KR101375616B1 - 고온화학기상증착용 버블링 장치 - Google Patents

고온화학기상증착용 버블링 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 액상의 원료를 저장하는 원료저장부와, 상기 원료를 버블링 시키기 위한 적어도 하나의 버블 가스를 공급하는 버블 가스 공급부와, 상기 버블 가스에 의해 버블링된 원료를 가열하여 기화시키기 위한 가열 수단과, 상기 버블 가스가 상기 원료저장부로 유입되는 통로를 제공하는 버블 가스 유입구 및 상기 원료가 기화되어 형성된 원료 가스가 상기 원료저장부에서 배출되어 고온화학기상증착 장치의 반응챔버로 공급하기 위한 통로를 제공하는 원료 가스 배출구를 포함하는 고온화학기상증착용 버블링 장치에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 고온화학기상증착에 액상의 원료를 사용할 수 있으므로 많은 다양한 물질을 적용하여 목표하는 물질을 제조할 수 있고, 버블링을 이용하므로 액상의 원료를 기화시키기가 용이하며, 비교적 저온에서 액상의 원료를 기화시킬 수 있다.

Description

고온화학기상증착용 버블링 장치{Bubbler for high temperature chemical vapor deposition}
본 발명은 단결정을 성장시키는 고온화학기상증착용 버블링 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액상의 원료를 사용하여 고온화학기상증착을 수행할 수 있으므로 원료의 제약이 적고 조성조절이 용이하여 다양한 목표하는 물질을 제조할 수 있으며, 버블링을 이용하므로 액상의 원료를 기화시키기가 용이하고 비교적 저온에서 액상의 원료를 기화시킬 수 있는 고온화학기상증착용 버블링 장치에 관한 것이다.
일반적으로 고온화학기상증착(high temperature chemical vapor deposition; HTCVD)은 단결정 기판상에 고품질의 정합성장 박막이나 단결정을 성장시키는 데 주요한 방법으로 사용되고 있다.
이러한 고온화학기상증착에는 가스 자체가 직접 주입되어 사용되므로 액상의 물질을 사용할 수 없는 제약이 따른다. 이와 같이 종래에는 가스를 사용하여야 하므로 고온화학기상증착에 사용될 수 있는 물질의 제약이 많아 다양한 물질을 사용하여 목표하는 물질을 제조하는데 한계가 있었다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 액상의 원료를 사용하여 고온화학기상증착을 수행할 수 있으므로 원료의 제약이 적고 많은 다양한 목표하는 물질을 제조할 수 있으며, 버블링을 이용하므로 액상의 원료를 기화시키기가 용이하고 비교적 저온에서 액상의 원료를 기화시킬 수 있는 고온화학기상증착용 버블링 장치를 제공함에 있다.
본 발명은, 액상의 원료를 저장하는 원료저장부와, 상기 원료를 버블링 시키기 위한 적어도 하나의 버블 가스를 공급하는 버블 가스 공급부와, 상기 버블 가스에 의해 버블링된 원료를 가열하여 기화시키기 위한 제1 가열 수단과, 상기 버블 가스가 상기 원료저장부로 유입되는 통로를 제공하는 버블 가스 유입구 및 상기 원료가 기화되어 형성된 원료 가스가 상기 원료저장부에서 배출되어 고온화학기상증착 장치의 반응챔버로 공급하기 위한 통로를 제공하는 원료 가스 배출구를 포함하는 고온화학기상증착용 버블링 장치를 제공한다.
상기 원료저장부의 둘레에는 냉각 실린더가 구비될 수 있고, 상기 냉각 실린더 내부를 냉각수가 순환되게 하는 것이 바람직하다.
상기 원료 가스 배출구와 상기 반응챔버를 연통하는 도관의 둘레에는 제2 가열 수단이 구비될 수 있고, 상기 제2 가열 수단에 의해 상기 원료 가스가 액화되는 것을 억제할 수 있다.
상기 버블 가스 유입구로 유입된 버블 가스가 상기 버블 가스 유입구에서 상기 원료저장부의 저부로 이동되는 경로를 제공하는 버블 가스 운반관이 구비되어 있을 수 있다.
상기 원료저장부에 저장된 원료의 함량을 확인할 수 있게 원료확인부가 구비될 수 있으며, 상기 원료저장부에 저장된 원료의 함량을 확인할 수 있게 원료확인부가 구비되어 있으며, 상기 원료확인부는 투명한 창을 갖는 별도의 도관으로 형성되고 상기 원료저장부의 바닥면과 상기 원료확인부의 바닥면이 동일하게 함으로써 상기 원료저장부에 원료가 채워지는 경우에 상기 원료확인부에도 동일한 높이로 원료가 채워지게 구성되며, 상기 원료확인부의 투명한 창을 통해 액상인 원료의 잔량을 확인함으로써 상기 원료를 보충하는 시기를 판단할 수 있다.
상기 원료를 상기 원료저장부에 보충하기 위해 원료투입구가 구비되어 있을 수 있다.
상기 원료는 액상의 금속유기화합물을 포함할 수 있다.
상기 원료는 실리콘카바이드(SiC)를 합성을 목표로 할 경우, 테트라메틸실란, 메틸트리클로로실란 및 트리에틸실란 등 금속유기화합물 중에서 선택된 1종 이상의 물질을 포함할 수 있다. 상기 원료는 알루미늄나이트라이드(AlN) 합성을 목표로 할 경우, 트리메틸알루미늄 등 알루미늄 금속을 포함한 유기화합물 중에서 선택될 수 있는 것처럼 다양하게 활용될 수 있다.
상기 버블 가스는 아르곤(Ar), 헬륨(He), 질소(N2), 수소(H2) 및 산소(O2) 중에서 선택된 1종 이상의 가스로 이루어질 수 있다.
종래에는 고품질의 단결정을 합성하기 위하여 가스를 사용하여야 하므로 고온화학기상증착에 사용될 수 있는 물질의 제약이 많았으나, 본 발명에 의하면 고온화학기상증착에 액상의 원료를 사용할 수 있으므로 다양한 물질을 적용하여 목표하는 물질을 제조할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 버블링을 이용하므로 액상의 원료를 기화시키기가 용이하고, 비교적 저온에서 액상의 원료를 기화시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 고온화학기상증착용 버블링 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 고온화학기상증착용 버블링 장치를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 고온화학기상증착용 버블링 장치를 설명하기 위하여 도시한 평면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 그러나, 이하의 실시예는 이 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 고온화학기상증착용 버블링 장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2 및 도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 고온화학기상증착용 버블링 장치를 설명하기 위하여 도시한 도면이며, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 고온화학기상증착용 버블링 장치를 설명하기 위하여 도시한 평면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 고온화학기상증착용 버블링 장치는 반응챔버(130)에 원료 가스를 공급하는 역할을 한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 고온화학기상증착용 버블링 장치는 액상의 원료(114)를 저장하는 원료저장부(102)와, 원료(114)를 버블링(bubbling) 시키기 위한 적어도 하나의 버블 가스를 공급하는 버블 가스 공급부(104)와, 상기 버블 가스에 의해 버블링된 원료(114)를 가열하여 기화시키기 위한 제1 가열 수단(미도시)과, 상기 버블 가스가 원료저장부(102)로 유입되는 통로를 제공하는 버블 가스 유입구(116), 및 원료(114)가 기화되어 형성된 원료 가스가 원료저장부(102)에서 배출되어 고온화학기상증착 장치의 반응챔버(130)로 공급하기 위한 통로를 제공하는 원료 가스 배출구(118)를 포함한다.
반응챔버(130)는 상기 원료 가스가 공급되어 목표하는 물질을 합성하는 공간을 제공하는 챔버이다. 반응챔버(130)는 적어도 하나 이상의 가스유입구가 하부 또는 측면에 위치되고, 상부 또는 측면에 적어도 하나 이상의 가스배출구가 구비된 구조를 갖는다.
반응챔버(130)의 하부에는 원료 가스, 퍼지 가스와 같은 가스를 유입시키기 위한 가스유입구가 구비되며, 상기 가스유입구는 원료 가스 배출구(118)에 연결되어 원료 가스를 공급받아 반응챔버(130) 내부로 원료 가스를 공급하는 역할을 한다. 반응챔버(130) 내로 유입되는 원료 가스는 반응챔버(130) 내에서 열분해되고, 이 열분해된 원료 가스에 의해 목표하는 물질의 합성이 이루어지게 된다.
반응챔버(130)는 가스배출구가 구비되고, 상기 가스배출구에는 펌프(미도시)와 같은 배기 장치가 설치되어 있다. 상기 배기 장치에 의하여 반응챔버(130) 내의 압력이 조절될 수 있다. 고온화학기상증착 전에 배기 시에는 원료 가스를 유입시키기 전에 퍼지가스를 사용하여 반응챔버(130)에 잔류하는 불순물 가스를 퍼지하여 가스배출구를 통해 배기시키고, 고온화학기상증착 후의 배기 시에는 가스유입구를 통해 퍼지가스를 유입시켜 반응챔버(130) 내에 잔류하는 원료 가스와 반응 부산물을 퍼지(purge)하여 가스배출구를 통해 배기시킬 수 있다. 상기 배기 장치는 반응챔버(130) 내부를 진공 상태로 만들거나 가스를 배기하기 위한 로터리 펌프(Rotary Pump)와, 상기 로터리 펌프에 의한 가스의 배기를 차단하거나 조절하기 위한 밸브들과, 반응챔버(130) 내의 진공도를 측정하기 위한 진공 게이지 등을 포함할 수 있다.
고온화학기상증착용 버블링 장치는 목표하는 물질의 원료(114)를 저장하여 반응챔버(130)로 원료 가스를 공급하기 위한 원료저장부(102)를 포함한다. 원료저장부(102)의 내벽은 내화학성을 갖는 스테인레스 등과 같은 재질로 이루어지는 것이 바람직하며, 실리콘카바이드를 합성하기 위한 원료(114)로는 테트라메틸실란(tetramethylsilane; TMS), 메틸트리클로로실란(methyltriclorosilane; MTS), 트리에틸실란(triethylsilane; TES) 등과 같은 액상의 금속유기화합물(metal organic source)을 사용할 수 있다. 또한, 상기 원료는 알루미늄나이트라이드(AlN) 합성을 목표로 할 경우, 트리메틸알루미늄 등 알루미늄 금속을 포함한 유기화합물 중에서 선택될 수 있는 것처럼 다양하게 활용될 수 있다. 테트라메틸실란(TMS)은 무색 투명한 액체로서 끓는점이 26℃ 정도이며, SiC와 같은 물질을 합성하는 원료로 사용될 수 있다. 메틸트리클로로실란(MTS)은 끓는점이 66℃ 정도로서 액상 물질이고, 트리에틸실란(TES)은 끓는점이 107℃ 정도로서 액상 물질이다. 원료저장부(102)는 덮개(124)에 의해 기밀될 수 있으며, 원료저장부(102)와 덮개(124)는 볼트 및 너트와 같은 체결부재를 통해 결합될 수 있다.
버블 가스 공급부(104)는 적어도 1개의 버블 가스를 원료저장부(102)로 공급하는 역할을 한다. 상기 버블 가스 공급부(104)는 버블 가스의 공급 유량을 제어하는 유량제어기(MFC)와 밸브들을 포함할 수 있다. 유량제어기와 밸브들의 제어를 통해 버블 가스를 공급하게 된다.
고온화학기상증착용 버블링 장치는 원료(114)를 가열하여 기화시키기 위한 가열 수단(heater)(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 가열 수단은 원료저장부(102)의 내부 온도를 원료(114)가 기화될 수 있는 목표 온도로 상승시키는 역할을 한다. 원료저장부(102) 내의 온도를 일정 값 이상으로 상승시켜 원료의 목표하는 기화 온도로 유지함으로써 원료 가스가 반응챔버(130)로 공급될 수 있도록 한다. 상기 가열 수단은 원료저장부(102)의 온도(또는 원료(114)의 온도)를 목표 온도(예컨대, 원료(114)의 끓는점 이상의 온도)로 상승시키고 일정하게 유지하는 역할을 한다. 상기 가열 수단은 전기히터 등을 이용할 수 있다. 상기 가열 수단에 의해 원료저장부(102) 내의 온도를 일정하게 유지시킬 수 있다.
또한, 원료저장부(102)에 저장된 원료(114)의 함량을 볼 수 있게 원료확인부(106)가 구비될 수 있으며, 원료확인부(106)의 투명한 창을 통해 액상인 원료(114)의 잔량을 확인함으로써 원료(114)를 보충하는 시기를 판단할 수 있다. 원료확인부(106)는 투명한 창을 갖는 별도의 도관으로 형성하고 원료저장부(102)의 바닥면과 원료확인부(106)의 바닥면이 동일하게 함으로써 원료저장부(102)에 원료(112)가 채워지는 경우에 원료확인부(106)에도 동일한 높이로 원료(114)가 채워지게 구성되는 것이 바람직하다.
원료저장부(102)의 둘레에는 냉각 실린더(108)가 구비될 수 있고, 냉각 실린더(108) 내부를 흐르는 냉각수(cooling water; CW)에 의해 원료저장부(102)를 수냉시켜 원료 가스를 반응챔버(130)로 공급할 필요가 없는 경우에 테트라메틸실란과 같이 끓는점이 낮은 액상 물질이 기화되는 것을 억제할 수 있고, 또한 원료저장부(102)를 냉각하여 끓는점이 상온 보다 낮은 원료가 급격하게 기화되는 것을 억제하거나 과열된 원료저장부(102)의 온도를 냉각하여 적절한 온도로 조절하는 역할을 한다. 냉각 실린더(108)에는 냉각수 유입관(cooling water inlet; CWI)(110)을 연결하여 냉각수를 공급하고, 공급된 냉각수는 냉각수 배출관(cooling water outlet; CWO)(112)을 통해 배출되도록 하며, 냉각수가 냉각 실린더(108)를 순환되게 하여 원료저장부(102)가 전체적으로 골고루 냉각될 수 있도록 한다.
반응챔버(130)로 원료 가스의 공급을 원활하게 하기 위하여 원료저장부(102)는 버블 가스 공급부(104)와 연통되어 있다. 상기 버블 가스 공급부(104)로부터 원료저장부(102)로 유입된 버블 가스는 원료(114)을 버블링(bubbling) 시키는 역할을 하여 원료(114)가 기화될 수 있도록 한다. 또한, 상기 버블 가스는 원료(114)가 기화되어 형성된 원료 가스를 반응챔버(102)로 밀어주는 역할을 하고 원료 가스가 원료저장부(102)와 반응챔버(130) 사이에 구비된 도관의 벽에 달라붙지 않게 한다. 이러한 버블 가스로는 원료(114)와 화학 반응성이 없는 가스를 사용하며, 예컨대 아르곤(Ar), 헬륨(He), 질소(N2), 수소(H2), 산소(O2) 등과 같은 가스 또는 이들의 혼합가스를 사용하는 것이 바람직하다.
고온화학기상증착용 버블링 장치에는 버블 가스가 원료저장부(102)로 유입되는 통로를 제공하는 버블 가스 유입구(116), 원료 가스가 원료저장부(102)에서 배출되는 통로를 제공하는 원료 가스 배출구(118) 및 원료(114)를 원료저장부(102)에 공급하거나 보충하기 위한 원료투입구(120)가 구비된다.
또한, 고온화학기상증착용 버블링 장치에는 버블 가스 유입구(116)로 유입된 버블 가스가 버블 가스 유입구(116)에서 원료저장부(102)의 저부로 이동되는 경로를 제공하는 버블 가스 운반관(122)이 구비된다. 버블 가스 운반관(122)은 중심부가 비어있는 튜브형 관 형태로 이루어지며, 원료저장부(102)의 바닥까지 연장되게 형성됨으로써 효과적인 버블링이 일어날 수 있게 구비된다.
원료 가스 배출구(118)와 반응챔버(130)의 가스유입구를 연통하는 도관의 둘레에는 가열 수단이 구비되어 상기 도관의 온도를 일정 온도 이상으로 일정하게 유지하는 것이 바람직하다. 원료 가스 배출구(118)와 반응챔버(130)의 가스유입구를 연통하는 도관에 가열 수단이 구비됨으로써 기화된 끓는점이 낮은 원료 가스가 액화되는 것을 억제할 수 있는 장점이 있다. 액화가 일부 일어나는 경우에 원료 가스의 원활한 공급이 저해될 수 있고 일정한 양의 원료 가스를 공급하는 것이 어려울 수 있기 때문이다.
원료 가스 배출구(118)와 반응챔버(130)의 가스유입구를 연통하는 도관에는 원료 가스의 공급 유량을 제어하는 유량제어기(MFC)와 밸브가 구비될 수 있으며, 상기 유량제어기와 밸브의 제어를 통해 원료 가스의 공급량을 조절할 수도 있다.
이하에서, 상술한 고온화학기상증착용 버블링 장치로 고온화학기상증착의 반응챔버에 원료 가스를 주입하여 고온화학기상증착을 수행하는 방법을 설명한다.
원료(114)를 원료투입구(120)를 통해 원료저장부(102)에 투입한다. 원료저장부(102)는 덮개(124)에 의해 기밀된 상태를 유지한다.
반응챔버(130) 내에 존재하는 불순물 가스를 제거하고 진공 상태를 만들기 위하여 로터리 펌프를 작동시켜 진공 상태(상압 보다 낮은 압력)로 될 때까지 배기한다. 이때, 반응챔버(130)의 둘레를 감싸고 있는 가열 수단에 전원을 공급하여 반응챔버(130)를 가열하면 반응챔버(130) 내에 잔존하는 불순물 가스를 효율적으로 배기할 수 있다. 이때, 반응챔버(130)는 원료저장부(102)와 연통되어 있으므로 이 과정에서 원료저장부(102)에 존재하는 불순물 가스나 원료 가스 배출구(118)와 반응챔버(130)의 가스유입구를 연통하는 도관에 존재하는 불순물 가스도 배기될 수 있다.
상기 로터리 펌프의 펌핑량을 감소시켜 반응챔버(130) 내의 압력이 상압 보다 낮은 압력이 되도록 한 후 일정하게 유지하여 반응챔버(130) 내의 압력이 균일하게 유지되도록 한다. 상기 로터리 펌프의 계속적인 작동에 의해 원료 가스 배출구(118)와 반응챔버(130)의 가스유입구 사이에 구비된 도관의 벽에 원료 가스가 달라붙지 않고 반응챔버(130) 내로 효율적으로 유도될 수 있다.
버블 가스 공급부(104)로부터 적어도 1개의 버블 가스를 버블 가스 유입구(116)을 통해 원료저장부(102)로 공급한다. 버블 가스 유입구(116)로 유입된 버블 가스는 버블 가스 유입구(116)에서 원료저장부(102)의 저부로 이동되는 경로를 제공하는 버블 가스 운반관(122)을 통해 유입되게 되고, 원료저장부(102)에 저장된 원료(114)는 버블 가스에 의해 버블링(bubbling)이 일어나게 된다.
사용되는 원료(114)의 물리적인 특성에 따라 가열 수단을 이용하여 가열하거나 혹은 냉각수단을 이용하여 냉각하여 원료저장부(102)에 저장된 원료(114)를 기화시킨다. 테트라메틸실란(TMS)과 같은 물질은 끓는점이 낮아서 원료(114)의 끓는점이 상온 보다 높을 수가 있고 이러한 경우에는 원료저장부(102)를 적절한 온도로 냉각하여 원료(114)의 온도를 조절하면서 기화시키는 것이 바람직하다. 원료(114)가 기화되어 형성된 원료 가스는 원료 가스 배출구(118)을 통해 반응챔버(130)로 유입되게 된다. 이때, 버블 가스는 원료 가스를 반응챔버(130)로 밀어주는 역할을 하고 원료 가스가 원료 가스 배출구(118)와 반응챔버(130)의 가스유입구 사이에 구비된 도관(129)의 벽에 달라붙지 않게 한다. 가열 수단(124)에 의한 가열은 원료(114)의 끓는점을 고려하여 각 원료에 맞게 설정한다. 원료(114)가 급격하게 기화되는 것을 억제하여 서서히 일정하게 기화가 일어나도록 끓는점 내외의 온도로 설정하는 것이 바람직하며, 원료(114)는 버블 가스에 의해 버블링 되고 있으므로 기화가 용이하게 일어날 수 있는 효과가 있고 또한 비교적 저온에서 기화가 일어날 수 있다.
원료 가스가 유입되기 전에 반응챔버(130)는 원료물질의 온도에 따른 증기압 특성 고려하여 일정 온도를 유지할 수 있도록 가열 혹은 냉각하고 있는 상태인 것이 바람직하다. 가열 수단에 의해 가열된 반응챔버(130)의 내부 온도는 원료 가스가 열분해되어 목표하는 물질이 합성될 수 있는 온도로 일정하게 유지하는 것이 바람직하다.
반응챔버(130)에 유입된 원료 가스를 이용하여 고온화학기상증착하여 목표하는 물질을 합성한다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상의 범위내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.
102: 원료저장부
104: 버블 가스 공급부
106: 원료확인부
108: 냉각 실린더
110: 냉각수 유입관
112: 냉각수 배출관
114: 원료
116: 버블 가스 유입구
118: 원료 가스 배출구
120: 원료투입구
122:버블 가스 운반관
124: 덮개
130: 반응챔버

Claims (9)

  1. 액상의 원료를 저장하는 원료저장부;
    상기 원료를 버블링 시키기 위한 적어도 하나의 버블 가스를 공급하는 버블 가스 공급부;
    상기 버블 가스에 의해 버블링된 원료를 가열하여 기화시키기 위한 제1 가열 수단;
    상기 버블 가스가 상기 원료저장부로 유입되는 통로를 제공하는 버블 가스 유입구; 및
    상기 원료가 기화되어 형성된 원료 가스가 상기 원료저장부에서 배출되어 고온화학기상증착 장치의 반응챔버로 공급하기 위한 통로를 제공하는 원료 가스 배출구를 포함하며,
    상기 원료는 테트라메틸실란, 메틸트리클로로실란, 트리에틸실란 및 트리메틸알루미늄 중에서 선택된 1종 이상의 물질을 포함하고,
    상기 버블 가스 유입구로 유입된 버블 가스가 상기 버블 가스 유입구에서 상기 원료저장부의 저부로 이동되는 경로를 제공하는 버블 가스 운반관이 구비되어 있고,
    상기 버블 가스 운반관은 상기 원료저장부의 바닥까지 연장되게 형성되어 있으며,
    상기 원료저장부의 둘레에는 냉각 실린더가 구비되고,
    상기 냉각 실린더 내부를 냉각수가 순환되게 하고,
    상기 원료 가스 배출구와 상기 반응챔버를 연통하는 도관의 둘레에는 제2 가열 수단이 구비되어 있고,
    상기 제2 가열 수단에 의해 상기 원료 가스가 액화되는 것을 억제하며,
    상기 원료저장부에 저장된 원료의 함량을 확인할 수 있게 원료확인부가 구비되어 있으며,
    상기 원료확인부는 투명한 창을 갖는 별도의 도관으로 형성되고 상기 원료저장부의 바닥면과 상기 원료확인부의 바닥면이 동일하게 함으로써 상기 원료저장부에 원료가 채워지는 경우에 상기 원료확인부에도 동일한 높이로 원료가 채워지게 구성되며, 상기 원료확인부의 투명한 창을 통해 액상인 원료의 잔량을 확인함으로써 상기 원료를 보충하는 시기를 판단할 수 있는 것을 특징으로 하는 고온화학기상증착용 버블링 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서, 상기 원료를 상기 원료저장부에 보충하기 원료투입구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고온화학기상증착용 버블링 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 원료는 액상의 금속유기화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 고온화학기상증착용 버블링 장치.
  8. 삭제
  9. 제1항에 있어서, 상기 버블 가스는 아르곤(Ar), 헬륨(He), 질소(N2), 수소(H2) 및 산소(O2) 중에서 선택된 1종 이상의 가스로 이루어진 것을 특징으로 하는 고온화학기상증착용 버블링 장치.
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