KR101381495B1 - Clean oven - Google Patents

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카주히로 사코나카
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에스펙 가부시키가이샤
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Abstract

열손실감이 거의 없고, 높은 클린 성능을 가지며, 또한 설비부담을 저감하는 클린 오븐을 실현하기 위해, 본 발명의 클린 오븐(1)은, 노 밖에 설치되어 있는 덕트(11)와 노 내가, 서로 분위기 가스의 압력이 동일한 접속부 B와 접속부 C에 있어서, 이 접속부 B와 접속부 C를 연결하도록 접속되어 있으며, 덕트(11)는 내부에 냉각기(6)와 냉각기용 팬(12)을 구비하고 있다. 냉각기(6)가 노 내에 설치되어 있기 때문에 열손실이 거의 없고, 또한 댐퍼가 설치되어 있지 않으므로, 먼지가 발생하지 않고 높은 클린 성능을 갖는다. 또한, 가열중에 냉각수의 공급이 정지된 경우, 냉각용 팬(12)이 정지되므로 클린 룸 밖으로 증기를 배출하기 위한 덕트가 불필요하다.In order to realize a clean oven having almost no heat loss, having a high clean performance, and reducing equipment burden, the clean oven 1 of the present invention has an atmosphere in which the duct 11 and the furnace outside the furnace are mutually atmosphere. In the connection part B and the connection part C with the same gas pressure, it is connected so that this connection part B and the connection part C may be connected, and the duct 11 is equipped with the cooler 6 and the fan 12 for coolers inside. Since the cooler 6 is installed in the furnace, there is almost no heat loss and no damper is provided, so that no dust is generated and high clean performance is achieved. In addition, when the supply of the cooling water is stopped during the heating, the cooling fan 12 is stopped, so that a duct for discharging steam out of the clean room is unnecessary.

오븐, 노, 히터, 팬, 필터, 덕트, 냉각기, 냉각기용 팬, 댐퍼 Ovens, furnaces, heaters, fans, filters, ducts, coolers, fans for coolers, dampers

Description

클린 오븐{CLEAN OVEN}Clean Oven {CLEAN OVEN}

도 1은 본 발명의 실시형태를 나타낸 것으로, 클린 오븐(1)의 구성을 도 2의 A-A에 따라 나타낸 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The embodiment of this invention is shown, The figure which showed the structure of the clean oven 1 in accordance with A-A of FIG.

도 2는 본 발명의 실시형태를 나타낸 것으로, 클린 오븐(1)의 구성을 나타낸 단면도.2 is a cross-sectional view showing an embodiment of the present invention and showing the configuration of the clean oven 1.

도 3은 본 발명의 실시형태를 나타낸 것으로, 클린 오븐(20)의 구성을 도 4의 A-A에 따라 나타낸 도면.Figure 3 shows an embodiment of the present invention, the configuration of the clean oven 20 in accordance with A-A of FIG.

도 4는 본 발명의 실시형태를 나타낸 것으로, 클린 오븐(20)의 구성을 나타낸 단면도.4 is a cross-sectional view showing an embodiment of the present invention and showing the configuration of a clean oven 20.

도 5는 본 발명의 실시형태를 나타낸 것으로, 클린 오븐(30)의 구성을 나타낸 단면도.5 is a cross-sectional view showing an embodiment of the present invention and showing the configuration of a clean oven 30.

도 6은 본 발명의 실시형태를 나타낸 것으로, 클린 오븐(40)의 구성을 나타낸 단면도.6 is a cross-sectional view showing an embodiment of the present invention and showing the configuration of a clean oven 40.

도 7a 및 도 7b는 모두 종래기술을 나타낸 것으로, 클린 룸(101)의 구성을 나타낸 단면도,7A and 7B show the prior art, a cross-sectional view showing the configuration of the clean room 101,

도 8은 종래기술을 나타낸 것으로, 클린 오븐(201)의 구성을 나타낸 단면도.8 is a cross-sectional view showing the structure of the clean oven 201 showing the prior art.

본 발명은 특정 분위기 가스 중에서 피열처리물의 열처리를 실시하는 클린 오븐에 관한 것이다.The present invention relates to a clean oven which heat-treats a heat-treatment object in a specific atmosphere gas.

클린 오븐이란 반도체 디바이스나 액정 디스플레이 디바이스 등을 열처리하기 위한 장치이며, 단열재로 둘러싸인 노 내에, 열처리되는 시료를 수용하는 처리실, 히터 등의 가열수단, 팬 등의 송풍수단, 및 필터를 구비하고 있다. 필터는 처리실의 입구에 설치되며, 고온으로 가열되어 필터를 통해 청정화된 분위기 가스는 시료에 내뿜어져 노 내를 순환한다. A clean oven is an apparatus for heat-treating a semiconductor device, a liquid crystal display device, etc., and is equipped with the processing chamber which accommodates the sample heat-processed, the heating means, such as a heater, the blowing means, such as a fan, and the filter in the furnace surrounded by the heat insulating material. The filter is installed at the inlet of the process chamber, and the atmospheric gas, heated to a high temperature and purged through the filter, is blown onto the sample to circulate in the furnace.

또한, 열처리 후의 냉각을 신속하게 수행하기 위한 냉각기(수냉 핀 쿨러)를 노 내에 구비하고, 열처리시의 열손실을 억제하기 위해 댐퍼(전환판)를 설치하여, 냉각시에만 냉각기로 노 내의 분위기 가스가 유입되는 클린 오븐이 종래부터 제안되고 있다(예를 들면, 일본 특허 제3525074호 공보(2000년 11월 30일 공개, 이하 '특허문헌 1'), 및 일본 특허공개공보 특개2004-353928호 공보(2004년 12월 16일 공개, 이하 '특허문헌 2') 참조). 예를 들면, 저온 폴리실리콘 TFT(LTPS) 등의 열처리에서는 통상 질소가스를 노 내에 도입하고, 산소농도 100ppm 이하의 특정 분위기로 하여 300℃∼500℃에서 열처리를 수행하는데, 열처리 후에 온도를 내려 시료를 꺼낼 때까지의 사이에, 노(爐) 내를 열처리시의 특정 분위기로 유지할 필요가 있다. 상기의 클린 오븐에서는 냉각기가 노 내에 있으며, 노 내의 분위기 가스는 외부와 차단된 채 냉각되므로, 노 내는 특정한 분위기를 유지할 수 있다.In addition, a cooler (water-cooled fin cooler) for quickly performing the heat treatment after the heat treatment is provided in the furnace, and a damper (conversion plate) is installed to suppress heat loss during the heat treatment, and the atmosphere gas in the furnace is cooled only during cooling. Has been proposed conventionally (for example, Japanese Patent No. 3525074 (November 30, 2000, hereinafter Patent Document 1)) and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-353928. (Published December 16, 2004, hereinafter 'Patent Document 2'). For example, in a heat treatment such as low temperature polysilicon TFT (LTPS), nitrogen gas is usually introduced into a furnace, and heat treatment is performed at 300 ° C to 500 ° C under a specific atmosphere having an oxygen concentration of 100 ppm or less. It is necessary to maintain the inside of a furnace in the specific atmosphere at the time of heat processing until it takes out. In the clean oven, the cooler is in the furnace, and the atmosphere gas in the furnace is cooled while being blocked from the outside, so that the furnace can maintain a specific atmosphere.

도 7a 및 도 7b는 특허문헌 1에 기재되어 있는 클린 오븐(101)의 구성을 나타내는 단면도이다. 클린 오븐(101)은 외부와 단열된 노 내에, 히터(102), 팬(103), 필터(104), 냉각기(106) 및 2개의 댐퍼(107a, 107b)를 구비하며, 시료(105)가 열처리실(108) 내에 수용되어 있다. 히터(102)에 의해 가열된 분위기 가스는 팬(103)에 의해 열처리실(108)측으로 배출되며, 필터(104)를 통해 시료(105)에 내뿜어져서 노 내를 순환한다.7A and 7B are cross-sectional views showing the configuration of the clean oven 101 described in Patent Document 1. FIG. The clean oven 101 is equipped with a heater 102, a fan 103, a filter 104, a cooler 106 and two dampers 107a and 107b in a furnace insulated from the outside, and the sample 105 is It is housed in the heat treatment chamber 108. The atmosphere gas heated by the heater 102 is discharged to the heat treatment chamber 108 side by the fan 103, and is blown out to the sample 105 through the filter 104 to circulate in the furnace.

도 7a는 가열시의 상태를 나타내고 있으며, 댐퍼(107a, 107b)가 냉각실(110)의 입구를 막고 있기 때문에, 히터(102)로 가열된 분위기 가스는 냉각기(106)를 거의 통과하지 않게 되어 열손실을 억제할 수 있다. 도 7b는 냉각시의 상태를 나타내고 있으며, 히터(102)로의 통전(通電)을 정지한 후, 댐퍼(107a)를 시계방향으로 90˚ 회전시키고, 댐퍼(107b)를 반시계방향으로 90˚ 회전시켜서, 냉각실(110)을 개방한다. 이로써, 순환하는 분위기 가스가 냉각기(106)를 통과하게 되고, 노 내를 특정 분위기로 유지한 채 냉각할 수 있다.7A shows the state at the time of heating, and since the dampers 107a and 107b block the inlet of the cooling chamber 110, the atmospheric gas heated by the heater 102 hardly passes through the cooler 106. Heat loss can be suppressed. 7B shows the state at the time of cooling, after stopping the energization to the heater 102, the damper 107a is rotated 90 degrees clockwise, and the damper 107b is rotated 90 degrees counterclockwise. The cooling chamber 110 is opened. Thereby, the circulating atmospheric gas passes through the cooler 106, and can be cooled while maintaining the inside of the furnace in a specific atmosphere.

또한, 도 8은 특허문헌 2에 기재되어 있는 클린 오븐(201)의 구성을 나타내고 있다. 클린 오븐(201)은, 외부와 단열된 노 내에, 히터(202), 팬(203), 필터(204), 냉각기(206) 및 2개의 댐퍼(207a, 207b)를 구비하며, 열처리되는 시료(미도시)는 열처리실(208)에 수용된다. 히터(202)에 의해 가열된 분위기 가스는, 팬(203)에 의해 열처리실(208)측으로 배출되고, 필터(204)를 통해 시료에 내뿜어져 정류판(209)을 통해 노 내를 순환한다.8 has shown the structure of the clean oven 201 described in patent document 2. As shown in FIG. The clean oven 201 includes a heater 202, a fan 203, a filter 204, a cooler 206, and two dampers 207a and 207b in a furnace insulated from the outside, and includes a sample to be heat treated. Not shown) is accommodated in the heat treatment chamber 208. The atmosphere gas heated by the heater 202 is discharged to the heat treatment chamber 208 side by the fan 203, blown out to the sample through the filter 204, and circulated in the furnace through the rectifying plate 209.

도 8은 가열시의 상태를 나타내고 있으며, 냉각기(206)에 분위기 가스가 통과하지 않도록 댐퍼(207a, 207b)가 닫혀져 있기 때문에, 열손실을 억제할 수 있다. 냉각시에는 댐퍼(207a)를 시계방향으로 90°회전시키고 댐퍼(207b)를 반시계방향으로 90° 회전시킴으로써, 분위기 가스가 냉각기(206)를 통과하여, 노 내는 특정 분위기를 유지한 채 냉각된다.8 shows the state at the time of heating, and since the dampers 207a and 207b are closed so that the atmospheric gas does not pass through the cooler 206, heat loss can be suppressed. At the time of cooling, the damper 207a is rotated 90 degrees clockwise and the damper 207b is rotated 90 degrees counterclockwise, so that the atmospheric gas passes through the cooler 206 and is cooled while maintaining a specific atmosphere in the furnace. .

그러나, 댐퍼는 통상 스테인리스 등의 금속판이며, 단열구조로 되어 있지는 않다. 따라서, 상기 종래의 구성에서는 가열실 내의 열이 댐퍼로부터 냉각기측으로 옮겨가 버리기 때문에 열손실이 발생한다.However, the damper is usually a metal plate such as stainless steel and is not insulated. Therefore, in the above conventional configuration, heat loss occurs because heat in the heating chamber is transferred from the damper to the cooler side.

또한, 열처리중에는 댐퍼의 냉각기측과 노 내측에서 분위기 온도가 다르므로, 댐퍼의 열팽창이 냉각기측의 면과 노 내측의 면에서 바뀌며, 댐퍼는 노 내의 온도 상승에 따라 만곡(彎曲)되게 된다. 따라서, 열처리중에 노 내의 분위기 가스가 냉각기로 흐르지 않도록 완전하게 차단할 수 없어 열손실을 없앨 수 없다는 문제가 발생한다.Further, during the heat treatment, since the ambient temperature is different between the cooler side of the damper and the inside of the furnace, the thermal expansion of the damper changes between the surface on the cooler side and the inside of the furnace, and the damper is curved as the temperature rises in the furnace. Therefore, there is a problem that the heat loss cannot be eliminated because the atmosphere gas in the furnace does not flow to the cooler during the heat treatment.

또한, 댐퍼는 기계적기구이며, 마찰운동 때문에 개패 동작시에 먼지가 발생한다. 또한 댐퍼는 가열시에는 만곡되었다가 냉각시에 원래대로 되돌아가는 것을 반복하는데, 댐퍼의 각 부품은 형상의 차이로 인해 열용량이 다르기 때문에, 온도변화시의 각 부의 온도가 다르며, 만곡의 정도도 각 부품마다 서로 다르다. 그 때문에 각 부품끼리의 마찰운동이 발생하며, 댐퍼는 개폐동작시뿐만 아니라 가열, 냉각시에도 먼지가 발생하게 된다. 여기서, 노 내의 필터에 포집(捕集)효율이 높은 HEPA 필터를 사용할 경우, 댐퍼의 먼지 발생으로 인한 먼지는 거의 가열실 내에 유입되지 않지만, HEPA 필터는 내열온도가 낮기 때문에, 예를 들면 저온 폴리실리콘 TFT(LTPS) 등의 300℃∼500℃의 열처리에는 사용할 수 없다. 그 경우, 내열온도가 500℃ 정도인 내열 필터를 사용하게 되는데, 내열 필터는 HEPA 필터에 비해 포집효율이 떨어지므로, 댐퍼의 먼지 발생으로 인한 먼지를 다 포집할 수 없어, 먼지의 일부가 시료에 내뿜어져서 노 내의 클린 성능이 악화된다는 문제가 발생한다.In addition, the damper is a mechanical mechanism, and dust is generated during the opening and closing operation due to the frictional movement. In addition, the dampers are repeatedly curved when heated and then returned to their original positions upon cooling. Since each part of the damper has a different heat capacity due to a difference in shape, the temperature of each part is different when the temperature changes, and the degree of bending is also different. Each part is different. As a result, frictional movements between the components occur, and the damper generates dust not only during the opening and closing operation but also during heating and cooling. Here, when the HEPA filter having a high collection efficiency is used for the filter in the furnace, the dust due to the dust generation of the damper hardly flows into the heating chamber, but the HEPA filter has a low heat resistance temperature, for example, a low temperature poly It cannot be used for heat treatment of 300 to 500 degreeC, such as a silicon TFT (LTPS). In this case, a heat resistant filter having a heat resistance temperature of about 500 ° C. is used. Since the heat collecting filter has a lower collecting efficiency than the HEPA filter, it cannot collect all the dust due to the damper dust generation. The problem arises that the flushing results in deterioration of the clean performance in the furnace.

또한, 고온에서 운전중에 냉각기로의 냉각수 공급이 정지하면, 냉각기가 노 내에 있기 때문에 열전도로 인해 냉각기 내의 수온이 상승, 기화하여, 냉각기 내의 압력이 상승한다. 따라서, 안전을 위해 안전밸브가 필요하게 되는데, 클린 오븐은 클린 룸 내에서 사용하기 때문에, 안전밸브로부터 방출하는 증기를 그대로 클린 룸 내로 배출할 수는 없다. 그 때문에, 안전밸브로부터 방출하는 증기를 클린 룸 밖으로 내보내는 전용 덕트를 시공할 필요가 있어 설비 부담이 발생한다는 문제가 있다. In addition, when the supply of cooling water to the cooler is stopped during operation at a high temperature, since the cooler is in the furnace, the water temperature in the cooler rises and vaporizes due to heat conduction, and the pressure in the cooler increases. Therefore, a safety valve is required for safety. Since a clean oven is used in a clean room, steam emitted from the safety valve cannot be discharged into the clean room as it is. Therefore, it is necessary to construct the dedicated duct which discharges | evaporates the steam discharge | released from a safety valve out of a clean room, and there exists a problem that a facility burden arises.

본 발명은 상기의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 높은 클린 성능을 갖는 클린 오븐을 실현하는 것에 있다.The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to realize a clean oven having high clean performance.

또한, 본 발명의 다른 목적은 열손실을 더욱 억제하여 소비전력이 적은 클린 오븐을 실현하는 것에 있다.Another object of the present invention is to further reduce heat loss and to realize a clean oven with low power consumption.

또한, 본 발명의 또 다른 목적은 증기를 클린 룸 밖으로 배출하는 전용 덕트가 불필요하여 설비부담이 적은 클린 오븐을 실현하는 것에 있다.Further, another object of the present invention is to realize a clean oven with less equipment burden because no dedicated duct for discharging steam out of the clean room is required.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 클린 오븐은, 외부와 단열된 노 내에 가열부와 오븐용 송풍수단과 오븐용 필터를 구비하며, 상기 가열부에 의해 가열된 분위기 가스를, 상기 오븐용 송풍수단이 상기 오븐용 필터를 통해 열처리물에 내품어 상기 노 내를 순환시키는 클린 오븐으로서, 냉각부와 냉각기용 송풍수단을 구비하는 덕트가, 상기 노 내의 제 1 접속부와 제 2 접속부에 있어서, 제 1 접속부와 제 2 접속부를 각각 연결하도록 접속되며, 노 내의 분위기 가스는 상기 냉각기용 송풍수단에 의해 상기 제 1 접속부에서 상기 덕트 내로 유입되며, 상기 덕트 내의 분위기 가스는 상기 냉각기용 송풍수단에 의해 상기 제 2 접속부에서 노 내로 유입되고, 상기 제 1 접속부와 제 2 접속부에서의 분위기 가스의 압력이 서로 동일하며, 상기 덕트가 노 밖에 설치되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.In order to solve the said subject, the clean oven which concerns on this invention is equipped with the heating part, the oven blower means, and the oven filter in the furnace insulated from the outside, The oven blower means for the atmospheric gas heated by the said heating part is A clean oven in which the inside of the furnace is circulated through the oven filter and circulated in the furnace, wherein a duct including a cooling unit and a blower for a cooler includes a first connection unit and a first connection unit in the furnace. It is connected to connect a 2nd connection part, respectively, The atmospheric gas in a furnace flows into a said duct from the said 1st connection part by the said cooler blowing means, The atmospheric gas in the said duct is connected to the said 2nd connection part by the said cooler blowing means. Flows into the furnace, the pressures of the atmospheric gases at the first and second connections are equal to each other, and the duct is outside the furnace. It is characterized by being installed in.

상기의 구성에 따르면, 덕트 내에 댐퍼를 설치하고 있지 않기 때문에, 댐퍼부에서의 먼지 발생 문제가 일어나지 않으며, 노 내의 필터가 포집 효율이 높은 HEPA 필터가 아니더라도 높은 클린 성능을 실현할 수 있다고 하는 효과가 있다. 또한, 냉각부를 구비하는 덕트가 노 밖에 설치되어 있으며, 또한 제 1 접속부와 제 2 접속부에서의 분위기 가스의 압력이 서로 동등함으로 인해, 냉각시에 냉각기용 송풍수단을 동작시킬 때 이외에는 덕트에 노 내의 분위기 가스가 유입되지 않기 때문에, 열손실이 거의 없다는 효과가 있다.According to the above structure, since no damper is provided in the duct, there is no problem of generating dust in the damper portion, and there is an effect that high clean performance can be realized even if the filter in the furnace is not a HEPA filter with high collection efficiency. . In addition, since the duct provided with the cooling section is provided outside the furnace, and the pressures of the atmospheric gases at the first connection section and the second connection section are equal to each other, the duct is not in the furnace except when the cooler blowing means is operated at the time of cooling. Since no atmospheric gas is introduced, there is an effect that there is almost no heat loss.

또한, 본 발명에 따른 클린 오븐에서는, 외부와 단열된 노 내에 가열부와 오븐용 송풍수단과 오븐용 필터를 구비하며, 상기 가열부에 의해 가열된 분위기 가스를, 상기 오븐용 송풍수단이 상기 오븐용 필터를 통해 열처리물에 내뿜어 상기 노 내를 순환시키는 클린 오븐으로서, 냉각부와 댐퍼를 구비하는 덕트가, 상기 노 내의 제 1 접속부와 제 2 접속부에 있어서, 제 1 접속부와 제 2 접속부를 각각 연결하도록 접속되며, 노 내의 분위기 가스는 상기 댐퍼를 연 경우에만 상기 제 1 접속부에서 상기 덕트 내로 유입되고, 상기 덕트 내의 분위기 가스는 상기 댐퍼를 연 경우에만 상기 제 2 접속부에서 노 내로 유입되며, 상기 제 1 접속부와 제 2 접속부에서의 분위기 가스의 압력이 서로 다르고, 상기 덕트가 노 밖에 설치되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.In addition, in the clean oven according to the present invention, the oven is provided with a heating unit, an oven blowing means, and an oven filter in a furnace insulated from the outside, and the oven gas is supplied to the atmosphere gas heated by the heating unit through the oven filter. A clean oven that circulates in the furnace by spraying heat-treated material, wherein a duct having a cooling unit and a damper is connected to connect the first connection portion and the second connection portion in the first connection portion and the second connection portion in the furnace, respectively. And the atmosphere gas in the furnace flows into the duct from the first connection part only when the damper is opened, and the atmosphere gas in the duct flows into the furnace from the second connection part only when the damper is opened. The pressure of the atmospheric gas at the second connecting portion is different from each other, and the duct is provided outside the furnace.

상기의 구성에 따르면, 댐퍼부에서 먼지가 발생하는데, 가열처리중에는 상기 댐퍼를 닫음으로써, 노 내의 분위기 가스가 덕트 내에 유입되는 것을 방지할 수 있으며, 냉각기가 노 밖에 있기 때문에 열손실을 대부분 없앨 수 있다는 효과가 있다. 또한, 제 1 접속부와 제 2 접속부에서의 분위기 가스의 압력이 다르기 때문에, 냉각시에는 댐퍼를 여는 것만으로 덕트 내로 분위기 가스를 흘릴 수 있어 덕트 내의 냉각기용 송풍수단이 불필요하다는 효과가 있다.According to the above configuration, dust is generated in the damper part. During the heat treatment, by closing the damper, it is possible to prevent the atmosphere gas in the furnace from flowing into the duct, and since the cooler is outside the furnace, most of the heat loss can be eliminated. There is an effect. In addition, since the pressure of the atmospheric gas at the first connecting portion and the second connecting portion is different, the atmospheric gas can flow into the duct simply by opening the damper during cooling, and there is an effect that the cooling means for the cooler in the duct is unnecessary.

본 발명의 다른 목적, 특징 및 뛰어난 점은 이하에 나타낸 기재에 따라 충분히 알 수 있을 것이다. 또한, 본 발명의 이점은 첨부도면을 참조한 이하의 설명에서 명백해질 것이다.Other objects, features and advantages of the present invention will be fully understood according to the description given below. Further advantages of the present invention will become apparent from the following description with reference to the accompanying drawings.

[실시형태 1][Embodiment 1]

본 발명의 일 실시형태에 대해 도 1∼도 4에 기초하여 설명하면 다음과 같 다. An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 4 as follows.

도 1은 본 실시형태 1에 따른 클린 오븐(1)의 구성을 A-A에 따라 나타낸 도면이며, 도 2는 클린 오븐(1)의 단면도이다. 클린 오븐(1)은 단열벽으로 이루어진 상벽(1a), 측벽(1b) 및 저벽(1c)에 의해 상자 형태로 형성되며, 단열벽으로 이루어진 문(1d)이 설치되어 있다. 노 내에는 히터(2)(가열부), 오븐용 팬(3)(오븐용 송풍수단), 필터(4)(오븐용 필터)를 구비하고 있다. 히터(2)는 상벽(1a)의 내측에 장착되어 노 내의 분위기 가스를 가열한다. 오븐용 팬(3)은 문(1d)과는 반대측 측벽(1b)의 내측에 장착되어 오븐용 팬 구동모터(3a)에 의해 동작한다. 필터(4)는 오븐용 팬(3)의 하부에 구비되어 있으며, 시료(5)(열처리물)는 필터(4)와 문(1d) 사이에 수용되어 있다.FIG. 1: is a figure which showed the structure of the clean oven 1 which concerns on this Embodiment 1 according to A-A, and FIG. 2 is sectional drawing of the clean oven 1. As shown in FIG. The clean oven 1 is formed in the box shape by the upper wall 1a which consists of a heat insulation wall, the side wall 1b, and the bottom wall 1c, and the door 1d which consists of heat insulation walls is provided. The furnace is equipped with a heater 2 (heating unit), an oven fan 3 (blowing means for the oven), and a filter 4 (filter for the oven). The heater 2 is mounted inside the upper wall 1a to heat the atmosphere gas in the furnace. The oven fan 3 is mounted inside the side wall 1b opposite to the door 1d, and is operated by the fan drive motor 3a for the oven. The filter 4 is provided in the lower part of the oven pan 3, and the sample 5 (heat processing material) is accommodated between the filter 4 and the door 1d.

또한, 도 1에 나타낸 바와 같이, 클린 오븐(1)에서는, 덕트(11)(덕트)가 노 내의 오븐용 팬(3)의 근방의 접속부 B(제 1 접속부)와 접속부 C(제 2 접속부)에서 접속되어 있으며, 접속부 B와 접속부 C에서의 각각의 분위기 가스의 압력은 같다. 덕트(11)는 두께 약 1.0mm, 직경 약 125mm의 스테인레스제이며, 덕트(11)의 내부에는 냉각기(6)(냉각부) 및 냉각기용 팬(12)(냉각기용 송풍수단)이 설치되어 있다. 냉각기용 팬(12)은 냉각기용 팬 구동 모터(12a)에 의해 동작한다. 덕트(11)와 노 내의 접속점에서 냉각기(6)까지의 덕트(11)의 길이는 약 1090mm이다. 냉각수는 급수관(6a)을 통해 공급되며, 냉각기(6)를 통과하여 배수관(6b)으로부터 배출된다. 급수관(6a)에는 유량 스위치(6c)가 설치되어 냉각수의 유량을 제어하고 있다.In addition, as shown in FIG. 1, in the clean oven 1, the duct 11 (duct) is connected by the connection part B (first connection part) and the connection part C (second connection part) of the oven fan 3 in a furnace. It is connected and the pressure of each atmospheric gas in the connection part B and the connection part C is the same. The duct 11 is made of stainless steel having a thickness of about 1.0 mm and a diameter of about 125 mm, and a cooler 6 (cooler) and a cooler fan 12 (cooler blower) are provided inside the duct 11. . The cooler fan 12 is operated by the cooler fan drive motor 12a. The length of the duct 11 from the connection point in the furnace with the duct 11 to the cooler 6 is about 1090 mm. Cooling water is supplied through the water supply pipe 6a, and is discharged from the drain pipe 6b through the cooler 6. The flow rate switch 6c is provided in the water supply pipe 6a to control the flow rate of the cooling water.

가열시 및 열처리시에는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 히터(2)에 의해 가열된 분위기 가스는 오븐용 팬(3)에 의해 필터(4)를 통과하여 시료(5)에 내뿜어진다. 분위기 가스는 시료(5)를 통과한 후, 히터(2)로 재차 가열되어 노 내를 순환한다. 이 때, 노 내를 특정 분위기로 하는 질소 가스 등은 덕트(11) 내의 냉각기(6)의 근방에 형성된 도입구(미도시)로부터 도입하여, 노 내와 접속된 덕트(11)를 통해 노 내를 특정 분위기로 한다.At the time of a heating and a heat processing, as shown in FIG. 2, the atmospheric gas heated by the heater 2 passes through the filter 4 with the oven fan 3, and is blown out to the sample 5. After passing through the sample 5, the atmospheric gas is heated by the heater 2 again and circulates in the furnace. At this time, nitrogen gas or the like having a specific atmosphere in the furnace is introduced from an inlet (not shown) formed in the vicinity of the cooler 6 in the duct 11 and introduced into the furnace through the duct 11 connected to the furnace. Make a specific atmosphere.

가열시 및 열처리시에는 냉각기용 팬(12)은 정지하고 있다. 이 때, 접속부 B와 접속부 C에서의 각각의 분위기 가스의 압력이 동일하기 때문에, 덕트(11)의 내부로 분위기 가스의 유입/유출을 제어하는 댐퍼를 설치하지 않아도, 고온으로 되어 있는 노 내의 분위기 가스가 덕트(11)에 유입되지 않는다. 이 때문에 가열시 및 열처리시의 열손실이 없어 소비전력의 삭감이 가능하다.The cooling fan 12 is stopped at the time of heating and heat processing. At this time, since the pressures of the respective atmospheric gases at the connection portion B and the connection portion C are the same, the atmosphere in the furnace that is at a high temperature even without providing a damper for controlling the inflow / outflow of the atmospheric gas into the duct 11. No gas enters the duct 11. For this reason, there is no heat loss at the time of heating and heat processing, and it is possible to reduce power consumption.

또한, 종래의 클린 오븐과 같이, 노 내의 분위기 가스가 냉각기를 통과하지 않도록 하기 위한 댐퍼를 설치할 필요가 없으므로, 댐퍼에 있어서의 먼지 발생의 문제는 일어나지 않는다. In addition, as in the conventional clean oven, it is not necessary to provide a damper for preventing the atmosphere gas in the furnace from passing through the cooler, so that the problem of dust generation in the damper does not occur.

따라서, 노 내의 필터(4)가 HEPA 필터보다 포집 효율이 떨어지는 내열 필터라도, 보다 깨끗한 분위기를 간단한 구조로 제공할 수 있다. 따라서, 고온이기 때문에 노 내의 필터(4)에 HEPA 필터를 사용할 수 없는, 저온 폴리실리콘 TFT(LTPS) 등의 열처리시에도 클린한 열처리가 가능하다.Therefore, even if the filter 4 in a furnace is a heat resistant filter whose collection efficiency is lower than a HEPA filter, a cleaner atmosphere can be provided with a simple structure. Therefore, clean heat treatment is possible even at the time of heat treatment of a low-temperature polysilicon TFT (LTPS) or the like, in which the HEPA filter cannot be used for the filter 4 in the furnace because of the high temperature.

냉각시에는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 히터(2)로부터의 통전(通電)을 정지하고, 냉각기용 팬(12)을 동작시킨다. 노 내의 분위기 가스는 접속부 B로부터 덕트(11) 내로 유입되고, 냉각기(6)를 통과하여 냉각되며, 냉각기용 팬(12)에 의해 접속부 C로 배출된다. 덕트(11)는 외기와 차단되어 있기 때문에, 특정 분위기를 유지한 채 노 내의 분위기 가스를 냉각할 수 있다.At the time of cooling, as shown in FIG. 1, the electricity supply from the heater 2 is stopped and the fan 12 for coolers is operated. The atmospheric gas in the furnace flows into the duct 11 from the connection part B, passes through the cooler 6, cools it, and is discharged to the connection part C by the cooler fan 12. Since the duct 11 is cut off from the outside air, the atmosphere gas in the furnace can be cooled while maintaining a specific atmosphere.

여기서, 냉각시에 냉각기(6)로의 냉각수 공급이 정지된 경우, 공급의 정지가 유량 스위치(6c)에 의해 검지되며, 검지에 기초하여 냉각기용 팬(12)이 정지된다. 냉각기용 팬이 정지되면, 접속부 B와 접속부 C에서의 각각의 분위기 가스의 압력은 같기 때문에, 덕트(11) 내로는 노 내의 고온 분위기 가스는 유입되지 않게 된다.Here, when the cooling water supply to the cooler 6 is stopped at the time of cooling, the supply stop is detected by the flow rate switch 6c, and the cooler fan 12 is stopped based on the detection. When the fan for the cooler is stopped, the pressures of the respective atmospheric gases at the connecting portion B and the connecting portion C are the same, so that the high temperature atmospheric gas in the furnace does not flow into the duct 11.

이 때, 덕트(11) 내에서 고온으로 되어 있는 것은 접속부 B로부터 냉각기(6)까지의 덕트(11) 부분과 그 내측의 분위기 가스뿐인데, 냉각기(6)가 노 밖에 있기 때문에, 냉각기(6)의 열용량은 덕트(11)의 고온으로 되어 있는 부분과 그 내부의 분위기 가스의 열용량보다도 충분히 크다. 이 때문에, 냉각수의 공급이 정지되더라도, 냉각기(6) 내의 냉각수의 수온이 상승되어 기화될 우려는 없다.At this time, only the portion of the duct 11 from the connecting portion B to the cooler 6 and the atmospheric gas inside thereof are high in the duct 11, and since the cooler 6 is outside the furnace, the cooler 6 The heat capacity of is sufficiently greater than the heat capacity of the portion of the duct 11 that is at a high temperature and the atmosphere gas therein. For this reason, even if supply of cooling water is stopped, there is no possibility that the water temperature of the cooling water in the cooler 6 will rise and vaporize.

따라서, 안전밸브가 불필요하며, 기화된 냉각수를 클린 룸 밖으로 배기하기 위한 전용 덕트를 시공할 필요가 없다.Therefore, the safety valve is unnecessary and there is no need to construct a dedicated duct for exhausting the vaporized cooling water out of the clean room.

이어, 본 실시형태 1의 변형예를 도 3 및 도 4에 나타낸다.Next, the modification of this Embodiment 1 is shown in FIG. 3 and FIG.

도 3은 본 실시형태 1의 변형예에 관한 클린 오븐(20)의 구성을 A-A에 따라 나타낸 도면이며, 도 4는 클린 오븐(20)의 단면도이다. 덕트와 노 내의 접속위치는 상호 분위기 가스의 압력이 동등하면 어디라도 상관없으며, 클린 오븐(20)에서는 덕트(11)가 시료(5)의 수용위치 하부의 접속부 D(제 1 접속부) 및 접속부 E(제 2 접속부)에 접속되어 있으며, 접속부 D 및 접속부 E에서의 분위기 가스의 압력은 각각 동일하다. 클린 오븐(20)의 구성 및 작용은 덕트와 노 내의 접속위치를 제외하고는 클린 오븐(1)과 거의 유사하며, 도 3 및 도 4에 있어서, 클린 오븐(1)과 동일한 부재에는 동일한 부호를 붙이고 있어, 구성 및 작용에 대한 설명은 생략한다.3 is a diagram showing the configuration of a clean oven 20 according to a modification of the first embodiment, taken along A-A, and FIG. 4 is a cross-sectional view of the clean oven 20. The connection position in the duct and the furnace may be anywhere as long as the pressures of the mutual atmospheric gases are equal. In the clean oven 20, the duct 11 is connected to the connection part D (first connection part) and the connection part E below the receiving position of the sample 5. It is connected to (2nd connection part), and the pressure of the atmospheric gas in the connection part D and the connection part E is the same, respectively. The construction and operation of the clean oven 20 is almost similar to the clean oven 1 except for the connection position in the duct and the furnace. In Figs. 3 and 4, the same members as the clean oven 1 are denoted by the same reference numerals. The description of the structure and operation is omitted.

[실시형태 2][Embodiment 2]

본 발명의 다른 실시형태에 대해 도 5 및 도 6에 기초하여 설명하면 다음과 같다. Another embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 5 and 6.

도 5는 본 실시형태 2에 관한 클린 오븐(30)의 단면도이다. 클린 오븐(30)의 노 내는 실시형태 1에 따른 클린 오븐(1) 및 클린 오븐(20)과 거의 유사하며, 클린 오븐(1) 및 클린 오븐(20)과 동일한 부재에 대해서는 동일한 번호를 붙이고 있다.5 is a cross-sectional view of the clean oven 30 according to the second embodiment. The furnace of the clean oven 30 is almost similar to the clean oven 1 and the clean oven 20 which concerns on Embodiment 1, and attaches | subjects the same number about the same member as the clean oven 1 and the clean oven 20. FIG. .

클린 오븐(30)에서는 오븐용 팬(3)과 필터(4) 사이의 위치(접속부 F·제 1 접속부)와 노 내의 히터(2)와 오븐용 팬(3) 사이의 위치(접속부 G·제 2 접속부)를 연결하도록 덕트(31)가 접속되어 있다. 덕트(31)의 내부에는 냉각기(6) 및 모터 댐퍼(32)(댐퍼)가 설치되어 있으며, 냉각수는 급수관(6a)으로부터 공급되고, 냉각기(6)를 통과하여 배수관(6b)으로부터 배출된다. 배수관(6b)에는 유량 스위치(6c)가 설치되어, 냉각수의 유량을 제어하고 있다.In the clean oven 30, the position (connection part F, 1st connection part) between the oven fan 3 and the filter 4, and the position (connection part G, 2nd connection part) between the heater 2 in the furnace and the fan 3 for an oven are shown. Is connected to the duct 31. The cooler 6 and the motor damper 32 (damper) are provided in the inside of the duct 31, and coolant is supplied from the water supply pipe 6a, and is discharged from the drain pipe 6b through the cooler 6. A flow rate switch 6c is provided in the drain pipe 6b to control the flow rate of the cooling water.

상기 접속부 F와 접속부 G에서의 분위기 가스의 압력은 서로 다르며, 접속부 F 쪽이 접속부 G보다도 압력이 높다. 그 때문에, 실시형태 1에서의 덕트(11)와는 달리, 덕트(31) 내에는 냉각기(6)의 출구측에 모터 댐퍼(32)가 설치되어 있어, 가열시 및 열처리시에 노 내의 분위기 가스가 덕트(31) 내로 유입되는 것을 방지하고 있다. 한편, 모터 댐퍼(32)를 열면, 노 내의 분위기 가스는 접속부 F를 통해 덕트(31) 내로 유입되고, 냉각기(6)을 통과하여 접속부 G에서 노 내로 배출되기 때문에, 덕트(31) 내의 분위기 가스의 흐름은 모터 댐퍼(32)의 개폐에 의해 제어할 수 있다. 따라서, 덕트(31) 내에는 실시형태 1에 있어서의 덕트(11)와 달리, 냉각기용 팬은 설치되어 있지 않다.The pressure of the atmosphere gas at the said connection part F and the connection part G differs, and the pressure of the connection part F is higher than the connection part G. Therefore, unlike the duct 11 in Embodiment 1, the motor damper 32 is provided in the duct 31 at the exit side of the cooler 6, and the atmospheric gas in a furnace at the time of a heating and a heat processing is The inflow into the duct 31 is prevented. On the other hand, when the motor damper 32 is opened, the atmosphere gas in the furnace flows into the duct 31 through the connection part F and passes through the cooler 6 and is discharged into the furnace from the connection part G, so that the atmosphere gas in the duct 31 is obtained. The flow of can be controlled by opening and closing the motor damper 32. Therefore, in the duct 31, unlike the duct 11 in Embodiment 1, the fan for coolers is not provided.

가열시 및 열처리시에는 모터 댐퍼(32)는 닫혀져 있어, 노 내의 분위기 가스는 덕트(31) 내로 유입되지 않는다. 냉각시에 모터 댐퍼(32)를 열면, 노 내의 분위기 가스는 접속부 F로부터 유입되어 냉각기(6), 모터 댐퍼(32)를 통과하여 접속부 G에서 노 내로 환류한다.The motor damper 32 is closed at the time of heating and heat processing, and the atmospheric gas in a furnace does not flow into the duct 31. When the motor damper 32 is opened at the time of cooling, the atmospheric gas in the furnace flows in from the connection part F, passes through the cooler 6 and the motor damper 32, and returns to the furnace at the connection part G.

여기서, 모터 댐퍼(32)는 냉각기(6)의 출구측에 있기 때문에, 모터 댐퍼(32)를 통과하는 분위기 가스의 온도는 낮다. 따라서, 모터 댐퍼(32)의 밸브부를 내열성이 낮은 실리콘 고무 등의 고무제로 하는 것이 가능하며, 덕트(31) 내의 분위기 가스의 흐름을 확실하게 차단할 수 있다. 또한, 모터 댐퍼(32)의 밸브부가 고무제이기 때문에, 모터 댐퍼(32)에서의 먼지 발생은 적고, 노 내의 청정도에 대한 영향은 적다.Here, since the motor damper 32 is located at the outlet side of the cooler 6, the temperature of the atmospheric gas passing through the motor damper 32 is low. Accordingly, the valve portion of the motor damper 32 can be made of rubber such as silicone rubber having low heat resistance, and the flow of the atmospheric gas in the duct 31 can be reliably blocked. In addition, since the valve portion of the motor damper 32 is made of rubber, the dust generated in the motor damper 32 is small, and the influence on the cleanliness of the furnace is small.

또한, 냉각시에 냉각기(6)로의 냉각수의 공급이 정지된 경우, 공급의 정지가 유량 스위치(6c)에 의해 검지되며, 검지에 기초하여 모터 댐퍼(32)가 닫히게 된다. 이로써, 덕트(31) 내에는 노 내의 분위기 가스는 유입되지 않게 된다.In addition, when the supply of the cooling water to the cooler 6 is stopped at the time of cooling, the supply stop is detected by the flow rate switch 6c, and the motor damper 32 is closed based on the detection. As a result, the atmosphere gas in the furnace does not flow into the duct 31.

이 때, 덕트(31) 내에서 고온으로 되어 있는 것은 접속부 F에서 냉각기(6)까지의 덕트(31) 부분과 그 내측의 분위기 가스뿐인데, 냉각기(6)가 노 밖에 있기 때문에, 냉각기(6)의 열용량은 덕트(31)의 고온으로 되어 있는 부분과 그 내부의 분위기 가스의 열용량보다도 충분히 크다. 이 때문에, 냉각수의 공급이 정지되더라도, 냉각기(6) 내의 냉각수의 수온이 상승하여 기화되는 일은 없다.At this time, only the portion of the duct 31 from the connecting portion F to the cooler 6 and the atmospheric gas inside thereof are high in the duct 31. Since the cooler 6 is outside the furnace, the cooler 6 The heat capacity of is sufficiently greater than the heat capacity of the portion where the duct 31 is at a high temperature and the atmosphere gas therein. For this reason, even if supply of cooling water is stopped, the water temperature of the cooling water in the cooler 6 does not rise and vaporize.

따라서, 덕트(31)에 있어서도, 실시형태 1에 있어서의 덕트(11)의 경우와 마찬가지로, 안전밸브가 불필요하며, 기화된 냉각수를 클린 룸 밖으로 배기하기 위한 전용 덕트를 시행할 필요가 없다.Therefore, also in the duct 31, like the case of the duct 11 in Embodiment 1, a safety valve is unnecessary and it is not necessary to implement the exclusive duct for exhausting vaporized cooling water out of a clean room.

이어, 모터 댐퍼(32)에서의 먼지 발생에 의한 노 내의 청정도에 대한 영향을 문제로 할 경우에 대해 설명한다.Next, the case where the influence on the cleanliness in a furnace by the generation | occurrence | production of the dust in the motor damper 32 is made into a problem is demonstrated.

도 6은 본 실시형태 2에 따른 클린 오븐(40)의 단면도이다. 클린 오븐(40)은 클린 오븐(30)에서의 모터 댐퍼(32)의 출구측에 추가로 HEPA 필터(41)를 구비한 구성으로, HEPA 필터(41) 이외의 구성은 클린 오븐(30)의 구성과 마찬가지이다.6 is a cross-sectional view of the clean oven 40 according to the second embodiment. The clean oven 40 is provided with the HEPA filter 41 in addition to the outlet side of the motor damper 32 in the clean oven 30, and the structure other than the HEPA filter 41 is the structure of the clean oven 30. Same as the configuration.

상기와 같이, 모터 댐퍼(32)에 있어서 약간의 먼지 발생이 있는데, 모터 댐퍼(32)에서 발생한 먼지는 HEPA 필터(41)에 의해 포집된다. HEPA 필터(41)는 포집효율이 at 0.3㎛에서 99.97% 이상이며, 모터 댐퍼(32)에서의 먼지 발생이 노 내의 청정도에 주는 영향은 대부분 무시할 수 있다. 또한, HEPA 필터(41)를 통과하는 분위기 가스는 냉각기(6)를 통과한 직후이므로 온도는 낮으며, 내열성이 낮은 HEPA 필터(41)가 파손되는 일은 없다.As described above, there is a slight dust generation in the motor damper 32, the dust generated in the motor damper 32 is collected by the HEPA filter 41. The collection efficiency of the HEPA filter 41 is 99.97% or more at 0.3 μm, and most of the influence of dust generation at the motor damper 32 on the cleanliness in the furnace can be neglected. In addition, since the atmospheric gas passing through the HEPA filter 41 is just after passing through the cooler 6, the temperature is low and the HEPA filter 41 having low heat resistance is not damaged.

또한, 실시형태 1의 클린 오븐(1) 및 클린 오븐(20)과 같이, 덕트 내에 냉각기용 팬을 설치할 수도 있는데, 이로써 덕트 내의 분위기 가스의 흐름 제어가 더욱 용이해진다.In addition, like the clean oven 1 and the clean oven 20 of Embodiment 1, although the fan for a cooler can be installed in a duct, it becomes easier to control the flow of the atmospheric gas in a duct.

본 발명은 상술한 각 실시형태에 한정되는 것은 아니며, 청구항에 나타낸 범위에서 여러 가지 변경이 가능하고, 다른 실시형태에 각각 개시된 기술적 수단을 적절히 조합하여 얻어지는 실시형태에 대해서도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.This invention is not limited to each above-mentioned embodiment, Various changes are possible in the range shown to the claim, and also the embodiment obtained by combining suitably the technical means disclosed in each embodiment is also included in the technical scope of this invention. do.

본 발명에 따른 클린 오븐은, 이상과 같이, 외부와 단열된 노 내에 가열부와 오븐용 송풍수단과 오븐용 필터를 구비하며, 상기 가열부에 의해 가열된 분위기 가스를 상기 오븐용 송풍수단이 상기 오븐용 필터를 통해 열처리물로 내뿜어 상기 노 내를 순환시키는 클린 오븐으로서, 냉각부를 구비하는 덕트가 상기 노 내의 제 1 접속부와 제 2 접속부에서 상기 제 1 접속부와 제 2 접속부를 각각 연결하도록 접속되며, 상기 덕트가 노 밖에 설치되어 있다.As described above, the clean oven according to the present invention includes a heating part, an oven blowing means, and an oven filter in a furnace insulated from the outside, and the oven blowing means uses the oven gas to supply atmospheric gas heated by the heating part. A clean oven that circulates in the furnace by circulating through the heat treatment material, wherein a duct having a cooling unit is connected to connect the first connection unit and the second connection unit at the first connection unit and the second connection unit in the furnace, respectively. It is installed outside the furnace.

따라서, 덕트 내에 댐퍼를 설치하고 있지 않기 때문에 댐퍼부에서의 먼지 발생 문제가 일어나지 않으며, 노 내의 필터가 포집 효율이 높은 HEPA 필터가 아니더라도 높은 클린 성능을 실현할 수 있다. 또한, 냉각부를 구비하는 덕트가 노 밖에 설치되어 있기 때문에 열손실을 억제할 수 있어 소비전력을 삭감할 수 있다는 효과가 있다.Therefore, since no damper is provided in the duct, there is no problem of dust generation in the damper portion, and high clean performance can be realized even if the filter in the furnace is not a HEPA filter having high collection efficiency. Moreover, since the duct provided with the cooling part is provided outside the furnace, heat loss can be suppressed and the power consumption can be reduced.

본 발명에 따른 클린 오븐에서는 또한 상기 냉각부로의 냉각수 공급이 정지된 경우에, 상기 냉각기용 송풍수단의 구동을 정지시키는 것이 바람직하다.In the clean oven according to the present invention, it is also preferable to stop driving of the cooler blowing means when the supply of cooling water to the cooling unit is stopped.

상기의 구성에 따르면, 처리 중에 냉각부로의 냉각수의 공급이 정지되더라도 냉각기용 송풍수단을 구동하고 있지 않으면, 상기 제 1 접속부와 제 2 접속부에서의 분위기 가스의 압력이 서로 동일하기 때문에 덕트 내에 노 내의 분위기 가스가 유입되지 않게 된다. 따라서, 냉각수가 기화하는 일이 없으며, 증기를 클린 룸 밖으로 배출하기 위한 전용 덕트가 불필요하게 되므로 설비 부담을 경감할 수 있다는 효과가 있다.According to the above arrangement, even when the supply of the cooling water to the cooling unit is stopped during the processing, if the cooler blowing means is not driven, the pressures of the atmospheric gases at the first connecting portion and the second connecting portion are equal to each other. Atmospheric gas is not introduced. Therefore, the cooling water does not vaporize and there is no need for a dedicated duct for discharging the steam out of the clean room, thereby reducing the burden on the equipment.

본 발명에 따른 클린 오븐에서는, 또한 상기 댐퍼는 상기 냉각부와 제 2 접속부 사이에 설치되고, 상기 댐퍼의 밸브부가 고무제인 것이 바람직하다.In the clean oven which concerns on this invention, it is further preferable that the said damper is provided between the said cooling part and the 2nd connection part, and the valve part of the said damper is rubber | gum.

상기의 구성에 따르면, 댐퍼의 밸브부가 고무제이기 때문에, 댐퍼를 닫으면 노 내의 분위기 가스가 덕트 내로 유입되는 것을 확실하게 방지할 수 있으므로, 더욱 열손실을 없앨 수 있다는 효과가 있다. 또한, 금속제의 댐퍼에 비해 댐퍼에서의 먼지 발생을 더욱 줄일 수 있으므로, 노 내의 분위기를 더욱 깨끗하게 할 수 있다는 효과가 있다According to the above arrangement, since the valve portion of the damper is made of rubber, it is possible to reliably prevent the atmospheric gas in the furnace from flowing into the duct when the damper is closed, whereby the heat loss can be further eliminated. In addition, dust generation in the damper can be further reduced as compared with the metal damper, and thus the atmosphere in the furnace can be made more clean.

또한, 본 발명에 따른 클린 오븐에서는, 상기 덕트가 추가로 덕트용 필터를 구비하며, 이 덕트용 필터는 상기 댐퍼와 제 2 접속부 사이에 설치되어 있는 것이 바람직하다.Moreover, in the clean oven which concerns on this invention, it is preferable that the said duct further includes a duct filter, and this duct filter is provided between the said damper and a 2nd connection part.

상기 구성에 따르면, 덕트용 필터가 댐퍼에서 발생한 먼지를 포집하므로, 더욱 노 내의 분위기를 깨끗하게 할 수 있다는 효과가 있다.According to the said structure, since the duct filter collects the dust which generate | occur | produced in the damper, there exists an effect that it can further clean the atmosphere in a furnace.

본 발명에 따른 클린 오븐에서는 상기 덕트용 필터가 HEPA 필터인 것이 더욱 바람직하다.In the clean oven which concerns on this invention, it is more preferable that the said duct filter is a HEPA filter.

상기 구성에 따르면, HEPA 필터는 포집효율이 매우 높기 때문에, 댐퍼에서 발생한 먼지는 대부분 노 내에 유입되지 않게 된다는 효과가 있다.According to the above configuration, since the HEPA filter has a very high collection efficiency, most of the dust generated from the damper does not flow into the furnace.

본 발명에 따른 클린 오븐에서는 상기 냉각부로의 냉각수의 공급이 정지된 경우에, 상기 댐퍼를 닫는 것이 더욱 바람직하다.In the clean oven which concerns on this invention, when the supply of cooling water to the said cooling part is stopped, it is more preferable to close the damper.

상기의 구성에 따르면, 가열처리중에 냉각부로의 냉각수의 공급이 정지되더라도, 댐퍼를 닫고 있으면 덕트 내로 노 내의 분위기 가스가 유입되지 않게 된다. 따라서, 냉각수가 기화되는 일이 없고, 증기를 클린 룸 밖으로 배출하기 위한 전용 덕트가 불필요하게 되므로 설비 부담을 경감할 수 있다는 효과가 있다.According to the above arrangement, even if the supply of the cooling water to the cooling unit is stopped during the heat treatment, if the damper is closed, the atmospheric gas in the furnace does not flow into the duct. Therefore, since the cooling water does not vaporize and a dedicated duct for discharging the steam out of the clean room is unnecessary, there is an effect that the burden on the equipment can be reduced.

본 발명에 따른 클린 오븐에서는 저온 폴리실리콘 TFT(LTPS) 등의 열처리에 바람직하게 적용할 수 있다.In the clean oven according to the present invention, it can be preferably applied to heat treatment such as low temperature polysilicon TFT (LTPS).

발명의 상세한 설명에서 이루어진 구체적인 실시형태 또는 실시예는 어디까지나 본 발명의 기술내용을 명확하게 하는 것으로서, 그와 같은 구체예에만 한정하여 협의로 해석되어야 하는 것은 아니며, 본 발명의 정신과 다음에 기재할 특허청구사항의 범위 내에서 여러 가지 변경하여 실시할 수 있는 것이다. Specific embodiments or examples made in the detailed description of the invention are intended to clarify the technical contents of the present invention to the last, and are not to be construed as limited to such specific embodiments only, and the spirit and scope of the present invention will be described later. Various changes can be made within the scope of the claims.

Claims (7)

외부와 단열된 노 내에 가열부와 오븐용 송풍수단과 오븐용 필터를 구비하며, 상기 가열부에 의해 가열된 분위기 가스를, 상기 오븐용 송풍수단이 상기 오븐용 필터를 통해 열처리물에 내품어 상기 노 내를 순환시키고, A heating unit, an oven blowing means, and an oven filter are provided in a furnace insulated from the outside, and the atmosphere gas heated by the heating unit is embedded in a heat-treated material through the oven filter to circulate the inside of the furnace. Let's 냉각부와 냉각기용 송풍수단을 구비하는 덕트가, 상기 노 내의 제 1 접속부와 제 2 접속부에 있어서, 제 1 접속부와 제 2 접속부를 각각 연결하도록 접속되며, A duct provided with a cooling section and a cooling means for a cooler is connected to connect the first connecting portion and the second connecting portion, respectively, in the first connecting portion and the second connecting portion in the furnace, 노 내의 분위기 가스는 상기 냉각기용 송풍수단의 구동에 의해 상기 제 1 접속부에서 상기 덕트 내로 유입되고, 상기 덕트 내의 분위기 가스는 상기 냉각기용 송풍수단의 구동에 의해 상기 제 2 접속부에서 노 내로 유입되며,Atmospheric gas in the furnace is introduced into the duct from the first connecting portion by the driving of the cooling means for the cooler, atmosphere gas in the duct is introduced into the furnace from the second connecting portion by the driving of the cooling means for the cooler, 상기 오븐용 송풍수단에 의해 노 내의 분위기 가스가 순환하고 있을때,When the atmosphere gas in the furnace is circulated by the oven blowing means, 상기 제 1 접속부와 제 2 접속부에서의 분위기 가스의 압력이 서로 동일하고,The pressure of the atmosphere gas at the said 1st connection part and the 2nd connection part is mutually equal, 상기 덕트가 노 밖에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 클린 오븐. Clean oven, characterized in that the duct is installed outside the furnace. 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 냉각부로의 냉각수의 공급이 정지된 경우에, 상기 냉각기용 송풍수단의 구동을 정지시키는 것을 특징으로 하는 클린 오븐.And when the supply of the cooling water to the cooling unit is stopped, stopping the driving of the cooler blowing means. 외부와 단열된 노 내에 가열부와 오븐용 송풍수단과 오븐용 필터를 구비하며, 상기 가열부에 의해 가열된 분위기 가스를, 상기 오븐용 송풍수단이 상기 오븐용 필터를 통해 열처리물에 내뿜어 상기 노 내를 순환시키고,In the furnace insulated from the outside, a heating unit, an oven blowing means, and an oven filter are provided, and the atmosphere gas heated by the heating unit blows out the heat treatment material through the oven filter to circulate the inside of the furnace. , 냉각부와 댐퍼를 구비하는 덕트가, 상기 노 내의 제 1 접속부와 제 2 접속부에 있어서, 제 1 접속부와 제 2 접속부를 각각 연결하도록 접속되며, The duct provided with a cooling part and a damper is connected so that a 1st connection part and a 2nd connection part may respectively connect in the 1st connection part and the 2nd connection part in the said furnace, 상기 제 1 접속부는 상기 노 내의 상기 오븐용 필터와 상기 오븐용 송풍수단 사이에 위치하고, 상기 제 2 접속부는 상기 가열부와 상기 오븐용 송풍수단 사이에 위치하며,The first connecting portion is located between the oven filter and the oven blowing means in the furnace, the second connecting portion is located between the heating portion and the oven blowing means, 노 내의 분위기 가스는 상기 댐퍼를 연 경우에만 상기 제 1 접속부에서 상기 덕트 내로 유입되고, 상기 덕트 내의 분위기 가스는 상기 댐퍼를 연 경우에만 상기 제 2 접속부에서 노 내로 유입되며,Atmospheric gas in the furnace flows into the duct from the first connection portion only when the damper is opened, and atmosphere gas in the duct flows into the furnace from the second connection portion only when the damper is opened, 상기 제 1 접속부와 제 2 접속부에서의 분위기 가스의 압력이 서로 다르고, The pressure of the atmospheric gas at the first connecting portion and the second connecting portion is different from each other, 상기 덕트가 노 밖에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 클린 오븐.Clean oven, characterized in that the duct is installed outside the furnace. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, 상기 댐퍼는 상기 냉각부와 제 2 접속부 사이에 설치되고, 상기 댐퍼의 밸브부가 고무제인 것을 특징으로 하는 클린 오븐.The damper is provided between the cooling portion and the second connection portion, the valve portion of the damper is a clean oven, characterized in that the rubber. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,The method according to claim 3 or 4, 상기 덕트는 추가로 덕트용 필터를 구비하며,The duct further has a filter for the duct, 상기 덕트용 필터는 상기 댐퍼와 제 2 접속부 사이에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 클린 오븐.The duct filter is provided between the damper and the second connection portion. 제 5 항에 있어서,6. The method of claim 5, 상기 덕트용 필터는 HEPA 필터인 것을 특징으로 하는 클린 오븐.The duct filter is a clean oven, characterized in that the HEPA filter. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, 상기 냉각부로의 냉각수의 공급이 정지된 경우에, 상기 댐퍼를 닫는 것을 특징으로 하는 클린 오븐.And the damper is closed when the supply of cooling water to the cooling unit is stopped.
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