KR101418555B1

KR101418555B1 - Chamber for an aerodynamic levitator

Info

Publication number: KR101418555B1
Application number: KR1020120086015A
Authority: KR
Inventors: 조원승
Original assignee: 인하대학교 산학협력단
Priority date: 2012-08-06
Filing date: 2012-08-06
Publication date: 2014-07-15
Also published as: KR20140020374A

Abstract

본 발명은 가스부양장치용 챔버에 관한 것으로, 보다 상세하게는 가스에 의해 목적물(target)을 부양시킬 수 있도록 하는 가스부양장치에 사용되어 그 내측으로 목적물의 투입 및 배출을 용이하게 할 수 있도록 할 뿐만 아니라, 목적물의 가공에 사용되는 레이저의 유출을 최소화하여 안전사고의 발생을 예방할 수 있도록 하는 가스부양장치용 챔버에 관한 것이다.
본 발명은 가스부양장치용 챔버에 있어서, 내측으로 목적물이 투입되어 부양될 수 있도록 하는 공간부가 형성되고, 하부에는 가공된 시편이 배출될 수 있도록 하는 배출공 및 상기 공간부로 가스를 공급할 수 있도록 하는 가스투입로가 형성된 본체부와, 상기 본체부의 상부에 결합되어 챔버를 밀폐시킬 수 있도록 하는 덮개부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a chamber for a gas lifting apparatus, and more particularly, to a chamber for a gas lifting apparatus, which is used in a gas lifting apparatus for lifting a target by gas, In addition, the present invention relates to a chamber for a gas floatation apparatus which minimizes leakage of a laser used for processing an object to prevent the occurrence of a safety accident.
In the chamber for a gas lifting apparatus, a space is formed in which a target object can be inserted and lifted inward, a discharge hole for discharging the processed specimen in a lower portion thereof, And a lid part coupled to the upper part of the main body part to seal the chamber.

Description

가스부양장치용 챔버 {Chamber for an aerodynamic levitator}{Chamber for an aerodynamic levitator}

본 발명은 가스부양장치용 챔버에 관한 것으로, 보다 상세하게는 가스에 의해 목적물(target)을 부양시킬 수 있도록 하는 가스부양장치에 사용되어 그 내측으로 목적물의 투입 및 배출을 용이하게 할 수 있도록 할 뿐만 아니라, 목적물의 가공에 사용되는 레이저의 유출을 최소화하여 안전사고의 발생을 예방할 수 있도록 하는 가스부양장치용 챔버에 관한 것이다.
The present invention relates to a chamber for a gas lifting apparatus, and more particularly, to a chamber for a gas lifting apparatus, which is used in a gas lifting apparatus for lifting a target by gas, In addition, the present invention relates to a chamber for a gas floatation apparatus which minimizes leakage of a laser used for processing an object to prevent the occurrence of a safety accident.

일반적으로, 공중부양기술(levitation)은 물체를 담아두는 그릇이나 유지하는 지지대가 없이 물체를 공중에 띄우는 기술로서, 최근에는 기술 발달로 인해 자기부상열차, 휴대폰, 반도체 공정, 완구 등 산업과 일상생활에 밀접하게 이용되고 있다.In general, levitation is a technique of floating an object in the air without a container for holding the object or a support for holding it. Recently, due to the development of technology, levitation has been used in industries such as magnetic levitation trains, mobile phones, semiconductor processes, Is used closely.

현재까지 개발된 공중부양기술에는 다양한 방법들이 사용되는데, 상대적으로 부피가 큰 물체를 부양시키기 위한 방법으로는 자기력(electromagnetic levitation), 정전기(electrostatic levitation), 음향(acoustic levitation), 공기력(aerodynamic levitation), 초전도 현상을 이용한 공중부양방법(Superconducting levitation)들이 이용되고 있고, 원자나 분자를 부양시키기 위한 광 부양방법(Optical levitation), 나노 또는 마이크로 크기의 물질을 부양시키기 위한 양자 부양기술(Quantum levitation) 등이 개발되고 있는 실정이다.Various methods are used for levitation techniques developed up to now. Examples of methods for lifting a relatively bulky object include electromagnetic levitation, electrostatic levitation, acoustic levitation, aerodynamic levitation, Superconducting levitation methods using superconducting phenomena are being used, optical levitation methods for lifting atoms or molecules, quantum levitation techniques for lifting nano- or micro-sized materials, etc. Is being developed.

그 중, 공기력 즉, 기체의 압력을 이용한 공중부양기술은 거의 모든 물질을 부양시킬 수 있는 장점이 있으나, 부양시 물체의 회전 또는 흔들림에 의한 안정성을 제어하기 어려워 현재까지 그에 대한 개발이 미비한 실정이다.Among them, the aerial lift technique using air pressure, that is, the gas pressure, has the advantage of lifting almost all materials, but it is difficult to control the stability due to the rotation or shaking of the object when the float is lifted. .

이와 같은, 공기력을 이용한 공중부양장치에 관한 선행기술로 미국 등록특허공보 제5,215,688호에는 공기력을 이용한 공중부양장치 및 방법이 게재되어 있는데, 그 주요 기술적 구성은 프로파일 발생기와, 프로파일 발생기에 유체의 흐름을 제공하기 위한 유체 흐름 제공 수단을 포함하여 공기력을 이용하여 액체 방울을 부상시킬 수 있도록 구성된 것에 특징이 있다.As a prior art related to aerial lifting apparatus using air force, US Pat. No. 5,215,688 discloses a aerial lifting apparatus and method using aerodynamic force. The main technical configuration of the apparatus includes a profile generator, a flow of fluid The liquid droplet can be floated by using an air force.

하지만, 상기와 같은 구성은 단순히 액체 방울만을 부상시킬 수 있도록 구성되어 있는 것이고, 부양의 안정성 문제를 여전히 포함하고 있으며 세라믹과 같은 고체 물질의 부상에는 적용시킬 수 없는 문제점이 있다.However, the above-described structure is constructed so that only the liquid droplet can be lifted, and the problem of stability of the lifting is still included, which is not applicable to the floating of solid materials such as ceramics.

또한, 대한민국 등록특허공보 제10-0253621호에는 공기 부양을 이용한 고분자 혼합 분쇄물 재료별 분리 장치가 게재되어 있는데, 그 주요 기술적 구성은 도 1에 나타낸 바와 같이, 2종 이상의 고분자 혼합 분쇄물을 이송시키는 컨베이어 벨트(1); 상기 컨베이어 벨트(1) 상에 덮어 씌어지고, 상기 컨베이어 벨트(1)의 일측에 배치되어 상기 분쇄물이 투입되는 입구(21)와, 상기 컨베이어 벨트(1)의 타측에 배치된 출구(22), 그리고 상부에 배치된 분기구(23)가 형성된 챔버(2); 상기 컨베이어 벨트(1)의 하부에 설치되어, 상기 분쇄물들이 비중별로 층을 이루도록 공중 부양시키는 압축 공기가 발생되는 공기 압축기(5); 상기 챔버(2)의 출구(22)에 연결된 제1포집조(7); 상기 챔버(2)의 하부에 설치되며, 부피가 작고 비중이 작은 분쇄물만이 통과되도록, 다수의 격막이 종횡으로 배열된 격자 구조로서, 그 저면이 상기 입구(21)에서 상기 출구(22)로 갈수록 상기 컨베이어 벨트(1)와의 거리가 짧아지는 구배 형상을 가짐으로써, 상기 입구(21)에서 상기 출구(22)로 갈수록 여과 면적이 커지는 격막체(3); 상기 챔버(2)의 분기구(23)에 연결되어, 상기 격막체(3)를 통과한 분쇄물을 상기 분기구(23)로 강제 흡입하기 위한 진공압이 발생되는 진공 펌프(6); 및 상기 진공 펌프(6)에 연결된 제2포집조(8)를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, Korean Patent Publication No. 10-0253621 discloses a separator for separating polymer mixed pulverized material using air floating, and its main technical constitution is as shown in Fig. 1, in which two or more polymer mixed pulverized materials are fed A conveyor belt 1; An inlet 21 which is covered on the conveyor belt 1 and is disposed at one side of the conveyor belt 1 and into which the pulverized material is inputted; an outlet 22 disposed on the other side of the conveyor belt 1; , And a chamber (2) formed with an upper distributing mechanism (23); An air compressor 5 installed at a lower portion of the conveyor belt 1 to generate compressed air to levitate the pulverized material so as to form a layer by specific gravity; A first collecting bath (7) connected to the outlet (22) of the chamber (2); A plurality of diaphragms arranged vertically and horizontally in such a manner that only the crushed material having a small volume and a small specific gravity is passed through the chamber; (3) having a gradient shape in which the distance from the conveyor belt (1) decreases toward the outlet (22) from the inlet (21) to the conveyor belt (1). A vacuum pump 6 connected to the branching mechanism 23 of the chamber 2 to generate vacuum pressure for forcibly sucking the pulverized product having passed through the diaphragm body 3 by the branching mechanism 23; And a second collecting tank (8) connected to the vacuum pump (6).

즉, 상기 선행기술에는 공기 부양에 사용되는 챔버(2)의 구성이 포함되어 있지만, 이는 단순히 2종 이상의 고분자 혼합 분쇄물을 비중의 차이에 의해 분리시키고자 하는 것이므로 세라믹과 같은 고체 물질의 부상에는 사용될 수 없는 문제점이 있다.That is, although the prior art includes the configuration of the chamber 2 used for air lifting, since it is desired to simply separate two or more kinds of polymer mixed pulverized materials by difference in specific gravity, There is a problem that it can not be used.

따라서, 상기한 바와 같이 세라믹과 같은 고체 물질을 안정적으로 부양시켜 가공할 수 있도록 하는 챔버의 구성은 현재까지 존재하고 있지 않은 실정이다.
Therefore, as described above, the structure of the chamber which can stably float and process the solid material such as ceramics has not existed to date.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술들의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 가스의 압력에 의해 목적물(target)을 안정적으로 부양시킬 수 있도록 함으로써 별도의 용기 없이도 비접촉으로 세라믹 시편을 제조할 수 있도록 하는 가스부양장치용 챔버를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been conceived to solve the problems of the prior art as described above, and it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a ceramic test piece by non- And to provide a chamber for a gas floatation device.

또한, 본 발명은 목적물의 부양 및 용융과정을 육안으로 용이하게 확인할 수 있을 뿐만 아니라 챔버 내부로의 목적물의 투입 및 완성된 시편의 배출을 안전하고 용이하게 할 수 있도록 하는 가스부양장치용 챔버를 제공함에 다른 목적이 있다.
In addition, the present invention provides a chamber for a gas flushing apparatus which can easily confirm the lifting and melting process of a target object, and can also safely and easily discharge the completed sample into the chamber. There is another purpose in.

상기와 같은 목적들을 달성하기 위한 본 발명은,According to an aspect of the present invention,

가스부양장치용 챔버에 있어서, 내측으로 목적물이 투입되어 부양될 수 있도록 하는 공간부가 형성되고, 하부에는 가공된 시편이 배출될 수 있도록 하는 배출공 및 상기 공간부로 가스를 공급할 수 있도록 하는 가스투입로가 형성된 본체부와, 상기 본체부의 상부에 결합되어 챔버를 밀폐시킬 수 있도록 하는 덮개부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.A chamber for a gas flushing apparatus, comprising: a space portion formed to allow a target object to be inserted and lifted inward; a discharge hole for discharging the processed specimen in a lower portion; and a gas- And a lid unit coupled to an upper portion of the main body to seal the chamber.

이때, 상기 본체부에는 가스투입로와 연통되도록 형성되어, 목적물이 수용되는 노즐이 삽입 설치되는 결합홀이 형성된 것을 특징으로 한다.At this time, the main body is formed with a coupling hole formed to communicate with the gas introduction path and into which a nozzle for receiving an object is inserted.

또한, 상기 덮개부의 상부에는 목적물을 챔버의 내측으로 투입시킬 수 있도록 하는 목적물 투입장치가 설치된 것을 특징으로 한다.In addition, an object dispensing device is provided at an upper portion of the lid to allow an object to be introduced into the chamber.

여기서, 상기 목적물 투입장치는 덮개부에 고정 설치되는 고정 플레이트와, 상기 고정 플레이트의 상부에 결합되는 적재 디스크와, 상기 고정 플레이트의 하부와 노즐 사이에 연결 설치되는 슬라이더와, 상기 적재 디스크에 연결 설치되어 적재 디스크를 회전시키는 모터를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.The object dispensing apparatus includes a fixed plate fixed to the lid unit, a loading disc coupled to the upper portion of the fixed plate, a slider connected between a lower portion of the fixed plate and the nozzle, And a motor for rotating the loading disk.

이때, 상기 고정 플레이트의 상면에는 적재디스크가 삽입 설치되는 설치홈이 형성되고, 상기 설치홈의 중심부에는 모터의 축이 삽입되는 결합홈이 형성되며, 설치홈의 가장자리부에는 상기 슬라이더와 연통되는 제1관통홀이 형성된 것을 특징으로 한다.At this time, an upper surface of the fixing plate is provided with a mounting groove into which a mounting disk is inserted, and a coupling groove into which a shaft of the motor is inserted is formed at the center of the mounting groove. 1 through holes are formed.

또한, 상기 적재디스크의 중심부에는 모터가 체결되는 체결홀이 형성되고, 적재디스크의 가장자리부에는 목적물이 통과되는 다수의 제2관통홀이 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, a plurality of second through-holes are formed in the center of the stacking disk, and a plurality of second through-holes are formed in edge portions of the stacking disk to allow the object to pass therethrough.

그리고, 상기 슬라이더에는 목적물을 이동시킬 수 있도록 하는 가이드 홈이 형성되고, 상기 슬라이더의 하단부에는 제3관통홀이 형성된 것을 특징으로 한다.The slider is provided with a guide groove for moving a target object, and a third through hole is formed at a lower end of the slider.

한편, 상기 본체부의 하부에 설치되어 배출공을 통해 배출된 시편을 회수할 수 있도록 하는 시편회수장치를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The apparatus may further include a specimen collection device installed at a lower portion of the main body to collect the specimen discharged through the discharge hole.

이때, 상기 시편회수장치는 본체부의 하부에 슬라이드 가능하도록 끼움 결합되는 시편회수구와, 상기 시편회수구 상에 설치되어 배출공을 통해 배출되는 시편을 수용하는 도가니를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.The specimen collecting apparatus includes a specimen collecting unit slidably coupled to a lower portion of the main body, and a crucible accommodating the specimen discharged through the specimen collecting shed.

또한, 상기 덮개부의 상부에는 레이저에 의해 본체부의 내측에 수용된 목적물을 가열할 수 있도록 레이저를 투과시키는 광학장치가 설치된 것을 특징으로 한다.An upper part of the lid part is provided with an optical device for transmitting a laser so as to heat the object held inside the main body part by laser.

여기서, 상기 광학장치는 덮개부 상에 결합되는 고정 프레임과, 상기 고정 프레임의 중심부에 형성되는 제1결합부에 체결되는 ZnSe 렌즈와, 상기 제1결합부를 중심으로 하여 고정 프레임에 방사상으로 형성되는 다수의 제2결합부에 체결되는 투시창 및 상기 ZnSe 렌즈와 투시창을 고정시키기 위한 홀더를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.The optical device includes a fixed frame coupled to the cover, a ZnSe lens coupled to the first coupling portion formed at the central portion of the fixed frame, and a ZnSe lens formed radially in the fixed frame around the first coupling portion A plurality of second joining portions, and a holder for fixing the ZnSe lens and the viewing window.

그리고, 상기 고정 프레임에는 경사면이 형성되고, 상기 제2결합부는 경사면에 형성되어 제2결합부에 체결되는 투시창이 ZnSe 렌즈를 중심으로 대칭되도록 하여 목적물을 향해 경사지도록 설치된 것을 특징으로 한다.
The fixed frame is formed with an inclined surface, and the second coupling portion is formed on the inclined surface so that the transparent window, which is coupled to the second coupling portion, is inclined toward the object so as to be symmetrical with respect to the ZnSe lens.

본 발명에 따르면, 가스의 압력에 의해 목적물(target)을 안정적으로 부양시킬 수 있도록 함으로써 별도의 용기 없이도 비접촉으로 세라믹 시편을 제조할 수 있도록 하여 목적물을 이용한 시편 제조시 용기의 사용에 따른 오염 발생을 방지할 수 있는 뛰어난 효과를 갖는다.According to the present invention, it is possible to stably float a target by the pressure of a gas, thereby making it possible to manufacture a ceramic specimen in a noncontact manner without using a separate container, thereby preventing contamination It has an excellent effect that can be prevented.

또한, 본 발명에 따르면 목적물의 부양 및 용융과정을 육안으로 용이하게 확인할 수 있을 뿐만 아니라 챔버 내부로의 목적물의 투입 및 완성된 시편의 배출을 안전하고 용이하게 할 수 있도록 하는 효과를 추가로 갖는다.
In addition, according to the present invention, not only the lifting and melting process of an object can be visually confirmed easily, but also the effect of injecting the object into the chamber and discharging the completed specimen can be secured and facilitated.

도 1은 종래의 공기 부양을 이용한 고분자 혼합 분쇄물 재료별 분리 장치의 내부 구조를 나타낸 단면도.
도 2는 본 발명에 따른 가스부양장치용 챔버의 외부 모습을 나타낸 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 가스부양장칭용 챔버의 내부 모습을 나타낸 측면도.
도 4는 도 2에 나타낸 본 발명의 평면도.
도 5는 도 2에 나타낸 본 발명 중 챔버 본체의 평면 모습을 나타낸 도면.
도 6의 (a),(b)는 도 2에 나타낸 본 발명 중 고정 플레이트의 상부에 결합되는 적재 디스크를 나타낸 평면도 및 측면도.
도 7의 (a),(b)는 도 2에 나타낸 본 발명 중 고정 플레이트의 하부에 결합되는 슬라이더를 나타낸 정면도 및 좌측면도.
도 8은 도 3에 나타낸 본 발명 중 노즐을 나타낸 단면도.1 is a cross-sectional view showing an internal structure of a separation apparatus for polymer mixed pulverized material using a conventional air float.
2 is a perspective view showing an outer appearance of a chamber for a gas flushing device according to the present invention;
3 is a side view showing an internal view of a chamber for gas floatation according to the present invention.
4 is a plan view of the present invention shown in Fig.
FIG. 5 is a plan view of the chamber body of the present invention shown in FIG. 2; FIG.
6 (a) and 6 (b) are a plan view and a side view, respectively, of a loading disk coupled to an upper portion of a fixed plate of the present invention shown in FIG.
7 (a) and 7 (b) are a front view and a left side view of the slider coupled to the lower portion of the fixed plate of the present invention shown in Fig. 2;
FIG. 8 is a cross-sectional view of the nozzle of the present invention shown in FIG. 3; FIG.

이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명에 따른 가스부양장치용 챔버의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Reference will now be made in detail to the preferred embodiments of the present invention, examples of which are illustrated in the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 가스부양장치용 챔버의 외부 모습을 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 가스부양장칭용 챔버의 내부 모습을 나타낸 측면도이며, 도 4는 도 2에 나타낸 본 발명의 평면도이고, 도 5는 도 2에 나타낸 본 발명 중 챔버 본체의 평면 모습을 나타낸 도면이며, 도 6의 (a),(b)는 도 2에 나타낸 본 발명 중 고정 플레이트의 상부에 결합되는 적재 디스크를 나타낸 평면도 및 측면도이고, 도 7의 (a),(b)는 도 2에 나타낸 본 발명 중 고정 플레이트의 하부에 결합되는 슬라이더를 나타낸 정면도 및 좌측면도이며, 도 8은 도 3에 나타낸 본 발명 중 노즐을 나타낸 단면도이다.
FIG. 2 is a perspective view showing an outer appearance of a chamber for a gas lifting apparatus according to the present invention, FIG. 3 is a side view showing an inner appearance of a chamber for gas lifting according to the present invention, FIG. 6 is a plan view of the chamber body of the present invention shown in FIG. 2, and FIGS. 6 (a) and 6 (b) 7 is a front view and a left side view showing a slider coupled to a lower portion of a fixed plate in the present invention shown in Fig. 2, and Fig. 8 is a plan view and a side view 1 is a cross-sectional view of a nozzle in the invention.

본 발명은 가스에 의해 목적물(target)을 부양시킬 수 있도록 하는 가스부양장치에 사용되어 그 내측으로 목적물의 투입 및 배출을 용이하게 할 수 있도록 할 뿐만 아니라, 목적물의 가공에 사용되는 레이저의 유출을 최소화하여 안전사고의 발생을 예방할 수 있도록 하는 가스부양장치용 챔버(10)에 관한 것으로, 그 구성은 도 2에 나타낸 바와 같이 본체부(100)와 덮개부(200)를 포함하여 이루어진다.The present invention can be applied to a gas lifting device which can lift a target by gas so as to facilitate the input and discharge of the object inside the gas lifting device, The present invention relates to a chamber 10 for minimizing the occurrence of safety accidents and preventing the occurrence of safety accidents. The chamber 10 includes a main body 100 and a lid 200 as shown in Fig.

보다 상세히 설명하면, 상기 본체부(100)는 목적물이 투입되어 가공될 수 있도록 하는 공간을 제공하는 역할을 하는 것으로, 본체부(100)의 내측에는 목적물이 투입되어 부양될 수 있도록 하는 공간부(110)가 형성되고, 하부 중심부에는 목적물의 가공에 의해 생성된 시편이 배출될 수 있도록 하는 배출공(120)이 형성되어 있다.More specifically, the main body 100 serves to provide a space for allowing a target object to be inserted and processed. The main body 100 includes a space portion (not shown) And a discharge hole 120 is formed in the lower center of the lower portion so that the specimen produced by the machining of the object can be discharged.

이때, 상기 공간부(110)의 하부 내측면은 도 3에 나타낸 바와 같이 반구 형태로 경사를 이루도록 형성되어 목적물의 레이저 가공에 의해 생성된 시편을 배출공(120)을 통해 용이하게 회수할 수 있도록 구성되어 있다.3, the inner surface of the lower portion of the space 110 is formed to be inclined in a hemispherical shape so that the specimen produced by the laser processing of the object can be easily recovered through the discharge hole 120 Consists of.

또한, 상기 본체부(100)의 하부에는 목적물을 부양시키기 위해 사용되는 가스를 본체부(100)의 내측으로 제공할 수 있도록 하는 가스투입로(130)가 형성되는데, 상기 가스투입로(130)는 공간부(110)의 하부 중심부에 형성된 배출공(120)으로부터 일정거리 이격되도록 형성되어 후술할 노즐(170)이 삽입 설치되는 결합홀(140)과 연통되도록 형성되어 가스투입로(130)를 통해 공급되는 가스가 노즐(170)에 형성되는 가스투입공(172)을 통해 본체부(100)의 내측으로 유입되어 노즐(170)에 안치된 상태의 목적물을 부양시킬 수 있도록 구성되어 있다.A gas inlet path 130 is formed in the lower portion of the main body 100 so as to provide a gas used for lifting the object to the inside of the main body 100. The gas inlet path 130, Is formed to be spaced apart from the discharge hole 120 formed in the lower central portion of the space portion 110 and communicated with the coupling hole 140 into which the nozzle 170 described later is inserted, The gas supplied through the nozzle 170 flows into the inside of the main body 100 through the gas injection hole 172 formed in the nozzle 170 to float the target object placed on the nozzle 170.

즉, 상기 노즐(170)은 본체부(100) 내측 즉, 상기 결합홀(140)에 설치되어 그 상부로 가공을 위한 목적물을 안치시킬 수 있도록 하는 역할을 하는 것으로, 노즐(170)의 내측면은 목적물의 안치를 위해 원추형(conical)으로 이루어져 있다.That is, the nozzle 170 is installed inside the main body 100, that is, in the coupling hole 140, so that a target object for processing can be positioned thereon. Is conical for the object of the object.

또한, 상기 노즐(170)의 중심부에는 가스투입공(172)이 형성되어 상기 가스투입로(130)를 통해 공급되는 가스를 본체부(100)의 내측으로 유입될 수 있도록 하는데, 상기 가스투입공(172)은 가스투입로(130)에 비해 그 직경이 매우 작도록 형성함으로써 가스투입로(130)를 통해 공급되는 가스가 가스투입공(172)을 통해 고속으로 배출될 수 있도록 하여 노즐(170)에 수용된 목적물이 공중으로 부양될 수 있도록 구성된 것이다.A gas inlet hole 172 is formed at the center of the nozzle 170 so that the gas supplied through the gas inlet path 130 can be introduced into the main body 100, So that the gas supplied through the gas inlet path 130 can be discharged at a high speed through the gas inlet hole 172 so that the nozzle 170 The object accommodated in the air conditioner is configured to be supported in the air.

그리고, 상기 본체부(100)의 하부에는 볼트 등의 체결수단을 이용하여 챔버(10)를 고정 설치할 수 있도록 하는 플랜지(150)가 형성되어 있고, 상기 본체부(100)의 하부에는 후술할 시편회수장치(400)가 슬라이드 결합되는 슬라이드홈(160)이 형성되어 있다.A flange 150 is formed on the lower portion of the main body 100 to fix the chamber 10 using bolts or the like. A slide groove 160 in which the recovery device 400 is slidably engaged is formed.

다음, 상기 덮개부(200)는 목적물의 가공 과정에서 발생할 수 있는 증발 가스를 차단함으로써 목적물의 가공을 위해 사용되는 다른 장비들의 오염을 방지할 수 있도록 본체부(100)의 상부를 밀폐시키는 역할을 하는 것으로, 평판 형상의 플레이트로 이루어진다.Next, the lid part 200 serves to seal the upper part of the main body part 100 so as to prevent contamination of other equipment used for processing the target object by blocking the evaporation gas generated during the processing of the target object And is composed of a flat plate.

이때, 상기 본체부(100)와 덮개부(200)의 표면은 알루미늄 합금재질을 이용하여 아노다이징(Anodizing) 처리되어 있다.At this time, the surfaces of the main body 100 and the lid 200 are anodized using an aluminum alloy material.

또한, 상기 덮개부(200)는 그 일측 단부가 본체부(100)로부터 외측으로 돌출되도록 형성되는데, 상기 덮개부(200)의 돌출된 부분에는 본체부(100)의 내측으로 목적물을 투입시킬 수 있도록 하는 목적물 투입장치(300)가 설치된다.The lid part 200 is formed to protrude outward from the main body part 100 at one side end thereof. The lid part 200 is provided with a protruding part, A target object injection device 300 is provided.

보다 상세히 설명하면, 상기 목적물 투입장치(300)는 고정 플레이트(310), 적재 디스크(320), 슬라이더(330) 및 모터(340)를 포함하여 구성되는데, 상기 고정 플레이트(310)는 목적물 투입장치(300)를 덮개부(200) 상에 고정 설치할 수 있도록 하는 역할을 하는 것으로, 도 2에 나타낸 바와 같이, 상기 고정 플레이트(310)의 상면에는 적재디스크(320)가 삽입 설치되는 설치홈(312)이 형성되어 있고, 상기 설치홈(312)의 중심부에는 후술할 모터(340)의 축이 삽입되는 결합홈(314)이 형성되며, 설치홈(312)의 가장자리부에는 목적물이 통과되어 본체부(100)의 내측으로 투입될 수 있도록 하는 제1관통홀(316)이 후술할 슬라이더(330)와 연통되도록 형성되어 있다.More specifically, the object dispensing apparatus 300 includes a fixed plate 310, a loading disc 320, a slider 330, and a motor 340. The fixed plate 310 includes a target insertion device 2, the fixing plate 310 is provided on the upper surface thereof with a mounting groove 312 (see FIG. 2) in which the mounting disc 320 is inserted. A coupling groove 314 is formed at the center of the mounting groove 312 to receive a shaft of a motor 340 to be described later. An object is passed through the edge of the mounting groove 312, Hole 316 for allowing the slider 330 to be inserted into the slider 330 is formed to communicate with the slider 330 to be described later.

다음, 상기 적재 디스크(320)는 고정 플레이트(310)의 상부에 형성된 설치홈(312)에 삽입 설치되어 모터(340)의 구동에 의해 목적물을 고정 플레이트(310)를 통해 본체부(100)의 내측으로 투입시킬 수 있도록 하는 역할을 하는 것이고, 상기 모터(340)는 적재 디스크(320)에 끼움 결합되어 적재 디스크(320)를 회전시킴으로써 적재 디스크(320) 상에 존재하는 목적물을 본체부(100)의 내측으로 투입시킬 수 있도록 하는 역할을 하는 것이다.Next, the loading disc 320 is inserted into an installation groove 312 formed in the upper portion of the fixing plate 310 and the object is fixed to the main body 100 through the fixing plate 310 by driving the motor 340. [ And the motor 340 is inserted into the loading disc 320 and rotates the loading disc 320 to move the object on the loading disc 320 to the main body 100 To the inside of the main body.

즉, 도 6의 (a),(b)에 나타낸 바와 같이, 상기 적재디스크(320)의 중심부에는 모터(340)가 체결되는 체결홀(322)이 형성되어 모터(340)의 회전 구동시 적재디스크(320) 또한 회전할 수 있도록 구성되어 있는데, 모터(340)의 구동에 의해 적재디스크(320)가 회전하는 경우 적재디스크(320) 상의 목적물은 원심력에 의해 적재디스크(320)의 가장자리부로 몰리게 되어 적재디스크(320) 상의 가장자리부에 형성된 다수의 제2관통홀(324)을 통해 빠져나가게 되고, 상기 제2관통홀(324)을 통해 빠져나간 목적물은 다시 고정 플레이트(310)에 형성된 제1관통홀(316)을 통해 본체부(100)의 내측으로 투입될 수 있게 되는 것이다.6A and 6B, a coupling hole 322 is formed at the center of the loading disc 320 to fasten the motor 340, so that when the motor 340 rotates, When the loading disc 320 is rotated by driving the motor 340, the object on the loading disc 320 is driven to the edge of the loading disc 320 by the centrifugal force And then passes through a plurality of second through holes 324 formed in the edge portion of the stacking disk 320. The object that has passed through the second through hole 324 is again passed through the first And can be inserted into the main body 100 through the through holes 316.

다음, 상기 슬라이더(330)는 도 3에 나탄낸 바와 같이, 고정 플레이트(310)의 하부와 본체부(100)의 내부에 설치되는 노즐(170)의 사이에 연결 설치되어 고정 플레이트(310)의 제1관통홀(316)을 통해 공급되는 목적물을 노즐(170)의 상부로 이동시키는 역할을 하는 것으로, 도 7의 (a),(b)에 나타낸 바와 같이 상기 슬라이더(330)에는 목적물을 안전하게 이동시킬 수 있도록 하는 가이드홈(332)이 형성되어 있고, 슬라이더(330)의 하단부에는 제3관통홀(334)이 형성되어 가이드홈(332)을 따라 이동된 목적물이 제3관통홀(334)을 통해 노즐(170)의 상부에 안착될 수 있도록 구성되어 있다.3, the slider 330 is connected to a lower portion of the fixing plate 310 and a nozzle 170 installed inside the main body 100, so that the fixing plate 310 7A and 7B, the object to be supplied through the first through-hole 316 is moved to the upper portion of the nozzle 170, A third through hole 334 is formed in the lower end of the slider 330 and the object moved along the guide groove 332 is inserted into the third through hole 334, So that it can be seated on top of the nozzle 170.

따라서, 상기와 같이 구성된 목적물 투입장치(300)에 의해 적재디스크(320) 상에 놓여지는 목적물이 자동으로 제2관통홀(324), 제1관통홀(316) 및 제3관통홀(334)을 통해 노즐(170) 상으로 투입될 수 있는 것이다.Therefore, the object to be placed on the loading disc 320 can be automatically inserted into the second through hole 324, the first through hole 316, and the third through hole 334 by the object throwing apparatus 300 configured as described above. The ink can be injected onto the nozzle 170 through the nozzle.

한편, 상기 본체부(100)의 하부에 형성되는 슬라이드홈(160)에는 도 3에 나타낸 바와 같이 시편회수장치(400)가 착탈 가능하도록 설치되는데, 상기 시편회수장치(400)는 본체부(100)의 배출공(120)을 통해 배출되는 가공 후의 시편을 회수할 수 있도록 하는 역할을 하는 것이다.3, the specimen collection apparatus 400 is detachably installed in the slide groove 160 formed in the lower portion of the main body 100. The specimen collection apparatus 400 includes a main body 100 To recover the processed specimen discharged through the discharge hole 120 of the wafer W.

보다 상세히 설명하면, 상기 시편회수장치(400)는 시편회수구(410)와 도가니(420)를 포함하여 구성되는데, 상기 시편회수구(410)는 본체부(100)의 슬라이드홈(160)에 슬라이드 가능하도록 끼움 결합되어 결합되는 것이고, 상기 도가니(420)는 본체부(100)의 배출공(120) 하부에 위치되도록 하여 시편회수구(410) 상에 형성되는 고정홈(412)에 삽입 설치되어 배출공(120)을 통해 투하되는 시편을 수용할 수 있도록 하는 역할을 하는 것이다.The specimen collection device 400 includes a specimen collection port 410 and a crucible 420. The specimen collection port 410 is connected to the slide groove 160 of the body 100, And the crucible 420 is inserted into the fixing groove 412 formed on the specimen collection port 410 so as to be positioned below the discharge hole 120 of the main body 100, Thereby allowing the sample to be dropped through the discharge hole 120 to be received.

이때, 상기 시편회수구(410)에는 본체부(100)의 외측으로 돌출되는 손잡이(414)가 설치되어 시편회수구(410)의 슬라이드 이동을 용이하게 할 수 있도록 구성되어 있다.At this time, the specimen collection port 410 is provided with a handle 414 protruding outward of the body 100 to facilitate sliding of the specimen collection port 410.

따라서, 상기 시편회수장치(400)를 이용하면 챔버(10)의 덮개부(200)를 열지 않고서도 가공 완료된 고온의 시편을 안전하게 회수할 수 있는 장점이 있다.Therefore, the use of the sample recovery apparatus 400 has an advantage that the processed high-temperature specimen can be safely recovered without opening the lid 200 of the chamber 10.

한편, 상기 덮개부(200)의 상부, 즉 본체부(100)와 대응되는 위치의 덮개부(200) 상부에는 본체부(100) 내에 수용된 목적물의 가공을 위해 레이저를 투과시킬 수 있도록 하는 광학장치(500)가 설치되는데, 상기 광학장치(500)는 도 2 내지 도 4에 나타낸 바와 같이, 고정 프레임(510), ZnSe 렌즈(520), 투시창(530) 및 홀더(540)를 포함하여 이루어진다.An upper part of the lid part 200 corresponding to the upper part of the lid part 200, that is, the lid part 200 corresponding to the main body part 100, is provided with an optical device The optical device 500 includes a fixed frame 510, a ZnSe lens 520, a viewing window 530, and a holder 540, as shown in FIGS.

보다 상세히 설명하면, 상기 고정 프레임(510)은 목적물 가공을 위한 레이저가 투과될 수 있도록 하는 ZnSe 렌즈(520) 및 목적물의 부양 및 가공 과정을 육안으로 관찰 할 수 있도록 하는 투시창(530)을 덮개부(200) 상에 고정 설치할 수 있도록 하는 역할을 하는 것으로, 상기 고정 프레임(510)의 중심부에는 ZnSe 렌즈(520)의 결합을 위한 제1결합부(512)가 형성되어 있고, 상기 제1결합부(512)의 외측에는 투시창(530)의 결합을 위한 제2결합부(514)가 제1결합부(512)를 중심으로 하여 방사상으로 다수 개가 형성되어 있다.More specifically, the fixed frame 510 includes a ZnSe lens 520 for allowing a laser to be transmitted to a target object to be transmitted, and a viewing window 530 for observing the lifting and processing of an object with the naked eye, And a first engaging portion 512 for engaging the ZnSe lens 520 is formed at the center of the fixed frame 510, A plurality of second engaging portions 514 for engaging the viewing window 530 are formed radially around the first engaging portions 512 on the outer side of the first engaging portions 512.

이때, 상기 제1결합부(512)는 ZnSe 렌즈(520)를 통해 챔버(10)의 내측으로 투과되는 레이저가 노즐(170) 상에서 부양 상태에 있는 목적물을 정확히 가열할 수 있도록 하기 위하여 노즐(170)의 수직 상부에 위치되도록 형성되어 있고, 상기 제2결합부(514)는 투시창(530)을 통해 본체부(100) 내측에서 이루어지는 목적물의 부양 및 가공 과정을 보다 정확히 확인할 수 있도록 하기 위하여 목적물을 향해 경사지도록 형성되는 고정 프레임(510)의 경사면(516) 상에 형성되어 있다.At this time, the first coupler 512 is connected to the nozzle 170 through the ZnSe lens 520 to allow the laser, which is transmitted to the inside of the chamber 10, to accurately heat the object in the floating state on the nozzle 170 The second engaging portion 514 is formed so as to be positioned vertically above the main body 100. The second engaging portion 514 is formed so as to be positioned vertically above the main body 100 through the sight window 530, On the inclined surface 516 of the fixed frame 510 which is formed so as to incline toward the center of the fixed frame 510.

다음, 상기 ZnSe 렌즈(520)는 고정 프레임(510)의 중심부에 형성되는 제1결합부(512)에 체결되어 레이저 발생장치, 보다 상세하게는 CO2 레이저(미도시)에 의해 발생되는 레이저가 투과될 수 있도록 함으로써 본체부(100) 내의 목적물을 가열할 수 있도록 하는 역할을 하는 것으로, ZnSe 렌즈(520)의 양면에는 다층반사방지막 코팅층이 형성되어 있다.Next, the ZnSe lens 520 is fastened to the first coupling part 512 formed at the center of the fixed frame 510 so that a laser generated by a laser generator, more specifically, a CO2 laser (not shown) The multilayer antireflection film coating layer is formed on both sides of the ZnSe lens 520. The multilayer antireflection film coating layer is formed on both sides of the ZnSe lens 520. [

즉, 상기 ZnSe 렌즈(520)는 일반 렌즈와는 다르게 레이저를 반사없이 본체부(100) 내측으로 투과시킴으로써 난반사에 의한 사고를 예방함은 물론 목적물 가공의 정확성을 향상시킬 수 있는 장점을 가질 뿐만 아니라, Ge, Si 등의 다른 적외선 광학재료와는 다르게 가시광선의 일부가 투과되는 성질을 가짐으로써 레이저의 광축조정이 용이하다는 장점을 갖는다.That is, unlike a general lens, the ZnSe lens 520 penetrates the inside of the main body 100 without reflecting the laser, thereby preventing accidents caused by diffuse reflection and improving the accuracy of object processing , Ge, Si, or the like, a part of the visible light is transmitted, thereby facilitating the adjustment of the optical axis of the laser.

다음, 상기 투시창(530)은 고정 프레임(510))의 경사면(516)에 형성되는 제2결합부(514)에 체결되는 것으로, ZnSe 렌즈(520)를 중심으로 대칭을 이루도록 설치되어 카메라 등의 촬영장비를 이용하여 본체부(100) 내부에서 발생하는 목적물의 부양 및 용융과정을 관찰할 수 있도록 하는 역할을 함과 동시에, 목적물의 온도측정시 카메라, 적외선 방사온도계(미도시) 등의 주변 장비를 보호하는 역할을 하게 된다.The viewing window 530 is fastened to the second engaging portion 514 formed on the inclined surface 516 of the fixed frame 510 and is provided symmetrically about the ZnSe lens 520, (Not shown) such as a camera and an infrared radiation thermometer (not shown) for measuring a temperature of a target object while observing the lifting and melting process of an object generated inside the main body 100 by using a photographing equipment And the like.

또한, 상기 투시창(530)은 적외선 파장의 빛에 대하여 투과율이 높은 석영(quarz) 렌즈를 이용하여 제조함으로써 목적물의 가공 과정에서 적외선 방사온도계를 이용한 온도 측정시 측정 데이터의 신뢰도를 향상시킬 수 있도록 구성되어 있다.In addition, the viewing window 530 is manufactured using a quarz lens having high transmittance with respect to light having an infrared wavelength so that reliability of measurement data can be improved during temperature measurement using an infrared radiation thermometer during processing of an object .

다음, 상기 홀더(540)는 ZnSe 렌즈(520)와 투시창(530)을 고정 프레임(510) 상에 보다 견고히 고정 설치할 수 있도록 하는 것으로, 상기 홀더(540)는 ZnSe 렌즈(520)를 고정시키기 위한 제1홀더(540a)와, 투시창(530)을 고정시키기 위한 제2홀더(540b)로 구성된다.The holder 540 allows the ZnSe lens 520 and the see-through window 530 to be more firmly fixed on the fixed frame 510. The holder 540 is used for fixing the ZnSe lens 520 A first holder 540a and a second holder 540b for fixing the viewing window 530. [

이때, 상기 제1 및 제2홀더(540a,540b)에는 ZnSe 렌즈(520) 또는 투시창(530)이 삽입 설치되는 홈(미도시)이 형성되는데, 이때 상기 홈의 깊이는 실제 ZnSe 렌즈(520) 또는 투시창(530)의 두께보다 더 깊게 함으로써 챔버(10) 내부의 온도 상승에 따른 열팽창에 의한 ZnSe 렌즈(520) 또는 투시창(530)의 파손을 방지할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.At this time, a groove (not shown) is formed in the first and second holders 540a and 540b to receive a ZnSe lens 520 or a see-through window 530. At this time, It is preferable to prevent the ZnSe lens 520 or the viewing window 530 from being damaged due to thermal expansion due to a temperature increase inside the chamber 10 by making it deeper than the thickness of the viewing window 530. [

따라서, 전술한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 가스부양장치용 챔버(10)에 의하면, 가스의 압력에 의해 목적물(target)을 안정적으로 부양시킬 수 있도록 함으로써 별도의 용기 없이도 비접촉으로 세라믹 시편을 제조할 수 있도록 하여 목적물을 이용한 시편 제조시 용기의 사용에 따른 오염 발생을 방지할 수 있고, 목적물의 부양 및 용융과정을 육안으로 용이하게 확인할 수 있을 뿐만 아니라 챔버(10) 내부로의 목적물의 투입 및 완성된 시편의 배출을 안전하고 용이하게 할 수 있는 등의 다양한 장점을 갖는 것이다.
Therefore, according to the chamber 10 for a gas lifting apparatus according to the present invention constructed as described above, it is possible to stably float a target by the pressure of a gas, thereby manufacturing a ceramic specimen in a noncontact manner without a separate container So that contamination due to the use of the container can be prevented during manufacture of the specimen using the object, and the lifting and melting process of the object can be easily confirmed with the naked eye. In addition, the introduction and completion of the object into the chamber 10 It is possible to securely and easily discharge the specimen.

전술한 실시예들은 본 발명의 가장 바람직한 예에 대하여 설명한 것이지만, 상기 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능하다는 것은 당업자에게 있어서 명백한 것이다.
Although the preferred embodiments of the present invention have been described for illustrative purposes, those skilled in the art will readily appreciate that many modifications are possible in the exemplary embodiments without materially departing from the novel teachings and advantages of this invention.

10 : 챔버 100 : 본체부
110 : 공간부 120 : 배출공
130 : 가스투입로 140 : 결합홀
150 : 플랜지 160 : 슬라이드홈
170 : 노즐 172 : 가스투입공
200 : 덮개부 300 : 목적물 투입장치
310 : 고정플레이트 312 : 설치홈
314 : 결합홈 316 : 제1관통홀
320 : 적재디스크 322 : 체결홀
324 : 제2관통홀 330 : 슬라이더
332 : 가이드홈 334 : 제3관통홀
340 : 모터 400 : 시편회수장치
410 : 시편회수구 412 : 고정홈
414 : 손잡이 420 : 도가니
500 : 광학장치 510 : 고정프레임
512 : 제1결합부 514 : 제2결합부
516 : 경사면 520 : ZnSe 렌즈
530 : 투시창 540 : 홀더
540a : 제1홀더 540b : 제2홀더10: chamber 100:
110: Space part 120: Exhaust hole
130: gas inlet line 140: coupling hole
150: flange 160: slide groove
170: nozzle 172: gas injection hole
200: lid part 300: object input device
310: Fixing plate 312: Installation groove
314: coupling groove 316: first through hole
320: loading disc 322: fastening hole
324: second through hole 330: slider
332: guide groove 334: third through hole
340: motor 400: specimen collection device
410: Specimen collection port 412: Fixing groove
414: Handle 420: Crucible
500: optical device 510: fixed frame
512: first coupling portion 514: second coupling portion
516: sloped surface 520: ZnSe lens
530: view window 540: holder
540a: first holder 540b: second holder

Claims

가스부양장치용 챔버에 있어서,
내측으로 목적물이 투입되어 부양될 수 있도록 하는 공간부가 형성되고, 하부에는 가공된 시편이 배출될 수 있도록 하는 배출공 및 상기 공간부로 가스를 공급할 수 있도록 하는 가스투입로가 형성된 본체부와,
상기 본체부의 상부에 결합되어 챔버를 밀폐시킬 수 있도록 하는 덮개부를 포함하여 구성되고,
상기 본체부에는 가스투입로와 연통되도록 결합홀이 형성되고, 상기 결합홀에는 목적물이 수용되는 노즐이 삽입 설치되어 노즐에서 분사되는 가스에 의해 목적물을 부양시키고,
상기 덮개부의 상부에는 목적물을 챔버의 내측으로 투입시킬 수 있도록 하는 목적물 투입장치가 설치되며,
상기 목적물 투입장치는 덮개부에 고정 설치되는 고정 플레이트와, 상기 고정 플레이트의 상부에 결합되는 적재 디스크와, 상기 고정 플레이트의 하부와 노즐 사이에 연결 설치되는 슬라이더와, 상기 적재 디스크에 연결 설치되어 적재 디스크를 회전시키는 모터를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 가스부양장치용 챔버.
A chamber for a gas flushing device,
A body portion formed with a space for allowing the object to be inserted and floated inside, a discharge hole for discharging the processed specimen and a gas inlet for supplying the gas to the space,
And a lid part coupled to an upper part of the main body part to seal the chamber,
The body is formed with a coupling hole communicating with a gas introduction path, and a nozzle accommodating an object is inserted into the coupling hole, the object is floated by the gas injected from the nozzle,
And an object dispensing device for dispensing an object to the inside of the chamber is provided at an upper portion of the lid,
The object dispensing apparatus includes a fixed plate fixed to the lid unit, a loading disc coupled to the upper portion of the fixed plate, a slider connected between a lower portion of the fixed plate and the nozzle, And a motor for rotating the disk.

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제 1항에 있어서,
상기 고정 플레이트의 상면에는 적재디스크가 삽입 설치되는 설치홈이 형성되고, 상기 설치홈의 중심부에는 모터의 축이 삽입되는 결합홈이 형성되며, 설치홈의 가장자리부에는 상기 슬라이더와 연통되는 제1관통홀이 형성된 것을 특징으로 하는 가스 부양장치용 챔버.
The method according to claim 1,
Wherein a mounting groove is formed in the upper surface of the fixing plate so that a loading disc is inserted into the mounting groove, a coupling groove into which a shaft of the motor is inserted is formed in the center of the mounting groove, And a hole is formed in the chamber.

제 1항에 있어서,
상기 적재디스크의 중심부에는 모터가 체결되는 체결홀이 형성되고, 적재디스크의 가장자리부에는 목적물이 통과되는 다수의 제2관통홀이 형성된 것을 특징으로 하는 가스 부양장치용 챔버.
The method according to claim 1,
And a plurality of second through holes through which the object passes are formed in the edge portion of the loading disc, wherein a coupling hole for fastening the motor is formed at the center of the loading disc.

제 1항에 있어서,
상기 슬라이더에는 목적물을 이동시킬 수 있도록 하는 가이드 홈이 형성되고, 상기 슬라이더의 하단부에는 제3관통홀이 형성된 것을 특징으로 하는 가스 부양장치용 챔버.
The method according to claim 1,
Wherein the slider is provided with a guide groove for moving an object, and a third through hole is formed at a lower end of the slider.

제 1항에 있어서,
상기 본체부의 하부에 설치되어 배출공을 통해 배출된 시편을 회수할 수 있도록 하는 시편회수장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 부양장치용 챔버.
The method according to claim 1,
Further comprising a specimen collection device installed at a lower portion of the main body to collect the specimen discharged through the discharge hole.

제 8항에 있어서,
상기 시편회수장치는 본체부의 하부에 슬라이드 가능하도록 끼움 결합되는 시편회수구와, 상기 시편회수구 상에 설치되어 배출공을 통해 배출되는 시편을 수용하는 도가니를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 가스 부양장치용 챔버.
9. The method of claim 8,
Wherein the specimen collection device includes a specimen collection port slidably fitted to a lower portion of the body portion and a crucible accommodated in the specimen collection port and accommodating a specimen discharged through the vent hole. chamber.

제 1항에 있어서,
상기 덮개부의 상부에는 레이저에 의해 본체부의 내측에 수용된 목적물을 가열할 수 있도록 레이저를 투과시키는 광학장치가 설치된 것을 특징으로 하는 가스 부양장치용 챔버.
The method according to claim 1,
Wherein an upper surface of the lid is provided with an optical device for transmitting a laser so as to heat an object contained in the main body by a laser.

제 10항에 있어서,
상기 광학장치는 덮개부 상에 결합되는 고정 프레임과, 상기 고정 프레임의 중심부에 형성되는 제1결합부에 체결되는 ZnSe 렌즈와, 상기 제1결합부를 중심으로 하여 고정 프레임에 방사상으로 형성되는 다수의 제2결합부에 체결되는 투시창 및 상기 ZnSe 렌즈와 투시창을 고정시키기 위한 홀더를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 가스 부양장치용 챔버.
11. The method of claim 10,
The optical device includes a fixed frame coupled to the cover, a ZnSe lens coupled to the first coupling portion formed at the center of the fixed frame, and a plurality of And a holder for fixing the ZnSe lens and the viewing window to each other.

제 11항에 있어서,
상기 고정 프레임에는 경사면이 형성되고, 상기 제2결합부는 경사면에 형성되어 제2결합부에 체결되는 투시창이 ZnSe 렌즈를 중심으로 대칭되도록 하여 목적물을 향해 경사지도록 설치된 것을 특징으로 하는 가스 부양장치용 챔버.

12. The method of claim 11,
Wherein the fixed frame is formed with an inclined surface and the second coupling portion is formed on an inclined surface so that a transparent window to be coupled to the second coupling portion is inclined toward the object so as to be symmetrical with respect to the ZnSe lens. .