KR101409320B1 - The method of guaging height sample - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a sample height measurement method using a microscope and, more particularly, to a sample height measurement method using a microscope by which an accurate measurement value can be obtained with a backlash effect from gear coupling removed in the microscope in which the height of a stage or an object lens is adjusted by gear engagement. The sample height measurement method of the present invention, which uses the microscope in which the height of the stage or the object lens is adjusted by the gear coupling between a driving gear and a driven gear engaged with each other during a micro handle operation, includes a first focusing step in which the micro handle is operated for focusing at a lower end of a sample that is laid on the stage; and a second focusing step in which the micro handle is operated for focusing at an upper end of the sample. In the second focusing step, the micro handle is rotated in the same direction as the direction of rotation of the micro handle completed with the focusing in the first focusing step so that the focusing is completed.

Description

현미경을 이용한 샘플의 높이측정방법{The method of guaging height sample}The method of measuring the height of a sample using a microscope [

본 발명은 현미경을 이용한 샘플의 높이 측정방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기어물림에 의해 스테이지 또는 대물렌즈의 높이가 조절되는 현미경에서 기어결합에 의한 백래쉬의 영향을 제거하여 정확한 측정값을 얻을 수 있는 현미경을 이용한 샘플의 높이측정방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of measuring the height of a sample using a microscope, and more particularly, to a microscope in which the height of a stage or an objective lens is adjusted by gear engagement, thereby eliminating the influence of backlash by gear- The present invention relates to a method of measuring a height of a sample using a microscope.

일반적으로 광학 현미경(10)을 이용하여 샘플의 높이를 측정하고자 하는 경우 현미경에 구비된 미동핸들(33)을 조작하여 샘플이 놓인 스테이지(20)를 상하 방향으로 이동하거나 대물렌즈(50)를 상하방향으로 이동시켜 샘플의 하단을 포커싱한 후 다시 샘플의 상단을 포커싱함으로써 대물렌즈 또는 스테이지의 이동거리(미동핸들의 회전량)를 통해 샘플의 높이를 측정하게 된다.(도 1 및 도 2 참조)Generally, in order to measure the height of a sample using the optical microscope 10, the fine movement handle 33 provided on the microscope is operated to move the stage 20 on which the sample is placed in the vertical direction, Direction, focusing the lower end of the sample, and focusing the upper end of the sample again, the height of the sample is measured through the moving distance of the objective lens or the stage (the amount of rotation of the fine handle) (see Figs. 1 and 2)

통상적으로 상기 스테이지 또는 대물렌즈의 높이방향 이동은 미동핸들의 조작시 구동기어가 피동기어를 회전시키는 기어결합 방식이 많이 사용되고 있다.Usually, the stage or the objective lens is moved in the height direction by a gear coupling method in which the driving gear rotates the driven gear when the fine steering wheel is operated.

그러나 이러한 기어결합은 도 3에 도시된 바와 같이 서로 맞물린 기어간의 원활한 회전을 위하여 이와 이 사이에 일정간격의 틈새를 두는 백래시(back lash)가 존재하게 된다.However, as shown in FIG. 3, in order to smoothly rotate the gears meshed with each other, there is a back lash having a clearance therebetween.

이에 따라, 종래의 방식으로 샘플의 높이를 측정하게 되면 백래시에 의한 계측오차가 필연적으로 발생할 수 밖에 없었다. 샘플의 크기가 큰 경우에는 상기 백래시에 의한 영향이 미미하여 측정결과에 큰 영향이 없으나 샘플의 크기가 작아질수록 백래시에 의한 계측오차의 영향이 점차 커짐에 따라 측정결과의 신뢰성을 떨어뜨리는 문제점이 있었다.Accordingly, if the height of the sample is measured in a conventional manner, a measurement error due to backlash has inevitably occurred. When the size of the sample is large, the effect of the backlash is insignificant and the influence of the measurement error due to the backlash increases as the size of the sample becomes smaller, which decreases the reliability of the measurement result .

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 미동핸들의 조작을 통해 스테이지 또는 대물렌즈의 높이가 변하는 현미경을 이용하여 샘플의 높이를 측정하는 방법에 있어서 샘플의 하단을 포커싱하는 제1포커싱단계와 샘플의 상단을 포커싱하는 제2포커싱단계에서 미동핸들의 회전방향을 일치시킴으로써 백래시에 의한 오차를 제거할 수 있는 현미경을 이용한 샘플의 높이측정방법을 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a method of measuring a height of a sample using a microscope whose stage or objective lens is changed in height through manipulation of a fine handle, And a method of measuring a height of a sample using a microscope capable of eliminating errors due to backlash by matching the rotation direction of the fine handle in a second focusing step of focusing the upper end of the sample.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 미동핸들의 조작시 서로 맞물린 구동기어와 피동기어의 기어결합에 의해 스테이지 또는 대물렌즈의 높이가 조절되는 현미경을 이용하여 샘플의 높이를 측정하는 방법에 있어서, 상기 미동핸들을 조작하여 상기 스테이지에 놓인 샘플의 하단에 촛점을 맞추는 제1포커싱 단계; 및 상기 미동핸들을 조작하여 상기 샘플의 상단에 촛점을 맞추는 제2포커싱 단계;를 포함하고, 상기 제2포커싱 단계는 상기 제1포커싱 단계에서 포커싱이 완료된 미동핸들의 회전방향과 동일한 방향으로 미동핸들을 회전시켜 포커싱을 완료하는 것을 특징으로 하는 현미경을 이용한 샘플의 높이측정방법을 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of measuring a height of a sample using a microscope, the height of which is adjusted by gear engagement of a driving gear and a driven gear engaged with each other, A first focusing step of operating the fine movement handle to focus on a lower end of a sample placed on the stage; And a second focusing step of focusing the upper end of the sample by operating the fine movement handle, wherein the second focusing step includes moving the fine movement handle in the same direction as the rotation direction of the fine movement handle completed in the first focusing step, And the focusing is completed by rotating the microscope.

바람직하게는, 상기 현미경은 상기 미동핸들의 회전방향을 표시하는 표시부를 포함할 수 있다.Preferably, the microscope may include a display unit that displays a direction of rotation of the fine movement handle.

바람직하게는, 상기 미동핸들의 회전방향은 상기 제1포커싱 단계에서 미동핸들의 회전방향을 나타내는 제1표시수단과 상기 제2포커싱 단계에서 미동핸들의 회전방향을 나타내는 제2표시수단을 포함할 수 있다.Preferably, the rotational direction of the fine handle may include first display means for indicating the rotational direction of the fine handle in the first focusing step and second display means for indicating the rotational direction of the fine handle in the second focusing step have.

바람직하게는, 상기 제1표시수단 및 제2표시수단은 화살표일 수 있다.Preferably, the first display means and the second display means may be arrows.

바람직하게는, 상기 표시부는 상기 제1표시수단의 정보와 제2표시수단의 정보가 불일치하는 경우 색상이 변경될 수 있다.Preferably, the color of the display unit can be changed when the information of the first display unit and the information of the second display unit are inconsistent.

바람직하게는, 상기 미동핸들의 회전방향에 대한 정보는 미동핸들과 연결된 센서를 통해 추출될 수 있다.Preferably, the information about the direction of rotation of the fine handlebar can be extracted through a sensor connected to the fine handlebar.

본 발명에 의하면, 샘플의 하단을 포커싱하는 제1포커싱단계와 샘플의 상단을 포커싱하는 제2포커싱단계에서 미동핸들의 회전방향을 일치시켜 백래시에 의한 오차를 제거함으로써 정확한 계측값을 얻을 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, accurate measurement values can be obtained by eliminating errors due to backlash by matching the rotational directions of the fine motion handles in the first focusing step of focusing the lower end of the sample and the second focusing step of focusing the upper end of the sample .

도 1은 일반적인 3축 현미경을 나타낸 개략도.
도 2는 도 1을 이용한 일반적인 샘플높이의 측정방법을 나타낸 개략도.
도 3은 종래의 샘플높이 측정방법에서 오차가 발생되는 원인을 나타낸 개념도.
도 4는 본 발명에 따른 샘플높이 측정방법에서 오차가 보정되는 원리를 나타낸 개념도.
도 5는 본 발명에 따른 샘플높이 측정방법을 나타낸 순서도.
도 6은 본 발명에 따른 샘플높이 측정방법에 사용되는 표시부의 일실시예를 나타낸 개략도.1 is a schematic view showing a general three-axis microscope.
FIG. 2 is a schematic view showing a general method of measuring a sample height using FIG. 1; FIG.
3 is a conceptual diagram showing a cause of an error in a conventional method of measuring a sample height.
4 is a conceptual diagram illustrating a principle in which an error is corrected in a sample height measuring method according to the present invention.
5 is a flowchart showing a method of measuring a sample height according to the present invention.
6 is a schematic view showing an embodiment of a display unit used in a sample height measuring method according to the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

이하에서, 발명의 이해를 돕기 위해 도면부호를 부가함에 있어 동일한 구성요소에 대해서는 비록 다른 도면에 표시되었다 하더라도 동일한 도면부호를 사용하기로 한다.In order to facilitate understanding of the present invention, the same reference numerals will be used to denote the same constituent elements even if they are shown in different drawings.

본 발명에 따른 현미경을 이용한 샘플의 높이측정방법은 서로 맞물림 된 구동기어와 피동기어가 이의 양 측부 중 동일한 방향의 측부에 접촉된 상태에서 제1포커싱과 제2포커싱이 이루어지도록 하여 백래쉬에 의한 오차발생을 미연에 방지함으로 정확한 측정값을 얻을 수 있는데 기술적 특징이 있다.A method for measuring a height of a sample using a microscope according to the present invention is characterized in that a first focusing and a second focusing are performed in a state in which the driving gear and the driven gear engaged with each other are in contact with the side of the opposite side of the opposite side, There is a technical feature that accurate measurement value can be obtained by preventing occurrence beforehand.

이러한 본 발명에 따른 현미경을 이용한 샘플의 높이측정방법은 제1포커싱 단계 및 제2포커싱 단계를 포함한다. 이하에서는 설명의 편의상 미동핸들(33)의 조작시 기어결합에 의해 경통(40)에 결합된 대물렌즈(50)가 상,하방향으로 이동되어 샘플(5)과의 거리가 가변되는 것으로 가정하기로 한다. 물론 미동핸들(33)의 조작시 스테이지(20)가 상,하방향으로 이동되어 대물렌즈(50)와 샘플(5)의 거리가 가변될 수도 있음을 밝혀둔다.The method of measuring the height of the sample using the microscope according to the present invention includes a first focusing step and a second focusing step. Hereinafter, for convenience of explanation, it is assumed that the objective lens 50 coupled to the lens barrel 40 by the gear engagement when the fine handlebar 33 is operated is moved in the upward and downward directions to vary the distance from the sample 5 . It is noted that the distance between the objective lens 50 and the sample 5 may be varied by moving the stage 20 in the upward and downward directions during operation of the fine motion handle 33. [

상기 제1포커싱 단계는 샘플의 높이를 측정하기 위한 준비작업으로 통상적인 방식을 이용한다. 즉, 스테이지(20)의 상부에 샘플(5)이 놓인 상태에서 미동핸들(33)을 회전시켜 대물렌즈(50)를 상,하부 측으로 이동시켜 높이를 조절함으로써 샘플(5)의 하단에 대물렌즈(50)의 촛점을 맞추게 된다. 이때, 상기 샘플(5)의 하단에 대물렌즈(50)의 촛점이 정확하게 맞는 순간 미동핸들(33)의 조작방향-즉, 회전방향을 기억하도록 한다.The first focusing step uses a conventional method as a preparation work for measuring the height of the sample. That is to say, in the state in which the sample 5 is placed on the stage 20, the fine movement handle 33 is rotated to move the objective lens 50 upward and downward to adjust the height, (50). At this time, the operation direction of the fine movement handle 33, that is, the rotation direction is instantaneously stored at the lower end of the sample 5 at the moment when the focus of the objective lens 50 is precisely adjusted.

상기 제1포커싱 단계는 제1포커싱 단계를 통해 샘플(5)의 하단과 촛점이 맞추어진 상태에서 다시 미동핸들(33)을 조작하여 대물렌즈(50)를 이동시킴으로써 상기 샘플(5)의 상단에 대물렌즈(50)의 촛점을 맞추는 작업이다. 이에 따라, 상기 샘플(5)의 상단에 대물렌즈(50)의 촛점을 맞춘 후 제1포커싱 단계 후 미동핸들(33)의 회전량을 계산하게 되면 샘플(5)의 높이를 측정할 수 있게 된다. 이때, 상기 제2포커싱 단계는 샘플(5)의 상단에 대물렌즈(50)의 촛점을 맞추는 과정에서 제1포커싱 단계의 미동핸들(33)의 회전방향과 동일한 방향으로 미동핸들(33)을 조작하여 포커싱이 이루어지도록 한다. 즉, 도 4a에 도시된 바와 같이 제1포커싱 단계에서 미동핸들(33)을 시계방향으로 서서히 회전시켜 대물렌즈(50)와 샘플(5) 하단의 포커싱이 이루어졌다면 제2포커싱 단계에서도 미동핸들(33)을 시계방향으로 서서히 회전시켜 대물렌즈(50)와 샘플(5) 상단의 포커싱이 이루어지도록 한다. 이에 따라, 제1포커싱 단계 및 제2포커싱 단계 모두 구동기어(110)에 형성된 이(112)는 우측이 피동기어(120)에 형성된 이(122)의 좌측과 접촉하게 된다. The first focusing step is performed by moving the objective lens 50 by operating the fine motion handle 33 again in a state where the lower end of the sample 5 is focused through the first focusing step, This is an operation of focusing the objective lens 50. Accordingly, the height of the sample 5 can be measured by calculating the amount of rotation of the fine motion handle 33 after the focusing of the objective lens 50 at the upper end of the sample 5 and after the first focusing step . In this case, in the second focusing step, the fine movement handle 33 is operated in the same direction as the rotation direction of the fine movement handle 33 of the first focusing step in the process of focusing the objective lens 50 on the upper end of the sample 5 So that focusing can be performed. That is, as shown in FIG. 4A, if the fine movement of the fine movement handle 33 is gradually rotated in the clockwise direction to focus the objective lens 50 and the bottom of the sample 5, 33 are slowly rotated in the clockwise direction so that focusing of the objective lens 50 and the upper end of the sample 5 is performed. Accordingly, the teeth 112 formed on the driving gear 110 of both the first focusing step and the second focusing step are brought into contact with the left side of the teeth 122 formed on the driven gear 120 on the right side.

반대로, 제1포커싱 단계에서 미동핸들(33)을 반시계방향으로 회전시키면서 이루어졌다면 제2포커싱 단계 역시 미동핸들(33)을 반시계 방향으로 회전시키면서 수행하게 된다.(도 4c참조) 이와 같은 경우 제1포커싱 단계 및 제2포커싱 단계 모두 구동기어(110)에 형성된 이(112)는 좌측이 피동기어(120)에 형성된 이(122)의 우측과 접촉하게 된다. On the contrary, if the fine steering wheel 33 is rotated in the counterclockwise direction in the first focusing step, the second focusing stage is also performed while rotating the fine steering wheel 33 in the counterclockwise direction (see FIG. 4C). The teeth 112 formed on the driving gear 110 of both the first focusing step and the second focusing step are brought into contact with the right side of the teeth 122 formed on the driven gear 120 on the left side.

이로 인해, 제1포커싱 단계 및 제2포커싱 단계 모두 포커싱이 이루어지는 순간 구동기어(110)의 이(112)와 피동기어(120)의 이(122)가 서로 접촉하는 면이 서로 동일한 방향의 면을 접촉하게 됨으로써 백래쉬에 의한 오차는 발생하지 않게 된다.The surfaces of the teeth 112 of the driving gear 110 and the teeth 122 of the driven gear 120 that are in contact with each other are in the same direction as the surfaces of the driving gear 110 and the driven gear 120, So that an error due to backlash does not occur.

이에 반해, 도 4b 및 도 4d를 참고하면 제1포커싱 단계와 제2포커싱 단계에서 포커싱이 이루어지는 순간 미동핸들(33)의 회전방향이 서로 다른 경우를 살펴보면 본 발명과의 차이를 명확히 알 수 있다. 즉, 도 4b 및 도 4d에서와 같이 미동핸들(33)의 회전향이 일치하지 않게 되면 제1포커싱 단계에서 포커싱이 이루어지는 순간에 구동기어(110)의 이(112)와 피동기어(120)의 이(122)가 서로 접촉하는 면과 제2포커싱 단계에서 포커싱이 이루어지는 순간에 구동기어(110)의 이와 피동기어(120)의 이(122)가 서로 접촉하는 면은 달라지게 된다. 즉, 도 4b에서와 같이 미동핸들(33)을 시계방향으로 회전시키면 구동기어 역시 시계방향으로 회전하게 되어 구동기어(110) 이(112)의 우측이 피동기어(120) 이(122)의 좌측과 접촉하게 된다. 그러나 미동핸들(33)을 반시계방향으로 회전시키면 구동기어 역시 반시계방향으로 회전하게 되어 구동기어 이(112)의 좌측이 피동기어 이(122)의 우측과 접촉하게 된다. 이와 같이 제1포커싱 단계에서 미동핸들(33)의 회전방향과 제2포커싱 단계에서 미동핸들(33)의 회전방향이 서로 달라지게 되면 구동기어(110)에 구비된 이(112)와 피동기어(120)에 구비된 이(122)의 접촉방향이 서로 달라지게 되어 백래쉬만큼의 측정오차가 발생하게 된다. 이는, 본 발명에서 제1포커싱 단계에서 미동핸들의 회전방향과 제2포커싱 단계에서 미동핸들의 회전방향을 일치시켜 구동기어의 이(112)와 피동기어의 이(122)간에 접촉방향이 동일한 방향에서 일어나도록 함으로써 백래쉬에 의한 오차를 미연에 제거하는 것과는 분명한 차이가 있음을 확인할 수 있다.Referring to FIGS. 4B and 4D, when the focusing direction of the fine steering wheel 33 is different from that of the first focusing step and the second focusing step, the difference from the present invention can be clearly seen. 4B and 4D, when the rotational direction of the fine handle 33 is not coincident with the rotational direction of the driven gear 33, the teeth 112 of the driving gear 110 and the driven gear 120 The surfaces of the driving gear 110 and the teeth 122 of the driven gear 120 contacting with each other are different from each other at the time of focusing at the second focusing step. 4B, when the fine handle 33 is rotated in the clockwise direction, the driving gear also rotates clockwise, so that the right side of the driving gear 110 is positioned on the left side of the driven gear 120 . However, if the fine handle 33 is rotated counterclockwise, the driving gear also rotates counterclockwise, so that the left side of the driving gear 112 comes into contact with the right side of the driven gear 122. When the rotation direction of the fine movement handle 33 is different from the rotation direction of the fine movement handle 33 in the second focusing operation in the first focusing operation, 120 are different from each other in the contact direction of the teeth 122, and a measurement error equivalent to the backlash is generated. This is because, in the present invention, the direction of rotation of the fine handle in the first focusing step is coincided with the direction of rotation of the fine handle in the second focusing step so that the contact direction between the teeth 112 of the driving gear and the teeth 122 of the driven gear is the same It is clear that there is a clear difference from eliminating the error due to the backlash.

한편, 본 발명에 따른 샘플의 높이측정방법은 도 5에 도시된 바와 같이 작업자가 미동핸들(33)의 조작방향을 손쉽게 인지할 수 있도록 미동핸들(33)의 회전방향을 표시하는 표시부(130)를 포함할 수 있다. 통상적으로 표시부(130)는 현미경(10)과 연결되어 현미경(10)을 통해 측정된 결과값을 표시해주는데 본 발명에서는 상기 표시부(130)에 미동핸들(33)의 회전방향에 대한 정보도 함께 표시해주게 된다. 즉, 상기 미동핸들(33)의 회전방향에 대한 정보는 제1포커싱 단계에서 포커싱이 이루어질 때 미동핸들의 회전방향을 나타내는 제1표시수단(131)과 제2포커싱 단계에서 포커싱이 이루어질 때 미동핸들의 회전방향을 나타내는 제2표시수단(132)을 포함한다. 여기서, 각각의 포커싱 단계에서 미동핸들(33)의 회전방향에 대한 정보는 미동핸들(33)과 연결된 센서(미도시)에 의해 획득하게 된다. 이로 인해, 작업자는 상기 표시부(130)에 표시되는 제1표시수단(131)에 대한 정보를 확인하고 제2포커싱 단계에서 제1표시수단(131)을 통해 제1포커싱 단계에서 포커싱이 이루어질 때의 미동핸들의 회전방향과 동일한 방향으로 미동핸들을 회전시킴으로써 백래쉬에 의해 오차가 발생하는 것을 미연에 방지할 수 있게 된다. 여기서, 상기 표시부(130)는 현미경과 전기적으로 연결되어 현미경을 통해 측정한 측정값(133) 및 센서를 통한 미동핸들(33)의 방향에 대한 정보를 수신하여 그 결과값을 표시하게 된다. 이러한 표시부(130)는 현미경과 일체로 형성될 수도 있으며, 별도의 장비로 구비될 수도 있음을 밝혀둔다. 그리고, 상기 센서를 통해 감지되는 미동핸들의 회전방향에 대한 정보는 미동핸들의 회전방향을 직접적으로 감지하여 획득할 수도 있고 센서에서 미동핸들의 회전각을 감지하여 별도의 제어부에서 전,후 상태를 비교함으로써 미동핸들의 회전방향에 대한 정보를 간접적으로 획득할 수도 있음을 밝혀둔다.As shown in FIG. 5, the method for measuring the height of the sample according to the present invention includes a display unit 130 for displaying the rotational direction of the fine handle 33 so that the operator can easily recognize the direction of the fine handle 33, . ≪ / RTI > The display unit 130 is connected to the microscope 10 to display the result of measurement through the microscope 10. In the present invention, information about the rotation direction of the fine handle 33 is also displayed on the display unit 130 . That is, the information about the rotation direction of the fine movement handle 33 includes a first display unit 131 indicating the rotation direction of the fine movement handle when focusing is performed in the first focusing step, And a second display means (132) for indicating a rotating direction of the display means. Here, in each focusing step, information on the rotational direction of the fine motion handle 33 is acquired by a sensor (not shown) connected to the fine motion handle 33. Accordingly, the operator confirms the information on the first display unit 131 displayed on the display unit 130, and when the focusing is performed in the first focusing step through the first display unit 131 in the second focusing step, It is possible to prevent an error from occurring due to backlash by rotating the fine handle in the same direction as the rotational direction of the fine handle. Here, the display unit 130 is electrically connected to the microscope and receives information on the measurement value 133 measured through the microscope and the direction of the fine handle 33 through the sensor, and displays the resultant value. It is noted that the display unit 130 may be formed integrally with the microscope or may be provided as a separate device. The information about the rotation direction of the fine movement handle sensed through the sensor can be obtained by directly sensing the rotation direction of the fine movement handle and by sensing the rotation angle of the fine movement handle from the sensor, The information about the direction of rotation of the fine steering wheel can be indirectly obtained.

한편, 작업자가 제2포커싱 단계에서 미동핸들(33)의 회전방향을 제1포커싱 단계에서 미동핸들(33)의 회전방향과 반대방향으로 회전시켜 포커싱이 이루어지는 경우 상기 표시부(130)의 색상이 녹색에서 빨간색으로 변경되도록 함으로써 작업자가 제1포커싱 단계에서의 미동핸들 회전방향과 제2포커싱 단계에서의 미동핸들 회전방향이 일치하지 않았음을 용이하게 식별할 수 있도록 한다. 여기서, 상기 제1표시수단(131) 및 제2표시수단(132)은 화살표, 문자, 숫자, 도형 등 다양한 방식이 사용될 수 있음을 밝혀둔다.If the operator rotates the fine movement handle 33 in the second focusing operation in the direction opposite to the direction of rotation of the fine movement handle 33 in the first focusing operation and the color of the display unit 130 is green To red so that the operator can easily recognize that the fine steering wheel rotation direction in the first focusing stage and the fine steering wheel rotation direction in the second focusing stage do not coincide with each other. It should be noted that the first display means 131 and the second display means 132 may be implemented by various methods such as arrows, letters, numbers, and graphics.

이하, 본 발명에 따른 현미경을 이용하여 샘플의 높이를 측정하는 순서는 다음과 같다.Hereinafter, the procedure for measuring the height of the sample using the microscope according to the present invention is as follows.

먼저, 스테이지(20) 상에 측정하고자 하는 샘플(5)을 올려놓은 후 미동핸들(33)을 회전시켜 샘플(5) 하단의 초점을 포커싱한다. 미동핸들(33)의 조작을 통해 포커싱이 완료되면 상기 표시부(130)에는 제1포커싱 단계에서 미동핸들(33)의 회전방향이 표시된다. 샘플 하단에 대한 포커싱이 완료되면 작업자는 현미경이나 표시부(130)에 구비된 리셋키(미도시)를 눌러 측정값(133)을 리셋시킨다. 이후, 다시 작업자는 미동핸들(33)을 조작하여 샘플 상단에 대한 포커싱 작업을 수행하게 된다. 이때, 작업자는 표시부(130)에 표시된 제1표시수단(131)을 통해 제1포커싱 단계에서 미동핸들의 회전방향을 인지한 후 제1포커싱 단계에서의 미동핸들 회전방향과 동일한 방향으로 미동핸들을 회전시켜 샘플 상단에 대한 포커싱을 수행하게 된다. 만약, 제2포커싱 단계에서 완료된 포커싱 작업이 제1포커싱 단계에서 미동핸들의 회전방향과 다른 방향에서 완료되면 상기 표시부는 제1표시수단(131)과 제2표시수단(132)의 정보가 불일치하므로 표시부(130)의 색상이 변경되게 된다. 작업자는 이러한 표시부(130)의 색상변경과 제1표시수단(131) 및 제2표시수단(132)의 정보를 통해 측정값(133)에 백래쉬로 인한 오차가 포함된 것을 인지함으로써 다시 제2포커싱 단계를 수행하여 제1포커싱 단계에서 이루어진 미동핸들의 회전방향과 동일한 방향으로 미동핸들을 회전시켜 포커싱을 수행함으로써 백래쉬가 제거된 정확한 측정값을 얻게 된다.
First, the sample 5 to be measured is placed on the stage 20, and then the fine handle 33 is rotated to focus the focus of the bottom of the sample 5. When the focusing operation is completed through the operation of the fine movement handle 33, the rotation direction of the fine movement handle 33 is displayed on the display unit 130 in the first focusing operation. When focusing on the lower end of the sample is completed, the operator presses the reset key (not shown) provided on the microscope or the display unit 130 to reset the measured value 133. Thereafter, the operator again operates the fine handle 33 to perform the focusing operation on the sample upper end. At this time, the operator recognizes the turning direction of the fine steering wheel in the first focusing step through the first display means 131 displayed on the display unit 130, and then, in the same direction as the fine steering wheel turning direction in the first focusing step, And the focusing is performed with respect to the upper end of the sample. If the focusing operation completed in the second focusing step is completed in a direction different from the direction of rotation of the fine steering wheel in the first focusing step, the information on the first display means 131 and the second display means 132 may be inconsistent The color of the display unit 130 is changed. The operator recognizes that the error due to the backlash is included in the measured value 133 through the color change of the display unit 130 and the information of the first display unit 131 and the second display unit 132, The fine steering wheel is rotated in the same direction as the fine steering wheel rotation direction in the first focusing step to perform focusing to obtain an accurate measured value from which the backlash has been removed.

본 발명에 의하면, 샘플의 하단을 포커싱하는 제1포커싱단계와 샘플의 상단을 포커싱하는 제2포커싱단계에서 미동핸들의 회전방향을 일치시켜 백래시에 의한 오차를 제거함으로써 정확한 계측값을 얻을 수 있는 효과가 있다.
According to the present invention, accurate measurement values can be obtained by eliminating errors due to backlash by matching the rotational directions of the fine motion handles in the first focusing step of focusing the lower end of the sample and the second focusing step of focusing the upper end of the sample .

상기에서 본 발명의 특정 실시예와 관련하여 도면을 참조하여 상세히 설명하였지만, 본 발명을 이와 같은 특정 구조에 한정하는 것은 아니다. 당 업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 기술적 사상을 벗어나지 않고서도 용이하게 수정 또는 변경할 수 있을 것이다. 그러나 이러한 단순한 설계변형 또는 수정을 통한 등가물, 변형물 및 교체물은 모두 명백하게 본 발명의 권리범위 내에 속함을 미리 밝혀둔다.
While the foregoing is directed in detail to a particular embodiment of the invention with reference to the drawings, it is not intended to limit the invention to this specific construction. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It is to be expressly understood, however, that equivalents, modifications and substitutions through such simple design variations or modifications are expressly included within the scope of the present invention.

110 : 구동기어 112 : 이
120 : 피동기어 122 : 이
130 : 표시부 131 : 제1표시수단
132 : 제2표시수단 133 : 측정값110: driving gear 112:
120: driven gear 122:
130: display section 131: first display means
132: second display means 133: measured value

Claims (6)

미동핸들의 조작시 서로 맞물린 구동기어와 피동기어의 기어결합에 의해 스테이지 또는 대물렌즈의 높이가 조절되는 현미경을 이용하여 샘플의 높이를 측정하는 방법에 있어서,
상기 미동핸들을 조작하여 상기 스테이지에 놓인 샘플의 하단에 촛점을 맞추는 제1포커싱 단계; 및
상기 미동핸들을 조작하여 상기 샘플의 상단에 촛점을 맞추는 제2포커싱 단계;를 포함하고,
상기 제2포커싱 단계는 상기 제1포커싱 단계에서 포커싱이 완료된 미동핸들의 회전방향과 동일한 방향으로 미동핸들을 회전시켜 포커싱을 완료하고,
상기 현미경은 상기 미동핸들의 회전방향에 대한 정보를 포함하는 표시부가 구비되며,
상기 미동핸들의 회전방향은 상기 제1포커싱 단계에서 미동핸들의 회전방향을 나타내는 제1표시수단과 상기 제2포커싱 단계에서 미동핸들의 회전방향을 나타내는 제2표시수단을 포함하고, 상기 제1표시수단의 정보와 제2표시수단의 정보가 불일치하는 경우 상기 표시부의 색상이 변경되는 것을 특징으로 하는 현미경을 이용한 샘플의 높이측정방법.A method of measuring a height of a sample using a microscope in which the height of a stage or an objective lens is adjusted by gear engagement of a driving gear and a driven gear engaged with each other when operating a fine handle,
A first focusing step of operating the fine movement handle to focus on a lower end of a sample placed on the stage; And
And a second focusing step of operating the fine movement handle to focus on an upper end of the sample,
Wherein the second focusing step rotates the fine movement handle in the same direction as the rotation direction of the fine movement handle completed in the first focusing step,
Wherein the microscope is provided with a display unit including information on a rotation direction of the fine movement handle,
Wherein the rotation direction of the fine movement handle includes first display means for indicating a rotation direction of the fine movement handle in the first focusing phase and second display means for indicating a rotation direction of the fine movement handle in the second focusing phase, Wherein the hue of the display unit is changed when the information of the means and the information of the second display means do not coincide with each other. 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 제1표시수단 및 제2표시수단은 화살표인 것을 특징으로 하는 현미경을 이용한 샘플의 높이측정방법.The method according to claim 1,
Wherein the first display means and the second display means are arrows. 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 미동핸들의 회전방향에 대한 정보는 미동핸들과 연결된 센서를 통해 추출되는 것을 특징으로 하는 현미경을 이용한 샘플이 높이측정방법.The method according to claim 1,
Wherein the information about the rotational direction of the fine motion handle is extracted through a sensor connected to the fine motion handle.
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