KR101361497B1 - 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치 및 자세변환장치 - Google Patents

테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치 및 자세변환장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치 및 자세변환장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 언로딩 부근에서 캐리어보드를 이송하기 위한 이송장치를 자세변환장치에 일체로 결합하여 구성시킬 수 있기 때문에, 언로딩 공간에 존재하는 각종 장치에 대한 설계의 자유도가 증가하는 이점이 있다.
테스트핸들러, 핸들러, 이송장치, 자세변환장치

Description

테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치 및 자세변환장치{CARRIER BOARD TRANSFER AND ROTATOR FOR TEST HANDLER}
본 발명은 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치 및 자세변환장치에 관한 것으로, 특히 캐리어보드에 적재된 반도체소자를 언로딩하는 경우에 적용될 수 있는 기술에 관한 것이다.
전자부품(특히, 반도체소자)의 테스트를 위해서는 전기적으로 연결된 전자부품을 테스트하는 테스터(TESTER)와 테스터에 전자부품을 전기적으로 연결시키기 위한 장비인 테스트핸들러(TEST HANDLER)가 필요하다.
테스트핸들러에서는 처리 용량을 늘리기 위해 다수의 반도체소자를 행렬 형태로 적재한 상태에서 한꺼번에 운반하기 위한 캐리어보드가 사용된다. 그리고 반도체소자는 캐리어보드(CARRIER BOARD)에 적재된 상태에서 테스터의 테스트소켓(TEST SOCKET)에 전기적으로 접속되고 테스트된다.
한편, 테스트핸들러로 테스트될 반도체소자의 공급은 고객트레이(USER TRAY)에 적재된 상태로 이루어진다.
따라서 테스트핸들러에는 고객트레이에 적재된 미테스트된 반도체소자들을 캐리어보드로 이동시키거나 캐리어보드에 적재된 테스트 완료된 반도체소자를 고객트레이로 이동시키기 위한 픽앤플레이스장치(PICK AND PLACE APPARATUS)가 구성되어야 한다.
도1은 종래의 일 예에 따른 테스트핸들러에 대한 개념적인 평면도를 도시한 것으로서 이를 참조하여 더 구체적으로 설명한다.
도1에 따른 종래의 테스트핸들러(TH)는, 캐리어보드(CB), 로딩용 픽앤플레이스장치(LH), 한 벌의 소팅 테이블(STa, STb), 소팅용 픽앤플레이스장치(SHa, SHb), 언로딩용 픽앤플레이스장치(UH) 등을 포함하여 구성된다.
캐리어보드(CB)는 로딩위치(LP)에서 테스트위치(TP) 및 언로딩위치(UP)를 거쳐 다시 로딩위치(LP)로 이어지는 순환경로(C) 상을 순환한다.
로딩용 픽앤플레이스장치(LH)는, 로더 등으로도 불리며, 고객트레이(CT1)에 적재되어 있는 반도체소자를 로딩위치(LP)에 있는 캐리어보드(CB)로 로딩(loading)시킨다.
한 벌의 소팅 테이블(STa, STb) 각각은, 전후 방향으로 스텝 왕복 운동이 가능하며, 다수의 반도체소자를 행렬 형태로 적재시키기 위해 구비된다.
소팅용 픽앤플레이스장치(SHa, SHb)는, 소터 등으로도 불리며, 언로딩위치(UP)에 있는 캐리어보드(CB)에 적재된 테스트 완료된 반도체소자를 소팅 테이블(STa, STb)로 이동 적재시킨다. 이러한 소팅용 픽앤플레이스장치(SHa, SHb)는 기동성을 위한 경량화 또는 언로딩용 픽앤플레이스장치(UH)와의 동작 간섭 제거 등의 목적으로 좌우 방향으로만 이동 가능하게 구비되며, 이를 보충하기 위해 상기한 소팅 테이블(STa, STb)이 전후 스텝 왕복 운동하도록 되어 있다.
언로딩용 픽앤플레이스장치(UH)는, 언로더 등으로도 불리며, 소팅 테이블(STa, STb)에 적재되어 있는 반도체소자를 빈 고객트레이(CT2)로 이동 적재시킨다.
즉, 위에서 예를 든 테스트핸들러(TH)에서는 언로딩(unloading)의 신속성을 담보하기 위해서 로딩 측과는 달리 소팅용 픽앤플레이스장치(SH), 소팅 테이블(STa, STb) 및 언로딩용 픽앤플레이스장치(UH)로 세분화하고 각각이 분업하여 언로딩작업을 수행할 수 있도록 하고 있다.
계속하여 본 발명과 관련된 부분에 대하여 더 구체적으로 설명한다.
소팅용 픽앤플레이스장치(SHa, SHb)는, 도2에서 참조되는 바와 같이, 8×4 행렬 형태(좌우축 방향으로 8, 전후 방향으로 4)로 배열된 픽커(P, 픽커 1개당 1개의 반도체소자를 파지할 수 있음)를 가진다. 이에 반하여 캐리어보드(CB)는 도3에서 참조되는 바와 같이 16×16 행렬 형태(좌우 방향으로 16, 전후 방향으로 16)로 반도체소자가 적재된다. 따라서 좌우 방향으로만 이동하는 소팅용 픽앤플레이스장치(SHa, SHb)만에 의해서는 캐리어보드(CB)의 전체 면적에 걸친 반도체소자를 언로딩하기가 곤란하다. 이러한 점을 해결하기 위해, 도4a 및 도4b에 도시된 바와 같이, 캐리어보드(CB)를 2단계에 걸쳐 순차적으로 이송시키는 기술적 방법을 사용하고 있다. 즉, 도4a와 같은 1단계 이송시에 2개의 소팅용 픽앤플레이스장치(SHa, SHb)에 의해 앞 측의 16×8개의 반도체소자를 언로딩한 후, 도4b와 같은 2단계 이송 시에 나머지 뒤 측의 16×8개의 반도체소자를 언로딩하도록 하고 있는 것이다.
위와 같이 도4a 및 도4b와 같은 방법을 적용하는 경우에는 캐리어보드(CB)를 적어도 2회 이상의 단계에 걸쳐서 순차적으로 이송시키기 위한 별도의 캐리어보드 이송장치가 테스트핸들러에 구성되어야 한다. 그러한 일예로 대한민국 공개특허 10-2008-8661호(발명의 명칭 : 테스트핸들러, 이하 ‘종래기술’이라 함)를 통해 제시된 기술 등이 있다.
종래기술은, 도5에서 참조되는 바와 같이, 디소크챔버(DC)에서 반출된 캐리어보드(CB)를 로딩위치(LP)로 단계적으로 이송시키는 경로(C1) 상에서 반도체소자를 언로딩시키는 기술이기 때문에 별도의 캐리어보드 이송장치를 구성하는 것에 대하여 그다지 커다란 공간적 제약은 없다.
그러나 도1에서 참조되는 바와 같이 디소크챔버(DC)의 전방에서 반도체소자를 언로딩시키는 기술이 적용된 테스트핸들러에서는, 앞서 살펴본 바와 같이 소팅 테이블(STa, STb), 소팅용 픽앤플레이스장치(SHa, SHb), 언로딩용 픽앤플레이스장치(UH) 등과 같은 다수의 장치가 언로딩 공간에 모두 구성되어야 하기 때문에 각 장치간의 간섭을 회피하여 캐리어보드(CB)를 2회 이상의 다단계로 이송시키기 위한 별도의 캐리어보드 이송장치를 설계하기가 많이 곤란하다. 그리고 별도의 캐리어보드 이송장치의 설계는 캐리어보드의 이송이 1회에 이루어지도록 구성되어질 경우(이러할 경우에는 소팅용 픽앤플레이스장치가 전후 및 좌우 방향으로 모두 이동 가 능하도록 구비되어야 할 것이다)에도 다단계 이송의 경우보다는 다소 떨어지지만 그 곤란함은 여전히 있다.
특히, 사이드도킹식 테스트핸들러(캐리어보드를 수직으로 세운 상태에서 반도체소자의 테스트가 이루어지는 방식의 테스트핸들러)에서는 소팅 테이블, 소팅용 픽앤플레이스장치, 언로딩용 픽앤플레이스장치의 후방으로 수직 상태의 캐리어보드를 수평 상태로 자세변환시키기 위한 자세변환장치가 더 구성되어야 하기 때문에 그 공간적 제약은 더욱 크다.
본 발명은 자세변환장치에 일체로 구성되기에 적합한 캐리어보드 이송장치 및 이송장치가 일체로 결합되어 있는 자세변환장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치는, 캐리어보드를 파지하여 제1 행정거리만큼 이송시킬 수 있는 제1 파지기구; 상기 제1 파지기구가 캐리어보드를 파지하거나 파지 해제할 수 있도록 하는 동력을 제공하는 제1 파지구동장치; 상기 제1 파지기구에 의해 제1 행정거리만큼 이송된 캐리어보드를 파지하여 제2 행정거리만큼 다시 이송시킬 수 있으며, 캐리어보드의 이송 방향 측으로 상기 제1 파지기구와 일정 거리 이격되게 구비되는 제2 파지기구; 상기 제2 파지기구가 캐리어보드를 파지하거나 파지 해제할 수 있도록 하는 동력을 제공하는 제2 파지구동장치; 상기 제1 파지기구와 제2 파지기구가 결합되는 결합기; 및 상기 결합기를 캐리어보드의 이송 방향으로 이동시킴으로써 상기 결합기에 결합된 상기 제1 파지기구 및 제2 파지기구를 캐리어보드의 이송 방향으로 이송시켜 궁극적으로 상기 제1 파지기구 또는 제2 파지기구에 의해 파지된 캐리어보드를 이송시키는 동력을 제공하는 이송구동장치; 를 포함한다.
상기 제1 파지구동장치와 제2 파지구동장치는 캐리어보드를 파지하거나 파지 해제할 때에는 독립적으로 작동을 하고, 상기 제1 파지기구와 상기 제2 파지기구는 상기 제1 파지구동장치 및 제2 파지구동장치의 동작에 관계없이 상기 결합기의 전후진시 같이 움직이도록 되어 있다.
상기 제1 파지기구 또는 제2 파지기구는, 캐리어보드를 파지하기 위한 파지핀을 가지며, 상기 파지핀에 의해 캐리어보드를 파지하거나 파지 해제할 수 있는 작동거리만큼 진퇴 가능하게 상기 결합기에 결합되고, 상기 제1 파지구동장치 또는 제2 파지구동장치는, 상기 제1 파지기구 또는 제2 파지기구를 작동거리만큼 진퇴시키기 위한 동력을 제공하는 파지구동원; 및 상기 파지구동원에 의해 제공되는 동력을 상기 제1 파지기구 또는 제2 파지기구로 전달하는 동력전달기; 를 포함한다. 상기 동력전달기는, 캐리어보드의 이송방향으로 긴 안내홈이 형성되어 있고, 상기 파지구동원의 작동에 따라 작동거리만큼 진퇴되며, 상기 제1 파지기구 또는 제2 파지기구는 상기 안내홈에 삽입되는 삽입부분을 가짐으로써 상기 동력전달기에 의해 이동이 안내되면서도 상기 파지구동원의 작동에 따른 상기 동력전달기의 진퇴에 연동하여 작동거리만큼 진퇴될 수 있도록 되어 있다.
상기 이송구동장치는, 상기 결합기를 캐리어보드의 이송방향으로 이동시키기 위한 동력을 제공하는 모터; 및 상기 모터의 동력을 상기 결합기에 전달하는 동력전달장치; 를 포함하고, 상기 동력전달장치는, 상기 모터의 회전축에 결합되어 회전하는 구동풀리; 상기 구동풀리와 제1 간격만큼 이격 되게 구비되는 종동풀리; 상기 구동풀리와 종동풀리를 회전 반환점으로 하여 회전하는 구동벨트; 상기 종동풀리에 연동하여 회전하는 제1 풀리; 상기 제1 풀리와 제2 간격(제2 간격 > 제1 간격)만큼 캐리어보드의 이송 방향 측으로 이격되게 구비되는 제2 풀리; 및 상기 제1 풀리와 제2 풀리를 회전 반환점으로 하여 회전하는 전달벨트; 를 포함한다.
상기 제1 행정거리와 상기 일정 거리는 동일하다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러용 자세변환장치는, 캐리어보드의 양 단을 파지할 수 있는 파지대; 상기 파지대를 수평 상태 또는 수직 상태로 선택적으로 자세변환시키는 구동장치; 및 상기 파지대에 파지된 캐리어보드를 이송시키기 위해 상기 파지대에 설치되는 이송장치; 를 포함하고, 상기 파지대는 상기 파지대에 캐리어보드가 파지되었을 시에 파지된 캐리어보드의 하 측에 있는 설치판을 구비하며, 상기 이송장치는 상기 설치판에 설치된다.
상기 이송장치는 상기 파지대에 파지된 캐리어보드를 적어도 2회 이상의 단계를 거쳐 순차적으로 이송시키도록 구성된다.
상기 이송장치는 전술한 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치이다.
본 발명에 따른 캐리어보드 이송장치는 자세변환장치에 일체로 구성될 수 있기 때문에 언로딩 공간에 별도의 캐리어보드 이송장치를 구성하지 않아도 되므로 언로딩 공간상에 존재하여야 하는 각종 장치에 대한 설계의 자유도가 증가하는 이점이 있다.
본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하되, 설명의 간결함을 위해 중복되는 설명이나 주지한 기술에 대한 설명은 가급적 생략하거나 압축하기로 한다.
< 캐리어보드 이송장치에 대한 설명>
도6은 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치(600, 이하 ‘이송장치’로 약칭 함)에 대한 사시도이고, 도7은 도6의 이송장치(600)의 주요 구성 중 일부를 분해한 일부 분해사시도이다.
이송장치는, 도6 및 도7에서 참조되는 바와 같이, 제1 파지기구(610), 제1 파지구동장치(620), 제2 파지기구(630), 제2 파지구동장치(640), 결합기(650) 및 이송구동장치(660) 등을 포함하여 구성된다.
제1 파지기구(610)는, 파지핀(611), 삽입부분(612) 및 가이드돌기(613a, 613b)을 가지며, 결합기(650)의 후 측 부분에 작동거리만큼 승강 가능하게 결합된다. 여기서 작동거리는 제1 파지기구(610)가 상측으로 전진 상승하였을 시에는 캐리어보드에 형성된 파지홈에 파지핀(611)이 삽입될 수 있고, 제1 파지기구(610)가 하측으로 후퇴 하강하였을 시에는 캐리어보드에 형성된 파지홈으로부터 파지핀(611)이 이탈될 수 있는 거리로 정의된다.
파지핀(611)은 제1 파지기구(610)의 후단 부분에 상방향으로 돌출되게 형성되어 있어서, 캐리어보드의 파지홈에 삽입되거나 이탈될 수 있는 형상을 가진다.
삽입부분(612)은, 우측으로 돌출되어 있으며, 베어링(612a)이 구비되어 있다.
가이드돌기(613a, 613b)는 결합기(650)의 가이드구멍(h11, h12)에 삽입됨으로 써 제1 파지기구(610)의 승강을 안내함과 동시에 제1 파지기구(610)가 결합기(650)에 결합될 수 있게 한다.
제1 파지구동장치(620)는, 제1 파지기구(610)를 승강시키기 위한 것으로서, 실린더(621) 및 동력전달기(622)를 포함한다.
실린더(621)는 동력전달기(622)를 승강시키는데 필요한 동력을 제공하는 파지구동원으로서 구비된다.
동력전달기(622)는, 긴 바(bar) 형태로서 캐리어보드의 이송방향(즉, 후방에서 전방으로 향하는 방향)으로 긴 안내홈(622a)이 좌측 방향으로 개방되게 형성되어 있고, 실린더(621)의 작동에 따라 작동거리만큼 승강하게 된다.
한편, 제1 파지기구(610)의 삽입부분(612)은 동력전달기(622)의 안내홈(622a)에 삽입되어 있어서, 이에 의해 제1 파지기구(610)가 동력전달기(622)의 안내를 받으면서 전후 방향으로 이동되며 동력전달기(622)의 승강에 연동하여 동일한 작동거리만큼 승강될 수 있게 된다.
제2 파지기구(630)는, 캐리어보드의 이송 방향인 전후 방향으로 제1 파지기구(610)와 나란히 일정 거리 이격되게 배치되는데, 마찬가지로 파지핀(631), 삽입부분(632) 및 가이드돌기(633a, 633b)을 가지며 결합기(650)의 앞 측 부분에 작동거리만큼 승강 가능하게 결합된다. 여기서 작동거리는 제2 파지기구(630)가 상측으로 전진 승강하였을 시에는 캐리어보드에 형성된 파지홈에 파지핀(631)이 삽입될 수 있고, 제2 파지기구(630)가 하측으로 후퇴 하강하였을 시에는 캐리어보드에 형성된 파지홈으로부터 파지핀(631)이 이탈될 수 있는 거리로 정의된다.
파지핀(631)은 제2 파지기구(630)의 후단 부분에 상방향으로 돌출되게 형성되어 있어서, 캐리어보드의 파지홈에 삽입되거나 이탈될 수 있는 형상을 가진다.
삽입부분(632)은, 좌측으로 돌출되어 있으며, 베어링(632a)이 구비되어 있다.
가이드돌기(633a, 633b)는, 결합기(650)의 가이드구멍(h21, h22)에 삽입됨으로써 제2 파지기구(630)의 승강을 안내함과 동시에 제2 파지기구(630)가 결합기(650)에 결합될 수 있게 한다.
제2 파지구동장치(640)는, 제2 파지기구(630)를 승강시키기 위한 것으로서, 실린더(641) 및 동력전달기(642)를 포함한다.
실린더(641)는 동력전달기(642)를 승강시키는데 필요한 동력을 제공하는 파지구동원으로서 구비된다.
동력전달기(642)는, 긴 바(bar) 형태로서 캐리어보드의 이송방향(즉, 후방에서 전방으로 향하는 방향)으로 긴 안내홈(642a)이 좌측 방향으로 개방되게 형성되어 있고, 실린더(641)의 작동에 따라 작동거리만큼 승강하게 된다.
한편, 제2 파지기구(630)의 삽입부분(632)은 동력전달기(642)의 안내홈(642a)에 삽입되어 있어서, 이에 의해 제2 파지기구(630)가 동력전달기(642)의 안내를 받으면서 전후 방향으로 이동되며 동력전달기(642)의 승강에 연동하여 동일한 작동거리만큼 승강될 수 있게 된다.
그리고 제1 파지기구(610) 및 제2 파지기구(630)가 전후 방향으로 이동될 때에는 삽입부분(612, 632)의 베어링(612a, 632a)이 삽입홈(622a, 642a)과의 마찰력 을 최소화시키는 역할을 수행한다.
결합기(650)에는, 그 좌측으로 전술한 바와 같이 제1 파지기구(610) 및 제2 파지기구(620)가 각각 승강 가능하게 결합되어 있고, 그 우측은 후술하는 바와 같이 이송구동장치(660)의 전달벨트(662f)에 결합된다. 이러한 결합기(650)는 그 하부에 2개의 LM블록(651, 652)을 가짐으로써 전후 방향으로 길게 구비되는 LM가이드(670)에 의해 전후 방향으로의 이동이 안내되도록 되어 있다.
이송구동장치(660)는, 결합기(650)를 전후 방향으로 이동시킴으로써 궁극적으로 제1 파지기구(610) 및 제2 파지기구(630)를 전후 방향으로 이동시키기 위한 구동력을 제공하기 위해 마련되는 것으로, 모터(661) 및 동력전달장치(662) 등을 포함하여 구성된다.
모터(661)는 구동력을 발생시키기 위한 구동원으로서 마련된다.
동력전달장치(662)는, 모터(661)로부터 발생한 회전 구동력을 결합기(650)에 전후 이동력으로 변환하여 전달하기 위해 마련되는 것으로, 구동풀리(662a), 종동풀리(662b), 구동벨트(662c), 제1 풀리(662d), 제2 풀리(662e) 및 전달벨트(662f) 등을 포함하여 구성된다.
구동풀리(662a)는 모터(661)의 회전축(661a)에 결합되어 모터(661)의 작동에 따라 회전한다.
종동풀리(662b)는, 구동풀리(662a)의 후 측으로, 구동풀리(662a)와 제1 간격(L1)만큼 이격되게 구비된다.
구동벨트(662c)는 구동풀리(662a)와 종동풀리(662b)를 회전 반환점으로 하여 회전한다.
제1 풀리(662d)는, 종동풀리(662b)의 좌측 방향으로 나란히 구비되며, 종동풀리(662b)의 회전에 연동하여 함께 회전한다.
제2 풀리(662e)는 제1 풀리(662d)의 앞 측으로 제1 풀리(662d)와 제2 간격(L2, L2 > L1)만큼 이격되게 구비된다.
전달벨트(662f)는 제1 풀리(662d)와 제2 풀리(662e)를 회전 반환점으로 하여 회전한다. 그리고 이러한 전달벨트(662f)에는 전술한 바와 같이 결합기(650)의 우측 부분이 결합되어 있다.
따라서 모터(661)가 정역 작동하게 되면, 구동벨트(662c)가 구동풀리(662a) 및 종동풀리(662b)를 회전 반환점으로 하여 회전하게 되고, 이에 연동하여 전달벨트(662f)가 제1 풀리(662d) 및 제2 풀리(662e)를 회전 반환점으로 하여 회전하게 됨으로써 전달벨트(662f)에 결합된 결합기(650)가 전후 방향으로 이동하게 된다. 그리고 결합기(650)의 전후 방향으로의 이동에 연동하여 제1 파지기구(610) 및 제2 파지기구(630)가 전후 방향으로 이동하게 된다.
즉, 후술하는 바와 같이 모터(661)의 설치 위치로 인하여, 결합기(650)가 결합된 전달벨트(662f)는 제1 풀리(662d) 와 제2풀리 (662e)의 간격인 제2간격(L2) 사이를 왕복운동 할 때, 전달벨트(662f)가 제 1풀리(662d)와 제2풀리 (662e)사이를 왕복운동 할 수 있도록 하기 위하여 구동풀리(662a)와 종동풀리(662b) 사이 (제1간 격 : L1)에 이격되어 설치된 구동벨트(662c)는 결합기가 원하는 위치에 도달할 때 까지 계속하여 한 방향으로 회전하여 결합기가 제2간격(L2) 사이를 왕복하게 하는 것이다.
만약 제 2간격(L2)이 제1간격(L1)의 2배일 경우, 결합기가 제2간격(L2) 사이를 이동할 경우, 구동벨트(662c)는 완전히 1회전을 함으로써, 제2간격(L2)의 거리를 확보할 수 있는 것이다.
계속하여 상기한 바와 같은 이송장치(600)의 작동에 대하여 설명한다.
캐리어보드(CB)가 도8과 같은 상태로 위치되면 제1 파지구동장치(620)가 작동하여 제1 파지기구(610)를 상승시킴으로써, 도9에서 참조되는 바와 같이, 파지핀(611)이 캐리어보드(CB)의 파지홈(S)에 삽입되게 한다. 도9와 같은 상태에서 이송구동장치(660)가 작동하여 결합기(650)를 전방향으로 이동시킴으로써, 도10에서 참조되는 바와 같이, 제1 행정거리(R1)만큼 전진 이동(결합기의 이동은 결합기에 결합된 제1 파지기구 및 제2 파지기구의 이동을 수반함)시킴으로써 캐리어보드(CB)를 전방향으로 제1 행정거리(R1)만큼 이동시킨다. 도10과 같은 상태에서 소팅용 픽앤플레이스장치에 의해서 캐리어보드(CB)의 앞 측 부분에 있는 반도체소자들의 언로딩이 완료되면, 제1 파지구동장치(620)가 역작동하여 제1 파지기구(610)를 하강시킴으로써 제1 파지기구(610)에 의한 캐리어보드(CB)의 파지상태를 해제한 후 이송구동장치(660)가 역작동하여 결합기(650)를 제1 행정거리(R1)만큼 후퇴 이동시켜 도11 과 같은 상태로 되게 한다.
이때 제1파지기구(610)가 상승하여 캐리어보드를 제1 행정거리(R1)만큼 이동시킬 때, 그림 10에서 보는 바와 같이 제2 파지기구(630)도 제1 파지기구(610)가 이동한 동일한 거리를 이동한다. 그 이유는 제1 파지기구(610)와 제2 파지기구(630)가 하나의 결합기(650)에 결합되어 있기 때문에 제1 파지기구(610) 혹은 제2 파지기구(630)를 원하는 행정거리(R1 또는 R2)만큼 이동시킬 때 제1 파지기구(610)와 제2 파지기구(630)는 같이 움직이는 것이다. 그러나 제1 파지기구(610)와 제2 파지기구(630)를 제1 파지구동장치(620)와 제2 파지구동장치(640)는 개별적으로 작동하기 때문에 상기와 같이 제1 파지기구(610)가 상승하여 캐리어보드(CB)를 이송시킬 때, 제2 파지기구(630)는 상승하지 않고 가만히 있기 때문에 제1 파지기구(610)와 같이 이동을 하여도 제2 파지기구(630)와 캐리어보드(CB) 간의 간섭이 발생하지 않는 것이다.
즉, 캐리어보드(CB)를 전방향으로 이동시킬 때에는 제1 파지기구(610) 또는 제2 파지기구(630)가 선택적으로 상승하여 캐리어보드(CB)를 전진시키며, 제 1파지기구(610) 및 제2 파지기구(630)를 후퇴시킬 때에는 제1 파지기구(610)와 제2 파지기구(630)가 모두 하강하여 제1 파지기구(610)와 제2 파지기구(630)가 캐리어보드(CB)와 간섭을 일으키지 않은 상태에서 후퇴시키는 것이다.
도11과 같은 상태에서 제2 파지구동장치(640)가 작동하여 제2 파지기구(630)를 상승시킴으로써, 도12에서 참조되는 바와 같이, 파지핀(631)이 캐리어보드(CB) 의 파지홈(S)에 삽입되게 한다. 도12와 같은 상태에서 이송구동장치(660)가 작동하여, 도13에서 참조되는 바와 같이, 결합기(650)를 전방향으로 제2 행정거리(R2)만큼 전진 이동시킴으로써 캐리어보드(CB)를 전방향으로 제2 행정거리(R2)만큼 이송시킨다. 이러한 작동과정을 통해 캐리어보드(CB)는 2단계에 걸쳐 전진 이송이 완료된다. 물론, 캐리어보드(CB)가 제2 행정거리(R2)만큼 이송된 상태가 되면, 소팅용 픽앤플레이스장치가 캐리어보드(CB)의 후 측 부분에 있는 나머지 절반의 반도체소자들을 언로딩하게 된다.
한편, 제1 파지기구(610)의 파지핀(611)이 캐리어보드(CB)의 파지홈(S)에 삽입된 상태에서 제1 행정거리(R1)만큼 캐리어보드(CB)가 이송된 후 결합기(650)가 후 측으로 후퇴하게 되면 제2 파지기구(630)의 파지핀(631)이 캐리어보드(CB)의 파지홈(S)에 삽입될 수 있는 위치가 되어야 하므로, 제1 파지기구(610)와 제2 파지기구(630)의 이격 거리(더 구체적으로는 제1 파지기구의 파지핀과 제2 파지기구의 파지핀 간의 이격 거리)는 제1 행정거리(R1)와 동일한 R1인 것이 바람직하다. 또한, 본 실시예에서는 제1 행정거리와 제2 행정거리가 동일한 것으로 되어 있지만 실시하기에 따라서 서로 다르게 구현하는 것도 충분히 고려될 수 있다.
<자세변환장치에 대한 설명>
상기한 이송장치(600)는, 도14에서 참조되는 바와 같이, 자세변환장치(1600) 에 결합 설치된다.
자세변환장치(1600)는, 파지대(400), 자세변환실린더(500) 및 이송장치(600) 등을 포함하여 구성된다.
파지대(400)는, 설치판(410), 한 쌍의 안내레일(421, 422) 및 회전축 블록(423) 등을 포함한다.
설치판(410)은, 자세변환장치(1600)의 밑판을 이루며, 상기한 이송장치(600)가 설치된다. 이송장치(600)의 구성 중 제1 파지기구(610) 및 제2 파지기구(630)는 설치판(410)의 좌우 방향으로의 중단 부근에 전후 방향으로 이동될 수 있도록 설치되고, 모터(661)는 제1 파지기구(610) 및 제2 파지기구(630)의 우측이면서 전후 방향으로의 중단 부근에 설치된다.
한 쌍의 안내레일(421, 422)은 파지대(400)에 파지되는 캐리어보드의 양단을 파지함과 동시에 캐리어보드의 적절한 진입 및 진출을 안내한다.
회전축 블록(423)은, 자세변환실린더(500)의 작동에 따라 파지대(400)가 수직 상태 또는 수평 상태로 자세를 변환할 시에 이루어지는 회전의 중심을 제공하는 회전축(423a)을 가진다.
자세변환실린더(500)는 파지대(400)의 자세변환에 필요한 회전구동력을 제공하기 위한 구동장치로서 마련된다.
이송장치(600)에 대한 설명은 전술하였으므로 생략한다.
단, 이송장치(600)의 제1 파지기구(610) 및 제2 파지기구(630)는 후술하는 바와 같이 캐리어보드(CB)가 디소크챔버(DC)에서 파지대(400)의 한 쌍의 안내레 일(421, 422)로 이송될 경우, 캐리어보드(CB)의 진입에 방해가 되지 않도록 하기 위하여, 한 쌍의 안내레일(421, 422)에 진입된 캐리어보드(CB) 하면보다 낮은 위치에 설치되어야 한다.
한편, 이송장치(600)에 구성되는 모터(661)의 설치 위치와 관련하여 보충적인 설명을 계속한다.
자세변환장치(1600)는, 도15a 및 도15b의 개념적인 참조도에서와 같이, 디소크챔버(DC)의 상측 부분에 위치하는데, 도15a와 같이 파지대(400)가 수직인 상태에서 디소크챔버(DC)로부터 수직 상태로 상승하여 나오는 캐리어보드(CB)를 파지한 후 도15b에서와 같이 수평 상태로 자세변환 되어 지게 된다.
그런데, 도16에서 참조되는 바와 같이, 이송장치의 모터(661A)가 설치판(410)의 앞 측 부분에 설치되면, 캐리어보드 이송 거리의 확보를 위해 모터(661A)가 파지대(400A)보다 앞 측으로 더 돌출되어지기 때문에 디소크챔버(DC)의 상측 부분의 벽면과 모터(661A)의 간섭으로 인하여 파지대(400A)가 올바른 수직 상태로 자세변환 되기 어렵다(이러한 점은 설계상의 곤란함을 유발한다). 또한, 도17에서 참조되는 바와 같이 이송장치의 모터(661B)가 설치판의 후 측 부분에 설치되면, 모터(661B)가 캐리어보드 이송거리의 확보를 위해 파지대(400B)보다 후 측 방향으로 더 돌출되어지기 때문에 상측의 타 기구물들과의 간섭으로 인하여 올바른 수직 상태가 되기 어렵다(이러한 점도 설계상의 곤란함을 유발한다). 따라서 본 실시예에서처럼 모터(661)를 설치판(410)의 전후 방향으로의 중앙 부근에 설치하는 것이 바람직하다. 그러나 이러한 경우 구동벨트(662c)의 길이가 제약될 수밖에는 없어서 구동벨트(662c) 하나만으로 캐리어보드(CB)의 전체 이송거리를 담보하기가 곤란하다. 따라서 본 실시예서는 별도의 전달벨트(662f)를 더 구성시킴으로써 전달벨트(662f)에 의해 캐리어보드(CB)의 이송 거리(제1 행정거리 + 제2 행정거리)를 확보시키고 있다. 이러한 이유로 하여 전술한 바와 같이 제2 간격(L2)이 제1 간격(L1)보다 길게 구성되는 것이다.
이상과 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예를 통해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
도1 내지 도5는 종래의 일반적인 테스트핸들러의 설명을 위한 참조도이다.
도6은 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치에 대한 사시도이다.
도7은 도6의 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치에 대한 일부 분해 사시도이다.
도8 내지 도13은 도6의 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치에 대한 작동 상태도이다.
도14는 도6의 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치가 적용된 본 발명의 실시예에 따른 자세변환장치에 대한 사시도이다.
도15a 내지 도17은 도14에서 이송장치에 구성되는 모터의 설치 위치의 부차적인 설명을 위한 참조도이다.
*도면의 주요 부위에 대한 부호의 설명*
1600 : 자세변환장치
400 : 파지대
500 : 자세변환실린더
600 : 이송장치
610 : 제1 파지기구
611 : 파지핀
620 : 제1 파지구동장치
621 : 실린더 622 : 동력전달기
630 : 제2 파지기구
631 : 파지핀
640 : 제2 파지구동장치
641 : 실린더 642 : 동력전달기
650 :결합기
660 : 이송구동장치
661 : 모터
662 : 동력전달장치
662a : 구동풀리 662b : 종동풀리
662c : 구동벨트 662d : 제1 풀리
662e : 제2 풀리 662f : 전달벨트

Claims (9)

  1. 캐리어보드를 파지하여 제1 행정거리만큼 이송시킬 수 있는 제1 파지기구;
    상기 제1 파지기구가 캐리어보드를 파지하거나 파지 해제할 수 있도록 하는 동력을 제공하는 제1 파지구동장치;
    상기 제1 파지기구에 의해 제1 행정거리만큼 이송된 캐리어보드를 파지하여 제2 행정거리만큼 다시 이송시킬 수 있으며, 캐리어보드의 이송 방향 측으로 상기 제1 파지기구와 일정 거리 이격되게 구비되는 제2 파지기구;
    상기 제2 파지기구가 캐리어보드를 파지하거나 파지 해제할 수 있도록 하는 동력을 제공하는 제2 파지구동장치;
    상기 제1 파지기구와 제2 파지기구가 결합되는 결합기; 및
    상기 결합기를 캐리어보드의 이송 방향으로 이동시킴으로써 상기 결합기에 결합된 상기 제1 파지기구 및 제2 파지기구를 캐리어보드의 이송 방향으로 이송시킴으로써 상기 제1 파지기구 또는 제2 파지기구에 의해 파지된 캐리어보드를 이송시키는 동력을 제공하는 이송구동장치; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치.
  2. 제1항에 있어서
    상기 제1 파지구동장치와 제2 파지구동장치는 캐리어보드를 파지하거나 파지 해제할 때에는 독립적으로 작동을 하고,
    상기 제1 파지기구와 상기 제2 파지기구는 상기 제1 파지구동장치 및 제2 파지구동장치의 동작에 관계없이 상기 결합기의 전후진시 같이 움직이는 것을 특징으로 하는 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 파지기구 또는 제2 파지기구는, 캐리어보드를 파지하기 위한 파지핀을 가지며, 상기 파지핀에 의해 캐리어보드를 파지하거나 파지 해제할 수 있는 작동거리만큼 진퇴 가능하게 상기 결합기에 결합되고,
    상기 제1 파지구동장치 또는 제2 파지구동장치는,
    상기 제1 파지기구 또는 제2파지기구를 작동거리만큼 진퇴시키기 위한 동력을 제공하는 파지구동원; 및
    상기 파지구동원에 의해 제공되는 동력을 상기 제1 파지기구 또는 제2파지기구로 전달하는 동력전달기; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 동력전달기는 상기 파지구동원의 작동에 따라 진퇴되며,
    상기 제1 파지기구 또는 제2파지기구는 상기 동력전달기에 의해 이동이 안내되면서도 상기 파지구동원의 작동에 따른 상기 동력전달기의 진퇴에 연동하여 진퇴되는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 이송구동장치는,
    상기 결합기를 캐리어보드의 이송방향으로 이동시키기 위한 동력을 제공하는 모터; 및
    상기 모터의 동력을 상기 결합기에 전달하는 동력전달장치; 를 포함하고,
    상기 동력전달장치는,
    상기 모터의 회전축에 결합되어 회전하는 구동풀리;
    상기 구동풀리와 제1 간격만큼 이격 되게 구비되는 종동풀리;
    상기 구동풀리와 종동풀리를 회전 반환점으로 하여 회전하는 구동벨트;
    상기 종동풀리에 연동하여 회전하는 제1 풀리;
    상기 제1 풀리와 제2 간격(제2 간격 > 제1 간격)만큼 캐리어보드의 이송 방향 측으로 이격되게 구비되는 제2 풀리; 및
    상기 제1 풀리와 제2 풀리를 회전 반환점으로 하여 회전하는 전달벨트; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1 행정거리와 상기 일정 거리는 동일한 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치.
  7. 캐리어보드의 양 단을 파지할 수 있는 파지대;
    상기 파지대를 수평 상태 또는 수직 상태로 선택적으로 자세변환시킴으로써 상기 파지대에 파지된 캐리어보드를 수평 상태 또는 수직 상태로 선택적으로 자세변환시키는 구동장치; 및
    상기 파지대에 파지된 캐리어보드를 이송시키기 위해 상기 파지대에 설치되는 이송장치; 를 포함하고,
    상기 파지대는,
    상기 파지대에 캐리어보드가 파지되었을 시에 파지된 캐리어보드의 하 측에 있는 설치판;
    상기 파지대로 진입 또는 진출하는 캐리어보드를 안내하는 안내레일; 및
    상기 구동장치의 작동에 따라 상기 파지대가 수평 상태 또는 수직 상태로 자세를 변환할 시에 이루어지는 회전의 중심을 제공하는 회전축을 가지는 회전축 블록; 을 포함하며,
    상기 이송장치는 상기 설치판에 설치되는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 자세변환장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 이송장치는 상기 파지대에 파지된 캐리어보드의 전체 이송거리를 적어도 2 이상의 행정거리로 나누어 상기 파지대에 파지된 캐리어보드를 적어도 2회 이상 순차적으로 이송시키는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 자세변환장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 이송장치는 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 따른 테스트핸들러용 캐리어보드 이송장치인 것을 특징으로 하는 테스트핸들러용 자세변환장치.
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