KR101433805B1 - 구조개선된 반도체 제조용 필름 코팅장치 - Google Patents

구조개선된 반도체 제조용 필름 코팅장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101433805B1
KR101433805B1 KR1020130138162A KR20130138162A KR101433805B1 KR 101433805 B1 KR101433805 B1 KR 101433805B1 KR 1020130138162 A KR1020130138162 A KR 1020130138162A KR 20130138162 A KR20130138162 A KR 20130138162A KR 101433805 B1 KR101433805 B1 KR 101433805B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
film
roller
coating liquid
coating
main roller
Prior art date
Application number
KR1020130138162A
Other languages
English (en)
Inventor
황선오
Original Assignee
주식회사 코엠에스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 코엠에스 filed Critical 주식회사 코엠에스
Priority to KR1020130138162A priority Critical patent/KR101433805B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101433805B1 publication Critical patent/KR101433805B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C1/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating
    • B05C1/04—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length
    • B05C1/08—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length using a roller or other rotating member which contacts the work along a generating line
    • B05C1/0826—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length using a roller or other rotating member which contacts the work along a generating line the work being a web or sheets
    • B05C1/0834—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length using a roller or other rotating member which contacts the work along a generating line the work being a web or sheets the coating roller co-operating with other rollers, e.g. dosing, transfer rollers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C9/00—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important
    • B05C9/08—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation
    • B05C9/12—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation the auxiliary operation being performed after the application
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/28—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by transfer from the surfaces of elements carrying the liquid or other fluent material, e.g. brushes, pads, rollers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D7/00—Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials
    • B05D7/02—Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials to macromolecular substances, e.g. rubber
    • B05D7/04—Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials to macromolecular substances, e.g. rubber to surfaces of films or sheets

Landscapes

  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Wood Science & Technology (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

반도체 제조용 필름 코팅장치에 있어서, 회전수단(미도시)에 의해 회전되며 필름의 배면과 접면되는 메인롤러(10)와; 상기 메인롤러(10)와 회전축이 평행하게 인접하여 구비되고 필름의 상면과 접면되어 코팅액을 필름에 도포하는 도포용 롤러(20)와; 상기 메인롤러(10)의 반대편에 상기 도포용 롤러(20)와 회전축이 서로 평행하게 인접하여 이격되어 구비되고, 코팅액을 표면에 묻힌 후 상기 도포용 롤러(20)의 표면에 바르는 코팅액 공급롤러(30)와; 코팅액을 주기적으로 상기 코팅액 공급롤러(30)에 정량씩 분사 공급하는 코팅액 분사부(40)와; 필름을 상기 메인롤러(10)와 롤러(20) 사이의 틈으로 안내하는 필름 가이드부(50)와; 상기 메인롤러(10)와 도포용 롤러(20) 사이를 통과하면서 코팅액이 도포된 필름을 가열하여 코팅액을 경화시키는 경화수단부(60)와; 필름이 경화수단부(60)를 통과하게 이송시키는 컨베이어(70);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 구조 개선된 반도체 제조용 필름 코팅장치.

Description

구조개선된 반도체 제조용 필름 코팅장치 { Film coating device }
본 발명은 자외선 노광용 마스크 필름 또는 기판(Board)의 자외선 노광용 아크워크(artwork) 필름의 코팅장치에 관한 것이다.
주로 자외선 감광막이 도포된 플렉시블한 기판(Board)의 자외선 노광과정에서 사용되는 마스크 필름 또는 아트워크 필름의 UV 코팅 용도로 사용될 것이다.
최근에 전자제품의 경량화, 박엽화 및 단소화(短小化)와 고(高)기능화에 따라 프린트 배선기판은 더욱 더 고(高)정밀도, 고(高)밀도화 되어지고 있으며, 이 때문에 포토레지스트 등의 감광재료를 코팅한 기판의 표면에 소정의 패턴을 노광장치에 의해 감광, 인화(印畵)한 후, 에칭공정에 의해서 기판 위에 패턴을 형성케 하는 포토리소그래피법이 프린트 배선기판 제조에 이용되고 있다.
일반적으로 사용되고 있는 포토마스크 필름과 프린트 배선 기판을 밀착시켜 노광을 하게 되는 밀착방식으로 고정밀도, 고밀도의 프린트 배선 기판을 제조하는 경우, 포토마스크 필름과 배선 기판의 밀착에 의해 노광시마다 포토마스크 필름의 손상이 발생하여 배선 기판에 배선이나 솔더레지스트 등의 패턴이 정밀하게 형성되지 않는 문제점이 있었다.
선행 특허 제10-1190865 : 양면진공 필름 코팅기 및 이를 이용한 필름 코팅방법(VACUUM TYPE FILM COATING DEVICE AND FILM COATING METHOD THEREWITH)가 있다.
본 발명에 따르는 경우, 노광용 마스크 필름이 손상되지 않도록 코팅액을 도포함에 있어서 필름 전면에 균일한 량의 보호 코팅액을 도포함으로써 보호 코팅층의 두께를 균일하여 보다 정밀한 반도체 제조를 가능하게 하는 반도체 제조용 필름 코팅장치가 제공된다
본 발명의 구조 개선된 반도체 제조용 필름 코팅장치는,
반도체 제조용 필름 코팅장치에 있어서,
회전수단(미도시)에 의해 회전되며 필름의 배면과 접면되는 메인롤러(10)와;
상기 메인롤러(10)와 회전축이 평행하게 인접하여 구비되고 필름의 상면과 접면되어 코팅액을 필름에 도포하는 도포용 롤러(20)와;
상기 메인롤러(10)의 반대편에 상기 도포용 롤러(20)와 회전축이 서로 평행하게 인접하여 이격되어 구비되고, 코팅액을 표면에 묻힌 후 상기 도포용 롤러(20)의 표면에 바르는 코팅액 공급롤러(30)와;
코팅액을 주기적으로 상기 코팅액 공급롤러(30)에 정량씩 분사 공급하는 코팅액 분사부(40)와;
필름을 상기 메인롤러(10)와 롤러(20) 사이의 틈으로 안내하는 필름 가이드부(50)와;
상기 메인롤러(10)와 도포용 롤러(20) 사이를 통과하면서 코팅액이 도포된 필름을 가열하여 코팅액을 경화시키는 경화수단부(60)와;
필름이 경화수단부(60)를 통과하게 이송시키는 컨베이어(70);를 포함하여 구성되는 것을 특징이다.
본 발명은 필름 전면에 균일한 량의 보호 코팅액을 도포함으로써 보호 코팅층의 두께를 균일하여 보다 정밀한 반도체 제조를 가능하게 하는 반도체 제조용 필름 코팅장치가 제공된다. 또한,본 장치는 다른 용도로 사용되는 반도체용 필름의 약품을 코팅하는 용도로 사용될 수 있으며 이 또한 본 발명의 범주에 속한다.
도 1(a, b)은 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 제조용 필름 코팅장치 측면 구성도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 제조용 필름 코팅장치 측면 주요부 확대도.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 제조용 필름 코팅장치 중 코팅액 분사부 측면도.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 제조용 필름 코팅장치 코팅액 분사부 측면도 정면도.
이하에서 본 발명의 일실시예에 따른 구조개선된 반도체 제조용 필름 코팅장치에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 도 1(a, b)은 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 제조용 필름 코팅장치 측면 구성도, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 제조용 필름 코팅장치 측면 주요부 확대도, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 제조용 필름 코팅장치 중 코팅액 분사부 측면도이고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 제조용 필름 코팅장치 코팅액 분사부 측면도 정면도이다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 구조개선된 반도체 제조용 필름 코팅장치는, 반도체 제조용 필름 코팅장치에 있어서, 회전수단(미도시)에 의해 회전되며 필름의 배면과 접면되는 메인롤러(10)와, 상기 메인롤러(10)와 회전축이 평행하게 인접하여 구비되고 필름의 상면과 접면되어 코팅액을 필름에 도포하는 도포용 롤러(20)와, 상기 메인롤러(10)의 반대편에 상기 도포용 롤러(20)와 회전축이 서로 평행하게 인접하여 이격되어 구비되고, 코팅액을 표면에 묻힌 후 상기 도포용 롤러(20)의 표면에 바르는 코팅액 공급롤러(30)와, 코팅액을 주기적으로 상기 코팅액 공급롤러(30)에 정량씩 분사 공급하는 코팅액 분사부(40)와, 필름을 상기 메인롤러(10)와 롤러(20) 사이의 틈으로 안내하는 필름 가이드부(50)와, 상기 메인롤러(10)와 도포용 롤러(20) 사이를 통과하면서 코팅액이 도포된 필름을 가열하여 코팅액을 경화시키는 경화수단부(60)와, 필름이 경화수단부(60)를 통과하게 이송시키는 컨베이어(70)를 포함하여 구성된다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 구조개선된 반도체 제조용 필름 코팅장치는, 코팅액 분사부(40)는, 코팅액 공급롤러(30)의 회전중심축 방향과 평행하게 횡으로 배치된 이송가이드(41)와, 분사노즐부(45)를 상기 이송가이드(41)를 따라 이동시키는 횡방향 이송부(43)와, 상기 이송가이드(41)를 따라 코팅액 공급롤러(30)와 평행하게 이동하면서 코팅액을 코팅액 공급롤러(30)의 표면에 분사하는 분사노즐부(45)로 구성된다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 구조개선된 반도체 제조용 필름 코팅장치는, 코팅액 공급롤러(30)의 표면에 50~100μm 의 와이어(Wire)가 나선 형상으로 촘촘하게 감겨져 있는 것이 바람직하다. 도포용 롤러(20)와 코팅액 공급롤러(30)의 간격을 조절하기 위한 핸들축(35)을 더 포함하여 구성되고, 상기 핸들축(35)을 돌리면 코팅액 공급롤러(30)가 전진 또는 후진하도록 구성되는 것이 바람직하다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 구조개선된 반도체 제조용 필름 코팅장치는, 필름 가이드부(50)에 필름감지센서(170)가 더 구비되고, 필름감지센서(170)는 필름 도착 신호를 제어부(미도시)로 보내고, 메인롤러(10)는 필름이 필름 가이드부(50)에 존재하지 않을 때는 도포용 롤러(20)로부터 멀어진 후진상태에 있으며, 제어부는 필름감지센서(170)로부터 필름 도착 신호가 도달하면 메인롤러 전후진수단(80)에 신호를 인가하여 메인롤러(10)를 전진시키는 것이 바람직하다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 구조개선된 반도체 제조용 필름 코팅장치에 있어서, 메인롤러 전후진수단(80)은, 전후진수단(80)은 서보모터(미도시)에 의해 회전되는 롤러이송축(82)과, 롤러이송축(82)의 회전에 의해 전후진 하며 메인롤러축(11)에 연결되어 메인롤러축(11)을 전후진 시키는 연결구(81)를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 구조개선된 반도체 제조용 필름 코팅장치에 있어서, 코팅액 분사부(40)가 필름에 코팅액을 분사하기 전에 필름의 이물질을 제거하는 필름클린부(90)를 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다. 필름클린부(90)는, 필름을 공급하는 공급테이블(91)과, 공급테이블(91)의 후측에 배치된 서로 마주보게 배치된 상부크린롤(93) 및 하부롤(94)과, 상부크린롤(93)의 상부에 접면되게 배치되어, 필름이 상기 상부크린롤(93)과 접면되면서 상부크린롤(93)에 전달된 이물질을 점착하여 가져가는 점착롤(95)을 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
본 발명은 상기에서 언급한 바람직한 실시예와 관련하여 설명됐지만, 본 발명의 범위가 이러한 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 범위는 이하의 특허청구범위에 의하여 정하여지는 것으로 본 발명과 균등 범위에 속하는 다양한 수정 및 변형을 포함할 것이다.
아래의 특허청구범위에 기재된 도면부호는 단순히 발명의 이해를 보조하기 위한 것으로 권리범위의 해석에 영향을 미치지 아니함을 밝히며 기재된 도면부호에 의해 권리범위가 좁게 해석되어서는 안될 것이다.
10 : 메인롤러
20 : 도포용 롤러
30 : 코팅액 공급롤러
40 : 코팅액 분사부
50 : 필름 가이드부
60 : 경화수단부
70 : 컨베이어

Claims (7)

  1. 반도체 제조용 필름 코팅장치에 있어서,
    회전수단(미도시)에 의해 회전되며 필름의 배면과 접면되는 메인롤러(10)와;
    상기 메인롤러(10)와 회전축이 평행하게 인접하여 구비되고 필름의 상면과 접면되어 코팅액을 필름에 도포하는 도포용 롤러(20)와;
    상기 메인롤러(10)의 반대편에 상기 도포용 롤러(20)와 회전축이 서로 평행하게 인접하여 이격되어 구비되고, 코팅액을 표면에 묻힌 후 상기 도포용 롤러(20)의 표면에 바르는 코팅액 공급롤러(30)와;
    코팅액을 주기적으로 상기 코팅액 공급롤러(30)에 정량씩 분사 공급하는 코팅액 분사부(40)와;
    필름을 상기 메인롤러(10)와 롤러(20) 사이의 틈으로 안내하는 필름 가이드부(50)와;
    상기 메인롤러(10)와 도포용 롤러(20) 사이를 통과하면서 코팅액이 도포된 필름을 가열하여 코팅액을 경화시키는 경화수단부(60)와;
    필름이 경화수단부(60)를 통과하게 이송시키는 컨베이어(70);를 포함하여 구성되되,

    필름 가이드부(50)에 필름감지센서(170)가 더 구비되고,
    필름감지센서(170)는 필름 도착 신호를 제어부(미도시)로 보내고,
    상기 메인롤러(10)는 필름이 필름 가이드부(50)에 존재하지 않을 때는 도포용 롤러(20)로부터 멀어진 후진상태에 있으며,
    상기 제어부는 필름감지센서(170)로부터 필름 도착 신호가 도달하면 메인롤러 전후진수단(80)에 신호를 인가하여 메인롤러(10)를 전진시키는 것을 특징으로 하는 구조 개선된 반도체 제조용 필름 코팅장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 코팅액 분사부(40)는,
    코팅액 공급롤러(30)의 회전중심축 방향과 평행하게 횡으로 배치된 이송가이드(41)와,
    분사노즐부(45)를 상기 이송가이드(41)를 따라 이동시키는 횡방향 이송부(43)와,
    상기 이송가이드(41)를 따라 코팅액 공급롤러(30)와 평행하게 이동하면서 코팅액을 코팅액 공급롤러(30)의 표면에 분사하는 분사노즐부(45),
    로 구성되는 것을 특징으로 하는 구조 개선된 반도체 제조용 필름 코팅장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 코팅액 공급롤러(30)의 표면에
    50~100μm 의 와이어(Wire)가 나선 형상으로 촘촘하게 감겨져 있는 것을 특징으로 하는 구조 개선된 반도체 제조용 필름 코팅장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 메인롤러 전후진수단(80)은,
    서보모터(미도시)에 의해 회전되는 롤러이송축(82)과,
    상기 롤러이송축(82)의 회전에 의해 전후진 하며 메인롤러축(11)에 연결되어 메인롤러축(11)을 전후진 시키는 연결구(81)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 구조 개선된 반도체 제조용 필름 코팅장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
KR1020130138162A 2013-11-14 2013-11-14 구조개선된 반도체 제조용 필름 코팅장치 KR101433805B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130138162A KR101433805B1 (ko) 2013-11-14 2013-11-14 구조개선된 반도체 제조용 필름 코팅장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130138162A KR101433805B1 (ko) 2013-11-14 2013-11-14 구조개선된 반도체 제조용 필름 코팅장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101433805B1 true KR101433805B1 (ko) 2014-09-23

Family

ID=51758804

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130138162A KR101433805B1 (ko) 2013-11-14 2013-11-14 구조개선된 반도체 제조용 필름 코팅장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101433805B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102168282B1 (ko) * 2020-07-07 2020-10-21 김충래 필름 코팅 장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5228920A (en) * 1991-06-03 1993-07-20 Thompson Iii Ernest E Film coating unit
KR20110009571A (ko) * 2009-07-22 2011-01-28 세광테크 주식회사 디스플레이용 판넬의 롤러코팅장치
KR101028038B1 (ko) * 2010-10-04 2011-04-08 주식회사 코엠에스 반도체 제조용 필름 코팅장치
KR101152022B1 (ko) * 2004-03-26 2012-06-11 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 코팅 방법 및 장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5228920A (en) * 1991-06-03 1993-07-20 Thompson Iii Ernest E Film coating unit
KR101152022B1 (ko) * 2004-03-26 2012-06-11 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 코팅 방법 및 장치
KR20110009571A (ko) * 2009-07-22 2011-01-28 세광테크 주식회사 디스플레이용 판넬의 롤러코팅장치
KR101028038B1 (ko) * 2010-10-04 2011-04-08 주식회사 코엠에스 반도체 제조용 필름 코팅장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102168282B1 (ko) * 2020-07-07 2020-10-21 김충래 필름 코팅 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104835759B (zh) 柔性电子器件制造装置
KR100367963B1 (ko) 처리액도포용도포장치
JP6274731B2 (ja) パターン形成装置
KR101433805B1 (ko) 구조개선된 반도체 제조용 필름 코팅장치
JPH0330851A (ja) 基板上に液状被覆を静電噴霧し乾燥させる方法および装置
JP2015026655A (ja) 薄膜形成方法及び薄膜形成装置
JP2009268973A (ja) 塗布装置
JP2007000815A (ja) 基板への塗膜形成方法及び基板への塗膜形成装置
KR101028038B1 (ko) 반도체 제조용 필름 코팅장치
JP4074293B2 (ja) 電子回路用基板の塗料塗布保護フィルム付き塗膜形成方法及びその塗膜形成装置
US20190291495A1 (en) Blanket manufacturing apparatus and blanket manufacturing method
KR101075630B1 (ko) 인쇄 회로 기판 제조용 레지스트 도포 장치
KR101879298B1 (ko) 롤투롤을 활용한 비타민 증착 시스템
KR101298103B1 (ko) 미세 회로 패턴 제조 장치와 방법 및 이에 의해 제조되는 미세 회로 패턴
KR101598340B1 (ko) 롤투롤 프린트 에칭 시스템
KR20160085947A (ko) 임프린트 장치 및 그 방법
JP3982293B2 (ja) 基板の搬送方法、保護カバー
JP2006245446A (ja) レジスト剥離除去装置
JP3497659B2 (ja) 薄板状被塗物の両面塗布装置
KR102590769B1 (ko) 반송 장치, 반송 방법, 리소그래피 장치, 리소그래피 시스템, 및 물품 제조 방법
JPH0994501A (ja) 薄板状被塗物の両面塗布装置
KR20160000040A (ko) 일체형 건조 및 경화 장치, 및 이를 구비한 인쇄롤 제조 장치 및 방법
KR101402729B1 (ko) 인쇄회로기판용 기판부재의 에지부 코팅장치
JPH0929149A (ja) 枚葉型塗布装置
JP2017039262A (ja) 導電性材料・微細構造体付き物品の製造装置および導電性材料・微細構造体付き物品の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180611

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190910

Year of fee payment: 6