KR101414128B1 - 미세기포를 이용한 오염가스 세정장치 - Google Patents

미세기포를 이용한 오염가스 세정장치 Download PDF

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유순석
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Abstract

본 발명은 세정탑 내부로 공급되는 오염가스를 세정액의 내부에서 미세기포로 분사하여 세정액에 노출되는 면적으로 증가시킴으로써 오염가스에 포함된 오염물질의 제거를 극대화시킬 수 있는 미세기포를 이용한 오염가스 세정장치에 관한 것이다.
본 발명의 주요구성은, 상부에 처리된 가스를 배출시키는 가스 배출구가 형성된 하우징(10)과; 하우징(10)의 최하단에 위치하며 하우징(10)의 상부에서 사용된 세정액이 유입되면 저장하는 세정액 저장부(20)와; 세정액 저장부(20)의 상부에 위치하며 하우징(10)의 내면과 소정거리 이격된 상태로 외부로부터 세정액을 공급받아 일정량 저장하고, 중앙에는 오버플로우되는 세정액을 하부의 세정액 저장부(20)로 낙하시키기 위한 세정액 배출관(31)이 형성된 오염가스 처리조(30)와; 오염가스 처리조(30)의 측면에 다수개로 체결되며 전단이 오염가스 처리조(30)의 내부로 연장되고, 후단에 세정액 공급관(41)에 연결되어 세정액을 분사시키는 세정액 분사노즐(40)과; 오염가스 처리조(30)의 내부로 연장되고, 표면에 오염가스 분사노즐(51)이 형성되어 외부로부터 공급받은 오염가스를 오염가스 처리조(30)의 내부로 분사시키는 오염가스 분사관(50)과; 세정액 저장부(20)에 저장된 세정액을 세정액 분사노즐(40)로 공급하는 순환펌프(70);를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

미세기포를 이용한 오염가스 세정장치{CONTAMINATED GAS CLEANING APPARATUS USING MICRO BUBBLES}
본 발명은 세정탑 내부로 공급되는 오염가스를 세정액의 내부에서 미세기포로 분사하여 세정액에 노출되는 면적으로 증가시킴으로써 오염가스에 포함된 오염물질의 제거를 극대화시킬 수 있는 미세기포를 이용한 오염가스 세정장치에 관한 것이다.
고도의 기술이 개발될수록 오염물질의 농도가 증가되고 종류가 다양해지고 있으며, 법적기준도 점점 강화되고 있다. 일반적으로 대기오염물질을 제거하는 방법에는 다양한 방법이 있으나, 가장 범용적으로 세정설비가 사용된다. 종래 세정설비는 충진물을 이용한 방법이다. 도 1에 도시된 바와 같이 세정설비는 본체(1), 오염가스가 들어오는 주입구(2), 오염물질을 주입구로 보내기 위한 송풍기(3), 오염가스와 세정액이 접촉하도록 하는 충전물로 채워진 충전층(4), 세정액을 포함한 물을 공급하는 순환 펌프(5), 세정액을 포함한 물을 분산, 공급하는 스프레이 노즐(6), 충전층을 통과한 미스트를 분리하는 장치인 디미스터(7), 정제된 가스를 배출하는 배출구(8)로 구성된다. 오염가스는 송풍기에 의해 본체의 주입구를 경유하여 본체 내부로 주입된다. 주입된 가스는 상승하게 되는데 이때, 스프레이 노즐을 통해 본체 내부에 세정액을 포함한 물을 분무하여 오염물질을 제거할 수 있도록 하고, 가스와 물의 접촉을 최대로 하기 위해 충전물을 넣은 충전층을 통과하게 한다. 가스중의 오염물질은 충전층에 의한 액적, 액막, 기포 등에 의해 세정되고 디미스터를 통과하면서 미세분진이 걸러지면 최종적으로 정제된 가스가 배출구를 통해 대기중으로 방출된다.
그러나 이러한 방법만으로는 물과 오염가스의 접촉이 원활히 일어날 수 없어 효과적으로 오염물질이 제거되지 않는 문제점이 있었다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 세정탑 내부로 공급되는 오염가스를 세정액의 내부에서 미세기포로 분사하여 세정액에 노출되는 면적으로 증가시킴으로써 오염가스에 포함된 오염물질의 제거를 극대화시킬 수 있는 미세기포를 이용한 오염가스 세정장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 해결과제는 오염가스가 미세기포로 분사되는 오염가스 처리조로 공급되는 세정액을 와류를 형성하여 오염가스가 최대한 세정액과 접촉할 수 있도록 시간을 증가시킬 수 있는 미세기포를 이용한 오염가스 세정장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 또다른 해결과제는 세정액에 초음파진동을 발생시켜 미세기포로 분해된 오염가스를 더욱 초미세기포로 분해하면서 세정액의 접촉을 원활하게 이루어지도록 하는 미세기포를 이용한 오염가스 세정장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 또다른 해결과제는 오염가스 처리조의 상단에 다공층을 형성하여 미세기포를 상부로 배출하는 시간을 늦추면서 상부에서 분사되는 세정액에 접촉시키는 미세기포를 이용한 오염가스 세정장치를 제공하는데 있다.
본 발명에 따른 미세기포를 이용한 오염가스 세정장치는, 상부에 처리된 가스를 배출시키는 가스 배출구가 형성된 하우징(10)과; 하우징(10)의 최하단에 위치하며 하우징(10)의 상부에서 사용된 세정액이 유입되면 저장하는 세정액 저장부(20)와; 세정액 저장부(20)의 상부에 위치하며 하우징(10)의 내면과 소정거리 이격된 상태로 외부로부터 세정액을 공급받아 일정량 저장하고, 중앙에는 오버플로우되는 세정액을 하부의 세정액 저장부(20)로 낙하시키기 위한 세정액 배출관(31)이 형성된 오염가스 처리조(30)와; 오염가스 처리조(30)의 측면에 다수개로 체결되며 전단이 오염가스 처리조(30)의 내부로 연장되고, 후단에 세정액 공급관(41)에 연결되어 오염가스 처리조(30)의 내부로 세정액을 분사시키는 세정액 분사노즐(40)과; 오염가스 처리조(30)의 내부로 연장되고, 표면에 오염가스 분사노즐(51)이 형성되어 외부로부터 공급받은 오염가스를 오염가스 처리조(30)의 내부로 분사시키는 오염가스 분사관(50)과; 세정액 저장부(20)에 저장된 세정액을 세정액 분사노즐(40)로 공급하는 순환펌프(70);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 세정액 공급관(41)은 일단이 순환펌프(70)에 연결되어 세정액을 제공받는 제1 세정액 공급관(42)과, 다수의 세정액 분사노즐(40)에 연결되어 세정액을 공급되는 제2 세정액 공급관(43)과, 일단이 제1 세정액 공급관(42)에 연결되고 타단이 다수의 제2 세정액 공급관(43)에 연결되어 제1 세정액 공급관(42)을 통해 제공받은 세정액을 다수의 제2 세정액 공급관(43)으로 분할되게 공급하는 세정액 분배부(44)로 이루어진 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 세정액 분사노즐(40)은 세정액을 오염가스 처리조(30)의 내부로 배출될 때에 와류가 형성되도록 소정각도로 기울어지게 위치하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 오염가스 분사관(50)은 일단이 외부로부터 유입되는 오염가스 유입관에 연결되어 오염가스를 제공받는 제1 오염가스 공급관(52)과, 오염가스 처리조(30)의 내부로 연장되며 표면에 오염가스가 배출되는 분사노즐(51)이 다수개 형성된 제2 오염가스 공급관(53)과, 일단이 제1 오염가스 공급관(52)에 연결되고 타단이 다수의 제2 오염가스 공급관(53)에 각각 연결되어 제1 오염가스 공급관(52)로 유입된 오염가스를 다수의 제2 오염가스 공급관으로 분배하는 오염가스 분배부(54)로 이루어진 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 오염가스 처리조(30)의 상부에 위치하면서 하우징의 내면 일측에서 타측으로 연장되어 있으며 세정액이 공급되는 세정액 이송관(61)과; 세정액 이송관(61)의 하부에 위치하면서 공급받은 세정액을 하부로 분무시키는 세정액 분무노즐(62)로 이루어진 세정액 분무부(60)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 순환펌프(70)는 세정액 저장부(20)의 세정액을 세정액 분사노즐(40)에 연결된 세정액 공급관(41)으로 공급하는 제1순환펌프(71)와, 세정액 분무부(60)의 세정액 이송관(61)으로 공급하는 제2순환펌프(72)로 이루어진 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 오염가스 처리조(30)의 내부에는 초음파발진기(90)에서 발생된 초음파 신호를 오염가스 처리조(30)의 내부로 조사시켜 세정액에 포함된 오염가스의 미세기포를 초미세기포로 분해시키는 초음파진동자(91)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 오염가스 처리조(30)는 바닥에서 일정높이 이격된 상부에 다공층(32)이 형성된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 미세기포를 이용한 오염가스 세정장치에 의하면, 세정탑 내부로 공급되는 오염가스를 미세기포로 분해시켜 비표면적이 최대한 증가된 상태로 세정액에 접촉되어 오염물질의 제거를 극대화시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 미세기포로 분해된 오염가스를 세정액과 함께 와류로 흐르게 하여 오염가스가 최대한 세정액과 접촉할 수 있도록 시간을 증가시킬 수 있는 장점이 있다.
또한, 세정액에 초음파진동을 발생시켜 미세기포로 분해된 오염가스를 더욱 초미세기포로 분해하면서 진동에 의해서 세정액의 접촉을 원활하게 이루어지도록 할 수 있는 장점이 있다.
또한, 오염가스 처리조의 상단에 다공층에 의하여 미세기포를 상부로 배출하는 시간을 늦추면서 상부에서 분사되는 세정액에 의해 추가로 접촉되도록 하여 세정효과를 증가시킬 수 있다.
도 1은 일반적인 오염가스 세정장치의 단면도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 미세기포를 이용한 오염가스 세정장치의 개략 단면도.
도 3은 본 발명에 따른 오염가스 처리조의 사시도.
도 4는 도 3의 평면도.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 다공층을 구비하는 미세기포를 이용한 오염가스 세정장치의 개략 단면도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 미세기포를 이용한 오염가스 세정장치에 대하여 자세히 살펴본다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 미세기포를 이용한 오염가스 세정장치는, 하우징(10)의 최하부에 위치하는 세정액 저장부(20)와, 세정액 저장부(20)의 상부에 위치하는 오염가스 처리조(30)와, 오염가스 처리조(30)의 내부로 세정액을 분사하는 세정액 분사노즐(40)과, 오염가스 처리조(30)의 내부로 오염가스를 분사하는 오염가스 분사관(50)과, 오염가스 처리조(30)의 상부에서 세정액을 분무하는 세정액 분무부(60)와, 세정액 저장부(20)의 세정액을 오염가스 처리조(30)와 세정액 분무부(60)로 이동시키는 순환펌프(70), 및 세정액 분무부(60)의 상부에서 처리된 가스를 배출하는 처리가스 배출구(80)를 포함한다.
세정액 저장부(20)는 하우징(10)의 최하단에 위치하며 하우징(10)의 상부에서 사용된 세정액이 유입되면 저장한다. 세정액 저장부(20)로 유입된 세정액은 순환펌프(70)를 통해서 오염가스 처리조(30)와 세정액 분무부(60)로 제공되어 재사용된다.
오염가스 처리조(30)는 세정액 저장부(20)의 상부에 위치하며 하우징(10)의 내면과 소정거리 이격된 상태로 외부로부터 세정액을 공급받아 일정량 저장한다. 오염가스 처리조(30)의 상부는 개구되어 있으며 유입된 세정액을 저장하기 위하여 소정높이를 갖으며, 중앙에는 오버플로우되는 세정액을 하부의 세정액 저장부(20)로 낙하시키기 위한 세정액 배출관(31)이 형성된다.
세정액 분사노즐(40)은 오염가스 처리조(30)의 측면에 다수개로 체결되며 전단이 오염가스 처리조(30)의 내부로 연장되고, 후단에 세정액 공급관(41)에 연결되어 오염가스 처리조(30)의 내부로 세정액을 분사시킨다. 이때, 세정액 분사노즐(40)의 전단은 세정액을 오염가스 처리조(30)의 내부로 배출될 때에 와류가 형성되도록 소정각도로 기울어지게 위치하는 것이 바람직하다.
이러한 세정액 공급관(41)은 일단이 순환펌프(70)에 연결되어 세정액을 제공받는 제1 세정액 공급관(42)과, 다수의 세정액 분사노즐(40)에 연결되어 세정액을 공급되는 제2 세정액 공급관(43)과, 일단이 제1 세정액 공급관(42)에 연결되고 타단이 다수의 제2 세정액 공급관(43)에 연결되어 제1 세정액 공급관(42)을 통해 제공받은 세정액을 다수의 제2 세정액 공급관(43)으로 분할되게 공급하는 세정액 분배부(44)로 이루어진다.
또한, 오염가스 분사관(50)은 오염가스 처리조(30)의 내부로 연장되어 있으며 오염가스를 오염가스 처리조(30)의 내부로 분사시키는 오염가스 분사노즐(51)이 표면에 형성된다.
이러한 오염가스 분사관(50)은 일단이 외부로부터 유입되는 오염가스 유입관에 연결되어 오염가스를 제공받는 제1 오염가스 공급관(52)과, 오염가스 처리조(30)의 내부로 연장되며 표면에 오염가스가 배출되는 분사노즐(51)이 다수개 형성된 제2 오염가스 공급관(53)과, 일단이 제1 오염가스 공급관(52)에 연결되고 타단이 다수의 제2 오염가스 공급관(53)에 각각 연결되어 제1 오염가스 공급관(52)로 유입된 오염가스를 다수의 제2 오염가스 공급관(53)으로 분배하는 오염가스 분배부(54)로 이루어진다. 이때, 제2 오염가스 공급관(53)은 오염가스 처리조(30)의 바닥에 밀착되게 다수개 설치되는 것이 바람직하다.
한편, 세정액 분무부(60)는 오염가스 처리조(30)의 상부에 위치하면서 하우징(10)의 내면 일측에서 타측으로 연장되어 있으며 세정액이 공급되는 세정액 이송관(61)과, 세정액 이송관(61)의 하부에 위치하면서 공급받은 세정액을 하부로 분무시키는 세정액 분무노즐(62)을 포함한다. 세정액 이송관(61)으로 공급되는 세정액은 순환펌프(70)에 의해 공급된다. 이러한 분무노즐(62)에서 분무된 세정액은 오염가스 처리조(30)의 상부로 직접 낙하된다.
순환펌프(70)는 하우징(10) 하부에 저장된 세정액을 세정액 분사노즐(40)에 연결된 제1 세정액 공급관(42)으로 공급하는 제1순환펌프(71)와, 세정액 분무부(60)의 세정액 이송관(61)으로 공급하는 제2순환펌프(72)를 포함한다. 이때, 순환펌프(70)는 하나의 펌프를 이용하여 세정액 분사노즐(40)과 세정액 분무부(60)로 세정액을 공급할 수도 있다.
처리가스 배출구(80)는 세정액 분무부(60)의 상부에서 하우징(10)을 관통하도록 형성되어 하우징(10)의 내부에서 처리된 가스를 배출한다.
한편, 오염가스 처리조(30)의 내부에는 초음파발진기(90)에서 발생된 초음파 신호를 오염가스 처리조(30)의 내부로 조사시켜 세정액에 포함된 오염가스의 미세기포를 분해시키는 초음파진동자(91)를 더 포함할 수 있다. 초음파진동자(91)에 의하여 미세기포에서 초미세기포로 분해된 오염가스를 세정액에 더욱 많이 접촉하도록 더욱 작은 초미세기포로 분해하여 정화할 수 있다.
한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 오염가스 처리조(30)는 바닥에서 일정높이 이격된 상부에 다공층(32)이 형성되다. 이러한 다공층(32)은 오염가스가 통과되도록 스펀지형상으로 형성되어 상부의 세정액 분무부(60)에서 분사되는 세정액이 적셔지면서 하부로 흘러들어가게 되면서 상승하는 가스와 용이하게 접촉되어 재차 가스에 포함된 오염성분이 제거된다.
이하, 본 발명에 따른 미세기포를 이용한 오염가스 세정장치의 작동상태에 대하여 자세히 살펴본다.
먼저, 오염가스 처리조(30)의 측면으로 다수개 체결된 세정액 분사노즐(40)로 세정액 저장부(20)에 저장된 세정액을 제1순환펌프(71)를 통해서 공급하고, 오염가스 처리조(30)의 바닥면으로 길게 연장되어 있는 오염가스 분사관(50)로 오염가스를 공급한다. 이에 따라 오염가스는 오염가스 분사관(50)의 표면에 형성된 분사노즐(51)을 통과하면서 미세기포 형태로 세정액에 노출되면서 오염물질이 세정된다.
이때, 세정액 분사노즐(40)을 오염가스 처리조(30)와 소정각도로 기울어지도록 체결하면 오염가스 처리조(30)의 내부로 분사되는 세정액이 와류를 형성하면서 흐르게 되기 때문에 오염가스 분사관(50)에서 분출된 미세기포 형태의 오염가스도 세정액을 따라 함께 흐르면서 오염가스 처리조(30)에서 머무르는 시간이 증가된다.
또한, 오염가스 처리조(30)의 내부에 위치하는 초음파진동자(91)에 초음파신호를 전달하면 오염가스 분사노즐(51)에서 1차 미세기포로 분해된 오염가스는 2차 초미세기포로 2차 분해되어 세정액에 노출되는 표면적을 더욱 증가시켜 오염가스의 이물질을 제거효율을 증가시킬 수 있다.
그리고, 오염가스 처리조(30)로 분사된 미세기포의 오염가스는 세정액에서 상승하면서 오염가스 처리조(30)의 상부로 상승하게 되고, 제2순환펌프(72)를 통해서 제공받은 세정액이 세정액 분무부(60)의 세정액 분무노즐(62)에서 분무되는 동안에 노출되어 미처리된 이물질이 2차 처리된다. 그리고, 분사노즐에서 분무된 세정액은 오염가스 처리조(30)의 상부로 낙하되면서 오염가스 처리조(30)로 유입되게 된다.
이와 같이 세정액 분무노즐(62)에서 배출되는 세정액으로 2차 처리된 가스는 하우징(10)의 상부에 위치하는 가스 배출구를 통해 외부로 배출된다.
한편, 초음파발진기를 통해서 오염가스 처리조(30)의 내부에 스펀지형상의 다공층(32)을 형성하면 오염가스가 다공층(32)의 저항에 의하여 통과속도가 감소될 뿐만 아니라 상부의 세정액 분무부(60)에서 분사되는 세정액이 용이하게 적셔지면서 가스에 포함된 오염성분을 추가로 제거할 수 있게 된다.
이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.
10 : 하우징 20 : 세정액 저장부
30 : 오염가스 처리조 31 : 세정액 배출관
32 : 다공층 40 : 세정액 분사노즐
41 : 세정액 공급관 42 : 제1 세정액 공급관
43 : 제2 세정액 공급관 44 : 세정액 분배부
50 : 오염가스 분사관 51 : 오염가스 분사노즐
52 : 제1 오염가스 공급관 53 : 제2 오염가스 공급관
54 : 오염가스 분배부 60 : 세정액 분무부
61 : 세정액 이송관 62 : 세정액 분무노즐
70 : 순환펌프 71 : 제1순환펌프
72 : 제2순환펌프 80 : 처리가스 배출구
90 : 초음파발진기 91 : 초음파진동자

Claims (9)

  1. 상부에 처리된 가스를 배출시키는 가스 배출구가 형성된 하우징(10)과;
    하우징(10)의 최하단에 위치하며 하우징(10)의 상부에서 사용된 세정액이 유입되면 저장하는 세정액 저장부(20)와;
    세정액 저장부(20)의 상부에 위치하며 하우징(10)의 내면과 소정거리 이격된 상태로 외부로부터 세정액을 공급받아 일정량 저장하고, 중앙에는 오버플로우되는 세정액을 하부의 세정액 저장부(20)로 낙하시키기 위한 세정액 배출관(31)이 형성된 오염가스 처리조(30)와;
    오염가스 처리조(30)의 측면에 다수개로 체결되며 전단이 오염가스 처리조(30)의 내부로 연장되고, 후단에 세정액 공급관(41)에 연결되어 오염가스 처리조(30)의 내부로 세정액을 분사시키는 세정액 분사노즐(40)과;
    오염가스 처리조(30)의 내부로 연장되고, 표면에 오염가스 분사노즐(51)이 형성되어 외부로부터 공급받은 오염가스를 오염가스 처리조(30)의 내부로 분사시키는 오염가스 분사관(50)과;
    세정액 저장부(20)에 저장된 세정액을 세정액 분사노즐(40)로 공급하는 순환펌프(70);를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세기포를 이용한 오염가스 세정장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 세정액 공급관(41)은 일단이 순환펌프(70)에 연결되어 세정액을 제공받는 제1 세정액 공급관(42)과, 다수의 세정액 분사노즐(40)에 연결되어 세정액을 공급되는 제2 세정액 공급관(43)과, 일단이 제1 세정액 공급관(42)에 연결되고 타단이 다수의 제2 세정액 공급관(43)에 연결되어 제1 세정액 공급관(42)을 통해 제공받은 세정액을 다수의 제2 세정액 공급관(43)으로 분할되게 공급하는 세정액 분배부(44)로 이루어진 것을 특징으로 하는 미세기포를 이용한 오염가스 세정장치.
  3. 청구항 1에 있어서, 세정액 분사노즐(40)은 세정액을 오염가스 처리조(30)의 내부로 배출될 때에 와류가 형성되도록 소정각도로 기울어지게 위치하는 것을 특징으로 하는 미세기포를 이용한 오염가스 세정장치.
  4. 청구항 1에 있어서, 오염가스 분사관(50)은 일단이 외부로부터 유입되는 오염가스 유입관에 연결되어 오염가스를 제공받는 제1 오염가스 공급관(52)과, 오염가스 처리조(30)의 내부로 연장되며 표면에 오염가스가 배출되는 분사노즐(51)이 다수개 형성된 제2 오염가스 공급관(53)과, 일단이 제1 오염가스 공급관(52)에 연결되고 타단이 다수의 제2 오염가스 공급관(53)에 각각 연결되어 제1 오염가스 공급관(52)로 유입된 오염가스를 다수의 제2 오염가스 공급관으로 분배하는 오염가스 분배부(54)로 이루어진 것을 특징으로 하는 미세기포를 이용한 오염가스 세정장치.
  5. 청구항 1에 있어서, 오염가스 처리조(30)의 상부에 위치하면서 하우징의 내면 일측에서 타측으로 연장되어 있으며 세정액이 공급되는 세정액 이송관(61)과; 세정액 이송관(61)의 하부에 위치하면서 공급받은 세정액을 하부로 분무시키는 세정액 분무노즐(62)로 이루어진 세정액 분무부(60)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세기포를 이용한 오염가스 세정장치.
  6. 청구항 5에 있어서, 순환펌프(70)는 세정액 저장부(20)의 세정액을 세정액 분사노즐(40)에 연결된 세정액 공급관(41)으로 공급하는 제1순환펌프(71)와, 세정액 분무부(60)의 세정액 이송관(61)으로 공급하는 제2순환펌프(72)로 이루어진 것을 특징으로 하는 미세기포를 이용한 오염가스 세정장치.
  7. 청구항 1에 있어서, 오염가스 처리조(30)의 내부에는 초음파발진기(90)에서 발생된 초음파 신호를 오염가스 처리조(30)의 내부로 조사시켜 세정액에 포함된 오염가스의 미세기포를 초미세기포로 분해시키는 초음파진동자(91)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세기포를 이용한 오염가스 세정장치.
  8. 청구항 1에 있어서, 오염가스 처리조(30)는 바닥에서 일정높이 이격된 상부에 다공층(32)이 형성된 것을 특징으로 하는 미세기포를 이용한 오염가스 세정장치.
  9. 청구항 8에 있어서, 다공층(32)은 오염가스가 통과되도록 스펀지형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 미세기포를 이용한 오염가스 세정장치.
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