KR101381673B1 - 신규한 구조의 연마 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 판상형 모재를 연속 공정으로 연마하는 연마 장치로서, 상기 판상형 모재를 순차적으로 공급하는 모재 이송부; 상기 판상형 모재의 폭보다 길이가 짧은 둘 이상의 연마기로서, 상기 모재의 상면을 연마하는 제 1 연마기; 및 상기 판상형 모재의 폭보다 길이가 긴 하나의 연마기로서, 상기 제 1 연마기를 거친 상기 모재의 상면을 추가 연마하는 제 2 연마기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마 장치를 제공한다.

Description

신규한 구조의 연마 장치 {Polishing Apparatus of Novel Structure}
본 발명은 신규한 구조의 연마 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 판상형 모재를 연속 공정으로 연마하는 연마 장치로서, 상기 판상형 모재를 순차적으로 공급하는 모재 이송부; 상기 판상형 모재의 폭보다 길이가 짧은 둘 이상의 연마기로서, 회전축이 모재의 폭 방향으로 위치해 있으며, 상기 모재의 상면을 연마하는 제 1 연마기; 상기 판상형 모재의 폭보다 길이가 긴 하나의 연마기로서, 회전축이 모재의 폭 방향으로 위치해 있으며, 상기 제 1 연마기를 거친 상기 모재의 상면을 추가 연마하는 제 2 연마기;를 포함하는 연마 장치에 관한 것이다.
최근 디스플레이 분야에서 LED, LCD 등과 같은 평판형 디스플레이의 보급이 급격히 늘어나고 있다. 더욱이, 이들 평판형 디스플레이는 수요자의 요구에 따라 그 크기가 점차로 대형화되고 있다. 예를 들어, LCD는 인가전압에 따른 액정 투과도의 변화를 이용하여 여러 전기적인 정보를 시각적인 정보로 변환하여 전달하는 전기소자이다. 즉, LCD는 소비전력이 적고, 휴대용으로 사용될 수 있다는 점에서 널리 사용되고 있다.
이러한 LED, LCD, 반도체 등을 제조하는 공정 중에는 패널 또는 기판의 불량을 방지하기 위해서 그 표면에 부착되어 있는 이물질을 제거하는 등 패널 또는 기판의 연마 작업이 필수적으로 요구된다.
이는, 가공하기 전의 상기 패널 또는 기판 표면이 매우 거칠므로, 이 상태로 상기 패널 또는 기판을 가공하거나 가공 후 각종 막을 형성하게 된다면 작업이 원활하게 이루어지지 못함은 물론, 작업 후의 막 두께 등도 전 부분에 걸쳐 균일하지 못하게 되므로, 우수한 품질의 평판형 패널, 반도체 기판 등을 얻을 수 없게 된다.
한편, 이러한 표면 연마작업에는 디스크 타입의 연마장치, 또는 롤러 타입의 연마장치가 주로 사용되고 있다.
그러나, 상기 표면 연마장치는 주로, 종래의 중소형 패널에 맞는 구조로 되어 있기 때문에, 보다 효과적이고 능률적인 연마작업이 불가능하여 연마품질은 물론 생산성이 크게 떨어지는 문제점이 있다.
또한, 연마장치가 하나인 경우에는, 기판 및 패널 표면의 이물질을 제거하거나 평탄화하는 데 소요되는 시간이 오래 걸릴 뿐 아니라 상기 패널 및 기판의 크기가 커질수록 두께의 편차를 해소하기가 매우 어렵다.
특히, 디스크 타입의 연마 장치의 경우에는 연마 작업시 부분적으로 사각지대가 발생하여, 기판의 표면을 균일하게 평탄화하는 데 한계가 있어, 결과적으로 고효율, 고정밀의 연마작업이 불가능함은 물론 생산성이 크게 떨어지는 문제점이 있다.
따라서, 이러한 문제점을 근본적으로 해결할 수 있는 기술에 대한 필요성이 높은 실정이다.
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점과 과거로부터 요청되어온 기술적 과제를 해결하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 목적은 다수의 롤 형상 연마기를 포함함으로써 부분별로 압력을 조절하여 두께 편차를 해소하고, 모재의 크기에 대응하여 다수의 연마기를 구성함으로써 제조 공정성이 향상된 연마 장치를 제공하는 것이다.
따라서, 본 발명은 판상형 모재를 연속 공정으로 연마하는 연마 장치로서,
상기 판상형 모재를 순차적으로 공급하는 모재 이송부;
상기 판상형 모재의 폭보다 길이가 짧은 둘 이상의 연마기로서, 회전축이 모재의 폭 방향으로 위치해 있으며, 상기 모재의 상면을 연마하는 제 1 연마기;
상기 판상형 모재의 폭보다 길이가 긴 하나의 연마기로서, 회전축이 모재의 폭 방향으로 위치해 있으며, 상기 제 1 연마기를 거친 상기 모재의 상면을 추가 연마하는 제 2 연마기;
를 포함하는 연마 장치를 제공한다.
즉, 본 발명에 따른 연마 장치는 상기 다수의 제 1 연마기 및 제 2 연마기에 의해 모재의 상면을 연속으로 추가 연마함으로써, 모재의 두께 편차를 최소화할 뿐만 아니라 제조 공정성을 크게 향상시킬 수 있다.
상기 모재는 그것의 종류가 특별히 한정되는 것은 아니며, 예를 들어, 유리 기판 또는 금속 기판일 수 있으며, 바람직하게는 유리 기판일 수 있다.
하나의 바람직한 예에서, 상기 연마기는 상기 모재 이송부로부터 공급된 모재의 이동 방향과 반대방향으로 롤링됨으로써, 모재 이송부가 이동하면서 연마기에 의해 모재의 상면이 용이하게 연마될 수 있다.
상기 연마기는 상기 모재의 상면을 롤링하여 연마할 수 있는 구조라면 크게 특별히 제한하는 것은 아니며, 예를 들어, 원통형(또는 원기둥형)의 롤 형상일 수 있다.
또 다른 바람직한 예에서, 상기 제 1 연마기는 원통형 롤이 교번 방식으로 배열되어 있을 수 있어서, 종래의 연마장치와는 달리, 두께의 편차가 있는 모재에 부분별로 압력을 조절하여 롤링함으로써 두께 불균형을 해소할 수 있다.
상기 구조에서, 상기 원통형 롤 간에는 소정의 폭으로 중첩되어 있는 구조로 구성되어 있을 수 있어서, 연마 작업시 사각지대가 발생하는 문제점을 미연에 방지할 수 있다. 상기 중첩 폭은 연마되지 않는 부위를 방지할 수 있는 범위에서 설정될 수 있으며, 예를 들어, 0 mm 내지 20 mm의 크기로 이루어질 수 있으며, 바람직하게는 0 mm 내지 10 mm일 수 있다.
경우에 따라서, 상기 모재의 폭이 3000 mm 이상인 경우, 균일한 연마를 이룰 수 있도록, 바람직하게는, 상기 제 1 연마기의 원통형 롤의 개수는 4개 이상일 수 있다.
한편, 상기 제 2 연마기는 하나의 원통형 롤이 상기 모재의 전면을 연마하는 구조일 수 있다. 즉, 제 1 연마기에 의해 부분적으로 불균일한 모재를 연마한 이후, 제 2 연마기가 모재의 전면을 롤링함으로써 전체적으로 모재의 상면을 다듬는 역할을 하므로, 결과적으로 전체 영역의 두께 편차를 최소화할 수 있다.
본 발명은 또한, 상기 연마 장치를 사용하여 제조되는 유리기판을 제공한다.
이러한 유리기판은 다양한 용도에 사용될 수 있으며, 예를 들어, LED, LCD, PDP 등과 같은 평판 디스플레이 패널에 사용될 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 연마 장치는 롤 형상의 제 1 연마기 및 제 2 연마기를 포함함으로써, 부분별로 압력을 조절하여 두께 편차를 해소하고, 모재의 크기에 대응하여 다수의 연마기를 구성함으로써 제조 공정성이 향상된 연마 장치를 제공하는 것이다.
도 1은 본 발명의 하나의 실시예에 따른 연마 장치의 공정 모식도이다;
도 2는 도 1의 평면 모식도이다;
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 연마 장치의 공정 모식도이다.
이하에서는, 본 발명의 도면을 참조하여 설명하지만, 이는 본 발명의 더욱 용이한 이해를 위한 것으로, 본 발명의 범주가 그것에 의해 한정되는 것은 아니다.
도 1에는 본 발명의 하나의 실시예에 따른 연마 장치의 공정 모식도가 개시되어 있고, 도 2에는 도 1의 평면 모식도가 개시되어 있다.
상기 도면들을 참조하면, 판상형 유리기판(10)을 연속 공정으로 연마하는 연마 장치(100)는 유리기판(10)을 순차적으로 공급하는 유리기판 이송부(110); 유리기판(10)의 폭(W)보다 길이(l)가 짧은 2개의 제 1 연마기(120); 유리기판(10)의 폭(W)보다 길이(L)가 긴 하나의 제 2 연마기(130)를 포함하고 있다. 원통형 롤 형상의 연마기들(120, 130)는 유리기판 이송부(110)로부터 공급된 유리기판(10)의 이동방향(실선 화살표 참조)과 반대방향(점선 화살표 참조)으로 롤링된다.
제 1 연마기(120)는 교번 방식으로 배열되어 있으며, 유리기판(10)의 폭(W)을 1/2 분할하여 연마한다.
이때, 원통형 롤들 간에는 약 5 mm의 중첩 폭(w)을 가짐으로써, 연마가 되지 않는 사각지대를 방지할 수 있다.
제 1 연마기(120)를 거친 유리기판(10)은 제 2 연마기(130)에 의해 전면이 추가 연마됨으로써, 불균형한 두께를 최소화할 수 있다.
참고로, 유리기판의 폭이 3000 mm 이상의 대형 유리기판인 경우, 제 1 연마기(120)의 원통형 롤의 개수는 4개 이상일 수 있다.
도 3에는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 연마 장치의 공정 모식도가 개시되어 있다.
도 3을 도 1 및 도 2와 함께 참조하면, 제 1 연마기(120a)는 원통형 롤이 3개로 구성되어 있으며, 이에 따라 유리기판(10)의 폭(W)을 1/3로 분할하여 연마하는 점을 제외하고 도 1 및 도 2의 설명과 동일하므로 자세한 설명은 생략하기로 한다.
본 발명이 속한 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기 내용을 바탕으로 본 발명의 범주 내에서 다양한 응용 및 변형을 행하는 것이 가능할 것이다.

Claims (10)

  1. 판상형 모재를 연속 공정으로 연마하는 연마 장치로서,
    상기 판상형 모재를 순차적으로 공급하는 모재 이송부;
    상기 판상형 모재의 폭보다 길이가 짧은 둘 이상의 연마기로서, 상기 모재의 상면을 연마하는 제 1 연마기;
    상기 판상형 모재의 폭보다 길이가 긴 하나의 연마기로서, 상기 제 1 연마기를 거친 상기 모재의 상면을 추가 연마하는 제 2 연마기를 포함하고,
    상기 제 1 연마기 및 제 2 연마기는 각각 원통형의 롤 형상이며,
    상기 제 1 연마기는 원통형 롤이 교번 방식으로 배열되어 있고, 원통형 롤의 개수(n)에 따라 모재의 폭을 분할(1/n)하여 연마하며, 원통형 롤 간의 중첩 폭은 0 mm 초과 내지 20 mm 이하이고,
    상기 제 2 연마기는 하나의 원통형 롤이 상기 모재의 전면을 연마하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 모재는 유리 기판, 또는 금속 기판인 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 연마기는 상기 모재 이송부로부터 공급된 모재의 이동 방향과 반대방향으로 롤링되는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 모재의 폭이 3000 mm 이상인 경우, 상기 제 1 연마기의 원통형 롤의 개수는 4개 이상인 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  9. 삭제
  10. 삭제
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