KR101385663B1 - Wire saw with ingot swing mechanism for improvement of sawing stability - Google Patents

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KR101385663B1
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한국생산기술연구원
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    • B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
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Abstract

잉곳을 선회시키면서 절단 와이어에 가압하여 다수의 웨이퍼로 절단하는 와이어 쏘를 개시한다. 이송나사는 잉곳 승강프레임을 승하강시켜 잉곳을 주행하는 절단와이어로 승하강시킨다. 잉곳 스윙모터는 잉곳 스윙하우징 내의 잉곳을 절단평면을 따라 선회시킨다. 승강프레임의 승하강을 가이드하기 위한 승강 가이드레일은 그 연장평면이 절단와이어의 절단평면과 교차하도록 설치되며, 잉곳 스윙모터는 링크 동력전달기구(1100)에 의해 안정적이고 견고하게 잉곳 스윙모터의 회전력을 잉곳 스윙축에 전달한다. 링크전달기구(1100)의 링크절(1130)은 절단평면에 수직인 방향에서 서로 쌍을 이루어 상기 스윙모터와 잉곳 스윙축 사이에 설치된다. 이와 같은 구성에 따라, 안정되고 견고한 고강성 와이어 쏘장비가 제공될 수 있다. Disclosed is a wire saw for pressing a cutting wire while turning an ingot to cut a plurality of wafers. The feed screw is lifted up and down by the cutting wire driving the ingot by raising and lowering the ingot lifting frame. The ingot swing motor pivots the ingot in the ingot swing housing along the cutting plane. The lifting guide rail for guiding the lifting frame of the lifting frame is installed so that its extension plane intersects the cutting plane of the cutting wire, and the ingot swing motor is stably and firmly rotated by the link power transmission mechanism 1100. To the ingot swing shaft. The link sections 1130 of the link transfer mechanism 1100 are installed between the swing motor and the ingot swing shaft in pairs in a direction perpendicular to the cutting plane. According to this configuration, a stable and rigid high rigid wire saw equipment can be provided.

Description

잉곳을 안정적으로 슬라이싱할 수 있도록 구조가 개선된 잉곳 스윙방식의 와이어 쏘{Wire saw with ingot swing mechanism for improvement of sawing stability}Wire saw with ingot swing mechanism for improvement of sawing stability}

본 발명은 잉곳을 다수의 웨이퍼로 절단하기 위한 와이어 쏘에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로는 잉곳을 선회시키면서 와이어에 가압하여 다수의 웨이퍼로 절단하는 와이어 쏘에 관한 것이다. The present invention relates to a wire saw for cutting an ingot into a plurality of wafers, and more particularly, to a wire saw for pressing a wire while cutting the ingot into a plurality of wafers.

일반적으로 실리콘이나 사파이어 등의 반도체 재료 및 제조 공정에 사용되는 단결정 반도체 재료인 웨이퍼는 잉곳 성장(growth) 공정이 완료된 후 잉곳으로부터 박판의 디스크 형태로 절단되어 형성된다. 상기 잉곳을 절단하기 위한 장비로서 내경 톱이나 외경 톱이 사용되기도 하지만, 피아노 와이어나 고장력 와이어를 이용한 와이어 쏘는 단위 시간당 생산 수율이 좋기 때문에 잉곳 슬라이싱 공정에 널리 사용되고 있다. In general, a wafer, which is a semiconductor material such as silicon or sapphire and a single crystal semiconductor material used in a manufacturing process, is formed by cutting a thin disk form from an ingot after the ingot growth process is completed. Although an inner diameter saw or an outer diameter saw may be used as the equipment for cutting the ingot, wire saws using piano wires or high tension wires are widely used in the ingot slicing process because the production yield per unit time is good.

상기 와이어 쏘는, 일반적으로 프레임상에 회전 가능하게 장착된 2~4개의 워크 롤러와, 워크 롤러 사이에 순차적으로 감겨짐으로써 평행하게 와이어 열을 형성하는 와이어와, 상기 와이어 열 위에서 잉곳을 고정하여 승하강될 수 있는 승강 장치를 구비한다. 이러한 구성에 따라, 상기 와이어는 워크 롤러의 회전에 따라 왕복 주행하며, 잉곳은 승하강되면서 고속으로 주행하는 와이어 열에 접근하여 다수의 웨이퍼로 절단된다. 이하, 잉곳이 와이어와 접촉하여 절단되는 와이어 열로 이루어진 평면을 "절단 평면"이라 하기로 한다. The wire saw generally has two to four work rollers rotatably mounted on a frame, a wire wound sequentially between the work rollers to form a wire row in parallel, and ingots on the wire row to secure the ingot. It is provided with a lifting device which can be lowered. According to this configuration, the wire reciprocates in accordance with the rotation of the work roller, and the ingot is cut into a plurality of wafers by approaching a row of wires running at high speed while being raised and lowered. Hereinafter, a plane made of a row of wires in which the ingot is cut in contact with the wire will be referred to as a "cut plane".

상기 와이어 쏘에 있어서, 와이어는 실리콘이나 사파이어 등의 잉곳을 절단하기 위해 다이아몬드나 실리콘 카바이드 등의 연마 입자를 필요로 하는데, 와이어에 제공되는 연마 입자는 슬러리의 형태로 제공되어질 수도 있으며, 또한 직접 와이어에 부착 제공되어질 수 있다. In the wire saw, the wire requires abrasive particles such as diamond or silicon carbide in order to cut ingots such as silicon or sapphire, and the abrasive particles provided to the wire may be provided in the form of a slurry, and also directly Can be provided attached to.

대한민국 특허제10-078787호는 상기 연마 입자가 포함된 슬러리가 공급되면서 절단 와이어로 잉곳을 절단하는 와이어 쏘의 일예를 개시하고 있으며, 대한민국 공개특허 제10-2007-018288호는 상기 슬러리를 대신하여 물이나 수용성의 글리콜류 등을 사용한 가공액을 공급하면서 상기 연마 입자가 부착된 절단 와이어로 잉곳을 절단하는 와이어 쏘의 일예를 개시하고 있다. Republic of Korea Patent No. 10-078787 discloses an example of a wire saw for cutting the ingot with a cutting wire while the slurry containing the abrasive particles is supplied, Republic of Korea Patent No. 10-2007-018288 in place of the slurry An example of the wire saw which cuts an ingot with the cutting wire with said abrasive grain, supplying the process liquid using water, water-soluble glycols, etc. is disclosed.

그런데, 이와 같은 와이어 쏘에 있어서, 원기둥 형상과 같은 잉곳을 웨이퍼로 절단하고자 할 경우, 잉곳을 절입해 갈수록 절단해야 할 잉곳의 폭이 커지게 되고 절단 와이어와 잉곳의 접촉길이도 길어진다. 이에 따라, 절단 와이어가 접촉하는 지점이 많아짐에 따라 잉곳의 가압력이 분산되어 가공속도가 떨어지며, 절단 와이어에 대한 부하가 커져서 단선 위험이 발생한다. 이러한 문제를 해소하기 위한 방안으로서, 프레임에 장착된 워크 롤러를 선회시킴으로써 절단 와이어와 잉곳의 접촉길이가 최소화되도록 하는 기술이 제안된 바 있다. 그러나 이와 같은 워크 롤러 선회 방식은 장치의 대형화를 유발하며, 잉곳 절단 정밀도를 떨어뜨릴 뿐 아니라 잉곳 절단 속도를 높일 수 없어 그 생산성을 떨어뜨리며 고강성 구조의 와이어 쏘를 구현하는데도 그 한계가 있다. By the way, in such a wire saw, when the ingot, such as a cylindrical shape, is to be cut into a wafer, the width of the ingot to be cut increases as the ingot is cut, and the contact length between the cutting wire and the ingot also increases. Accordingly, as the contact points of the cutting wires increase, the pressing force of the ingot is dispersed to reduce the processing speed, and the load on the cutting wires increases, thereby causing a disconnection risk. As a solution to this problem, a technique has been proposed to minimize the contact length of the cutting wire and the ingot by turning the work roller mounted on the frame. However, such a work roller turning method causes an increase in the size of the device, and not only decreases the precision of cutting the ingot, but also increases the speed of cutting the ingot, thereby lowering the productivity and limiting the implementation of a wire saw having a high rigidity structure.

본 발명자는 이와 같은 문제를 해결하기 위한 방안으로서, 대한민국 특허 제10-1064266호에 개시된 바와 같이, 잉곳을 회전시킴과 동시에 절단 와이어에 잉곳을 절입하는 방식의 와이어 쏘를 제안한 바 있다. The present inventors proposed a wire saw of a method of rotating the ingot and cutting the ingot into the cutting wire at the same time as disclosed in the Republic of Korea Patent No. 10-1064266 as a way to solve such a problem.

그리고, 잉곳을 선회시킴으로써 잉곳과 와이어의 접촉길이를 최소화하기 위한 방안으로서 또 다른 일예가 미국 특허 제6,886,550호에 제안된바 있다. 미국 특허 제6,886,550호는, 링크 관절을 이용하여 선회축을 중심으로 잉곳을 일정 각도로 선회시킴과 동시에 절단 와이어에 잉곳을 절입하는 방식의 와이어 쏘를 개시한다. In addition, another example has been proposed in US Pat. No. 6,886,550 as a method for minimizing the contact length between the ingot and the wire by turning the ingot. U. S. Patent No. 6,886, 550 discloses a wire saw that uses a link joint to pivot the ingot at an angle about the pivot axis and simultaneously intrudes the ingot into the cutting wire.

그런데, 미국 특허 제6,886,550호에 개시된 바와 같은 와이어 쏘는, 잉곳을 일정 각도 범위내에서 잉곳을 선회시킴으로써 절단 와이어와 잉곳의 접촉길이를 최소화하는 방안을 제시하고 있으나, 다수의 링크 관절을 이용하므로 그 제어가 복잡하고, 신뢰도가 떨어지며, 선회축과 잉곳과의 거리가 멀어 구조적으로 불안정한 문제가 있다. 즉, 잉곳 슬라이싱 공정이 있어서 비용을 줄이고 처리량을 향상시킴으로써 웨이퍼의 효율적인 생산을 위해서는 가능한 빠르게 잉곳을 절단하는 것이 필요하다. 그러나, 구조적으로 불안정한 와이어 쏘에 있어서, 그 절단 속도를 크게 할 경우, 오히려 웨이퍼 표면 상의 휨(warp)이나 큰 두께 편차를 유발함으로써 웨이퍼 평탄성(flatness)을 손상시켜 품질을 떨어뜨리고 제품 불량을 야기한다. By the way, the wire saw as disclosed in US Pat. No. 6,886,550 proposes a method of minimizing the contact length between the cutting wire and the ingot by turning the ingot within a certain angle range, but using a plurality of link joints to control the ingot. Is complicated, the reliability is low, and the distance between the pivot and the ingot is structurally unstable. In other words, there is an ingot slicing process that requires cutting ingots as quickly as possible for efficient production of wafers by reducing costs and improving throughput. However, in the case of structurally unstable wire saws, increasing the cutting speed, rather, causes warp or large thickness variation on the wafer surface, thereby damaging wafer flatness, resulting in poor quality and product defects. .

상술된 바와 같이, 박판의 웨이퍼를 제공하기 위해 잉곳을 절단하고자 하는 경우, 생산성을 고려하여 와이어 쏘에 대한 관심이 커지고 있으나, 가공 허용 오차 범위가 마이크로 사이즈로 매우 정밀해야 함에도, 와이어 쏘 장비는 두 개의 떨어진 워크롤러 사이에 와이어를 감아 고속 주행시키면서 잉곳을 절단해야 하기 때문에 정밀 가공에 구조적 한계를 가질수 밖에 없다. 더욱이, 상술된 이유로 잉곳을 선회시키면서 가공할 경우는 더욱 더 정밀 가공을 어렵게 하며, 이를 극복하기 위해서는 무엇보다도 먼저 고강성의 와이어 쏘가 구현되어야 할 필요가 있다. As described above, if the ingot is to be cut to provide a thin wafer, interest in wire saws is increasing in view of productivity, but the wire saw equipment has to be very precise in the micro size range. Precision machining must have structural limitations because the ingot must be cut while winding the wire between two separate work rollers at high speed. Moreover, when machining while turning the ingot for the reasons described above, it becomes more difficult to precise machining, and to overcome this, first of all, a high rigid wire saw needs to be implemented.

본 발명은 이와 같은 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로,구조적으로 안정된 신규의 고강성 구조의 와이어 쏘를 구현함으로써, 웨이퍼 품질을 떨어뜨리지 않고 절단 속도를 크게 하여 처리량을 향상시킴으로써 웨이퍼의 효율적인 생산에 기여토록 함에 그 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem, and by implementing a wire saw having a new structurally stable high rigidity structure, it contributes to the efficient production of the wafer by increasing the cutting speed to increase the throughput without reducing the wafer quality It is for that purpose.

본 발명에 따른 와이어 쏘는, 서로 이격된 적어도 2개의 워크롤러를 구비한 베이스 프레임: 상기 워크롤러에 감겨 짐으로써 박판의 다수의 웨이퍼로 잉곳이 절단될 수 있도록 절단 평면을 형성하는 절단 와이어: 상기 절단 평면에 대해 상향으로 돌출된 형상으로 상기 베이스 프레임에 설치된 칼럼: 상기 절단 평면에 대해 승강 가능하게 상기 칼럼에 장착된 승강 프레임: 상기 승강 프레임에 장착된 잉곳지지하우징: 상기 잉곳지지하우징에 대해 회동 가능하게 장착된 스윙 중심축; 상기 스윙 중심축을 회동시키기 위한 잉곳스윙모터; 상기 잉곳스윙모터와 연결된 링크 구동축과, 상기 스윙중심축과 상기 링크 구동축 사이의 거리와 같은 길이를 가지며 상기 스윙 중심축과 상기 링크 구동축에 회동가능하게 장착된 링크절을 구비하는 링크 동력 전달기구; 및 상기 스윙 중심축의 회동에 따라 선회함으로써 잉곳이 와이어에 대해 스윙하여 다수의 박판의 웨이퍼로 절단될 수 있도록 상기 스윙 중심축과 결합된 잉곳스윙하우징:을 구비한다. 여기서, 상기 링크절은, 상기 스윙 중심축과 상기 링크 구동축에 각각 볼조인트로 연결되는 것이 바람직하며, 또한 상기 링크절의 일단부가 상기 스윙중심축과 연결되는 가상선이 상기 절단평면과 평행하게 되도록 상기 스윙중심축과 회동 가능하게 장착되고, 상기 링크절의 타단부가 상기 링크구동축과 연결되는 가상선이 상기 절단평면과 평행하게 되도록 상기 링크구동축과 회동가능하게 장착되는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 링크절은 2개가 일조를 이루어 서로 평행하게 배치된 것일 수 있으며, 상기 링크구동축은 상기 스윙 중심축과 평행하게 연장 배치되어 상기 잉곳 지지하우징에 장착된 라인 샤프트인 것일 수 있다.
나아가, 본 발명에 따른 와이어 쏘는, 상기 절단 와이어의 절단 평면과 마주하도록 잉곳을 장착할 수 있도록 상기 잉곳스윙하우징에 결합된 잉곳 마운팅블록; 상기 잉곳스윙하우징에 회전 자유롭게 지지되고, 외주연에 나사산이 형성된 이송 로드; 상기 이송 로드가 삽입되어 이송 로드의 회전에 따라 상기 잉곳스윙하우징에서 직선 이동될 수 있도록 나사공이 형성된 구동 블록; 상기 구동 블록의 이동 방향과 다른 방향으로 움직일 수 있도록 상기 구동 블록과 접촉하는 측방에 슬라이딩 면을 구비하며, 상기 구동 블록이 상기 슬라이딩 면과 접촉하여 움직이는 가동 블록; 상기 잉곳마운팅 블록에 부착된 도브테일; 상기 도브테일이 수용될 수 있도록 상기 잉곳스윙하우징에 형성된 도브테일 슬롯; 및 상기 가동 블록에 의해 움직임으로써 상기 도브 테일이 상기 도브 테일 슬롯의 사면을 따라 끼워질 수 있도록 상기 도브테일 슬롯에 수용된 도브테일을 가압하는 압력 플레이트;를 더 구비하는 것이 바람직하다. A base frame having at least two work rollers spaced apart from each other according to the present invention: a cutting wire wound around the work roller to form a cutting plane such that the ingot can be cut into a plurality of wafers of thin sheet: the cutting Columns installed in the base frame in a shape projecting upward with respect to the plane: Elevating frame mounted on the column to elevate with respect to the cutting plane: Ingot support housing mounted on the elevating frame: Rotatable with respect to the ingot support housing Swing central axis; An ingot swing motor for rotating the swing central axis; A link power transmission mechanism having a link drive shaft connected to the ingot swing motor, and a link section having a length equal to a distance between the swing center shaft and the link drive shaft and rotatably mounted to the swing center shaft and the link drive shaft; And an ingot swing housing coupled to the swing central axis such that the ingot swings with respect to the wire to be cut into a plurality of thin wafers by turning according to the rotation of the swing central axis. Here, the link section is preferably connected to the swing center axis and the link drive shaft, respectively, and the virtual line connecting one end of the link section and the swing center axis is parallel to the cutting plane. Preferably, it is rotatably mounted to the swing center shaft, and is rotatably mounted to the link driving shaft such that an imaginary line connecting the other end of the link section to the link driving shaft is parallel to the cutting plane. In addition, the link section may be a pair of two arranged in parallel to each other, the link driving shaft may be a line shaft extending in parallel with the swing center axis is mounted to the ingot support housing.
Furthermore, the wire saw according to the invention, the ingot mounting block coupled to the ingot swing housing to mount the ingot to face the cutting plane of the cutting wire; A conveying rod rotatably supported by the ingot swing housing and having a thread formed on an outer circumference thereof; A drive block having a screw hole formed therein so that the transfer rod is inserted to move linearly in the ingot swing housing according to the rotation of the transfer rod; A movable block having a sliding surface on a side in contact with the driving block to move in a direction different from a moving direction of the driving block, wherein the driving block moves in contact with the sliding surface; A dovetail attached to the ingot mounting block; A dovetail slot formed in the ingot swing housing to accommodate the dovetail; And a pressure plate for pressing the dovetail received in the dovetail slot so that the dovetail is fitted along the slope of the dovetail slot by moving by the movable block.

이와 같이, 본 발명에 따른 와이어 쏘에 있어서, 링크 동력 전달기구를 이용하여 불안정해 줄 수 있는 요소를 제거하고 보다 안정적이고 견고한 와이어 쏘를 구현으로써, 절단 속도를 크게 하면서 가공 허용 오차도 마이크로 사이즈 범위 내의 정밀 가공에 보다 유리하게 대응할 수 있는 효과가 있다. 그리고, 공간의 제약을 받지 않고 보다 자유롭게 잉곳 마운팅 블록을 잉곳 지지하우징에 장착할 수 있는 효과가 있다. Thus, in the wire saw according to the present invention, by removing the elements that may be unstable using the link power transmission mechanism and implement a more stable and robust wire saw, the machining tolerance is also micro-size range while increasing the cutting speed There exists an effect which can respond more advantageously to the precision processing inside. In addition, there is an effect that the ingot mounting block can be freely mounted on the ingot support housing without being restricted by space.

도 1은 본 발명에 따른 일실시예로서 와이어 쏘의 전체 구성을 개략적으로 도시한 도면이며,
도 2는 본 발명에 따른 일실시예로서 와이어 쏘의 주요 구성을 도시한 사시도이며,
도 3은 본 발명에 따른 일실시예로서 와이어 쏘의 주요 구성을 도시한 정면도이며,
도 4는 본 발명에 따른 와이어 쏘에 있어서 잉곳스윙모터를 구동하여 링크동 전달기구에 의해 잉곳스윙하우징을 선회시키는 동작을 보여주기 위한 것으로, 도 4a는 잉곳스윙 하우징을 시계 방향으로 선회시킨 상태를 도시한 측면도이며, 도 4b는 잉곳스윙하우징을 반시계 방향으로 선회시킨 상태를 도시한 측면도이며,
도 5는 본 발명에 따른 링크 동력전달기구의 비교예를 도시한 것으로, 도 5a는 잉곳 스윙하우징을 시계 방향으로 선회시키는 측면도이며, 도 5b는 잉곳 스윙하우징을 반시계 방향으로 선회시키는 측면도이며,
도 6는 본 발명에 따른 일실시예로서 와이어 쏘의 주요 부분을 발췌하여 도시한 사시도이며,
도 7은 본 발명에 따른 와이어 쏘의 일예로서 잉곳이 절단와이어에 가압되어 선회하면서 절단되는 과정을 순차적으로 도시한 도면으로, 도 7은 잉곳이 하강하여 절단와이어에 접촉한 상태를 도시한 것이며, 도 7b 내지 도 7d는 잉곳이 하강 및 선회되면서 절단와이어가 잉곳을 절입하는 과정을 도시한 것이며, 그리고, 도 7은 절단 후의 상태를 도시한 것이며,
도 8은 본 발명에 따른 다른예로서 잉곳의 최하단부가 스윙 중심축의 축선상에 위치한 상태를 도시한 도면이며,
도 9는 발명에 따른 일예로서 도브테일 조인트에 의해 잉곳지지하우징과 잉곳 마운틱 블록이 결합된 상태를 도시한 외부 사시도이며,
도 10은 발명에 따른 일예로서 도브테일 조인트의 구성을 도시하기 위해 일부를 절개하여 도시한 사시도이며,
도 11은 발명에 따른 일예로서 도브테일조인트의 분리 사시도이며,
도 12는 발명에 따른 일예로서 도브테일 조인트에 의해 잉곳 마운팅블록이 장착된 상태를 도시한 사시도이며, 그리고
도 13과 14는 발명에 따른 일예로서 이송로드 고정장치를 부분 확대하여 도시한 것으로, 도 13은 스플라인 부시가 잉곳 스윙하우징에 끼워지기 전의 상태를 도시한 사시도이며, 도 14는 스플라인 부시가 잉곳 스윙하우징에 끼워진 후의 상태를 도시한 사시도이다. 1 is a view schematically showing the overall configuration of a wire saw as an embodiment according to the present invention,
2 is a perspective view showing the main configuration of the wire saw as an embodiment according to the present invention,
3 is a front view showing the main configuration of the wire saw as an embodiment according to the present invention,
4 is a view showing an operation of turning the ingot swing housing by the link copper transmission mechanism by driving the ingot swing motor in the wire saw according to the present invention, and FIG. 4A shows a state in which the ingot swing housing is turned clockwise. 4B is a side view illustrating a state in which the ingot swing housing is turned counterclockwise.
Figure 5 shows a comparative example of the link power transmission mechanism according to the present invention, Figure 5a is a side view of turning the ingot swing housing in a clockwise direction, Figure 5b is a side view of turning the ingot swing housing in a counterclockwise direction,
6 is a perspective view showing the main portion of the wire saw as an embodiment according to the present invention,
FIG. 7 is a view sequentially illustrating a process of cutting an ingot by pressing the cutting wire while turning as an example of the wire saw according to the present invention. FIG. 7 illustrates a state in which the ingot descends and contacts the cutting wire. 7B to 7D illustrate a process in which the cutting wire intrudes the ingot as the ingot descends and pivots, and FIG. 7 illustrates a state after the cutting,
8 is a view showing a state in which the lowest end of the ingot is located on the axis of the swing central axis as another example according to the present invention,
9 is an external perspective view illustrating a state in which the ingot support housing and the ingot mount block are coupled by a dovetail joint as an example according to the present invention.
10 is a perspective view showing a cut part to show the configuration of the dovetail joint as an example according to the invention,
11 is an exploded perspective view of a dovetail joint as an example according to the present invention;
12 is a perspective view showing a state in which the ingot mounting block is mounted by a dovetail joint as an example according to the invention, and
13 and 14 are enlarged views of the transfer rod fixing device as an example according to the present invention. FIG. 13 is a perspective view illustrating a state before a spline bush is fitted into an ingot swing housing, and FIG. 14 is a spline bush showing an ingot swing. It is a perspective view which shows the state after being fitted in the housing.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 일실시예로서 와이어 쏘를 보다 상세히 설명하고자 한다.
Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in more detail the wire saw as an embodiment according to the present invention.

도 1은 본 발명에 따른 일실시예로서 와이어 쏘의 전체 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
1 is a view schematically showing the overall configuration of a wire saw as an embodiment according to the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 일실시예로서 와이어 쏘는, 잉곳을 절단 가공하기 위한 프레임(51)과, 상기 프레임(51) 내에 잉곳 절단부(2000)와 잉곳지지하우징(800)을 구비한다. Referring to FIG. 1, in one embodiment according to the present invention, a wire saw includes a frame 51 for cutting an ingot, and an ingot cutting part 2000 and an ingot support housing 800 in the frame 51. .

상기 잉곳 절단부(2000)에는, 한쌍의 워크롤러(110,110')가 서로 이격되어 평행하게 설치되며, 절단와이어(200)가 상기 한 쌍의 워크롤러(110,110')에 순차적으로 감겨짐으로써 서로 평행하게 배치된 와이어 열이 마련된다. In the ingot cutting part 2000, a pair of work rollers 110 and 110 'are spaced apart from each other and installed in parallel, and the cutting wire 200 is wound around the pair of work rollers 110 and 110' in order to be parallel to each other. Arranged wire rows are provided.

상기 워크롤러(110,110')는, 모터 구동(113)에 의해 프레임(51) 상에 회전 가능하게 장착되어 있으며, 상기 워크롤러(110,110')에 감겨진 상기 절단와이어(200)는 일방향 또는 왕복 주행한다. The work rollers 110 and 110 'are rotatably mounted on the frame 51 by a motor drive 113, and the cutting wires 200 wound around the work rollers 110 and 110' are unidirectional or reciprocated. do.

상기 절단와이어(200)는, 절단 와이어 공급 기구로서 송출용 보빈(19)에서 공급되고, 절단와이어(200) 권취 기구로서 권취용 보빈(29)으로 회수된다. 즉, 50~100km길이로 송출용 보빈(19)에 감겨진 절단와이어(200)는 여러개의 가이드 풀리(17)를 경유하여 텐션 풀리(16)를 거친후 장력 측정용 로드셀(13)이 부착된 가이드 풀리를 지나 한쌍의 워크롤러(110,110')에 여러 차례 감겨져 서로 평행한 와이어 열을 형성하고, 다시 여러개의 가이드 풀리(5)를 경유하고 로드셀(9)이 부착된 가이드 풀리, 텐션 풀리(8), 트래버서를 거쳐 권취용 보빈(29)으로 감긴다. 여기서, 상기 텐션 풀리(8,16)는 인코더가 내장된 모터(6,14)와 연결된 텐션 암(7,15)에 회전 가능하게 장착됨으로써 소정의 장력을 부여한다.
The said cutting wire 200 is supplied from the feeding bobbin 19 as a cutting wire supply mechanism, and it is collect | recovered by the winding bobbin 29 as a cutting wire 200 winding mechanism. That is, the cutting wire 200 wound on the transmission bobbin 19 to 50 ~ 100km length is passed through the tension pulley 16 via a plurality of guide pulleys 17, the load cell 13 for measuring the tension is attached Guide pulley and tension pulley (8), which is wound several times on a pair of work rollers (110,110 ') past the guide pulley, to form a parallel row of wires, and then through a plurality of guide pulleys (5) and to which a load cell (9) is attached. ), It is wound by the bobbin for winding 29 through a traverser. Here, the tension pulleys 8 and 16 are rotatably mounted on the tension arms 7 and 15 connected to the motors 6 and 14 in which the encoder is embedded, thereby imparting a predetermined tension.

도 2는 본 발명에 따른 일실시예로서 와이어 쏘의 주요 구성을 도시한 사시도이며, 도 3은 도 2에 따른 와이어 쏘를 도시한 정면도이다.
2 is a perspective view showing the main configuration of the wire saw as an embodiment according to the present invention, Figure 3 is a front view showing a wire saw according to FIG.

도 2와 도 3을 참조하면, 와이어 쏘(3000)는, 베어링과 같은 회전 지지 수단에 의해 한쌍의 워크롤러(110,110')를 회동 가능하게 지지하는 베이스 프레임(100), 상기 베이스프레임(100)에 상향 돌출되도록 고정된 칼럼(300), 상기 칼럼(300)에 대해 승강 가능하게 장착된 승강프레임(400), 상기 칼럼(300)과 승강프레임(400)에 장착된 승강 가이드레일(500)과 슬라이딩블록(600), 상기 슬라이딩블록(600)이 승강 가이드레일(500)을 따라 움직일 수 있도록 칼럼(300)과 승강프레임(400) 사이에 설치된 이송나사(720), 상기 승강프레임(400)에 장착된 잉곳 지지하우징(800), 스윙중심축(910)을 매개로 상기 잉곳 지지하우징(800)에 설치되어 스윙중심축(910)의 회동에 따라 선회하는 잉곳 스윙하우징(900), 및 상기 잉곳 스윙하우징(900)에 결합되어 잉곳(1)을 장착하기 위한 잉곳 마운팅블록(1000)을 구비한다.
Referring to FIGS. 2 and 3, the wire saw 3000 may include a base frame 100 and a base frame 100 rotatably supporting a pair of work rollers 110 and 110 ′ by a rotation support means such as a bearing. A column 300 fixed to protrude upward, an elevating frame 400 mounted on the column 300 so as to be elevated, and an elevating guide rail 500 mounted on the column 300 and the elevating frame 400; The sliding block 600, the sliding block 600 is moved between the column 300 and the elevating frame 400, so that the sliding block 600 can move along the elevating guide rail 500, the elevating frame 400 Installed ingot support housing 800, the swing center shaft 910 is installed in the ingot support housing 800, the ingot swing housing 900 to rotate in accordance with the rotation of the swing center shaft 910, and the ingot Ingot mounting block 1000 for mounting the ingot 1 is coupled to the swing housing 900 Respectively.

상기 한 쌍의 워크롤러(110,110')는, 서보 모터에 의해 구동되는 구동 워크롤러(110)와, 상기 구동 워크롤러(110)와 서로 평행하게 이격되어 설치됨으로써 상호 연동되는 종동 워크롤러(110')로 이루어진다. 여기서, 워크롤러(110,110')는 각각 원통 형상이며, 탄소강(炭素鋼)으로 이루어진 코어와 코어 위에 우레탄으로 피복되고 와이어 수용홈이 형성된 크래드층으로 이루어질 수 있으며, 상기 와이어 수용홈은 절단 와이어(200)가 수용되어 일정한 장력을 가지고 감겨질 수 있도록 U형상이나 V형상으로 이루어질 수 있다. 그리고, 상기 워크롤러는, 3개 또는 그 이상의 개수로 조합될 수 있으나, 300m/min 내지 1,200 m/min의 선속도를 가지는 고속 회전에서 보다 안정적인 고강성 구조를 가질 수 있도록 2개로 이루어지는 것이 바람직하다.
The pair of work rollers 110 and 110 ′ are driven work rollers 110 ′ driven by a servo motor, and driven work rollers 110 ′ interlocked with each other by being spaced apart from each other in parallel with the drive work rollers 110. ) Here, the work rollers (110, 110 ') are each cylindrical, and may be made of a core made of carbon steel and a cladding layer formed with a urethane on the core and having a wire receiving groove, wherein the wire receiving groove is a cutting wire ( 200) can be made of a U shape or V shape so that it can be wound with a constant tension. In addition, the work rollers may be combined in three or more numbers, but it is preferable that the work rollers are made of two so as to have a more stable high rigidity structure at a high speed rotation having a linear speed of 300 m / min to 1,200 m / min. .

상기 한쌍의 워크롤러(110,110') 사이에는 도 1을 참조하여 설명된 바와 같이 절단 와이어(200)에 의한 와이어 열로 이루어진 절단 평면(sawing zone:SZ)이 형성되며, 상기 절단평면(SZ) 상방에는 잉곳(1)이 승강 및 선회 가능한 구조로 배치된다. 여기서, 상기 잉곳(1)이 절단평면(SZ)을 통과하면서 절단이 이루어지는 경우, 웨이퍼의 두께는 절단평면(SZ)내의 와이어 열의 서로 이웃하는 절단와이어(200) 간격에 의해 결정된다.
Between the pair of work rollers 110 and 110 ′, a sawing zone SZ formed of a row of wires by the cutting wire 200 is formed as described with reference to FIG. 1, and above the cutting plane SZ. The ingot 1 is arranged in a structure capable of lifting and turning. Here, in the case where the ingot 1 is cut while passing through the cutting plane SZ, the thickness of the wafer is determined by the distance between the cutting wires 200 adjacent to each other in a row of wires in the cutting plane SZ.

상기 잉곳(1)은, 절단 공정 중에 잉곳(1)과 함께 절단되어질 수 있도록 수지,유리 또는 세라믹 등과 같은 재질의 더미빔(2)을 매개로 잉곳 마운팅블록(1000)에 고정된다. 여기서, 상기 잉곳(1)과 더미빔(2) 및 잉곳 마운팅블록(1000)은 접착제로 상호 부착될 수 있으며, 상기 접착제는 에폭시를 베이스로 하는 열경화성 접착제나 왁스와 같이 가열에 의해 용해되는 접착제나 또는 유기 용매에서 수지나 고무가 용해되는 접착제나 물에 용해되는 수용성의 접착제일 수 있다.
The ingot 1 is fixed to the ingot mounting block 1000 via a dummy beam 2 of a material such as resin, glass, or ceramic so that the ingot 1 may be cut together with the ingot 1 during the cutting process. Here, the ingot 1, the dummy beam 2, and the ingot mounting block 1000 may be attached to each other by an adhesive, and the adhesive may be an adhesive that is dissolved by heating such as an epoxy-based thermosetting adhesive or wax. Or an adhesive in which resin or rubber is dissolved in an organic solvent or a water-soluble adhesive in water.

상기 잉곳 마운팅블록(1000)은 잉곳 스윙하우징(900)에 도브테일 조인트(dovetail joint:930)에 의해 착탈 가능하게 장착된다. 여기서, 도브테일 조인트(930)는, 본 기술 분야에 다양하게 사용하고 있는 공지의 방식으로 체결하여도 좋으나, 본 발명에 따른 신규의 도브테일 조인트(930)를 활용하는 것이 바람직하며, 이에 관한 보다 자세한 설명은 후술하기로 한다.
The ingot mounting block 1000 is detachably mounted to the ingot swing housing 900 by a dovetail joint 930. Here, the dovetail joint 930 may be fastened in a known manner that is variously used in the art, but it is preferable to use the new dovetail joint 930 according to the present invention, and a detailed description thereof Will be described later.

상기 잉곳 스윙하우징(900)은, 그 내부로 상기 잉곳 마운팅블록(1000)이 수용될 수 있도록 포켓 형상 또는 전체적으로‘∏’형상을 가진다. 즉, 상기 잉곳 스윙하우징(900)은, 상기 잉곳 마운팅블록(1000)이 장착되는 지지테이블(901)과, 상기 지지테이블(901) 양단으로부터 절단와이어(200)의 절단평면(SZ)을 향하여 절곡 또는 연장되어 스윙중심축(910)과 회전 가능하게 결합되는 선회암(903)으로 이루어진다. 상기 지지테이블(901)은, 승하강 및 선회 동작 중에 고속 주행하는 절단와이어(200)와 상호 간섭이 일어나지 않도록, 절단 와이어(200)의 절단평면(SZ)의 폭 보다 더 큰 길이를 가진다. 이에 따라, 상기 선회암(903)은 절단평면(SZ) 아래로 하강하여 절단와이어(200)와 지지테이블(901) 사이에서 후술하는 바와 같이 포켓 형상으로 잉곳(1)을 안정적으로 지지할 수 있다.
The ingot swing housing 900 has a pocket shape or an overall '∏' shape to accommodate the ingot mounting block 1000 therein. That is, the ingot swing housing 900 is bent toward the cutting plane SZ of the cutting wire 200 from both ends of the support table 901 on which the ingot mounting block 1000 is mounted and the support table 901. Or it is made of a pivoting arm 903 is extended and rotatably coupled to the swing center axis (910). The support table 901 has a length larger than the width of the cutting plane SZ of the cutting wire 200 so that mutual interference with the cutting wire 200 traveling at high speed during the lifting and lowering operation does not occur. Accordingly, the swivel rock 903 is lowered below the cutting plane SZ to stably support the ingot 1 in a pocket shape as described below between the cutting wire 200 and the support table 901. .

상기 스윙중심축(910)은, 베어링과 같은 회전자재에 의해 회동 가능하게 상기 잉곳 지지하우징(800)에 장착된다. 또한, 상기 스윙중심축(910)은, 잉곳(1)을 선회시키면서 절단 공정을 진행할 때 절단와이어(200) 사이에서 일정 두께로 잉곳(1)이 절단될 수 있도록, 절단와이어(200) 또는 그 주행 방향과 직각을 이루도록 상기 잉곳지지하우징(800)에 배치된다. The swing center shaft 910 is mounted to the ingot support housing 800 so as to be rotatable by a rotating material such as a bearing. In addition, the swing center shaft 910, the cutting wire 200 or the cutting wire 200 so that the ingot 1 can be cut to a predetermined thickness between the cutting wire 200 when the cutting process proceeds while turning the ingot 1 The ingot support housing 800 is disposed to be perpendicular to the traveling direction.

상기 스윙중심축(910)은 모터 구동에 의해 회동한다. 상기 스윙중심축(910)은, 그 일측만 모터 구동되도록 할 수도 있으나, 고강성 와이어 쏘 구현을 위해 양측의 스윙중심축(910)을 각각 모터 구동토록 하는 것이 바람직하다. 또한, 본 발명에 따른 와이어 쏘는, 경제성과 제어의 편의성 및 단순화 등을 위해 하나의 모터를 이용하여 양측의 스윙중심축(910)을 구동하는 바람직하다. 이를 위해, 본 발명에 따른 실시예로서 와이어 쏘는 잉곳 스윙모터(1200), 링크 구동축의 일예로서 라인샤프트(1300), 링크 동력전달기구(1100)를 구비한다.
The swing center shaft 910 is rotated by a motor drive. The swing center shaft 910 may be driven only by one side of the motor, but it is preferable to drive the swing center shafts 910 of both sides to respectively drive a high rigid wire saw. In addition, the wire saw according to the present invention, it is preferable to drive the swing center shaft 910 on both sides using a single motor for economy, convenience and control, and the like. To this end, an embodiment according to the present invention includes a wire saw ingot swing motor 1200, an example of a link drive shaft, a line shaft 1300, and a link power transmission mechanism 1100.

상기 잉곳 스윙모터(1200)는, 상기 잉곳 지지하우징(800)의 상부에 장착된다.
The ingot swing motor 1200 is mounted on the ingot support housing 800.

상기 라인샤프트(1300)는, 링크를 구동하기 위한 구동축의 일예로서 상기 잉곳 스윙모터(1200)에 의해 스윙중심축(910)으로 동력을 분배하기 위해 양측의 스윙중심축(910)을 향해 측방으로 연장되며, 베어링과 같은 축받침을 구비한 지지부재(1310)에 의해 회동 가능하게 잉곳 지지하우징(800)에 설치된다. 상기 잉곳 스윙모터(1200)의 구동력은 치차 동력 전달 장치에 의해 라인샤프트(1300)로 전달되며, 이를 위해 잉곳 스윙모터(1200)와 라인샤프트(1300)에는 각각 서로 맞물려 동력을 전달할 수 있도록 치차(齒車:1350)가 부착된다.
The line shaft 1300 is an example of a drive shaft for driving a link, and is laterally directed toward both swing center shafts 910 by the ingot swing motor 1200 to distribute power to the swing center shaft 910. It extends and is installed in the ingot support housing 800 so as to be rotatable by a support member 1310 having a bearing such as a bearing. The driving force of the ingot swing motor 1200 is transmitted to the line shaft 1300 by a gear power transmission device, and for this purpose, the ingot swing motor 1200 and the line shaft 1300 are engaged with each other so as to transmit power. 1350) is attached.

상기 링크 동력전달기구(1100)는, 라인샤프트(1300)와 결합된 제1볼조인트(1110)와, 상기 스윙중심축(910)과 결합되는 제2볼조인트(1120)와, 제1볼조인트(1110)와 제2볼조인트(1120)를 상호 연결하는 링크절(1130)을 구비한다. The link power transmission mechanism 1100 may include a first ball joint 1110 coupled with the line shaft 1300, a second ball joint 1120 coupled with the swing central shaft 910, and a first ball joint. And a link section 1130 connecting the 1110 and the second ball joint 1120 to each other.

상기 링크 동력전달기구(1100)는 벨트 등의 동력 전달 기구와 달리 슬립이 없고 정밀도 높게 회전량을 제어할 수 있어 고강성의 와이어 쏘를 구현하는데 바람직하다. 여기서, 상기 제1볼조인트(1110)와 제2볼조인트(1120)는, 양단에 암수의 나사산이 형성되며, 그 내부에 구형 볼이 자유회전될 수 있도록 하는 공지의 볼조인트일 수 있으며, 상기 링크절(1130)은 양단에 나사산이 형성되어 있어 상기 볼조인트(1110,1120)와 나사 결합하여 회전에 따라 길이가 조정될 수 있도록 하는 공지의 조정볼트일 수 있다. 그리고, 상기 링크 동력전달기구(1100)는 슬립이 없이 정밀도 높게 회전력을 전달할 수 있으면 예시된 일예에 한정되지 않고 핀 링크와 같이 본 기술분야의 다양한 링크 동력 전달기구가 이용될 수도 있다. Unlike the power transmission mechanism such as a belt, the link power transmission mechanism 1100 can control the amount of rotation with high accuracy without slip and is preferable to realize a high-strength wire saw. Here, the first ball joint 1110 and the second ball joint 1120, male and female threads are formed at both ends, and may be a known ball joint to allow a spherical ball to rotate freely therein. The link section 1130 may be a well-known adjusting bolt that is formed on both ends of the screw thread is coupled to the ball joint (1110, 1120) so that the length can be adjusted according to the rotation. In addition, the link power transmission mechanism 1100 is not limited to the illustrated example as long as it can transmit the rotational force with high accuracy without slipping, and various link power transmission mechanisms in the art, such as a pin link, may be used.

상기 링크절(1130)은, 스윙중심축(910)과 링크 구동축 즉 라인샤프트(1300)의 회전축 사이의 거리와 같은 길이를 가진다. 그리고, 상기 제2볼조인트(1120)는, 제2볼조인트(1120)와 스윙중심축(910)을 연결하는 선이 절단평면(SZ)과 평행하게 되도록, 스윙 중심축(910)에 장착된다. 이에 따라, 상기 제1볼조인트(1110)도, 제1볼조인(1110)트와 라인샤프트(1300)의 회전축을 연결하는 선이 절단평면(SZ)과 평행하게 되는 위치에 배치되어 상기 라인샤프트(1300)과 결합된다. 이와 같은 구성은, 도 4를 참조하여 후술하는 바와 같이, 링크절(1130)이 절단평면(SZ)에 수직인 방향으로 움직이면서 링크 구동축(여기서, 라인샤프트의 회전축)에서 스윙중심축으로 회전력을 전달할 수 있다. 즉, 링크절(1130)이 좌우로 요동되지 않고 상하 이동만으로 회전력을 전달할 수 있으므로 안정된 구조로서 본 발명에 따른 고강성 와이어 쏘를 구현하는데 바람직하다.The link section 1130 has a length equal to the distance between the swing center shaft 910 and the link driving shaft, that is, the rotation shaft of the line shaft 1300. The second ball joint 1120 is mounted to the swing center axis 910 such that a line connecting the second ball joint 1120 and the swing center axis 910 is parallel to the cutting plane SZ. . Accordingly, the first ball joint 1110 is also disposed at a position at which a line connecting the rotational axis of the first ball joint 1110 and the line shaft 1300 is parallel to the cutting plane SZ, so that the line shaft 1300 is combined. This configuration, as will be described later with reference to Figure 4, while the link section 1130 moves in a direction perpendicular to the cutting plane (SZ) to transfer the rotational force from the link drive shaft (here, the rotation axis of the line shaft) to the swing center axis. Can be. That is, since the linkage 1130 can transmit the rotational force by moving only up and down without swinging from side to side, it is preferable to implement a high rigid wire saw according to the present invention as a stable structure.

상기 링크 동력전달기구(1100)는, 도시된 예와 같이 2개가 일조를 이루어 서로 평행하게 설치되는 것이 안정적인 동력 전달을 위해 바람직하며, 상기 잉곳 스윙하우징(900)의 양단의 스윙중심축(910)에 각각 결합되는 것이 경제성 및 고강성 와이어 쏘 구현을 위해 바람직하다.
The link power transmission mechanism 1100 is preferably installed in parallel to each other in a pair as shown in the example for the stable power transmission, the swing center shaft 910 of both ends of the ingot swing housing 900 It is desirable for economic and high rigid wire saw implementations to be respectively coupled to.

도 4는 본발명에 따른 바람직한 실시예로서 와이어 쏘에 적용된 링크동력전달기구로서 잉곳 스윙하우징을 선회시키는 동작을 보여주기 위한 것으로, 도 4a는 잉곳 스윙하우징을 시계 방향으로 선회시킨 상태를 도시한 측면도이며, 도 4b는 잉곳 스윙하우징을 반시계 방향으로 선회시킨 상태를 도시한 측면도이다.
Figure 4 is a preferred embodiment according to the present invention to show the operation of turning the ingot swing housing as a link power transmission mechanism applied to the wire saw, Figure 4a is a side view showing a state of turning the ingot swing housing in the clockwise direction. 4B is a side view illustrating a state in which the ingot swing housing is rotated counterclockwise.

도 4a를 참조하면, 잉곳 스윙모터(1200)에 의해 라인샤프트(1300)가 시계방향으로 회전하면, 링크 동력전달기구(1100)가 라인 샤프트(1300)를 따라 움직인다. 상기 링크절(1130)은 스윙중심축(910)과 링크 구동축 즉 라인샤프트(1300)의 회전축 사이의 거리와 같은 길이를 가지고 있으며, 상기 제2볼조인트(1120)와 스윙중심축(910)을 연결하는 선이 절단평면(SZ)과 평행하게 되도록 제2볼조인트(1120)가 스윙 중심축(910)에 장착되어 있으며, 또한 상기 제1볼조인트(1110)와 라인샤프트(1300)의 회전축을 연결하는 선이 절단평면(SZ)과 평행하게 되도록 제1볼조인(1110)트가 상기 라인샤프트(1300)과 결합되어 있기 때문에, 상기 링크절(1130)은, 볼조인트(1110,1120)를 중심으로 회동하면서 좌우 움직임이 없이 상하 이동에 의해 회전력을 스윙 중심축(910)에 전달한다. Referring to FIG. 4A, when the line shaft 1300 is rotated clockwise by the ingot swing motor 1200, the link power transmission mechanism 1100 moves along the line shaft 1300. The link section 1130 has a length equal to the distance between the swing center axis 910 and the link drive shaft, that is, the rotation shaft of the line shaft 1300, and the second ball joint 1120 and the swing center shaft 910. The second ball joint 1120 is mounted on the swing center axis 910 so that the connecting line is parallel to the cutting plane SZ, and the rotation axis of the first ball joint 1110 and the line shaft 1300 is also provided. Since the first ball joint 1110 is coupled with the line shaft 1300 so that the line to be connected is parallel to the cutting plane SZ, the link section 1130 connects the ball joints 1110 and 1120. The rotational force is transmitted to the swing center axis 910 by vertical movement without left and right movement while rotating to the center.

상기 링크절(1130)의 상하 움직임에 따라 스윙중심축(910)은 시계 방향으로 회전되고 잉곳 스윙하우징(900) 역시 시계방향으로 선회되어 잉곳을 절단 와이어(200) 주행방향을 따라 시계방향으로 선회시킨다.
In accordance with the vertical movement of the linkage section 1130, the swing center shaft 910 is rotated clockwise and the ingot swing housing 900 is also turned clockwise to turn the ingot clockwise along the running direction of the cutting wire 200. Let's do it.

도 4b를 참조하면, 잉곳 스윙모터(1200)에 의해 라인샤프트(1300)가 반 시계방향으로 회전하면, 도 4a를 참조하여 설명된 과정과 역순으로 진행된다. 상기 링크절(1130)은 볼조인트(1110,1120)를 중심으로 회동하면서 좌우 움직임이 없이 상하 이동에 의해 회전력을 스윙 중심축(910)에 전달하고, 스윙중심축(910)은 반시계 방향으로 회전되고 잉곳 스윙하우징(900) 역시 반시계방향으로 선회되어 잉곳(1)을 절단 와이어(200) 주행방향을 따라 반시계방향으로 선회시킨다.
Referring to FIG. 4B, when the line shaft 1300 is rotated counterclockwise by the ingot swing motor 1200, the process proceeds in the reverse order to the process described with reference to FIG. 4A. The link section 1130 rotates about the ball joints 1110 and 1120 and transmits rotational force to the swing center axis 910 by vertical movement without left and right movement, and the swing center axis 910 is counterclockwise. The ingot swing housing 900 is also rotated counterclockwise to rotate the ingot 1 counterclockwise along the cutting wire 200 running direction.

도 5는 본 발명에 따른 링크 동력전달기구의 비교예를 도시한 것으로, 도 5a는 잉곳 스윙하우징을 시계 방향으로 선회시키는 측면도이며, 도 5b는 잉곳 스윙하우징을 반시계 방향으로 선회시키는 측면도이다.
Figure 5 shows a comparative example of the link power transmission mechanism according to the present invention, Figure 5a is a side view of turning the ingot swing housing in a clockwise direction, Figure 5b is a side view of turning the ingot swing housing in a counterclockwise direction.

도 5a와 도 5b를 참조하면, 도 4a와 도 4b와 동일하나, 본 발명에 따른 링크 동력전달기구에 적용된 링크절에 있어서 크게 다르다.
5A and 5B, the same as in Figs. 4A and 4B, but differs greatly in the link section applied to the link power transmission mechanism according to the present invention.

상기 링크절(2130)은, 스윙중심축(910)과 링크 구동축 즉 라인샤프트(1300)의 회전축 사이의 거리보다 짧은 길이를 가진다. 또한, 상기 제2볼조인트(2120)와 스윙중심축(910)을 연결하는 선이 절단평면(SZ)과 평행하지 않고 교차되는 구조를 가진다. 그리고, 상기 제1볼조인트(2110)와 라인샤프트(1300)의 회전축을 연결하는 선이 절단평면(SZ)과 평행하지 않고 교차되는 구조를 가진다. The link section 2130 has a length shorter than the distance between the swing center axis 910 and the link drive shaft, that is, the axis of rotation of the line shaft 1300. In addition, the line connecting the second ball joint 2120 and the swing center axis 910 is not parallel to the cutting plane (SZ) has a structure that intersects. In addition, the first ball joint 2110 and the line connecting the rotary shaft of the line shaft 1300 has a structure that is not parallel to the cutting plane (SZ).

그러나, 도시된 예와 같이, 상기 링크절(2130)은, 상하 병진 운동 뿐만 아니라 회전 운동을 수반하여 좌우로 요동하며, 회전력 전달 역시 원할하지 않게 된다. 이와 같은 문제는, 링크절이 스윙중심축(910)과 링크 구동축 사이의 거리보다 길어질 경우에도 발생하며, 특히 2개의 링크절이 적용될 경우 회전력 전달은 어렵게 된다.
However, as shown in the illustrated example, the linkage section 2130 oscillates from side to side with rotational movement as well as up and down translational movement, and rotational force transmission is also not desired. This problem occurs even when the link clause is longer than the distance between the swing center shaft 910 and the link drive shaft, and in particular, when two link clauses are applied, the rotational force transmission becomes difficult.

이와 같이, 도 4와 도 5를 참조하여 살펴본 바와 같이, 링크절(1130)에 의해 보다 안정되고 원할하게 회전력이 전달되도록 하기 위해서는, 상기 링크절(1130)은 스윙중심축(910)과 링크 구동축 즉 라인샤프트(1300)의 회전축 사이의 거리와 같은 길이로 이루어지도록 하여야 한다. As described above with reference to FIGS. 4 and 5, the link section 1130 includes a swing center shaft 910 and a link drive shaft in order to transmit rotational force more stably and smoothly by the link section 1130. That is, it should be made of the same length as the distance between the axis of rotation of the line shaft 1300.

더욱이, 상기 제2볼조인트(1120)와 스윙중심축(910)을 연결하는 선이 절단평면(SZ)과 평행하게 되도록, 제2볼조인트(1120)가 스윙 중심축(910)에 장착되도록 하는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 제1볼조인트(1110)와 라인샤프트(1300)의 회전축을 연결하는 선이 절단평면(SZ)과 평행하게 되도록, 제1볼조인(1110)트가 상기 라인샤프트(1300)와 결합되도록 하는 것이 바람직하다. 이에 따라, 링크절(1130)은 좌우로 요동되지 않고 상하 이동만으로 원할하게 회전력을 전달할 수 있으므로 안정된 구조로서 본 발명에 따른 고강성 와이어 쏘를 구현할 수 있어 바람직하다.
Furthermore, the second ball joint 1120 is mounted on the swing center axis 910 so that the line connecting the second ball joint 1120 and the swing center axis 910 is parallel to the cutting plane SZ. It is preferable. The first ball joint 1110 is coupled to the line shaft 1300 such that a line connecting the rotation axis of the first ball joint 1110 and the line shaft 1300 is parallel to the cutting plane SZ. It is desirable to. Accordingly, since the linkage 1130 can smoothly transmit the rotational force by only moving up and down without swinging from side to side, it is preferable to implement a high rigid wire saw according to the present invention as a stable structure.

도 6은 본 발명에 따른 일실시예로서 와이어 쏘에 적용된 승강가이드레일을 도시한 도면이다.
6 is a view showing the lifting guide rail applied to the wire saw as an embodiment according to the present invention.

도 2, 도 3, 및 도 6를 참조하면, 상기 잉곳지지하우징(800)은 상기 승강프레임(400)에 고정된다. 그리고, 상기 칼럼(300)은 상향 돌출된 형상으로 상기 베이스프레임(100)에 고정된다. 본 발명에 따른 와이어 쏘에서 있어서, 상기 승강프레임(400)의 상하 승강되는 구조는 상기 승강프레임(400)과 상기 칼럼(300)과의 사이에 이송모터(710)에 의해 회전 구동되는 이송나사(720), 슬라이딩블록(600) 및 승강가이드레일(500)을 구비함으로써 이루어진다.
2, 3, and 6, the ingot support housing 800 is fixed to the lifting frame 400. The column 300 is fixed to the base frame 100 in an upwardly protruding shape. In the wire saw according to the present invention, the lifting structure of the lifting frame 400 is moved up and down by a transfer screw rotatively driven by a transfer motor 710 between the lifting frame 400 and the column 300 ( 720, the sliding block 600 and the lifting guide rail 500 are provided.

상기 칼럼(300)은, 그 상단에 장착된 이송모터(710)와, 상기 이송모터(710)에 의해 회동 가능하도록 결합된 이송나사(720)와, 서로 평행하게 배치된 2개의 승강가이드레일(500)을 구비한다. 상기 승강프레임(400)은, 상기 이송나사(720)를 수용하여 이송 나사의 회동에 의해 승강될 수 있도록 내부에 암나사가 형성된 이송블록(730)과, 상기 승강가이드레일(500)과 결합하여 미끄럼 운동할 수 있도록 장착된 슬라이딩블록(600)을 구비한다. 여기서, 상기 이송나사(720)는 볼나사 기타 전동 나사일 수 있으며, 상기 승강가이드레일(500)과 이송블록(730)은 일반적으로 공지된 바와 같은 LM 가이드와 LM 블록일 수 있다. 여기서, 상기 이송나사(720), 슬라이딩블록(600) 및 승강가이드레일(500)은, 상기 승강프레임(400)이 상기 칼럼(300)에 대해 승강될 수 있는 일예로 설명되고 도시되었으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 그 위치를 바꾸거나 조합함으로써 달성될 수 있음은 당연하며 이에 대한 자세한 설명은 중복을 피하기 위해 생략하기로 한다.
The column 300 includes a transfer motor 710 mounted at an upper end thereof, a transfer screw 720 coupled to be rotatable by the transfer motor 710, and two lifting guide rails disposed in parallel with each other. 500). The elevating frame 400 is coupled to the elevating guide rail 500 and the elevating guide rail 500, the inner block is formed with a female thread so as to receive the conveying screw 720 to be elevated by rotating the conveying screw. It is provided with a sliding block 600 mounted to be able to move. Here, the feed screw 720 may be a ball screw or other electric screw, and the lifting guide rail 500 and the feed block 730 may be an LM guide and an LM block as is generally known. Here, the transfer screw 720, the sliding block 600 and the lifting guide rail 500 is described and illustrated as an example in which the lifting frame 400 can be elevated relative to the column 300, but is not limited thereto. Of course, it can be achieved by changing or combining the positions thereof, and a detailed description thereof will be omitted to avoid duplication.

상기 승강가이드레일(500)은, 도시된 일예에 의하면, 2개가 1조를 이루어 서로 평행하게 배치되어 상기 슬라이딩블록(600)이 미끄럼 운동할 수 있도록 안내한다. 이때, 상기 2개의 승강가이드레일을 포함하여 이루어지는 가상의 연장평면(EP)이 절단와이어(200)의 절단평면(SZ)의 중심점을 포함하도록, 상기 승강 가이드레일을 상기 칼럼(300)에 장착한다. 또한, 상기 연장평면(EP)은 상기 절단평면(SZ)과 교차하도록 바람직하게는 직교하도록, 상기 2개의 승강가이드레일을 상기 칼럼(300)에 장착한다. 이에 따라, 슬라이딩블록(600)이 승강가이드레일(500)을 따라 미끄럼 운동함으로써 잉곳(1)이 승하강될 때, 잉곳(1)에 작용하는 편심 하중은 최소화되고, 절단와이어(200)가 워크롤러 사이에서 고속으로 주행하더라도 보다 안정적으로 잉곳(1)이 절단와이어(200)에 가압될 수 있으며, 잉곳(1)의 절단 속도를 높일 수 있는 고강성의 와이어 쏘에 구현에 바람직하다. 또한, 이송모터(710) 구동에 의해 이송나사(720)와 이송블록(730)의 상호 작용에 의해 잉곳(1)이 승하강되는 구조를 가지기 때문에, 상술된 바와 같은 이유로 상기 이송나사(720)의 중심 축선이 상기 연장평면(EP)에 위치하도록 하는 것이 더욱 바람직하다.
The lifting guide rail 500, according to the illustrated example, is formed in a pair of two parallel to each other to guide the sliding block 600 to slide. In this case, the elevating guide rail is mounted on the column 300 such that the virtual extension plane EP including the two elevating guide rails includes the center point of the cutting plane SZ of the cutting wire 200. . In addition, the two lifting guide rails are mounted on the column 300 such that the extension plane EP preferably crosses the cutting plane SZ. Accordingly, when the ingot 1 is moved up and down by sliding the sliding block 600 along the lifting guide rail 500, the eccentric load acting on the ingot 1 is minimized, and the cutting wire 200 is a workpiece. Even when traveling at high speeds between the rollers, the ingot 1 can be pressed to the cutting wire 200 more stably, and is preferable to implement in a highly rigid wire saw that can increase the cutting speed of the ingot 1. In addition, since the ingot 1 is moved up and down by the interaction of the transfer screw 720 and the transfer block 730 by driving the transfer motor 710, the transfer screw 720 for the reasons described above. More preferably, the central axis of is in the extension plane EP.

이와 같은 본 발명에 따른 일실시예로서 와이어 쏘의 동작 관계를 살펴보면 다음과 같다. 먼저, 잉곳(1)을 잉곳지지하우징(800)에 장착한 후, 이송모터(710)에 의해 이송나사(720)를 회동시키면 이송나사(720)와 결합된 이송블록(730)은 하강하며, 슬라이딩 블록이 승강가이드레일(500)을 따라 안내되어 슬라이딩됨으로써 승강프레임(400)도 하강한다. Looking at the operation relationship of the wire saw as an embodiment according to the present invention as follows. First, after mounting the ingot 1 to the ingot support housing 800, the feed screw 720 is rotated by the feed motor 710, the feed block 730 coupled with the feed screw 720 is lowered, As the sliding block is guided and slides along the lifting guide rail 500, the lifting frame 400 is also lowered.

상기 승강프레임(400)의 하강에 따라 상기 잉곳(1)도 함께 하강하며, 워크롤러(110,110')에 의해 주행하는 절단와이어(200)와 잉곳(1)이 접촉하면, 다이아몬드와 같은 연마제에 의해 절삭이 개시된다. The ingot 1 is also lowered along with the lowering of the elevating frame 400, and when the cutting wire 200 traveling by the work rollers 110 and 110 ′ contacts the ingot 1, an abrasive such as diamond is used. Cutting is started.

그리고, 상술된 바와 같이, 잉곳(1)의 효율적인 절삭을 위해 상기 잉곳스윙모터(1200)에 의해 잉곳(1)을 절단와이어(200)에 대해 선회시킨다.As described above, the ingot 1 is pivoted with respect to the cutting wire 200 by the ingot swing motor 1200 for efficient cutting of the ingot 1.

잉곳(1)이 절단된 후에는, 이송모터(710)에 의해 이송나사(720)를 역전시키면 상술된 바와 반대의 과정으로 승강프레임(400)이 상승한다. After the ingot 1 is cut, when the transfer screw 720 is reversed by the transfer motor 710, the lifting frame 400 is raised in the reverse process as described above.

상기 승강프레임(400)이 상승하면 잉곳지지하우징(800)도 상승하게 되는데, 잉곳지지하우징(800) 내의 잉곳스윙하우징(900)의 지지테이블(901)로부터 잉곳마운팅블록(1000)을 탈착하여 공지된 바와 같은 방식에 의해 낱장의 다수의 웨이퍼로 분리하고 면취공정, 폴리싱 공정이나 경면 공정 등 후 공정을 진행한다. .
When the lifting frame 400 rises, the ingot support housing 800 also rises, and the ingot mounting block 1000 is removed from the support table 901 of the ingot swing housing 900 in the ingot support housing 800. In a manner as described above, the wafer is separated into a plurality of wafers, followed by a chamfering process, a polishing process or a mirror surface process. .

이와 같은 공정에 있어서, 본 발명에 따른 일실시예로서 와이어 쏘를 이용하여 잉곳(1)을 절단하는 보다 상세한 설명은 도 7을 참조하여 살펴보고자 한다.
In this process, a more detailed description of cutting the ingot 1 using a wire saw as an embodiment according to the present invention will be described with reference to FIG.

도 7은 본 발명에 따른 와이어 쏘의 일예로서 잉곳이 절단와이어(200)에 가압되어 선회하면서 절단되는 과정을 순차적으로 도시한 도면으로, 도 7a는 잉곳이 하강하여 절단와이어(200)에 접촉한 상태를 도시한 것이며, 도 7b 내지 도 7d는 잉곳이 하강 및 선회되면서 절단와이어가 잉곳을 절입하는 과정을 도시한 것이며, 그리고, 도 7e는 잉곳 절단 후의 상태를 도시한 도면이다. 여기서, 도 7에 도시된 일예는 잉곳의 스윙 축심축의 축선과 잉곳의 중심선이 일치하도록 잉곳을 잉곳스윙하우징에 장착한 경우를 도시한 것이다.
7 is an example of a wire saw according to the present invention sequentially showing a process in which the ingot is cut while pressing and turning the cutting wire 200, Figure 7a is ingot is lowered in contact with the cutting wire 200 7B to 7D illustrate a process in which the cutting wire cuts in the ingot while the ingot descends and pivots, and FIG. 7E illustrates a state after cutting the ingot. Here, one example shown in FIG. 7 illustrates a case where the ingot is mounted on the ingot swing housing so that the axis of the swing axis of the ingot and the center line of the ingot coincide with each other.

도 7a를 참조하면, 절단와이어(200)는 한 쌍의 워크롤러(110,110') 사이에서 고속 주행하고 있으며, 잉곳(1)은 잉곳마운팅블록(1000)을 매개로 잉곳스윙하우징(900)에 고정되어 있다. 그리고, 잉곳스윙하우징(900)과 연결된 스윙중심축(910)은, 참조 부호 "O"의 연장선상에 위치한다. 잉곳 절단 공정은 먼저 상기 승강프레임(400)에 의해 고속 주행하는 절단와이어(200)를 향해 잉곳(1)을 하강시킴으로써 시작된다. 잉곳(1)이 하강하여 고속 주행하는 절단와이어(200)에 접촉하면 다이아몬드와 같은 연마제와의 상호 작용에 의해 절삭이 개시된다. 그리고, 잉곳(1)의 하강에 따라 절단와이어(200)에 의해 잉곳(1)이 절입되면서, 절단와이어(200)와는 잉곳(1)과의 접촉 길이가 커지면서 점접촉에서 선접촉으로 진행된다.
Referring to FIG. 7A, the cutting wire 200 is traveling at a high speed between a pair of work rollers 110 and 110 ′, and the ingot 1 is fixed to the ingot swing housing 900 through the ingot mounting block 1000. It is. And, the swing center axis 910 connected to the ingot swing housing 900 is located on the extension line of the reference numeral "O". The ingot cutting process is first started by lowering the ingot 1 toward the cutting wire 200 traveling at high speed by the lifting frame 400. When the ingot 1 descends and comes into contact with the cutting wire 200 traveling at high speed, cutting is started by interaction with an abrasive such as diamond. As the ingot 1 is cut by the cutting wire 200 as the ingot 1 descends, the contact length with the cutting wire 200 increases from the point contact to the line contact while the contact length with the ingot 1 increases.

도 7b 내지 도 7d를 참조하면, 절단와이어(200)가 잉곳(1)과의 선접촉으로 진행되는 경우 잉곳 절단 능력이 떨어지기 때문에, 절단와이어(200)가 잉곳(1) 접촉 길이가 최소화되도록 잉곳(1)을 선회시킨다. 여기서, 상기 잉곳(1)의 선회 동작은 잉곳스윙하우징(900)에 의해 이루어진다. 즉, 상기 잉곳(1)은 잉곳마운팅블록(1000)을 매개로 잉곳스윙하우징(900)에 고정되어 있으며, 잉곳스윙하우징(900)의 선회암(903)이 스윙중심축(910)과 연결되어 있기 때문에, 스윙중심축(910)을 회전시키면 이에 따라 잉곳(1)도 선회한다.
7B to 7D, since the cutting ability of the ingot is reduced when the cutting wire 200 proceeds in line contact with the ingot 1, the cutting wire 200 is minimized so that the contact length of the ingot 1 is minimized. Rotate the ingot (1). Here, the turning operation of the ingot 1 is made by the ingot swing housing 900. That is, the ingot 1 is fixed to the ingot swing housing 900 through the ingot mounting block 1000, and the pivotal arm 903 of the ingot swing housing 900 is connected to the swing center axis 910. Therefore, when the swing center axis 910 is rotated, the ingot 1 also rotates accordingly.

도 7e를 참조하면, 잉곳의 하강 및 선회 동작을 서서히 줄이면서 절단 공정을 종료하게 된다.
Referring to FIG. 7E, the cutting process is terminated while gradually decreasing the lowering and turning operations of the ingot.

이와 같이, 도 7을 통해 살펴본 일예에 의하면, 종래의 일반적인 와이어 쏘에 있어서 지지테이블(901)이 잉곳(1)을 밀어서 절단와이어(200)로 가압하는 방식과는 달리, 본 발명에 따른 와이어 쏘는 포켓 형상의 잉곳스윙하우징(900) 내부에 잉곳(1)이 안착되어 선회암(903)에 의해 양단에서 잉곳(1)을 잡아 당기는 양상으로 잉곳(1)을 가압할 수 있기 때문에 안정적인 잉곳(1) 절단 공정을 수행할 수 있다. 특히, 잉곳(1)을 선회시켜 절삭하고자 할 경우 선회 중심 "O"을 기준으로 일정 각도 경사지게 되는데, 그렇다 하더라도 잉곳(1)은 선회암(903)에 의해 선회 중심 "O"를 향해 변함없이 절단와이어(200)로 가압되어지기 때문에 안정적인 절단 공정이 이루어질 수 있을 뿐만 아니라, 잉곳(1)의 선회방향과 절단와이어(200)의 주행 방향을 같은 방향으로 할 경우 잉곳(1)은 절단와이어(200)와 지지테이블(901) 사이에 끼워진 양태가 되기 때문에 잉곳(1) 절삭력이 더욱 증대될 수 있다.
As described above, according to an example illustrated in FIG. 7, unlike the method in which the support table 901 pushes the ingot 1 and presses the cutting wire 200 in the conventional general wire saw, the wire saw according to the present invention is used. The ingot 1 is seated inside the pocket-shaped ingot swing housing 900 and the ingot 1 can be pressurized in a manner of pulling the ingot 1 from both ends by the swiveling rock 903 so that the ingot 1 is stable. Cutting process can be performed. In particular, when turning and cutting the ingot 1 is inclined at an angle with respect to the turning center "O", even though the ingot 1 is cut unchanged toward the turning center "O" by the turning rock 903. Since the wire 200 is pressurized, not only a stable cutting process may be performed, but also the turning direction of the ingot 1 and the running direction of the cutting wire 200 are in the same direction. ), The cutting force of the ingot 1 can be further increased.

한편, 본 발명에 따른 다른예로서 잉곳(1)은 그 최하단부가 스윙중심축(910)의 축선의 상부에 위치하도록 잉곳(1)을 잉곳스윙하우징(900)에 장착하는 것이 고강성 와이어 쏘에 있어서 바람직하다. 이에 관하여 도 8을 참조하여 살펴보고자 한다.
On the other hand, as another example according to the present invention, the ingot 1 is mounted to the ingot swing housing 900 so that the lower end thereof is located above the axis of the swing center shaft 910 in the high rigid wire saw. It is preferable. This will be described with reference to FIG. 8.

도 8은 본 발명에 따른 다른예로서 잉곳의 최하단부가 스윙 중심축의 축선상에 위치한 상태를 도시한 도면이다.
8 is a view showing a state in which the lowest end of the ingot is located on the axis of the swing central axis as another example according to the present invention.

도 8을 참조하면, 도 7a와 비교할 때 스윙중심축(910)이 잉곳의 반지름 "r"에 해당하는 거리만큼 이동된 상태로서, 잉곳(1)의 최하단부가 스윙중심축(910)의 축선상에 위치한다.
Referring to FIG. 8, compared to FIG. 7A, the swing center axis 910 is moved by a distance corresponding to the radius “r” of the ingot, and the lowest end of the ingot 1 is on the axis of the swing center axis 910. Located in

도 7a와 도 7b를 참조하면, 잉곳(1)은 그 중심선이 스윙중심축(910)의 축선에 일치하고 있기 때문에, 스윙중심축(910)과 절단와이어(200)와의 거리 즉, 잉곳(1)의 반지름 "r"에 해당하는 절단 공정 중에는, 고속 주행하는 절단와이어(200)로 잉곳(1)을 밀어 붙이면서 절삭하게 된다. 이러한 경우, 잉곳(1)은, 고속 주행하는 절단와이어(200)와의 사이에서 불안정하여 정밀한 절삭이 어려울 수 있으며, 절단 속도도 높일 수 없는 문제가 발생한다.
7A and 7B, since the center line of the ingot 1 coincides with the axis of the swing center axis 910, the distance between the swing center axis 910 and the cutting wire 200, that is, the ingot 1. During the cutting process corresponding to the radius " r ", the cutting is performed while pushing the ingot 1 onto the cutting wire 200 traveling at high speed. In such a case, the ingot 1 may be unstable between cutting wires 200 traveling at high speed, and thus may be difficult to precisely cut, and the cutting speed may not be increased.

도 8을 참조하면, 도 7a와 도 7b와 달리, 잉곳(1) 절단 개시부터 포켓 형상의 잉곳스윙하우징(900) 내부에 잉곳(1)이 안착되어 선회암(903)에 의해 양단에서 잉곳(1)을 잡아 당기는 양상으로 절단와이어(200)에 가압할 수 있기 때문에 안정적인 잉곳 절단 공정을 수행할 수 있어 고강성 와이어 쏘 구현에 바람직하다. Referring to FIG. 8, unlike FIG. 7A and FIG. 7B, the ingot 1 is seated inside the pocket-shaped ingot swing housing 900 from the start of cutting the ingot 1 and the ingots are formed at both ends by the slewing rock 903. 1) It can be pressed to the cutting wire 200 in the aspect of pulling, it is possible to perform a stable ingot cutting process is preferred for high rigid wire saw implementation.

더욱이, 본 발명에 따른 와이어 쏘에 있어서, 상기 칼럼(300)에 장착된 승강가이드레일(500)은 그 연장평면(EP)이 절단와이어(200)의 절단평면(SZ)과 직교 또는 교차토록 되어 있다. 또한, 잉곳 선회 방식에 의한 원할한 잉곳(1) 절단이 이루어질 수 있도록 스윙중심축(910)과 절단와이어(200)의 방향은 서로 직각을 이루도록 되어 있다. 이에 따라, 승강가이드레일(500)을 통해 승강프레임(400)이 하강됨으로써 절단와이어(200)에 가압하는 가압력의 방향은 적어도 스윙 중심 축선을 지나게 된다. 따라서, 편심이 최소화되면서 주행하는 절단와이어(200)에 잉곳(1)을 안정적으로 가압할 수 있으며, 따라서 절단 속도를 높일 수 있는 고강성의 와이어 쏘 구현에 바람직하다.
Furthermore, in the wire saw according to the present invention, the lifting guide rail 500 mounted on the column 300 is such that its extension plane EP is perpendicular to or crosses the cutting plane SZ of the cutting wire 200. have. In addition, the direction of the swing center axis 910 and the cutting wire 200 is formed to be perpendicular to each other so that the smooth cutting of the ingot 1 by the ingot turning method can be made. Accordingly, the lifting frame 400 is lowered through the lifting guide rail 500 so that the direction of the pressing force applied to the cutting wire 200 passes through at least the swing center axis. Therefore, it is possible to stably press the ingot 1 to the cutting wire 200 which runs while minimizing the eccentricity, and thus is preferable for implementing a high-strength wire saw that can increase the cutting speed.

다음으로 본 발명에 따른 신규의 도브테일조인트(930)에 관해 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하고자 한다.
Next, a new dovetail joint 930 according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 9는 본 발명에 따른 일예로서 도브테일 조인트에 의해 잉곳지지하우징과 잉곳 마운틱 블록이 결합된 상태를 도시한 외부 사시도이며, 도 10은 도브테일 조인트의 구성을 도시하기 위해 일부를 절개하여 도시한 사시도이며, 도 11은 도브테일조인트의 분리 사시도이며, 그리고 도 12는 도브테일 조인트에 의해 잉곳마운팅블록이 장착된 상태를 도시한 사시도이다.
9 is an external perspective view illustrating a state in which the ingot support housing and the ingot mount block are coupled by a dovetail joint as an example according to the present invention, and FIG. 10 is a perspective view of a cut portion of the dovetail joint. 11 is an exploded perspective view of the dovetail joint, and FIG. 12 is a perspective view illustrating a state in which the ingot mounting block is mounted by the dovetail joint.

도 9 내지 도 12를 참조하면, 본 발명에 따른 일예로서 도브테일 조인트(930)는 도브테일(1005), 도브테일 슬롯(901a), 및 압력 플레이트(936)를 기본적으로 포함한다. 9 to 12, as an example according to the present invention, the dovetail joint 930 basically includes a dovetail 1005, a dovetail slot 901a, and a pressure plate 936.

상기 도브테일(1005)은 잉곳 마운팅블록(1000)에 부착되어 있으며, 상기 도브테일 슬롯(901a)은 잉곳스윙하우징(900), 보다 상세하게는 지지테이블(901)에 형성되어 도브테일(1005)을 수용한다. 그리고, 상기 압력 플레이트(936)는, 도브테일(1005) 측방에 배치되어 도브테일 슬롯(901a)에 수용된 도브테일(1005)을 가압하여 도브테일(1005)이 도브테일 슬롯(901a)의 사면(901a')을 따라 끼워지도록 한다.
The dovetail 1005 is attached to the ingot mounting block 1000, and the dovetail slot 901a is formed in the ingot swing housing 900, more specifically, the support table 901 to accommodate the dovetail 1005. . The pressure plate 936 is disposed on the dovetail 1005 side to press the dovetail 1005 accommodated in the dovetail slot 901a so that the dovetail 1005 is along the slope 901a 'of the dovetail slot 901a. To be fitted.

본 발명에 따른 도브테일 조인트(930)는, 이송로드(937)와, 가동블록(935) 및 구동블록(934)을 더 구비함에 특징이 있으며, 본 발명에 따른 일예로서 상술하면 다음과 같다.
The dovetail joint 930 according to the present invention is characterized by further comprising a transfer rod 937, a movable block 935, and a driving block 934, which will be described below as an example according to the present invention.

상기 잉곳 스윙하우징(900)에는, 도브테일 슬롯(901a)과 평행하게 "ㅏ" 형상을 이루는 구동블록 수용부(931)와 가동블록 수용부(932)가 마련된다.The ingot swing housing 900 is provided with a drive block accommodating part 931 and a movable block accommodating part 932 having a “ㅏ” shape in parallel with the dovetail slot 901a.

상기 구동블록 수용부(931)는, 도브테일 슬롯(901a)과 평행하게 배치되어 구동블록(934)이 움직일 수 있는 공간을 제공한다. The drive block receiving portion 931 is disposed in parallel with the dovetail slot 901a to provide a space in which the drive block 934 can move.

상기 가동블록 수용부(932)는, 구동블록 수용부(931)와 도브테일 슬롯(901a)이 연통되어 가동블록(935)이 움직일 수 있는 공간을 제공한다. The movable block accommodating part 932 communicates with the driving block accommodating part 931 and the dovetail slot 901a to provide a space for the movable block 935 to move.

상기 이송로드(937)는, 베어링이나 부시에 의해 회전 자유롭게 구동블록 수용부(931)에 지지되며, 그 단부에는 외부에서 수동으로 회동시킬 수 있도록 레버(937-2)가 부착되며, 그 양단부 사이에서 외주연에 형성된 나사산(937-3)을 구비한다. 그리고, 후술하는 바와 같이, 이송로드(937)의 고정을 위해 상기 레버(937-2)에 근접하여 스플라인 기구를 더 구비하는 것이 안정적인 고정을 위해 더욱 바람직하다. The transfer rod 937 is rotatably supported by the drive block receiving portion 931 by a bearing or a bush, and an end thereof is provided with a lever 937-2 so as to be manually rotated from the outside, between both ends thereof. It has a screw thread (937-3) formed on the outer periphery. And, as will be described later, it is more preferable for the stable fixing to further have a spline mechanism in close proximity to the lever 937-2 for fixing the transfer rod 937.

상기 구동블록(934)은 상기 구동블록 수용부(931)에 위치하며, 상기 이송로드(937)의 나사산(937-3)과 맞물릴 수 있도록 상기 구동블록(934)에 나사공(934-1)이 마련된다. 이와 같은 구성에 따라, 상기 구동블록 수용부(931)내에서 상기 구동블록(934)의 나사공(934-1)에 상기 이송로드(937)가 끼워진 상태에서 이송로드(937)를 회전시키면, 구동블록(934)은 이송로드(937)의 축선 방향으로 직선 이동하게 된다. The drive block 934 is located in the drive block accommodating part 931, and screw holes 934-1 in the drive block 934 to be engaged with the thread 937-3 of the transfer rod 937. ) Is prepared. According to such a configuration, when the feed rod 937 is rotated in the state in which the feed rod 937 is fitted in the screw hole 934-1 of the drive block 934 in the drive block receiving portion 931, The driving block 934 moves linearly in the axial direction of the transfer rod 937.

상기 가동블록(935)은, 상기 구동블록(934)과 압력 플레이트(936) 사이에서 상기 가동블록 수용부(932)에 위치하며, 상기 구동블록(934)의 이동 방향과 다른 방향으로 움직일 수 있도록 구동블록(934)과 접촉하는 측방에 슬라이딩 면을 구비한다. 도시된 일예는, 가동블록(935)과 구동 블럭에 각각 이송로드(937)의 방향에 경사진 슬라이딩 면을 가진다. 이에 따라, 상기 구동블록(934)이 이송로드(937)에 의해 움직이면 구동블록(934)과 가동블록(935)이 슬라이딩 면과 상호 접촉하고 있으므로, 가동블록(935)도 슬라이딩 면을 따라 움직일 수 있다. 그리고, 상기 압력 플레이트(936)는, 상기 가동블록(935)의 움직임에 의해 도브테일 슬롯(901a)의 사면(901a')에 도브테일(1005)을 끼워 고정할 수 있다. 그리고, 마운팅 블록을 잉곳스윙하우징(900)으로부터 분리하고자 할 경우에는, 레버(937-2)를 이용하여 이송로드(937)를 회전시켜 위와 반대의 과정으로 압력 플레이트(936)에 가압력을 해제시킴으로써 상호 분리가 가능하다.
The movable block 935 is located between the driving block 934 and the pressure plate 936 in the movable block receiving portion 932 and moves in a direction different from the moving direction of the driving block 934. A sliding surface is provided on the side in contact with the driving block 934. In the illustrated example, the movable block 935 and the driving block each have a sliding surface inclined in the direction of the transfer rod 937. Accordingly, when the drive block 934 is moved by the transfer rod 937, the drive block 934 and the movable block 935 are in contact with the sliding surface, so that the movable block 935 may also move along the sliding surface. have. In addition, the pressure plate 936 may be fixed by inserting the dovetail 1005 on the slope 901a 'of the dovetail slot 901a by the movement of the movable block 935. And, if you want to separate the mounting block from the ingot swing housing 900, by rotating the feed rod 937 using the lever (937-2) by releasing the pressing force on the pressure plate 936 in the reverse process It can be separated from each other.

이와 같은 본 발명에 따른 일예로서 도시하고 설명된 도브테일 조인트(930)는, 단순히 도브테일의 측방에서 압력 플레이트를 가압하는 기존의 방식과 달리, 작업의 편의성을 높일 뿐만 아니라, 고강성 구조를 구현하는데 매우 유용하다. 즉, 기존의 도브테일 조인트는, 단순히 측방에서 클램프 등으로 압력 플레이트를 가압하여 도브테일(1005)이 도브테일 슬롯(901a)의 사면(901a')에 끼워져 기준면에 맞춰지도록 하고 있으나, 본 발명에 따른 도브테일 조인트(930)는 도브테일(1005)의 전방, 즉, 도브테일(1005)을 도브테일 슬롯(901a)으로 수용하는 방향에서 레버(937-2)를 이용하여 이송로드(937)를 회전시킴으로써 간단히 도브테일(1005)의 결합 및 분리가 가능하다. 특히 본 발명에 따른 "∏" 형상의 잉곳스윙하우징(900)의 경우 잉곳 마운팅블록(1000)의 측방에 여유 공간이 충분치 않으므로 전방에서 도브테일(1005)을 장착하는 것이 특히 유용하며, 고강성 구조의 와이어 쏘의 구현을 위해서도 잉곳스윙하우징(900)을 간결한 구조로 할 수 있어 더욱 바람직하다.
The dovetail joint 930 shown and described as an example according to the present invention, unlike the conventional way of simply pressurizing the pressure plate on the side of the dovetail, not only increases the convenience of work, but also very high to implement a high rigid structure useful. That is, in the conventional dovetail joint, the dovetail 1005 is fitted to the slope 901a 'of the dovetail slot 901a by simply pressing the pressure plate with a clamp or the like in the side so as to fit the reference plane, but the dovetail joint according to the present invention. 930 is simply the dovetail 1005 by rotating the transfer rod 937 using the lever 937-2 in front of the dovetail 1005, that is, the direction in which the dovetail 1005 is received as the dovetail slot 901a. Can be combined and separated. In particular, in the case of the ingot swing housing 900 of the "∏" shape according to the present invention, since the free space is not sufficient on the side of the ingot mounting block 1000, it is particularly useful to mount the dovetail 1005 from the front, of high rigidity structure Ingot swing housing 900 can be made to have a concise structure for the implementation of the wire saw is more preferable.

한편, 본 발명에 따른 일예로서 도브테일 조인트(930)를 이용하여 잉곳 마운팅블록(1000)을 잉곳지지하우징(800)에 장착한 후에, 상기 이송로드(937)가 역회전되어 풀리게 되면 잉곳마운팅블록(1000)이 불안정하게 되거나 또는 이탈될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 일예로서 도시된 도브테일 조인트(930)는, 이송로드 고정장치를 더 구비하는 것이 바람직하다.
On the other hand, after mounting the ingot mounting block 1000 to the ingot support housing 800 using the dovetail joint 930 as an example according to the present invention, if the transfer rod 937 is reversely rotated and released, the ingot mounting block ( 1000) may become unstable or may deviate. Accordingly, the dovetail joint 930 shown as an example according to the present invention, it is preferable to further include a transfer rod fixing device.

도 13와 도 14는 이송로드 고정장치를 부분 확대하여 도시한 것으로, 스플라인 부시가 잉곳 스윙하우징에 끼워지기 전과 후를 도시한 사시도이다.
Figures 13 and 14 are enlarged views of the transfer rod fixing device, and is a perspective view showing before and after the spline bush is fitted to the ingot swing housing.

도 13와 도 14를 참조하면, 본 발명에 따른 일예로서 이송로드 고정장치(1930)는, 사용 및 조작의 용이성이 확보될 수 있도록 이송로드(937)의 레버(937-2)에 인접하여 마련된다. 상기 이송로드 고정장치(1930)는, 여러개의 스플라인 조합으로 이루어진다. 13 and 14, as an example according to the present invention, the transfer rod fixing device 1930 is provided adjacent to the lever 937-2 of the transfer rod 937 to ensure ease of use and operation. do. The transfer rod fixing device 1930 is composed of a plurality of spline combinations.

먼저, 상기 이송로드(937)에는, 레버(937-2)에 인접하여 외주연에 다수의 스플라인(937-1)이 형성된다. First, a plurality of splines 937-1 are formed at an outer circumference of the transfer rod 937 adjacent to the lever 937-2.

그리고, 상기 잉곳 스윙하우징(900)의 구동블록 수용부(931)에는, 이송로드(937)가 여유롭게 수용될 수 있도록 내외 연통된 이송로드 수용홀(933)이 형성되며, 상기 이송로드 수용홀(933)은 스플라인 부시(938)의 두께만큼 2단으로 단차진 단면 형상을 가진다. 또한, 상기 이송로드 수용홀(933)의 외측 내주연에는, 스플라인 부시(938)의 스플라인(938-1)이 끼워져 미끄럼 이동될 수 있도록, 다수의 스플라인 홈부(933-1)가 마련된다. In addition, in the drive block accommodating part 931 of the ingot swing housing 900, a feed rod accommodating hole 933 is formed to communicate with the inside and the outside so that the feed rod 937 can be accommodated comfortably, and the feed rod accommodating hole ( 933 has a cross-sectional shape stepped into two stages by the thickness of the spline bush 938. In addition, a plurality of spline grooves 933-1 are provided at an outer inner circumference of the transfer rod accommodation hole 933 so that the spline 938-1 of the spline bush 938 can be fitted and slide.

그리고, 상기 스플라인 부시(938)는, 이송로드(937)와 잉곳 스윙하우징(900)의 스플라인 홈부(933-1)에 슬라이딩 가능하게 끼워질 수 있는 형상으로서 전체적으로 원통 형상을 가진다. The spline bush 938 has a cylindrical shape as a shape that can be slidably fitted to the spline groove 933-1 of the transfer rod 937 and the ingot swing housing 900.

상기 스플라인 부시(938)의 내주면에는, 이송로드(937)의 스플라인(937-1)과 슬라이딩 가능하게 맞춰지는 스플라인 홈부(938a)가 마련된다. On the inner circumferential surface of the spline bush 938 is provided a spline groove 938a which is slidably fitted with the spline 937-1 of the transfer rod 937.

상기 스플라인 부시(938)의 외주면에는, 잉곳 스윙하우징(900)의 스플라인 홈부(933-1)에 슬라이딩 가능하게 맞춰지는 스플라인(938-1)이 형성된다.
On the outer circumferential surface of the spline bush 938, a spline 938-1 is formed to be slidably fitted to the spline groove 933-1 of the ingot swing housing 900.

이와 같은 본 발명에 따른 일예로서 이송로드 고정창치(1930)의 동작 관계를 살펴보면 다음과 같다.
Looking at the operation relationship of the transfer rod fixing window 1930 as an example according to the present invention as follows.

먼저, 스플라인 부시(938)가 이송로드(937)의 레버(937-2)측에 끼워진 상태에서 상기 이송로드(937)를 상기 구동블록 수용부(931)에 장착한다. First, the transfer rod 937 is mounted to the drive block accommodating portion 931 in a state where the spline bush 938 is fitted to the lever 937-2 side of the transfer rod 937.

다음으로, 외부에서 레버(937-2)를 돌려 이송로드(937)를 회전시키면 도 9 내지 도 12를 참조하여 설명된 바와 같이 잉곳 마운팅블록(1000)은 잉곳 스윙하우징(900)에 고정된다. Next, rotating the feed rod 937 by rotating the lever 937-2 from the outside, the ingot mounting block 1000 is fixed to the ingot swing housing 900 as described with reference to FIGS. 9 to 12.

다음으로, 스플라인 부시(938)를 잉곳스윙하우징(900)의 이송로드 수용홀(933)에 밀어 넣으면, 이송로드(937)의 스플라인(937-1)이 이송로드 수용홀(933)의 스플라인 홈부(933-1)를 따라 슬라이딩되면서 이송로드 수용홀(933)에 스플라인 부시(938)가 끼워진다. 그리고, 이동 로드(937), 스플라인 부시(938) 및 이송로드 수용홀(933)에 각각 구비된 스플라인(937-1,938-1)과 스플라인 홈부(933-1,938a)는 서로 맞물려 있기 때문에, 이송로드(937)는 회전하는 일이 없고 도브테일(1005) 또는 잉곳 마운팅블록(1000)을 안정적으로 고정하여 보다 정밀한 잉곳 절단공정을 수행할 수 있다.
Next, when the spline bush 938 is pushed into the feed rod receiving hole 933 of the ingot swing housing 900, the spline 937-1 of the feed rod 937 is a spline groove of the feed rod receiving hole 933 The spline bush 938 is fitted into the transfer rod receiving hole 933 while sliding along the 933-1. Since the splines 937-1 and 938-1 and the spline grooves 933-1 and 938a respectively provided in the movable rod 937, the spline bush 938 and the transfer rod receiving hole 933 are engaged with each other, the transfer rod 937 does not rotate and stably fix the dovetail 1005 or the ingot mounting block 1000 to perform a more precise ingot cutting process.

한편, 본 발명에 따른 일실시예로서 와이어 쏘는, 잉곳 마운팅블록(1000)을 편리하게 장착하거나 또는 잉곳 마운팅블록(1000)의 이탈 방지를 위해 잉곳스윙하우징(900), 보다 상세하게는 지지테이블(901)에 스토퍼장치(920)가 더 보강 구비되는 것이 바람직하다.
Meanwhile, in one embodiment according to the present invention, the wire saw, the ingot mounting block 1000 is conveniently mounted or the ingot swing housing 900 for preventing the separation of the ingot mounting block 1000, more specifically, the support table ( It is preferable that the stopper device 920 is further reinforced with the 901.

도 10을 참조하면, 본 발명에 따른 일실시예로서 스토퍼 장치(920)는, 후크(922)와 스프링(923)을 포함한다. 도시된 예는 상기 후크(922)와 스프링(923)이 스토퍼 장입홈(921)에 설치된다. Referring to FIG. 10, as an embodiment according to the present invention, the stopper device 920 includes a hook 922 and a spring 923. In the illustrated example, the hook 922 and the spring 923 are installed in the stopper charging groove 921.

상기 후크(922)는, 그 일단이 상기 스토퍼 장입홈(921)에 회동 가능하게 힌지핀(924)으로 결합되며, 그 타단은 스토퍼 장입홈(921)의 외측으로 돌출 절곡되어 있다. 이에 따라, 잉곳 마운팅블록(1000)의 도브테일(1005)이 잉곳 스윙하우징(900)의 도브테일 슬롯(901a)에 삽입된 후에는, 상기 후크(922)가 상기 잉곳마운팅블록(1000)과 접촉하여 걸림으로써 삽입 상태를 유지할 수 있어 편리하며, 잉곳 스윙과정에 잉곳마운팅블록(1000)이 잉곳스윙하우징(900)에서 이탈되지 않아서 공정 신뢰성도 좋아진다. One end of the hook 922 is rotatably coupled to the stopper charging groove 921 by a hinge pin 924, and the other end thereof is protruded and bent outward of the stopper charging groove 921. Accordingly, after the dovetail 1005 of the ingot mounting block 1000 is inserted into the dovetail slot 901a of the ingot swing housing 900, the hook 922 contacts and engages with the ingot mounting block 1000. As it is possible to maintain the insertion state, it is convenient, and the ingot mounting block 1000 is not separated from the ingot swing housing 900 in the ingot swinging process, thereby improving process reliability.

상기 스프링(923)은, 그 일예로 토션 스프링과 같이, 후크(922)가 잉곳 마운팅블록(1000)을 향해 탄발 지지할 수 있도록 힌지핀(924)에 내설된다. 이에 따라, 도브테일(1005)을 도브테일 슬롯(901a)으로 밀어 넣을 때, 상기 후크(922)는 잉곳마운팅블록(1000)과 접촉하여 힌지핀(924)을 중심으로 상향 회동하여 열리게 되며, 도브테일(1005)이 삽입된 후에는 후크(922)가 스프링(923)에 의해 힌지핀(924)을 중심으로 하향 회동되어 닫히면서, 잉곳 마운팅블록(1000)의 선단부가 후크(922)에 걸려 고정된다. 그리고, 상기 잉곳 마운팅블록(1000)을 잉곳 스윙하우징(900)에서 분리하고자 하는 경우에는 후크(922)를 상방으로 간단히 회동시킨 후 잉곳 마운팅블록(1000)을 잡아 당겨 분리한다.
The spring 923 is embedded in the hinge pin 924 so that the hook 922 can be elastically supported toward the ingot mounting block 1000, like the torsion spring. Accordingly, when the dovetail 1005 is pushed into the dovetail slot 901a, the hook 922 contacts the ingot mounting block 1000 to open upward by pivoting around the hinge pin 924, and the dovetail 1005. After the insertion of the hook 922 is rotated down around the hinge pin 924 by the spring 923, the front end of the ingot mounting block 1000 is fixed to the hook 922. In addition, when the ingot mounting block 1000 is to be separated from the ingot swing housing 900, the hook 922 is simply rotated upwards, and then the ingot mounting block 1000 is pulled out and separated.

이상과 같이, 본 발명에 따른 실시예들로서 와이어 쏘를 도시하고 설명하였으나 본 발명에 따른 기술적 사상 범위 내에서 다양하게 변형 및 변경할 수 있음은 당업자에 있어서 자명하며, 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 예시되고 설명된 실시예에 한정되어 제한적으로 해석되어서는 안되며 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다. As described above, the wire saw is shown and described as embodiments according to the present invention, but it is apparent to those skilled in the art that various modifications and changes can be made within the scope of the technical idea according to the present invention. Thus, the technical scope of the present invention is illustrated. It should not be construed as limited to the embodiments described and described, but should be defined by the appended claims.

1: 잉곳 2: 더미빔 110.110': 워크롤러
200: 절단 와이어 300: 칼럼 400 : 승강프레임
500: 승강 가이드 레일 600: 슬라이딩 블록 710: 이송모터
720: 이송나사 730: 이송블록 800: 잉곳 지지하우징
921: 수토퍼 장입홈 922: 후크 923: 스프링
1000: 잉곳 마운팅블록 1100: 링크동력전달기구1: ingot 2: dummy beam 110.110 ': walk roller
200: cutting wire 300: column 400: lifting frame
500: lifting guide rail 600: sliding block 710: feed motor
720: Feed screw 730: Feed block 800: Ingot support housing
921: water topper loading groove 922: hook 923: spring
1000: ingot mounting block 1100: link power transmission mechanism

Claims (17)

서로 이격된 적어도 2개의 워크롤러를 구비한 베이스 프레임:
상기 워크롤러에 감겨 짐으로써 박판의 다수의 웨이퍼로 잉곳이 절단될 수 있도록 절단 평면을 형성하는 절단 와이어:
상기 절단 평면에 대해 상향으로 돌출된 형상으로 상기 베이스 프레임에 설치된 칼럼:
상기 절단 평면에 대해 승강 가능하게 상기 칼럼에 장착된 승강 프레임:
상기 승강 프레임에 장착된 잉곳지지하우징:
상기 잉곳지지하우징에 대해 회동 가능하게 장착된 스윙 중심축;
상기 스윙 중심축을 회동시키기 위한 잉곳스윙모터;
상기 잉곳스윙모터와 연결된 링크 구동축과, 상기 스윙중심축과 상기 링크 구동축 사이의 거리와 같은 길이를 가지며 상기 스윙 중심축과 상기 링크 구동축에 회동가능하게 장착된 링크절을 구비하는 링크 동력 전달기구; 및
상기 스윙 중심축의 회동에 따라 선회함으로써 잉곳이 와이어에 대해 스윙하여 다수의 박판의 웨이퍼로 절단될 수 있도록 상기 스윙 중심축과 결합된 잉곳스윙하우징:을 구비하는 것을 특징으로 하는 와이어 쏘.Base frame with at least two work rollers spaced apart from each other:
A cutting wire wound on the work roller to form a cutting plane such that the ingot can be cut into a plurality of wafers of sheet metal:
A column installed in the base frame in a shape projecting upwardly relative to the cutting plane:
An elevating frame mounted to the column to elevate with respect to the cutting plane:
Ingot supporting housing mounted on the lifting frame:
A swing central axis rotatably mounted to the ingot support housing;
An ingot swing motor for rotating the swing central axis;
A link power transmission mechanism having a link drive shaft connected to the ingot swing motor, and a link section having a length equal to a distance between the swing center shaft and the link drive shaft and rotatably mounted to the swing center shaft and the link drive shaft; And
And an ingot swing housing coupled to the swing central axis such that the ingot swings with respect to the wire to be cut into a plurality of thin wafers by turning according to the rotation of the swing central axis. 제1항에 있어서,
상기 링크절은,
상기 스윙 중심축과 상기 링크 구동축에 각각 볼조인트로 연결된 것을 특징으로 하는 와이어 쏘.The method of claim 1,
The link clause,
Wire saw, characterized in that connected to each of the swing axis and the link drive shaft by a ball joint. 제1항에 있어서,
상기 링크절은 2개가 일조를 이루어 서로 평행하게 배치된 것을 특징으로 하는 와이어 쏘.The method of claim 1,
The link saw is a wire saw, characterized in that the two arranged in parallel to each other in a group. 제1항에 있어서,
상기 링크절의 일단부는, 상기 스윙중심축과 연결되는 가상선이 상기 절단평면과 평행하게 되도록 상기 스윙중심축과 회동 가능하게 장착되며,
상기 링크절의 타단부는 상기 링크구동축과 연결되는 가상선이 상기 절단평면과 평행하게 되도록 상기 링크구동축과 회동가능하게 장착되는 것을 특징으로 하는 와이어 쏘. The method of claim 1,
One end of the link section is rotatably mounted with the swing center axis such that an imaginary line connected to the swing center axis is parallel to the cutting plane,
And the other end of the link section is rotatably mounted to the link driving shaft such that an imaginary line connected to the link driving shaft is parallel to the cutting plane. 제4항에 있어서,
상기 링크구동축은, 상기 스윙 중심축과 평행하게 연장 배치되어 상기 잉곳 지지하우징에 장착된 라인 샤프트인 것을 특징으로 하는 와이어 쏘.5. The method of claim 4,
The link driving shaft is a wire saw, characterized in that extending in parallel to the swing axis and mounted on the ingot support housing a line shaft. 제1항에 있어서,
상기 절단 와이어의 절단 평면과 마주하도록 잉곳을 장착할 수 있도록 상기 잉곳스윙하우징에 결합된 잉곳 마운팅블록;
상기 잉곳스윙하우징에 회전 자유롭게 지지되고, 외주연에 나사산이 형성된 이송 로드;
상기 이송 로드가 삽입되어 이송 로드의 회전에 따라 상기 잉곳스윙하우징에서 직선 이동될 수 있도록 나사공이 형성된 구동 블록;
상기 구동 블록의 이동 방향과 다른 방향으로 움직일 수 있도록 상기 구동 블록과 접촉하는 측방에 슬라이딩 면을 구비하며, 상기 구동 블록이 상기 슬라이딩 면과 접촉하여 움직이는 가동 블록;
상기 잉곳마운팅 블록에 부착된 도브테일;
상기 도브테일이 수용될 수 있도록 상기 잉곳스윙하우징에 형성된 도브테일 슬롯; 및
상기 가동 블록에 의해 움직임으로써 상기 도브 테일이 상기 도브 테일 슬롯의 사면을 따라 끼워질 수 있도록 상기 도브테일 슬롯에 수용된 도브테일을 가압하는 압력 플레이트;를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 와이어 쏘.The method of claim 1,
An ingot mounting block coupled to the ingot swing housing to mount the ingot to face the cutting plane of the cutting wire;
A conveying rod rotatably supported by the ingot swing housing and having a thread formed on an outer circumference thereof;
A drive block having a screw hole formed therein so that the transfer rod is inserted to move linearly in the ingot swing housing according to the rotation of the transfer rod;
A movable block having a sliding surface on a side in contact with the driving block to move in a direction different from a moving direction of the driving block, wherein the driving block moves in contact with the sliding surface;
A dovetail attached to the ingot mounting block;
A dovetail slot formed in the ingot swing housing to accommodate the dovetail; And
And a pressure plate pressurizing the dovetail accommodated in the dovetail slot so that the dovetail is fitted along the slope of the dovetail slot by moving by the movable block. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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