KR101431897B1 - Holder for low temperature photoemission spectroscopy - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 저온분광실험용 시료고정장치는 상면과 하면이 개방되어 빔이 관통되도록 관통공이 형성된 바디와, 관통공의 내측면에 돌출된 지지부와, 시료가 배치되어 지지부의 상면에 안착되며 빔이 관통되도록 투명 재질로 형성된 시료배치부와, 바디의 상면으로부터 바디의 관통공 내에 배치되어 시료배치부를 고정시키는 시료고정부를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명의 일 실시예에 따른 저온분광실험용 시료고정장치의 바디의 일측에는 온도센서가 배치될 수 있도록 온도센서 배치홈이 형성되는 것이 바람직하다.
A sample fixing device for low temperature spectroscopy experiments according to an embodiment of the present invention includes a body having a through hole formed therein such that a top surface and a bottom surface are opened to allow a beam to pass therethrough, a support protruding from an inner surface of the through hole, And a sample fixing unit disposed in the through hole of the body from the upper surface of the body to fix the sample placement unit.
The temperature sensor arrangement groove may be formed on one side of the body of the sample fixing device for low temperature spectroscopic experiment according to an embodiment of the present invention so that a temperature sensor may be disposed.

Description

저온분광실험용 시료고정장치{HOLDER FOR LOW TEMPERATURE PHOTOEMISSION SPECTROSCOPY}{HOLDER FOR LOW TEMPERATURE PHOTOEMISSION SPECTROSCOPY}

본 발명이 속하는 기술분야는 시료고정장치에 관한 분야이다. 다양한 영역의 빔원을 이용하여 80 ~ 260 K에서 분광학 실험을 할 수 있도록 구성된 저온분광용 시료고정장치이다.
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION The field of the present invention relates to a sample fixing device. It is a sample fixture for low-temperature spectroscopy that can perform spectroscopic experiments at 80 ~ 260 K using various beam sources.

분광학은 빔의 특성을 이용하여 원자, 분자 혹은 거대 분자들의 에너지 준위를 측정하고, 구조를 분석하며, 화학·물리적 반응을 연구하는데 사용되는 첨단학문이다. Spectroscopy is an advanced discipline used to measure the energy levels of atoms, molecules or macromolecules, analyze structures, and study chemical and physical reactions using beam properties.

대부분의 원자나 분자들은 가장 낮은 에너지 준위(바닥상태)에 주로 분포되어 있으므로, 이러한 원자나 분자에 빔을 조사하여 다른 에너지의 들뜬상태로 전이시키는 과정에서 발생되는 정보를 측정하여 구조, 에너지 정보 등을 획득할 수 있다. 이때 사용되는 시료는 액체 헬륨 또는 액체질소 등을 이용하여 1 ~ 260 K의 낮은 온도로 낮춰 실험하므로 시료의 온도를 정확하게 측정하는 것이 중요하다. Since most of the atoms and molecules are distributed at the lowest energy level (bottom state), it is necessary to measure the information generated in the process of irradiating such atoms or molecules to the excited state of other energy, Can be obtained. It is important to accurately measure the temperature of the sample because the sample used is low temperature of 1 ~ 260 K using liquid helium or liquid nitrogen.

또한, 이러한 시료는 진공 상태의 챔버 내부에 배치되어 시험하므로 압력차에 의하여 시료가 증발되는 문제가 발생되지 않도록 하는 것이 중요하다.
It is also important that such samples are placed in a vacuum chamber and tested so that there is no problem of evaporation of the sample due to pressure differences.

본 발명에 따른 저온분광실험용 시료고정장치는 다음과 같은 해결과제를 목적으로 한다. A sample fixing device for low temperature spectroscopy experiments according to the present invention aims to solve the following problems.

첫째, 시료배치부에 배치된 시료가 진공 챔버 내에서 증발이 되지 않도록 기밀구조를 유지할 수 있도록 하고자 한다. First, it is desired to maintain the airtight structure so that the sample placed in the sample arrangement part is not evaporated in the vacuum chamber.

둘째, 시료의 온도를 정확하게 측정할 수 있도록 온도센서를 설치할 수 있도록 하고자 한다. Second, we want to be able to install a temperature sensor so that the temperature of the sample can be accurately measured.

셋째, 주변으로부터 시료로 전달되는 열량을 최대화할 수 있도록 하고자 한다. Third, we want to maximize the amount of heat transferred from the surroundings to the sample.

본 발명의 해결과제는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.
The solution to the problem of the present invention is not limited to those mentioned above, and other solutions not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명의 일 실시예에 따른 저온분광실험용 시료고정장치는 상면과 하면이 개방되어 빔이 관통되도록 관통공이 형성된 바디와, 관통공의 내측면에 돌출된 지지부와, 시료가 배치되어 지지부의 상면에 안착되며 빔이 관통되도록 투명 재질로 형성된 시료배치부와, 바디의 상면으로부터 바디의 관통공 내에 배치되어 시료배치부를 고정시키는 시료고정부를 포함하는 것이 바람직하다. A sample fixing device for low temperature spectroscopy experiments according to an embodiment of the present invention includes a body having a through hole formed therein such that a top surface and a bottom surface are opened to allow a beam to pass therethrough, a support protruding from an inner surface of the through hole, And a sample fixing unit disposed in the through hole of the body from the upper surface of the body to fix the sample placement unit.

본 발명의 일 실시예에 따른 저온분광실험용 시료고정장치의 바디의 일측에는 온도센서가 배치될 수 있도록 온도센서 배치홈이 형성되는 것이 바람직하다. The temperature sensor arrangement groove may be formed on one side of the body of the sample fixing device for low temperature spectroscopic experiment according to an embodiment of the present invention so that a temperature sensor may be disposed.

본 발명의 일 실시예에 따른 저온분광실험용 시료고정장치의 시료고정부는 관통공에 대응되는 개방공이 형성된 환형개스킷으로 이루어지고, 관통공의 내측면에는 나사산이 형성되어 환형개스킷의 외면과 나사결합되는 것이 바람직하다. The sample fixing part of the sample fixing device for low temperature spectroscopic experiment according to an embodiment of the present invention comprises an annular gasket having an opening corresponding to the through hole, a screw thread is formed on the inner side surface of the through hole and is screwed to the outer surface of the annular gasket .

본 발명의 일 실시예에 따른 저온분광실험용 시료고정장치의 시료고정부는 관통공에 대응되는 개방공이 형성된 환형개스킷과, 환형개스킷의 상부에 배치되어 환형개스킷을 가압하는 고정개스킷을 포함하는 것이 바람직하다. The sample fixing unit of the sample fixing apparatus for low temperature spectroscopic experiment according to an embodiment of the present invention preferably includes an annular gasket having an opening corresponding to the through hole and a fixing gasket disposed on the upper portion of the annular gasket to press the annular gasket .

본 발명의 일 실시예에 따른 저온분광실험용 시료고정장치의 관통공의 내측면에는 나사산이 형성되어 고정개스킷의 외면과 나사결합되는 것이 바람직하다. It is preferable that a thread is formed on the inner side surface of the through hole of the sample fixing device for low temperature spectroscopic experiment according to an embodiment of the present invention and is screwed to the outer surface of the fixing gasket.

본 발명의 일 실시예에 따른 저온분광실험용 시료고정장치의 환형개스킷의 하면에는 기밀부재안착부가 함몰형성되고, 기밀부재안착부에는 시료배치부와 접촉하는 기밀부재가 배치되는 것이 바람직하다. It is preferable that the airtight member seating portion is formed at the lower surface of the annular gasket of the sample fixing device for low temperature spectroscopic experiment according to an embodiment of the present invention and the airtight member which is in contact with the sample placement portion is disposed at the airtight member seating portion.

본 발명의 일 실시예에 따른 저온분광실험용 시료고정장치의 환형개스킷은 개방공 방향으로 오목하게 형성되고, 지지부는 환형개스킷 방향으로 오목하게 형성되어 바디의 외부와 열접촉면적을 증가시키는 것이 바람직하다.
It is preferable that the annular gasket of the sample fixing device for low temperature spectroscopic experiment according to an embodiment of the present invention is formed concavely in the opening direction and the support portion is formed concave in the annular gasket direction to increase the thermal contact area with the outside of the body .

*본 발명의 일 실시예에 따른 저온분광실험용 시료고정장치의 지지부의 상면에는 관통공에 대응되는 개방공이 형성된 지지개스킷이 배치되고, 지지개스킷의 하면과 상면에는 기밀부재안착부가 함몰형성되고, 기밀부재안착부에는 각각에는 지지부 및 시료배치부에 접촉되는 기밀부재가 배치되는 것이 바람직하다. A supporting gasket having an opening corresponding to the through hole is disposed on the upper surface of the supporting part of the sample fixing device for low temperature spectroscopic experiment according to an embodiment of the present invention, Each of the member seating portions is preferably provided with a hermetic member which is in contact with the support portion and the sample placement portion.

본 발명의 일 실시예에 따른 저온분광실험용 시료고정장치는 빔이 관통되도록 상면과 하면이 개방되도록 관통공이 형성된 바디와, 관통공의 내측면에 돌출된 지지부와, 시료가 배치되어 지지부의 상면에 안착되며 빔이 관통되도록 투명 재질로 형성된 시료배치부와, 바디의 상면으로부터 관통공에 배치되어 시료배치부를 고정시키는 시료고정부를 포함하며, 지지부의 상면에는 관통공에 대응되는 개방공이 형성된 지지개스킷이 배치되고, 시료배치부의 상면에는 관통공에 대응되는 개방공이 형성된 환형개스킷이 배치되며, 지지개스킷의 상면과 환형개스킷의 하면에는 기밀부재가 배치되는 기밀부재안착부가 함몰형성되는 것이 바람직하다.
A sample fixing device for low temperature spectroscopy experiments according to an embodiment of the present invention includes a body having a through hole formed to open a top surface and a bottom surface so as to penetrate the beam, a support protruding from the inner surface of the through hole, And a sample fixing part which is disposed on the through hole from the upper surface of the body and fixes the sample placing part. The upper surface of the supporting part is provided with a supporting gasket having an opening corresponding to the through hole, An annular gasket having an opening corresponding to the through hole is disposed on the upper surface of the sample arrangement part, and a hermetic member seating part in which the hermetic member is disposed is formed on the upper surface of the supporting gasket and the lower surface of the annular gasket.

본 발명에 따른 저온분광실험용 시료고정장치는 기밀부재를 이용하여 시료 가 배치되는 시료배치부를 밀폐시킴으로서 시료가 진공 챔버 내에서 증발이 되지 않는 효과가 있으며, 시료와 근접한 바디에 온도센서를 설치하여 시료의 정확한 온도를 측정할 수 있는 효과가 있다. 아울러 주변으로부터 시료로 전달되는 열량을 최대화하여 주변의 온도와 시료의 온도를 보다 효과적으로 일치시킬 수 있는 효과가 있다. The sample fixing device for low temperature spectroscopic experiment according to the present invention has an effect that the sample is not evaporated in the vacuum chamber by sealing the sample placement part where the sample is placed by using the hermetic member and a temperature sensor is provided on the body close to the sample, It is possible to measure an accurate temperature of the liquid. In addition, it is possible to maximize the amount of heat transferred from the surroundings to the sample, thereby effectively matching the ambient temperature with the sample temperature.

본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과는 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.
The effects of the present invention are not limited to those mentioned above, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 저온분광실험용 시료고정장치의 분해사시도.
도 2는 도 1에 도시된 저온분광실험용 시료고정장치의 사시단면도.
도 3은 도 1에 도시된 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 저온분광실험용 시료고정장치의 사시도.
1 is an exploded perspective view of a sample fixing device for low temperature spectroscopy experiments according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective sectional view of the sample fixing device for low temperature spectroscopy experiment shown in FIG. 1; FIG.
FIG. 3 is a perspective view of a sample fixing apparatus for a low temperature spectroscopy experiment according to an embodiment of the present invention, which is shown in FIG. 1;

이하에서는 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 저온분광실험용 시료고정장치에 관하여 구체적으로 설명하겠다.
Hereinafter, a specimen fixing device for low temperature spectroscopy experiments according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 저온분광실험용 시료고정장치의 분해사시도이며 도 2는 도 1에 도시된 저온분광실험용 시료고정장치의 사시단면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 저온분광실험용 시료고정장치의 사시도이다.
FIG. 1 is an exploded perspective view of a sample fixing device for a low temperature spectroscopy experiment according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view of a sample fixing device for low temperature spectroscopy experiments shown in FIG. 1, Is a perspective view of a sample fixing device for low temperature spectroscopy experiments according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 저온분광실험용 시료고정장치는 도 1에 도시된 바와 같이 바디(100), 시료배치부(200) 및 시료고정부(300)를 포함하며 결합시 도 3과 같이 원통형상으로 형성된다. As shown in FIG. 1, the sample fixing device for low temperature spectroscopic experiment according to an embodiment of the present invention includes a body 100, a sample arrangement part 200, and a sample fixing part 300, Lt; / RTI >

바디(100)는 시료배치부(200)가 고정되는 것으로, 빔이 시료배치부(200)로 입사 및 반사될 수 있도록 상면과 하면이 개방되도록 관통공(110)이 형성된다.
A through hole 110 is formed in the body 100 such that the upper and lower surfaces of the body 100 are opened so that the sample placement unit 200 is fixed and the beam can be incident on and reflected from the sample placement unit 200.

*이러한 관통공(110)에는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 시료배치부(200)가 안착될 수 있도록 지지부(120)가 돌출된다. 1 and 2, the support 120 protrudes through the through hole 110 such that the sample placement unit 200 can be seated.

본 실시예에 따른 지지부(120)는 관통공(110) 내부에 시료배치부(200)를 안착시킬 수 있는 한 다양한 형상으로 형성될 수도 있으나 관통공(110)을 따라 환형형상으로 형성되어 시료배치부(200)에 배치된 시료가 유출되지 않도록 형성되는 것이 바람직하다. The supporting part 120 according to the present embodiment may be formed in various shapes as long as the sample placing part 200 can be placed inside the through hole 110. However, the supporting part 120 may be formed in an annular shape along the through hole 110, It is preferable that the sample disposed in the part 200 is formed so as not to flow out.

시료배치부(200)는 시료가 배치되는 것으로 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 하부 윈도우(210)와 상부 윈도우(220) 및 하부 윈도우(210)와 상부 윈도우(220) 사이에 시료가 배치되는 공간을 형성하는 환형 필터(230)로 구성된다. 이러한 시료배치부(200)의 하부 윈도우(210)와 상부 윈도우(220)는 석영과 같은 투명한 재질로 형성될 수 있으며, 환형 필터(230)는 다양한 재질로 형성될 수 있으나 본 실시예의 경우 불소를 재질로 한 환형 필터(230)가 사용된다. The sample arranging unit 200 arranges the sample so that the sample is arranged between the lower window 210 and the upper window 220 and between the lower window 210 and the upper window 220 as shown in FIGS. And an annular filter 230 that forms a space to be used. The lower window 210 and the upper window 220 of the sample arrangement unit 200 may be formed of a transparent material such as quartz and the annular filter 230 may be formed of various materials. An annular filter 230 is used as the material.

시료고정부(300)는 지지부(120)에 안착된 시료배치부(200)를 고정시키는 것으로 관통공(110)을 통해 시료배치부(200)의 상부에 배치되어 지지부(120)에 안착된 시료배치부(200)를 고정시킨다. The sample fixing unit 300 fixes the sample placement unit 200 placed on the support unit 120 and is disposed on the sample placement unit 200 through the through hole 110 to fix the sample placed on the support unit 120 Thereby fixing the arrangement part 200.

이러한 바디(100)의 일측에는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 시료배치부(200)의 내부에 배치된 시료의 온도를 측정할 수 있도록 온도센서 배치홈(130)이 형성된다. 1 and 2, at one side of the body 100, a temperature sensor placement groove 130 is formed to measure the temperature of a sample placed in the sample placement unit 200. [

이러한 온도센서 배치홈(130)는 온도센서가 배치되는 곳으로 바디(100)의 내부로 오목하게 함몰형성되어 시료와 가깝게 형성된다. 따라서 이러한 온도센서 배치홈(130)에 온도센서가 배치되는 경우 시료의 온도와 거의 근접한 온도를 측정할 수 있게 된다. The temperature sensor arrangement groove 130 is recessed into the interior of the body 100 where the temperature sensor is disposed, and is formed close to the sample. Therefore, when the temperature sensor is disposed in the temperature sensor placement groove 130, it is possible to measure a temperature substantially close to the temperature of the sample.

온도센서 배치홈(130)에 배치되는 온도센서는 다양한 온도센서가 배치될 수 있으나 본 실시예의 경우 실리콘 다이오드 센서를 이용하여 온도센서를 사용하여 시료의 온도를 측정하였다. Various temperature sensors may be disposed in the temperature sensor arrangement groove 130. In the present embodiment, the temperature of the sample is measured using a temperature sensor using a silicon diode sensor.

위에서 설명한 실시예에 따른 바디(100) 및 시료고정부(300)는 열전달을 보다 효과적으로 할 수 있도록 산소함유량이 10 ppm 미만인 전기동(OFHC)으로 제작되는 것이 바람직하다.
The body 100 and the sample holder 300 according to the embodiment described above are preferably made of OFHC having an oxygen content of less than 10 ppm so that heat transfer can be more effectively performed.

본 발명의 일 실시예에 따른 시료고정부(300)는 바디(100)의 관통공(110)에 대응되는 개방공(311)이 형성된 환형개스킷(310)으로 이루어질 수 있으며, 이러한 환형개스킷(310)은 바디(100)의 관통공(110) 내측면에 나사산을 형성하여 관통공(110)의 내측면과 환형개스킷(310)을 나사결합하여 시료배치부(200)를 고정시킬 수 있도록 구성될 수 있다.
The sample holder 300 according to an embodiment of the present invention may include an annular gasket 310 having an opening 311 corresponding to the through hole 110 of the body 100. The annular gasket 310 Is configured to form a thread on the inner side surface of the through hole 110 of the body 100 so that the inner side surface of the through hole 110 and the annular gasket 310 are screwed to fix the sample placing part 200 .

또한, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 시료고정부(300)는 관통공(110)에 대응되는 개방공(311)이 형성된 환형개스킷(310)과, 환형개스킷(310)의 상부에 배치되어 환형개스킷(310)을 가압하는 고정개스킷(320)을 포함하여 이루어 질 수 있다. 이때, 관통공(110)의 내측면에는 나사산(111)이 형성되어 고정개스킷(320)의 외면과 나사결합할 수 있도록 구성될 수도 있다. 1 and 2, the sample fixing unit 300 includes an annular gasket 310 having an opening 311 corresponding to the through hole 110 and an annular gasket 310 disposed at an upper portion of the annular gasket 310. [ And a fixed gasket 320 for pressing the annular gasket 310. At this time, a thread 111 may be formed on the inner surface of the through hole 110 to be screwed to the outer surface of the fixing gasket 320.

이렇게 시료고정부(300)가 환형개스킷(310)과 고정개스킷(320)으로 시료고정부(300)가 구성되는 경우 시료배치부(200)를 고정시키는 경우 고정개스킷(320)을 회전시켜 환형개스킷(310)에 하부 방향으로 압력을 가함으로 시료배치부(200)를 고정시킬 수 있게 된다.
When the sample holder 300 is fixed by the annular gasket 310 and the stationary gasket 320, when the sample holder 200 is fixed, the stationary gasket 320 is rotated, It is possible to fix the sample placement unit 200 by applying pressure to the sample placement unit 310 in the downward direction.

이러한 환형개스킷(310)의 하면에는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 환형개스킷(310)의 하면에는 기밀부재안착부(312)가 함몰형성되고, 기밀부재안착부(312)에는 시료배치부(200)와 접촉하는 기밀부재(312a)를 배치할 수 있다. 1 and 2, a hermetic seal receiving portion 312 is formed on the lower surface of the annular gasket 310 and a hermetic seal receiving portion 312 is formed on the lower surface of the annular gasket 310, The hermetic member 312a contacting with the hermetic container 200 can be disposed.

따라서 시료배치부(200) 내에 배치되는 시료를 기밀부재(312a)를 통해 외부와 밀폐시킴으로써 진공의 챔버 내부에 저온분광실험용 시료고정장치에 고정된 시료가 배치되더라도 증발되지 않게 된다. Therefore, the sample placed in the sample arrangement part 200 is sealed from the outside through the hermetic member 312a, so that even if the sample fixed to the sample fixing device for low-temperature spectroscopic experiment is placed inside the vacuum chamber, the sample is not evaporated.

이때, 환형개스킷(310)은 표면적을 증가시킬 수 있도록 개방공(311) 방향으로 오목하게 형성하고, 지지부(120)는 환형개스킷(310) 방향으로 오목하게 형성하여 바디(100)의 외부와 열접촉면적을 증가시킬 수 있도록 형성될 수 있다.
The annular gasket 310 is recessed in the direction of the opening 311 so as to increase the surface area and the support 120 is recessed in the direction of the annular gasket 310, So that the contact area can be increased.

본 발명의 일 실시예에 따른 저온분광실험용 시료고정장치의 지지부(120)의 상면에는 도 2에 도시된 바와 같이 관통공(110)에 대응되는 개방공이 형성된 지지개스킷(400)이 배치되고, 지지개스킷(400)의 하면과 상면에는 기밀부재안착부(410, 420)가 함몰형성되고, 기밀부재안착부(410, 420) 각각에는 지지부(120) 및 시료배치부(200)에 접촉되는 기밀부재(411, 421)가 배치되는 것이 바람직하다. 2, a supporting gasket 400 having an opening corresponding to the through hole 110 is disposed on the upper surface of the supporter 120 of the sample fixing device for low temperature spectroscopic experiment according to an embodiment of the present invention, The airtight member seating portions 410 and 420 are recessed on the lower surface and the upper surface of the gasket 400 and the airtight member seating portions 410 and 420 are respectively provided with a support portion 120 and a hermetic member (411, 421) are disposed.

따라서 시료배치부(200) 내부에 배치된 시료는 지지개스킷(400)의 상면과 하면에 배치된 기밀부재(411, 421)에 의하여 2중으로 밀폐되어 시료가 진공 챔버 내부로 배치되더라도 증발되지 않게 된다.
Therefore, the sample placed in the sample placement part 200 is double-sealed by the hermetic members 411 and 421 disposed on the upper and lower surfaces of the supporting gasket 400, so that even if the sample is placed inside the vacuum chamber, the sample is not evaporated .

또한, 실시예에 따라 바디(100)에는 온도센서 배치홈(130)이 형성되지 않고 바디(100), 시료배치부(200), 환형개스킷(310)을 구비한 시료고정부(300) 및 지지개스킷(400)으로 구성될 수도 있다. According to the embodiment of the present invention, the body 100 is provided with the sample fixing part 300 having the body 100, the sample arranging part 200, the annular gasket 310, Gasket 400 may be used.

이때, 지지개스킷(400)의 상면과 환형개스킷(310)의 하면에는 기밀부재(411, 312a)가 배치되는 기밀부재안착부(410, 312)가 함몰형성되어 시료배치부(200)를 밀폐시킬 수 있다.
At this time, the airtight seal receiving portions 410 and 312, in which the airtight seal members 411 and 312a are disposed, are formed on the upper surface of the support gasket 400 and the lower surface of the annular gasket 310 to seal the sample arrangement portion 200 .

본 명세서에서 설명되는 실시예와 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 예시적으로 설명하는 것에 불과하다. 따라서, 본 명세서에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술적 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이므로, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아님은 자명하다. 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형 예와 구체적인 실시 예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
The embodiments and the accompanying drawings described in the present specification are merely illustrative of some of the technical ideas included in the present invention. Accordingly, the embodiments disclosed herein are for the purpose of describing rather than limiting the technical spirit of the present invention, and it is apparent that the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. It will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

100 : 바디 110 : 관통공
111 : 나사산 120 : 지지부
130 : 온도센서 배치홈 200 : 시료배치부
300 : 시료고정부 310 : 환형개스킷
311 : 개방공 320 : 고정개스킷
400 : 지지개스킷 401 : 개방공
312, 410, 420 : 기밀부재안착부
312a, 411, 421 : 기밀부재
100: Body 110: Through hole
111: thread 120: support
130: Temperature sensor arrangement groove 200: Sample arrangement section
300: sample fixing part 310: annular gasket
311: Opening hole 320: Fixing gasket
400: Supporting gasket 401: Opening hole
312, 410, 420: airtight member seating portion
312a, 411, 421:

Claims (7)

삭제delete 상면과 하면이 개방되어 빔이 관통되도록 관통공(110)이 형성된 바디(100);
상기 관통공(110)의 내측면에 돌출된 지지부(120);
시료가 배치되어 상기 지지부(120)의 상면에 안착되며 상기 빔이 관통되도록 투명 재질로 형성된 시료배치부(200);
상기 바디(100)의 상면으로부터 상기 바디(100)의 관통공(110) 내에 배치되어 상기 시료배치부(200)를 고정시키는 시료고정부(300)를 포함하며,
상기 바디(100)의 일측에는 온도센서가 배치될 수 있도록 온도센서 배치홈(130)이 형성되고,
상기 시료고정부(300)는
상기 관통공(110)에 대응되는 개방공(311)이 형성된 환형개스킷(310)으로 이루어지고, 상기 관통공(110)의 내측면에는 나사산(111)이 형성되어 상기 환형개스킷(310)의 외면과 나사결합되는 것을 특징으로 하는 저온분광실험용 시료고정장치.
A body 100 having a through-hole 110 formed therein so that the upper surface and the lower surface of the body 100 are opened to allow the beam to pass therethrough;
A support 120 protruding from an inner surface of the through hole 110;
A sample placement part 200 formed of a transparent material so that the sample is placed on the upper surface of the support part 120 and the beam is penetrated;
And a sample fixing unit 300 disposed in the through hole 110 of the body 100 from the upper surface of the body 100 to fix the sample arrangement unit 200,
A temperature sensor arrangement groove 130 is formed at one side of the body 100 so that a temperature sensor can be disposed.
The sample fixing unit 300
And an annular gasket 310 having an opening 311 corresponding to the through hole 110. A thread 111 is formed on an inner surface of the through hole 110 to define an outer surface of the annular gasket 310. [ Wherein the sample holder is screwed to the sample holder.
상면과 하면이 개방되어 빔이 관통되도록 관통공(110)이 형성된 바디(100);
상기 관통공(110)의 내측면에 돌출된 지지부(120);
시료가 배치되어 상기 지지부(120)의 상면에 안착되며 상기 빔이 관통되도록 투명 재질로 형성된 시료배치부(200);
상기 바디(100)의 상면으로부터 상기 바디(100)의 관통공(110) 내에 배치되어 상기 시료배치부(200)를 고정시키는 시료고정부(300)를 포함하며,
상기 바디(100)의 일측에는 온도센서가 배치될 수 있도록 온도센서 배치홈(130)이 형성되고,
상기 시료고정부(300)는
상기 관통공(110)에 대응되는 개방공(311)이 형성된 환형개스킷(310); 및
상기 환형개스킷(310)의 상부에 배치되어 상기 환형개스킷(310)을 가압하는 고정개스킷(320)을 포함하며,
상기 관통공(110)의 내측면에는 나사산(111)이 형성되어 상기 고정개스킷(320)의 외면과 나사결합되는 것을 특징으로 하는 저온분광실험용 시료고정장치.
A body 100 having a through-hole 110 formed therein so that the upper surface and the lower surface of the body 100 are opened to allow the beam to pass therethrough;
A support 120 protruding from an inner surface of the through hole 110;
A sample placement part 200 formed of a transparent material so that the sample is placed on the upper surface of the support part 120 and the beam is penetrated;
And a sample fixing unit 300 disposed in the through hole 110 of the body 100 from the upper surface of the body 100 to fix the sample arrangement unit 200,
A temperature sensor arrangement groove 130 is formed at one side of the body 100 so that a temperature sensor can be disposed.
The sample fixing unit 300
An annular gasket 310 having an opening 311 corresponding to the through hole 110; And
And a fixing gasket (320) disposed on the annular gasket (310) and pressing the annular gasket (310)
Wherein a screw thread (111) is formed on the inner surface of the through hole (110) to be screwed with the outer surface of the fixing gasket (320).
제2항 또는 제3항에 있어서,
상기 환형개스킷(310)의 하면에는 기밀부재안착부(312)가 함몰형성되고,
상기 기밀부재안착부(312)에는 상기 시료배치부(200)와 접촉하는 기밀부재(312a)가 배치되는 것을 특징으로 하는 저온분광실험용 시료고정장치.
The method according to claim 2 or 3,
A sealing member 312 is formed on the lower surface of the annular gasket 310,
And a hermetic member (312a) in contact with the sample arrangement part (200) is disposed in the hermetic member seating part (312).
제2항 또는 제3항에 있어서,
상기 환형개스킷(310)은 상기 개방공(311) 방향으로 오목하게 형성되고, 상기 지지부(120)는 상기 환형개스킷(310) 방향으로 오목하게 형성되어 상기 바디(100)의 외부와 열접촉면적을 증가시키는 것을 특징으로 하는 저온분광실험용 시료고정장치.
The method according to claim 2 or 3,
The annular gasket 310 is recessed in the direction of the opening 311 and the support portion 120 is recessed in the direction of the annular gasket 310 so that the thermal contact area with the exterior of the body 100 Wherein the sample holding device is a sample holding device for low temperature spectroscopy.
상면과 하면이 개방되어 빔이 관통되도록 관통공(110)이 형성된 바디(100);
상기 관통공(110)의 내측면에 돌출된 지지부(120);
시료가 배치되어 상기 지지부(120)의 상면에 안착되며 상기 빔이 관통되도록 투명 재질로 형성된 시료배치부(200);
상기 바디(100)의 상면으로부터 상기 바디(100)의 관통공(110) 내에 배치되어 상기 시료배치부(200)를 고정시키는 시료고정부(300)를 포함하며,
상기 바디(100)의 일측에는 온도센서가 배치될 수 있도록 온도센서 배치홈(130)이 형성되고,
상기 지지부(120)의 상면에는 상기 관통공(110)에 대응되는 개방공(401)이 형성된 지지개스킷(400)이 배치되고,
상기 지지개스킷(400)의 하면과 상면에는 기밀부재안착부(410, 420)가 함몰형성되고, 상기 기밀부재안착부(410, 420) 각각에는 상기 지지부(120) 및 시료배치부(200)에 접촉되는 기밀부재(411, 421)가 배치되는 것을 특징으로 하는 저온분광실험용 시료고정장치.
A body 100 having a through-hole 110 formed therein so that the upper surface and the lower surface of the body 100 are opened to allow the beam to pass therethrough;
A support 120 protruding from an inner surface of the through hole 110;
A sample placement part 200 formed of a transparent material so that the sample is placed on the upper surface of the support part 120 and the beam is penetrated;
And a sample fixing unit 300 disposed in the through hole 110 of the body 100 from the upper surface of the body 100 to fix the sample arrangement unit 200,
A temperature sensor arrangement groove 130 is formed at one side of the body 100 so that a temperature sensor can be disposed.
A support gasket 400 having an opening 401 corresponding to the through hole 110 is disposed on the upper surface of the support 120,
The hermetic member seating portions 410 and 420 are formed on the lower surface and the upper surface of the supporting gasket 400 and the hermetic member seating portions 410 and 420 are provided with the support portion 120 and the sample placement portion 200 And the hermetic sealing members (411, 421) are disposed.
상면과 하면이 개방되어 빔이 관통되도록 관통공(110)이 형성된 바디(100);
상기 관통공(110)의 내측면에 돌출된 지지부(120);
시료가 배치되어 상기 지지부(120)의 상면에 안착되며 빔이 관통되도록 투명 재질로 형성된 시료배치부(200);
상기 바디(100)의 상면으로부터 상기 관통공(110) 내부에 배치되어 상기 시료배치부(200)를 고정시키는 시료고정부(300)를 포함하며,
상기 지지부(120)의 상면에는 상기 관통공(110)에 대응되는 개방공(401)이 형성된 지지개스킷(400)이 배치되고, 상기 시료배치부(200)의 상면에는 상기 관통공(110)에 대응되는 개방공(311)이 형성된 환형개스킷(310)이 배치되며,
상기 지지개스킷(400)의 상면과 상기 환형개스킷(310)의 하면에는 기밀부재(411, 312a)가 배치되는 기밀부재안착부(410, 312)가 함몰형성되는 것을 특징으로 하는 저온분광실험용 시료고정장치.



A body 100 having a through-hole 110 formed therein so that the upper surface and the lower surface of the body 100 are opened to allow the beam to pass therethrough;
A support 120 protruding from an inner surface of the through hole 110;
A sample placement part 200 formed of a transparent material so that the sample is placed on the upper surface of the support part 120 and the beam is penetrated;
And a sample fixing unit 300 disposed in the through hole 110 from the upper surface of the body 100 to fix the sample arrangement unit 200,
A support gasket 400 having an opening 401 corresponding to the through hole 110 is disposed on the upper surface of the support part 120 and a through hole 110 is formed on the upper surface of the sample arrangement part 200. An annular gasket 310 having a corresponding opening 311 is disposed,
Wherein the airtight seal receiving portions (410, 312), in which the airtight seal members (411, 312a) are disposed, are recessed from the upper surface of the support gasket (400) and the lower surface of the annular gasket (310) Device.



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