KR101348749B1 - Device and method for auto clave process - Google Patents

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KR101348749B1
KR101348749B1 KR1020130090828A KR20130090828A KR101348749B1 KR 101348749 B1 KR101348749 B1 KR 101348749B1 KR 1020130090828 A KR1020130090828 A KR 1020130090828A KR 20130090828 A KR20130090828 A KR 20130090828A KR 101348749 B1 KR101348749 B1 KR 101348749B1
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문성일
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Abstract

The present invention relates to an auto clave process apparatus and an auto clave process method. The auto clave process apparatus includes: a process chamber in which an auto clave process is performed; a pressurizing unit for applying or releasing air pressure in the process chamber; a temperature alternating unit for increasing or decreasing temperature in the process chamber; and a supporting unit which comprises a number of layers and is arranged in the process chamber and supports a flexible display panel. The pressurizing unit applies multi-directional air pressure to the flexible display panel supported by the supporting unit, and includes a wave pressurizing part for supplying irregular pressure within established range. Thus, the apparatus can overcome various factors capable of causing pressure deviation like step and flatness of the flexible display panel by applying the multi-directional air pressure to the flexible display panel. Also, the apparatus and the method of the present invention can maximize adhesive force between a liquid crystal cell and a polarization plate and at the same time can reduce vacuum maintenance time and costs by maintaining the space accommodating the flexible display panel in higher vacuum state than the process chamber. Also, the apparatus and the method of the present invention can increase reliability of an auto clave process, by minimizing total thermal deviation in the process chamber through heating or cooling by convection circulation in the process chamber. [Reference numerals] (20) Pressurizing unit; (22) Wave pressurizing part; (30) Temperature alternating unit; (50) Vacuum unit; (AA) Heating; (BB) Cooling; (CC) Direction for applying pressure

Description

오토 클레이브 공정 장치 및 공정 방법{DEVICE AND METHOD FOR AUTO CLAVE PROCESS}Autoclave process equipment and process method {DEVICE AND METHOD FOR AUTO CLAVE PROCESS}

본 발명은 오토 클레이브 공정 장치 및 공정 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an autoclave processing apparatus and a process method.

최근 급속하게 발전하고 있는 반도체 기술에 힘입어, 평판표시장치의 화면 크기는 증가하고 그 무게는 경량화되는 등 평판표시장치의 성능이 개선 됨에 따라 평판표시장치의 수요가 폭발적으로 늘어나고 있다.Due to the recent rapid development of semiconductor technology, the flat panel display device has increased in screen size and weight, and the performance of the flat panel display device has been improved, so that the demand of the flat panel display device has been explosively increased.

이러한 평판표시장치에는 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD), 플라즈마 표시장치(Plasma Display Device: PDP), 전계방출 표시장치(Field Emission Display Device: FED), 전기발광 표시장치(Electroluminescence Display Device: ELD), 전기영동 표시장치(Electrophoresis Display Device: EPD) 및 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diode: OLED) 등이 있다.Such a flat panel display includes a liquid crystal display (LCD), a plasma display device (PDP), a field emission display device (FED), and an electroluminescence display device (ELD). ), An electrophoresis display device (EPD), and an organic light emitting diode (OLED).

이러한 평판표시장치는 브라운관(CRT)에 비해 경량 박형이고, 대형화에 유리한 장점이 있어 그 이용이 날로 증대되고 있다.Such a flat panel display device is lighter in weight and thinner than a CRT, and has an advantage of being larger in size, and its use is increasing day by day.

또한, 평판표시장치는 경량, 박형, 저전력구동, 풀-컬러, 고해상도 구현 등의 특징으로 인해 그 응용범위가 확대되고 있는 실정이다. 이러한 평판표시장치는 매트릭스 형태로 배열된 다수의 제어용 스위치들에 인가되는 영상신호에 따라 광의 투과량이 조절되어 평판표시장치의 패널에 원하는 화상을 표시하며, 평판표시패널 양쪽면에는 편광판이 부착된다.In addition, the flat panel display device is expanding its application range due to features such as lightweight, thin, low power drive, full-color, high resolution. The flat panel display device displays a desired image on a panel of the flat panel display device by adjusting the amount of light transmitted according to image signals applied to a plurality of control switches arranged in a matrix form, and polarizing plates are attached to both sides of the flat panel display panel.

한편, 편광판 부착시 주의해야 될 사항은 편광판 부착 공정에서 발생되는 정전기에 의한 평판표시패널의 손상과 편광판 부착시 발생하는 이물의 혼입이다.On the other hand, the matters to be careful when attaching the polarizing plate is damage of the flat panel display panel by static electricity generated in the polarizing plate attaching process and the mixing of foreign substances generated when attaching the polarizing plate.

상기 사항들을 고려하여 편광판 부착을 수행한 후, 패널과 편광판의 접착력을 향상시키기 위하여, 오토 클레이브 공정을 이용하여 편광판이 부착된 패널을 고온, 고압으로 처리하는 공정을 수행하게 된다.After the polarizing plate is applied in consideration of the above matters, in order to improve the adhesion between the panel and the polarizing plate, a process of treating the panel with the polarizing plate at high temperature and high pressure is performed by using an autoclave process.

일반적으로 오토 클레이브 공정은 고온, 고압하에서 합성, 분해, 승화, 추출 등의 화학처리를 수행하는 내열, 내압성 용기로서, 교반 장치, 진동 장치, 그 밖에 회전 장치를 수반하는 것이 많으며, 재질은 저탄소강, 크롬, 니켈, 몰리브덴 등 합금강이 사용된다. 용기 내의 온도는 150℃ 내지 600℃ 정도이며, 기압은 250 내지 1200atm 정도이며, 5000atm 이상인 것도 있다.In general, the autoclave process is a heat-resistant and pressure-resistant container that performs chemical treatment such as synthesis, decomposition, sublimation, extraction under high temperature and high pressure, and often includes a stirring device, a vibration device, and a rotating device, and the material is made of low carbon steel. Alloy steels such as chromium, nickel, and molybdenum are used. The temperature in a container is about 150 to 600 degreeC, the atmospheric pressure is about 250 to 1200 atm, and there may be 5000 atm or more.

이러한 오토 클레이브 공정은 평판표시장치 제조 공정 중 광학 특성을 부여하는 편광판이 부착된 액정 셀에 일정한 압력과 온도를 가하여 액정 셀과 편광판 사이에 존재하는 기포를 제거하여 편광판의 접착력을 높이는 역할을 수행하게 되며, 이에 대한 종래 기술로는 대한민국 공개특허공보 공개번호 제10-2007-0048439호에 제시된 바 있다.The autoclave process removes air bubbles between the liquid crystal cell and the polarizing plate by applying a constant pressure and temperature to the liquid crystal cell with a polarizing plate that provides optical characteristics during the manufacturing process of the flat panel display device, thereby increasing the adhesive force of the polarizing plate. As a related art, it has been presented in Korean Laid-Open Patent Publication No. 10-2007-0048439.

한편, 평판표시장치는 제조 공정 중 발생되는 높은 열을 견딜 수 있도록 유리 기판을 사용하므로 경량 박형화 및 유연성을 부여하는데 한계가 있다. 따라서, 최근에는 기존의 유연성이 없는 유리기판 대신에 플라스틱 또는 금속 등과 같이 유연성이 있는 재료를 이용하여 형성된 기판을 사용하여 종이처럼 휘어져도 표시 성능을 그대로 유지할 수 있는 플렉서블(Flexible) 표시패널이 급부상하고 있다.On the other hand, since the flat panel display uses a glass substrate to withstand the high heat generated during the manufacturing process, there is a limit in providing light weight thinning and flexibility. Therefore, in recent years, a flexible display panel that can maintain display performance even if it is bent like a paper using a substrate formed using a flexible material such as plastic or metal instead of a glass substrate without conventional flexibility has emerged. have.

따라서, 플렉서블 표시패널의 오토 클레이브 공정이 구현되며, 플렉서블 표시패널의 액정 셀과 편광판 사이에 존재하는 기포를 원활하게 제거하여 편광판의 접착력을 높일 수 있는 기술에 대한 개발의 필요성이 대두되고 있다.Accordingly, an autoclave process of the flexible display panel is implemented, and there is a need for development of a technology for increasing the adhesive force of the polarizing plate by smoothly removing bubbles existing between the liquid crystal cell and the polarizing plate of the flexible display panel.

본 발명은 상기 문제점을 개선하기 위하여 창작된 것으로써, 본 발명의 목적은, 플렉서블 표시패널에 다방향성 공압을 가함으로써 플렉서블 표시패널의 단차, 평탄도 등 압력 편차가 발생할 수 있는 다양한 요소들이 극복될 수 있는 오토 클레이브 공정 장치를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to overcome various factors in which a pressure deviation such as a step and a flatness of a flexible display panel may occur by applying multidirectional pneumatic pressure to the flexible display panel. To provide an autoclave processing apparatus that can be.

본 발명의 또 다른 목적은, 플렉서블 표시패널이 수용되는 공간에 대한 진공 상태를 공정 챔버 내부보다 더 고진공 상태로 유지하여 액정 셀과 편광판의 밀착력을 극대화시킴과 동시에 진공 유지 시간 및 비용을 감소시킬 수 있는 오토 클레이브 공정 장치를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to maintain a vacuum in a space where a flexible display panel is accommodated in a higher vacuum state than in an inside of a process chamber, thereby maximizing adhesion between the liquid crystal cell and the polarizing plate and reducing vacuum holding time and cost. To provide an autoclave processing apparatus.

본 발명의 또 다른 목적은, 공정 챔버의 내부를 대류 순환에 의한 가열 또는 냉각으로 공정 챔버 내부의 전체적인 열의 편차를 최소화시킴으로써, 오토 클레이브 공정의 신뢰성이 증대될 수 있는 기술을 제공하는 데 있다. It is another object of the present invention to provide a technique in which the reliability of the autoclave process can be increased by minimizing the variation of the overall heat inside the process chamber by heating or cooling the convection circulation inside the process chamber.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 오토 클레이브(Auto Clave) 공정이 수행되는 공정챔버; 상기 공정챔버 내에 공압을 가하거나 해제하는 가압유닛; 상기 공정챔버 내에 온도를 상승시키거나 하강시키는 변온유닛; 및 상기 공정챔버 내에 다수의 층을 이루어 배치되며 플렉서블 표시패널을 지지하는 지지유닛;을 포함하며, 상기 가압유닛은 상기 지지유닛에 지지된 플렉서블 표시패널에 다방향성 공압을 가하되, 설정 범위 내에서 불규칙한 압력을 제공하기 위한 웨이브가압부를 포함하는 오토 클레이브 공정 장치에 의해 달성될 수 있다.The object is, according to the present invention, the process chamber in which the auto clave (Auto Clave) process is performed; A pressurizing unit for applying or releasing pneumatic pressure in the process chamber; A temperature changing unit that raises or lowers the temperature in the process chamber; And a support unit arranged in a plurality of layers in the process chamber and supporting the flexible display panel, wherein the pressing unit applies multi-directional pneumatic pressure to the flexible display panel supported by the support unit within a setting range. It can be achieved by an autoclave processing apparatus including a wave press for providing an irregular pressure.

여기서, 상기 지지유닛은, 측단면을 기준으로 플렉서블 표시패널이 상, 하부에 각각 안착되는 지지부; 및 상기 플렉서블 표시패널이 안착된 지지부를 외부에서 커버하는 내부하우징부;를 포함한다.Herein, the support unit may include: a support part on which the flexible display panel is mounted on upper and lower sides of the side cross-section; And an inner housing part covering the support part on which the flexible display panel is mounted from the outside.

또한, 상기 오토 클레이브 공정 장치는 상기 공정챔버 내부를 진공 상태로 유지시키는 진공유닛을 더 포함한다.In addition, the autoclave processing apparatus further comprises a vacuum unit for maintaining the interior of the process chamber in a vacuum state.

여기서, 상기 진공유닛은 상기 내부하우징부에 배관을 통해 연결되어 상기 내부하우징부의 내부를 공정챔버 내부보다 고진공 상태로 유지시키도록 마련된다.Here, the vacuum unit is connected to the inner housing via a pipe and is provided to maintain the inside of the inner housing part in a higher vacuum state than the inside of the process chamber.

한편, 상기 변온유닛은 공정챔버 내부의 온도를 감지하는 온도감지부를 더 포함한다.On the other hand, the temperature changing unit further includes a temperature sensing unit for sensing the temperature inside the process chamber.

여기서, 상기 변온유닛은 상기 웨이브가압부에 의한 불규칙한 압력 인가로 공정챔버 내부의 온도가 변화되는 것을 보상하여 공정챔버 내부의 온도를 설정 범위 내에서 일정하게 유지시키도록 마련된다.
한편, 상기 목적은, 본 발명에 따라, 공정챔버의 내부에 고정된 플렉서블 표시패널에 가압유닛을 통해 제공되는 다방향성 공압을 가하는 제1단계; 변온유닛이 공정챔버 내부의 온도를 미리 설정된 온도로 변온시키는 제2단계; 상기 가압유닛이 포함하는 웨이브가압부에서 설정 범위 이내의 불규칙적인 공압을 가하는 제3단계;로 이루어지는 오토 클레이브 공정 방법에 의해서도 달성될 수 있다.
여기서, 상기 제1단계 내지 제3단계 사이에는 진공유닛에 의해 상기 공정챔버 내부의 기체를 외부로 배출시키는 흡기단계를 더 포함하며, 상기 흡기단계는 상기 플렉서블 표시패널이 수용된 내부하우징부의 내부를 공정챔버 내부보다 고진공 상태로 유지시키는 단계로 마련될 수 있다.
또한, 상기 제3단계 이후에는, 상기 제3단계에서 인가된 불규칙적인 공압으로 인한 공정챔버 내부 온도를 상기 변온유닛에서 보상하여 공정챔버 내부의 온도를 설정 범위 내에서 일정하게 유지시키는 제4단계를 더 포함한다.Here, the temperature changing unit is provided to compensate for the change in the temperature inside the process chamber by the irregular pressure application by the wave pressing unit to maintain the temperature inside the process chamber within the set range.
On the other hand, according to the present invention, the first step of applying a multi-directional pneumatic pressure provided through the pressing unit to the flexible display panel fixed to the inside of the process chamber; A second step in which the temperature changing unit changes the temperature inside the process chamber to a predetermined temperature; It can also be achieved by the autoclave process method consisting of; a third step of applying an irregular air pressure within a set range in the wave pressing unit included in the pressing unit.
The method may further include an intake step of discharging the gas inside the process chamber to the outside by a vacuum unit between the first and third steps, wherein the intake step processes an inside of the inner housing part in which the flexible display panel is accommodated. It may be provided in a step of maintaining a higher vacuum than the inside of the chamber.
In addition, after the third step, a fourth step of maintaining the temperature inside the process chamber constant within the set range by compensating the temperature inside the process chamber due to the irregular air pressure applied in the third step in the temperature changing unit It includes more.

본 발명에 의해, 플렉서블 표시패널에 다방향성 공압을 가함으로써 플렉서블 표시패널의 단차, 평탄도 등 압력 편차가 발생할 수 있는 다양한 요소들이 극복될 수 있다.According to the present invention, by applying multi-directional pneumatic pressure to the flexible display panel, various factors that may cause pressure variations such as a step and a flatness of the flexible display panel may be overcome.

또한, 플렉서블 표시패널이 수용되는 공간에 대한 진공 상태를 공정 챔버 내부보다 더 고진공 상태로 유지하여 액정 셀과 편광판의 밀착력을 극대화시킴과 동시에 진공 유지 시간 및 비용을 감소시킬 수 있다.In addition, the vacuum state of the space in which the flexible display panel is accommodated may be maintained at a higher vacuum level than the inside of the process chamber, thereby maximizing adhesion between the liquid crystal cell and the polarizing plate and reducing vacuum holding time and cost.

또한, 공정 챔버의 내부를 대류 순환에 의한 가열 또는 냉각으로 공정 챔버 내부의 전체적인 열의 편차를 최소화시킴으로써, 오토 클레이브 공정의 신뢰성이 증대될 수 있다. In addition, by minimizing the overall variation of heat inside the process chamber by heating or cooling the convection circulation inside the process chamber, the reliability of the autoclave process can be increased.

도 1 은 본 발명에 따른 오토 클레이브 공정 장치의 구성을 도시한 개략도이다.
도 2 는 본 발명에 따른 오토 클레이브 공정 방법의 흐름도이다.1 is a schematic diagram showing a configuration of an autoclave processing apparatus according to the present invention.
2 is a flow chart of an autoclave processing method according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, the configuration of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로 한정 해석되어서는 아니되며, 발명자는 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절히 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.Prior to this, the terms used in the specification and claims should not be construed in a dictionary sense, and the inventor may, on the principle that the concept of a term can be properly defined in order to explain its invention in the best way And should be construed in light of the meanings and concepts consistent with the technical idea of the present invention.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 존재할 수 있음을 이해하여야 한다.
Therefore, the embodiments shown in the present specification and the drawings are only exemplary embodiments of the present invention, and not all of the technical ideas of the present invention are presented. Therefore, various equivalents It should be understood that water and variations may exist.

1. 오토 클레이브 공정 장치에 대한 설명
도 1 은 본 발명에 따른 오토 클레이브 공정 장치의 구성을 도시한 개략도이다. 1. Description of Autoclave Process Equipment
1 is a schematic diagram showing a configuration of an autoclave processing apparatus according to the present invention.

도 1 을 참조하면, 본 발명에 따른 오토 클레이브 공정 장치는, 공정챔버(10), 가압유닛(20), 변온유닛(30), 지지유닛(40), 진공유닛(50)을 포함한다.Referring to FIG. 1, the autoclave processing apparatus according to the present invention includes a process chamber 10, a pressurizing unit 20, a temperature changing unit 30, a support unit 40, and a vacuum unit 50.

공정챔버(10)는 오토 클레이브 공정이 수행되는 공간을 제공하는 구성요소로써, 금속 재질로 마련될 수 있으며, 전면 또는 후면 방향에 도어(미도시)가 설치될 수 있다.The process chamber 10 is a component that provides a space in which the autoclave process is performed. The process chamber 10 may be formed of a metal material, and a door (not shown) may be installed in the front or rear direction.

여기서, 도어는 모터 제어에 의해 공정챔버(10)로부터 자동으로 개폐되도록 마련될 수 있으며, 공정챔버(10) 내부의 기밀(Packing)을 유지할 수 있도록 도어의 외면을 따라 실리콘 재질의 기밀부재가 부가될 수 있다.Here, the door may be provided to be automatically opened and closed from the process chamber 10 by the motor control, the silicone airtight member is added along the outer surface of the door to maintain the airtight (Packing) inside the process chamber (10). Can be.

가압유닛(20)은 공정챔버(10) 내부에 공압을 가하거나 해제하는 역할을 수행하는 구성요소로써, 공정챔버(10) 외부에 배치되는 고압 컴프레셔와 상기 고압 컴프레셔와 공정챔버(10) 내부를 연동시키는 배관을 통해 구성될 수 있다.The pressurizing unit 20 is a component that serves to apply or release pneumatic pressure inside the process chamber 10, and the high pressure compressor disposed outside the process chamber 10 and the inside of the high pressure compressor and the process chamber 10. It can be configured through the piping to interlock.

가압유닛(20)에 의해 공정챔버(10)의 내부는 0~30(kgf/㎠)의 범위에서 압력이 인가되거나 해제될 수 있다.The pressure inside the process chamber 10 by the pressure unit 20 may be applied or released pressure in the range of 0 ~ 30 (kgf / ㎠).

변온유닛(30)은 공정챔버(10) 내의 온도를 상승시키거나 하강시키는 역할을 수행하는 구성요소로써, 가열을 위한 히터와 냉각을 위한 열교환 장치 및 대류 순환을 위한 송풍팬으로 구성된다.The temperature changing unit 30 is a component that increases or decreases the temperature in the process chamber 10, and is composed of a heater for heating, a heat exchanger for cooling, and a blower fan for convection circulation.

여기서, 본 발명에 따른 오토 클레이브 공정 장치는 대류 순환에 의한 히팅 및 냉각을 구현함으로써, 종래의 열판(지지부)의 히팅 상태에 따라 열판에 대한 온도 편차가 발생되는 것을 해결하였으며, 공정챔버(10) 내부의 전체적인 온도 편차를 최소화시킬 수 있다.Here, the autoclave process apparatus according to the present invention solves that the temperature deviation with respect to the hot plate is generated according to the heating state of the conventional hot plate (support) by implementing the heating and cooling by the convection circulation, the process chamber 10 It is possible to minimize the overall temperature deviation inside.

지지유닛(40)은 공정챔버(10) 내에 다수의 층을 이루어 배치되며 플렉서블 표시패널(F)을 지지하는 역할을 수행하는 구성요소이다.The support unit 40 is a component that is arranged in a plurality of layers in the process chamber 10 and serves to support the flexible display panel F. FIG.

여기서, 지지유닛(40)은, 도 1 에서와 같이, 측단면을 기준으로 플렉서블 표시패널(F)이 상, 하부에 각각 안착되는 지지부(42)와 플렉서블 표시패널(F)이 안착된 지지부(42)를 외부에서 커버하는 내부하우징부(44)를 포함한다.Here, as shown in FIG. 1, the support unit 40 includes a support part 42 and a flexible display panel F on which the flexible display panel F is mounted on the upper and lower sides thereof, respectively, based on the side cross-section. 42 includes an inner housing 44 that covers the outside.

여기서, 플렉서블 표시패널(F) 중 지지부(42)의 하부에 안착되는 패널은 지지부(42)의 하부에 형성된 고정돌기(미도시)에 의해 고정될 수 있으며, 고정돌기의 형태 및 구조는 설계에 따라 다양하게 적용될 수 있다.Here, the panel mounted on the lower part of the support part 42 of the flexible display panel F may be fixed by a fixing protrusion (not shown) formed at the lower part of the support part 42, and the shape and structure of the fixing protrusion may be fixed to the design. It can be applied in various ways.

전술한 바와 같은 지지유닛(40)의 구조 및 플렉서블 표시패널(F)의 배치 상태에 따라, 가압유닛(20)으로부터 인가된 공압이 도 1 에 도시된 바와 같은, 압력 인가 방향을 따라 다방향성 형태(상, 하부에 배치된 플렉서블 표시패널로 압력 동시 인가)로 전달되어 플렉서블 표시패널의 단차, 평탄도 등 압력 편차가 발생할 수 있는 다양한 요소들이 극복될 수 있다.According to the structure of the support unit 40 and the arrangement state of the flexible display panel F as described above, the pneumatic pressure applied from the pressure unit 20 is multidirectional along the pressure application direction as shown in FIG. 1. (The pressure is simultaneously applied to the flexible display panel disposed on the lower portion.) Various factors that may cause a pressure deviation such as a step and a flatness of the flexible display panel may be overcome.

여기서, 가압유닛(20)은 지지유닛(40)에 지지된 플렉서블 표시패널(F)에 다방향성 공압을 가하되, 설정 범위 내에서 불규칙한 압력을 제공하기 위한 웨이브가압부(22)를 포함한다.Here, the pressurizing unit 20 applies a multidirectional pneumatic pressure to the flexible display panel F supported by the support unit 40, but includes a wave presser 22 for providing an irregular pressure within a setting range.

웨이브 가압부(22)는 본 발명의 특징적 구성으로, 가압유닛(20)에서의 가압력을 설정된 범위 내에서 불규칙(랜덤)적으로 조절하여 공정챔버(10) 내부로 인가시키도록 마련되며, 이에 의해 액정 셀과 편광판 사이의 기포가 불규칙적인 압력에 의해 더욱 제거되는 것이다.Wave pressing unit 22 is a characteristic configuration of the present invention, it is provided to be applied to the process chamber 10 by adjusting the pressing force in the pressing unit 20 irregularly (random) within a set range, thereby Bubbles between the liquid crystal cell and the polarizing plate are further removed by irregular pressure.

한편, 변온유닛(30)은 공정챔버(10) 내부의 온도를 감지하는 온도감지부(32)를 더 포함하며, 변온유닛(30)은 웨이브가압부(22)에 의한 불규칙한 압력 인가로 공정챔버(10) 내부의 온도가 변화되는 것을 보상하여 공정챔버(10) 내부의 온도를 설정 범위 내에서 일정하게 유지시키도록 마련된다.On the other hand, the temperature changing unit 30 further includes a temperature sensing unit 32 for sensing the temperature inside the process chamber 10, the temperature changing unit 30 is the process chamber by the irregular pressure applied by the wave pressing unit 22 (10) It is provided to compensate for the change in the temperature inside, to keep the temperature inside the process chamber 10 constant within a set range.

이를 구체적으로 설명하면, 웨이브 가압부(22)를 통해 불규칙적인 압력인 공정챔버(10) 내로 인가되면, 압력 변화에 따라 공정챔버(10) 내부의 온도가 변화되게 된다. 이렇게 변화된 온도는 온도감지부(32)를 통해 감지되며, 온도감지부(32)에 의해 감지된 변화된 온도에 따라 변온유닛(30)은 공정챔버(10) 내부의 온도를 설정된 온도(일정한 온도)로 유지시키기 위하여 가열 또는 냉각시키도록 마련된다.In detail, when applied into the process chamber 10 that is an irregular pressure through the wave pressing unit 22, the temperature inside the process chamber 10 is changed according to the pressure change. The changed temperature is sensed through the temperature detector 32, and the temperature change unit 30 sets the temperature inside the process chamber 10 according to the changed temperature detected by the temperature detector 32 (constant temperature). To keep it heated or cooled.

즉, 웨이브 가압부(22)에서는 공정챔버(10) 내부의 압력을 불규칙적으로 변화시키고, 변온유닛(30)에서는 온도감지부(32)의 감지에 따라 변화된 온도를 설정값으로 일정하게 유지시키도록 동작됨으로써, 공정챔버(10) 내부에는 온도 변화 없이 불규칙적인 압력이 인가되며, 이에 의해, 액정 셀과 편광판 사이에 존재하는 기포가 효율적으로 제거될 수 있는 것이다.That is, the wave pressurizing unit 22 changes the pressure inside the process chamber 10 irregularly, and the temperature changing unit 30 maintains the changed temperature at a predetermined value constant according to the detection of the temperature sensing unit 32. By being operated, irregular pressure is applied to the inside of the process chamber 10 without changing the temperature, whereby bubbles existing between the liquid crystal cell and the polarizing plate can be efficiently removed.

한편, 진공유닛(50)은 공정챔버(10) 내부를 진공 상태로 유지시키는 역할을 수행하는 구성요소로써, 공정챔버(10) 외부에 배치되는 진공펌프 및 진공펌브와 공정챔버(10) 내부를 연결시키는 배관에 의해 구성될 수 있다.On the other hand, the vacuum unit 50 is a component that serves to maintain the interior of the process chamber 10 in a vacuum state, and the vacuum pump and the vacuum pump and the process chamber 10 disposed outside the process chamber 10 It can be comprised by piping to connect.

바람직하게는, 도 1 에서와 같이, 진공유닛(50)은 내부하우징부(44)에 배관(P)을 통해 연결되어 내부하우징부(44)의 내부를 공정챔버(10) 내부보다 고진공 상태로 유지시키도록 마련될 수 있으며, 이에 의해, 액정 셀과 편광판의 밀착력을 극대화시킴과 동시에 진공 유지 시간 및 비용을 감소시킬 수 있다.Preferably, as shown in FIG. 1, the vacuum unit 50 is connected to the internal housing part 44 through a pipe P so that the interior of the internal housing part 44 is in a higher vacuum state than the inside of the process chamber 10. It can be provided to maintain, thereby maximizing the adhesion between the liquid crystal cell and the polarizing plate while reducing the vacuum holding time and cost.

본 발명에 따른 오토 클레이브 공정 장치는, 공정챔버(10)의 외부에서 내부로의 공기 유입을 조절하는 공기 유입 밸브와 공정챔버(10) 내부의 압력을 배기시키는 솔레노이드 배기 밸브와 제어부의 제어에 의해 공정챔버(10) 내부의 압력이 감압되지 않을 경우 이를 수동으로 구현하는 수동 배기 밸브 및 공정챔버(10)의 내부 압력을 감지하는 압력센서와 설정된 값 이상의 압력이 측정될 경우, 이를 조절(솔레노이드 배기 밸브를 제어)하기 위한 압력 스위치를 포함할 수 있다.The autoclave processing apparatus according to the present invention is controlled by an air inlet valve that regulates air inflow from the outside of the process chamber 10, a solenoid exhaust valve that exhausts the pressure inside the process chamber 10, and a control unit. When the pressure inside the process chamber 10 is not reduced, a manual exhaust valve for manually implementing the pressure sensor and a pressure sensor for detecting the internal pressure of the process chamber 10 and when a pressure higher than a set value are measured, adjust this (solenoid exhaust And a pressure switch for controlling the valve.

또한, 안전을 위하여 공정챔버(10)에 설치된 도어의 개폐를 제어하는 인터록 유닛(미도시)이 부가될 수 있으며, 인터록 유닛은 공정챔버(10)의 가압시 또는 공정챔버(10) 내부 압력이 일정치 이상 잔류하고 있을 경우, 도어의 개폐 제어를 차단하는 역할을 수행한다.In addition, an interlock unit (not shown) for controlling the opening and closing of the door installed in the process chamber 10 may be added for safety, and the interlock unit may have a pressure when the process chamber 10 is pressed or the pressure inside the process chamber 10 is increased. If a certain value remains, it serves to block the opening and closing control of the door.

아울러, 공정챔버(10) 내부에 설정 범위 이상의 압력이 인가될 경우, 이를 방지하는 과압 방지 유닛(미도시)이 부가될 수 있으며, 공정챔버(10)의 외벽에 배기 토출구와 연결된 안전 밸브 및 이상 신호 감지 시, 공정챔버(10) 내부로 급기 차단 및 배기 진행을 수행하는 압력 제어부 및 압력 제어 스위치 등이 포함될 수 있다. 또한, 변온유닛(30)에 의한 공정챔버(10) 가열 시, 변온유닛(히터)을 보호하기 위한 과승온 방지 수단 및 공정챔버(10) 내부 온도를 제어하기 위한 과열 방지 수단이 부가될 수 있으며, 히터, 모터 및 각 유닛의 회로 및 동작을 보호(과부하 인가 시 전원 차단)하는 보호 수단이 더 부가될 수 있다.

2. 오토 클레이브 공정 방법에 대한 설명
도 2 는 본 발명에 따른 오토 클레이브 공정 방법의 흐름도이다.
먼저, 공정챔버 내부에 다방향성 공압을 가한다.(제1단계, S10)
여기서, 공정챔버의 내부에는 지지유닛에 수용(구체적으로는 내부하우징부에 안착)된 플렉서블 표시패널이 설치되어 있는 상태를 전제로 하며, 가압유닛에서 공정챔버 내부로 대략 10~20(Kgf/㎠)의 다방향성 공압을 가한다.
다음, 공정챔버 내부의 온도를 미리 설정된 온도로 상승 또는 하강시킨다.(제2단계, S20)
여기서, 공정챔버 내부의 온도는 대략 60~200℃로 설정되어 유지되는 것이 바람직하며, 설정 온도를 유지시키기 위해 변온유닛에서 히팅 장치, 냉각 장치, 송풍모터 등의 구성을 제어하여 공정챔버 내부의 온도를 가열 또는 냉각시키도록 마련된다.
다음, 웨이브가압부에서 설정 범위 이내의 불규칙적인 공압을 공정챔버 내부로 인가한다.(제3단계, S30)
여기서, 플렉서블 표시패널의 접착 과정에서 액정 셀과 편광판 사이의 기포가 불규칙적인 압력에 의해 더욱 효율적으로 제거된다.
다음, 제3단계(S30)에서 인가된 불규칙적인 공압으로 인한 공정챔버 내부 온도를 변온유닛에서 보상하여 공정챔버 내부의 온도를 설정 범위 내에서 일정하게 유지시킨다.(제4단계, S40)
여기서, 웨이브 가압부를 통해 불규칙적인 압력인 공정챔버 내로 인가되면, 압력 변화에 따라 공정챔버 내부의 온도가 압력 변화에 의해 변화되게 된다. 이렇게 변화된 온도는 온도감지부를 통해 감지되며, 온도감지부에 의해 감지된 변화된 온도에 따라 변온유닛은 공정챔버 내부의 온도를 설정된 온도(일정한 온도)로 유지시키기 위하여 가열 또는 냉각시키도록 마련된다.
즉, 웨이브 가압부에서는 공정챔버 내부의 압력을 불규칙적으로 변화시키고, 변온유닛에서는 온도감지부의 감지에 따라 변화된 온도를 설정값으로 일정하게 유지시키도록 동작됨으로써, 공정챔버 내부에는 온도 변화 없이 불규칙적인 압력이 인가되며, 이에 의해, 액정 셀과 편광판 사이에 존재하는 기포가 효율적으로 제거될 수 있는 것이다.
한편, 제1단계(S10) 내지 제3단계(S30) 사이에는 진공유닛에 의해 공정챔버 내부의 기체를 외부로 배출시키는 흡기단계(S15)가 더 포함될 수 있으며, 흡기단계(S15)는 플렉서블 표시패널이 수용된 내부하우징부의 내부를 공정챔버 내부보다 고진공 상태로 유지시키는 단계로 마련될 수 있다.
여기서, 공정챔버의 내부는 변온유닛의 일정 온도 유지를 위한 팬구동 등을 통해 완전 진공 상태로 유지될 수는 없으나, 진공유닛에 의해 흡기단계(S15)를 통해 공정챔버의 내부는 기체가 많이 분포되어 있지 않은 가진공상태가 된다. 여기서, 진공유닛은 내부하우징부의 내부의 기체를 흡기시키도록 마련되어 공정챔버 내부보다 내부하우징부의 내부를 비교적 고진공 상태로 유지시킴으로써 오토 클레이브 공정을 보다 신뢰성있게 구현할 수 있는 것이다.
아울러, 본 발명에 따른 오토 클레이브 공정 방법은 제1단계(S10) 이전에 플렉서블 표시패널을 공정챔버 내부의 지지유닛으로 이송(로딩)하는 단계와 공정챔버의 도어를 폐쇄하는 단계 및 도어의 패킹을 진행하는 단계가 순차적으로 이루어지고, 제4단계(S40) 이후에 도어의 패킹을 해제하는 단계와 도어를 개방하는 단계 및 공정챔버 내부의 플렉스블 표시패널을 공정챔버 외부로 이송(언로딩)하는 단계가 이루어짐을 밝혀둔다.

전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 오토 클레이브 공정 장치 및 방법은, 플렉서블 표시패널에 다방향성 공압을 가함으로써 플렉서블 표시패널의 단차, 평탄도 등 압력 편차가 발생할 수 있는 다양한 요소들이 극복될 수 있다.In addition, when a pressure exceeding a predetermined range is applied to the inside of the process chamber 10, an overpressure preventing unit (not shown) may be added to prevent the pressure, and a safety valve and an abnormality connected to the exhaust outlet may be provided on the outer wall of the process chamber 10. When the signal is detected, a pressure controller and a pressure control switch may be included to perform the air supply blocking and the exhaust process into the process chamber 10. In addition, when the process chamber 10 is heated by the temperature change unit 30, an overheat prevention means for protecting the temperature change unit (heater) and an overheat prevention means for controlling the temperature inside the process chamber 10 may be added. In addition, protection means for protecting the circuit and operation of the heater, the motor, and each unit (power off when an overload is applied) may be further added.

2. Description of Autoclave Process Method
2 is a flow chart of an autoclave processing method according to the present invention.
First, multi-directional pneumatic pressure is applied inside the process chamber. (First step, S10)
Here, the inside of the process chamber is assuming that the flexible display panel accommodated in the support unit (specifically, seated in the internal housing) is installed, and approximately 10 to 20 (Kgf / ㎠) from the pressure unit to the process chamber. Apply multi-directional pneumatic pressure
Next, the temperature inside the process chamber is raised or lowered to a preset temperature. (Second step, S20)
Here, the temperature inside the process chamber is preferably set to be maintained at about 60 ~ 200 ℃, in order to maintain the set temperature by controlling the configuration of the heating device, cooling device, blower motor, etc. in the temperature changing unit temperature inside the process chamber It is provided to heat or cool.
Next, the wave pressurizing unit applies an irregular pneumatic pressure within the setting range into the process chamber. (Step 3, S30)
Here, bubbles between the liquid crystal cell and the polarizing plate are more efficiently removed by irregular pressure during the bonding process of the flexible display panel.
Next, the temperature inside the process chamber is compensated by the temperature changing unit due to the irregular pneumatic pressure applied in the third step S30 to maintain the temperature inside the process chamber within a predetermined range.
Here, when applied into the process chamber of the irregular pressure through the wave pressing unit, the temperature inside the process chamber is changed by the pressure change in accordance with the pressure change. The changed temperature is sensed through the temperature sensing unit, and the temperature changing unit is provided to heat or cool to maintain the temperature inside the process chamber at a predetermined temperature (constant temperature) according to the changed temperature sensed by the temperature sensing unit.
That is, in the wave pressurization unit, the pressure inside the process chamber is changed irregularly, and in the temperature changing unit, the temperature is changed to be kept constant according to the detection of the temperature sensing unit. Is applied, whereby bubbles existing between the liquid crystal cell and the polarizing plate can be efficiently removed.
On the other hand, between the first step (S10) to the third step (S30) may further include an intake step (S15) for discharging the gas inside the process chamber by the vacuum unit to the outside, the intake step (S15) is a flexible display It may be provided to maintain the inside of the inner housing portion in which the panel is accommodated in a higher vacuum than the inside of the process chamber.
Here, the inside of the process chamber may not be maintained in a completely vacuum state through a fan drive for maintaining a constant temperature of the temperature changing unit, but the gas is distributed in the process chamber through the intake step (S15) by the vacuum unit. It is not in excited state. Here, the vacuum unit is provided to intake the gas inside the inner housing part to implement the autoclave process more reliably by maintaining the inside of the inner housing part in a relatively high vacuum state than the inside of the process chamber.
In addition, the autoclave process method according to the present invention includes the steps of transferring (loading) the flexible display panel to the support unit inside the process chamber, closing the door of the process chamber, and packing the door before the first step S10. The step of proceeding is sequentially performed, and after the fourth step (S40) to release the packing of the door, opening the door and transferring (unloading) the flexible display panel inside the process chamber to the outside of the process chamber Make sure the steps are done.

As described above, the autoclave processing apparatus and method according to the present invention may overcome various factors that may cause pressure variations such as a step and flatness of the flexible display panel by applying multidirectional pneumatic pressure to the flexible display panel.

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또한, 플렉서블 표시패널이 수용되는 공간에 대한 진공 상태를 공정 챔버 내부보다 더 고진공 상태로 유지하여 액정 셀과 편광판의 밀착력을 극대화시킴과 동시에 진공 유지 시간 및 비용을 감소시킬 수 있다.In addition, the vacuum state of the space in which the flexible display panel is accommodated may be maintained at a higher vacuum level than the inside of the process chamber, thereby maximizing adhesion between the liquid crystal cell and the polarizing plate and reducing vacuum holding time and cost.

또한, 공정 챔버의 내부를 대류 순환에 의한 가열 또는 냉각으로 공정 챔버 내부의 전체적인 열의 편차를 최소화시킴으로써, 오토 클레이브 공정의 신뢰성이 증대될 수 있다.
In addition, by minimizing the overall variation of heat inside the process chamber by heating or cooling the convection circulation inside the process chamber, the reliability of the autoclave process can be increased.

이상, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명의 기술적 사상은 이러한 것에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해, 본 발명의 기술적 사상과 하기 될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 실시가 가능할 것이다.While the present invention has been described with reference to the exemplary embodiments and the drawings, it is to be understood that the technical scope of the present invention is not limited to these embodiments and that various changes and modifications will be apparent to those skilled in the art. Various modifications and variations may be made without departing from the scope of the appended claims.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
10 : 공정챔버
20 : 가압유닛
30 : 변온유닛
40 : 지지유닛
42 : 지지부
44 : 내부하우징부
F : 플렉서블 표시패널
P : 배관Description of the Related Art [0002]
10: process chamber
20: pressurization unit
30: temperature unit
40: support unit
42: support part
44: internal housing
F: flexible display panel
P: Piping

Claims (9)

오토 클레이브(Auto Clave) 공정이 수행되는 공정챔버;
상기 공정챔버 내에 공압을 가하거나 해제하기 위한 고압 컴프레셔와 상기 공정챔버 내부를 연동시키는 배관을 포함하는 가압유닛;
상기 공정챔버 내에 온도를 상승시키거나 하강시키는 변온유닛; 및
상기 공정챔버 내에 다수의 층을 이루어 배치되며 플렉서블 표시패널을 지지하는 지지유닛;을 포함하며,
상기 지지유닛은,
측단면을 기준으로 플렉서블 표시패널이 상, 하부에 각각 안착되는 지지부; 및
상기 플렉서블 표시패널이 안착된 지지부를 외부에서 커버하는 내부하우징부;를 포함하고,
상기 지지부의 하부에 안착되는 플렉서블 표시패널은 지지부의 하부에 형성된 고정돌기에 의해 고정되며,
상기 가압유닛은 상기 지지유닛에 지지된 플렉서블 표시패널에 다방향성 공압을 가하되, 설정 범위 내에서 불규칙한 압력을 제공하기 위한 웨이브가압부를 포함하고,
상기 공정챔버 내부를 진공 상태로 유지시키는 진공유닛을 더 포함하며,
상기 진공유닛은 상기 내부하우징부에 배관을 통해 연결되어 상기 내부하우징부의 내부를 공정챔버 내부보다 고진공 상태로 유지시키며,
상기 변온유닛은 공정챔버 내부의 온도를 감지하는 온도감지부를 더 포함하고,
상기 변온유닛은 상기 웨이브가압부에 의한 불규칙한 압력 인가로 공정챔버 내부의 온도가 변화되는 것을 보상하여 공정챔버 내부의 온도를 설정 범위 내에서 일정하게 유지시키는 것을 특징으로 하는
오토 클레이브 공정 장치.A process chamber in which an auto clave process is performed;
A pressurizing unit including a high pressure compressor for applying or releasing air pressure in the process chamber and a pipe for interlocking the inside of the process chamber;
A temperature changing unit that raises or lowers the temperature in the process chamber; And
And a support unit arranged in a plurality of layers in the process chamber and supporting the flexible display panel.
The support unit includes:
A support part on which the flexible display panel is mounted on upper and lower sides of the side cross-section; And
And an inner housing part covering the support part on which the flexible display panel is mounted from the outside.
The flexible display panel mounted on the lower part of the support part is fixed by a fixing protrusion formed on the lower part of the support part.
The pressurizing unit applies a multidirectional pneumatic pressure to the flexible display panel supported by the support unit, and includes a wave pressurizing unit for providing an irregular pressure within a setting range,
Further comprising a vacuum unit for maintaining the inside of the process chamber in a vacuum state,
The vacuum unit is connected to the inner housing via a pipe to maintain the inside of the inner housing portion in a higher vacuum state than the inside of the process chamber,
The temperature changing unit further includes a temperature sensing unit for sensing a temperature inside the process chamber,
The temperature changing unit compensates that the temperature inside the process chamber is changed by an irregular pressure application by the wave pressurizing unit, thereby maintaining the temperature inside the process chamber within a predetermined range.
Autoclave processing equipment. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 공정챔버의 내부에 고정된 플렉서블 표시패널에 가압유닛을 통해 제공되는 다방향성 공압을 가하는 제1단계;
변온유닛이 공정챔버 내부의 온도를 미리 설정된 온도로 변온시키는 제2단계;
상기 가압유닛이 포함하는 웨이브가압부에서 설정 범위 이내의 불규칙적인 공압을 가하는 제3단계;로 이루어지며,
상기 제1단계 내지 제3단계 사이에는 진공유닛에 의해 상기 공정챔버 내부의 기체를 외부로 배출시키는 흡기단계를 더 포함하며, 상기 흡기단계는 상기 플렉서블 표시패널이 수용된 내부하우징부의 내부를 공정챔버 내부보다 고진공 상태로 유지시키는 단계이며,
상기 제3단계 이후에는, 상기 제3단계에서 인가된 불규칙적인 공압으로 인한 공정챔버 내부 온도를 상기 변온유닛에서 보상하여 공정챔버 내부의 온도를 설정 범위 내에서 일정하게 유지시키는 제4단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
오토 클레이브 공정 방법.
Applying a multidirectional pneumatic pressure provided through a pressurizing unit to the flexible display panel fixed inside the process chamber;
A second step in which the temperature changing unit changes the temperature inside the process chamber to a predetermined temperature;
And a third step of applying an irregular air pressure within a setting range in the wave pressing unit included in the pressing unit.
Between the first step to the third step further comprises an intake step for discharging the gas inside the process chamber by the vacuum unit to the outside, the intake step is inside the process chamber to accommodate the flexible display panel To maintain a higher vacuum level,
After the third step, a fourth step of maintaining the temperature inside the process chamber constant within the set range by compensating the temperature inside the process chamber due to the irregular air pressure applied in the third step in the temperature changing unit; Characterized by
Autoclave Process Method.
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