KR101420519B1 - 공기 베어링의 동특성 측정 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명에서는 공기 베어링의 동특성을 보다 정확하게 측정할 수 있는 장치 및 방법이 개시된다.
일 예로, 주축과, 상기 주축에 공기압을 인가하여 주축의 하중을 지지하는 공기 베어링 사이의 동특성을 측정하는 장치에 있어서, 상기 주축에 정현파 신호 형태의 가진 신호를 인가하는 정현파 신호 생성기; 상기 주축에 대해 측정된 변위 및 하중을 푸리에 변환하는 푸리에 변환 처리기; 및 상기 인가된 가진 신호와 이에 따른 변위 신호의 수식에 상기 측정된 변위 및 하중의 값을 대입하여 상기 수식의 계수를 산출하고, 상기 정현파 신호 생성기가 복수개의 진폭 및 주파수에 대해 측정한 결과를 운동 방정식에 대입하여 동특성 계수를 산출하는 동특성 생성기를 포함하는 공기 베어링의 동특성 측정 장치가 개시된다.

Description

공기 베어링의 동특성 측정 장치 및 방법{Device and Method for Measuring dynamic characteristic of air bearing}
본 발명은 공기 베어링의 동특성을 보다 정확하게 측정할 수 있는 장치 및 방법에 관한 것이다.
공기 베어링은 정압 베어링의 일종으로서, 주축에 대해 압축 공기를 불어넣어 공기압으로 축을 뜨게 하여 하중을 지지하는 형태를 갖는다. 이러한 공기 베어링은 강성 계수 및 감쇠 계수를 측정하여 동특성(dynamic characteristic)을 측정할 수 있다. 그리고 이러한 동특성은 공기 베어링의 시간 변화가 출력에 미치는 특성을 나타내기 때문에 부품의 신뢰성을 확보하기 위해 측정하는 것이 요구된다.
본 발명은 공기 베어링의 동특성을 보다 정확하게 측정할 수 있는 장치 및 방법을 제공한다.
본 발명에 따른 공기 베어링 동특성 측정 장치는 주축과, 상기 주축에 공기압을 인가하여 주축의 하중을 지지하는 공기 베어링 사이의 동특성을 측정하는 장치에 있어서, 상기 주축에 정현파 신호 형태의 가진 신호를 인가하는 정현파 신호 생성기; 상기 주축에 대해 측정된 변위 및 하중을 푸리에 변환하는 푸리에 변환 처리기; 및 상기 인가된 가진 신호와 이에 따른 변위 신호의 수식에 상기 측정된 변위 및 하중의 값을 대입하여 상기 수식의 계수를 산출하고, 상기 정현파 신호 생성기가 복수개의 진폭 및 주파수에 대해 측정한 결과를 운동 방정식에 대입하여 동특성 계수를 산출하는 동특성 생성기를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 운동 방정식은 다음과 같이 표현될 수 있다.
[수식 1]
Figure 112012089566821-pat00001
(m은 주축의 질량, c는 공기 베어링의 주/연성 감쇠 계수, k는 공기 베어링의 주/연성 강성 계수)
그리고, 상기 정현파 및 변위 신호의 수식은 다음과 같이 표현될 수 있다.
[수식 2]
Fx(t) = Axccosωt + Axssinωt
Fy(t) = Byccosωt + Byssinωt
(Fx(t)는 x축에서의 가진, Fy(t)는 y축에서의 가진, ω는 인가되는 정현파의 각주파수)
[수식 3]
x = X1c cosωt+ X1s sinωt
y = Y1c cosωt+ Y1s sinωt
(x는 주축의 x축을 따라 생성된 변위 신호, y는 주축의 y축을 따라 생성된 변위 신호, ω는 각주파수)
또한, 상기 동특성 생성기는 상기 운동 방정식을 다음의 수식으로 항을 분리하여 주 강성 계수(kxx, kyy), 주 감쇠 계수(Cxx, Cyy), 연성 강성 계수(kxy, kyx) 및 연성 감쇠 계수(Cxy, Cyx)를 포함하는 상기 동특성 계수를 산출하는 공기 베어링 동특성 측정 장치.
[수식 4]
Figure 112012089566821-pat00002
(아래 첨자 1과 2는 실험 횟수, ω는 가진 주파수)
또한, 상기 측정된 동특성 계수를 상기 운동 방정식에 대입하고 룬게-쿠타법(Runge-Kutta method)을 통해 변위를 수치적으로 구하고, 이를 상기 수식 3에 대입하여 동특성 계수를 검증하는 동특성 검증기를 더 포함하는 공기 베어링 동특성 측정 장치.
더불어, 본 발명에 따른 공기 베어링 동특성 측정 방법은 주축과, 상기 주축에 공기압을 인가하여 주축의 하중을 지지하는 공기 베어링 사이의 동특성을 측정하는 방법에 있어서, 상기 주축에 정현파 신호 형태의 가진 신호를 인가하는 단계; 상기 주축에 대해 측정된 변위 및 하중을 푸리에 변환하는 단계; 상기 인가된 가진 신호와 이에 따른 변위 신호의 수식에 상기 측정된 변위 및 하중의 값을 대입하여 상기 수식의 계수를 산출하는 단계; 복수개의 진폭 및 주파수에 대해 측정한 결과를 운동 방정식에 대입하여 동특성 계수를 산출하는 단계를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 운동 방정식은 다음과 같이 표현될 수 있다.
[수식 1]
Figure 112012089566821-pat00003
(m은 주축의 질량, c는 공기 베어링의 주/연성 감쇠 계수, k는 공기 베어링의 주/연성 강성 계수)
그리고 상기 정현파 및 변위 신호의 수식은 다음과 같이 표현될 수 있다.
[수식 2]
Fx(t) = Axccosωt + Axssinωt
Fy(t) = Byccosωt + Byssinωt
(Fx(t)는 x축에서의 가진, Fy(t)는 y축에서의 가진, ω는 인가되는 정현파의 각주파수)
[수식 3]
x = X1c cosωt+ X1s sinωt
y = Y1c cosωt+ Y1s sinωt
(x는 주축의 x축을 따라 생성된 변위 신호, y는 주축의 y축을 따라 생성된 변위 신호, ω는 각주파수)
또한, 상기 동특성 계수를 산출하는 단계는 상기 운동 방정식을 다음의 수식으로 항을 분리하여 주 강성 계수(kxx, kyy), 주 감쇠 계수(Cxx, Cyy), 연성 강성 계수(kxy, kyx) 및 연성 감쇠 계수(Cxy, Cyx)를 포함하는 상기 동특성 계수를 산출하는 것일 수 있다.
[수식 4]
Figure 112012089566821-pat00004
(아래 첨자 1과 2는 실험 횟수, ω는 가진 주파수)
또한, 상기 동특성 계수를 산출하는 단계의 이후에 상기 측정된 동특성 계수를 상기 운동 방정식에 대입하고 룬게-쿠타법(Runge-Kutta method)을 통해 변위를 수치적으로 구하고, 이를 상기 수식 3에 대입하여 동특성 계수를 검증하는 동특성 검증 단계를 더 포함하는 공기 베어링 동특성 측정 방법.
본 발명에 의한 공기 베어링 동특성 측정 장치 및 방법은 주축에 정현파 형태의 가진력을 인가하고, 주축에서 변위와 하중을 측정하며, 인가된 형태의 가진력 및 변위 신호에 측정된 변위와 하중을 입력하여 계수를 산출하며, 진폭 및 주파수를 달리하여 측정된 결과를 운동 방정식에 대입함으로써, 공기 베어링의 동특성을 용이하게 파악할 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 공기 베어링 동특성 측정 장치 및 방법은 측정된 공기 베어링의 동특성에 대해 룬게-쿠타법(Runge-Kutta method)을 통해 검증함으로써, 측정 결과의 신뢰성을 확보할 수 있다.
도 1은 주축 및 공기 베어링에 대한 모델링이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 공기 베어링 측정 장치의 구성도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 공기 베어링 측정 방법을 설명하기 위한 플로우챠트이다.
본 발명이 속하는 기술분야에 있어서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 주축 및 공기 베어링에 대한 모델링이다.
도 1을 참조하면, 주축(10)과 공기 베어링(20)의 결합 관계는 주축(10)을 기준으로 xx, xy, yy, yx 방향에 대한 변위값으로 표현될 수 있다. 또한, 외부에서 가해지는 가진력을 Fx(t) 및 Fy(t)로 표현하면, 주축(10)과 공기 베어링(20)의 운동 방정식은 다음과 같이 표현될 수 있다.
[수식 1]
Figure 112012089566821-pat00005
여기서, m은 주축(10)의 질량, c는 공기 베어링의 주/연성 감쇠 계수, k는 공기 베어링의 주/연성 강성 계수를 의미한다. 그리고 본 발명의 실시예에 따른 공기 베어링 동특성 측정 장치(100)는 후술할 바와 같이 공기 베어링의 감쇠 계수(c), 공기 베어링의 강성 계수(k)를 산출하여, 동특성을 측정하게 된다.
이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 공기 베어링 동특성 측정 장치의 구성을 설명하도록 한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 공기 베어링 동특성 측정 장치의 구성도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 공기 베어링 동특성 측정 장치(100)는 정현파 신호 생성기(110), 푸리에 변환(FFT) 처리기(120), 동특성 생성기(130), 동특성 검증기(140)를 포함할 수 있다.
상기 정현파 신호 생성기(110)는 주축(10)에 대해 가진력을 줄 수 있는 정현파 신호를 생성한다. 상기 정현파 신호 생성기(110)는 필요한 정현파 신호 형태를 갖는 가진력을 생성하여 상기 주축(10)을 가진한다. 상기 정현파 신호 생성기(110)의 가진력은 유압, 공기 또는 자기 등을 이용하여 생성할 수 있다.
또한, 상기 인가한 정현파 신호와 주축(10)에서의 측정 결과에 따라 동특성 측정에 필요한 하기할 가진 주파수 계수들을 측정할 수 있도록 한다.
이를 위해, 먼저 상기 정현파 신호 생성기(110)는 다음의 정현파 신호의 가진력을 생성한다.
[수식 2]
Fx(t) = Axccosωt + Axssinωt
Fy(t) = Byccosωt + Byssinωt
여기서, Fx(t)는 주축(10)을 기준으로 x축에서의 가진, Fy(t)는 주축(10)을 기준으로 y축에서의 가진을 의미한다. 또한, ω는 인가되는 정현파의 각주파수를 의미한다.
그리고 이에 따라, 상기 주축(10)에서 생성되는 변위 신호는 다음과 같이 표현될 수 있다.
[수식 3]
x = X1c cosωt+ X1s sinωt
y = Y1c cosωt+ Y1s sinωt
여기서, x는 상기 주축(10)의 x축을 따라 생성된 변위 신호, y는 상기 주축(10)의 y축을 따라 생성된 변위 신호를 의미한다. 또한, ω는 각주파수로서, 인가된 수식 2의 정현파 신호의 각주파수와 일치한다.
또한, 별도로 도시하지는 않았지만, 비접촉 변위 센서 및 힘 센서를 이용하여 상기 주축(10)의 변위 신호와 하중을 측정한다.
상기 푸리에 변환(Fast Fourier Transform, FFT) 처리기(120)는 상기 비접촉 변위 센서 및 힘 센서에서 측정된 변위 신호와 하중 정보를 인가받아, 푸리에 변환을 수행한다.
상기 동특성 생성기(130)는 상기 푸리에 변환 처리기(120)에서 변환된 값을 이용하여, 수식 2와 수식 3의 Fx(t), Fy(t), x 및 y에 대입하여, 가진 주파수 계수인 Axc, Axs, Byc ,Bys, X1c, X1s, Y1c 및 Y1s를 각각 계산할 수 있다.
또한, 상기 정현파 신호 생성기(110)는 시험하고자 하는 회전 속도에서 다른 진폭과 주파수를 갖는 가진력을 인가하는 동작을 반복할 수 있고, 그 결과를 상기 푸리에 변환 처리기(120)가 변환을 수행하면, 상기 동특성 생성기(130)는 이를 인가받아 다음의 수식 4와 같이 sine항과 cosine항으로 분리하고, 동특성을 생성한다.
[수식 4]
Figure 112012089566821-pat00006
여기서, 아래 첨자 1과 2는 실험 횟수이고, ω는 가진 주파수를 의미한다.
상기 동특성 생성기(130)는 위의 수식 4로부터 주 강성 계수(kxx, kyy), 주 감쇠 계수(Cxx, Cyy), 연성 강성 계수(kxy, kyx) 및 연성 감쇠 계수(Cxy, Cyx)를 각각 산출할 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예에 따른 공기 베어링 동특성 측정 장치(100)는 위의 계수들을 계산하여, 전체 시스템의 동특성을 측정할 수 있다.
상기 동특성 검증기(140)는 계산된 계수들을 내부에 저장된 알고리즘을 통해 검증을 수행한다. 상기 동특성 검증기(140)는 상기 동특성 생성기(130)로부터 산출된 주 강성 계수(kxx, kyy), 주 감쇠 계수(Cxx, Cyy), 연성 강성 계수(kxy, kyx) 및 연성 감쇠 계수(Cxy, Cyx)를 인가받고, 이를 수식 1의 운동 방정식에 대입하여 룬게-쿠타법(Runge-Kutta method)을 통해 변위 x 및 y를 수치적으로 계산한다.
또한, 상기 동특성 검증기(140)는 계산된 변위 x, y를 수식 4에 대입하여 동특성 계수를 검증한다.
일 예로, 주축 회전 주파수가 83[Hz], 가진 주파수가 100[Hz]인 경우, 측정된 강성/감쇠 계수를 아래 표 1에 나타냈다.
[표 1]
Figure 112012089566821-pat00007
그리고 상기 동특성 검증기(140)에서 룬게-쿠타법(Runge-Kutta method)을 통해 검증한 강성/감쇠 계수를 아래 표 2에 나타냈다.
[표 2]
Figure 112012089566821-pat00008
따라서, 표 1과 표 2를 비교하면, 각 계수들의 값의 차이가 일정 오차범위 내에 존재하는 일치하는 것으로 평가될 수 있으므로, 상기 동특성 검증기(140)는 상기 동특성 생성기(130)의 결과가 제대로 된 수치임을 검증할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 공기 베어링 측정 방법을 설명하도록 한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 공기 베어링 측정 방법을 설명하기 위한 플로우챠트이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 공기 베어링 측정 방법은 정현파 신호 가진 단계(S1), 변위 및 하중 측정 단계(S2), 가진주파수 계수 산출 단계(S3), 반복 실험 결과 입력 단계(S4), 동특성 알고리즘 검증 단계(S5)를 포함할 수 있다.
상기 정현파 신호 가진 단계(S1)는 정현파 신호 생성기(110)가 주축(10)에 대해 정현파 신호로 구성된 가진 신호를 인가하는 단계이다. 상기 가진 신호는 앞서 설명한 것처럼, 수식 2의 형태를 갖는다.
상기 변위 및 하중 측정 단계(S2)는 주축(10)의 변위 신호와 하중 정보를 측정하는 단계이다. 상기 측정은 비접촉 변위 센서 및 힘 센서(미도시)에 의해 이루어질 수 있다.
상기 가진 주파수 계수 산출 단계(S3)는 푸리에 변환 처리기(120)를 통해 상기 비접촉 변위 센서 및 힘 센서에서 측정된 변위 신호와 하중 정보를 푸리에 변환하고, 동특성 생성기(130)가 변환된 값들을 수식 2와 수식 3의 Fx(t), Fy(t), x 및 y에 대입하여, 가진 주파수 계수인 Axc, Axs, Byc ,Bys, X1c, X1s, Y1c 및 Y1s를 각각 산출하는 단계이다.
상기 반복 실험 결과 입력 단계(S4)는 상기 정현파 신호 생성기(110)가 시험하고자 하는 회전 속도에서 다른 진폭과 주파수를 갖는 가진력을 인가하는 동작을 반복하고, 상기 푸리에 변환 처리기(120)가 변환하면, 상기 동특성 생성기(130)가 상술한 수식 4와 같이 sine항과 cosine항으로 분리하고, 동특성을 생성하는 단계이다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 공기 베어링 동특성 측정 방법은 상기 반복 실험 결과 입력 단계(S4)를 통해 수식 4의 주 강성 계수(kxx, kyy), 주 감쇠 계수(Cxx, Cyy), 연성 강성 계수(kxy, kyx) 및 연성 감쇠 계수(Cxy, Cyx)를 각각 산출하여, 시스템의 동특성을 측정할 수 있다.
상기 동특성 알고리즘 검증 단계(S5)는 동특성 검증기(140)가 상기 동특성 생성기(130)로부터 산출된 주 강성 계수(kxx, kyy), 주 감쇠 계수(Cxx, Cyy), 연성 강성 계수(kxy, kyx) 및 연성 감쇠 계수(Cxy, Cyx)를 인가받고, 이를 수식 1의 운동 방정식에 대입하여 룬게-쿠타법(Runge-Kutta method)을 통해 변위 x 및 y를 수치적으로 계산하여, 값을 검증하는 단계이다. 따라서, 본 발명의 실시예에 따른 공기 베어링 동특성 측정 방법에 다른 측정 결과를 검증할 수 있다.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 의한 공기 베어링 동특성 측정 장치 및 방법을 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.
100; 공기 베어링 동특성 측정 장치 110; 정현파 신호 생성기
120; 푸리에 변환 처리기 130; 동특성 생성기
140; 동특성 검증기

Claims (10)

  1. 주축과, 상기 주축에 공기압을 인가하여 주축의 하중을 지지하는 공기 베어링 사이의 동특성을 측정하는 장치에 있어서,
    상기 주축에 정현파 신호 형태의 가진 신호를 인가하는 정현파 신호 생성기;
    상기 주축에 대해 측정된 변위 및 하중을 푸리에 변환하는 푸리에 변환 처리기; 및
    상기 인가된 가진 신호와 이에 따른 변위 신호의 수식에 상기 측정된 변위 및 하중의 값을 대입하여 상기 수식의 계수를 산출하고, 상기 정현파 신호 생성기가 복수개의 진폭 및 주파수에 대해 측정한 결과를 운동 방정식에 대입하여 동특성 계수를 산출하는 동특성 생성기를 포함하고,
    상기 정현파 및 변위 신호의 수식은 다음과 같이 표현되는 공기 베어링 동특성 측정 장치.
    [수식 1]
    Fx(t) = Axccosωt + Axssinωt
    Fy(t) = Byccosωt + Byssinωt
    (Fx(t)는 x축에서의 가진, Fy(t)는 y축에서의 가진, ω는 인가되는 정현파의 각주파수)
    [수식 2]
    x = X1c cosωt+ X1s sinωt
    y = Y1c cosωt+ Y1s sinωt
    (x는 주축의 x축을 따라 생성된 변위 신호, y는 주축의 y축을 따라 생성된 변위 신호, ω는 각주파수)
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 운동 방정식은 다음과 같이 표현되는 공기 베어링 동특성 측정 장치.
    [수식 3]
    Figure 112014006678130-pat00009

    (m은 주축의 질량, c는 공기 베어링의 주/연성 감쇠 계수, k는 공기 베어링의 주/연성 강성 계수)
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 동특성 생성기는 상기 운동 방정식을 다음의 수식으로 항을 분리하여 주 강성 계수(kxx, kyy), 주 감쇠 계수(Cxx, Cyy), 연성 강성 계수(kxy, kyx) 및 연성 감쇠 계수(Cxy, Cyx)를 포함하는 상기 동특성 계수를 산출하는 공기 베어링 동특성 측정 장치.
    [수식 4]
    Figure 112012089566821-pat00010

    (아래 첨자 1과 2는 실험 횟수, ω는 가진 주파수)
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 측정된 동특성 계수를 상기 운동 방정식에 대입하고 룬게-쿠타법(Runge-Kutta method)을 통해 변위를 수치적으로 구하고, 이를 상기 수식 4에 대입하여 동특성 계수를 검증하는 동특성 검증기를 더 포함하는 공기 베어링 동특성 측정 장치.
  6. 주축과, 상기 주축에 공기압을 인가하여 주축의 하중을 지지하는 공기 베어링 사이의 동특성을 측정하는 방법에 있어서,
    상기 주축에 정현파 신호 형태의 가진 신호를 인가하는 단계;
    상기 주축에 대해 측정된 변위 및 하중을 푸리에 변환하는 단계;
    상기 인가된 가진 신호와 이에 따른 변위 신호의 수식에 상기 측정된 변위 및 하중의 값을 대입하여 상기 수식의 계수를 산출하는 단계;
    복수개의 진폭 및 주파수에 대해 측정한 결과를 운동 방정식에 대입하여 동특성 계수를 산출하는 단계를 포함하고,
    상기 정현파 및 변위 신호의 수식은 다음과 같이 표현되는 공기 베어링 동특성 측정 방법.
    [수식 1]
    Fx(t) = Axccosωt + Axssinωt
    Fy(t) = Byccosωt + Byssinωt
    (Fx(t)는 x축에서의 가진, Fy(t)는 y축에서의 가진, ω는 인가되는 정현파의 각주파수)
    [수식 2]
    x = X1c cosωt+ X1s sinωt
    y = Y1c cosωt+ Y1s sinωt
    (x는 주축의 x축을 따라 생성된 변위 신호, y는 주축의 y축을 따라 생성된 변위 신호, ω는 각주파수)
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 운동 방정식은 다음과 같이 표현되는 공기 베어링 동특성 측정 방법.
    [수식 3]
    Figure 112014006678130-pat00011

    (m은 주축의 질량, c는 공기 베어링의 주/연성 감쇠 계수, k는 공기 베어링의 주/연성 강성 계수)
  8. 삭제
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 동특성 계수를 산출하는 단계는 상기 운동 방정식을 다음의 수식으로 항을 분리하여 주 강성 계수(kxx, kyy), 주 감쇠 계수(Cxx, Cyy), 연성 강성 계수(kxy, kyx) 및 연성 감쇠 계수(Cxy, Cyx)를 포함하는 상기 동특성 계수를 산출하는 공기 베어링 동특성 측정 방법.
    [수식 4]
    Figure 112012089566821-pat00012

    (아래 첨자 1과 2는 실험 횟수, ω는 가진 주파수)
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 동특성 계수를 산출하는 단계의 이후에 상기 측정된 동특성 계수를 상기 운동 방정식에 대입하고 룬게-쿠타법(Runge-Kutta method)을 통해 변위를 수치적으로 구하고, 이를 상기 수식 4에 대입하여 동특성 계수를 검증하는 동특성 검증 단계를 더 포함하는 공기 베어링 동특성 측정 방법.
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