KR101363558B1 - 비접촉 질량 측정장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 자기부상된 비접촉 상태에서 가해진 하중에 따른 부상부재의 변위를 보상하는 데 소요된 전류값을 측정하여 질량을 환산하는 비접촉 질량 측정장치가 개시된다. 본 발명은 십자형의 단면을 갖는 부상부재와, 상기 부상부재가 부상하도록 상기 수직부의 상단과 그 상부에 이격하여 배치되는 한 쌍의 영구자석과, 상기 수직부의 축중심에 대해 방사상으로 흡인력을 제공하여 상기 부상부재를 가이딩하는 수평전자석과, 상기 수직부의 중심이 상기 수평전자석의 중심과 일치한 지 여부를 감지하는 축감지센서와, 상기 수평부의 상하 방향으로 흡인력을 제공하여 상기 부상부재의 수직방향의 위치를 조절하는 환형의 수직전자석과, 상기 수평부가 상기 수직전자석들 사이 중심에 위치했는지 여부를 감지하는 높이감지센서와, 상기 높이감지센서와 연결되어, 상기 수평부가 상기 수직전자석들 사이 중심에 위치하지 않았을 때, 원위치로 복귀하도록 수직전자석으로 전류를 출력하는 제어부와, 전류센서를 통해 상기 제어부에서 출력된 전류값을 측정하고, 시료의 질량을 환산하는 산출부를 포함한다.

Description

비접촉 질량 측정장치{apparatus of non-contact mass measurement}

본 발명은 비접촉 질량 측정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 자기부상된 비접촉 상태에서 가해진 하중에 따른 부상부재의 변위를 보상하는 데 소요된 전류값을 측정하여 질량을 환산하는 비접촉 질량 측정장치에 관한 것이다.

일반적으로, 하중 측정은 스트레인 게이지를 이용한 측정이 일반적이었다. 스트레인 게이지를 이용한 하중측정은 하중이 가해질 때 탄성체의 변형에 상응하여 변형되는 스트레인 게이지의 변형을 측정하는 방식이다. 이와 같은 초기의 하중 측정 방식은 접촉식으로 수행되어 정밀하지 못할 뿐만 아니라 여러번 측정을 하게 되면 특성이 변경되는 문제점이 있었다.

스트레인 게이지에 의한 접촉식 하중 측정 방식의 문제점을 해결하기 위해 비접촉 하중 측정 장치가 제안되었다. 비접촉 하중 측정 방식은 탄성체와 결합된 스트레인 게이지의 변형량을 측정하지 않고 탄성체의 변위를 전자기적인 유도 현상을 이용하여 비접촉으로 측정하는 방식이다.

이와 같은 비접촉 하중 측정 방식은 종래의 스트레인 게이지 방식에 비해 높은 정밀도를 가질 수 있고 오랜 사용에도 동일한 특성을 유지할 수 있는 장점이 있기는 하나 하중 측정 장치의 정밀도는 여전히 탄성체의 민감도에 의존적일 수 밖에 없었다.

본 발명은 부상부재가 기울어지지 않도록 가이딩하는 수단을 구현하여 시료의 질량을 측정하는 과정에서 부상부재가 회전하거나 기울어지면서 발생하는 비선형성에 의한 왜곡을 최소화할 수 있어, 보다 정확한 질량 측정이 가능한 비접촉 질량 측정장치의 제공을 그 목적으로 한다.

상기의 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 비접촉 질량 측정장치는 원주형상의 수직부와, 상기 수직부의 외측에 수직하도록 원형으로 돌출 형성된 수평부를 포함하고, 강자성체로 이루어진 부상부재와, 상기 부상부재의 자중을 보상하는 흡인력을 축방향으로 제공하여 상기 부상부재가 부상하도록 상기 수직부의 상단과 그 상부에 이격하여 배치되는 한 쌍의 영구자석과, 질량 측정을 위해 시료가 거치되도록 상기 부상부재의 상단 또는 하단에 형성되는 거치부재와, 상기 수직부의 주변을 감싸도록 상부와 하부에 각각 배치되고 축중심에 대해방사상으로 흡인력을 제공하여 상기 부상부재를 가이딩하는 수평전자석과, 상기 수직부의 중심이 상기 수평전자석의 중심과 일치한 지 여부를 감지하는 축감지센서와, 상기 수평부의 상부와 하부에 나란히 배치되고, 상하 방향으로 흡인력을 제공하여 상기 부상부재의 수직방향의 위치를 조절하는 환형의 수직전자석과, 상기 수평부가 상기 수직전자석들 사이 중심에 위치했는지 여부를 감지하는 높이감지센서와, 상기 높이감지센서와 연결되어, 상기 수평부가 상기 수직전자석들 사이 중심에 위치하지 않았을 때, 원위치로 복귀하도록 수직전자석으로 전류를 출력하는 제어부와, 전류센서를 통해 상기 제어부에서 출력된 전류값을 측정하고, 시료의 질량을 환산하는 산출부를 포함한다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 수평전자석은 중공의 가이드 링과, 상기 가이드링의 내측면에서 내측으로 돌출하여 연장되고, 방사형으로 배치된 코어와, 상기 코어에 권취되는 코일을 포함한다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 수직전자석은 일측이 개구된 ‘ㄷ’자 형의 단면을 갖는 링부재와, 상기 링부재의 내측에 권취된 코일을 포함하고, 상기 개구부가 상호 마주보도록 배치된다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 부상부재는 상기 수평부가 수직부의 중심부에 형성되어 십자형의 단면을 구비한다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 부상부재와 전자석들 사이에는 상기 부상부재의 형상과 대응되고, 부상부재와 소정의 간격을 형성하도록 부상부재보다 큰 체적을 갖는 비자성체의 격리막을 더 포함한다.

본 발명에 따르면, 자기부상에 의해 비접촉 방식으로 제한된 공간에서 기계적 접촉 없이 질량을 측정하기 때문에, 진동을 최소화하고 정밀한 질량 측정이 가능하다.

또한, 부상부재가 기울어지지 않도록 가이딩하는 수단을 구현하여 시료의 질량을 측정하는 과정에서 부상부재가 회전하거나 기울어지면서 발생하는 비선형성에 의한 왜곡을 최소화할 수 있어, 보다 정확한 질량 측정이 가능하다.

또, 부상부재와 전자석 사이에 비자성체로 이루어진 격리막을 형성하여 시료와 전자석을 공간적으로 분리하여 객관적이고, 균일한 환경조건에서 질량측정이 가능하다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 비접촉 질량 측정장치의 블록선도,
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 비접촉 질량 측정장치의 사시도,
도 3은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 비접촉 질량 측정장치의 단면도,
도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 시료가 올려진 비접촉 질량 측정장치의 단면도이다.

본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 여기서 동일한 구성에 대해서는 동일부호를 사용하며, 반복되는 설명, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 본 발명의 실시형태는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 비접촉 질량 측정장치의 블록선도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 비접촉 질량 측정장치의 사시도이며, 도 3은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 비접촉 질량 측정장치의 단면도이고, 도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 시료가 올려진 비접촉 질량 측정장치의 단면도이다.

상기 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시 예에 따른 비접촉 질량 측정장치는 원주형상의 수직부(110)와, 상기 수직부(110)와 수직하도록 외측에 원형으로 돌출 형성된 수평부(120)를 포함하고, 강자성체로 이루어진 부상부재(100)와, 상기 부상부재(100)의 자중을 보상하는 흡인력을 축방향으로 제공하여 상기 부상부재(100)가 부상하도록 상기 수직부(110)의 상단과 그 상부에 이격하여 배치되는 한 쌍의 영구자석(201,202)과, 질량 측정을 위해 시료(10)가 거치되도록 상기 부상부재(100)의 상단 또는 하단에 형성되는 거치부재(300)와, 상기 수직부(110)의 주변을 감싸도록 상부와 하부에 각각 배치되고 축중심에 대해 방사상으로 흡인력을 제공하여 상기 부상부재(100)를 가이딩하는 수평전자석(400)과, 상기 수직부(110)의 중심이 상기 수평전자석(400)의 중심과 일치한 지 여부를 감지하는 축감지센서(910)와, 상기 수평부(120)의 상부와 하부에 나란히 배치되고, 상하 방향으로 흡인력을 제공하여 상기 부상부재(100)의 수직방향의 위치를 조절하는 환형의 수직전자석(500)과, 상기 수평부(120)가 상기 수직전자석(500)들 사이 중심에 위치했는지 여부를 감지하는 높이감지센서(920)와, 상기 높이감지센서(920)와 연결되어, 상기 수평부(120)가 상기 수직전자석(500)들 사이 중심에 위치하지 않았을 때, 원위치로 복귀하도록 수직전자석(500)으로 전류를 출력하는 제어부(930)와, 전류센서를 통해 상기 제어부(930)에서 출력된 전류값을 측정하고, 시료(10)의 질량을 환산하는 산출부(940)를 포함한다.

먼저, 상기 부상부재(100)는 강자성체로 이뤄지고, 원주형상의 수직부(110)와, 상기 수직부(110)의 외측에 수직하도록 원형으로 돌출 형성된 수평부(120)를 포함한다. 따라서, 상기 부상부재(100)는 ‘T’자형 또는 ‘十’자형을 취할 수 있으며, 영구자석(201,202)에 의해 자기부상(magnetic levitation)하여 수평전자석(400) 및 수직전자석(500)과 비접촉 상태를 유지할 수 있다. 시료(10)의 질량을 측정하기 위해 상기 부상부재(100)의 하단에 시료(10)를 매달거나, 부상부재(100)의 상단에 시료(10)를 올려놓을 경우 시료(10)의 중량에 의해 부상부재(100)는 하강하여 수직방향에 대해 변위가 발생한다.

영구자석(201,202)은 상기 부상부재(100)의 자중을 보상하는 흡인력을 축방향으로 제공함으로서 상기 부상부재(100)가 부상하도록 상기 수직부(110)의 상단과 그 상부에 이격하여 배치된다.

상기 영구자석(201)은 상기 부상부재(100)의 상단에 고정되고, 다른 하나의 영구자석(202)은 별도로 구비된 프레임(700)상에 고정될 수 있다. 상기 프레임(700)은 상기 영구자석(202)을 비롯하여, 수평전자석(400), 수직전자석(500) 및 센서들(910,920)이 고정될 수 있고, 내부 공간에는 상기 부상부재(100)가 수용될 수 있다. 한편, 상기 영구자석(201,202)은 흡인력 뿐 아니라 반발력을 발생하여 상기 부상부재(100)의 자중을 보상할 수 있다. 상기와 같이 반발력을 이용할 경우, 상기 영구자석은 상기 부상부재(100)의 하단과, 그 하부에 이격하여 배치될 수 있다.

거치부재(300)는 질량 측정을 위해 시료(10)가 거치되도록 상기 부상부재(100)의 상단 또는 하단에 형성된다. 즉, 상기 시료(10)를 부상부재(100)의 어디에 거치하냐에 따라 거치부재(300)의 형태가 결정될 수 있다. 일례로, 상기 거치부재(300)는 부상부재(100)의 하단에 연결되는 와이어(310) 및 상기 와이어(310)의 단부에 고정되는 거치대(320)를 포함할 수 있으며, 상기 거치대(320)에 시료(10)를 올려 질량을 측정할 수 있다. 상기와 같은 경우 영구자석(201,202)은 부상부재(100)뿐 아니라 거치부재(300)의 중량까지 보상할 수 있어야 한다.

수평전자석(400)은 링의 형태를 취할 수 있고, 상기 수직부(110)의 주변을 감싸도록 상부와 하부에 각각 배치되며 축중심에 대해 방사상으로 흡인력을 제공하여 상기 부상부재(100)가 기울지 않도록 지지한다. 때문에, 상기 수직부(110)의 표면과, 상기 수직부(110)와 마주하는 수평전자석(400)의 내측은 서로 다른 극을 형성하여 흡인력을 생성할 수 있다. 상기 수평전자석(400)의 작용으로 부상부재(100)는 전후좌우로 흔들림 없이 부상된 상태를 유지할 수 있고, 안정적인 승강동작이 이루어질 수 있다. 한편 상기 수평전자석(400)은 흡인력 뿐 아니라 반발력을 발생하여 상기 부상부재(100)가 흔들리지 않도록 가이드할 수 있다.

축감지센서(910)는 상기 수직부(110)의 중심이 상기 수평전자석(400)의 중심과 일치한 지 여부를 감지하는 방식으로 부상부재(100)의 기울어짐을 센싱한다. 따라서, 상기 축감지센서(910)가 상기 수직부(110)의 중심과 상기 수평전자석(400)의 중심이 어긋남을 감지할 경우, 중심을 바로 잡기 위해 제어부(930)에서 상기 수평전자석(400)의 코일로 전류를 출력해서 기울어진 반대방향의 흡인력을 높이도록 조절함에 따라, 수직부(110)의 중심과 수평전자석(400)의 중심이 일치하도록 제어할 수 있다. 상기와 같이 수직부(110)와 수평전자석(400)의 중심이 일치하게 되면, 시료(10)의 질량을 측정하는 과정에서 부상부재(100)가 회전하거나 기울어지면서 발생하는 비선형성에 의한 왜곡을 최소화할 수 있다.

수직전자석(500)은 상기 수평부(120)의 상부와 하부에 나란히 배치되고, 상하 방향으로 흡인력을 제공하여 상기 부상부재(100)의 수직방향의 위치를 조절한다. 상기 수직전자석(500)의 작용으로 부상부재(100)는 부상된 상태에서 흔들림 없이 승강할 수 있다. 즉, 상기 수평부(120)의 표면과, 상기 수평부(120)와 마주하는 수직전자석(500)의 일면은 서로 다른 극을 형성하여 흡인력을 생성한다. 한편 상기 수직전자석(500)은 흡인력 뿐 아니라 반발력을 발생하여 상기 부상부재(100)를 승강시킬 수 있다.

높이감지센서(920)는 상기 수평부(120)가 상기 수직전자석(500)들 사이 중심에 위치했는지 여부를 감지한다. 즉, 시료(10)의 질량측정을 위해 상기 부상부재(100)의 하단에 시료(10)를 매달거나 상단에 시료(10)를 올려놓을 경우 시료(10)의 중량에 의해 부상부재(100)가 하강할 때, 이 변위를 감지하는 것이다.

제어부(930)는 상기 높이감지센서(920)와 연결되어, 상기 수평부(120)가 상기 수직전자석(500)들 사이 중심에 위치하지 않았을 때, 원위치로 복귀하도록 수직전자석(500)으로 전류를 출력한다. 상기 부상부재(100)와 연결된 거치대(320)에 시료(10)가 올려지면, 상기 부상부재(100)는 하강하게 되고, 그 결과 수평부(120)는 수직전자석(500)들 사이 중심에서 하강한다. 상기 제어부(930)는 상기 부상부재(100)를 하강된 변위를 측정하여 수직전자석(500)의 코일에 전류를 출력하고 흡입력을 높여 수평부(120)를 원래 위치로 복귀시키는 궤환제어(feedback control)를 시행한다. 참고로, 상기 제어부(930)는 상기 코일로 전류를 출력할 수 있도록 별도의 전원공급수단(950)과 연결될 수 있으며, 상기 전원공급수단은 외부전원일 수 있다.

산출부(940)는 전류센서 등을 통해 상기 제어부(930)에서 궤환제어 시 출력된 전류값을 측정하고, 시료(10)의 질량을 환산한다. 제어부(930)를 통해 수직전자석(500)의 코일로 출력된 전류는 시료(10)의 질량과 직접적으로 관계가 있으므로, 전류 센서를 통해 소요된 전류를 측정하여 시료(10)의 질량을 환산할 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이 수직전자석(500)의 코일에 흐르는 전류는 시료(10)의 질량과 직접적 관계가 있으므로 질량 측정의 정밀도는 코일의 전류를 측정하는 전류센서에 의해 좌우된다고 할 수 있다. 따라서, 상기 전류센서는 높은 정밀도를 구비해야 할 필요가 있으며, 홀프로브 등을 이용할 수 있다. 또한, 상기 전류센서의 측정 정밀도 향상을 위해 전류증폭기를 추가로 배치할 수 있다.

상기 높이감지센서(920)와 제어부(930) 및 산출부(940)를 이용한 질량측정 과정을 설명하면 다음과 같다. 시료(10)의 질량을 측정할 때, 상기 시료(10)의 질량에 의해 부상부재(100)가 축 방향으로 하강하면 높이감지센서(920)가 이를 감지하고, 제어부(930)는 부상부재(100)가 원래 위치로 복귀하도록 수직전자석(500)의 코일에 전류를 출력하고, 전류센서를 통해 부상부재(100)를 상승시키는데 소요된 전류값을 측정한다. 산출부(940)에서는 상기 전류센서에서 측정된 전류값을 질량을 환산하여 시료(10)의 질량을 측정할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 수평전자석(400)은 중공의 가이드 링(410)과, 상기 가이드링(410)의 내측면에서 내측으로 돌출하여 연장되고, 방사형으로 배치된 코어(420)와, 상기 코어(420)에 권취되는 코일(430)을 포함할 수 있다. 상기와 같이 수직부(110)를 기준으로 방사형으로 배치된 코어(420) 및 코일(430)은 상기 수직부(110)에 대해 방사형으로 흡입력을 발생하도록 전류가 흐르고, 상기 방사형으로 고루 공급된 흡인력에 의해 상기 수직부(110)는 일직선을 유지하면서 부상상태를 유지하고, 수평부(120)의 승강을 가이딩할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 수직전자석(500)은 일측이 개구된 ‘ㄷ’자 형의 단면을 갖는 링부재(510)와, 상기 링부재(510)의 내측에 권취된 코일(520)을 포함하고, 상기 개구부가 상호 마주보도록 배치된다. 상기 링부재(510)는 ‘U’, ‘ㄷ’자와 같이 용기형태의 단면을 구비하고, 일측에 개구부를 형성한다. 이때, 상기 링부재(510) 자체가 코어로서 작용한다. 상기링부재(510)에 권취된 코일(520)의 전류 방향에 따라 수직전자석(500)의 극성은 달라질 수 있다. 이때, 상기 수직전자석(500)은 마주보는 면이 서로 다른 극을 형성하여 상호 근접한 수평부(120)에 대해 흡인력을 발생할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 부상부재(100)는 상기 수평부(120)가 수직부(110)의 중심부에 형성되어 십자형의 단면을 구비한다. 상기와 같이 부상부재(100)의 단면이 십자형을 취할 경우 부상부재(100)의 상단과 하단이 수평전자석(400)에 의해 가이딩되기 때문에 일직선을 유지하기 쉽고, 축방향으로 기울어짐을 보다 예민하게 감지할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 부상부재(100)와 전자석(400,500)들 사이에는 상기 부상부재(100)의 외형과 대응되고, 부상부재(100)와 소정의 간격을 형성하도록 부상부재(100)보다 큰 체적을 갖는 비자성체의 격리막(600)을 더 포함한다. 상기 격리막(600)의 배치로 시료(10)가 위치한 공간과 전자석(400,500)과의 공간적 분리가 가능함에 따라 보다 안정되고, 일정한 상태조건에서 질량측정이 이루어질 수 있다. 또한, 보다 객관적이고, 정확한 질량측정이 이루어 지도록 상기 격리막(600)의 내부는 진공의 상태를 유지하거나, 항온, 항습 시스템을 구축할 수 있으며, 별도의 가스(gas)를 충진한 상태에서 질량을 측정할 수 있다.

상기한 바와 같은 본 발명에 따르면, 자기부상에 의해 비접촉 방식으로 제한된 공간에서 기계적 접촉 없이 질량을 측정하기 때문에, 진동을 최소화하고 정밀한 질량 측정이 가능하다. 또한, 부상부재(100)가 기울어지지 않도록 가이딩하는 수단을 구현하여 시료(10)의 질량을 측정하는 과정에서 부상부재(100)가 회전하거나 기울어지면서 발생하는 비선형성에 의한 왜곡을 최소화할 수 있어, 보다 정확한 질량 측정이 가능한 장점이 있다.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

10 : 시료
100 : 부상부재
110 : 수직부
120 : 수평부
201,202 : 영구자석
300 : 거치부재
400 : 수평전자석
410 : 가이드링
420 : 코어
430 : 코일
500 : 수직전자석
510 : 링부재
520 : 코일
600 : 격리막
910 : 축감지센서
920 : 높이감지센서
930 : 제어부
940 : 산출부

Claims (5)

1. 원주형상의 수직부와, 상기 수직부의 외측에 수직하도록 원형으로 돌출 형성된 수평부를 포함하고, 강자성체로 이루어진 부상부재;
   상기 부상부재의 자중을 보상하는 흡인력을 축방향으로 제공하여 상기 부상부재가 부상하도록 상기 수직부의 상단과 그 상부에 이격하여 배치되는 한 쌍의 영구자석;
   질량 측정을 위해 시료가 거치되도록 상기 부상부재의 상단 또는 하단에 형성되는 거치부재;
   상기 수직부의 주변을 감싸도록 상부와 하부에 각각 배치되고 축중심에 대해방사상으로 흡인력을 제공하여 상기 부상부재를 가이딩하는 수평전자석;
   상기 수직부의 중심이 상기 수평전자석의 중심과 일치한 지 여부를 감지하는 축감지센서;
   상기 수평부의 상부와 하부에 나란히 배치되고, 상하 방향으로 흡인력을 제공하여 상기 부상부재의 수직방향의 위치를 조절하는 환형의 수직전자석;
   상기 수평부가 상기 수직전자석들 사이 중심에 위치했는지 여부를 감지하는 높이감지센서;
   상기 높이감지센서와 연결되어, 상기 수평부가 상기 수직전자석들 사이 중심에 위치하지 않았을 때, 원위치로 복귀하도록 수직전자석으로 전류를 출력하는 제어부;
   전류센서를 통해 상기 제어부에서 출력된 전류값을 측정하고, 시료의 질량을 환산하는 산출부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 질량 측정장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 수평전자석은
   중공의 가이드 링;
   상기 가이드링의 내측면에서 내측으로 돌출하여 연장되고, 방사형으로 배치된 코어;
   상기 코어에 권취되는 코일;을 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 질량 측정장치.
3. 제 1항에 있어서, 상기 수직전자석은
   일측이 개구된 ‘ㄷ’자 형의 단면을 갖는 링부재;
   상기 링부재의 내측에 권취된 코일;을 포함하고, 상기 개구부가 상호 마주보도록 배치된 것을 특징으로 하는 비접촉 질량 측정장치.
4. 제 1항에 있어서,
   상기 부상부재는 상기 수평부가 수직부의 중심부에 형성되어 십자형의 단면을 구비한 것을 특징으로 하는 비접촉 질량 측정장치.
5. 제 1항에 있어서,
   상기 부상부재와 전자석들 사이에는 상기 부상부재의 형상과 대응되고, 부상부재와 소정의 간격을 형성하도록 부상부재보다 큰 체적을 갖는 비자성체의 격리막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 질량 측정장치.

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