KR101379379B1 - 노광 시스템용 웨이퍼 척 수평 유지 장치 - Google Patents

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김종수
송영열
이창환
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나노전광 주식회사
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Abstract

본 발명은 노광 시스템용 웨이퍼 척 수평 유지 장치에 관한 것이다. 상기 노광 시스템용 웨이퍼 척 수평 유지 장치의 한 실시예는 가운데 부분에 위치한 볼 안착부와 상기 볼 안착부를 중심으로 가장자리부에 위치하고 제1 나사홀을 각각 구비한 복수의 제1 체결홈을 구비한 볼 모듈, 상기 볼 안착부에 위치하고 반구 형상을 갖는 볼, 상기 볼 위에 위치하고 홈부와 상기 복수의 제1 체결홈에 대응되게 위치하고 상기 제1 나사홀과 대응되는 제2 나사홀을 각각 구비한 복수의 체결홈을 구비한 밀봉부재 홀더, 상기 밀봉부재 홀더의 상기 홈부 내에 위치하는 웨이퍼 척, 각 제2 나사홀과 상기 제2 나사홀과 대응되는 각 제1 나사홀에 삽입되어 상기 밀봉부재 홀더와 상기 볼 모듈을 체결하는 복수의 레벨 조정 장치, 그리고 상기 밀봉부재 홀더를 관통한 상기 각 제2 나사홀에 삽입되어, 상기 밀봉부재 홀더와 상기 볼 모듈 사이에 위치하는 복수의 탄성 부재를 포함한다. 이로 인해, 밀봉부재 홀더와 볼 모듈이 제1 및 제2 체결홈과 레벨 조정 장치에 의해 상대적인 수평 관계가 유지되어, 볼 동작에 의한 웨이퍼 척과 마스크 사이의 수평 유지 동작의 신뢰성이 향상되며, 볼과 체결된 밀봉부재 홀더와 볼 모듈이 레벨 조정 장치에 의해 결합되므로, 볼의 회전 동작이 방지되어 웨이퍼 척과 그 위에 위치한 마스크간의 정렬 동작이 용이하게 이루어진다

Description

노광 시스템용 웨이퍼 척 수평 유지 장치{WAFER CHUCK BALANCING APPARATUS FOR STEPPER}
본 발명은 노광 시스템용 웨이퍼 척 수평 유지 장치에 관한 것이다.
빛에 반응하는 물질인 감광액(photo-resist)이 코팅된 피노광체(예, 반도체 기판)에 원하는 패턴을 형성하기 위한 노광 시스템은 피노광체 위에 위치하고 원하는 패턴을 갖는 마스크(mask) 위에 광원으로부터 발산되는 빛(예를 들어, 자외선)을 마스크 위에 노광시켜 마스크를 통과하여 입사되는 빛을 피노광체에 조사시켜 피노광체에 원하는 패턴을 전사시키는 장치이다.
노광 시스템은 액정 표시 장치(LCD, Liquid Crystal Display), 플라즈마 표시 장치(PDP, Plasma Display Panel), 인쇄 회로 기판(PCB, Printed Circuit Board), 유기 발광 표시 장치(OLED, Organic Light Emitting Diode) 등과 같은 반도체 장치에 많이 사용하고 있다.
이러한 노광 시스템은 해당 위치에 고정 설치된 광원으로부터 발산되는 빛을 노광 스테이지 상에 위치한 피노광체의 전면에 일괄적으로 조사시키는 구조를 갖고 있다.
이때, 빛이 피노광체의 전면에 균일하게 조사될 수 있도록 광원과 피노광체 사이에 렌즈와 미러(mirror)을 구비한 광학 장치와 웨이퍼 척(wafer chuck) 상에 올려진 웨이퍼(wafer) 등과 같은 그 위에 위치한 피노광체와의 수평을 유지하는 웨이퍼 척 수평 유지 장치가 존재한다.
일반적으로 마스크에 의해 원하는 패턴을 갖도록 노광되는 피노광체는 마스크 고정 장치에 의해 해당 위치에 고정되어 있고, 공기 접촉(air bonding) 방식을 통해 피노광체 밑에 위치한 웨이퍼 척 수평 유지 장치와의 결합된다.
이때, 웨이퍼 척 수평 유지 장치는 볼(ball)의 움직임을 이용하여 웨이퍼 척의 표면과 그 위에 위치한 마스크(mask) 간의 수평을 유지하도록 웨이퍼 척의 표면 위치를 정한 후 공기 접촉을 통해 볼의 위치를 볼 모듈에 고정한다.
하지만, 시간이 경과함에 따라 에어 본딩의 결합력이 약화되고, 이로 인해, 볼의 움직임이 발생하여 웨이퍼 척의 위치 변화가 발생한다. 이때, 볼 모듈 내에서 볼은 상하 방향뿐만 아니라 회전 운동도 행해지게 되고, 설정 범위를 초과하여 볼의 상하 방향과 회전 운동이 이루어질 경우, 웨이퍼 척 수평 유지 장치의 웨이퍼 척 표면과 마스크 간의 상대적 수평 유지 동작에 용이하게 이루어지지 않고 또한 웨이퍼와 마스크 간의 정렬 동작이 원활하게 이루어지지 않는 문제가 발생한다.
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 마스크와 웨이퍼 척 간의 상대적 수평 관계를 정확도를 향상시키기 위한 것이다.
본 발명의 한 특징에 따른 노광 시스템용 웨이퍼 척 수평 유지 장치는 볼 안착부와 상기 볼 안착부를 중심으로 가장자리부에 위치하고 제1 나사홀을 각각 구비한 복수의 제1 체결홈을 구비한 볼 모듈, 상기 볼 안착부에 위치하고 반구 형상을 갖는 볼, 상기 볼 위에 위치하고 홈부와 상기 복수의 제1 체결홈에 대응되게 위치하고 상기 제1 나사홀과 대응되는 제2 나사홀을 각각 구비한 복수의 체결홈을 구비한 밀봉부재 홀더, 상기 밀봉부재 홀더의 상기 홈부 내에 위치하는 웨이퍼 척, 각 제2 나사홀과 상기 제2 나사홀과 대응되는 각 제1 나사홀에 삽입되어 상기 밀봉부재 홀더와 상기 볼 모듈을 체결하는 복수의 레벨 조정 장치, 그리고 상기 밀봉부재 홀더를 관통한 상기 각 제2 나사홀에 삽입되어, 상기 밀봉부재 홀더와 상기 볼 모듈 사이에 위치하는 복수의 탄성 부재를 포함한다.
상기 특징에 따른 노광 시스템용 웨이퍼 척 수평 유지 장치는 상기 밀봉부재 홀더의 하부에 상기 복수의 제2 체결홈과 대응되게 위치하고, 상기 복수의 탄성 부재가 각각 위치하는 복수의 홈부를 더 포함할 수 있다.
복수의 제1 및 제2 체결홈은 일정한 간격으로 위치할 수 있다.
복수의 제1 및 제2 체결홈 각각의 평면 형상은 반타원 형상을 가질 수 있다.
상기 복수의 제1 및 제2 체결홈 각각은 외부쪽으로 개방될 수 있다.
상기 복수의 탄성부재 각각은 스프링일 수 있다.
이러한 특징에 따르면 밀봉부재 홀더와 볼 모듈이 제1 및 제2 체결홈과 레벨 조정 장치에 의해 상대적인 수평 관계가 유지되어, 볼 동작에 의한 웨이퍼 척과 마스크 사이의 수평 유지 동작의 신뢰성이 향상된다.
또한, 볼과 체결된 밀봉부재 홀더와 볼 모듈이 레벨 조정 장치에 의해 결합되므로, 볼의 회전 동작이 방지되어 웨이퍼 척과 그 위에 위치한 마스크간의 정렬 동작이 용이하게 이루어진다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 노광 시스템용 웨이퍼 척 수평 유지 장치의 분해 사시도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
그러면 첨부한 도 1을 참고로 하여 본 발명의 한 실시예에 따른 노광 시스템용 웨이퍼 척 수평 유지 장치에 대하여 설명한다.
본 발명의 한 실시예에 따른 노광 시스템용 웨이퍼 척 수평 유지 장치는 볼 모듈(ball module)(10), 볼 모듈(10)에 위치하는 볼(ball)(20), 볼(20) 위에 위치하는 제1 오링(O-ring)(31), 제1 오링(31) 위에 위치하는 밀봉부재 홀더(seal holder)(40), 밀봉부재 홀더(40)와 볼 모듈(10)을 체결하고 밀봉부재 홀더(40)와 볼 모듈(10) 사이의 레벨을 조정하는 레벨(level) 조정 장치인 복수의 레벨 조정 나사(50), 복수의 레벨 조정 나사(50) 각각에 삽입되어 밀봉부재 홀더(40)와 볼 모듈(10) 사이에 위치하는 탄성 부재(51), 밀봉부재 홀더(40)에 위치하는 제2 오링(60), 제2 오링(60) 위에 위치하는 밀봉부재(vacuum seal)(70), 그리고 밀봉부재(60) 위에 위치한 웨이퍼 척(wafer chuck)(80)을 구비한다.
볼 모듈(10)은 가운데 부분에 반구 형상의 볼(20)이 안착되는 반구 형상의 오목한 볼 안착부(11), 상부 표면에 외부 장치(도시하지 않음)와 결합되는 복수의 나사홀(12) 그리고 상부 가장자리에 형성되고 그 하부에 형성된 제1 나사홀(131)에 레벨 조정 나사(50)가 삽입되는 복수의 제1 체결홈(13)을 구비한다.
본 예에서, 복수의 제1 체결홈(13)은 볼 안착부(11)을 중심으로 일정한 간격으로 배열되어 있고, 본 예에서, 제1 체결홈(13)의 개수는 세 개이지만 이에 한정되지 않는다.
각 체결홈(13)의 평면 형상은 반타원 형상을 갖고 있고, 각 제1 체결홈(13)은 볼 모듈(10)의 가장자리 쪽으로는 개방되어 외부 쪽으로 개방되어 있다. 볼 안착부(11)에는 공기 구멍(H1)이 위치하여, 볼(20)과 볼 모듈(10) 사이에 존재하는 공기를 외부로 배출하거나 또는 외부로부터 공기를 볼(20)과 볼 모듈(10) 사이에 주입한다.
볼(20)은 반구 형상을 갖고 있어, 볼 안착부(11)와 접하는 하부면은 구형을 갖고 있지만, 하부의 반대편에 위치하고 밀봉부재 홀더(40)와 접하는 상부면은 평탄면을 갖고 있다. 볼(20)은 상부 표면에 제1 오링(31)이 삽입되는 제1 오링 삽입홈(21)과 밀봉부재 홀더(40)와의 체결을 위한 적어도 하나의 체결구(22)를 구비하고 있다.
본 예에서, 체결구(22)는 제1 오링 삽입홈(21)을 중심으로 일정한 간격(예, 120°간격)을 유지하는 세 개의 체결구(22)를 구비하지만, 체결구(22)의 개수는 변경 가능하다.
이러한 볼(20)은 밀봉부재 홀더(40)와 체결되고 볼 모듈(10)의 볼 안착부(11)에 밀착되게 위치하여 볼 안착부(11) 내에서 상하 방향으로 이동하여 원하는 위치에 밀봉부재 홀더(40)를 위치시킨다.
제1 오링(31)은 볼(20)에 형성된 제1 오링 삽입홈(21)에 삽입된다.
제1 오링(31)은 실리콘(silicon)으로 만들어지고, 밀봉부재 홀더(40)와 볼(20) 간의 진공이 누수되는 것을 방지한다.
밀봉부재 홀더(40)는 가운데 부분에 형성되어 있고 가장자리 부분이 경사져있는 홈부(41a), 이 홈부(41a)의 측면 일부에 원형 형상으로 형성되어 제2 오링(60)이 삽입되는 제2 오링 삽입홈(41), 상부 가장자리에 형성되어 그 하부에 형성된 제2 나사홀(431)에 레벨 조정 나사(50)가 삽입되는 복수의 제2 체결홈(43), 볼(20)의 체결구(22)과 대응되게 위치하며 나사나 볼트(bolt) 등과 같은 체결 부재로 볼(20)의 체결구(22)와 체결되는 체결구(44), 그리고 웨이퍼 척(80)과 체결 부재로 체결되는 체결구(45)을 구비한다.
따라서, 각 제2 나사홀(431)은 제1 체결홈(13)의 각 제1 나사홀(131)에 대응되게 위치한다.
이때, 제2 오링 삽입홈(41)의 측면은 제2 오링(60)과 접하는 부분이므로, 제2 오링(60)의 표면 형상과 동일한 평면 형상을 갖고 있다.
각 제2 체결홈(43)은 볼 모듈(10)의 각 제1 체결홈(13)과 대응되게 위치하므로, 홈부(41a)를 중심으로 일정 간격으로 배치되어 있고, 본 예에서 복수의 제2 체결홈(43)의 개수는 세 개이다.
이때, 각 제2 체결홈(43)은 제1 체결홈(13)과 동일한 형상을 갖고 있다. 따라서, 각 제2 채결홈(43)은 반타원 형상의 평면 형상을 갖고 있고, 밀봉부재 홀더(40)의 가장자리 쪽으로는 개방되어 외부쪽으로 개방되어 있다.
또한, 밀봉부재 홀더(40)는 각 탄성 부재(51)와 접해 있는 밀봉부재 홀더(40)의 하부[즉, 홈부(41a)과 형성된 상부와 반대편에 위치하고 탄성부재(51)와 접하는 표면]에는 탄성 부재(51)가 삽입되는 홈부(46)가 형성되어 있다. 따라서, 각 홈부(46)는 각 제2 체결홈(431)과 대응되게 위치한다.
이로 인해, 각 탄성 부재(51)는 홈부(46) 내에서 안정적으로 위치하게 된다.
이러한 밀봉부재 홀더(40)는 홈부(41a) 내에 웨이퍼 척(80)을 위치시킨 후 공기 밀착 방식 등을 이용하여 밀봉부재 홀더(40)에 웨이퍼 척(80)을 고정시킨다.
복수의 레벨 조정 나사(50)는 밀봉부재 홀더(40)의 복수의 제2 체결홈(43)의 제2 나사홀(431)과 볼 모듈(10)의 복수의 제1 체결홈(13)의 제1 나사홀(131)에 삽입되어, 밀봉부재 홀더(40)와 볼 모듈(10)을 결합시키는 체결 수단이다.
이러한 레벨 조정 나사(50)를 이용하여 볼(20)의 상부 표면과 볼 모듈(10)의 상부 표면이 서로 평행하거나 볼(20)의 중심선과 볼 모듈(10)의 중심선이 일치하도록 상하 방향으로의 밀봉부재 홀더(40)이 위치가 조정한다.
이와 같이 레벨 조정 나사(50)에 의해 밀폐부재 홀더(40)와 볼 모듈(10)이 체결되므로, 볼 안착부(11) 내에 밀착되게 움직이는 볼(20)의 회전 동작은 방지된다.
복수의 탄성 부재(51)는 본 예에서 스프링(spring)으로 이루어져 있고, 각 제2 체결홈(43)의 제2 나사홀(431)을 통해 밀봉부재 홀더(40)를 관통한 각 레벨 조정 나사(50)에 삽입되어 볼 모듈(10)의 복수의 제1 체결홈(13)에 위치한다.
따라서, 각 탄성 부재(51)는 밀봉부재 홀더(40)와 볼 모듈(10) 사이에서 각 레벨 조정 나사(50)의 삽입 정도에 따라 해당 크기로 압축되어 밀봉부재 홀더(40)와 볼 모듈(10) 사이의 간격이 제어된다.
이로 인해, 탄성 부재(51)는 레벨 조정 나사(50)로 정해진 장력(tension)을 일정하게 유지하여, 볼 모듈(10) 내에서 볼 안착부(111)의 표면을 따라 움직이는 볼(20)의 상하 방향으로 이동 범위가 제한된다.
제2 오링(60)은 실리콘(silicon)으로 이루어져 있고, 밀봉부재 홀더(40)의 제2 오링 삽입홈(41)에 배치된다.
이때, 제2 오링(60)의 표면을 높이가 복수개의 다단계 형상을 갖고 있으므로, 제2 오링 삽입홈(41)의 표면 형상 역시 다단계 형상을 갖고 있다.
이러한 제2 오링(60)은 웨이퍼 척(80)과 밀봉부재 홀더(40)간의 진공 누수를 방지한다.
밀봉부재(70)는 밀봉 부재 홀더(40)의 홈부(41a) 내에 위치하고, 본 예에서 밀봉부재(70)는 립 씰(lip seal)로 이루어져 있으며 실리콘으로 제작된다.
이러한 밀봉부재(70)는 밀봉부재 홀더(40) 외부로 진공(vacuum)의 누수가 발생하는 것을 방지하여 웨이퍼 척(70)과 밀봉부재 홀더(40)와의 밀착력을 강화시킨다. 이때, 이 밀봉부재(70)와 밀봉부재 홀더(40) 사이에는 제2 오링(60)이 위치하므로, 밀봉부재(70)와 밀봉부재 홀더(40)간의 접착력을 더욱더 향상된다.
웨이퍼 척(80)은 상부 표면 위에 노광 시스템에 의해 노광되는 대상물, 예를 들어, 웨이퍼(wafer)가 위치하고, 밀봉부재 홀더(40)의 체결구(45)와 대응되게 위치한 체결구(81)를 구비한다.
따라서, 웨이퍼 척(80)는 체결구(81)와 통해 나사나 볼트 등과 같은 체결 부재(도시하지 않음)를 이용하여 밀봉부재 홀더(40)의 체결구(45)와 결합된다.
이러한 구조를 갖는 웨이퍼 척 수평 유지 장치(100)는 볼(20)의 제1 오링 삽입홈(21) 속에 제1 오링(31)을 삽입하고, 볼(22)의 체결구(22)와 밀봉부재 홀더(40)의 체결구(44)에 나사나 볼트 등과 같은 체결 부재(도시하지 않음)를 삽입하여, 볼(220)과 밀봉부재(40)를 결합한다.
밀봉 부재(40)의 제2 오링 삽입홈(41) 속에 제2 오링(60)을 위치시키고 그 위에 밀봉 부재(70)를 압착하여 위치시킨 다음, 경사면을 갖는 밀봉 부재(70)의 홈부(41a) 내에 웨이퍼 척(80)을 위치시킨다. 그런 다음, 웨이퍼 척(80)에 형성된 체결구(81)와 이 체결구(81)와 대응되는 밀봉부재 홀더(40)에 형성된 체결구(45)에 체결 부재(도시하지 않음)를 삽입하여 밀봉부재(70)에 삽입된 웨이퍼 척(80)을 밀봉부재 홀더(40)와 결합시킨다.
이러한 결합 동작에 의해, 볼(20)은 밀봉부재 홀더40)의 하부에 위치하고, 웨이퍼 척(80)은 밀봉부재 홀더(40)의 상부에 위치한다.
이때, 볼(20)과 밀봉부재 홀더(40) 사이에 제1 오링(31)이 존재하므로 볼(20)과 밀봉부재 홀더(40) 간의 밀착력이 증가하고, 웨이퍼척(80)과 밀봉부재 홀더(40) 사이에 제2 오링(60)과 밀봉부재(70)가 존재하므로 볼(20)과 밀봉부재 홀더(40) 간의 밀착력이 증가한다.
이와 같이, 밀봉부재 홀더(40)에 볼(20)과 웨이퍼 척(80)이 결합된 상태에서, 볼(20)을 볼 모듈(10)의 볼 안착부(11)에 위치시킨 후, 복수의 레벨 조정 나사 (50)를 볼 모듈(10)의 제2 체결홈(43)에 위치한 제2 나사홀(431)과 밀봉부재 홀더(40)의 제1 체결홈(13)에 위치한 제1 나사홀(131)에 삽입하여 밀봉부재 홀더(40)와 볼모듈(10)을 결합시킨다.
이때, 밀봉부재 홀더(40)의 제2 나사홀(431)을 관통한 레벨 조정 나사(50)에 탄성 부재(51)가 삽입되므로, 밀봉부재 홀더(40)의 홈부(46)와 볼 모듈(10) 사이에는 탄성 부재(51)가 위치한다.
본 예의 경우, 밀봉부재 홀더(40)와 볼 모듈(10)을 결합할 때, 각 레벨 조정 나사(50)의 삽입 정도를 조정하여 볼(20)의 중심선과 볼 안착부(11)의 중심선이 일치하도록, 또는 볼(20)의 상부 표면이나 웨이퍼 척(80)의 상부 표면과 볼 나사홀(12)이 형성된 부분의 볼 모듈(10)의 상부 표면이 서로 평행한 상태를 유지하도록 한다.
이미 설명한 것처럼, 밀봉부재 홀더(40)와 볼모듈(10) 사이에는 탄성 부재(51)가 위치하므로, 각 레벨 조정 나사(50)의 삽입 정도에 따라 변하는 각 탄성 부재(51)의 압축 상태가 제어되어 각 레벨 조정 나사(50)에 의해 제어된 밀봉부재 홀더(40)와 볼 모듈(10) 간의 상대적 수평 관계는 용이하게 유지된다.
따라서, 각 레벨 조정 나사(50)와 탄성 부재(51)에 의해 용이하고 안정적으로 웨이퍼 척(80)과 볼 모듈(10) 간의 수평 관계가 조정된다.
이처럼, 웨이퍼 척(80)의 상부 표면과 그 위에 위치한 마스크의 표면간의 수평 관계를 조정하기 전에, 밀봉부재 홀더(40)와 볼 모듈(10) 간의 수평 관계가 먼저 조정되므로, 웨이퍼 척 수평 유지 장치의 정확도가 향상된다.
또한, 복수의 레벨 조정 나사(50)에 의해 밀봉부재 홀더(40)와 볼 모듈(10)이 체결되어 있으므로, 볼 모듈(10)의 볼 안착부(11) 내에서 볼(20)의 회전 동작은 이루어지지 않고 상하 방향으로의 이동만 가능해진다. 따라서, 볼 안착부(11) 내에 위치한 볼(20)의 회전 동작에 의해 웨이퍼 척(80)의 위치가 정상적인 동작 범위를 넘어서는 문제가 발생하지 않아, 마스크와 웨이퍼 간의 정렬 시 발생하는 오동작이 방지된다.
이와 같이, 볼 모듈(10)과 밀봉부재 홀더(40)와의 수평 관계가 조정된 상태로 볼 모듈(10)과 밀봉부재 홀더(40)가 결합된 웨이퍼 척 수평 유지 장치는 도시되지 않은 이동 장치에 의해 마스크(도시하지 않음) 쪽으로 이동된다. 이때, 마스크는 웨이퍼 척(80) 위에 웨이퍼 척(80)의 상부 표면과 이격되게 위치하고 마스크 척(mask chuck)(도시하지 않음)에 의해 위치가 고정되어 있다.
이처럼, 웨이퍼 척 수평 유지 장기가 마스크 쪽으로 이동하여 웨이퍼 척(80)의 상부 표면과 이 상부 표면과 인접한 마스크의 표면은 접촉된다. 이때, 볼 안착부(11)내에 위치한 볼(20)은 마스크 표면의 경사도(즉, 웨이퍼 척의 상부 표면에 대한 경사도)에 따라 볼 안착부(11) 내에서 하강하거나 상승하면서 웨이퍼 척(80)의 상부 표면과 마스크의 표면은 접촉된다.
볼 안착부(11) 내에서 이러한 볼(20)의 이동에 의한 접촉 동작에 의해, 웨이퍼 척(80)의 상부 표면과 마스크의 표면은 상대적인 수평 관계를 유지한다.
이처럼, 웨이퍼 척(80)의 상부 표면과 마스크 표면의 수평 관계가 유지된 상태에서, 공기주입 및 흡출 장치(도시하지 않음)를 이용하여 볼 모듈(10)의 공기 구멍(H1)을 통해 볼(20)과 볼안착부(11) 사이에 존재하는 공기를 외부로 배출시킨다. 이로 인해, 볼(20)과 볼 안착부(11)는 공기 접착되어 안정적으로 볼(20)은 볼 모듈(10)의 볼 안착부(11)에 고정된다.
그런 다음, 마스크로부터 웨이퍼 척 수평 유지 장치를 이격시킨다.
이러한 동작으로 인해, 마스크 표면과 웨이퍼 척(80)의 상대적 수평 관계가 행해져, 마스크와 웨이퍼 척(80) 위에 존재하는 웨이퍼 간의 정렬 동작이 용이하게 정확하게 이루어진다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
10: 볼 모듈 11: 볼 안착부
20: 볼 21, 41: 오링 삽입홈
31, 60: 제1 오링 40: 밀봉부재 홀더
41a, 46: 홈부 50: 레벨 스크류
51: 탄성부재 70: 밀봉부재
80: 웨이퍼 척 22, 44, 45, 81: 체결구
13, 43: 체결홈 12, 431, 131: 나사홀

Claims (6)

  1. 볼 안착부와 상기 볼 안착부를 중심으로 가장자리부에 위치하고 제1 나사홀을 각각 구비한 복수의 제1 체결홈을 구비한 볼 모듈,
    상기 볼 안착부에 위치하고 반구 형상을 갖는 볼,
    상기 볼 위에 위치하고 홈부와 상기 복수의 제1 체결홈에 대응되게 위치하고 상기 제1 나사홀과 대응되는 제2 나사홀을 각각 구비한 복수의 체결홈을 구비한 밀봉부재 홀더,
    상기 밀봉부재 홀더의 상기 홈부 내에 위치하는 웨이퍼 척,
    각 제2 나사홀과 상기 제2 나사홀과 대응되는 각 제1 나사홀에 삽입되어 상기 밀봉부재 홀더와 상기 볼 모듈을 체결하는 복수의 레벨 조정 장치, 그리고
    상기 밀봉부재 홀더를 관통한 상기 각 제2 나사홀에 삽입되어, 상기 밀봉부재 홀더와 상기 볼 모듈 사이에 위치하는 복수의 탄성 부재
    를 포함하는 노광 시스템용 웨이퍼 척 수평 유지 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 밀봉부재 홀더의 하부에 상기 복수의 제2 체결홈과 대응되게 위치하고, 상기 복수의 탄성 부재가 각각 위치하는 복수의 홈부를 더 포함하는 노광 시스템용 웨이퍼 척 수평 유지 장치.
  3. 제1항에서,
    복수의 제1 및 제2 체결홈은 일정한 간격으로 위치하고 있는 노광 시스템용 웨이퍼 척 수평 유지 장치.
  4. 제1항에서,
    복수의 제1 및 제2 체결홈 각각의 평면 형상은 반타원 형상을 갖는 노광 시스템용 웨이퍼 척 수평 유지 장치.
  5. 제4항에서,
    상기 복수의 제1 및 제2 체결홈 각각은 외부쪽으로 개방되어 있는 노광 시스템용 웨이퍼 척 수평 유지 장치.
  6. 제1항에서,
    상기 복수의 탄성부재 각각은 스프링인 노광 시스템용 웨이퍼 척 수평 유지 장치.
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