KR101374464B1 - Linear motor - Google Patents

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고키 나카
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미쓰비시덴키 가부시키가이샤
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Abstract

종래의 리니어 모터의 문제점이었던, 가동부에 마련된 베어링과 축부재 사이의 미소한 갭만큼, 베어링과 축부재의 사이에 덜컹거림이나 변동이 생기고, 결과적으로 기계에 추진력을 전달하는 샤프트 선단부의 위치결정 정밀도가 저하하는 점을 해결하여, 베어링과 축부재 사이의 덜컹거림이나 변동을 없애고, 가동부의 위치결정 정밀도를 높게 하는 것이 가능한 리니어 모터를 얻기 위해, 리니어 모터는 고정부(1)와 가동부(2)를 가지고, 가동부(2)는 영구자석(21)과, 그 한쪽의 선단부에 배치되어 고정부(1) 내부를 축선방향으로 슬라이딩하는 자성재로 이루어지는 슬라이딩 부재(32)를 구비하며, 고정부(1)는 슬라이딩 부재(32)를 슬라이딩 가능하게 지지하는 고정부(1) 내면에 맞닿아진 미끄럼 베어링(31)과, 고정부(1) 내부에 마련되어 그 내공간을 가동부(2)가 상대변위하는 코일(11)을 구비하며, 슬라이딩 부재(32)는 그 중심축이 코일(11)에 의해서 형성되는 내공간의 단면 중심축으로부터 미끄럼 베어링(31) 측으로 편심되어 배치됨과 아울러 미끄럼 베어링(31)과 맞닿게 하였다.As a small gap between the bearing and the shaft member provided in the movable part, which was a problem of the conventional linear motor, rattling or fluctuation occurs between the bearing and the shaft member, and as a result, the positioning accuracy of the shaft tip portion that transmits the driving force to the machine The linear motor is fixed part (1) and movable part (2) in order to solve the deterioration point, and to obtain a linear motor capable of eliminating rattling and fluctuation between the bearing and the shaft member and increasing the positioning accuracy of the movable part. The movable part 2 includes a permanent member 21 and a sliding member 32 made of a magnetic material disposed at one end of the permanent magnet 21 and sliding in the axial direction of the fixed part 1. 1) is provided with a sliding bearing 31 in contact with the inner surface of the fixed part (1) for slidably supporting the sliding member (32), and provided inside the fixed part (1) to move the inner space of the movable part (2). A relative displacement coil (11) is provided, and the sliding member (32) is eccentrically arranged toward the sliding bearing (31) side from the central axis of the inner space formed by the coil (11) and the sliding bearing ( 31).

Description

리니어 모터 {LINEAR MOTOR}Linear Motor {LINEAR MOTOR}

본 발명은 가동부와 고정부의 사이에 배치된 미끄럼 베어링과, 고정부의 중심축으로부터 편심(偏心)하여 배치된 슬라이딩 부재를 구비한 리니어 모터에 관한 것이다.The present invention relates to a linear motor having a sliding bearing disposed between a movable portion and a fixed portion, and a sliding member disposed eccentrically from a central axis of the fixed portion.

종래의 리니어 모터에서는, 축부재(제1 슬리브(sleeve))는, 그 내부에는 N극 및 S극의 영구자석이 축선방향을 따라서 교호로 형성되고, 또한 영구자석의 사이에는 추진력을 향상시키기 위한 자성체(요크(yoke))가 마련된 구조가 채용되고 있다. 축부재의 외주를 둘러싸는 코일(coil)은 가동부에 마련되어 있고, 축부재의 외주 측에 위치하는 가동부 내측에는 축부재가 가동부에 대해서 축부재의 축선방향으로 상대적으로 직선 운동하는 것을 안내하는 베어링이 마련되어 있다. 이와 같은 구성의 리니어 모터는 원통 또는 4각형 모양의 베어링과 가동부를, 축부재를 중심으로 하여 배치하고, 베어링과 축부재의 사이에 상대운동을 원활히 하기 위해서 미소한 갭(gap)을 마련하는 구조로 하고 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).In the conventional linear motor, the shaft member (the first sleeve) is formed with alternating permanent magnets of the N pole and the S pole in the axial direction, and for improving the driving force between the permanent magnets. The structure in which a magnetic body (yoke) was provided is employ | adopted. A coil surrounding the outer circumference of the shaft member is provided in the movable portion, and a bearing for guiding the linear movement of the shaft member relative to the movable portion in the axial direction relative to the movable portion is provided inside the movable portion located on the outer circumferential side of the shaft member. It is prepared. The linear motor having such a configuration has a structure in which a cylindrical or quadrilateral bearing and movable portion are arranged around the shaft member, and a minute gap is provided in order to facilitate relative movement between the bearing and the shaft member. (For example, refer patent document 1).

[특허문헌 1] 일본국 특개평9-182408호 공보(제4페이지, 제1도)[Patent Document 1] Japanese Unexamined Patent Publication No. 9-182408 (Page 4, FIG. 1)

종래의 리니어 모터는, 이상과 같이 구성되어 있으므로, 베어링과 축부재의 사이에 마련된 미소한 갭만큼, 베어링과 축부재의 사이에 덜컹거림이나 변동이 생겨 결과적으로, 예를 들면, 기계에 추진력을 전달하는 샤프트(shaft)가 가동부에 마련되어 있는 샤프트형 리니어 모터에서는, 샤프트 선단부의 위치결정 정밀도가 저하된다고 하는 문제점이 있었다.Since the conventional linear motor is constituted as described above, a small gap provided between the bearing and the shaft member causes rattling or fluctuation between the bearing and the shaft member, and as a result, for example, a driving force is applied to the machine. In a shaft type linear motor in which a shaft to be transmitted is provided in the movable portion, there is a problem that the positioning accuracy of the shaft tip portion is lowered.

본 발명은 상술과 같은 문제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 그 목적은 베어링과 축부재 사이의 덜컹거림이나 변동을 없애고, 예를 들면, 샤프트형 리니어 모터의 샤프트 선단부의 위치결정 정밀도를 높게 하는 것에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to eliminate rattling or fluctuation between the bearing and the shaft member, and to increase the positioning accuracy of the shaft tip of the shaft-type linear motor, for example. .

본 발명에 관한 리니어 모터에 있어서는, 고정부와, 고정부 내부에 위치하고, 고정부에 대해서 축선방향으로 상대변위 가능하게 마련된 가동부를 가지는 리니어 모터로서, 가동부는 축선방향으로 적층된 복수 개의 영구자석으로 이루어지는 자석부와, 자석부의 한쪽의 선단부에 배치되고, 고정부 내부를 축선방향으로 슬라이딩 안내하는 자성재로 이루어지는 제1 슬라이딩부를 구비하고, 고정부는 제1 슬라이딩부를 슬라이딩 가능하게 지지하는 고정부 내면에 맞닿아진 비자성재로 이루어지는 제1 베어링과, 고정부 내부에 마련되고, 자신의 내(內)공간에 자속을 발생시키며, 자석부에 작용시켜 가동부를 상대변위시키는 복수 개의 코일을 구비하며, 제1 슬라이딩부는 제1 슬라이딩부 중심축이 코일에 의해서 형성되는 내공간의 단면 중심축으로부터 제1 베어링 측으로 편심되어 배치됨과 아울러 제1 베어링과 맞닿음으로써, 영구자석으로부터의 자기흡인력을 편심방향으로 작용시킨다.In the linear motor according to the present invention, a linear motor having a fixed part and a movable part located inside the fixed part and provided relative to the fixed part in the axial direction, the movable part being a plurality of permanent magnets stacked in the axial direction. And a first sliding part made of a magnetic material disposed at one end of the magnet part and guiding sliding of the inside of the fixed part in the axial direction, wherein the fixed part is provided on an inner surface of the fixed part that slidably supports the first sliding part. A first bearing made of abutted non-magnetic material, and a plurality of coils provided inside the fixed part and generating magnetic flux in its inner space, and acting on the magnet part to relatively displace the movable part; The first sliding part includes a first sliding part having a first axis from a cross-sectional center axis of an inner space in which a central axis of the first sliding part is formed by a coil. By being eccentrically arranged on the bearing side and contacting the first bearing, the magnetic attraction force from the permanent magnet acts in the eccentric direction.

본 발명에 의해, 샤프트형 리니어 모터의 샤프트 선단부의 위치결정 정밀도를 높게 할 수 있고, 표면 실장기나 기판 검사기 등, 정밀 전자기기로의 샤프트형 리니어 모터의 적용이 가능하게 된다.According to the present invention, the positioning accuracy of the shaft tip portion of the shaft linear motor can be increased, and the shaft linear motor can be applied to precision electronic devices such as a surface mounter and a board inspection machine.

도 1은 본 발명의 실시예 1을 나타내는 샤프트형 리니어 모터의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예 1을 나타내는 샤프트형 리니어 모터의 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예 1을 나타내는 샤프트형 리니어 모터의 제어부의 구성도이다.
도 4는 본 발명의 실시예 1을 나타내는 샤프트형 리니어 모터의 미끄럼 베어링의 구조도이다.
도 5는 본 발명의 실시예 2를 나타내는 샤프트형 리니어 모터의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예 3을 나타내는 샤프트형 리니어 모터의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 실시예 4를 나타내는 샤프트형 리니어 모터의 미끄럼 베어링의 구조도이다.
도 8은 본 발명의 실시예 5를 나타내는 샤프트형 리니어 모터의 단면도이다.
도 9는 본 발명의 실시예 6을 나타내는 샤프트형 리니어 모터의 단면도이다.1 is a sectional view of a shaft linear motor according to a first embodiment of the present invention.
2 is an exploded perspective view of the shaft-type linear motor according to the first embodiment of the present invention.
3 is a configuration diagram of a control unit of the shaft-type linear motor according to the first embodiment of the present invention.
4 is a structural diagram of a sliding bearing of a shaft-type linear motor according to the first embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view of a shaft linear motor according to a second embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view of a shaft linear motor according to a third embodiment of the present invention.
7 is a structural diagram of a sliding bearing of the shaft-type linear motor according to the fourth embodiment of the present invention.
Fig. 8 is a sectional view of a shaft linear motor showing a fifth embodiment of the present invention.
9 is a sectional view of a shaft-type linear motor showing a sixth embodiment of the present invention.

실시예 1.Example 1.

도 1은 본 발명의 실시예 1을 나타내는 샤프트형 리니어 모터의 단면도이며, 도 2는 본 발명의 실시예 1을 나타내는 샤프트형 리니어 모터의 분해 사시도이다. 도 1과 도 2에서, 1은 샤프트형 리니어 모터의 고정부, 2는 샤프트형 리니어 모터의 가동부이고, 고정부(1)에 대해서 축선방향으로 상대변위가 가능하다. 31은 제1 베어링으로서 기능하는, 축방향을 따라서 단면이 'L'자 형상을 한 미끄럼 베어링, 51은 전원용 리드(lead)선, 11은 전원용 리드선(51)으로부터 전류를 흘려 자속(磁束)을 발생시키기 위한 복수 개의 코일, 12는 복수 개의 코일(11)을 절연하는 수지제의 보빈(bobbin), 13은 발생한 자속의 자기회로가 되는 상부 프레임, 14는 발생한 자속의 자기회로가 되는, 축방향을 따라서 단면이 'U'자 형상을 한 하부 프레임, 15는 기계강성을 높게 하기 위한 베이스, 16은 축(샤프트)을 지지하는 베어링, 17은 베어링(16)을 유지하는 브래킷, 18은 이물의 침입을 막는 커버, 41은 위치검출기이며, 고정부(1)는 미끄럼 베어링(31), 코일(11), 보빈(12), 상부 프레임(13), 하부 프레임(14), 베이스(15), 베어링(16), 브래킷(17), 커버(18), 위치검출기(41)로 구성된다.1 is a cross-sectional view of a shaft linear motor according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view of the shaft linear motor according to a first embodiment of the present invention. 1 and 2, 1 is a fixed portion of the shaft-type linear motor, 2 is a movable portion of the shaft-type linear motor, and relative displacement is possible in the axial direction with respect to the fixed portion 1. 31 is a sliding bearing having an L-shape in cross section along the axial direction, serving as the first bearing, 51 is a lead wire for power supply, 11 is a current flowing from the power lead wire 51 for the magnetic flux. A plurality of coils for generating, 12 is a bobbin made of resin insulating the plurality of coils 11, 13 is an upper frame that is a magnetic circuit of the magnetic flux generated, 14 is an magnetic circuit of the magnetic flux generated, axial direction The lower frame is U-shaped in cross section, 15 is a base for increasing mechanical rigidity, 16 is a bearing for supporting the shaft (shaft), 17 is a bracket for holding the bearing 16, 18 is a foreign material The cover which prevents intrusion, 41 is a position detector, and the fixing part 1 is a sliding bearing 31, the coil 11, the bobbin 12, the upper frame 13, the lower frame 14, the base 15, It is composed of a bearing 16, a bracket 17, a cover 18, a position detector 41.

한편, 32는 제1 슬라이딩부로서 기능하는, 미끄럼 베어링(31)의 표면을 슬라이딩 안내하는 슬라이딩 부재, 21은 자석부이며, 복수 개의 코일(11)의 발생자속과의 상호작용에 의해 추진력을 발생하기 위해서 적층된 복수 개의 영구자석이다. 22는 자성재 혹은 비자성재로 이루어지고, 적층된 복수 개의 영구자석(21)의 N극 및 S극의 자극이 축선방향으로 교호(交互)로 형성되도록 복수 개의 영구자석(21)의 사이에 배치되는 스페이서, 23은 샤프트 결합부재, 24는 발생추진력을 기계에 전달하는 축(샤프트)이며, 가동부(2)는 슬라이딩 부재(32), 영구자석(21), 스페이서(22), 샤프트 결합부재(23)로 구성되고, 가동부(2)는 샤프트(24)의 단부와 접속된다. 샤프트(24)의 한쪽의 단부는 고정부(1)의 외부로 나와 있고, 위치검출용으로 사용된다. 복수 개의 영구자석(21)의 중심축과 스페이서(22)의 중심축과 샤프트 결합부재(23)의 중심축은 각각 샤프트(24)의 중심축과 일치하고 있다. 가동부(2)는 고정부(1)의 내부에 배치되며, 도 1 중의 Z방향으로 가동(可動)인 구조로 되어 있다. 또, 복수 개의 코일(11)과 복수 개의 보빈(12)은 복수 개의 영구자석(21)의 외측에 동심 모양으로 배치되어 있고, 복수 개의 코일(11)의 중심축과 복수 개의 보빈(12)의 중심축은 각각 샤프트(24)의 중심축과 일치하고 있다.On the other hand, 32 is a sliding member for slidingly guiding the surface of the sliding bearing 31, which functions as a first sliding part, 21 is a magnet part, and generates a propulsion force by interaction with the magnetic flux of the plurality of coils 11. It is a plurality of permanent magnets laminated in order to. 22 is made of a magnetic material or a nonmagnetic material, and disposed between the plurality of permanent magnets 21 so that the magnetic poles of the N poles and the S poles of the plurality of stacked permanent magnets 21 are alternately formed in the axial direction. Spacer, 23 is a shaft coupling member, 24 is a shaft (shaft) for transmitting the generated propulsion force to the machine, the movable part 2 is a sliding member 32, permanent magnet 21, spacer 22, shaft coupling member ( 23, the movable portion 2 is connected to the end of the shaft 24. One end of the shaft 24 extends out of the fixing part 1 and is used for position detection. The central axis of the plurality of permanent magnets 21, the central axis of the spacer 22, and the central axis of the shaft coupling member 23 coincide with the central axis of the shaft 24, respectively. The movable part 2 is arrange | positioned inside the fixing | fixed part 1, and has a structure which is movable to Z direction in FIG. The plurality of coils 11 and the plurality of bobbins 12 are arranged concentrically on the outside of the plurality of permanent magnets 21, and the central axes of the plurality of coils 11 and the plurality of bobbins 12 The central axis coincides with the central axis of the shaft 24, respectively.

42는 스케일(scale), 25는 샤프트(24)의 샤프트 선단부, 26은 스케일 결합부재, 52는 위치검출기용 리드선이다. 스케일(42)은 스케일 결합부재(26)에 의해서, 샤프트 선단부(25)에 결합되어 있으며, 샤프트(24)의 움직임에 맞추어 가동하는 구조로 되어 있다. 또, 스케일(42)은 그 내부에는 광학적 혹은 자기적인 위치정보가 기록되어 있고, 고정부(1)에 결합된 위치검출기(41)에 의해서, 샤프트(24)의 도 1 중의 Z방향의 위치를 검출하고, 위치검출기용 리드선(52)으로부터 제어부로 위치신호를 전달하는 구조로 되어 있다.Reference numeral 42 is a scale, 25 is a shaft tip of the shaft 24, 26 is a scale coupling member, and 52 is a lead for position detector. The scale 42 is coupled to the shaft tip portion 25 by the scale coupling member 26 and has a structure that moves in accordance with the movement of the shaft 24. In addition, the scale 42 has optical or magnetic position information recorded therein, and the position detector 41 coupled to the fixing part 1 adjusts the position of the shaft 24 in the Z direction in FIG. It detects and transmits a position signal from the position detector lead wire 52 to a control part.

또한, A-A'단면과 B-B'단면은 도 1에 나타내는 샤프트형 리니어 모터의 X-Y면에 따른 단면을 나타낸다.In addition, A-A 'cross section and B-B' cross section show the cross section along the X-Y surface of the shaft type linear motor shown in FIG.

도 3은 본 발명의 실시예 1을 나타내는 샤프트형 리니어 모터의 제어부의 구성도이다. 도 3에서, 90은 제어부, 100은 샤프트형 리니어 모터이다. 91은 위치제어회로, 92는 속도제어회로, 93은 전류제어회로, 99는 전류검출기이며, 제어부(90)는 위치제어회로(91), 속도제어회로(92), 전류제어회로(93), 전류검출기(99)로 구성된다.3 is a configuration diagram of a control unit of the shaft-type linear motor according to the first embodiment of the present invention. In FIG. 3, 90 is a control part, 100 is a shaft type linear motor. 91 is a position control circuit, 92 is a speed control circuit, 93 is a current control circuit, 99 is a current detector, and the control unit 90 is a position control circuit 91, a speed control circuit 92, a current control circuit 93, It consists of a current detector 99.

스케일(42) 및 위치검출기(41)에 의해 검출된 위치정보는 샤프트형 리니어 모터(100)의 제어부(90)에 피드백된다. 위치제어회로(91)는 위치검출기(41)로부터의 위치 피드백값과 지령값을 비교함으로써 위치제어하고, 속도제어회로(92)는 위치제어회로(91)로부터의 출력값과 위치 피드백값을 미분한 속도 피드백값을 비교함으로써 속도제어하며, 전류제어회로(93)는 속도제어회로(92)로부터의 출력값과 전류검출기(99)로부터의 전류 피드백값을 비교함으로써 추진력 제어하는 것이 각각 가능하다.The positional information detected by the scale 42 and the position detector 41 is fed back to the control unit 90 of the shaft-type linear motor 100. The position control circuit 91 performs position control by comparing the position feedback value from the position detector 41 and the command value, and the speed control circuit 92 differentiates the output value from the position control circuit 91 and the position feedback value. The speed is controlled by comparing the speed feedback value, and the current control circuit 93 can control the driving force by comparing the output value from the speed control circuit 92 and the current feedback value from the current detector 99, respectively.

도 4는 본 발명의 실시예 1을 나타내는 샤프트형 리니어 모터의 미끄럼 베어링의 구조도이다. 61은 자속, 62a와 62b는 영구자석(21)이 만드는 자속(61)의 영향에 의해서 발생하는 자기흡인력이다.4 is a structural diagram of a sliding bearing of a shaft-type linear motor according to the first embodiment of the present invention. 61 is a magnetic flux, 62a and 62b is a magnetic attraction force generated by the influence of the magnetic flux 61 produced by the permanent magnet (21).

미끄럼 베어링(31)은 수지제(비자성재)이며, 도 4의 A-A'단면에 나타내는 바와 같이 축방향을 따라서 단면이 'L'자 형상을 하고 있다. 한편, 슬라이딩 부재(32)는, 예를 들면 S50C재, 상부 프레임(13) 및 하부 프레임(14)은, 예를 들면 SPCC재이며, 모두 자성재이다. 여기서, 슬라이딩 부재(32)는 샤프트(24)의 중심축에 대하여 동심 모양으로 배치되어 있는 코일(11)의 내공간의 중심축에 대하여 동심이 아니고, 미끄럼 베어링(31) 측으로 편심하도록 설치된다. 그 결과, 슬라이딩 부재(32)와 상부 프레임(13)의 사이의 갭과, 슬라이딩 부재(32)와 하부 프레임(14)의 사이의 갭은 각각 단면이 'L'자 형상의 미끄럼 베어링(31)이 개재하는 측(도 4의 A-A'단면에서는, 슬라이딩 부재(32)의 좌측면과 하면)에서는 존재하지 않고, 개재하지 않는 측(도 4의 A-A'단면에서는, 슬라이딩 부재(32)의 우측면과 상면)에서는 소정의 거리를 가지고 존재하게 된다.The sliding bearing 31 is made of resin (nonmagnetic material), and has a cross-section along the axial direction in the form of an 'L' shape as shown in the cross section A-A 'in FIG. On the other hand, the sliding member 32 is S50C material, the upper frame 13, and the lower frame 14, for example, are SPCC materials, and all are magnetic materials. Here, the sliding member 32 is provided so as not to be concentric with respect to the central axis of the inner space of the coil 11 arranged concentrically with respect to the central axis of the shaft 24, but eccentrically toward the sliding bearing 31 side. As a result, the gap between the sliding member 32 and the upper frame 13 and the gap between the sliding member 32 and the lower frame 14 are each a sliding bearing 31 having an L-shaped cross section. The sliding member 32 does not exist on the intervening side (from the A-A 'cross section in FIG. 4, on the left side and the lower surface of the sliding member 32 in the cross section). At the right side and the upper side of the), they exist at a predetermined distance.

도 4의 A-A'단면에서, 자속(61)이, 자성재인 상부 프레임(13)과 영구자석(21)의 사이, 자성재인 'U'자 형상의 하부 프레임(14)의 양측면과 영구자석(21)의 사이, 자성재인 단면이 'U'자 형상의 하부 프레임(14)의 하면과 영구자석(21)의 사이에서 각각 형성된다. 형성된 자속(61)의 영향에 의해, 자성재인 슬라이딩 부재(32)와 자성재인 상부 프레임(13) 및 'U'자 형상의 하부 프레임(14)의 사이에 자기흡인력(62a와 62b)이 발생하지만, 슬라이딩 부재(32)가 하부 프레임(14)의 단면이 'L'자 형상의 미끄럼 베어링(31)의 개재하는 측으로 치우쳐 설치되어 있기 때문에, 이 슬라이딩 부재(32)의 치우침에 의해서, 자기흡인력(62a)이 단면이 'L'자 형상의 미끄럼 베어링(31)이 개재하는 측(도 4의 A-A'단면에서는, 슬라이딩 부재(32)의 좌측면과 하면)에서는 강하게 작용하고, 자기흡인력(62b)은 'L'자 형상의 미끄럼 베어링(31)의 개재하지 않는 측(도 4의 A-A'단면에서는, 슬라이딩 부재(32)의 우측면과 상면)에서는 거의 작용 하지 않게 된다.In section A-A 'of FIG. 4, the magnetic flux 61 is between the upper frame 13, which is a magnetic material, and the permanent magnet 21, and both sides and the permanent magnets of the' U 'shaped lower frame 14, which is a magnetic material. Between the 21, the cross section, which is a magnetic material, is formed between the lower surface of the 'U'-shaped lower frame 14 and the permanent magnet 21, respectively. Under the influence of the formed magnetic flux 61, magnetic attraction forces 62a and 62b are generated between the sliding member 32 which is a magnetic material, the upper frame 13 which is a magnetic material, and the lower frame 14 having a 'U' shape. Since the sliding member 32 is provided with the cross section of the lower frame 14 biased toward the intervening side of the sliding bearing 31 having an 'L' shape, the sliding member 32 is biased due to the bias of the sliding member 32. 62a) acts strongly on the side ('A' cross section of Fig. 4, the left surface and the lower surface of the sliding member 32) in which the sliding bearing 31 having an 'L' shape is interposed, and the magnetic attraction force ( 62b) hardly acts on the side ("A-A" cross section of FIG. 4, the right side and upper surface of the sliding member 32) which is not interposed of the "L" shape sliding bearing 31. As shown in FIG.

이와 같이 구성된 샤프트형 리니어 모터에서는, 슬라이딩 부재(32)와 단면이 'L'자 형상의 미끄럼 베어링(31)이 일정한 자기흡인력(62a)을 가지고 항상 접촉한 상태가 되기 때문에, 슬라이딩 부재(32)와 미끄럼 베어링(31)의 사이에는 갭이 존재하지 않고, 그 결과, 종래의 샤프트형 리니어 모터의 구성에서는 생겼었던 갭에 기인한 덜컹거림이나 변동도 없어, 샤프트 선단부(25)의 위치결정 정밀도를 높게 하는 것이 가능하게 된다. 또, 종래의 샤프트형 리니어 모터의 구성을 그대로 하여 갭을 작게 하려고 했을 경우, 슬라이딩 부재(32)와 미끄럼 베어링(31)의 치수를 고정밀도로 가공할 필요가 있었지만, 이 실시예 1에서의 샤프트형 리니어 모터의 구성에서는 그 가공도 필요도 없다.In the shaft-type linear motor configured as described above, since the sliding member 32 and the sliding bearing 31 having an 'L' shape in cross section are always in contact with the constant magnetic attraction force 62a, the sliding member 32 There is no gap between and the sliding bearing 31, and as a result, there is no rattling or fluctuation due to the gap that occurred in the conventional shaft type linear motor configuration, and the positioning accuracy of the shaft tip portion 25 is improved. It becomes possible to make high. In addition, in the case where the gap of the conventional shaft type linear motor was intended to be small, it was necessary to process the dimensions of the sliding member 32 and the sliding bearing 31 with high accuracy. In the configuration of the linear motor, no machining is required.

이상, 이 실시예 1에서 설명한 샤프트형 리니어 모터의 구성에 의하면, 샤프트형 리니어 모터의 샤프트 선단부의 위치결정 정밀도를 높게 할 수 있으므로, 표면 실장기나 기판 검사기로의 샤프트형 리니어 모터의 적용이 가능하게 되어, 예를 들면, 전자기판에 실장하는 부품의 고밀도화가 가능하게 된다.As described above, according to the configuration of the shaft-type linear motor described in the first embodiment, since the positioning accuracy of the shaft tip portion of the shaft-type linear motor can be increased, it is possible to apply the shaft-type linear motor to a surface mounter or a board inspection machine. For example, the density of components mounted on an electromagnetic plate can be increased.

실시예 2.Example 2.

본 발명의 실시예 1에서는, 가동부(2)의 일단부만을 미끄럼 베어링(31)으로 했을 경우에 대해서 설명했지만, 도 5에 나타내는 바와 같이, 가동부(2)의 양단부를 제1 베어링인 미끄럼 베어링(31a)과, 제2 베어링인 미끄럼 베어링(31b)으로 하여도 되고, 이와 같은 구성에 의해서도 동일한 효과를 얻을 수 있다. 가동부(2)의 양단부를 미끄럼 베어링(31a, 31b)으로 하는 것에 대응하여, 고정부(1)의 미끄럼 베어링(31a, 31b)과 슬라이딩하는 양측에는 제1 슬라이딩부인 슬라이딩 부재(32a)와, 제2 슬라이딩부인 슬라이딩 부재(32b)가 설치된다.In Example 1 of this invention, although the case where only the one end of the movable part 2 was made into the sliding bearing 31 was demonstrated, as shown in FIG. 5, the both ends of the movable part 2 are sliding bearings which are 1st bearings ( It is good also as 31a) and the sliding bearing 31b which is a 2nd bearing, and the same effect can be acquired also by such a structure. In correspondence with making the both ends of the movable part 2 into the sliding bearings 31a and 31b, the sliding member 32a which is a 1st sliding part, and both sides which slide with the sliding bearings 31a and 31b of the fixed part 1, The sliding member 32b which is 2 sliding parts is provided.

실시예 3.Example 3.

본 발명의 실시예 1 및 실시예 2에서는, 'L'자 형상의 미끄럼 베어링(31)의 두 면을 사용하여 X 및 Y방향의 위치 정밀도를 확보했을 경우에 대해서 설명했지만, 위치 정밀도를 필요로 하는 방향이 한 방향만, 예를 들면 X방향만의 경우는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 미끄럼 베어링(35)을 축방향을 따라서 하부 프레임(14)의 하면과 평행한 평판 모양으로 해도 된다. 이 경우도, 실시예 1 및 실시예 2와 동일한 효과를 얻을 수 있다.In Example 1 and Example 2 of this invention, although the case where the position precision of the X and Y direction was secured using the two surfaces of the "L" shaped sliding bearing 31 was demonstrated, position accuracy is required. In the case where only one direction is used, for example, only the X direction, the sliding bearing 35 may have a flat plate shape parallel to the lower surface of the lower frame 14 along the axial direction. Also in this case, the same effects as in Example 1 and Example 2 can be obtained.

실시예 4.Example 4.

도 7은 본 발명의 실시예 4를 나타내는 샤프트형 리니어 모터의 미끄럼 베어링의 구조도이다. 71은 제1 중간부재이며, 도 7에서는 중간부재로 하고 있다.7 is a structural diagram of a sliding bearing of the shaft-type linear motor according to the fourth embodiment of the present invention. 71 is a first intermediate member, and in FIG. 7 is an intermediate member.

미끄럼 베어링(31)은 수지제(비자성재)이며, 도 7의 A-A'단면에 나타내는 바와 같이 축방향을 따라서 단면이 'L'자 형상을 하고 있고, 중간부재(71)의 우측면과 상면에 맞닿아 있다. 또, 중간부재(71)는, 예를 들면 SPCC재 등의 자성재이며, 도 7의 A-A'단면에 나타내는 바와 같이 축방향을 따라서 단면이 'L'자 형상을 하고 있고, 하부 프레임(14)의 좌측면과 하면에 맞닿아 있다. 즉, 중간부재(71)는 도 7에 도시된 것과 같이 상부 프레임(13) 및 하부 프레임(14)을 포함하는 고정부(1, 도 1 참조)의 중심축(영구자석(21)의 중심축)을 대하여 비회전대칭형이다. 한편, 슬라이딩 부재(32)는, 예를 들면 S50C재, 상부 프레임(13) 및 하부 프레임(14)은, 예를 들면 SPCC재이며, 모두 자성재이다. 여기서, 슬라이딩 부재(32)는 샤프트(24)의 중심축에 대하여 동심 모양으로 배치되어 있는 코일(11)의 내공간의 중심축과 일치하여 설치된다. 그 결과, 슬라이딩 부재(32)와 상부 프레임(13)의 사이의 갭과, 슬라이딩 부재(32)와 하부 프레임(14)의 사이의 갭은, 각각 단면이 'L'자 형상의 미끄럼 베어링(31)과 중간부재(71)가 개재하는 측(도 7의 A-A'단면에서는, 슬라이딩 부재(32)의 좌측면과 하면)에서는 존재하지 않고, 개재하지 않는 측(도 7의 A-A'단면에서은 슬라이딩 부재(32)의 우측면과 상면)에서는 소정의 거리를 가지고 존재하게 된다.The sliding bearing 31 is made of resin (nonmagnetic material), and has a cross-sectional shape in the 'L' shape along the axial direction as shown in the cross section A-A 'of FIG. 7, and the right and upper surfaces of the intermediate member 71. Abuts on The intermediate member 71 is, for example, a magnetic material such as an SPCC material, and has a 'L' shape in cross section along the axial direction as shown in cross section A-A 'in FIG. 14) is in contact with the left side and the lower surface. That is, the intermediate member 71 is a central axis of the fixing part 1 (see FIG. 1) including the upper frame 13 and the lower frame 14 as shown in FIG. 7 (the central axis of the permanent magnet 21). It is non-rotationally symmetric type. On the other hand, the sliding member 32 is S50C material, the upper frame 13, and the lower frame 14, for example, are SPCC materials, and all are magnetic materials. Here, the sliding member 32 is provided coincident with the central axis of the inner space of the coil 11 which is arranged concentrically with respect to the central axis of the shaft 24. As a result, the gap between the sliding member 32 and the upper frame 13, and the gap between the sliding member 32 and the lower frame 14, each have a sliding bearing 31 having an L-shaped cross section. ) And the side where the intermediate member 71 is interposed (in the A-A 'cross section of FIG. 7, the left side and the lower surface of the sliding member 32 in the cross section), and do not exist (A-A' in FIG. 7). In the cross section, the right side and the top surface of the sliding member 32) exist at a predetermined distance.

도 7의 A-A'단면에서, 자속(61)이, 자성재인 상부 프레임(13)과 영구자석(21)의 사이, 자성재인 'U'자 형상의 하부 프레임(14)의 우측면과 영구자석(21)의 사이, 자성재인 단면이 'L'자 형상의 중간부재(71)의 하면과 영구자석(21)의 사이, 자성재인 단면이 'L'자 형상의 중간부재(71)의 우측면과 영구자석(21)의 사이에 각각 형성된다. 형성된 자속(61)의 영향에 의해, 자성재인 슬라이딩 부재(32)와 자성재인 상부 프레임(13)과 'U'자 형상의 하부 프레임(14)과 'L'자 형상의 중간부재(71)의 사이에 자기흡인력(62a와 62b)이 발생하지만, 자기흡인력(62a)이, 단면이 'L'자 형상의 미끄럼 베어링(31)과 중간부재(71)가 개재하는 측(도 7의 A-A'단면에서는, 슬라이딩 부재(32)의 좌측면과 하면)에서는 강하게 작용하고, 자기흡인력(62b)은 'L'자 형상의 미끄럼 베어링(31)과 중간부재(71)의 개재하지 않는 측(도 7의 A-A'단면에서는, 슬라이딩 부재(32)의 우측면과 상면)에서는 거의 작용 하지 않게 된다.In section A-A 'of FIG. 7, the magnetic flux 61 is between the upper frame 13, which is a magnetic material, and the permanent magnet 21, and the right side of the lower frame 14, which is a magnetic material, and the permanent magnet. Between (21) and the lower surface of the intermediate member 71 of the 'L' shape of the magnetic material and between the permanent magnet 21 and the right surface of the intermediate member 71 of the 'L' shape of the magnetic material It is formed between the permanent magnets 21, respectively. Under the influence of the formed magnetic flux 61, the sliding member 32 of magnetic material, the upper frame 13 of magnetic material, the lower frame 14 of 'U' shape, and the intermediate member 71 of 'L' shape The magnetic attraction force 62a and 62b generate | occur | produced between them, but the magnetic attraction force 62a is the side through which the sliding bearing 31 and the intermediate member 71 of the L-shaped cross section intervene (A-A of FIG. 7). 'In the cross section, it acts strongly on the left side and the bottom side of the sliding member 32, and the magnetic attraction force 62b is the side (not shown) between the sliding bearing 31 and the intermediate member 71 having an' L 'shape. In A-A 'cross section of 7, it hardly acts in the right side and upper surface of the sliding member 32).

이와 같이 구성된 샤프트형 리니어 모터에서는, 슬라이딩 부재(32)와 단면이 'L'자 형상의 미끄럼 베어링(31)이, 일정한 자기흡인력(62a)을 가지고 항상 접촉한 상태가 되기 때문에, 슬라이딩 부재(32)와 미끄럼 베어링(31)의 사이에는 갭이 존재하지 않고, 그 결과, 종래의 샤프트형 리니어 모터의 구성에서는 생겼었던 갭에 기인한 덜컹거림이나 변동도 없어, 샤프트 선단부(25)의 위치결정 정밀도를 높게 하는 것이 가능하게 된다. 또, 종래의 샤프트형 리니어 모터의 구성을 그대로 하여 갭을 작게 하려고 했을 경우, 슬라이딩 부재(32)와 미끄럼 베어링(31)의 치수를 고정밀도로 가공할 필요가 있었지만, 이 실시예 1에서의 샤프트형 리니어 모터의 구성에서는 그 가공도 필요도 없다.In the shaft-type linear motor configured as described above, the sliding member 32 and the sliding bearing 31 having the 'L' shape in cross section are always in contact with the constant magnetic attraction force 62a. ), And there is no gap between the sliding bearing 31, and as a result, there is no rattling or fluctuation due to the gap that occurred in the conventional shaft type linear motor configuration, and the positioning accuracy of the shaft tip portion 25 It becomes possible to make high. In addition, in the case where the gap of the conventional shaft type linear motor was intended to be small, it was necessary to process the dimensions of the sliding member 32 and the sliding bearing 31 with high accuracy. In the configuration of the linear motor, no machining is required.

이상, 이 실시예 4에서 설명한 샤프트형 리니어 모터의 구성에 의하면, 샤프트형 리니어 모터의 샤프트 선단부의 위치결정 정밀도를 높게 할 수 있으므로, 표면 실장기나 기판 검사기로의 샤프트형 리니어 모터의 적용이 가능하게 되며, 예를 들면, 전자기판에 실장하는 부품의 고밀도화가 가능하게 된다.As mentioned above, according to the structure of the shaft type linear motor demonstrated in Example 4, since the positioning accuracy of the shaft tip part of a shaft type linear motor can be made high, it is possible to apply a shaft linear motor to a surface mounter or a board | substrate tester. For example, the density of components mounted on an electromagnetic plate can be increased.

실시예 5.Example 5.

본 발명의 실시예 4에서는, 가동부(2)의 일단부에만 중간부재(71)를 적용했을 경우에 대해서 설명했지만, 도 8에 나타내는 바와 같이, 가동부(2)의 양단부에 제1 중간부재인 중간부재(71a)와, 제2 중간부재인 중간부재(71b)를 적용해도 되고, 이와 같은 구성에 의해서도 동일한 효과를 얻을 수 있다.In Example 4 of this invention, although the case where the intermediate member 71 was applied only to the one end of the movable part 2 was demonstrated, as shown in FIG. 8, the intermediate | middle which is a 1st intermediate member in the both ends of the movable part 2 is shown. The member 71a and the intermediate member 71b which is a 2nd intermediate member may be applied, and the same effect can also be acquired by such a structure.

실시예 6.Example 6.

본 발명의 실시예 4 및 실시예 5에서는, 'L'자 형상의 중간부재(71)의 두 면을 사용하여 X 및 Y방향의 위치 정밀도를 확보했을 경우에 대해서 설명했지만, 위치 정밀도를 필요로 하는 방향이 한 방향만, 예를 들면 X방향만의 경우는, 도 9에 나타내는 바와 같이, 중간부재(75)를 축방향을 따라서 하부 프레임(14)의 하면과 평행한 평판 모양으로 해도 된다. 이 경우도, 실시예 4 및 실시예 5와 동일한 효과를 얻을 수 있다.In Example 4 and Example 5 of this invention, although the case where the positional precision of the X and Y direction was secured using the two surfaces of the "L" shape intermediate member 71 was demonstrated, the positional precision is required. In the case where only one direction is used, for example, only the X direction, as shown in FIG. 9, the intermediate member 75 may have a flat plate shape parallel to the lower surface of the lower frame 14 along the axial direction. Also in this case, the same effects as in Example 4 and Example 5 can be obtained.

이 실시예 4로부터 실시예 6에서 설명한 샤프트형 리니어 모터의 구성에서는, 중간부재(71, 71a, 71b)와 하부 프레임(14)을 각각 별도의 부재로서 취급했을 경우에 대해서 설명했지만, 하부 프레임(14)에 중간부재(71, 71a, 71b)의 구조를 가진 새로운 하부 프레임(14)으로 한 구성에서도 동일한 효과를 얻을 수 있다.In the configuration of the shaft-type linear motor described in the fourth to sixth embodiments, the case where the intermediate members 71, 71a, 71b and the lower frame 14 are respectively handled as separate members has been described. The same effect can be obtained even with the configuration of the new lower frame 14 having the structure of the intermediate members 71, 71a, and 71b.

또한, 본 발명의 실시예 1로부터 실시예 6에서는, 본 발명을 샤프트형 리니어 모터에 적용하는 경우에 대해서 설명했지만, 이것에 한정하는 것이 아니고, 다른 리니어 모터에 적용해도 동일한 효과를 얻을 수 있다.In addition, in Example 1 to Example 6 of this invention, although the case where this invention was applied to the shaft type linear motor was demonstrated, it is not limited to this, The same effect can be acquired even if it applies to another linear motor.

1 고정부, 2 가동부,
11 코일, 12 보빈,
13 상부 프레임, 14 하부 프레임,
15 베이스, 16 베어링,
17 브래킷, 18 커버,
21 영구자석, 22 스페이서,
23 샤프트 결합부재, 24 샤프트,
25 샤프트 선단부, 26 스케일 결합부재,
31 미끄럼 베어링, 31a 미끄럼 베어링,
31b 미끄럼 베어링, 32 슬라이딩 부재,
32a 슬라이딩 부재, 32b 슬라이딩 부재,
35 미끄럼 베어링, 41 위치검출기,
42 스케일, 51 전원용 리드선,
52 위치검출기용 리드선, 61 자속,
62a 자기흡인력, 62b 자기흡인력,
71 중간부재, 71a 중간부재,
71b 중간부재, 75 중간부재,
90 제어부, 91 위치제어회로,
92 속도제어회로, 93 전류제어회로,
99 전류검출기, 100 샤프트형 리니어 모터.1 fixed part, 2 movable parts,
11 coils, 12 bobbins,
13 upper frame, 14 lower frame,
15 bases, 16 bearings,
17 brackets, 18 covers,
21 permanent magnets, 22 spacers,
23 shaft coupling member, 24 shaft,
25 shaft tip, 26 scale coupling member,
31 plain bearing, 31a plain bearing,
31b sliding bearing, 32 sliding members,
32a sliding member, 32b sliding member,
35 sliding bearings, 41 position detectors,
42 scale, 51 power lead,
52 lead wire for position detector, 61 flux,
62a magnetic attraction force, 62b magnetic attraction force,
71 intermediate member, 71a intermediate member,
71b intermediate member, 75 intermediate member,
90 controller, 91 position control circuit,
92 speed control circuit, 93 current control circuit,
99 current detector, 100 shaft linear motor.

Claims (12)

고정부와, 이 고정부 내부에 위치하고, 이 고정부에 대해서 축선방향으로 상대변위 가능하게 마련된 가동부를 가지는 리니어 모터로서,
상기 가동부는 축선방향으로 적층된 복수 개의 영구자석으로 이루어지는 자석부와, 이 자석부의 한쪽의 선단부에 배치되어 상기 고정부 내부를 축선방향으로 슬라이딩 안내하는 자성재로 이루어지는 제1 슬라이딩부를 구비하고,
상기 고정부는 상기 제1 슬라이딩부를 슬라이딩 가능하게 지지하는 상기 고정부 내면에 맞닿아진 비자성재로 이루어지는 제1 베어링과, 상기 고정부 내부에 마련되고, 자신의 내(內)공간에 자속을 발생시키며, 상기 자석부에 작용시켜 상기 가동부를 상대변위시키는 복수 개의 코일을 구비하며,
상기 제1 슬라이딩부는 상기 제1 슬라이딩부 중심축이 상기 코일에 의해서 형성되는 내공간의 단면 중심축으로부터 상기 제1 베어링 측으로 편심(偏心)되어 배치됨과 아울러 상기 제1 베어링과 맞닿음으로써, 상기 영구자석으로부터의 자기흡인력을 편심방향으로 작용시키는 것을 특징으로 하는 리니어 모터.A linear motor having a fixed part and a movable part located inside the fixed part and provided with a relative displacement in the axial direction with respect to the fixed part,
The movable part includes a magnet part made up of a plurality of permanent magnets stacked in the axial direction, and a first sliding part made of a magnetic material disposed at one end of the magnet part to guide the inside of the fixed part in the axial direction.
The fixing part is provided with a first bearing made of a nonmagnetic material in contact with an inner surface of the fixing part for slidably supporting the first sliding part, and is provided inside the fixing part to generate magnetic flux in its inner space. And a plurality of coils acting on the magnet part to relatively displace the movable part.
The first sliding part is disposed eccentrically toward the first bearing side from the cross-sectional central axis of the inner space formed by the coil and the first sliding part central axis is in contact with the first bearing, so that the permanent A linear motor, characterized in that the magnetic attraction force from the magnet acts in the eccentric direction. 청구항 1에 있어서,
상기 고정부의 내단면은 직사각형 모양이고, 상기 제1 슬라이딩부는 직사각형 모양이며, 상기 제1 베어링의 단면은 'L'자 형상인 것을 특징으로 하는 리니어 모터.The method according to claim 1,
The inner end surface of the fixing portion is a rectangular shape, the first sliding portion is a rectangular shape, the cross section of the first bearing is a linear motor, characterized in that the 'L' shape. 청구항 2에 있어서,
상기 제1 베어링의 단면은 평판 모양인 것을 특징으로 하는 리니어 모터.The method according to claim 2,
The cross section of the first bearing is a linear motor, characterized in that the flat shape. 고정부와, 이 고정부 내부에 위치하고, 이 고정부에 대해서 축선방향으로 상대변위 가능하게 마련된 가동부를 가지는 리니어 모터로서,
상기 가동부는 축선방향으로 적층된 복수 개의 영구자석으로 이루어지는 자석부와, 이 자석부의 양쪽의 선단부에 배치되며, 상기 고정부 내부를 축선방향으로 슬라이딩 안내하는 자성재로 이루어지는 제1 및 제2 슬라이딩부를 구비하고,
상기 고정부는 상기 제1 및 제2 슬라이딩부를 슬라이딩 가능하게 지지하는 상기 고정부 내면에 맞닿아진 비자성재로 이루어지는 제1 및 제2 베어링과, 상기 고정부 내부에 마련되고, 자신의 내공간에 자속을 발생시키며, 상기 자석부에 작용시켜 상기 가동부를 상대변위시키는 복수 개의 코일을 구비하며,
상기 제1 및 제2 슬라이딩부는 상기 제1 및 제2 슬라이딩부 중심축이 상기 코일에 의해서 형성되는 내공간의 단면 중심축으로부터 상기 제1 및 제2 베어링 측으로 편심되어 배치됨과 아울러 상기 제1 및 제2 베어링과 맞닿음으로써, 상기 영구자석으로부터의 자기흡인력을 편심방향으로 작용시키는 것을 특징으로 하는 리니어 모터.A linear motor having a fixed part and a movable part located inside the fixed part and provided with a relative displacement in the axial direction with respect to the fixed part,
The movable part includes a magnet part made up of a plurality of permanent magnets stacked in the axial direction, and first and second sliding parts made of magnetic materials disposed at both ends of the magnet part and guiding sliding of the inside of the fixed part in the axial direction. Equipped,
The fixing part is provided with first and second bearings made of a nonmagnetic material in contact with an inner surface of the fixing part that slidably supports the first and second sliding parts, and is provided inside the fixing part and has magnetic flux in its inner space. And a plurality of coils acting on the magnet part to relatively displace the movable part,
The first and second sliding parts are disposed eccentrically to the first and second bearing sides from the cross-sectional center axis of the inner space in which the central axes of the first and second sliding parts are formed by the coil. 2. A linear motor, wherein the magnetic attraction force from the permanent magnet acts in an eccentric direction by contacting a bearing. 청구항 4에 있어서,
상기 고정부의 내단면은 직사각형 모양이고, 상기 제1 및 제2 슬라이딩부는 직사각형 모양이며, 상기 제1 및 제2 베어링의 단면은 'L'자 형상인 것을 특징으로 하는 리니어 모터.The method of claim 4,
The inner end surface of the fixing portion is a rectangular shape, the first and second sliding portion is a rectangular shape, the cross-section of the first and second bearing is a linear motor, characterized in that the 'L' shape. 청구항 5에 있어서,
상기 제1 및 제2 베어링의 단면은 평판 모양인 것을 특징으로 하는 리니어 모터.The method according to claim 5,
The cross-section of the first and second bearing is a linear motor, characterized in that the flat shape. 고정부와, 이 고정부 내부에 위치하고, 이 고정부에 대해서 축선방향으로 상대변위 가능하게 마련된 가동부를 가지는 리니어 모터로서,
상기 가동부는 축선방향으로 적층된 복수 개의 영구자석으로 이루어지는 자석부와, 이 자석부의 한쪽의 선단부에 배치되며, 상기 고정부 내부를 축선방향으로 슬라이딩 안내하는 자성재로 이루어지는 제1 슬라이딩부를 구비하고,
상기 고정부는 상기 자석부의 중심축에 대하여 비회전 대칭형으로 상기 고정부 내면에 고착된 자성재로 이루어지는 제1 중간부재와, 상기 제1 슬라이딩부를 슬라이딩 가능하게 지지하는 상기 제1 중간부재에 맞닿아진 비자성재로 이루어지는 제1 베어링과, 상기 고정부 내부에 마련되고, 자신의 내공간에 자속을 발생시키며, 상기 자석부에 작용시켜 상기 가동부를 상대변위시키는 복수 개의 코일을 구비하고,
상기 제1 슬라이딩부는 상기 제1 베어링과 맞닿음으로써 상기 영구자석으로부터의 자기흡인력을 상기 제1 중간부재 측에 작용시키는 것을 특징으로 하는 리니어 모터.A linear motor having a fixed part and a movable part located inside the fixed part and provided with a relative displacement in the axial direction with respect to the fixed part,
The movable part includes a magnet part made up of a plurality of permanent magnets stacked in the axial direction, and a first sliding part made of a magnetic material disposed at one end of the magnet part and guiding sliding of the inside of the fixed part in the axial direction.
The fixing part is in contact with a first intermediate member made of a magnetic material fixed to the inner surface of the fixing part in a non-rotationally symmetrical manner with respect to the central axis of the magnet part, and the first intermediate member slidably supporting the first sliding part. A first bearing made of a non-magnetic material, and a plurality of coils provided inside the fixing part and generating magnetic flux in its inner space and acting on the magnet part to relatively displace the movable part,
And the first sliding portion is in contact with the first bearing to exert a magnetic attraction force from the permanent magnet on the side of the first intermediate member. 청구항 7에 있어서,
상기 고정부의 내단면은 직사각형 모양이고, 상기 제1 슬라이딩부는 직사각형 모양이며, 상기 제1 베어링과 상기 제1 중간부재의 단면은 'L'자 형상인 것을 특징으로 하는 리니어 모터.The method of claim 7,
The inner end surface of the fixing part is a rectangular shape, the first sliding part is a rectangular shape, the cross-section of the first bearing and the first intermediate member is a linear motor, characterized in that the 'L' shape. 청구항 8에 있어서,
상기 제1 베어링과 상기 제1 중간부재의 단면은 평판 모양인 것을 특징으로 하는 리니어 모터.The method according to claim 8,
The cross section of the first bearing and the first intermediate member is a linear motor, characterized in that the flat plate shape. 고정부와, 이 고정부 내부에 위치하고, 이 고정부에 대해서 축선방향으로 상대변위 가능하게 마련된 가동부를 가지는 리니어 모터로서,
상기 가동부는 축선방향으로 적층된 복수 개의 영구자석으로 이루어지는 자석부와, 이 자석부의 양쪽의 선단부에 배치되며, 상기 고정부 내부를 축선방향으로 슬라이딩 안내하는 자성재로 이루어지는 제1 및 제2 슬라이딩부를 구비하고,
상기 고정부는 상기 자석부의 중심축에 대하여 비회전 대칭형으로 상기 고정부 내면에 고착된 자성재로 이루어지는 제1 및 제2 중간부재와, 상기 제1 및 제2 슬라이딩부를 슬라이딩 가능하게 지지하는 상기 제1 및 제2 중간부재에 맞닿아진 비자성재로 이루어지는 제1 및 제2 베어링과, 상기 고정부 내부에 마련되고, 자신의 내공간에 자속을 발생시키며, 상기 자석부에 작용시켜 상기 가동부를 상대변위시키는 복수 개의 코일을 구비하고,
상기 제1 및 제2 슬라이딩부는 상기 제1 및 제2 베어링과 맞닿음으로써 상기 영구자석으로부터의 자기흡인력을 상기 제1 및 제2 중간부재 측에 작용시키는 것을 특징으로 하는 리니어 모터.A linear motor having a fixed part and a movable part located inside the fixed part and provided with a relative displacement in the axial direction with respect to the fixed part,
The movable part includes a magnet part made up of a plurality of permanent magnets stacked in the axial direction, and first and second sliding parts made of magnetic materials disposed at both ends of the magnet part and guiding sliding of the inside of the fixed part in the axial direction. Equipped,
The fixing part may include first and second intermediate members made of a magnetic material fixed to an inner surface of the fixing part in a non-rotating symmetrical manner with respect to a central axis of the magnet part, and the first and second sliding parts slidably supporting the first and second sliding parts. And first and second bearings made of a nonmagnetic material in contact with the second intermediate member, and provided inside the fixing part to generate magnetic flux in its inner space, and act on the magnet part to displace the movable part. With a plurality of coils to make
And the first and second sliding parts contact the first and second bearings to exert a magnetic attraction force from the permanent magnet on the first and second intermediate members. 청구항 10에 있어서,
상기 고정부의 내단면은 직사각형 모양이고, 상기 제1 및 제2 슬라이딩부는 직사각형 모양이며, 상기 제1 및 제2 베어링과 상기 제1 및 제2 중간부재의 단면은 'L'자 형상인 것을 특징으로 하는 리니어 모터.The method of claim 10,
The inner end face of the fixing part is rectangular in shape, the first and second sliding parts are rectangular in shape, and the cross-sections of the first and second bearings and the first and second intermediate members are 'L' shaped. Linear motor made. 청구항 11에 있어서,
상기 제1 및 제2 베어링과 상기 제1 및 제2 중간부재의 단면은 평판 모양인 것을 특징으로 하는 리니어 모터.The method of claim 11,
And the cross-section of the first and second bearings and the first and second intermediate members has a flat plate shape.
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