KR101405122B1 - Type of electrode separation large area ink ejecting apparatus using surface acoustic wave and the large area thin film forming system having the same - Google Patents

Type of electrode separation large area ink ejecting apparatus using surface acoustic wave and the large area thin film forming system having the same Download PDF

Info

Publication number
KR101405122B1
KR101405122B1 KR1020120090445A KR20120090445A KR101405122B1 KR 101405122 B1 KR101405122 B1 KR 101405122B1 KR 1020120090445 A KR1020120090445 A KR 1020120090445A KR 20120090445 A KR20120090445 A KR 20120090445A KR 101405122 B1 KR101405122 B1 KR 101405122B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
ink
substrate
acoustic wave
surface acoustic
area
Prior art date
Application number
KR1020120090445A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20140024512A (en
Inventor
최경현
김형찬
고정범
당현우
Original Assignee
제주대학교 산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 제주대학교 산학협력단 filed Critical 제주대학교 산학협력단
Priority to KR1020120090445A priority Critical patent/KR101405122B1/en
Publication of KR20140024512A publication Critical patent/KR20140024512A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101405122B1 publication Critical patent/KR101405122B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

대면적의 박막 증착을 실현하기 위하여 잉크의 토출량을 현저히 증가시킬 수 있는 전극 분리형 탄성표면파 대면적 잉크 토출장치 및 이를 포함하는 대면적 박막 시스템에 관하여 개시한다.
본 발명의 일실시예에 의하면 잉크에 탄성표면파를 인가하여 이온화시키는 동시에 이온화된 잉크를 기판 쪽으로 토출시켜 박막을 형성하는 탄성표면파 대면적 잉크 토출 장치에 있어서, 하부로 분위기 가스를 공급받아 내부 유동시키며, 상부로 탄성표면파에 의해 이온화된 잉크를 토출시켜 기판으로 공급하도록 마련된 하우징과, 하우징의 하단을 관통하여 잉크를 공급 받아 수용하는 잉크 저장부와, 잉크 저장부의 측면을 관통하여 상기 수용된 잉크 내에 침지되어 탄성표면파를 발생시키는 절연 코팅된 제1기판플레이트와, 제1기판플레이트에 연결되어 수용된 잉크와 비접촉된 상태로 고정되어 외부로부터 전압을 인가받는 제2기판플레이트를 포함하는 전극 분리형 탄성표면파 발생기판과, 잉크 저장부의 측면에 연결되어 상기 전극 분리형 탄성표면파 발생기판을 고정시키는 고정블록을 포함하는 전극 분리형 탄성표면파 대면적 잉크 토출 장치를 제공한다.
A large-area thin film system including the electrode-separable surface-acoustic-wave-large-area ink ejecting apparatus and the large-area thin-film system including the same, which can significantly increase the ejection amount of ink for realizing the thin film deposition of a large area.
According to an embodiment of the present invention, there is provided a surface-acoustic-wave-area ink ejecting apparatus for applying a surface acoustic wave to an ink to ionize the ink and ejecting the ionized ink toward the substrate to form a thin film, An ink storage portion which receives and receives the ink through the lower end of the housing; and an ink supply portion which penetrates through the side surface of the ink storage portion and is immersed in the ink contained in the ink, And a second substrate plate fixed to the first substrate plate in a state of being in non-contact with the ink contained in the second substrate plate and connected to the first substrate plate to generate a surface acoustic wave, And an electrode separation type elastic sheet It provides a separate surface acoustic wave electrode large area ink jet apparatus comprising a fixing block for fixing the wave generator substrate.

Description

전극 분리형 탄성표면파 대면적 잉크 토출 장치 및 이를 포함하는 대면적 박막 시스템{TYPE OF ELECTRODE SEPARATION LARGE AREA INK EJECTING APPARATUS USING SURFACE ACOUSTIC WAVE AND THE LARGE AREA THIN FILM FORMING SYSTEM HAVING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an electrode separation type surface acoustic wave (hereinafter, referred to as " electrode separation type surface acoustic wave < RTI ID = 0.0 >

본 발명은 전극 분리형 탄성표면파 대면적 잉크 토출장치 및 이를 포함하는 대면적 박막 시스템에 관한 것으로서, 대면적의 박막 증착을 실현하기 위하여 잉크의 토출량을 현저히 증가시킬 수 있는 전극 분리형 탄성표면파 대면적 잉크 토출장치 및 이를 포함하는 대면적 박막 시스템에 관한 것이다.
The present invention relates to an electrode separation type surface acoustic wave (SAW) area ink ejection apparatus and a large area thin film system including the same, and more particularly, to an electrode separation type surface acoustic wave large area ink ejection method capable of significantly increasing the ink ejection amount Device and a large area thin film system including the same.

일반적으로 핸드폰, 휴대폰, 모니터, 디지털 TV 등에는 시각 정보를 표시하기 위한 디스플레이 디바이스가 마련되어 있다. 최근에는 이러한 디스프레이 디바이스를 대화면화하면서도 고화질을 유지할 수 있도록 하기 위해 디스플레이의 제조 공정에서 다양한 기술들이 적용되고 있다.Generally, a display device for displaying time information is provided in a cell phone, a mobile phone, a monitor, a digital TV, and the like. In recent years, various technologies have been applied in the manufacturing process of a display so as to maintain a high image quality while making such a display device large-sized.

이러한 기술들의 일예로서 탄성표면파 잉크젯 기술을 들 수 있다. 특히, 액정 패널의 글라스 기판에 배향막을 형성하는 공정으로서 탄성표면파 잉크젯 기술이 이용될 수 있다. 여기서, 배향막은 액정 패널에서 액정의 방향을 결정하는 얇은 막을 지칭하는 것으로, 앞서 소개한 탄성표면파 잉크젯 기술을 이용하여 액정 디스플레이 디바이스의 배향막을 형성할 경우, 박막의 두께 균일성을 향상시킬 수 있어 고화질을 실현할 수 있다. One example of such techniques is surface acoustic wave inkjet technology. In particular, a surface acoustic wave inkjet technique can be used as a step of forming an alignment film on a glass substrate of a liquid crystal panel. Here, the alignment film refers to a thin film that determines the direction of the liquid crystal in the liquid crystal panel. When the alignment film of the liquid crystal display device is formed using the above-described surface acoustic wave inkjet technology, the thickness uniformity of the thin film can be improved, Can be realized.

탄성표면파 잉크젯 기술에 사용되는 종래의 잉크 토출 장치(또는 잉크 분무 장치)는 탄성표면파 발생기판위에 놓인 액상의 잉크를 미세 입자 형태로 기화시킨 다음 이를 기판 쪽으로 토출시켜 기판 상에 박막을 형성하는 장치로 소개되어 있다.A conventional ink ejection apparatus (or an ink spray apparatus) used in a surface acoustic wave inkjet technology is an apparatus for forming a thin film on a substrate by vaporizing a liquid ink placed on a surface acoustic wave generating substrate into a fine particle form and discharging it to the substrate side Is introduced.

다만, 이러한 종래의 방식을 따를 경우, 탄성표면파 발생기판으로부터 소량의 잉크만이 토출됨에 따라 대면적 고화질의 디스플레이 디바이스의 제조에 이용되기에는 어려움이 있으며, 현실적으로 잉크의 토출량을 증가시킬 수 있는 장치의 개발이 필요한 실정이다.
However, according to this conventional method, since only a small amount of ink is ejected from the substrate for generating a surface acoustic wave, it is difficult to be used for manufacturing a large-area high-definition display device. In practice, Development is necessary.

본 발명은 잉크의 토출량을 현저히 증가시킬 수 있는 탄성표면파 대면적 잉크 토출장치를 제공한다. The present invention provides a surface-acoustic-wave-large-area ink ejection apparatus capable of significantly increasing the ejection amount of ink.

또한, 상기한 탄성표면파 대면적 잉크 토출장치를 포함하여 대면적인 동시에 고화질의 디스플레이 디바이스를 제조할 수 있는 대면적 박막 시스템을 제공한다.
Also, there is provided a large-area thin film system capable of manufacturing large-sized and high-definition display devices including the above-described surface-acoustic-wave-area ink ejection apparatus.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급된 과제에 국한되지 않으며, 여기서 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
The problems to be solved by the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other problems not mentioned here can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 잉크에 탄성표면파를 인가하여 이온화시키는 동시에 이온화된 잉크를 기판 쪽으로 토출시켜 박막을 형성하는 탄성표면파 대면적 잉크 토출 장치에 있어서, 하부로 분위기 가스를 공급받아 내부 유동시키며, 상부로 탄성표면파에 의해 이온화된 잉크를 토출시켜 기판으로 공급하도록 마련된 하우징; 상기 하우징의 하단을 관통하여 잉크를 공급 받아 수용하는 잉크 저장부; 상기 잉크 저장부의 측면을 관통하여 상기 수용된 잉크 내에 침지되어 탄성표면파를 발생시키는 절연 코팅된 제1기판플레이트와, 상기 제1기판플레이트에 연결되어 상기 수용된 잉크와 비접촉된 상태로 고정되어 외부로부터 전압을 인가받는 제2기판플레이트를 포함하는 전극 분리형 탄성표면파 발생기판; 및 상기 잉크 저장부의 측면에 연결되어 상기 전극 분리형 탄성표면파 발생기판을 고정시키는 고정블록;을 포함하는 전극 분리형 탄성표면파 대면적 잉크 토출 장치를 제공한다. According to an embodiment of the present invention, there is provided a surface-to-surface-area ink ejection apparatus for applying a surface acoustic wave to an ink to ionize the ink and ejecting the ionized ink toward the substrate to form a thin film, A housing for discharging ink ionized by a surface acoustic wave and supplying the ink to the substrate; An ink reservoir for receiving and receiving ink through the lower end of the housing; A first substrate plate connected to the first substrate plate and fixed in a state of being in noncontact with the accommodated ink so as to generate a surface acoustic wave, An electrode separation type surface acoustic wave generation substrate including a second substrate plate to be applied; And a fixing block connected to a side surface of the ink reservoir and fixing the electrode separation type surface acoustic wave generating substrate.

상기 하우징은, 하부에 비해 상부로 갈수록 단면이 협소해지는 구조로 이루어지되, 하부면을 관통하여 분위기 가스를 공급 받는 가스 주입공이 마련되며, 상부면을 통해 이온화된 잉크가 분위기 가스와 함께 토출되는 토출구가 마련될 수 있다. The housing has a gas inlet hole through which the atmospheric gas is supplied through the lower surface of the housing. The ink is ionized through the upper surface of the housing, May be provided.

상기 토출구의 둘레를 따라 이온화된 잉크의 극성과 동일한 극성의 전압을 인가하여, 기판 쪽으로 공급되는 잉크의 토출량을 선택적으로 조절하는 토출구 개폐조절부;를 더 포함할 수 있다. And a discharge port opening / closing controller for selectively controlling a discharge amount of ink supplied to the substrate by applying a voltage having the same polarity as the polarity of the ionized ink along the periphery of the discharge port.

상기 토출구 개폐조절부는, 상기 토출구의 둘레를 따라 구비된 구리 재질 라이너를 포함할 수 있다. The discharge port opening / closing control unit may include a copper material liner provided along the periphery of the discharge port.

상기 하우징은 내부공간이 비워진 사각 뿔 형상을 가지며, 상기 토출구는 상기 하우징의 상부면을 가로질러 일정한 폭으로 개방된 사각 장공 형상을 가질 수 있다. The housing may have a rectangular horn shape in which an inner space is empty, and the discharge port may have a rectangular elongated opening shape having a predetermined width across an upper surface of the housing.

상기 잉크 저장부는, 상기 하우징 내부의 바닥 중앙에서 상부가 개방된 사각 용기 형상으로 배치되며, 상기 하우징의 하부면을 관통하여 바닥까지 연통된 잉크 공급 유로를 통해 설정된 양의 잉크를 지속적으로 공급받아 수용할 수 있다.The ink reservoir is disposed in the shape of a rectangular container which is open at an upper portion from the bottom center of the inside of the housing and continuously receives and supplies a predetermined amount of ink through the ink supply passage communicated to the bottom through the lower surface of the housing can do.

한편, 본 발명의 일실시예에 따르면, 잉크에 탄성표면파를 인가하여 이온화시키는 동시에 이온화된 잉크를 기판 쪽으로 토출시켜 기판의 대면적 박막을 형성하도록 청구항 1 내지 7 중 어느 하나의 탄성 표면파 대면적 잉크 토출 장치를 포함하는 대면적 박막 형성 장치로서, 상기 탄성 표면파 대면적 잉크 토출 장치로부터 토출되는 이온화된 잉크의 공급 방향으로 기판을 대면시켜 기판을 이송하는 기판 이송부와, 상기 기판 이송부와 상기 탄성 표면파 대면적 잉크 토출 장치 사이에 개재되는 마스크를 포함하는 대면적 박막 시스템을 제공한다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a surface acoustic wave device including a surface acoustic wave large-area ink according to any one of claims 1 to 7, wherein a surface acoustic wave is applied to the ink to ionize the ionized ink, A substrate transfer unit for transferring a substrate facing the substrate in a direction of supplying the ionized ink ejected from the surface acoustic wave large-area ink ejection apparatus; and a substrate transfer unit for transferring the substrate, Area thin film system including a mask interposed between the area ink ejecting apparatuses.

상기 기판 이송부는, 상기 탄성 표면파 대면적 잉크 토출 장치로부터 토출되는 이온화된 잉크의 공급 방향에 교차하여 기판을 수평 이송시키는 스테이지 수단 또는 롤 투 롤(Roll-to-roll) 이송 수단일 수 있다.
The substrate transferring portion may be a stage means or a roll-to-roll transfer means for horizontally transferring the substrate in a direction crossing the supply direction of the ionized ink discharged from the surface-acoustic-wave-area ink discharging device.

본 발명의 일실시예에 따르면, 전자 인쇄용 전도성 잉크의 토출량을 현저히 증가시켜 제조 공정의 난점인 디스플레이 디바이스의 대면적화와 고화질화 문제를 동시에 해결할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the discharge amount of the conductive ink for electronic printing can be remarkably increased, thereby making it possible to simultaneously solve the problem of large-sized and high image quality of the display device which is a difficulty of the manufacturing process.

또한, 기판 쪽으로 공급되는 잉크의 토출량을 조절할 수 있다. 특히 하우징 상단 개구 쪽에 토출되는 잉크와 동일한 극성의 전기장을 인가하여 잉크의 토출량을 신속하고 정확하게 조절할 수 있다. Further, it is possible to control the discharge amount of the ink supplied to the substrate. It is possible to quickly and accurately adjust the discharge amount of the ink by applying an electric field having the same polarity as that of the ink discharged to the opening end of the housing.

또한, 잉크 내에 침지되어 탄성표면파를 발생시키는 부분과 상기 탄성표면파를 발생시키기 위해 신호가 인가되는 부분이 분리된 전극 분리형 탄성표면파 발생기판을 이용함에 따라 탄성표면파 발생기판을 별도로 지지하는 고정부재의 사용을 배제하여 장치 전체의 중량 저감을 실현해 줄 수 있다.
In addition, since the electrode separation type surface acoustic wave generating substrate in which the portion for generating the surface acoustic wave and the portion for applying the signal for generating the surface acoustic wave are separated is used, the use of the fixing member for separately supporting the surface acoustic wave generating substrate The weight reduction of the entire apparatus can be realized.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 전극 분리형 탄성표면파 잉크 토출 장치를 간략히 도시한 사시도.
도 2는 잉크 저장부, 고정블록 및 전극 분리형 탄성표면파 발생 기판의 결합 관계를 살펴보기 위해 도시한 평면도 및 단면도.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 전극 분리형 탄성표면파 잉크 토출 장치를 간략히 도시한 평면도.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 전극 분리형 탄성표면파 잉크 토출 장치 내에 잉크가 토출되는 구성을 복수로 구비한 변형 예를 도시한 개념도.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 전극 분리형 탄성표면파 잉크 토출 장치를 포함하는 대면적 박막 시스템을 개략적으로 도시한 전체 구성도. 1 is a perspective view schematically showing an electrode separation type surface acoustic wave ink ejection apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a plan view and a cross-sectional view for explaining a coupling relation between an ink reservoir, a fixing block, and an electrode separation type surface acoustic wave generating substrate.
3 is a plan view schematically showing an electrode separation type surface acoustic wave ink ejection apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a conceptual diagram showing a modified example in which a plurality of configurations in which ink is ejected in an electrode separation type surface acoustic wave ink ejection apparatus according to an embodiment of the present invention.
5 is a general view schematically showing a large-area thin film system including an electrode separation type surface acoustic wave ink ejection apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해 질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 의해 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이다. 단지 여기에서 설명될 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 또한 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기술 등이 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있다고 판단되는 경우 그에 관한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
Brief Description of the Drawings The advantages and features of the present invention, and how to achieve them, will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited by the embodiments disclosed below but may be embodied in various different forms. The embodiments to be described herein are provided so that the disclosure of the present invention is complete and that those skilled in the art will fully understand the scope of the present invention. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail to avoid obscuring the subject matter of the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명인 전극 분리형 탄성표면파 대면적 잉크 토출 장치 및 이를 포함하는 대면적 박막 시스템의 바람직한 일실시예에 관하여 살펴보기로 한다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a preferred embodiment of an electrode separation type surface acoustic wave (SAW) area ink ejecting apparatus and a large area thin film system including the same will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 전극 분리형 탄성표면파 잉크 토출 장치를 간략히 도시한 사시도이다. 1 is a perspective view briefly showing an electrode separation type surface acoustic wave ink ejection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 전극 분리형 탄성표면파 잉크 토출 장치(100)는 액상의 전도성 잉크(I)에 탄성표면파를 인가하여 이온화시키는 동시에 이온화된 잉크(i)를 기판 쪽으로 토출시켜 박막을 형성하는 장치이다. As shown in the drawing, the electrode separable surface-acoustic-pressure-type ink ejecting apparatus 100 according to the preferred embodiment of the present invention applies a surface acoustic wave to a liquid conductive ink I to ionize the ink, and simultaneously discharges the ionized ink (i) Thereby forming a thin film.

전극 분리형 탄성표면파 잉크 토출 장치(이하, 간략히 '탄성표면파 잉크 토출 장치'라 함)(100)는 하우징(101)과, 하우징(101) 내부에서 액상의 잉크(I)를 수용하는 잉크 저장부(110)와, 상기 수용된 액상의 잉크 내부에 침지되어 고전압을 인가받아 탄성표면파를 발생시키는 전극 분리형 탄성표면파 발생기판(120)과, 전극 분리형 탄성표면파 발생기판을 고정시키는 고정블록(130)을 포함한다.
(Hereinafter referred to simply as surface acoustic wave ink ejecting apparatus) 100 includes a housing 101 and an ink reservoir (not shown) for receiving the liquid ink I in the housing 101 And a fixing block 130 for fixing the electrode separation type surface acoustic wave generating substrate 120. The electrode separation type surface acoustic wave generating substrate 120 is formed of a conductive material, .

하우징(101)은, 본 잉크 토출 장치(100)의 외장을 형성하며, 하부로 분위기 가스(N)를 공급받아 내부 유동시키며, 상부로 탄성표면파에 의해 이온화된 잉크(i)를 토출시켜 기판으로 공급하도록 마련된다. The housing 101 forms an envelope of the ink ejection apparatus 100 and supplies the atmospheric gas N to the lower portion thereof to cause the ink to flow therein. .

특히, 하우징(101)은 하부에 비해 상부로 갈수록 단면이 협소해지는 구조로 이루어질 수 있는데, 하부면에는 이를 수직 방향으로 관통하여 분위기 가스(N)를 공급 받는 가스 주입공(105)이 마련되어 있다.Particularly, the housing 101 may have a structure in which the cross section becomes narrower toward the upper part than the lower part. The gas injection hole 105 is provided on the lower surface of the housing 101 to receive the atmospheric gas N therethrough.

또한, 상부면에는 탄성표면파에 의해 기화되어 이온화된 잉크(i)가 기판을 향하여 상승 유동할 수 있도록 토출구(103)가 마련된다. 이 토출구(101)로는 이온화된 잉크(i) 뿐만 아니라 하우징 내부를 유동하는 분위기 가스(예: 질소)(N)가 배출되는 통로로서 작용한다. 여기서, 분위기 가스(N)로는 질소를 이용할 수 있는데, 질소 기체는 상온에서 화학적으로 비활성이며, 이온화된 잉크를 건조시키는 작용에 도움을 준다. Further, on the upper surface, a discharge port 103 is provided so that the ink (i) vaporized by the surface acoustic wave and ionized can flow upward toward the substrate. The discharge port 101 serves as a passage through which not only the ionized ink i but also the atmospheric gas (e.g., nitrogen) N flowing in the housing is discharged. Here, as the atmospheric gas (N), nitrogen can be used, and the nitrogen gas is chemically inert at room temperature, which helps to dry the ionized ink.

도 1을 참조하면 도시된 하우징(101)은 내부공간이 비워진 사각 뿔(즉, 피라미드) 형상을 가지는 것으로 나타나 있으며, 이는 바람직한 예시적 형상으로서 본 발명은 이에 제한될 필요는 없다. Referring to FIG. 1, the illustrated housing 101 is shown as having a square horn (i.e., pyramid) shape with empty internal space, which is a preferred exemplary shape and the present invention need not be so limited.

도 1에 도시된 사각 뿔 형상은, 하부로 유입된 분위기 가스가 토출구(103) 쪽으로 자연스럽게 유동할 수 있는 구조로서, 이러한 분위기 가스와 함께 이온화된 잉크(i)가 토출구(103) 쪽으로 원활하게 배출되어 기판 쪽에서 박막을 형성하기에 유리한 구조에 해당된다. 또한, 분위기 가스(N)와 함께 유동함에 따라 토출구(103) 쪽으로 유동하는 이온화된 잉크(i)가 더욱 효과적으로 건조될 수 있다. The square horn shape shown in FIG. 1 has a structure in which the atmospheric gas introduced into the lower portion can flow naturally toward the discharge port 103, and the ink (i) ionized together with the atmospheric gas is discharged smoothly toward the discharge port 103 Which is advantageous for forming a thin film on the substrate side. Further, the ionized ink (i) flowing toward the discharge port 103 can be more effectively dried as it flows together with the atmospheric gas (N).

토출구(103)는 도시된 바와 같이 하우징(101)의 상부면(즉, 천장부위)을 가로질러 일정한 폭으로 개방 형성되며 바람직한 실시 형상 중 하나로서 직사각형의 장공 형상을 가진다. 이 토출구(103)의 바깥쪽으로 기판이 대면하여 이송됨에 따라 기판에는 균일한 박막이 형성될 수 있다. The discharge port 103 is open at a predetermined width across the top surface (i.e., ceiling portion) of the housing 101 as shown and has a rectangular elongated shape as one of preferred embodiments. A uniform thin film can be formed on the substrate as the substrate is transported facing the outside of the discharge port 103.

한편, 토출구(103)의 둘레를 따라 토출구 개폐조절부(150)가 구비된다. 토출구 개폐조절부(150)는 +극성으로 이온화된 잉크(i)가 토출구(103)를 통해 기판 쪽으로 배출되는 유동 영역을 개폐 조절하는 수단이다. On the other hand, an outlet opening / closing control part 150 is provided along the periphery of the discharge opening 103. The discharge port opening / closing control unit 150 is a means for controlling opening and closing of the flow region in which the positive ionized ink i is discharged toward the substrate through the discharge port 103.

더 구체적으로 설명하자면, 토출구 개폐조절부(150)는 이온화된 잉크의 극성과 동일한 극성 즉, +극성의 전압 신호(C2)를 인가받아 전기장을 형성하며, 이로써 +극성으로 이온화된 잉크(i)가 토출되는 양을 조절한다. 이를 위해 토출구 개폐조절부(150)에는 토출구(103)의 둘레를 따라 구비된 구리 재질 라이너(152)가 포함된다. 구리 재질 라이너(152)는 토출구(103)의 둘레를 따라 "ㅁ" 형상으로 라인을 형성하는 구리 판재를 이용할 수 있다.
More specifically, the discharge port opening / closing control unit 150 receives the voltage signal C2 having the same polarity as the polarity of the ionized ink, that is, the positive polarity, to form an electric field, Is controlled. To this end, the outlet opening / closing control part 150 includes a copper material liner 152 provided along the circumference of the discharge opening 103. The copper material liner 152 can use a copper plate that forms a line in the shape of " ㅁ "along the periphery of the discharge port 103.

잉크 저장부(110)는 상기 하우징(101)의 하단을 관통하여 액상의 전도성 잉크(I)를 공급 받아 수용하는 구성이다. The ink storage part 110 receives the liquid conductive ink I through the lower end of the housing 101 and receives the ink.

더 구체적으로 설명하자면, 도 1을 통해 확인할 수 있는 바와 같이 잉크 저장부(110)는 하우징 내부의 바닥 중앙에서 상부가 개방된 사각 용기 형상으로 배치된다. More specifically, as can be seen from FIG. 1, the ink reservoir 110 is disposed in the shape of a rectangular container having an open top at the bottom center inside the housing.

특히, 잉크 저장부(110)의 바닥에는 하우징(101)의 하부면을 관통하여 외부의 잉크 공급 수단까지 연통된 잉크 공급 유로(113)가 홀 형상으로 마련되어 있다.Particularly, the ink supply passage 113 communicating with the external ink supply means through the lower surface of the housing 101 is provided at the bottom of the ink reservoir 110 in a hole shape.

그리고 잉크 저장부(110)의 수용공간(111)으로는 설정된 양의 잉크가 지속적으로 공급되어 후술될 탄성표면파 기판부재 중 제1기판플레이트(121)를 침지시킨다. A predetermined amount of ink is continuously supplied to the receiving space 111 of the ink storage unit 110 to immerse the first substrate plate 121 of the surface acoustic wave substrate member to be described later.

전극 분리형 탄성표면파 발생기판(120)은 잉크 저장부(130) 내에 수용된 액상의 전도성 잉크(I)에 침지되어 탄성표면파를 발생시키도록 마련된 IDT 등의 전극 기판을 의미한다. The electrode separation type surface acoustic wave generating substrate 120 refers to an electrode substrate such as an IDT that is immersed in a liquid conductive ink (I) contained in an ink reservoir 130 to generate a surface acoustic wave.

특히, 본 발명의 일실시예에 따른 전극 분리형 탄성표면파 발생기판(120)은 외부로부터 고전압 신호(C1)를 인가받는 영역과, 액상의 전도성 잉크(I) 내에 침지되어 탄성표면파를 발생시키는 영역이 구조 상 분리되어 있다. 여기서, 잉크(I) 내에 침지되어 탄성표면파를 발생시키는 것을 제1기판플레이트(121)라 하며, 잉크(I)와 비접촉된 상태로 고정블록(130)에 고정되며 고전압 신호(C1)를 인가 받는 것을 제2기판플레이트(123)라 한다.Particularly, the electrode separation type surface acoustic wave generating substrate 120 according to an embodiment of the present invention includes a region to which a high voltage signal C 1 is applied from the outside, and a region that is immersed in the liquid conductive ink I to generate a surface acoustic wave They are structurally separated. Here, the first substrate plate 121, which is immersed in the ink I to generate a surface acoustic wave, is fixed to the fixing block 130 in a non-contact state with the ink I and receives the high voltage signal C1 Is referred to as a second substrate plate 123.

다시 말해서, 본 발명의 전극 분리형 탄성표면파 발생기판(120)은 제1기판플레이트(121)와 제2기판플레이트(123)를 포함한다. 제1기판플레이트(121)는 액상의 전도성 잉크(I) 내에 침지되는 부위로서 전면을 따라 절연 코팅(register coating)이 되어 있다. 그리고 제2기판플레이트(123)는 고전압 신호(C1)를 전달 받되 잉크(I)의 외부에 고정 배치되므로 절연 코팅 처리가 되어 있지 않다.In other words, the electrode separation type surface acoustic wave generating substrate 120 of the present invention includes a first substrate plate 121 and a second substrate plate 123. The first substrate plate 121 is a region to be immersed in the liquid conductive ink I, and has a register coating along the entire surface. Since the second substrate plate 123 receives the high voltage signal C1 and is fixed to the outside of the ink I, it is not coated with an insulating coating.

기존의 경우, 탄성표면파 발생기판의 표면에 전도성 잉크를 몇 방울씩 떨어뜨린 후 미량의 잉크를 기화시켜 토출시켰다. 그러나 본 구성에서와 같이, 제1기판플레이트(121)를 액상의 전도성 잉크(I)에 담근 채로 탄성표면파를 발생시킬 경우, 기존의 방식에 비해 현저히 많은 양의 잉크를 토출시킬 수 있어, 대면적 박막 형성을 가능하게 해준다. 일예로서, 기존의 토출 에너지가 최대 5W였음에 비해 본 실시예에 따를 경우의 토출 에너지는 60W 급으로 증가될 수 있다. In the conventional case, after a few drops of the conductive ink were deposited on the surface of the surface acoustic wave generating substrate, a small amount of ink was vaporized and discharged. However, when the surface acoustic wave is generated while the first substrate plate 121 is immersed in the liquid conductive ink I as in this configuration, a significantly larger amount of ink can be discharged than in the conventional method, Thin film formation. As an example, the discharge energy according to the present embodiment can be increased to 60W, whereas the conventional discharge energy is 5W at maximum.

고정블록(130)은 잉크 저장부(110)의 측면에 연결되어 전극 분리형 탄성표면파 발생기판(120)을 고정하는 부재이다. 다만 도시된 형태는 하나의 예시적 형상을 간략히 표현한 것일 뿐 본 발명은 이러한 특정 형상에 제한될 필요가 없다. The fixed block 130 is a member connected to the side surface of the ink reservoir 110 to fix the electrode separable surface acoustic wave generating substrate 120. It should be understood, however, that the forms shown are merely illustrative of one exemplary shape, and that the present invention is not limited to such specific shapes.

한편, 전술한 토출구 개폐조절부(150)와 전극 분리형 탄성표면파 발생기판(120)으로 고전압 신호(C1, C2)를 인가하는 구성으로서 고전압 인가부(160)를 포함할 수 있다. 여기서 고전압 인가부(160)는 관용적으로 알려진 구성으로써 이에 대한 세부적인 설명은 생략하기로 한다.
The high voltage application unit 160 may include a configuration for applying the high voltage signals C1 and C2 to the discharge port opening / closing control unit 150 and the electrode separation type surface acoustic wave generation substrate 120 described above. Here, the high voltage applying unit 160 has a known configuration, and a detailed description thereof will be omitted.

도 2는 잉크 저장부, 고정블록 및 전극 분리형 탄성표면파 발생 기판의 결합 관계를 살펴보기 위해 도시한 평면도 및 단면도이다. 2 is a plan view and a cross-sectional view for explaining the coupling relation between the ink reservoir, the fixed block, and the electrode separation type surface acoustic wave generating substrate.

우선 도 2의 (a)를 참조하면, 잉크 저장부(110)와, 내부에 전극 분리형 탄성표면파 발생기판(120)을 고정 장착한 고정블록(130)을 위에서 바라본 형상을 구체적으로 확인할 수 있다. 2 (a), the shape of the ink storage part 110 and the fixing block 130 in which the electrode separation type surface acoustic wave generating substrate 120 is fixedly mounted can be confirmed in detail.

제1기판플레이트(121)는 잉크 저장부(110)의 측면을 관통하여 액상의 전도성 잉크가 수용되는 수용공간(111)으로 돌출 배치되며, 이와 연결된 제2기판플레이트(123)는 잉크 저장부(110)의 측면에 밀착 배치된 고정블록(130)의 내 홈을 통해 고정된다. 즉, 잉크와 접촉하여 탄성표면파를 발생시키는 부위와, 잉크와 비접촉하여 고전압 신호를 인가 받는 부위가 분리도니 구조를 가지는 모습을 확인할 수 있다. The first substrate plate 121 protrudes from the ink reservoir 110 through the side surface of the ink reservoir 110 and protrudes from the ink reservoir 123 to the ink reservoir 110 through the inner grooves of the fixing block 130 closely disposed. That is, it can be confirmed that a portion generating a surface acoustic wave in contact with the ink and a portion receiving a high voltage signal in non-contact with the ink have a separator structure.

다음으로 도 2의 (b)를 참조하면, 잉크 저장부(110)와, 내부에 전극 분리형 탄성표면파 발생기판(120)을 고정 장착한 고정블록(130)의 단면 형상을 구체적으로 확인할 수 있다. Next, referring to FIG. 2B, the sectional shape of the ink storage unit 110 and the fixing block 130 in which the electrode separation type surface acoustic wave generating substrate 120 is fixedly mounted can be specifically confirmed.

잉크 저장부(110)의 수용공간(111)을 내부에 액상의 전도성 잉크(I)가 보관되며, 이 잉크(I)는 잉크 저장부(110)의 바닥을 관통하여 마련된 잉크 공급 유로(113)를 통해 수용공간(111) 내부에 채워진다. 한편, 제1기판플레이트(121)와 제2기판플레이트(123)의 경계 부위, 즉 잉크 저장부(110)와 고정블록(130)의 접촉 부위 상에는 잉크의 누설을 차단하는 기밀부재(예: 오링)(131)가 개재된다.
A liquid conductive ink I is stored in the accommodation space 111 of the ink storage part 110. The ink I is supplied to the ink supply path 113 provided through the bottom of the ink storage part 110, The inside of the accommodation space 111 is filled with water. On the other hand, on the boundary between the first substrate plate 121 and the second substrate plate 123, that is, on the contact area between the ink reservoir 110 and the fixing block 130, a hermetic member (for example, ) 131 are interposed.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 전극 분리형 탄성표면파 잉크 토출 장치를 간략히 도시한 평면도이다. 3 is a plan view schematically showing an electrode separation type surface acoustic wave ink ejection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 도시된 평면도를 통해 하우징(101)의 상부면에 형성된 토출구(103)의 사각 장공 형상을 확인할 수 있으며, 토출구(103)의 둘레를 따라 토출구 개폐조절부(150)가 마련된 모습을 확인할 수 있다. 그리고 이러한 토출구 개폐조절부(150)에는 구리 재질의 라이너(152)가 포함되는데, 이는 토출구(103)의 둘레를 따라 판상으로 배치된다. Referring to FIG. 3, the rectangular shape of the discharge port 103 formed on the upper surface of the housing 101 can be confirmed through the illustrated plan view, and the discharge port opening / closing control unit 150 is provided along the periphery of the discharge port 103 You can see the figure. The discharge opening / closing control part 150 includes a liner 152 made of copper, which is arranged in a plate shape along the periphery of the discharge opening 103.

고전압 인가부(도 1의 도면부호 160)로부터 신호(C2)를 인가 받으면, 구리 재질의 라이너(152) 내측에 마련된 토출구(103) 쪽으로 이온화된 잉크(i)와 동일 극성의 전기장이 형성된다. An electric field of the same polarity as that of the ink (i) ionized toward the discharge port 103 provided inside the liner 152 made of copper is formed when the signal C2 is applied from the high-voltage applying section (reference numeral 160 in Fig.

즉, 도시된 바와 같이, +극으로 이온화된 잉크(+i)가 토출구를 향하여 유동함에 있어, 토출구(103) 쪽에서는 +극의 전기장이 형성됨에 따라 잉크의 토출을 제한한다. 이러한 방식으로 이온화된 잉크의 토출량이 조절되는 것이다.
That is, as shown in the drawing, the positive ionized ink (+ i) flows toward the discharge port, and the electric field of the positive polarity is formed on the side of the discharge port 103, thereby limiting the discharge of ink. In this way, the discharge amount of the ionized ink is controlled.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 전극 분리형 탄성표면파 잉크 토출 장치 내에 잉크가 토출되는 구성을 복수로 구비한 변형 예를 도시한 개념도이다. 4 is a conceptual diagram showing a modified example in which a plurality of configurations in which ink is ejected into an electrode separation type surface acoustic wave ink ejection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 도시된 변형 예(200)는 하우징(201) 내부에 잉크가 토출되는 구성이 복수로 구비된다. 즉, 한 쌍의 잉크 저장부(210a, 210b)가 좌우로 연결 배치되며, 그 상방으로 하우징(201)의 상부면을 따라 토출구(203)가 구비된다.Referring to FIG. 4, the illustrated embodiment 200 includes a plurality of configurations in which ink is ejected into the housing 201. That is, a pair of ink storage units 210a and 210b are connected to the right and left, and a discharge port 203 is provided above the housing 201 along the upper surface of the housing 201.

여기서, 탄성표면파 발생부재의 경우 별도로 도시되어 있지 않으나, 앞서 도 1 내지 3에서 살펴본 구조와 같이, 탄성표면파 발생부재는 잉크 저장부(210a, 210b)의 안쪽으로 돌출 배치되어 탄성표면파를 발생시키는 것으로 이해할 수 있다. Here, although not shown separately in the case of the surface acoustic wave generating member, as in the structure shown in Figs. 1 to 3, the surface acoustic wave generating member is protrudingly disposed inside the ink storage portions 210a and 210b to generate a surface acoustic wave I can understand.

하우징(201)의 하부면에 마련된 복수의 가스 주입공(205)을 통해 분위기 가스(N)가 유입되며, 이 분위기 가스의 상향 유동에 따라 잉크 저장부(210a, 220b) 각각으로부터 이온화된 잉크(i)는 토출구(203)를 통해 기판 쪽으로 배출된다.
The atmospheric gas N is introduced through the plurality of gas injection holes 205 provided in the lower surface of the housing 201 and the ink I from the ink reservoirs 210a and 220b in accordance with the upward flow of the atmospheric gas i is discharged to the substrate through the discharge port 203. [

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 전극 분리형 탄성표면파 잉크 토출 장치를 포함하는 대면적 박막 시스템의 단면 구조를 개략적으로 도시한 도면이다. 5 is a schematic view illustrating a cross-sectional structure of a large-area thin film system including an electrode separation type surface acoustic wave ink ejection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 잉크 공급 유로(113)를 통해 잉크 저장부(110) 내에 수용된 액상의 전도성 잉크는 고전압 신호를 인가받아 탄성표면파를 발생시키는 전극 분리형 탄성표면파 발생기판(120)에 의해 이온화되어 상향 토출된다. 이때, 하우징(101)의 하부면에 마련된 가스 주입공(105)을 통해 내부 유동하는 분위기 가스(N)와 함께 이온화된 잉크(i)는 상부로 토출되면서 건조된다. 5, the liquid conductive ink stored in the ink reservoir 110 through the ink supply passage 113 is ionized by the electrode separation type surface acoustic wave generating substrate 120 which generates a surface acoustic wave by receiving a high voltage signal And is upwardly discharged. At this time, the ink (i) ionized together with the atmospheric gas (N) flowing through the gas injection hole (105) provided in the lower surface of the housing (101) is discharged upward and dried.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 토출구(103)를 통해 배출된 이온화된 잉크(i)가 통과되는 마스크(320)와, 기판을 이송시키는 기판 이송부(310)를 포함하는 대면적 박막 시스템(300)을 제공할 수 있다. 전술된 잉크 토출 장치로부터 토출된 이온화된 잉크(i)는 마스크(320)를 통과한 후, 기판 이송부(310)의 저부에 부착된 기판(S) 쪽에 증착되어 박막을 형성한다. According to an embodiment of the present invention, a large-area thin film system including a mask 320 through which the ionized ink i discharged through the discharge port 103 passes, and a substrate transferring unit 310 transferring the substrate, (300). The ionized ink (i) ejected from the above-described ink ejection apparatus is deposited on the substrate S side attached to the bottom of the substrate transfer section 310 after passing through the mask 320 to form a thin film.

기판 이송부(310)는 기판을 이온화된 잉크의 공급 방향으로 대면시켜 수평 방향으로 이송시키는 수단으로서, 이온화된 잉크의 공급 방향에 교차하여 기판을 이송하는 스테이지 수단 또는 롤 투 롤(Roll-to-roll) 수단을 이용할 수 있다. 여기서, 스테이지 수단 또는 롤 투 롤 수단의 경우 관용적으로 알려진 장치 구성으로서, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
The substrate transferring unit 310 is a means for transferring the substrate in the horizontal direction so as to face the substrate in the ionized ink supply direction. The substrate transferring unit 310 may be a stage means for transferring the substrate crossing the ionized ink supply direction or a roll- ) Means can be used. Here, as the device configuration known for the case of the stage means or the roll-to-roll means, a detailed description thereof will be omitted.

상술한 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따르면, 전자 인쇄용 전도성 잉크의 토출량을 현저히 증가시켜 제조 공정의 난점인 디스플레이 디바이스의 대면적화와 고화질화 문제를 동시에 해결할 수 있다.As described above, according to the embodiment of the present invention, the discharge amount of the conductive ink for electronic printing is significantly increased, and the large-sized and high image quality of the display device, which is a difficulty of the manufacturing process, can be solved at the same time.

또한, 기판 쪽으로 공급되는 잉크의 토출량을 조절할 수 있다. 특히 하우징 상단 개구 쪽에 토출되는 잉크와 동일한 극성의 전기장을 인가하여 잉크의 토출량을 신속하고 정확하게 조절할 수 있다. Further, it is possible to control the discharge amount of the ink supplied to the substrate. It is possible to quickly and accurately adjust the discharge amount of the ink by applying an electric field having the same polarity as that of the ink discharged to the opening end of the housing.

또한, 잉크 내에 침지되어 탄성표면파를 발생시키는 부분과 상기 탄성표면파를 발생시키기 위해 신호가 인가되는 부분이 분리된 전극 분리형 탄성표면파 발생기판을 이용할 수 있다. 이에 따라, 탄성표면파 발생기판을 잉크 내부로 침지시키기 위하여 필요했던 복잡한 형상의 고정부재의 사용을 전적으로 배제할 수 있어 장치 전체의 중량 저감을 실현할 수 있다.
Further, an electrode separation type surface acoustic wave generating substrate in which a portion which is immersed in ink to generate a surface acoustic wave and a portion to which a signal is applied to generate the surface acoustic wave is separated can be used. Accordingly, it is possible to completely eliminate the use of the complicated fixing member required for immersing the surface acoustic wave generating substrate into the ink, and the weight reduction of the entire apparatus can be realized.

이상에서 본 발명에 따른 전극 분리형 탄성표면파 대면적 잉크 토출 장치 및 이를 포함하는 대면적 박막 시스템의 바람직한 실시예에 관하여 살펴보았다. In the foregoing, preferred embodiments of the electrode separation type surface acoustic wave (SAW) area ink ejecting apparatus and the large area thin film system including the same are described.

전술된 본 발명의 일실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하면, 본 발명의 범위는 전술된 상세한 설명보다는 후술될 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 이 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
It will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the appended claims. And all equivalents and modifications that come within the meaning and range of equivalency of the claims are to be embraced within their scope.

C1, C2: 고전압 인가 신호
I: 액상 잉크
i: 이온화된 잉크
N: 분위기 가스
100: 전극 분리형 탄성표면파 대면적 잉크 토출 장치
101: 하우징
103: 토출구 105: 가스 주입공
110: 잉크 저장부
111: 수용공간 113: 잉크 공급 유로
120: 탄성표면파 발생기판
121: 제1기판플레이트 123: 제2기판플레이트
130: 고정블록
131: 기밀부재
150: 토출부 개폐조절부
152: 구리 재질 라이너
160: 고전압 인가부
300: 대면적 박막 시스템
310: 기판 이송부
320: 마스크C1, C2: High-voltage application signal
I: liquid ink
i: ionized ink
N: atmosphere gas
100: Electrode separated type surface acoustic wave large area ink ejecting device
101: Housing
103: discharge port 105: gas injection hole
110:
111: accommodation space 113: ink supply channel
120: Surface acoustic wave generating substrate
121: first substrate plate 123: second substrate plate
130: fixed block
131:
150: Discharge section open / close control section
152: copper material liner
160: High voltage application part
300: Large area thin film system
310: substrate transfer section
320: mask

Claims (9)

잉크에 탄성표면파를 인가하여 이온화시키는 동시에 이온화된 잉크를 기판 쪽으로 토출시켜 박막을 형성하는 탄성표면파 대면적 잉크 토출 장치에 있어서,
하부로 분위기 가스를 공급받아 내부 유동시키며, 탄성표면파에 의해 이온화된 잉크를 상기 분위기 가스와 함께 상향 토출시켜 기판으로 공급하도록 마련된 하우징;
상기 하우징의 하단을 관통하여 잉크를 공급 받아 수용하는 잉크 저장부;
상기 잉크 저장부의 측면을 관통하여 상기 수용된 잉크 내에 침지되어 탄성표면파를 발생시키는 절연 코팅된 제1기판플레이트와, 상기 제1기판플레이트에 연결되어 상기 수용된 잉크와 비접촉된 상태로 고정되어 외부로부터 전압을 인가받는 제2기판플레이트를 포함하는 전극 분리형 탄성표면파 발생기판; 및
상기 잉크 저장부의 측면에 연결되어 상기 전극 분리형 탄성표면파 발생기판을 고정시키는 고정블록;을 포함하고,
상기 잉크 저장부는, 상기 하우징 내부의 바닥 중앙에서 상부가 개방된 사각 용기 형상으로 배치되고, 상기 하우징의 하부면을 관통하여 바닥까지 연통된 잉크 공급 유로를 통해 설정된 양의 잉크를 지속적으로 공급받아 수용하며,
상기 분위기 가스는, 질소인 것을 특징으로 하는 탄성표면파 대면적 잉크 토출 장치.
A surface acoustic wave (SAW) area ejecting apparatus for applying a surface acoustic wave to an ink to ionize the ink and ejecting ionized ink toward the substrate to form a thin film,
A housing configured to supply an atmospheric gas to a lower portion of the substrate, to flow inwardly, and to discharge upwardly the ink ionized by a surface acoustic wave together with the atmospheric gas to the substrate;
An ink reservoir for receiving and receiving ink through the lower end of the housing;
A first substrate plate connected to the first substrate plate and fixed in a state of being in noncontact with the accommodated ink so as to generate a surface acoustic wave, An electrode separation type surface acoustic wave generation substrate including a second substrate plate to be applied; And
And a fixing block connected to a side surface of the ink reservoir to fix the electrode separation type surface acoustic wave generating substrate,
The ink reservoir is disposed in the shape of a rectangular container having an open top at the bottom center of the inside of the housing and continuously receives and supplies a predetermined amount of ink through an ink supply passage communicating with the bottom through the bottom surface of the housing In addition,
Wherein the atmospheric gas is nitrogen.
청구항 1에 있어서,
상기 하우징은, 하부에 비해 상부로 갈수록 단면이 협소해지는 구조로 이루어지되,
하부면을 관통하여 분위기 가스를 공급 받는 가스 주입공이 마련되며, 상부면을 통해 이온화된 잉크가 분위기 가스와 함께 토출되는 토출구가 마련된 전극 분리형 탄성표면파 대면적 잉크 토출 장치.
The method according to claim 1,
The housing has a structure in which the cross section becomes narrower toward the upper part than the lower part,
And a discharge port through which the ionized ink is discharged together with the atmospheric gas is provided on the upper surface of the upper surface.
청구항 2에 있어서,
상기 토출구의 둘레를 따라 이온화된 잉크의 극성과 동일한 극성의 전압을 인가하여, 기판 쪽으로 공급되는 잉크의 토출량을 선택적으로 조절하는 토출구 개폐조절부;를 더 포함하는 탄성표면파 대면적 잉크 토출 장치.
The method of claim 2,
And a discharge port opening / closing controller for selectively controlling a discharge amount of ink supplied to the substrate by applying a voltage having the same polarity as the polarity of the ionized ink along the periphery of the discharge port.
청구항 3에 있어서,
상기 토출구 개폐조절부는,
상기 토출구의 둘레를 따라 구비된 구리 재질 라이너를 포함하는 탄성표면파 대면적 잉크 토출 장치.
The method of claim 3,
The discharge port opening /
And a copper material liner provided along the periphery of the discharge port.
청구항 2에 있어서,
상기 하우징은 내부공간이 비워진 사각 뿔 형상을 가지며,
상기 토출구는 상기 하우징의 상부면을 가로질러 일정한 폭으로 개방된 사각 장공 형상을 갖는 탄성표면파 대면적 잉크 토출 장치.
The method of claim 2,
Wherein the housing has a rectangular horn shape in which an inner space is empty,
Wherein the ejection opening has a rectangular elongated opening shape having a predetermined width across the upper surface of the housing.
삭제delete 삭제delete 잉크에 탄성표면파를 인가하여 이온화시키는 동시에 이온화된 잉크를 기판 쪽으로 토출시켜 기판의 대면적 박막을 형성하도록 청구항 1 내지 5 중 어느 하나의 탄성 표면파 대면적 잉크 토출 장치를 포함하는 대면적 박막 시스템으로서,
상기 탄성 표면파 대면적 잉크 토출 장치로부터 토출되는 이온화된 잉크의 공급 방향으로 기판을 대면시켜 기판을 이송하는 기판 이송부와,
상기 기판 이송부와 상기 탄성 표면파 대면적 잉크 토출 장치 사이에 개재되는 마스크를 포함하는 대면적 박막 시스템.
A large-area thin film system comprising a surface-acoustic-wave-large-area ink ejecting apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein a surface acoustic wave is applied to the ink to ionize the ink to eject the ionized ink toward the substrate,
A substrate transfer unit for transferring the substrate facing the substrate in a direction of supplying the ionized ink ejected from the surface acoustic wave large area ink ejecting apparatus,
And a mask interposed between the substrate transferring section and the surface acoustic wave large area ink ejecting apparatus.
청구항 8에 있어서,
상기 기판 이송부는,
상기 탄성 표면파 대면적 잉크 토출 장치로부터 토출되는 이온화된 잉크의 공급 방향에 교차하여 기판을 수평 이송시키는 스테이지 수단 또는 롤 투 롤(Roll-to-roll) 이송 수단인 대면적 박막 시스템.The method of claim 8,
Wherein,
A large-area thin-film system which is a stage means or a roll-to-roll transport means for horizontally transporting the substrate in a direction crossing the supply direction of the ionized ink discharged from the surface acoustic wave-area ink ejection apparatus.
KR1020120090445A 2012-08-20 2012-08-20 Type of electrode separation large area ink ejecting apparatus using surface acoustic wave and the large area thin film forming system having the same KR101405122B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120090445A KR101405122B1 (en) 2012-08-20 2012-08-20 Type of electrode separation large area ink ejecting apparatus using surface acoustic wave and the large area thin film forming system having the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120090445A KR101405122B1 (en) 2012-08-20 2012-08-20 Type of electrode separation large area ink ejecting apparatus using surface acoustic wave and the large area thin film forming system having the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140024512A KR20140024512A (en) 2014-03-03
KR101405122B1 true KR101405122B1 (en) 2014-06-10

Family

ID=50640081

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120090445A KR101405122B1 (en) 2012-08-20 2012-08-20 Type of electrode separation large area ink ejecting apparatus using surface acoustic wave and the large area thin film forming system having the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101405122B1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050004845A (en) * 2002-05-09 2005-01-12 글락소 그룹 리미티드 A fluid dispensing device
KR20110098230A (en) * 2010-02-26 2011-09-01 제주대학교 산학협력단 Surface acoustic wave ink-jet head
JP2012136761A (en) * 2010-12-28 2012-07-19 Hitachi Zosen Corp Vacuum deposition device
KR20120081662A (en) * 2010-12-22 2012-07-20 주식회사 나래나노텍 Improved spray-type pattern forming apparatus and method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050004845A (en) * 2002-05-09 2005-01-12 글락소 그룹 리미티드 A fluid dispensing device
KR20110098230A (en) * 2010-02-26 2011-09-01 제주대학교 산학협력단 Surface acoustic wave ink-jet head
KR20120081662A (en) * 2010-12-22 2012-07-20 주식회사 나래나노텍 Improved spray-type pattern forming apparatus and method
JP2012136761A (en) * 2010-12-28 2012-07-19 Hitachi Zosen Corp Vacuum deposition device

Also Published As

Publication number Publication date
KR20140024512A (en) 2014-03-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102192359B1 (en) Plasma cvd device and plasma cvd method
KR102632150B1 (en) Method for spraying parts for plasma processing apparatus and parts for plasma processing apparatus
US11628464B2 (en) Inkjet application device and device for manufacturing battery
JP2018505074A5 (en)
JP2009260258A (en) Shower head and substrate processing apparatus
KR20070010723A (en) Shadow mask and alignment apparatus using the same
KR101405122B1 (en) Type of electrode separation large area ink ejecting apparatus using surface acoustic wave and the large area thin film forming system having the same
KR101263602B1 (en) Cone-Jet Mode Electrostatic Spray Deposition Apparatus
JP2012135704A (en) Electrospray deposition device
KR101248147B1 (en) Surface acoustic wave ink-jet device using sencond electrode
KR101378354B1 (en) Large area ink ejecting apparatus using surface acoustic wave and the large area thin film forming system having the same
KR101451483B1 (en) Electro Plating Device
CN108539052B (en) A kind of device, system and method encapsulating Flexible Displays film
KR102154480B1 (en) Electro-spray Apparatus and Dust-particle Reduction Apparatus
WO2012058838A1 (en) Liquid crystal sprayer, liquid spraying device and method for spraying liquid crystal
KR20150141174A (en) Apparatus and method for treating substrate
KR101113606B1 (en) Surface acoustic wave ink-jet head
KR102174626B1 (en) Improved Substrate Spray Coating Apparatus and Method
KR101080929B1 (en) Surface acoustic wave ink-jet head
JP4816034B2 (en) Processing method and processing apparatus
KR20150077730A (en) Plasma processing apparatus of oled substrate
KR102249801B1 (en) Assembly for flowing Chemical and Apparatus for Dispensing Chemical having the same
JP2004351260A (en) Droplet discharging device, and droplet discharging method
KR102180717B1 (en) Improved Surface Acoustic Wave Atomizing Device and Method, and Substrate Spray Coating Apparatus and Method Having the Same
KR101191283B1 (en) Surface acoustic wave ink-jet head

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180605

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190603

Year of fee payment: 6