KR101356709B1 - Hybrid vibration isolator using voice coil motor with halbach magnet array - Google Patents

Hybrid vibration isolator using voice coil motor with halbach magnet array Download PDF

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KR101356709B1
KR101356709B1 KR1020120083163A KR20120083163A KR101356709B1 KR 101356709 B1 KR101356709 B1 KR 101356709B1 KR 1020120083163 A KR1020120083163 A KR 1020120083163A KR 20120083163 A KR20120083163 A KR 20120083163A KR 101356709 B1 KR101356709 B1 KR 101356709B1
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권대갑
김명현
김현창
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한국과학기술원
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Abstract

The present invention relates to a hybrid vibration isolator using a voice coil motor and a Halbach magnet array. The hybrid vibration isolator includes a lower plate, an upper plate which is located on the lower plate and supports an object, a coil spring which connects the upper plate to the lower plate, a horizontal active vibration isolator which implements vibration insulation in a horizontal direction, and a vertical active vibration isolator which implements vibration insulation in a vertical direction. The present invention provides a vibration isolation system which enhances and optimizes magnetic flux by applying a Halbach magnet array and allows maximum performance per a unit size.

Description

할바흐 자석 배열과 보이스 코일 모터를 이용한 혼합 제진대{Hybrid vibration isolator using voice coil motor with Halbach magnet array}Hybrid vibration isolator using voice coil motor with Halbach magnet array}

본 발명은 할바흐 자석 배열과 보이스 코일 모터를 이용한 혼합 제진대에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 지반에서 전달되는 진동을 수동 절연과 능동 절연 형태로 구분하여 수동 제진기로 고주파수 영역의 진동을 절연하며 구동기를 사용하여 저주파수 영역의 진동을 효과적으로 제진하기 위한 제진대에 관한 것이다.
The present invention relates to a mixed vibration isolator using a Halbach magnet array and a voice coil motor. More specifically, the vibration transmitted from the ground is divided into passive insulation and active insulation to insulate vibration in the high frequency region with a passive vibration suppressor. A vibration damper for effectively damping vibrations in a low frequency region using a driver.

최근 나노미터 단위의 초정밀 구동, 측정 분야가 발전함에 따라 고 정밀도와 고 정확성을 가진 정밀 측정 기기의 필요성이 커지고 있다. 이러한 측정 기기의 성능과 신뢰성을 향상시키기 위해서는 전달되는 외란을 절연하는 것이 가장 중요하기 때문에 제진 시스템이 필수적이다. 대부분의 제진 시스템은 마운트나 고무 댐퍼와 같은 강성이 유연한 장치를 사용하여 진동을 수동적으로 제진하는 수동형 제진 시스템이 보편적이었다. 이러한 시스템의 경우 중, 고주파수 영역에서의 제진 성능이 우수하다. 그러나 고정밀의 기술 발전에 따라 향상된 제진 성능을 필요로 하게 되고 저주파수 영역에서 또한 우수한 제진 성능을 요구하게 되었다. 이에 능동 제진 시스템과 수동 제진 시스템을 함께 사용하여 혼합 제진 시스템을 적용함으로써 모든 주파수대에서 우수한 제진 성능을 구현하고 있다.Recently, with the development of ultra-precision driving and measurement in nanometers, the need for precision measuring instruments with high precision and high accuracy is increasing. In order to improve the performance and reliability of these measuring devices, it is essential to isolate the disturbances transmitted, so the vibration damping system is essential. Most vibration suppression systems are passive vibration suppression systems that passively damp vibrations using rigid devices such as mounts or rubber dampers. Such a system has excellent vibration damping performance in the medium and high frequency range. However, the development of high precision technology requires improved vibration damping performance and also demands excellent vibration damping performance in the low frequency range. The active vibration suppression system and the passive vibration suppression system are used together to apply the mixed vibration suppression system to achieve excellent vibration suppression performance in all frequency bands.

능동 제진 시스템을 위한 구동기로 주로 압전소자와 보이스 코일 모터가 사용된다. 기존에 사용되고 있는 압전소자, 즉 피에조 구동기의 경우 비용이 비싸고 변위가 작으며 제어력이 약하여 우수한 제진 성능을 보여주지 못한 단점을 가지고 있다.
Piezoelectric elements and voice coil motors are mainly used as drivers for active vibration suppression systems. Piezoelectric elements, that is, piezoelectric actuators, which are used in the past, are expensive, have small displacements, and have poor control, and thus do not show excellent vibration damping performance.

KR 10-2010-0100013호KR 10-2010-0100013 KR 10-2009-0109250호KR 10-2009-0109250

따라서, 본 발명은 피에조 소자(PZT)의 비용적 단점을 해소하기 위한 것으로, 보이스 코일 모터를 이용하는 것으로, 보이스 코일 모터는 로렌츠 힘을 이용한 구동기로 변위가 크며, 제어력이 우수하고 비용이 상대적으로 저렴함에 따라 종래의 단점을 해소할 수 있는 능동 제진 시스템을 제공하고자 하는데 그 목적이 있다.
Accordingly, the present invention is to solve the cost disadvantage of the piezo element (PZT), by using a voice coil motor, the voice coil motor is a large displacement by the driver using Lorentz force, excellent control power and relatively low cost Accordingly, an object of the present invention is to provide an active vibration suppression system that can solve the disadvantages of the related art.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 하판, 상기 하판 상측에 위치하며 대상체가 위치하는 상판, 상기 상판과 하판을 서로 연결하는 코일 스프링, 수평 방향에 대해 진동 절연을 구현하는 수평 능동 제진기 및 수직 방향에 대해 진동 절연을 구현하는 수직 능동 제진기를 포함한다.The present invention for achieving the above object, the lower plate, the upper plate located on the lower plate and the object is located, the coil spring connecting the upper plate and the lower plate to each other, a horizontal active vibration damper for implementing vibration isolation in the horizontal direction and It includes a vertical active vibration damper that implements vibration isolation with respect to the vertical direction.

또한, 상기 수평 능동 제진기와 수직 능동 제진기는, 보이스 코일 모터(VCM)로 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the horizontal active damper and the vertical active damper is characterized by consisting of a voice coil motor (VCM).

또한, 상기 보이스 코일 모터는, 자석과 코일로 구성되며, 상기 자석은 할바흐 자석 배열로 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the voice coil motor is composed of a magnet and a coil, the magnet is characterized by consisting of a Halbach magnet array.

또한, 상기 코일 스프링은, 중, 고주파수 영역의 진동을 절연하는 것을 특징으로 한다.The coil spring may insulate vibrations in the medium and high frequency regions.

또한, 상기 상판은, 가속도계를 더 포함하고, 가속도계에서 검출되는 신호를 능동 제진기로 피드백하여 제어한다.In addition, the upper plate further includes an accelerometer, and feeds back a signal detected by the accelerometer to the active vibration suppressor for control.

또한, 상판과 하판을 구비하며 상판에 놓여지는 대상물에 대해 진동 절연을 구현하는 제진대에 있어서, 상기 상판과 하판의 모서리를 지지하는 것으로, 코일 스프링으로 구성되는 수동제진기, 상기 상판과 하판을 지지하는 것으로, 보이스 코일 모터로 구성되는 수평 능동 제진기와 수직 능동 제진기를 포함한다.In addition, a vibration damper having an upper plate and a lower plate and implementing vibration isolation with respect to an object placed on the upper plate, by supporting edges of the upper plate and the lower plate, supporting a passive vibration damper composed of a coil spring, the upper plate and the lower plate It includes a horizontal active damper and a vertical active damper composed of a voice coil motor.

또한, 상기 보이스 코일 모터는, 할바흐 자석 배열을 가지는 모터에 해당하는 것을 특징으로 한다.In addition, the voice coil motor is characterized in that it corresponds to a motor having a Halbach magnet arrangement.

또한, 상기 수평 능동 제진기와 수직 능동 제진기는, 각각 4개씩 구성되어 6축 방향에 대한 진동을 제진하는 것을 특징으로 한다.In addition, the horizontal active vibration damper and the vertical active vibration damper are respectively configured by four, characterized in that to damp vibration in the six-axis direction.

또한, 상기 수평 능동 제진기와 수직 능동 제진기는, 교번적으로 사각형상을 이루고 배치되는 것을 특징으로 한다.
The horizontal active vibration damper and the vertical active vibration damper may be alternately arranged in a rectangular shape.

상기와 같이 구성되고 작용되는 본 발명은 진동을 효과적으로 절연하기 위한 혼합형 제진 시스템으로써 수동 제진기와 능동 제진기가 병렬로 연결되어 있다. 상판과 하판은 강성을 가진 복수의 스프링으로 구성된 수동 제진기로 연결되어 있으며 능동 구동기로는 보이스 코일 모터를 적용하여 사용한다. 보이스 코일 모터는 자석과 코일로 구성되어 로렌츠 힘을 이용한다. 보이스 코일 모터의 성능을 높이기 위하여 할바흐 자석 배열을 적용한다. 할바흐 자석 배열을 적용하여 자속이 높이고 최적화하여 같은 크기에서 최대의 성능을 구현한다. 구동기의 설치를 대칭적으로 설치함으로써 조립 용이성을 높였고 공차를 최소화 할 수 있는 효과가 있다.The present invention constructed and operated as described above is a hybrid type vibration suppression system for effectively isolating vibration and a passive vibration damper and an active vibration suppressor are connected in parallel. The upper plate and the lower plate are connected to a passive vibration damper composed of a plurality of springs with rigidity, and a voice coil motor is used as an active driver. The voice coil motor is made up of magnets and coils and uses Lorentz force. To increase the performance of the voice coil motor, the Halbach magnet array is applied. By applying the Halbach magnet array, the magnetic flux is increased and optimized to achieve maximum performance at the same size. By symmetrically installing the driver, the assembly is easy and the tolerance can be minimized.

또한, 본 발명에 따른 제진 시스템은 상부에 올라가는 제진 대상물의 무게에 따라 아래로의 처짐량에 대하여 유연한 성능을 제공하는 장점이 있다.
In addition, the vibration suppression system according to the present invention has an advantage of providing a flexible performance with respect to the amount of deflection down according to the weight of the vibration suppression object to rise to the top.

도 1은 본 발명에 따른 할바흐 자석 배열과 보이스 코일 모터를 이용한 혼합 제진대의 개략적인 전체 구성도,
도 2는 본 발명에 따른 수평 능동 제진기를 도시한 도면,
도 3은 본 발명에 따른 능동 제진기의 코일을 도시한 도면,
도 4는 본 발명에 따른 수직 능동 제진기를 도시한 도면,
도 5는 본 발명에 따른 상판을 도시한 도면,
도 6은 본 발명에 적용된 할바흐 자석 배열을 나타낸 도면,
도 7은 본 발명에 따른 혼합 제진대의 사시도.1 is a schematic overall configuration diagram of a hybrid vibration isolator using a Halbach magnet array and a voice coil motor according to the present invention;
2 shows a horizontal active vibration suppressor according to the present invention;
3 shows a coil of an active vibration damper according to the present invention;
4 shows a vertical active vibration suppressor according to the invention,
5 is a view showing a top plate according to the present invention,
Figure 6 is a view showing the Halbach magnet arrangement applied to the present invention,
7 is a perspective view of the mixing damper according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 할바흐 자석 배열과 보이스 코일 모터를 이용한 혼합 제진대의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a preferred embodiment of the mixing vibration damper using the Halbach magnet array and the voice coil motor according to the present invention will be described in detail.

본 발명에 따른 할바흐(Halbach) 자석 배열과 보이스 코일 모터를 이용한 혼합 제진대는, 판, 상기 하판 상측에 위치하며 대상체가 위치하는 상판, 상기 상판과 하판을 서로 연결하는 코일 스프링, 수평 방향에 대해 진동 절연을 구현하는 수평 능동 제진기 및 수직 방향에 대해 진동 절연을 구현하는 수직 능동 제진기를 포함하는 것을 특징으로 한다.Mixed vibration damping table using a Halbach magnet array and a voice coil motor according to the present invention is a plate, an upper plate positioned above the lower plate and a coil spring that connects the upper plate and the lower plate to each other, and a horizontal direction. And a vertical active vibration suppressor implementing vibration isolation and a vertical active vibration suppressor implementing vibration isolation with respect to the vertical direction.

본 발명에 따른 할바흐 자석 배열과 보이스 코일 모터를 이용한 혼합 제진대는, 수동 제진을 구현하는 코일 스프링과, 능동 제진을 구현하는 보이스 코일 모터로 구성되는 수평, 수직 제진기를 위치시켜 상판에 위치하는 대상물에 대해 유연한 보상 성능을 구현하는 것을 특징으로 한다.
The mixed vibration isolator using the Halbach magnet array and the voice coil motor according to the present invention includes a coil spring for implementing passive vibration suppression and a horizontal and vertical vibration suppressor composed of a voice coil motor for implementing active vibration suppression. It is characterized by implementing a flexible compensation performance for.

도 1은 본 발명에 따른 할바흐 자석 배열과 보이스 코일 모터를 이용한 혼합 제진대의 구성을 나타낸 도면이다. 4개의 수동 제진기(1)로 상판(2)과 하판(3)이 연결되어 있다. 여기서 상기 수동 제진기(1)는 코일 스프링으로 구성되어 고/중 주파수 대역의 진동을 절연한다.1 is a view showing the configuration of a mixed vibration damper using a Halbach magnet array and a voice coil motor according to the present invention. The upper plate 2 and the lower plate 3 are connected by four manual vibration suppressors 1. Here, the passive vibration damper (1) is composed of a coil spring to insulate the vibration of the high / medium frequency band.

또한, 본 발명에서는 능동 제진을 구현하기 위하여 4개의 수평 제진기(4)와 4개의 수직 제진기(5)가 각각 구성된다. 상기 4개의 수평 능동 제진기(4)와 4개의 수직 능동 제진기(5)로 6축 방향에 대한 제진을 수행한다.In addition, in the present invention, four horizontal vibration dampers 4 and four vertical vibration dampers 5 are respectively configured to implement active vibration damping. The four horizontal active vibration dampers 4 and the four vertical active vibration dampers 5 perform vibration in the six-axis direction.

한편, 본 발명에 따른 제진대에는 가속도계(미도시)가 추가 구성된다. 상기 가속도계(미도시)는 가속도를 측정할 수 있는 센서의 한 종류로써, 6축의 제어를 위한 6 개의 가속도계로 상판의 가속도를 측정하여 피드백 신호를 통해 능동 제진기의 제어 신호로 사용된다. 본 발명에 따른 가속도계는 상용으로 구매가능하다. 이들 센서는 상부 판에 부착되어 전달되는 모든 외란을 측정하여 능동 제진기에 피드백 신호를 제공한다. 수동 제진기는 상판에 올라가는 기기의 하중을 지지하며 중, 고주파수 영역의 진동을 절연한다. 수동 제진기는 선택적인 강성을 가지는 스틸 스프링을 사용하며 사용될 무게에 따라 유연하게 변형할 수 있다. 6축 방향의 제진을 위하여 능동 제진기는 수평과 수직 방향의 힘을 내는 2 종류의 구동기로 구분된다. 각각 4개로 구성된다.On the other hand, the vibration damper according to the present invention is further configured with an accelerometer (not shown). The accelerometer (not shown) is a kind of sensor capable of measuring acceleration, and it is used as a control signal of an active vibration damper by measuring the acceleration of the upper plate with six accelerometers for six-axis control. Accelerometers according to the invention are commercially available. These sensors measure all disturbances that are attached to the top plate and provide a feedback signal to the active vibration suppressor. Passive vibration suppressors support the load on the equipment that rises to the top and insulate vibrations in the medium and high frequency ranges. Passive dampers use steel springs with optional stiffness and can flexibly adapt to the weight to be used. For the 6-axis damping, the active damper is divided into two types of actuators that exert force in the horizontal and vertical directions. Each consists of four.

도 2는 수평 능동 제진기(4)이며, 도 3은 수직 능동 제진기(5)이다. 각 제진기는 보이스 코일 모터를 이용하며 이는 코일(6)과 자석으로 구성되어 있다. 보이스 코일 모터는 일종의 액츄에이터라고 할 수 있는데, 액츄에이터는 플레밍의 왼손법칙에 의해 구동된다. 즉, 코일을 통해서 이동하는 전류와 영구자기장의 상호작용에 의하여 발생하는 힘을 능동제진기의 상판에 전달하는데, 이 능동수동제진기의 상판에 전달된 힘에 의해 전류가 흐르는 코일이 움직이도록 되어있다. 자석은 자속을 생성하며 코일에 전류를 흘려 로렌츠 힘을 얻는다. 이때 능동 제진기의 성능인 힘 상수를 키우기 위해서 자속을 강화시키는 것이 중요하다. 자속을 강화시키기 위하여 할바흐(Halbach) 자석 배열(8)을 적용한다. 할바흐 자석 배열(8)은 자석의 극을 90도 방향으로 배열함으로써 대칭적인 자속을 한 쪽 방향으로 강화시키는 자석 배열이다. 배열 사이의 간극에서 자속을 강화하기 위한 목적으로 사용된다.2 is a horizontal active damper 4 and FIG. 3 is a vertical active damper 5. Each damper uses a voice coil motor, which consists of a coil 6 and a magnet. The voice coil motor is a kind of actuator, which is driven by Fleming's left hand law. That is, the force generated by the interaction between the current moving through the coil and the permanent magnetic field is transmitted to the upper plate of the active vibration suppressor, and the coil through which the current flows is moved by the force transmitted to the upper plate of the active passive vibration suppressor. Magnets produce magnetic flux and draw Lorentz forces by passing current through the coil. At this time, it is important to strengthen the magnetic flux to increase the force constant, which is the performance of the active vibration suppressor. A Halbach magnet array (8) is applied to strengthen the magnetic flux. The Halbach magnet array 8 is a magnet array that strengthens the symmetrical magnetic flux in one direction by arranging the poles of the magnet in the 90 degree direction. It is used for the purpose of strengthening the magnetic flux in the gap between the arrays.

여기서, 상기 능동 제진기는, 수평 능동 제진기와 수직 능동 제진기가 사각 형상을 이루고 배치되며, 수평 제진기와 수직 제진기가 교번적으로 배치된다.Here, the active vibration suppressor, the horizontal active vibration damper and the vertical active vibration damper are arranged in a square shape, the horizontal vibration damper and the vertical vibration damper are alternately arranged.

능동 제진 시스템은 상부에 올라가는 기기에 따라 처짐량이 발생한다. 이러한 처짐량은 기존의 시스템의 성능을 저하하는 주요 원인이 된다. 본 발명의 능동 제진기는 코일과 자석이 지면에 수직한 구조로 처짐량에 따라 유연한 성능을 보여준다.Active vibration damping systems produce deflections as the device rises to the top. This amount of deflection is a major cause of deterioration of the existing system. The active vibration suppressor of the present invention has a structure in which the coil and the magnet are perpendicular to the ground, and thus show a flexible performance according to the amount of deflection.

도 3은 본 발명에 따른 능동 제진기의 코일을 도시한 도면이다. 도시된 바와 같이 능동 제진기는 보이스 코일을 이용한 모터로써, 모터의 구성은 코일과 코일 측면에 위치하는 자석으로 구성된다. 이때, 상기 자석은 할바흐 자석 배열로 구성된다. 이는 도 6에 상세히 나타나 있다.3 is a view showing a coil of an active vibration damper according to the present invention. As shown, an active vibration damper is a motor using a voice coil, and the motor is composed of a coil and a magnet located on the side of the coil. In this case, the magnet consists of a Halbach magnet array. This is shown in detail in FIG. 6.

도 4는 본 발명에 따른 수직 능동 제진기를 도시한 도면이다. 본 발명에서는 능동 제진기가 수평 능동 제진기와 수직 능동 제진기로 구성되어 수평방향에 대한 진동과 수직 방향에 대한 진동을 보상시켜준다.4 shows a vertical active vibration damper according to the invention. In the present invention, the active damper is composed of a horizontal active damper and a vertical active damper to compensate for the vibration in the horizontal direction and the vibration in the vertical direction.

도 5는 본 발명에 따른 상판을 도시한 도면이다. 상기 상판(2)은 상기 코일 스프링과 능동 제진기를 지지하여 하판 상부측에 고정 설치된다. 따라서, 진동 절연을 위한 다양한 장치들이 놓여진다.5 is a view showing a top plate according to the present invention. The upper plate 2 is fixed to the upper side of the lower plate by supporting the coil spring and the active damper. Thus, various devices for vibration isolation are placed.

따라서, 본 발명에 따른 제진대는 상, 하판 모서리측에 구비되어 지지되는 코일 스프링은 중, 고주파수 대역의 진동을 절연하며, 보이스 코일로 구성되는 능동 제진기는 저주파 영역에 대하여 진동을 절연시키게 되는 것이다.Accordingly, the vibration damper according to the present invention is provided with coil springs supported at upper and lower edges of the vibration damper to insulate vibrations in the middle and high frequency bands, and an active vibration damper composed of voice coils insulates vibrations from the low frequency region.

도 7은 본 발명에 따른 혼합 제진대의 사시도이다. 상술한 바와 같이 본 발명에 따른 혼합 제진대는, 상판과 하판을 지지하는 코일 스프링(수동 제진기)과, 수직, 수평 방향에 대해 능동적으로 제진하는 능동 제진기가 각각 구성되고, 가속계의 신호를 피드백 하여 고주파 영역의 진동과 저주파 영역의 진동을 효과적으로 절연하는 것을 특징으로 한다.
7 is a perspective view of the mixing damper according to the present invention. As described above, the mixed vibration isolator according to the present invention includes a coil spring (manual vibration damper) supporting the upper and lower plates, and an active vibration suppressor for actively damping the vertical and horizontal directions, respectively. It is characterized in that it effectively insulates the vibration of the region and the vibration of the low frequency region.

이와 같이 구성되는 본 발명은 스프링을 이용하여 고주파 영역에서의 진동을 절연하며, 수평, 수직 능동 제진기를 이용하여 저주파 영역에서 유연한 성능을 구현할 수 있는 장점이 있다.The present invention configured as described above has an advantage of isolating vibration in the high frequency region using a spring, and flexible performance in the low frequency region using a horizontal and vertical active vibration suppressor.

이상, 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 설명하고 도시하였지만, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다. 오히려, 첨부된 청구범위의 사상 및 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 그러한 모든 적절한 변경 및 수정과 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. On the contrary, those skilled in the art will appreciate that many modifications and variations of the present invention are possible without departing from the spirit and scope of the appended claims. And all such modifications and changes as fall within the scope of the present invention are therefore to be regarded as being within the scope of the present invention.

1 : 코일 스프링
2 : 제진대의 상판
3 : 제진대의 하판
4 : 수평 능동 제진기(보이스 코일 모터, 할바흐 자석)
5 : 수직 능동 제진기(보이스 코일 모터, 할바흐 자석)
6 : 능동 제진기 코일
7 : 능동 제진기의 코일 배치
8 : 할바흐 자석 배열1: coil spring
2: top plate of vibration damper
3: bottom plate of vibration damper
4: horizontal active vibration suppressor (voice coil motor, Halbach magnet)
5: vertical active vibration suppressor (voice coil motor, Halbach magnet)
6: active vibration suppressor coil
7: coil arrangement of active damper
8: Halbach magnet array

Claims (10)

하판(3);
상기 하판 상측에 위치하며 대상체가 위치하는 상판(2);
상기 상판과 하판을 서로 연결하는 코일 스프링(1);
수평 방향에 대해 진동 절연을 구현하는 수평 능동 제진기(4); 및
수직 방향에 대해 진동 절연을 구현하는 수직 능동 제진기(5);를 포함하며,
상기 수평 능동 제진기와 수직 능동 제진기는 보이스 코일 모터(VCM)로 구성되고,
상기 보이스 코일 모터는 자석과 코일로 구성되며, 상기 자석은 할바흐 자석 배열(8)로 구성되는 할바흐 자석 배열과 보이스 코일 모터를 이용하고,
상기 상판은, 가속도계를 더 포함하고, 가속도계에서 검출되는 신호를 능동 제진기로 피드백하여 제어하는 할바흐 자석 배열과 보이스 코일 모터를 이용한 혼합 제진대.Lower plate 3;
An upper plate (2) positioned above the lower plate and on which an object is located;
A coil spring (1) connecting the upper and lower plates to each other;
A horizontal active vibration suppressor 4 implementing vibration isolation with respect to the horizontal direction; And
A vertical active vibration suppressor 5 implementing vibration isolation with respect to the vertical direction;
The horizontal active damper and the vertical active damper are composed of a voice coil motor (VCM),
The voice coil motor is composed of a magnet and a coil, and the magnet uses a Halbach magnet array and a voice coil motor composed of a Halbach magnet array (8),
The upper plate further includes an accelerometer, and a mixed vibration damper using a Halbach magnet array and a voice coil motor for feeding back and controlling a signal detected by the accelerometer to an active vibration suppressor. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 상판(2)과 하판(3)을 구비하며 상판에 놓여지는 대상물에 대해 진동 절연을 구현하는 제진대에 있어서,
상기 상판과 하판의 모서리를 지지하는 것으로, 코일 스프링(1)으로 구성되는 수동제진기; 및
상기 상판과 하판을 지지하는 것으로, 보이스 코일 모터로 구성되는 수평 능동 제진기와 수직 능동 제진기를 포함하여 구성되고,
상기 보이스 코일 모터는 할바흐 자석 배열(8)을 가지는 모터에 해당하며,
상기 상판은 가속도계를 더 포함하고, 가속도계에서 검출되는 신호를 능동 제진기로 피드백하여 제어하고,
상기 수평 능동 제진기와 수직 능동 제진기는 각각 4개씩 구성되어 6축 방향에 대한 진동을 제진하며,
상기 수평 능동 제진기와 수직 능동 제진기는 교번적으로 사각형상을 이루고 배치되는 할바흐 자석 배열과 보이스 코일 모터를 이용한 혼합 제진대.
In the vibration damper having an upper plate (2) and the lower plate (3) and for realizing vibration isolation for the object placed on the upper plate,
Passive vibration damper configured to support the edge of the upper plate and the lower plate, consisting of a coil spring (1); And
Supporting the upper plate and the lower plate, comprising a horizontal active vibration damper and a vertical active vibration damper composed of a voice coil motor,
The voice coil motor corresponds to a motor having a Halbach magnet array 8,
The upper plate further includes an accelerometer, and feeds back the signal detected by the accelerometer to the active vibration suppressor,
The horizontal active vibration damper and the vertical active vibration damper are respectively composed of four to damp vibration in the six-axis direction,
The horizontal active vibration suppressor and the vertical active vibration suppressor are mixed vibration suppressors using a Halbach magnet arrangement and a voice coil motor, which are alternately arranged in a rectangular shape.
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