KR101367670B1 - Vacuum chamber - Google Patents

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KR101367670B1
KR101367670B1 KR1020120039534A KR20120039534A KR101367670B1 KR 101367670 B1 KR101367670 B1 KR 101367670B1 KR 1020120039534 A KR1020120039534 A KR 1020120039534A KR 20120039534 A KR20120039534 A KR 20120039534A KR 101367670 B1 KR101367670 B1 KR 101367670B1
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박희정
박우종
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엘아이지에이디피 주식회사
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Abstract

본 발명에 따른 진공 챔버는 피처리체가 수용 또는 이송되는 공간이 구비된 하우징과, 상기 하우징의 내측면에 형성되는 배기홈과, 상기 배기홈의 일면에 형성되어 상기 하우징을 관통하는 배기홀 및 상기 배기홀과 연결되어 상기 하우징 내부를 배기하는 배기펌프를 포함하여, 챔버 제작 비용을 절감하면서 배기 효율은 향상시킬 수 있다.The vacuum chamber according to the present invention includes a housing having a space for receiving or transporting an object, an exhaust groove formed on an inner side surface of the housing, an exhaust hole formed on one surface of the exhaust groove, and penetrating the housing. Including an exhaust pump connected to the exhaust hole to exhaust the inside of the housing, it is possible to improve the exhaust efficiency while reducing the chamber manufacturing cost.

Description

진공 챔버{VACUUM CHAMBER}Vacuum chamber {VACUUM CHAMBER}

본 발명은 진공 챔버에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 배기 효율이 향상되고, 제조 비용이 절감되는 진공 챔버에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum chamber, and more particularly, to a vacuum chamber in which exhaust efficiency is improved and manufacturing cost is reduced.

반도체 웨이퍼나 평면기판 등의 제조 공정에 있어서 진공 챔버는 다양하게 사용된다. 예를 들어, 성막 처리나 에칭 처리는 소정 기압 이하의 진공 상태에서 진행되고 공정에 이용되는 가스를 배기하여야 하므로, 챔버 내부를 진공 상태로 유지하고, 내부의 가스를 배기할 수 있는 진공 챔버가 이용된다.Vacuum chambers are used in various manufacturing processes, such as semiconductor wafers and planar substrates. For example, since the film forming process or the etching process proceeds in a vacuum state below a predetermined atmospheric pressure and the gas used for the process must be exhausted, a vacuum chamber capable of keeping the inside of the chamber in a vacuum state and exhausting the gas inside is used. do.

진공 챔버에는 일반적으로 챔버의 하부 또는 측부를 관통하는 배기구가 형성된다. 배기구는 배기 펌프와 연결되고, 챔버 내부의 기체가 챔버 외부로 배기되도록 유도한다.The vacuum chamber is generally formed with an exhaust port through the bottom or side of the chamber. The exhaust port is connected to the exhaust pump and induces gas inside the chamber to be exhausted out of the chamber.

종래의 진공 챔버는 배기구가 배기 펌프와 대응하는 구경을 갖는 원기둥 형상으로 형성되거나, 챔버의 내측으로 갈수록 구경이 커지는 형태의 원뿔대 형상으로 형성된다.The conventional vacuum chamber is formed in a cylindrical shape having an exhaust port having a diameter corresponding to the exhaust pump, or in a truncated cone shape having a larger diameter toward the inside of the chamber.

그러나 원기둥 형상의 배기구는 가공이 용이하나, 배기 효율이 낮아 다수 개의 배기구를 형성하여야 하는 문제가 있고, 원뿔대 형상의 배기구는 원기둥 형상의 배기구 보다 배기 효율은 좋으나 가공이 어려워 챔버 제작 단가를 높이는 원인이 된다.
However, the cylindrical exhaust port is easy to process, but there is a problem that a plurality of exhaust ports should be formed due to the low exhaust efficiency, and the truncated exhaust port has better exhaust efficiency than the cylindrical exhaust port, but it is more difficult to process, thereby increasing the cost of manufacturing the chamber. do.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 높은 배기 효율을 갖고 제작 비용은 보다 낮은 진공 챔버를 제공하기 위함이다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a vacuum chamber having a high exhaust efficiency and a lower manufacturing cost.

전술한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 진공 챔버는 피처리체가 수용 또는 이송되는 공간이 구비된 하우징;, 상기 하우징의 내측면에 형성되는 배기홈;, 상기 배기홈의 일면에 형성되어 상기 하우징을 관통하는 배기홀; 및 상기 배기홀과 연결되어 상기 하우징 내부를 배기하는 배기펌프를; 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a vacuum chamber including a housing having a space in which an object to be processed is accommodated or transferred; an exhaust groove formed on an inner side of the housing; and formed on one surface of the exhaust groove. An exhaust hole penetrating the through; An exhaust pump connected to the exhaust hole to exhaust the inside of the housing; .

상기 배기홈은, 상기 배기홈의 단면적이 상기 배기홀의 단면적보다 넓게 형성될 수 있다.The exhaust groove may have a cross-sectional area of the exhaust groove wider than that of the exhaust hole.

상기 배기홀과 상기 배기홈은 단차를 형성할 수 있다.The exhaust hole and the exhaust groove may form a step.

상기 배기홈은 외곽 둘레가 원형이 되도록 형성될 수 있다.The exhaust groove may be formed so that the outer periphery is circular.

상기 배기홈은 외곽 둘레가 다각형이 되도록 형성될 수 있다.The exhaust groove may be formed so that the outer periphery is a polygon.

상기 배기홈은 외곽 둘레가 사각형이 되도록 형성될 수 있다.The exhaust groove may be formed so that the outer periphery is a square.

상기 배기홈은 메인홈과 상기 메인홈의 일측에서 상기 하우징의 내측 방향으로 연장 형성되는 돌출홈을 구비할 수 있다.The exhaust groove may include a main groove and a protrusion groove extending in an inner direction of the housing from one side of the main groove.

상기 돌출홈의 폭은 상기 메인홈의 폭보다 작게 형성되어, 상기 돌출홈과 상기 메인홈은 단차를 형성할 수 있다.The width of the protruding groove may be smaller than the width of the main groove, and the protruding groove and the main groove may form a step.

상기 돌출홈은 외곽 둘레가 사각형이 되도록 형성될 수 있다.The protruding groove may be formed so that the outer periphery becomes a quadrangle.

상기 돌출홈은 일측의 외곽 둘레가 원호가 되도록 형성될 수 있다.The protruding groove may be formed so that the outer periphery of one side becomes an arc.

상기 하우징 내의 상기 공간에는 상기 피처리체를 지지하는 스테이지가 구비되고, 상기 돌출홈의 적어도 일부는 상기 스테이지의 하부에 위치할 수 있다.The space in the housing may include a stage for supporting the object to be processed, and at least a portion of the protruding groove may be positioned below the stage.

상기 하우징 내의 상기 공간에는 상기 피처리체를 지지하는 스테이지가 구비되고, 상기 돌출홈은 상기 스테이지 하부의 외측에 위치하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.And a stage for supporting the object to be processed is provided in the space in the housing, and the protruding groove is positioned outside the lower portion of the stage.

상기 배기홀은 외곽 둘레가 원형이 되도록 형성될 수 있다.The exhaust hole may be formed so that the outer periphery is circular.

상기 배기홀은 외곽 둘레가 다각형이 되도록 형성될 수 있다.The exhaust hole may be formed so that the outer periphery is a polygon.

상기 배기홀은 외곽 둘레가 사각형이 되도록 형성될 수 있다.The exhaust hole may be formed so that the outer periphery becomes a quadrangle.

전술한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 진공 챔버는 피처리체가 수용 또는 이송되는 공간이 구비된 하우징과, 상기 하우징의 일면에 관통 형성되고, 내측면은 소정의 단차로 다단으로 절곡 형성된 배기부 및 상기 배기부와 연결되어 상기 하우징 내부의 가스를 배기하는 배기펌프를 포함한다.Vacuum chamber according to the present invention for solving the above problems is provided with a housing having a space for receiving or transporting the object, the exhaust portion formed through one surface of the housing, the inner surface is bent in multiple stages with a predetermined step And an exhaust pump connected to the exhaust unit to exhaust the gas inside the housing.

본 발명에 따른 진공 챔버는 챔버 제작 비용을 절감하면서, 배기 효율은 향상시킬 수 있는 효과가 있다.The vacuum chamber according to the present invention has the effect of improving the exhaust efficiency while reducing the chamber manufacturing cost.

이상과 같은 본 발명의 기술적 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other technical effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 진공 챔버를 도시한 개략적 단면도;
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 진공 챔버의 배기부를 도시한 사시도;
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 진공 챔버의 배기부를 도시한 단면도;
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 진공 챔버의 배기부를 도시한 사시도;
도 5는 본 발명의 제3실시예에 따른 진공 챔버의 배기부를 도시한 사시도;
도 6은 본 발명의 제4실시예에 따른 진공 챔버의 배기부를 도시한 사시도;
도 7은 본 발명의 제5실시예에 따른 진공 챔버의 배기부를 도시한 사시도;
도 8은 본 발명의 제6실시예에 따른 진공 챔버의 배기부를 도시한 사사도;
도 9는 본 발명의 제7실시예에 따른 진공 챔버의 배기부를 도시한 사시도;
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 배기부와 스테이지의 배치 상태의 일 실시예를 도시한 단면도;
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 배기부와 스테이지의 배치 상태의 다른 실시예를 도시한 단면도이다.1 is a schematic cross-sectional view showing a vacuum chamber according to a first embodiment of the present invention;
2 is a perspective view showing an exhaust of a vacuum chamber according to a first embodiment of the present invention;
3 is a sectional view showing an exhaust portion of the vacuum chamber according to the first embodiment of the present invention;
4 is a perspective view showing an exhaust of a vacuum chamber according to a second embodiment of the present invention;
5 is a perspective view showing an exhaust of a vacuum chamber according to a third embodiment of the present invention;
6 is a perspective view showing an exhaust of a vacuum chamber according to a fourth embodiment of the present invention;
7 is a perspective view showing an exhaust of a vacuum chamber according to a fifth embodiment of the present invention;
8 is a perspective view showing an exhaust of a vacuum chamber according to a sixth embodiment of the present invention;
9 is a perspective view showing an exhaust of a vacuum chamber according to a seventh embodiment of the present invention;
10 is a cross-sectional view showing an embodiment of an arrangement of the exhaust unit and the stage according to the embodiment of the present invention;
11 is a cross-sectional view showing another embodiment of the arrangement of the exhaust unit and the stage according to the embodiment of the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 실시예는 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 위하여 과장되게 표현된 부분이 있을 수 있으며, 도면 상에서 동일 부호로 표시된 요소는 동일 요소를 의미한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, it should be understood that the present invention is not limited to the disclosed embodiments, but may be implemented in various forms, and the present embodiments are not intended to be exhaustive or to limit the scope of the invention to those skilled in the art. It is provided to let you know completely. The shape and the like of the elements in the drawings may be exaggerated for clarity, and the same reference numerals denote the same elements in the drawings.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 진공 챔버를 도시한 개략적 단면도이다.1 is a schematic cross-sectional view showing a vacuum chamber according to a first embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 진공 챔버(100)는 피처리체(A)가 수용 또는 이송되는 공간(101)이 구비된 하우징(110)과, 하우징(110)의 일면을 관통하여 형성하는 배기부(120)와, 배기부(120)와 연결되어 하우징(110) 내부의 가스를 배기하는 배기 펌프(130)를 포함한다.As shown in FIG. 1, the vacuum chamber 100 according to the first embodiment of the present invention includes a housing 110 having a space 101 in which an object A is to be accommodated or transported, and a housing 110. And an exhaust part 120 formed to penetrate through one surface of the exhaust part 120, and an exhaust pump 130 connected to the exhaust part 120 to exhaust gas in the housing 110.

피처리체(A)는 반도체 공정에 사용되는 웨이퍼나 LCD 등과 같은 평판 표시 패널, LED 공정에 사용되는 기판 등이 될 수 있다.The object to be processed A may be a flat panel display panel such as a wafer or LCD used in a semiconductor process, a substrate used in an LED process, or the like.

하우징(110)은 내부에 공간을 형성하는 다면체로 형성될 수 있다. 예를 들면 4개의 측벽과 하나의 바닥면과 하나의 상면으로 형성되는 육면체일 수 있고, 측벽의 개수에 따라 다양한 형태의 다면체가 가능하다.The housing 110 may be formed of a polyhedron forming a space therein. For example, it may be a hexahedron formed of four sidewalls, one bottom surface, and one top surface, and various types of polyhedrons are possible according to the number of sidewalls.

도 1에 도시된 바와 같이, 하우징(110)의 측벽에는 피처리체가(A) 하우징(110) 내의 공간(101)으로 출입할 수 있는 게이트(140)가 형성될 수 있다. 또는 도시되지 않았으나, 하우징(110)의 상면이 개폐 가능한 리드로 구성되어 피처리체(A)가 출입 가능하게 할 수 있다.As illustrated in FIG. 1, a gate 140 may be formed on a sidewall of the housing 110 to allow the object to be processed (A) to enter or exit the space 101 in the housing 110. Alternatively, although not shown, the upper surface of the housing 110 may be configured as a lid that can be opened and closed to allow the object A to be accessed.

도 1에 도시된 바와 같이, 하우징(110) 내의 공간(101)에는 피처리체(A)를 지지하는 스테이지(150)가 구비될 수 있다. 또는 도시되지 않았으나, 피처리체(A)를 이송하는 이송 유닛이 구비될 수 있다. 이송 유닛은 로봇 암이나 이송 컨베이어 등이 사용될 수 있다.As shown in FIG. 1, the space 101 in the housing 110 may be provided with a stage 150 for supporting the object A. FIG. Alternatively, although not shown, a transfer unit for transferring the object A may be provided. The transfer unit may be a robot arm or a transfer conveyor.

하우징(110)의 일면(이하에서는 배기면(111)이라 한다)에는 배기면(111)을 관통하는 배기부(120)가 형성된다. 하우징(110)의 외부에 구비되는 배기 펌프(130)는 배기부(120)와 연결되어, 배기부(120)를 통해 하우징(110) 내부의 기체를 배출시킨다.On one surface of the housing 110 (hereinafter referred to as exhaust surface 111), an exhaust portion 120 penetrating through the exhaust surface 111 is formed. The exhaust pump 130 provided at the outside of the housing 110 is connected to the exhaust unit 120 to discharge the gas inside the housing 110 through the exhaust unit 120.

이하에서는 본 발명의 제1실시예에 따른 진공 챔버(100)의 배기부(120)에 대해 설명한다.Hereinafter, the exhaust unit 120 of the vacuum chamber 100 according to the first embodiment of the present invention will be described.

도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 진공 챔버의 배기부를 도시한 사시도이고, 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 진공 챔버의 배기부를 도시한 단면도이다.2 is a perspective view illustrating an exhaust part of a vacuum chamber according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating an exhaust part of a vacuum chamber according to a first embodiment of the present invention.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 배기부(120)는 배기홈(121)과 배기홀(122)을 포함하여 구성될 수 있다.As illustrated in FIGS. 2 and 3, the exhaust unit 120 may include an exhaust groove 121 and an exhaust hole 122.

도 2에 도시된 바와 같이, 배기면(111)에는 하나 이상의 배기홈(121)이 형성될 수 있다. 하우징(110) 내의 기체를 균일하고 효과적으로 배출할 수 있도록, 복수 개의 배기홈(121)은 하우징(110)의 배기면(111)의 둘레를 따라 이격되어 형성될 수 있다.As illustrated in FIG. 2, one or more exhaust grooves 121 may be formed in the exhaust surface 111. In order to uniformly and effectively discharge the gas in the housing 110, the plurality of exhaust grooves 121 may be spaced apart along the circumference of the exhaust surface 111 of the housing 110.

배기홈(121)은 배기면(111)의 두께보다는 작은 깊이로 형성될 수 있다. 배기홈(121)은 대략 다각형의 형상으로 형성될 수 있고, 가공의 편의성 등에 의해 대략 사각형으로 형성될 수 있다.Exhaust groove 121 may be formed to a depth smaller than the thickness of the exhaust surface (111). Exhaust groove 121 may be formed in a substantially polygonal shape, it may be formed in a substantially rectangular by the convenience of processing.

배기홈(121)의 내측벽과 대략 수직으로 형성되는 바닥면에는, 배기홈(121)이 형성된 배기면(111)을 관통하는 배기홀(122)이 형성될 수 있다. 배기홀(122)은 원기둥 형상으로 형성될 수 있으며, 배기홀(122)의 내경은 배기 펌프(130)의 배기 능력에 대응하도록 형성될 수 있다.An exhaust hole 122 penetrating through an exhaust surface 111 on which an exhaust groove 121 is formed may be formed on a bottom surface formed substantially perpendicular to the inner wall of the exhaust groove 121. The exhaust hole 122 may be formed in a cylindrical shape, and the inner diameter of the exhaust hole 122 may be formed to correspond to the exhaust capacity of the exhaust pump 130.

도 3에 도시된 바와 같이, 배기홀(122)의 지름(d2)은 배기홈(121)의 폭(d1)보다 작게 형성되어, 배기홈(121)의 바닥면에는 배기홀(122)에 의한 단차부(123)가 형성될 수 있다.As shown in FIG. 3, the diameter d 2 of the exhaust hole 122 is smaller than the width d 1 of the exhaust groove 121, and the exhaust hole 122 is formed on the bottom surface of the exhaust groove 121. The stepped portion 123 may be formed.

배기 펌프(130)의 배기 성능의 한계 등으로 인해 배기홀(122)의 내경은 일정 한계 이상으로 형성될 수 없다. 따라서 하우징(110) 내의 공간(101)과 접촉하는 배기홈(121)의 단면적을 넓게 형성하여 하우징(110) 내의 기체의 배출이 효과적으로 이루어지도록 할 수 있다.Due to limitations in the exhaust performance of the exhaust pump 130, the inner diameter of the exhaust hole 122 may not be formed beyond a predetermined limit. Therefore, the cross-sectional area of the exhaust groove 121 contacting the space 101 in the housing 110 may be formed wide so that the gas in the housing 110 may be effectively discharged.

배기홈(121)의 단면적은 하우징(110) 내의 구조물과의 관계 및 배기 효율을 고려하여 적절한 크기로 형성함이 바람직하다.The cross-sectional area of the exhaust groove 121 is preferably formed in an appropriate size in consideration of the relationship with the structure in the housing 110 and the exhaust efficiency.

배기홀(122)의 단면적보다 넓은 단면적을 갖는 배기홈(121)을 형성하여 배기홀(122)만 형성된 것에 비해 배기 효율을 높일 수 있고, 배기부(120)를 직경이 연속적으로 변화하는 원뿔대의 형상이 아닌 단차부(123)가 있는 형상으로 구성하여 챔버 제작 비용을 절감할 수 있다.
By forming an exhaust groove 121 having a cross-sectional area larger than that of the exhaust hole 122, the exhaust efficiency can be improved compared to that of the exhaust hole 122, and the exhaust part 120 has a conical cone whose diameter changes continuously. It is possible to reduce the chamber manufacturing cost by configuring a shape having a step 123 rather than a shape.

이하에서는 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 챔버에 대해 설명한다. 설명의 편의를 위하여 제1실시예와 유사한 부분은 동일한 도면번호를 사용하고, 제1실시예와 공통되는 부분은 설명을 생략한다.Hereinafter, a vacuum chamber according to another embodiment of the present invention will be described. For convenience of description, the same reference numerals as those in the first embodiment denote the same reference numerals, and a description of components common to those in the first embodiment will be omitted.

도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 진공 챔버의 배기부를 도시한 사시도이다.4 is a perspective view illustrating an exhaust part of a vacuum chamber according to a second embodiment of the present invention.

본 발명의 제1실시예의 배기부(120)는 대략 다각형의 개구부를 갖는 배기홈(121)과 대략 원형의 개구부를 갖는 배기홀(122)을 구비하였으나, 도 4에 도시된 바와 같이 본 발명의 제2실시예의 배기부(220)는 배기홈(221)의 개구부가 원형 또는 타원형이 되도록 형성될 수 있다.The exhaust part 120 of the first embodiment of the present invention has an exhaust groove 121 having an approximately polygonal opening and an exhaust hole 122 having an approximately circular opening, but as shown in FIG. The exhaust part 220 of the second embodiment may be formed such that the opening of the exhaust groove 221 is circular or elliptical.

본 발명의 제2실시예에서도 배기홈(221)의 바닥면에는 배기홀(222)에 의한 단차부(223)가 형성되도록, 배기홀(222)의 내경은 배기홈(221)의 내경보다 작게 형성됨이 바람직하다.Also in the second embodiment of the present invention, the inner diameter of the exhaust hole 222 is smaller than the inner diameter of the exhaust groove 221 so that the step 223 formed by the exhaust hole 222 is formed on the bottom surface of the exhaust groove 221. Preferably formed.

도 5는 본 발명의 제3실시예에 따른 진공 챔버의 배기부를 도시한 사시도이다.5 is a perspective view illustrating an exhaust part of a vacuum chamber according to a third exemplary embodiment of the present invention.

본 발명의 제1실시예의 배기부(120)는 대략 다각형의 개구부를 갖는 배기홈(121)과 대략 원형의 개구부를 갖는 배기홀(122)을 구비하였으나, 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3실시예의 배기부(320)는 배기홀(322)의 개구부가 대략 다각형의 단면을 갖도록 형성될 수 있다.The exhaust part 120 of the first embodiment of the present invention has an exhaust groove 121 having an approximately polygonal opening and an exhaust hole 122 having an approximately circular opening, but as shown in FIG. The exhaust part 320 of the third embodiment may be formed such that the opening of the exhaust hole 322 has a substantially polygonal cross section.

즉 배기홀(322)은 대략 다각 기둥 형상으로 형성될 수 있으며, 가공의 편의성 등에 의해 대략 사각 기둥 형상으로 형성될 수 있다.That is, the exhaust hole 322 may be formed in a substantially polygonal pillar shape, and may be formed in an approximately square pillar shape by convenience of processing.

본 발명의 제3실시예에서도 배기홈(321)의 바닥면에는 배기홀(322)에 의해 단차부(323)가 형성되도록, 배기홀(322)의 개구폭은 배기홈(321)의 개구폭보다 작게 형성됨이 바람직하다.Also in the third embodiment of the present invention, the opening width of the exhaust hole 322 is the opening width of the exhaust groove 321 so that the stepped portion 323 is formed on the bottom surface of the exhaust groove 321 by the exhaust hole 322. It is preferable to form smaller.

도 6은 본 발명의 제4실시예에 따른 진공 챔버의 배기부를 도시한 사시도이다.6 is a perspective view illustrating an exhaust part of a vacuum chamber according to a fourth embodiment of the present invention.

본 발명의 제1실시예의 배기부(120)는 대략 다각형의 개구부를 갖는 배기홈(121)과 대략 원형의 개구부를 갖는 배기홀(122)을 구비하였으나, 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제4실시예의 배기부(420)는 배기홈(421)의 개구부가 원형 또는 타원형이 되도록 형성되고, 배기홀(422)의 개구부가 대략 다각형의 단면을 갖도록 형성될 수 있다.Exhaust portion 120 of the first embodiment of the present invention has an exhaust groove 121 having an approximately polygonal opening and an exhaust hole 122 having an approximately circular opening, but as shown in FIG. The exhaust part 420 of the fourth embodiment of the present invention may be formed such that the opening of the exhaust groove 421 is circular or elliptical, and the opening of the exhaust hole 422 has a substantially polygonal cross section.

본 발명의 제4실시예에서도 배기홈(421)의 바닥면에는 배기홀(422)에 의해 단차부(423)가 형성되도록, 배기홀(422)의 개구폭은 배기홈(421)의 개구폭보다 작게 형성됨이 바람직하다.Also in the fourth embodiment of the present invention, the opening width of the exhaust hole 422 is the opening width of the exhaust groove 421 such that the stepped portion 423 is formed on the bottom surface of the exhaust groove 421 by the exhaust hole 422. It is preferable to form smaller.

도 7은 본 발명의 제5실시예에 따른 진공 챔버의 배기부를 도시한 사시도이다.7 is a perspective view illustrating an exhaust part of a vacuum chamber according to a fifth embodiment of the present invention.

도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제5실시예의 배기부(520)는 제1 내지 제4실시예의 배기부(110, 210, 310, 410)와 형상을 달리한다. 제5실시예의 배기홈(521: 521a, 521b)은 배기면(111)의 중심부를 향해 폭이 좁아지도록 단차지게 형성된다. 즉 배기홈(521)은 메인홈(521a)과, 메인홈(521a)의 일측에서 배기면(111)의 중심부를 향해 연장 형성되는 사각의 돌출홈(521b)을 구비할 수 있다. 돌출홈(521b)은 그 폭이 메인홈(521a)의 폭보다 좁게 형성되어, 메인홈(521a)과 돌출홈(521b)이 접하는 부분에는 단차(524)가 형성될 수 있다.As shown in FIG. 7, the exhaust part 520 of the fifth embodiment of the present invention differs from the exhaust parts 110, 210, 310, and 410 of the first to fourth embodiments. The exhaust grooves 521 (521a, 521b) of the fifth embodiment are formed stepped so that the width thereof becomes narrow toward the central portion of the exhaust surface 111. That is, the exhaust groove 521 may include a main groove 521a and a rectangular protrusion groove 521b extending from one side of the main groove 521a toward the center of the exhaust surface 111. The protrusion groove 521b may have a width smaller than that of the main groove 521a, and a step 524 may be formed at a portion where the main groove 521a and the protrusion groove 521b are in contact with each other.

본 발명의 제5실시예에서도 배기홈(521)의 바닥면에는 배기홀(522)이 형성된다. 배기홀(522)은 메인홈(521a)과 돌출홈(521b)에 걸쳐 형성될 수 있으며, 배기홀(522)의 폭은 배기홈(521)의 바닥면에 단차부(523)가 형성될 수 있도록 메인홈(521a) 및 돌출홈(521b)의 개구폭보다 작게 형성됨이 바람직하다. 배기홀(522)은 원형의 개구부를 갖도록 형성될 수도 있고, 다각형의 개구부를 갖도록 형성될 수도 있다.In the fifth embodiment of the present invention, the exhaust hole 522 is formed on the bottom surface of the exhaust groove 521. The exhaust hole 522 may be formed over the main groove 521a and the protruding groove 521b, and the stepped portion 523 may be formed on the bottom surface of the exhaust groove 521. It is preferable to be formed smaller than the opening width of the main groove (521a) and the protrusion groove (521b). The exhaust hole 522 may be formed to have a circular opening or may be formed to have a polygonal opening.

도 8은 본 발명의 제6실시예에 따른 진공 챔버의 배기부를 도시한 사사도이다.8 is a perspective view showing an exhaust part of the vacuum chamber according to the sixth embodiment of the present invention.

본 발명의 제5실시예의 배기부(520)는 사각의 돌출홈(521b)을 구비하였으나, 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제6실시예에 따른 돌출홈(621b)은 일측의 외곽 둘레가 원호가 되도록 형성된다. 즉 돌출홈(621b)에서 메인홈(621a)과 접하는 측의 반대 방향의 측면은 곡면으로 형성될 수 있다. 또는 메인홈(621a)과 돌출홈(621b)이 접하는 위치에 형성된 단차(524)에서부터 돌출홈(621b)은 곡면으로 형성될 수 있다.The exhaust part 520 of the fifth embodiment of the present invention has a rectangular protrusion groove 521b, but as shown in FIG. 8, the protrusion groove 621b according to the sixth embodiment of the present invention has an outer side of one side. The circumference is formed to be an arc. That is, the side surface of the protruding groove 621b opposite to the side contacting with the main groove 621a may be formed as a curved surface. Alternatively, the protrusion groove 621b may be formed in a curved surface from the step 524 formed at a position where the main groove 621a and the protrusion groove 621b are in contact with each other.

상술한 바와 같이 제5, 6실시예와 같이 배기홈(521, 621)을 형성하여, 배기홀(522, 622)을 통해 배기되는 기체의 흐름을 돌출홈(521b, 621b)을 통해 메인홈(521a, 521a)으로 안내하고 배기홀(522, 622)로 배출되도록 유도하여 배출 효율을 향상시킬 수 있다. 또한 배기홈(521)을 단순히 사각형의 형태로 형성하는 경우에 비해, 돌출홈(621b)에서 폭이 좁아지도록 형성되어 배기홈(521) 전체의 단면적이 줄어들고, 이에 따라 배기압을 증대시킬 수 있다.As described above, the exhaust grooves 521 and 621 are formed as in the fifth and sixth embodiments, and the flow of the gas exhausted through the exhaust holes 522 and 622 is projected through the protrusion grooves 521b and 621b. The discharge efficiency may be improved by guiding to the 521a and 521a and inducing the discharge to the exhaust holes 522 and 622. In addition, compared with the case in which the exhaust grooves 521 are simply formed in a quadrangular shape, the exhaust grooves 521 are formed to have a narrower width in the protruding grooves 621b, thereby reducing the cross-sectional area of the entire exhaust grooves 521, thereby increasing the exhaust pressure. .

도 9는 본 발명의 제7실시예에 따른 진공 챔버의 배기부를 도시한 사시도이다.9 is a perspective view illustrating an exhaust part of a vacuum chamber according to a seventh embodiment of the present invention.

본 발명의 제1실시예의 배기부(120)는 배기홈(121)과 배기홀(122) 사이에 하나의 단차부(123)가 형성되었으나, 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제7실시예의 배기부(720)는 내측면에 다단의 단차부(723)가 형성될 수 있다.In the exhaust part 120 of the first embodiment of the present invention, one step part 123 is formed between the exhaust groove 121 and the exhaust hole 122, but as shown in FIG. In the exhaust part 720 of the embodiment, a multi-stepped part 723 may be formed on an inner surface thereof.

배기홈(721)과 배기홀(722)의 개구부는 대략 다각형, 타원형 또는 원형으로 형성될 수 있고, 배기홈(722)과 배기홀(723)을 연결하는 내측면에는 소정의 간격으로 계단식으로 형성된 다단의 단차부(723)가 형성될 수 있다.The openings of the exhaust groove 721 and the exhaust hole 722 may be formed in a substantially polygonal, oval or circular shape, and are formed stepwise on the inner surface connecting the exhaust groove 722 and the exhaust hole 723 at predetermined intervals. A multi-stepped step 723 may be formed.

각 단차부(723a, 723b)의 수평면의 둘레 형상은 가공의 편의성, 제작 비용, 배기 효율 등에 따라서 다각형, 타원형, 또는 원형으로 형성될 수 있다.
The circumferential shape of the horizontal surface of each step portion 723a, 723b may be formed in a polygonal, elliptical, or circular shape according to the convenience of processing, manufacturing cost, exhaust efficiency, and the like.

이하에서는 본 발명의 실시예들에 따른 배기부의 위치에 대해 설명한다. 도 10은 본 발명의 실시예에 따른 배기부와 스테이지의 배치 상태의 일 실시예를 도시한 단면도이고, 도 11은 본 발명의 실시예에 따른 배기부와 스테이지의 배치 상태의 다른 실시예를 도시한 단면도이다. 설명의 편의상 본 발명의 제5실시예의 배기부(520)를 도시하여 설명하나, 다른 실시예의 배기부에도 동일ㅇ유사하게 적용될 수 있다. Hereinafter, the position of the exhaust unit according to the embodiments of the present invention will be described. 10 is a cross-sectional view showing an embodiment of the arrangement of the exhaust and the stage according to an embodiment of the present invention, Figure 11 is another embodiment of the arrangement of the exhaust and the stage according to an embodiment of the present invention One cross section. For convenience of description, the exhaust unit 520 of the fifth embodiment of the present invention is illustrated and described, but the same may be applied to the exhaust unit of another embodiment.

도 10 및 도 11은 스테이지(150)의 상부에서 배기부(520)가 형성된 배기면(111)을 바라본 진공 챔버(100)의 단면도이다.10 and 11 are cross-sectional views of the vacuum chamber 100 as viewed from the upper surface of the stage 150, the exhaust surface 111 in which the exhaust portion 520 is formed.

도 10에 도시된 바와 같이, 배기부(520)는 배기면(111)에서 스테이지(150)의 하부 영역의 외측에 형성될 수 있다. 이와 같은 배기부(520)의 배치로 스테이지(150) 상부에 존재하는 가스 등의 기체를 효과적으로 배출할 수 있다.As illustrated in FIG. 10, the exhaust unit 520 may be formed outside the lower region of the stage 150 on the exhaust surface 111. Such an arrangement of the exhaust unit 520 may effectively discharge gas such as gas existing on the stage 150.

또는 도 11에 도시된 바와 같이, 배기부(520)는 돌출홈(521b)의 적어도 일부가 스테이지(150)의 하부 영역에 위치하도록 형성될 수 있다. 이와 같은 배기부(520)의 배치로 스테이지(150)의 상부와 하부에 존재하는 가스 등의 기체가 동시에 효과적으로 배출할 수 있다. 즉, 스테이지(150)의 하부에 존재하는 기체는 돌출홈(521b)을 통해 메인홈(521a)으로 안내되어 배출 효율이 향상된다.Alternatively, as illustrated in FIG. 11, the exhaust part 520 may be formed such that at least a part of the protrusion groove 521b is located in the lower region of the stage 150. By arranging the exhaust unit 520, gas such as gas existing in the upper and lower portions of the stage 150 may be effectively discharged simultaneously. That is, the gas present in the lower portion of the stage 150 is guided to the main groove 521a through the protrusion groove 521b to improve the discharge efficiency.

별도의 돌출홈(521b)을 구비하지 않는 제1 내지 4실시예의 배기부(120,220,320,420)의 경우, 배기홈(121, 221, 321, 421)의 적어도 일부가 스테이지(150)의 하부에 위치하도록 하여 유사한 효과를 가질 수 있다.
In the case of the exhaust parts 120, 220, 320, and 420 of the first to fourth embodiments that do not include a separate protruding groove 521b, at least a part of the exhaust grooves 121, 221, 321, and 421 is positioned below the stage 150. It can have a similar effect.

앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예는, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
The embodiments of the present invention described above and shown in the drawings should not be construed as limiting the technical idea of the present invention. The scope of protection of the present invention is limited only by the matters described in the claims, and those skilled in the art will be able to modify the technical idea of the present invention in various forms. Accordingly, such improvements and modifications will fall within the scope of the present invention as long as they are obvious to those skilled in the art.

100: 진공 챔버 110: 하우징
111: 배기면 130: 배기 펌프
140: 게이트 150: 스테이지
120, 220, 320, 420, 520, 620, 720: 배기부
121, 221, 321, 421, 521, 621, 721: 배기홈
122, 222, 322, 422, 522, 622, 722: 배기홀
123, 223, 323, 423, 523, 623, 723: 단차부
A: 피처리체100: vacuum chamber 110: housing
111: exhaust surface 130: exhaust pump
140: gate 150: stage
120, 220, 320, 420, 520, 620, 720: exhaust
121, 221, 321, 421, 521, 621, 721: exhaust groove
122, 222, 322, 422, 522, 622, 722: exhaust hole
123, 223, 323, 423, 523, 623, 723: stepped
A: Subject

Claims (16)

피처리체가 수용 또는 이송되는 공간이 구비된 하우징;
상기 하우징의 내측면에 형성되는 배기홈;
상기 배기홈의 일면에 형성되어 상기 하우징을 관통하는 배기홀; 및
상기 배기홀과 연결되어 상기 하우징 내부를 배기하는 배기펌프를 포함하고;
상기 배기홈은 메인홈과 상기 메인홈의 일측에서 상기 하우징의 내측 방향으로 연장 형성되는 돌출홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.A housing having a space for receiving or transporting a workpiece;
An exhaust groove formed on an inner surface of the housing;
An exhaust hole formed in one surface of the exhaust groove and penetrating the housing; And
An exhaust pump connected to the exhaust hole to exhaust the inside of the housing;
The exhaust groove is a vacuum chamber, characterized in that having a main groove and a protruding groove extending in the inward direction of the housing from one side of the main groove. 제1항에 있어서, 상기 배기홈은,
상기 배기홈의 단면적이 상기 배기홀의 단면적보다 넓게 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.The method of claim 1, wherein the exhaust groove,
And the cross-sectional area of the exhaust groove is wider than the cross-sectional area of the exhaust hole. 제1항에 있어서,
상기 배기홀과 상기 배기홈은 단차를 형성하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.The method of claim 1,
And the exhaust hole and the exhaust groove form a step. 제1항에 있어서,
상기 배기홈은 외곽 둘레가 원형이 되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.The method of claim 1,
The exhaust groove is a vacuum chamber, characterized in that the outer periphery is formed to be circular. 제1항에 있어서,
상기 배기홈은 외곽 둘레가 다각형이 되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.The method of claim 1,
The exhaust groove is a vacuum chamber, characterized in that the outer periphery is formed to be a polygon. 제5항에 있어서,
상기 배기홈은 외곽 둘레가 사각형이 되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.The method of claim 5,
The exhaust groove is a vacuum chamber, characterized in that the outer periphery is formed to be square. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 돌출홈의 폭은 상기 메인홈의 폭보다 작게 형성되어, 상기 돌출홈과 상기 메인홈은 단차를 형성하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.The method of claim 1,
The width of the protruding groove is formed smaller than the width of the main groove, characterized in that the protruding groove and the main groove to form a step. 제 1항 또는 제8항에 있어서,
상기 돌출홈은 외곽 둘레가 사각형이 되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.The method according to claim 1 or 8,
The protruding groove is a vacuum chamber, characterized in that the outer periphery is formed to be a square. 제 1항 또는 제8항에 있어서,
상기 돌출홈은 일측의 외곽 둘레가 원호가 되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.The method according to claim 1 or 8,
The protruding groove is a vacuum chamber, characterized in that the outer periphery of one side is formed to be an arc. 제 1항 또는 제8항에 있어서,
상기 하우징 내의 상기 공간에는 상기 피처리체를 지지하는 스테이지가 구비되고,
상기 돌출홈의 적어도 일부는 상기 스테이지의 하부에 위치하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.The method according to claim 1 or 8,
The space in the housing is provided with a stage for supporting the target object,
At least a portion of the protruding groove is located in the lower portion of the stage vacuum chamber. 제 1항 또는 제8항에 있어서,
상기 하우징 내의 상기 공간에는 상기 피처리체를 지지하는 스테이지가 구비되고,
상기 돌출홈은 상기 스테이지 하부의 외측에 위치하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.The method according to claim 1 or 8,
The space in the housing is provided with a stage for supporting the target object,
The protruding groove is located in the outer side of the lower stage of the vacuum chamber. 제1항에 있어서,
상기 배기홀은 외곽 둘레가 원형이 되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.The method of claim 1,
The exhaust hole is a vacuum chamber, characterized in that the outer periphery is formed to be circular. 제1항에 있어서,
상기 배기홀은 외곽 둘레가 다각형이 되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.The method of claim 1,
The exhaust hole is a vacuum chamber, characterized in that the outer periphery is formed to be a polygon. 제14항에 있어서,
상기 배기홀은 외곽 둘레가 사각형이 되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.15. The method of claim 14,
The exhaust hole is a vacuum chamber, characterized in that the outer periphery is formed to be square. 삭제delete
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