KR101337549B1

KR101337549B1 - 합착장치

Info

Publication number: KR101337549B1
Application number: KR1020110123224A
Authority: KR
Inventors: 심석희; 한명우
Original assignee: 엘아이지에이디피 주식회사
Priority date: 2011-11-23
Filing date: 2011-11-23
Publication date: 2013-12-06
Also published as: KR20130057363A

Abstract

본 발명은 기판들의 합착 시 내부에 기포가 발생되는 것을 저지할 수 있는 합착장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 합착장치는 제1기판과 제2기판이 반입되며 제1기판과 제2기판이 합착되는 공간을 형성하는 챔버와, 챔버 내부의 상하부에 상호 대향되도록 각각 배치되어 제1기판과 제2기판을 지지하며 적어도 어느 하나가 제1기판과 제2기판이 합착되는 합착위치로 이동되는 상부 정반 및 하부 정반과, 상부 정반과 하부 정반 중 어느 하나에 배치되고 유체압의 공급에 따라 팽창 및 수축되어 합착위치에서 제1기판과 제2기판이 상호 일영역부터 합착되도록 제1기판과 제2기판 중 인접한 어느 하나에 가압력을 제공하는 가압유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 상호 접착되는 기판들 중 어느 하나에 가압력을 제공하여 중앙 영역부터 외곽 영역으로 기판들을 상호 합착함으로써, 기판 사이의 기포 유입 및 발생을 방지하여 제품 생산의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

Description

합착장치{BONDING APPARATUS}

본 발명은, 합착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 2개의 기판 또는 필름을 정밀하게 합착하기 위한 합착장치에 관한 것이다.

일반적으로 영상표시장치, 예를 들어 디스플레이 장치 등은 적어도 2개 이상의 기판 또는 필름들이 상호 합착되는 방식으로 제조된다. 여기서, 디스플레이 장치의 제조는 크게 구분하면 TFT 기판과 유리 기판의 2개의 기판이 합착되어 이루어진다.

또는 디스플레이 장치의 제조는 디스플레이의 다른 기능을 수행하는 필름 또는 기판을 함께 합착할 수 있다. 이러한 디스플레이 장치의 다른 기능을 수행하는 필름 또는 기판은 터치패드, 3차원 디스플레이를 위한 렌티큘러 필름 및 편광필름과 같은 다양한 필름 또는 기판 중 적어도 어느 하나일 수 있다. 이와 같은 디스플레이 장치의 다양한 필름 또는 기판을 합착하기 위해서는 합착장치가 사용된다.

한편, 종래의 합착장치는 "대한민국 공개특허공보 제10-2008-0056821호"인 "기판합착장치에서 기판의 평행도 조정방법"에 개시되어 있다. 상술한 선행 기술문헌은 기판들의 합착 공정 중 기판 사이에 기포유입 등의 문제가 발생되는 것을 방지하기 위해서 하부 스테이지를 X 및 Y축으로 미세하게 이동시키는 캠 유닛 및 하부 스테이지의 4개의 모서리부에 설치되어 하부 스테이지를 Z축으로 미세하게 이동시키는 리니어 액추에이터를 이용하여 기판을 정렬하는 기술을 개시하고 있다.

그런데, 종래의 선행 기술문헌은 합착되는 기판 사이의 기포 유입을 방지하기 위해서 하부 스테이지의 X 및 Y축과 Z축을 각각 조절하는 캠 유닛 및 복수개의 리니어 액추에이터를 사용함으로써, 합착장치의 전체적인 구성의 복잡함과 더불어 제조 비용 및 유지 보수비용의 상승을 초래하는 문제점이 있다.

대한민국 공개특허공보 제10-2008-0056821호

본 발명의 목적은 적어도 2개 이상의 기판 또는 필름을 상호 합착할 때, 상호 합착되는 면 사이에 기포 유입 및 발생을 방지할 수 있도록 구조가 개선된 합착장치를 제공하는 것이다.

상기 과제의 해결 수단은, 본 발명에 따라, 제1기판과 제2기판이 반입되며 상기 제1기판과 상기 제2기판이 합착되는 공간을 형성하는 챔버와, 상기 챔버 내부의 상하부에 상호 대향되도록 각각 배치되어 상기 제1기판과 상기 제2기판을 지지하며, 적어도 어느 하나가 상기 제1기판과 상기 제2기판이 합착되는 합착위치로 이동되는 상부 정반 및 하부 정반과, 상기 상부 정반과 상기 하부 정반 중 어느 하나에 배치되고 유체압의 공급에 따라 팽창 및 수축되어 상기 합착위치에서 상기 제1기판과 상기 제2기판이 상호 일영역부터 합착되도록 상기 제1기판과 상기 제2기판 중 인접한 어느 하나에 가압력을 제공하는 가압유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 합착장치에 의해 이루어진다.

여기서, 상기 가압유닛은 유체압 공급부와, 상기 유체압 공급부로부터의 유체압 공급 여부에 따라 상기 제1기판과 상기 제2기판 중 인접한 어느 하나의 중앙 영역에 대해 접촉되는 접촉위치와 접촉 해제되는 해제위치 사이에서 팽창 및 수축되는 다이아프램부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게 상기 제1기판과 상기 제2기판은 상기 다이아프램부의 접촉위치와 해제위치 사이에서의 팽창 및 수축에 따라 상호 중앙 영역부터 외곽 영역으로 합착될 수 있다.

그리고, 상기 다이아프램부는 상기 유체압 공급부로부터의 유체압 공급 여부에 따라 팽창 및 수축되는 제1다이아프램과, 상기 제1다이아프램의 중앙 영역에 배치되어 상기 제1다이아프램의 팽창 및 수축에 따라 상기 제1기판과 상기 제2기판 중 인접한 어느 하나의 중앙 영역에 접촉 및 접촉 해제되는 제2다이아프램을 포함할 수 있다.

상기 제1기판은 상기 가압유닛과 상기 제2기판 사이에 배치되고 상기 가압유닛은 상기 상부 정반에 배치되며, 상기 하부 정반은 상기 제1기판과 상기 제2기판을 지지하며, 순차적으로 상기 제1기판과 상기 제2기판을 상기 가압유닛을 향해 이동시키는 것이 바람직하다.

여기서, 상기 하부 정반은 상기 가압유닛으로 상기 제1기판을 이동시키는 제1기판 리프트 핀과, 상기 제1기판의 하부면으로 상기 제2기판을 이동시키는 제2기판 리프트 핀을 포함할 수 있다.

한편, 바람직하게 상기 제1기판은 상기 가압유닛과 상기 제2기판 사이에 배치되고 상기 가압유닛은 상기 하부 정반에 배치되며, 상기 제1기판과 상기 제2기판은 각각 상기 하부 정반 및 상기 상부 정반에 지지되어, 상기 제1기판은 상기 하부 정반의 이동에 따라 상기 가압유닛으로 이동되고 상기 제2기판은 상기 상부 정반의 이동에 따라 상기 제1기판의 상부면으로 이동될 수 있다.

기타 실시 예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명에 따른 합착장치는 상호 접착되는 기판들 중 어느 하나에 가압력을 제공하여 중앙 영역부터 외곽 영역으로 기판들을 상호 합착할 수 있고, 이에 따라 기판 사이의 기포 유입 및 발생을 방지함으로써 제품 생산의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 합착장치의 제1작동 단면도,
도 2는 본 발명의 제1실시 예에 따른 합착장치의 제2작동 단면도,
도 3은 본 발명의 제1실시 예에 따른 합착장치의 제3작동 단면도,
도 4는 본 발명의 제1실시 예에 따른 합착장치의 제4작동 단면도,
도 5는 본 발명의 제2실시 예에 따른 합착장치의 제1작동 단면도,
도 6은 본 발명의 제2실시 예에 따른 합착장치의 제2작동 단면도,
도 7은 본 발명의 제2실시 예에 따른 합착장치의 제2작동 단면도이다.

이하, 본 발명의 실시 예에 따른 합착장치에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

설명하기에 앞서, 본 발명에 따른 합착장치는 제1 및 제2실시 예로 구분되며, 제1 및 제2실시 예에서의 동일한 명칭의 구성은 동일한 도면 부호로 기재하였음을 미리 밝혀둔다.

단, 본 발명의 제1 및 제2실시 예에 따른 합착장치를 설명함에 있어서, 작동 방식에 상이점 있는 상부 정반 및 하부 정반에 대해서는 각각 상이한 도면 부호로 기재되었음을 밝혀둔다.

또한, 본 발명의 제1 및 제2실시 예에 따른 합착장치에서는 2개의 기판이 합착되는 것으로 설명하고 있으나, 2개를 초과한 기판 또는 필름의 합착에도 적용될 수 있음을 밝혀둔다. 이하에서는 본 발명에 따른 합착장치에서 합착되는 기판을 제1기판과 제2기판으로 지칭한다.

<제1실시 예>

도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 합착장치의 제1작동 단면도, 도 2는 본 발명의 제1실시 예에 따른 합착장치의 제2작동 단면도, 도 3은 본 발명의 제1실시 예에 따른 합착장치의 제3작동 단면도, 도 4는 본 발명의 제1실시 예에 따른 합착장치의 제4작동 단면도이다.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 합착장치(1)는 챔버(10), 상부 정반(30), 하부 정반(50), 얼라인 감지부(70) 및 가압유닛(90)을 포함한다. 본 발명에 따른 합착장치(1)는 기판들의 상호 접착, 필름들의 상호 접착 또는 기판과 필름의 상호 접착 등의 공정에 사용된다. 물론, 본 발명에 따른 합착장치(1)는 적어도 2개 이상의 기판 또는 필름들의 합착 공정을 위해 사용될 수 있다.

챔버(10)는 상부 챔버(12), 하부 챔버(14), 승강축(16) 및 지지대(18)를 포함한다. 챔버(10)는 내부에 제1기판(300)과 제2기판(500)이 합착되는 공간을 형성한다. 챔버(10)에는 내부가 진공 상태를 유지하도록 도면에 도시되지 않은 진공 펌프가 연결된다.

상부 챔버(12)와 하부 챔버(14)는 상하로 배치되며, 상호 결합되어 제1기판(300)과 제2기판(500)이 합착되는 합착 공간을 형성한다. 상부 챔버(12)와 하부 챔버(14)가 접하는 외곽 테두리에는 도시되지 않은 오링이 배치되어 상부 챔버(12)와 하부 챔버(14) 사이의 기밀을 유지한다. 여기서, 상부 챔버(12)와 하부 챔버(14)는 승강축(16)에 의해 연결된다.

승강축(16)은 하부 챔버(14)의 테두리 부분을 상하로 관통하여 상부 챔버(12)의 테두리 부분 바닥에 결합된다. 승강축(16)은 상부 챔버(12)와 하부 챔버(14)가 결합 및 결합 해제될 수 있도록 상부 챔버(12)를 상하로 승강시킨다. 이렇게, 승강축(16)이 상부 챔버(12)를 상하로 승강시킴으로써, 상부 챔버(12)와 하부 챔버(14)는 상호 결합에 의해 내부에 공정 공간을 형성한다. 승강축(16)의 하부에는 승강축(16)을 지지하며 승강축(16)이 상하로 왕복 이동하도록 구동력을 제공하는 모터(미도시)가 배치된다.

지지대(18)는 하부 챔버(14)의 내부면에 배치되어 하부 정반(50)을 지지한다. 정확하게는, 하부 정반(50)의 후술할 제2기판 리프트 핀(58)을 지지한다.

다음으로 상부 정반(30) 및 하부 정반(50)은 각각 상부 챔버(12) 및 하부 챔버(14)의 내부에 배치된다. 상부 정반(30) 및 하부 정반(50)은 적어도 어느 하나가 상하로 왕복 이동가능 하도록 상호 대향되도록 배치된다. 본 발명의 제1실시 예의 상부 정반(30) 및 하부 정반(50)에서는 상부 정반(30)이 고정 지지되고 하부 정반(50)이 상하로 왕복 이동된다. 즉, 상부 정반(30)은 상부 챔버(12) 내부에 고정 지지되고, 하부 정반(50)은 제1기판(300)과 제2기판(500)이 상호 합착되도록 상부 정반(30)을 향해 상하로 왕복 이동된다.

본 발명의 하부 정반(50)은 제1기판 리프트 핀(52), 기판지지부(54), 승강부(56) 및 제2기판 리프트 핀(58)을 포함한다. 하부 정반(50)은 합착 대상물인 제1기판(300)과 제2기판(500)을 지지함과 더불어 합착위치로 제1기판(300) 및 제2기판(500)을 이동시킨다.

제1기판 리프트 핀(52)은 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 외부로부터 반입된 제1기판(300)을 지지하여 합착위치로 이동시킨다. 여기서, 제1기판 리프트 핀(52)에 지지되어 이동되는 제1기판(300)은 유리 기판, 렌티큘러(lenticular) 기판, 터치패널 기판 또는 디스플레이 기판일 수 있다. 제1기판 리프트 핀(52)은 가압유닛(90)을 향해, 즉 가압유닛(90)에 의해 제1기판(300)이 벤딩될 수 있는 합착위치로 제1기판(300)을 이동시킨다. 제1기판 리프트 핀(52)은 동력을 제공하는 동력부 및 동력부에 의해 신축되는 로드부로 구성된다.

기판지지부(54)는 도 1에 도시된 바와 같이, 외부로부터 챔버(10) 내부로 반입된 제2기판(500)을 지지한다. 정확히 설명하자면, 기판지지부(54)는 외부로부터 챔버(10) 내부로 반입된 제2기판(500)을 지지함과 더불어 승강부(56)에 의해 제2기판(500)이 승강될 수 있도록 제2기판(500)을 지지하는 역할을 한다.

승강부(56)는 기판지지부(54)에 지지된 제2기판(500)을 제1기판(300)의 하부면으로 이동시킨다. 승강부(56)는 정전척 및 점착척으로 구성되어 면 접촉된 제2기판(500)을 제1기판(300)과 합착되는 합착위치로 이동시킨다.

제2기판 리프트 핀(58)은 상술한 승강부(56)를 합착위치로 이동시키도록 마련된다. 제2기판 리프트 핀(58)의 일측은 지지대(18)에 지지되고 타측은 승강부(56)의 하부측에 연결된다. 제2기판 리프트 핀(58)은 승강부(56)를 상승시켜 제2기판(500)을 합착위치로 이동시키고, 제1기판(300)과 제2기판(500)의 합착 공정이 끝난 후 합착된 제1기판(300) 및 제2기판(500)이 챔버(10) 외부로 반출되도록 승강부(56)를 하강시킨다. 제2기판 리프트 핀(58)은 제1기판 리프트 핀(52)과 같이 동력을 제공하는 동력부와 동력부에 의해 신축되는 로드부로 구성된다.

얼라인 감지부(70)는 카메라(72)와 촬영홀(74)을 포함한다. 얼라인 감지부(70)는 상부 정반(30)과 하부 정반(50)에 형성된 얼라인 마크를 촬영하도록 마련된다. 즉, 얼라인 감지부(70)는 제1기판(300)과 제2기판(500)의 합착 위치의 오류가 발생되지 않도록 제1기판(300)과 제2기판(500) 사이의 정렬 위치를 확인한다. 여기서, 얼라인 감지부(70)의 촬영홀(74)은 제1기판(300)과 제2기판(500)이 하부 정반(50) 보다 면적이 큰 경우, 얼라인 마크를 하부 정반(50) 외측에 형성할 수 있기 때문에 별도로 형성될 필요가 없다.

다음으로 가압유닛(90)은 상부 정반(30)과 하부 정반(50) 중 어느 하나에 배치된다. 본 발명의 제1실시 예의 가압유닛(90)은 상부 정반(30)에 배치된다. 즉, 가압유닛(90)은 상부 정반(30)과 하부 정반(50) 사이에 하부 정반(50)과 대향되도록 상부 정반(30)에 지지된다. 가압유닛(90)은 유체압의 공급에 따라 팽창 및 수축되어 합착위치에서 제1기판(300)과 제2기판(500)이 상호 일영역부터 합착되도록 제1기판(300)에 가압력을 제공한다.

여기서, 가압유닛(90)은 유체압 공급에 따라 중앙 영역부터 팽창되어 제1기판(300)이 중앙 영역을 중심으로 일정 곡률을 갖도록 제1기판(300)에 가압력을 제공한다. 이렇게 가압유닛(90)은 제1기판(300)의 단면이 중앙 영역을 기준으로 일정 곡률을 갖도록 가압함으로써, 제1기판(300)과 제2기판(500)은 제1기판(300)의 중앙 영역부터 외곽 영역으로 상호 합착된다.

이러한 가압유닛(90)의 가압력 제공에 따라 제1기판(300)과 제2기판(500)은 중앙 영역부터 외곽 영역으로 합착됨으로써, 제1기판(300)과 제2기판(500) 사이의 기포 유입의 방지와 함께 제1기판(300)과 제2기판(500) 사이의 기포는 외부로 배출되는 장점이 있다.

본 발명의 가압유닛(90)은 유체압 공급부(92)와 다이아프램부(94)를 포함한다. 유체압 공급부(92)는 본 발명의 일 실시 예로서, 챔버(10)의 외부에 배치되며 다이아프램부(94)와 연결된다. 그러나, 유체압 공급부(92)는 챔버(10) 내부에 배치되어 다이아프램부(94)와 연결될 수도 있다. 유체압 공급부(92)는 다이아프램부(94)에 유압 또는 공압을 제공한다. 유체압 공급부(92)로부터 제공되는 유압 또는 공압은 설계상의 가압력 기준에 따라 선택적으로 사용될 수 있다.

다이아프램부(94)는 제1다이아프램(94a) 및 제2다이아프램(94b)을 포함한다. 다이아프램부(94)는 유체압 공급부(92)로부터 제공된 유체압에 따라 팽창 및 수축된다. 다이아프램부(94)는 유체압 공급부(92)로부터 유체압이 제공되면 팽창되어 제1기판(300)이 일정 곡률을 가지고 제2기판(500)과 상호 일영역부터 합착되도록 제1기판(300)에 가압력을 제공한다. 반면, 다이아프램부(94)는 제1기판(300)과 제2기판(500)의 합착 공정이 시작되면 제1기판(300)과 제2기판(500)이 중앙 영역부터 외곽 영역으로 상호 합착되도록 내부의 유체압을 배출하여 수축된다.

제1다이아프램(94a)은 상부 정반(30)에 지지되며, 유체압 공급부(92)에 연결된다. 제1다이아프램(94a)은 유체압 공급부(92)로부터의 유체압 공급 여부에 따라 팽창 및 수축된다. 제1다이아프램(94a) 내부에는 중앙 영역부터 팽창될 수 있도록 유체압 수령 영역이 중앙 영역에 형성되어 있는 것이 바람직하다.

제2다이아프램(94b)은 제1다이아프램(94a)의 중앙 영역에 배치된다. 제2다이아프램(94b)은 제1다이아프램(94a)의 팽창 및 수축에 따라 제1기판(300)에 접촉되어 제1기판(300)에 가압력을 제공한다. 제2다이아프램(94b)은 본 발명의 일 실시 예로서, 반구 형상으로 마련된다. 그리고, 제2다이아프램(94b)은 제1기판(300)과의 접촉면의 스크래치 방지를 위해 고무와 같은 연성재질로 마련되는 것이 바람직하다.

이러한 구성에 의해 본 발명의 제1실시 예에 따른 합착장치(1)의 작동 과정을 이하에서 살펴보면 다음과 같다.

우선, 도 1에 도시된 바와 같이, 챔버(10) 내부로 제1기판(300)과 제2기판(500)을 반입하여 각각 하부 정반(50)의 제1기판 리프트 핀(52)과 기판지지부(54)에 안착한다. 그리도, 도 2에 도시된 바와 같이, 유체압 공급부(92)로부터 다이아프램부(94)로 유체압을 공급하여 다이아프램부(94)를 팽창시킨다. 그러면, 제1기판(300)은 팽창된 다이아프램부(94)에 의해 가압되어 중앙 영역부터 일정 곡률을 갖도록 벤딩된다.

도 2에서 벤딩된 제1기판(300)의 하부에 제2기판(500)을 접촉시킨다. 이때, 제1기판(300)의 벤딩에 따라 제1기판(300)의 하부면 중앙 영역과 제2기판(500)의 상부면이 먼저 합착된다. 다이아프램부(94)가 수축되면 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 제1기판(300)의 중앙 영역으로부터 외곽 영역 순으로 제1기판(300)과 제2기판(500)은 상호 합착된다.

이에, 상호 접착되는 기판들 중 어느 하나에 가압력을 제공하여 중앙 영역부터 외곽 영역으로 기판들을 상호 합착할 수 있고, 이에 따라 기판 사이의 기포 발생을 방지함으로써 제품 생산의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

<제2실시 예>

도 5는 본 발명의 제2실시 예에 따른 합착장치의 제1작동 단면도, 도 6은 본 발명의 제2실시 예에 따른 합착장치의 제2작동 단면도, 도 7은 본 발명의 제2실시 예에 따른 합착장치의 제2작동 단면도이다.

도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시 예에 따른 합착장치(1)는 제1실시 예와 같이, 챔버(10), 상부 정반(130), 하부 정반(150), 얼라인 감지부(70) 및 가압유닛(90)을 포함한다.

이하에서는 본 발명의 제1실시 예에서 설명했던 챔버(10) 및 얼라인 감지부(70)에 대해서는 생략하기로 한다. 그리고, 본 발명의 제2실시 예에 따른 합착장치(1)의 상부 정반(130) 및 하부 정반(150)은 본 발명의 제1실시 예에서의 작동 과정과 상이하므로 본 발명의 제1실시 예의 상부 정반(30) 및 하부 정반(50)과는 상이한 도면부호로 기재하였다. 다만, 가압유닛(90)의 배치 위치는 상이하나 그 작동은 제1실시 예와 동일하므로 동일한 도면 부호로 기재하였다.

본 발명의 제2실시 예의 상부 정반(130)은 승강부(132) 및 제2기판 리프트 핀(134) 을 포함한다. 승강부(132)는 정전척과 점착척으로 구성되며, 외부로부터 반입된 제2기판(500)을 지지한다. 승강부(132)는 상부 챔버(12)의 상부면과 제1기판(300)의 상부면 사이에서 승강된다. 즉, 승강부(132)는 제1기판(300)과 제2기판(500)의 합착 공정 시 합착위치로 하강된다.

제2기판 리프트 핀(134) 은 상부 챔버(12)의 상부면과 제1기판(300)의 상부면 사이에서 승강부(132)를 승강시킨다. 제2기판 리프트 핀(134) 은 제1실시 예와 같이, 동력을 제공하는 동력부 및 동력부의 동력에 의해 신축되는 로드부로 구성된다.

하부 정반(150)은 가압유닛 지지부(154)와 제1기판 리프트 핀(152)을 포함한다. 가압유닛 지지부(154)는 가압유닛(90)을 지지하며 이동하지 않는다. 제1기판 리프트 핀(152)은 제1실시 예와 같이, 제1기판(300)을 지지하며 제1기판(300)을 합착위치로 안내한다. 다만, 본 발명의 제2실시 예의 제1기판 리프트 핀(152)은 제1실시 예와 달리, 하강하여 합착위치로 이동된다.

여기서, 제1기판(300)을 지지하는 제1기판 리프트 핀(152)의 영역은 제1실시 예와 달리, 상하가 폐쇄된 단면 형상을 갖는 것이 바람직하다. 즉, 본 발명의 제2실시 예에 따른 합착장치(1)의 합착 공정 중 가압유닛(90)에 의해 제1기판(300)의 중앙 영역이 볼록한 곡률을 가지므로, 제1기판(300)의 양끝이 상승되지 않도록 상술한 바와 같이 제1기판(300)을 지지하는 제1기판 리프트 핀(152)의 영역은 제1실시 예와 달리, 상하가 폐쇄된 단면 형상을 갖는다.

본 발명의 제2실시 예의 가압유닛(90)은 제1실시 예의 가압유닛(90)과 달리, 하부 정반(150)의 가압유닛 지지부(154)에 배치된다. 물론, 본 발명의 제2실시 예의 가압유닛(90)은 그 배치 위치가 변경되기는 했으나, 제1실시 예의 가압유닛(90)과 동일한 작동을 한다. 본 발명의 제2실시 예의 가압유닛(90)은 상부 챔버(12) 방향으로 팽창되어 제1기판(300)이 볼록한 곡률을 갖도록 제1기판(300)을 가압한다.

이에, 본 발명의 제1실시 예와 같이 상호 접착되는 기판들 중 어느 하나에 가압력을 제공하여 중앙 영역부터 외곽 영역으로 기판들을 상호 합착할 수 있고, 이에 따라 기판 사이의 기포 발생을 방지함으로써 제품 생산의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징들이 변경되지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것으로 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

1: 합착장치 10: 챔버
30, 130: 상부 정반 52, 152: 제1기판 리프트 핀
54: 기판지지부 56, 132: 승강부
58, 134: 제2기판 리프트 핀 70: 얼라인 감지부
72: 카메라 74: 촬영홀
90: 가압유닛 92: 유체압 공급부
94: 다이아프램부 94a: 제1다이아프램
94b: 제2다이아프램 154: 가압유닛 지지부

Claims

제1기판과 제2기판이 반입되며, 상기 제1기판과 상기 제2기판이 합착되는 공간을 형성하는 챔버와;
상기 챔버 내부의 상하부에 상호 대향되도록 각각 배치되어 상기 제1기판과 상기 제2기판을 지지하며, 적어도 어느 하나가 상기 제1기판과 상기 제2기판이 합착되는 합착위치로 이동되는 상부 정반 및 하부 정반과;
상기 상부 정반과 상기 하부 정반 중 어느 하나에 배치되고 유체압의 공급에 따라 팽창 및 수축되어, 상기 합착위치에서 상기 제1기판과 상기 제2기판이 상호 일영역부터 합착되도록 상기 제1기판과 상기 제2기판 중 인접한 어느 하나에 가압력을 제공하는 가압유닛을 포함하고,
상기 가압유닛은 유체압 공급부와, 상기 유체압 공급부로부터의 유체압 공급 여부에 따라 상기 제1기판과 상기 제2기판 중 인접한 어느 하나의 중앙 영역에 대해 접촉되는 접촉위치와 접촉 해제되는 해제위치 사이에서 팽창 및 수축되는 다이아프램부를 포함하며,
상기 다이아프램부는 상기 유체압 공급부로부터의 유체압 공급 여부에 따라 팽창 및 수축되는 제1다이아프램과, 상기 제1다이아프램의 중앙 영역에 배치되어 상기 제1다이아프램의 팽창 및 수축에 따라 상기 제1기판과 상기 제2기판 중 인접한 어느 하나의 중앙 영역에 접촉 및 접촉 해제되는 제2다이아프램을 포함하는 것을 특징으로 하는 합착장치.
삭제
제1항에 있어서,
상기 제1기판과 상기 제2기판은 상기 다이아프램부의 접촉위치와 해제위치 사이에서의 팽창 및 수축에 따라 상호 중앙 영역부터 외곽 영역으로 합착되는 것을 특징으로 하는 합착장치.
삭제
제1항 또는 제3항에 있어서,
상기 제1기판은 상기 가압유닛과 상기 제2기판 사이에 배치되고 상기 가압유닛은 상기 상부 정반에 배치되며,
상기 하부 정반은 상기 제1기판과 상기 제2기판을 지지하며, 순차적으로 상기 제1기판과 상기 제2기판을 상기 가압유닛을 향해 이동시키는 것을 특징으로 하는 합착장치.
제5항에 있어서,
상기 하부 정반은,
상기 가압유닛으로 상기 제1기판을 이동시키는 제1기판 리프트 핀과;
상기 제1기판의 하부면으로 상기 제2기판을 이동시키는 제2기판 리프트 핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 합착장치.
제1항 또는 제3항에 있어서,
상기 제1기판은 상기 가압유닛과 상기 제2기판 사이에 배치되고 상기 가압유닛은 상기 하부 정반에 배치되며,
상기 제1기판과 상기 제2기판은 각각 상기 하부 정반 및 상기 상부 정반에 지지되어, 상기 제1기판은 상기 하부 정반의 이동에 따라 상기 가압유닛으로 이동되고 상기 제2기판은 상기 상부 정반의 이동에 따라 상기 제1기판의 상부면으로 이동되는 것을 특징으로 하는 합착장치.