KR101356184B1 - 묘화점 데이터 취득 방법 및 장치 - Google Patents

묘화점 데이터 취득 방법 및 장치

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Abstract

기판(12) 상에 화상을 묘화하기 위해 사용되는 묘화점 데이터를 취득하는 방법에서 화상의 특징을 갖고 데이터량을 감소시킬 수 있는 묘화점 데이터가 취득된다. 각 묘화점 형성부(38)의 묘화 시작 위치에 대응되는 화상을 나타내는 화상 데이터가 저장된 메모리에서의 어드레스는 각 묘화점 형성부(38)의 판독 시작 어드레스로서 취득된다. 기판(12) 상의 각 묘화점 형성부의 묘화 경로에 대응되는 화상 데이터에서의 각각의 묘화점 데이터 경로를 따라 각각의 판독 시작 어드레스로부터 화상 데이터를 순차적으로 판독함으로써 각 묘화점 형성부(38)의 묘화점 데이터가 취득된다. 예를 들면, 취득된 묘화점 데이터 상에 2차원 방향으로 런 렝스 압축이 행해진다.
Figure R1020087010025
묘화점 데이터 취득 장치, 묘화점 데이터 경로 취득 수단, 묘화점 데이터 취득 수단, 묘화 장치

Description

묘화점 데이터 취득 방법 및 장치{DRAWING POINT DATA OBTAINMENT METHOD AND APPARATUS}
본 발명은 묘화점 데이터에 의거하여 묘화점을 형성하는 복수의 묘화점 형성부를 기판에 대하여 상대적으로 이동시키고, 그 이동에 따라 묘화점을 순차적으로 형성함으로써 화상을 묘화하는 묘화 방법 및 묘화 장치에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 상기 묘화 방법 및 묘화 장치에 사용되는 묘화점 데이터를 취득하는 방법 및 장치에 관한 것이다.
종래부터, 프린트된 배선판이나 패널 디스플레이의 기판에 소정의 패턴을 기록하는 장치로서 포토리소그래프 기술을 이용한 각종 노광 장치가 제안된다.
그러한 노광 장치로서, 예를 들면 포토레지스트가 도포된 기판을 가로지르는 광빔을 주주사 방향 및 부주사 방향으로 통과(주사)시키고, 광빔을 배선 패턴을 나타내는 노광 화상 데이터에 의거하여 변조함으로써 배선 패턴을 형성하는 노광 장치가 제안된다.
또한, 그러한 노광 장치로서, 예를 들면 디지털 마이크로미러 디바이스(이하, "DMD"라고 함) 등의 공간 광변조 소자를 이용함으로써 노광을 행하는 노광 장치가 제안된다. 노광 장치에서 노광은 노광 화상 데이터에 의거하여 공간 광변조 소자에 의해 광빔을 변조함으로써 행해진다.
상술된 바와 같이 DMD를 사용한 노광 장치로서 노광면 상에 소망의 화상을 형성하는 노광 장치가 제안되어 있다(예를 들면, 일본 공개 특허 2004-233718호 공보). 노광 장치에서 DMD를 노광면에 대하여 상대적으로 이동시키고, 그 이동에 따라 DMD의 다수의 마이크로미러에 대응되는 다수의 노광점 데이터의 세트를 입력하고, DMD의 마이크로미러에 대응되는 묘화점 그룹을 시계열에서 순차적으로 형성함으로써 소망의 화상이 형성된다.
또한, DMD의 마이크로미러의 열이 DMD의 상대적인 이동 방향에 관하여 소정의 각도만큼 경사지도록 DMD가 설정되는 노광 장치도 제안된다. 따라서, 노광에 의한 고해상도의 노광 화상을 형성할 수 있다.
상술된 바와 같이 노광 장치를 이용하여 노광이 행해지면 노광면에 대한 DMD의 각 위치에 대응되는 노광점 데이터는 DMD가 이동함에 따라 순차적으로 DMD에 입력된다. 묘화점 데이터는, 예를 들면 CAD(Computer Aided Design) 스테이션, CAM(Computer Aided Manufacturing) 스테이션 등을 포함하는 데이터 생성 장치에 의해 생성된 벡터 형식의 노광 화상 데이터를 래스터(raster) 형식의 노광 화상 데이터로 변환하고, 그 래스터 형식의 노광 화상 데이터로부터 노광면에 대한 DMD의 각 위치에 대응되는 화소 데이터를 판독함으로써 취득된다.
그러나, 상술된 바와 같이 DMD의 각 위치에 대응되는 노광점 데이터가 취득되면 노광 화상 데이터보다 노광점의 해상도가 높다. 그러므로, 노광점 데이터의 데이터량은 노광 화상 데이터보다 훨씬 더 커진다. 따라서, 노광점 데이터를 저장 하기 위해 대용량의 메모리가 요구되므로 비용이 상승한다.
또한, 상술된 바와 같이 취득된 노광점 데이터는 PC(Personal computer) 등에 일시적으로 저장되고, PC에서 노광점 데이터 상에 소정의 보정 처리가 행해진다. 그 후, 처리된 노광점 데이터는 PC로부터 노광을 행하는 하드웨어로 출력된다. 이때, 노광점 데이터의 데이터량이 매우 크면 전송 시간은 길어지게 되므로 처리 효율이 저하한다.
또한, 상술된 바와 같이 취득된 노광점 데이터는 DMD의 각 마이크로미러의 위치에 의거하여 노광 화상 데이터로부터 판독된다. 마이크로미러의 피치는 노광 화상 데이터의 해상도보다 매우 크기 때문에 DMD의 각 위치에서 취득된 노광점 데이터 그룹은 화상의 특징을 갖지 않는다.
그러므로, 상술된 바와 같이 취득된 노광점 데이터 그룹에, 예를 들면 런 렝스 압축을 행함으로써 데이터량을 감소시키는 경우 노광점 데이터 그룹은 화상의 특징을 갖지 않으므로 압축율은 떨어진다.
상기 상황을 감안하여 본 발명의 목적은 상술된 바와 같은 노광 장치에서 화상의 특징을 갖는 묘화점 데이터를 취득할 수 있고, 데이터량을 더 감소시킬 수 있는 묘화점 데이터를 취득할 수 있는 묘화 방법 및 묘화 장치를 제공하는 것이다. 또한, 본 발명의 목적은 그러한 묘화점 데이터를 취득하는 방법 및 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 의한 묘화점 데이터 취득 방법은 묘화점 데이터에 의거하여 묘화점을 형성하는 복수의 묘화점 형성부를 기판에 대하여 상대적으로 이동시키고, 상기 이동에 따라 상기 묘화점을 상기 기판 상에 순차적으로 형성함으로써 상기 기판 상에 화상이 묘화될 때 사용되는 상기 묘화점 데이터를 취득하는 방법으로서 상기 기판 상의 상기 각 묘화점 형성부의 묘화 경로, 및 상기 화상을 나타내는 화상 데이터를 서로 관련시킴으로써 상기 각 묘화점 형성부의 묘화 경로에 대응되는 묘화점 데이터 경로를 취득하는 단계, 상기 각 묘화점 데이터 경로에서 상기 묘화점 데이터 경로의 연장 방향에 대하여 동일한 위치를 상기 각 묘화점 데이터 경로의 판독 시작 위치로서 선택하는 단계, 및 상기 각 묘화점 데이터 경로에서 상기 판독 시작 위치로부터 상기 각 묘화점 데이터 경로를 따라 상기 화상 데이터를 순차적으로 판독함으로써 상기 각 묘화점 형성부의 묘화점 데이터를 취득하는 단계를 포함한다.
또한, 상기 본 발명에 의한 묘화점 데이터 취득 방법에서 상기 묘화점 데이터 경로의 배열 방향을 따라 상기 각 묘화점 데이터 경로에서의 묘화점 데이터가 순차적으로 취득될 수 있다.
또한, 상기 각 묘화점 형성부의 묘화점 데이터가 취득된 후 상기 각 묘화점 형성부의 각 묘화점 데이터 열의 시작과 끝에 소정수의 마진 데이터의 세트가 부가될 수 있다. 또한, 상기 마진 데이터가 부가된 각 묘화점 데이터 열로부터 상기 각 묘화점 데이터 경로에 대응되는 상기 묘화점 데이터, 및 상기 마진 데이터의 일부를 추출 및 판독함으로써 상기 각 묘화점 형성부의 묘화점 데이터가 취득될 수 있다.
또한, 복수의 상기 묘화점 데이터 경로를 대표하는 하나 이상의 대표 묘화점 데이터 경로가 취득될 수 있다. 상기 하나 이상의 대표 묘화점 데이터 경로의 수는 상기 복수의 묘화점 데이터 경로의 수보다 적다. 그 다음에, 상기 취득된 대표 묘화점 데이터 경로를 따라 상기 판독 시작 위치로부터 상기 화상 데이터를 복수회 판독함으로써 상기 복수의 묘화점 데이터 경로에 대응되는 복수의 묘화점 형성부 각각에 대한 상기 묘화점 데이터가 취득될 수 있다.
여기서, 상기 "대표 묘화점 데이터 경로"는 상기 "복수의 묘화점 데이터 경로"로부터 취득될 수 있다. 대안으로, 상기 "복수의 묘화점 데이터 경로"의 어느 것과도 다른 가상 묘화점 데이터 경로가 설정될 수 있고, 그 가상 묘화점 데이터 경로가 "대표 묘화점 데이터 경로"로서 사용될 수 있다.
또한, 상기 복수의 묘화점 형성부는 2차원으로 배치될 수 있다.
또한, 복수의 묘화점 형성부를 포함하는 묘화점 형성부의 열은 상기 이동 방향에 대하여 소정의 경사각만큼 경사질 수 있다.
본 발명에 의한 묘화 방법은 상기 본 발명에 의한 묘화점 데이터 취득 방법을 이용함으로써 묘화점 데이터가 취득되고, 상기 취득된 묘화점 데이터에 의거하여 상기 기판 상에 화상이 묘화되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 묘화점 데이터 취득 장치는 묘화점 데이터에 의거하여 묘화점을 형성하는 복수의 묘화점 형성부를 기판에 대하여 상대적으로 이동시키고, 상기 이동에 따라 상기 묘화점을 상기 기판 상에 순차적으로 형성함으로써 상기 기판 상에 화상이 묘화될 때 사용되는 상기 묘화점 데이터를 취득하는 장치로서 상기 기판 상의 상기 각 묘화점 형성부의 묘화 경로, 및 상기 화상을 나타내는 화상 데이터를 서로 관련시킴으로써 상기 각 묘화점 형성부의 묘화 경로에 대응되는 묘화점 데이터 경로를 취득하는 묘화점 데이터 경로 취득 수단; 및 각 묘화점 데이터 경로에서 상기 묘화점 데이터 경로의 연장 방향에 대하여 동일한 위치를 상기 각 묘화점 데이터 경로의 판독 시작 위치로서 선택하고, 상기 각 묘화점 데이터 경로에서 상기 판독 시작 위치로부터 상기 각 묘화점 데이터 경로를 따라 상기 화상 데이터를 순차적으로 판독함으로써 상기 각 묘화점 형성부의 묘화점 데이터를 취득하는 이상 묘화점 데이터 취득 수단을 포함한다.
또한, 상기 이상 묘화점 데이터 취득 수단은 상기 묘화점 데이터 경로의 배열 방향을 따라 상기 각 묘화점 데이터 경로에서의 묘화점 데이터를 순차적으로 취득할 수 있다.
본 발명에 의한 묘화점 데이터 취득 장치는 상기 이상 묘화점 데이터 취득 수단에 의해 취득된 상기 각 묘화점 형성부의 묘화점 데이터 열의 시작과 끝에 소정수의 마진 데이터의 세트를 부가하는 마진 데이터 부가 수단; 및 상기 마진 데이터 부가 수단에 의해 마진 데이터가 부가된 각 묘화점 데이터 열로부터 상기 각 묘화점 데이터 경로에 대응되는 상기 묘화점 데이터, 및 상기 마진 데이터의 일부를 추출 및 판독함으로써 상기 각 묘화점 형성부의 묘화점 데이터를 취득하는 묘화점 데이터 취득 수단을 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 묘화점 데이터 취득 장치는 복수의 상기 묘화점 데이터 경로를 대표하는 하나 이상의 대표 묘화점 데이터 경로를 취득하는 이상 대표 묘화점 데이터 경로 취득 수단을 더 포함할 수 있다. 상기 하나 이상의 대표 묘화점 데이터 경로의 수는 상기 복수의 묘화점 데이터 경로의 수보다 적다. 상기 이상 묘화점 데이터 취득 수단은 상기 이상 대표 묘화점 데이터 경로 취득 수단에 의해 취득된 대표 묘화점 데이터 경로를 따라 상기 판독 시작 위치로부터 상기 화상 데이터를 복수회 판독함으로써 상기 복수의 묘화점 데이터 경로에 대응되는 복수의 묘화점 형성부 각각에 대한 상기 묘화점 데이터를 취득할 수 있다.
또한, 상기 복수의 묘화점 형성부는 2차원으로 배치될 수 있다.
또한, 복수의 묘화점 형성부를 포함하는 묘화점 형성부의 열은 상기 이동 방향에 대하여 소정의 경사각만큼 경사질 수 있다.
본 발명에 의한 묘화 장치는 상기 본 발명에 의한 묘화점 데이터 취득 장치, 및 상기 묘화점 데이터 취득 장치에 의해 취득된 묘화점 데이터에 의거하여 상기 기판 상에 화상을 묘화하는 묘화 수단을 포함한다.
본 발명의 묘화점 데이터 취득 방법 및 장치, 및 본 발명의 묘화 방법 및 묘화 장치에 의하면, 기판 상의 각 묘화점 형성부의 묘화 경로, 및 화상을 나타내는 화상 데이터를 서로 관련시킴으로써 각 묘화점 형성부의 묘화 경로에 대응되는 묘화점 데이터 경로가 취득된다. 그 다음에, 각 묘화점 데이터 경로에서 묘화점 데이터 경로의 연장 방향에 대하여 동일한 위치가 각 묘화점 데이터 경로의 판독 시작 위치로서 선택된다. 그 다음에, 각 묘화점 데이터 경로에서 상기 판독 시작 위치로부터 각 묘화점 데이터 경로를 따라 화상 데이터를 순차적으로 판독함으로써 각 묘화점 형성부의 묘화점 데이터가 취득된다. 그러므로, 화상의 특징을 갖는 묘화점 데이터를 취득할 수 있다. 또한, 런 렝스 압축이 행해지는 경우 그 압축율을 향상시킬 수 있으므로 데이터량을 더 감소할 수 있다.
도 1은 본 발명에 의한 묘화점 데이터 취득 방법 및 장치, 및 묘화 방법 및 묘화 장치의 실시형태를 사용한 노광 장치의 구성을 나타내는 개략적인 사시도이다.
도 2는 도 1에 나타낸 노광 장치의 스캐너의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 3A는 기판의 노광면 상에 형성되는 노광된 영역을 나타내는 평면도이다.
도 3B는 노광 헤드에 의해 형성되는 노광 에리어의 배열을 나타내는 평면도이다.
도 4는 도 1에 나타낸 노광 장치의 노광 헤드에서의 DMD를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시형태에 의한 노광 장치의 전기적 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 6은 노광 화상 데이터의 일례를 나타내는 도면이다.
도 7은 각 마이크로미러의 노광점 데이터 경로와 노광 화상 데이터의 좌표계 사이의 대응을 나타내는 도면이다.
도 8은 이상 미러 데이터의 일례를 나타내는 도면이다.
도 9는 마진을 갖는 이상 미러 데이터의 일례를 나타내는 도면이다.
도 10은 이상 미러 데이터를 압축하는 방법의 일례를 설명하기 위한 도면이 다.
도 11은 각 마이크로미러에 의해 취득된 미러 데이터의 일례를 나타내는 도면이다.
도 12는 프레임 데이터의 일례를 나타내는 도면이다.
도 13은 이상 대표 노광점 데이터 경로를 설명하기 위한 도면이다.
도 14는 마진을 갖는 이상 대표 미러 데이터와 각 마이크로미러의 각 노광점 데이터 경로 사이의 대응을 나타내는 도면이다.
도 15는 하드웨어 처리부에서 마진 데이터가 부가된 경우에 사용되는 테이블이다.
도 16은 기판 상에 제공된 베이스 마크를 나타내는 도면이다.
도 17은 베이스 마크의 검출 위치에 대한 정보에 의거하여 기판 상의 각 마이크로미러의 노광 경로를 취득하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 18은 기판 상의 각 마이크로미러의 노광 경로에 대응되는 노광 화상 데이터에서의 노광점 데이터 경로를 취득하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 19는 본 발명의 유익한 효과를 설명하는 비교예를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 의한 묘화점 데이터 취득 방법 및 장치, 및 본 발명에 의한 묘화 방법 및 묘화 장치의 실시형태를 사용한 노광 장치가 상세히 설명될 것이다. 도 1은 본 발명의 실시형태를 사용한 노광 장치의 구성을 나타 내는 개략적인 사시도이다. 본 발명의 실시형태를 사용한 노광 장치는 다층 프린트된 배선판의 각 층을 그 위에 배선 패턴을 형성하기 위해 노광하는 장치이다. 다층 프린트된 배선판의 각 층을 그 위에 배선 패턴을 형성하기 위해 사용된 노광점 데이터를 취득하는 방법에 의해 노광 장치는 특징지어진다. 우선, 노광 장치의 개략적인 구성이 설명될 것이다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 노광 장치(10)는 이동 스테이지(14)를 포함한다. 이동 스테이지(14)는 평평한 판형상을 갖고, 그 표면에 기판(12)을 흡착하여 유지한다. 또한, 4개의 다리(16)에 의해 베이스(18)의 상면에 2개의 가이드(20)가 제공된다. 베이스(18)는 두꺼운 판형상을 갖고, 가이드(20)는 스테이지의 이동 방향을 따라 연장된다. 이동 스테이지(14)의 길이 방향이 스테이지(14)의 이동 방향과 평행하도록 이동 스테이지(14)가 배치된다. 또한, 이동 스테이지(14)가 왕복 이동할 수 있도록 이동 스테이지(14)는 가이드(20)에 의해 지지된다.
또한, C형 게이트(22)가 이동 스테이지(14)의 이동 경로에 걸치도록 베이스(18)의 중앙부에서 C형 게이트(22)가 제공된다. C형 게이트(22)의 각 단부는 베이스(18)의 양측에 고정된다. 또한, 게이트(22)의 한측에는 스캐너(24)가 제공되고, 게이트(22)의 타측에는 복수의 카메라(26)가 제공된다. 복수의 카메라(26)는 기판(12)의 선단 및 후단을 검출하기 위해 제공된다.
스캐너(24) 및 카메라(26)의 각각은 게이트(22)에 장착되어 이동 스테이지(14)의 이동 경로 상방의 고정된 위치에서 배치된다. 또한, 스캐너(24) 및 카메라(26)는 이들을 제어하는 하나 또는 복수의 컨트롤러에 접속된다(컨트롤러는 후술 될 것이다).
도 2 및 도 3B에 나타낸 바와 같이, 스캐너(24)는 10개의 노광 헤드(30)(30A~30J)를 포함한다. 10개의 노광 헤드(30)는 2행 5열의 행렬 형상으로 실질적으로 배열된다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 각 노광 헤드(30)에 디지털 마이크로미러 디바이스(DMD)(36)가 제공된다. 디지털 마이크로미러 디바이스(36)는 공간 광변조 소자에 입사된 광빔 상에 공간 변조를 행하는 공간 광변조 소자(SLM)이다. DMD(36)에서 다수의 마이크로미러(38)는 직교 방향으로 2차원 배열된다. 마이크로미러(38)의 열 방향이 주사 방향에 대하여 소정의 설정 경사 각도(θ)(0°<θ<90°)를 형성하도록 DMD(36)가 장착된다. 따라서, 각 노광 헤드(30)에 의해 형성된 노광 에리어(32)는 주사 방향에 대하여 경사진 직사각형 에리어이다. 이동 스테이지(14)가 이동함에 따라, 도 3A에 나타낸 바와 같이, 각 노광 헤드(30)에 의해 띠형의 노광된 영역(34)이 형성된다. 각 노광 헤드(30)에 입사하는 광빔을 방사하는 광원은 도면에서 생략된다. 레이저 광원 등이 광원으로서 이용될 수 있다.
각 노광 헤드(30)에 제공된 DMD(36)의 각 마이크로미러(38)의 온/오프는 마이크로미러 단위로 제어된다. 따라서, 기판(12) 상에 DMD(36)의 마이크로미러(38)에 대응되는 도트 패턴(흑/백)이 형성된다. 상술된 띠형의 노광된 영역(34)은 도 4에 나타낸 마이크로미러(38)에 대응되는 2차원 배열된 도트에 의해 형성된다. 또한, 상술된 바와 같이 DMD(36)는 주사 방향에 대하여 경사지므로 주사 방향에 직교하는 방향으로 배열된 노광점 사이의 간격은 더 좁아질 수 있다. 따라서, 해상도를 증가시킬 수 있다. 경사 각도의 조정에서의 변동으로 인해 몇몇 도트가 사용되지 않는 경우가 있다. 예를 들면, 도 4에서 빗금친 도트는 사용되지 않고, 이러한 도트에 대응되는 DMD(36)의 마이크로미러(38)는 항상 오프 상태가 된다.
또한, 도 3A 및 도 3B에 나타낸 바와 같이, 띠형의 노광된 영역(34)의 각각이 하나 또는 복수의 인접하는 노광된 영역(34)과 부분적으로 겹치도록 선형으로 배열된 각 행의 노광 헤드(30)는 소정 간격만큼 다른 행에서의 노광 헤드(30)로부터 시프트된다. 그러므로, 예를 들면 제 1 행의 가장 좌측 상의 노광 에리어(32A)와 노광 에리어(32A)의 우측 상의 노광 에리어(32C) 사이의 노광되지 않은 영역은 제 2 행의 가장 좌측 상의 노광 에리어(32B)에 의한 광으로 노광된다. 유사하게, 노광 에리어(32B)와 노광 에리어(32B)의 우측 상의 노광 에리어(32D) 사이의 노광되지 않은 영역은 노광 에리어(32C)에 의한 광으로 노광된다.
다음에, 노광 장치(10)의 전기적 구성이 설명될 것이다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 노광 장치(10)는 소프트웨어 처리부(40) 및 하드웨어 처리부(50)를 포함한다. 소프트웨어 처리부(40)는 주로 소프트웨어에 의해 처리를 행하고, 하드웨어 처리부(50)는 주로 하드웨어에 의해 처리를 행한다.
소프트웨어 처리부(40)는 노광점 데이터 경로 취득 수단(41), 이상 노광점 데이터 경로 취득 수단(42), 이상 미러 데이터 취득 수단(43), 마진 데이터 부가 수단(44), 및 압축 처리 수단(45)을 포함한다. 노광점 데이터 경로 취득 수단(41)은 노광 화상 데이터의 좌표계에서의 각 마이크로미러(38)의 노광점 데이터 경로를 취득한다. 이상 노광점 데이터 경로 취득 수단(42)은 노광점 데이터 경로 취득 수 단(41)에 의해 취득된 노광점 데이터 경로에 의거하여 이상 노광점 데이터 경로를 취득한다. 이상 노광점 데이터 경로는 후술될 것이다. 이상 미러 데이터 취득 수단(43)은 노광에 의해 형성될 배선 패턴을 나타내는 노광 화상 데이터를 수신한다. 또한, 이상 미러 데이터 취득 수단(43)은 이상 노광점 데이터 경로 취득 수단(42)으로부터 출력된 이상 노광점 데이터 경로를 수신하다. 그 다음에, 이상 미러 데이터 취득 수단(43)은 이상 노광점 데이터 경로에 의거하여 노광 화상 데이터로부터 이상 미러 데이터를 취득한다. 이상 미러 데이터는 후술될 것이다. 마진 데이터 부가 수단(44)은 이상 미러 데이터 취득 수단(43)에 의해 취득된 이상 미러 데이터에 마진 데이터를 부가한다. 마진 데이터는 후술될 것이다. 압축 처리 수단(45)은 마진 데이터 부가 수단(44)에 의해 마진 데이터가 부가된 이상 미러 데이터(이하, 마진 데이터가 부가된 이상 미러 데이터는 "마진을 갖는 이상 미러 데이터"라고 함)에 런 렝스 압축 처리를 행한다. 상기 노광점 데이터 경로, 상기 이상 노광점 데이터 경로, 상기 이상 미러 데이터 및 마진 데이터는 나중에 상세히 설명될 것이다. 본 실시형태에서 런 렝스 압축 처리가 행해진다. 그러나, 다른 압축 방법이 채용될 수 있다.
하드웨어 처리부(50)는 압축해제 처리 수단(51), 미러 데이터 취득 수단(52), 및 프레임 데이터 취득 수단(53)을 포함한다. 압축해제 처리 수단(51)은 소프트웨어 처리부(40)의 압축 처리 수단(45)으로부터 출력된 압축된 노광 화상 데이터를 수신하고, 이 압축된 노광 화상 데이터에 압축해제 처리를 행한다. 미러 데이터 취득 수단(52)은 압축해제 처리 수단(51)에 의해 압축해제된 마진을 갖는 이 상 미러 데이터로부터 빔 시점 위치 정보 및 빔 종점 위치 정보에 의거하여 각 마이크로미러(38)의 미러 데이터를 취득한다. 빔 시점 위치 정보 및 빔 종점 위치 정보는 후술될 것이다. 프레임 데이터 취득 수단(53)은 미러 데이터 취득 수단(52)에 의해 취득된 각 마이크로미러(38)의 미러 데이터에 90도 회전 처리 또는 행렬을 이용한 의한 전치(transposition) 처리를 행함으로써 후술될 프레임 데이터를 취득한다.
또한, 노광 장치(10)는 노광 헤드 제어부(60), 이동 스테이지(14)를 스테이지의 이동 방향으로 이동시키는 이동 기구(도시되지 않음), 및 본 발명의 노광 장치 전체를 제어하는 컨트롤러(도시되지 않음)를 포함한다. 노광 헤드 제어부(60)는 하드웨어 처리부(50)에 의해 취득된 프레임 데이터에 의거하여 각 노광 헤드(30)로 제어 신호를 출력한다. 이동 기구로서 가이드(20)를 따라 이동 스테이지(14)를 왕복 이동시킬 수 있는 기구이면 어떠한 알려진 구조의 기구도 채용될 수 있다.
상기 각 요소의 작용은 후술될 것이다.
다음에, 노광 장치(10)의 작용이 첨부 도면을 참조하여 설명될 것이다.
우선, 기판(12)에 노광에 의해 형성될 배선 패턴을 나타내는 래스터 형식의 노광 화상 데이터가 생성된다. 래스터 형식의 노광 화상 데이터는 이상 미러 데이터 취득 수단(43)으로 입력되어 이상 미러 데이터 취득 수단(43)에 의해 메모리(도시되지 않음)에 일시적으로 저장된다.
본 실시형태에서 도 6에 나타낸 바와 같은 배선 패턴이 노광에 의해 형성되는 경우가 설명될 것이다. 도 6에 나타낸 격자에서의 각각의 정사각형은 노광 화상 데이터를 형성하는 최소 단위인 화소 데이터를 나타낸다. 설명의 목적을 위해 도 6에 나타낸 배선 패턴이 단일 노광 헤드(30)에 의해 노광이 행해짐으로써 형성되는 경우가 설명될 것이다. 그러나, 다른 노광 헤드(30)에 의해서도 같은 처리가 행해진다고 가정된다.
상술된 바와 같이 노광 화상 데이터는 저장된다. 또한, 노광점 데이터 경로 취득 수단(41)은 각 마이크로미러(38)에 대한 기판(12) 상의 빔 시점 위치 정보 및 빔 종점 위치 정보를 취득한다. 그 다음에, 빔 시점 위치 정보에 대응되는 노광 화상 데이터의 좌표계에서의 투영점, 및 빔 종점 위치 정보에 대응되는 노광 화상 데이터의 좌표계에서의 투영점이 취득된다. 또한, 이들의 투영점을 연결하는 각 마이크로미러(38)의 노광점 데이터 경로가 취득된다. 각 마이크로미러(38)의 노광점 데이터 경로는 기판(12) 위를 통과하는 각 마이크로미러의 노광점의 통과 경로를 노광 화상 데이터의 좌표계로 투영함으로써 형성된 경로이다.
그 다음에, 각 마이크로미러(38)의 노광점 데이터 경로는 이상 노광점 데이터 경로 취득 수단(42)으로 출력된다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 각 마이크로미러(38)의 노광점 데이터 경로, 및 노광 화상 데이터의 좌표계는 서로 관련된다. 도 7에서 흑색 원은 각 마이크로미러(38)에 의해 기판(12)으로 투영된 빔 시점 위치 정보 및 빔 종점 위치 정보의 투영점을 나타낸다. 도 7에서 화살표는 노광점 데이터 경로를 나타내고, 흑색 원의 번호는 미러 번호이다. 노광 화상 데이터의 양측 상의 빗금친 부분은 마이크로미러(38)가 2차원 배열된 DMD(36)를 사용하여 노광 화상 데이터에 의해 나타내어지는 노광 화상을 형성하기 위해 노광이 행해질 때에 요 구되는 마진 데이터 부분이다. 설명의 목적을 위해 도 7에는 마진 데이터 부분이 나타내어진다. 그러나, 마진 데이터 부분 상의 마진 데이터는 메모리에 저장되지 않는다고 가정된다.
그 다음에, 이상 노광점 데이터 경로 취득 수단(42)은 노광 시작 위치에 대응되는 메모리에서의 노광 화상 데이터의 어드레스, 및 노광 종료 위치에 대응되는 메모리에서의 노광 화상 데이터의 어드레스를 취득한다. 노광 시작 위치는 각 마이크로미러(38)에 의해 노광 화상을 형성하는 노광이 시작되는 위치이고, 노광 종료 위치는 노광 화상을 형성하는 노광이 종료하는 위치이다. 이들 어드레스는 노광 화상 데이터의 좌표계, 및 노광점 데이터 경로에 의거하여 취득된다. 도 7에서 좌측 상의 백색 원은 노광 시작 위치를 나타내고, 우측 상의 백색 원은 노광 종료 위치를 나타낸다.
그 다음에, 각 마이크로미러(38)에 대하여 2개의 백색 원을 연결하는 이상 노광점 데이터 경로가 취득된다. 이상 노광점 데이터 경로는 이상 미러 데이터 취득 수단(43)으로 출력된다. 실제 처리에서 이상 노광점 데이터 경로로서 각 마이크로미러(38)의 판독 시작 어드레스 및 판독 종료 어드레스가 출력된다. 백색 원의 위치는 본 발명의 청구항에서의 판독 시작 위치에 대응된다.
그 다음에, 이상 미러 데이터 취득 수단(43)은 각 마이크로미러(38)의 이상 노광점 데이터 경로에 의거하여 각 마이크로미러(38)의 노광점 데이터를 소정의 샘플링 간격으로 메모리로부터 판독함으로써 각 마이크로미러(38)의 이상 미러 데이터가 취득된다. 이때, 도 7에 나타낸 이상 노광점 데이터 경로의 번호의 순서로 이 상 미러 데이터가 취득되고, 최종적으로 도 8에 나타낸 이상 미러 데이터가 취득된다. 번호가 할당된 각 수평선에서의 데이터는 이상 미러 데이터의 세트이다.
그 다음에, 상술된 바와 같이 취득된 이상 미러 데이터는 마진 데이터 부가 수단(44)으로 출력된다. 마진 데이터 부가 수단(44)에서, 도 9에 나타낸 바와 같이, 이상 미러 데이터에 마진 데이터가 부가된다. 마진 데이터는 도 7에 나타낸 마진 데이터 부분에 대응되는 데이터이다. 동일한 수의 마진 데이터의 세트가 각 이상 미러 데이터에 부가된다. 또한, 본 실시형태에서의 마진 데이터는 제로(0)만을 포함하는 데이터이다.
마진을 갖는 이상 미러 데이터는 압축 처리 수단(45)으로 출력된다. 그 다음에, 압축 처리 수단(45)은 도 9에 나타낸 Y 방향으로 런 렝스 압축 처리를 행하여 런 렝스 데이터를 생성한다. 이 경우에서, 도 10에 나타낸 바와 같이, 이상 미러 데이터(또는 마진을 갖는 이상 미러 데이터)의 제 2 또는 그 아래의 행에서의 각 데이터에 대하여 바로 그 위의 행에서의 데이터로부터의 차분을 순차적으로 취득하고, 취득된 차분 데이터에 Y 방향으로 런 렝스 압축 처리를 행함으로써 압축율이 증가될 수 있다.
그 다음에, 압축 처리 수단(45)에 의해 생성된 런 렝스 데이터는 하드웨어 처리부(50)로 출력되어 하드웨어 처리부(50)의 압축해제 처리 수단(51)으로 입력된다. 그 다음에, 압축해제 처리 수단(51)에 의해 런 렝스 데이터가 압축해제되고, 마진을 갖는 이상 미러 데이터가 다시 생성된다. 마진을 갖는 이상 미러 데이터는 미러 데이터 취득 수단(52)으로 출력된다.
미러 데이터 취득 수단(52)은 상술된 바와 같이 마진을 갖는 이상 미러 데이터를 수신한다. 또한, 미러 데이터 취득 수단(52)은 노광점 데이터 경로 취득 수단(41)에 의해 취득된 각 마이크로미러(38)에 대한 빔 시점 위치 정보 및 빔 종점 위치 정보를 수신한다. 그 다음에, 도 9에 나타낸 바와 같이, 마진을 갖는 이상 미러 데이터는 각 마이크로미러(38)에 대한 빔 시점 위치 정보 및 빔 종점 위치 정보와 관련된다. 또한, 각 마이크로미러(38)에 대하여 빔 시점 위치 정보와 빔 종점 위치 정보를 연결하는 노광점 데이터 경로에 대응되는 미러 데이터가 추출된다. 따라서, 각 마이크로미러(38)의 미러 데이터가 취득된다.
이때, 각 마이크로미러(38)의 번호의 순서대로 미러 데이터가 취득되고, 각미러 데이터는 도 11에 나타낸 바와 같이 배열된다.
그 다음에, 상술된 바와 같이 미러 데이터 취득 수단(52)에 의해 취득된 각 마이크로미러(38)의 미러 데이터는 프레임 데이터 취득 수단(53)으로 출력된다. 프레임 데이터 취득 수단(53)은 90도 회전 처리 또는 행렬을 이용한 전치 처리를 미러 데이터에 행하여, 도 12에 나타낸 바와 같이, 프레임 데이터를 취득한다. 도 12에서 번호는 프레임 번호이며 각 번호가 할당된 각 (수평)열에서의 데이터는 프레임 데이터의 세트이다.
상술된 바와 같이 프레임 데이터 취득 수단(53)에 의해 취득된 프레임 데이터는 프레임 번호의 순서대로 노광 헤드 제어부(60)로 순차적으로 출력된다.
상술된 바와 같이 프레임 데이터는 노광 헤드 제어부(60)로 출력되고, 이동 스테이지(14)는 상류측을 향하여 소망의 속도로 이동된다. 상류측은 도 1에서의 우측이다. 구체적으로는, 상류측은 게이트(22)에 대하여 스캐너(24)가 설치되어 있는 측이다. 하류측은 도 1에서의 좌측이다. 구체적으로는, 하류측은 게이트(22)에 대하여 카메라(26)가 설치되어 있는 측이다.
기판(12)의 선단이 하나 또는 복수의 카메라(26)에 의해 검출되면 노광 처리가 시작된다. 구체적으로는, 이동 스테이지(14)가 이동함에 따라 노광 헤드 제어부(60)는 각 노광 헤드(30)의 DMD(36)로 프레임 데이터에 의거하여 제어 신호를 출력한다. 그 다음에, 각 노광 헤드(30)는 입력된 제어 신호에 의거하여 DMD(36)의 마이크로미러를 온 또는 오프로 설정함으로써 광으로 기판(12)을 노광한다.
그 다음에, 이동 스테이지(14)가 이동함에 따라 각 노광 헤드(30)로 제어 신호가 순차적으로 출력되어 노광이 행해진다. 기판(12)의 후단이 하나 또는 복수의 카메라(26)에 의해 검출되면 노광 처리가 종료된다.
노광 헤드 제어부(60)로부터 각 노광 헤드(30)로 제어 신호가 출력될 때 기판(12)에 관하여 각 노광 헤드(30)의 각 위치에 대응되는 제어 신호는 이동 스테이지(14)가 이동함에 따라 노광 헤드 제어부(60)로부터 각 노광 헤드(30)로 순차적으로 출력된다. 이때, 본 실시형태에서와 같이, 프레임 데이터에 의거하여 노광 헤드 제어부(60)로부터 각 노광 헤드(30)로 제어 신호가 순차적으로 출력될 수 있다. 본 실시형태에서 프레임 데이터는 생성되지만, 프레임 데이터가 생성될 필요는 없다. 예를 들면, 각 마이크로미러(38)에 대해 취득된 각 미러 데이터로부터 각 노광 헤드(30)의 각 위치에 대응되는 노광점 데이터의 세트가 순차적으로 판독될 수 있고, 판독된 노광점 데이터는 각 노광 헤드(30)로 출력될 수 있다.
본 실시형태에 의한 노광 장치에서 각 마이크로미러(38)의 노광 화상의 노광 시작 위치에 대응되는 노광 화상을 의미하는 노광 화상 데이터가 저장된 메모리에서의 어드레스는 각 마이크로미러(38)의 판독 시작 어드레스로서 취득된다. 또한, 기판(12) 상의 각 마이크로미러(38)의 노광 경로에 대응되는 노광 화상 데이터에 서의 각 마이크로미러(38)의 노광점 데이터 경로를 따라 각 판독 시작 어드레스로부터 노광 화상 데이터가 순차적으로 판독되어 각 마이크로미러(38)의 이상 미러 데이터를 취득한다. 그러므로, 화상의 특징을 갖는 이상 미러 데이터를 취득할 수 있다. 또한, 예를 들면, 런 렝스 압축 처리가 행해지는 경우 압축율을 향상시킬 수 있다. 따라서, 데이터량을 더 감소시킬 수 있다.
또한, 상기 실시형태에서와 같이, 이상 미러 데이터의 취득 후 이상 미러 데이터에 동일한 수의 마진 데이터의 세트가 부가되면, 도 9에 나타낸 바와 같은 마진을 갖는 이상 미러 데이터를 생성할 수 있다. 그러므로, 런 렝스 압축에서의 압축 효율을 향상시킬 수 있다. 상기 실시형태에서 이상 미러 데이터의 취득 후 이상 미러 데이터에 동일한 수의 마진 데이터의 세트가 부가된다. 그러나, 예를 들면, 도 19에 나타낸 바와 같이, 노광 화상 데이터에 마진 데이터가 부가된 후 노광점 데이터 경로에서의 빔 시점 위치 정보로부터 빔 종점 위치 정보까지의 노광점 데이터가 각 노광점 데이터 경로에 대해 취득되면 각 마이크로미러(38)의 미러 데이터는 도 11에 나타낸 바와 같은 데이터이다. 구체적으로는, 각 마이크로미러(38)의 미러 데이터는 Y 방향으로 서로 시프트되므로 노광 화상의 특징을 유지할 수 없다. 또한, 마진 데이터의 압축율은 본 실시형태에서의 마진 데이터보다 낮아진다.
또한, 상기 실시형태에서 이상 노광점 데이터 경로 취득 수단(42)은 각 마이크로미러(38)의 이상 노광점 데이터 경로를 취득한다. 그러나, 예를 들면, 복수의 마이크로미러(38)의 노광점 데이터 경로가 동일한 화소 데이터에 위치되면 각 마이크로미러(38)에 대해 이상 노광점 데이터 경로가 취득되는 것이 항상 필요하지는 않다. 동일한 화소 데이터에 위치되는 복수의 노광점 데이터 경로에 대해 예를 들면, 단일 이상 대표 노광점 데이터 경로가 취득될 수 있다. 그 다음에, 단일 이상 대표 노광점 데이터 경로를 이용하여 각 마이크로미러(38)의 미러 데이터가 취득될 수 있다.
구체적으로는, 예를 들면, 노광 화상 데이터와 각 마이크로미러(38)의 노광점 데이터 경로 사이의 위치 관계가 도 7에 나타낸 바와 같으면 동일한 화소 데이터에 3개의 노광점 데이터 경로가 위치된다. 그러므로, 3개의 노광점 데이터 경로에 대해, 예를 들면, 도 13에 나타낸 바와 같은 단일 이상 대표 노광점 데이터 경로가 취득된다. 이상 대표 노광점 데이터 경로는 대표 노광점 데이터 경로, 및 대표 노광점 경로의 대표 판독 시작 어드레스를 취득함으로써 취득된다. 대표 노광점 경로는 노광점 데이터 경로를 대표하는 노광점 데이터 경로이다. 대표 노광점 데이터 경로는 3개의 노광점 데이터 경로 중 하나를 선택함으로써 취득될 수 있다. 대안으로, 대표 노광점 데이터 경로는 3개의 노광점 데이터 경로에 의거하여 추가적인 연산을 행함으로써 가상적으로 취득될 수 있다. 또한, 대표 판독 시작 어드레스는 3개의 노광점 데이터 경로에 대응되는 판독 시작 어드레스 중 하나를 선택함으로써 취득될 수 있다.
그 다음에, 상술된 바와 같이 취득된 이상 대표 노광점 데이터 경로는 이상 미러 데이터 취득 수단(43)으로 출력된다. 이상 미러 데이터 취득 수단(43)에 의해 이상 대표 노광점 데이터 경로는 노광 화상 데이터와 관련지어진다. 각 이상 대표 노광점 데이터 경로에 대응되는 노광 화상 데이터는 소정의 샘플링 간격으로 판독되어 각 이상 대표 노광점 데이터 경로에서의 이상 대표 미러 데이터를 취득한다. 이때, 도 13에 나타낸 번호의 순서대로 이상 대표 미러 데이터가 취득된다.
그 다음에, 상술된 바와 같이 취득된 이상 대표 미러 데이터는 마진 데이터 부가 수단(44)으로 출력된다. 마진 데이터 부가 수단(44)은, 도 14에 나타낸 바와 같이, 이상 대표 미러 데이터에 마진 데이터를 부가한다.
그 다음에, 마진 데이터가 부가된 이상 대표 미러 데이터(이하, "마진을 갖는 이상 대표 미러 데이터"라 함)는 압축 처리 수단(45)으로 출력된다. 압축 처리 수단(45)은 도 14에 나타내는 Y 방향으로 런 렝스 압축 처리를 행하여 런 렝스 데이터를 생성한다.
그 다음에, 압축 처리 수단(45)에 의해 생성된 런 렝스 데이터는 하드웨어 처리부(50)로 출력되어 하드웨어 처리부(50)의 압축해제 처리 수단(51)으로 입력된다. 그 다음에, 압축해제 처리 수단(51)에 의해 런 렝스 데이터가 압축해제되고 마진을 갖는 이상 대표 미러 데이터가 다시 생성된다. 마진을 갖는 이상 대표 미러 데이터는 미러 데이터 취득 수단(52)으로 출력된다.
상술된 바와 같이 미러 데이터 취득 수단(52)으로 마진을 갖는 이상 대표 미러 데이터가 입력된다. 또한, 노광점 데이터 경로 취득 수단(41)에 의해 취득된 각 마이크로미러(38)에 대한 빔 시점 위치 정보 및 빔 종점 위치 정보가 미러 데이터 취득 수단(52)으로 입력된다. 그 다음에, 도 14에 나타낸 바와 같이, 마진을 갖는 이상 대표 미러 데이터는 각 마이크로미러(38)에 대한 빔 시점 위치 정보 및 빔 종점 위치 정보와 관련지어진다. 이때, 상기 실시형태에서 단일 노광점 데이터 경로는 단일 열로 마진을 갖는 이상 미러 데이터와 관련지어진다. 그러나, 본 실시형태에서는 3개의 노광점 데이터 경로가 단일 열에서 마진을 갖는 이상 대표 미러 데이터와 관련지어진다.
그 다음에, 각 노광점 데이터 경로에 대응되는 마진을 갖는 이상 대표 미러 데이터의 부분이 추출되어 복수회 판독된다. 따라서, 각 마이크로미러(38)의 미러 데이터가 취득된다. 이때, 도 14에 나타낸 미러 번호의 순서대로 미러 데이터가 취득된다. 최종적으로, 상기 실시형태와 유사한 방식으로, 도 11에 나타낸 미러 데이터가 취득된다.
이상 대표 노광점 데이터 경로의 수가 하나일 필요는 없다. 이상 대표 노광점 데이터 경로의 수는 동일한 화소 데이터에서 위치되는 복수의 노광점 데이터 경로의 수보다 작은 수이면 어떠한 수여도 좋다. 이상 대표 노광점 데이터 경로의 수는 소망의 화질에 의거하여 결정되면 좋다.
또한, 단일 화소 데이터 열에 대해 2개 이상의 이상 대표 노광점 데이터 경로가 설정되는 경우 각 노광점 데이터 경로의 미러 데이터는, 예를 들면, 각 노광점 데이터 경로에 가장 가까운 이상 대표 노광점 데이터 경로에 대응되는 이상 대표 미러 데이터를 이용하여 취득되면 좋다.
상기 실시형태에서와 같이 이상 대표 노광점 데이터 경로가 취득되고, 이상 대표 노광점 데이터 경로에 의거하여 각 이상 대표 노광점 데이터 경로에서의 이상 대표 미러 데이터가 취득되는 경우 데이터량을 더 감소시킬 수 있다. 따라서, 메모리의 용량을 감소시킬 수 있고 데이터 전송 속도를 증가시킬 수 있다.
또한, 상기 실시형태에서 소프트웨어 처리부(40)의 마진 데이터 부가 수단(44)에 의해 마진 데이터가 부가된다. 그러나, 하드웨어 처리부(50)에 의해 마진 데이터가 부가될 필요는 없다. 대안으로, 예를 들면, 하드웨어 처리부(50)에 의해 마진 데이터가 부가될 수 있다. 구체적으로, 예를 들면, 이상 미러 데이터 또는 이상 대표 미러 데이터를 하드웨어 처리부(50)의 메모리에 저장되고, 각 이상 노광점 데이터 경로에 대응되는 이상 미러 데이터가 저장된 각 저장 영역의 시작에서의 어드레스는 포인터 정보로서 취득된다. 대안으로, 예를 들면, 각 이상 대표 노광점 데이터 경로에 대응되는 이상 대표 미러 데이터가 저장된 각 저장 영역의 시작에서의 어드레스는 포인트 정보로서 취득된다.
그 다음에, 도 15에 나타낸 바와 같이, 이상 노광점 데이터 경로 번호 및 이상 대표 노광점 데이터 경로 번호 중 하나, 각 이상 미러 데이터 또는 각 이상 대표 미러 데이터의 시작 및 끝에 부가된 마진 데이터에서의 O의 수(오프셋 값), 및 상기 포인터 정보가 서로 관련지어지는 테이블이 작성된다. 테이블은 하드웨어 처리부(50)로 출력된다.
그 다음에, 하드웨어 처리부(50)는 테이블에서의 포인터 정보에 의거하여 각 이상 노광점 데이터 경로 또는 각 이상 대표 노광점 데이터 경로에 대응되는 이상 미러 데이터 또는 이상 대표 미러 데이터를 판독하면 좋다. 또한, 하드웨어 처리부(50)는 테이블에서의 오프셋 값에 의거하여 그 오프셋 값에 의해 나타내어지는 0의 수를 각 이상 미러 데이터 또는 이상 대표 미러 데이터의 시작 및 끝에 부가하면 좋다.
상기 실시형태에서 기판(12)의 왜곡 등을 고려하지 않고 각 마이크로미러(38)의 노광점 데이터 경로가 취득되고, 그 노광점 데이터 경로에 대응되는 미러 데이터다 취득된다. 그러나, 기판(12)의 왜곡을 고려하여 각 마이크로미러(38)의 노광점 데이터 경로가 취득될 수 있고, 노광점 데이터 경로에 의거하여 이상 노광점 데이터 경로 또는 이상 대표 노광점 데이터 경로가 취득될 수 있다.
기판(12)의 왜곡을 고려하여 노광점 데이터 경로를 취득하는 방법이 설명될 것이다.
우선, 도 16에 나타낸 바와 같이, 소정의 베이스 마크 위치 정보에 의거하여 기판(12) 상에 복수의 베이스 마크(12a)가 제공된다. 베이스 마크(12a)는 예를 들면 기판(12) 상에 형성된 구멍이다. 대안으로, 베이스 마크(12a)는 랜드, 비어스(vias)(비아 홀) 또는 에칭 마크일 수 있다. 또한, 예를 들면, 노광 처리가 행해질 층 아래의 층에 형성된 패턴 등의 기판(12)에 형성된 소정의 패턴은 베이스 마크(12a)로서 이용될 수 있다.
그 다음에, 상술된 바와 같이 베이스 마크(12a)가 제공된 기판(12)은 이동 스테이지(14)의 소정의 위치에 위치된다. 그 다음에, 이동 스테이지(14)가 도 1에 나타낸 위치로부터 가이드(20)를 따라 상류측의 소정의 초기 위치까지 한번 이동된 후 이동 스테이지(14)는 하류측을 향하여 소망의 속도로 이동된다.
그 다음에, 상술된 바와 같이 이동되는 이동 스테이지(14) 상의 기판(12)이 복수의 카메라(26) 아래를 통과할 때 카메라(26)는 기판(12)을 촬영하여 촬영 화상을 나타내는 촬영 화상 데이터를 취득한다. 그 다음에, 취득된 촬영 화상 데이터에 의거하여 기판(12) 상의 베이스 마크(12a)의 위치를 나타내는 검출 위치 정보가 취득된다. 검출 위치 정보는 카메라(26)에 의해 취득된 촬영 화상에서의 베이스 마크 화상의 위치, 및 카메라(26)에 의해 베이스 마크(12a)가 촬영될 때의 이동 스테이지(14)의 이동 거리에 의거하여 얻을 수 있다. 이동 스테이지(14)의 이동 거리는, 예를 들면, 리니어 인코더에 의해 측정될 수 있다. 또한, 베이스 마크(12a)의 베이스 마크 화상은, 예를 들면, 원형 화상을 추출함으로써 취득될 수 있다. 그러나, 어떤 알려진 취득 방법을 사용함으로써 베이스 마크 화상이 취득될 수 있다. 또한, 베이스 마크(12a)의 검출 위치 정보는 실제로 좌표치로서 취득되고, 좌표계는 노광 화상 데이터의 좌표계와 동일하다. 또한, 상술된 바와 같이 베이스 마크 위치 정보의 좌표계도 동일한 좌표계이다.
그 다음에, 상술된 바와 같이 취득된 베이스 마크(12a)의 검출 위치에 대한 정보에 의거하여 실제 노광에서의 기판(12) 상의 각 마이크로미러(38)의 노광 경로가 취득된다.
구체적으로, 상술된 바와 같이 취득된 검출 위치 정보(12d), 및 이동 스테이지(14)와 노광 헤드(30) 사이의 위치 관계에 의거하여 미리 설정된 각 마이크로미러(38)에 대한 통과 위치 정보(12c)는, 도 17에 나타낸 바와 같이, 서로 관련지어 진다. 그 다음에, 주사 방향에 직교하는 방향으로 서로 인접하는 검출 위치 정보(12d)를 연결하는 직선과 각 마이크로미러(38)의 노광 경로(12c)를 나타내는 직선의 교점의 좌표치가 얻어진다. 구체적으로, 도 17에서 ×로 나타내어지는 점의 좌표치가 얻어진다. 또한, 마크(×)로부터 주사 방향에 직교하는 방향으로 마크(×)에 인접하는 각 검출 위치 정보(12d)까지의 거리가 얻어진다. 그 다음에, 마크(×)로부터 한측의 검출 위치 정보(12d)까지의 거리와 및 마크(×)로부터 타측의 검출 위치 정보(12d)까지의 거리 사이의 비율이 얻어진다. 구체적으로, 도 17에서 a1:b1, a2:b2, a3:b3 및 a4:b4가 얻어진다. 이러한 비율은 노광 경로를 나타낸다.
그 다음에, 상술한 바와 같이 취득된 비율, 및 노광 화상 데이터의 좌표계에 플롯(plot)된 베이스 마크 위치 정보에 대응되는 노광 화상 데이터 베이스 마크 위치 정보(12e)에 의거하여 각 마이크로미러(38)의 노광점 데이터 경로가 취득된다.
구체적으로, 도 18에 나타낸 바와 같이, 주사 방향에 직교하는 방향으로 서로 인접하는 노광 화상 데이터 베이스 마크 위치 정보(12e) 및 노광 화상 데이터 베이스 마크 위치 정보(12e)를 연결하는 직선이 상술된 바와 같이 취득된 비율에 의거하여 분할되는 점의 좌표치가 얻어진다. 즉, 다음의 식을 만족하는 점의 좌표치가 구해진다.
a1:b1 = A1:B1
a2:b2 = A2:B2
a3:b3 = A3:B3
a4:b4 = A4:B4
상술된 바와 같이 얻어진 점과 각 마이크로미러(38)에 대한 빔 시점 위치 정보 및 빔 종점 위치 정보가 노광 화상 데이터 상에 투영되는 투영점을 연결하는 직선이 기판(12)의 왜곡이 고려된 각 마이크로미러(38)의 노광점 데이터 경로이다.
상술된 바와 같이 취득된 각 마이크로미러(38)의 노광점 데이터 경로 에 의거하여 이상 노광점 데이터 경로 또는 이상 대표 노광점 데이터 경로가 취득되고, 각 마이크로미러(38)의 미러 데이터가 취득되는 작용은 상술된 작용과 유사한 방식으로 성취된다.
또한, 기판(12)의 왜곡에 더하여 이동 스테이지(14)의 이동 방향에 직교하는 방향으로의 이동 스테이지(14)의 위치 변동, 이동 스테이지(14)의 요잉(yawning) 등이 고려될 수 있고, 각 마이크로미러(38)에 대해 노광 화상 데이터의 좌표계에서의 노광점 데이터 경로가 취득될 수 있다. 또한, 노광점 데이터 경로에 의거하여 이상 노광점 데이터 경로 또는 이상 대표 노광점 데이터 경로가 취득될 수 있다. 그 다음에, 이상 노광점 데이터 경로 또는 이상 대표 노광점 데이터 경로에 의거하여 각 마이크로미러(38)의 미러 데이터가 취득될 수 있다. 여기서, 이동 스테이지(14)의 위치 변동 및 요잉은, 예를 들면, 레이저 길이 측정기 등을 이용하여 측정되면 좋다.
또한, 상기 실시형태에서는 공간 광변조 소자로서 DMD를 포함하는 노광 장치가 설명되었다. 그러나, 상술된 반사형 공간 광변조 소자를 대신하여 투과형 공간 광변조 소자가 사용될 수 있다.
또한, 상기 실시형태에서는 소위 플랫 베드(flat-bed) 타입의 노광 장치가 예로서 사용되었다. 그러나, 소위 아우터 드럼(outer-drum) 타입 노광 장치가 사용될 수도 있다. 소위 아우터 드럼 타입 노광 장치는 감광 재료가 권회되는 드럼을 갖는 노광 장치이다.
또한, 상기 실시형태에서 노광될 대상인 기판(12)이 프린트된 배선판일 필요는 없다. 기판(12)은 평평한 패널 디스플레이의 기판일 수 있다. 또한, 기판(12)의 형상은 시트 형상 또는 가늘고 긴 형상(플렉시블 기판 등)일 수 있다.
또한, 본 발명의 묘화 방법 및 묘화 장치는 잉크젯 타입 등의 프린터에서의 화상 묘화에도 적용될 수 있다. 예를 들면, 잉크를 분출함으로써 형성된 묘화점이 본 발명과 유사한 방식으로 형성될 수 있다. 구체적으로, 본 발명의 묘화점 형성부는 잉크젯 타입의 프린터의 각 노즐로서 생각될 수 있다.

Claims (14)

  1. 묘화점 데이터에 의거하여 묘화점을 형성하는 복수의 묘화점 형성부를 기판에 대하여 상대적으로 이동시키고, 상기 이동에 따라 상기 묘화점을 상기 기판 상에 순차적으로 형성함으로써 상기 기판 상에 화상이 묘화될 때 사용되는 상기 묘화점 데이터를 취득하는 방법에 있어서:
    상기 기판 상의 상기 각 묘화점 형성부의 묘화 경로, 및 상기 화상을 나타내는 화상 데이터를 서로 관련시킴으로써 상기 각 묘화점 형성부의 묘화 경로에 대응되는 묘화점 데이터 경로를 취득하는 단계;
    각 묘화점 데이터 경로가 연장하는 방향에 대해 상기 화상 데이터의 좌표계에 있어서 동일한 좌표를 갖는 위치를 각 묘화점 데이터 경로의 판독 시작 위치로서 지정하는 단계; 및
    상기 각 묘화점 데이터 경로에서 상기 판독 시작 위치로부터 상기 각 묘화점 데이터 경로를 따라 상기 화상 데이터를 순차적으로 판독함으로써 상기 각 묘화점 형성부의 묘화점 데이터를 취득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 묘화점 데이터 취득 방법.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 묘화점 형성부의 묘화점 데이터가 취득된 후 상기 각 묘화점 형성부의 각 묘화점 데이터 열의 시작과 끝에 마진 데이터의 세트가 부가되고, 상기 마진 데이터가 부가된 각 묘화점 데이터 열로부터 상기 각 묘화점 데이터 경로에 대응되는 상기 묘화점 데이터, 및 상기 마진 데이터의 일부를 추출 및 판독함으로써 상기 각 묘화점 형성부의 묘화점 데이터가 취득되는 것을 특징으로 하는 묘화점 데이터 취득 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    복수의 상기 묘화점 데이터 경로를 대표하는 하나 이상의 대표 묘화점 데이터 경로가 취득되고, 상기 하나 이상의 대표 묘화점 데이터 경로의 수는 상기 복수의 묘화점 데이터 경로의 수보다 적고, 상기 취득된 대표 묘화점 데이터 경로를 따라 상기 판독 시작 위치로부터 상기 화상 데이터를 복수회 판독함으로써 상기 복수의 묘화점 데이터 경로에 대응되는 복수의 묘화점 형성부 각각에 대한 상기 묘화점 데이터가 취득되는 것을 특징으로 하는 묘화점 데이터 취득 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 묘화점 형성부는 2차원으로 배치되는 것을 특징으로 하는 묘화점 데이터 취득 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    복수의 묘화점 형성부를 포함하는 묘화점 형성부의 열은 이동 방향에 대하여 0°<θ<90°의 경사각만큼 경사지는 것을 특징으로 하는 묘화점 데이터 취득 방법.
  7. 제 1 항에 기재된 묘화점 데이터 취득 방법을 이용함으로써 묘화점 데이터가 취득되고, 상기 취득된 묘화점 데이터에 의거하여 상기 기판 상에 화상이 묘화되는 것을 특징으로 하는 묘화 방법.
  8. 묘화점 데이터에 의거하여 묘화점을 형성하는 복수의 묘화점 형성부를 기판에 대하여 상대적으로 이동시키고, 상기 이동에 따라 상기 묘화점을 상기 기판 상에 순차적으로 형성함으로써 상기 기판 상에 화상이 묘화될 때 사용되는 상기 묘화점 데이터를 취득하는 장치에 있어서:
    상기 기판 상의 상기 각 묘화점 형성부의 묘화 경로, 및 상기 화상을 나타내는 화상 데이터를 서로 관련시킴으로써 상기 각 묘화점 형성부의 묘화 경로에 대응되는 묘화점 데이터 경로를 취득하는 묘화점 데이터 경로 취득 수단; 및
    각 묘화점 데이터 경로가 연장하는 방향에 대해 상기 화상 데이터의 좌표계에 있어서 동일한 좌표를 갖는 위치를 각 묘화점 데이터 경로의 판독 시작 위치로서 지정하고, 상기 각 묘화점 데이터 경로에서 상기 판독 시작 위치로부터 상기 각 묘화점 데이터 경로를 따라 상기 화상 데이터를 순차적으로 판독함으로써 상기 각 묘화점 형성부의 묘화점 데이터를 취득하는 이상 묘화점 데이터 취득 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 묘화점 데이터 취득 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 이상 묘화점 데이터 취득 수단은 상기 묘화점 데이터 경로의 배열 방향을 따라 상기 각 묘화점 데이터 경로에서의 묘화점 데이터를 순차적으로 취득하는 것을 특징으로 하는 묘화점 데이터 취득 장치.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 이상 묘화점 데이터 취득 수단에 의해 취득된 상기 각 묘화점 형성부의 묘화점 데이터 열의 시작과 끝에 마진 데이터의 세트를 부가하는 마진 데이터 부가 수단; 및
    상기 마진 데이터 부가 수단에 의해 마진 데이터가 부가된 각 묘화점 데이터 열로부터 상기 각 묘화점 데이터 경로에 대응되는 상기 묘화점 데이터, 및 상기 마진 데이터의 일부를 추출 및 판독함으로써 상기 각 묘화점 형성부의 묘화점 데이터를 취득하는 묘화점 데이터 취득 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 묘화점 데이터 취득 장치.
  11. 제 8 항에 있어서,
    복수의 상기 묘화점 데이터 경로를 대표하는 하나 이상의 대표 묘화점 데이터 경로를 취득하는 이상 대표 묘화점 데이터 경로 취득 수단을 더 포함하고, 상기 하나 이상의 대표 묘화점 데이터 경로의 수는 상기 복수의 묘화점 데이터 경로의 수보다 적고, 상기 이상 묘화점 데이터 취득 수단은 상기 이상 대표 묘화점 데이터 경로 취득 수단에 의해 취득된 대표 묘화점 데이터 경로를 따라 상기 판독 시작 위치로부터 상기 화상 데이터를 복수회 판독함으로써 상기 복수의 묘화점 데이터 경로에 대응되는 복수의 묘화점 형성부 각각에 대한 상기 묘화점 데이터를 취득하는 것을 특징으로 하는 묘화점 데이터 취득 장치.
  12. 제 8 항에 있어서,
    상기 복수의 묘화점 형성부는 2차원으로 배치되는 것을 특징으로 하는 묘화점 데이터 취득 장치.
  13. 제 8 항에 있어서,
    복수의 묘화점 형성부를 포함하는 묘화점 형성부의 열은 이동 방향에 대하여 0°<θ<90°의 경사각만큼 경사지는 것을 특징으로 하는 묘화점 데이터 취득 장치.
  14. 제 8 항에 기재된 묘화점 데이터 취득 장치; 및
    상기 묘화점 데이터 취득 장치에 의해 취득된 묘화점 데이터에 의거하여 상기 기판 상에 화상을 묘화하는 묘화 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 묘화 장치.
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