KR101403693B1 - Equipment for producing oxygen and method for controlling the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기적으로 유체 연결되어 있는 제올라이트탑 시스템, CMS탑 시스템 및 저장 탱크를 포함하는 산소 생산 장치 및 이를 제어하여 산소를 생산하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에서는 제올라이트탑 시스템 및 CMS탑 시스템의 구동 조건을 제어하여, 질소와 산소의 흡착 공정을 반복적으로 수행하고, CMS탑 시스템으로부터 배출되는 산소 성분이 풍부한 가스 또는 제품 가스를 제올라이트탑 및 CMS탑의 승압, 세정 및 회수 공정에서 재활용함으로써, 제품 가스의 순도 및 회수율을 현저히 개선시킬 수 있는 이점이 있다.

Figure R1020070106805

산소 생산 장치, 산소 생산 방법, 산소, 질소, 제올라이트탑 시스템, CMS탑 시스템, 저장 탱크

The present invention relates to an apparatus for producing oxygen including a zeolite tower system, a CMS tower system, and a storage tank, which are organically fluid-connected, and a method of controlling oxygen to produce oxygen. In the present invention, the process of adsorbing nitrogen and oxygen is repeatedly performed by controlling the driving conditions of the zeolite tower system and the CMS tower system, and the gas or product gas rich in oxygen components discharged from the CMS tower system is introduced into the zeolite tower and the CMS tower There is an advantage that the purity and the recovery rate of the product gas can be remarkably improved by recycling in the step-up, washing and recovery processes.

Figure R1020070106805

Oxygen production system, oxygen production system, oxygen, nitrogen, zeolite tower system, CMS tower system, storage tank

Description

산소 생산 장치 및 그 제어 방법 {Equipment for producing oxygen and method for controlling the same}TECHNICAL FIELD The present invention relates to an oxygen production apparatus,

본 발명은 산소 생산 장치 및 그 제어 방법에 관한 것으로, 구체적으로는 유기적으로 유체 연결되어 있는 제올라이트탑 및 CMS탑 시스템을 통하여 흡착 공정을 반복하여 수행하고, 상기 장치에서 생산되는 산소 성분이 풍부한 가스를 승압, 세정 및 회수 공정에서 재활용함으로써, 제품 가스의 회수율 및 순도를 향상시킨 산소 생산 장치 및 그 제어 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an oxygen production apparatus and a control method thereof, and more particularly, to an oxygen production apparatus and a control method thereof, in which an adsorption process is repeatedly carried out through a zeolite tower and a CMS tower system which are organically connected to each other and oxygen- And recovering the product gas, thereby improving the recovery rate and purity of the product gas, and a control method thereof.

산소를 생산하는 대표적인 방법으로는 흡착법 및 심냉법을 들 수 있다. 상기 중 흡착법은 산소 또는 질소 등을 선택적으로 흡착할 수 있는 미세 공극을 갖는 물질에 공기 중의 원소가 선택적으로 흡착되도록 하여 산소를 분리하는 방법이고, 심냉법은 기체의 온도를 급격히 저하시켜 액화시킨 후에, 증류 등을 통해 산소를 분리해 내는 방법이다. Representative methods for producing oxygen include an adsorption method and a deep-sea cooling method. The mid adsorption method is a method of separating oxygen by selectively adsorbing an element in the air to a material having microvoids capable of selectively adsorbing oxygen or nitrogen, and the seawater cooling method is a method in which the temperature of the gas is rapidly lowered and liquefied , And distillation to remove oxygen.

상기 방법들 중에서 심냉법은 순도 99% 이상의 산소를 생산할 수 있다는 이 점이 있다. 그러나 심냉법은 공기를 급속 냉각할 수 있는 대형 냉각 장치와 냉각된 공기를 증류하기 위한 대형 증류 장치를 동시에 구비하여야 한다. 따라서 심냉법은 흡착법에 비하여 우수한 순도의 산소를 생산할 수 있다는 이점을 가지나, 대형 장치의 구입 및 설치를 위한 과다한 투자비가 소모되기 때문에 중소 규모에서는 사실상 사용이 불가능하다.Among these methods, the deep-cooling method is capable of producing oxygen having a purity of 99% or more. However, the seawater cooling system must have both a large cooling system capable of rapid cooling of the air and a large-scale distillation system for distilling the cooled air at the same time. Therefore, the deep sea cooling method has an advantage of producing oxygen of excellent purity as compared with the adsorption method, but it is practically impossible to use in small and medium scale because excessive investment cost for purchase and installation of a large apparatus is consumed.

한편 흡착법은 공기 중 특정 원소에 대응하는 미세 공극을 갖는 물질로 목적 원소를 분리하는 방법으로서, 상기 물질의 대표적인 예로는 제올라이트(zeolite)를 들 수 있다. 제올라이트는 질소에 대해서는 강한 흡착 성능을 나타내고, 산소에 대해서는 약한 흡착 성능을 나타낸다. 이에 따라 제올라이트에 공기를 공급하면, 질소는 흡착되고 산소는 투과 배출되어 질소가 배제된 산소를 생산할 수 있다. 따라서, 흡착법의 일반적인 산소 생산 시스템은 제올라이트가 충전된 탑으로 구성되고, 산소의 순도를 높이기 위하여 2개 이상의 제올라이트탑으로 구성되기도 한다.On the other hand, the adsorption method is a method of separating a target element from a material having micropores corresponding to a specific element in the air, and a representative example of the material is zeolite. Zeolite exhibits strong adsorption performance for nitrogen and weak adsorption performance for oxygen. Accordingly, when air is supplied to the zeolite, nitrogen is adsorbed and oxygen is permeated and discharged to produce nitrogen-free oxygen. Therefore, the general oxygen production system of the adsorption process is composed of a column filled with zeolite, and may be composed of two or more zeolite towers to increase oxygen purity.

그러나, 제올라이트는 공기 중 포함되는 아르곤에 대한 흡착 성능이 떨어져, 이를 산소와 함께 투과시키기 때문에 분리된 산소의 순도가 95% 정도에 불과하다. 이에 따라 흡착법을 통하여 생산되는 산소의 순도를 높이기 위한 노력이 이루어지고 있으며, 미국이나 일본 등에서는 흡착법을 통해 산소 순도를 99.7%까지 올릴 수 있는 기술이 개발된 바 있다. 그러나, 상기 기술은 벌크 분리를 위한 흡착 공정 및 정화를 위한 흡착 공정이 별도로 이루어져야 한다. 즉, 상기 기술에서는 벌크 분리용 흡착 공정이 완전히 종료한 후에, 다시 정화용 흡착 공정을 추가로 수행하는데, 이와 같이 두 가지 공정이 반드시 함께 수행되어야 하기 때문에 생산 단가가 고가가 된다는 문제점이 있다.However, zeolite has poor adsorption ability to argon contained in air and permeates it together with oxygen, so the purity of separated oxygen is only about 95%. Accordingly, efforts have been made to increase the purity of oxygen produced through the adsorption process. In the United States and Japan, techniques have been developed to increase the oxygen purity to 99.7% by adsorption. However, the above technique requires separate adsorption processes for bulk separation and adsorption for purification. That is, in the above technique, after the adsorption process for bulk separation is completely terminated, the adsorption process for purification is further performed. However, since the two processes must be performed together, the production cost becomes high.

한편, 흡착법을 이용하여 질소를 생산하는 것도 가능하며, 이 때 사용되는 대표적인 흡착제는 CMS(Carbon Molecular Seive)이다. 상기 CMS에는 산소가 질소와 아르곤에 비하여 수십 내지 수백배 이상의 빠른 속도로 흡착된다. CMS탑 시스템은 이와 같은 성질을 이용하여 질소를 생산하는 시스템이며, 역시 생산되는 질소의 순도를 높이기 위하여 2개 이상의 탑으로 구성될 수 있다.On the other hand, it is also possible to produce nitrogen using an adsorption method, and a typical adsorbent used at this time is CMS (Carbon Molecular Seiva). In the CMS, oxygen is adsorbed at a rate of several tens to several hundreds times faster than nitrogen and argon. The CMS tower system is a system for producing nitrogen using these properties, and it can also be composed of two or more towers to increase the purity of produced nitrogen.

최근에는 전술한 두 종류의 시스템을 혼용하여, 먼저 90 내지 95%의 산소를 제올라이트탑 시스템으로 생산하고, 생산된 산소를 CMS탑 시스템으로 다시 필터링하여 산소의 순도를 높이는 방법이 개발되었다. 그러나, 상기 공정은 별도로 구성된 제올라이트탑 시스템 및 CMS탑 시스템이 독립적으로 운전되는 단순한 다단식 시스템이다. 이에 따라 상기 시스템에서는 생산 비용 및 에너지 소비가 증가하고, 원료가 각각 개별의 시스템을 별도로 거쳐야 하므로, 산소 회수율이 저하된다.In recent years, a method has been developed in which 90% to 95% of oxygen is first produced as a zeolite tower system by mixing the two types of systems described above, and the produced oxygen is again filtered into a CMS tower system to increase oxygen purity. However, this process is a simple multi-stage system in which the separately configured zeolite tower system and the CMS tower system operate independently. In this system, the production cost and the energy consumption increase, and the raw material needs to pass through the individual system separately, so that the oxygen recovery rate is lowered.

한편, 대한민국 등록특허 제605549호는 공기 가압 수단 및 감압 수단과 연결되고, 산소를 생산하는 제올라이트탑 시스템 및 상기 시스템에서 생산되는 산소를 흡착하고, 감압 상태에서 산소를 생산하는 CMS탑 시스템으로 구성되는 산소 생산 장치 및 그 제어 방법을 개시한다. 그러나, 상기 기술에서는 다음과 같은 문제점으로 인해 제품 가스(산소)의 순도 및 회수율이 떨어지게 되는 단점이 있다. 즉, 상기 한국 특허의 기술에서는 (1) 압력 평등화 (균압) 공정이 제올라이트탑 시스템의 탈착 라인 밸브가 닫힌 상태에서 실시되기 때문에, 균압 공정에서 제올라이트탑 상부에서 흡착된 질소 가스 성분이 다른 제올라이트탑 상부로 순간적으로 유입될 수 있고, 하부에 흡착된 질소 가스 성분은 쉽게 탈착되지 않으며; (2) CMS탑 시스템의 탈착이 낮은 압력에서 수행되어 흡착제가 충분히 재생될 수 없고, (3) CMS탑에서 배출되는 산소 성분이 풍부한 가스를 제올라이트탑 시스템의 탈착 라인 밸브가 닫힌 상태에서 가압하기 때문에, 탑 내부의 질소 성분이 잘 배출되지 않는다. 또한, 전술한 한국 특허에서는 (4) CMS탑 내의 잔류하는 질소와 아르곤을 제거하는 공정이 비효율적이고, 제어방식이 까다롭다는 문제점을 가지고 있다.On the other hand, Korean Patent Registration No. 605549 discloses a zeolite tower system connected to air pressurizing means and decompression means and composed of a zeolite tower system for producing oxygen and a CMS tower system for adsorbing oxygen produced in the system and producing oxygen in a reduced pressure state An oxygen production apparatus and a control method thereof are disclosed. However, in the above technology, there is a disadvantage that the purity and recovery rate of the product gas (oxygen) are lowered due to the following problems. That is, since the pressure equalization (pressure equalization) process is performed in a state where the desorption line valve of the zeolite tower system is closed, the nitrogen gas component adsorbed on the upper part of the zeolite tower in the pressure equalization step And the nitrogen gas component adsorbed on the lower portion is not easily desorbed; (2) the desorption of the CMS tower system is carried out at a low pressure so that the adsorbent can not be sufficiently regenerated, and (3) the oxygen-rich gas discharged from the CMS tower is pressurized with the desorption line valve of the zeolite tower system closed , The nitrogen component inside the column is not discharged well. In addition, the above-mentioned Korean patent has a problem that (4) the process of removing residual nitrogen and argon in the CMS column is inefficient and the control method is difficult.

본 발명은 전술한 종래 기술을 고려하여 이루어진 것으로, 산소 생산 공정에서 제품 가스의 회수율 및 순도를 개선시킬 수 있는 산소 생산 장치 및 이를 제어하여 산소를 생산하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described prior art, and an object thereof is to provide an oxygen production apparatus capable of improving recovery and purity of a product gas in an oxygen production process, and a method of producing oxygen by controlling the oxygen production apparatus.

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 외부 가압 수단 및 감압 수단과 유체 연결되어 탑 내부의 압력을 증가 또는 감소시켜 질소를 흡착 또는 탈착할 수 있는 제올라이트탑 시스템; 상기 제올라이트탑 시스템과 유체 연결되어 제올라이트탑 시스템의 생성물 중 산소를 흡착한 후, 내부 압력을 감압하여 산소를 생산할 수 있는 CMS탑 시스템; 및 상기 CMS탑 시스템으로부터 배출되는 산소를 저장할 수 있는 저장 탱크를 포함하는 산소 생산 장치를 제공한다.The present invention provides a zeolite tower system capable of adsorbing or desorbing nitrogen by increasing or decreasing a pressure inside a tower in fluid connection with external pressurizing means and depressurizing means, A CMS tower system in fluid communication with the zeolite tower system to adsorb oxygen in the product of the zeolite tower system and then produce oxygen by reducing the internal pressure; And a storage tank capable of storing oxygen discharged from the CMS tower system.

상기 본 발명의 장치에서 제올라이트탑 시스템은 제 1 차 및 제 2 차의 2개의 제올라이트탑을 포함하고, CMS탑 시스템은 1개의 CMS탑을 포함하는 것이 바람직하다.Preferably, the zeolite tower system in the apparatus of the present invention comprises two zeolite towers of a first order and a second order, and the CMS tower system comprises one CMS tower.

또한, 상기 산소 생산 장치는, 제올라이트탑 시스템 및 CMS탑 시스템과 유체 연결되어, 제올라이트탑 시스템의 생성물을 압축한 후, 압축된 생성물을 CMS탑 시스템으로 유입시킬 수 있는 압축기를 추가로 포함할 수 있다.The oxygen production apparatus may further include a compressor in fluid connection with the zeolite tower system and the CMS tower system to compress the product of the zeolite tower system and then introduce the compressed product into the CMS tower system .

상기 본 발명의 장치에서는, 제올라이트탑 시스템의 상부가 압축기와 유체 연결되어 있고, 하부는 외부 가압 수단 및 감압 수단과 유체 연결되어 있는 것이 바람직하다.In the apparatus of the present invention, it is preferable that the upper portion of the zeolite tower system is in fluid communication with the compressor, and the lower portion is in fluid communication with the external pressurizing means and the pressure reducing means.

또한 상기 산소 생산 장치에서는, CMS탑 시스템의 하부는 상기 압축기 및 상기 CMS탑 시스템으로부터 배출되는 생성물을 저장할 수 있는 저장 탱크와 유체 연결되어 있는 것이 바람직하다.Also in the oxygen production unit, the lower part of the CMS tower system is preferably in fluid connection with a storage tank capable of storing the products discharged from the compressor and the CMS tower system.

상기 본 발명의 장치에서는, CMS탑 시스템의 상부 및 하부가 상기 제올라이트탑 시스템가 추가로 유체 연결되어 있고; 그 상부는 상기 CMS탑 시스템으로부터 배출되는 생성물을 저장할 수 있는 저장 탱크와 추가로 유체 연결되어 있는 것이 바람직하다.In the apparatus of the present invention, the top and bottom of the CMS tower system are further fluidly connected to the zeolite tower system; The upper portion is further preferably in fluid communication with a storage tank capable of storing the product discharged from the CMS tower system.

본 발명은 또한 상기 과제를 해결하기 위한 다른 수단으로서, 제 1 차 및 제 2 차 제올라이트탑, 압축기, CMS탑 및 저장 탱크를 포함하는 산소 생산 장치를 제어하는 방법에 있어서,The present invention also provides, as another means for solving the above-mentioned problems, a method for controlling an oxygen producing apparatus including a first and a second zeolite tower, a compressor, a CMS tower and a storage tank,

CMS탑으로부터 배출되는 산소 성분이 풍부한 가스로 제 1 차 제올라이트탑을 승압하는 제 1 단계; A first step of raising the first zeolite column with an oxygen rich gas discharged from the CMS column;

원료 가스를 공급하여 제 1 차 제올라이트탑을 가압시켜 질소를 흡착시키고, 제 2 차 제올라이트탑을 감압시켜 질소를 탈착시키며, 제 1 차 제올라이트탑에서 배출된 생성물을 CMS탑으로 공급하여, 산소를 흡착시키는 제 2 단계; The raw material gas is supplied to pressurize the first zeolite column to adsorb nitrogen, and the second zeolite column is depressurized to desorb nitrogen. The product discharged from the first zeolite column is fed to a CMS column, Second step;

CMS탑을 감압시켜 제품 가스를 생산하고, 이를 저장하는 제 3 단계; A third step of decompressing the CMS column to produce product gas and storing the product gas;

저장된 제품 가스를 이용하여 CMS탑 및 제 2 차 제올라이트탑을 세정하는 제 4 단계; 및A fourth step of cleaning the CMS column and the second zeolite column using the stored product gas; And

저장된 제품 가스를 이용하여 CMS탑을 세정하면서, 제 1 차 및 제 2 차 제올라이트탑의 회수 및 균압 공정을 수행하는 제 5 단계를 포함하는 산소 생산 장치의 제어 방법을 제공한다.And a fifth step of recovering and equalizing the first and second zeolite columns while washing the CMS column using the stored product gas.

상기 제어 방법의 제 2 단계에서는 제 1 차 제올라이트탑의 배출물을 CMS탑으로 도입하기 전에 상기 배출물을 압축기로 압축하는 공정을 추가로 수행하는 것이 바람직하다.In a second step of the control method, it is preferable to further perform a process of compressing the effluent with a compressor before introducing the effluent of the first zeolite tower into the CMS tower.

또한 본 발명의 제어 방법의 제 2 단계에서는 CMS탑 시스템으로부터 배출되는 가스를 제올라이트탑 시스템의 전단으로 회수하는 공정을 추가로 포함할 수 있다.The second step of the control method of the present invention may further include a step of recovering the gas discharged from the CMS tower system to the front end of the zeolite tower system.

상기 제어 방법의 제 4 단계는 또한 제 2 차 제올라이트탑의 탈착 라인을 개방한 상태로 수행되는 것이 바람직하다.The fourth step of the control method is also preferably performed with the desorption line of the second zeolite tower opened.

또한 본 발명의 제어 방법의 제 3 단계 및 제 4 단계의 진행 중에 원료 가스를 계속적으로 제 1 차 제올라이트탑으로 공급하여, 질소를 흡착시키는 것이 바람직하다.Further, it is preferable that the raw material gas is continuously supplied to the first zeolite column during the course of the third and fourth steps of the control method of the present invention to adsorb nitrogen.

상기 제어 방법의 제 5 단계는 또한 균압 공정을 제올라이트탑 시스템의 탈착 라인을 개방한 상태로 수행하는 것이 바람직하다.In the fifth step of the control method, it is also preferable that the pressure equalizing step is performed in a state where the desorption line of the zeolite tower system is opened.

또한, 본 발명의 제어 방법의 제 5 단계는 CMS탑을 세정한 후 배출되는 가스를 제올라이트탑 시스템의 전단으로 회수하는 공정을 추가로 포함할 수 있다. In addition, the fifth step of the control method of the present invention may further include a step of recovering the discharged gas to the front end of the zeolite tower system after cleaning the CMS tower.

상기 본 발명의 제어 방법은 또한, 제 5 단계에 이어서 제 1 차 및 제 2 차 제올라이트탑의 구동 상태를 서로 교체하여 동일한 공정을 반복 수행하는 것이 바람직하다.In the control method of the present invention, it is preferable that the same process is repeatedly performed by replacing the driving states of the first and second zeolite columns after the fifth step.

본 발명에서는 제올라이트탑 시스템 및 CMS탑 시스템의 구동 조건을 제어하여, 질소와 산소의 흡착 공정을 반복적으로 수행하고, 장치로부터 배출되는 산소 성분이 풍부한 가스 또는 제품 가스(산소)를 제올라이트탑 및 CMS탑의 승압, 세정 및 회수 공정에서 재활용함으로써, 제품 가스(산소)의 순도 및 회수율을 현저히 개선시킬 수 있는 이점이 있다.In the present invention, the process of adsorbing nitrogen and oxygen is repeatedly performed by controlling the driving conditions of the zeolite tower system and the CMS tower system, and a gas or product gas (oxygen) rich in oxygen components discharged from the apparatus is supplied to the zeolite tower and the CMS tower , The purity and the recovery rate of the product gas (oxygen) can be remarkably improved by recycling them in the step-up, washing and recovery processes.

본 발명은, 외부 가압 수단 및 감압 수단과 유체 연결되어 탑 내부의 압력을 증가 또는 감소시켜 질소를 흡착 또는 탈착할 수 있는 제올라이트탑 (이하 'ZMS탑'이라 칭함) 시스템; The present invention relates to a zeolite tower (hereinafter referred to as "ZMS tower") system capable of adsorbing or desorbing nitrogen by increasing or decreasing the pressure inside a tower in fluid connection with external pressurizing means and decompression means;

상기 ZMS탑 시스템과 유체 연결되어 ZMS탑 시스템의 생성물 중 산소를 흡착한 후, 내부 압력을 감압하여 산소를 생산할 수 있는 CMS탑 시스템; 및 상기 CMS탑 시스템으로부터 배출되는 산소를 저장할 수 있는 저장 탱크를 포함하는 산소 생산 장치에 관한 것이다. 본 발명은 상기 ZMS탑 시스템 및 CMS탑 시스템의 구동 조건을 제어하여, 질소와 산소의 흡착 공정을 반복적으로 수행하고, 상기 장치로부터 생산되는 산소 성분이 풍부한 가스 또는 제품 가스(산소)를 ZMS탑 및 CMS탑의 승 압, 세정 및 회수 공정에서 재활용함으로써, 제품 가스(산소)의 순도 및 회수율을 현저히 개선시킬 수 있는 이점을 가진다.A CMS tower system in fluid connection with the ZMS tower system to adsorb oxygen from the products of the ZMS tower system and then produce oxygen by reducing the internal pressure; And a storage tank capable of storing oxygen discharged from the CMS tower system. The present invention controls the driving conditions of the ZMS tower system and the CMS tower system to repeatedly perform a process of adsorbing nitrogen and oxygen and to provide a gas or product gas (oxygen) rich in oxygen produced from the apparatus to the ZMS tower and / And has a merit that the purity and recovery rate of the product gas (oxygen) can be remarkably improved by recycling the CMS column in the step of ascending, washing and collecting.

이하, 본 발명의 산소 생산 장치를 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the oxygen production apparatus of the present invention will be described in more detail.

본 발명의 산소 생산 장치는 내부에 ZMS가 충전된 ZMS탑, 또는 내부에 CMS가 충전된 CMS탑으로 구성되는 ZMS탑 시스템 또는 CMS탑 시스템을 포함한다. 본 발명에서 사용된 용어 『탑 시스템』은 1개; 또는 수직적 또는 수평적으로 상호 연결된 2개 이상의 탑을 포함하는 장치를 의미한다. 이 때 사용될 수 있는 ZMS탑 또는 CMS탑의 종류 및 구조는 특별히 한정되지 않으며, 이 분야의 일반적인 ZMS탑 또는 CMS탑을 모두 사용할 수 있다. 이하, 본 발명의 명세서에서 『ZMS탑』 및 『CMS탑』은 각각 『ZMS탑 시스템』 및 『CMS탑 시스템』과 동일한 의미로 사용될 수 있다.The oxygen production apparatus of the present invention includes a ZMS tower system or a CMS tower system composed of a ZMS tower filled with ZMS or a CMS tower filled with CMS therein. As used herein, the term " tower system " Or two or more tows interconnected vertically or horizontally. The type and structure of the ZMS tower or CMS tower that can be used at this time are not particularly limited, and any general ZMS tower or CMS tower in this field can be used. Hereinafter, the terms "ZMS tower" and "CMS tower" in the specification of the present invention can be used in the same sense as "ZMS tower system" and "CMS tower system", respectively.

첨부된 도 1은 본 발명의 산소 생산 장치의 일 태양을 나타낸다. 즉, 본 발명에서는 산소 생산 장치의 ZMS탑 시스템이 제 1 차 및 제 2 차의 2개의 ZMS탑(5, 6)을 포함하고, CMS탑 시스템은 1개의 CMS탑(10)을 포함하는 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 제 1 차 및 제 2 차 ZMS탑(5, 6)의 구동 상태를 반복적으로 교체하면서 산소 생산 공정을 진행할 수 있다. 그러나, 상기와 같은 탑 시스템의 구성은 본 발명의 하나의 예에 불과하면, 본 발명에서는 필요에 따라서 다양한 조합의 탑 시스템을 제한 없이 채용할 수 있다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 shows an embodiment of the oxygen production apparatus of the present invention. That is, in the present invention, it is preferable that the ZMS tower system of the oxygen production apparatus includes two ZMS towers 5 and 6 of the first and second orders, and the CMS tower system includes one CMS tower 10 Do. In this case, the oxygen production process can be performed while the driving states of the first and second ZMS towers 5 and 6 are repeatedly changed. However, if the configuration of the tower system is merely an example of the present invention, the tower system of various combinations can be employed without limitation in the present invention.

첨부된 도면을 참조로 본 발명의 산소 생산 장치 구성의 일 태양을 보다 상세히 설명하면 하기와 같다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view of an oxygen production apparatus according to an embodiment of the present invention; FIG.

도 1에 나타난 바와 같이, 본 발명의 산소 생산 장치에서는 ZMS탑 시스템(5, 6) 및 CMS탑 시스템(10)이 서로간에 유체 흐름이 가능하도록 유기적으로 서로 연결되어 있다. 이에 따라 상기 ZMS탑 시스템(5, 6)으로부터 배출되는 생성물을 CMS탑 시스템(10)으로 도입하여 산소 흡착 공정을 진행할 수 있으며, 또한 CMS탑 시스템 (10)에서 배출된 산소 성분이 풍부한 가스를 선택적으로 ZMS탑 시스템의 승압, 세정 및 회수 공정에 이용할 수 있다.As shown in FIG. 1, in the oxygen production apparatus of the present invention, the ZMS tower systems 5 and 6 and the CMS tower system 10 are organically connected to each other to enable fluid flow between them. Accordingly, the products discharged from the ZMS tower systems 5 and 6 can be introduced into the CMS tower system 10 to carry out the oxygen adsorption process. Further, the oxygen-rich gas discharged from the CMS tower system 10 can be selectively , And can be used for the step-up, cleaning and recovery processes of the ZMS top system.

본 발명의 산소 생산 장치는 또한 상기 ZMS탑 시스템(5, 6) 및 CMS탑 시스템(10)과 유체 연결되어, ZMS탑 시스템(5, 6)의 생성물을 압축한 후, 압축된 생성물을 CMS탑 시스템(10)으로 유입시킬 수 있는 압축기(8)를 추가로 포함할 수 있다. The oxygen production system of the present invention is also in fluid communication with the ZMS tower system 5, 6 and the CMS tower system 10 to compress the product of the ZMS tower system 5, 6, And may further include a compressor (8) capable of entering the system (10).

또한 본 발명에서는 상기 ZMS탑 시스템(5, 6)의 상부가 상기 ZMS탑 시스템의 상부 생성물을 압축할 수 있는 압축기(8)와 유체 연결되어 있고, 하부는 외부 가압 수단(2) 및 감압 수단(12)과 유체 연결되어 있는 것이 바람직하다. 본 발명의 장치는 또한 ZMS탑 시스템 (5, 6) 상부 및 압축기(8)와 유체 연결되어, 상기 ZMS탑 시스템(5, 6)의 상부 생성물을 저장한 후, 그 전부 또는 일부를 압축기(8)로 이송할 수 있는 저장 탱크(7); 및 압축기(8) 및 CMS탑(10)의 하부와 유체 연결되어 압축기(8)에서 압축된 생성물을 저장한 후, CMS탑(10)으로 이송할 수 있는 저장 탱크(9)를 추가로 포함할 수 있다. 이 때 사용되는 압축기 및 저장 탱크의 구체적인 종류는 특별히 한정되지 않으며, 이 분야의 일반적인 압축기 또는 저장 탱크를 제 한 없이 사용할 수 있다. The upper part of the ZMS tower system 5 is in fluid communication with a compressor 8 capable of compressing the upper product of the ZMS tower system and the lower part is connected to the external pressurizing unit 2 and the decompression unit 12). The apparatus of the present invention is also in fluid communication with the top of the ZMS tower system 5 and the compressor 8 to store the top product of the ZMS tower system 5, A storage tank 7 capable of being transported to the storage tank 7; And a storage tank 9 in fluid communication with the lower portion of the compressor 8 and the CMS tower 10 to store the compressed product in the compressor 8 and then transfer it to the CMS tower 10 . The specific type of the compressor and the storage tank to be used at this time is not particularly limited, and a general compressor or a storage tank in this field can be used without limit.

또한, 상기에서 가압 수단은 ZMS탑 시스템 내부로 공기와 같은 원료 가스를 공급할 수 있는 수단을 의미한다. 본 발명에서는 상기와 같은 역할을 수행할 수 있다면, 가압 수단의 구체적인 종류는 특별히 제한되지 않으며, 예를 들면 송풍기 또는 가압기 등과 같은 통상의 공기 가압 수단을 사용할 수 있다. 또한, 상기 감압 수단은 시스템 내부의 공기 등을 흡입하여 내부 압력을 대기압 또는 진공 상태로 감소시키는 역할을 하는 것으로, 이와 같은 역할을 수행할 수 있다면 그 구체적인 종류는 특별히 제한되지 않는다. 예를 들면, 본 발명에서는 진공 펌프 등과 같은 이 분야의 일반적인 공기 감압 수단을 사용할 수 있다.In addition, the pressurizing means described above means means capable of supplying the raw material gas such as air into the ZMS tower system. In the present invention, the specific kind of the pressurizing means is not particularly limited as long as it can perform the above-mentioned functions. For example, a conventional air pressurizing means such as a blower or a pressurizer can be used. The decompression means sucks in air or the like in the system to reduce the internal pressure to an atmospheric pressure or a vacuum state. The type of the decompression means is not particularly limited as long as it can perform such a function. For example, in the present invention, ordinary air pressure reducing means in this field such as a vacuum pump and the like can be used.

상기와 같은 외부 가압 수단으로 ZMS탑으로 공기 등의 원료를 주입하여, 가압시키면, 내부에 충전된 ZMS가 원료 가스 중 질소를 흡착하게 된다. 또한, 상기 감압 수단으로 ZMS탑 내부 압력을 감소시키면 흡착되어 있던 질소가 탈착(이탈 및 제거)되게 된다. 특별히 한정되는 것은 아니지만, 본 발명에서는 ZMS탑 시스템이 복수의 ZMS탑을 포함하고, 각각의 ZMS탑에서 가압 및 감압 공정을 교대로 수행하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 본 발명의 ZMS탑 시스템이 도 1에 나타난 바와 같이 제 1 차 및 제 2 차의 탑을 포함하는 경우, 제 1 차 ZMS탑이 가압 상태일 경우에는 제 2 차 ZMS탑이 감압 상태이고, 반대로 제 2 차 ZMS탑이 가압 상태일 경우에는 제 1 차 ZMS탑이 감압 상태가 되도록 제어되는 것이 바람직하다.When the raw material such as air is injected into the ZMS column by the external pressurizing means as described above and the raw material is pressurized, the ZMS charged therein adsorbs nitrogen in the raw material gas. Further, when the pressure inside the ZMS column is reduced by the decompression unit, the adsorbed nitrogen is desorbed (removed and removed). Although not particularly limited, in the present invention, it is preferable that the ZMS tower system includes a plurality of ZMS columns, and the pressurization and depressurization processes are performed alternately in each of the ZMS columns. For example, when the ZMS tower system of the present invention includes first and second towers as shown in FIG. 1, when the first ZMS tower is in a pressurized state, the second ZMS tower is in a reduced- And when the second ZMS column is in a pressurized state, the first ZMS column is controlled to be in a reduced pressure state.

또한, 본 발명의 산소 생산 장치의 CMS탑 시스템(10)은 그 하부가 전술한 압 축기(8) 및 상기 CMS탑 시스템(10)으로부터 배출되는 생성물을 저장할 수 있는 저장 탱크(11)와 유체 연결되어 있는 것이 바람직하다. 상기와 같이 구성됨으로 해서, CMS탑 시스템(10)은 ZMS탑 시스템(5, 6)의 상부에서 배출되어 압축기(8)에 의해 압축된 생성물을 받아 산소 흡착 공정을 수행할 수 있다. 또한, CMS탑 시스템(10)의 하부와 저장 탱크(11)가 유체 연결됨으로써, CMS탑 시스템(10)의 내부 압력을 감소시켜 생산한 산소를 저장 탱크(11)에 저장할 수 있게 된다. The CMS tower system 10 of the oxygen production apparatus of the present invention is also characterized in that its lower portion is connected to a storage tank 11 capable of storing the product discharged from the above- . The CMS tower system 10 can perform the oxygen adsorption process by receiving the product discharged from the upper portion of the ZMS tower systems 5 and 6 and compressed by the compressor 8. In addition, since the lower part of the CMS tower system 10 is fluidly connected to the storage tank 11, it is possible to reduce the internal pressure of the CMS tower system 10 and store the produced oxygen in the storage tank 11.

본 발명의 CMS탑 시스템(10)은 또한 그 상부 및 하부가 ZMS탑 시스템(5, 6)과 추가로 유체 연결되어 있고, 또한 그 상부가 상기 저장 탱크(11)와 추가로 유체 연결되어 있는 것이 바람직하다. 상기와 같이 구성함으로 해서, 저장 탱크(11) 내에 저장되어 있는 제품 가스의 전부 또는 일부를 사용하여 CMS탑 및 ZMS탑 시스템의 승압, 세정 및 회수 공정을 수행할 수 있다. The CMS tower system 10 of the present invention is also characterized in that the upper and lower portions thereof are additionally in fluid communication with the ZMS tower systems 5 and 6 and the upper portion thereof is further in fluid communication with the storage tank 11 desirable. By doing so, it is possible to perform the step-up, cleaning and recovery processes of the CMS tower and the ZMS tower system by using all or a part of the product gas stored in the storage tank 11.

이상 설명한 산소 생산 장치에서 ZMS탑 시스템, CMS탑 시스템, 압축기 및 저장탱크 등은 유체 흐름을 제어할 수 있는 밸브를 포함하는 배관 등의 연결 수단에 의하여 상호 연결되어 있는 것이 바람직하다. 상기 밸브는 각 탑 시스템 내부의 압력 상태, 저장 탱크에서의 가스 저장량 및/또는 순도 등에 따라서 적절히 개방 또는 폐쇄되도록 제어되며, 이에 따라 산소 생산 장치의 동작 상태를 제어하는 역할을 수행할 수 있다. 이와 같이 개방 및 폐쇄가 가능한 밸브를 통하여 장치를 제어함으로써, 본 발명에서는 고순도의 산소를 필요에 따른 적절한 시기에 용이하게 생 산할 수 있게 된다.In the above-described oxygen production apparatus, it is preferable that the ZMS tower system, the CMS tower system, the compressor, the storage tank, etc. are connected to each other by connection means such as piping including valves capable of controlling fluid flow. The valve is controlled to be opened or closed appropriately according to the pressure state inside each tower system, the gas storage amount and / or purity in the storage tank, and so on, thereby controlling the operation state of the oxygen production apparatus. By controlling the apparatus through the valve that can be opened and closed as described above, the present invention can easily produce oxygen of high purity at an appropriate time according to need.

본 발명은 또한, 제 1 차 및 제 2 차 ZMS탑, CMS탑 및 저장 탱크를 포함하는 산소 생산 장치를 제어하는 방법에 있어서,The invention also relates to a method of controlling an oxygen production plant comprising a primary and a secondary ZMS tower, a CMS tower and a storage tank,

CMS탑으로부터 배출되는 산소 성분이 풍부한 가스로 제 1 차 ZMS탑을 승압하는 제 1 단계; A first step of raising the first ZMS column with an oxygen rich gas discharged from a CMS column;

원료 가스를 공급하여 제 1 차 ZMS탑을 가압시켜 질소를 흡착시키고, 제 2 차 ZMS탑을 감압시켜 질소를 탈착시키며, 제 1 차 ZMS탑에서 배출된 생성물을 CMS탑으로 공급하여, 산소를 흡착시키는 제 2 단계; The raw material gas is supplied to pressurize the first ZMS column to adsorb nitrogen, and the second ZMS column is depressurized to desorb nitrogen. The product discharged from the first ZMS column is supplied to the CMS column, Second step;

CMS탑을 감압시켜 제품 가스를 생산하고, 이를 저장하는 제 3 단계; A third step of decompressing the CMS column to produce product gas and storing the product gas;

저장된 제품 가스를 이용하여 CMS탑 및 제 2 차 ZMS탑을 세정하는 제 4 단계; 및A fourth step of cleaning the CMS tower and the second ZMS tower using the stored product gas; And

저장된 제품 가스를 이용하여 CMS탑을 세정하면서, 제 1 차 및 제 2 차 ZMS탑의 회수 및 균압 공정을 수행하는 제 5 단계를 포함하는 산소 생산 장치의 제어 방법에 관한 것이다.And a fifth step of performing the recovery and equalization processes of the first and second ZMS tows while cleaning the CMS tower using the stored product gas.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 제어 방법의 일 태양을 보다 구체적으로 설명한다. 첨부된 도 2 내지 11은 본 발명의 제어 방법의 각 단계의 구동 상태 및 유체 흐름을 나타내는 개략도이다. Hereinafter, an embodiment of the control method of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 2 is a schematic view showing the driving state and fluid flow of each step of the control method of the present invention.

본 발명의 제 1 단계에서는, 도 2에 나타난 바와 같이, 3, 9, 11, 14, 17 및 19번 밸브가 개방된다. 이에 따라 전 단계에서 저장 탱크(9)에 저장되어 있던 가스(ZMS탑 시스템을 경유하여 질소 성분이 배제된 가스)는 14번 밸브를 경유하여 CMS탑(10)으로 도입되고, 상기는 CMS탑(10)을 가압하여, 산소 흡착 공정이 진행된다. 이 때 CMS탑 (10)으부터 배출되는 가스는 17, 11 및 9번 밸브를 순차 경유하여 제 1 차 ZMS탑(5)으로 도입되며, 이를 통해 제 1 차 ZMS탑(5)을 승압하게 된다. 이 경우 제 1 차 ZMS탑(5)을 승압하는 CMS탑(10) 배출 가스는 산소 성분이 풍부하므로, 제 1 차 ZMS탑(5)의 상부는 ZMS에 대해 약흡착 성분인 산소가 풍부해지게 되고, 또한 질소는 탑의 하부로 이동하게 된다. In the first step of the present invention, valves 3, 9, 11, 14, 17 and 19 are opened as shown in Fig. Accordingly, the gas stored in the storage tank 9 in the previous stage (the nitrogen-excluded gas via the ZMS tower system) is introduced into the CMS tower 10 via the No. 14 valve, and the CMS tower 10) is pressurized, and the oxygen adsorption process proceeds. At this time, the gas discharged from the CMS column 10 is introduced into the first ZMS column 5 through the valves 17, 11 and 9 in sequence, thereby boosting the first ZMS column 5 . In this case, since the exhaust gas of the CMS column 10 which boosts the first ZMS column 5 is rich in oxygen components, the upper part of the first ZMS column 5 is rich in oxygen, And the nitrogen is moved to the lower part of the tower.

본 발명에서는 전술한 제 1 차 ZMS탑 승압 공정 시에 제 2 차 ZMS탑(6)의 감압 공정을 함께 수행하는 것이 바람직하다. 상기 제 2 차 ZMS탑(6)의 감압은 개방된 3 및 19번 밸브와 연결된 감압 수단인 진공 펌프(12)를 통하여 수행될 수 있다. 이와 같이 제 2 차 ZMS탑(6)의 내부가 감압되면, 흡착되어 있던 질소가 탈착되어 흡착제의 재생이 이루어지게 되며, 이에 따라 이어지는 단계에서 배출 가스의 순도 및 회수율을 높일 수 있게 되는 이점이 있다. 상기와 같은 본 발명의 제 1 단계는 약 3 내지 7초 동안 수행되는 것이 바람직하다. 그러나, 상기 공정 시간은 본 발명의 일 태양에 불과하며, 본 발명에서는 목적하는 산소의 순도 및/또는 회수율을 고려하여 공정 시간을 자유롭게 변경할 수 있다.In the present invention, it is preferable to perform the depressurization step of the second ZMS tower 6 at the time of the first ZMS tower elevation step. The depressurization of the second ZMS column 6 can be performed through a vacuum pump 12, which is a depressurization means connected to open valves 3 and 19. When the interior of the second ZMS column 6 is depressurized, the adsorbed nitrogen is desorbed and the adsorbent is regenerated. Accordingly, the purity and recovery rate of the exhaust gas can be increased at a subsequent stage . The first step of the present invention is preferably performed for about 3 to 7 seconds. However, the above process time is only one aspect of the present invention. In the present invention, the process time can be freely changed in consideration of the purity and / or recovery rate of the desired oxygen.

첨부된 도 3은 본 발명의 제 2 단계의 장치 구동 상태를 나타내며, 상기 제 2 단계는 전술한 제 1 단계 후에 장치의 9 및 11번 밸브를 잠그고, 1, 7 및 12번 밸브를 새롭게 개방함으로써, 수행될 수 있다. 이에 따라 본 발명의 제 2 단계에서는 개방된 1번 밸브를 통해 원료 가스 공급 장치(1)로부터 원료가 공급되고, 이로 인해 제 1 차 ZMS탑(5)이 승압되어 질소 흡착 공정이 수행되게 된다. 또한, 상기 제 1 차 ZMS탑(5)으로부터 배출된 가스는, 7 및 14번 밸브를 경유하여 CMS탑(10)으로 유입된다. 이 때 상기 ZMS탑(5)의 배출 가스는, 상기 ZMS탑 시스템(5, 6) 상부와 유체 연결된 압축기(8)에 의해 CMS탑(10)으로의 도입 전에 압축될 수 있다. 또한 상기 ZMS탑(5)의 배출 가스는 상기 압축기(8)의 양 방향에 존재하는 저장 탱크(7, 9)에서 압축 공정 전 후에 일시적으로 저장될 수도 있다. Fig. 3 of the accompanying drawings shows the device driving state of the second stage of the present invention, in which the valves 9 and 11 of the device are closed after the above-mentioned first stage and the valves 1, 7 and 12 are newly opened , Can be performed. Accordingly, in the second step of the present invention, the raw material is supplied from the raw material gas supply device 1 through the opened No. 1 valve, whereby the first ZMS column 5 is stepped up to perform the nitrogen adsorption process. In addition, the gas discharged from the first ZMS column 5 flows into the CMS column 10 via valves 7 and 14. The effluent gas of the ZMS column 5 can then be compressed before introduction into the CMS column 10 by the compressor 8 fluidly connected to the top of the ZMS column system 5,6. Also, the exhaust gas of the ZMS column 5 may be temporarily stored in the storage tanks 7 and 9 existing in both directions of the compressor 8 before and after the compression process.

상기와 같이 질소 성분이 배제된 가스가 유입되면, CMS탑(10)은 가압되고, 산소 흡착 공정을 수행하게 된다. 특별히 한정되는 것은 아니지만, 상기에서 가압되는 CMS탑(10) 내부 압력은 약 4 내지 5 kg/cm2g의 범위에 있는 것이 바람직하다. 상기 압력이 4 kg/cm2g보다 작으면, CMS탑에서의 흡착 공정이 원활히 수행되지 않아 산소 회수율 및 순도가 저하될 우려가 있고, 5 kg/cm2g를 초과하면, 경제성이 떨어진다. When the nitrogen-excluded gas is introduced as described above, the CMS column 10 is pressurized and the oxygen adsorption process is performed. Although not particularly limited, it is preferable that the pressure inside the CMS column 10 to be pressurized is in the range of about 4 to 5 kg / cm 2 g. If the pressure is less than 4 kg / cm 2 g, the adsorption process in the CMS column is not smoothly performed, and the oxygen recovery rate and purity may be lowered. If the pressure exceeds 5 kg / cm 2 g, the economical efficiency is lowered.

본 발명의 제 2 단계는 또한 CMS탑(10)으로부터 배출되는 가스를 ZMS탑 시스템(5, 6)의 전단으로 회수하여, 이를 원료 가스에 포함시키는 것이 바람직하다. 즉, CMS탑(10)의 흡착 공정이 일정시간 지속되면, 상기 탑(10) 내부의 흡착제가 과포화 상태(파과 상태)가 되어 산소 흡착능력이 저하되게 된다. 따라서, 파과 상태 의 탑(10)을 경유한 가스를 ZMS탑 시스템으로 재공급하여 반복적으로 흡착 공정을 수행하게 되면, 제품 가스의 회수율을 더욱 향상시킬 수 있는 이점이 있다. 이와 같은 회수 공정을 수행하는 방법은 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면 12 및 17번 밸브를 개방함으로써 수행될 수 있다. 이와 같이 밸브를 개방함으로써 CMS탑(10) 상부로부터 배출된 가스는 17 및 12번 밸브를 순차 경유하여 ZMS탑의 전단부로 회수된다. 이와 같은 제 2 단계는 약 30 내지 50초 동안 수행되는 것이 바람직하지만, 이에 제한되는 것은 아니다.The second step of the present invention is also preferably to recover the gas discharged from the CMS tower 10 to the front end of the ZMS tower systems 5 and 6 and to include them in the raw gas. That is, if the adsorption process of the CMS column 10 is continued for a certain period of time, the adsorbent in the column 10 becomes supersaturated (broken state) and the oxygen adsorption capability is lowered. Therefore, when the gas passing through the tower 10 in the breakthrough state is supplied again to the ZMS tower system and repeatedly carried out the adsorption process, there is an advantage that the recovery rate of the product gas can be further improved. The method for carrying out the recovery process is not particularly limited, and can be performed, for example, by opening valves 12 and 17. The gas discharged from the top of the CMS column 10 by opening the valve is recovered to the front end of the ZMS column via the seventeenth and twelfth valves in turn. Such a second step is preferably performed for about 30 to 50 seconds, but is not limited thereto.

이어지는 제 3 단계는 CMS탑(10)을 감압시켜, CMS에 흡착되어 있던 산소를 제품 가스로서 생산하게 되며, 상기는 CMS탑(10) 하부와 유체 연결된 저장 탱크(11)에 저장되게 된다. 이와 같은 제 3 단계는 도 4에 나타난 바와 같이, 제 2 단계에 이어서 15번 밸브를 새롭게 개방하고, 12, 14 및 17번 밸브를 잠금으로써 수행될 수 있다. 밸브의 상태를 상기와 같이 제어하게 되면, 개방된 15번 밸브를 통해서 CMS탑(10) 내부는 감압되어 제품 가스 (산소)가 생산되며, 상기는 저장 탱크(11)에 저장되게 된다. 이와 같은 공정은 약 1 내지 5초 동안 수행되는 것이 바람직하다. 그렇지만, 상기 공정 시간은 CMS탑(10) 내부에 흡착되어 있는 산소의 양에 따라 결정되는 것으로, 상기 특정된 범위에 한정되는 것은 아니다.In the following third step, the CMS tower 10 is depressurized to produce the oxygen adsorbed on the CMS as product gas, which is stored in the storage tank 11 fluidly connected to the lower portion of the CMS tower 10. Such a third step may be performed by opening the valve 15 again and locking the valves 12, 14 and 17 following the second step, as shown in FIG. When the state of the valve is controlled as described above, the inside of the CMS column 10 is depressurized through the opened valve 15 to produce product gas (oxygen), which is stored in the storage tank 11. Such a process is preferably carried out for about 1 to 5 seconds. However, the process time is determined according to the amount of oxygen adsorbed in the CMS column 10, and is not limited to the specified range.

본 발명의 제 4 단계는 상기 저장 탱크(11)에 저장된 제품 가스의 전부 또는 일부를 사용하여 제 2 차 ZMS탑(6) 및 CMS탑(10)을 승압, 세정 및 회수하는 공정이 다. 즉, 제 4 단계에서는 도 5에 나타난 바와 같이, 10, 11, 16 및 18번 밸브를 새롭게 개방하고, 15번 밸브를 잠근다. 상기와 같이 밸브를 제어하게 되면, 제 3 단계에서 저장 탱크(11)에 저장된 제품 가스는 18번 밸브를 경유하여 CMS탑(10)으로 유입되어, 세정 공정을 수행하며, 그 후에 CMS탑 (10)의 하부로 배출된 가스는 16, 11 및 10번 밸브를 통해 제 2 차 ZMS탑(6)으로 유입되어, 세정 공정을 진행하게 된다. The fourth step of the present invention is a step of elevating, washing, and recovering the second ZMS tower 6 and the CMS tower 10 using all or a part of the product gas stored in the storage tank 11. That is, in the fourth step, valves 10, 11, 16 and 18 are newly opened and the valve 15 is closed as shown in FIG. When the valve is controlled as described above, the product gas stored in the storage tank 11 in the third step flows into the CMS tower 10 via the No. 18 valve to perform the cleaning process. Thereafter, the CMS tower 10 ) Flows into the second ZMS tower 6 through the valves 16, 11 and 10, and proceeds to the washing process.

특별히 한정되는 것은 아니지만, 상기와 같은 세정 공정은 제 2 차 ZMS탑(6)의 탈착 라인이 개방된 상태에서 수행되는 것이 바람직하다. 본 발명에서 사용하는 용어 『탈착 라인』은 ZMS탑 또는 CMS탑의 내부 압력을 감소시켜, 흡착된 물질의 이탈 및 제거를 수행할 수 있는 배관의 상태를 의미한다. 즉, 예를 들면 상기 제 2 차 ZMS탑(6)의 『탈착 라인의 개방』은 3 및 19번 밸브를 개방함으로써 수행될 수 있다. 이에 따라 진공 펌프(12)에 의해 제 2 차 ZMS탑(6)이 감압되어 탈착이 진행되게 된다. 상기와 같은 본 발명의 제 4 단계는 약 10 내지 16초 동안 수행되는 것이 바람직하다. 상기 공정 시간이 10초보다 작으면, CMS탑(10) 및 제 2 차 ZMS탑(6)의 세정 효과가 저하될 우려가 있고, 16초를 초과하면, 더 이상의 세정 효과가 발휘되지 않는다.Although not particularly limited, it is preferable that the cleaning process is performed in a state in which the detachment line of the second ZMS column 6 is opened. The term " desorption line " used in the present invention means the state of the piping capable of reducing the internal pressure of the ZMS column or the CMS column to perform separation and removal of the adsorbed material. That is, for example, the " opening of the desorption line " of the second ZMS column 6 can be performed by opening valves 3 and 19. As a result, the secondary ZMS column 6 is depressurized by the vacuum pump 12 and the detachment proceeds. The fourth step of the present invention is preferably performed for about 10 to 16 seconds. If the process time is less than 10 seconds, the cleaning effect of the CMS column 10 and the second ZMS column 6 may be deteriorated. If the process time exceeds 16 seconds, the further cleaning effect is not obtained.

전술한 본 발명의 제 3 단계 내지 및 제 4 단계가 진행되는 동안에 원료 가스를 제 1 차 ZMS탑(5)으로 공급하여, 질소 흡착 공정을 수행하고, 생산된 가스를 저장 탱크(9)에 저장하는 것이 바람직하다. 이와 같은 공정은, 상기 단계들이 진 행되는 동안 1 및 7번 밸브를 계속적으로 개방하여, 원료 가스의 공급 상태를 계속적으로 유지함으로써 수행될 수 있다. 또한, 상기에 의해 제 1 차 ZMS탑(5)으로부터 배출된 생성물은 저장탱크 (7) 및 압축기 (8)를 경유한 후, 저장 탱크(9)에 저장되는 것이 바람직하다. 이와 같이 저장된 가스는, CMS탑(10)의 배출가스로 ZMS탑을 예비 승압하는 과정(예를 들면, 상기 제 1 단계)에서 CMS탑(10)으로 공급된다. 상기와 같은 질소 흡착 공정이 계속되는 동안, 제 1 차 ZMS탑(5)의 내부 압력은 약 0.1 내지 0.5 kg/cm2g 정도로 유지되는 것이 바람직하다. 상기 압력이 0.1 kg/cm2g보다 작으면, 흡착 공정이 원활히 수행되지 않을 우려가 있고, 0.5 kg/cm2g를 초과하면, 경제성이 떨어진다.During the third to fourth steps of the present invention, the raw material gas is supplied to the first ZMS column 5 to perform the nitrogen adsorption process, and the produced gas is stored in the storage tank 9 . Such a process can be performed by continuously opening valves 1 and 7 while the above steps are being performed, and continuously maintaining the supply state of the source gas. It is also preferable that the product discharged from the first ZMS column 5 is stored in the storage tank 9 after passing through the storage tank 7 and the compressor 8. The thus stored gas is supplied to the CMS tower 10 in a process (for example, the first stage) in which the ZMS column is preliminarily boosted with the exhaust gas of the CMS tower 10. [ While the above nitrogen adsorption process is continued, the internal pressure of the first ZMS column 5 is preferably maintained at about 0.1 to 0.5 kg / cm 2 g. If the pressure is less than 0.1 kg / cm 2 g, the adsorption process may not be performed smoothly. If the pressure is more than 0.5 kg / cm 2 g, the economical efficiency is low.

본 발명의 제 5 단계에서는 제 1 차 및 제 2 차 ZMS탑(5, 6)의 내부 압력을 평등화시키는 공정(균압 공정)이 수행된다. 상기 공정은, 도 6에 나타난 바와 같이, 1, 7, 10 및 11번 밸브를 잠그고, 2 및 6번 밸브를 새롭게 개방함으로써 수행될 수 있다. 상기와 같이 밸브의 상태를 제어하면 상대적으로 고압 상태인 제 1 차 ZMS탑(5)으로부터 제 2 차 ZMS탑(6)의 방향으로 균압 공정이 진행된다. In the fifth step of the present invention, a process of equalizing the internal pressures of the first and second ZMS columns 5, 6 (equalization process) is performed. This process can be performed by locking valves 1, 7, 10 and 11 and opening valves 2 and 6 as shown in Fig. When the state of the valve is controlled as described above, the pressure equalization process proceeds from the first ZMS column 5 in the relatively high pressure to the second ZMS column 6.

특별히 한정되는 것은 아니지만, 상기 균압 공정은 ZMS탑 시스템의 탈착 라인을 개방한 상태로 진행하는 것이 바람직하다. 이 때 『탈착 라인』의 의미는 전술한 바와 같으며, ZMS탑 시스템, 즉 제 1 차 및 제 2 차 ZMS탑(5, 6)의 탈착 라인의 개방은 2, 3 및 19번 밸브를 개방함으로써 수행될 수 있다. 이와 같이 ZMS탑 시스템(5, 6)의 탈착 라인이 개방된 상태로 균압 공정을 수행함으로써, 제 1 차 ZMS탑(5) 상부에 흡착된 질소가스 성분이 순간적으로 제 2 차 ZMS탑(6) 상부로 유입하는 현상을 방지할 수 있고, 또한 제 1 차 및 제 2 차 ZMS탑(5, 6) 하부에 흡착된 잔류 질소 가스 성분을 제거할 수 있게 된다.Although it is not particularly limited, it is preferable that the pressure equalization step proceeds in a state in which the desorption line of the ZMS tower system is opened. In this case, the meaning of the " desorption line " is as described above, and the opening of the detachment line of the ZMS tower system, i.e., the first and second ZMS columns 5 and 6, . The nitrogen gas component adsorbed on the first ZMS column 5 is momentarily transferred to the second ZMS column 6 by instantaneously performing the pressure equalization process in the state that the disconnection line of the ZMS column system 5, So that it is possible to remove the residual nitrogen gas component adsorbed on the lower part of the first and second ZMS columns 5, 6.

이러한 균압 공정은 제 1 차 및 제 2 차 ZMS탑(5, 6) 내의 압력이 대기압 수준에 이를 때까지 수행되는 것이 바람직하지만, 이에 제한되는 것은 아니다. This equalization process is preferably, but not exclusively, carried out until the pressure in the first and second ZMS tows 5, 6 reaches atmospheric pressure.

본 발명의 제 5 단계에서는 또한 전술한 균압 공정과 함께, 저장 탱크(11)에 저장된 산소 성분이 풍부한 가스(제품 가스)로 CMS탑(10) 내부를 세정하는 공정을 수행한다. 이와 같은 공정은 균압 공정이 진행 중에 18번 밸브를 개방하여 둠으로써, 수행할 수 있다. 즉, 상기와 같이 밸브 상태를 제어하게 되면, 저장 탱크(11)에 저장된 제품 가스가 18번 밸브를 경유하여 CMS탑(10)으로 유입되어 세정 공정이 수행된다. 또한, 본 발명에서는 상기 공정 중 12 및 16번 밸브를 개방하여 둠으로써, CMS탑(10) 세정 공정 종료된 배출 가스를 ZMS탑 전단으로 회수할 수 있으며, 이에 따라 이어지는 질소 흡착 공정을 준비할 수 있다.In the fifth step of the present invention, in addition to the above-described pressure equalization step, the inside of the CMS column 10 is cleaned with oxygen-rich gas (product gas) stored in the storage tank 11. Such a process can be performed by opening the valve 18 during the equalization process. That is, when the valve state is controlled as described above, the product gas stored in the storage tank 11 flows into the CMS tower 10 via the No. 18 valve, and the cleaning process is performed. In the present invention, by opening the valves 12 and 16 in the process, the exhaust gas after the cleaning process of the CMS column 10 can be recovered to the front end of the ZMS column, and thus the following nitrogen adsorption process can be prepared have.

이상 설명한 산소 생산 장치의 구동 단계는 본 발명에서 제 1 차 ZMS탑(5)의 가압 및 흡착; 그리고 제 2 차 ZMS탑(6)의 감압 및 탈착 공정이 진행되면서 산소를 생산하는 단계이다. 본 발명의 방법에서는 또한, 상기 단계에 이어서 제 1 차 및 제 2 차 ZMS탑의 역할을 교체하여, 산소 생산 공정을 연속적으로 수행할 수 있다. 즉, 본 발명에서는 전술한 단계에 이어서, 제 1 차 ZMS탑(5)에서는 감압 및 탈착, 그리고 제 2 차 ZMS탑(6)에서는 가압 및 흡착을 유도하여, 산소 생산 공정을 진행한다. 이 때 구동 단계는 제 1 차 및 제 2 차 ZMS탑의 역할이 교체된 점을 제외하면, 전술한 제 1 단계 내지 제 5 단계와 유사하며, 이하 밸브 구동 상태를 중심으로 이를 개략적으로 설명한다.The driving step of the oxygen production apparatus described above is performed in the present invention by pressing and adsorbing the first ZMS column 5; And the step of decompressing and desorbing the second ZMS column 6 proceeds to produce oxygen. In the method of the present invention, it is also possible to perform the oxygen production process continuously by replacing the roles of the first and second ZMS towers following this step. That is, in the present invention, following the above-described steps, depressurization and desorption are performed in the first ZMS tower 5, and pressurization and adsorption are conducted in the second ZMS tower 6, thereby proceeding the oxygen production process. In this case, the driving step is similar to the first to fifth steps except that the roles of the first and second ZMS towers are replaced. Hereinafter, the valve driving state will be schematically described.

본 발명에서는 전술한 제 5 단계에 이어서 2. 10, 11, 14, 17 및 19번 밸브를 개방한다 (도 7 참조). 이에 따라 상기 제 3 단계 및 제 4 단계에서 저장 탱크(9)에 저장되어 있던 질소 성분이 배제된 가스가 CMS탑(10)으로 유입되어, 산소 흡착 공정이 진행된다. 또한 산소 흡착 후 배출된 가스는 17, 11 및 10번 밸브를 순차 경유하여 제 2 차 ZMS탑(6)으로 도입, 상기 탑(6)의 승압 및 세정 공정을 진행한다. 또한, 상기 단계에서는 제 1 차 ZMS탑(5)은 2 및 19번 밸브와 진공 펌프(12) (탈착 라인)에 의해 감압되어, 이전 단계에서 내부에 흡착된 물질을 이탈 및 제거한다 (재생 공정).In the present invention, 2. 10, 11, 14, 17 and 19 valves are opened following the above-described fifth step (see FIG. 7). Accordingly, in the third and fourth steps, the nitrogen-free gas stored in the storage tank 9 flows into the CMS column 10, and the oxygen adsorption process proceeds. Also, the gas discharged after the oxygen adsorption is introduced into the second ZMS column 6 through the valves 17, 11 and 10 in order, and the step-up and cleaning process of the column 6 proceeds. In this step, the first ZMS column 5 is depressurized by the valves 2 and 19 and the vacuum pump 12 (desorption line) to remove and remove the substances adsorbed therein in the previous step ).

상기 단계에 이어서, 산소 생산 장치의 2, 4, 8, 12, 14, 17 및 19번 밸브를 개방한다 (도 8 참조). 이에 따라, 제 2 차 ZMS탑(6)은 송풍기(2)로부터 원료 가스를 받아 가압 및 흡착 공정을 진행하고, 제 1 차 ZMS탑(5)은 2 및 19번 밸브를 통하여 계속적으로 탈착된다. 또한 제 2 차 ZMS탑(6)으로부터의 배출 가스는 8 및 14번 밸브를 통하여 CMS탑(10)으로 유입되어, CMS탑(10)의 가압 및 흡착을 진행시킨다. Following this step, valves 2, 4, 8, 12, 14, 17 and 19 of the oxygen production device are opened (see FIG. 8). Accordingly, the second ZMS column 6 receives the raw material gas from the blower 2 and presses and sucks the raw material gas. The first ZMS column 5 is continuously detached through valves 2 and 19. Also, the exhaust gas from the second ZMS column 6 flows into the CMS column 10 through valves 8 and 14 to advance the pressurization and adsorption of the CMS column 10.

상기 단계를 약 30 내지 50초 동안 수행한 후, 15번 밸브를 새롭게 개방하 고, 12, 14 및 17번 밸브가 잠근다 (도 9 참조). 이에 따라 CMS탑(10)의 감압 및 탈착 공정이 진행되어 제품 가스를 생산 및 저장하게 된다. 이어서, 9, 11, 16 및 18번 밸브를 새롭게 개방하고, 15번 밸브를 잠그면, 탱크(11)에 저장되어 있던 산소 성분이 풍부한 제품 가스에 의해 CMS탑(10) 및 제 1 차 ZMS탑(5)을 순차 세정할 수 있다 (도 10 참조). 다음으로, 3, 6 및 12번 밸브를 새롭게 개방하고, 4, 8, 9 및 11번 밸브를 잠금으로써, 제 1 차 및 제 2 차 ZMS탑(5, 6)간의 균압 및 CMS탑(10)의 세정 공정을 수행할 수 있다 (도 11 참조). After performing this step for about 30 to 50 seconds, valve 15 is newly opened and valves 12, 14 and 17 are closed (see FIG. 9). Accordingly, the decompression and desorption process of the CMS column 10 proceeds to produce and store the product gas. Subsequently, when valves 9, 11, 16 and 18 are newly opened and the valve 15 is closed, the oxygen-enriched product gas stored in the tank 11 causes the CMS column 10 and the first ZMS column 5) can be sequentially cleaned (see Fig. 10). Next, by newly opening the valves 3, 6 and 12 and locking the valves 4, 8, 9 and 11, the pressure equalization between the first and second ZMS columns 5, (See Fig. 11).

이상 설명한 제 1 차 및 제 2 차 ZMS탑의 역할이 교체되면서 산소 생산 공정이 진행되는 한 세트의 단계를 정리하면 하기 표 1 및 2와 같다. 하기 표 1은 제 1 차 ZMS탑에서는 가압 및 흡착이 진행되고, 제 2 차 ZMS탑에서는 감압 및 탈착 공정이 일어나는 전술한 제 1 단계 내지 제 5 단계의 공정을 정리한 것이며, 표 2는 상기 단계에 이어서 제 1 차 및 제 2 차 ZMS탑의 역할이 교체되어 산소 생산 공정이 진행되는 과정을 정리한 것이다.One set of steps for the oxygen production process with the roles of the first and second ZMS towers described above being reversed are summarized in Tables 1 and 2 below. Table 1 below summarizes the processes of the first to fifth steps in which pressurization and adsorption proceed in the first ZMS column and decompression and desorption processes occur in the second ZMS column. And then the roles of the first and second ZMS towers are replaced to form an oxygen production process.

[표 1][Table 1]

제 1 단계Step 1 제 2 단계Step 2 제 3 단계Step 3 제 4 단계Step 4 제 5 단계Step 5 1st ZMS1 st ZMS PRPR ADAD PEPE 2nd ZMS2 nd ZMS DEDE PUPU PEPE CMSCMS ADAD DEDE PUPU PUPU 개방 밸브Opening valve 3, 9, 11, 14, 17, 193, 9, 11, 14, 17, 19 1, 3, 7, 12, 14, 17, 191, 3, 7, 12, 14, 17, 19 1, 3, 7, 15, 191, 3, 7, 15, 19 1, 3, 7, 10, 11, 16, 18, 191, 3, 7, 10, 11, 16, 18, 19 2, 3, 6, 12, 16, 18, 192, 3, 6, 12, 16, 18, 19 공정 시간Process time 3 내지 7초3 to 7 seconds 30 내지 50초30 to 50 seconds 1 내지 5초1 to 5 seconds 10 내지 16초10 to 16 seconds 1 내지 5초1 to 5 seconds

(PR; 승압: AD; 흡착: DE; 감압: PU; 세정: PE; 균압)(PR: pressure increase: AD: adsorption: DE: reduced pressure: PU: washing: PE:

[표 2] [Table 2]

제 6 단계Step 6 제 7 단계Step 7 제 8 단계Step 8 제 9 단계Step 9 제 10 단계Step 10 1st ZMS1 st ZMS DEDE PUPU PEPE 2nd ZMS2 nd ZMS PRPR ADAD PEPE CMSCMS ADAD DEDE PUPU PUPU 개방 밸브Opening valve 2, 10, 11, 14, 17, 192, 10, 11, 14, 17, 19 2, 4, 8, 12, 14, 17, 192, 4, 8, 12, 14, 17, 19 2, 4, 8, 15, 192, 4, 8, 15, 19 2, 4, 8, 9, 11, 16, 18, 192, 4, 8, 9, 11, 16, 18, 19 2, 3, 6, 12, 16, 18, 192, 3, 6, 12, 16, 18, 19 공정 시간Process time 3 내지 7초3 to 7 seconds 30 내지 50초30 to 50 seconds 1 내지 5초1 to 5 seconds 10 내지 16초10 to 16 seconds 1 내지 5초1 to 5 seconds

(PR; 승압: AD; 흡착: DE; 감압: PU; 세정: PE; 균압)(PR: pressure increase: AD: adsorption: DE: reduced pressure: PU: washing: PE:

본 발명에서는 상기 표 1 및 2에 나타난 한 세트의 공정을 계속적으로 반복하면서, 산소 생산 공정을 진행할 수 있다. 이 때 반복 횟수는 특별히 한정되지 않으며, 목적하는 생산량 등에 따라서 적절히 선택될 수 있다. 본 발명에서는 상기와 같이 ZMS탑 시스템 및 CMS탑 시스템의 구동 조건을 제어하여, 질소와 산소의 흡착 공정을 반복적으로 수행하고, 장치로부터 배출되는 산소 성분이 풍부한 가스를 ZMS탑 및 CMS탑을 승압, 세정 및 회수 공정에 재활용함으로써, 제품 가스(산소)의 순도를 약 97% 이상으로 유지하면서, 53% 이상의 회수율을 달성할 수 있다.In the present invention, the oxygen production process can be carried out while continuously repeating one set of the processes shown in Tables 1 and 2 above. The number of repetitions is not particularly limited, and can be appropriately selected according to the desired production amount and the like. In the present invention, the driving conditions of the ZMS tower system and the CMS tower system are controlled as described above to repeatedly perform the adsorption process of nitrogen and oxygen, and the gas rich in the oxygen components discharged from the apparatus is supplied to the ZMS tower and the CMS tower, By recycling in the cleaning and recovery process, a recovery rate of 53% or more can be achieved while maintaining the purity of the product gas (oxygen) at about 97% or more.

이상 2개의 ZMS탑 및 1개의 CMS탑을 포함하는 본 발명의 산소 생산 장치의 일 태양을 위주로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이에 한정되지 않고, 필요에 따라서는 3개 이상의 ZMS탑 및/또는 2개 이상의 CMS탑이 포함된 경우에 있어서도, 상 기와 동일한 원리를 채용하여 산소 생산 공정을 진행할 수 있다.The present invention is not limited to this, and it is possible to use three or more ZMS towers and / or two or more ZMS towers as needed Even when more than two CMS columns are included, the oxygen production process can be carried out using the same principle as above.

도 1은 본 발명의 일 태양에 따른 산소 생산 장치를 나타내는 모식도이다.1 is a schematic diagram showing an oxygen production apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2 내지 11은 본 발명의 일 태양에 따른 산소 생산 장치의 구동 상태를 나타내는 모식도이다.2 to 11 are schematic views showing the driving state of the oxygen production apparatus according to an embodiment of the present invention.

<도면 부호의 설명>&Lt; Description of reference numerals &

AV: 밸브 번호AV: valve number

1: 원료 가스 공급 장치1: Feed gas supply device

2: 송풍기2: blower

3: 균압기3:

5: 제 1 차 제올라이트탑5: First zeolite tower

6: 제 2 차 제올라이트탑6: Second zeolite tower

7, 9, 11: 저장 탱크7, 9, 11: Storage tank

8: 압축기8: Compressor

12: 진공 펌프12: Vacuum pump

Claims (14)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1 차 및 제 2 차 제올라이트탑, Carbon molecular Seive(CMS)탑 및 저장 탱크를 포함하는 산소 생산 장치를 제어하는 방법에 있어서,CLAIMS 1. A method of controlling an oxygen production apparatus comprising a first and a second zeolite tower, a carbon molecular sieve (CMS) tower and a storage tank, Carbon molecular Seive(CMS)탑으로부터 배출되는 산소 성분이 풍부한 가스로 제 1 차 제올라이트탑을 승압하는 제 1 단계; A first step of raising the first zeolite column with a gas rich in oxygen, which is discharged from a carbon molecular sieve (CMS) column; 원료 가스를 공급하여 제 1 차 제올라이트탑을 가압시켜 질소를 흡착시키고, 제 2 차 제올라이트탑을 감압시켜 질소를 탈착시키며, 제 1 차 제올라이트탑에서 배출된 생성물을 Carbon molecular Seive(CMS)탑으로 공급하여, 산소를 흡착시키는 제 2 단계; The first zeolite column is pressurized to supply nitrogen gas, the second zeolite column is decompressed to desorb nitrogen, and the product discharged from the first zeolite column is fed to a carbon molecular sieve (CMS) column A second step of adsorbing oxygen; Carbon molecular Seive(CMS)탑을 감압시켜 제품 가스를 생산하고, 이를 저장하는 제 3 단계; A third step of decompressing the carbon molecular sieve (CMS) column to produce the product gas and storing it; 저장된 제품 가스를 이용하여 Carbon molecular Seive(CMS)탑 및 제 2 차 제올라이트탑을 세정하는 제 4 단계; 및A fourth step of cleaning the carbon molecular sieve (CMS) tower and the second zeolite tower using the stored product gas; And 저장된 제품 가스를 이용하여 Carbon molecular Seive(CMS)탑을 세정하면서, 제 1 차 및 제 2 차 제올라이트탑의 회수 및 균압 공정을 수행하는 제 5 단계를 포함하며, And a fifth step of recovering and equalizing the first and second zeolite columns while washing the carbon molecular sieve (CMS) column using the stored product gas, 제 2 단계에서 Carbon molecular Seive(CMS)탑으로부터 배출되는 가스를 제올라이트탑 시스템의 전단으로 회수하는 공정을 추가로 수행하는 것을 특징으로 하는 산소 생산 장치의 제어 방법.Further comprising the step of recovering the gas discharged from the carbon molecular sieve (CMS) column to the front end of the zeolite tower system in the second step. 제 7 항에 있어서,8. The method of claim 7, 제 2 단계에서 제 1 차 제올라이트탑 상부 생성물을 Carbon molecular Seive(CMS)탑으로 도입하기 전에, 상기 생성물을 압축하는 공정을 추가로 수행하는 것을 특징으로 하는 방법.Further comprising the step of compressing the product prior to introducing the first zeolite tower overhead product to a Carbon molecular Sieve (CMS) tower in a second step. 삭제delete 제 7 항에 있어서,8. The method of claim 7, 제 4 단계의 세정 공정을 제 2 차 제올라이트탑의 탈착 라인을 개방한 상태로 수행하는 것을 특징으로 하는 방법.Wherein the cleaning step of the fourth step is carried out with the desorption line of the second zeolite tower being opened. 제 7 항에 있어서,8. The method of claim 7, 제 3 단계 및 제 4 단계가 진행되는 동안에 원료 가스를 제 1 차 제올라이트탑으로 공급하여, 질소 흡착 공정을 계속적으로 수행하는 것을 특징으로 하는 방법.The feed gas is supplied to the first zeolite tower during the third and fourth steps so that the nitrogen adsorption process is continuously carried out. 제 7 항에 있어서,8. The method of claim 7, 균압 공정을 제 1 차 및 제 2 차 제올라이트탑의 탈착 라인을 개방한 상태로 수행하는 것을 특징으로 하는 방법.Wherein the pressure equalization step is carried out with the desorption lines of the first and second zeolite columns open. 제 7 항에 있어서,8. The method of claim 7, 제 5 단계에서 Carbon molecular Seive(CMS)탑 세정 후 배출된 가스를 제올라이트탑 시스템 전단으로 회수하는 공정을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.Further comprising the step of recovering the discharged gas after the Carbon Molecular Seepage (CMS) tower cleaning in the fifth step to the front end of the zeolite tower system. 제 7 항에 있어서,8. The method of claim 7, 제 5 단계에 이어서,Following the fifth step, 제 1 차 및 제 2 차 제올라이트탑의 구동 상태를 서로 교체하여 동일한 공정을 반복하여 수행하는 것을 특징으로 하는 방법.Wherein the first and second zeolite columns are driven and replaced with each other to repeat the same process.
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