술을 사용한 텍스쳐 표면(textured surface)으로 소수성 또는 초소수성(superhydrophobic)으로 만들 수 있다.

본 발명에 기재된 전기습윤 효과가 두 개 층 내의 전극을 사용함으로써 달성될 수 있음이 지적되어야 한다. 실질적으로 유사한 전기습윤 효과는 더 많은 층 내에서 전극을 사용함으로써 달성될 수 있다. 비제한적 예로서, 제2 전극 어레이는 이웃한 전극 사이의 수평 공간을 실질적으로 동일하게 유지함으로써 박층에 의하여 유전층에 의하여 분리된 두 개의 전극 서브-어레이 층으로 분리될 수 있으며, 최종 전기습윤 효과는 여전히 실질적으로 유사할 것이다.

제어 전극(E1 내지 E10)은 적합한 하부 기판 또는 제1 기판 또는 플레이트(201) 내에 임베디드되거나 형성될 수 있다. 두 개의 상이한 층에서 그리고 동일한 층에서(E1 내지 E5) 제어 전극을 전기적으로 절연시키기 위하여 유전 물질의 하부 박층(103A)이 하부 플레이트(201)에 적용될 수 있다. 제어 전극(E6 내지 E10)을 덮어서 전기적으로 절연시키기 위하여 소수성 절연체의 다른 하부 박층(103B)이 하부 플레이트(201)에 적용될 수 있다. 상부 평면(104)은 적합한 상부 기판 또는 플레이트(105) 내에 임베디드되거나 그 위에 형성된 단일 연속 접지 전극을 포함한다. 바람직하게는, 접지 전극(G)을 절연시키기 위하여 소수성 절연체의 상부 박층(107)이 또한 상부 플레이트(105)에 적용될 수 있다.

제어 전극(E1 내지 E10)은 도 3에 도시되어 있는 바와 같이 통상적인 전도성 리드 선(L1 내지 L10)을 통하여 적합한 전압원(V1 내지 V10)와 전기적으로 연결되게 위치한다. 전압원(V1 내지 V10)은 독립적으로 제어가능하지만, 또한 동일한 전 압원에 연결될 수 있으며, 여기에서 적어도 일부 전극에 선택적으로 전기가 인가되는 것을 확실히 하기 위하여 스위치와 같은 메카니즘이 필요할 것이다. 다른 실시예에서 또는 전극 어레이의 다른 영역에서, 두 개 이상의 제어 전극(E)은 함께 활성화될 수 있도록 공통으로 연결될 수 있다.

전기습윤 마이크로액츄에이터 메카니즘(100)의 구조는 미세유동 칩의 일부분을 나타낼 수 있으며, 미세유동 칩 상에는 통상적인 미세유동 및/또는 마이크로전자 성분이 또한 집적될 수 있다. 예를 들어, 칩은 또한 MOS(금속 산화물 반도체) 회로와 인터페이스하는 저항성 발열 영역, 미세채널, 마이크로펌프, 압력 센서, 광학 도파관, 및/또는 생물학적 센싱 또는 화학적 센싱 요소를 포함할 수 있다.

도 4A-4D는 기본적인 분리( DISCRETIZE ) 조작을 나타낸다. 도 4A에 도시되어 있는 바와 같이, 액채(LQ), 예를 들어, 레저버의 연속 흐름이 제어 전극(E2)의 하나의 부분 바로 위에 존재한다. E2의 전압 포텐셜을 어느 활성치(V41)로 설정함으로써, LQ로부터 액체가 도 4B에 도시되어 있는 바와 같이 E2를 따라 흐르기 시작한다. 소정 시간 경과 후에, E2를 따라 연장된 액체 요소의 일부분 아래로 지나는 E6은 전압 포텐셜(V42)로 설정되고, 이후 제어 전극(E2)를 비활성화시킨다. 이는 도 4C에 도시되어 있는 바와 같이 E2 및 E6의 교차면 주위에 머무르는 액체(D) 일부를 제외하고, 연장된 유체가 연속된 흐름으로 되돌아가게 한다. E6 전압 포텐셜의 제거는 도 4D에 도시되어 있는 바와 같이 액적(D)이 원형 모양으로 변화하게 한다. 이 과정은 어레이 상에 일련의 액적을 형성한 다음에 기술되는 이동( MOVE ) 조작을 따라 반복될 수 있다. 제어된 방법으로 전극 및 대응 타이밍을 조작함으로 써, 액적이 실질적으로 동일한 크기로 형성될 수 있다.

도 5A-5E는 기본적인 이동 조작을 나타낸다. 도 5A는 액적(D)이 두 개의 제어 전극(E2, E7)의 교차면에 존재하는 시작 위치를 나타낸다. 초기에, 액적에 인접한 제어 전극은 모두 일반적으로 G로 표시되어 접지되어, 액적(D)이 정지되고, E2 및 E7의 교차면에서 평형을 이룬다. 액적(D)을 도 5A-5D의 화살표로 표시된 방향으로 이동시키기 위하여, 제어 전극(E7)에 전압(V51)을 설정함으로써 전기를 인가하여, 도 5B에 도시되어 있는 바와 같이 E2를 중심으로 E7 방향을 따라 액적(D)을 변형시킨다. 이후, 제어 전극 E3을 전압(V52)로 설정하여 활성화하고, 이후 제어 전극(E7)에서 전압 포텐셜을 제거하면, 액적(D)이 E3 상에서 이동하게 되고, 이후 도 5C 및 5D에 도시되어 있는 바와 같이 E7을 중심으로 전극 E3를 따라 확장된다. 제어 전극 E3에서 전압 포텐셜을 제거하면, 액적(D)이 제어 전극(E3, E7)의 교차점에서 그의 평형 상태의 원형 모양으로 돌아오게 된다.

도 6A-6E는 기판 표면 상에서 수직 방향을 따르는 이동 조작을 나타낸다. 도 6A는 액적(D)이 두 개의 제어 전극(E2, E5)의 교차면에 존재하는 시작 위치를 나타낸다. 초기에, 액적에 인접한 제어 전극은 모두 일반적으로 G로 표시되어 접지되어, 액적(D)이 정지되고, E2 및 E5의 교차면에서 평형을 이룬다. 액적(D)을 도 6A-6D의 화살표로 표시된 방향으로 이동시키기 위하여, 제어 전극(E6)에 전압(V61)을 설정함으로써 전기를 인가하고, 제어 전극(E2)를 전압(V62)로 설정함으로써, 도 6B 및 6C에 도시되어 있는 바와 같이 E6 상에서 E2를 따라 액적(D)을 변형시킨다. 이후, 제어 전극(E2)에서 전압 포텐셜을 제거하면, 도 6D에 도시되어 있는 바와 같이 액적(D)이 E6의 중심선 및 E2의 중심선 양쪽을 따라 대칭적으로 된다. 제어 전극(E6)에서 전압 포텐셜을 제거하면, 액적(D)이 제어 전극(E2, E6)의 교차점에서 그의 평형 상태의 원형 모양으로 돌아오게 된다.

상기 언급한 이동 조작에서, 전극 활성화 및 비활성화의 순서(sequence)는 액적(D)이 화살표로 표시된 목적하는 방향으로 계속 이동하도록 반복될 수 있다. 액적이 전극 어레이 제어 표면을 가로질러 이동하는 정확한 경로는, 소정 순서에 따라 어레이의 선택된 전극을 활성화하고, 비활성화하기 위하여 전자 제어부(예를 들어, 마이크로프로세서)를 적합하게 프로그래밍하여 용이하게 제어할 수 있음이 명백하다. 따라서, 예를 들어, 액적(D)은 전극 어레이 제어 기판 표면 상에서 우측 및 좌측으로 돌도록 액츄에이션된다.

도 7A-7D는 두 개의 액적(D1, D2)이 하나의 단일 액적(D3)으로 결합하는 기본적인 병합( MERGE ) 또는 혼합( MIX ) 조작을 나타낸다. 도 7A에서 두 개의 액적(D1, D2)은 제어 전극(E2/E5 및 E2/E7)의 교차면에 초기 위치하고, 적어도 하나의 중간(intervening) 제어 전극(E6)에 의하여 분리된다. 제어 전극(E6)을 전압(V71)으로 설정하여 전기를 인가하고, 이후 제어 전극(E2)을 전압(V62)으로 설정하여, 액적(D1, D2)를 변형하여 도 7B에 도시되어 있는 바와 같이 E6 상에서 E2를 따라 이동시킨다. D1 및 D2가 액적(D3)로 병합된 후에 제어 전극(E2)에서 전압 포텐설을 제거하고, 이후 제어 전극(E6)에서 전압 포텐셜을 제거하면 병합된 액적(D3)은 제어 전극(E2, E6)의 교차점에서 평형 상태의 원형 모양으로 돌아간다.

도 8A-8D는 액적(D)이 두 개의 액적(D1, D2)으로 분리되는 기본적인 분 리( SPLIT ) 조작을 나타낸다. 초기에, 액적에 인접한 제어 전극은 모두 일반적으로 G로 표시되어 접지시켜, 액적(D)이 정지되고, E2 및 E6의 교차면에서 평형을 이루게 할 수 있다. 도 8A-8D에 도시되어 있는 바와 같이 액적(D)을 분리하기 위하여, 제어 전극(E5, E7)을 전압(V81)으로 설정함으로써 전기를 인가하고, 이후 제어 전극(E2)을 전압(V82)으로 설정함으로써, 도 8B에 도시되어 있는 바와 같이 액적(D)을 변형시킨다. 이후, 제어 전극(E2)에서 전압 포텐셜을 제거하면, 도 8C에 도시되어 있는 바와 같이 액적(D)이 E2 및 E6 교차면을 주위에서 분리된다. 제어 전극(E5, E7)에서 전압 포텐셜을 제거하면, 두 개의 새로이 형성된 액적(D1, D2)은 제어 전극(E2, E5)의 교차점 및 제어 전극(E2, E7)의 교차점에서 각각 그의 평형 상태의 원형 모양으로 돌아오게 된다. 분리 액적(D1, D2)는 부분적으로 물리적 성분의 대칭 및 전기습윤 마이크로액츄에이터 메카니즘(도 1A, 1B, 2A, 2B의 100, 200)의 구조 뿐만 아니라 외부 제어 전극(E5, E7)에 인가되는 동등한 전압 포텐셜에 의하여 동일하거나 실질적으로 동일한 부피를 가진다.

도 9A-9F는 목적 액적을 통하여 지나가는 전극 중 하나에 존재하는 다른 액적과의 이동(MOVE) 조작을 나타낸다. 도 9A는 액적(D1)이 두 개의 제어 전극(E2, E8)의 교차면에 존재하고, 액적(D2)이 두 개의 제어 전극(E5, E8)의 교차면에 존재하는 시작 위치를 나타낸다. 초기에, 액적(D1, D2)에 인접한 제어 전극은 모두 일반적으로 G로 표시되어 접지되어, 액적(D1, D2)이 정지되고, E2 및 E8과, E5 및 E8의 교차면에서 각각 평형을 이룬다. 이후 단계는, 액적(D1)을 그의 원래 위치에 유지시키면서, 액적(D2)을 도 9A-9D의 화살표로 표시된 방향으로 이동시키는 방법 을 나타낸다. 첫 번째로, 제어 전극(E1, E3) 양쪽을 전압(V71)으로 설정함으로써 전기를 인가하고, 이후 도 9B에 도시되어 있는 바와 같이 E2 주위를 중심으로 E8 방향을 따라 액적(D1)을 변형한다. 두 번째로, 제어 전극(E1, E3)을 접지 전압(G)로 다시 설정하고, 제어 전극(E5)를 전압(V73)으로 설정한다. 이는 액적(D1, D2)이 도 9C에 도시되어 있는 바와 같이 각각 E8 및 E5를 따라 변형하게 한다. 세 번째로, 제어 전극(E9)을 전압(V74)으로 설정하고, E4 및 E6 모두를 V75로 설정하여, 액적(D2)이 도 9D 및 9E에 도시되어 있는 바와 같이 변형되어 이동하게 한다. 마지막으로, 제어 전극(E4, E6, E9, E5, E8)에서 전압 포텐셜을 제거하면, 액적(D1, D2)은 E2/E8 및 E5/E9 교차점에서 그들의 평형상태의 원형 모양으로 되돌아간다. 바람직한 전압 제거 순서는 E4 및 E6을 함께, 이후 E9, 이후 E5, 및 이후 E8의 순서이다.

도 3 내지 9F에서, 일부 활성화 전압 포텐셜 또는 심지어 모든 활성화 전압 포텐셜은 동일한 전압치를 가질 수 있으며, 적은 개수의 상이한 제어 전압치를 갖는 전기적 제어 시스템을 구현하기 위하여 바람직할 수 있다. 그러나, 변수의 값, 예를 들어, 활성화/비활성화되는 전극의 개수, 활성화/비활성화되는 전극의 순서 및 시간 지연, 인가되는 전압(크기 및 주파수 모두) 등은 많은 요인, 예를 들어 액적 조작의 모드, 장치 구성(예를 들어, 전극의 폭 및 공간, 유전 막 두께), 액적 크기 등에 의존한다. 변수 및 그 값은 당업자에 의하여 용이하게 선택될 수 있다.

실시예

이하에서는 본 발명을 실시하기 위한 구체적인 구현 실시예를 기술한다. 실시예는 단지 설명의 목적으로 제공되며, 본 발명의 범위를 어떠한 방식으로든 제한하기 위한 것은 아니다. 사용되는 숫자(예를 들어, 양, 온도 등)에 대한 정확성을 지키기 위하여 노력하였으나, 당연히 일부 실험적 오차 및 편차가 허용되어야 한다.

실시예 1

액적 기반 샘플링 및 처리

도 10을 참조하면, 본 발명에 따라 연속-흐름 액체 입력 소스(91, 92)로부터 액적을 샘플링하고, 이후 처리하는 방법이 개략적으로 도시되어 있다. 더욱 특별하게, 방법은 차후의 액적 기반 온칩 및/또는 오프칩 절차, 예를 들어, 혼합, 인큐베이션, 반응 및 검출 등에 대비하여 상기 기술한 전기습윤 기반 기술에 의하여, 레저버(91)로부터 균일한 크기를 갖는 샘플 액적(S)를 분리하고, 레저버(92)로부터 시약 액적(R)을 분리하는 것이 가능하다. 이러한 맥락에서, 용어 "연속"은 더 작은 부피의 액적으로 분리되지 아니한 액체의 부피를 표시하기 위하여 사용된다. 연속-흐름 입력의 비제한적 예는 분배(dispensing) 장치로부터 기판 표면으로 유입되는 모세관 규모의 스트림, 슬러그(slug), 및 분취량(aliquot)을 포함한다. 시료 액적(S)은 전형적으로 관심있는 검출 대상 물질(예를 들어 분광학적 분석으로 농도를 검출하고자 하는 알려진 분자)을 포함한다. 도 10에 도시된 몇가지 시료 액적(S)은 연속 흐름 소스(91)로부터 분리된 개별 시료 액적 또는 시간이 경과함에 따라 전극 순서에 따라 이용가능한 다양한 경로로 전극 어레이 상에서 상이한 위치로 이동할 수 있는 단일 시료 액적(S)을 나타낸다. 유사하게, 도 10에 도시된 몇가지 시약 액적(S)은 연속 흐름 소스(92)로부터 분리된 개별 시약 액적 또는 시간이 경과함에 따라 전극 순서에 따라 이용가능한 다양한 경로로 전극 어레이 상에서 상이한 위치로 이동할 수 있는 단일 시약 액적(S)을 나타낸다.

도 10에 도시된 액적 조작은 상기 기술한 전극 어레이 상에서 유리하게 나타날 수 있음은 물론이다. 이러한 어레이는, 다른 특징 또는 장치와 함께 또는 다른 특징 또는 장치 없이, 미세유동 칩의 표면 상에 또는 표면에 임베디드되어 제작될 수 있다. 적합한 전자 제어기, 예를 들어, 마이크로프로세서와의 연결을 통하여 어레이의 전극의 적합한 순서 및 제어를 통하여, (액적 형성 및 이송을 포함하는) 샘플링이 연속적으로 자동화된 방식으로 수행될 수 있다.

도 10에서 연속 흐름 소스(91, 92)의 액체 입력이 적합한 주입 위치에서 전극 어레이로 공급된다. 상기 기술한 전기습윤 기반 기술을 사용하여, 연속 액체 입력(91, 92)은 균일한 크기를 갖는 일련의 시료 액적(S) 또는 시약 액적(R)으로 분리되거나 이산된다. 이들 새로이 형성된 하나 이상의 시료 액적(S) 및 시약 액적(R)은 이후 목적하는 프로토콜에 따라 조작될 수 있으며, 여기에서 상기 프로토콜은 하나 이상의 기초적인 상기 기술된 이동, 병합/혼합 및 분리 조작 뿐만 아니라, 이들 기초적인 조작으로부터 유도되는 임의의 조작을 포함할 수 있다. 특히, 발명은 시료 액적(S) 및 시약 액적(R)이 온칩 절차를 위하여 연속 액체 입력(91, 92)으로부터 벗어나는 것을 가능하게 한다. 예를 들어, 도 10은 미세유동 칩을 가 로질러 미세유동 칩의 표면 상에 위치하는 하나 이상의 기능적 영역, 예를 들어, 영역(93, 94, 95, 96)으로 향하는 프로그램 가능한 흐름 경로를 따라 이송되는 액적을 나타낸다.

기능적 영역(93)은 시료 액적(S) 및 시약 액적(R)이 함께 결합하는 혼합기이다. 기능적 영역(94)는 시료가 시약과 반응하는 반응기일 수 있다. 기능적 영역(95)는 신호 예를 들어 형광이 반응된 시료/시약 액적으로부터 측정될 수 있는 경우의 검출기일 수 있다. 마지막으로 기능적 영역(96)은 검출 및/또는 분석이 완료된 후에 액적이 모이는 저장 장소일 수 있다.

기능적 영역(93 내지 96)은 바람직하게는 어레이 상에 하나 이상의 전극 교차 영역을 포함한다. 이러한 기능 영역(93 내지 96)은 많은 경우에 대응 제어 전극의 순서에 의하여 정의될 수 있으며, 여기에서 순서는 목적하는 프로토콜의 일부로서 프로그램되고, 미세유동 칩과 연결되는 전자적 제어부에 의하여 제어된다. 따라서, 기능 영역(93 내지 96)은 미세유동 칩의 전극 어레이 상의 어느 곳에서든지 형성될 수 있고, 실행 시간 중에 재구성될 수 있다.

본 발명과 관련된 몇가지 잇점은 상기 설명한 실시예로부터 용이하게 파악될 수 있다.

본 설계는 시료 분석을 시료 입력 흐름으로부터 분리시키는 것을 가능하게 한다.

복수의 검출 대상물이 동시에 측정될 수 있다. 연속 액체 흐름(91)은 시료 액적(S)으로 분리되므로, 각 시료 액적(S)은 상이한 시약 액적과 혼합되고, 칩 상 의 상이한 시험 위치로 이동되어, 단일 시료에서 교차 오염없이 복수의 검출 대상물의 동시 측정을 가능하게 할 수 있다.

단일 칩을 사용하여 복수의 상이한 형태의 분석을 수행할 수 있다.

보정(calibration)및 시료 측정이 복합될 수 있다. 보정 액적을 생성하고, 시료 사이에서 측정할 수 있다. 보정은 입력 흐름의 중단을 필요로 하지 아니하며, 측정 중 주기적인 재보정이 가능하다. 더욱이, 복수의 검출 대상물을 상대로 검출 또는 센싱이 복합될 수 있다.

시료 조작은 재구성될 수 있다. 샘플링 속도, 혼합 비율, 보정 절차, 및 구체적인 시험은 모두 실행 시간 중 동적으로 변화될 수 있다.

상기 기술한 실시예 및 상기 기술한 잇점이 결코 전부인 것은 아니라는 점을 여기에서 언급한다. 본 발명의 유연한 특성이 많은 응용에서 이용될 수 있고, 다른 기술, 예를 들어, 채널 기반 미세유동과 비교하여 수많은 잇점을 가진다.

본 출원에서 언급된 모든 발행된 특허 및 공개공보는 전체로서 본 명세서에 참조로서 포함된다.

본 발명의 바람직한 실시예가 설명되고, 기술되었으나, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어남이 없이 다양하게 변경될 수 있다.

Claims

(a) 제1 기판 표면을 포함하는 기판;

(b) 상기 제1 기판 표면 상에 배치되는 긴(elongated) 구동 전극의 제1 어레이로서, 상기 제1 어레이의 서로 인접한 긴 구동 전극들 사이의 공간은 0.005 mm 내지 10 mm 인, 상기 제1 어레이;

(c) 구동 전극의 상기 제1 어레이를 덮기 위하여 상기 제1 기판 표면 상에 배치되는 제1 유전층;

(d) 상기 제1 어레이와 수직이며, 상기 제1 유전층 상에 배치되는 긴 구동 전극의 제2 어레이로서, 상기 제2 어레이의 서로 인접한 긴 구동 전극들 사이의 공간은 0.005 mm 내지 10 mm 이며, 상기 제1 유전층은 긴 구동 전극의 상기 제1 어레이 및 구동 전극의 상기 제2 어레이를 분리시키는, 상기 제2 어레이;

(e) 구동 전극의 상기 제2 어레이를 덮기 위하여 상기 제1 기판 표면 상에 배치되는 제2 유전층; 및

(f) 선택된 구동 전극을 액츄에이션 전압으로 순차적으로 바이어스하기 위하여 상기 두 개 어레이의 하나 이상의 선택된 구동 전극을 순차적으로 활성화시키고, 비활성화시켜서, 상기 제1 기판 표면상에 배치된 액적을 상기 선택된 구동 전극에 의하여 정의되는 목적 경로를 따라 이동시키기 위한 전극 선택기;

를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 조작 장치.
제 1 항에 있어서, 플레이트 및 기판 표면 사이의 공간을 정의하기 위하여 상기 제1 기판 표면으로부터 상기 공간에 배치되는 액적을 포함하기에 충분한 거리로 이격된 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 조작 장치.
제 2 항에 있어서, 상기 플레이트는 상기 제1 기판 표면에 대향하는 플레이트 표면을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 조작 장치.
제 3 항에 있어서, 상기 플레이트 표면상에 전극이 배치되는 것을 특징으로 하는 액체 조작 장치.
제 4 항에 있어서, 전기적으로 절연되고, 소수성인 층이 상기 전극 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 액체 조작 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 제2 유전층은 소수성 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 조작 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 액체는 전해질인 것을 특징으로 하는 액체 조작 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 전극 선택기는 전자 프로세서를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 조작 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 제1 기판 표면과 연결되는 액적 입구를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 조작 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 제1 기판 표면과 연결되는 액적 출구를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 조작 장치.
삭제
삭제
삭제
삭제
삭제
삭제