KR101350282B1 - 포토레지스트 수용용기의 캡 - Google Patents

Abstract

본 발명의 포토레지스트 수용용기(10)의 캡(100)는 용기(10)에 주둥이 결합하고 관통공(114)을 형성하되 관통공(114)의 상향으로 경사돌출부(112)를 경사지게 돌출시키고 경사돌출부(112)에 가이드공(111)을 형성하는 가이드구(110)와; 상기 가이드구(110)의 경사돌출부(112)에 나사 결합하되 외주연 상부에 환형의 랫치(124)를 형성시킨 결합구(120)와; 상기 결합구(120)의 외주연에 결합하되 랫치(124)에 대응하는 탄성편(132)을 다수개 형성하여 결합구(120)를 전진시키는 조절구(130); 및 상기 결합구(120)에 일체화시켜 연동하도록 하되 외주연에 슬라이드블록(141)을 형성하여 가이드구(110)의 가이드공(111)에 위치시키는 배출관(140)으로 구성하므로; 깊이가 다른 포토레지스트 수용용기에 수용액을 원활하게 모두 사용할 수 있도록 호환성을 얻을 수 있는 것이다.

Description

포토레지스트 수용용기의 캡{Photoresist Bottle Cap}

본 발명은 포토레지스트 수용용기의 캡에 관한 것으로, 상세하게는 규격이 다른 포토레지스트 수용용기에 호환성을 가지도록 하여 포토레지스트 수용액을 잔량 없이 전액 사용할 수 있도록 하는 포토레지스트 수용용기의 캡에 관한 것이다.

일반적으로, 포토리소그라피공정은 일련의 반도체 제조공정이 선행된 웨이퍼를 코팅장치의 스핀척(Spin chuck)상에 위치시켜 포토레지스트(Photoresist)를 코팅(Coating)하는 공정을 포함한다.

여기서, 포토레지스트는 레진(Resin)과 빛에 의해서 활성화가 이루어지는 감응제로서의 인히비터(Inhibitor)와 액상(Liquid state)의 용제(Solvent)를 포함하여 이루어지며, 이러한 포토레지스트는 유리병으로 된 수용용기에 수용된 상태에서 수용용기 캡에 결합되는 포토레지스트 공급관(테프론 튜브)을 통해 포토레지스트 공급라인으로 공급되며, 이와 같이 포토레지스트 공급라인으로 공급된 포토레지스트는 다수의 밸브와 중간탱크를 경유하여 코팅장치에 공급된다.

또한 선출원 한 공개번호10-2004-17479도 있다.

그러나 이러한 종래의 포토레지스트 수용용기는 규격이 상이하여 통상의 캡을 결합하는 경우 포토레지스트 수용액을 전체를 사용하기 까다롭고 이로 인하여 포토레지스트 수용액을 낭비하는 문제를 초래하였다.

더욱이 포토레지스트 수용액은 빛에 의해서 활성화가 이루어지는 감응제이므로 내부를 잔량을 식별하기 거의 불가능하여 상기와 같은 문제를 해소하기 어려운 문제점이 있었다.

따라서 본 발명의 주목적은 깊이가 다른 포토레지스트 수용용기에 수용액을 원활하게 모두 사용할 수 있도록 호환성을 가지는 포토레지스트 수용용기의 캡을 제공하는 데 있다.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 포토레지스트 수용용기의 캡은 용기에 주둥이 결합하고 관통공을 형성하되 관통공의 상향으로 경사돌출부를 경사지게 돌출시키고 경사돌출부에 가이드공을 형성하는 가이드구와; 상기 가이드구의 경사돌출부에 나사 결합하되 외주연 상부에 환형의 랫치를 형성시킨 결합구와; 상기 결합구의 외주연에 결합하되 랫치에 대응하는 탄성편을 다수개 형성하여 결합구를 전진시키는 조절구; 및 상기 결합구에 일체화시켜 연동하도록 하되 외주연에 슬라이드블록을 형성하여 가이드구의 가이드공에 위치시키는 배출관으로 구성함을 그 기술적 구성상의 기본 특징으로 한다.

따라서 본 발명의 포토레지스트 수용용기의 캡은 조절구를 회전시키면 조절구의 탄성편이 결합구의 랫치에 걸려 결합구도 회전하여 경사돌출부의 중심선을 따라 하향으로 전진하고 이로 인하여 결합구에 일체로 형성한 배출관도 하향으로 이동하여 용기의 바닥면 모서리에 걸려 더 이상 전지하지 못하게 되므로 조절구의 탄성편이 부하에 따른 저항력이 상승하여 랫치의 걸림상태에서 공회전하므로 배출관의 용기가 최적 위치에 위치함을 인지할 수 있도록 하는 것으로, 포토레지스트 수용용기의 캡은 레진과 빛에 의해서 활성화가 이루어지는 감응제인 포토레지스트의 특성상 용기 외부에서 잔량을 식별하기 불가능하더라 조절구의 공회전으로 최적의 상태임을 쉽게 인식할 수 있을 뿐만 아니라 배출관을 자동으로 경사지게 하고 최적의 위치에 고정시키므로 용기 속의 포토레지스트 수용액을 간편하고 편리하게 전액 배출할 수 있고, 아울러 용기의 규격이 다른 경우에도 조절구를 회전시켜 경사돌출부의 길이만큼 배출관을 전진시켜 높이 차를 간편하게 극복할 수 있도록 하므로 호환성을 극대화할 수 있는 효과가 있는 것이다.

도 1 은 본 발명에 따른 포토레지스트 수용용기의 캡을 분해하여 나타낸 사시도.
도 2 는 본 발명에 따른 포토레지스트 수용용기의 캡을 분해하여 나타낸 사시도.
도 3 은 본 발명에 따른 포토레지스트 수용용기의 캡을 횡으로 절단하여 나타낸 단면도.
도 4 는 본 발명에 따른 포토레지스트 수용용기의 캡을 높이가 높은 용기에 체결하여 나타낸 단면도.
도 5 는 본 발명에 따른 포토레지스트 수용용기의 캡을 높이가 낮은 용기에 체결하여 나타낸 단면도.
도 6 는 본 발명에 따른 포토레지스트 수용용기의 캡을 결합하여 나타낸 정면도로서,
a)도는 높이가 낮은 포토레지스트 수용용기의 캡을 결합하여 나타낸 정면도이고,
b)도는 높이가 높은 포토레지스트 수용용기의 캡을 결합하여 나타낸 정면도이다.

이하, 본 발명의 실시 예를 첨부한 도면을 참조하면서 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 1 내지 도 6 에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 포토레지스트 수용용기(10)의 캡(100)는 용기(10)에 주둥이 결합하고 관통공(114)을 형성하되 관통공(114)의 상향으로 경사돌출부(112)를 경사지게 돌출시키고 경사돌출부(112)에 가이드공(111)을 형성하는 가이드구(110)와; 상기 가이드구(110)의 경사돌출부(112)에 나사 결합하되 외주연 상부에 환형의 랫치(124)를 형성시킨 결합구(120)와; 상기 결합구(120)의 외주연에 결합하되 랫치(124)에 대응하는 탄성편(132)을 다수개 형성하여 결합구(120)를 전진시키는 조절구(130); 및 상기 결합구(120)에 일체화시켜 연동하도록 하되 외주연에 슬라이드블록(141)을 형성하여 가이드구(110)의 가이드공(111)에 위치시키는 배출관(140)으로 구성한다.

상기 가이드구(110)는 용기(10)에 주둥이 밀폐되도록 결합하고 관통공(114)을 형성하되 관통공(114)의 상향으로 경사돌출부(112)를 경사지게 돌출시키고 경사돌출부(112)에 가이드공(111)을 형성한다.

따라서 가이드구(110)의 가이드공(111)은 경사지게 천공하되 경사각도는 용기(10)의 바닥 가장자리를 잇는 가상의 경사선에 일치하도록 함이 바람직하다.

여기서 경사돌출부(112)의 외주연에는 나사(113)를 형성한다.

상기 결합구(120)는 가이드구(110)의 경사돌출부(112)에 나사 결합하고 외주연 상부에 환형의 랫치(124)를 형성하되 상부에 고정공(121)을 천공하고 하부 내측으로 체결공(122)을 형성한다.

나아가, 결합구(120)의 체결공(122) 내주연에는 나사(123)를 형성하여 가이드구(110)의 결합돌출부(112)에 형성한 나사(113)에 나사 결합할 수 있도록 한다.

상기 조절구(130)는 수용공간(133)을 형성하여 결합구(120)의 외주연에 결합하고 수용공간(133)의 상측 삽입공(131)의 천공하여 회전할 수 있도록 하되 수용공간(133)의 내주연에 랫치(124)에 대응하는 탄성편(132)을 다수개 형성하여 조절구(130)의 일방향 회전으로 가이드구(110)의 경사돌출부(112)에 나사 결합시킨 결합구(120)를 회전시켜 결합구(120)가 경사각을 따라 하향으로 전진할 수 있도록 한다.

상기 배출관(140)은 결합구(120)에 일체화시켜 연동하여 회전하도록 하되 외주연에 슬라이드블록(141)을 형성하여 가이드구(110)의 가이드공(111)에 위치시켜 연동하면서 회전하여 배출관(140)이 경사각을 따라 하향으로 전진할 수 있도록 한다.

더불어, 배출관(140)의 슬라이드블록(141) 외주연에는 밀폐링(142)을 결합하여 용기(10)와 외부를 밀폐시키도록 하고, 배출단(153)에는 너트(144)를 결합하되 외주연에 스토퍼(145)를 형성하여 너트(144)의 결합 정도를 단속하도록 함이 바람직하다.

이러한 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 용기(10)에 캡(110)을 결합시킨 상태에서 조절구(130)를 회전시키면 조절구(130)의 탄성편(132)이 결합구(120)의 랫치(124)에 걸려 결합구(120)도 회전하여 나사 결합시킨 경사진 경사돌출부(112)의 중심선을 따라 하향으로 전진하게 된다.

따라서 결합구(120)에 관통하여 일체로 형성한 배출관(140)도 경사지게 하향으로 이동하여 배출관(140)의 하단이 용기(10)의 바닥면 모서리에 걸려 더 이상 전지하지 못하게 되고, 이로 인하여 경사돌출부(112)에 나사 결합한 결합구(120)에 부하가 걸리게 더 이상 회전할 수 없는 상태가 된다.

이때 결합구(120)의 랫치(124)에 걸림상태를 유지하던 조절구(130)의 탄성편(132)이 부하에 따른 저항력이 상승하여 랫치(124)의 걸림상태에서 공회전하므로 배출관(140)의 용기(10)가 최적 위치에 위치함을 인지할 수 있도록 한다.

특히 본 발명은 포토레지스트 수용용기(10)의 캡(100)은 레진과 빛에 의해서 활성화가 이루어지는 감응제인 포토레지스트의 특성상 용기(10) 외부에서 잔량을 식별하기 불가능하더라 상기와 같이 조절구(130)의 공회전으로 쉽게 인식할 수 있을 뿐만 아니라 배출관(140)을 자동으로 경사지게 하고 최적의 위치에 고정시키므로 용기(10) 속의 포토레지스트 수용액을 간편하고 편리하게 전액 배출할 수 있는 것이다.

더욱이, 포토레지스트 수용용기(10)의 규격이 다른 경우에도 상기와 같이 조절구(130)를 회전시켜 경사돌출부(112)의 길이만큼 높이 차를 간편하게 극복할 수 있도록 하므로 호환성을 극대화할 수 있는 것이다.

10 : 용기 100 : 캡
110 : 가이드구 111 : 가이드공
112 : 경사돌출부 113 : 나사
114 : 관통공 120 : 결합구
121 : 고정공 122 : 체결공
123 : 나사 124 : 랫치
130 : 조절구 131 : 삽입공
132 : 탄성편 133 : 수용공간
140 : 배출관 141 : 슬라이딩블록
142 : 밀폐링 143 : 배출단
144 : 너트 145 : 스토퍼

Claims (3)

1. 포토레지스트 수용용기(10)의 캡(100)는 용기(10)에 주둥이 결합하고 관통공(114)을 형성하되 관통공(114)의 상향으로 경사돌출부(112)를 경사지게 돌출시키고 경사돌출부(112)에 가이드공(111)을 형성하는 가이드구(110)와;
   상기 가이드구(110)의 경사돌출부(112)에 나사 결합하되 외주연 상부에 환형의 랫치(124)를 형성시킨 결합구(120)와;
   상기 결합구(120)의 외주연에 결합하되 랫치(124)에 대응하는 탄성편(132)을 다수개 형성하여 결합구(120)를 전진시키는 조절구(130); 및
   상기 결합구(120)에 일체화시켜 연동하도록 하되 외주연에 슬라이드블록(141)을 형성하여 가이드구(110)의 가이드공(111)에 위치시키는 배출관(140)으로 구성한 것을 특징으로 하는 포토레지스트 수용용기의 캡.
   
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 가이드구(110)의 가이드공(111)은 경사돌출부(112)에 경사지게 천공하되, 경사각도는 용기(10)의 바닥 가장자리를 잇는 가상의 경사선에 일치하도록 구성한 것을 특징으로 하는 포토레지스트 수용용기의 캡.
   
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 배출관(140)의 슬라이드블록(141) 외주연에는 밀폐링(142)을 결합하여 용기(10)와 외부를 밀폐시키도록 하고, 배출단(153)에는 너트(144)를 결합하되 외주연에 스토퍼(145)를 형성하여 구성한 것을 특징으로 하는 포토레지스트 수용용기의 캡.
   

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